Traduction du mode d‘emploi Analyseur haute pression HPA 220 DA0100BFR (2011_11) Manuel de l‘utilisateur FR Table des matières 1 1.1 1.2 2 2.1 2.2 2.3 2.4 2.5 3 3.1 3.2 4 4.1 4.2 4.3 4.4 5 5.1 5.2 5.3 5.4 5.5 5.6 5.7 6 6.1 6.2 6.3 6.4 6.5 7 7.1 7.2 8 8.1 8.2 8.3 8.4 8.5 8.6 8.7 9 9.1 9.2 10 10.1 10.2 10.3 10.4 11 11.1 A propos de ce mode d'emploi ...................................................... 6 Validité ............................................................................................... 6 Conventions ....................................................................................... 6 Sécurité ............................................................................................ 8 Consignes de sécurité........................................................................ 8 Equipement de protection .................................................................. 8 Usage conforme à la destination........................................................ 9 Usage non conforme à la destination du matériel ............................ 10 Directives.......................................................................................... 10 Transport et stockage................................................................... 10 Transport .......................................................................................... 10 Stockage .......................................................................................... 10 Description du produit.................................................................. 11 Identification du produit .................................................................... 12 Fonction ........................................................................................... 12 Domaine d'application ...................................................................... 13 Vue d'ensemble du système ............................................................ 13 Fiche technique ............................................................................. 20 HPA 220 ........................................................................................... 20 QME 220 .......................................................................................... 22 Module d'entrée/sortie IO 220 .......................................................... 23 Base Rack Unit (BRU 220)............................................................... 24 Valve Control Unit (VCU 220) .......................................................... 24 Dimensions....................................................................................... 25 Affectation des connecteurs ............................................................. 25 Systèmes d'admission de gaz ..................................................... 32 HPI 040 H, à commande manuelle .................................................. 32 HPI 040 P, à commande électropneumatique.................................. 32 Vanne à tiroir double, à commande manuelle.................................. 34 Vanne à tiroir double, à commande électropneumatique................. 35 Vanne d'admission UDV 040 ........................................................... 36 Mise en service.............................................................................. 37 Mise en service QME ....................................................................... 37 Mise en service HPA 220 ................................................................. 39 Opération ....................................................................................... 45 Eléments d'affichage et de commande de la BRU 220.................... 45 HPA 220 ........................................................................................... 45 Commande de vanne ....................................................................... 46 Mesure ............................................................................................. 46 Pompe à diaphragme en mode intermittent ..................................... 46 Conditionnement du système à vide ................................................ 46 Mise hors circuit ............................................................................... 47 Entretien / Service après-vente.................................................... 48 QME ................................................................................................. 49 Changer le réservoir du fluide d'exploitation HiPace 80................... 50 Accessoires et pièces de rechange............................................. 51 Accessoires et pièces de rechange du PrismaPlus™...................... 51 Accessoires et pièces de rechange de la HiPace 80 ....................... 51 Câble de raccordement .................................................................... 51 Accessoires du HPA......................................................................... 51 Mise hors service .......................................................................... 52 Immobilisation prolongée ................................................................. 52 3 11.2 12 13 13.1 14 14.1 14.2 4 Remise en service............................................................................ 52 Elimination ..................................................................................... 53 Dysfonctionnements..................................................................... 53 Dépannage....................................................................................... 53 Annexe ........................................................................................... 55 Schémas fonctionnels ...................................................................... 55 Bibliographie .................................................................................... 56 A propos de ce mode d'emploi 1 A propos de ce mode d'emploi 1.1 Validité Ce mode d'emploi s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le fonctionnement du produit désigné et comporte des informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce mode d'emploi correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a apporté aucune modification au produit. Ce document est valable pour les produits dont la référence est : PT M5x 1xx et PT M5x 2xx La référence se trouve sur la plaque signalétique. Les modes d'emploi actuels sont également disponibles sur Internet à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.de. Autres documents concernés HPA 220 Mode d'emploi Déclaration de conformité Mode d'emploi des accessoires (spécifique à la commande) Jointe à ce mode d'emploi Voir le chapitre intitulé Accessoires* *également disponible sur Internet à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.de 1.2 Conventions Consignes de sécurité Les consignes de sécurité figurant dans les modes d'emploi de Pfeiffer Vacuum sont le résultat d'évaluations des risques et d'analyses des dangers réalisées ; elles s'orientent sur les standards de certification internationaux selon UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Dans le présent document, les niveaux de danger et consignes informatives suivants ont été pris en compte : DANGER Danger direct et imminent Pouvant provoquer la mort ou des blessures graves. AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Pouvant provoquer des blessures ou des dommages matériels considérables. ATTENTION Danger potentiellement imminent Pouvant provoquer des blessures ou des dommages matériels. REMARQUE Obligation ou consigne Invitation à accomplir une action, ou information sur des propriétés dont le non-respect peut occasionner des dommages au produit. 6 A propos de ce mode d'emploi Définitions des pictogrammes Interdiction d'une action ou activité ayant un lien avec la source de dangers, et dont le non-respect peut provoquer des accidents lourds de conséquences. Avertissement en présence du danger matérialisé par le symbole. Obligation d'accomplir une action ou activité pendant le maniement d'une source de dangers, obligation dont le nonrespect peut provoquer des accidents lourds de conséquences. Information importante sur le produit, sur le maniement du produit ou sur une partie de la documentation, à laquelle il faut accorder une attention particulière. Instruction dans le texte Instruction de travail : à cet endroit vous devez accomplir une opération. Abréviations utilisées BRU HPA IO VCU MVP Symboles utilisés Base Rack Unit (unité de commande du système) High Pressure Analyser (analyseur haute pression) Input Output (entrée-sortie) Valve Control Unit (appareil de commande de vanne) MembranVakuumPumpe (pompe à vide à diaphragme) Le symbole [X] est utilisé pour les renvois vers d'autres documents énumérés dans la bibliographie. Marque du produit PrismaPlus™ QUADERA™ Pfeiffer Vacuum GmbH INFICON AG 7 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes de sécurité REMARQUE Obligation d'information Toute personne intervenant dans l'installation, l'exploitation ou l'entretien de l'appareil doit lire et respecter les passages relatifs à la sécurité de ce mode d'emploi. L'exploitant est tenu d'attirer l'attention de tout opérateur sur les risques inhérents à la pompe à vide, au fluide pompé ou à l'installation dans son ensemble. REMARQUE Installation et exploitation des accessoires Il est possible d'équiper les appareils Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires adaptés. L'installation, l'exploitation et l'entretien des appareils de raccordement sont décrits en détails dans les modes d'emploi accompagnant les différents composants. Informations sur les numéros de commande des composants : voir le chapitre « Accessoires et pièces de rechange », page 51. Utilisez uniquement des accessoires d'origine. • Utilisez exclusivement des pièces de rechange d'origine (voir le chapitre 10. Accessoires et pièces de rechange ; page 51) • N'exposez aucune partie du corps au vide. • Respectez les prescriptions de sécurité et de prévention des accidents. • Vérifiez régulièrement que toutes les mesures préventives ont été respectées. • Ne soumettez l'installation à aucune conversion ou modification arbitraire. DANGER Risque dû aux champs magnétiques forts A l'intérieur du tube de mesure du vide PKR se trouve un aimant puissant. Les champs magnétiques peuvent perturber par exemple les stimulateurs cardiaques ou altérer leur fonctionnement. Maintenez une marge de sécurité d'au moins 10 cm entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ! Assurez-vous que l'autocollant d'avertissement sur le tube de mesure du vide n'est pas recouvert lors du montage. 2.2 Equipement de protection Dans certaines situations, le port d'un équipement de protection individuelle est nécessaire. Les exploitants ou les employeurs se doivent de mettre à disposition du personnel opérateur un équipement approprié. 8 Sécurité DANGER Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques lors des travaux d'entretien ou d'installation Les pompes à vide, les composants et les fluides d'exploitation peuvent être contaminés, en fonction du processus, par des substances toxiques, réactives ou radioactives. Portez un équipement de protection approprié lors des travaux de maintenance et d'entretien ou lors de la réinstallation de l'installation. ATTENTION Risque de blessure au contact de surfaces brûlantes Pendant le dégazage et l'utilisation d'un chauffage d'enceinte, l'enceinte et les pièces métalliques juxtaposées peuvent chauffer fortement. Pendant le dégazage et l'utilisation d'un chauffage d'enceinte, ne touchez pas l'appareil. Laissez refroidir la pompe avant d'effectuer des travaux de maintenance et d'entretien. Le cas échéant, portez des gants protecteurs conformément à la norme EN 420. AVERTISSEMENT Niveau de bruit très élevé Dans une zone restreinte située à proximité de la pompe à vide, le niveau des émissions sonores peut s'avérer très élevé. Prévoyez une protection anti-bruit Portez des protections auditives 2.3 Usage conforme à la destination L'Analyseur haute pression HPA 220 sert à analyser des gaz et des mélanges gazeux non inflammables avec des pressions de processus inférieures à 10 mbar. Le domaine de pression réel dépend des écrans intégrés. REMARQUE Conformité CE La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires ! • Respectez impérativement les prescriptions d'installation, de mise en service, d'exploitation et d'entretien. • Il est interdit d'utiliser, sans le consentement de Pfeiffer Vacuum, d'autres accessoires que ceux indiqués dans ce mode d'emploi. 9 Transport et stockage 2.4 Usage non conforme à la destination du matériel En cas d'usage non conforme à la destination de l'appareil, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté. Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui dévient de celles précitées, dont notamment : • • • • Le fonctionnement dans des zones menacées par des explosions ; l'analyse de gaz inflammables ; l'utilisation de fluides d'exploitation non spécifiés par Pfeiffer Vacuum ; le raccordement à des pompes et appareils qui, selon le contenu de leur mode d'emploi, ne sont pas prévus à cette fin ; • le raccordement à des appareils présentant des pièces électroconductrices susceptibles d'être touchées ; • l'utilisation des appareils dans des zones radioactives. 2.5 Directives 3 QME/QMA EN 61010-1:2001 EN 611326-1: 1997+ A1:1998+ A2:2001+A3:2003 BRU Directive Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1A) Directive CEM 2004/108/CE Directive relative au matériel électrique 2006/95/CE Transport et stockage 3.1 Transport Réutilisez le conteneur de transport du HPA 220. Il faut transporter ou expédier l'appareil dans son emballage d'origine. Il ne faut retirer les couvercles de protection du côté vide élevé et du côté vide primaire qu'au moment du raccordement. Conservez les couvercles de protection d'origine. Transportez toujours l'appareil à la verticale. 3.2 Stockage Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine. Obturez les autres orifices avec les couvercles de protection correspondants. Ne stockez le système que dans des locaux fermés, à une température comprise entre +5 °C et +40 °C. Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive : enfermez le système dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet d'agent de séchage. 10 Description du produit 4 Description du produit PrismaPlus QMA 200 QME 220 Système Enceinte avec PKR 251 d'admisson BRU 220 DCU002 TPG26x MVP 020 HiPace80 VCU 220 Sélection des systèmes d'admission et des options pour le HPA 220 Désignation Mode d'emploi HPA 220 HPI 040 H HPI 040 P Système d'admission Vanne à tiroir double manuelle 250986 NA 250986 NA 271691 NB Vanne à tiroir double électropneum. 271691 NB UDV 040 BP 5003 BN Bride de DN 40 CF-F raccordement DN 40 CF-F DN 40 CF-F DN 40 CF-F VCR 1/4" 1-100 amu 1-100 amu 1-100 amu 1-100 amu 1-100 amu 1-200 amu 1-200 amu 1-200 amu 1-200 amu 1-200 amu 1-300 amu HiPace 80 MVP 020-3 oui oui oui oui TPG 261 (option) 1-300 amu HiPace 80 PT 0278 BN MVP 020-3 PK 0208 BN oui oui BG 5119 BN oui DA 0100 BN non DA 0100 BN TPG 261 (option) BG 5195 BN BG 5196 BN TurboViewer DCU 002 (option) TurboViewer DCU 002 (option) PrismaPlus 1-300 amu 1-300 amu 1-300 amu HiPace 80 HiPace 80 Système de HiPace 80 pompage MVP 020-3 MVP 020-3 MVP 020-3 Enceinte oui oui oui PKR 251 oui oui oui BRU 220 oui oui oui VCU 220 non oui non Mesure de TPG 261 (option) TPG 262 (option) TPG 261 (option) la pression totale Commande du TurboViewer TurboViewer TurboViewer groupe de DCU 002 (option) DCU 002 (option) DCU 002 (option) pompage BG 5214 BN PT 0250 BN 4.1 Identification du produit Caractéristiques du produit Pour identifier le produit de manière sûre lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque signalétique : 11 Description du produit Livraison Numéro de commande PT M5x xcd QME 220 M QMA 200 M PrismaPlus Enceinte avec PKR 251 HiPace80 MVP020 Unité de commande du système Base Rack Unit BRU 220 HPI 040H HPI 040 P Vanne à tiroir double Système manuelle d'admission Vanne à tiroir double électropneum. UDV 040 Appareil de commande de vanne Valve Control Unit VCU 220 TPG 26x Options DCU002 Système de pompage 1 • • • • • 2 • • • • • c 3 • • • • • 4 • • • • • 5 • • • • • 0+4 • • • • • 1+5 • • • • • d 2+6 • • • • • 3+7 • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • 4.2 Fonction Analyseur haute pression HPA 220, une unité de spectrométrie de masse quadripolaire avec système d'admission de turbopompe et de gaz pour l'analyse de gaz non inflammables dans un domaine de pression compris entre 10-9 mbar et 50 mbar (selon la configuration). L'opération du système peut s'effectuer manuellement via la BRU 220 et le logiciel Quadera, ainsi qu'avec une commande supérieure du système via les entrées correspondantes. 4.3 Domaine d'application Le HPA 220 doit être installé et exploité dans les conditions ambiantes suivantes : DANGER EX Risque d'explosion Le HPA 220 n'est pas prévu pour une utilisation dans des zones menacées par des explosions. Mettez immédiatement le HPA 220 hors circuit en cas d'atmosphère explosive. Utilisation en intérieur Altitude max. 2000 m au-dessus du niveau de la mer Type de protection IP 30 Températures – Stockage/Transport +5 °C...+40 °C – Exploitation 0 °C...+40 °C Humidité relative max. 80 % jusqu'à 31 °C, diminution linéaire à 50 % à 40 °C 4.4 Vue d'ensemble du système 12 Description du produit Electronique des quadripôles QME 220 avec raccordement à 90° Avec domaine de masse selon l'option : PT M51 xxx 1-100 amu PT M52 xxx 1-200 amu PT M53 xxx 1-300 amu Analyseur QMA 200 avec tube manométrique dans enceinte du HPA 220 Avec source d'ions selon l'option : PT M5x 1xx PT M5x 2xx Source d'ions ouverte, filament Y Source d'ions ouverte, filament W Base Rack Unit BRU 220 (La figure illustre un appareil équipé de toutes les options supplémentaires ; voir la section Composants supplémentaires, page 18 et pages suivantes.) 13 Description du produit Câble d'alimentation Jeu de câbles de raccordement Câble standard (fourni dans toutes les options) Câble Réf. (3 m) Réf. (10 m) Marquage du câble Câble d'interface M12 PM 061 283-T PM 061 285-T DCU Câble de raccordement BRU/TC PM 061 512-T PM 061 514-T Turbo Pump Câble de raccordement BRU/MVP PM 061 441-T PM 061 443 T MVP Câble adaptateur MVP (0,5 m) PM 061 433-X MVP I/O Câble adaptateur PKR (0,6 m) PT 448 249-T Gauge Câble d'alimentation P 4564 309 Zx --- Câble de raccordement BRU/QME PT 165 060-T PT 165 061-T PrismaPlus Câble prolongateur M8 PM 061 783-T PM 061 785-T Switch Point, MVP I/ O, Valves 24V DC Connecteur de verrouillage BRU/User 14 PT 165 050 User Description du produit Composants en option du jeu de câbles : Réf. (3 m) Réf. (10 m) Marquage du câble Option Câble PT M5x x2x PT M5x x4x Câble de raccordement VCU/PP PT 165 070-T Digital I/O PT M5x x2x Câble de raccordement VCU/ HPI PT 165 073-T Valves PT M5x x4x Câble de raccordement VCU/ DZS PT 165 072-T Valves PT M5x xx6 PT M5x xx7 Câble d'interface M12 - PM 061 285-T DCU PT M5x xx1 PT M5x xx3 Câble de raccordement TPG/ VCU PT 165 062-T - Valves 24 VDC PT M5x xx5 PT M5x xx7 Câble de raccordement TPG/ VCU - PT 165 063-T TPG PT M5x x2x PT M5x x4x Connecteur de verrouillage VCU/External PT 165 051 External Logiciel Quadera [1] Convertisseur USB et logiciel TurboViewer Uniquement pour la variante sans DCU 002 [14] Système de pompage Se composant de : Pompe turbomoléculaire HiPace 80 avec vanne de remise à l'air [6] , refroidissement par air, en option avec vannes de gaz de balayage. 15 Description du produit Pompe à diaphragme MVP 020 [5] Variantes de vanne d'entrée HPI 040 H, à commande manuelle - pour l'option PT5x x1x HPI 040 P, à commande électropneumatique - pour l'option PT M5x x2x Tiroir double, à commande manuelle - pour l'option PT M5x x3x 16 Description du produit Tiroir double, à commande électropneumatique - pour l'option PT M5x x4x TUDV 040, à commande manuelle - pour l'option PT M5x x5x VCU 220 - uniquement pour l'option PT M5x x2x et PT M5x x4x Composants supplémentaires Appareil d'affichage et de commande DCU 002 intégré dans la BRU (PM 061 348 -T) [7] 17 Description du produit Tube de mesure de la pression totale de la série « ActiveLine » [9] TPG 261 ou TPG 262 (uniquement pour PT M5x x2x) intégré dans la BRU 220. Un tube de mesure de la pression totale de la série ActiveLine avec câble de raccordement doit être fourni séparément, en fonction du domaine de pression de travail. [13] Option Chauffage 18 Chauffage se composant d'un contrôleur et d'une chemise chauffante (Pfeiffer Vacuum GmbH ; PT 165 000-T [230 V] ou PT165 001-T [115 V]) Description du produit 19 Fiche technique 5 Fiche technique 5.1 HPA 220 HPA 220 Domaine de masse Limite de détection, min. amu mbar 1...100 1...200 1...300 Faraday 5x10-12 5x10-11 2x10-11 C-SEM 1x10-14 1x10-14 4x10-14 Faraday 5x10-4 3x10-4 1,5x10-4 200 200 100 10 20 50 Sensibilité pour Ar A/mbar Influence de la masse voisine 40/41 ppm Température de fonctionnement, analyseur °C 0...+150 °C Température de dégazage, analyseur sans QME °C +200 °C max. Analyseur QMA 220 M Matériau du filament deux filaments en iridium recouverts d'oxyde d'yttrium pour l'option PT M5x1xx deux filaments de tungstène pour l'option PT M5x2xx Système de barres : matériau/ diamètre/longueur mm Détecteur Electronique du spectromètre de masse acier inoxydable/6/100 C-SEM/Faraday QME 220 M Logiciel Quadera Turbopompe HiPace 80 Pompe à diaphragme MVP 020-3 Tube de mesure de la pression totale PKR 251 Commande du système BRU 220 Interfaces : – Connexion système/PC Ethernet – Sorties analogiques, sélection libre 4x 0...+10 V – Entrées analogiques, sélection libre 5x -10...+10 V – Sorties numériques, sélection libre 13x 24 VCC – Sortie numérique, Ready contact, 60 VCC/30 W – Entrées numériques1, sélection libre jusqu'à 4x24 VCC – Entrées numériques, définies 24 VCC, verrouillages pour système, vannes et chauffage Position montée 20 au choix2 Fiche technique HPA 220 Poids (unité d'analyse avec TMP, PKR et PrismaPlus, sans interface de vanne) kg 11,8 Interface de vanne HPI 040 Mise en action Air comprimé bar Raccordement d'air comprimé Vanne à tiroir double UDV 040 électropneum. manuelle électropneum. manuelle manuelle 5...7 - 5...7 - - 1/8" filet de vis intérieure 1/8" filet de vis intérieure Diamètre des écrans mm 0.033/0.1/0.3 0.033/0.1/0.3 0.1 0.1 réglable Pression de processus, max.5 mbar 8 8 20 20 50 VCU 220 - VCU 220 - - Commande de vanne Poids, interface de vanne kg 3.5 2.5 4.0 3.0 1.4 Poids, VCU kg 0,66 - 0,66 - - DN 40 CF-F DN 40 CF-F DN 40 CF-F Bride de raccordement DN 40 CF-F Cajon VCR 1/4" 1 selon la configuration 2 REMARQUE Nous recommandons de supporter l'ensemble du système sous la HiPace 80 ou le VCU 220 (selon l'option). 3 Ecran 0.03 fourni 4 pression de processus réellement atteignable en fonction du diamètre des écrans 5 en fonction de l'écran sélectionné Autres spécifications relatives à la QME/au QMA 220 [2] 21 Fiche technique 5.2 QME 220 QME 220 Système de mesure – Canaux de mesure 128 – Modes de mesure Scan analog, Scan Bargraph, MID, MCD – Cycles de mesure Monocanal/Multicanaux 1...9999 cycles ou Repeat – Vitesse de mesure – Scan analog+Bargraph Peak 20 ms/u...60 ms/u – Scan Bargraph Stair 2 ms/u...60 s/60 u – MID-dwell 2 ms...60 s – Amplificateur d'électromètre 1x10-5...1x10-12 A (f.s.), fix et autorange – Filtre de signal Filtre FIR Alimentation en courant 24 VCC/2,0 A, SP220 Interfaces – Fonctionnement, opération Ethernet – Extension Module d'entrée/sortie IO 220 Entrées/sorties – Analogiques voir IO 220 [2] – Numériques voir IO 220 [2] Poids 22 2,2 kg Fiche technique 5.3 Module d'entrée/sortie IO 220 IO 220 Entrées analogiques – Raccordement (« Analog I/O ») X7, connecteur D-Sub 15 pôles – Nombre de canaux 5 – Configuration d'entrée différentielle – Plage de tension d'entrée nominale ±10 V, max. ±14 V à la terre – Résistance d'entrée 50 kOhm – Résolution 14 Bit Sorties analogiques – Raccordement X7, connecteur D-Sub 15 pôles – Nombre de canaux 4 – Configuration de sortie Single ended – Plage de tension de sortie 0...+10 V – Courant de sortie <100 A – Résistance de sortie 200 Ohm – Masse de référence supérieure à 33 Ohm à la terre (GND) (Imax=50 mA) – Résolution 12 Bit Entrées analogiques – Raccordement (« DIGITAL I/O ») X2, connecteur D-Sub 25 pôles – Nombre de canaux 1...4 selon l'option* + protection ext.** – Tension d'entrée <+5 V (low) nominale +24 V (high), max. +28 V – Courant d'entrée 1,9mA – Tension d'alimentation pour contacts sans potentiel +24 V sup. à 1,2 kOhm (Imax 10 mA) – Masse de référence pour alimentation externe supérieure à 100 Ohm à la terre (GND) (Imax 50 mA) PROTECTION EXTERNE – Caractéristiques électriques identiques aux entrées analogiques – Fonction fonction de commande dépendant du mode EXT_PROT** Sorties numériques – Raccordement (« DIGITAL I/O ») X2, connecteur D-Sub 25 pôles – Nombre de canaux 16/13 selon l'option* – Tension de sortie nominale +24 V, max. +28 V – Tension de saturation (low) ≤ +0,9V – Courant de sortie (Sink) Les 16 canaux sont tous utilisés : ≤60 mA/canal 4 canaux utilisés : ≤250 mA/canal*** Raccordement des tubes de mesure (analogique) occupé par PKR 251 [2] 23 Fiche technique * Le nombre réel de sorties/d'entrées numériques dépend du système d'admission de gaz utilisé. En cas d'opération manuelle, les 16 sorties numériques sont toutes disponibles ; en cas d'opération électropneumatique, ce nombre est de 13 (les sorties numériques 14-16 sont utilisées pour la commande). En cas d'opération manuelle, toutes les entrées numériques sont disponibles. Avec l'option PT M5x x2x, seule l'entrée numérique 4 est disponible. Avec l'option PT M5x x4x, les entrées numériques 3/4 sont disponibles. Veuillez également tenir compte de la section « VCU 220 », page 27 ** Tableau de fonction Entrée EXT-PROT [2] *** Les 16 canaux sont répartis en deux groupes : Groupe A : numéro impair de canal 1...15 Groupe B : numéro pair de canal 2...16 Pour des raisons thermiques, les canaux utilisés doivent être répartis de manière égale dans les deux groupes, c'est-à-dire 2 canaux du groupe A et 2 canaux du groupe B [2] 5.4 Base Rack Unit (BRU 220) BRU Tension d'entrée 115...260 V CA Fréquence secteur 50/60 Hz Consommation de courant 5A Tension de sortie 24 (±2 %) V CC Courant de sortie max. 12,5 A Poids 5,5 kg Raccordements User Switch Point Valves 24 V DC Heater Diaphragm Pump Turbo Pump PrismaPlus Main 5.5 Valve Control Unit (VCU 220) VCU Tension de sortie 24 V CC Courant d'entrée max. 1 A Poids 0,7 kg Raccordements External Valves Prisma Plus Digital I/O 24 V CC 24 Fiche technique 5.6 Dimensions HHPA 220 * uniquement pour les options avec commande de vanne électropneumatique BRU 5.7 Affectation des connecteurs IO 220 Digital I/O VACUUM VACUUM X2 25 Fiche technique REMARQUE Pour les options PT M5x x2x et PT M5x x4x, cette sortie n'est pas disponible. Veuillez tenir compte de la section « VCU 220 », page 27 Pour les options PT M5x x0x, PT M5x x1x, PT M5x x3x et PT M5x x5x, la sortie « X2 » peut être utilisée sans restriction. L'affectation des broches du PrismaPlus™ doit être utilisée [2] . QME 220/IO 220 autres E/S Des informations concernant les autres entrées et sorties se trouvent dans le mode d'emploi du PrismaPlus™ [2] . QMA 12 1 2 3 11 13 10 4 9 5 8 7 6 Broche Description 1 Reserve 2 Extr. 3 Focus 4 HV- 5 Filament 1 6 Filament 2 7 Anode 8 RF - 9 GND 10 GND 11 RF + 12 Filament Common 13 EP DANGER Eléments électroconducteurs. Danger de mort par électrocution Le raccordement électrique est une opération réservée à des électriciens spécialisés, formés et autorisés en conséquence. Veillez à ce que le système soit suffisamment relié à la terre. 26 Fiche technique VCU 220 1 13 14 25 Le port « Digital I/O » dispose, à quelques exceptions près, de toutes les entrées et sorties du port « X2 » du module IO 220. Ainsi, les canaux d'E/S du module IO 220 sont librement disponibles, de façon limitée. ATTENTION Destruction du système d'admission de gaz Si les sorties numériques DO1-DO3 sont utilisées, à la différence des indications du PrismaPlus™ [2] , aucun câblage externe de la broche « DO-V+ » (broche 10) vers +24 V n'existe. Ce câblage est déjà réalisé par le VCU 220 en interne ! Connectez des appareils/consommateurs entre la/les sortie(s) numérique(s) souhaitée(s) et « DO_0V » (broche 9). Le courant maximal de toutes les sorties numériques ne doit pas dépasser 900 mA ! 27 Fiche technique Broche Description D-Sub 25 pôles 1 Sortie numérique, canal 1 2 Sortie numérique, canal 2 3 Sortie numérique, canal 3 4 Sortie numérique, canal 4 5 Sortie numérique, canal 5 6 Sortie numérique, canal 6 7 Sortie numérique, canal 7 8 Sortie numérique, canal 8 9 Masse pour sorties numériques (DO_0V) 10 non disponible 11 Entrée numérique, canal 1 12 Entrée numérique, canal 2 (non disponible pour les options PT M5x x2x et PT M5x x4x) 13 pas occupé 14 Sortie numérique, canal 9 15 Sortie numérique, canal 10 16 Sortie numérique, canal 11 17 Sortie numérique, canal 12 18 Sortie numérique, canal 13 19 GND 20 GND 21 GND 22 +24 V pour entrées numériques 23 Masse (0 V) pour entrées numériques 24 pas occupé 25 non disponible 8 1 15 9 Pour l'intégration du HPA 220 dans des concepts de commande existants (p. ex. commande programmable), l'entrée de commande « External » est disponible. A l'aide de circuits à relais ou à collecteur ouvert, les broches de l'entrée peuvent être pontées pour activer ou désactiver les vannes correspondantes. Le pontage s'effectue entre 24 V CC et la broche correspondante. 28 Fiche technique Broche Description 1 GND 2 GND 3 GND 4 GND 5 GND 6 V1 7 V2 8 V3 9 GND 10 GND 11 GND 12 GND 13 24V CC 14 24V CC 15 24V CC D-Sub 15 pôles REMARQUE Si vous n'utilisez aucune commande externe, le connecteur « External » fourni doit être inséré dans la douille correspondante du Valve Control Unit. Ce connecteur Sub-D dispose de ponts internes pour libérer la commande de vanne. Sinon, les vannes ne s'ouvrent pas. 29 Fiche technique Broche Description 1 V1 2 V2 3 V3 4 GND 5 GND 6 GND 7 GND 8 GND 9 GND 5 1 9 6 D-Sub 9 pôles BRU 220 Vue arrière de la BRU 220 L'unité de commande du système (Base Rack Unit) offre la possibilité d'intégrer le HPA 220 dans une commande existante (p. ex. une commande programmable). Le raccordement s'effectue au niveau du connecteur D-Sub « User ». Le verrouillage du chauffage, de l'appareil et de vanne peut être actionné. Grâce au pontage des broches sur cette entrée, les verrouillages de l'installation complète, de la commande de vanne ainsi que de la chemise chauffante peuvent être réalisés (voir le chapitre « Représentation schématique de la BRU », page 55). L'activation d'un verrouillage s'effectue grâce à un pontage simple entre la broche correspondante et « User » avec 24 V CC. 30 Fiche technique En plus de la possibilité de verrouillage externe, le signal de statut « Ready » est disponible au niveau du connecteur « User ». Des connexions à des affichages externes peuvent alors être réalisées. Les deux contacts du signal « Ready » sont reliés via un relais interne si 80 % du régime nominal de la turbopompe HiPace 80 sont atteints (voir le chapitre « Représentation schématique de la BRU », page 55). La tension maximale pour les appareils d'affichage externe qui peuvent être activés via le signal « Ready » est de 60 V, le courant maximal ne doit pas dépasser 1 A. 5 User 9 6 Broche Description 1 Ready 2 Ready 3 24V CC 4 24V CC 5 24V CC 6 GND 7 Verrouillage de vanne 8 Verrouillage de l'appareil 9 Verrouillage du chauffage 1 D-Sub 9 pôles REMARQUE Pour mettre en service le HPA 220, tous les verrouillages doivent être activés. Si vous utilisez le HPA 220 sans appareil/commande externe, insérez le connecteur « User » fourni dans la douille correspondante. Ce connecteur Sub-D dispose de ponts internes pour les trois verrouillages. 31 Systèmes d'admission de gaz 6 Systèmes d'admission de gaz Selon l'option, le HPA 220 est fourni avec différents systèmes d'admission de gaz. Selon la version, ils peuvent être à commande manuelle ou électropneumatique. PT M5x x1x PT M5x x2x PT M5x x3x PT M5x x4x PT M5x x5x HPI040 H, manuel HPI040P, électropneumatique Vanne à tiroir double à joints étanches, manuelle Vanne à tiroir double à joints étanches, électropneumatique UDV 040 6.1 HPI 040 H, à commande manuelle Fonction voir le chapitre 6.2 HPI 040 P, à commande électropneumatique ; Fonction ; page 32 Commande, exploitation AVERTISSEMENT Risque de destruction du filament et d'encrassement de l'analyseur Si la vanne est ouverte alors que le vide est insuffisant, le gaz s'écoule dans l'enceinte, ce qui oxyde la cathode incandescente et risque de la détruire. Avant d'ouvrir la vanne, assurez-vous qu'un vide suffisant est présent dans la chambre de processus. Voir également [11]. Commande de vanne supprimée car commande manuelle 6.2 HPI 040 P, à commande électropneumatique Fonction L'interface de vanne se compose de 3 vannes. V1 est une vanne à tiroir à joints étanches présentant une grande conductance et un diamètre nominal de raccordement de 40 mm. Cette vanne est ouverte pour l'analyse de gaz résiduaires ou pour le test de fuites dans des conditions de vide élevé dans l'installation de processus. Les vannes V2 et V3 sont conçues comme des écrans. Les conductances des écrans sont définies de sorte que le domaine de pression de 1 … 10-3 mbar soit couvert. Pour des pressions comprises entre 1 et 5 mbar dans V2, un écran d'un diamètre de 0,03 mm peut être utilisé en option. 32 Systèmes d'admission de gaz Commande de vanne Les vannes V1, V2 et V3 sont commandées par le Valve Control Unit. La commande est effectuée par le PrismaPlus™. Le logiciel Quadera ouvre et ferme les vannes en activant les sorties numériques correspondantes. Occupation des sorties : (voir également la section « IO 220 Digital I/O », page 25 ou « VCU 220 », page 27) DO 14 DO 15 DO 16 V3 V2 V1 Le réglage des sorties numériques dans le logiciel Quadera peut être effectué au choix via le projet de mesure « IO220.qmt » ( [1]) ou l'extension Quadera fournie « HPA_SPM_Valve_Control ». Des informations sur l'installation de l'extension se trouvent dans le fichier « Readme.txt » sur le CD d'installation de l'extension fourni. Pour exécuter l'extension, lancez le Add-In Manager ( [1]) et sélectionnez « HPA_SPM_Valve_Control ». Fig. : Gestionnaire d'extension (Add-In Manager) du logiciel Quadera (l'illustration est fonction de l'extension installée) 33 Systèmes d'admission de gaz Une fois lancé, une fenêtre s'ouvre pour demander de choisir entre une opération manuelle ou externe. Fig. : Fenêtre de sélection d'opération manuelle/externe Si vous sélectionnez « External », les relais du VCU commutent toutes les vannes sur une commande externe via le connecteur multiple « External ». (voir « VCU 220 », page 27) Si vous sélectionnez « Manual (using GUI) », les vannes peuvent être ouvertes ou fermées uniquement dans la fenêtre suivante via les boutons de commande correspondants. Fig. : Opération manuelle des vannes L'extension surveille en interne la pression totale dans l'enceinte du HPA et ferme la vanne V1 à une pression >1x10-4 mbar. L'extension reste active en arrière-plan également si la fenêtre relative à la commande de vanne est fermée. Pour afficher à nouveau la fenêtre de commande, lancez la macro « Show_Valve_Control » Fig. : Gestion macro dans logiciel Quadera Informations relatives au lancement de macros : [1] 6.3 Vanne à tiroir double, à commande manuelle Fonction 34 voir le chapitre 6.4 Vanne à tiroir double, à commande électropneumatique ; Fonction ; page 35 Systèmes d'admission de gaz Commande, exploitation AVERTISSEMENT Risque de destruction du filament et d'encrassement de l'analyseur Si la vanne est ouverte alors que le vide est insuffisant, le gaz s'écoule dans l'enceinte, ce qui oxyde la cathode incandescente et risque de la détruire. Avant d'ouvrir la vanne, assurez-vous qu'un vide suffisant est présent dans la chambre de processus. Respectez également le mode d'emploi du SVV 040. Commande de vanne supprimée car commande manuelle 6.4 Vanne à tiroir double, à commande électropneumatique Fonction L'interface de vanne se compose de 2 vannes. V1 est une vanne à tiroir à joints étanches présentant une grande conductance et un diamètre nominal de raccordement de 40 mm. Cette vanne est ouverte pour l'analyse de gaz résiduaires ou pour le test de fuites dans des conditions de vide élevé dans l'installation de processus. La vanne V2 est conçue comme un écran. La conductance de l'écran est définie de sorte que le domaine de pression de 1 … 10-3 mbar soit couvert. Pour des pressions comprises entre 1 et 5 mbar dans V2, un écran d'un diamètre de 0,03 mm peut être utilisé en option. Le domaine de pression (10…10-7 mbar) dépend de l'écran intégré. Commande de vanne Les vannes V1 et V sont commandées par le Valve Control Unit. La commande est effectuée par le PrismaPlus™. Le logiciel Quadera ouvre et ferme les vannes en activant les sorties numériques correspondantes. (voir 6.2 HPI 040 P, à commande électropneumatique ; Commande de vanne ; page 33) Occupation des sorties : (voir également la section « IO 220 Digital I/O », page 25 ou « VCU 220 », page 27) DO 14 DO 16 V2 V1 35 Systèmes d'admission de gaz Si une sortie numérique est définie sur « active », la vanne correspondante s'ouvre. Fig. : Opération manuelle des vannes 6.5 Vanne d'admission UDV 040 Fonction L'UDV est une vanne à commande manuelle. Elle couvre un large domaine de pression de 10-3 … 50 mbar. [10] Exploitation L'UDV est ouverte lentement à la main, jusqu'à ce que la pression dans l'enceinte de l'analyseur soit de 10- 5 mbar max. AVERTISSEMENT Risque de destruction du filament et d'encrassement de l'analyseur Si la vanne est ouverte alors que le vide est insuffisant, le gaz s'écoule dans l'enceinte, ce qui oxyde la cathode incandescente et risque de la détruire. Avant d'ouvrir la vanne, assurez-vous qu'un vide suffisant est présent dans la chambre de processus. Commande de vanne 36 supprimée car commande manuelle Mise en service 7 Mise en service DANGER Produit endommagé La mise en service d'un produit endommagé peut représenter un risque pour la vie. En cas de dommages visibles, sécurisez le produit contre un fonctionnement involontaire. REMARQUE Attention : composants pour le vide L'encrassement et les dommages altèrent le fonctionnement des composants pour le vide. Lors de la manipulation de composants pour le vide, respectez les réglementations en matière de propreté et de protection contre les dommages. 7.1 Mise en service QME DANGER Des tensions dangereuses allant jusqu'à 330 VCC sont appliquées au niveau du système d'électrodes du QMA 200 pendant le fonctionnement. D'autres pièces incorporées dans la chambre à vide (p. ex. tubes de mesure) peuvent ainsi être éventuellement alimentées dans des conditions défavorables. Si ce type de pièces représente un danger d'électrocution (tenir également compte des conduites et des appareils raccordés !), elles doivent être disposées et protégées de sorte d'empêcher tout contact, tout éclat et tout flux de porteurs de charge. S'il est possible de toucher le QMA 200 en cas d'installation de vide ouverte, une protection supplémentaire doit être prévue, p. ex. : • Protection mécanique contre le contact. • Séparation forcée de la tension secteur du câble « PrismaPlus » à l'ouverture de l'installation. DANGER Risque de dommages électroniques et de résultats de mesure erronés. Le système d'électrodes de la QME ne doit pas être alimenté avec des tensions extérieures (dues à un contact, des éclats, au plasma, aux faisceaux d'ions ou d'électrons, etc.). Prenez les mesures préventives appropriées, comme p. ex. une meilleure disposition, un blindage, une mise à la terre, etc. DANGER Tensions dangereuses représentant un danger d'électrocution Les tensions au niveau du QMA représentent un risque pour la vie. La bride de l'analyseur doit être vissée avec les 6 vis électroconductrices à l'appareil à vide mis à la terre conformément aux instructions. 37 Mise en service AVERTISSEMENT Si la bride de montage n'est pas mise à la terre, la bride de la QME (vis de mise à la terre M4) doit être reliée à la terre au moyen d'une ligne de mise à la terre séparée. Pour cette ligne de mise à la terre, utilisez les torons en cuivre jaune-vert ou dénudés : • 2,5 mm2 si protection mécanique (selon DIN VDE 1120 T540) • 4,0 mm2 sans protection. AVERTISSEMENT Risque d'encrassement du filament En cas de fuite ou d'installation incorrecte du QMA, des dépôts peuvent apparaître sur l'analyseur en raison des gaz entrants. La QME doit être correctement installée conformément à la technique de vide, c'està-dire que les gaz à détecter doivent avoir un accès libre à l'analyseur. Installation mécanique DANGER Tensions dangereuses représentant un danger d'électrocution La mise à la terre de la QME s'effectue exclusivement au moyen de la bride du QMA Le QMA doit être fixé uniquement sur une QME correctement installée. Desserrez les deux vis de la pièce en plastique noire du QMA à l'aide d'une clé mâle coudée pour vis à six pans creux de 4 mm jusqu'à ce que la pièce mobile présente un jeu de 2...3 mm. Insérez la QME avec précaution jusqu'au repère rainuré sur le QMA déjà monté. Veillez au positionnement correct au niveau de la QME à l'aide de la languette de mise à la terre et de l'écrou-guide sur le QMA. Pour ce faire, ne forcez pas trop sur les éléments. Serrez correctement les deux vis à six pans creux. Ces vis servent à fixer mécaniquement la QME et à assurer la sécurité électrique grâce au contact à la terre. 38 Mise en service Raccordement électrique DANGER Attention : tension secteur Des produits dont la mise à la terre n'est pas effectuée de manière appropriée peuvent représenter un risque pour la vie en cas de dysfonctionnement. Raccordez et mettez à la terre le produit conformément aux prescriptions locales ! AVERTISSEMENT Toutes les connexions électriques doivent être soulagées de tension. Posez le câble de commande à une distance suffisante des sources de dérangement. REMARQUE Pour des raisons de compatibilité électromagnétique, un point de mise à la terre central unique est expressément recommandé pour tous les appareils couplés (groupe de pompage, HPA 220, ordinateur, instruments d'enregistrement, etc.). Une prise multiple ou mieux, un distributeur d'électricité commun avec interrupteur secteur, peut facilement satisfaire à cette recommandation. Raccorder le PC Ouvrez la boîte du logiciel fourni Quadera. Sortez le câble fourni. Etablissez la connexion entre le PrismaPlus et le PC. PC Installer le logiciel Allumez l'ordinateur et installez le logiciel Quadera fourni. 7.2 Mise en service HPA 220 Installation mécanique Le HPA 220 est prévu pour un montage direct à une bride CF40 (Cajon VCR 1/4" pour UDV 040). Veuillez vous assurer qu'aucune force mécanique n'agit sur l'appareil, à l'exception de son propre poids. Veillez à une pose correcte de tous les câbles et conduites. 39 Mise en service REMARQUE Nous recommandons de supporter l'ensemble du système sous la HiPace 80 ou le VCU 220 (selon l'option). Veillez à un positionnement sûr de l'appareil. Pour toutes les options avec vannes à commande électropneumatique, de l'air comprimé est nécessaire. Un raccord fileté 1/8" est disponible sur chaque vanne pour la connexion avec le système à air comprimé. Etablissez cette connexion avant la mise en service. Lors de l'installation de la BRU, veillez à une bonne visibilité et accessibilité des éléments de commande. Raccordement électrique DANGER Attention : tension secteur ! Des produits dont la mise à la terre n'est pas effectuée de manière appropriée peuvent représenter un risque pour la vie en cas de dysfonctionnement. Accédez dans l'installation uniquement si l'alimentation électrique est débranchée. Raccordez et mettez à la terre le produit conformément aux prescriptions locales ! AVERTISSEMENT Toutes les connexions électriques doivent être soulagées de tension. Posez le câble de commande à l'écart des sources de perturbation. Connectez tous les connecteurs de la BRU, du PrismaPlus™, du contrôleur de la turbopompe HiPace 80 ainsi que de la pompe à diaphragme MVP 020, en fonction des inscriptions sur les câbles fournis. Reliez la BRU 220 à la tension secteur seulement à la fin, avec l'appareil mis hors tension (connecteur « Main »), à l'aide du câble pour appareils froids fourni. Procédez comme suit : • Reliez la sortie « Valves 24V DC » de la BRU avec l'entrée « 24V DC » de l'appareil de commande de vanne du HPA. Utilisez le câble portant l'inscription « Valves 24V DC ». 40 Mise en service • Reliez la sortie « PrismaPlus » de la BRU à l'entrée 24 V du PrismaPlus™. Utilisez le câble portant l'inscription « PrismaPlus ». • Reliez la sortie « Diaphragm Pump » de la BRU à l'entrée secteur de la MVP. Utilisez le câble portant l'inscription « MVP ». • Reliez la sortie « Turbo Pump » de la BRU à la commande de turbopompe avec le connecteur D-Sub 15 pôles. Utilisez le câble portant l'inscription « Turbo Pump ». • Reliez la sortie « A2 » de l'unité de commande de la turbopompe à l'entrée de contrôle de la MVP. Utilisez le câble portant l'inscription « MVP I/O ». 41 Mise en service • Reliez la sortie « DO1 » du contrôleur de la turbopompe sur la face supérieure du connecteur D-Sub à l'entrée « Switch Point » de la BRU. Utilisez le câble portant l'inscription « Switch Point ». • Reliez la prise « Digital I/O » du PrismaPlus™ à l'entrée « PrismaPlus » du VCU. Utilisez le câble portant l'inscription « Digital I/O ». • Reliez le tube de mesure au PrismaPlus™. Utilisez le câble portant l'inscription « Gauge ». • Reliez la sortie « Valves » de l'appareil de commande de vanne aux vannes. V1-V3 pour PT M5x x2x (HPI électropneumatique) ou V1 et V2 pour PT M5x x2x (vanne à tiroir double à joints étanches, électropneumatique) 42 Mise en service • Reliez le connecteur A1 au ventilateur sur le côté de la turbopompe. Utilisez le câble portant l'inscription « Fan ». • Reliez la vanne de ventilation sur le côté de la turbopompe avec le connecteur « B1 ». Celui-ci se trouve sur les contrôleurs des turbopompes. Utilisez le câble « venting valve ». • Reliez la vanne de gaz de balayage sur le côté de la turbopompe avec le connecteur « B2 ». Celui-ci se trouve sur les contrôleurs des turbopompes. Utilisez le câble « venting valve ». • Si vous utilisez le HPA 220 sans appareil/commande externe, insérez le connecteur « User » fourni dans la douille correspondante de l'unité de commande du système (Base Rack Unit). 43 Mise en service • Si vous utilisez l'appareil de commande de vanne (Valve Control Unit) sans commande externe, insérez le connecteur « External » fourni dans la douille correspondante de l'appareil de commande de vanne (Valve Control Unit). • Pour les options avec chauffage, reliez-le avec la sortie « Heater » de la BRU. Raccordez également l'alimentation en courant de la chemise chauffante à l'appareil de commande. 44 Opération 8 Opération AVERTISSEMENT Respectez en permanence les valeurs limites et les conditions d'environnement indiquées dans les fiches techniques ! DANGER Attention : tension secteur ! En cas de défaut, l'ensemble de l'appareil peut être sous tension. Le connecteur de réseau doit être inséré uniquement dans une prise avec contact de protection. Utilisez uniquement un câble d'alimentation à trois pôles adapté avec raccordement approprié à la terre de protection. L'effet de la protection ne doit pas être annulé par un câble prolongateur sans conducteur de protection. 8.1 Eléments d'affichage et de commande de la BRU 220 2 3 4 5 1 6 Pos. Description 1 Interrupteur Marche/Arrêt pour l'ensemble du système 2 Indication de la tension d'alimentation 24 VCC pour les pompes et le PrismaPlus™ : prêt 3 Etat du PrismaPlus™ : allumé si l'interrupteur est positionné sur ON et la turbopompe sur Vitesse finale 4 Interrupteur Marche/Arrêt du PrismaPlus™ 5 Etat du chauffage : allumé si l'interrupteur est positionné sur ON et la turbopompe sur Vitesse finale 6 Interrupteur Marche/Arrêt du chauffage 8.2 HPA 220 Insérez le connecteur de réseau Le HPA 220 est mis en circuit par l'interrupteur principal sur la face avant de l'unité de commande du système. La pompe à diaphragme démarre automatiquement et évacue les enceintes. La turbopompe démarre aussi automatiquement. 45 Opération Dès que 80 % du régime nominal sont atteints, le relais K1 est activé (cf. Représentation schématique de la BRU, page 55). Le PrismaPlus™ et le chauffage peuvent être mis en circuit à partir de ce moment. Les interrupteurs correspondants se trouvent sur la face avant de l'unité de commande du système. Les affichages à LED de chaque interrupteur signalent l'état de sortie actuel de l'appareil correspondant. En option : Si vous ne souhaitez pas que la turbopompe démarre automatiquement, dès que l'unité de commande du système est mise en circuit, vous pouvez effectuer ce réglage directement sur la turbopompe. Pour ce faire, reliez la pompe à un ordinateur à l'aide du câble adaptateur RS485-USB fourni. Utilisez le logiciel TurboViewer pour pouvoir effectuer d'importantes modifications au niveau de la pompe. Veuillez consulter le mode d'emploi du logiciel TurboViewer pour d'autres informations. Avec l'option « DCU », tous les réglages de la turbopompe peuvent également être effectués au niveau de la façade du DCU intégré dans la BRU 220. [7] 8.3 Commande de vanne Selon l'option, la commande de vanne est électropneumatique ou manuelle. Pour la variante électropneumatique, les vannes sont commandées par le biais des sorties numériques du PrismaPlus™ et l'appareil de commande de vanne. Dans ce cas, l'opération s'effectue à l'aide du logiciel Quadera. Depuis l'interface du programme, la commande des vannes peut en outre être réglée sur « commande externe ». Ainsi, l'appareil peut être intégré dans une commande supérieure (p. ex. commande programmable). Pour l'option TPG, la commande peut être réalisée en mode externe via le câble de commande 15 pôles fourni (réf. PT 165 062-T) par le biais du TPG. Dans ce cas, les valeurs seuils pour l'ouverture/la fermeture des vannes V1-V3 ou V1-V2 peuvent être réglées directement sur le TPG. [13] 8.4 Mesure La mesure est effectuée avec le PrismaPlus™ via le logiciel Quadera. Pour plus d'informations, veuillez lire les instructions d'utilisation du logiciel Quadera fourni. [1] 8.5 Pompe à diaphragme en mode intermittent Pour augmenter les périodes d'immobilisation des diaphragmes, il est possible d'exploiter la pompe à diaphragme en mode intermittent avec l'entrée fermée durant les périodes où aucune mesure n'est effectuée. Pour ce faire, la turbopompe active et désactive automatiquement la pompe à diaphragme grâce à son électronique TC 110 RS. Pendant une mesure, la pompe à diaphragme doit fonctionner en continu. Pour activer le mode intermittent, le paramètre 025 - OpMode BKP - doit être réglé sur '1' via le logiciel TurboViewer. 8.6 Conditionnement du système à vide Lors du dégazage de l'enceinte (avec chemise chauffante en option), le support du système peut réduire fortement, et ainsi améliorer la sensibilité de détection pour les gaz condensables. Pendant le dégazage, le C-SEM doit être mis hors circuit et le système d'admission fermé. La source d'ions doit rester en service avec un faible courant d'émission (< 0,3 mA). En cas de charge de gaz faible, la pompe à diaphragme peut fonctionner pendant le dégazage en mode intermittent (voir 8.5 « Pompe à diaphragme en mode intermittent »). 46 Opération 8.7 Mise hors circuit Si cela n'a pas encore été réalisé, désactivez le filament du PrismaPlus via le logiciel Quadera. Séparez la connexion vers l'appareil et fermez le logiciel Quadera [1] Mettez hors circuit le chauffage et le PrismaPlus™ avec les interrupteurs correspondants sur la face avant de l'unité de commande du système. Mettez l'appareil hors circuit à l'aide de l'interrupteur principal. Pour préserver les filaments, nous recommandons de mettre l'appareil hors circuit 15 minutes après la mise hors circuit du PrismaPlus™. Si les vannes ne sont pas encore fermées, fermez-les à ce moment. Après la mise hors circuit au niveau de l'interrupteur principal, la turbopompe s'arrête automatiquement. Dès que la vitesse de rotation chute en dessous de 50 %, la vanne de ventilation s'ouvre automatiquement et démarre le processus de ventilation.* * Ce réglage est celui réglé à la livraison. En cas de modification des réglages de la turbopompe via le logiciel TurboViewer ou le DCU, le comportement de la ventilation automatique peut changer. ( [6] ; [7] ; [12]) 47 Entretien / Service après-vente 9 Entretien / Service après-vente Pfeiffer Vacuum vous propose un service après-vente haut de gamme. • Changement de fluide d'exploitation et remplacement des paliers sur place, grâce à notre SAV de terrain (FieldService) • Maintenance / Réparation dans un ServiceCenter ou ServicePoint proche de chez vous • Remplacement rapide par des produits de rechange à l'état neuf • Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide Informations détaillées, adresses et formulaires à l'adresse suivante : www.pfeiffervacuum.de (Service). Maintenance et réparation au ServiceCenter Pfeiffer Vacuum Pour le bon déroulement et la rapidité du processus, veuillez vous conformer à la procédure suivante : Téléchargez la demande de service-après-vente ainsi que la déclaration de contamination.1) Remplissez la demande de service après-vente et envoyez-la par fax ou courrier électronique à l'adresse de votre service après-vente Pfeiffer Vacuum. Joignez à l'envoi la confirmation de la demande de service après-vente de Pfeiffer Vacuum. Remplissez la déclaration sur la contamination et joignez-la obligatoirement à l'envoi. Démontez tous les accessoires. Laissez la commande électronique d'entraînement sur la pompe. Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine. Envoyez la pompe / l'appareil de préférence dans son emballage d'origine. Envoi de pompes / appareils contaminés Les appareils contaminés (microbiologiquement, substances explosives ou radioactives) sont systématiquement refusés. Les « substances toxiques » sont les substances et composés chimiques visés dans la version actuellement en vigueur de l'Ordonnance sur les matières dangereuses. Pfeiffer Vacuum réalise systématiquement une décontamination aux frais du client sur les pompes contaminées ou en l'absence de déclaration sur la contamination. Neutralisez la pompe en la rinçant avec de l'azote ou de l'air sec. Obturez toutes les ouvertures pour les rendre étanches à l'air. Conditionnez la pompe / l'appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée. Renvoyez la pompe / l'appareil uniquement dans un conteneur de transport approprié et robuste, en respectant les conditions de transport applicables. Unités de remplacement Les unités de remplacement livrées se trouvent toujours sur les paramètres de travail standard réglés en usine. Si votre application fonctionne avec des réglages personnalisés, vous serez amené à régler à nouveau ces unités. Commandes de service après-vente Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos conditions de réparation, applicables aux appareils et composants sous vide. 1) 48 Formulaires sous www.pfeiffer-vacuum.com Entretien / Service après-vente 9.1 QME Le filtre à poussières au niveau de l'admission d'air doit être nettoyé dès qu'une couche nettement visible s'est accumulée. Utilisez un aspirateur pour éliminer la poussière du filtre. Pour ce nettoyage, la QME peut rester sur le QMA. Pour le nettoyage extérieur, un chiffon légèrement humide suffit normalement. N'utilisez aucun détergent agressif ou abrasif. Nettoyage AVERTISSEMENT Défaut possible de la sécurité de fonctionnement En cas d'encrassement, le fonctionnement de l'installation complète ne peut plus être garanti dans certaines conditions. N'omettez pas le nettoyage, même si l'intégration de l'appareil rend difficile la constatation de l'encrassement. REMARQUE Pour le nettoyage du boîtier, utilisez exclusivement un chiffon légèrement humide ! Aucun fluide ne doit pénétrer dans le produit. Avant la remise en service, laissez sécher complètement le boîtier. Remplacement du baffle filtrant Remplacez le baffle filtrant s'il s'est décomposé ou si vous ne parvenez pas à le nettoyer en suivant les instructions ci-dessus. Procédez comme décrit dans le mode d'emploi du PrismaPlus™. [2] Adaptation du générateur HF « TUNE » Lors de la première mise en service, en cas de changement d'analyseur (en particulier de Faraday à Channeltron) ou en cas d'affichage du message d'erreur correspondant sur l'écran, le circuit HF doit être réajusté. Le réajustement correct améliore la précision sur tout le domaine de masse. Par conséquent, un contrôle annuel est recommandé. Procédez comme décrit dans le mode d'emploi du PrismaPlus™. [2] Optimiser la sensibilité des sources d'ions Lors de la première mise en service ou après un remplacement de cathode, la sensibilité de la source d'ions doit être optimisée : Sélectionnez la fonction correspondante dans le logiciel QUADERA : [1] Suivez les instructions du logiciel. Enregistrez les données. Remplacer la QME / le QMA Si la QME ou le QMA doit être remplacé, procédez comme lors de l'installation initiale. Procédez comme décrit dans le mode d'emploi du PrismaPlus™. [2] 49 Entretien / Service après-vente 9.2 Changer le réservoir du fluide d'exploitation HiPace 80 AVERTISSEMENT Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé Le réservoir du fluide d'exploitation et certaines parties de la pompe peuvent contenir des substances toxiques provenant des fluides pompés Éliminez les réservoirs du fluide d'exploitation en respectant la législation en vigueur. Fiches de données de sécurité sur demande ou à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.de Prenez des précautions de sécurité correspondantes pour empêcher de créer des risques sanitaires ou de polluer l'environnement en cas de contamination. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. Démontez le QMA. Pour ce faire, procédez comme décrit au chapitre 5.1. Installation mécanique , page 39. Desserrez les 4 vis du VCU 220 et enlevez le cache latéral Retirez la base du VCU 220 en tirant vers l'arrière Desserrez les 4 vis à six pans creux qui fixent la plaque de recouvrement du VCU 220 et la turbopompe HiPace 80 et enlevez la plaque de recouvrement. Procédez ensuite comme décrit dans [6] . 50 Accessoires et pièces de rechange 10 Accessoires et pièces de rechange 10.1 Accessoires et pièces de rechange du PrismaPlus™ [2] 10.2 Accessoires et pièces de rechange de la HiPace 80 [6] 10.3 Câble de raccordement Pos. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 Désignation Longueur Câble d'interface M12 3m Câble de raccordement BRU/TC 3m Câble de raccordement BRU/MVP 3m Câble adaptateur MVP 0,5m Câble adaptateur PKR 0,5m Connecteur de verrouillage BRU/User Câble de raccordement BRU/QME 3m Câble prolongateur M8 3m Connecteur de verrouillage VCU/ External Câble de raccordement VCU/PP Câble d'interface M12 10m Câble de raccordement TPS/TC 10m Câble de raccordement TPS/MVP 10m Flexible de liaison pour MVP 1m Câble prolongateur BRU/QME 10m Câble prolongateur M8 10m Câble de raccordement VCU/HPI Câble de raccordement VCU/DZS Câble de raccordement TPG/VCU 3m Câble de raccordement TPG/VCU 10m Référence PM 061-283-T PM 061 512-T PM 061 441-T PM 061 433-X PT 448 249-T PT 165 050 PT 165 060-T PT 061 783-T PT 165 051 PT165 070-T PM 061 285-T PM 061 514-T PM 061 443-T P 0988 088 PT 165 061-T PM 061 785-T PT 165 073-T PT 165 072-T PT 165 062-T PT 165 063-T 10.4 Accessoires du HPA Pos. Désignation 1 2 3 4 5 6 7 8 Vanne de gaz de balayage pour HiPace 80 Programmation VSTA spécifique au client Chemise chauffante vers enceinte [230 V] Chemise chauffante vers enceinte [115 V] DCU 002 Convertisseur USB/RS485 TurboViewer TPG 261, appareil d'affichage et de commande pour un tube de mesure ActiveLine TPG 262, appareil d'affichage et de commande pour deux tubes de mesure ActiveLine 9 Référence PM Z01 310 sur demande PT 165 000-T PT 165 001-T PM 061 348-T PM 061 207-T PM 061 740 PT G28 030 PT G28 280 51 Mise hors service 11 Mise hors service 11.1 Immobilisation prolongée AVERTISSEMENT Contamination de pièces et de fluides d'exploitation par les fluides pompés ! Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé. Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. Si le système doit être immobilisé pour une durée supérieure à 1 an : Le cas échéant, démontez le HPA 220 de l'installation. Enlevez la turbopompe de l'enceinte. Remettez à l'air les enceintes avec l'analyseur monté et le tube de mesure à l'aide d'un gaz de protection sec et obturez avec une bride d'obturation. Changez le réservoir du fluide d'exploitation de la turbopompe. Ne stockez le système que dans des locaux fermés, à une température comprise entre +5 °C et +40 °C. Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive : enfermez le système dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet d'agent de séchage. 11.2 Remise en service ATTENTION Remise en service Sur un matériel ne servant pas, le fluide d'exploitation de la turbopompe est utilisable 4 ans maximum. Avant la remise en service consécutive à une immobilisation de 4 ans ou plus, effectuez les travaux suivants : Changez le réservoir du fluide d'exploitation. Faites remplacer les paliers. Tenez compte des consignes de maintenance puis prévenez le SAV Pfeiffer Vacuum. Vérifiez l'encrassement et l'humidité de l'ensemble du système. Nettoyez les surfaces extérieures de l'ensemble du système avec un chiffon non pelucheux, additionné d'un peu d'alcool industriel. Le cas échéant, confiez le nettoyage complet de la turbopompe au SAV Pfeiffer Vacuum. Enlevez toutes les brides d'obturation. Installation et mise en service conformément au mode d'emploi. 52 Elimination 12 Elimination DANGER Attention : pièces contaminées Les pièces contaminées peuvent présenter des risques sanitaires. Avant d'effectuer les travaux, informez-vous sur une contamination éventuelle. En cas de manipulation de pièces contaminées, respectez les prescriptions applicables et les mesures préventives correspondantes. ATTENTION Attention : substances dangereuses pour l'environnement Les composants électroniques doivent être éliminés selon une procédure spéciale. Eliminez les substances dangereuses pour l'environnement conformément aux prescriptions locales. ATTENTION Attention : substances dangereuses pour l'environnement Dans certaines conditions, les produits, le fluide d'exploitation, etc. doivent être éliminés selon une procédure spéciale. Eliminez les substances dangereuses pour l'environnement conformément aux prescriptions locales. Tri des composants Après le démontage du produit, les composants doivent être triés selon les catégories suivantes pour l'élimination : Composants contaminés Composants non contaminés Les composants contaminés (radioactifs, toxiques, caustiques, microbiologiques, etc.) doivent être décontaminés conformément aux prescriptions nationales, triés en fonction de leur nature (type de matériau) et éliminés. Ces composants doivent être triés selon leur nature (type de matériau) et déposés au recyclage. 13 Dysfonctionnements Si des dysfonctionnements se produisent au niveau de l'Analyseur haute pression HPA 220, vous trouverez dans le tableau suivant des causes possibles et des instructions pour y remédier. 13.1 Dépannage Problème Cause possible Dépannage Sur l'appareil mis en circuit, la LED 24 VCC ne s'allume pas ; aucune fonction possible Alimentation en courant interrompue Contrôlez le câble d'alimentation Le fusible d'appareil de la Contrôlez le fusible et remplacez-le BRU 220 s'est déclenché Tension de fonctionnement incorrecte Appliquez une tension de fonctionnement correcte Tenez compte de la plaque signalétique Bloc d'alimentation TPS 311 défectueux Remplacez le bloc d'alimentation, informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum 53 Dysfonctionnements Problème Cause possible Dépannage Le système de pompage ne démarre pas Le groupe de pompage n'est pas mis en circuit Mettez le groupe de pompage en circuit à l'aide du logiciel TurboViewer ou du DCU 002 La contre-fiche « User » Contrôlez la contre-fiche au niveau de la BRU 220 Contrôlez le câblage n'est pas insérée ou câblée correctement Câblage défectueux Le système de pompage n'atteint pas sa vitesse finale ou Vanne d'entrée ouverte sa pression finale Présence de condensat dans la pompe primaire Impossible de mettre le PrismaPlus™ en circuit (la LED d'état reste éteinte) Les vannes électropneumatiques ne se mettent pas en circuit Contrôlez le câble de raccordement, voir la section 7.2 "Mise en service HPA 220" Fermez la vanne d'entrée Ouvrez la soupape à lest d'air au niveau de la MVP 020-3 Soupape à lest d'air ouverte Fermez la soupape à lest d'air au niveau de la MVP 020-3 Fuites Contrôlez le système à la recherche de fuites La turbopompe n'a pas encore atteint sa vitesse finale Patientez pendant la montée en régime Le système de pompage n'atteint pas sa pression finale Voir la description du problème « Le système de pompage n'atteint pas sa vitesse finale ou sa pression finale » Réglages incorrects dans Contrôlez les réglages dans le programme le programme « Valve Control » « Valve Control » La contre-fiche « User » Contrôlez la contre-fiche au niveau de la BRU 220 Contrôlez le câblage n'est pas insérée ou câblée correctement Mauvais réglage du point Réglez correctement le point de commutation de commutation au niveau de l'appareil de commande de la pression totale TPG 26x Impossible de mettre le chauffage en circuit (la LED d'état reste éteinte) Air comprimé absent ou trop faible Contrôlez l'alimentation en air comprimé La turbopompe n'a pas encore atteint sa vitesse finale Patientez pendant la montée en régime Le système de pompage n'atteint pas sa vitesse finale Voir la description du problème « Le système de pompage n'atteint pas sa vitesse finale ou sa pression finale » L'élimination des dysfonctionnements des composants individuels est régie par les consignes du mode d'emploi correspondant. En cas de questions, contactez le SAV Pfeiffer Vacuum. 54 Annexe 14 Annexe 14.1 Schémas fonctionnels Représentation schématique de la BRU S1 V1 open/close > V2 open/close > PE Heater (Option) K4 Switch heater on/off K1 TPS 311 K4 24 VDC out < 100-240 VAC, switched Switch on/off PrismaPlus 24 VDC K1 24V Prisma+ switched GND S2 24 V Valves, switched Valves 24 VDC K3 Turbo rotation switching point Switchpoint S3 Prisma Plus Main Heater 100-240 VAC TPG 26x (Option) TPG/relay Gate valve open/close > Switch Main 0DLQ6ZLWFK on/off RQRII Heater K2 K1 Global interlock PE Valve interlock Ready DCU 002 (Option) K1 RS485 RS485 User K3 24 VDC turbo, switched GND GND Turbo K2 +24 VDC 24 VDC MVP GND V3 open/close V1 open/close GND Valves GND Digital I/O V2 open/close Représentation schématique du VCU MVP PE PE * DO 1-13 * * * PrismaPlus DI1-4*+ external protection K5 K5 V1 open/close (DO16) K6 K6 V2 open/close (DO15) K7 K7 V3 open/close (DO14) 24 VDC for DI+DO 24 VDC in V2 open/close V1 open/close Gate valve open/close 24 V Valves, switched GND GND External *dependining on option DI1/DI2/DI3 may by connected to V1/V2/V3 24 VDC GND signals 55 Annexe 14.2 Bibliographie [1] www.pfeiffer-vacuum.com Quadera Help (contient le CD-R) Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [2] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Spectromètre de masse compact PrismaPlus QMG220 BG 5214BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [3] www.pfeiffer-vacuum.com Instructions pour la communication Prisma™ QMS 200 BG5215BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [4] www.pfeiffer-vacuum.com Informations complémentaires pour les turbopompes avec TC 600 et TC 750 Commande électronique d'entraînement TC 600/TC750 PT0204BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [5] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Pompe à diaphragme MVP 020 PK0217BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [6] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi HiPace 80 PT0208BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [7] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Appareil d'affichage et de commande DCU 002/110/180/310/400 PT0250BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [8] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Vanne de remise à l'air TSF 012 PT0228BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne 56 Annexe [9] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Tube de mesure compact PKR 251 BG5155BFR http://www.pfeiffer-vacuum.de/produkte/messgeraete/activeline/container.action [10] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Vanne de régulation entièrement métallique UDV 040 BP5003BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [11] www.vatvalve.com Mode d'emploi Vanne Mini UHV Vanne RGA 250986DA VAT Vakuumventile AG CH-9469 Haag, Suisse [12] www.vatvalve.com Mode d'emploi Vanne RGA line of sight Tournée de 90° Gamme 010, DN 40 250987DA VAT Vakuumventile AG CH-9469 Haag, Suisse [13] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Tube unique TPG 261 Appareil de mesure et de commande monocanal BG5195BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [14] www.pfeiffer-vacuum.com Convertisseur USB/RS485 PM 061 207-T Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne 57 Déclaration sur la contamination des appareils sous vide et de leurs composants Téléchargement du formulaire sous www.pfeiffer-vacuum.com 1 Déclaration de conformité selon la directive CE : • Directive Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) • Directive CEM 2004/108/CE • Directive relative au matériel électrique 2006/95/CE Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous est conforme à l'ensemble des dispositions applicables de la directive européenne sur les machines 2006/42/CE. Le produit mentionné ci-dessous est en outre conforme à l'ensemble des dispositions applicables de la directive européenne 2004/108/CE concernant la compatibilité électromagnétique. Par ailleurs, le produit est conforme, dans des limites de tension définies, à l'ensemble des dispositions applicables de la directive européenne 2006/95/CE relative au matériel électrique. Le représentant autorisé pour la constitution du dossier technique est M. Dr Falk Braunschweig, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. High Pressure Analyser (analyseur haute pression) HPA 220 Directives appliquées, normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : EN ISO 12100-1 EN ISO 12100-2 EN1012-2 EN61010-1 EN 61326-1 Signatures : Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (M. Bender) Directeur (Dr M. Wiemer) Directeur CE/2011 Leading. Dependable. Customer Friendly Pfeiffer Vacuum stands for innovative and custom vacuum solutions worldwide. For German engineering art, competent advice and reliable services. Ever since the invention of the turbopump, we´ve been setting standards in our industry. And this claim to leadership will continue to drive us in the future. You are looking for a perfect vacuum solution? Please contact us: Germany Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters Tel.: +49 (0) 6441 802-0 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com ">
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