A PASSION FOR PERFECTION CMR 361 … CMR 365 Jauge capacitive avec capteur en céramique BG 5136 BFR / C (2019-05) Manuel de l'utilisateur Identification du produit Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous : 2 BG 5136 BFR / C (2019-05) Validité Ce document est valable pour les produits avec les numéros de référence : Type CMR 361 CMR 362 CMR 363 CMR 364 CMR 365 P/N Gamme de mesure min. (0 V) F.S. (9 V) max. (9.8 V) [hPa] [hPa] [hPa] [Pascal] [Pascal] [Pascal] Bride PT R24 600 tube ½" PT R24 601 DN 16 ISO-KF PT R24 602 DN 16 CF-R 10-1 101 1000 100'000 1100 110'000 10-2 100 100 10'000 110 11'000 10-3 10-1 10 1000 11 1100 10-4 -2 10 1 100 1.1 110 10-5 10-3 0.1 10 0.11 11 ® PT R24 603 8 VCR PT R24 610 tube ½" PT R24 611 DN 16 ISO-KF PT R24 612 DN 16 CF-R PT R24 613 ® 8 VCR PT R24 620 tube ½" PT R24 621 DN 16 ISO-KF PT R24 622 DN 16 CF-R PT R24 623 ® 8 VCR PT R24 630 tube ½" PT R24 631 DN 16 ISO-KF PT R24 632 DN 16 CF-R ® PT R24 633 8 VCR PT R24 640 tube ½" PT R24 641 DN 16 ISO-KF PT R24 642 DN 16 CF-R PT R24 643 8 VCR ® Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique. Les illustrations sans indication particulière se réfèrent aux jauges CMR 361 avec le raccord à vide DN 16 ISO-KF et sont applicables aux autres raccords à vide par analogie. Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. Toutes dimensions en mm. BG 5136 BFR / C (2019-05) 3 Utilisation prévue Les jauges capacitives de la série CMR 36X sont des vacuomètres mesurant la pression absolue de gaz dans de différentes gammes (→ 3). Principe de fonctionnement Les jauges CMR se composent d'un élément capteur, capacitif, en céramique et d'un circuit électronique transformant les variations de la capacité en un signal de sortie à tension continue. Le signal de sortie est linéaire avec la pression à mesurer et indépendant du type de gaz à mesurer. Marques de commerce VCR® Swagelok Marketing Co. Brevets EP 1070239 B1, 1040333 B1 US Patents 6528008, 6591687, 7107855, 7140085 Étendue de livraison 1 jauge CMR 36X 1 palpeur 1 certificat de calibrage 1 manuel de l'utilisateur en allemand 1 manuel de l'utilisateur en anglais 1 manuel de l'utilisateur en français 4 BG 5136 BFR / C (2019-05) Sommaire Identification du produit Validité Utilisation prévue Principe de fonctionnement Marques de commerce Brevets Étendue de livraison 2 3 4 4 4 4 4 1 Sécurité 1.1 Explication des signes 1.2 Qualification du personnel 1.3 Indications concernant la sécurité 1.4 Responsabilité et garantie 6 6 6 7 7 2 Caractéristiques techniques 8 3 Installation 3.1 Raccordement au vide 3.2 Raccordement électrique 13 13 17 4 Fonctionnement 4.1 Indications 4.2 Ajustement de la jauge 4.3 Charger les valeurs par défaut (Factory Reset) 19 19 19 23 5 Démontage 24 6 Maintenance, Réparation 26 7 Retour du produit 27 8 Recyclage 28 Table de conversion Certificat ETL 29 29 Déclaration CE de conformité 30 Pour des références aux pages de ce document, le signe (→ XY) est utilisé. BG 5136 BFR / C (2019-05) 5 1 Sécurité 1.1 Explication des signes DANGER Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature. AVERTISSEMENT Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et d'importants dégâts matériels. Attention Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs. Remarque 1.2 Qualification du personnel Personnel qualifié Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. 6 BG 5136 BFR / C (2019-05) 1.3 Indications concernant la sécurité • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit et les gaz des procédés. • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document. • Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés. Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs. 1.4 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne • n'observe pas les indications figurant dans ce document • utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue • modifie ce produit d'une façon quelconque • utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. Les pannes de la jauge causées par des impuretés ou l'usure sont exclues de la garantie. BG 5136 BFR / C (2019-05) 7 2 Caractéristiques techniques Gamme de mesure Précision 1) PT R24 600 … PT R24 633 PT R24 640 … PT R24 643 Influence de la température sur le zéro PT R24 600 … PT R24 623 PT R24 630 … PT R24 633 PT R24 640 … PT R24 643 Influence de la température sur la gamme PT R24 600 … PT R24 633 PT R24 640 … PT R24 643 Résolution Dépendance du type de gaz Signal de sortie analogique (mesure) Gamme de tension Gamme de mesure Relation tension – pression Signaux d'erreur 0.20 % de la mesure 0.50 % de la mesure 0.0050 % F.S./ °C 0.015 % F.S./ °C 0.020 % F.S./ °C 0.01 % de la mesure / °C 0.03 % de la mesure / °C 0.003 % F.S. aucune 0 … +11 V +1.0 … +9.8 V linéaire < 0.4 V (pas d'alimentation, erreur du capteur) > 9.8 V (dépassement au dessus de la gamme ("overrange"") Impédance de sortie < 10 Ω Impédance chargée minimale 10 kΩ (protégée contre courts-circuits) 1) 8 → "Validité" Non-linéarité, hystérésis, fidélité de reproduction dans la gamme calibrée avec une température ambiante de 25 °C sans influence de la température après 2 h de fonctionnement. BG 5136 BFR / C (2019-05) Temps de réponse PT R24 600 … PT R24 633 PT R24 640 … PT R24 643 Identification de la jauge 30 ms 130 ms 13.2 kΩ résistance contre la masse alimentation Alimentation DANGER La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations, appareils de mesure ou systèmes de réglage et de commande répondant aux exigences pour les basses tensions mises à la masse (SELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge. Tension d'alimentation A la jauge Ondulation Courant absorbé +14 … +30 VDC ≤ 1 Vpp < 500 mA (courant max. de mise en service) Puissance consommée (en fonction de la tension d'alimentation) Fusible interne ≤ 1.0 W 1 A (à action retardée) à réarmement automatique (Polifuse) La jauge est protégée contre les inversions de polarité de la tension d'alimentation. Raccordement électrique prise d'appareil Hirschmann type GO 6, 6 pôles, mâle Câble jauge 5 pôles plus blindage Longueur du câble ≤ 120 m (conducteurs 0.25 mm²) Pour des câbles plus longs, des sections plus importantes seront nécessaires (Rconducteur ≤ 1.0 Ω). BG 5136 BFR / C (2019-05) 9 Conception de la terre Raccord à vide – masse signal Masse alimentation – masse signal Matériaux au contact du vide Bride, tube Capteur et diaphragme Liant capteur – diaphragme Liant céramique – métal Volume interne Pression admissible (absolue) PT R24 600 … PT R24 603 PT R24 610 … PT R24 633 PT R24 640 … PT R24 643 Pression d'éclatement (absolue) Températures admissibles Stockage Service Etuvage (jauge hors circuit) Humidité relative Utilisation Protection 10 → "Raccordement électrique" conduites séparément, pour mesure différentielle (10 Ω) acier inoxydable AISI 316L céramique (Al2O3 ≥ 99.5 %) vitrocéramique brasure forte AgTiCu, Vacon 70 (28 % Ni, 23 % Co, 49 % Fe) ≤ 3.6 cm3 300 kPa 200 kPa 130 kPa 500 kPa –40 °C … +65 °C +5 °C … +50 °C ≤ 110 °C au raccord à vide ≤ 80 % à températures ≤ +31 °C diminuant à 50 % à +40 °C en salle, altitude jusqu'à 2000 m IP 30 BG 5136 BFR / C (2019-05) 55 26 44 69 23 Dimensions [mm] ED½" DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR femelle Poids BG 5136 BFR / C ≤ 370 g (2019-05) 11 Relation signal de mesure analogique – pression Pression p [hPa] 1.1 F.S. 1.0 0.9 0.8 0.7 0.6 sensor sensorerror error underrange underrange overrange overrange 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0 0 0.6 1 2 3 4 5 6 7 8 9 9.8 10 Signal de mesure U [V] p = (U - 1) × c (F.S.) c hPa Pa Torr 0.125 12.5 0.094 Exemple : Jauge CMR 361 avec 1000 hPa F.S. Signal de mesure Uout = 6 V p = (6 V - 1 V) × 0.125 × 1000 hPa = 625 hPa 12 BG 5136 BFR / C (2019-05) 3 Installation AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : danger de rupture Les chocs peuvent détruire le capteur en céramique. Ne pas laisser tomber le produit et éviter les chocs violents. 3.1 Raccordement au vide DANGER DANGER : surpression dans le système à vide > 100 kPa Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il règne une surpression dans le système à vide, des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Des gaz peuvent également s'échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsqu'il règne une surpression dans le système à vide. Utiliser des éléments de serrage convenables pour la surpression. BG 5136 BFR / C (2019-05) 13 DANGER DANGER : surpression dans le système à vide > 250 kPa Les anneaux d'étanchéité en élastomère (p. ex. joints toriques) des raccords à brides ne peuvent pas résister à de telles pressions. Des gaz peuvent donc s'échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Utiliser des anneaux d'étanchéité pourvus d'un anneau de centrage extérieur. DANGER DANGER : protection par mise à la masse Les produits mal raccordés à la masse représentent un danger mortel en cas de panne. La jauge doit être connectée directement à la chambre à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 : • Les raccords CF et VCR satisfont à cette exigence. • Pour les brides KF il faudra utiliser un anneau de serrage conducteur. • Avec le tube ½", satisfaire à cette exigence en prenant les mesures qui s'imposent. 14 BG 5136 BFR / C (2019-05) Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. Attention Attention : zone sensible à la pollution Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. Monter la jauge de sorte qu'elle ne vibre pas. La position de montage n'est pas imposée mais pour prévenir la pénétration des particules et des condensats dans la chambre de mesure, il est préférable de la monter dans une position horizontale ou debout et d'éventuellement utiliser un joint avec un anneau de centrage et filtre. Si l'ajustement de la jauge montée est désirable, il faut assurer que le commutateur soit accessible pour la manipulation avec une goupille (→ 19). BG 5136 BFR / C (2019-05) 15 Retirer le protecteur et raccorder la jauge au système à vide. Joint avec anneau de centrage ou Protecteur Joint avec anneau de centrage et filtre Elément de serrage Garder le protecteur. 16 BG 5136 BFR / C (2019-05) 3.2 Raccordement électrique S'assurer que la jauge est correctement raccordée au système à vide (→ 13). DANGER La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations, appareils de mesure ou systèmes de réglage et de commande répondant aux exigences pour les basses tensions mises à la masse (SELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge. Les boucles de masse, les différences de potentiel ou CEM peuvent perturber le signal de mesure. Afin de garantir une qualité optimale du signal, observer les instructions de montage suivantes : • Uniquement raccorder le blindage du câble à la masse d'un seul côté au moyen du boîtier de la prise. L'autre extrémité de blindage reste libre. • Directement raccorder la masse alimentation du bloc d'alimentation à la masse de protection. • Employer une entrée de mesure à différentiel (masse signal et masse alimentation distinctes). • Différence de potentiel entre la masse alimentation et le boîtier ≤ 18 V (protection contre la surtension). BG 5136 BFR / C (2019-05) 17 Si vous ne disposez pas d'un câble jauge compatible, confectionnez en un selon le schéma suivant. 2 + – 3 1 13K2 4 + – 1MΩ 100nF 18 V 5 Affectation des contacts Broche 1 ldentification de Ia jauge Broche 2 Sortie du signal (mesure) Broche 3 Masse signal Broche 4 Alimentation Broche 5 Masse alimentation Broche 6 Blindage (châssis) 6 3 2 1 6 5 Prise côté soudures 4 Brancher le câble jauge à la jauge et fixer la prise avec la vis. Brancher le câble jauge à l'appareil de mesure. 18 BG 5136 BFR / C (2019-05) 4 Fonctionnement Mettre la jauge en circuit. Attendre le temps de réchauffement (au moins 15 minutes, pour des mesures à haute précision d'au moins 2 heures). 4.1 Indications Seulement pour réglage des paramètres par l'usine RUN 4.2 ZERO DEL Etat Signification <RUN> allumée clignotante mode de mesure mode différent, erreur, hors gamme de mesure Ajustement de la jauge La jauge est étalonnée en usine à la verticale (→ "Calibration Test Report"). Nous recommandons d'ajuster le zéro lors de la première mise en service. Un service de longue durée et des impuretés peuvent provoquer une dérive du zéro, et un ajustement périodique du zéro devient alors nécessaire. Effectuer le réglage du zéro dans la même position et aux mêmes conditions ambiantes constantes que lors du fonctionnement normal de la jauge. BG 5136 BFR / C (2019-05) 19 Le signal de sortie dépend de la position de montage. Le passage d'une position de montage verticale à une position horizontale équivaut à : F.S. 1000 hPa 100 hPa 10 hPa 1 hPa 0.1 hPa ΔU / 90° ≈ 2 mV ≈ 10 mV ≈ 50 mV ≈ 300 mV ≈ 1.8 V Si la jauge fonctionne avec un appareil de mesure, le zéro du système de mesure entier doit être ajusté moyennant l'appareil de mesure : D'abord ajuster la jauge puis l'appareil de mesure. 4.2.1 Ajustage du <ZERO> Evacuer la jauge jusqu'à une pression selon le tableau suivant : F.S. 1100 hPa 110 hPa 11 hPa 1.1 hPa 0.11 hPa Pression finale recommandée pour régler le zéro < 5×10-2 hPa < 6.65×100 Pa -3 < 5×10 hPa < 6.65×10-1 Pa < 5×10-4 hPa < 6.65×10-2 Pa < 5×10-5 hPa < 6.65×10-3 Pa < 5×10-6 hPa < 6.65×10-4 Pa Si le zéro est ajusté à une pression finale trop haute (> 25 % de F.S.), le zéro ne peut pas être atteint et la DEL <RUN> clignote. Dans ce cas il faut restaurer les valeurs par défaut et procéder de nouveau à l'ajustage du zéro (→ 23). Maintenir la jauge en service pendant ≥ 15 minutes (jusqu'à ce que la valeur mesurée soit stable). 20 BG 5136 BFR / C (2019-05) Appuyer brièvement sur le commutateur <ZERO> avec une goupille (ø ≤ 1.1 mm). L'ajustage du zéro se fait automatiquement. La DEL <RUN> clignote jusqu'à ce que le calibrage soit terminé (durée ≤ 8 s). Appuyer brièvement sur le commutateur max. ø1.1 mm Quand l'ajustage est terminé, la jauge retourne automatiquement au mode de mesure. La DEL <RUN> s'allume. La DEL <RUN> clignote : • lorsque le transmetteur affiche un signal de sortie négatif (> 22 mV) pour la pression finale ou • lorsque le calibrage du zéro a échoué. 4.2.2 Réglage du <ZÉRO> avec fonction de rampe La rampe permet de régler le zéro pour une pression de référence connue qui se situe dans la gamme de mesure de la jauge. BG 5136 BFR / C (2019-05) 21 Par ailleurs, la rampe permet de régler une valeur offset pour la courbe caractéristique afin de : • compenser une valeur offset du système de mesure ou • générer un zéro légèrement positif pour un convertisseur AN 0 … 10 V. La valeur offset ne devrait pas être supérieure à 2 % du F.S. (+160 mV). Une valeur offset supérieure provoque un dépassement de la limite supérieure de la gamme de mesure. Procédure recommandée pour le réglage de la valeur offset des systèmes de mesure : → Remarque 20. Maintenir la jauge en service pendant ≥ 15 minutes (jusqu'à ce que la valeur mesurée soit stable). Appuyer sur le commutateur <ZERO> avec une goupille (ø ≤ 1.1 mm) et le maintenir enfoncé. La DEL <RUN> commence à clignoter. Après 5 s la valeur Zero-Adjust est modifiée continuellement à partir de la valeur de sortie (rampe) jusqu'à ce que le commutateur soit relâché ou la limite de la gamme d'ajustage soit atteinte (max. 25 % F.S.). La sortie du signal envoie ici le signal avec une temporisation d'environ 1 s. Maintenir le commutateur enfoncé max. ø1.1 mm 22 BG 5136 BFR / C (2019-05) Appuyer de nouveau sur le commutateur <ZERO> : Réglage précis dans les 0...3 s : Changement de direction dans les 3...5 s : La valeur Zero-Adjust est modifiée d'une unité à la fois (appuyer sur le commutateur ≈ 1 fois par seconde) L'ajustage Zero-Adjust change de direction (la fréquence du clignotement DEL <RUN> change brièvement) Si l'on n'appuie pas sur le commutateur <ZERO> pendant ≥ 5 s, la jauge retourne au mode de mesure. La DEL <RUN> clignote lorsque la jauge émet un signal de sortie négatif. 4.3 Charger les valeurs par défaut (Factory Reset) Tous les paramètres définis ou modifiés par l'utilisateur (par ex. zéro, filtre) sont réinitialisés aux valeurs standard (valeurs par défaut). La réinitialisation aux valeurs par défaut ne peut pas être annulée. Chargement des valeurs par défaut : Mettre la jauge hors circuit. Durant la mise en circuit, appuyer sur le commutateur <ZÉRO> pendant ≥ 5 secondes. BG 5136 BFR / C (2019-05) 23 5 Démontage AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : danger de rupture Les chocs peuvent détruire le capteur en céramique. Ne pas laisser tomber le produit et éviter les chocs violents. DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. 24 BG 5136 BFR / C (2019-05) Attention Attention : zone sensible à la pollution Si le produit ou des composants du produit sont touchés à mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. Remettre le système à vide à la pression atmosphérique. Mettre la jauge hors circuit. Dévisser la vis de fixation et débrancher le câble jauge. Démonter la jauge du système à vide et remettre le protecteur en place. BG 5136 BFR / C (2019-05) 25 6 Maintenance, Réparation Dans des conditions de service propres, le produit ne demande pas de maintenance. Les pannes de la jauge causées par des impuretés ou l'usure sont exclues de la garantie. Nous recommandons un contrôle périodique du zéro (→ 20). Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si des travaux de réparation sont effectués par le détenteur du produit ou des tiers. 26 BG 5136 BFR / C (2019-05) 7 Retour du produit AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : transport de produits contaminés Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Inclure le "Déclaration sur l'état de contamination" remplie. *) *) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com. En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt de substances nocives", le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d'une déclaration sur l'état de contamination dûment remplie, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais. BG 5136 BFR / C (2019-05) 27 8 Recyclage DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : substances polluantes Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l'environnement. Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : • Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. • Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. 28 BG 5136 BFR / C (2019-05) Table de conversion mbar mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG bar Pa -3 hPa kPa Torr mm HG 0.75 1 1×10 100 1 0.1 1×103 1 1×105 1×103 100 750 0.01 1 1×10-5 1×10-3 1 100 0.01 1 1×10-3 0.1 7.5×10-3 0.75 10 0.01 1×103 10 1 7.5 1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332 1 1 Pa = 1 N/m 2 Certificat ETL ETL LISTED The products CMR 361 … CMR 365 • conform to the UL Standard UL 61010-1 3103457 BG 5136 BFR / C (2019-05) • are certified to the CSA Standard CSA C22.2 # 61010-1 29 Déclaration CE de conformité Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons que le produit ci-après est conforme à la Directive relative à la compatibilité électromagnétique 2014/30/CE et la Directive relative à la limitation de l'utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques 2011/65/UE. Jauge capacitive avec capteur en céramique CMR 361 … CMR 365 Normes Normes harmonisées, normes internationales et nationales ainsi que spécifications : • EN 61000-6-2:2005 (CEM : Immunité) • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (CEM : Émission) • EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire) • EN 61326-1:2013 (Exigences relatives à la compatibilité électro- magnétique pour matériel électrique de mesure, de commande et de laboratoire) Fabricant / Signatures Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar Asslar, 18 Avril 2016 Dr. Ulrich von Hülsen Président 30 BG 5136 BFR / C (2019-05) Notes BG 5136 BFR / C (2019-05) 31 A PASSION FOR PERFECTION Un seul fournisseur de solutions de vide Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. Une large gamme de produits Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits. Un savoir faire théorique et pratique Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité de première qualité dans le monde entier. Êtes-vous à la recherche d'une solution de vide dédiée à vos besoins ? Contactez-nous : Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters ● Germany Tél. +49 6441 802-0 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com adixen Vacuum Products France Tél. +33 (0)4 50 65 77 77 [email protected] Source : Allemand BG 5136 BFR / C (2019-05) ">
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