MANUEL DE MAINTENANCE FR Original ASM 310 Détecteur de fuites Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/36 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Produits concernés 1.2 Groupe cible d'utilisateur 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Etiquettes 4 4 4 4 4 4 4 4 5 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.1.1 Consignes de sécurité 2.1.2 Précautions 7 7 7 9 3 Informations générales 3.1 Pièces de rechange 3.2 Travail préparatoire 11 11 11 4 Intervalles de maintenance et compétences 12 5 Entretien - Maintenance 5.1 Nettoyage 5.2 Mise hors tension 5.3 Entrée d'air avant une opération de maintenance 5.4 Démontage/remontage du capot 5.5 Remplacement du capot 5.6 Remplacement du cable et/ou de la ferrite du panneau de contrôle 5.7 Remplacement de la fuite calibrée interne 5.8 Maintenance de la cellule d'analyse 5.8.1 Démontage/remontage de la cellule d'analyse 5.8.2 Remplacement des joints 5.8.3 Remplacement des filaments 5.9 Remplacement de la jauge Pirani 5.10 Remplacement des ventilateurs 5.11 Remplacement du filtre de purge/entrée d'air 13 13 13 13 13 14 15 18 19 19 21 21 22 23 24 6 Mise hors service 6.1 Immobilisation prolongée 6.2 Mise au rebut 6.2.1 Restriction des substances dangereuses (RoHS) 6.2.2 Equipements Electriques et Electroniques (E.E.E) 26 26 26 26 26 7 Dysfonctionnements 7.1 Surveillance de fonctionnement 7.2 Affichage d'un défaut 7.3 Guide de dépannage 28 28 28 28 8 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 30 9 Pièces de rechange 9.1 Outillage 9.2 Pièces de rechange du détecteur de fuites 9.3 Accessoires 32 32 33 35 3/36 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de maintenance s’adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit les opérations de maintenance du produit pouvant être réalisées par le client sur le produit concerné. Cette documentation doit être utilisée avec le Manuel de l’utilisateur du produit de même nom. 1.1.1 Documents applicables Document Référence Manuel de l'utilisateur ASM 310 128864* *également disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com 1.1.2 Produits concernés Ce document s'applique aux produits ayant les références suivantes : 1.2 Référence Description BSAA0200MM9A ASM 310 Groupe cible d'utilisateur Ce manuel de maintenance est destiné à toutes les personnes en charge de la maintenance du produit pour les opérations de : ● démontage ● maintenance ● nettoyage Les travaux décrits dans ce document doivent être effectués uniquement par des personnes ayant une formation technique appropriée (par ex. techniciens de maintenance) et ayant suivies la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. 4/36 A propos de ce manuel Remarque Conseil Vérifier un point clé sur l’illustration. Appliquer le couple de serrage mentionné. 1 2 3 2 1 Respecter l'ordre chronologique des opérations et/ou sens du montage/démontage. Correct, bon choix. Incorrect, mauvais choix. 1.3.3 Etiquettes I/O Interrupteur/Disjoncteur INPUTS/OUTPUTS Connecteur Interface de communication Entrées/Sorties SERIAL Connecteur liaison série RS-232 Sub-D 9 broches 1 Cette étiquette indique que le produit a été certifié conforme au contrôle qualité sortie au départ usine. 2 Cette étiquette indique que certains des composants internes sont sous tension et peuvent entraîner un choc électrique en cas de contact. ● Ne pas utiliser le produit si le câble d'alimentation secteur n'est pas relié à la terre. ● Débrancher le câble d'alimentation du produit avant toute intervention de maintenance sur le produit. 3 Cette étiquette indique que le produit doit être manutentionné à partir des dispositifs identifiés par cette étiquette. ● Respecter les règles de l’art pour la manutention compte tenu du poids et des dimensions. 4 Cette étiquette indique que le produit est concerné par le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques (voir la déclaration de conformité CE du produit). 5 Plaque signalétique du produit. 98 avenue de Brogny F-74000 ANNECY Made in France 1 Kg P/N : S/N : 2 V 5 7 3 Hz 4 W 6 8 6 - 1 2 3 4 Poids Tension d’utilisation Fréquence d’utilisation Puissance maximale consommée 5 6 7 8 Référence Désignation Numéro de série Date de fabrication Cette étiquette indique que certains des composants internes sont sous tension et peuvent entraîner un choc électrique en cas de contact. ● Débrancher le câble d'alimentation du produit avant de retirer le capot. FR AEOF 00165062 - assurance qualité / quality control PRODUIT PERSONNALISE CUSTOMIZED PRODUCT Cette étiquette garantit à l’utilisateur que l'emballage du produit n'a pas été ouvert depuis le départ usine. Cette étiquette indique que le produit a été personnalisé à la demande du client. Cette étiquette indique le point de mise à la terre sur le produit. 5/36 A propos de ce manuel - Usage réservé pour les centres de service (Exemple) Pu_GL : 1 Pu_N : 1 Mu_GL : 12856 Mu_N : 31 Mu_Cal : 1 - Mu_LDS : 1800 Cette étiquette indique les informations concernant les logiciels installés sur le produit. (Exemple) DD-MM-YY 4 Factory Firmware /Logiciel usine L0232 L0264 L0285 V3302 V3200 V3200 1 2 E17D FD87E7D 8C9D 3 1 2 Nom du logiciel Version du logiciel 3 4 1 2 3 Checksum du logiciel Date d'édition 98 avenue de Brogny F-74000 ANNECY Made in France 1 Kg P/N : 5 S/N : 7 6 6/36 2 V 3 Hz 4 W 6 8 5 4 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.1.1 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive Basse Tension 2014/35/UE relative à la sécurité électrique. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. AVERTISSEMENT Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs. ► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique. ► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit. 7/36 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de choc électrique par contact avec un produit non isolé électriquement A la mise hors tension _interrupteur secteur sur O_, certains composants situés entre le connecteur électrique et le disjoncteur restent sous tension. Il y a risque de choc électrique par contact. ► Veiller à ce que le raccordement au secteur soit toujours visible et accessible pour pouvoir débrancher à tout moment. ► Débrancher le câble secteur du réseau électrique avant d'intervenir sur le produit. ► Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d'intervenir sur le produit et/ou de retirer le(s) capot(s). AVERTISSEMENT Risque de blessures graves en cas de chute d'objet Lors du transport de pièces/composants, ou lors de la maintenance du produit, il existe un risque de blessures dû aux chutes ou glissements de charge. ► Transporter à deux mains les composants de petite charge. ► Transporter avec un engin de levage approprié les composants d'un poids supérieur à 20 kg. ► Porter des chaussures de sécurité avec protection des orteils conformément à la norme EN 347. AVERTISSEMENT Risque de brûlure par contact avec des surfaces chaudes Les produits sont conçus de façon à ne procurer aucun risque thermique pour la sécurité de l'opérateur. Toutefois, des conditions d'utilisation peuvent générer des températures nécessitant une attention particulière de la part de l'opérateur (surfaces > 70 °C pour des composants situés à l'intérieur du(des) capot(s)). ► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit. ► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420. AVERTISSEMENT Risque pour la santé lié aux traces résiduelles sur les pièces testées Une opération de détection de fuites doit être réalisée dans des conditions environnementales ne présentant aucun risque pour l'opérateur et le matériel. L'utilisateur et/ou l'intégrateur du produit ont l'entière responsabilité des conditions de sécurité liées au fonctionnement de l'équipement. ► Ne pas tester des pièces ou matériels présentant des traces de produits agressifs, chimiques, corrosifs, inflammables, réactifs, toxiques, explosifs, ni de vapeurs condensables même en faible quantité. ► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. DANGER Risque d'empoisonnement par contact avec des composants contaminés Les composants du circuit de pompage et de la cellule d'analyse sont contaminés par les gaz détectés sur les pièces testées. Ces gaz peuvent être toxiques, corrosifs, réactifs. Tout contact avec les pièces contaminées ou les sous-produits générés par le procédé présente un risque pour la santé. ► Porter un équipement de protection approprié lors de la maintenance des composants de pompage, du bloc vide, la cellule d'analyse. ► Bien aérer le local ou effectuer la maintenance sous hotte ventilée. ► Ne pas jeter les sous-produits/résidus au réseau usuel : faire appel à un organisme compétent pour leur destruction si nécessaire. 8/36 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d'intoxication en cas de fuites de gaz après maintenance Lors de la déconnexion/connexion de composants dans la ligne de pompage (pompes, cellule d'analyse, bloc vide, canalisations, vannes...) pour maintenance, l'étanchéité de l'installation est rompue : il y a un risque potentiel de fuites de gaz résiduels (gaz pompés sur les pièces testées). ► Pendant le démontage, toujours protéger les surfaces d'appui des brides de raccordement entre les composants de la ligne de pompage. ► Après remontage, effectuer un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage du système de détection. AVERTISSEMENT Risque lié aux différentes sources d'énergie Le circuit électrique ainsi que les circuits pressurisés tel que le circuit d'azote, sont des risques énergétiques potentiels. ► Toujours verrouiller ces sources d'énergie avant d'intervenir sur le produit. Recommandations générales pour la maintenance ● Au moment de commander des pièces de rechange, veuillez impérativement mentionner tout le contenu de la plaque signalétique du produit. ● Respecter toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des risques conformément aux normes de sécurités locales. ● Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur les composants électriques. ● Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées. ● Ne pas mettre sous tension le produit en l'absence des capots. ● Pour tout retour du produit vers un de nos centres de service Pfeiffer Vacuum, prendre connaissance de la procédure Service après-vente et remplir la déclaration de contamination disponible sur notre site internet. ● Utiliser l'emballage d'origine pour retourner le produit vers un centre de service Pfeiffer Vacuum : le constructeur décline toute responsabilité des dommages résultant du transport dans un emballage non adapté. 2.1.2 Précautions Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Obligation de mise à disposition d'équipement individuel de protection Les exploitants ou employeurs sont dans l'obligation de mettre à disposition de l'utilisateur du produit les équipements de protection individuels (EPI) nécessaires. Chaque personne en charge de l'installation, du fonctionnement ou de la réparation du produit, doit porter les EPI dédiés à la sécurité. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. 9/36 Sécurité Installation et utilisation des accessoires Il est possible d'équiper les produits avec des accessoires adaptés. L’installation, l’utilisation et la remise en état des accessoires raccordés sont décrites en détail dans leur manuel de l'utilisateur respectif. ● Utiliser uniquement des accessoires d’origine. ● Références des accessoires (voir chapitre « Accessoires »). Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique) peut procéder à l’installation et à la maintenance décrites dans ce manuel. Nos centres de service peuvent dispenser les formations nécessaires. ► Ne pas retirer l’obturateur de l’orifice d’aspiration/tubulure d’entrée tant que le produit n’est pas utilisé. ► Ne pas exposer une partie du corps humain au vide. ► Respecter les prescriptions en matière de sécurité et de prévention des accidents. ► Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées. ► Ne pas mettre sous tension le produit en l'absence de capot. ► Ne pas déplacer le produit pendant son utilisation (produit sous tension). 10/36 Informations générales 3 Informations générales 3.1 Pièces de rechange Remplacement des pièces défectueuses Les conditions initiales de sécurité du produit sont remises en cause si des pièces non d’origine constructeur sont utilisées : ● Utiliser uniquement les pièces de rechange disponibles sur commande auprès de Pfeiffer Vacuum Service (voir chapitre « Pièces de rechange », page 32). ● Pour identifier le produit et communiquer avec Pfeiffer Vacuum, se référer à la plaque signalétique du produit. 3.2 Travail préparatoire Le détecteur ne nécessite aucune maintenance sur le site client excepté la maintenance des sous-ensembles décrite dans ce manuel. Toute autre maintenance doit être réalisée par notre centre de service (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 30). AVIS Dommage sur le matériel en cas de manipulation d'un détecteur sous tension Lorsque l'utilisateur intervient sur un produit pour le déplacer ou le maintenir, il doit attendre l'arrêt complet du détecteur : il y a risque de détérioration de certains composants du détecteur. Lorsque l'interrupteur/disjoncteur est sur O : ► Débrancher le câble secteur. ► Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d'intervenir sur le produit et/ou de retirer le(s) capot(s). Procédure Pour garantir le bon fonctionnement du détecteur après la maintenance sur site, respecter les recommandations suivantes : ► Manutentionner le détecteur pour le déplacer dans une zone de maintenance (voir chapitre « Manutention » du Manuel de l'utilisateur). – local propre, non poussiéreux. ► Porter les protections de sécurité appropriées. ► Utiliser les outillages préconisés à chaque opération de maintenance. – Si besoin, un nécessaire d'entretien est disponible sur commande (voir chapitre « Outillage »). ► Toujours protéger les surfaces d'appui des brides de raccordement (cellule d'analyse, pompes et canalisations de pompage). ► Après remontage, réaliser un test d'étanchéité sur le sous-ensemble remplacé. 11/36 Intervalles de maintenance et compétences 4 Intervalles de maintenance et compétences Les opérations de maintenance niveau 1 et niveau 2 sont décrites dans ce manuel. Les opérations de maintenance niveau 3 nécessitent l’intervention d’un technicien du réseau de Service Pfeiffer Vacuum. Opération Nombre d'heures d'utilisation Niveau 1) Site 2) Remplacement des membranes et contrôle des clapets 15000 heures Tous les 2 ans si la pompe n’est pas utilisée 3 OS Remplacement de la pompe Si nécessaire 3 OS Remplacement des roulements 15000 heures Tous les 2 ans si la pompe n’est pas utilisée 3 WS Remplacement de la pompe Si nécessaire 3 OS Remplacement des joints Si nécessaire 2 OS Remplacement du filament Si nécessaire 2 OS Révision de la cellule d'analyse Si nécessaire 3 OS 500000 tests Tous les 4 ans si la pompe n’est pas utilisée 3 OS Selon conditions d'utilisation 1 OS Selon conditions d'utilisation 2 OS Réglage Selon conditions d'utilisation Toutes les 4300 heures (recommandé) 1 OS Remplacement de la jauge Si nécessaire 2 OS Si nécessaire 1 OS Si nécessaire 2 OS Tous les 2 ans (recommandé) 2 WS Révision du détecteur Selon conditions d'utilisation Tous les 4 ans (recommandé) 3 OS/WS 1) Niveau de maintenance ● 1 : Opérateur ● 2 : Technicien avec formation Pfeiffer Vacuum ● 3 : Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2) Site de maintenance ● OS : sur site client ● WS : centre de service Pfeiffer Vacuum Pompe à membrane MVP 020-3DC Pompe AMH 020 Cellule d'analyse Vannes Remplacement de toutes les vannes Electronique Nettoyage / Dépoussiérage Filtre de purge Nettoyage ou remplacement du filtre de purge Jauge Pirani Sonde de reniflage Remplacement du filtre fritté Ventilateur Remplacement du ventilateur Fuite calibrée Recalibration Détecteur de fuites Suivi des temps de maintenance Les compteurs de maintenance de la pompe primaire, de la pompe turbomoléculaire et des vannes alertent l’opérateur qu’une opération de maintenance doit être réalisée (voir chapitre « Compteurs avant prochaine maintenance » du manuel de l'utilisateur). Comment nous contacter ? La révision du produit doit être réalisée par du personnel formé par le constructeur. Contacter notre centre de service le plus proche à l'adresse suivante : Pfeiffer Vacuum Service Support. 12/36 Entretien - Maintenance 5 Entretien - Maintenance 5.1 Nettoyage ► Nettoyer le(s) capot(s) à l’aide d’un chiffon propre non pelucheux et d’un produit ne détériorant pas la peinture, les surfaces sérigraphiées et les étiquettes autocollantes. 5.2 Mise hors tension 2 o 1 3 Le détecteur est installé sur un plan de travail horizontal. Arrêt sur coupure secteur Quand une coupure secteur intervient, le détecteur s'arrête : il redémarre automatiquement au retour de l'alimentation. 5.3 Entrée d'air avant une opération de maintenance Afin de permettre le démontage de composants du circuit vide, une entrée d'air est nécessaire au préalable. Arrêt et entrée d'air Pour réaliser une maintenance sur un composant du circuit vide, il est nécessaire que le circuit vide du détecteur soit à pression atmosphérique. 1. Appuyer sur [Arrêt et entrée d'air] (voir chapitre « Maintenance pompe turbo et cellule » du manuel de l'utilisateur). ● La pompe turbomoléculaire ralentit jusqu'à atteindre la vitesse qui permet l'entrée d'air. ● Un message informe l'utilisateur lorsqu'il peut arrêter le détecteur de fuites. ● Si l'utilisateur ne souhaite plus arrêter le détecteur, appuyer sur [Redémarrer le détecteur de fuite]. L'écran de démarrage du détecteur s'affiche. 2. Arrêter le détecteur. 3. Attendre l'extinction complète du panneau de contrôle et débrancher le câble d'alimentation électrique avant d'intervenir sur le détecteur. 5.4 Démontage/remontage du capot Condition préalable ► Mettre le détecteur de fuites hors tension (voir chapitre « Mise hors tension »). 13/36 Entretien - Maintenance Démontage 4 1 2 2 2 3 5 RJ9 6 Connecteur RJ9 de la carte superviseur : raccordement du câble du panneau de contrôle Remontage Suivre les étapes à l'inverse du démontage 5.5 Remplacement du capot Condition préalable ► Retirer le capot (voir chapitre « Démontage/remontage du capot »). 14/36 Entretien - Maintenance Démontage 3 2 1 4 5 4x 4x Les 4 réhausseurs (plots et contreplaques) sont conservés pour le remontage. Remontage Suivre les étapes à l'inverse du démontage 5.6 Remplacement du cable et/ou de la ferrite du panneau de contrôle Le câble du panneau de contrôle est équipé d'une ferrite afin de répondre aux exigences CEM. Le câble du panneau de contrôle, livré en pièce de rechange, n'est pas équipé de la ferrite. La ferrite doit être retirée du câble défectueux pour être installée sur le nouveau câble. 15/36 Entretien - Maintenance Condition préalable ► Retirer le capot (voir chapitre « Démontage/remontage du capot »). Démontage de la ferrite 1 1 1 3 CLAC! 2 2 3 2 La clé spéciale est fixée avec la ferrite. 1 Clé spéciale 2 Partie supérieure de la ferrite 3 Partie inférieure de la ferrite Remontage de la ferrite 3 4 A 5 B 1 1 2 3 4 1 2 2 2 4 à 5 spires du câble sont tendues pour entourer la ferrite et faire un tour complet. 1 2 3 4 16/36 Partie supérieure de la ferrite Partie inférieure de la ferrite Connecteur carte superviseur Ferrite 5 A B Connecteur panneau de contrôle 1 spire 4 à 5 spires Entretien - Maintenance Mise en place du câble 2 1 3 2 3 4 A 1 Connecteur carte superviseur 2 Ferrite 3 Collier de fixation du câble 4 A Connecteur panneau de contrôle 25 à 30 spires 2 3 1 1 1 Collier de fixation du câble 2 Connecteur carte superviseur 2 3 3 Connecteur panneau de contrôle 17/36 Entretien - Maintenance 4 RJ 9 1 5 2 Le câble est connecté au connecteur RJ9 de la carte superviseur. 1 Connecteur carte superviseur 5.7 2 Ferrite Remplacement de la fuite calibrée interne Vérification de l'état de la fuite calibrée interne Si la fuite calibrée interne présente une trace de choc important, il est nécessaire de la remplacer. Recalibration d'une fuite calibrée avec réservoir Afin d’assurer la fiabilité du test, il est conseillé de faire recalibrer régulièrement (2 ans recommandé) chaque fuite calibrée avec réservoir pour vérifier son taux de fuite : cela s’applique aux fuites calibrées internes et externes. Renvoyer la fuite calibrée pour recalibration à un centre de service du constructeur. Condition préalable ► Retirer le capot (voir chapitre « Démontage/remontage du capot »). Démontage 1 2 3 Ne jamais dissocier le capteur thermique de la fuite calibrée. Remontage 1. Suivre les étapes à l'inverse du démontage. 2. Mettre à jour les paramètres de la fuite calibrée (voir chapitre « Paramétrage de la fuite calibrée » du manuel de l'utilisateur). – Cette opération peut être faite avec les informations inscrites sur la plaque signalétique de la fuite calibrée ou sur le certificat de la fuite calibrée livré avec la fuite. 18/36 Entretien - Maintenance F-74000 ANNECY S/N:FC15000123 P/N:119678 Value..: 1,3E-7 mbar.l/s ± 10 % 1,3E-8 Pa.m3/s ± 10 % Calibration date...: 15-Jan-2015 Lost per year........: 2 % Temperature........: 23°C Temperature coeff: 3 % HELIUM CALIBRATED LEAK Exemple de la plaque signalétique de la fuite calibrée 3. Réaliser une calibration du détecteur. Test d'étanchéité après maintenance de la fuite calibrée ► Ouvrir la vanne de calibration pour pouvoir réaliser le test. ► Asperger un léger flux d'hélium 4 autour de la fuite calibrée. – taux de fuite mesuré < 1 · 10-8 mbar·l/s (1 · 10-9 Pa·m3/s). 5.8 Maintenance de la cellule d'analyse Pollution des composants du circuit vide Lors des opérations de maintenance des composants du circuit vide, il faut éviter toute pollution qui pourrait ensuite générer le dégazage des pièces. Il faut apporter une attention particulière à la propreté. Pour éviter cela : ● ● ● ● 5.8.1 Effectuer la maintenance dans un local approprié (propre, non poussiéreux et aéré). Utiliser des papiers non tissés. Dépoussiérer les pièces avec de l'air sec filtré (sauf avis contraire mentionné). Porter des gants en vinyle non poudrés (gants salle blanche). Démontage/remontage de la cellule d'analyse AVERTISSEMENT Risque de brûlure par contact avec des surfaces chaudes Les produits sont conçus de façon à ne procurer aucun risque thermique pour la sécurité de l'opérateur. Toutefois, des conditions d'utilisation peuvent générer des températures nécessitant une attention particulière de la part de l'opérateur (surfaces > 70 °C pour des composants situés à l'intérieur du(des) capot(s)). ► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit. ► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420. Conditions préalables au démontage de la cellule d'analyse 1. Réaliser une entrée d'air sur le circuit vide (voir chapitre « Entrée d'air avant une opération de maintenance »). 2. Retirer le capot (voir chapitre « Démontage/remontage du capot »). 19/36 Entretien - Maintenance Démontage de la cellule d'analyse 2 1 3 Remontage de la cellule d'analyse 4 N·m 2 1 5 3 4 6 2 2 3 1 Altération des résultats de mesure en cas d'emploi d'une cellule d'analyse non conforme au produit Au départ usine, la cellule d'analyse est paramétrée pour le produit dans lequel elle est installée. L'emploi d'une cellule d'analyse différente du composant d'origine demande des réglages. Sans ces réglages, les mesures réalisées par le produit ne sont pas correctes. Seul un centre de service Pfeiffer Vacuum peut réaliser ces réglages. Test d'étanchéité après remontage de la cellule d'analyse ► Asperger un léger flux d'hélium 4 autour de la cellule d'analyse. – Taux de fuite mesuré < 3 · 10-10 mbar·l/s (3 · 10-11 Pa·m3/s). 20/36 Entretien - Maintenance 5.8.2 Remplacement des joints 1 1 Joints 1. Retirer la cellule d’analyse du détecteur (voir chapitre « Démontage/remontage de la cellule d'analyse »). 2. Vérifier l'état des joints : les changer si nécessaire. 3. Remplacer les 2 joints. Ne jamais graisser les joints. 5.8.3 Remplacement des filaments AVIS Altération des performances du produit due à un filament endommagé Le filament neuf présente en surface un dépôt blanc. Avec l'usage, le dépôt blanc s'oxyde et noircit : ce phénomène est normal. Tout contact avec le filament risque de le détériorer. ► Conserver le filament dans sa boîte de protection lorsqu'il n'est pas installé dans la cellule d'analyse. ► Ne pas toucher le filament avec les doigts (même avec des gants) ou tout autre objet. ► Ne pas nettoyer le filament neuf ou usagé avec un chiffon ou les doigts. ► Ne pas dépoussiérer le filament avec de l'air sec sous pression, ni en soufflant dessus. Démontage F2 F1 A 1 F1 2 A F1 Filament 1 F2 Filament 2 1 2 Vis de fixation et rondelle Clips de fixation 1. Retirer la cellule d’analyse du détecteur (voir chapitre « Démontage/remontage de la cellule d'analyse »). 2. Retirer la vis de fixation ainsi que la rondelle du filament défectueux. 3. Retirer les 2 clips de fixation à l’aide d’une pince plate (2 clips neufs sont fournis avec le filament de rechange). 21/36 Entretien - Maintenance Remontage 1 4 F1 1 3 2 F1 Filament 1 1 Vis de fixation et rondelle 2 Lamelle du filament 3 4 Connecteurs Butées de centrage Les connecteurs sont perpendiculaires à la surface d’appui et parallèles entre eux. 2 3 5 4 1. Mettre le nouveau filament dans son logement contre les 2 butées de centrage. Le fixer avec la vis et la rondelle livrées avec le filament. 2. Mettre en place les clips de fixation sur les connecteurs de chaque côté du filament. 3. Remonter la cellule d’analyse (voir chapitre « Démontage/remontage de la cellule d'analyse »). 4. Mettre à jour le compteur de maintenance du filament remplacé à partir du menu (voir chapitre « Information » du manuel de l’utilisateur). 5.9 Remplacement de la jauge Pirani Conditions préalables 1. Mettre le détecteur en mode 'En attente'. 2. Réaliser une entrée d'air en appuyant sur la touche de fonction [VENT] ou sur le picto correspondant de l’écran principal. 3. Retirer l'obturateur du port d'entrée. 4. Retirer le capot avant (voir chapitre « Démontage/remontage du capot avant »). 22/36 Entretien - Maintenance Démontage de la jauge Pirani 3 2 1 4 1 1 Vis CHc (vis CHc contenue dans le nécessaire d'entretien livré avec le détecteur) Remontage de la jauge Pirani 1. Suivre les étapes à l'inverse du démontage. – Lors de l'introduction de la nouvelle jauge, ne pas mettre en contact les filaments de la jauge avec le bloc vide. 2. Régler la jauge : voir chapitre « Calibration de la jauge Pirani interne » du manuel de l'utilisateur. Test d'étanchéité après maintenance de la jauge Pirani 1. Mettre le détecteur en cycle. 2. Asperger un léger flux d'hélium 4 autour de la jauge. – taux de fuite mesuré < 3 · 10-10 mbar·l/s (3 · 10-11 Pa·m3/s). 5.10 Remplacement des ventilateurs Condition préalable ► Retirer le capot (voir chapitre « Démontage/remontage du capot »). Démontage des ventilateurs 1 3 2 23/36 Entretien - Maintenance Remontage des ventilateurs 1 2 3 5.11 Remplacement du filtre de purge/entrée d'air Condition préalable ► Retirer le capot (voir chapitre « Démontage/remontage du capot »). Démontage du filtre de purge/entrée d'air 1 2 1 Le sens de positionnement doit être respecté. 24/36 Entretien - Maintenance Remontage du filtre de purge/entrée d'air ► Suivre les étapes à l'inverse du démontage. 25/36 Mise hors service 6 Mise hors service 6.1 Immobilisation prolongée Si le détecteur doit être arrêté pour une durée prolongée, après utilisation, il est conseillé de : 1. Appliquer la procédure de stockage prolongé (voir chapitre « Stockage» du Manuel de l'utilisateur). 2. Garder le détecteur dans son emballage d’origine ou sous sa housse de protection à l’abri de la poussière. 3. Procéder à la remise en service selon les instructions du chapitre « Utilisation » du Manuel de l'utilisateur. En cas de problème, contacter votre centre de service Pfeiffer Vacuum. 6.2 Mise au rebut Protection de l'environnement La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et prévenir de la pollution. Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés : fer, acier, acier inoxydable, fonte, laiton, aluminium, nickel, cuivre, PTFE, FPE. Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 30). 6.2.1 Restriction des substances dangereuses (RoHS) La directive 'Restriction des substances dangereuses' (RoHS) La directive RoHS établit les règles relatives à la limitation de l’utilisation de substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques (EEE) afin de contribuer à la protection de la santé humaine et de l’environnement, y compris la valorisation et l’élimination écologiquement rationnelles des déchets d’EEE. Le constructeur veille à ce que les EEE mis sur le marché, y compris les câbles et les pièces détachées destinées à la réparation, au réemploi, à la mise à jour ou au renforcement de capacité, contiennent des substances dangereuses soumises à limitation dans les limites autorisées. 6.2.2 Equipements Electriques et Electroniques (E.E.E) Les Equipements Electriques et Electroniques (EEE) contiennent des matières polluantes (cartes électroniques, piles, batteries, écrans, condensateurs, mercure, etc.). Leur dépollution puis leur recyclage permet de préserver les ressources naturelles et notamment les matières premières stratégiques. Ce produit porte le logo d'identification car il est soumis à la réglementation concernant la gestion des Déchets issus des EEE. Toute obligation du constructeur de récupérer des EEE s'applique uniquement aux produits marqués Pfeiffer Vacuum vendus par Pfeiffer Vacuum : ● EEE soumis à la réglementation en vigueur au titre du recyclage des produits en fin de vie, ● EEE complets, non modifiés, utilisant des pièces détachées d'origine Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles, mais excluant les batteries. 26/36 Mise hors service Produit vendu sur le territoire français En l’absence de tout contrat spécifique, et conformément à la législation en vigueur (et notamment aux articles R543-172 et suivants du Code de l’Environnement), pour tout EEE vendu par Pfeiffer Vacuum sur le territoire français, l’organisation et le financement de l’enlèvement et du traitement des déchets issus d'EEE sont pris en charge par Pfeiffer Vacuum. Afin de remplir ses obligations, Pfeiffer Vacuum finance les frais de collecte et le recyclage des déchets issus d’EEE en adhérant à ecosystem. Cet engagement volontaire permet aux possesseurs d’EEE sur le territoire français de bénéficier de solutions simples et gratuites pour assurer le recyclage des EEE soumis à réglementation. Pour connaître toutes les solutions de collecte, s'adresser à ecosystem qui vous indiquera la solution de collecte la plus adaptée à votre besoin : www.ecosystem.eco. Pour plus de détail, consulter les Conditions Générales de Vente en français disponibles sur le site Pfeiffer Vacuum. Produit vendu hors territoire français En l’absence de tout contrat spécifique, et conformément à la Directive 2012/19/ CE concernant le traitement des déchets issus d'EEE, pour tout EEE vendu par Pfeiffer Vacuum hors France (Union Européenne et pays tiers), le possesseur s’engage à prendre seul à sa charge l’organisation et le financement de l’enlèvement et du traitement des déchets d’EEE vendus par Pfeiffer Vacuum. Le possesseur s’engage à prendre seul à sa charge notamment la collecte (regroupement, tri et entreposage des déchets en vue du transport vers un lieu de traitement), le recyclage, la récupération et/ou la mise au rebut, sauf dispositions législatives impératives contraires du pays où est situé le possesseur, qui devront être portées à la connaissance de Pfeiffer Vacuum par le possesseur. 27/36 Dysfonctionnements 7 Dysfonctionnements 7.1 Surveillance de fonctionnement Lors du fonctionnement, l'utilisateur est averti d'un incident sur le panneau de contrôle du détecteur. Type de défaut 7.2 Panneau de contrôle Avertissement Appuyer sur [i Next] pour afficher le défaut. Erreur Affichage d'un message. Appuyer sur [i Next] pour afficher le défaut. Erreur critique Affichage du message « Erreur critique - E244 ». Contacter notre centre de service. Affichage d'un défaut Appuyer sur [i Next] pour afficher le défaut. 1 2 3 4 7.3 1 Code défaut 3 2 Description du défaut 4 Suppression du défaut : le défaut s'affichera de nouveau si l'origine du défaut n'a pas été résolu. Masquage du défaut (sans supprimer le défaut) Guide de dépannage Le guide de dépannage permet de remédier aux dysfonctionnements signalés sur le panneau de contrôle du détecteur ou présents sur le détecteur. Il est consultable à partir d’une application interactive. 28/36 Dysfonctionnements 1 4 2 3 5 1 Choix de la langue de navigation 2 Choix du produit et mot clé 3 Lancement d'une recherche 4 5 Choix du symptôme Affichage du diagnostic Consultation de l'application Le Guide de dépannage est disponible auprès de notre centre de service. 1. Lancer l’application Guide de dépannage. 2. Sélectionner la langue de navigation. 3. Sélectionner le produit et le mot clé adéquat. 4. Lancer la recherche. 5. Sélectionner un symptôme : l’origine et le diagnostic pour ce symptôme s’affichent. 29/36 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 8 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 30/36 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 31/36 Pièces de rechange 9 Pièces de rechange 9.1 Outillage Désignation Qté Référence Le nécessaire d'entretien contient : Clé emmanchée - Tournevis pour vis TORX 6x35 1 - Vis CHc M4x80 1 - Vis CHc M4x12 3 - Rondelle M4 3 - Vis CHc M3x6 4 - Rondelle M3 4 - Clé six pans mâle de 2,5 mm 1 - Clé six pans mâle de 3 mm 1 - Clé six pans mâle de 4 mm 1 - Clé six pans mâle de 5 mm 1 - Joint cellule d’analyse 3G 2 - Tournevis ANXR 20x100 1 - ® 32/36 114718 1 Désignation Qté Référence Lot adaptateur fuite calibrée DN 16 ISO-KF 1 110715 Lot adapteur fuite calibrée DN 25 ISO-KF 1 110716 Té inégal DN 25/25/16 ISO-KF 1 068269 Fuite calibrée + vanne 1/3 10-6 DN 25 ISO-KF 1 FV4610 Graisse Silicone à vide (tube 100 gr) 1 064600 Pince "Brucelles" 1 115396 Pièces de rechange 9.2 Pièces de rechange du détecteur de fuites Affichage 2 1 Rep Désignation Réf. Qté Remarques 1 Câble Panneau de Contrôle RJ9 - 2 m 104559 1 - 2 Ferrite 129864 1 - Alimentation et distribution électrique Désignation Réf. Qté Remarques Câble secteur 2 m - France/Allemagne 103566 1 - Câble secteur 2 m - USA 103567 1 - Câble secteur 2 m - UK 104411 1 - Câble secteur 2 m - Italie 104758 1 - Câble secteur 2 m - Suisse 103718 1 - 2 1 Rep Désignation Réf. Qté Remarques 1 Ventilateur A459291 1 - 2 Haut-parleur 90 dB/D 10 cm 060097 1 - 33/36 Pièces de rechange Mesure 4 1 2 3 Rep Désignation Réf. Qté Remarques 1 Jauge PI1 aluminium 795706 1 - 2 Filament - Cellule d'analyse 3G 114864S 1 - 3 Joint NBR - Cellule d'analyse 3G 114346 1 Vendu à l'unité 4 Fuite calibrée interne 121528S 1 - Refoulement 1 2 3 Rep Désignation Réf. Qté Remarques 1 Bague silencieux MVP 020-3DC 109528 1 - 2 Silencieux MVP 020-3DC 114494 1 - 3 Filtre de purge/entrée d'air 113079 1 - Canalisations - Raccords - Joints 34/36 Désignation Réf. Qté Remarques Collier de serrage DN 10/16 ISO-KF 110BSR016 1 - Collier de serrage DN 20/25 ISO-KF 120BSR025 1 - Collier de serrage DN 32/40 ISO-KF 120BSR040 1 - Obturateur inox DN 40 ISO-KF 120FBL040 1 - Joint Torique DN 25 ISO-KF HNBR 106022 1 - Joint Torique DN 40 ISO-KF HNBR 106023 1 - Joint Torique DN 16 ISO-KF HNBR 106021 1 --- Anneau Porte-Joint DN 25 ISO-KF 120ZRG025 1 - Anneau Porte-Joint DN 40 ISO-KF 120ZRG040 1 - Anneau Porte-Joint DN 16 ISO-KF 120ZRG016 1 - Tuyau polyuréthane D 6 mm Ep 1 mm 118207 1 Vendu au mètre Pièces de rechange Capotage 6 1 6 5 4 3 2 9.3 Rep Désignation Réf. Qté Remarques 1 Embout caoutchouc capot A328188 1 - 2 Capot 113009 1 Vendu sans logo 3 Logo ASM 310 A333573 1 - 4 Pied châssis A459023 1 - 5 Isolateur/Armortisseur 076112 1 - 6 Réhausseurs pour panneau de contrôle (plots et contreplaques) 129863 1 - Accessoires Repère Désignation Référence Qté Remarques 1 Filtre Poussières Bronze 20 µm D 114 mm 105847 1 - 2 Filtre Poussières Bronze 5 µm D 114 mm 105848 1 - Filtre Poussières Inox D 114 mm - 1 5 ou 15 µm - Nous consulter 3 Joint Ø 5 mm - D 114 mm 082152 1 - 4 Filtre Poussières Bronze 20 µm DN 25/25 ISO-KF 105841 1 - 5 Filtre Poussières Bronze 20 µm DN 40/40 ISO-KF 105842 1 - 6 Filtre Poussières Bronze 20 µm DN 40/25 ISO-KF 105843 1 - 7 Filtre Poussières Bronze 5 µm DN 25/25 ISO-KF 105844 1 - 8 Filtre Poussières Bronze 5 µm DN 40/40 ISO-KF 105845 1 - 9 Filtre Poussières Bronze 5 µm DN 40/25 ISO-KF 105846 1 - Filtre Poussières Inox DN 25/25 ISO-KF - 1 5 ou 15 µm - Nous consulter Filtre Poussières Inox DN 40/40 ISO-KF - 1 5 ou 15 µm - Nous consulter Filtre Poussières Inox DN 40/25 ISO-KF - 1 5 ou 15 µm - Nous consulter 35/36 *128864* Ed. 02 - Date 2022/05 - P/N:128864MFR ">
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