Pfeiffer HiScroll 6 | 12 | 18 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
HISCROLL 6 | 12 | 18
Pompe Scroll avec capteur de pression intégré
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe
Scroll est conçue pour vous offrir performances et fiabilité de fonctionnement, sans affecter
aucunement votre application individuelle. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de
techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits
de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience
pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à
une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse [email protected].
Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel de l'utilisateur décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel de l'utilisateur en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/84
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Pictogrammes
1.3.2 Instructions dans le texte
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
8
8
8
8
8
8
8
9
9
11
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations incorrectes prévisibles
2.7 Qualification personnelle
2.7.1 Garantir la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
12
12
12
17
17
18
18
18
18
19
19
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.1.1 Entraînement
3.1.2 Refroidissement
3.1.3 Palier d'arbre
3.1.4 Lest d’air
3.1.5 Capteur de pression
3.2 Raccordements
3.3 Identification du produit
3.4 Caractéristiques du produit
3.5 Contenu de la livraison
20
20
21
21
21
21
21
22
22
22
22
4
Transport et stockage
4.1 Transport de la pompe à vide
4.2 Stockage de la pompe à vide
23
23
24
5
Installation
5.1 Configuration de la pompe à vide
5.2 Raccordement côté vide
5.3 Raccordement du côté échappement
5.4 Raccordement de l’alimentation externe de lest d’air
5.5 Raccordement au réseau d’alimentation
25
25
26
27
28
29
6
Interfaces
6.1 Vue d’ensemble des interfaces
6.2 Interface « Remote »
6.2.1 Entrées
6.2.2 Sorties
6.2.3 RS-485
6.3 Raccordement de l’appareil de commande
6.4 Utilisation de l’interface RS-485
6.5 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.5.1 Cadre télégramme
6.5.2 Description du télégramme
31
31
31
32
32
33
33
33
34
34
35
3/84
Table des matières
6.5.3 Télégramme exemple 1
6.5.4 Télégramme exemple 2
6.5.5 Data types
4/84
35
35
36
7
Ensemble de paramètres
7.1 Généralités
7.2 Instructions de réglage
7.3 Requêtes d’état
7.4 Entrées des valeurs de référence
37
37
37
39
40
8
Utilisation
8.1 Mise en service de la pompe à vide
8.2 Activer la pompe à vide
8.3 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum
8.3.1 Configuration des sorties numériques
8.3.2 Configuration de l’entrée numérique
8.3.3 Sélection des interfaces
8.3.4 Configuration des accessoires
8.4 Sélection du type de service
8.5 Modes de vitesse
8.5.1 Fonctionnement normal
8.5.2 Mode veille
8.5.3 Fonctionnement avec l’actionneur de vitesse
8.5.4 Charge de gaz automatique
8.5.5 stand-by automatique
8.5.6 Auto start
8.6 Fonctionnement avec régulation de la pression
8.7 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
8.8 Fonctionnement avec lest d’air
8.8.1 Contrôle de la soupape de lest d’air avec un capteur de pression
8.8.2 Contrôle de la soupape de lest d’air sans un capteur de pression
8.9 Affichage LED du mode de fonctionnement
8.10 Désactivation de la pompe à vide
41
41
41
41
9
Maintenance
9.1 Informations sur la maintenance
9.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien
9.3 Remplacement de la vanne de retenue côté échappement
9.3.1 Retrait de la vanne de retenue
9.3.2 Installation de la vanne de retenue
9.4 Remplacement de la soupape de lest d’air
9.4.1 Retrait de la soupape de lest d’air
9.4.2 Installation de la soupape de lest d’air
9.5 Remplacement du joint d’extrémité
9.5.1 Démontage du corps spiralé
9.5.2 Remplacement du joint d’extrémité
9.5.3 Assemblage du corps de pompe
9.6 Inspection finale
52
52
53
54
54
54
55
55
56
57
57
59
61
62
10
Mise hors service
10.1 Mise hors service pendant une période prolongée
10.2 Remise en service
63
63
63
11
Recyclage et mise au rebut
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
11.2 Mise au rebut de la pompe Scroll
64
64
64
12
Dysfonctionnements
12.1 Généralités
65
65
42
42
42
42
43
43
44
44
44
45
45
45
46
46
47
48
49
50
50
Table des matières
12.2 Codes d’erreur
12.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande
66
68
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
69
14
Pièces de rechange
71
15
ACCESSOIRES
15.1 Informations sur l’accessoire
15.2 Commande d’accessoires
73
73
73
16
Caractéristiques techniques et dimensions
16.1 Généralités
16.2 Fiche technique
16.3 Matériaux en contact avec la substance
16.4 Dimensions
75
75
75
78
79
Déclaration de conformité CE
81
Déclaration de Conformité UK
82
5/84
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Tab. 28:
Tab. 29:
Tab. 30:
Tab. 31:
6/84
Abréviations employées
Conditions ambiantes autorisées
Interfaces de l’unité de commande électronique
Caractéristiques des pompes Scroll
Affectation des raccordements du raccord 15 broches « remote »
Caractéristiques de l’interface RS-485
Explication et signification des paramètres
Instructions de réglage
Requêtes d’état
Entrées des valeurs de référence
Configurer les paramètres [P:019] et [P:024]
Configurer le paramètre [P:063]
Paramètre [P:060]
Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa
Réglages du commutateur de soupape de lest d’air HiScroll
Réaction et signification des DEL de l’unité de commande électronique
Réaction et signification de la LED de veille
Intervalles de maintenance
Dépannage des pompes Scroll
Messages d’erreur de l’unité de commande électronique
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
Messages d’avertissement et de dysfonctionnement
Lot de pièces de rechange
Lot de pièces de rechange
Accessoires HiScroll
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique HiScroll 6
Fiche technique HiScroll 12
Fiche technique HiScroll 18
Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé
11
17
22
22
32
34
37
39
40
40
42
42
42
46
48
50
50
53
66
67
67
68
71
72
74
75
75
76
77
78
78
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Fig. 22:
Fig. 23:
Fig. 24:
Fig. 25:
Fig. 26:
Fig. 27:
Fig. 28:
Fig. 29:
Fig. 30:
Fig. 31:
Fig. 32:
Fig. 33:
Fig. 34:
Position des autocollants sur le produit
Cycle schématique de compression des pompes Scroll
Réalisation HiScroll, version avec capteur de pression
Points d’arrimage de transport de la pompe Scroll
Distances minimales et inclinaison admissible
Exemple de raccord à vide
Exemple de raccord d'échappement
Raccordement de l’alimentation externe de lest d’air
Raccordement au réseau d’alimentation
Interfaces de l’unité de commande électronique
Schéma de raccordement à 15 broches « Remote »
Raccordement d’un appareil de commande via le raccord « Remote »
Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et les accessoires
Affectation du raccord d’accessoire
Modes de vitesse
Pression affichée
Soupape de lest d’air à commande de pression en mode automatique
Commande de soupape de lest d’air en mode automatique
Retrait de la vanne
Installation de la vanne
Retrait de la soupape de lest d’air
Retrait de la soupape de lest d’air
Montage de la soupape de lest d’air
Installation de la soupape de lest d’air
Desserrage du capot de ventilateur sur la pompe Scroll
Dépose du capot de ventilateur sur la pompe Scroll
Dépose du corps spiralé de la pompe Scroll
Remplacement du joint d’extrémité sur la pompe Scroll
Écrou de joint d’extrémité dans le corps spiralé
Assemblage des éléments du corps
HiScroll kit de maintenance 1
Mécanisme de vanne HiScroll
HiScroll 6 | Version avec capteur de pression
HiScroll 12 | HiScroll 18 | Version avec capteur de pression
10
20
21
24
25
26
27
28
30
31
31
33
34
43
44
47
49
49
54
54
55
56
56
57
58
58
59
60
60
61
71
72
79
80
7/84
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
Documents applicables
Document
Numéro
Manuel de l'utilisateur pour la soupape de lest d'air, automatique
PU 0104 BN
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
●
●
●
●
●
●
●
●
●
1.2
HiScroll 6, pompe Scroll, avec capteur de pression
HiScroll 6, pompe Scroll, avec capteur de pression, sans GB
HiScroll 6, pompe Scroll, avec capteur de pression et GB automatique
HiScroll 12, pompe Scroll, avec capteur de pression
HiScroll 12, pompe Scroll, avec capteur de pression, sans GB
HiScroll 12, pompe Scroll, avec capteur de pression et GB automatique
HiScroll 18, pompe Scroll, avec capteur de pression
HiScroll 18, pompe Scroll, avec capteur de pression, sans GB
HiScroll 18, pompe Scroll, avec capteur de pression et GB automatique
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
8/84
A propos de ce manuel
Remarque
Conseil
1.3.2
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
D-35614 Asslar
Berliner Str. 43
Mod. HiScroll 6
P/N PD S10 010
S/N - - - - - - - S(N2) max. 6.1 m3/h
Mass 19 kg
n
max. 3000 1/min
TÜV Rheinland
C
SCCR: 500 A @ 250 VAC,
10 kA @ 125 VAC
100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 4.0 A
200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 2.0 A
Plaque signalétique
La plaque signalétique est apposée de façon clairement visible
sur le côté longitudinal de la pompe à vide.
US
UL/CSA 61010-1
IP40/Type 1
Made in Germany 2023/04
D-35614 Asslar
Berliner Str. 43
Mod. HiScroll 12
P/N PD S20 010
S/N - - - - - - - S(N2) max. 12.1 m3/h
Mass 24 kg
n
max. 1870 1/min
TÜV Rheinland
C
SCCR: 500 A @ 250 VAC,
10 kA @ 125 VAC
100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 8.0 A
200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 4.0 A
Plaque signalétique
La plaque signalétique est apposée de façon clairement visible
sur le côté longitudinal de la pompe à vide.
US
UL/CSA 61010-1
IP40/Type 1
Made in Germany 2023/04
9/84
A propos de ce manuel
D-35614 Asslar
Berliner Str. 43
Mod. HiScroll 18
P/N PD S30 010
S/N - - - - - - - S(N2) max. 18.1 m3/h
Mass 23 kg
n
max. 1870 1/min
TÜV Rheinland
C
SCCR: 500 A @ 250 VAC,
10 kA @ 125 VAC
100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 10.0 A
200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 6.0 A
Plaque signalétique
La plaque signalétique est apposée de façon clairement visible
sur le côté longitudinal de la pompe à vide.
US
UL/CSA 61010-1
IP40/Type 1
Made in Germany 2023/04
Avertissement, surface chaude
Cet autocollant met en garde contre les risques de blessure liés
aux hautes températures à la suite d’un contact sans protection
pendant le fonctionnement.
Remarque concernant le manuel de l’utilisateur
Cet autocollant indique que ce manuel de l’utilisateur doit être lu
avant d’exécuter une tâche.
warranty seal
Sceau de garantie
Le produit est scellé, départ d’usine. L’endommagement ou le
retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque.
1
4
3
Fig. 1:
1
2
3
4
10/84
Position des autocollants sur le produit
Remarque : Lisez le manuel de l’utilisateur
Plaque signalétique
Signe d’avertissement surface chaude
Sceau de garantie
2
A propos de ce manuel
1.3.4
Abréviations
Abréviation
Explication
ATM
Pression atmosphérique
OI
Manuel de l’utilisateur
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz)
FKM
Caoutchouc fluoré
GB
Lest d’air
HV
Vide élevé
[P:xxx]
Les paramètres sont inscrits en gras sous forme de nombres à trois chiffres entre crochets. Exemple : [P:xxx] Version logicielle
PC
Ordinateur personnel
PTFE
Polytétrafluoroéthylène
DCR
Dispositif à courant résiduel
RPT
Capteur de pression numérique (RPT 010)
RS-485
Standard pour une interface physique, pour la transmission asynchrone de données
en série (standard recommandé)
SI
Manuel de service
USB
Bus universel en série
Tab. 1:
Abréviations employées
11/84
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
Risques lors du transport
AVERTISSEMENT
Risque de blessures graves en cas d'oscillation, de basculement ou de chute d'objets
Lors du transport, il y a un risque d'écrasement et de choc si les objets oscillent, basculent ou chutent. Risques de blessures des membres allant jusqu'à des fractures osseuses et des traumatismes
crâniens.
► Empêchez les personnes de séjourner en dessous de la charge soulevée.
► Si nécessaire, sécurisez la zone dangereuse.
► Évitez la traction diagonale des élingues.
► N'empilez par les produits.
► Faites attention au centre de gravité de la charge lors du transport avec un chariot élévateur.
► Portez un équipement de protection, par ex. des chaussures de sécurité.
12/84
Sécurité
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et le câble d’extension sont conformes aux exigences de
double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes
IEC 61010 et IEC 60950.
► Utilisez seulement un câble d’alimentation à 3 broches et un câble d’extension disposant d’une
mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne connectez le connecteur de réseau que dans une prise disposant d’un contact de mise à la
terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours raccorder le câble de
secteur avant tous les autres.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte
L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou
inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
AVERTISSEMENT
Danger de mort en cas de choc électrique causé par un dommage lié à l’eau
L’appareil est conforme au degré de protection IP40 selon DIN EN 60529: 2014 et n’est pas protégé
contre la pénétration de l’eau. Lorsque les pompes à vide opèrent sur le plancher, le courant de fuite
se propage dans l’eau autour ou à l’intérieur du corps de pompe. Danger de mort par électrocution
en cas de contact avec de l’eau dans laquelle de l’électricité se propage.
► En cas de dommage lié à l’eau, déconnectez toute l’alimentation électrique de la zone concernée
par le dommage.
► Dans les zones dangereuses, une protection par fusible (p. ex. RCD) est nécessaire sur le site.
► Lors de la sélection du lieu de mise en place, observez tout dommage potentiel lié à l’eau.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l'absence de
conduite de refoulement
En fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l'air. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des
lésions ou la mort.
► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques.
► Évacuez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
13/84
Sécurité
ATTENTION
Risque de blessure lié à l’éclatement de la conduite d’échappement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d’échappement. Il existe alors un risque d’éclatement. Risque de blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et
d’endommager les matériels.
► Installez la conduite d’échappement sans appareils de fermeture.
► Respectez la pression maximale admissible de 1500 hPa absolus.
► Respectez les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifiez régulièrement le fonctionnement de la conduite d’échappement.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. Si l’accès à la pompe à vide est non restreint, il y un risque de brûlures en
cas de contact avec une surface chaude.
► Installez une protection qui convient contre le contact si la pompe à vide est accessible à des
personnes non formées.
► Laissez refroidir la pompe à vide avant d'effectuer tout travail.
► Contactez Pfeiffer Vacuum pour une protection qui convient contre le contact dans les solutions
système.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement en cas d'utilisation incorrecte du système de lest d'air
Le système de lest d'air de la pompe Scroll est étanche au vide seulement lorsqu’il est utilisé dans
les positions valides « 0 », « 1 » et « 2 ». Lors du fonctionnement des soupapes dans des étages
intermédiaires, il existe un risque de fuite incontrôlée de la substance de procédé dans l’atmosphère
ambiante. En cas d’utilisation du substance de procédé toxique, il existe un risque d’empoisonnement.
► Modifiez les positions de la soupape seulement pour le réglage des étages de lest d’air.
► La soupape de lest d'air ne doit être mise en fonction que dans les positions om l’interrupteur
s’enclenche.
14/84
Sécurité
AVERTISSEMENT
Danger de mort en cas de choc électrique pendant le fonctionnement causé par un dommage
lié au transport
L’endommagement de l’emballage de transport facilite la pénétration de l’humidité ou de substance
conductrice d'électricité dans la pompe à vide. Les appareils raccordés au secteur peuvent être encore sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous
tension.
► Avant la mise en service, assurez-vous que votre pompe à vide est en parfait état de fonctionnement.
► Attention aux résidus de fluides ou aux condensats.
► Ne mettez pas en marche la pompe à vide si celle-ci est visiblement endommagée.
AVERTISSEMENT
Danger de mort en cas de choc électrique causé par un dommage lié à l’eau
L’appareil est conforme au degré de protection IP40 selon DIN EN 60529: 2014 et n’est pas protégé
contre la pénétration de l’eau. Lorsque les pompes à vide opèrent sur le plancher, le courant de fuite
se propage dans l’eau autour ou à l’intérieur du corps de pompe. Danger de mort par électrocution
en cas de contact avec de l’eau dans laquelle de l’électricité se propage.
► En cas de dommage lié à l’eau, déconnectez toute l’alimentation électrique de la zone concernée
par le dommage.
► Dans les zones dangereuses, une protection par fusible (p. ex. RCD) est nécessaire sur le site.
► Lors de la sélection du lieu de mise en place, observez tout dommage potentiel lié à l’eau.
ATTENTION
Risque de blessure lié à l’éclatement de la conduite d’échappement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d’échappement. Il existe alors un risque d’éclatement. Risque de blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et
d’endommager les matériels.
► Installez la conduite d’échappement sans appareils de fermeture.
► Respectez la pression maximale admissible de 1500 hPa absolus.
► Respectez les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifiez régulièrement le fonctionnement de la conduite d’échappement.
ATTENTION
Danger de blessures par coupure en cas de contact avec des pièces rotatives
Lorsque le couvercle de ventilateur de la pompe à vide est endommagé pendant le transport, il est
possible que des éléments rotatifs et à bords coupants soient exposés. Il en résulte un danger de
blessures par coupure en cas de contact accidentel.
► Avant la mise en service, vérifiez que votre pompe à vide est en bon état.
► Ne mettez pas en marche la pompe à vide si celle-ci est visiblement endommagée.
ATTENTION
Risque de blessures par brûlure en cas de fuite de gaz chauds de procédé là où il n’y a pas de
conduite d'échappement
Lorsque la pompe à vide fonctionne sans conduite d'échappement, les gaz d'échappement et les vapeurs peuvent s'échapper librement dans l’air. Avec les procédés haute température, il y a un risque
de brûlure lié à la chaleur des gaz d'échappement.
► Si nécessaire, purgez en toute sécurité les gaz chauds de procédé par l’intermédiaire de la conduite d'échappement.
► Si nécessaire, portez des équipements de protection individuelle.
15/84
Sécurité
Risques pendant la maintenance
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien
Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension, même après
la coupure de la pompe à vide.
► Débranchez prudemment la pompe à vide du secteur.
► Attendez que la pompe à vide soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0).
► Après la coupure de la pompe à vide, attendez 5 minutes encore jusqu’à ce que les condensateurs soient déchargés.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque d’écrasement et de coupure lié aux pièces non protégées en cas de démarrage prévisible pendant la maintenance.
Pendant les activités sur les composants mécaniques non protégés, il existe un risque d'écrasement
ou de blessure par coupure en cas de démarrage soudain.
► Mettez la pompe à vide hors circuit avant tout travail de maintenance.
► Mettez à l'air la pompe à vide à la pression atmosphérique.
► Déconnectez en toute sécurité la pompe à vide du secteur.
► Sécurisez la pompe à vide contre tout risque de redémarrage.
► Déconnectez le câble d'alimentation de la pompe à vide.
Risques liés aux anomalies de fonctionnement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes en cas d'anomalie
Un défaut de ventilation lié à des dommages causés pendant le transport ou à des détériorations non
prises en compte entraîne des températures supérieures au seuil admissible. Il y a un risque de brûlure en cas de contact accidentel. Il y a un risque d’endommagement, voire même de destruction, de
la pompe à vide.
► Débranchez la pompe à vide du secteur.
► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’effectuer un travail de maintenance.
► Si nécessaire, portez des équipements de protection individuelle.
16/84
Sécurité
2.3
Mesures de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Avant de travailler sur la pompe à vide, attendez qu’elle soit complètement à l’arrêt (vitesse de
rotation f = 0).
► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord à vide est ouvert.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70°C).
► Ne remplissez jamais ou ne faites jamais fonctionner l'appareil avec des produits de nettoyage ou
leurs résidus.
► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité.
► Respectez le degré de protection de l’unité avant d'installer ou de mettre en marche l’unité dans
d’autres environnements.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Lieu de mise en place
À l’intérieur, avec protection contre l’accumulation de
poussière et les effets liés au climat, dans un environnement non-explosif et sec
Pression d’air
750 hPa à 1 060 hPa
Altitude d’installation
2500 m max.
Pression d’entrée constante recommandée
200 hPa1)
Planéité du plan d’appui
± 10 %
Humidité rel. de l’air
90 % max., sans condensation
Température ambiante
5 ℃ à 40 ℃
Température de transport
-25 °C à 55 °C
Température de stockage
-10 °C à 50 °C
Classe de protection
I
Catégorie de surtension
II
Degré de protection admissible
IP40
Type 1 conformément à UL 50E
Degré de pollution
2
Tab. 2:
1)
Conditions ambiantes autorisées
Des pressions d’entrée permanentes plus élevées peuvent entraîner une usure accrue
17/84
Sécurité
2.5
Utilisation conforme
► Utilisez la pompe Scroll uniquement pour générer du vide.
► Utilisez la pompe Scroll uniquement à l’abri, dans un local fermé.
► Utilisez la pompe Scroll pour l’évacuation de gaz secs et inertes.
► Utilisez la pompe Scroll avec lest d’air pour évacuer des gaz humides.
2.6
Utilisations incorrectes prévisibles
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme incorrecte.
● Transport, installation et fonctionnement de la pompe à vide dans une position inadmissible dans
l’espace
● Raccordement de l’alimentation électrique sans installation correcte
● Raccordement de la pompe à vide à des tensions de fonctionnement appropriées
● Pompage de substances explosives
● Pompage de substances corrosives
● Pompage de poussière
● Pompage de fluides
● Fonctionnement avec un débit de gaz élevé inadmissible
● Fonctionnement avec des quantités inadmissibles de lest d’air
● Fonctionnement avec des étages de réglage inadmissibles de la soupape de lest d’air
● Fonctionnement avec un rayonnement thermique excessif
● Fonctionnement avec une pression d’échappement supérieure au maximum admissible
● Fonctionnement avec des champs magnétiques d’intensité élevée et inadmissible
● Utilisation pour la production de pression
● Utilisation dans des zones à radiation ionisante
● Utilisation dans les zones explosives
● Utilisation dans des systèmes où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur l’appareil
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non mentionnés dans ce manuel
● Séparation, remplacement ou réutilisation de l’unité de commande électronique.
2.7
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.7.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
18/84
Sécurité
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.7.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.7.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
19/84
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
La pompe Scroll Pfeiffer Vacuum est une pompe à vide fonctionnant à sec dans une chambre d’aspiration pour la génération d’un vide grossier ou d’un vide moyen conformément au principe de pompage
physique d’une pompe à vide à spirale. La pompe est équipée d’un appareil de commande et d’affichage intégré. Un système de lest d’air à trois étages empêche la condensation de s’accumuler dans la
pompe à vide.
IN
OUT
1
2
A
3
E
B
D
Fig. 2:
C
Cycle schématique de compression des pompes Scroll
IN
Admission de gaz
OUT Sortie de gaz
1
Spirale stationnaire
2
3
A bis E
Spirale en orbite
Compression de gaz
Sections de compression croissante dans le cycle de pompage
Les pompes à vide à spirale comprennent une spirale stationnaire et orbitale. Les cavités variables sont
générées à l’admission de la pompe par les mouvements de la spirale orbitale qui aspire le gaz. Le
mouvement du rotor comprime le gaz en continu jusqu’à ce que le gaz soit évacué dans l’atmosphère
par la sortie de pompe. La chambre d’aspiration ne contient aucun lubrifiant.
20/84
Description du produit
1
2
3
5
4
6
7
8
9
16
Fig. 3:
15
14
13
11
Réalisation HiScroll, version avec capteur de pression
1
2
3
4
5
6
3.1.1
12
10
Couvercle protecteur du raccord à vide DN 25
Anneau à vis
Couvercle factice pour version sans GB
Capot de ventilateur
Raccord à vide
Soupape de lest d’air pour version avec GB
manuel
7 Version avec GB automatique (option)
9
10
11
12
13
14
Raccordement des accessoires « C »
Raccordement des accessoires « D »
Connecteur « Remote »
Unité de commande électronique
Base avec trou de fixation
Ventilateur
15
8 Raccord d’échappement
16
Couvercle protecteur de l’échappement
DN 25
Fiche de connexion électrique
Entraînement
La pompe à vide est équipée d’un moteur synchrone à haut rendement avec une commande sans capteur, conformément à la procédure brevetée INFORM selon le Prof. Schrödl.
L'unité de commande électronique intégrée permet de commander et de surveiller les fonctions de
pompage via l’interface « Remote » en utilisant un tableau de commande et d’affichage.
3.1.2
Refroidissement
● Refroidissement par air
En fonction des besoins de refroidissement, l’unité de commande électronique régule la capacité fournie de refroidissement du ventilateur intégré.
3.1.3
Palier d'arbre
Arbre excentrique monté sur roulement à billes. La chambre de la pompe à vide fonctionne à sec et est
séparée hermétiquement du palier d'arbre.
● 2 x roulements rainurés à billes, sans entretien
3.1.4
Lest d’air
En fonction de la version de la pompe, la pompe à vide a un système de lest d’air pour l’alimentation
manuelle ou automatique de gaz inerte dans la chambre d’aspiration. Le lest d’air contribue à la réduction de la condensation dans le système de pompage.
3.1.5
Capteur de pression
La pompe à vide est équipée par défaut d’un capteur de pression dans le système de pompage. Le
capteur numérique Piezo/Pirani RPT 010 mesure la pression d’entrée de la pompe à vide. Certaines
fonctions décrites pour la pompe à vide ne sont disponibles que lorsqu’un capteur de pression a été
installé.
21/84
Description du produit
3.2
Raccordements
Connexion
Description
entrée secteur
Connecteur d’enveloppe pour l’alimentation de tension
remote
Prise D-sub à 15 broches pour la configuration et la connexion d’une commande à
distance.
Touche stand-by
Appuyez sur cette touche pour activer ou désactiver le stand-by de la pompe à vide. Correspond au paramètre [P:002].
Touche Marche/Arrêt
En fonction de leur configuration, met en circuit ou hors circuit la pompe à vide et
tous les composants raccordés. Correspond au paramètre [P:010].
Raccordement des accessoires
2 connecteurs pour le fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum qui conviennent
Tab. 3:
3.3
Interfaces de l’unité de commande électronique
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
3.4
Caractéristiques du produit
Version
Vitesse de pompage nominale
HiScroll 6, pompe Scroll
6,1 m³/h
HiScroll 12, pompe Scroll
12,1 m³/h
HiScroll 18, pompe Scroll
18,1 m³/h
Tab. 4:
3.5
Contenu de la livraison
●
●
●
●
22/84
Caractéristiques des pompes Scroll
Pompe Scroll avec unité de commande électronique
Obturateur de protection du raccord à vide
Cache protecteur du raccord d'échappement
Manuel de l’utilisateur
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport de la pompe à vide
AVERTISSEMENT
Risque de blessures graves en cas d'oscillation, de basculement ou de chute d'objets
Lors du transport, il y a un risque d'écrasement et de choc si les objets oscillent, basculent ou chutent. Risques de blessures des membres allant jusqu'à des fractures osseuses et des traumatismes
crâniens.
► Empêchez les personnes de séjourner en dessous de la charge soulevée.
► Si nécessaire, sécurisez la zone dangereuse.
► Évitez la traction diagonale des élingues.
► N'empilez par les produits.
► Faites attention au centre de gravité de la charge lors du transport avec un chariot élévateur.
► Portez un équipement de protection, par ex. des chaussures de sécurité.
ATTENTION
Danger de blessures en cas de transport inapproprié
Si la pompe à vide est soulevée de façon inappropriée, le dispositif de fixation du couvercle de ventilateur sera arraché. Il y a un danger de chute de la pompe à vide. Il en résulterait des blessures corporelles au niveau des membres.
► Soulevez toujours la pompe à vide par l’anneau de levage à l’aide d’un dispositif approprié.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transport en toute sécurité du produit
1. Observez le poids spécifié sur la plaque signalétique.
2. Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours la pompe à vide dans son emballage d’origine.
3. Enlevez l’obturateur de protection seulement immédiatement avant l’installation.
Transport de la pompe à vide dans son emballage
1. Utilisez un transpalette pour transporter la pompe à vide dans son emballage.
2. Repérez le centre de gravité de la charge.
3. Manipulez avec précaution les engins de transport à commande manuelle.
4. Les mouvements doivent être harmonieux et la vitesse modérée.
5. Veillez à ce que le support soit plat.
6. Portez des équipements de protection, p. ex. chaussures de sécurité.
23/84
Transport et stockage
Fig. 4:
Points d’arrimage de transport de la pompe Scroll
Transport de la pompe à vide sans emballage
1 anneau à vis est inclus à la livraison. Au départ d’usine, il est serré en toute sécurité sur la pompe à
vide.
1. Attachez des outils de levage appropriés à l’anneau à vis.
2. Faites attention à l’utilisation correcte et au serrage conforme de l’équipement de levage.
3. Soulevez la pompe à vide verticalement (p. ex. pour la sortir de son emballage).
4. Enlevez l’anneau à vis après le transport et l’installation.
– Conservez l’anneau à vis pour une utilisation ultérieure.
4.2
Stockage de la pompe à vide
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d’origine.
Stockage de la pompe Scroll
1. Fermez toutes les ouvertures de bride avec les obturateurs de protection d'origine.
2. Fermez la soupape de lest d'air (position « 0 »).
3. Rangez la pompe à vide uniquement dans un local dans les limites admissibles de température.
4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez la pompe à vide et un produit
dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
24/84
Installation
5 Installation
5.1
Configuration de la pompe à vide
AVERTISSEMENT
Danger de mort en cas de choc électrique causé par un dommage lié à l’eau
L’appareil est conforme au degré de protection IP40 selon DIN EN 60529: 2014 et n’est pas protégé
contre la pénétration de l’eau. Lorsque les pompes à vide opèrent sur le plancher, le courant de fuite
se propage dans l’eau autour ou à l’intérieur du corps de pompe. Danger de mort par électrocution
en cas de contact avec de l’eau dans laquelle de l’électricité se propage.
► En cas de dommage lié à l’eau, déconnectez toute l’alimentation électrique de la zone concernée
par le dommage.
► Dans les zones dangereuses, une protection par fusible (p. ex. RCD) est nécessaire sur le site.
► Lors de la sélection du lieu de mise en place, observez tout dommage potentiel lié à l’eau.
ATTENTION
Danger de blessures par coupure en cas de contact avec des pièces rotatives
Lorsque le couvercle de ventilateur de la pompe à vide est endommagé pendant le transport, il est
possible que des éléments rotatifs et à bords coupants soient exposés. Il en résulte un danger de
blessures par coupure en cas de contact accidentel.
► Avant la mise en service, vérifiez que votre pompe à vide est en bon état.
► Ne mettez pas en marche la pompe à vide si celle-ci est visiblement endommagée.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. Si l’accès à la pompe à vide est non restreint, il y un risque de brûlures en
cas de contact avec une surface chaude.
► Installez une protection qui convient contre le contact si la pompe à vide est accessible à des
personnes non formées.
► Laissez refroidir la pompe à vide avant d'effectuer tout travail.
► Contactez Pfeiffer Vacuum pour une protection qui convient contre le contact dans les solutions
système.
> 25 mm
max. 10°
Fig. 5:
Distances minimales et inclinaison admissible
Procédé
► Placez la pompe à vide sur une surface horizontale plane.
► Les raccords et les éléments de contrôle manuel doivent toujours rester accessibles.
► Placez la pompe de telle sorte que la plaque signalétique du moteur reste visible et accessible.
25/84
Installation
► Dans le cas d’une installation fixe, vissez si nécessaire la pompe à vide directement sur la base.
– Retirez les pieds en caoutchouc.
► Dans le cas d’une installation dans un carter fermé, veillez à une circulation adéquate de l’air autour de la pompe.
5.2
Raccordement côté vide
AVIS
Dégâts matériels en présence de particules solides
Lors de la mise en service, la chambre d’aspiration risque d’être endommagée par la saleté provenant du système ou des conduites.
► Utiliser un filtre de protection approprié (« filtre de démarrage ») dans la bride d'aspiration.
► Veiller à ce que ce filtre soit retiré uniquement lorsque le risque de présence de particules solides dans la pompe à vide peut être exclu.
– Faire attention à toute diminution de la vitesse de pompage.
Prévention des pertes d’étranglement
Pour éviter des pertes d’étranglement, utilisez des conduites à vide de faible longueur avec
un grande diamètre nominal.
Séparateur des condensats
Pfeiffer Vacuum recommande l’installation d’un séparateur de condensats au cas où de la
vapeur se formerait pendant l'évacuation.
1
2
3
4
5
Fig. 6:
Exemple de raccord à vide
1 Raccord à vide de la pompe Scroll
2 Obturateur de protection
3 Composants de vide DN 25 ISO-KF
4
5
Circlip
Anneau de centrage
Procédure
1. Retirer le couvercle de protection du raccord à vide de la pompe Scroll
2. Installez le raccordement le plus court possible entre la pompe à vide et le système de vide.
3. Installez un raccord à vide avec des composants à petite bride, p. ex. éléments de fixation et composants de tube DN 25 ISO-KF de la boutique de composants Pfeiffer Vacuum.
4. Raccordez la pompe à vide au système de vide par l’intermédiaire du raccord à vide.
26/84
Installation
5.3
Raccordement du côté échappement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l'absence de
conduite de refoulement
En fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l'air. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des
lésions ou la mort.
► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques.
► Évacuez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
ATTENTION
Risque de blessure lié à l’éclatement de la conduite d’échappement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d’échappement. Il existe alors un risque d’éclatement. Risque de blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et
d’endommager les matériels.
► Installez la conduite d’échappement sans appareils de fermeture.
► Respectez la pression maximale admissible de 1500 hPa absolus.
► Respectez les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifiez régulièrement le fonctionnement de la conduite d’échappement.
Séparateur des condensats
Pfeiffer Vacuum recommande l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement
de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement.
1
2
3
4
5
Fig. 7:
Exemple de raccord d'échappement
1 Couvercle protecteur
2 Raccord d'échappement de la pompe Scroll
3 Anneau de centrage
4
5
Circlip
Composants de vide DN 25 ISO-KF
Procédure
1. Retirez le couvercle protecteur du raccord d'échappement.
2. Choisissez une coupe transversale de conduite d'échappement au moins égale au diamètre nominal de raccordement.
3. Installez un raccord à vide avec des composants à petite bride, p. ex. éléments de fixation et composants de tube DN 25 ISO-KF de la boutique de composants Pfeiffer Vacuum.
4. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats.
5. Fixez ou accrochez la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la
pompe à vide.
27/84
Installation
5.4
Raccordement de l’alimentation externe de lest d’air
AVIS
Risque de dommages dus à la condensation dans la pompe à vide
Lorsque la pression de vapeur saturante de la substance de procédé dépasse la valeur maximale
admissible pendant la phase de compression, la condensation se forme dans la chambre d’aspiration. Il en résulte une augmentation de la pression ultime pouvant être atteinte et une détérioration
générale des données de performance de la pompe à vide. Corrosion et contamination ont un effet
négatif sur la durée de vie.
► Utilisez le lest d’air.
► Alimentez avec de l’air sec ambiant ou du gaz inerte pour augmenter la capacité fournie de vapeur de la substance de procédé.
► Pompez les gaz condensables uniquement lorsque la pompe à vide est à température de fonctionnement et la soupape à lest d’air ouverte.
► Faites fonctionner la pompe à vide avec le lest d’air pendant 30 minutes supplémentaires après
la fin du procédé pour dissiper l’humidité résiduelle.
Le système de lest d’air de la pompe Scroll est adapté pour le raccordement à une alimentation externe
de gaz. Les accouplements du raccordement G 1/8" de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum sont
disponibles à cet effet.
Outils nécessaires
● Clé à écrou, WAF 13
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
1
2
3
4
5
6
Fig. 8:
Raccordement de l’alimentation externe de lest d’air
1 Filtre fritté
2 Soupape de lest d’air
3 Exemple d’accouplement de raccordement
4
5
6
Ouverture du raccordement de lest d’air
Conduite d’alimentation de gaz externe
Alimentation de gaz externe
Raccordement de l’alimentation de gaz
1. Tournez la soupape de lest d’air sur la position « 0 ».
2. Dévissez le filtre fritté du corps de vanne.
3. Vissez un accouplement de raccordement à joint annulaire dans l’alésage du filtre G 1/8".
– Couple de serrage : 2,5 Nm.
4. Raccordez une alimentation externe d’azote (N2) ou un autre gaz inerte sec sur l’accouplement.
5. Respectez la pression d’admission maximum admissible de l’alimentation de gaz.
28/84
Installation
5.5
Raccordement au réseau d’alimentation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et le câble d’extension sont conformes aux exigences de
double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes
IEC 61010 et IEC 60950.
► Utilisez seulement un câble d’alimentation à 3 broches et un câble d’extension disposant d’une
mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne connectez le connecteur de réseau que dans une prise disposant d’un contact de mise à la
terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours raccorder le câble de
secteur avant tous les autres.
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte
L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou
inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
AVERTISSEMENT
Danger de mort en cas de choc électrique causé par un dommage lié à l’eau
L’appareil est conforme au degré de protection IP40 selon DIN EN 60529: 2014 et n’est pas protégé
contre la pénétration de l’eau. Lorsque les pompes à vide opèrent sur le plancher, le courant de fuite
se propage dans l’eau autour ou à l’intérieur du corps de pompe. Danger de mort par électrocution
en cas de contact avec de l’eau dans laquelle de l’électricité se propage.
► En cas de dommage lié à l’eau, déconnectez toute l’alimentation électrique de la zone concernée
par le dommage.
► Dans les zones dangereuses, une protection par fusible (p. ex. RCD) est nécessaire sur le site.
► Lors de la sélection du lieu de mise en place, observez tout dommage potentiel lié à l’eau.
29/84
Installation
1
2
Fig. 9:
Raccordement au réseau d’alimentation
1 Câble de secteur
2
Connecteur d’alimentation électrique ACin
Alimentation secteur
L’unité d’entraînement électronique démarre lorsque l’alimentation secteur est activée.
Établissement de l’alimentation secteur
1. Commandez un câble pour courant fort spécifique au pays dans les accessoires Pfeiffer Vacuum.
2. Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de protection.
3. Connectez le câble de secteur à la fiche de connexion de l’unité de commande électronique.
30/84
Interfaces
6 Interfaces
6.1
Vue d’ensemble des interfaces
1
2
3
4
5
6
C
D
remote
7
accessory
Fig. 10:
1
2
3
4
6.2
Interfaces de l’unité de commande électronique
Alimentation ACin, C14
Raccordement « Remote »
Touche stand-by
Touche Marche/Arrêt
5
6
7
Affichage du mode de travail à diodes électroluminescentes
Raccordement des accessoires « C »
Raccordement des accessoires « D »
Interface « Remote »
Le raccordement D-Sub à 15 broches avec la désignation « remote » offre la possibilité de faire fonctionner l’unité de commande électronique via une commande à distance. Les spécifications suivantes
sont les réglages usine de l’unité de commande électronique. Elles peuvent être configurées avec le
bloc de paramètres Pfeiffer Vacuum.
► Utilisez le connecteur et le câble blindés.
2
3
4
5
6
7
2
3
4
5
6
7
n.c. 10
n.c. 11
DO1 8
DO2 9
n. c. 12
10
11
8
9
12
DI
n.c.
DI2
DI
DI
24 V DC* (V+)
S2
S1
RS 485 + 1
24 V DC* 2
3
RS 485 D+ 13
RS 485 D- 14
13
14
15
15
n. c. 1
1
RS 485 - 4
n.c. 5
FE
Fig. 11:
Schéma de raccordement à 15 broches « Remote »
31/84
Interfaces
Broche
Affectation
1
non attribué
2
Sortie numérique DI Priorité
à distance
3
non attribué
4
DI2
ouvert : off ; V+ : on
5
DI groupe de pompage
ouvert : désactivé, V+ : activé et validation anomalie
6
DI standby
ouverte : stand-by désactivé, V+ : Veille activée
7
Sortie +24 V DC* (V+)
Tension de référence pour toutes les entrées numériques (5 W max.)
8
DO1
GND : non, V+ : oui (lmax = 50 mA/24 V), la fonction
peut être sélectionné via les paramètres
9
DO2
GND : non, V+ : oui (lmax = 50 mA/24 V), la fonction
peut être sélectionné via les paramètres
10
non attribué
11
non attribué
12
non attribué
13
RS-485
D+
14
RS-485
D-
15
Masse (GND)
Masse de référence pour toutes les entrées et les sorties numériques
Tab. 5:
6.2.1
Description et réglage d’usine
Fonctionnement via l’interface « Remote »
Affectation des raccordements du raccord 15 broches « remote »
Entrées
Les entrées numériques sur le raccordement « remote » sont utilisées pour commuter les différentes
fonctions de l’unité de commande électronique. Les entrées sont affectées avec des fonctions en départ
d’usine. Vous pouvez les configurer via l’interface RS-485 et l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum.
DI priorité à distance/broche 2
V+ :
ouvert :
Le raccordement « remote » a la priorité de commande sur toutes les autres sources de
commande.
Priorité à distance inactive
DI/Broche 4
V+ :
ouvert :
Mode de réglage de la vitesse de rotation activé avec la possibilité de sélectionner la vitesse
de rotation
fonctionnement à la vitesse finale
DI groupe de pompage/broche 5
V+ :
ouvert :
Groupe de pompage en marche et validation anomalie.
Remise à zéro sous réserve de messages d’erreur après élimination des causes.
Groupe de pompage off
DI stand-by/broche 6
V+ :
ouvert :
6.2.2
mode stand-by activé avec la possibilité de sélectionner une vitesse de rotation
fonctionnement à la vitesse finale
Sorties
Les sorties numériques sur la connexion « remote » présentent une limite de charge maximale de 24
V/50 mA par sortie. Vous pouvez configurer toutes les sorties dans la liste ci-dessous avec le réglage
des paramètres Pfeiffer Vacuum via l'interface RS-485 (la description se rapporte aux réglages-usine).
32/84
Interfaces
DO1/broche 8
Actif haut
GND
oui
non
DO2/broche 9
Actif haut
GND
6.2.3
oui
non
RS-485
Raccordement du RS-485 via D-Sub
► Raccordez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC externe via la broche 13 et la
broche 14 sur le raccord Sub D de l’unité de commande électronique.
6.3
Raccordement de l’appareil de commande
1
4
2
Fig. 12:
3
Raccordement d’un appareil de commande via le raccord « Remote »
1 Appareil de commande
2 Câble d’interface M12 à M12
3
4
Transformateur RS-485 à M12
Raccordement « Remote »
Procédure
► Utilisez les câbles fournis à la livraison avec l’appareil de commande ou disponibles en option
dans le programme des accessoires.
► Installez les câbles d’interface entre le raccord « Remote » et le raccord « RS-485 » de l’appareil
de commande.
– Couple de serrage : 0,4 Nm
► Raccordez toujours l’interface RS-485 à un seul appareil de commande externe.
6.4
Utilisation de l’interface RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
L’interface avec la désignation « RS-485 » est destinée au raccordement d’un appareil de commande
Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la
tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique.
Désignation
Valeur
Interface série
RS-485
Vitesse de transmission en baud
9 600 Baud
Longueur de mot
8 bit
Parité
aucune (pas de parité)
33/84
Interfaces
Désignation
Valeur
Bits de départ
1
Bits d’arrêt
1
Tab. 6:
Caractéristiques de l’interface RS-485
Raccordement des appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC
► Utilisez le câble de raccordement fourni à la livraison avec l’appareil de commande ou disponible
en option dans le programme des accessoires Pfeiffer Vacuum.
► Raccordez un appareil de commande à l’interface RS-485.
► Raccordez un PC via le transformateur USB/RS-485.
D-Sub
1
Fig. 13:
2
3
PC
4
Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et
les accessoires
1 Transformateur RS-485 à M12
2 Connecteur en Y pour RS-485
3
4
Câble d’interface M12 à M12
Convertisseur USB RS-485
Mise en réseau en tant que bus RS-485
L’adresse de groupe de l’unité de commande électronique est 902.
1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485.
2. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse d’appareil RS-485
différente [P:797].
3. Raccordez au bus tous les appareils avec RS-485 D+ et RS-485 D-.
6.5
Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.5.1
Cadre télégramme
Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des caractères ASCII [32;
127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un hôte
(par ex. un
PC) envoie un télégramme, auquel un appareil
(par ex. unité de commande électronique ou jauge)
va répondre.
a2
34/84
a1
a0
*
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
…
d0
c2
c1
c0
CR
Interfaces
6.5.2
a2 – a0
Adresse d’appareil
● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"]
● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse)
● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse)
*
Action selon la description du télégramme
n2 – n0
Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum
I1 – I0
Longueur de données dn à d0
dn – d0
Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Data types », page 36).
c2 – c0
Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256
CR
Retour à la ligne (ASCII 13)
Description du télégramme
Interrogation des données
-->
?
a2
n2
n1
a1
a0
0
0
Instruction de réglage
a2
a1
a0
1
-->
!
n2
n1
0
n0
0
2
=
l1
l0
dn
…
n0
Réponse des données / instruction de réglage comprise
a2
a1
a0
1
0
Message d’erreur
a2
a1
a0
1
0
n2
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
6.5.3
?
c2
c1
c0
cR
d0
c2
c1
c0
cR
c2
c1
c0
cR
c1
c0
cR
-->
n2
n1
n0
l1
l0
dn
…
d0
0
6
N
O
_
D
E
F
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
-->
n1
n0
c2
Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus
Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée
Erreur d'accès logique
Télégramme exemple 1
Demande de données
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
?
ASCII
1
2
3
0
0
3
0
9
0
2
=
?
1
1
2
cR
49
50
51
48
48
51
48
57
48
50
61
63
49
49
50
13
Réponse des données : 633 Hz
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
1
2
3
1
0
3
0
9
0
6
0
0
0
6
3
3
0
3
7
cR
ASCII
49
50
51
49
48
51
48
57
48
54
48
48
48
54
51
51
48
51
55
13
6.5.4
Télégramme exemple 2
Commande de contrôle
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
-->
ASCII
!
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
Commande de contrôle comprise
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
35/84
Interfaces
-->
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
6.5.5
Data types
36/84
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
0
boolean_old
Valeur logique (faux / vrai)
06
000000 est équivalent à faux
111111 est équivalent à vrai
1
u_integer
Nombre entier positif
06
000000 à 999999
2
u_real
Nombre à virgule fixe (non signé)
06
001571 correspond à 15.71
4
string
Chaîne de 6 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
06
TC_110, TM_700
6
boolean_new
Valeur logique (faux / vrai)
01
0 est équivalent à faux
1 est équivalent à vrai
7
u_short_int
Nombre entier positif
03
000 à 999
10
u_expo_new
Nombre exponentiel positif. Les
deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de
20.
06
100023 est équivalent à
1,0 · 103
100000 est équivalent à
1,0 · 10-20
11
string16
Chaîne de 16 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
16
BrezelBier&Wurst
12
string8
Chaîne de 8 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
08
Exemple
Ensemble de paramètres
7 Ensemble de paramètres
7.1
Généralités
Des réglages et des caractéristiques propres aux fonctions importantes sont programmés en usine
sous forme de paramètres dans l’unité d’entraînement électronique. Chaque paramètre a un nombre à
trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum.
La pompe à vide démarre dans le mode standard avec les paramètres réglés par défaut en usine.
Sauvegarde de données non volatiles
Lors de la mise à l’arrêt ou en cas de chute de tension involontaire, les paramètres et les
heures de service sont sauvegardés dans le système électronique.
#
Nombre à trois chiffres du paramètre
Indicateur
Affichage de la description des paramètres
Description
Brève description des paramètres
Fonctions
Description de la fonction des paramètres
Type de donnée
Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
Type d’accès
R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture
Unité
Unité physique de la variable décrite
min./max.
Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur
par défaut
Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe)
Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l’unité de commande électronique
Tab. 7:
Explication et signification des paramètres
7.2
Instructions de réglage
#
Affichage
Désignations
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
002
Stand-by
Stand-by
0 = arrêt
1 = marche
0
006
Auto stdby
veille automatique
0 = arrêt
1 = marche
009
ErrorAckn
Quittance de défaillance
010
PumpgStatn
011
Charge de
gaz automatique
Unité
min.
max.
par
défaut
RW
0
1
0
0
RW
0
1
0
1 = Quittance de défaillance
0
W
1
1
Groupe de pompage
0 = arrêt
1 = marche et quittance de
défaillance
0
RW
0
1
0
fonctionnement
à charge de gaz
automatique
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
37/84
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Désignations
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
019
Cfg DO2
Configuration
sortie DO2
0 = Point de commutation atteint
1 = Pas d’erreur
2 = Erreur
5 = Régime nominal atteint
6 = Pompe en marche
9 = Toujours « 0 »
10 = Toujours « 1 »
11 = priorité à distance active
21 = Lest d’air
7
020
PressMode
Régulation de la
pression
0 = arrêt
1 = marche
024
Cfg DO1
Configuration
sortie DO1
026
SpdSetMode
030
min.
max.
par
défaut
RW
0
21
5
0
RW
0
1
0
0 = Point de commutation atteint
1 = Pas d’erreur
2 = Erreur
5 = Régime nominal atteint
6 = Pompe en marche
9 = Toujours « 0 »
10 = Toujours « 1 »
11 = priorité à distance active
21 = Lest d’air
7
RW
0
21
21
Mode de réglage de la vitesse
de rotation
0 = arrêt
1 = marche
7
RW
0
1
0
VentMode
Mode de soupape
0 = auto (réglage d’usine)
1 = fermé
2 = ouvert
7
RW
0
2
0
034
Auto start
démarrage automatique après
une panne de
courant
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
052
BalGasValv
Commande soupape de lest
d’air
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
060
CtrlViaInt
Utiliser via l’interface
1 = à distance
2 = RS-485
255 = Déverrouiller la sélection de l’interface
7
RW
1
255
1
061
IntSelLckd
Sélection de l’interface verrouillée
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
063
Cfg DI2
Configuration
entrée DI2
0 - 4 = Désactivé
5 = Mode de réglage de vitesse de rotation Activé
7
RW
0
5
0
068
Cfg Acc C1
Configuration de
la connexion
des accessoires
C12)
6 = Sortie toujours « 0 »
7 = Sortie toujours « 1 »
15 = soupape de lest d’air
16 = soupape de sécurité côté vide, type IV 16 M
7
RW
0
18
0
17= capteur de pression 3)
18 = soupape de sécurité côté vide, type ISV 25
2)
38/84
Détection via interface
Unité
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Désignations
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
069
Cfg Acc D1
Configuration de
la connexion
des accessoires
D1 4)
6 = Sortie toujours « 0 »
7 = Sortie toujours « 1 »
15 = soupape de lest d’air
16 = soupape de sécurité côté vide, type IV 16 M
17= capteur de pression
18 = soupape de sécurité côté vide, type ISV 25
7
095
FactorySet
Réglages usine
1 = Remettre à zéro sur la
configuration usine
0
Tab. 8:
Unité
min.
max.
par
défaut
RW
0
18
0
RW
0
1
0
min.
max.
0
1
Instructions de réglage
7.3
Requêtes d’état
#
Affichage
Désignations
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
300
RemotePrio
Priorité à distance
0 = non
1 = oui
0
R
303
Code d’erreur
Code d’erreur
4
R
304
OvTempElec
Température excessive électronique d’entraînement
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
305
OvTempPump
Température excessive
pompe
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
308
SetRotSpd
Régime nominal (Hz)
1
R
Hz
0
999999
309
ActualSpd
Vitesse de rotation réelle
(Hz)
1
R
Hz
0
999999
310
DrvCurrent
Courant d’alimentation
2
R
A
0
9999,99
311
OpHrsPump
Heures de fonctionnement
de la pompe
1
R
h
0
999999
312
Fw version
Version logiciel électronique
d’entraînement
4
R
313
DrvVoltage
Tension entraînement
2
R
V
0
9999,99
314
OpHrsElec
Heures de service électronique d’entraînement
1
R
h
0
999999
315
Nominal Spd
Vitesse de rotation nominale
(Hz)
1
R
Hz
0
999999
316
DrvPower
Puissance d’entraînement
1
R
W
0
999999
324
TempPwrStg
Température étage final
1
R
°C
0
999999
326
TempElec
Température électronique
1
R
°C
0
999999
346
TempMotor
Température du moteur
1
R
°C
0
999999
349
ElecName
Désignation de l’unité de
commande électronique
4
R
360
ErrHist1
Historique des codes d’erreur, point 1
4
R
361
ErrHist2
Historique des codes d’erreur, point 2
4
R
3)
Position de branchement préférée
4)
Détection via interface
Unité
par
défaut
39/84
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Désignations
362
ErrHist3
397
Type
de
donnée
Type
d’accès
Historique des codes d’erreur, point 3
4
R
SetRotSpd
Vitesse de rotation de consigne (tr/min)
1
398
ActualSpd
Vitesse de rotation réelle (tr/
min)
399
NominalSpd
Vitesse de rotation nominale
(tr/min)
Tab. 9:
Fonctions
Unité
min.
max.
par
défaut
R
tr/min
0
999999
1
R
tr/min
0
999999
1
R
tr/min
0
999999
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
min.
max.
par
défaut
Requêtes d’état
7.4
Entrées des valeurs de référence
#
Indicateur
Désignations
707
SpdSVal
Régler la valeur en mode de
réglage de la vitesse de rotation
2
RW
%
40
100
83
717
StdbySVal
Valeur fixée de la vitesse de
rotation en mode stand-by
2
RW
%
40
100
50
721
SlgVlvTime
Intervalle d’ouverture de la
soupape de lest d’air
2
RW
min
0
60
5
730
Press. Set
Valeur seuil d’activation avec
veille automatique / pression
cible avec régulation de la
pression
10
RW
hPa
0,01
30,0
10,0
731
AuxGasThrs
Valeur seuil de commutation
pour la soupape de lest d’air
en mode vanne [P:030] = 0
10
RW
hPa
9 · 10-2
30
3
732
Press. Rel
Valeur seuil de désactivation
avec veille automatique
10
RW
hPa
1,0
100,0
20,0
739
PrsSn1Name
Nom du capteur 1
4
R
740
Pression 1
Valeur de pression 15)
10
RW
hPa
1 · 10-5
1200,0
0,1
8,0
Fonctions
Raccordement des accessoires « C »
742
PrsCorrPi 1
Facteur de correction 1
2
RW
750
Pression 2
Valeur de pression 26)
Raccordement des accessoires « D »
10
RW
797
RS485Adr
Adresse interface RS-485
1
RW
Tab. 10:
40/84
hPa
1 · 10
1200,0
1
255
-5
-
2
Entrées des valeurs de référence
5)
Valeur de pression pour la valeur de pression si le capteur de pression est sur la connexion d’accessoire
«C»
6)
Valeur de pression pour la valeur de pression si le capteur de pression est sur la connexion d’accessoire
«D»
Utilisation
8 Utilisation
8.1
Mise en service de la pompe à vide
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. Si l’accès à la pompe à vide est non restreint, il y un risque de brûlures en
cas de contact avec une surface chaude.
► Installez une protection qui convient contre le contact si la pompe à vide est accessible à des
personnes non formées.
► Laissez refroidir la pompe à vide avant d'effectuer tout travail.
► Contactez Pfeiffer Vacuum pour une protection qui convient contre le contact dans les solutions
système.
Les réglages et les variables de fonction importantes sont programmés au départ d’usine en tant que
paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre dispose
d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par ces paramètres sont assurés par les modules d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, ou en externe via
l’interface RS-485 avec le protocole Pfeiffer Vacuum.
8.2
Activer la pompe à vide
Le paramètre « groupe de pompage » [P:010] comprend le fonctionnement de la pompe à vide avec la
commande de toutes les interfaces et configurations connectés.
Activer l’unité de commande électronique
Une fois l’auto-test correctement effectué, l’unité de commande électronique réinitialise les messages
d’erreurs en cours et corrigés.
1. Activez l'alimentation de tension.
2. Mettez la pompe à vide en circuit en appuyant une fois sur le bouton
.
Alternative : activer via les paramètres Pfeiffer Vacuum
► Réglez le paramètre [P:010] sur « 1 ».
Alternative : activer via l'interface « Remote »
► Pontez les broches 7, 2 et 5.
8.3 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer
Vacuum
L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et
prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions
pour l’unité de commande électronique avec l’ensemble de paramètres.
41/84
Utilisation
8.3.1
Configuration des sorties numériques
Option
Description
0 = Point de commutation de la
vitesse de rotation atteint
actif, une fois le point de commutation atteint
1 = Pas d’erreur
actif, avec fonctionnement exempt de défaut
2 = Erreur
actif, si le message d’erreur est actif
5 = Régime nominal atteint
actif, une fois le point de commutation du régime nominal atteint
6 = Pompe en marche
actif, si le groupe de pompage, moteur sont en marche et pas
d’erreur
9 = Toujours « 0 »
GND pour la commande d’un appareil externe
10 = Toujours « 1 »
+24 V DC pour la commande d’un appareil externe
11 = priorité à distance active
actif, si la priorité à distance est active
21= Soupape à lest d'air, temporisée
+24 V DC avec une temporisation après activation du groupe de
pompage, uniquement en version avec soupape de lest d'air
Tab. 11:
8.3.2
Configuration de l’entrée numérique
Option
Description
0 - 4 = Désactivé
Connexion non fonctionnelle
5 = Mode de réglage de vitesse de rotation
La commande correspond au paramètre [P:026]
Tab. 12:
8.3.3
Configurer les paramètres [P:019] et [P:024]
Configurer le paramètre [P:063]
Sélection des interfaces
Le paramètre [P:060] indique l’interface actuellement sélectionnée avec la priorité opérationnelle. L’unité de commande électronique accepte seulement les instructions de réglage via l’interface avec la priorité opérationnelle. Si le réglage actuel n’est pas verrouillé par le paramètre [P061] = 1, si une autre
interface envoie une instruction de réglage, la priorité opérationnelle est automatiquement transférée à
l’autre interface.
Option
Description
1 = remote
Fonctionnement via la connexion « remote »
2 = RS-485
Fonctionnement via la connexion « RS-485 »
255 = Déverrouiller la sélection de l’interface
-
Tab. 13:
8.3.4
Paramètre [P:060]
Configuration des accessoires
AVIS
Dommages matériels dus aux dispositifs électroniques d’autres constructeurs
Les raccordements des accessoires sur la pompe à vide ne sont pas conformes aux exigences standards USB. L’affectation des raccordements n’est pas conforme aux standards. En fonction de leur
configuration, la tension d’alimentation 24 V DC peut endommager ou détruire les dispositifs électroniques d’autres constructeurs, par exemple un ordinateur-tablette.
► Ne raccordez pas de dispositifs électroniques d’autres constructeurs sur les raccordements des
accessoires.
► Utilisez seulement les connecteurs pour les accessoires spécifiques à la pompe.
Les raccords d’accessoires « C » et « D » sont respectivement utilisés pour le raccordement d’un accessoire. Le logiciel de l’unité de commande électronique détecte automatiquement les accessoires
42/84
Utilisation
raccordés aux interfaces. Si deux capteurs de pression sont raccordés simultanément, la connexion
d’accessoire « C » est prioritaire pour la régulation de la pression.
Accessoires approuvés
● Capteur de pression
● Vanne magnétique pour lest d’air
● Soupape de sécurité côté vide
5
3
4
Fig. 14:
1
2
Affectation du raccord d’accessoire
1 + 5 V (bleu)
2 Capteur RxD / TxD hôte (blanc)
3 Capteur TxD / RxD hôte (vert)
4
5
+ 24 V (selon la configuration du logiciel)
GND (noir)
Configuration des accessoires
► Configurez les accessoires raccordés avec les paramètres [P:068] et [P:069], si nécessaire.
– La configuration manuelle écrase la valeur automatiquement détectée.
8.4
Sélection du type de service
Après application de la tension de fonctionnement, l’unité de commande électronique effectue un test
automatique pour contrôler la tension d’alimentation.
Fonctionnement de la pompe à vide sans contrôleur
1. Établissez l’alimentation en courant.
2. Faites fonctionner la pompe à vide avec les boutons veille et marche/arrêt.
Fonctionnement de la pompe à vide avec le contrôleur externe
1. Raccordez une commande à distance via la prise Sub D « Remote » à 15 broches.
2. Contrôlez la pompe à vide à l’aide du niveau API « PLC level ».
Fonctionnement de la pompe à vide avec un appareil périphérique
1. Observez le manuel de l’utilisateur fourni avec l’appareil périphérique.
2. Raccordez l’appareil périphérique correspondant sur la prise Sub D « Remote » à 15 broches.
3. Effectuer les réglages souhaités par l’interface RS-485 à l’aide de l’appareil périphérique.
8.5
Modes de vitesse
La pompe à vide a 6 modes de vitesse différents.
● Modes généraux de vitesse
─ Fonctionnement normal
─ Mode veille
─ Mode de réglage de la vitesse de rotation
● Modes automatiques de vitesse
─ Charge de gaz automatique
─ Veille automatique
─ Régulation de la pression
La régulation de la pression est prioritaire
Lorsque la régulation de la pression est activée, tous les autres modes de vitesse sont
inactifs.
Le stand-by est prioritaire par rapport au mode de réglage de la vitesse de rotation, la charge de gaz
automatique et le fonctionnement normal.
Les modes automatiques de vitesse sont seulement possibles en combinaison avec le capteur de pression raccordé. La charge de gaz automatique et le stand-by automatique peuvent être combinés.
43/84
Utilisation
Common Speed Mode
[P:020]
0
[P:026]
[P:002]
0
0
0
0
1
[P:006]
Nominal speed
0
n = [P:315]
8.5.1
[P:011]
0
1
0
1
0
1
Gauge needed
auto boost
no
yes
auto standby
yes
auto standby + boost
yes
standard
Standby speed
1
no
n = [P:717]
Set speed
n = [P:707]
0
1
0
1
0
1
auto boost
no
yes
auto standby
yes
auto standby + boost
yes
standard
Pressure control
1
Fig. 15:
Auto Speed Options
n = f [P:730]
n = 40% [P:707]
yes
Modes de vitesse
Fonctionnement normal
La pompe à vide démarre et fonctionne à la vitesse de rotation nominale.
Réglage des paramètres associés
1. Réglez le paramètre [P:002] sur « 0 ».
2. Réglez le paramètre [P:026] sur « 0 ».
3. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:308] ou [P:397]).
8.5.2
Mode veille
Pfeiffer Vacuum recommande de passer en mode veille pendant les arrêts de production et de procédé.
Lorsque le mode veille est actif, l’unité de commande électronique réduit la vitesse de rotation de la
pompe à vide. Le réglage-usine est 50 % de la vitesse de rotation nominale. Le mode veille est prioritaire par rapport au mode de réglage de la vitesse de rotation.
Activation du mode veille
► Appuyez sur le bouton
.
Alternative : Fonctionnement stand-by en utilisant des paramètres
► Réglez le paramètre [P:002] sur « 1 ».
Alternative : Fonctionnement stand-by via l’interface « Remote »
► Pontez les broches 7 et 6 pour l’entrée numérique veille.
Réglage de la vitesse de rotation en mode stand-by
La pompe à vide peut fonctionner entre 40 et 100 % de la vitesse de rotation nominale.
1. Réglez le paramètre [P:717] à la valeur requise en %.
2. Réglez le paramètre [P:002] sur « 1 ».
3. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:308] ou [P:397]).
8.5.3
Fonctionnement avec l’actionneur de vitesse
Le mode de réglage de la vitesse de rotation réduit la vitesse et par conséquent le débit de la pompe à
vide. Le débit de pompage varie proportionnellement à la vitesse de rotation. Le stand-by est prioritaire
par rapport au mode de réglage de la vitesse de rotation. La spécification dans le mode de réglage de
la vitesse de rotation [P:707] définit la vitesse de rotation. Le point de commutation de la vitesse de
rotation varie avec le régime nominal.
Gamme de vitesses de rotation admissible
Les réglages dans le mode de vitesse de rotation ou dans le stand-by sont soumis à la
gamme de vitesses de rotation autorisées de la pompe à vide correspondante (fiche technique). L’unité de commande électronique ajuste automatiquement le régime nominal sur la
prochaine valeur valide.
44/84
Utilisation
Régler le mode de réglage de la vitesse de rotation
1. Régler le paramètre [P:707] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 1 ».
3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]).
8.5.4
Charge de gaz automatique
Lorsqu’un réglage de valeur seuil est dépassé vers le haut, la pompe à vide fonctionne pendant 30 s
max. à 120 % du régime nominal actuel et la DEL verte s’allume par intermittence. Le mode charge de
gaz est ensuite désactivé par le logiciel pendant 5 minutes (temps de recouvrement).
Réglage des paramètres associés
1. Réglez le paramètre [P:011] sur « 1 ».
2. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:308] ou [P:397]).
3. Contrôlez la vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309] ou [P:398]).
8.5.5
stand-by automatique
Lorsqu’une pression d’entrée spécifique n’est pas atteinte [P:730], l’unité de commande électronique réduit automatiquement la vitesse de rotation. Lorsque la pression d’entrée est dépassée [P:732], l’unité
de commande électronique augmente la vitesse de rotation pour atteindre à nouveau la valeur d’origine. Si la priorité opérationnelle est 1 = « Remote », le stand-by automatique ne peut pas être exécuté et
l’avertissement Wrn037 s’affiche.
Réglage des paramètres associés
1. Réglez le paramètre [P:002] sur « 0 ».
2. Réglez le paramètre [P:006] sur « 1 ».
3. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:308] ou [P:397]).
Réglage de la vitesse de rotation en stand-by automatique
1. Réglez le paramètre [P:717] à la valeur requise en %.
2. Réglez le seuil d'activation avec le paramètre [P:730].
3. Réglez le seuil de désactivation avec le paramètre [P:732].
4. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:308] ou [P:397]).
Fonctionnement avec le stand-by automatique
► Appuyez sur le bouton
–
–
pendant plus de 5 secondes.
Cela va modifier le paramètre [P:006].
Pour confirmer la commande, la DEL jaune clignote pendant 1 seconde après que le bouton
ait été relâché.
● Paramètre [P:002] = 1 : vous appuyez sur le bouton
pendant 5 s et mettez le stand-by automatique hors circuit. [P:006] = 0. La présélection du stand-by reste activée.
● Paramètre [P:002] = 0 : vous appuyez sur le bouton
pendant 5 s et activez le stand-by automatique hors circuit. [P:006] = 1. La présélection du stand-by reste désactivée.
8.5.6
Auto start
La fonction de démarrage automatique peut être activée seulement lorsque la pompe à vide est stationnaire ([P:010] = 0).
La fonction de démarrage automatique peut être désactivée seulement lorsque la pompe à vide est stationaire ([P:010] = 1).
Activation du démarrage automatique
1. Coupez la pompe à vide et attendez qu’elle se soit arrêtée.
2. Appuyez sur le bouton
pendant plus de 5 s pour activer le démarrage automatique.
– [P:034] = 1
– La LED jaune clignote pendant env. 1 s après avoir relâché le bouton.
Dans l’hypothèse d'un rétablissement du courant suite à une panne de courant, la pompe à vide rétablit
l'état de fonctionnement qui était en cours au moment de la panne de courant.
45/84
Utilisation
Désactivation du démarrage automatique
► Appuyez sur le bouton
–
–
pendant plus de 5 s pour désactiver le démarrage automatique.
[P:034] = 0
La LED jaune clignote pendant env. 1 s après avoir relâché le bouton.
En cas d’un rétablissement du courant suite à une panne de courant, la pompe à vide reste désactivée.
8.6
Fonctionnement avec régulation de la pression
Le fonctionnement avec régulation de la pression n’est possible que si le capteur de pression est raccordé. Le capteur de pression mesure la pression d’entrée. L’unité de commande électronique varie la
vitesse de rotation de la pompe à vide pour ajuster la pression cible. Si la pression cible ne peut pas
être atteinte dans les conditions spécifiées (p. ex. par l’intermédiaire d’un débit de gaz plus élevé),
l’avertissement Wrn038 s'affiche. Le fonctionnement avec régulation de la pression est efficace dans le
domaine entre la pression finale et 30 hPa.
Réglage des paramètres associés
1. Réglez le paramètre [P:020] sur « 1 ».
2. Ajustez la pression cible avec le paramètre [P:730].
8.7
Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
Le signal de mesure du capteur de pression dépend du type de gaz dans la gamme Pirani. Le facteur
de correction pré-réglé = 1 s’applique à l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone
(CO).
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2)
1,0
Hydrogène (H2)
0,5
Dioxyde de carbone (CO2)
0,9
Vapeur d’eau
0,5
Hélium (He)
0,8
Néon (Ne)
1,4
Argon (Ar)
1,7
Krypton (Kr)
2,4
Xénon (Xe)
3,0
Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12)
0,7
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 14:
46/84
Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa
Utilisation
p [hPa]
102
H2
8
6
He
Ne
Air
O2
CO
N2
4
2
CO2
101
Ar
8
6
Freon 12
Kr
4
2
Xe
100
8
6
4
2
10–1
8
6
4
2
Water vapor
10–2
8
6
4
2
10–3
10–3 2
4
6
10–2 2
4
6
10–1 2
4
6
100
2
4
6
101
2
4
6
102
peff [hPa]
Fig. 16:
Pression affichée
Dans le domaine de pression < 1 hPa, l’affichage est linéaire.
Réglage du facteur de correction sur l’unité de commande électronique
► Utilisez [P:742] pour entrer le facteur de correction et la valeur mesurée affichée correcte.
Alternativement : Calcul de la pression de gaz autres que l’air
1. Réglez le facteur de correction dans l’unité de commande électronique sur 1
2. Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
Peff = C × p
● Peff = Pression efficace
● C = facteur de correction du gaz à mesurer
● p = pression affichée (jauge ajustée pour l’air)
8.8
Fonctionnement avec lest d’air
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement en cas d'utilisation incorrecte du système de lest d'air
Le système de lest d'air de la pompe Scroll est étanche au vide seulement lorsqu’il est utilisé dans
les positions valides « 0 », « 1 » et « 2 ». Lors du fonctionnement des soupapes dans des étages
intermédiaires, il existe un risque de fuite incontrôlée de la substance de procédé dans l’atmosphère
ambiante. En cas d’utilisation du substance de procédé toxique, il existe un risque d’empoisonnement.
► Modifiez les positions de la soupape seulement pour le réglage des étages de lest d’air.
► La soupape de lest d'air ne doit être mise en fonction que dans les positions om l’interrupteur
s’enclenche.
47/84
Utilisation
AVIS
Risque de dommages dus à la condensation dans la pompe à vide
Lorsque la pression de vapeur saturante de la substance de procédé dépasse la valeur maximale
admissible pendant la phase de compression, la condensation se forme dans la chambre d’aspiration. Il en résulte une augmentation de la pression ultime pouvant être atteinte et une détérioration
générale des données de performance de la pompe à vide. Corrosion et contamination ont un effet
négatif sur la durée de vie.
► Utilisez le lest d’air.
► Alimentez avec de l’air sec ambiant ou du gaz inerte pour augmenter la capacité fournie de vapeur de la substance de procédé.
► Pompez les gaz condensables uniquement lorsque la pompe à vide est à température de fonctionnement et la soupape à lest d’air ouverte.
► Faites fonctionner la pompe à vide avec le lest d’air pendant 30 minutes supplémentaires après
la fin du procédé pour dissiper l’humidité résiduelle.
Débit de gaz
Le débit de gaz augmente en fonction de la pression d’admission.
En fonction de la version de la pompe, la pompe à vide a une soupape de lest d’air à deux étages à
commande mécanique pour le contrôle de l’alimentation de gaz inerte dans la chambre d’aspiration.
Conditions préalables
● La pompe à vide est chaude.
● Si nécessaire, fermez l’alimentation en gaz externe.
Procédure
1. Si nécessaire, raccordez l’appareil de fermeture existant sur le côté vide.
2. Tournez le commutateur de la soupape de lest d’air sur la position désirée.
– Laissez le commutateur s’enclencher complètement en position.
3. En cas d’utilisation d’une alimentation de gaz externe, ouvrez l’alimentation.
– Respectez la pression d’entrée admissible.
S- ST
GA LA
L
BA
GASBALLAST
Position « 0 » :
● réglage de l’interrupteur pour une substance sans condensation
● La soupape de lest d’air est fermée
● Pas de flux de gaz dans la chambre d’aspiration
S- ST
GA LA
L
BA
Tab. 15:
8.8.1
Position « 1 » :
● réglage de l’interrupteur pour une condensation faible à moyenne
● La soupape de lest d’air est ouverte
● Le flux de gaz dépend du type
Position « 2 » :
● réglage de l’interrupteur pour une condensation sévère
● La soupape de lest d’air est ouverte
● Le flux de gaz dépend du type
Réglages du commutateur de soupape de lest d’air HiScroll
Contrôle de la soupape de lest d’air avec un capteur de pression
Commande automatique de la vanne
La vanne magnétique est automatiquement ouverte selon le paramétrage et l’état de fonctionnement correspondant.
● Observez les paramètres de réglage initial avant la mise en service.
48/84
Utilisation
RS-485
[P030]
valve mode
RS-485
[P052]
GB valve
RS-485
[P740]/[P750]
pressure value
RS-485
[P010]
HiScroll on/off
valve control
0
[disabled]
always
closed
[P:731]
p
1
[enabled]
0
[auto]
[valid]
1
[on]
always open
closed
GB
t
[P:721]
1
[closed]
always
closed
1
[on]
2
[open]
Fig. 17:
always
open
Soupape de lest d’air à commande de pression en mode automatique
Procédé
► Utilisez le paramètre [P:721] pour régler l’intervalle d’ouverture désiré pour la soupape de lest
d’air.
► Utilisez le paramètre [P:731] pour régler la valeur seuil de commutation pour la soupape de lest
d’air.
Séquence en mode automatique pour la version avec capteur de pression
● La soupape de lest d’air s’ouvre à chaque démarrage de la pompe. Si la valeur de la pression
tombe en dessous de la valeur seuil de commutation sélectionnée, la vanne magnétique se ferme
après la durée réglée dans [P:721].
● Si la valeur de la pression reste inférieure à la valeur seuil de commutation réglée, alors la soupape de lest d’air reste fermée en permanence.
● Si la pression augmente et atteint la valeur seuil de commutation, alors la soupape de lest d’air
s’ouvre sans retard.
8.8.2
Contrôle de la soupape de lest d’air sans un capteur de pression
Commande automatique de la vanne
La vanne magnétique est automatiquement ouverte selon le paramétrage et l’état de fonctionnement correspondant.
● Observez les paramètres de réglage initial avant la mise en service.
RS-485
[P052]
GB valve
RS-485
[P030]
valve mode
0
[disabled]
RS-485
[P740]/[P750]
pressure
value
RS-485
[P010]
HiScroll on/off
valve control
always
closed
[P:721]
1
[enabled]
0
[auto]
[invalid]
1
[on]
open
closed
1
[closed]
2
[open]
Fig. 18:
15 min
always
closed
1
[on]
always
open
Commande de soupape de lest d’air en mode automatique
49/84
Utilisation
Procédé
► Réglez l’intervalle d’ouverture désiré de la soupape de lest d’air avec [P:721].
Séquence en mode automatique pour la version sans capteur de pression
● La soupape de lest d’air s’ouvre automatiquement pour une durée de 15 minutes en plus de la
durée réglée dans [P:721] à chaque fois que la pompe démarre.
● La soupape de lest d’air s’ouvre ensuite toutes les 15 minutes pour la durée réglée dans [P:721].
8.9
Affichage LED du mode de fonctionnement
Les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la
pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’avertissement ne sont possibles que pour le
fonctionnement avec l’appareil de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum ou un PC.
LED
Symbole
Verte
Jaune
Rouge
Tab. 16:
LED
Affichage
Signification
Désactivée
sans courant
Allumée, clignotante
« Groupe de pompage ARRÊT »,
vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
Allumée, clignotement
« Groupe de pompage ARRÊT »,
vitesse de rotation > 60 tr/min
Allumée, clignotement inverse
« Groupe de pompage MARCHE »,
régime nominal non atteint
Allumée, en continu
« Groupe de pompage MARCHE »,
régime nominal atteint
Veille activée
Allumée, clignote inversement deux fois
Vitesse sélectionnée temporairement écrasée par un mode de vitesse automatique
Désactivée
pas d’avertissement
Allumée, clignotement de
courte durée
Remarque7)
Allumée, en continu
Avertissement
Allumée, illumination 1 s
Confirmation, acceptation de la
commande
Désactivée
Pas d’erreur
Allumée, en continu
Erreur
Réaction et signification des DEL de l’unité de commande électronique
Symbole
Verte
Tab. 17:
8.10
État LED
État DEL
Affichage
Signification
Éteinte
Veille désactivée
Allumée, en continu
Veille activée
Allumée, clignote inversement deux fois
Veille automatique active
Réaction et signification de la LED de veille
Désactivation de la pompe à vide
Le paramètre « groupe de pompage » [P:010] comprend le fonctionnement de la pompe à vide avec la
commande de toutes les interfaces et configurations connectés.
Procédure
1. Désactivez la pompe à vide en appuyant une fois sur le bouton
2. Mettez hors circuit l’alimentation de tension.
7)
50/84
Contrôlez régulièrement les données de performance de la pompe à vide.
.
Utilisation
Alternative : Désactivation via les paramètres
► Réglez le paramètre [P:010] sur « 0 ».
Alternative : désactiver via l’interface « Remote »
► Retirez le pontage entre les broches 7 et 5.
51/84
Maintenance
9 Maintenance
9.1
Informations sur la maintenance
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien
Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension, même après
la coupure de la pompe à vide.
► Débranchez prudemment la pompe à vide du secteur.
► Attendez que la pompe à vide soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0).
► Après la coupure de la pompe à vide, attendez 5 minutes encore jusqu’à ce que les condensateurs soient déchargés.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque d’écrasement et de coupure lié aux pièces non protégées en cas de démarrage prévisible pendant la maintenance.
Pendant les activités sur les composants mécaniques non protégés, il existe un risque d'écrasement
ou de blessure par coupure en cas de démarrage soudain.
► Mettez la pompe à vide hors circuit avant tout travail de maintenance.
► Mettez à l'air la pompe à vide à la pression atmosphérique.
► Déconnectez en toute sécurité la pompe à vide du secteur.
► Sécurisez la pompe à vide contre tout risque de redémarrage.
► Déconnectez le câble d'alimentation de la pompe à vide.
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte
Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité.
► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance.
► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique.
Travail général de nettoyage et de maintenance
● Nettoyez la grille de ventilation
● Nettoyez l’extérieur de la pompe à vide
52/84
Maintenance
9.2
Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien
Périodicité de maintenance et durées utiles
La périodicité de maintenance et les durées utiles dépendent du processus. Les valeurs indicatives recommandées sont réduites en cas de contamination ou de charges chimiques
et thermiques.
● Déterminer les durées utiles pendant le premier intervalle de fonctionnement.
● Consultez Pfeiffer Vacuum Service si vous souhaitez réduire la périodicité de maintenance.
La DEL jaune clignote : Contrôle des données de performance
Lorsque la DEL jaune clignote, cela indique qu’une maintenance peut être nécessaire.
L’usure et la durée de vie des joints d’extrémité dépendent fondamentalement de l’application. La HiScroll reste totalement opérationnelle, même si les joints d’extrémité sont fortement usés. Si la capacité de pompage n’est plus adéquate, nous recommandons d’effectuer une maintenance de niveau 1.
● Observez régulièrement les données de performance de la pompe Scroll.
● Pour remettre à zéro le message, appuyez simultanément sur
et
pendant 5 s
Après leur remplacement, les joints d’extrémité doivent être rodés pendant un certain
temps. Faites fonctionner la pompe Scroll sans charge pendant un moment pour restaurer
les données de performance.
Niveau de maintenance
Nous recommandons que Pfeiffer Vacuum Service (PV) effectue les opérations de maintenance de niveau 3. Pfeiffer Vacuum annule la garantie et décline toute responsabilité si la
maintenance n’est pas effectuée correctement. Cela concerne également les pièces autres
que les pièces de rechange d’origine.
Vous pouvez effectuer vous-même les opérations de maintenance de niveau 1.
Action
Inspection
Maintenance
niveau 1
Maintenance niveau 3
décrit dans
OI
OI
SI
Intervalle
tous les
jours
si nécessaire
5 ans ou
40 000 heures de
fonctionnement
Inspection
● Contrôle visuel et acoustique
● Contrôle de la performance
de la pompe à vide
● Vérification de l’équipement
à la recherche d'abrasion,
de décoloration ou d'autres
anomalies
● Création d’un plan d'action
■
Maintenance niveau 1
● Remplacement du joint d’extrémité
● Remplacement de vannes
■
Maintenance niveau 3
● Remplacement de toutes les
pièces d'usure
● Nettoyage complet
Tab. 18:
Équipement nécessaire
Lot de maintenance de joint d’extrémité
Mécanisme de vanne
■ (PV)
Ensemble de maintenance de niveau 3
Intervalles de maintenance
53/84
Maintenance
9.3
Remplacement de la vanne de retenue côté échappement
Conditions préalables
● Pompe à vide à l’arrêt
● La pompe à vide est mise à l’air, à la pression atmosphérique sur son côté aspiration
● Pompe à vide refroidie
Outils nécessaires
● Clé à ergots, diamètre des broches 3 mm, référence de l’article : PV D40 012
● Clé plate, WAF 13
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 2,5)
9.3.1
Retrait de la vanne de retenue
1
2 3
Fig. 19:
4 5
Retrait de la vanne
1 Corps spiralé
2 Joint torique
3 Plaque de vanne
4
5
Ressort de compression
Guide de vanne
Retrait de la vanne
1. Utilisez la clé à ergots pour dévisser le guide de vanne avec ressort de compression et la plaque
de vanne du corps spiralé.
2. Retirez le joint torique du trou dans le corps spiralé.
3. Dévissez la plaque de base du ressort de compression.
4. Nettoyez le siège de vanne et le guide de vanne.
5. Remplacez toutes les pièces d’usure conformément au kit de pièces de rechange.
9.3.2
Installation de la vanne de retenue
1
2
3
4
5
Fig. 20:
Installation de la vanne
1 Corps spiralé
2 Joint torique
3 Plaque de vanne
54/84
4
5
Ressort de compression
Guide de vanne
Maintenance
Installation de la vanne
1. Insérez le joint torique dans la rainure désignée dans le corps spiralé.
2. Tournez le ressort de compression sur la plaque de vanne pour l’ouvrir.
– Le guide de vanne centre et fixe le ressort de compression.
3. Placez la plaque de vanne sur le guide de vanne.
4. Insérez la vanne dans le corps spiralé.
5. Assurez-vous que le joint torique et la vanne sont correctement positionnés.
6. Vissez la vanne dans le corps spiralé en utilisant la clé à ergots.
– Couple de serrage : 5 Nm
9.4
Remplacement de la soupape de lest d’air
Conditions préalables
●
●
●
●
●
Pompe à vide mise hors service
Système à vide ventilé à la pression atmosphérique
Alimentation électrique débranchée
Câble secteur débranché
Entrée de vide étanche au vide avec le cache de protection d'origine
Outils nécessaires
● Tournevis à encoche
● Clé hexagonale, WAF 2,5
● Clé dynamométrique hexagonale, WAF 2,5
9.4.1
Retrait de la soupape de lest d’air
Outils nécessaires
● Tournevis à encoche
● Clé hexagonale, WAF 2,5
● Récolteur de joint torique
1
3
2
4
5
6
Fig. 21:
Retrait de la soupape de lest d’air
1 Joint torique, 3x
2 Soupape de lest d’air
3 Vis spéciale
4
5
6
Couvercle
Filtre fritté
Corps spiralé
Dépose de la soupape de lest d’air
1. Soulevez le couvercle de la soupape de lest d'air à l’aide d’un tournevis.
2. Dévissez la vis spéciale de la plaque de base.
3. Retirez la partie de la soupape de la soupape de lest d’air du corps spiralé.
4. Remplacez les joints toriques entre la soupape de lest d'air et le corps spiralé.
55/84
Maintenance
1
2
3
4
5
6
7
Fig. 22:
1
2
3
4
Retrait de la soupape de lest d’air
Vis à tête cylindrique, 3x
Poignée de lest d’air
Plaque de vanne
Poids
5
6
7
Ressort de compression
Joint torique
Plaque de base
Retrait de la soupape de lest d’air
1. Dévissez les vis à tête cylindrique de la poignée de lest d’air.
2. Retirez la poignée de lest d’air de la plaque de base.
3. Retirez le ressort de compression avec plaque de base de la poignée de lest d’air.
4. Dévissez la plaque de base du ressort de compression.
5. Sortez le poids de la plaque de vanne.
– Conservez le poids pour charger la plaque de vanne pour l’installation.
6. Remplacez le joint torique entre la poignée de lest d'air et la plaque de base.
9.4.2
Installation de la soupape de lest d’air
1
2
5
6
3
4
7
Fig. 23:
1
2
3
4
Montage de la soupape de lest d’air
Vis à tête cylindrique, 3x
Poignée de lest d’air
Plaque de vanne
Poids
5
6
7
Ressort de compression
Joint torique
Plaque de base
Montage de la soupape de lest d’air
1. Tournez le ressort de compression sur la plaque de vanne pour l’ouvrir.
2. Insérez le joint torique dans la rainure désignée dans la plaque de base.
3. Insérez la plaque de vanne avec ressort de compression et poids dans la plaque de base.
4. Placez la poignée de lest d’air sur la plaque de vanne.
5. Vissez les vis à tête cylindrique dans la poignée de lest d’air.
– Couple de serrage : 1 Nm
56/84
Maintenance
3
2
1
4
5
7
Fig. 24:
1
2
3
4
6
Installation de la soupape de lest d’air
Joint torique, 3x
Soupape de lest d’air
Vis spéciale
Couvercle
5
6
7
Filtre fritté
Bille
Corps spiralé
Installation de la soupape de lest d’air
1. Insérez les joints toriques dans les rainures désignées dans le corps spiralé.
2. Placez la soupape de lest d'air sur le corps spiralé tout en veillant à ce que la bille repose dans la
rainure du corps spiralé.
3. Vissez la vis spéciale dans la soupape de lest d’air.
– Couple de serrage : 2,5 Nm
4. Contrôlez le fonctionnement de la soupape de lest d'air en la tournant dans toutes les positions.
5. Enfoncez le couvercle dans la soupape de lest d’air.
9.5
Remplacement du joint d’extrémité
Conditions préalables
●
●
●
●
●
9.5.1
Pompe à vide à l’arrêt
Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique
Alimentation électrique débranchée
Câble secteur débranché
Entrée de vide étanche au vide avec le cache de protection d'origine
Démontage du corps spiralé
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 5
Consommables requis
● Gants de laboratoire
57/84
Maintenance
1
2
3
4
5
6
Fig. 25:
Desserrage du capot de ventilateur sur la pompe Scroll
1 Soupape de lest d’air
2 Capot de ventilateur
3 Disque de freinage
4
5
6
Vis à six pans creux intérieurs
Raccord d’échappement sans obturateur de protection
Raccordement des accessoires
Desserrage du capot de ventilateur
1. Débranchez tous les connecteurs d’alimentation électrique des raccordements d’accessoires
(p. ex. capteur de pression).
2. Dévissez les 2 vis à six pans creux intérieurs avec les disques de freinage du capot de ventilateur.
3. Enlevez le capuchon de protection du raccord d’échappement.
1
2
4
Fig. 26:
3
Dépose du capot de ventilateur sur la pompe Scroll
1 Capot de ventilateur
2 Unité de commande électronique
3
4
Connecteur pour le refroidissement par air
Câble de ventilateur
Dépose du capot de ventilateur
1. Tirez légèrement en avant la partie inférieure du capot de ventilateur.
2. Défaites le connecteur du câble de ventilateur sur l’unité de commande électronique.
– Attention au circlip.
3. Soulevez le capot de ventilateur au-dessus de la soupape de lest d'air et du raccord d'échappement.
4. Scellez le raccord d'échappement avec le couvercle protecteur d’origine.
58/84
Maintenance
3
5
4
6
2
1
7
Fig. 27:
1
2
3
4
Dépose du corps spiralé de la pompe Scroll
Vis à six pans creux (5×)
Disques de freinage (5×)
Corps spiralé
Trou auxiliaire supérieur
5
6
7
Corps de pompe
Vis à six pans creux intérieur comme trou auxiliaire
Trou auxiliaire inférieur
Dépose du corps spiralé
1. Dévissez les 5 vis à six pans creux intérieurs du corps spiralé.
– Attention aux disques de freinage.
2. Vissez alternativement et uniformément les 2 vis à six pans creux intérieurs dans les trous auxiliaires inférieurs et supérieurs.
3. En poussant, retirez le corps spiralé du corps de pompe et vérifiez qu’il n’est pas incliné.
4. Dévissez les vis auxiliaires du corps spiralé.
9.5.2
Remplacement du joint d’extrémité
Outils nécessaires
● Récolteur de joint torique
● Cutter latéral
Produits consommables requis
●
●
●
●
Gants de laboratoire
Chiffon propre, non pelucheux
Isopropanol
Lot de pièces de rechange 1
59/84
Maintenance
1
4
2
3
5
6
Fig. 28:
Remplacement du joint d’extrémité sur la pompe Scroll
1 Joint d’extrémité
2 Orbiteur
3 Corps de pompe
4
5
6
Joint d’extrémité
Joint torique
Corps spiralé
Dépose du joint d’extrémité
1. Placez le corps de pompe en position verticale.
2. Utilisez le récolteur de joint torique et retirez le joint torique du corps spiralé.
3. Utilisez le récolteur de joint torique et retirez le joint d’extrémité de l’orbiteur.
4. Utilisez le récolteur de joint torique et retirez le joint d’extrémité du corps spiralé.
5. Avec un chiffon propre et sans fusel et un peut d’isopropanol, nettoyez la surface de travail de
l’orbiteur et le corps spiralé ainsi que la gorge spiralée sur les deux côtés.
6. Nettoyez l’anneau de refroidissement sur le corps spiralé pour éliminer toute contamination pouvant affecter la performance de refroidissement.
1
2
3
4
Fig. 29:
Écrou de joint d’extrémité dans le corps spiralé
1 Marque de coupe
2 Gorge spiralée
3
4
Point de serrage
Début de la spirale
Insertion du joint d’extrémité
Les étapes décrites s'appliquent également au corps spiralé et à l’orbiteur dans le corps de pompe.
1. Enfoncez un nouveau joint d’extrémité, en débutant de l’intérieur, dans la gorge spiralée.
– Grâce aux points de serrage dans la gorge, placez le joint d’extrémité.
2. Avec le cutter, coupez avec précaution le joint d’extrémité sur la marque de coupe externe.
60/84
Maintenance
3. Pour faciliter l’assemblage du joint torique, appliquez un peu d’isopropanol sur la gorge du corps
spiralé.
4. Insérez avec précaution le joint torique dans le corps spiralé.
9.5.3
Assemblage du corps de pompe
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 5
● Clé dynamométrique calibrée
Consommables requis
● Gants de laboratoire
● Isopropanol
4
5
3
6
2
7
1
8,9
10
11
Fig. 30:
Assemblage des éléments du corps
1 Goupille de guidage
2 Raccord d’échappement sans obturateur de protection
3 Trou de guidage
4 Corps spiralé
7
8
Soupape de lest d’air
Vis à six pans creux intérieurs
9
10
5 Capot de ventilateur
6 Câble de ventilateur
11
Disque de freinage
Connecteur pour le refroidissement par
air
Corps de pompe
Assemblage du corps spiralé
1. Enlevez le capuchon de protection du raccord d’échappement.
2. Pour faciliter l’assemblage du joint torique, appliquez un peu d’isopropanol sur le joint torique
dans le corps spiralé.
3. Montez le corps spiralé avec le trou de guidage exactement sur la goupille de guidage du corps
de pompe.
– Vérifiez que les joints d’extrémité restent dans les gorges.
4. Avec les vis à six pans creux intérieurs (5×) et les disques de freinage, vissez le corps spiralé sur
le corps de pompe.
5. Serrez alternativement en croix et uniformément les vis.
– Couple de serrage : 5 Nm
Assemblage du capot de ventilateur
1. Fixez le câble de ventilateur dans la gorge du capot de ventilateur.
2. Placez le capot de ventilateur sur la soupape de lest d'air et le raccord d'échappement sur le
corps spiralé en vérifiant qu’il n’est pas incliné.
– Faites attention au câblage existant et à la goupille d'écartement dans le capot de ventilateur.
61/84
Maintenance
3. Connectez le câble de ventilateur au connecteur de l’unité de commande électronique.
4. Avec les deux vis à six pans creux intérieurs et les disques de freinage, sécurisez le corps du
ventilateur.
– Couple de serrage : 3,5 Nm
5. En option : fixez une prise bouchon existante sur la connexion « Remote » de l’unité de commande électronique.
– Couple de serrage : 0,4 Nm
9.6
Inspection finale
Condition préalable
● Travaux de maintenance réalisés à l’ouverture du boîtier
Réalisation de l’inspection finale
► Exécutez un test de fonctionnement.
► Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement.
Contrôle final recommandé
► Réalisez un test d'étanchéité.
62/84
Mise hors service
10
Mise hors service
10.1
Mise hors service pendant une période prolongée
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Procédure pour les arrêts prolongés de la pompe à vide
1. Mettez la pompe à vide hors tension.
2. Ventilez la pompe à vide.
3. Laissez la pompe à vide refroidir.
4. Fermez le raccord à vide.
5. Mettez à l’air la pompe à vide via le raccord d'échappement.
6. Mettez à l’air l’intérieur de la pompe à p < 1 hPa.
7. Ventilez la pompe à l’air avec de l’air exempt d'huile et sec ou du gaz inerte.
8. Tous les raccordement doivent être rendus étanches avec les obturateurs de protection d'origine.
9. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées.
10. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez la pompe à vide et un produit
dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
11. Ne stockez pas la pompe à vide à côté de machines, de voies de trafic, etc., car de fortes vibrations peuvent endommager le palier.
10.2 Remise en service
Contrôle de l'état
► Contrôlez la pompe à vide à la recherche de dommages visibles.
► Contrôlez la pompe à vide à la recherche de contamination et d’humidité.
► Mettez la pompe à vide en marche seulement si celle-ci est dans un état correct.
► Si nécessaire, consultez le service après-vente Pfeiffer Vacuum
Procédure de remise en service de la pompe à vide
1. Nettoyez l’extérieur de la pompe à vide avec un chiffon non pelucheux et un peu d’isopropanol.
2. Si nécessaire, demandez au service après-vente Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la
pompe à vide.
3. Observez le nombre total d’heures de fonctionnement de la pompe à vide et si nécessaire, utilisez
l'assistance du service après-vente Pfeiffer Vacuum.
4. Installez la pompe à vide conformément aux instructions suivantes (voir chapitre « Installation », page 25).
5. Remettez en service la pompe à vide conformément aux instructions (voir chapitre « Utilisation », page 41).
63/84
Recyclage et mise au rebut
11
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
11.2
Mise au rebut de la pompe Scroll
Les pompes Scroll Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux à recycler.
1. Déconnectez l’unité de commande électronique.
2. Démantelez le moteur.
3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
64/84
Dysfonctionnements
12
Dysfonctionnements
12.1
Généralités
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
Tout anomalie de la pompe à vide et de l’unité de commande électronique entraîne systématiquement
un message d’avertissement ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est émis, ce dernier peut
être lu via les interfaces de l’unité de commande électronique. De manière générale, la DEL sur l’unité
de commande électronique affiche les messages de fonctionnement. En cas d’erreur, la pompe à vide
et les appareils raccordés sont mis hors circuit.
Problème
Causes possibles
Action corrective
La pompe à vide à ne démarre
pas ; aucune des DEL intégrées
sur l’unité d’entraînement électronique ne s’allume
● L’alimentation électrique a été coupée
● Vérifiez les lignes d’alimentation électrique.
● Tension de fonctionnement incorrecte
● Alimentez avec la tension de fonctionnement correcte.
● Unité de commande
électronique défectueuse
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● La pompe à vide a une
fuite
1. Repérez les fuites.
2. Vérifiez les joints et les raccords de bride.
3. Éliminez les fuites.
● Débit de gaz trop élevé
● Réduisez la charge de gaz de procédé.
● Le rotor tourne avec
des à-coups, le palier
est défectueux
1. Contrôler la pompe à vide pour détecter tout bruit
croissant
2. Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Charge thermique due à :
● défaut de ventilation
● température ambiante
trop élevée
1. Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement.
─ Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement du ventilateur.
2. Réduisez la charge thermique.
─ Assurez une circulation d’air suffisante.
─ Adaptez les conditions ambiantes.
● La pompe à vide est
contaminée
1. Contacter Pfeiffer Vacuum Service
2. Faites-la nettoyer.
● L’enceinte à vide, les
tuyaux ou la pompe à
vide fuient
1. Repérez les fuites en commençant par l’enceinte
à vide.
2. Vérifiez les joints et les raccords de bride.
3. Éliminez les fuites dans le système de vide.
● Mesure de la pression
incorrecte ou non calibrée
● Contrôlez les réglages de mesure de pression.
● Calibrer le capteur de pression intégré.
─ Utilisez un manomètre à vide pour la mesure
de référence.
● Condensats dans la
chambre d’aspiration
1. Vérifiez la substance de procédé.
2. Faites fonctionner la pompe Scroll avec le lest
d’air.
● Remplacer le joint d’extrémité
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Remplacez le joint d’extrémité.
● Rodage insuffisant du
joint d’extrémité (p. ex.,
après remplacement du
joint d’extrémité)
● Utiliser la pompe à vide pendant un certain temps
sans charge
La pompe à vide n’atteint pas la
vitesse de rotation nominale dans
le temps d’accélération
La pompe à vide n’atteint pas la
pression ultime
65/84
Dysfonctionnements
Bruits de fonctionnement inhabituels
La LED rouge s’éclaire sur l’unité
de commande électronique
Tab. 19:
12.2
● Le palier est endommagé
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Rotor endommagé
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Élément de spirale contaminé ou endommagé
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Erreur de groupe
1. Remettez à zéro en appuyant sur le bouton MARCHE/ARRÊT
.
2. Réglez le paramètre [P: 010] via l’interface
RS-485 sur 0 = Arrêt et ensuite sur 1 = Marche et
validation anomalie.
3. Réinitialisez l’anomalie avec V+ sur la broche 13
sur la connexion « Remote ».
4. Réglez le paramètre [P: 009] via l’interface
RS-485 sur 1 = Validation anomalie.
5. Réinitialisez l’anomalie en mettant l’alimentation
en courant hors circuit et en circuit.
6. Exécutez l’analyse de dysfonctionnement différenciée avec un appareil de commande et d’affichage.
7. Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Dépannage des pompes Scroll
Codes d’erreur
Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés.
Les avertissements (* Warning F –––– *) sont uniquement affichés et n’entraînent pas de mise hors tension des composants.
Traitement des messages d’anomalie
1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
2. Éliminez la cause de l’anomalie.
3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009].
– Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande
Pfeiffer Vacuum.
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err001
Vitesse de rotation excessive
–
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0
Err002
Surtension
● Tension d’entrée de secteur
incorrecte
● Vérifiez la tension d’entrée de secteur
● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err006
Surcharge
● Charge trop
élevée
● La vitesse de
rotation ne
peut pas être
maintenue
● Réduisez la charge
(la puissance peut être limitée à cause de la température supérieure à la normale)
Err021
Pompe non reconnue
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err037
Décharge sortie puissance
moteur
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err041
Décharge sortie puissance
moteur
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err044
Température excessive,
électronique
● Refroidissement insuffisant
● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement.
● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement du ventilateur.
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err045
Température excessive,
moteur
● Refroidissement insuffisant
● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement.
● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement du ventilateur.
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
66/84
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err093
Évaluation de la température du moteur défaillante
–
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err094
Évaluation de la température de l’électronique défaillante
Err098
Erreur de communication
interne
–
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err114
Évaluation de la température de l’étage final défaillante
–
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err118
Température excessive,
étage final
Err175
Courant excessif du PFC
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err176
Erreur du programme Flash
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err825
Erreur de communication
interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err913
Sens de rotation
Tab. 20:
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Refroidissement insuffisant
Sens de rotation
incorrect
● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement.
● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement du ventilateur.
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Messages d’erreur de l’unité de commande électronique
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Wrn007
Sous-tension ou
panne de courant
● Panne de secteur
● Vérifiez la tension d’entrée de secteur
Wrn037
Veille automatique
inactive
● Commande à distance
● Désactivez la priorité à distance
Wrn038
Erreur de régulation
de pression
● La pression cible
ne peut pas être
atteinte
● Augmentez ou diminuez la charge de gaz
Wrn040
Remarque
La maintenance de niveau 1 est recommandée
● Contrôlez régulièrement les données de performance de
la pompe à vide
● Si nécessaire, effectuez la maintenance
● Pour remettre à zéro le message, appuyez simultanément sur
et
pendant 5 s
Wrn042
Maintenance requise
Faites effectuer la
maintenance
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn044
Température élevée
de l’électronique
● Refroidissement
insuffisant
● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement.
● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement
du ventilateur.
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn045
Température élevée
du moteur
● Refroidissement
insuffisant
● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement.
● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement
du ventilateur.
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn118
Température supérieure à la normale
de l’électronique de
puissance
● Refroidissement
insuffisant
● Contrôlez que le ventilateur fonctionne correctement.
● Contrôlez l'état et le montage du câble de raccordement
du ventilateur.
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Tab. 21:
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
67/84
Dysfonctionnements
12.3 Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionnement avec des appareils de commande
Outre des messages d’avertissement et d’erreur spécifiques à l’appareil sur l’unité de commande électronique, des messages additionnels sont affichés sur l’appareil de commande connecté.
Indicateur
Problème
Causes possibles
Action corrective
* Warning F110
*
Manomètre
● Manomètre défaillant
● Connexion au manomètre perdue
lors du fonctionnement
● Contrôler le branchement des câbles
● Effectuer un redémarrage avec le
manomètre connecté
● Remplacer complètement le manomètre
** Error E040 **
Erreur hardware
● RAM externe défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
** Error E042 **
Erreur hardware
● Somme de contrôle EPROM incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
** Error E043 **
Erreur hardware
● Erreur d’écriture E2PROM
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
** Error E090 **
Erreur appareil
interne
● Quantité de RAM insuffisante
● L’unité est raccordée à une unité de
commande électronique incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Raccorder l’unité à l’unité de commande électronique correcte
** Error E698 **
Erreur de communication
● L’unité de commande électronique
ne répond pas
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Tab. 22:
68/84
Messages d’avertissement et de dysfonctionnement
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
69/84
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
70/84
Pièces de rechange
14
Pièces de rechange
Respectez les consignes suivantes pour commander des pièces détachées :
Commande de pièces de rechange
► Relevez les données sur la plaque signalétique produit.
► Conservez toujours à portée de main la référence de l’article de la pompe à vide ainsi que tous
les détails nécessaires de la plaque signalétique.
► Installez uniquement des pièces détachées d’origine.
1
2
Fig. 31:
HiScroll kit de maintenance 1
1 Joint d’extrémité
2
Joint torique
Lot de pièces de rechange
Kit de maintenance 1 – niveau de maintenance 1
Tab. 23:
Référence
HiScroll 6
HiScroll 12 | HiScroll 18
PD E10 000 -T
PD E20 000 -T
Lot de pièces de rechange
71/84
Pièces de rechange
1
5
2
3
4
Fig. 32:
Mécanisme de vanne HiScroll
1 Plaque de vanne, 2×
2 Ressort de compression, 2×
3 Joint torique, 16 × 1,5
Lot de pièces de rechange
4
5
Joint torique, 19 × 2,5
Joint torique, 6 × 3
Référence
HiScroll 6 | HiScroll 12 | HiScroll 18
Mécanisme de vanne
Tab. 24:
72/84
Lot de pièces de rechange
PD E13 000 -T
ACCESSOIRES
15
ACCESSOIRES
15.1
Informations sur l’accessoire
Unités d’affichage
Les unités d’affichage et de fonctionnement sont utilisées pour la vérification et l’ajustement des paramètres de travail.
Câbles et adaptateurs
Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres
longueurs disponibles sur demande
Mesure intégrée de la pression
Estimation et commande via l'unité de commande électronique intégrée, indépendamment d'une alimentation électrique additionnelle
Séparateur de condensat
Protège la pompe à vide contre les fluides provenant de la conduite d'aspiration et du retour de condensats de la conduite d'échappement
Séparateur de poussières
Protège la pompe à vide contre les particules provenant du procédé
Kit de conversion pour soupape de lest d'air
La soupape de lest d'air électromagnétique de type retrofit est utilisée pour automatiser l’admission de
gaz de pompes Scroll.
Vanne de réglage sur conduite
Comme une vanne de sécurité côté vide de la pompe Scroll, la vanne de réglage automatique sur conduite protège les enceintes à vide de tout retour.
15.2
Commande d’accessoires
Article
Référence de commande
Câble de secteur 230 VAC, CEE 7/7 à C13, 3 m
P 4564 309 ZA
Câble de secteur 115 V CA, NEMA 5-15 vers C13, 3 m
P 4564 309 ZL
Silencieux externe ES 25 M, DN 25
PD Z10 000
Silencieux externe ES 25 L, DN 25
PD Z10 001
SAS 25 S, séparateur de poussières, DN 25 ISO-KF
PK Z60 507
Soupape de lest d’air automatisée, 24 V DC, G 1/8"
PD Z10 100
IV 16 M, soupape de sécurité automatique côté vide 24 V DC, DN 25
PD Z10 050
ISV 25 M, soupape de sécurité automatique côté vide 24 V DC, DN 25
115902
Câble de raccordement pour ISV 25
PD Z10 051
OmniControl 001 Mobile, appareils de commande sans données sans
jauge/IO
PE D20 000 0
OmniControl 001, unité châssis sans unité de courant intégrée
PE D40 000 0
Raccord à vis G 1/8" avec joint pour raccord de tuyau (8/6 mm)
P 4131 029
Couvercle d’obturation pour soupape de lest d’air
PD 100 067 AT
Câble de raccordement HiScroll - HiPace - TC110 - TPS, 3m
PM 071 733 -T
Câble de raccordement HiScroll - HiPace - TC400, 3 m
PM 071 732 -T
Câble de raccordement TPS- HiScroll- TC80, 3 m
PM 071 780 -T
Adaptateur RS-485 M12
PE 100 150 -X
Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m
PM 061 283 -T
Câble de raccordement entre HiPace® avec TC 400/TM 700 et unité de
courant TPS/DCU
PM 061 352 -T
73/84
ACCESSOIRES
Article
Référence de commande
Câble de raccordement, angulaire, avec interface RS-485 et deux ports
accessoires entre la TC 80/110/120 et l’unité de courant, 1 m
PM 071 655 -T
Raccord en Y M12 pour RS-485
P 4723 010
Câble d’interface RJ 45 sur M12 pour HiPace
PM 051 726 -T
Convertisseur USB RS-485
PM 061 207 -T
Tab. 25:
74/84
Accessoires HiScroll
Caractéristiques techniques et dimensions
16
Caractéristiques techniques et dimensions
16.1
Généralités
Base pour la fiche technique des pompes à vide à spirale Pfeiffer Vacuum :
● Spécifications conformément au comité PNEUROP PN5
● ISO 21360-1 2016 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Partie 1 : Description générale »
● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d’hélium, durée de mesure 60 s
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
0,75
mbar
1
1 · 10
100
1
0,1
bar
1,000
1
1 · 105
1,000
100
Pa
0,01
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
hPa
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
-3
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 26:
750
-3
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
mbar l/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m3/s
10
1
592
7,5
sccm
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 27:
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,27 · 10
1.67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
-3
-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
16.2 Fiche technique
Données de performance
● La pression de base testée est mesurée pendant le contrôle par attributs avant la livraison à l’aide d’un dispositif de mesure indépendant du gaz (selon ISO 21360).
Champ de sélection
HiScroll 6, pompe
Scroll, avec capteur de pression
HiScroll 6, pompe
Scroll, avec capteur de pression,
sans GB
HiScroll 6, pompe
Scroll, avec capteur
de pression et GB
automatique
Numéro de commande
PD S10 010
PD S10 011
PD S10 012
Bride de raccordement (entrée)
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
Bride de raccordement (sortie)
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
Type de refroidissement
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Geprüfter Basisdruck
1,5 · 10-2 hPa
1,5 · 10-2 hPa
1,5 · 10-2 hPa
Pression d'entrée
1100 hPa
1100 hPa
1100 hPa
Pression aspiration continue
recommandée, max.
200 hPa
200 hPa
200 hPa
Pression d'échappement,
max.
1500 hPa
1500 hPa
1500 hPa
Vitesse de pompage
6,1 m³/h
6,1 m³/h
6,1 m³/h
75/84
Caractéristiques techniques et dimensions
Champ de sélection
HiScroll 6, pompe
Scroll, avec capteur de pression
HiScroll 6, pompe
Scroll, avec capteur de pression,
sans GB
HiScroll 6, pompe
Scroll, avec capteur
de pression et GB
automatique
Lest d’air
Oui
Non
Oui
Pression du lest d'air
1500 hPa
–
1500 hPa
Débit du lest d'air niveau 1
11 l/min
–
10 l/min
Débit du lest d'air niveau 2
16 l/min
–
15 l/min
Vitesse de rotation
1 000 – 3 000 rpm
1 000 – 3 000 rpm
1 000 – 3 000 rpm
Vitesse de rotation nominale
2500 rpm
2500 rpm
2500 rpm
Tension(s) d’entrée
100 – 127 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
100 – 127 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
100 – 127 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
Type de moteur
Moteur monophasé
Moteur monophasé
Moteur monophasé
Consommation de courant
nominale
100 V – 127 V: 4 A |
200 V – 240 V: 2 A
100 V – 127 V: 4 A |
200 V – 240 V: 2 A
100 V – 127 V: 4 A |
200 V – 240 V: 2 A
Protection du moteur
Interne
Interne
Interne
Câble d'alimentation fourni
Non
Non
Non
Interfaces I/O
RS-485
RS-485
RS-485
Niveau de pression accoustique (EN ISO 2151)
48 dB(A)
48 dB(A)
48 dB(A)
Altitude de fonctionnement,
max.
2500 m
2500 m
2500 m
Type de protection
IP40, Type 1
IP40, Type 1
IP40, Type 1
Température ambiante
5 – 40 °C
5 – 40 °C
5 – 40 °C
Température : stockage
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Température : transport
-25 – 55 °C
-25 – 55 °C
-25 – 55 °C
Taux de fuite intégral
5 · 10-7 Pa m³/s
5 · 10-7 Pa m³/s
5 · 10-7 Pa m³/s
Poids
19 kg
19 kg
19 kg
Tab. 28:
76/84
Fiche technique HiScroll 6
Champ de sélection
HiScroll 12, pompe
Scroll, avec capteur de pression
HiScroll 12, pompe
Scroll, avec capteur de pression,
sans GB
HiScroll 12, pompe
Scroll, avec capteur
de pression et GB
automatique
Numéro de commande
PD S20 010
PD S20 011
PD S20 012
Bride de raccordement (entrée)
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
Bride de raccordement (sortie)
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
Type de refroidissement
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Geprüfter Basisdruck
6 · 10-3 hPa
6 · 10-3 hPa
6 · 10-3 hPa
Pression d'entrée
1100 hPa
1100 hPa
1100 hPa
Pression aspiration continue
recommandée, max.
200 hPa
200 hPa
200 hPa
Pression d'échappement,
max.
1500 hPa
1500 hPa
1500 hPa
Vitesse de pompage
12,1 m³/h
12,1 m³/h
12,1 m³/h
Lest d’air
Oui
Non
Oui
Pression du lest d'air
1500 hPa
–
1500 hPa
Débit du lest d'air niveau 1
18 l/min
–
16 l/min
Débit du lest d'air niveau 2
30 l/min
–
24 l/min
Vitesse de rotation
624 – 1 870 rpm
624 – 1 870 rpm
624 – 1 870 rpm
Vitesse de rotation nominale
1560 rpm
1560 rpm
1560 rpm
Caractéristiques techniques et dimensions
Champ de sélection
HiScroll 12, pompe
Scroll, avec capteur de pression
HiScroll 12, pompe
Scroll, avec capteur de pression,
sans GB
HiScroll 12, pompe
Scroll, avec capteur
de pression et GB
automatique
Tension(s) d’entrée
100 – 127 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
100 – 127 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
100 – 127 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
Type de moteur
Moteur monophasé
Moteur monophasé
Moteur monophasé
Consommation de courant nominale
100 V – 127 V: 8 A |
200 V – 240 V: 4 A
100 V – 127 V: 8 A |
200 V – 240 V: 4 A
100 V – 127 V: 8 A |
200 V – 240 V: 4 A
Protection du moteur
Interne
Interne
Interne
Câble d'alimentation fourni
Non
Non
Non
Interfaces I/O
RS-485
RS-485
RS-485
Niveau de pression accoustique (EN ISO 2151)
47 dB(A)
47 dB(A)
47 dB(A)
Altitude de fonctionnement,
max.
2500 m
2500 m
2500 m
Type de protection
IP40, Type 1
IP40, Type 1
IP40, Type 1
Température ambiante
5 – 40 °C
5 – 40 °C
5 – 40 °C
Température : stockage
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Température : transport
-25 – 55 °C
-25 – 55 °C
-25 – 55 °C
-7
-7
Taux de fuite intégral
5 · 10 Pa m³/s
5 · 10 Pa m³/s
5 · 10-7 Pa m³/s
Poids
24 kg
24 kg
24 kg
Tab. 29:
Fiche technique HiScroll 12
Champ de sélection
HiScroll 18, pompe
Scroll, avec capteur de pression
HiScroll 18, pompe
Scroll, avec capteur de pression,
sans GB
HiScroll 18, pompe
Scroll, avec capteur
de pression et GB
automatique
Numéro de commande
PD S30 010
PD S30 011
PD S30 012
Bride de raccordement (entrée)
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
Bride de raccordement (sortie)
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
Type de refroidissement
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Geprüfter Basisdruck
6 · 10-3 hPa
6 · 10-3 hPa
6 · 10-3 hPa
Pression d'entrée
1100 hPa
1100 hPa
1100 hPa
Pression aspiration continue
recommandée, max.
200 hPa
200 hPa
200 hPa
Pression d'échappement,
max.
1500 hPa
1500 hPa
1500 hPa
Vitesse de pompage
18,1 m³/h
18,1 m³/h
18,1 m³/h
Lest d’air
Oui
Non
Oui
Pression du lest d'air
1500 hPa
–
1500 hPa
Débit du lest d'air niveau 1
23 l/min
–
20 l/min
Débit du lest d'air niveau 2
30 l/min
–
24 l/min
Vitesse de rotation
624 – 1 870 rpm
624 – 1 870 rpm
624 – 1 870 rpm
Vitesse de rotation nominale
1560 rpm
1560 rpm
1560 rpm
Tension(s) d’entrée
100 – 127 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
100 – 127 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
100 – 127 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
Type de moteur
Moteur monophasé
Moteur monophasé
Moteur monophasé
Consommation de courant
nominale
100 V – 127 V: 10 A
| 200 V – 240 V: 6 A
100 V – 127 V: 10 A
| 200 V – 240 V: 6 A
100 V – 127 V: 10 A |
200 V – 240 V: 6 A
Protection du moteur
Interne
Interne
Interne
77/84
Caractéristiques techniques et dimensions
Champ de sélection
HiScroll 18, pompe
Scroll, avec capteur de pression
HiScroll 18, pompe
Scroll, avec capteur de pression,
sans GB
HiScroll 18, pompe
Scroll, avec capteur
de pression et GB
automatique
Câble d'alimentation fourni
Non
Non
Non
Interfaces I/O
RS-485
RS-485
RS-485
Niveau de pression accoustique (EN ISO 2151)
47 dB(A)
47 dB(A)
47 dB(A)
Altitude de fonctionnement,
max.
2500 m
2500 m
2500 m
Type de protection
IP40, Type 1
IP40, Type 1
IP40, Type 1
Température ambiante
5 – 40 °C
5 – 40 °C
5 – 40 °C
Température : stockage
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Température : transport
-25 – 55 °C
-25 – 55 °C
-25 – 55 °C
-7
-7
Taux de fuite intégral
5 · 10 Pa m³/s
5 · 10 Pa m³/s
5 · 10-7 Pa m³/s
Poids
23 kg
23 kg
23 kg
Pièces de la pompe
Matériaux en contact avec la substance
Standard
Avec capteur de pression
Corps de pompe
Aluminium
X
X
Bride d'aspiration
Acier inoxydable
X
X
Bride de sortie
Acier inoxydable
X
X
Soufflets
Acier inoxydable
X
X
Système de pompage
Aluminium anodisé, composant PTFE
X
X
Vanne de retenue
Acier inoxydable, FKM
X
X
Soupape à lest d’air
Aluminium à plaquage de nickel, acier inoxydable,
FKM, PTFE
X
X
Cartouche de filtre soupape de lest
d'air
Bronze/laiton
X
X
Capteur de pression RPT
Céramique, nickel, acier inoxydable, tungstène, dioxyde de silicium, araldite, soudure
-
X
Vis
Acier inoxydable
X
X
Joints
FKM
X
X
Tab. 30:
16.3
Matériaux en contact avec la substance
Tab. 31:
78/84
Fiche technique HiScroll 18
Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé
Caractéristiques techniques et dimensions
16.4 Dimensions
2 0 .5
160
9
260
4× Gummifüße/
rubber feet
DN 25 ISO-KF
114
47
298
145
257
279
2 0 7 .5
200
380
220.5
Fig. 33:
HiScroll 6 | Version avec capteur de pression
79/84
Caractéristiques techniques et dimensions
260
160
9
30.5
(4x)
Gummifüße
rubber feet
DN 25 ISO-KF
58
328
170
304
322
222
419
136
200
265
Fig. 34:
HiScroll 12 | HiScroll 18 | Version avec capteur de pression
Dimensions en mm
80/84
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe Scroll
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
●
●
●
●
Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées
DIN EN ISO 12100: 2011
DIN EN 61000-3-3: 2020
DIN EN 1012-2: 2011
DIN EN IEC 61326-1: 2013
DIN EN ISO 13857: 2020
DIN EN IEC 63000: 2019
DIN ISO 21360-1: 2016
DIN EN 61010-1 : 2020
ISO 21360-2: 2020
Semi S2 0818 EA
DIN EN 61000-3-2: 2019
Semi S8 0218
Le représentant habilité à constituer la documentation technique est le Dr. Adrian Wirth,
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Allemagne.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-08-08
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe Scroll
HiScroll 6, Standard
HiScroll 12, Standard
HiScroll 18, Standard
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
ISO 12100: 2010
IEC 61000-3-3: 2013 + A1: 2017
EN 1012-2: 1996 + A1: 2009
IEC 61326-1: 2012
ISO 13857: 2019
IEC 63000: 2016
ISO 21360-1 : 2020
IEC 61010-1: 2010 + A1: 2016
ISO 21360-2 : 2020
Semi S2 0818 EA
IEC 61000-3-2: 2018
Semi S8 0218
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-08-24
83/84
*PU0095*
ed. F - Date 2407 - P/N:PU0095BFR
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