Pfeiffer TM 700 PB, Electronic drive unit Mode d'emploi

Traduction du manuel de l‘utilisateur
PT 0354 BFR/D (1503)
TM 700 PB
Commande électronique d’entraînement
Manuel de l‘utilisateur
FR
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1
1.2
2
Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.1 Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.2 Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.3 Non conformité d’utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3
Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
3.1
3.2
3.3
3.4
Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Description générale des connexions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
4
Schéma de raccordement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
5
Raccord « Profibus ». . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
5.1
5.2
5.3
5.4
6
Raccord « remote » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
6.1
6.2
7
Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Vue d'ensemble des paramètres . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Configurer raccords . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Travail avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum. . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Mise en marche / mise hors circuit de la pompe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
8.1
8.2
8.3
9
Affectation des connecteurs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Utilisation avec la connexion « remote » . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
7.1
7.2
7.3
7.4
7.5
8
Connexions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Configurer le raccord . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Données de diagnostic étendues . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Cadre de télégramme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Télégrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Types de données utilisées. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
9.1
9.2
9.3
Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
Affichage du mode d’utilisation par les diodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
Codes d'erreur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
2
A propos de ce manuel
1
A propos de ce manuel
1.1
Validité
Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le
fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les
informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a
pas apporté de modifications au produit.
Les manuels de l’utilisateur valides sont également disponibles sur Internet sur
www.pfeiffer-vacuum.com.
1.2
Conventions
Consignes de sécurité
Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat
d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL,
CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les
niveaux de danger et informations suivants :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves.
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves.
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères.
AVIS
Injonction ou indication
Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect
peut conduire à la détérioration du produit.
3
A propos de ce manuel
Pictogrammes
Interdiction d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de
cette interdiction peut générer des accidents graves
Avertissement contre le danger représenté par le symbole.
Obligation d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de
cette obligation peut générer des accidents graves.
Informations importantes concernant le produit ou le présent document
Instruction dans le
texte
 Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit.
Abréviations
DCU :
4
Display Control Unit
HPU :
Handheld Programming Unit
TM :
Contrôleur électronique d'entraînement et de paliers magnétiques de la
pompe turbomoléculaire
PB:
la version Profibus
TPS :
Bloc d'alimentation
DI / DO:
Entrée numérique / Sortie numérique
AI / AO:
Entrée analogique / Sortie analogique
f:
Vitesse de rotation (dérivée de la fréquence en Hz)
[P:000]:
Paramètres de la commande électronique d'entraînement avec numéro
Sécurité
2
Sécurité
2.1
Consignes de sécurité
Obligation d'information
Toute personne intervenant dans l'installation ou l'exploitation de l'appareil doit lire et
respecter les passages relatifs à la sécurité de cette notice d'instructions.
 L'exploitant est tenu d'attirer l'attention de tout opérateur sur les risques inhérents à
l'appareil ou à l'ensemble de l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque lié à une installation électrique non conforme
La sécurité du fonctionnement après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant.
 Ne procédez à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative.
 Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité.
 Pour toute demande spécifique, contacter Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution
En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension.
 Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour
pouvoir défaire le branchement à tout moment.
● Alimentation électrique : L'alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire
doit répondre aux exigences de double isolation entre la tension d'entrée du secteur
et la tension de fonctionnement selon CEI 61010 et CEI 60950. Pfeiffer Vacuum recommande à cet effet d'utiliser des blocs d’alimentation électrique et accessoires
d'origine. Dans ce cas uniquement, Pfeiffer Vacuum peut garantir la confomité aux
exigences des directives européennes et nord-américaines.
● Respectez toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des risques.
● Un raccord avec le conducteur de protection (PE) est recommandé (classe de
protection III).
● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées.
● Avant toute opération, débranchez l'appareil et toutes les installations qui y sont reliées du secteur.
● Pendant le fonctionnement, ne pas desserrer ou retirer les connecteurs.
● L'appareil présente le type de protection IP 54. En cas d'incorporation dans des environnements exigeant d'autres types de protection, il faudra prendre des mesures correspondantes.
● Le type de protection IP 54 ne peut être atteint qu'avec des bouchons en caoutchouc
bien positionnés sur le sélecteur d'adresse.
● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces
chaudes (> 70 °C).
● Ne débranchez la pompe de la commande électronique qu'après l'arrêt complet de la
pompe et avoir coupé la tension d'alimentation.
5
Sécurité
2.2
Conformité d’utilisation
AVIS
Conformité CE
La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par
l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires !
 Après incorporation dans une installation et avant la mise en service, l'exploitant
s’engage à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence.
● La commande électronique d'entraînement TM 700 PB sert à l'exploitation des
pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires dans un système
de bus de Profibus-DP.
2.3
Non conformité d’utilisation
En cas d'usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté.
Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui différent de celles précitées,
dont notamment :
● l'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce
manuel
● l’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants
warranty seal
Sceau de fermeture
Le corps de produit est scellé en usine. Tout dommage ou arrachement d’un sceau de
fermeture conduit à la perte de la garantie.
 N'ouvrez pas le produit durant la période de garantie !
 Si les applications nécessitent des intervalles d'entretien plus courts que la période
de garantie, contacter le service après-vente Pfeiffer Vacuum.
6
Description du produit
3
Description du produit
3.1
Identification du produit
Ce produit a été testé conformément aux exigences de la directive CAN/CSA-C22.2 No.
61010-1, deuxième edition, y compris l’amendement 1 ou une version ultérieure de la
norme même avec le même degré d’exigences d’essai.
Le cas échéant regardez les informations sur des certifications supplémentaires sur le
cachet du produit ou :
● www.tuvdotcom.com
● TUVdotCOM-ID 0000021320
Caractéristiques du
produit
La commande électronique d'entraînement de type TM 700 PB fait partie intégrante de
la pompe turbomoléculaire. Elle sert à l'entraînement, à la surveillance, ainsi qu'à la commande de la pompe dans son ensemble.
Désignation
TM 700 PB
Tension de raccordement TC
Panneau de raccordement
Pompe turbomoléculaire HiPace
48 V CC ± 5 %
Profibus
300 M, 700 M, 800M
Pour identifier correctement le produit lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque
signalétique.
Mod.:
M.-No.:
TM 700
PM C01 850
Ser.-No.: 12345678
Input:
Output:
48 V ± 10% DC 8.4 A
0 - 48 V 9 A 0 - 1000 Hz
2014/02
Made in Germany
Fig. 1:
Contenu de la livraison
3.2
Exemple de plaque signalétique
● CD-ROM de raccordement du Profibus avec fichier GSD
Domaine d'application
Les commandes électroniques d’entraînement TM 700 PB de Pfeiffer Vacuum doivent
être installées et utilisées dans les conditions ambiantes suivantes.
Lieu de mise en place
Type de protection admissible
Classification des protections
Température
Humidité relative
Pression de l’air
Hauteur d'implantation
Degré d'encrassement
Catégorie de surtension
à l'abri des intempéries (dans des locaux)
IP 54
III
de +5 °C à +40 °C (à +35 °C avec refroidissement à l’air)
80% max. avec T ≤ 31 °C, à 50% max. avec T ≤ 40 °C
750 hPa - 1060 hPa
2000 m maxi.
2
II
7
Description du produit
3.3
Fonction
d
b
f1
f
a
B
DC in
PV.can
A
Profibus
0
12
10
remote
accessory
b
Fig. 2:
a
b
c
d
3.4
c
0
2
2
4
4
6
6
8
x10
x1
address
8
f2
Panneau Profibus de la TM 700 PB
Raccord "DC in"
Raccord "accessory A+B"
Raccord "remote"
Raccord de service "PV.can"
f
f1
f2
Raccord "Profibus"
DEL d’état
Sélecteurs des adresses
Description générale des connexions
DC in1
Fiche de carter avec verrouillage à baïonette pour l'alimentation en tension entre
les blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum et la commande électronique d'entraînement.
accessory
Connecteur femelle M12 avec verrouillage à vis pour le raccordement d'accessoires Pfeiffer Vacuum. L'utilisation d'un répartiteur en Y permet la double affectation d'un raccord.
PV.can
Connecteur M12 avec verrouillage à vis et LED pour raccordement d'une mesure
de pression intégrée et pour les besoins de maintenance par Pfeiffer Vacuum.
remote
Connecteur femelle Sub-D High Density à 26 pôles pour le raccordement et la
configuration d'une télécommande.
Profibus
Connecteur femelle M12 (détrompage B) avec verrouillage à vis et LED pour le raccordement d’ un système de bus Profibus DP.
Prise mobile de connecteur à l'arrière de la commande électronique d'entraînement
pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire.
1. «DC in» et «accessory» sont décrits dans le manuel de l’utilisateur de la pompe.
8
Schéma de raccordement
1
1
n.c.
Accessory A2
2
2
Accessory B2
24 VDC
3
3
24 VDC
Accessory A1
4
4
Accessory B1
FE
5
5
FE
+ 24 VDC* out
1
DI1
2
DI Motor pump
3
1
DI Pumping station
4
2
DI Standby
5
3
DI2
6
4
AI+ 0-10 VDC
7
5
DO1
8
DO2
9
DI3
10
1
+5VDC** out
AI- GND
11
2
RxD/TxD-N
AO1 / 0-10 V
12
3
GND**
DI Error acknowledgement
13
4
RxD/TxD-P
DI Remote priority
14
5
n.c.
Relay 1
15
Relay 1
16
Relay 1
17
Relay 2
18
A
+ UB (+24 / +48 VDC ± 5 %)
Relay 2
19
B
GND
C
FE
3
2
Potential free contacts
remote
19
10
1
Relay 2
20
Relay 3
21
Relay 3
22
DO Remote priority active
23
RS485 D+
24
RS485 D-
25
GND*
26
Fig. 3:
Contact load for accessories:
-20 0 mA max., each connection
-450 mA max., all connections in sum
3
1
4
5
All inputs and outputs
in this area are
galvanically seperated
from +U B
PV.can
5
2
2
1
3
Profibus
1
4
B
A
DC in
4
n.c.
accessory B
Schéma de raccordement
26
18
9
accessory A
4
C
Schéma de raccordement et affection de la TM 700 PB
9
Raccord « Profibus »
5
Raccord « Profibus »
5.1
Connexions
Il est possible de raccorder à un système Profibus-DP via le raccord (M12, codé en B)
portant la désignation "Profibus". Par isolation galvanique, l'interface est isolée de façon
sûre de la tension d'alimentation maximale possible.
5
2
Broche
Affectation
4
1
2
3
4
5
+5 V CC**
RxD/TxD-N
GND** (pour broche 1)
RxD/TxD-P
pas raccordé
1
3
 Réaliser la liaison du Profibus avec l’accessoire de Pfeiffer Vacuum et un câblage approprié en respectant la réglementation en vigueur.
5.2
Configurer le raccord
Pour enregistrer la communication du Profibus, le TM 700 PB doit être configuré via un
maître Profibus à l'aide du fichier GSD.
 Régler l'adresse d'interface du Profibus valide et unique avec le sélecteur d'adresse
en codage décimal (1-125).
– La nouvelle adresse est validée uniquement après un redémarrage (Tension d'alimentation "Marche/Arrêt").
 Enfoncer les bouchons en caoutchouc sur le sélecteur d'adresse bien droit et aussi
profondément que possible pour atteindre le type de protection indiqué.
DEL d’état Profibus
5.3
État pendant 1s
Signification
Arrêt
DEL verte clignote
DEL verte clignote 2 x
DEL verte allumée
DEL rouge clignote
DEL rouge clignote 2 x
DEL rouge allumée
Profibus désactivé côté appareil
Vitesse de transmission identifiée, pas d'échange des données utiles
Fail-safe
Échange des données utiles
Aucune vitesse de transmission identifiée
Données de paramétrage/configuration erronées
Profibus inaccessible (adresse invalide, erreur d'initialisation)
Modules
Il est possible d'utiliser respectivement l'un des modules suivants :
Module
Description
Données E
(octets)
Données A
(octets)
PPO1
Bits de commande/d'état, valeur réelle et théorique de la
vitesse de rotation, accès acyclique aux paramètres
Bits de commande/d'état, valeur réelle et théorique de la
vitesse de rotation
Bits de commande/d'état
Bits de commande/d'état
12
12
4
4
2
1
2
1
PPO3
control-/status word
control-/status byte
● Les données sont toujours au format "high word/byte first" (Motorola)
● Tous les paramètres Pfeiffer Vacuum du type de données 0 ,1 ,2 et 7 peuvent être utilisés pour le canal de paramètres (PPO1) et les données de paramétrage.
– De plus, les paramètres Pfeiffer Vacuum [P:303], [P:360] à [P:369] fournissent
des codes d’erreur selon leur codage (regardez à la p. 13, chap. 5.4) .
– Le paramètre Pfeiffer Vacuum [P:349] fournit la valeur 0xACC0DA30.
– Éviter tout conflit avec les fonctions déjà disponibles !
10
Raccord « Profibus »
● L'accès aux fonctions des modules peut être influencé par le câblage externe de la
commande électronique d'entraînement (par ex. "remote").
● Les données de sortie décrivent la communication des données du maître (par ex.
API) à la commande électronique d'entraînement.
● Les données d'entrée décrivent la communication des données de la commande
électronique d'entraînement au maître (par ex. API).
PPO1
Octet
Données de sortie (12 octets)
Données d'entrée (12 octets)
0-7
8-9
10-11
Canal de paramètres avec commande
Mot de commande
Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable (Hz)
Canal de paramètres avec réponse
Mot d'état
Vitesse réelle (Hz)
Canal de paramètres
Octet
Bit
0
7
6
5
4
Commande/réponse
1
3
0
2
1
0
10
9
8
Numéro de paramètre, bit
7
6
5
4
3
2
1
2-3
4-7
0
Valeur du
paramètre
0
Commande (données de sortie)
Valeur
Description
0
1
Pas de commande
Lecture de la valeur du paramètre
Réponse correspondante
0
2 ou 7 (pour les types de données 0, 1 ou 7)
7 ou 11 (pour le type de données 2)
Écrire la valeur du paramètre en nombre en- 2, 7 ou 8
tier
Écrire la valeur du paramètre (uniquement
7, 8 ou 11
type de données 2) avec une virgule flottante
selon IEEE 754
3
10
Réponse (données d'entrée)
Valeur
Description
0
2
7
8
11
Pas de réponse
Transmettre la valeur du paramètre en nombre entier
Commande irréalisable, la valeur contient un numéro d'erreur*
Utilisation via Profibus impossible
Transmettre la valeur du paramètre avec un virgule flottante selon
IEEE 754
*Numéro d'erreur
Description
0
Numéro de paramètre invalide
Fonction déjà utilisée dans le mot de commande
Valeur du paramètre non modifiable
Domaine de valeur dépassé (au-dessus/en-dessous)
Type de données erroné
Commande invalide
Valeur du paramètre illisible
Format invalide
1
2
5
101
102
103
Mot de commande / mot d'état
Bit
Données de sortie
Données d'entrée
15
14
13
12
11
Autorisation de remise à l'air
Chauffage
Réservé (pas d'évaluation)
Réservé (pas d'évaluation)
0
0
La pompe tourne
11
Raccord « Profibus »
Bit
Données de sortie
10
Autorisation des données de processus (mot de Vitesse de consigne atteinte
commande et canal de paramètres) :
0 = ignorer
1 = valider
Données de processus autorisées
Standby
Point de commutation de la vitesse de rotation
atteint
Acquittement de dérangement; -> verrouillage Avertissement
de l'enclenchement
Mode d'exploitation à régime variable
Verrouillage de l'enclenchement (réenclenchement uniquement avec groupe de pompage sur
off, puis à nouveau sur on)
1
1
Erreur
Fonctionnement (pas d'erreur, groupe de pompage et pompe à moteur allumés, pas de verrouillage de l'enclenchement)
0
Groupe de pompage
Prêt pour la mise en marche (pas d'erreur, pas
de verrouillage de l'enclenchement, autorisation
des données de processus)
9
8
7
6
5
4
3
2
1
0
Données d'entrée
PPO3
Octet Données de sortie (4 octets)
0-1
2-3
Données d'entrée (4 octets)
Mot de commande (voir PPO1)
Mot d'état (voir PPO1)
Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à ré- Vitesse réelle (Hz)
gime variable (Hz)
control-/status word
Octet Données de sortie (2 octets)
Données d'entrée (2 octets)
0-1
Mot de commande (voir PPO1)
Mot d'état (voir PPO1)
Bit
Données de sortie (1 octets)
Données d'entrée (1 octets)
7
Acquittement de dérangement, -> verrouillage Avertissement général
de l'enclenchement (réenclenchement uniquement avec groupe de pompage sur off, puis à
nouveau sur on)
Standby
Avertissement relatif à la température
Autorisation de remise à l'air
Fonctionnement : pas d'erreur, groupe de pompage et pompe à moteur allumés, pas de verrouillage de l'enclenchement
Chauffage
Point de commutation de la vitesse de rotation
atteint
Erreur
Autorisation des données de processus (octets 0
de commande) :
0 = ignorer
1 = valider
La pompe tourne
Groupe de pompage
Vitesse de consigne atteinte
control-/status byte
6
5
4
3
2
1
0
Données de paramétrage
12
Pour effectuer un réglage unique d'une configuration différente de son état à la livraison
(="start-up configuration") ou pour définir des actions dans l'état du Profibus "fail-safe"
ou lors du déroulement de la surveillance de la réponse (par ex. défaillance du maître)
(="fail-safe action"), il est possible de définir jusqu'à six paramètres pour tous les mo-
Raccord « Profibus »
dules. Ces paramètres sont à chaque fois décrits avec des valeurs prédéfinies. Des données de paramétrage de huit octets sont alors ajoutées au format suivant pour chaque
paramètre (marquer les endroits indéfinis d'un 0) :
Octet
Description
0, bit 7
0: Paramètre pour "start-up configuration"
1: Paramètre pour "fail-safe action"
0: Valeur du paramètre en nombre entier
1: Valeur du paramètre avec virgule flottante selon IEEE 754
Numéro de paramètre
Valeur du paramètre
0, bit 6
2-3
4-7
Désignation
Exemple de désignation de module
Modules sans paramètres supplémenPPO1, PPO3, control-/status word, control-/status byte
taires
Modules avec un à six paramètres supplé- PPO1 (1 prm) ... (6prm)
mentaires
PPO3 (1 prm) ... (6prm)
control-/status word (1 prm) ... (6prm)
control-/status byte (1 prm) ... (6prm)
5.4
Données de diagnostic étendues
Octet Désignation
Description
1-6
Diagnostic standard du Profibus
déterminé par la spécification du Profibus
7
Longueur des données de diagnostic externes
8-36
réservé
37-38 Code d'erreur actuel
0: Aucun défaut
1-999: Défaut de l'appareil*
1001-1999: Avertissement de l'appareil 1-999*
2000: Module inconnu
3xxx : Données de paramétrage erronées selon
le numéro d'erreur du canal de paramètres**
39-69 État interne
*Défauts de l'appareil et avertissements fixés dans la commande électronique d'entraînement (regardez à la p. 34, chap. 9.3) .
** voir PPO1
13
Raccord « remote »
6
Raccord « remote »
9
1
18
10
26
19
Une commande à distance est possible via le raccord Sub-D 26 pôles portant la désignation « remote » sur la commande électronique d'entraînement. Les fonctions individuelles utilisables sont représentées par le « niveau API ».
 Utilisez des connecteurs et câbles blindés.
AVIS
Risque de détruire l'appareil d'entraînement.
La déconnexion des raccords enfichables « remote » lorsque la tension d'alimentation
est activée peut entraîner la destruction de la commande électronique d'entraînement.
 Avant de débrancher le connecteur de raccordement « remote », coupez impérativement l'alimentation en tension.
 Désactiver l'unité de courant.
Les indications suivantes représentent les configurations d’usine. Ils peuvent être
configurés par le jeu de paramètre Pfeiffer Vacuum.
6.1
Affectation des connecteurs
Broche Fonction
Déscription configuration d’usine
1
2
3
4
5
6
7
Tension de référence pour toutes les entrées/sorties numériques
Autorisation de la remise à l'air, ouverte: off ; V+: on
Moteur d'entraînement, ouvert: off ; V+: on
ouvert: off ; V+: on et acquittement de dérangement
Vitesse de rotation en mode Stand-by ; ouverte: off ; V+: on
Chauffage, ouvert: off ; V+: on
Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable, 2-10 V
CC correspond à 20-100% de la vitesse nominale
Point de commutation de la vitesse de rotation atteint;
GND: non ; V+: oui (Imax = 50 mA/24 V)
GND: Erreur ; V+: aucune erreur (Imax = 50 mA/24 V)
Purge de gaz neutre, ouvert: off ; V+: on
Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable ; GND
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
14
Sortie +24 V CC* (V+)
DI1
Pompe à moteur DI
Groupe de pompage DI
Standby DI
DI2
AI+ mode d'exploitation à
régime variable
DO1
DO2
DI3
AI- mode d'exploitation à
régime variable GND
AO1
Vitesse réelle ; 0-10 V CC correspond à 0-100% ; RL > 10 kΩ
Acquittement de dérange- Acquittement de dérangement: Impulsion V+ (min. 500 ms)
ment DI
Priorité mode distant DI
Utilisation via interface « remote » ; ouverte: off ; V+: en service et
prioritaire sur les autres entrées numériques
Relais 1
Liaison avec la broche 16, lorsque le relais 1 est inactif
Relais 1
Point de commutation de la vitesse de rotation atteint ; contact de
relais 1 (Umax = 50 V CC, Imax = 1 A)
Relais 1
Liaison avec la broche 16, lorsque le relais 1 est actif
Relais 2
Liaison avec la broche 19, lorsque le relais 2 est inactif
Relais 2
Aucune erreur; contact de relais 2 (Umax = 50 V CC, Imax = 1 A)
Relais 2
Liaison avec la broche 19, lorsque le relais 2 est actif
Relais 3
Liaison avec la broche 22, lorsque le relais 3 est inactif
Relais 3
Avertissement; contact de relais 3 (Umax = 50 V CC, Imax = 1 A)
DO Priorité à la télécom- GND: off ; V+: Priorité à la télécommande active
mande
RS-485 D+
D’après la spécification et le protocole Pfeiffer Vacuum
RS-485 DD’après la spécification et le protocole Pfeiffer Vacuum
Masse (GND*)
Masse de référence pour toutes les entrées numériques et toutes
les sorties
Raccord « remote »
6.2
Utilisation avec la connexion « remote »
AVIS
Usure importante et dégâts dus à une mauvaise utilisation
Les paliers magnétiques actifs nécessitent une alimentation électrique constante. En
cas de coupure de courant, le moteur se transforme en générateur et alimente la commande électronique d'entraînement. En dessous d'une vitesse de rotation d'environ
6500 1 /min, l'énergie cinétique du rotor ne suffit plus pour alimenter les paliers magnétiques. La commande électronique d'entraînement s'arrête complètement. Le ralentissement progressif du rotor est perceptible au niveau des paliers de secours.
 N'arrêtez pas la pompe en coupant l'alimentation secteur.
Sortie +24 V CC*/
broche 1
Les entrées 2 - 6, ainsi que les raccords aux broches 10, 13, 14, s'activent lorsqu'on les
relie avec du +24 V CC à la broche 1 (active high). À titre d'alternative, la commande
peut s'effectuer via un API externe. Les fonctions sont activées par « Niveau API High »
et désactivées par « Niveau API Low ».
● Niveau API High : +13 V à +33 V
● Niveau API Low : -33 V à +7 V
● Ri: 7 kΩ
● Imax < 210 mA (avec RS-485, si disponible)
Entrées
Les entrées numériques sur le raccord « remote » servent à la commutation de différentes fonctions de la commande électronique d'entraînement. Les entrées DI1 - DI2
sont affectées de fonctions dès le départ usine. Celles-ci sont configurables via l'interface RS-485 et le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum.
DI1 (Autorisation de la remise à l'air) / broche 2
V+ : Autoriser la remise à l'air (remise à l'air selon mode de remise à l'air)
ouvert : Remise à l'air bloquée (pas de remise à l'air)
DI Pompe à moteur / broche 3
Lorsque la broche 4 (groupe de pompage) est activée et que le contrôle automatique
s'est terminé avec succès, la pompe turbomoléculaire est mis en service. Pendant le service, il est possible d'éteindre et de rallumer la pompe turbomoléculaire si le groupe de
pompage est demeuré sous tension. Ce faisant, la pompe turbomoléculaire n'est pas remise à l'air.
V+ : Moteur de la pompe turbomoléculaire allumé
ouvert : Moteur de la pompe turbomoléculaire éteint
DI groupe de pompage / broche 4
Les composants du groupe de pompage raccordés sont commandés (p. ex. pompe primaire, vanne de remise à l'air, refroidissement à l'air) et en cas d'activation simultanée
de la broche 3 (moteur), la pompe turbomoléculaire est mise en service. Les messages
d'erreur présents le cas échéant sont acquittés une fois la cause éliminée.
V+ : Acquittement de dérangement et groupe de pompage on
ouvert : Groupe de pompage arrêt
DI Standby / broche 5
Le mode Standby est le mode de la pompe turbomoléculaire avec une vitesse de rotation
prédéfinie du rotor < vitesse nominale. Le réglage usine et l'exploitation recommandée
représentent 66,7 % de la vitesse nominale.
V+ : Standby activé
ouvert : Standby off, fonctionnement à la vitesse nominale
15
Raccord « remote »
DI2 (chauffage) / broche 6
V+ :
Chauffage en marche
ouvert : Chauffage éteint
DI3 (purge de gaz neutre) / broche 10
V+ :
Vanne de la purge de gaz neutre est ouvert
ouvert : Vanne de la purge de gaz neutre est fermée
DI Acquittement de dérangement / broche 13
V+ : Acquittez les messages d'erreur présents une fois la cause éliminée par une impulsion d'une durée de 500 ms.
ouvert : Inactif
Priorité mode distant DI / broche 14
V+ : Le raccord « remote » a priorité de commande sur toutes les autres entrées numériques.
ouvert : Priorité mode distant inactif
AI Mode d'exploitation à régime variable / broche 7 et broche 11
L'entrée analogique sert à la valeur prédéfinie de vitesse de la pompe turbomoléculaire.
Un signal d'entrée de 2 à 10 V entre AI+ (broche 7) et GND (broche 11) correspond à
l'une des vitesse dans une plage de 20 à 100% de la vitesse nominale. En cas d'entrée
ouverte ou de signaux inférieurs à 2 V, la pompe est accélérée jusqu'à sa vitesse nominale.
f(%)
100
20
2
Sorties
10 U(V)
Les sorties numériques sur le raccord « remote » tolèrent une charge maximale de 24 V
/ 50 mA par sortie. Toutes les sorties sont configurables par le jeu de paramètres Pfeiffer
Vacuum via l'interface RS-485 (déscription relatif à la configuration par défaut).
DO1 (point de commutation de la vitesse de rotation atteint) / broche 8
Active high après avoir atteint le point de commutation de la vitesse. Le point de commutation de la vitesse 1 est réglé en usine à 80% de la vitesse nominale. Il peut être utilisé par ex. pour un message « Pompe prête à fonctionner ».
DO2 (aucun défaut) / broche 9
Lorsque l'alimentation en tension est établie, la sortie numérique DO2 émet durablement
24 V CC, ce qui signifie « aucun défaut ». Active low en cas de défaut (message de défaut groupé).
DO Priorité à la télécommande active / broche 23
Active high : Le raccord « remote » a la priorité sur tous les autres appareils de commande (p.ex. RS-485) raccordés le cas échéant. En mode active low le raccord « remote
» est ignoré.
AO1 sortie analogique 0-10 V CC / broche 12
La sortie analogique permet de piquer une tension proportionnelle à la vitesse (0-10 V
CC correspondant à 0 - 100% x fnominale) (charge R ≥ 10 kΩ). A la sortie analogique et
via DCU, HPU ou un PC, il est possible d'attribuer des fonctions supplémentaires (intensité/puissance au choix).
16
Raccord « remote »
Contacts à relais (inversible)
Relais 1 / broche 15, broche 16 et broche 17
Le contact entre la broche 16 et la broche 15 est fermé, lorsque le point de commutation
de la vitesse de rotation est dépassé; Le relais 1 est inactif. Le contact entre la broche 16
et la broche 17 est fermé, lorsque le point de commutation de la vitesse de rotation est
atteint; Le relais 1 est actif.
Relais 2 / broche 18, broche 19 et broche 20
Le contact entre la broche 19 et la broche 18 est fermé en cas d'erreur existante; Le relais 2 est inactif. Le contact entre la broche 19 et la broche 20 est fermé en cas de fonctionnement sans défaut; Le relais 2 est actif.
Relais 3 / broche 21 et broche 22
Le contact entre la broche 21 et la broche 22 est fermé en cas d'avertissements inactifs;
Le relais 3 est inactif. Le contact entre la broche 21 et la broche 22 est ouvert en cas de
message d'avertissement existant; Le relais 3 est actif.
RS-485
Via la broche 24 et la broche 25 sur le raccord « remote » de la commande électronique
d'entraînement, il est possible de relier respectivement un appareil d'affichage et de
commande Pfeiffer Vacuum (DCU ou HPU) ou un PC externe.
ATTENTION
Risque d'électrocution
Les mesures d'isolation du système de bus n'ont été conçues que pour l'emploi de
basses tensions de sécurité.
 Au système de bus, ne raccordez que des appareils appropriés.
● L'adresse de groupe de la commande électronique d'entraînement est 964.
● Tous les appareils connectés au bus doivent avoir des adresses d'interface RS-485
différentes [P:797].
 Les liaisons devront être établies conformément aux caractéristiques techniques de
l'interface RS-485.
 Raccordez tous les appareils au bus à l'aide de RS-485 D+ et RS-485 D-.
Désignation
Valeur
Interface série
Vitesse de transmission
Longueur d'un mot de données
Parité
Bits de départ
Bits d'arrêt
RS-485
9600 bauds
8 bits
aucune (no parity)
1
1..2
Raccorder les appareils d’affichage et de commande ou un PC
 Sur l'interface RS-485, il est possible de raccorder respectivement un appareil de
commande externe.
 Le raccordement d'une interface USB (PC) est possible via le convertisseur USB/RS485.
17
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.1
Généralités
Toutes les grandeurs physiques intéressant le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire sont fixées dans la commande électronique d'entraînement sous forme de paramètres. Chaque paramètre possède un numéro de trois chiffres et une désignation. Les
paramètres peuvent être utilisés, via les appareils d'affichage et de commande Pfeiffer
Vacuum ou via RS-485, avec le protocole Pfeiffer Vacuum.
Profibus et paramètres Pfeiffer Vacuum
Tous les paramètres Pfeiffer Vacuum du type de données 0, 1, 2 et 7 peuvent être utilisés pour le canal de paramètres (PPO1) et les données de paramétrage.
 Éviter tout conflit avec les fonctions déjà disponibles dans les modules.
Les paramètres sont imprimés en gras sous forme de numéros à trois chiffres entre crochets. Le cas échéant, la désignation est indiquée en plus.
Conventions
Exemple: [P:312] Version logicielle
7.2
Vue d'ensemble des paramètres
Explication
#
Affichage
Désignation
Fonctions
Type de données
Type d'accès
Unité
min / max
default

Numéro à trois chiffres du paramètre
Affichage à l'écran de la désignation du paramètre
* signifie le cas échéant une représentation sous forme de symbole
Brève description du paramètre
Description fonctionnelle du paramètre
Type de formatage du paramètre pour l'utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
R : accès en lecture, W : accès en écriture
Unité physique de la caractéristique décrite
Valeurs limites autorisées pour la saisie d'une valeur
Préréglage en usine (en partie spécifique à la pompe)
Le paramètre ne peut pas être enregistré de manière volatile dans la commande électronique d'entraînement et peut être utilisé après réenclenchement de l'alimentation
électrique.
Utilisation avec DCU
Le jeu de paramètres et l'appareil d'affichage et de commande de Pfeiffer Vacuum
Les appareils d'affichage et de commande de Pfeiffer Vacuum DCU affichent un jeu de
paramètres de base en usine. En outre, le DCU contient les paramètres, qu’ils ne sont
pas inscrit dans la commande électronique d’entraînement.
Affichage
340 Pressure
350 Ctr Name
Désignation
738 Gaugetype
794 Param set
Valeur réelle de pression (ActiveLine)
Modèle de l’appareil d’affichage et de commande
Version logicielle de l’appareil de commande
et d’affichage
Type de jauge de pression
Jeu paramètres
795 Servicelin
Insérer la ligne de service
351 Ctr Software
18
Fonctions
0 = Jeu de paramètres de base
1 = Jeu de paramètres avancé
Type
d’accès
#
Type de
données
 Paramètre [P:794] = 1 (Affichage des toutes paramètres disponibles).
Unité
7
4
R
R
hPa
4
R
4
7
RW
RW
7
RW
min
1E-10 1E3
0
maxi
1
default 
0
795
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Affichage
918
947
967
968
Désignation
Fonctions
Adresse de l'appareil Profibus
Numéro d'erreur
Mot de commande
Mot d'état
Type
d’accès
#
Type de
données
Uniquement pour
Profibus
1
1
1
1
R
R
R
R
Unité
min maxi
1
0
0
0
default 
125
65535
65535
65535
#
Affichage
Désignation
001 Heating
Chauffage
002 Standby
Standby
004 RUTimeCtrl
Surveillance du temps d'accélération
009 ErrorAckn
010 PumpgStatn
Acquittement de dérangement
Groupe de pompage
012 EnableVent
Autorisation de remise à l'air
013 Brake
Frein
017 CfgSpdSwPt
Configuration point de commutation de la vitesse de rotation
019 Cfg DO2
Configuration sortie DO2
023 MotorPump
Pompe avec moteur
024 Cfg DO1
Configuration sortie DO1
025 OpMode BKP
Mode d'exploitation pompe primaire
026 SpdSetMode
Mode réglage de la vitesse
027 GasMode
Mode gaz
028 Cfg Remote
Configuration raccord remote
030 VentMode
Mode de remise à l'air
Fonctions
Type de
données
Type
d’accès
Ordres de réglage
Unité
min maxi
default 
0 = off
0
1 = on
0 = off
0
1 = on
0 = off
0
1 = on
1 = acquittement de dérangement 0
0 = off
0
1 = on et acquittement de dérangement
0 = non
0
1 = oui
0 = off
0
1 = on
0 = point de commutation de la vi- 7
tesse de rotation 1
1 = point de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2
0 = point de commutation de la vi- 7
tesse de rotation atteint
1 = aucun défaut
2 = défaut
3 = avertissement
4 = défaut et/ou avertissement
5 = vitesse de rotation théorique atteinte
6 = pompe on
7 = pompe accélère
8 = pompe retardée
9 = toujours 0
10 = toujours 1
11 = priorité mode distant active
12 = chauffage
13 = pompe primaire
14 = purge de gaz neutre
15 = groupe de pompage
16 = pompe tourne
17 = pompe ne tourne pas
19 = valeur descendue sous le point
de commutation de la pression 1
20 = valeur descendue sous le point
de commutation de la pression 2
0 = off
0
1 = on
Options, voir [P:019]
7
RW
0
1
0
x
RW
0
1
0
x
RW
0
1
1
x
W
RW
1
0
1
1
0
x
RW
0
1
0
x
RW
0
1
1
x
RW
0
1
0
x
RW
0
20
1
x
RW
0
1
1
x
RW
0
20
0
x
7
RW
0
2
0
x
7
RW
0
1
0
x
7
RW
0
2
0
x
7
RW
0
4
0
x
7
RW
0
2
2
x
0 = fonctionnement permanent
1 = mode intermittent
2 = enclenchement retardé
0 = off
1 = on
0 = gaz lourds
1 = gaz légers
2 = hélium
0 = standard
4 = Relais inversé
0 = remise à l'air retardée
1 = pas de remise à l'air
2 = remise à l'air directe
19
#
Affichage
Désignation
035 Cfg Acc A1
Configuration raccord accessoires A1
036 Cfg Acc B1
Fonctions
Type de
données
Type
d’accès
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Unité
min maxi
default 
RW
0
8
0
x
Configuration raccord accessoires B1
0 = ventilateur (fonctionnement per- 7
manent)
1 = vanne de remise à l'air, fermé
sans courant
2 = chauffage
3 = pompe primaire
4 = ventilateur (à température contrôlée)
5 = purge de gaz neutre
6 = toujours 0
7 = toujours 1
8 = vanne de remise à l'air en cas de
panne de courant
Options, voir [P:035]
7
RW
0
8
1
x
037 Cfg Acc A2
Configuration raccord accessoires A2
Options, voir [P:035]
7
RW
0
8
3
x
038 Cfg Acc B2
Configuration raccord accessoires B2
Options, voir [P:035]
7
RW
0
8
2
x
041 Press1HVen
Activation du capteur de vide élevé intégrée
(IKT uniquement)
RW
0
3
2
x
045 Cfg Rel R1
Configuration relais 1
0 = arrêt
7
1 = marche
2 = marche, lorsque le point de commutation de la vitesse de rotation est
atteint
3 = marche, lorsque la valeur est
descendue sous le point de commutation de la pression
Options, voir [P:019]
7
RW
0
20
0
x
046 Cfg Rel R2
Configuration relais 2
Options, voir [P:019]
7
RW
0
20
1
x
047 Cfg Rel R3
Configuration relais 3
Options, voir [P:019]
7
RW
0
20
3
x
050 SealingGas
Purge de gaz neutre
RW
0
1
0
x
055 Cfg AO1
Configuration sortie AO1
RW
0
7
0
x
057 Cfg AI1
Configuration entrée AI1
RW
0
1
0
x
060 CtrlViaInt
Commande via interface
RW
1
255
1
x
061 IntSelLckd
Sélection d'interfaces verrouillée
RW
0
1
0
x
062 Cfg DI1
Configuration entrée DI1
0 = off
0
1 = on
7
0 = vitesse réelle
1 = puissance
2 = intensité
3 = toujours 0 V
4 = toujours 10 V
5 = suit AI1
6 = valeur de pression 1
7 = valeur de pression 2
0 = éteinte
7
1 = valeur prédéfinie en mode d'exploitation à régime variable
7
1 = mode distant
2 = RS-485
4 = PV.can
8 = bus de terrain
16 = E74
255 = Déverrouiller la sélection d'interfaces
0 = off
0
1 = on
Réglage ≠ [P:063/064]
7
RW
0
7
1
x
RW
0
7
2
x
RW
0
7
3
x
063 Cfg DI2
Configuration entrée DI2
064 Cfg DI3
Configuration entrée DI3
20
0 = désactivé
1 = autorisation de remise à l'air
2 = chauffage
3 = purge de gaz neutre
4 = surveillance du temps d'accélération
5 = mode d'exploitation à régime variable
7 = activation du capteur de vide élevé
Options, voir [P:062]
7
Réglage ≠ [P:062/064]
Options, voir [P:062]
Réglage ≠ [P:062/063]
7
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
#
Affichage
Désignation
300
RemotePrio
Priorité à la télécommande
302
SpdSwPtAtt
303
304
Error code
OvTempElec
305
OvTempPump
Point de commutation de la vitesse de rotation atteint
Code défaut
Surchauffe commande électronique d'entraînement
Température excessive de la pompe
306
SetSpdAtt
Vitesse de consigne atteinte
307
PumpAccel
Pompe accélère
308
309
310
311
312
SetRotSpd
ActualSpd
DrvCurrent
OpHrsPump
Fw version
313
314
DrvVoltage
OpHrsElec
315
316
319
324
326
329
330
336
342
346
349
Nominal Spd
DrvPower
PumpCycles
TempPwrStg
TempElec
BearngWear
TempPmpBot
AccelDecel
TempBearng
TempMotor
ElecName
354
HW Version
358
360
361
362
363
364
365
366
367
368
369
397
398
399
RotorImbal
ErrHist1
ErrHist2
ErrHist3
ErrHist4
ErrHist5
ErrHist6
ErrHist7
ErrHist8
ErrHist9
ErrHist10
SetRotSpd
ActualSpd
NominalSpd
Vitesse de consigne (Hz)
Vitesse réelle (Hz)
Courant d'entraînement
Heures de fonctionnement pompe
Version logicielle de la commande électronique d'entraînement
Tension d'entraînement
Heures de fonctionnement commande électronique d'entraînement
Vitesse nominale (Hz)
Puissance d'entraînement
Cycles de pompe
Amplificateur température
Commande électronique température
Degré d'usure des paliers de sécurité
Température partie inférieure de pompe
Accélération / temporisation
Température palier
Température moteur
Désignation commande électronique d'entraînement
Version matérielle commande électronique
d'entraînement
Balourd du rotor
Historique code erreur, emplacement 1
Historique code erreur, emplacement 2
Historique code erreur, emplacement 3
Historique code erreur, emplacement 4
Historique code erreur, emplacement 5
Historique code erreur, emplacement 6
Historique code erreur, emplacement 7
Historique code erreur, emplacement 8
Historique code erreur, emplacement 9
Historique code erreur, emplacement 10
Vitesse de consigne (1/min)
Vitesse réelle (1/min)
Vitesse nominale (1/min)
Fonctions
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
0 = non
1 = oui
Type de
données
Type
d’accès
Demandes d'état
Unité
min maxi
default 
0
R
0
1
0
R
0
1
4
0
R
R
0
1
0
R
0
1
0
R
0
1
0
R
0
1
1
1
2
1
4
R
R
R
R
R
Hz
Hz
A
h
0
0
0
0
999999
999999
9999.99
65535
x
2
1
R
R
V
h
0
0
9999.99
65535
x
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
4
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
Hz
W
°C
°C
%
°C
rpm/s
°C
°C
0
0
0
0
0
0
0
0
0
0
999999
999999
65535
999999
999999
150
999999
999999
999999
999999
4
R
1
4
4
4
4
4
4
4
4
4
4
1
1
1
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
R
%
0
150
x
x
x
x
x
x
x
x
x
x
x
rpm
rpm
rpm
0
0
0
999999
999999
999999
min maxi
default 
#
Affichage
Désignation
Type de
données
Type
d’accès
Valeurs de consigne
prédéfinies
Unité
700
701
RUTimeSVal
SpdSwPt1
1
1
RW
RW
min
%
1
50
120
97
8
80
x
x
707
SpdSVal
2
RW
%
20
100
65
x
708
PwrSVal
Valeur de consigne temps d'accélération
Point de commutation de vitesse de rotation
1
Valeur prédéfinie en mode d'exploitation à
régime variable
Valeur prédéfinie puissance absorbée
7
RW
%
10
100
Swoff BKP
1
RW
W
0
1000
711
SwOn BKP
1
RW
W
0
1000
0
x
717
719
StdbySVal
SpdSwPt2
2
1
RW
RW
%
%
20
5
100
97
66.7
20
x
x
720
VentSpd
Seuil d'interruption pompe primaire en mode
intermittent
Seuil d'allumage pompe primaire en mode
intermittent
Valeur prédéfinie vitesse en mode Standby
Point de commutation de vitesse de rotation
2
Vitesse de remise à l'air remise à l'air retardée
1001
0
x
710
7
RW
%
40
98
50
x
Fonctions
x
21
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Affichage
Désignation
Fonctions
721
VentTime
730
732
739
740
742
749
750
752
777
797
PrsSwPt 1
PrsSwPt 2
PrsSn1Name
Pressure 1
PrsCorrPi 1
PrsSn2Name
Pressure 2
PrsCorrPi 2
NomSpdConf
RS485Adr
Temps de remise à l'air remise à l'air retardée
Point de commutation de la pression 1
Point de commutation de la pression 2
Nom du capteur 1
Valeur de pression 1
Facteur de correction 1
Nom du capteur 2
Valeur de pression 2
Facteur de correction 2
Confirmation vitesse nominale
Adresse d'appareil RS-485
1. en fonction du type de pompe
7.3
min maxi
default 
6
3600
Type de
données
Type
d’accès
#
Unité
1
RW
s
10
10
4
10
2
4
10
2
1
1
RW
RW
R
RW
RW
R
RW
RW
RW
RW
hPa
hPa
x
x
hPa
x
x
hPa
x
x
x
x
Hz
0
1
3600
1500
255
0
1
x
Configurer raccords
La commande électronique est préconfigurée en usine. Ainsi, la pompe turbomoléculaire
est immédiatement prête à fonctionner avec les fonctions les plus nécessaires. En cas
d'exigences individuelles, la plupart des raccords de la commande électronique d'entraînement peuvent être configurés avec le jeu de paramètres.
Raccordement accessoires
 Configuration via paramètre [P:035], [P:036], [P:037] ou [P:038].
Option
Description
0 = ventilateur (fonctionnement permanent)
1 = vanne de remise à l'air, fermée
sans courant
2 = chauffage
Commande via paramètre groupe de pompage
Commande via paramètre autorisation de remise à l'air. En utilisant une vanne de remise à l’air fermée sans courant
Commande via paramètres chauffage et point de commutation de
la vitesse de rotation atteint
3 = pompe primaire
Commande via paramètres groupe de pompage et mode d'exploitation pompe primaire
4 = ventilateur (à température
Commande via paramètres groupe de pompage et valeurs seuils
contrôlée)
de température
5 = purge de gaz neutre
Commande via paramètres groupe de pompage et purge de gaz
neutre
6 = toujours 0
GND pour la commande d'un appareil externe
7 = toujours 1
+24 V CC pour la commande d'un appareil externe
8 = vanne de remise à l'air en cas de Commande via paramètre autorisation de remise à l'air. En utilipanne de courant
sant une vanne de remise à l’air en cas de panne de courant
Sorties numérique et
relais au niveau de
« remote »
 Configuration via paramètre [P:019] et [P:024], ou [P:045], [P:046], [P:047] et
[P:028].
● Dans la description « actif » signifié :
– Pour tous les sorties numériques : V+ active high
– Pour tous les relais : Changement de contact conformement à réglage [P:028]
Option
Description
0 = point de commutation de la vitesse
de rotation atteint
1 = aucun défaut
2 = défaut
3 = avertissement
4 = défaut et/ou avertissement
5 = vitesse de rotation de consigne atteinte
6 = pompe en marche
actif lorsque le point de commutation est atteint
7 = pompe en accélération
22
actif en cas de fonctionnement sans défaut
actif lorsqu'un message d'erreur est actif
actif lorsqu'un message d'avertissement est actif
actif lorsqu'un défaut et/ou avertissement est actif
actif lorsque le point de commutation de la vitesse de rotation
de consigne est atteint
actif lorsque le groupe de pompage est en marche, moteur en
marche et aucun défaut
actif lorsque le groupe de pompage est en marche, vitesse de
rotation réelle < vitesse de rotation de consigne
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Option
Description
8 = pompe en décélération
actif lorsque le groupe de pompage est en marche, vitesse de
rotation réelle > vitesse de rotation de consigne
Groupe de pompage arrêté, vitesse de rotation > 3 Hz
9 = toujours 0
Masse pour la commande d'un appareil externe
10 = toujours 1
+24 V CC pour la commande d'un appareil externe
11 = priorité à la commande à distance actif lorsque la priorité à la commande à distance est active
active
12 = chauffage
Commande correspondant au paramètre [P:001]
13 = pompe primaire
Commande correspondant au paramètre [P:010] et [P:025]
14 = purge de gaz neutre
Commande correspondant au paramètre [P:050]
15 = groupe de pompage
Commande correspondant au paramètre [P:010]
16 = pompe en rotation
actif lorsque vitesse de rotation > 1 Hz
17 = pompe à l'arrêt
actif lorsque vitesse de rotation < 2 Hz
18 = TMS stabilisé*
actif lorsque la température de consigne de TMS est stabilisée
19 = valeur descendue sous le point de Commande correspondant au paramètre [P:730] ([P:740] <
commutation de la pression 1
[P:730])
20 = valeur descendue sous le point de Commande correspondant au paramètre [P:732] ([P:750] <
commutation de la pression 2
[P:732])
* Uniquement en cas d'utilisation de pompes avec système de gestion de la température TMS
23
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Sorties numériques
sur « remote »
 Configuration via paramètre [P:062], [P:063] ou [P:064].
Option
Description
0 = désactivé
Raccord hors service
1 = autorisation de remise à l'air
Commande correspondant au paramètre [P:012]
2 = chauffage
Commande correspondant au paramètre [P:001]
3 = purge de gaz neutre
Commande correspondant au paramètre [P:050]
4 = surveillance du temps d'accéléra- Commande correspondant au paramètre [P:004]
tion
5 = mode d'exploitation à régime va- Commande correspondant au paramètre [P:026]
riable
7 = activation du capteur de vide éle- Commande correspondant au paramètre [P:041] (uniquement 0
vé
ou 1)
Sortie analogique sur
« remote »
 Configuration via paramètre [P:055].
Option
Description
0 = vitesse de rotation
1 = puissance
2 = intensité
3 = toujours 0 V
4 = toujours 10 V
5 = suit AI1
6 = valeur de pression 1
Signal de vitesse de rotation ; 0 à 10 V CC = 0 à 100 % x fnominale
Signal de puissance ; 0 à 10 V CC = 0 à 100 % x Pmax
Signal d'intensité ; 0 à 10 V CC = 0 à 100 % x Imax
toujours masse
Valeur prédéfinie de 10 V CC durable
suit l'entrée analogique 1
Signal de valeur de pression ;
0 V : défaut
1 V : sous-passement
1,5 à 8,5 V : p (hPa) = 10(U-5,5 V)
9 V : dépassement
7 = valeur de pression 2
Entrée analogique
sur « remote »
 Configuration via paramètre [P:057].
Option
Description
0 = éteinte
Raccord hors service
1 = valeur prédéfinie en mode d'exploi- Mode d'exploitation à régime variable via broche 7 (0 - 10 V) et
tation à régime variable
broche 11 (GND)
Commande via interface
7.4
 Configuration via paramètres [P:060] et [P:061].
Option [P:060]
Description
1 = mode distant
2 = RS-485
4 = PV.can
8 = bus de terrain
16 = E74
Commande via raccord « remote »
Commande via raccord « RS-485 »
Uniquement à des fins de maintenance
Commande via bus de terrain
Commande via raccord « E74 »
Option [P:061]
Description
0 = off
1 = on
Sélection d'interfaces via [P:060] réglable
Sélection d'interfaces verrouillée
Travail avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Réglages en usine
La commande électronique d'entraînement est préprogrammée en usine. Ainsi, le fonctionnement parfait et sécurisé de la pompe turbomoléculaire sans configuration supplémentaire est garantit.
Vérifier réglages
 Avant le fonctionnement avec les paramètres valeurs de consigne prédéfinies et
ordres de réglage, vérifiez s'ils sont adaptés au procédé de pompage.
24
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
 Retirer le cas échéant le connecteur de commande à distance de la commande électronique d'entraînement.
Exploitation en fonction du type de gaz
En présence d'une charge de gaz et d'une vitesse de rotation élevée, le rotor est fortement échauffé par le frottement. Pour éviter toute surchauffe, des courbes caractéristique de régime et de puissance ont été implémentée dans la commande électronique.
Elle permet d'exploiter la pompe à chaque vitesse de rotation avec la charge de gaz
maximale autorisée, sans risque d'endommagement. La puissance absorbée maximale
dépend du type de gaz. Pour exploiter pleinement la capacité de puissance de la pompe
pour chaque type de gaz, trois paramètres de courbe sont disponibles.
AVIS
Risque de détruire la pompe
En cas de mauvais mode Gaz sélectionné, le pompage des gaz avec masses moléculaires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe.
 Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé.
 Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80),
contactez Pfeiffer Vacuum.
● Mode Gaz « 0 » pour les gaz présentant une masse molaire >39 , par ex. l'Argon.
● Mode Gaz « 1 » pour les gaz présentant une masse molaire ≤ 39.
● Mode Gaz « 2 » pour hélium.
● Courbes de puissance conformément aux caractéristiques techniques de la pompe
turbomoléculaire.
 Vérifiez et réglez mode gaz [P:027].
Pmax
B
F
Accélération
D
[P:708]
Puissance
E
A
C-D = Mode gaz "0"
A-B = Mode gaz "1"
E-F = Mode gaz "2"
Vitesse
Fig. 4:
C
fN
Principe des courbes de puissance en exploitation en fonction du type de gaz ; ex. Mode
gaz = 0
La pompe turbomoléculaire s'active avec une puissance absorbée maximale. Lorsque la
vitesse nominale ou de consigne est atteinte, une commutation automatique sur la
courbe de puissance du mode gaz sélectionné s'effectue. Une charge de gaz croissante
est tout d'abord compensée par une augmentation de la puissance absorbée, afin de
maintenir la vitesse constante. Toutefois, une friction de gaz croissante résulte en un
échauffement plus important de la pompe turbomoléculaire. En cas de dépassement de
la puissance maximale en fonction du type de gaz, la vitesse de la pompe turbomoléculaire diminue jusqu'à ce qu'un équilibre s'établisse entre la puissance admissible et la
friction du gaz.
 Pour éviter des variations de vitesse, Pfeiffer Vacuum recommande une fréquence légèrement inférieure en mode Réglage de la vitesse.
Valeur prédéfinie
puissance absorbée
 Régler le paramètre [P:708] sur la valeur souhaitée en %.
25
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
En cas de réglage de la valeur prédéfinie de puissance absorbée en dessous de 100 %,
le temps d'accélération se prolonge. Afin d'éviter des messages d'erreur, le paramètre
[P:700] RUTimeSVal doit être adapté de manière adéquate.
Temps d'accélération
Le temps d'accélération de la pompe turbomoléculaire est surveillé au niveau du temps
en usine. Des temps d'accélération prolongés peuvent indiquer diverses causes, p. ex.:
● Des charges de gaz trop élevées
● Fuites dans le système
● Valeur de consigne temps d'accélération trop basse
 Le cas échéant, éliminez les causes externes et conditionnées par les applications.
 Avec le paramètre [P:700], adaptez le temps d'accélération.
Réglez le point de
commutation de la vitesse de rotation
Le point de commutation de la vitesse de rotation peut être utilisé pour le message «
Pompe prête à fonctionner pour le processus ». Le dépassement ou le franchissement
par défaut du point actif de commutation de la vitesse de rotation active ou désactive un
signal au niveau de la sortie préconfigurée de la commande électronique d'entraînement
et le paramètre de statut [P:302].
Point de commutation de vitesse de rotation 1
 Régler le paramètre [P:701] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:017] = 0
L'émission de signaux et le paramètre de statut [P:302] s'orientent sur la valeur réglée
pour le point de commutation de la vitesse de rotation 1 [P:701].
f(%)
[P:017] = 0
[P:701]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 5:
1
t
0
1
0
t
Process
Exemple pour Configuration du point de commutation de la vitesse de rotation 1 active
Point de commutation de la vitesse de rotation 1 & 2
 Régler le paramètre [P:701] sur la valeur souhaitée en %.
 Régler le paramètre [P:719] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:017] = 1
Lorsque le groupe de pompage [P:010] est enclenché, le point de commutation de la vitesse de rotation 1 fait office d'émetteur de signaux. Lorsque le groupe de pompage est
éteint, l'émission de signaux et les demandes d'état s'orientent sur le point de commutation de la vitesse de rotation 2. L'émission de signaux est soumise à l'hystérésis entre
les deux points de commutation.
26
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
f(%)
[P:017] = 1
[P:701]
[P:719]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 6:
1
t
0
1
0
t
Process
Exemple pour Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 1+2 active ;
[P:701] > [P:719]
f(%)
[P:017] = 1
[P:719]
[P:701]
t
[P:010]
[P:302]
Fig. 7:
Mode Réglage de la
vitesse
1
t
0
1
0
t
Process
Exemple pour Configuration point de commutation de la vitesse de rotation 1+2 active ;
[P:701] < [P:719]
Le mode d'exploitation à régime variable sert à la réduction de la vitesse et par conséquent de la puissance d'aspiration de la pompe turbomoléculaire. La capacité d'aspiration de la pompe turbomoléculaire varie proportionnellement à la vitesse. En Mode d'exploitation à régime variable, le mode Standby est inopérant. La vitesse de consigne est
réglée via la valeur prédéfinie dans le Mode d'exploitation à régime variable [P:707]. Le
point de commutation de la vitesse de rotation varie avec la vitesse de consigne. Le dépassement ou le franchissement par défaut de la valeur prédéfinie dans le Mode d'exploitation à régime variable active ou désactive le signal de statut [P:306] SetSpdAtt.
 Régler le paramètre [P:707] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:026] = 1
 Demande d'état du paramètre [P:308]/[P:397].
Plage de vitesse admissible de la pompe turbomoléculaire
Paramètres dans le mode d’exploitation à regime variable ou en mode Standby sont assignés à la plage de vitesse permis de la pompe turbomoléculaire respectifs. Franchissement de la valeur minimale permis entraîne à l’avertissement Wrn100. La commande électronique d’entraînement règle la vitesse de consigne automatiquement sur
la prochaine valeur valide.
 Observez la plage de vitesse admissible (voir chapitre Caractéristiques techniques
de le manuel de l’utilisateur pour que la pompe turbomoléculaire).
Standby
Pfeiffer Vacuum recommande le mode Standby de la pompe turbomoléculaire lors de
pauses de processus ou d'exploitation. Lorsque le mode Standby est activé, la commande électronique d'entraînement réduit la vitesse de la pompe turbomoléculaire. En
Mode d'exploitation à régime variable, le mode Standby est inopérant. Le réglage en
27
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
usine pour Standby représente 66,7 % de la vitesse nominale. Le dépassement ou le
franchissement par défaut de la valeur prédéfinie dans Standby active ou désactive le
signal de statut [P:306] SetSpdAtt.
 Régler le paramètre [P:717] sur la valeur souhaitée en %.
 Paramètre [P:026] = 0
 Paramètre [P:002] = 1
 Demande d'état du paramètre [P:308]/[P:397].
Valeurs prédéfinies
de vitesse
La vitesse nominale caractéristique d'une pompe turbomoléculaire est réglée en usine
dans la commande électronique d'entraînement. Après un remplacement de la commande électronique d'entraînement, ou un changement pour un autre type de pompe, il
faut valider la valeur de consigne prédéfinie de la vitesse nominale. Cette procédure fait
partie intégrante du système de sécurité redondant permettant d’éviter les survitesses.
HiPace
Confirmation vitesse nominale [P:777]
300
400 / 700 / 800
1000 Hz
820 Hz
 Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe.
Après avoir atteint la vitesse nominale, la pompe turbomoléculaire fonctionne à vide
sans admission de charges de gaz supplémentaires. En fonction des exigences du procédé ou de l'application, la vitesse nominale peut être réduite en mode d'exploitation à
régime variable ou en mode Standby.
Mode d'exploitation
pompe primaire
L'exploitation d'une pompe primaire raccordée via la commande électronique d'entraînement dépend du type de pompe primaire.
Mode d'exploitation [P:025]
pompe primaire recommandée
« 0 » Fonctionnement permanent
« 1 » Mode intermittent
« 2 » Enclenchement retardé
toutes les pompes primaires
uniquement les pompes à membrane
toutes les pompes primaires
 Régler le paramètre [P:025] sur la valeur souhaitée.
Fonctionnement permanent
La commande électronique d'entraînement envoie, simultanément avec « Groupe de
pompage on », un signal au raccord accessoires configuré pour l'enclenchement de la
pompe primaire. Ce signal peut aussi être utilisé pour la commande d'une vanne de sécurité de vide primaire.
Mode intermittent (uniquement pompes à membrane)
Le mode intermittent peut allonger la durée de vie des membranes d'une pompe à membrane raccordée. Le mode intermittent requiert soit une pompe à membrane à relais
semi-conducteur intégré, soit une boîte à relais interconnectée à un relais semi-conducteur. En fonction de la puissance absorbée, la pompe primaire est enclenchée ou éteinte.
La puissance absorbée permet d'obtenir un rapport pour la pression de vide primaire
fournie. Les seuils d'interruption et d'enclenchement de la pompe primaire sont réglables. Des fluctuations de la puissance absorbée des pompes primaires à vide et différentes pressions de vide primaire des pompes primaires requièrent le réglage individuel du mode intermittent.
Pfeiffer Vacuum recommande le mode intermittent entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et
une vanne de dosage sont requis pour le réglage des seuils de commutation.
 Enclenchez le système sous vide avec la fonction « groupe de pompage » et attendez
le temps d'accélération.
 Créez une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide d'une admission de gaz via
une vanne de dosage.
 Lisez et notez le paramètre [P:316].
28
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
 Réglez le seuil de commutation de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide du paramètre
[P:711].
 Réduisez la pression de vide primaire à 5 hPa.
 Lisez et notez le paramètre [P:316].
 Réglez le seuil d'interruption de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 5 hPa à l'aide du paramètre
[P:710].
Enclenchement temporisé
Un enclenchement simultané de la pompe turbomoléculaire et de la pompe primaire peut
conduire à des flux de gaz indésirables. En fonction des exigences du processus ou de
l'application, la pompe primaire peut être enclenchée avec du retard. Le retard à l'enclenchement dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire et il est fixé à
6 Hz dans la commande électronique d'entraînement.
Le signal peut également être utilisé pour la commutation d'une vanne de sécurité de
vide primaire.
Frein électrique
La pompe turbomoléculaire est équipée d'un frein électrique. Il permet un freinage rapide
du rotor jusqu'à son arrêt complet.
 Recommandation : Désactivez toujours les pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques avec le frein électrique, afin de réduire la décélération du rotor.
 Paramètre [P:013] = 1
Exploitation avec périphérique
Selon la configuration, plusieurs appareils accessoires peuvent être raccordés à la
pompe turbomoléculaire et être commandés via les paramètres de la commande électronique d'entraînement.
Chauffage
 Enclenchez ou éteignez le chauffage à l'aide du paramètre [P:001].
L'activation du chauffage du boîtier raccordé dépend du point de commutation de la vitesse de rotation 1 (réglage en usine 80 % x fNominal).
Ventilateur
Deux options dans la configuration des raccords permettent le fonctionnement permanent ou l'enclenchement et l'interruption à température contrôlée d'un refroidissement à
l'air raccordé (regardez à la p. 22, chap. 7.3) . Les valeurs seuils sont fixées de manière
propre à chaque type dans la commande électronique d'entraînement.
Vanne de la purge de gaz neutre
 Enclenchez ou éteignez une vanne de la purge de gaz neutre via la sortie préconfigurée, à l'aide du paramètre [P:050].
Modes de remise à
l’air
La remise à l'air de la pompe turbomoléculaire est possible après l'interruption de la fonction « Groupe de pompage ». L'émission de signaux au niveau des sorties configurées
s'effectue avec une temporisation fixée à 6 s. Trois modes d'exploitation peuvent être sélectionnés pour l'exploitation avec vanne de remise à l'air raccordée.
 Déclenchez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:012].
 Sélectionnez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:030].
Remise à l'air retardée
Le début et le temps de remise à l'air après « Groupe de pompage off » peuvent être
configurés et dépendent de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire.
29
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
 Paramètre [P:030] = 0
 Réglez la vitesse de remise à l'air en % de la vitesse nominale à l'aide du paramètre
[P:720].
 Réglez la vitesse de remise à l'air en s à l'aide du paramètre [P:721].
En cas de franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air, la vanne de remise
à l'air s'ouvre pour le temps de remise à l'air réglé. En cas de panne secteur, la remise
à l'air s'effectue après franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air réglée.
La durée de remise à l'air dépend dans ce cas de l'énergie disponible fournie par le rotor
en mouvement. Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
Aucune remise à l'air
Aucune remise à l'air n'a lieu dans ce mode d'exploitation.
 Paramètre [P:030] = 1
Remise à l'air directe
Le début et le temps de remise à l'air ne sont pas configurables. La remise à l'air débute
avec une temporisation de 6 s après « Groupe de pompage off ». Lors d'un nouvel enclenchement de la fonction Groupe de pompage, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement. En cas de panne secteur, la remise à l'air s'effectue après franchissement par défaut d'une vitesse de rotation fixe et propre à chaque type. Une fois le courant
revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
 Paramètre [P:030] = 2
Sollicitation des paliers de secours
L'intensité de la sollicitation des paliers de secours agit en fonction de la gravité des frottements parasites sur le rotor en marche. La sollicitation des paliers de secours se résume en % de la sollicitation maximale possible grâce à la commande électronique d'entraînement et peut être observée par l'interface RS-485 grâce à un PC ou un appareil
d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum.
 Réglez la sollicitation actuelle des paliers de sécurité en % à l'aide du paramètre
[P:329].
● Affichage du message d'avertissement correspondant à partir de 75 % de la sollicitation totale.
● Affichage du message d'erreur correspondant à partir de 100 % de la sollicitation totale.
– Le fonctionnement de la pompe n'est plus possible.
– Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
État d'équilibre
L'analyse sensorielle des paliers magnétiques contrôle en permanence l'état d'équilibre
actuel du rotor. L'état d'équilibre calculé en % du balourd maximal possible du rotor est
résumé par la commande électronique d'entraînement et peut être observé par l'interface RS-485 grâce à un PC ou un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum.
 Réglez l'état d'équilibre actuel du rotor en % à l'aide du paramètre [P:358].
● Affichage du message d'avertissement correspondant à partir de 75 % du balourd autorisé.
● Affichage du message d'erreur correspondant à partir de 100 % du balourd autorisé.
– Le fonctionnement de la pompe n'est plus possible.
– Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
Surveillance de la
charge thermique
30
Les signaux émis par les détecteurs de température permettent d'amener la pompe à un
état sûr en cas de franchissement par défaut des valeurs seuils. En fonction du type de
pompe, les valeurs seuils de température pour les avertissements et les messages d'er-
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
reur sont invariablement enregistrées dans la commande électronique d'entraînement .
Différentes demandes d'état sont prévues dans le jeu de paramètres à des fins d'information.
7.5
Mise en marche / mise hors circuit de la pompe
Mise en circuit
La fonction « Groupe de pompage » regroupe l'exploitation de la pompe turbomoléculaire et la commande de tous les appareils accessoires (p. ex. pompe primaire).
 Activez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé contre le bloc d'alimentation.
 Paramètre [P:023] = 1
 Paramètre [P:010] = 1
Les messages d'erreurs existants (et éliminés) ont été acquittés. Après un contrôle automatique réussi avec succès, la commande électronique d'entraînement met en service
le moteur de la pompe turbomoléculaire et tous les appareils accessoires raccordés en
fonction de leur configuration.
En cas de groupe de pompage activé, le moteur de la pompe turbomoléculaire peut être
allumée ou éteinte via la fonction [P:023].
Arrêt
 Paramètre [P:010] = 0
La commande électronique d'entraînement met la pompe turbomoléculaire hors circuit
et active les options d'accessoires préréglées (p. ex. remise à l'air « marche », pompe
primaire « arrêt »).
 Attendez l’arrêt complet de la pompe.
 Déconnectez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé contre le bloc d'alimentation.
31
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 »
8
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 »
8.1
Cadre de télégramme
Le cadre de télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des signes
de code ASCII [32; 127], à l'exception du signe de fin de télégramme CR. En principe, un
maître (p.ex. un PC) envoie  un télégramme, auquel répondre un esclave  (p. ex. la
commande électronique d'entraînement ou jauge).
a2
a1
a2 - a0
*
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
c2
c1
c0
C
R
Adresse d'appareil esclave 
– Adresse unique de l'appareil [« 001 » ; « 255 »]
– Adresse de groupe « 9xx » pour tous les appareils identiques (aucune réponse)
– Adresse globale « 000 » pour tous les appareils sur le bus (aucune réponse)
Action (regardez à la p. 32, chap. 8.2)
Numéro de paramètres Pfeiffer Vacuum
Longueur des données dn ... d0
Données sous forme de type de données respectif (regardez à la p. 33, chap. 8.3)
Total de contrôle (total des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256
Carriage return (ASCII 13)
*
n2 - n0
l1 - l0
dn - d0
c2 - c0
CR
8.2
a0
Télégrammes
Demande de données ?
a2
a1
a0
0
0
n2
n1
n0
0
2
=
?
c2
c1
c0
C
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
c2
c1
c0
C
R
Control command !
a2
a1
a0
1
0
R
Réponse de données / ordre de réglage compris 
a2
a1
a0
1
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
c2
c1
c0
C
0
6
N
O
_
D
E
F
c2
c1
c0
C
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
R
Message d'erreur 
a2
a1
a0
1
0
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
Exemple 1
n2
n1
n0
R
Le numéro de paramètre n2 - n0 n'existe pas
Données dn - d0 en dehors de la plage autorisée
erreur d'accès logique
Demande de données
Vitesse réelle (paramètre [P:309], adresse d'appareil esclave : « 123 »)
?
1
2
3
0
0
3
0
9
0
2
=
?
1
1
2
C
ASCII
49
50
51
48
48
51
48
57
48
50
61
63
49
49
50
13
R
Réponse de données : 633 Hz
Vitesse réelle (paramètre [P:309], adresse d'appareil esclave : « 123 »)
32

1
2
3
1
0
3
0
9
0
6
0
0
0
6
3
3
0
3
7
C
ASCII
49
50
51
49
48
51
48
57
48
54
48
48
48
54
51
51
48
51
55
13
R
Protocole Pfeiffer Vacuum pour « RS-485 »
Exemple 2
Ordre de réglage
Enclenchez groupe de pompe (paramètre [P:010], adresse d'appareil esclave : « 042 »)
!
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
C
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
R
Ordre de réglage compris
Enclenchez groupe de pompe (paramètre [P:010], adresse d'appareil esclave : « 042 »)
8.3

0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
C
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
Type de données Description
Longueur l1 - l0 Exemple
0 - boolean_old
1 - u_integer
2 - u_real
4 - string
6 - boolean_new
7 - u_short_int
10 - u_expo_new
11 - string
valeur logique (faux / vrai)
nombre entier positif
nombre à virgule fixe positif
chaîne des charactères
valeur logique (faux / vrai)
nombre entier positif
nombre exponentielle positif
chaîne des charactères
06
06
06
06
01
03
06
16
R
Types de données utilisées
000000 / 111111
000000 à 999999
001571 correspond à 15,71
TC_400
0/1
000 à 999
100023 correspond à 1,0 · 103
BrezelBier&Wurst
33
Dysfonctionnements
9
Dysfonctionnements
9.1
Généralités
Des dysfonctionnements au niveau de la pompe turbomoléculaire et de la commande
électronique d'entraînement entraînent toujours un message d'avertissement ou d'erreur. Dans les deux cas, un code d'erreur est émis via la commande électronique d'entraînement. En général, les messages de service sont affichés via les DEL sur la commande électronique d'entraînement. La pompe turbomoléculaire et les appareils
raccordés s'éteignent en raison de défauts survenus. Le mode de remise à l'air sélectionné est à nouveau validé automatiquement après une temporisation prédéfinie.
AVERTISSEMENT
Démarrage automatique après une panne secteur ou de dépannage
Après une panne secteur ou en cas de défauts entraînant un arrêt de la pompe ou de
l'installation, la fonction « Groupe de pompage » de la commande électronique d'entraînement reste active. Une fois le courant revenu ou acquittement du dysfonctionnement,
la pompe turbomoléculaire s'active automatiquement.
 Le cas échéant, éteindre la fonction « Groupe de pompage ».
 Prendre les mesures de sécurité adaptées contre toute intervention dans la bride de
vide élevé lorsque la pompe turbomoléculaire est active.
9.2
Affichage du mode d’utilisation par les diodes
Les diodes sur la platine frontale de la commande électronique d’entraînement indiquent
des états de service fde base de la pompe turbomoléculaire. Seules la DCU et la HPU
permettent un affichage différencié entre les erreurs et les avertissements.
DEL
Symbole État de la DEL
Verte
éteinte
allumée, clignotante
allumée, clignotante inverse
allumée, fixe
Jaune
Rouge
Fig. 8:
9.3
Codes d'erreur
Code
défaut
Problème
Err001
Survitesse
Err002
Surtension
34
Indication
Signification
allumée, clignotante
éteinte
allumée, fixe
Hors tension
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse
de rotation ≤ 60 min-1
« Groupe de pompage MARCHE », vitesse
de rotation de consigne non atteinte
« Groupe de pompage MARCHE », vitesse
de rotation de consigne atteinte
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse
de rotation > 60 min-1
Aucun avertissement
Avertissement
éteinte
allumée, fixe
Aucun défaut
Défaut
Comportement et signification des DEL sur la commande électronique d'entraînement
Causes possibles
– Unité de courant utilisée inadéquate
Dépannage
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Vérifiez le type d'unité de courant
 Vérifiez la tension de l'unité de courant
Dysfonctionnements
Code
défaut
Problème
Err006
Défaut temps d'accélération
Err008
Err010
Err021
Err041
Err043
Err044
Surchauffe moteur
Err046
Erreur d'initialisation interne
Err073
Surcharge paliers axiaux
Err074
Surcharge paliers radiaux
Err089
Err091
Rotor en dehors de sa position
théorique ; stabilisation impossible
Défaut interne à l'appareil
Err092
Panneau de raccordement inconnu
Err093
Err098
Évaluation de température moteur défectueuse
Évaluation de température commande
électronique défectueuse
Défaut de communication interne
Err107
Défaut groupé étage final
Err108
Mesure de la vitesse défectueuse
Err109
Logiciel non validé
Err114
Évaluation de température étage final
défectueuse
Surchauffe partie inférieure de pompe
Err117
Err118
Err119
Err777
Err800
Dépannage
– Temps d'accélération réglé trop bas
 Adaptez le temps d'accélération aux conditions du processus
– Fuite de gaz dans le récipient en raison
d'un défaut d'étanchéité ou de vannes  Vérifiez l'étanchéité et la fermeture des
ouvertes
vannes du récipient
– Point de commutation de la vitesse de  Adaptez le point de commutation de la virotation franchi par défaut après démartesse de rotation
rage du temps d'accélération
Liaison commande électronique d'en- – Liaison à la pompe défectueuse
 Vérifiez les liaisons
 Acquittement uniquement pour une vitesse
traînement - pompe défectueuse
f=0
Défaut interne à l'appareil
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
La commande électronique d'entraîne Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
ment ne reconnaît pas la pompe
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
Surintensité moteur
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
Erreur de configuration interne
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
Température excessive du contrôleur – Refroidissement insuffisant
 Améliorez le refroidissement
 Vérifiez les conditions d'utilisation
électronique
Err045
Err094
Causes possibles
– Refroidissement insuffisant
– Chocs et secousses
 Améliorez le refroidissement
 Vérifiez les conditions d'utilisation
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Vérifiez les conditions d'utilisation
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– Refroidissement insuffisant
 Améliorez le refroidissement
 Vérifiez les conditions d'utilisation
Température excessive étage final
– Refroidissement insuffisant
 Améliorez le refroidissement
 Vérifiez les conditions d'utilisation
Surchauffe palier
– Refroidissement insuffisant
 Améliorez le refroidissement
 Vérifiez les conditions d'utilisation
Vitesse nominale non confirmée
– Vitesse nominale non confirmée après  Confirmez la vitesse nominale avec
remplacement de la commande électro[P:777]
nique d'entraînement
 Acquittement uniquement pour une vitesse
f=0
Surintensité analyse sensorielle de po Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
sition
35
Dysfonctionnements
Code
défaut
Problème
Causes possibles
Err802
Défaut alignement analyse sensorielle
de position
Err810
Enregistrement erroné dans la pompe
Err815
Err890
Surintensité étage final paliers magnétiques
Usure des paliers de sécurité > 100 %
Err891
Balourd rotor > 100 %
 Nouvel alignement avec alimentation
« OFF/ON »
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
Wrn007 Sous-tension / panne secteur
Wrn018 Conflit de priorité
Wrn045 Température moteur élevée
Wrn076 Température commande électronique
élevée
Wrn089 Rotor en dehors de sa position
théorique ; stabilisation impossible
Wrn097 Information pompe non valide
Wrn098 Information pompe incomplète
Wrn100 Vitesse élevée à la valeur minimale
– Panne de secteur
– Groupe de pompage activé avec
[P:010] alors que l'entrée E74 « start/
stop » est désactivée (ouverte)
– Refroidissement insuffisant
– Refroidissement insuffisant
 Améliorez le refroidissement
 Vérifiez les conditions d'utilisation
 Améliorez le refroidissement
 Vérifiez les conditions d'utilisation
 Vérifiez les conditions d'utilisation
– Données de la pompe erronées
– Liaison à la pompe défectueuse
 Réglage usine via acquittement
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Contrôler [P:707] ou [P:717]
 Prendre la plage de vitesse dans les données techniques de la pompe turbomoléculaire.
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– Les normes acceptables pour le mode
d’exploitation à regime variable ou
mode Stand-by incorrecte
Wrn119 Température palier élevée
– Refroidissement insuffisant
Wrn168 Grand retard
– Taux de remontée en pression trop
élevée ; débit de remise à l'air
Wrn801 Commande électronique de frein défectueuse
Wrn806 Résistance de frein défectueuse
Wrn807 Exigence alignement analyse sensorielle de position
Wrn890 Usure des paliers de sécurité > 75 %
 Vérifiez l'alimentation secteur
 Activez le groupe de pompage via E74
 Désactiver [P:010]
– Chocs et secousses
Wrn115 Évaluation de température partie inférieure de pompe défectueuse
Wrn116 Évaluation de température palier défectueuse
Wrn117 Température partie inférieure de pompe – Refroidissement insuffisant
élevée
Wrn118 Température étage final élevée
– Refroidissement insuffisant
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Améliorez le refroidissement
 Vérifiez les conditions d'utilisation
 Améliorez le refroidissement
 Vérifiez les conditions d'utilisation
 Améliorez le refroidissement
 Vérifiez les conditions d'utilisation
 Vérifiez et adaptez un débit de remise à l'air
spécifique à la pompe
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– Recommandée par l'évaluation de l'état  Alignement automatique pour une vitesse f
=0
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informez le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
Wrn891 Balourd rotor > 75 %
Utilisation avec DCU
Dépannage
Outre les messages d'avertissement et d'erreur de la commande électronique d'entraînement spécifiques à l'appareil, des messages propres à l'appareil d'affichage et de
commande raccordé peuvent apparaître.
Affichage sur le Problème
DCU
Causes possibles
* Warning F110 *
Mesureur de pression
** Error E040 **
Erreur du matériel
– Jauge défectueuse
 Redémarrage avec la jauge raccordée
– Raccordement avec la jauge débran-  Remplacer la jauge
chée en fonctionnement
 Installer correctement la jauge
– RAM externe défectueuse
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
36
Dépannage
Dysfonctionnements
Affichage sur le Problème
DCU
Causes possibles
** Error E042 **
Erreur du matériel
– Somme de contrôle EPROM
** Error E043 **
Erreur du matériel
** Error E090 **
Défaut interne à l'appareil
** Error E698 **
Erreur de communication
Dépannage
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
– Erreur d'écriture E2PROM
Vacuum
– RAM insuffisante
 Informer le service après-vente de Pfeiffer
Vacuum
– DCU raccordé à la mauvaise commande électronique de pompe
 Raccorder la commande électronique de
pompe correcte
– Absence de réponse de la commande  Informer le service après-vente de Pfeiffer
électronique d'entraînement
Vacuum
37
Déclaration de conformité
Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes
les dispositions applicables des directives CE suivantes :
● Compatibilité électromagnétique 2004/108/CEE
● Basse tension 2006/95/CEE
TM 700 PB
Normes harmonisées et normes nationales appliquées :
DIN EN 61000-3-2 : 2008
DIN EN 61000-3-3 : 2006
DIN EN 61010-1 : 2010
DIN EN 61326-1 : 2006
DIN EN 62061 : 2005
Semi F47-0200
Semi S2-0706
Signatures :
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(M.Bender)
Directeur
(Dr. M. Wiemer)
Directeur
CE/2015
Un seul fournisseur de
solutions de vide
Une large gamme de
produits
Un savoir faire théorique
et pratique
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Headquarters
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France
T +33 (0) 4 50 65 77 77
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">