MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original HIPACE 3400 IT | IUT Pompe turbomoléculaire avec système de gestion de la température Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence. Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une implémentation efficace et sécurisée de notre produit. Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail [email protected]. Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de nos produits à l'adresse Download Center sur notre site internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/76 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Étiquettes sur le produit 1.3.4 Abréviations 8 8 8 8 8 8 8 9 9 10 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations incorrectes envisageables 2.7 Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 12 12 12 18 18 19 19 19 20 20 20 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Entraînement 3.2 Contenu de la livraison 3.3 Identification du produit 3.3.1 Types de produit 3.3.2 Caractéristiques du produit 21 21 22 22 22 22 23 23 23 4 Transport et stockage 4.1 Transport 4.1.1 Transport en position verticale 4.1.2 Transport à l’horizontale 4.2 Stockage 24 24 25 25 26 5 Installation 5.1 Travail préparatoire 5.2 Raccordement côté vide élevé 5.2.1 Exigences pour le dimensionnement d’une contre-bride 5.2.2 À propos de la protection antisismique 5.2.3 Utilisation d’un pare-éclats ou d’écran protecteur 5.2.4 Orientations de montage 5.2.5 Fixation de la bride ISO-F à l’ISO-F 5.3 Remplissage avec du fluide d’exploitation 5.4 Raccordement du côté vide primaire 5.5 Connexion d’eau de refroidissement 5.5.1 Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec des embouts droits 5.5.2 Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec des robinetteries 5.6 Connexion des accessoires aux pompe turbo avec un TMS 5.7 Raccordement de la purge de gaz neutre 27 27 28 28 28 29 29 30 32 33 35 36 36 37 38 3/76 Table des matières 5.8 5.9 4/76 Prenez des mesures de prévention électriques 5.8.1 Installation du coupe-circuit miniature 5.8.2 Installation d’un coupe-circuit pour courant résiduel Raccordement de l’alimentation électrique 5.9.1 Mise à la terre de la pompe à vide 5.9.2 Raccordement électrique 39 39 39 40 40 40 6 Utilisation 6.1 Mise en service 6.2 Modes de fonctionnement 6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement 6.2.2 Fonctionnement via la connexion « E74 » 6.2.3 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance » 6.2.4 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain 6.3 Mise en marche de la pompe turbo 6.4 Fonctionnement avec TMS 6.4.1 Connexion TMS 6.4.2 Description du processus pour le TMS 6.5 Surveillance des opérations 6.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes 6.5.2 Surveillance de la température 6.6 Mise hors circuit et mise à l'air 6.6.1 Mise hors circuit 6.6.2 Mise à l'air 42 42 43 43 43 43 43 44 44 45 45 46 46 46 46 47 47 47 7 Maintenance 7.1 Informations générales sur la maintenance 7.2 Intervalles de maintenance et responsabilités 7.3 Remplacement du fluide d’exploitation 7.3.1 Vidange du fluide d’exploitation 7.3.2 Remplissage avec du fluide d’exploitation 7.4 Remplacement de l’unité d’entraînement électronique 7.4.1 Démontage de l’unité de commande électronique 7.4.2 Installation de l’unité d’entraînement électronique 7.4.3 Confirmation de la spécification de vitesse 7.5 Remplacement de la chemise chauffante 7.5.1 Démontage d’une chemise chauffante 7.5.2 Installation d’une chemise chauffante 7.6 Remontage des robinetteries des tubulures 7.6.1 Démontage des pièces d'assemblage des tubulures 7.6.2 Montage des pièces d'assemblage des tubulures 49 49 49 50 50 51 52 53 54 55 55 56 57 57 57 58 8 Mise hors service 8.1 Mise hors service pendant une période prolongée 8.2 Remise en service 59 59 59 9 Recyclage et mise au rebut 9.1 Informations générales sur la mise au rebut 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires 60 60 60 10 Dysfonctionnements 61 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 64 12 Pièces de rechange 66 13 Accessoires 13.1 Informations sur les accessoires 13.2 Commande d’accessoires 67 67 67 Table des matières 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités 14.2 Fiche technique 14.3 Dimensions 69 69 69 71 Déclaration de conformité CE 73 Déclaration de Conformité UK 74 5/76 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Tab. 23: Tab. 24: 6/76 Étiquettes sur le produit Abréviations utilisées dans ce document Conditions ambiantes autorisées Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum Caractéristiques de la pompe turbomoléculaire Puissance d’entraînement délivrée en fonction de la tension secteur Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par client Réduction de la vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire de l’utilisation d’un bouclier pare-éclats ou d’un écran protecteur Exigences relatives à la composition de l’eau de refroidissement Versions de raccordement d’eau de refroidissement Connexions des accessoires préconfigurées sur l'unité d’entraînement électronique pour le fonctionnement avec le TMS Exigences techniques pour un coupe-circuit miniature Exigences techniques relatives au coupe-circuit de courant résiduel Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique Paramètres préconfigurés sur les pompes turbo avec TMS à la livraison Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Dépannage des pompes turbomoléculaires Pièces de rechange disponibles Accessoires Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Fiche technique HiPace 3400 IT | IUT 10 11 18 23 23 23 28 29 35 35 38 39 39 41 43 46 48 55 63 66 68 69 69 71 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: Fig. 16: Fig. 17: Fig. 18: Fig. 19: Fig. 20: Fig. 21: Fig. 22: Fig. 23: Fig. 24: Fig. 25: Fig. 26: Fig. 27: Fig. 28: Fig. 29: Fig. 30: Fig. 31: Fig. 32: Position des étiquettes sur le produit Construction de la pompe turbomoléculaire 3400 IT | IUT avec TC 1200 Construction du boîtier TMS Points d’attache des sangles pour le transport à la verticale de la pompe turbomoléculaire sans emballage Points d'attache des sangles pour le transport horizontal de la pompe turbomoléculaire sans emballage Exemple : Fixation contre le risque de déplacement et de basculement lié à des vibrations externes HiPace 3400 | Orientations de montage de la version standard, en position verticale HiPace 3400 | Orientations de montage de la version standard, en suspension Alignement du raccordement de vide primaire avec l’orientation de montage à l’horizontale Raccord de bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous taraudés Raccord à bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous traversants Raccord à bride ISO-F, goujons et trous taraudés Raccord à bride ISO-F, goujons et trous traversants La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions standards La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions U Exemple d’un raccord de vide primaire sur HiPace 3400 IT Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec des embouts droits Raccordement d'eau de refroidissement avec des robinetteries de tubulures Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre Alimentation électrique secteur Exemple de vidange du fluide d’exploitation pour les versions standards et U La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions standards La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions U Démontage de l’unité d’entraînement électronique Fixation de l’unité de commande électronique Démontage de la chemise chauffante Installation d’une chemise chauffante Démontage des pièces d'assemblage des tubulures Montage des pièces d'assemblage des tubulures Pièces de rechange HiPace 3400 IT | IUT HiPace 3400 IT | TC 1200 DN 320 ISO-F HiPace 3400 IUT | TC 1200 DN 320 ISO-F 10 21 22 25 26 29 30 30 30 31 31 31 32 33 33 34 36 37 40 45 50 52 52 54 54 56 57 58 58 66 71 72 7/76 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 Documents applicables Document Numéro Manuel de l’utilisateur, Unité d’entraînement électronique TC 1200, standard PT 0239 BN Manuel de l’utilisateur, unité de commande électronique TC 1200 E74 Conformément à Semi E74 PT 0303 BN Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes ● HiPace 3400 IT, DN 320 ISO-F, 230 V AC ● HiPace 3400 IUT, DN 320 ISO-F, 230 V AC 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. 8/76 A propos de ce manuel Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.3.3 Étiquettes sur le produit Cette section décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leurs significations. D-35614 Asslar Mod. HiPace 3400 IT P/N PM P06 544 S/N - - - - - - - PM 006 336 -T Oil n, f 27300 1/min, 455 Hz Mass 65.0 kg Made in Germany 2023/11 Plaque signalétique Les plaques signalétiques des modules individuels sont situées sur la partie inférieure de la pompe turbomoléculaire ou des connexions correspondantes. TÜV Rheinland C US Remarque concernant le manuel de l’utilisateur Cette étiquette indique que ce manuel de l’utilisateur doit être lu avant d’exécuter une tâche. Remarque relative à l’orientation verticale de montage Cette étiquette dépend de la variante. Cette étiquette montre les positions spatiales valides pour l’installation et le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire. Remarque relative à l’orientation de montage Cette étiquette dépend de la variante. Cette étiquette montre les positions spatiales valides pour l’installation et le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire. Vis de remplissage du fluide d’exploitation Cette étiquette décrit la position de la vis de remplissage correspondante du fluide d’exploitation. Classe de protection Cette étiquette décrit la classe de protection 1 du produit. Le positionnement indique la position de la mise à la terre. COOLING WATER IN max. 6 bar (90 psi) Raccord d’eau de refroidissement Cette étiquette indique la position et les conditions pour l’alimentation de la pompe turbomoléculaire en eau de refroidissement. 9/76 A propos de ce manuel Raccord d’eau de refroidissement Cette étiquette indique la position de l’évacuation de l’eau de refroidissement de la pompe turbomoléculaire. COOLING WATER OUT Avertissement, surface chaude Cette étiquette met en garde contre les risques de blessure liés aux hautes températures à la suite d’un contact sans protection pendant le fonctionnement. Sceau de garantie Le produit est étanché, départ d’usine. L’endommagement ou le retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque. warranty seal Remarque sur le raccordement de la purge de gaz neutre Cette étiquette décrit la position du raccordement exclusif de la purge de gaz neutre. PURGE Avertissement Cette étiquette avertit du danger lié à la tension électrique sur le connecteur multiple correspondant. Tab. 1: Étiquettes sur le produit 1 2 7 14 Fig. 1: 1.3.4 10/76 13 12 11 10 9 6 5 8 4 3 Position des étiquettes sur le produit 1 Étiquette du manuel de l’utilisateur 2 Signe d’avertissement surface chaude 3 Plaque de type du boîtier TMS 8 9 10 4 Plaque signalétique pour l’unité de commande électronique 5 Étiquette d’évacuation d’eau de refroidissement 6 Étiquette d’entrée d’eau de refroidissement 7 Étiquette du fluide d’exploitation 11 Abréviations Abréviation Signification dans ce document CA Courant alternatif AIC Capacité d’interruption en ampère 12 13 14 Étiquette du manuel de l’utilisateur Étiquette de borne de masse Étiquette du raccordement de la purge de gaz neutre Étiquette de l’orientation de montage Plaque signalétique de la pompe turbo Sceau de garantie Symbole d’avertissement pour élément sous tension A propos de ce manuel Abréviation Signification dans ce document d Valeur diamètre (en mm) DCU Appareil de commande et d’affichage DN Diamètre nominal comme désignation de grandeur EMS Arrêt d’urgence f Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz) HPU Unité de programmation portable facilitant la commande et le suivi des paramètres HV Bride de vide élevé, côté vide élevé ISO Bride : raccordement conforme aux spécifications ISO 1609 et ISO 2861 LED Diode électroluminescente LS Protection de ligne UL Underwriters Laboratories MCB Coupe-circuit miniature NEMA National Electrical Manufacturer Association PE Terre de protection (conducteur de protection) [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous forme de nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description. Exemple : [P:312] version logicielle Coupe-circuit de courant résiduel Coupe-circuit pour courant résiduel à distance Connecteur D-Sub 26 broches sur l’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire WAF Largeur sur pans T Température (en °C), contrôlé par la température TC Turbo contrôleur TMS Système de gestion de la température U Version inversée VV Bride de vide primaire, raccord de vide primaire Tab. 2: Abréviations utilisées dans ce document 11/76 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques lors du transport AVERTISSEMENT Risque de blessures graves en cas d'oscillation, de basculement ou de chute d'objets Lors du transport, il y a un risque d'écrasement et de choc si les objets oscillent, basculent ou chutent. Risques de blessures des membres allant jusqu'à des fractures osseuses et des traumatismes crâniens. ► Empêchez les personnes de séjourner en dessous de la charge soulevée. ► Si nécessaire, sécurisez la zone dangereuse. ► Évitez la traction diagonale des élingues. ► N'empilez par les produits. ► Faites attention au centre de gravité de la charge lors du transport avec un chariot élévateur. ► Portez un équipement de protection, par ex. des chaussures de sécurité. 12/76 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Choc électrique en cas de contact avec des éléments à nu et sous tension. Le raccordement incorrect de l’alimentation secteur entraîne un risque de contact avec des pièces du carter sous tension. Il existe dès lors un danger de mort. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Assurez-vous que les installations électriques soient réalisées par des électriciens qualifiés. ► Établissez une mise à la terre correcte de l’appareil. ► Après l’opération de raccordement, contrôlez le conducteur de terre. AVERTISSEMENT Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal). ► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2. ► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum. AVERTISSEMENT Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la bride de vide élevé L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages lors de la prochaine utilisation. ► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé. ► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé. ► Porter des gants de protection pendant l'installation. ► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées. ► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique. ► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de vide ouverte). AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé. ► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant d'avoir raccordé la bride de vide élevé. ► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser. 13/76 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à l'oscillation, au basculement ou à la chute d'objets Une manipulation incorrecte pendant l'installation mécanique représente un risque d'oscillation, de basculement ou de chute de lourdes charges. Il y a un risque d'écrasement et de choc (p. ex. lié à la collision avec les connexions à bride). Il existe un risque de blessure des membres, y compris de fracture et de blessures à la tête. ► Utiliser les boulons à œillère prévus pendant l'installation. ► En approchant de la pompe à vide, faire particulièrement attention à la contre-bride. ► Noter le centre de gravité de la charge. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Risque d’empoisonnement en cas d’inhalation. ► Respecter les consignes et précautions d’application. ► Tenir les produits à base de tabac à l’écart du fluide d’exploitation. AVERTISSEMENT Risque d’ébouillantage lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement à haute température Les connexions d'eau de la pompe turbo sont ouvertes des deux côtés. Lors de la connexion de l'alimentation en eau de refroidissement, il y a un risque de blessure lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement sous haute pression et à haute température. ► Avant l'installation, vérifier que le système d'eau de refroidissement n'est pas sous pression et qu'il est à température ambiante. ► Porter un équipement de protection individuelle, p. ex. lunettes et gants de sécurité. Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un risque de brûlure. ► Si nécessaire, installer une protection isolante. ► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux. ► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité. ► Porter un équipements de protection, p. ex. gants. AVERTISSEMENT Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un risque de grave blessure lié à l'éjection d'objets. ► Ne jamais dépasser la pression d'entrée autorisée de 1 500 hPa (absolue) sur le côté aspiration ou la connexion de mise à l'air et de gaz de pressurisation. ► Vérifier que les surpressions liées au processus ne peuvent entrer directement dans la pompe à vide. 14/76 Sécurité ATTENTION Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome. ► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air. ► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de mise à l'air. Risques pendant la maintenance, la mise hors service et la mise au rebut AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbomoléculaire est à l’arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Avant tout travail, mettez hors circuit l’interrupteur secteur. ► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0). ► Débranchez la prise secteur de l’appareil. ► Sécurisez l’appareil contre tout redémarrage intempestif. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Risque d’empoisonnement en cas d’inhalation. ► Respecter les consignes et précautions d’application. ► Tenir les produits à base de tabac à l’écart du fluide d’exploitation. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un risque de brûlure. ► Si nécessaire, installer une protection isolante. ► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux. ► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité. ► Porter un équipements de protection, p. ex. gants. 15/76 Sécurité AVERTISSEMENT En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomoléculaire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées. ► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0). ► Mettez correctement hors circuit la pompe turbomoléculaire. ► Sécurisez la pompe turbomoléculaire contre tout risque de redémarrage. ► Fermez immédiatement les connexions ouvertes après démontage en utilisant le cache d'origine. AVERTISSEMENT Risque d’ébouillantage lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement à haute température Les connexions d'eau de la pompe turbo sont ouvertes des deux côtés. Lors de la connexion de l'alimentation en eau de refroidissement, il y a un risque de blessure lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement sous haute pression et à haute température. ► Avant l'installation, vérifier que le système d'eau de refroidissement n'est pas sous pression et qu'il est à température ambiante. ► Porter un équipement de protection individuelle, p. ex. lunettes et gants de sécurité. ATTENTION Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome. ► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air. ► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de mise à l'air. ATTENTION Risque de choc électrique et d’endommagement de la pompe à vide et de l'unité de commande électronique lié à la déconnexion incorrecte des composants Même après avoir mis hors circuit l’alimentation secteur, la pompe turbomoléculaire continue de fournir de l’énergie électrique tant qu’elle n’est pas complètement à l’arrêt. Si la pompe turbomoléculaire et l’unité de commande électronique sont déconnectées prématurément, il y a un risque de choc électrique en cas de contact avec des composants sous tension. Il y a un risque de contact électrique du corps avec à la clé la destruction des composants électroniques. ► Ne déconnectez jamais la pompe turbomoléculaire et l’unité de commande électronique encore sous tension ou si le rotor est en rotation. ► Surveillez la rotation de la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire des paramètres disponibles dans l’unité de commande électronique (p. ex. [P:398]). ► Attendez l’arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0). 16/76 Sécurité Risques liés aux anomalies de fonctionnement DANGER Danger de blessure mortelle liée à un choc électrique dû à une fuite dans le système d’eau de refroidissement La pénétration de l’eau de refroidissement qui fuit dans le dispositif chauffant va mettre sous tension les pièces externes de la chemise chauffante. Le matériau d’isolation absorbe l’humidité et représente un danger potentiel, même après la rectification du défaut. Il y a un danger de mort lié à un choc électrique en cas de contact. ► Effectuez un essai de surpression du système d’eau de refroidissement au moins une fois par an. ► En cas de défaut, remplacez toujours la chemise chauffante complète. ► Assurez-vous d'installer un coupe-circuit de courant résiduel sur site. AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. AVERTISSEMENT Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées. ► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées. ► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles. ► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo. 17/76 Sécurité 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respecter toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôler régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► N’exposer aucune partie du corps au vide. ► Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté (vitesse de rotation f =0). ► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert. ► Tenir les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70°C). ► Ne jamais remplir ou faire fonctionner l’appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Consulter la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. 2.4 Limites d’utilisation du produit Lieu de mise en place Protégé des intempéries (espace intérieur) Pression d’air 750 hPa à 1 060 hPa Altitude d’installation Max. 2000 m Humidité rel. de l’air max. 80 %, à T <31°C, jusqu’à max. 50 % à T <40°C Classe de protection (conformément à la norme CEI 61010) I Degré de pollution (conformément à la norme CEI 61010) 2 Catégorie de surtension II Degré de protection admissible IP20, Type 1 (conformément à UL 50E) Température ambiante 5 °C à 40 °C avec refroidissement à l’eau Champ magnétique environnant admissible ≤ 3,4 mT Rayonnement thermique maximum 24 W Température maximum admissible du rotor de la pompe turbomoléculaire 120 °C Température de dégazage maximum admissible au niveau de la bride de vide élevé 120 °C Tab. 3: 18/76 Conditions ambiantes autorisées Sécurité Remarques sur les conditions ambiantes Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à la surveillance redondante de la température. ● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées. ● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire. 2.5 Utilisation conforme ► Utilisation de la pompe turbo uniquement pour générer du vide. ► Utiliser la pompe turbo uniquement en combinaison avec une pompe de secours appropriée pouvant générer la pression de vide préliminaire maximum requise. ► Utiliser la pompe turbo uniquement à l'abri, dans un local fermé. ► Utiliser la pompe turbo uniquement pour l'évacuation de gaz secs et inertes. ► Utiliser uniquement la pompe turbo avec TMS dans la plage de température admissible. ► Utiliser uniquement la pompe turbo avec TMS en conjonction avec le gaz de pressurisation pour la protection des paliers du rotor. ► Utiliser la pompe turbo avec TMS pour éviter ou minimiser la condensation des résidus de processus. 2.6 Utilisations incorrectes envisageables Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme abusive. ● Transport, installation et fonctionnement de la pompe à vide dans une position inadmissible dans l'espace ● Raccordement de l'alimentation électrique sans installation correcte ● Installation de la pompe avec un matériel de montage non spécifié ● Pompage de substances explosives ● Pompage de substances corrosives ● Pompage de liquides ● Pompage de poussière ● Fonctionnement sans gaz de pressurisation ● Fonctionnement avec un débit de gaz élevé inadmissible ● Fonctionnement avec une pression de vide préliminaire inadmissible ● Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé ● Fonctionnement avec des champs magnétiques d'intensité élevée et inadmissible ● Fonctionnement dans un mode gaz incorrect ● Mise à l'air avec un débit de mise à l'air élevé et inadmissible ● Utilisation pour la production de pression ● Utilisation dans des zones à radiation ionisante ● Fonctionnement dans des zones explosives ● Utilisation dans des systèmes où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur l'appareil ● Création de conditions de fonctionnement dangereuses en raison d'un réglage par défaut sur l'unité d’entraînement électronique qui est contraire au processus ● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions 2.7 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. 19/76 Sécurité Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.7.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 20/76 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l’unité d’entraînement électronique et le bloc d’alimentation électrique intégré. Le système de gestion de la température (TMS) prévient la condensation des résidus de processus par l’intermédiaire du chauffage contrôlé du corps de pompe. Le système de refroidissement assure une dissipation sûre et suffisante de la chaleur sans perte d’énergie pendant le processus de chauffage. 1 2 3 6 5 4 7 8 9 10 19 Fig. 2: 18 17 16 15 14 11 13 12 Construction de la pompe turbomoléculaire 3400 IT | IUT avec TC 1200 1 Raccord de vide élevé, DN 320 ISO-F 11 2 3 4 12 13 14 5 Manchon chauffant TMS Boîtier TMS Obturateur de protection du raccord de vide primaire Pompe du fluide d’exploitation en position U 6 Unité de commande électronique 16 7 8 Boulon à œillet Alimentation électrique, boîtier TMS 17 18 9 Manchon chauffant TMS 10 Sonde de température 15 16 Obturateur de protection de la connexion de vide secondaire Borne de connexion de masse Vanne de la purge de gaz Vis de ventilation Alimentation électrique, unité d’entraînement électronique Raccordement d’eau de refroidissement, arrivée Raccord d’eau de refroidissement, sortie Pompe duà fluide d’exploitation pour version standard Raccord de vide primaire DN 40 ISO-KF 21/76 Description du produit 3 ST4 ST3 4 2 F2 10 AT F1 10 AT 1 t ST1 AC Inpu ST2 5 6 Fig. 3: 3.1.1 Construction du boîtier TMS 1 Fusible F1, 10 A, à déclenchement temporisé 2 Fusible F2, 10 A, à déclenchement temporisé 4 5 3 Douille de raccordement M8, câble de capteur ST3 6 Raccordement câble accessoires ST4 Raccordement de la tension d’alimentation du manchon chauffant ST2 Connecteur ST1, entrée CA Refroidissement ● Refroidissement à eau L’unité d’entraînement électronique régule automatiquement l’arrêt de l’entraînement en cas de température excessive. 3.1.2 Paliers du rotor pompe turbo à paliers hybrides ● Côté vide secondaire : paliers magnétiques permanents sans usure ● Côté vide préliminaire : roulement à billes en céramique Les pompes turbomoléculaires HiPace à paliers hybrides utilisent des roulements à billes en céramique pour le palier du rotor côté vide préliminaire. La pompe à fluide d’exploitation assure une lubrification définie et le fonctionnement continu des roulements à billes. 3.1.3 Entraînement ● Unité d’entraînement électronique TC 1200 3.2 Contenu de la livraison ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● pompe turbo avec unité d’entraînement électronique et pack d'alimentation intégré Chemise chauffante Système de gestion de la température (boîtier TMS) Cache protecteur de la connexion de vide secondaire Cache protecteur de la connexion de vide préliminaire Fiche d'accouplement de la connexion « à distance » sur le TC 1200 (en fonction du type) Fiche d'accouplement de la connexion « E74 » sur le TC 1200 (en fonction du type) Distributeur Y M12 pour la connexion des accessoires Vanne de gaz de pressurisation (déjà montée) Fluide d’exploitation F3 (50 ml) avec seringue Buse de vidange 2 boulons à œillets pour le transport Coupleur correspondante pour le raccordement d'eau de refroidissement, en fonction de la version respective de la pompe ─ 2× embouts droits à filetage 1/4” ─ 2 coupleurs Swagelok ● Manuel de l’utilisateur 22/76 Description du produit 3.3 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320. 3.3.1 Types de produit La désignation de produit des séries de pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum HiPace est composée du nom de famille, de la taille (basée sur le débit de pompage de la pompe à vide) et, si nécessaire, de la description d’une caractéristique supplémentaire. Famille Grandeur/modèle Attribut HiPace 10 à 3400 aucun/aucune = version standard mini = version compacte U = version suspendue C = version de gaz corrosif P = processus M = palier magnétique actif T = gestion de température Plus = faible vibration, faible champ magnétique E = haut rendement H = compression élevée I = implantation ionique Tab. 4: 3.3.2 Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum Caractéristiques du produit Caractéristique Version Version de pompe IT IUT Bride HV DN 320 ISO-F DN 320 ISO-F Matériau de bride Aluminium Aluminium Tab. 5: Caractéristiques de la pompe turbomoléculaire Tension secteur ± 10 % Puissance d'entrée moteur de l’unité de commande électronique 100 à 120 V CA 700 à 930 W 200 à 240 V CA 1200 W Tab. 6: Puissance d’entraînement délivrée en fonction de la tension secteur 23/76 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport AVERTISSEMENT Risque de blessures graves en cas d'oscillation, de basculement ou de chute d'objets Lors du transport, il y a un risque d'écrasement et de choc si les objets oscillent, basculent ou chutent. Risques de blessures des membres allant jusqu'à des fractures osseuses et des traumatismes crâniens. ► Empêchez les personnes de séjourner en dessous de la charge soulevée. ► Si nécessaire, sécurisez la zone dangereuse. ► Évitez la traction diagonale des élingues. ► N'empilez par les produits. ► Faites attention au centre de gravité de la charge lors du transport avec un chariot élévateur. ► Portez un équipement de protection, par ex. des chaussures de sécurité. AVIS Destruction de la pompe à vide en cas de non respect de la position spatiale spécifique au type Des positions spatiales interdites entraînent une pollution de la pompe à vide par le fluide d’exploitation. Il y a un risque de pollution du vide de processus et d'endommagement, voire de destruction de la pompe à vide. ► Observer les étiquettes concernant la position spatiale valide de la pompe à vide. ► Observer les étiquettes de propriété sur la plaque de type. ► Avant de déplacer ou de transporter la pompe à vide, vider le fluide d’exploitation. ► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe à vide avec du fluide d’exploitation. Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transport en toute sécurité du produit 1. Observez le poids spécifié sur la plaque signalétique. 2. Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours la pompe turbomoléculaire dans son emballage d’origine. 3. Enlevez l’obturateur de protection seulement immédiatement avant l’installation. Transport de la pompe turbomoléculaire dans son emballage 1. Utilisez un transpalette pour transporter la pompe turbomoléculaire encore emballée. 2. Repérez le centre de gravité de la charge. 3. Manipulez avec précaution les engins de transport à commande manuelle. 4. La pompe turbomoléculaire doit être transportée dans sa position spatiale valide, axe du rotor aligné verticalement. 5. Les mouvements doivent être harmonieux et la vitesse modérée. 6. Veillez à ce que le support soit plat. 7. Portez des équipements de protection, p. ex. chaussures de sécurité. 24/76 Transport et stockage 4.1.1 Transport en position verticale AVIS Destruction de la pompe à vide en cas de non respect de la position spatiale spécifique au type Des positions spatiales interdites entraînent une pollution de la pompe à vide par le fluide d’exploitation. Il y a un risque de pollution du vide de processus et d'endommagement, voire de destruction de la pompe à vide. ► Observer les étiquettes concernant la position spatiale valide de la pompe à vide. ► Observer les étiquettes de propriété sur la plaque de type. ► Avant de déplacer ou de transporter la pompe à vide, vider le fluide d’exploitation. ► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe à vide avec du fluide d’exploitation. 60° 60° max max 1 Fig. 4: 2 Points d’attache des sangles pour le transport à la verticale de la pompe turbomoléculaire sans emballage 1 HiPace 3400 IT 2 HiPace 3400 IUT Instructions pour le transport à la verticale 2 anneaux à vis sont inclus dans le contenu de livraison et sont serrés à bloc dans le bâti de la pompe turbomoléculaire. 1. Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans sa position autorisée. 2. Attachez des outils de levage appropriés aux deux anneaux de levage. 3. Faites attention à l’utilisation correcte et au serrage conforme de l’équipement de levage. 4. Soulevez la pompe turbomoléculaire. 5. Si nécessaire, enlevez les anneaux de levage après le transport et l’installation. – Conservez les anneaux de levage pour une utilisation ultérieure. 4.1.2 Transport à l’horizontale Utilisation d’anneaux à vis L'utilisation d’anneaux à vis pour le transport à l’horizontale n’engage que l’entreprise exploitante. ● Utilisez toujours des rondelles adaptées. ● Vissez toujours les anneaux à vis jusqu’en butée pour éviter tout cisaillement des anneaux. 25/76 Transport et stockage Accessoires requis ● 2 anneaux à vis adaptés, M8 ● 2 disques de freinage 60° max Fig. 5: Points d'attache des sangles pour le transport horizontal de la pompe turbomoléculaire sans emballage Instructions pour le transport sécurisé 1. Vissez les deux anneaux à vis jusqu’à la butée dans les perçages de fixation fournis. 2. Attachez des outils de levage appropriés aux deux boulons à œil. 3. Attention à l'utilisation correcte et au serrage conforme de l'équipement de levage. 4. Soulevez la pompe turbomoléculaire. 5. Si nécessaire, enlevez les boulons à œil après le transport et l'installation. – Conservez les anneaux à vis pour une utilisation ultérieure. 4.2 Stockage Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de stocker le produit dans son conditionnement de transport d’origine. Stockage de la pompe turbomoléculaire 1. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origine. 2. Fermez toutes les autres connexions (raccord de mise à l'air, etc.) avec les pièces d'origine correspondantes. 3. Rangez la pompe turbomoléculaire uniquement dans un local dans les limites admissibles de température. 4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Scellez la pompe turbomoléculaire avec un agent dessiccant dans un sac en plastique hermétique. 26/76 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire. Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et l'éclatement (rupture de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire. 5.1 Travail préparatoire AVERTISSEMENT Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la bride de vide élevé L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages lors de la prochaine utilisation. ► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé. ► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé. ► Porter des gants de protection pendant l'installation. ► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées. ► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique. ► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de vide ouverte). Remarques générales pour l’installation des composants de vide ► L’emplacement de l’installation doit être choisi de façon à permettre à tout moment d'accéder au produit et aux conduites d'alimentation. ► Observez les conditions ambiantes indiquées pour les limites d’utilisation. ► L'assemblage doit être effectué en veillant à une propreté maximale. ► Pendant l’installation, les composants de brides doivent être parfaitement dégraissés, dépoussiérés et secs. Sélection de l'emplacement de l’installation 1. Observer les instructions de transport jusqu'à l'emplacement de l’installation. 2. Vérifier que les options de refroidissement sont suffisantes pour la pompe turbo. 3. Installer des blindages appropriés si les champs magnétiques environnants excèdent les niveaux admissibles. 4. Installer le blindage approprié de façon à ce que le rayonnement thermique ne dépasse pas les valeurs admissibles lorsque des températures élevées sont générées en raison du procédé. 5. Respecter les températures admissibles pour le raccord de vide. 27/76 Installation 5.2 Raccordement côté vide élevé 5.2.1 Exigences pour le dimensionnement d’une contre-bride AVIS Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de fortes contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de provoquer une fuite ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement. ► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées. ► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface. Pièces de superstructure et robinetterie sur le raccord de vide élevé La responsabilité de l'installation des pièces de superstructure et de la robinetterie sur le raccord de vide élevé incombe à la société d'exploitation. La capacité de charge de la bride de vide secondaire est spécifique à la pompe turbomoléculaire utilisée. ● Le poids total des pièces de superstructure ne doit pas excéder les valeurs axiales maximum spécifiées. ● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque soudainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé. ● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire. Paramètre HiPace 3400 Couple maximum généré en cas d’éclatement1) 29000 Nm Charge axiale maximum admissible sur la bride de vide élevé2) 2000 N (équivalent à 200 kg) Planéité ± 0,05 mm Résistance à la traction minimum du matériau de bride dans tous les états de marche par rapport à la profondeur d’engagement des vis de fixation 170 N/mm2 à 2,5 x d 270 N/mm2 à 1,5 x d Champ magnétique environnant maximum admissible 3,4 mT Quantité de refoulement thermique irradié maximum admissible 24 W Tab. 7: 5.2.2 Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par client À propos de la protection antisismique AVIS Endommagement de la pompe à vide lié à des vibrations externes En cas de tremblement de terre ou d’autres vibrations externes, le rotor risque d’entrer en contact avec les paliers de sécurité. La paroi du corps peut aussi toucher la pompe turbo. Les charges mécaniques ainsi générées peuvent endommager voire détruire la pompe turbo. ► Il faut s'assurer que tous les raccords de bride et de sûreté absorbent les forces résultantes. ► La chambre de vide doit être fixée en toute sécurité pour prévenir tout risque de déplacement ou de basculement. 28/76 1) Le couple de serrage calculé théoriquement en cas d’éclatement (rupture de l’axe du rotor) conformément à la norme ISO 27892 n’a pas été atteint pendant les tests expérimentaux. 2) Une charge qui s’exerce sur un seul côté n’est pas autorisée. Installation VACUUM CHAMBER 1 Fig. 6: 1 5.2.3 Exemple : Fixation contre le risque de déplacement et de basculement lié à des vibrations externes Raccordement de sûreté, côté client Utilisation d’un pare-éclats ou d’écran protecteur Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide élevé protègent la pompe turbomoléculaire contre les matières étrangères provenant de la chambre de vide. La vitesse de pompage est réduite conformément aux valeurs de référence de passage et à la taille de la bride de vide élevé. Taille de bride Réduction de la vitesse de pompage en % par type de gaz H2 He N2 Ar Pare-éclats DN 320 6 9 22 23 Écran protecteur DN 320 2 2 6 7 Tab. 8: Réduction de la vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire de l’utilisation d’un bouclier pare-éclats ou d’un écran protecteur ► Pour les brides ISO, utilisez des anneaux de centrage avec un écran protecteur ou un pareéclats. 5.2.4 Orientations de montage AVIS Destruction de la pompe à vide en cas de non respect de la position spatiale spécifique au type Des positions spatiales interdites entraînent une pollution de la pompe à vide par le fluide d’exploitation. Il y a un risque de pollution du vide de processus et d'endommagement, voire de destruction de la pompe à vide. ► Observer les étiquettes concernant la position spatiale valide de la pompe à vide. ► Observer les étiquettes de propriété sur la plaque de type. ► Avant de déplacer ou de transporter la pompe à vide, vider le fluide d’exploitation. ► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe à vide avec du fluide d’exploitation. 29/76 Installation Fig. 7: HiPace 3400 | Orientations de montage de la version standard, en position verticale Fig. 8: HiPace 3400 | Orientations de montage de la version standard, en suspension ► Prenez des mesures contre le reflux des fluides d’exploitation ou des condensats de la zone de vide primaire. HV VV Fig. 9: VV ± 25° max VV Alignement du raccordement de vide primaire avec l’orientation de montage à l’horizontale Détermination de l’orientation de montage horizontale de la pompe turbomoléculaire 1. Alignez toujours le raccord de vide primaire verticalement et vers le bas. – Déviation admissible ± 25° 2. Les raccordements des tubes devant la pompe turbomoléculaire doivent être fixés sur des supports. 3. Les forces générées par le système de tuyauterie ne doivent pas s’exercer sur la pompe turbomoléculaire. 4. Ne chargez pas la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire sur un côté. 5.2.5 Fixation de la bride ISO-F à l’ISO-F Les types de raccordement pour l’installation de la bride ISO-F avec une bride ISO-F sont : ● Vis à tête hexagonale et trou taraudé ● Vis hexagonale et trou traversant 30/76 Installation ● Goujon fileté avec trou taraudé ● Goujon fileté avec trou traversant Outils requis ● Clé à écrou hexagonal (15 WAF) ● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6) Fig. 10: Raccord de bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous taraudés Raccordement de la vis à tête hexagonale et du trou taraudé 1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Reliez la pompe turbomoléculaire avec l’anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure. 3. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire. 4. Visser le nombre requis de vis à tête hexagonale dans le trou taraudé. – Observez la résistance minimum de traction élastique du matériau de bride et la profondeur des vis. 5. Serrez les vis à tête hexagonale en croix en 3 étapes. – Couple de serrage : 20, 40, 72 ± 3 Nm Fig. 11: Raccord à bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous traversants Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants 1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Reliez la pompe turbomoléculaire avec l’anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure. 3. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire. 4. Pousser les vis à tête hexagonale à travers les trous de la pompe turbomoléculaire et de la contre-bride. 5. Serrer à bloc les écrous hexagonaux. 6. Serrer les raccords à vis en croix en 3 étapes. – Couple de serrage : 20, 40, 72 ± 3 Nm Fig. 12: Raccord à bride ISO-F, goujons et trous taraudés 31/76 Installation Raccordement du goujon fileté et du trou taraudé 1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Vissez les goujons avec l’extrémité la plus courte dans les trous taraudés de la contre-bride. – Observez la résistance minimum de traction élastique du matériau de bride et la profondeur des vis. 3. Reliez la pompe turbomoléculaire avec l’anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure. 4. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire. 5. Serrer à bloc les écrous hexagonaux. 6. Serrez les écrous en croix en 3 étapes. – Couple de serrage : 20, 40, 72 ± 3 Nm Fig. 13: Raccord à bride ISO-F, goujons et trous traversants Raccordement des goujons et des trous traversants 1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Reliez la pompe turbomoléculaire avec l’anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure. 3. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire. 4. Serrer les raccords à vis en croix en 3 étapes. – Couple de serrage : 20, 40, 72 ± 3 Nm 5.3 Remplissage avec du fluide d’exploitation AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Risque d’empoisonnement en cas d’inhalation. ► Respecter les consignes et précautions d’application. ► Tenir les produits à base de tabac à l’écart du fluide d’exploitation. AVIS Destruction de la pompe turbo liée à un fonctionnement incorrect pendant le remplissage avec du fluide d’exploitation La quantité de fluide d’exploitation dépend de la position de la pompe turbo dans l'espace. Les positions des vis de remplissage sont clairement marquées sur les deux côtés de la pompe du fluide d’exploitation de la pompe turbo. Toute confusion avec d'autres bouchons filetés entraîne une contamination, un endommagement de la pompe turbo, voire la destruction de cette dernière. ► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe turbo avec du fluide d’exploitation. ► Le remplissage de la pompe turbo avec du fluide d’exploitation ne s'effectue que par l'intermédiaire d'un des bouchons filetés marqués avec le symbole d'un bidon d'huile. ► En cas de doute, contacter Pfeiffer Vacuum. Produits consommables requis ● Fluide d’exploitation F3, 50 ml Outillage nécessaire ● Clé Allen, ouverture 5 ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) 32/76 Installation Fig. 14: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions standards Direction du raccord de vide Fig. 15: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions U Direction du raccord de vide Procédure 1. Dévissez et enlevez le bouchon fileté supérieur de la pompe du fluide d’exploitation. 2. Utilisez la seringue et le fluide d’exploitation fourni avec la pompe turbomoléculaire. 3. Disposez un récipient sous l'orifice de remplissage. 4. Remplissez avec du fluide d’exploitation jusqu'à ce qu'il déborde de l'orifice de remplissage. – Volume maximum 50 ml. – Lorsque la pompe est montée verticalement, le volume de remplissage est inférieur. 5. Scellez le bouchon de remplissage. – Couple de serrage : 3 Nm 5.4 Raccordement du côté vide primaire AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles. ► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo. 33/76 Installation Pompe primaire appropriée Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement en combinaison avec une pompe primaire appropriée générant le niveau de vide primaire requis. Utiliser pour générer le niveau de vide primaire, une pompe à vide ou une station de pompage appropriée de la gamme Pfeiffer Vacuum. Dans ce cas, la pompe primaire est commandée directement via les interfaces de l'unité d’entraînement électronique de la pompe turbomoléculaire (p. ex. coffret de relais ou câble de connexion). 1 2 3 5 4 Fig. 16: Exemple d’un raccord de vide primaire sur HiPace 3400 IT 1 Raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire 2 Composants de vide DN 40 ISO-KF 3 Pompe primaire (p. ex. pompe rotative à deux étages) 4 5 Anneau de serrage Anneau de centrage Établissez le raccord de vide primaire 1. Avec des raccords tubulaires rigides, vous devez inclure un soufflet pour atténuer les vibrations externes. 2. Installez un raccord de vide primaire avec des composants à petite bride, p. ex. éléments de raccordement et composants de tube DN 40 ISO-KF de la boutique de composants Pfeiffer Vacuum. 3. Prenez des mesures contre le reflux des fluides d’exploitation ou des condensats de la zone de vide primaire. 4. Observez les informations du manuel de l’utilisateur de la pompe primaire ou du groupe de pompage lors du raccordement et du fonctionnement. 34/76 Installation 5.5 Connexion d’eau de refroidissement AVERTISSEMENT Risque d’ébouillantage lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement à haute température Les connexions d'eau de la pompe turbo sont ouvertes des deux côtés. Lors de la connexion de l'alimentation en eau de refroidissement, il y a un risque de blessure lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement sous haute pression et à haute température. ► Avant l'installation, vérifier que le système d'eau de refroidissement n'est pas sous pression et qu'il est à température ambiante. ► Porter un équipement de protection individuelle, p. ex. lunettes et gants de sécurité. Paramètre Eau de refroidissement Apparence ● ● ● ● ● ● Valeur de pH 7à9 Dureté du carbonate max. 10 °dH 12,53 °e 17,8 °fH 178 ppm CaC03 Teneur en chlorure, max. 100 mg/l Teneur en sulfate max. 240 mg/l Teneur en acide carbonique, max. Non détectable Teneur en ammoniaque max. Non détectable Conductivité électrique max. 500 µS/cm Taille max. des particules 150 µm Température de l’eau de refroidissement Voir « Fiche technique » Débit d’eau de refroidissement Voir « Fiche technique » Pression d’eau de refroidissement, max. 6000 hPa Tab. 9: filtrée mécaniquement conforme visuellement transparente pas de turbidité pas de sédiment exempte de graisse et d’huile Exigences relatives à la composition de l’eau de refroidissement Les pompes turbomoléculaires HiPace utilisent le refroidissement à eau en standard. Il y a 2 versions différentes disponibles de raccordements d'eau de refroidissement : Version Raccordement à la pompe turbo Alimentation en eau de refroidissement externe Buses de tuyau (comprises dans la livraison) Filetage interne, 1/4" Conduite en tuyau avec Diamètre intérieur de tuyau flexible 7 à 8 mm Robinetterie de conduite (montée sur la pompe turbomoléculaire) Robinetterie Swagelok, 3/8" Conduite en acier surfin avec diamètre extérieur 3/8" Tab. 10: Versions de raccordement d’eau de refroidissement Test de pression Exécuter un test de pression suite à l’installation et tous les travaux subséquents sur les raccordements d'eau de refroidissement : ● Pression d'essai : 1×104 hPa 35/76 Installation 5.5.1 Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec des embouts droits Conditions préalables ● Le système de refroidissement fourni par le client est fermé et hors pression. ● Les raccords de tuyaux correspondent aux connexions sur la pompe turbomoléculaire. Outillage nécessaire ● Clé à écrou, 17 mm ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) 1 2 3 OUT IN 4 Fig. 17: Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec des embouts droits 1 Sortie d’eau de refroidissement, filetage 1/4" 2 Entrée d’eau de refroidissement, filetage 1/4" 3 4 Joint annulaire (2x) Buse filetée (2x) Procédure Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser un filtre dans la conduite d’alimentation. 1. Vissez une des buses de tuyau avec le joint annulaire sur chaque connexion d’eau de refroidissement de la pompe turbo. – Couple de serrage : 15 Nm max. 2. Raccordez la conduite d'alimentation d’eau de refroidissement à la buse de tuyau sur l’entrée d’eau de refroidissement de la pompe turbo. 3. Raccordez la conduite de sortie d’eau de refroidissement à la buse de tuyau sur la sortie d’eau de refroidissement de la pompe turbo. 4. Fixez les conduites sur la pompe turbo avec des colliers de serrage. 5.5.2 ries Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec des robinetteConditions préalables ● Le système de refroidissement fourni par le client est fermé et hors pression. ● Les raccords de tuyaux correspondent aux connexions sur la pompe turbomoléculaire. Consommable ● Tube en acier surfin 3/8e pouce Outillage nécessaire ● Clé à écrou, 5/8e de pouce ● Clé à écrou, 11/16e de pouce ● Jauge de mesure Swagelok (optionnelle) 36/76 Installation 1 2 3 4 5 Fig. 18: Raccordement d'eau de refroidissement avec des robinetteries de tubulures 1 Collecteur d'impuretés 2 Conduite d’aspiration 3 Conduite de retour 4 5 Écrou à chapeau Corps de raccordement Procédure Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser un filtre dans la conduite d’alimentation. 1. Ébavurez le diamètre extérieur et intérieur du tube sur le côté du raccordement. 2. Insérez la tubulure dans la pièce d'assemblage de la tubulure jusqu’à la butée. 3. Serrez à la main l’écrou à chapeau. 4. Bloquez le corps du raccordement et serrez l'écrou à chapeau de 1 1/4 de tour avec la clé à écrou. 5. Vérifiez l’installation correcte avec la jauge de mesure Swagelok. – L’écrou à chapeau est serré correctement lorsque la jauge de mesure ne peut plus être insérée dans la fente entre l’écrou à chapeau et le corps de raccordement. 5.6 Connexion des accessoires aux pompe turbo avec un TMS AVIS Risque d'endommagement des équipements et du processus La sortie accessoires « B » sur l'unité d’entraînement électronique est réservée au système de gestion de la température. Une configuration incorrecte ou désactivée de l'accessoire peut entraîner des états de fonctionnement proscrits. Avec pour conséquence une interruption du processus ou un endommagement de la pompe turbo et des équipements de processus du client. ► Les paramètres par défaut d'usine du TMS [P:036] et [P:038] ne doivent pas être modifiés. ► Il est interdit de déconnecter des câbles pendant le fonctionnement. Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomoléculaires hybrides approuvés se trouvent en ligne. 37/76 Installation Connexions des accessoires à l'unité d’entraînement électronique pour le fonctionnement avec un TMS L'unité d’entraînement électronique sur la pompe turbo offre un espace suffisant pour raccorder jusqu'à 2 accessoires additionnels. Les prises M12 avec la désignation « Accessoi­ res » sont disponibles à cet effet. La connexion « B » des accessoires sur l'unité d’entraînement électronique est affectée à l'unité de commande du TMS. ● Les accessoires additionnels pour la pompe turbo avec un système de gestion de la température peuvent uniquement être utilisés sur la connexions des accessoires « A ». ● Les connexions des accessoires sont préconfigurées en usine pour le fonctionnement avec le TMS. 11 Y-Connector for Accessories Tab. 11: 22 Raccordement de l’unité de commande électronique Raccordement des accessoires Connecteur Y Configuration prédéfinie Acc. A A1 Y-1 Gaz de pressurisation A2 Y-2 Vanne de ventilation B1 non autorisé Chauffage TMS B2 non autorisé inutilisé, non modifiable Selon B Connexions des accessoires préconfigurées sur l'unité d’entraînement électronique pour le fonctionnement avec le TMS Raccorder des accessoires préconfigurés ► Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire correspondant. ► Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes. ► Raccordez uniquement les accessoires adaptés à l’unité de commande électronique. ► Seuls les accessoires compatibles doivent être raccordés sur « Accessoires A ». ► Utilisez la connexion libre sur le raccord Y si vous voulez raccorder 2 appareils sur « Accessoire A ». Utilisation d’accessoires supplémentaires ► Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire correspondant. ► Observez la configuration existante des connexions existantes. ► Quand une configuration est nécessaire, utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum. 5.7 Raccordement de la purge de gaz neutre L’utilisation de la purge de gaz neutre sert à protéger la pompe turbomoléculaire dans les processus poussiéreux ou avec des débits de gaz excessifs. La purge de gaz neutre empêche la pénétration de substances dommageables dans l’espace du moteur et du palier. L’alimentation s’effectue par l’intermédiaire d’une vanne de la purge de gaz neutre déjà incluse dans l’étendue de livraison, assemblée et configurée. ● L’utilisation de la purge de gaz neutre est obligatoire pour les pompes turbomoléculaires avec un TMS. ● La pression d’entrée admissible de la purge de gaz neutre est de 1 500 hPa absolue. ● Le débit de la purge de gaz neutre est de 17,5 à 20 sccm. Alimentation de purge de gaz neutre Si vous voulez utiliser de l’air d’un local comme purge de gaz neutre, la vanne de la purge de gaz est immédiatement prête à être utilisée. 38/76 Installation Si vous souhaitez utiliser un autre gaz inerte (p ex. de l’azote N2) comme purge de gaz neutre, veuillez suivre les étapes ci-après. 1. Fournissez une alimentation en purge de gaz neutre externe avec une pression d’entrée maximum de 1 500 hPa absolue. 2. Raccordez l’alimentation de la purge de gaz neutre au côté entrée (G 1/8") de la vanne. 3. Si nécessaire, utilisez un adaptateur de raccordement pour le côté entrée de la vanne (non fourni dans l’étendue de livraison). 5.8 Prenez des mesures de prévention électriques AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal). ► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2. ► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum. Absence d'arrêt d'urgence La pompe n'est pas équipée d'un dispositif d'arrêt d'urgence EMS ni de verrouillage électrique. La pompe est conçue pour être intégrée dans un équipement possédant un dispositif d'arrêt d'urgence. ● Ce dispositif d'arrêt d'urgence doit mettre la pompe hors tension lorsqu'il est activé. Installation du disjoncteur secteur 1. Installez un disjoncteur secteur en tant qu’interrupteur principal. 2. Spécifiez le disjoncteur secteur conformément à la norme SEMI-S2. 3. Utilisez un disjoncteur d’une capacité de coupure d’au moins 10 kA. 5.8.1 Installation du coupe-circuit miniature Coupe-circuit Caractéristiques de déclenchement B ou C selon CIE 60947-2 Taux d’interruption (AIC) 10 kA Courant nominal IN 16 A, pour tension 200 – 240 V, 50/60 Hz Tab. 12: Exigences techniques pour un coupe-circuit miniature Procédure 1. Observez les exigences techniques pour un coupe-circuit miniature. 2. Raccordez la pompe à vide au réseau secteur avec le coupe-circuit miniature. 3. Étiquetez le coupe-circuit miniature en tant que dispositif de mise hors circuit pour la pompe à vide. 5.8.2 Installation d’un coupe-circuit pour courant résiduel En cas de défaut d'isolation, l’installation d’un coupe-circuit de courant résiduel garantit une protection contre les risques de blessures. Coupe-circuit de courant résiduel Courant résiduel nominal IΔN 30 mA Onde de courant résiduel Type A ● Indépendante de la tension de ligne ● Déclenchement de courants de défaut CA et d’impulsions de courants de défaut CC Tab. 13: Exigences techniques relatives au coupe-circuit de courant résiduel 39/76 Installation Procédure 1. Observez les exigences techniques relatives au coupe-circuit de courant résiduel. 2. Observez les périodes de révision prescrites pour les appareils protecteurs électriques. 5.9 Raccordement de l’alimentation électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Choc électrique en cas de contact avec des éléments à nu et sous tension. Le raccordement incorrect de l’alimentation secteur entraîne un risque de contact avec des pièces du carter sous tension. Il existe dès lors un danger de mort. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Assurez-vous que les installations électriques soient réalisées par des électriciens qualifiés. ► Établissez une mise à la terre correcte de l’appareil. ► Après l’opération de raccordement, contrôlez le conducteur de terre. 5.9.1 Mise à la terre de la pompe à vide Accessoires requis ● Boulon, M4 × 8 ● Rondelle anti-vibrations, M4 ● Câble de mise à la terre approprié fiche M4 M4 Fig. 19: Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre Procédure 1. Utilisez un câble de mise à la terre approprié pour faire diverger les interférences applicatives. 2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur. 3. Utilisez la borne de terre de la pompe turbomoléculaire (filet de vis intérieure M4). 5.9.2 Raccordement électrique AVERTISSEMENT Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. 40/76 Installation AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé. ► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant d'avoir raccordé la bride de vide élevé. ► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser. 2 3 Broche Affectation 1 Phase L 2 Conducteur neutre 3 non connectée PE Conducteur de terre 1 PE Tab. 14: Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique Raccordement électrique de la pompe turbo et du boîtier TMS Deux options existent pour le raccordement secteur de la pompe turbo et du boîtier TMS. ► Vérifier que la tension d'alimentation est correcte. ► Commander un câble d'alimentation électrique correspondant dans la gamme des accessoires Pfeiffer Vacuum. ► Assembler votre propre câble d'alimentation électrique en utilisant les fiches de raccordement HAN 3A livrées avec le produit. 41/76 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Mise en service AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé. ► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant d'avoir raccordé la bride de vide élevé. ► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser. AVIS Destruction de la pompe à vide liée à une entrée excessive d'énergie pendant le fonctionnement La charge simultanée par l'intermédiaire d'une puissance d’entrée élevée (débit de gaz, pression du vide préliminaire), rayonnement calorifique élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent. AVIS Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo. ► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique. ► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (> 80). Les réglages et variables fonctionnelles essentielles sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par ces paramètres sont assurés par les modules d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, ou en externe via l’interface RS-485 avec le protocole Pfeiffer Vacuum. 42/76 Paramètre Nom Désignation Réglage ou valeur [P:001] Chauffage Dispositif de chauffage 1 [P:027] GasMode Mode du gaz 0 = gaz lourds [P:035] CfgAccA1 Connexion des accessoires A1 5 = Gaz de pressurisation [P:036] CfgAccB1 Connexion des accessoires B1 9 = Dispositif de chauffage TMS [P:037] CfgAccA2 Connexion des accessoires A2 1 = Vanne de mise à l'air [P:038] CfgAccB2 Connexion des accessoires B2 6 = toujours 0 [P:700] RUTimeSVal Définir la valeur du temps de démarrage 15 min [P:701] SpdSwPt1 Point de commutation 1 vitesse de rotation 80 % [P:704] TMSsetTemp Spécification température TMS 40 °C [P:707] SpdSVal Spécification de fonctionnement en mode de contrôle de vitesse 65 % [P:708] PwrSVal Valeur de consigne de la consommation électrique 100 % Utilisation Paramètre Nom Désignation Réglage ou valeur [P:720] VentSpd Mise à l'air à la vitesse de rotation, mise à l’air retardée 50 % [P:721] VentTime Durée de ventilation, ventilation temporisée 3 600 s Tab. 15: Paramètres préconfigurés sur les pompes turbo avec TMS à la livraison Mise en route de la pompe turbo 1. Inspectez l'ensemble du système de refroidissement pour détecter les fuites. 2. Respecter l'alimentation et le débit d'eau de refroidissement. 3. Respecter l'alimentation et le débit de gaz de pressurisation. 4. Alimenter le produit en électricité. 6.2 Modes de fonctionnement Il existe plusieurs modes de fonctionnement pour la pompe turbomoléculaire. ● ● ● ● ● 6.2.1 Fonctionnement sans appareil de commande Fonctionnement via la connexion « E74 » Fonctionnement via la connexion « à distance » Fonctionnement via l’interface RS-485 de l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou PC Fonctionnement via un bus de terrain Fonctionnement sans unité de fonctionnement Démarrage automatique La pompe turbo est prête à fonctionner lorsque la fiche d'accouplement fournie à la livraison est utilisée sur l'unité d’entraînement électronique ou lorsque les contacts de pontage sont mis en œuvre conformément à l'agencement du terminal. Dès que la tension d’alimentation est fournie, la pompe turbo va démarrer automatiquement. Instructions de fonctionnement sans panneau de commande 1. Utilisez uniquement la fiche d’accouplement agréée Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion de l’unité de commande électronique. 2. L’alimentation secteur de la pompe turbomoléculaire ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route. Après application de la tension de fonctionnement, l’unité de commande électronique effectue un test automatique pour contrôler la tension d’alimentation. Si le test s’est terminé avec succès, la pompe turbomoléculaire démarre et active les équipements additionnels conformément à la configuration. 6.2.2 Fonctionnement via la connexion « E74 » Le fonctionnement est possible via la connexion D-Sub à 15 broches avec la désignation « E74 » sur l'unité d’entraînement électronique. En plus des signaux définis dans la directive SEMI E74-0301, la connexion est fournie avec un signal d'alarme inversé et une sortie analogique. Instructions d'utilisation avec E74 ► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique avec la version E74. 6.2.3 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance » La commande à distance est disponible via la connexion D-Sub à 26 broches avec la désignation « à distance » sur l'unité d’entraînement électronique. Les fonctions individuelles accessibles sont mappées avec les « niveaux PLC ». Instructions pour le fonctionnement avec commande à distance ► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique pour la version standard. 6.2.4 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum Le raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum permet de contrôler la pompe turbomoléculaire via des paramètres statiques mémorisés dans l’unité de commande électronique. 43/76 Utilisation Utilisation de l’appareil de commande 1. Observez le manuel de l'utilisateur approprié pour la manipulation des appareils de commande Pfeiffer Vacuum : – Manuel de l’utilisateur à télécharger à la rubrique Download Center. 2. Observez le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique inclus dans la livraison de la pompe à vide. 3. Raccordez l’appareil de commande au port « RS-485 » sur l’unité de commande électronique. – Utilisez un câble de raccordement adéquat avec un connecteur « RS-485 ». 4. Activez l’alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire via l’unité de courant externe ou l’appareil de commande avec unité de courant intégrée. 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de terrain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspondant est utilisée. Les éléments suivants sont disponibles : ● ● ● ● Profibus Profinet EtherCAT DeviceNet Instructions pour le fonctionnement avec un bus de terrain ► Voir les instructions d'utilisation de l'unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspondant. 6.3 Mise en marche de la pompe turbo AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé. ► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant d'avoir raccordé la bride de vide élevé. ► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser. AVERTISSEMENT Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un risque de brûlure. ► Si nécessaire, installer une protection isolante. ► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux. ► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité. ► Porter un équipements de protection, p. ex. gants. 44/76 Utilisation AVERTISSEMENT Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un risque de grave blessure lié à l'éjection d'objets. ► Ne jamais dépasser la pression d'entrée autorisée de 1 500 hPa (absolue) sur le côté aspiration ou la connexion de mise à l'air et de gaz de pressurisation. ► Vérifier que les surpressions liées au processus ne peuvent entrer directement dans la pompe à vide. 2 1 3 4 Fig. 20: Alimentation électrique secteur 1 Boîtier TMS avec prise de raccordement « ST1 » 2 Câble secteur avec douille boîtier TMS 3 4 Câble secteur avec douille unité d’entraînement électronique Unité d’entraînement électronique avec connecteur « Entrée CA » Raccordement de l’alimentation électrique 1. Vérifiez que la connexion au réseau de l'opérateur est coupée ou mise hors circuit. 2. Brancher un câble secteur dans le connecteur « Entrée CA ST1 » sur le boîtier TMS. 3. Brancher un câble secteur dans le connecteur « Entrée CA » sur l'unité d’entraînement électronique. 4. Raccorder les supports de montage à la prise de raccordement. Mise en marche de la pompe turbo ► Raccorder le câble d'alimentation secteur à l'alimentation électrique secteur du client. ► Mettre en circuit l'alimentation électrique. 6.4 Fonctionnement avec TMS 6.4.1 Connexion TMS AVIS Risque d'endommagement des équipements et du processus La sortie accessoires « B » sur l'unité d’entraînement électronique est réservée au système de gestion de la température. Une configuration incorrecte ou désactivée de l'accessoire peut entraîner des états de fonctionnement proscrits. Avec pour conséquence une interruption du processus ou un endommagement de la pompe turbo et des équipements de processus du client. ► Les paramètres par défaut d'usine du TMS [P:036] et [P:038] ne doivent pas être modifiés. ► Il est interdit de déconnecter des câbles pendant le fonctionnement. Le réglage de la température supérieure est limité à 75 °C. Une augmentation est impossible. 45/76 Utilisation Mise en circuit manuelle du TMS 1. Mettre en/hors circuit le TMS avec le paramètre [P:001]. 2. Utiliser le paramètre [P:704] pour configurer le réglage de la température entre 30 °C et 75 °C. 6.4.2 Description du processus pour le TMS La gestion de la température fonctionne automatiquement selon les réglages de l'unité d’entraînement électronique. ► Observez les informations de paramétrage dans le manuel de l’utilisateur pour l’unité d’entraînement électronique correspondante. ► Comparez les affichages sur l'appareil de commande. ● Après activation, la pompe turbomoléculaire démarre avec l'entrée de puissance maximum. ● Après avoir atteint le point de commutation 1 de la vitesse de rotation, l'unité d’entraînement électronique met en circuit le chauffage TMS et ouvre la vanne de gaz de pressurisation. ─ Point de commutation 1 vitesse de rotation [P:701] ─ Chauffage [P:001] ─ Gaz de pressurisation [P:050] ● Le capteur dans le boîtier de la pompe turbomoléculaire surveille la température du chauffage. ─ Température réelle [P:331] ─ État température [P:333] ─ Réglage de température [P:704] ● Dès que le paramètre [P:333] commute sur la valeur « 1 », la température de consigne a été atteinte. ─ Le TMS a atteint un état stable ● Pour maintenir la température nominale, l’unité de commande électronique continue d’allumer et d’éteindre le TMS. 6.5 Surveillance des opérations 6.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. LED Vert Jaune Rouge Tab. 16: 6.5.2 Symbole État LED Affichage Signification Désactivé Sans courant Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min Activé, clignotement inverse « Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite non atteinte Activé, éclairé en continu « Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite atteinte Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de > 60 tr/min Désactivé Pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Avertissement Désactivé Pas d'erreur, pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Erreur, dysfonctionnement Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique Surveillance de la température Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température 46/76 Utilisation pour les messages d’avertissement et d’erreur sont mémorisés systématiquement dans l’unité de commande électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de paramètres. ● Afin d’éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d’avertissement pour l’excès de température. ─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe. ● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction supplémentaire de la puissance d’entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbomoléculaire se coupe. ● Le dépassement du seuil de température pour les messages d’erreur entraîne la coupure immédiate de la pompe turbomoléculaire. 6.6 Mise hors circuit et mise à l'air Recommandation Purger la pompe turbo après son arrêt. Cette opération permet d'éviter le reflux des particules dans le système de vide depuis la zone de vide préliminaire. 6.6.1 Mise hors circuit Remarques relatives à la mise hors circuit de la pompe turbomoléculaire 1. Arrêtez la pompe turbomoléculaire via l’appareil de commande ou la commande à distance. 2. Fermez la conduite de vide primaire. 3. Désactivez la pompe à vide primaire, si nécessaire. 4. Ventilez la pompe turbomoléculaire. 5. Fermez les conduites d’alimentation (eau de refroidissement, purge de gaz neutre). 6.6.2 Mise à l'air ATTENTION Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome. ► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air. ► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de mise à l'air. AVIS Endommagement de la pompe turbo lié à une augmentation rapide et inadmissible de la pression pendant la mise à l'air L'augmentation rapide d'une pression élevée est inadmissible et soumet le rotor et le palier magnétique de la pompe turbo à une contrainte significative. Lors de la mise à l'air de très petits volumes dans la chambre de vide ou la pompe turbo, il existe un risque d'augmentation incontrôlable de la pression. La pompe turbo peut être endommagée mécaniquement ou détruite. ► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée. ► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter. ► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire. Mise à l'air manuelle La mise à l'air manuelle décrit la procédure standard de mise à l'air du groupe de pompage. 1. Vérifier que le système de vide est à l'arrêt. 2. Dévisser d'un tour au maximum la vis noire de mise à l'air sur la pompe turbo. 3. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide. 4. Revisser la vis de mise à l'air. 47/76 Utilisation Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité d’entraînement électronique de la pompe turbo et la configuration des paramètres [P:012] et [P:030]. En cas de panne de courant, la pompe turbo génère suffisamment d'énergie pendant sa phase d'arrêt progressif pour initier une mise à l'air correcte. Lorsque le courant revient, la mise à l'air est interrompue. ► Mettre la pompe turbo hors circuit. – Le processus de mise à l'air démarre automatiquement. Vitesse de mise à l'air [P:720] Durée de mise à l'air [P:721] Durée de mise à l'air en cas de panne de courant 50 % de la vitesse nominale 3 600 s 3 600 s Tab. 17: Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo Informations générales sur la mise à l'air rapide Pfeiffer Vacuum recommande la mise à l'air rapide de grands volumes en 4 étapes. 1. Utiliser une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbo. Alternativement, la section transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maximal de mise à l'air. 2. Mettre à l'air le système de vide avec une augmentation de pression maximale de 15 hPa/s pendant 20 secondes. 3. Mettre ensuite à l'air avec une deuxième vanne de mise à l'air de taille quelconque, par exemple directement sur la chambre de vide. 4. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide. 48/76 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Informations générales sur la maintenance AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbomoléculaire est à l’arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Avant tout travail, mettez hors circuit l’interrupteur secteur. ► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0). ► Débranchez la prise secteur de l’appareil. ► Sécurisez l’appareil contre tout redémarrage intempestif. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomoléculaire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées. ► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0). ► Mettez correctement hors circuit la pompe turbomoléculaire. ► Sécurisez la pompe turbomoléculaire contre tout risque de redémarrage. ► Fermez immédiatement les connexions ouvertes après démontage en utilisant le cache d'origine. 7.2 Intervalles de maintenance et responsabilités Recommandations pour l'exécution des opérations de maintenance 1. Nettoyez l'extérieur de la pompe turbo avec un chiffon sans fusel et un peu d'alcool isopropylique. 2. Si l'unité d’entraînement électronique est défectueuse, la remplacer. 3. Remplacez le fluide d’exploitation. 4. Respectez les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. 5. Le fluide d’exploitation doit au moins être remplacé tous les 4 ans. 6. Demandez à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier du rotor de la pompe turbo au moins tous les 4 ans . 7. Exécutez un essai de pression du système d’eau de refroidissement au moins une fois par an. – Pression d'essai : 1×104 hPa 8. Observez les périodes de révision prescrites de tous les six mois pour les appareils protecteurs électriques. 9. En cas de charges extrêmes ou de processus avec des fluides contaminés, consulter Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts. 10. Pour toutes les autres opérations de nettoyage, maintenance ou réparation, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center responsable. 49/76 Maintenance 7.3 Remplacement du fluide d’exploitation AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement lié au contact avec des substances toxiques Le fluide d’exploitation et les pièces de la pompe turbo peuvent contenir des substances toxiques provenant du liquide pompé. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Prendre les mesures de sécurité appropriées pour prévenir les risques liés aux dangers toxiques ou à la pollution de l’environnement. ► Respecter les informations de la fiche technique de sécurité du fluide d’exploitation. ► Se débarrasser du fluide d’exploitation conformément à la réglementation locale en vigueur. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Risque d’empoisonnement en cas d’inhalation. ► Respecter les consignes et précautions d’application. ► Tenir les produits à base de tabac à l’écart du fluide d’exploitation. La fiche technique de sécurité se trouve dans le Download Center. Conditions préalables ● ● ● ● ● ● 7.3.1 Pompe turbomoléculaire coupée Pompe turbomoléculaire refroidie Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique Alimentation électrique coupée Tous les câbles débranchés de l'unité de commande électronique Toutes les ouvertures obturées hermétiquement avec les caches protecteurs d'origine et les bouchons filetés, si nécessaire Vidange du fluide d’exploitation Standard U-Version 1 2 3 1 2 Fig. 21: Exemple de vidange du fluide d’exploitation pour les versions standards et U 1 Pompe du fluide d’exploitation 2 Boulon de vidange 3 Buse de vidange (pour la version U seulement) Outillage nécessaire ● Clé Allen, ouverture 5 ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) Accessoires requis ● Récipient approprié pour collecter le fluide d’exploitation ● Buse de vidange 50/76 Maintenance Vidange du fluide d’exploitation sur la version standard 1. Placer un récipient approprié sous l’orifice de vidange. 2. Dévissez le bouchon fileté de vidange inférieur de la pompe du fluide d’exploitation. 3. Vidangez la totalité du fluide d’exploitation. 4. Sceller l'orifice de vidange. – Couple de serrage : 3,0 Nm Vidange du fluide d’exploitation sur la version U La chemise chauffante empêche une vidange correcte du fluide d’exploitation. 1. Utiliser la buse de vidange livrée avec le produit comme extension. 2. Visser la buse de vidange sur le bouchon fileté de la pompe du fluide d’exploitation. 3. Placer un récipient approprié sous l’orifice de vidange. 4. Dévisser et enlever la buse de vidange de la pompe du fluide d’exploitation en passant par le manchon de vidange. 5. Vidangez la totalité du fluide d’exploitation. 6. Sceller le bouchon fileté de vidange. – Couple de serrage : 3,0 Nm 7. Dévisser et enlever la buse de vidange de la pompe du fluide d’exploitation. 8. Éliminer tout fluide d'exploitation qui s'est échappé. 7.3.2 Remplissage avec du fluide d’exploitation AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Risque d’empoisonnement en cas d’inhalation. ► Respecter les consignes et précautions d’application. ► Tenir les produits à base de tabac à l’écart du fluide d’exploitation. AVIS Destruction de la pompe turbo liée à un fonctionnement incorrect pendant le remplissage avec du fluide d’exploitation La quantité de fluide d’exploitation dépend de la position de la pompe turbo dans l'espace. Les positions des vis de remplissage sont clairement marquées sur les deux côtés de la pompe du fluide d’exploitation de la pompe turbo. Toute confusion avec d'autres bouchons filetés entraîne une contamination, un endommagement de la pompe turbo, voire la destruction de cette dernière. ► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe turbo avec du fluide d’exploitation. ► Le remplissage de la pompe turbo avec du fluide d’exploitation ne s'effectue que par l'intermédiaire d'un des bouchons filetés marqués avec le symbole d'un bidon d'huile. ► En cas de doute, contacter Pfeiffer Vacuum. Produits consommables requis ● Fluide d’exploitation F3, 50 ml Outillage nécessaire ● Clé Allen, ouverture 5 ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) 51/76 Maintenance Fig. 22: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions standards Direction du raccord de vide Fig. 23: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Versions U Direction du raccord de vide Procédure 1. Dévissez et enlevez le bouchon fileté supérieur de la pompe du fluide d’exploitation. 2. Utilisez la seringue et le fluide d’exploitation fourni avec la pompe turbomoléculaire. 3. Disposez un récipient sous l'orifice de remplissage. 4. Remplissez avec du fluide d’exploitation jusqu'à ce qu'il déborde de l'orifice de remplissage. – Volume maximum 50 ml. – Lorsque la pompe est montée verticalement, le volume de remplissage est inférieur. 5. Scellez le bouchon de remplissage. – Couple de serrage : 3 Nm 7.4 Remplacement de l’unité d’entraînement électronique L'unité d’entraînement électronique de la pompe turbomoléculaire ne peut pas être réparée. En cas de défaut, remplacer toute l'unité d’entraînement électronique par une unité de rechange. 52/76 Maintenance ATTENTION Risque de choc électrique et d’endommagement de la pompe à vide et de l'unité de commande électronique lié à la déconnexion incorrecte des composants Même après avoir mis hors circuit l’alimentation secteur, la pompe turbomoléculaire continue de fournir de l’énergie électrique tant qu’elle n’est pas complètement à l’arrêt. Si la pompe turbomoléculaire et l’unité de commande électronique sont déconnectées prématurément, il y a un risque de choc électrique en cas de contact avec des composants sous tension. Il y a un risque de contact électrique du corps avec à la clé la destruction des composants électroniques. ► Ne déconnectez jamais la pompe turbomoléculaire et l’unité de commande électronique encore sous tension ou si le rotor est en rotation. ► Surveillez la rotation de la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire des paramètres disponibles dans l’unité de commande électronique (p. ex. [P:398]). ► Attendez l’arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0). AVIS Dommages matériels dus à une décharge électrostatique Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées, les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits. ► Implémenter les mesures préventives CEM sur le poste de travail. ► Observez la norme EN 61340 « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes électrostatiques ». Sauvegarde des réglages effectués par le client Les paramètres d’usine sont toujours activés par défaut sur les unités de rechange. Tous les réglages effectués par le client sur l’unité de commande électronique d’origine sont perdus lors de son remplacement. Pour conserver vos réglages personnalisés, vous pouvez : 1. Sauvegardez tous vos paramètres en tant que jeu de paramètres dans une HPU. 2. Chargez un jeu de paramètres de sauvegarde par l’intermédiaire d’une HPU dans la nouvelle unité de commande électronique. 3. Programmez manuellement les paramètres individuels dans la nouvelle unité de commande électronique. 4. Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique et de la HPU. Travail préparatoire 1. N'exercez pas de charge mécanique sur l’unité de commande électronique. 2. Mettez la pompe turbomoléculaire hors circuit (voir chapitre « Mise hors circuit », page 47). 3. Mettez à l'air le système de vide à la pression atmosphérique (voir chapitre « Mise à l'air », page 47). 4. Coupez l'alimentation électrique. 5. Retirez tous les câbles de l'unité d’entraînement électronique. 6. En cas de démontage de la pompe turbomoléculaire du système : obturez hermétiquement toutes les ouvertures en utilisant les bouchons filetés et les caches d'origine. 7.4.1 Démontage de l’unité de commande électronique Outillage nécessaire ● Clé Allen, taille 3 53/76 Maintenance 1 5 Fig. 24: 4 2 3 Démontage de l’unité d’entraînement électronique 1 Unité de commande électronique TC 1200 2 Plaque de refroidissement 3 Rondelle anti-vibration 4 5 Vis à tête Allen M4 x 12 Vis à tête Allen M4 x 65 Démontage de l’unité d’entraînement électronique 1. Après le démontage de la pompe turbo, observez la position spatiale valide. 2. Dévissez les vis à tête Allen M4 × 12 et M4 x 65 de fixation de l'unité d’entraînement électronique sur la pompe turbo. 3. Attention à la rondelle à dents chevauchantes. 4. Rangez les vis et la rondelle à dents chevauchantes dans un endroit sûr. 5. Retirer soigneusement l'ancienne unité d’entraînement électronique en faisant attention à la maintenir droite. 7.4.2 Installation de l’unité d’entraînement électronique Outillage nécessaire ● Clé Allen, taille 3 ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) Installation de l’unité d’entraînement électronique 1. Si nécessaire, introduire le joint torique dans la rainure du socle de la pompe. 2. Aligner la nouvelle unité d’entraînement électronique sur le bord rectiligne de la plaque de refroidissement au-dessus de la pompe du fluide d’exploitation. 3. Soigneusement mettre en place la nouvelle unité d’entraînement électronique sur la fiche de raccordement de la pompe turbo en vérifiant qu’elle est bien droite. 4. Vérifier que l’unité d’entraînement électronique est bien mise en place sur le socle de la pompe et correctement positionnée par rapport aux alésages des raccords à vis. 1 2 5 Fig. 25: 4 3 Fixation de l’unité de commande électronique 1 Unité de commande électronique TC 1200 2 Bouchon fileté 3 Rondelle anti-vibration 54/76 4 5 Vis à tête Allen M4 x 12 Vis à tête Allen M4 x 65 Maintenance Fixation de l’unité d’entraînement électronique 1. Visser une vis à tête Allen M4 x 12 avec la rondelle anti-vibration dans l’alésage devant la fiche de raccordement d’électricité de l’unité d’entraînement électronique. 2. Visser une vis à tête Allen M4 x 12 dans l'alésage devant le panneau de connexion de l’unité d’entraînement électronique. 3. Utiliser toutes les autres vis à tête Allen M4 x 65 pour fixer l'unité d’entraînement électronique sur la pompe turbo. – Couple de serrage : 2,5 Nm 4. Retirer les bouchons filetés des connexions de l'unité d’entraînement électronique. 5. Les conserver dans un endroit sûr. 7.4.3 Confirmation de la spécification de vitesse La vitesse de rotation nominale typique d’une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans l’unité de commande électronique. Si l’unité de commande électronique est remplacée ou si un autre type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée. La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d’un système de sécurité redondant et sert de mesure de prévention contre la survitesse. HiPace Confirmation de la vitesse de rotation nominale [P:777] 1200/1500 630 Hz 1800/2300 525 Hz 2800/3400 455 Hz Tab. 18: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Aides requises ● Un appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé. ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de travail de l’unité de commande électronique. Réglage de confirmation de la vitesse de rotation nominale 1. Observer le manuel de l'utilisateur de l’appareil de commande. 2. Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique. 3. Définir le paramètre [P:794] sur « 1 » et activer le jeu de paramètres étendu. 4. Ouvrir et éditer le paramètre [P:777]. 5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz. 7.5 Remplacement de la chemise chauffante AVERTISSEMENT Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un risque de brûlure. ► Si nécessaire, installer une protection isolante. ► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux. ► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité. ► Porter un équipements de protection, p. ex. gants. Travail préparatoire 1. Mettez la pompe turbomoléculaire hors circuit (voir chapitre « Mise hors circuit », page 47). 2. Laissez le dispositif chauffant refroidir à température ambiante. 55/76 Maintenance 7.5.1 Démontage d’une chemise chauffante 1 4 2 3 Fig. 26: Démontage de la chemise chauffante 1 Chemise chauffante 2 Sangle 3 4 Connecteur Boîtier TMS Démontage de la chemise chauffante La chemise chauffante doit être remplacée en cas de défaut ou de fuite dans le système d’eau de refroidissement. 1. Enlevez le connecteur du câble de commande sur le boîtier TMS. 2. Desserrez la sangle et les éléments de fixation à velcro sur la chemise chauffante. 3. Enlevez la chemise chauffante. 56/76 Maintenance 7.5.2 Installation d’une chemise chauffante 1 4 Fig. 27: 3 2 Installation d’une chemise chauffante 1 Chemise chauffante 2 Sangle 3 4 Connecteur Boîtier TMS Installation d’une chemise chauffante 1. Montez la nouvelle chemise chauffante autour de la section cylindrique du corps de pompe. 2. Serrez la sangle. 3. Fermez tous les éléments de fixation à velcro. 4. Vérifiez que la chemise chauffante est montée bien serrée tout autour du corps. 5. Raccordez le connecteur du câble de commande au raccordement correspondant sur le boîtier TMS et bloquez le connecteur. 6. Contrôler la spécification dans la configuration « accessoire B1 ». 7.6 Remontage des robinetteries des tubulures AVERTISSEMENT Risque d’ébouillantage lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement à haute température Les connexions d'eau de la pompe turbo sont ouvertes des deux côtés. Lors de la connexion de l'alimentation en eau de refroidissement, il y a un risque de blessure lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement sous haute pression et à haute température. ► Avant l'installation, vérifier que le système d'eau de refroidissement n'est pas sous pression et qu'il est à température ambiante. ► Porter un équipement de protection individuelle, p. ex. lunettes et gants de sécurité. 7.6.1 Démontage des pièces d'assemblage des tubulures Conditions préalables ● Le système de refroidissement fourni par le client est hors pression. Outillage nécessaire ● Clé à écrou, 5/8e de pouce ● Clé à écrou, 11/16e de pouce 57/76 Maintenance Accessoires requis ● Marqueur approprié 4 3 5 1 2 Fig. 28: Démontage des pièces d'assemblage des tubulures 1 Marquage sur la tubulure 2 Marquage sur l'écrou à chapeau 3 Marquage sur le corps de raccordement 4 5 Écrou à chapeau Corps de raccordement Démontage des pièces d'assemblage des tubulures Les pièces d'assemblage pour tubulure Swagelok peuvent être démontées et remontées de façon répétée. 1. Marquez le bord extérieur de l’écrou à chapeau avec un tiret avant de démonter la tubulure. 2. Marquez la clé à écrou à plat sur l'écrou à chapeau et sur le corps de raccordement avec un tiret. 3. Desserrez les pièces d'assemblage à boulons. 7.6.2 Montage des pièces d'assemblage des tubulures Conditions préalables ● Le système de refroidissement fourni par le client est hors pression. Outillage nécessaire ● Clé à écrou, 5/8e de pouce ● Clé à écrou, 11/16e de pouce 1 Fig. 29: 2 3 4 5 Montage des pièces d'assemblage des tubulures 1 Écrou à chapeau 2 Corps de raccordement 3 Marquage sur la tubulure 4 5 Marquage sur l'écrou à chapeau Marquage sur le corps de raccordement Montage des pièces d'assemblage des tubulures 1. Insérez la tubulure dans la pièce d'assemblage de la tubulure jusqu’à la butée. 2. Bloquez le corps de raccordement et, avec la clé à écrou, tournez l'écrou à chapeau dans sa position d’origine. – La résistance est sensiblement plus élevée dans cette position. 3. La jauge de mesure Swagelok ne peut pas être utilisée pour le remontage des pièces d'assemblage de tubulures. 58/76 Mise hors service 8 Mise hors service 8.1 Mise hors service pendant une période prolongée AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Procédure pour un arrêt prolongé de la pompe turbomoléculaire (> 1 an) 1. Si nécessaire, retirez la pompe turbomoléculaire du système de vide. 2. Vidangez le fluide d’exploitation de la pompe turbomoléculaire. 3. Vidangez et séchez le système d’eau de refroidissement de la pompe turbomoléculaire. 4. Fermez la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire. 5. Évacuez la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire du raccord de vide primaire. 6. Ventilez la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire du raccordement correspondant avec de l’air sans huile et sec ou du gaz inerte. 7. Fermez toutes les ouvertures de bride avec les obturateurs de protection d’origine. 8. Rangez la pompe turbomoléculaire avec l’axe de rotation vertical dans la position admissible dans l’espace. 9. Stockez la pompe turbomoléculaire dans un local à la température spécifiée. 10. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Scellez hermétiquement la pompe turbomoléculaire avec un agent de séchage dans un sac en plastique. 8.2 Remise en service AVIS Risque d'endommagement de la pompe turbo lié au vieillissement du fluide d’exploitation après la remise en service La durée de conservation du fluide d’exploitation de la pompe turbo est limitée. Le vieillissement du fluide d’exploitation peut entraîner la défaillance du roulement à billes et endommager la pompe turbo. ► Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation : ● après 2 ans au maximum sans fonctionnement, ● après 4 ans au maximum en combinant périodes de fonctionnement et d'arrêt. ► Respecter les instructions de maintenance et informer le service Pfeiffer Vacuum. Procédures de remise en service de la pompe turbo 1. Contrôler la pompe turbo à la recherche de tout signe de contamination et de moisissure. 2. Nettoyer l'extérieur de la pompe turbo avec un chiffon sans fusel et un peu d'alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo. 4. Respecter la durée de fonctionnement totale de la pompe turbo. Si nécessaire, demander à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier. 5. Remplacer le fluide d’exploitation de la pompe turbo. 6. Installer la pompe turbo conformément à ces instructions (voir chapitre « Installation », page 27). 7. Remettre en service la pompe turbo conformément à ces instructions (voir chapitre « Mise en service », page 42). 59/76 Recyclage et mise au rebut 9 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 9.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique. 3. Décontaminez les composants qui sont entrés en contact avec les gaz de procédé. 4. Séparez les composants en matériaux recyclables. 5. Recyclez les composants non contaminés. 6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 60/76 Dysfonctionnements 10 Dysfonctionnements DANGER Danger de blessure mortelle liée à un choc électrique dû à une fuite dans le système d’eau de refroidissement La pénétration de l’eau de refroidissement qui fuit dans le dispositif chauffant va mettre sous tension les pièces externes de la chemise chauffante. Le matériau d’isolation absorbe l’humidité et représente un danger potentiel, même après la rectification du défaut. Il y a un danger de mort lié à un choc électrique en cas de contact. ► Effectuez un essai de surpression du système d’eau de refroidissement au moins une fois par an. ► En cas de défaut, remplacez toujours la chemise chauffante complète. ► Assurez-vous d'installer un coupe-circuit de courant résiduel sur site. AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. AVERTISSEMENT Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées. ► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées. ► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles. ► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo. 61/76 Dysfonctionnements En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici. Le manuel de l’utilisateur de l'unité d’entraînement électronique associée contiennent une description plus détaillée des erreurs. Problème Causes possibles Action corrective La pompe turbomoléculaire ne démarre pas ; aucune des DEL sur l’unité de commande électronique ne s’éclaire ● L’alimentation électrique a été coupée ● Vérifiez les contacts des fiches sur le pack d’alimentation électrique. ● Vérifiez les lignes d’alimentation électrique. ● Tension de fonctionnement incorrecte ● Respectez les données sur la plaque signalétique de l’unité de commande électronique. ● Alimentez avec la tension de fonctionnement correcte. ● Pas de tension de fonctionnement ● Alimentez avec la tension de fonctionnement correcte. ● Unité de commande électronique défectueuse ● Remplacez l’unité de commande électronique. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Fonctionnement sans appareil de commande : les broches 1-3, 1-4 et 1-14 ne sont pas connectées sur la connexion « distante » ● Raccordez les connexions conformément au schéma de raccordement de l’unité de commande électronique. ● Installer la prise bouchon fournie. ● Pour le fonctionnement via RS-485 : le pontage entre les broches 1 et 14 inhibe les instructions de réglage ● Retirez le pontage sur la connexion « distante ». ● Retirez la prise bouchon de l’unité de commande électronique. ● Pour le fonctionnement via RS-485 : les paramètres ne sont pas réglés dans l’unité de commande électronique ● Réglez les paramètres [P: 010] et [P: 023] via l’interface RS-485 sur 1 = "ON". ● La chute de tension dans le câble est trop grande ● Vérifiez le câble de raccordement. ● Utilisez un câble de raccordement adéquat. ● Pression de vide primaire trop haute ● Vérifiez la compatibilité de la pompe primaire (voir la fiche technique). ● Vérifiez si la pompe primaire fonctionne. ● Fuite sur la pompe turbomoléculaire ● Repérez les fuites. ● Vérifiez les joints et les raccords de bride. ● Éliminez les fuites. ● Débit de gaz trop élevé ● Réduisez la charge de gaz de procédé. ● Le rotor tourne avec des à-coups, le palier est défectueux ● Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour détecter tout bruit étrange ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Point de consigne de temps d’accélération réglé trop bas ● Utilisez un appareil de commande pour étendre la valeur de réglage du temps d’accélération [P:700]. Charge thermique due à : ● défaut de ventilation ● débit d’eau insuffisant ● Pression de vide primaire trop haute ● température ambiante trop élevée ● Réduisez la charge thermique. ─ Assurez une circulation d’air suffisante. ─ Ajustez le débit d’eau de refroidissement. ─ Réduisez la pression du vide primaire. ─ Adaptez les conditions ambiantes. ● La pompe turbomoléculaire est polluée ● Chauffez la pompe turbomoléculaire si nécessaire. ● Faites-la nettoyer. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Fuite au niveau de l’enceinte à vide, des tuyauteries ou de la pompe turbomoléculaire ● Repérez les fuites en commençant par l’enceinte à vide. ● Vérifiez les joints et les raccords de bride. ● Éliminez les fuites dans le système de vide. La pompe turbomoléculaire ne démarre pas ; la DEL verte sur l’unité de commande électronique clignote La pompe turbomoléculaire n’atteint pas la vitesse de rotation nominale dans le temps d’accélération paramétré La pompe turbomoléculaire n’atteint pas la pression ultime 62/76 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabituels ● Le palier du rotor est endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran protecteur desserré ● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou de l’écran protecteur dans la bride de vide élevé. ● Suivez les instructions d’installation. La DEL rouge s’éclaire sur l’unité de commande électronique ● Erreur de groupe ● Réinitialisez l’anomalie en mettant l’alimentation en courant hors circuit et en circuit. ● Réinitialisez l’anomalie avec V+ sur la broche 13 sur la connexion « Remote ». ● Réglez le paramètre [P: 009] via l’interface RS-485 sur 1 = Validation anomalie. ● Réglez le paramètre [P: 010] via l’interface RS-485 sur 0 = Arrêt et ensuite sur 1 = Marche et validation anomalie. ● Réalisez une analyse différenciée des anomalies à l'aide d'un appareil de commande. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. L’eau de refroidissement a saturé le matériau isolant du chauffage ● Fuite dans le système d’eau de refroidissement ● Enlevez le connecteur du chauffage du boîtier TMS. ● Arrêtez la pompe à vide. ● Enlevez la chemise chauffante et remplacez tout le chauffage. Tab. 19: Dépannage des pompes turbomoléculaires 63/76 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 64/76 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 65/76 Pièces de rechange 12 Pièces de rechange 1 2 9 3 4 8 7 5 6 Fig. 30: Pièces de rechange HiPace 3400 IT | IUT Position Désignation Grandeur 1 Unité de commande électronique TC 1200 2 Fiche E74 3 Douille d’alimentation 4 5 6 Seringue 7 Référence Remarque Pièces se référer à la plaque signalétique en fonction du panneau de connexion 1 P 4723 110 1 PM 061 200 -T 1 Vanne de la purge de gaz PM Z01 313 A 1 Chauffage PM 183 801 1 50 ml PM 006 915 -U 1 Fluide d’exploitation F3 50 ml PM 006 336 -T Autres longueurs disponibles à la demande 1 8 Tuyère filetée G 1/4" P 4169 201 X pour diamètre intérieur de tuyau flexible 7 à 8 mm 1 9 Raccords à vis Swagelok Filetage 3/8", coudées P 4121 358 C en tant qu’alternative à l’article 8 1 Tab. 20: 66/76 HAN 3 Pièces de rechange disponibles Accessoires 13 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires pour pompes turbomoléculaires hybrides à paliers. 13.1 Informations sur les accessoires Matériel de fixation Ensembles assemblés spécifiques au type avec anneau de centrage et joint, vérifiez la sécurité de la fixation de la pompe à vide. En option avec pare-éclats ou écran protecteur. Unités de courant et affichages Les unités de courant pour tension d'alimentation optimale des produits Pfeiffer Vacuum sont caractérisées par leur taille compacte et une tension d'alimentation adaptée pour une fiabilité maximum. Les unités d'affichage et de fonctionnement sont utilisées pour la vérification et l'ajustement des paramètres de travail. Câbles et adaptateurs Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Accessoires de remise à l'air Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maximum. Commande automatique via l'unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomoléculaire. Alimentation en gaz de pressurisation Le gaz de pressurisation est utilisé pour la protection de la pompe à vide contre la poussière et les processus corrosifs ou les débits excessifs de gaz. Le gaz de pressurisation empêche la pénétration de substances dommageables dans le moteur et les roulements. L’alimentation est assurée soit par l'intermédiaire d'une vanne de gaz de pressurisation ou d’un étranglement de gaz de pressurisation sans commande. Commande de pompe à vide primaire L'unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire permet une commande utile des pompes à vide primaire. En fonction de la pompe à vide primaire utilisée, différents modes de fonctionnement sont disponibles. Mesure intégrée de la pression Évaluation et contrôle via l'unité de commande électronique intégrée, indépendamment d'une alimentation électrique supplémentaire. 13.2 Commande d’accessoires Description Référence Câble de secteur 230 V CA, CEE 7/7 vers HAN 3A, 3 m P 4564 309 HA Câble de secteur 208 V AC, NEMA 6-15 vers HAN 3A, 3 m P 4564 309 HB Câble de secteur 115 V AC, NEMA 5-15 vers HAN 3A, 3 m PM 061 187 -X Câble d’interface RJ 45 sur M12 pour HiPace PM 051 726 -T Câble d’interface RJ 45 sur M12 pour HiPace PM 051 726 -T HPU 001, module de programmation portatif PM 051 510 -T OmniControl 001 mobile, appareils de commande PE D20 000 0 OmniControl 001, unité châssis sans unité de courant intégrée PE D40 000 0 Raccord en Y M12 pour RS-485 P 4723 010 Connecteur en Y, blindé, M12 pour accessoires P 4723 013 Convertisseur USB RS-485 PM 061 207 -T Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m PM 061 283 -T 67/76 Accessoires Description Référence Câble de rallonge M12 sur M12 PM 061 747 -T Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccordement à TC 400/1200 et TM 700 PM Z01 291 Unité de surveillance de gaz d'étanchéité G 1/8" PM 016 911 -U Boîtier de relais, blindé, pour pompes à vide primaire, moteur monophasé 7 A pour TC 400/1200, TM 700 et TCP 350, M12 PM 071 284 -X Boîtier de relais, blindé, pour pompes à vide primaire, moteur monophasé 20 A pour TC 400/1200, TM 700 et TCP 350, M12 PM 071 285 -X TIC 010, adaptateur pour deux capteurs PT R70 000 RPT 010, sonde numérique Piezo/Pirani PT R71 100 IKT 010, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de faible intensité PT R72 100 IKT 011, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de forte intensité PT R73 100 Tab. 21: 68/76 Accessoires Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ● ISO 27892 2010 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesure du couple d'arrêt rapide » ● ISO 21360 2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide - Partie 1 : Description générale » ● ISO 21360 2018 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide - Partie 4 : Pompes à vide turbomoléculaires » ● Pression ultime avec dôme de test après 48 h ● Débit de gaz avec refroidissement à eau ; pompe de secours = pompe à palettes rotative (10 m3/h) ● Consommation d’eau de refroidissement à débit maximum de gaz, température de l’eau de refroidissement 25 °C ● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d'hélium, durée de mesure 10 s ● Niveau de pression acoustique à une distance = 1 m de la pompe à vide mbar bar Pa 100 hPa kPa Torr | mm Hg 1 0,1 0,75 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 1 · 10 1,000 100 750 Pa 0,01 1 · 10-5 1 0,01 1 · 10-3 7.5 · 10-3 hPa 1 1 · 10 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 0,133 1 -3 5 -3 133,32 -3 1,33 · 10 1 Pa = 1 N/m Tab. 22: 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m /s 10 1 592 7,5 9,87 sccm 1.69 · 10-2 1.69 · 10-3 1 1,27 · 10-2 1.67 · 10-2 Torr l/s 1,33 0,133 78,9 1 1,32 atm cm3/s 1,01 0,101 59,8 0,76 1 mbar l/s 3 Tab. 23: Tableau de conversion : unités de débit de gaz 14.2 Fiche technique Désignation du type HiPace® 3400 IT HiPace® 3400 IUT Numéro de commande PM P06 544 PM P06 554 Bride de raccordement (entrée) DN 320 ISO-F DN 320 ISO-F Bride de raccordement (sortie) DN 40 ISO-KF DN 40 ISO-KF Orientation de montage 0° (bride HV haut) – 90° 90° – 180° (bride HV fond) Pression limite 1 · 10-7 hPa 1 · 10-7 hPa 69/76 Caractéristiques techniques et dimensions 70/76 Désignation du type HiPace® 3400 IT HiPace® 3400 IUT Vitesse de rotation ±2 % 27300 rpm 27300 rpm Vitesse de rotation variable 50 – 100 % 50 – 100 % Temps d'accélération 8,6 min 8,6 min Débit pour Ar 2900 l/s 2900 l/s Débit pour H2 2900 l/s 2900 l/s Débit pour He 3200 l/s 3200 l/s Débit pour N2 3200 l/s 3200 l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar, pompe chauffée à 65 °C 9 hPa·l/s 9 hPa·l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar, pompe chauffée à 75 °C 6 hPa·l/s 6 hPa·l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2, pompe chauffée à 65 °C 30 hPa·l/s 30 hPa·l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2, pompe chauffée à 75 °C 18 hPa·l/s 18 hPa·l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour He, pompe chauffée à 65 °C 18 hPa·l/s 18 hPa·l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour He, pompe chauffée à 75 °C 10 hPa·l/s 10 hPa·l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2, pompe chauffée à 65 °C 13 hPa·l/s 13 hPa·l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2, pompe chauffée à 75 °C 7 hPa·l/s 7 hPa·l/s Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour Ar 32 hPa·l/s 32 hPa·l/s Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour H2 42 hPa·l/s 42 hPa·l/s Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour He 62 hPa·l/s 62 hPa·l/s Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour N2 50 hPa·l/s 50 hPa·l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar 12 hPa·l/s 12 hPa·l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2 75 hPa·l/s 75 hPa·l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour He 24 hPa·l/s 24 hPa·l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2 18 hPa·l/s 18 hPa·l/s Vide primaire max. pour Ar 1 hPa 1 hPa Vide primaire max. pour H2 0,1 hPa 0,1 hPa Vide primaire max. pour He 0,5 hPa 0,5 hPa Vide primaire max. pour N2 0,8 hPa 0,8 hPa Taux de compression pour Ar 1 · 108 1 · 108 Taux de compression pour H2 4 · 10 3 4 · 103 Taux de compression pour He 6 · 104 6 · 104 Taux de compression pour N2 1 · 10 8 1 · 108 Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère C 442/27300 W/min-1 442/27300 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère D 532/21840 W/min-1 532/21840 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère A 442/27300 W/min-1 442/27300 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère B 532/21840 W/min-1 532/21840 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point de repère E 645/27300 W/min-1 645/27300 W/min-1 Caractéristiques techniques et dimensions Désignation du type HiPace® 3400 IT HiPace® 3400 IUT Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point de repère F 750/21840 W/min-1 750/21840 W/min-1 Taux de fuite intégral 1 · 10-8 Pa m³/s 1 · 10-8 Pa m³/s Unité de commande électronique TC 1200 TC 1200 Position de l’unité de courant Bloc d'alimentation intégré Bloc d'alimentation intégré Tensions d’entrée 100 – 120 / 200 – 240 V CA (±10 %), 50/60 Hz 100 – 120 / 200 – 240 V CA (±10 %), 50/60 Hz Puissance absorbée maximale 1350 VA 1350 VA Courant, max. 10 A 10 A Interfaces I/O E74, RS485 E74, RS485 Vstupní napětí topná manžeta min. 208 V AC 208 V AC Consommation électrique max. du manchon chauffant 1100 W 1100 W Niveau de la pression acoustique <50 dB(A) <50 dB(A) Raccordement de remise à l'air G 1/8" G 1/8" Pression d'entrée max. pour vanne de remise à l'air/gaz de balayage 1500 hPa 1500 hPa Type de refroidissement Eau Eau Température de l'eau de refroidissement 15 – 25 °C 15 – 25 °C Débit d'eau de refroidissement 100 l/h 100 l/h Type de protection IP20, Type 1 IP20, Type 1 Humidité relative de l'air 5 – 85 %, sans condensation 5 – 85 %, sans condensation Température : transport -25 – 55 °C -25 – 55 °C Champ magnétique radial maximum autorisé 3,4 mT 3,4 mT Poids 65 kg 65 kg Tab. 24: 14.3 Fiche technique HiPace 3400 IT | IUT Dimensions HV DN 320 ISO-F 425 86 316 100 173 100 45 VV DN 40 ISO-KF 40° ° 40. 5 Fig. 31: 10° 20° 42 R 171.5 R1 296 439 365 171.5 229.5 0 21 230 230 403 HiPace 3400 IT | TC 1200 DN 320 ISO-F Dimensions en mm 71/76 Caractéristiques techniques et dimensions 72/76 91 100 365 HV DN 320 ISO-F HiPace 3400 IUT | TC 1200 DN 320 ISO-F Dimensions en mm 100 316 425 Fig. 32: 230 86 45 229.5 171.5 40° ° 40. 5 R1 10° 20° 42 R 171.5 439 173 0 21 VV DN 40 ISO-KF 403 230 Déclaration de conformité CE Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 3400 IT HiPace 3400 IUT Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN ISO 12100 : 2011 DIN EN 61326-1 : 2013 DIN EN 1012-2 : 2011 DIN EN 62061 : 2016 DIN EN IEC 61000-3-2 : 2019 DIN ISO 21360-1 : 2020 DIN EN 61000-3-3 : 2020 ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Le représentant habilité à constituer la documentation technique est M. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar Allemagne. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Managing Director Asslar, 2024-03-21 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 3400 IT HiPace 3400 IUT Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications en vigueur : ISO 12100:2010 EN 1012-2+A1:1996 IEC 61000-3-2:2018 IEC 61000-3-3+A1:2013 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 61326-1:2012 IEC 62061:2005 ISO 21360-1:2020 ISO 21360-4:2018 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2024-03-21 75/76 *PT0824* ed. A - Date 2404 - P/N:PT0824BFR ">
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