Pfeiffer MVP 015-2 DC Mode d'emploi
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MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original MVP 015-2 DC Pompe à membrane Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe à membrane vous aidera pour votre application spécifique grâce à ses performances et à sonbon fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/60 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 8 8 8 8 8 8 8 8 9 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations incorrectes envisageables 2.7 Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 11 11 11 14 15 15 15 16 16 16 17 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.1.1 Commande 3.1.2 Système de pompage 3.1.3 Refroidissement 3.1.4 Lest d’air 3.2 Connexions 3.3 Identification du produit 3.4 Contenu de la livraison 18 18 18 18 18 18 19 19 19 4 Transport et stockage 4.1 Transport de la pompe à vide 4.2 Stockage de la pompe à vide 20 20 20 5 Installation 5.1 Installation de la pompe à vide 5.2 Raccordement côté vide 5.3 Raccordement du côté refoulement 5.4 Raccordement électrique 5.4.1 Mise à la terre de la pompe à vide 5.4.2 Raccordement électrique 21 21 21 21 22 22 23 6 Interfaces 6.1 Interface « à distance » 6.1.1 Tension d’alimentation 6.1.2 Entrées 6.1.3 Sorties 6.1.4 RS-485 6.2 Interface RS-485 6.3 Interconnexion via la connexion RS-485 6.4 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 6.4.1 Cadre télégramme 6.4.2 Description du télégramme 6.4.3 Télégramme exemple 1 25 25 25 26 26 27 27 28 29 29 29 30 3/60 Table des matières 4/60 6.4.4 Télégramme exemple 2 6.4.5 Types de données 30 30 7 Ensemble de paramètres 7.1 Généralités 7.2 Instructions de commande 7.3 Demandes d’état 7.4 Entrée des valeurs de référence 7.5 Paramètres additionnels pour le DCU 32 32 32 33 34 34 8 Utilisation 8.1 Mise en service de la pompe à vide 8.2 Mettre en marche la pompe à vide 8.3 Fonctionnement de la pompe à membrane avec le lest d'air 8.4 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum 8.4.1 Configuration des sorties numériques 8.4.2 Sélection des interfaces 8.5 Modes de fonctionnement 8.5.1 Fonctionnement normal 8.5.2 Mode standby 8.5.3 Fonctionnement de l’actionneur (de vitesse) 8.5.4 Commande de soupape de lest d’air 8.6 Surveillance des opérations 8.6.1 Affichage LED du mode de fonctionnement 8.6.2 Surveillance de la température 8.7 Mise hors tension de la pompe à vide 36 36 36 37 38 9 Maintenance 9.1 Consignes de maintenance 9.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien 9.3 Remplacement des membranes et des vannes 9.3.1 Démonter la tête de membrane et les soupapes 9.3.2 Nettoyage et remplacement des diaphragmes et des vannes 9.3.3 Monter la tête de membrane et les vannes 42 42 43 44 44 45 46 10 Démantèlement 47 11 Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme 48 48 48 12 Dysfonctionnements 12.1 Généralités 12.2 Codes d’erreur 12.3 Messages d’avertissement et d’erreur lors du fonctionnement avec le DCU 49 49 50 51 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 52 14 Lots de pièces de rechange 54 15 ACCESSOIRES 15.1 Informations sur les accessoires 15.2 Commande d’accessoires 55 55 55 16 Caractéristiques techniques et dimensions 16.1 Généralités 16.2 Fiche technique 16.3 Matériaux en contact avec la substance à pomper 56 56 56 57 38 38 38 39 39 40 40 40 40 41 41 Table des matières 16.4 Dimensions 58 Déclaration de conformité 59 5/60 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Tab. 23: Tab. 24: Tab. 25: Tab. 26: Tab. 27: 6/60 Autocollants sur le produit Abréviations utilisées dans ce document Conditions ambiantes autorisées Description de la connexion de l’unité de commande électronique Agencement du connecteur de la prise D-Sub à 15 connecteurs Caractéristiques de l’interface RS-485 Explication et signification des paramètres Jeu de paramètres | Instructions de commande Ensemble de paramètres | Demandes d’état Jeu de paramètres | Entrées des valeurs indicatives Paramètre des fonctions DCU Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes à membrane livrées Configurer les paramètres [P:019] et [P:024] Paramètres [P:060] et [P:061] Comportement et signification du témoin LED de l’unité de commande électronique Durée de vie typique dans le cadre d'une utilisation normale Intervalles de maintenance Dépannage sur les pompes à membrane Messages d'erreur pour la pompe à vide Messages d'avertissement pour la pompe à vide Messages d’avertissement et d’erreur lors de l’utilisation d’un DCU Pièces de rechange Accessoires MVP 015-2 DC Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Fiche technique MVP 015-2 DC Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé 9 10 15 19 25 27 32 33 34 34 35 36 38 38 41 42 44 50 50 51 51 54 55 56 56 57 57 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Position des autocollants sur le produit Construction de la pompe à membrane Raccordez le câble de mise à la terre Raccordement de l’unité de commande électronique à l’alimentation électrique et à la DCU Raccordement de l’unité de commande électronique à l’unité d’alimentation, à la DCU et à la pompe turbomoléculaire Affectation des broches de la prise D-Sub à 15 connecteurs Options de connexion via l’interface RS-485 Mise en réseau par l’interface RS-485 Diagramme de commande de soupape de lest d’air Tête de membrane et soupapes Pièces de rechange Dimensions MVP 015-2 DC 9 18 22 23 24 25 28 29 40 45 54 58 7/60 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 1.1.2 Documents applicables Désignation Document Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Variantes Ces consignes s’appliquent aux pompes à membrane de la série DC : ● MVP 015-2 DC 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. 8/60 A propos de ce manuel Remarque Conseil 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification. Plaque signalétique (exemple) La plaque signalétique se trouve sur le couvercle des circuits électroniques. D-35614 Asslar Mod. P/N S/N MVP 015-2 DC PK T05 15x xxxxxxxx S (N 2) 1.0 m3 /h Mass 2.7 kg max. 2600 1/min n 24 V DC +/- 10% 4.6 A Made in Germany 2020/06 Sceau de garantie Les têtes de membrane sont scellées de façon étanche en usine. L’endommagement ou le retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque. warranty seal Avertissement de surface chaude Cet autocollant met en garde contre les risques de blessure liés aux hautes températures à la suite d’un contact sans protection pendant le fonctionnement. Tab. 1: Autocollants sur le produit 1 3 Fig. 1: 2 Position des autocollants sur le produit 1 Plaque signalétique de la pompe à membrane 2 Sceau de garantie 1.3.4 3 Signe d’avertissement surface chaude Abréviations Abréviation Signification dans ce document CC Courant continu (Direct Current) DCU Unité de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum. DN Diamètre nominal f Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz) 9/60 A propos de ce manuel Abréviation Signification dans ce document HPU Unité de programmation portable facilitant la commande et le suivi des paramètres de pompe DEL Diode électroluminescente MVP Pompe à vide à membrane MSL Niveau moyen de la mer [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous la forme d'un nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description. Exemple : [P:312] version logicielle PE Conducteur de terre (terre de protection) PWM Modulation à largeur d'impulsion (Type de modulation pour lequel une variable technique (p. ex. tension électrique) varie entre deux valeurs.) T Température (en °C), abréviation de propriété de la pompe à vide TC Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) TPS Tension d’alimentation (alimentation électrique turbine) Tab. 2: 10/60 Abréviations utilisées dans ce document Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques lors du transport AVERTISSEMENT Danger de blessures graves en cas de chute d’objets La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses. ► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit. ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. 11/60 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. ATTENTION Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture. ► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement. Risques lors du fonctionnement AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de processus toxiques. ► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus toxiques. ► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. ► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques. 12/60 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’explosion lié aux mélanges gaz/air réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux L’entrée incontrôlée de gaz par la soupape de lest d'air peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, ou provoquer l’échauffement des surfaces ou encore la formation de mélanges gaz/air potentiellement explosifs dans le circuit de vide formés par l’électricité statique. ► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la soupape de lest d’air ouverte. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par les substances de processus toxiques. ► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte pour éviter une contamination potentielle. ► Si nécessaire, utiliser une conduite d’évacuation. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. ► Porter des équipements de protection adaptés. Risques lors de la maintenance, de la mise hors service et en cas de dysfonctionnement AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. ATTENTION Risque de blessures dues aux pièces mobiles Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur. ► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. ► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 105 °C. ► Laisser refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus. ► Porter si nécessaire des équipements de protection individuelle. 13/60 Sécurité Risques lors de la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales ► Empêcher les gaz de procédé et leurs réactions et les sous-produits nocifs pour la santé et l’environnement de s’échapper dans l’atmosphère ou les éliminer conformément aux réglementations en vigueur. ► Éviter tout contact avec les gaz de procédé présentant un risque pour la santé et porter des équipements de protection personnelle si nécessaire. ► Vérifier la compatibilité entre la substance à pomper et les pièces en contact avec elle. ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Ne remplissez jamais ou ne faites jamais fonctionner l'appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus. ► N'effectuez pas vous-même des conversions ou modifications d'unité. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. 14/60 Sécurité ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70°C. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes. ► Avant de renvoyer une pompe à vide, consultez les remarques du chapitre Solutions de service. 2.4 Limites d’utilisation du produit Emplacement de l’installation À l’intérieur, avec protection contre l’accumulation de poussière et les effets liés au climat, dans un environnement non-explosif et sec Degré de protection IEC 60529 IP 20 Degré de protection UL 50E NEMA type 1 Altitude de l’installation 2 000 m max. au-dessus du niveau de la mer 1) Température ambiante +5 °C à +40 °C Température admissible d’entrée de la substance à pomper +5 °C à +40 °C Humidité relative de l’air 80 % à T ≤ 31 °C, jusqu’à 50 % à T ≤ 40 °C Niveau de contamination 2 Tab. 3: 2.5 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme ► Utilisez la pompe à vide uniquement pour la production de vide. ► Respectez les instructions d’installation, de mise en place, de fonctionnement et de maintenance. ► Ne pas utiliser d’accessoires autres que ceux recommandés par Pfeiffer Vacuum. 2.6 Utilisations incorrectes envisageables Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 1) Pompage de substances corrosives Pompage de substances explosives Pompage de substances radioactives ou volatiles Pompage de gaz contenant des impuretés telles que particules, poussières ou condensats Pompage de liquides Pompage de substances désagrégeant le FPM Pompage de vapeurs de liquides combustibles Pompage de substances sous pression (> pression atmosphérique) Pompage de substances susceptibles de se condenser ou de former des dépôts adhérents dans la chambre d’aspiration Fonctionnement de la pompe à vide en dehors du champ d’application spécifié Fonctionnement de la pompe à vide en dessous du niveau du sol Utilisation de la pompe à vide pour produire une pression Utilisation dans les circuits où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur la pompe à vide Utilisation de la pompe à vide dans des champs électromagnétiques forts Raccordement à des pompes à vide et des matériels non prévus à cette fin d’après leur manuel de l’utilisateur Raccordement à des matériels comportant des pièces nues sous tension Raccordement à des prises sans borne de terre Utilisation des conduites pour lever la pompe à vide Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions Utilisation de la pompe à vide comme marchepied Au-delà de 1 000 m d’altitude, risque de refroidissement insuffisant. Si nécessaire, prendre les mesures stipulées dans la Directive DIN EN 61010. 15/60 Sécurité ● Utilisation des conduites de raccordement entre les têtes de diaphragme comme poignée ● Utilisation de la pompe dans des conditions ambiantes en dehors des limites de degré de protection IP spécifiées 2.7 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.7.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : 16/60 Sécurité ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 17/60 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction Les pompes à membrane sont des pompes volumétriques de type compression à sec. Le mouvement des membranes génère un changement périodique du volume de la chambre d’aspiration. La circulation de gaz provoque l’ouverture et la fermeture automatiques des clapets. L’unité de pompage est directement accouplée au moteur d’entraînement. 4 3 2 1 5 6 7 13 12 8 9 11 10 Fig. 2: 1 2 3 4 5 6 7 3.1.1 Construction de la pompe à membrane Tête de membrane 2 Couvercle Connecteur DEL Raccord de lest d’air Soupape de lest d’air (vanne magnétique) Moteur 8 9 10 11 12 13 Vis de mise à la terre Plaque de base Tête de membrane 1 Raccord à vide, filetage 1/8 po Raccord de tuyau Échappement avec silencieux Commande La pompe à membrane forme une unité compacte avec l'unité de commande électronique. L'unité de commande électronique intégrée permet de commander et de surveiller les fonctions de pompage via l’interface « remote » en utilisant une unité de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum. 3.1.2 Système de pompage La pompe à diaphragme présente 2 têtes de diaphragme et 2 étages de pompage. 3.1.3 Refroidissement La pompe à membrane est refroidie par convexion et ne dispose pas de son propre ventilateur. 3.1.4 Lest d’air Un système intégré de lest d'air sert d'alimentation contrôlée de l’air ambiant ou du gaz inerte dans la chambre d'aspiration. Le lest d'air contribue à la réduction de la condensation dans le système de pompage. 18/60 Description du produit 3.2 Connexions Connexion Description à distance Prise D-sub à 15 broches pour le raccordement et la configuration d'une commande à distance. Tab. 4: 3.3 Description de la connexion de l’unité de commande électronique Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.tuev-sued.de. 3.4 Contenu de la livraison ● ● ● ● Pompe à vide avec entraînement Silencieux Manuel de l’utilisateur Connecteur plein sur le raccord à vide 19/60 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport de la pompe à vide AVERTISSEMENT Danger de blessures graves en cas de chute d’objets La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses. ► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit. ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Informations générales sur le transport en toute sécurité 1. Observez le poids spécifié sur l’emballage. 2. Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine. 3. Le produit doit toujours être placé sur une surface plane aux dimensions adéquates. Transport de la pompe à vide sans son emballage 1. Déballez la pompe à vide. 2. Pour protéger l’intérieur de la pompe, conservez les bouchons obturateurs sur le raccord à vide pendant le transport. 3. Soulevez la pompe à vide au niveau des deux faces avant. 4. Sortez la pompe à vide de son emballage de transport. 5. Vérifier qu’aucune contrainte mécanique n’est appliquée sur la tuyauterie. 6. La pompe à vide doit toujours être placée sur une surface plane aux dimensions adéquates. 4.2 Stockage de la pompe à vide Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Procédure 1. Boucher le raccord à vide avec l’obturateur. 2. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées. 3. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez la pompe à vide et un produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique. 20/60 Installation 5 Installation 5.1 Installation de la pompe à vide Procédure ► Placer la pompe à vide sur une surface horizontale plane. ► Dans le cas d’une installation fixe, vissez la pompe à vide directement sur la surface de montage. – Démonter la plaque de base pour cela. ► Dans le cas d’une installation dans une enveloppe fermée, veillez à une circulation d’air adéquate autour de la pompe. ► Placer la pompe de telle sorte que la plaque signalétique du moteur reste visible et accessible. 5.2 Raccordement côté vide AVIS Dégâts matériels occasionnés par des gaz contaminés Pomper du gaz contaminé endommage la pompe à vide. ► Utilisez des filtres et des séparateurs adéquats, disponibles dans la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum, pour protéger la pompe à vide. Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses pompes à membrane. ● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent en ligne. ● Les accessoires décrits ne sont pas compris dans la livraison. Prévention des pertes d’étranglement Pour éviter les pertes de pression, les conduites de raccordement côté vide doivent être aussi courtes que possible et de grand diamètre nominal. Séparateur des condensats Pfeiffer Vacuum recommande l’installation d’un séparateur de condensats au cas où de la vapeur se formerait pendant l'évacuation. Procédure 1. Enlever le bouchon obturateur du raccord à vide. 2. Établir le raccordement le plus court possible entre la pompe à vide et l’enceinte à vide. 3. Choisir une conduite de vide de diamètre au moins égal au diamètre nominal du raccord à vide. 4. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum. 5. Raccorder la pompe à vide au circuit de vide par l’intermédiaire du raccord à vide. 5.3 Raccordement du côté refoulement AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l'absence de conduite de refoulement En fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l'air. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques. ► Évacuez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. 21/60 Installation ATTENTION Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture. ► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement. Séparateur des condensats Pfeiffer Vacuum recommande l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement. Procédure 1. Vérifier le libre passage du silencieux installé. 2. Choisir une conduite d’échappement de diamètre au moins égal au diamètre nominal de la bride de raccordement. 3. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum. 4. Option : En présence de débits de gaz plus élevés, montez une conduite d'échappement. 5. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats. 6. Fixez ou accrochez la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la pompe à vide. 5.4 Raccordement électrique AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. 5.4.1 Mise à la terre de la pompe à vide Fig. 3: 22/60 Raccordez le câble de mise à la terre Installation Procédure 1. Utilisez un câble de mise à la terre approprié pour faire diverger les interférences applicatives. 2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur. 3. Sur la pompe à vide, utilisez la prise de terre désignée sur la plaque de fixation (filetage intérieur M4). 5.4.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. 1 2 3 4 Fig. 4: 1 TPS 2 DCU Raccordement de l’unité de commande électronique à l’alimentation électrique et à la DCU 3 4 MVP Câble de raccordement, PM 061 350 -T 23/60 Installation 2 1 3 4 5 Fig. 5: Raccordement de l’unité de commande électronique à l’unité d’alimentation, à la DCU et à la pompe turbomoléculaire 1 TPS 2 DCU 3 Pompe turbomoléculaire 4 5 MVP Câble de raccordement, PE 100 013 -T Les unités de courant d’origine (p. ex. TPS 110 ou CCU 110) et les câble de raccordement sont disponibles pour l’alimentation de tension de l’unité de commande électronique. Raccordement de l’unité de commande électronique 1. Vérifiez que la tension d’alimentation est correcte. 2. Vérifiez que l’interrupteur secteur « S1 » de l’unité de courant est coupé avant de procéder au raccordement. 3. Branchez le câble de raccordement à 15 broches dans la connexion « remote » sur l’unité de commande électronique et sécurisez-la. 4. Branchez la prise de raccordement à baïonnette dans la connexion « DC out » sur l’unité de courant et verrouillez-la. 5. Utilisation d’une unité de commande et d’affichage : Raccordez le connecteur RS-485 d’un câble de raccordement approprié à l’unité de commande et d’affichage. 24/60 Interfaces 6 Interfaces 6.1 Interface « à distance » AVIS Risque de dégâts aux circuits électroniques Le débranchement des connecteurs mâle-femelle du système de bus alors que l’équipement est sous tension peut provoquer la destruction de composants électroniques. ► Toujours couper l’alimentation électrique avant de retirer la fiche de connexion. ► Après avoir éteint le bloc d’alimentation, attendre la dispersion complète de la charge résiduelle avant de débrancher le connecteur mâle-femelle. Le raccordement sub-D à 15 broches avec la désignation « remote » offre la possibilité de faire fonctionner l'unité de commande électronique via une commande à distance. Les spécifications suivantes sont les réglages d'usine de l’unité de commande électronique. Elles peuvent être configurées avec le bloc de paramètres Pfeiffer Vacuum. ► Utilisez le connecteur et le câble blindés. 6.1.1 1 → 15 → 8 9 Fig. 6: Affectation des broches de la prise D-Sub à 15 connecteurs Broche Fonction Description et réglage d’usine 1 Entrée +24 VCC Tension d’alimentation de l’entraînement et de l’interface 2 Demande d’accès d’entrée numérique V+ : Commande par entrées numériques --> GND/ouverte : Commande débloquée 3 DI1 V+ : Mode de réglage de la vitesse de rotation --> GND/ouverte : pas de mode de réglage de la vitesse de rotation 4 DI2 Ne concerne que les pompes à vide avec électrovanne ; dans ce cas, les points suivants s’appliquent : V+ : Vanne libérée, --> GND/ouverte : vanne fermée 5 Entrée numérique du groupe de pompage V+ : Pompe à vide en marche --> GND/ouverte : Pompe à vide à l’arrêt 6 DI standby V+ : Mode standby--> GND/ouverte : Pas de mode standby 7 V+ Sortie 24 V 8 DO1 GND : Erreur. V+ : Pas d’erreur 9 DO2 GND : Pompe à vide à l’arrêt. V+ : Pompe à vide en marche 10 n.c. 11 n.c. 12 n.c. 13 RS-485 D+ 14 RS-485 D- 15 Terre (GND) Raccordement à la terre de la tension d’alimentation ; terre de référence pour toutes les entrées et sorties numériques Tab. 5: Agencement du connecteur de la prise D-Sub à 15 connecteurs Tension d’alimentation Entrée 24 V CC : L’alimentation électrique est assurée par un câble de raccordement des accessoires Pfeiffer Vacuum ou par un câble fourni par le client. 25/60 Interfaces ● Broche 1 : +24 V CC ● Broche 15 : Terre (GND) Sortie 24 V CC / broche 7 : Les entrées 2 à 6 sont actives si elles sont raccordées à la broche 7 (actif haut) sous +24 VCC. Elles sont également activables par un automate (PLC) externe. Les fonctions sont désactivées par « niveau haut PLC » et « niveau bas PLC ». ● ● ● ● 6.1.2 Niveau haut PLC : +13 V à +33 V Niveau Bas PLC : -33 V à +7 V Ri : 7 kΩ Imax < 200 mA Entrées Les entrées numériques commutent diverses fonctions de l’unité de commande électronique. Les entrées sont affectées avec des fonctions en départ d’usine. Vous pouvez les configurer via l’interface RS-485 et l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum. DI priorité à distance/broche 2 V+ : Le raccordement « remote » a une commande prioritaire sur toutes les autres sources de commande. ouverte : Priorité à distance « inactive » DI1 (mode de réglage de la vitesse de rotation)/broche 3 V+ : Mode de réglage de la vitesse de rotation « actif » ouverte : Mode de réglage de la vitesse de rotation « inactif » DI groupe de pompage / broche 5 V+ : Pompe à vide en marche. Commande de tous les composants raccordés et quittance de défaillance. ouverte : Pompe à vide à l’arrêt DI standby / broche 6 V+ : Standby activé La vitesse de standby est réglable entre 30 et 100 % de la vitesse nominale. Reliée à Standby désactivé la masse (GND)/ ouverte : 6.1.3 Sorties Les sorties numériques présentent une limite de charge maximale de 24 V/50 mA par sortie. Toutes les sorties recensées sont configurables avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum par l’intermédiaire de l’interface RS-485 (description portant sur les réglages d’usine). DO1/broche 8 V+ : GND Pas d’erreur Lorsque la tension est appliquée, la sortie numérique DO1 est en permanence au potentiel V+, qui signifie l’absence d’erreur (no error). Erreur « Active low » (actif bas) signifie la présence d’une erreur (message courant). DO2/broche 9 V+ : GND : 26/60 Pompe à vide en marche « Actif haut » signifie « Pompe à vide en marche » et en rotation à la vitesse de rotation réglée. Exemple : Utilisation du signal pour le message de la pompe à vide « Prêt pour le fonctionnement ». Pompe à vide à l’arrêt Interfaces 6.1.4 RS-485 Broche 13 et broche 14 Vous pouvez connecter une unité de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum (DCU ou HPU) ou un PC externe via les broches 13 et 14 sur la connexion D-Sub de l’unité de commande électronique. 6.2 Interface RS-485 DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. L’interface avec la désignation « RS-485 » est prévue pour le raccordement d’un panneau d’affichage et de commande Pfeiffer Vaccum (DCU ou HPU) ou d’un ordinateur externe. Les connexions sont séparées galvaniquement et isolées de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Désignation Valeur Interface série RS-485 Vitesse de transmission en baud 9 600 Baud Longueur de mot 8 bit Parité aucune (pas de parité) Bits de départ 1 Bits d’arrêt 1 Tab. 6: Caractéristiques de l’interface RS-485 Raccordement de l’unité d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC ► Utilisez les câbles de raccordement fournis avec l’unité de commande ou issus du programme d’accessoires. ► Vous pouvez raccorder une unité de commande externe à l’interface RS-485. ► Vous pouvez raccorder une interface USB (PC) via le convertisseur USB RS-485. Mise en réseau en tant que bus RS-485 L’adresse groupée de l’unité de commande électronique est 961. 1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485. 2. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente [P:797]. 3. Raccordez au bus tous les appareils avec RS-485 D+ et RS-485 D-. 27/60 Interfaces USB/RS485-converter M12 HPU RJ45 TP S DCU 002 M12 M12 RS485 H iP a c e DC in MVP DCU 110 - 310 M12 M12 RS485 H iP a c e DC in MVP Fig. 7: Options de connexion via l’interface RS-485 Raccordement de l’unité d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC Un module de commande externe peut être raccordé à l’interface RS-485. 1. Utilisez le câble de raccordement correspondant fourni avec l’unité de commande ou issu du programme d’accessoires. 2. Utilisez l’option pour connecter un PC via le convertisseur USB/RS-485. 6.3 Interconnexion via la connexion RS-485 DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. 28/60 Interfaces Y connector USB/RS-485 converter M12 M12 RS-485 MVP MVP RS-485 M12 MVP Fig. 8: Mise en réseau par l’interface RS-485 6.4 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 6.4.1 Cadre télégramme Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vaccum contient uniquement des caractères ASCII [32; 127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un maître (par ex. (par ex. unité de commande électronique ou jauun PC) envoie un télégramme, auquel un esclave ge) va répondre. a2 6.4.2 a1 a0 * 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn ... d0 c2 c1 c0 CR a2 – a0 Adresse de l’unité pour l’esclave ● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"] ● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse) ● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse) * Action selon la description du télégramme n2 – n0 Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum I1 – I0 Longueur de données dn à d0 dn – d0 Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Types de données », page 30). c2 – c0 Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) module 256 CR Retour à la ligne (ASCII 13) Description du télégramme Interrogation des données --> ? a2 n2 n1 a1 a0 0 0 Instruction de réglage a2 a1 a0 1 0 --> ! n2 n1 n0 n0 0 2 l1 l0 dn Réponse des données / instruction de réglage comprise a2 a1 a0 1 0 n2 n1 n0 l1 l0 = ? ... c2 c1 c0 cR d0 c2 c1 c0 cR d0 c2 c1 c0 cR --> dn ... 29/60 Interfaces Message d’erreur a2 a1 a0 1 0 n2 NO_DEF _RANGE _LOGIC 6.4.3 --> n1 n0 0 6 N O _ D E F _ R A N G E _ L O G I C c2 c1 c0 cR Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée Erreur d'accès logique Télégramme exemple 1 Demande de données Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil esclave : « 123 ») --> ? ASCII 1 2 3 0 0 3 0 9 0 2 = ? 1 1 2 cR 49 50 51 48 48 51 48 57 48 50 61 63 49 49 50 13 Réponse des données : 633 Hz Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil esclave : « 123 ») --> 1 2 3 1 0 3 0 9 0 6 0 0 0 6 3 3 0 3 7 cR ASCII 49 50 51 49 48 51 48 57 48 54 48 48 48 54 51 51 48 51 55 13 6.4.4 Télégramme exemple 2 Commande de contrôle Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil esclave : « 042 » --> ! ASCII 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 Commande de contrôle comprise Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil esclave : « 042 » --> 0 4 2 1 0 0 1 0 0 6 1 1 1 1 1 1 0 2 0 cR ASCII 48 52 50 49 48 48 49 48 48 54 49 49 49 49 49 49 48 50 48 13 6.4.5 30/60 Types de données Nº Type de données Description Longueur l1 – l0 Exemple 0 boolean_old Valeur logique (faux / vrai) 06 000000 correspond à faux 111111 correspond à vrai 1 u_integer Nombre entier positif 06 000000 à 999999 2 u_real Nombre à point fixe positif 06 001571 correspond à 15.71 3 u_expo Nombre exponentiel positif 06 1,2E-2 correspond à 1,2 · 10-2 005E8 correspond à 5 · 108 4 string Chaîne de 6 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 06 TC_110, TM_700 6 boolean_new Valeur logique (faux / vrai) 01 0 correspond à faux 1 correspond à vrai 7 u_short_int Nombre entier positif 03 000 à 999 Interfaces Nº Type de données Description Longueur l1 – l0 Exemple 10 u_expo_new Nombre exponentiel positif. Les deux derniers chiffres sont l'exposant avec une déduction de 20. 06 100023 correspond à 1,0 · 103 100000 correspond à 1,0 · 10-20 11 string16 Chaîne de 16 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 16 voici-un-exemple 12 string8 Chaîne de 8 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 08 Exemple 31/60 Ensemble de paramètres 7 Ensemble de paramètres 7.1 Généralités Toutes les variables de la pompe à vide concernant son fonctionnement sont conservées sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Ces paramètres sont accessibles aux panneaux d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum et à l’interface RS-485 avec le protocole Pfeiffer Vacuum. Conventions Les paramètres sont inscrits en gras sous forme de nombres à trois chiffres entre crochets. Il est également possible de spécifier leur désignation. Exemple : [P:312] version logicielle Paramètres d’usine L’unité de commande électronique est préprogrammée en usine. La pompe à vide est ainsi utilisable directement et en toute sécurité sans configuration supplémentaire. Néanmoins, les paramètres suivants sont configurables en cas de procédé spécifique : ● [P:026] : mode de réglage de la vitesse de rotation actif/inactif. ● [P:707] : spécification du mode de réglage de la vitesse de rotation entre 30 et 170 % du régime nominal. ● [P:002] : mode standby actif/inactif. # Nombre à trois chiffres du paramètre Affichage Affichage de la description des paramètres Description Brève description des paramètres Fonctions Description de la fonction des paramètres Type de données Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum Type d’accès R (lecture) : Accès en lecture ; W (écriture) : Accès en écriture Unité Unité physique de la variable décrite min. / max. Valeurs limites autorisées pour la saisie d'une valeur Par défaut Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe) Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l'unité de commande électronique Tab. 7: Explication et signification des paramètres 7.2 Instructions de commande # Affichage Désignations Fonctions Type de données Type d’accès 002 stand-by stand-by 0 = arrêt 1 = marche 0 009 ErrorAckn Acquittement d’un dysfonctionnement - 010 PumpgStatn Pompe 0 = arrêt 1 = marche 32/60 Unité min. max. par défaut Mémorisable RW 0 1 0 x 0 W 1 1 - x 0 RW 0 1 0 x Ensemble de paramètres # Affichage Désignations Fonctions Type de données Type d’accès 019 Cfg DO2 Configuration sortie DO2 1 = pas d’erreur 2 = erreur 5 = régime nominal atteint 6 = pompe en marche 9=«0» 10 = « 1 » 11 = priorité à distance active 7 024 Cfg DO1 Configuration sortie DO1 Réglages, voir [P:019] 026 SpdSetMode Fonctionnement de l’actionneur de vitesse 030 Mode valve 050 min. max. par défaut Mémorisable RW 0 20 5 x 7 RW 0 20 1 x 0 = arrêt 1 = marche 7 RW 0 1 0 x Configuration du gaz de balayage (si présent) 0 = auto 1 = fermé 2 = ouvert 7 RW 0 2 0 x PurgeGas Gaz de balayage (si présent) 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 1 x 060 CtrlViaInt Fonctionnement de l’interface 1 = à distance 2 = RS-485 4 = PV.can 255 = sélection de l’interface 7 RW 1 255 1 x 061 IntSelLckd Sélection de l’interface verrouillée 0 = arrêt 1 = marche 0 RW 0 1 0 x min. max. 0 9999,99 Tab. 8: Unité Jeu de paramètres | Instructions de commande 7.3 Demandes d’état # Affichage Désignations 303 Code d’erreur 309 ActualSpd 310 DrvCurrent Courant d’alimentation 311 OpHrsPump 312 Fw version 313 DrvVoltage Tension d’alimentation 314 OpHrsElec 315 Fonctions Type de données Type d’accès Code d’erreur 4 R Vitesse de rotation réelle (Hz) 1 R Hz 2 R A Heures de service pompe 1 R h Version logicielle de la carte d’interface 4 R 2 R V Heures de service électronique d’entraînement 1 R h Nominal Spd Vitesse de rotation nominale (Hz) 1 R Hz 316 DrvPower Puissance d’entrée 1 R W 330 TempPump Température pompe 1 R °C Courant d’alimentation en A Tension en V Sortie en W Unité Par défaut Mémorisable x x 0 999999 33/60 Ensemble de paramètres # Affichage Désignations 349 ElecName 354 Type de données Type d’accès Désignation de l’appareil 4 R HW Version Version matérielle de la carte d’interface 4 R 398 ActualSpd Vitesse réelle (tr/min) 1 R tr/min 399 NominalSpd Vitesse de rotation nominale (tr/min) 1 R tr/min Tab. 9: Fonctions Unité min. max. Par défaut Mémorisable Ensemble de paramètres | Demandes d’état 7.4 Entrée des valeurs de référence # Affichage Désignations Fonctions Type de données Type d’accès Unité min. max. par défaut Mémorisable 707 SpdSVal Consigne dans le mode de contrôle de vitesse Consigne de vitesse de rotation en % de la vitesse de rotation nominale 2 RW % 30 170 75 x 717 StdbySVal Valeur de consigne de vitesse de rotation en mode standby 2 RW % 30 100 66,7 x 721 SlgVlvTime Spécification du gaz de balayage active 1 RW s 5 255 60 x 797 RS485Adr Adresse interface RS-485 1 RW 1 255 2 x Tab. 10: 7.5 Jeu de paramètres | Entrées des valeurs indicatives Paramètres additionnels pour le DCU Paramètres additionnels dans le panneau de commande L’ensemble de paramètres de base est défini, départ usine, dans l’unité d’entraînement électronique. Pour la commande des composants externes connectés (par ex. instruments de mesure du vide), des paramètres additionnels (ensemble de paramètres avancés) sont disponibles sur les panneaux d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum correspondants. ● Se reporter aux consignes d’utilisation correspondantes des différents composants. ● Sélectionner l’ensemble de paramètres avancés avec le paramètre [P:794] = 1. # Affichage Description 340 Pression 350 Type de données Type d’accès Unité min. max. Valeur de pression actuelle (ActiveLine) 7 R hPa 1·10 -10 1·10 3 Nom ctr Panneau d’affichage et de commande : type 4 R 351 Logiciel ctr Panneau d’affichage et de commande : version du logiciel 4 R 738 Type de jauge Type de manomètre 4 RW 34/60 Fonctions Par défaut Ensemble de paramètres # Affichage Description Fonctions Type de données Type d’accès 794 Ensemble param Ensemble de paramètres 0 = ensemble de paramètres de base 1 = ensemble de paramètres avancés 7 RW 795 Servicelin Insérer ligne de service 7 RW Tab. 11: Unité min. max. Par défaut 0 1 0 795 Paramètre des fonctions DCU 35/60 Utilisation 8 Utilisation 8.1 Mise en service de la pompe à vide Les réglages et variables fonctionnelles essentielles sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par ces paramètres sont assurés par les modules d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, ou en externe via l’interface RS-485 avec le protocole Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de processus toxiques. ► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus toxiques. ► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. ► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques. AVIS Dégâts à la pompe à vide provoqués par une surpression La permutation des raccordements peut causer une surpression. La pression différentielle entre entrée et sortie doit être de 1 bar max. pour pouvoir démarrer la pompe à vide, sans quoi le moteur s’arrête et subit des dégâts. ► Vérifier que le distributeur est installé correctement sur les têtes de la membrane avant de raccorder la pompe à vide et l’appareil à vide. ► Avant la mise en service, vérifier impérativement que la pression côté échappement est inférieure à la limite admissible. Paramètre Nom Désignation Réglage ou valeur [P:707] SpdSVal Spécification de fonctionnement en mode de contrôle de vitesse 75 % Tab. 12: Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes à membrane livrées Procédure 1. Comparer les spécifications de fréquence sur la plaque signalétique à la tension d’alimentation disponible. 2. Vérifiez que le raccord d'échappement n'est pas obturé (pression max. admissible : 1100 hPa absolus). 3. Actionnez les appareils de fermeture pour qu’ils s’ouvrent avant ou pendant le démarrage de la pompe à vide. 8.2 Mettre en marche la pompe à vide Lors du pompage de gaz secs, aucune précaution particulière n’est nécessaire. 36/60 Utilisation ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. ► Porter des équipements de protection adaptés. Durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide En fonction de la température ambiante, la durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide est d’au moins 30 minutes. Condition préalable ● les raccordements par câble nécessaires doivent être établis Mettre en marche la pompe à vide 1. Au besoin, activer la pompe à vide dans chaque domaine de pression en utilisant l’une des 3 méthodes possibles : – Par l’interrupteur du bloc d’alimentation, avec les liaisons de broches correctes en place sur la prise D-Sub à 15 broches – Par les périphériques DCU/HPU – Par un contrôle d’automate (PLC) sur la prise D-Sub à 15 broches 2. Laissez la pompe à vide monter en température avant de démarrer le procédé, raccord à vide fermé. La pompe à vide atteint les valeurs spécifiques de débit et de pression finale dès que la température de fonctionnement a été atteinte. 8.3 Fonctionnement de la pompe à membrane avec le lest d'air AVERTISSEMENT Risque d’explosion lié aux mélanges gaz/air réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux L’entrée incontrôlée de gaz par la soupape de lest d'air peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, ou provoquer l’échauffement des surfaces ou encore la formation de mélanges gaz/air potentiellement explosifs dans le circuit de vide formés par l’électricité statique. ► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la soupape de lest d’air ouverte. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par les substances de processus toxiques. ► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte pour éviter une contamination potentielle. ► Si nécessaire, utiliser une conduite d’évacuation. AVIS Risque de dégâts dus à la condensation dans la pompe à vide Lors du fonctionnement sans lest d’air, de la condensation peut se former en cas de dépassement des caractéristiques de compatibilité à l’état gazeux dans la pompe à vide. ► Pompez les gaz condensables uniquement lorsque la pompe à vide est à température de fonctionnement et la soupape à lest d’air ouverte. ► Laissez la pompe à vide tourner pendant 30 minutes de plus avec la soupape à lest d’air ouverte. – Ceci protège la pompe à vide contre la corrosion. Les vapeurs et l’humidité de la substance pompée nuisent au débit après condensation dans la pompe à vide. 37/60 Utilisation Comportement avec les gaz de processus et des vapeurs condensables ► Utiliser la pompe à vide avec un lest d’air, p. ex. soupape de lest d’air ouverte. 8.4 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions pour l’unité de commande électronique avec l’ensemble de paramètres. 8.4.1 Configuration des sorties numériques Option Description 1 = pas d’erreur État actif, fonctionnement normal 2 = erreur État actif si le message d’erreur est actif 5 = vitesse de rotation réglée atteinte État actif une fois la consigne de vitesse de rotation atteinte 6 = pompe en marche État actif si la pompe et le moteur sont en marche et en l’absence d’erreur 9 = toujours 0 GND pour la commande d’un appareil externe 10 = toujours 1 V+ pour la commande d’un appareil externe 11 = à distance État actif si la priorité à distance est active Tab. 13: Configurer les paramètres [P:019] et [P:024] Procédure ► Effectuer la configuration conformément au tableau. 8.4.2 Sélection des interfaces Option [P:060] Description 1 = à distance Fonctionnement via connexion « à distance » 2 = RS-485 Fonctionnement via la connexion « RS-485 » 4 = PV.can À des fins de maintenance uniquement Option [P:061] 0 = arrêt La sélection de l’interface peut être définie avec [P:060]. 1 = marche Sélection de l’interface verrouillée Tab. 14: Paramètres [P:060] et [P:061] Procédure ► Sélectionnez l’interface conformément au tableau. 8.5 Modes de fonctionnement Les modes de fonctionnement suivants sont possibles : ● Fonctionnement sans unité de commande ● Fonctionnement régi par une unité de commande externe ● Fonctionnement par l’intermédiaire de l’interface RS-485 et du module d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC Grâce à la connexion d'un panneau de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum, la pompe à vide peut être contrôlée par l'intermédiaire des paramètres fixés dans l'unité de commande électronique. 38/60 Utilisation Démarrage automatique Après liaison des contacts des broches 2, 7, 5 sur la fiche de connexion ou à l’aide d’un câble de raccordement comportant ces liaisons, la pompe à vide démarre immédiatement en appliquant la tension d’alimentation. Pfeiffer Vacuum recommande par conséquent d’allumer le bloc d’alimentation immédiatement avant la mise en marche. Fonctionnement sans unité de commande 1. Brancher le câble de raccordement correspondant avec des ponts sur le connecteur de l’unité de commande électronique. 2. Branchez l’alimentation en courant sur le bloc d’alimentation. 3. Allumer le bloc d’alimentation en actionnant l’interrupteur S1. Après application de la tension de fonctionnement, la pompe à vide effectue un test automatique pour contrôler la tension d’alimentation. En l’absence d’erreur au test automatique, la pompe à vide démarre. Fonctionnement via la commande externe ► Brancher la commande à distance à la prise D-Sub à 15 broches. Le contrôle est effectué au moyen du « PLC level » (niveau automate). Fonctionnement avec les périphériques DCU ou HPU. 1. L'unité d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum doit être manipulée conformément aux manuels de l’utilisateur correspondants : – Manuel de l'utilisateur « DCU » à télécharger à la rubrique Download Center. – Manuel de l'utilisateur « HPU » à télécharger à la rubrique Download Center. 2. Brancher le périphérique à la prise D-Sub à 15 broches. 3. Allumer le bloc d’alimentation en actionnant l’interrupteur S1 ou sur le périphérique. 4. Effectuer les réglages nécessaires par l’interface RS-485 à l’aide du périphérique. 8.5.1 Fonctionnement normal Si la soupape de lest d’air est ouverte ou fermée en permanence ([P:050] = 0 ou [P:030] = 1 ou 2), la pompe à vide démarre en mode augmenter pendant 5 min. max. à la vitesse maximale. La valeur de l’intensité est suivie en parallèle. Si le courant baisse en-deçà d’un certain seuil, la vitesse est contrôlée pour être abaissée à la vitesse de rotation nominale. Si la puissance d’entrée augmente de nouveau, la vitesse n’augmente pas automatiquement. La vitesse augmente de nouveau après l’arrêt/démarrage de la pompe à vide. En mode automatique de la soupape de lest d’air ([P:050] = 1 et [P:030] = 0), la pompe à vide démarre en mode augmenter pendant 15 minutes de façon constante, puis fonctionne à nouveau automatiquement à la vitesse nominale. Réglage des paramètres associés 1. Réglez le paramètre [P:002] sur « 0 ». 2. Réglez le paramètre [P:026] sur « 0 ». 3. Réglez le paramètre [P:050] sur la valeur souhaitée. 4. Réglez le paramètre [P:030] sur la valeur souhaitée. 5. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:309] ou [P:398]). 8.5.2 Mode standby Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe à vide lors des pauses de processus ou de production. ● Le réglage d’usine est 66,7 % de la vitesse nominale. ● Le mode standby est prioritaire sur le mode de réglage de la vitesse de rotation. ● Lorsque le mode standby est actif, l’unité de commande électronique réduit la vitesse de la pompe à vide dans une proportion de 30 à 100 % de la vitesse nominale. Activer la vitesse de rotation en mode standby 1. Régler le paramètre [P:717] à la valeur requise en %. 2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ». 3. Régler le paramètre [P:002] sur « 1 ». 4. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:309] ou [P:398]). 39/60 Utilisation 8.5.3 Fonctionnement de l’actionneur (de vitesse) Plage de vitesses de rotation admissibles de la pompe à vide Le paramétrage dans le mode de réglage de la vitesse de rotation dépend de la plage de vitesses de rotation admissibles de la pompe à vide concernée. L’unité de commande électronique régule automatiquement la vitesse à la valeur valide la plus proche. La consigne de vitesse de rotation est modifiable avec le paramètre [P:707], dans l’intervalle 30 à 170 % du régime nominal. Si la vitesse est supérieure au régime nominal (> 100 %), l’usure de la pompe risque d’être plus rapide. Le mode de réglage de la vitesse de rotation est prioritaire sur le mode standby. Réglage du mode de réglage de la vitesse de rotation 1. Réglez le paramètre [P:707] à la valeur requise en %. 2. Réglez le paramètre [P:026] sur « 1 ». 3. Recherchez la vitesse nominale via le paramètre [P:309] ou [P:398]. 8.5.4 Commande de soupape de lest d’air RS-485 [P050] valve enabled RS-485 [P030] valve mode RS-485 [P010] pump on/off valve behaviour 0 [disabled] always closed 0 [auto] 1 [enabled] 0 [off] closed cyclical [P721] (default 60 s) * open 1 [on] Fig. 9: closed 15 min pump start 1 [closed] always closed 2 [open] always open Diagramme de commande de soupape de lest d’air Si la commande de soupape de lest d’air est ouverte, [P:030] définit le mode de soupape. En mode automatique (réglage par défaut départ d’usine), la vanne s’ouvre seulement pendant 15 min au démarrage de la pompe ; ensuite, elle s’ouvre de façon cyclique pendant 5 à 225 s toutes les 15 minutes (réglage avec [P:721]). La soupape de lest d’air s’ouvre aussi lorsque vous arrêtez le mode stand-by ou le mode de réglage de la vitesse. 8.6 Surveillance des opérations 8.6.1 Affichage LED du mode de fonctionnement Le témoin LED sur l’unité de commande électronique indique l’état de fonctionnement général. Un affichage différencié des dysfonctionnements et des avertissements est uniquement possible lors d’un fonctionnement avec DCU ou HPU. Écran 40/60 Activité Signification Aucune ● Alimentation électrique inadaptée 10 % d’activité, 1 Hz ● Pas d’erreur ● Pompe à vide à l’arrêt ● Pompe à vide immobile Utilisation Écran Tab. 15: 8.6.2 Activité Signification 50 % d’activité, 1 Hz ● Pas d’erreur ● Pompe à vide à l’arrêt ● Pompe à vide toujours en rotation 90 % d’activité, 1 Hz ● Pas d’erreur ● Pompe à vide en marche ● Consigne de vitesse de rotation non atteinte 100 % d’activité ● Pas d’erreur ● Pompe à vide en marche ● Vitesse cible atteinte 50 % d’activité, 10 Hz ● Défaillance Comportement et signification du témoin LED de l’unité de commande électronique Surveillance de la température Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener les pompes à vide dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température pour les messages d’avertissement et de dysfonctionnement sont mémorisés systématiquement dans l’unité d’entraînement électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de paramètres. ● Avec une température de pompe T > 75 °C, l’unité de commande électronique réduit le moteur à la vitesse de rotation nominale afin d’éviter tout surchauffe de la pompe à vide. ─ « Avertissement » est affiché. ─ Après refroidissement (< 72 °C), la pompe à vide se remet à tourner à la vitesse de consigne. ● Si le seuil d'erreur de température excessive T > 85 °C est dépassé, la pompe à vide s'arrête immédiatement. ─ Un « message de dysfonctionnement » est affiché. Acquitter le dysfonctionnement ► Éliminer la cause du défaut. ► Désactiver et réactiver la pompe à vide. Alternativement, acquitter le dysfonctionnement via l’unité de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum ► Régler le paramètre [P:010] sur la valeur « 0/1 ». ► Réinitialiser le message d’erreur avec le paramètre [P:009] ou en appuyant sur le bouton le DCU. ► Désactiver et réactiver la pompe à vide en marche en appuyant une fois sur 8.7 sur sur le DCU. Mise hors tension de la pompe à vide Procédure 1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide. 2. Au besoin, désactivez la pompe à vide dans chaque domaine de pression. 3. Débrancher le bloc d’alimentation. 41/60 Maintenance 9 Maintenance 9.1 Consignes de maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. ATTENTION Risque de blessures dues aux pièces mobiles Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur. ► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. ► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage les pièces de la pompe. ► Utilisez uniquement des agents nettoyants autorisés pour nettoyer les pièces de la pompe. ► Utilisez uniquement un chiffon sec propre pour nettoyer les membranes et les vannes. ► Ne pas utiliser d’alcool ou d’autres produits de nettoyage pour nettoyer les membranes et les vannes. AVIS Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité. ► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance. ► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique. Les tâches relatives au nettoyage et à l’entretien de la pompe à vide sont résumées ci-dessous. Les clapets et les membranes sont des pièces d’usure. Composant Heures de fonctionnement Diaphragmes 15 000 Vannes 15 000 Tab. 16: Durée de vie typique dans le cadre d'une utilisation normale Conditions préalables ● Pompe à vide à l’arrêt ● Pompe à vide mise à l’air à la pression atmosphérique ● Pompe à vide refroidie 42/60 Maintenance Équipement nécessaire ● Chiffon (propre, non pelucheux) ● Eau ou solution à base de savon doux Maintenance de la pompe à vide 1. Débranchez l’alimentation électrique de la pompe. 2. Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. 3. Éliminez toute contamination externe sur la pompe à vide avec un chiffon légèrement humidifié avec de l’eau ou une solution à base de savon doux. 4. Laissez bien sécher les pièces après le nettoyage. 5. Concernant le travail de maintenance, démontez uniquement ce qui est nécessaire sur la pompe à vide. 6. Avec un chiffon sec, nettoyez la chambre d’aspiration, les diaphragmes et les vannes. 7. Contrôlez les fissures sur les membranes et les vannes au plus tard lorsque les valeurs de pression atteintes baissent. 9.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien Remarques relatives aux intervalles de maintenance En fonction du processus, les intervalles de maintenance requis peuvent être plus courts que les valeurs indicatives du tableau. ● En cas de charges extrêmes ou de processus spécifiques, consulter Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts. Maintenance niveau 2 Nous recommandons que Pfeiffer Vacuum Service prenne en charge les opérations de maintenance de niveau 2. Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de maintenance est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de responsabilité ne sera acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de rechange d’origine. Action Inspection Maintenance niveau 1 Maintenance niveau 3 Intervalle comme nécessaire ; au moins tous les six mois comme nécessaire ; au moins tous les 2 ans comme nécessaire ; au moins tous les 4 ans Contrôler le silencieux à la recherche d'une contamination éventuelle 2) ■ Tester la pompe à vide de façon optique et acoustique ■ Équipement nécessaire Lire et analyser les données de la pompe ■ Nettoyer la pompe à vide ■ Remplacer les membranes et les vannes ■ Kit de révision Remplacer le silencieux 3) ■ Silencieux Exécutez un test de fonctionnement ■ Inspection entrante avec mesure des vibrations ■ Démonter complètement la pompe à vide ■ Nettoyer complètement la pompe à vide ■ 2) si présent 3) si présent 43/60 Maintenance Action Inspection Maintenance niveau 1 Maintenance niveau 3 Intervalle comme nécessaire ; au moins tous les six mois comme nécessaire ; au moins tous les 2 ans comme nécessaire ; au moins tous les 4 ans Équipement nécessaire Changer le filtre de lest d’air 4) ■ Filtre Remplacer toutes les pièces d’usure ■ Membranes, vannes, soupapes, joints annulaires, silencieux Tab. 17: 9.3 Intervalles de maintenance Remplacement des membranes et des vannes AVIS Risque de dégâts matériels dus à une installation incorrecte Si les disques d’écartement d’origine sont mal installés, le volume mort peut varier, ce qui affecte le vide final ou endommager les paliers. ► Lors du démontage, les disques d’écartement doivent être séparés selon le lieu de mise en place. ► Réinstallez le même nombre de disques d’écartement d’origine par tête de membrane. 9.3.1 Démonter la tête de membrane et les soupapes Outils nécessaires ● Clé à fourche, WAF 14 ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4 4) 44/60 si présent Maintenance 2 1 A–B 3 4 5 6 8 7 Fig. 10: A–B 1 2 3 4 Tête de membrane et soupapes Couverture de tête de membrane Vis creuse Vis à tête cylindrique Plaque de vanne Joint annulaire (uniquement sur la tête de membrane A) 5 6 7 8 Plaque d’écartement Membrane Disques d’écartement Silencieux Procédure 1. Retirer les vis creuses et démonter le raccords de tuyau. 2. Tourner la pompe à membrane de manière à ce que la tête de membrane à démonter soit dirigée vers le haut. 3. Dévisser les vis à tête cylindrique de la tête de membrane. 4. Retirer la tête de membrane. – Observer le joint annulaire côté aspiration. 5. Retirer la plaque d'écartement. 6. Libérer les vannes et le joint annulaire de la plaque d'écartement. 7. Soulever légèrement la membrane sur le côté. 8. Dévisser et retirer à la main la membrane de la bielle. – La membrane possède un filetage à droite. – Faire attention aux disques d’écartement. 9.3.2 Nettoyage et remplacement des diaphragmes et des vannes Condition préalable ● Le diaphragme et les vannes sont enlevés Pièces de rechange requises ● Kit de remise en état Produits consommables requis ● Chiffon sec propre ● Isopropanol Procédure 1. Nettoyez les diaphragmes et les vannes avec un chiffon sec et propre. – N’utilisez pas d’isopropanol ou un autre détergent pour nettoyer les diaphragmes et les vannes. 2. Nettoyez les sièges de vanne, la plaque intermédiaire et le couvercle de chapeau avec l’isopropanol. 45/60 Maintenance 3. Vérifiez les sièges de vanne, la plaque intermédiaire et le couvercle de chapeau à la recherche de signes d'usure. 4. Remplacez toutes les pièces d’usure conformément aux ensembles de contrôle. 9.3.3 Monter la tête de membrane et les vannes Disques d’écartement Les disques d’écartement sont disponibles en 3 tailles : ● 13,0 × 6,4 × 0,5 mm ● 13,0 × 6,4 × 0,1 mm ● 16,0 × 6,4 × 0,05 mm Le nombre et la taille des disques d’écartement varie entre les têtes de pompage. Installez le même nombre de disques d’écartement avec la même taille sur chaque tête de pompage. Outils nécessaires ● Clé plate, WAF 14 ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4 Procédure 1. Tourner la pompe à membrane de manière à ce que la tête de membrane à monter soit dirigée vers le haut. 2. Visser à la main la membrane sur la bielle. – La membrane possède un filetage à droite. – Faire attention aux disques d’écartement. 3. Installer les vannes et le joint annulaire dans la plaque d'écartement. 4. Installer la plaque d'écartement. 5. Monter le cache de tête de membrane. – Observer le joint annulaire côté aspiration. 6. Visser les vis sur le cache de tête de membrane. 7. Monter le raccord de tuyau à l’aide les vis creuses. 46/60 Démantèlement 10 Démantèlement Avant d’arrêter la pompe à vide, respectez les instructions suivantes pour protéger de manière adéquate l’intérieur de la pompe à vide (chambre d’aspiration) contre la corrosion : Procédure pour les arrêts temporaires de la pompe à vide 1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide. 2. Si une substance susceptible de détériorer des matériaux ou de former des dépôts a pénétré dans la pompe à vide, nettoyer l’intérieur des têtes de pompe. Procédure pour les arrêts prolongés de la pompe à vide 1. Débrancher la pompe à vide du circuit de vide. 2. Si nécessaire, retirez la pompe à vide du circuit de vide. 3. Bouchez le raccord à vide avec les bouchons d’obturation d’origine. 4. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées. 5. Si la pompe à vide doit être stockée dans un local à l’atmosphère humide ou corrosive, emballezla dans un sac en plastique, avec un produit dessiccateur. 47/60 Recyclage et mise au rebut 11 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. Protection de l'environnement La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et prévenir de la pollution. 11.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme Les pompes à diaphragme Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. 1. Déconnectez l’unité de commande électronique. 2. Démantelez le moteur. 3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 4. Séparez les composants en matériaux recyclables. 5. Recyclez les composants non contaminés. 6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 48/60 Dysfonctionnements 12 Dysfonctionnements 12.1 Généralités ATTENTION Risque de blessures dues aux pièces mobiles Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur. ► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. ► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. ► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus. ► Portez si nécessaire des équipements de protection individuelle. AVIS Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité. ► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance. ► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique. Toute anomalie de la pompe à vide et de l’unité de commande électronique entraîne systématiquement un message d’avertissement ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est émis, ce dernier peut être lu via les interfaces de l’unité d’entraînement électronique. En cas d’erreur, la pompe à vide s’arrête. En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici : Problème Causes possibles Remède La pompe à vide ne démarre pas ● Absence d’alimentation électrique ou tension non conforme aux spécifications du moteur ● Contrôlez la tension d’alimentation. ● Température trop basse de la pompe ● Chauffez la pompe à vide à une température > 5 °C. ● Le dispositif de protection thermique du moteur s’est déclenché ● Déterminez et éliminez la cause du problème et laissez la pompe à vide refroidir si nécessaire. ● Membranes ou vannes sales ● Nettoyez la pompe à vide. ● Surpression dans la conduite d’échappement ● Vérifiez la conduite d’échappement et nettoyez-la si nécessaire. ● Le dispositif de protection thermique du moteur s’est déclenché ● Déterminez et éliminez la cause du problème et laissez la pompe à vide refroidir si nécessaire. ● Pression d’échappement trop élevée ● Vérifiez que la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté refoulement ne sont pas bouchés. La pompe à vide s’arrête peu de temps après son démarrage 49/60 Dysfonctionnements Problème Causes possibles Remède La pompe à vide n’atteint pas la pression limite spécifique ● Condensats dans la pompe à vide ● Faites fonctionner la pompe à vide pendant une période prolongée à la pression atmosphérique et si nécessaire avec la soupape de lest d’air ouverte. ● Soupape de lest d’air ouverte ● Fermez la soupape à lest d’air. ● Vannes ou membranes contaminées ● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire. ● Fuite dans le système ● Localisez et éliminez la fuite. ● Mauvais dimensionnement de la conduite d’aspiration ● Vérifiez que les raccordements sont aussi courts que possible et que les sections droites des conduites sont correctement dimensionnées. ● Pression d’échappement trop élevée ● Vérifiez que la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté refoulement ne sont pas bouchés. ● Clapets ou membranes défectueux ● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire. ● Chambre d’aspiration encrassée ● Nettoyez la chambre d’aspiration. ● Silencieux mal fixé ou manquant. ● Vérifiez le silencieux et remplacez-le si nécessaire. ● Vannes sales ou défectueuses ● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire. ● Bielle ou paliers du moteur défectueux ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Débit de pompage de la pompe à vide trop faible Bruits de fonctionnement inhabituels Tab. 18: 12.2 Dépannage sur les pompes à membrane Codes d’erreur Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours la mise hors circuit de la pompe à vide. Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la mise hors circuit de la pompe à vide. Traiter les messages d’anomalie 1. Lisez les codes d’erreur via les unités de commande et d’affichage ou un PC. 2. Éliminez la cause de l'anomalie. 3. Remettez à zéro le message d'anomalie avec le paramètre [P:009]. – Utilisez les touches rapides préconfigurées avec le symbole ou affichez les touches sur les unités de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum. Code d’erreur Problème Causes possibles Remède Err042 Logiciel incompatible Erreurs de somme de contrôle ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Err091 Équipement inconnu - ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Err098 Erreur interne de communication entre la carte interface et l'entraînement – ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Err117 Température excessive de la pompe à vide (> 85 °C) Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Contrôlez les conditions de fonctionnement Err173 Dépassement de la capacité de la pompe - ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Err174 Pompe à vide bloquée – ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Tab. 19: 50/60 Messages d'erreur pour la pompe à vide Dysfonctionnements Code d’erreur Problème Causes possibles Remède Wrn117 Température élevée de la pompe à vide (> 75 °C) ● Refroidissement insuffisant ● Améliorez le refroidissement ● Contrôlez les conditions de fonctionnement Tab. 20: Messages d'avertissement pour la pompe à vide 12.3 Messages d’avertissement et d’erreur lors du fonctionnement avec le DCU Outre les messages d’avertissement et d’erreur spécifiques à l’équipement sur l’unité d’entraînement électronique, des messages additionnels sont affichés avec le panneau d’affichage et de commande connecté. Affichage dans le DCU Problème Causes possibles Remède * Warning F110 * Manomètre ● Manomètre défaillant ● Connexion au manomètre perdue lors du fonctionnement ● Contrôler le branchement des câbles ● Effectuer un redémarrage avec le manomètre connecté ● Remplacer complètement le manomètre ** Error E040 ** Défaut matériel ● RAM externe défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ** Error E042 ** Défaut matériel ● Somme de contrôle EPROM incorrecte ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ** Error E043 ** Défaut matériel ● E2Erreur d’écriture PROM ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ** Error E090 ** Erreur appareil interne ● RAM pas suffisamment grande ● DCU connecté à une unité d’entraînement électronique incorrecte ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Connecter le DCU à la bonne unité d’entraînement électronique ** Error E698 ** Erreur de communication ● L’unité d’entraînement électronique ne répond pas ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. Tab. 21: Messages d’avertissement et d’erreur lors de l’utilisation d’un DCU 51/60 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 52/60 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 53/60 Lots de pièces de rechange 14 Lots de pièces de rechange Commande de lots de pièces de rechange ► Notez la référence de commande de la pièce détachée de la pompe à vide, accompagnée d’autres informations de la plaque signalétique si nécessaire. ► Installez uniquement des pièces détachées d’origine. ► Pour commander le kit de révision, indiquez la référence de la pompe à membrane concernée. A–B 1 2 3 4 5 Fig. 11: Pièces de rechange A – B Couvercle de chapeau 1 Plaque de vanne 2 Joint annulaire Plaque d’écartement Membrane Silencieux Pièces de rechange Référence Pièces incluses Kit de révision PU E22 001 -T 1, 2, 4 (complet) Silencieux P 0920 567 E 5 Raccordement entre les têtes PK 050 267 -T Unité complète Tab. 22: 54/60 3 4 5 Pièces de rechange ACCESSOIRES 15 ACCESSOIRES 15.1 Informations sur les accessoires Unités de commande et d’affichage Les unités d'affichage et de fonctionnement sont utilisées pour la vérification et l'ajustement des paramètres de travail. Unités de courant Les unités de courant pour une fixation murale et sur rails standards ou pour un montage sur cadre assurent l’alimentation en tension. Câbles et adaptateurs Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Tuyaux de raccordement Tuyaux de raccordement avec adaptateurs pour le raccordement à une pompe turbomoléculaire Bride à visser Bride à visser avec joint pour côté aspiration de la pompe à vide 15.2 Commande d’accessoires Champ de sélection Numéro de commande TPS 110, unité de courant pour fixation murale/sur rail standard PM 061 340 -T TPS 111, unité de courant 3HU tiroir 19" PM 061 344 -T DCU 002, appareil de commande et d'affichage PM 061 348 AT DCU 110, module de commande et d'affichage avec unité de courant PM C01 820 HPU 001, module de programmation portatif PM 051 510 -T Convertisseur USB RS-485 PM 061 207 -T Distributeur en Y M12 vers RS-485 P 4723 010 Câble de raccordement MVP-TC-TPS, 3 m PE 100 013 -T Câble d'interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m PM 061 283 -T Câble de raccordement avec interface RS-485 pour MVP -> unité de courant PM 061 350 -T Câble de raccordement pour HiPace avec TC 110/120 PM 061 543 -T Raccord de tuyau DN 6 x 400 mm avec raccord droit à filetage 1/8 po. et filetage 1/4 po., joint inclus P 0920 739 E Raccord de tuyau DN 6 x 1000 mm avec raccord droit à filetage 1/8 po. et filetage 1/4 po., joint inclus P 0920 817 E Tuyau DN 6 ; (ø 8/6 mm) polyéthylène P 0991 939 Raccord rapide filetage 1/8 po. joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) inclus P 4131 029 G Raccord rapide T filetage 1/8 po. P 4131 030 E Bride mâle filetée DN 16 ISO-KF/filetage 1/8 po, joint inclus PK 050 108 -T Tab. 23: Accessoires MVP 015-2 DC 55/60 Caractéristiques techniques et dimensions 16 Caractéristiques techniques et dimensions 16.1 Généralités Fondement des données techniques des pompes à membrane Pfeiffer Vacuum : ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ● ISO 21360:2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide - Description générale » Les normes harmonisées suivantes sont respectées : ● CEI 61010-1 ● UL 61010-1 ● CSA 61010-1 mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 0,75 mbar 1 1 · 10 100 1 0,1 bar 1,000 1 1 · 105 1,000 100 Pa 0,01 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 hPa 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 133,32 1,33 0,133 1 -3 -5 -3 1,33 · 10 1 Pa = 1 N/m Tab. 24: 750 -3 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s mbar l/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m3/s 10 1 592 7,5 sccm Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 25: 9,87 1.69 · 10 1 1,27 · 10 1.67 · 10-2 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 1.69 · 10 -2 -3 -2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 16.2 Fiche technique 56/60 Classification MVP 015-2 DC MVP 015-2 DC Numéro de commande PK T05 150 PK T05 151 Nombre d'étages de pompage 2 2 Bride de raccordement (entrée) G 1/8" G 1/8" Bride de raccordement (sortie) Filetage 1/8 po. avec silencieux Filetage 1/8 po. avec silencieux Vitesse de pompage, max 1 m³/h 1 m³/h Pression limite sans lest d'air 3,5 hPa 3,5 hPa Pression d'entrée 1100 hPa 1100 hPa Pression d'échappement, max. 1100 hPa 1100 hPa Lest d'air Oui Oui Pression du lest d'air ≤ 1100 hPa ≤ 1100 hPa Taux de fuite intégral ≤ 5 · 10-4 Pa m³/s 5 · 10-4 Pa m³/s Tension de service : CC 24 V 24 V Tension d'entrée : tolérance ±10 % ±10 % Consommation de courant nominale 2,9 A 2,9 A Courant max. 4,6 A 4,6 A Caractéristiques techniques et dimensions Classification MVP 015-2 DC MVP 015-2 DC Courant de court-circuit de la source, max. 45 A 45 A Vitesse de rotation 540 – 2 600 rpm 540 – 2 600 rpm Méthode de refroidissement, standard À refroidissement par convection À refroidissement par convection Altitude de fonctionnement, max. 2000 m 2000 m Catégorie de protection IP20 IP20 Température ambiante 5 – 40 °C 5 – 40 °C Température : stockage 5 – 40 °C 5 – 40 °C Niveau de la pression acoustique 50 dB(A) 50 dB(A) Poids 2,7 kg 2,7 kg Interfaces E/S RS-485 RS-485 Interrupteur Non Non Câble d'alimentation fourni Non Non Câble de secteur Non Non Tab. 26: 16.3 Fiche technique MVP 015-2 DC Matériaux en contact avec la substance à pomper Pièces de la pompe Matériaux en contact avec la substance à pomper Membrane EPDM Clapets EPDM Couvercle de chapeau Aluminium Raccord de tuyau PVC Raccord à vis coudé Aluminium Raccord de compression droit sur la bride d’aspiration Nickelé CuZn Tuyau d’aspiration Polyéthylène Échappement, silencieux Polyamide Tab. 27: Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé 57/60 Caractéristiques techniques et dimensions 16.4 Dimensions 140 62 62 Ø8/6 G1/8" 31 120 46 47.5 99 109 142 G1/8" 21.5 62 100 172.5 57 Fig. 12: Dimensions MVP 015-2 DC Dimensions en mm 58/60 Déclaration de conformité Déclaration pour produit(s) du type : Pompe à membrane MVP 015-2 DC Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN ISO 12100:2011 DIN EN 61000-6-2:2006 + Corr. 2011 DIN EN 1012-2:2011 DIN EN 61000-6-3:2007 + Corr. 2012 DIN EN 61010-1:2011 DIN EN IEC 63000:2019 DIN EN 61326-1:2013 Le représentant habilité à constituer la documentation technique est M. Wolfgang Bremer, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Allemagne. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2020-06-09 *PU0070* ed. E - Date 2011 - P/N:PU0070BFR ">

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