Pfeiffer PKR 36x / IKR 36x - Pirani/cold cathode gauge ∣ Cold cathode gauge Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
PKR 36X ∣ IKR 36X
Point de mesure cathode froide/Pirani | Point de mesure cathode froide
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a
été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception
rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de
techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits
de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience
pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à
une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
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Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
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Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/62
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque
7
7
7
7
8
8
8
9
9
9
10
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
2.7 Responsabilité et garantie
2.8 Conditions propriétaire
2.9 Qualification personnelle
2.9.1 Garantir la qualification du personnel
2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
2.10 Conditions opérateur
11
11
11
13
14
14
14
15
15
15
15
16
16
16
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.2 Interrupteur et affichage de l’état
3.3 Identification du produit
3.4 Contenu de la livraison
17
17
17
18
18
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
19
19
19
5
Installation
5.1 Raccord à vide
5.2 Unité électronique
5.3 Raccordement électrique
20
20
22
23
6
Fonctionnement
6.1 Modes de fonctionnement PKR
6.2 Conversion du signal de mesure et de la pression PKR
6.3 Conversion du signal de mesure et de la pression IKR
6.4 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
6.5 Temporisation d'amorçage
6.6 Contamination
26
26
27
28
28
31
31
7
Démontage
33
8
Maintenance
8.1 Calibrage de la jauge PKR
8.2 Maintenance du point de mesure IKR
8.3 Démontage de la jauge
8.4 Remplacement de l’aide d'amorçage
35
35
36
37
38
3/62
Table des matières
8.5
8.6
4/62
Nettoyage des composants
Assemblage de la jauge
39
41
9
Anomalies
9.1 Dépannage
9.2 Identification des erreurs sur la chambre de mesure
43
43
44
10
Expédition
45
11
Recyclage et mise au rebut
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
11.2 Mise au rebut des jauges
46
46
46
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
47
13
Pièces de rechange
49
14
Accessoires
14.1 Informations sur les accessoires
14.2 Commande d'accessoires
50
50
50
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1 Généralités
15.2 Fiche technique
15.3 Dimensions
51
51
51
55
Certification ETL PKR
56
Certification ETL IKR
57
Déclaration de conformité CE
58
Déclaration de conformité CE
59
Déclaration de Conformité UK
60
Déclaration de Conformité UK
61
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Tab. 28:
Tab. 29:
Documents applicables
Variantes PKR basse tension
Variantes PKR courant fort
Variantes IKR basse tension
Variantes IKR courant fort
Abréviations utilisées
Conditions ambiantes autorisées
Diodes PKR
Diodes IKR
Modes de fonctionnement PKR
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Facteurs de correction pour la plage de pression < 10 hPa PKR et IKR
Facteurs de correction de calibrage pour la plage de pression
0,02 hPa < p < 1 hPa, en fonctionnement Pirani, uniquement PKR
Dysfonctionnements PKR
Dysfonctionnements IKR
Mesure PKR
Mesure IKR
Pièces de rechange
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Valeurs de mesure et de pression PKR
Valeurs de mesure et de pression IKR
Données électriques PKR
Données électriques IKR
Volume interne et poids
Conditions ambiantes
Températures
Substances en contact avec le fluide
7
7
7
8
8
10
14
18
18
26
27
28
30
31
43
44
44
44
49
51
51
51
51
52
53
54
54
54
54
5/62
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Fig. 22:
6/62
Configuration de mesure PKR
Interrupteur et DEL
Raccord à vide
Unité électronique
Schéma de raccordement
Câble de mesure et prise de câble Hirschmann
Relation entre le signal de mesure et la pression
Relation entre le signal de mesure et la pression
Domaine de pression > 10 hPa exclusivement avec fonctionnement Pirani
PKR
Domaine de pression de 10 à 0,1 hPa PKR
Pression affichée IKR
Démontage de la jauge
Calibrage de la jauge PKR
Démontage de la jauge
Retrait de l’aide à l’amorçage
Insertion de l'aide d'amorçage dans l'outil de montage
Insertion de l’aide à l’amorçage
Interrupteur pour valeur de calibrage CAL
Assemblage de la jauge
Broches de contact de la chambre de mesure
Chambre de mesure complète (jauge de remplacement)
Dimensions
17
17
21
23
24
24
27
28
29
29
30
34
36
37
38
39
39
41
42
44
49
55
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l’utilisateur de « Appareil de commande » OmniControl
PT 0670
Manuel de l'utilisateur « Appareil de commande et de mesure de la
pression totale » TPG 366
BG 5501
Déclarations de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
PT T02 140 010
PKR 360, DN 25 ISO-KF
PT T02 140 011
PKR 360 C, DN 25 ISO-KF, revêtement céramique
PT T02 150 010
PKR 360, DN 40 ISO-KF
PT T02 150 011
PKR 360 C, DN 40 ISO-KF, revêtement céramique
PT T02 350 010
PKR 360, DN 40 CF-F
PT T02 350 011
PKR 360 C, DN 40 CF-F, revêtement céramique
Tab. 2:
Variantes PKR basse tension
Référence
Désignation
PT T03 140 010
PKR 361, DN 25 ISO-KF
PT T03 140 011
PKR 361 C, DN 25 ISO-KF, revêtement céramique
PT T03 150 010
PKR 361, DN 40 ISO-KF
PT T03 150 011
PKR 361 C, DN 40 ISO-KF, revêtement céramique
PT T03 350 010
PKR 361, DN 40 CF-F
PT T03 350 011
PKR 361 C, DN 40 CF-F, revêtement céramique
Tab. 3:
Variantes PKR courant fort
Référence
Désignation
PT T00 140 010
IKR 360, DN 25 ISO-KF
PT T00 140 011
IKR 360 C, DN 25 ISO-KF, revêtement céramique
PT T00 150 010
IKR 360, DN 40 ISO-KF
7/62
A propos de ce manuel
Référence
Désignation
PT T00 150 011
IKR 360 C, DN 40 ISO-KF, revêtement céramique
PT T00 350 010
IKR 360, DN 40 CF-F
PT T00 350 011
IKR 360 C, DN 40 CF-F, revêtement céramique
Tab. 4:
Variantes IKR basse tension
Référence
Désignation
PT T01 140 010
IKR 361, DN 25 ISO-KF
PT T01 140 011
IKR 361 C, DN 25 ISO-KF, revêtement céramique
PT T01 150 010
IKR 361, DN 40 ISO-KF
PT T01 150 011
IKR 361 C, DN 40 ISO-KF, revêtement céramique
PT T01 350 010
IKR 361, DN 40 CF-F
PT T01 350 011
IKR 361 C, DN 40 CF-F, revêtement céramique
Tab. 5:
Variantes IKR courant fort
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les graphiques sans légende reflètent le produit équipé d’un raccord à vide DN 25 ISO-KF. Ils s'appliquent cependant aussi aux autres raccords à vide.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
8/62
A propos de ce manuel
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
Plaque signalétique
La plaque signalétique se trouve à l’arrière de l’appareil.
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Input
1.3.4
xKR 36x
PT T0x xxx xxx
3103457
xxxxxxxxx
14.5...30 V DC 2 W Made in Liechtenstein 2023/06
Abréviations
Abréviation
Explication
CA
Courant alternatif (CA)
ATM
Atmosphère
c
Constante de conversion du signal de mesure et de la pression
C
Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air
CAL
Valeur de calibrage
CF
Bride : raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669
d
Constante de conversion du signal de mesure et de la pression
DC
Courant continu
FKM
Caoutchouc fluoré
GND
Masse
HV
Vide élevé
cpl.
Unité complète
DEL
Diode électroluminescente
LPS
Source de puissance limitée
MSL
Niveau moyen de la mer
p
Pression
PE
Terre de protection (conducteur de protection)
9/62
A propos de ce manuel
Abréviation
Explication
TBTP
Très basse tension de protection
s
Secondes
WAF
Largeur sur pans
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
VCR
Marque déposée de Swagelok Company
Tab. 6:
1.4
Abréviations utilisées
Justificatif de marque
● FullRange® est une marque de produit Pfeiffer Vacuum GmbH.
● Hirschmann® est une marque de produit Hirschmann GmbH.
● Scotch-Brite® est une marque de produit 3M Company.
10/62
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
11/62
Sécurité
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques
Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du
capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de
mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide.
► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée.
► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide.
► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la
fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou
un test de fuite.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
12/62
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
13/62
Sécurité
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Humidité relative de l’air
(pour 30 jours par an)
1 × 10-8 – 1 × 10-2 hPa
-7
-2
1 × 10 – 1 × 10 hPa
≤ 70 % (sans condensation)
≤ 95 % (sans condensation)
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
6000 m MSL
Degré de pollution
2
Degré de protection
IP40
Tab. 7:
2.5
Valeur
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
Jauge PKR
La jauge FullRange fournit une mesure de vide de gaz dans le domaine 1 × 10-9 jusqu’à 1 000 hPa.
Jauge IKR
La jauge fournit une mesure du vide de gaz dans la gamme 1 × 10-9à 1 × 10-2 hPa.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client.
► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur.
► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique.
► Observer la fiche technique.
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
14/62
Sécurité
● Utilisation hors des limites d'utilisation mécaniques et électriques d'application (données techniques)
● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● PKR seulement : Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables
lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites
explosives.
● Utilisation en extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
2.7
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie
tierce :
● ignore ce document
● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu
● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante
● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit
correspondante
L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé.
2.8
Conditions propriétaire
Travailler en toute sécurité
1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique.
2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au
mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers
qu'il implique.
3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies :
– Utilisation conforme
– Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents
– Normes et directives applicables au niveau local, national et international
– Directives et régulations supplémentaires relatives au produit
4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum.
5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit.
6. Garantir la qualification du personnel.
2.9
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.9.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécani-
15/62
Sécurité
que, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.9.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.9.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
2.10
Conditions opérateur
Analyse des documents et données concernés
1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la
société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements.
2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents.
4. Se conformer aux limites d’utilisation.
5. Observer la fiche technique.
6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center.
– Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum.
16/62
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
Point de mesure PKR
Le point de mesure a 2 systèmes de mesure :
● Système de mesure Pirani
● Système de mesure à cathode froide fonctionnant selon le principe de magnétron inversé
Le circuit de mesure Pirani est toujours enclenché. Le circuit de mesure à cathode froide contrôlé par le
circuit de mesure Pirani est seulement activé par le point de mesure lorsque les pressions atteignent p
< 1 x 10-2 hPa. La liaison spécifique des deux systèmes de mesure garantit que les systèmes de mesure réagissent généralement comme un système de mesure normalisé pour l’utilisateur. La relation entre
le signal de mesure et la pression sur toute la gamme de mesure est de type logarithmique.
Le point de mesure applique la configuration de mesure optimale pour le domaine de pression respectif :
10-3 hPa
1000 hPa
Cold Cathode
1×10-9 hPa
Fig. 1:
Pirani
10-2 hPa
Configuration de mesure PKR
Point de mesure IKR
Le point de mesure a un système de mesure à cathode froide fonctionnant selon le principe de magnétron inversé. La relation entre le signal de mesure et la pression sur toute la gamme de mesure est de
type logarithmique.
3.2
Interrupteur et affichage de l’état
2
3
4
1
Fig. 2:
Interrupteur et DEL
1 Interrupteur pour la valeur de calibrage (CAL)
2 DEL « ST » (tension d’alimentation/erreur)
DEL
3
4
DEL « HV-ST » (haute tension/cathode froide)
(pour réglage d'usine seulement)
Signification
« ST »
« HV-ST »
Éteinte
Éteinte
Pas d'alimentation électrique
Allumée en vert
Éteinte
Tension d'alimentation OK, Pirani actif, cathode froide désactivée
Allumée en jaune
Clignote en vert
Tension d’alimentation OK, pression dans la gamme cathode
froide, cathode froide non allumée
Allumée en vert
Allumée en vert
Cathode froide allumée
Allumée en rouge
Éteinte
Erreur du système de mesure
Clignote en rouge
Éteinte
Erreur EEPROM
17/62
Description du produit
DEL
Signification
« ST »
« HV-ST »
Allumée en jaune
Éteinte
Gamme de mesure dépassée vers le haut
Allumée en jaune
Allumée en vert
Gamme de fonctionnement pas atteinte
Tab. 8:
Diodes PKR
DEL
« ST »
« HV-ST »
Éteinte
Éteinte
Pas d'alimentation électrique
Allumée en jaune
Éteinte
Tension d'alimentation OK, cathode froide désactivée
Allumée en jaune
Clignote en vert
Tension d’alimentation OK, pression dans la gamme cathode
froide, cathode froide non allumée
Allumée en vert
Allumée en vert
Cathode froide allumée
Clignote en rouge
Éteinte
Erreur EEPROM
Allumée en jaune
Allumée en vert
Gamme de mesure pas atteinte ou dépassée vers le haut
Tab. 9:
3.3
Signification
Diodes IKR
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.4
Contenu de la livraison
Pièces incluses dans la fourniture:
● Point de mesure
● Stylet (Ø 1,1 mm, point de mesure PKR seulement)
● Manuel de l’utilisateur
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
18/62
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transporter le produit en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
19/62
Installation
5 Installation
5.1
Raccord à vide
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques
Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du
capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de
mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide.
► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée.
► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide.
► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la
fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou
un test de fuite.
20/62
Installation
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
AVIS
Éclats électriques liés à l’hélium
L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les
détruire.
► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité.
► Démontez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité.
Conditions préalables
● Conditions ambiantes appropriées
● Température de fonctionnement dans la plage permissible
● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles)
1
2
3
4
5
Fig. 3:
Raccord à vide
1 Joint avec anneau de centrage
2 Unité électronique
3 Obturateur de protection
4
5
Joint avec anneau de centrage et filtre
Pièce de serrage/composants de petite bride
Recommandations
► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le
fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées.
► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le
bas).
– Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure.
► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour protéger les applications et le système de mesure contre tout risque de contamination.
21/62
Installation
► Une fois l’interrupteur et le bouton du point de mesure montés, vérifiez qu’ils sont aisément accessibles avec le stylet.
► Enlevez temporairement l’unité électronique de la jauge lorsque l’installation est seulement possible après le démontage de l’unité électronique.
– Ceci facilitera l’assemblage du raccord à bride CF.
Procédure
1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr.
2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum.
5.2
Unité électronique
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
L’enlèvement de l’unité électronique devrait rendre l’assemblage et la mise sous contrainte thermique
de la jauge.
Outillage nécessaire
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
22/62
Installation
1
2
3
Fig. 4:
Unité électronique
1 Vis sans tête
2 Système de mesure
3
Capuchon de protection
Dépose de l'unité électronique
1. Dévissez la vis sans tête sur le côté de l’unité électronique.
2. Enlevez l’unité électronique sans aucun mouvement de pivotement du système de mesure.
Assemblage de l’unité électronique
1. Montez soigneusement l’unité électronique sur le système de mesure.
2. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée.
3. Sécurisez la vis sans tête sur le côté de l’unité électronique.
5.3
Raccordement électrique
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
AVIS
Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect
Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va
endommager la jauge.
► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation.
► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation.
Outils nécessaires
● Tournevis cruciforme
● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm)
23/62
Installation
Équipement nécessaire
● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de la pression totale Pfeiffer Vacuum
disponible dans les accessoires ActiveLine
● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client
● Prise de câble Hirschmann
Raccordement électrique
1. Raccordez le câble de mesure à la jauge.
2. Resserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann.
– Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm
3. Raccordez la jauge à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum
ou à un appareil d'évaluation fournie par le client.
Signal
4.7Ω
2
+
4.7Ω
3
–
Ident
1
4
5
+
–
6
Fig. 5:
Schéma de raccordement
1 Identification
2 Signal de mesure
3 Signal masse
4
5
6
Alimentation
Masse de l’alimentation (GND)
Blindage
3
2
1
6
4
Fig. 6:
5
Câble de mesure et prise de câble Hirschmann
Fabrication du câble de mesure
Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique.
1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits
de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure.
2. Utilisez un câble avec un blindage tressé.
3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation.
24/62
Installation
4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation.
5. Vérifiez que la différence de potentiel pour la protection anti-surtension entre la prise de terre d'alimentation et le boîtier est ≤ 6 V.
6. Assemblez la prise de câble Hirschmann.
Assemblage de la prise de câble Hirschmann
1. Préparez la prise de câble Hirschmann conformément au diagramme « Câble de mesure et prise
de câble Hirschmann ».
2. Soudez le câble de raccordement comme indiqué sur le schéma de raccordement.
3. Assemblez la prise de câble Hirschmann.
25/62
Fonctionnement
6 Fonctionnement
Contrôle du point de mesure IKR avec un point de mesure Pirani
Sur les appareils de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum avec au
moins 2 raccordements de points de mesure, le point de mesure IKR peut être commandé
par un point de mesure Pirani, par exemple.
Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur le raccordement
électrique entre les broches 2 et 3.
Recommandations pour la jauge PKR
► Observez la période de stabilisation de 10 minutes minimum.
► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression.
► La jauge doit toujours rester enclenchée, quelle que soit la pression.
Recommandations pour la jauge IKR
► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression.
► La jauge ne doit être mise en circuit qu’à des pressions < 10-2 hPa pour éviter une contamination
excessive.
6.1
Modes de fonctionnement PKR
La sortie d’identification montre l'état de fonctionnement respectif réglé pour le point de mesure PKR.
Tant que le circuit de mesure à cathode froide ne s’est pas allumé, le signal de sortie n’émet que la
valeur Pirani mesurée une nouvelle fois. (si p < 5 × 10-4 hPa : affichage « Pirani - underrange »).
Pression
DEL
Identification
« ST »
« HV-ST »
p > 1 × 10-2 hPa
Allumée en
vert
Éteinte
Fonctionnement Pirani
11,1 kΩ (Pirani)
p < 1 × 10-2 hPa
Allumée en
jaune
Clignote en
vert
Fonctionnement Pirani (système de mesure à cathode
froide pas allumé)
11,1 kΩ (Pirani)
Fonctionnement combiné
9,1 kΩ (combinaison)
Allumée en vert
Tab. 10:
26/62
Mode de fonctionnement
Modes de fonctionnement PKR
Fonctionnement
Conversion du signal de mesure et de la pression PKR
p
Pa
1E+04
hPa
1E+02
torr
overrange
1E–02
sensor error
1E+00
underrange
6.2
1E–04
1E–06
1E–08
1E–09
0.0 0.5
1.217 1.397
Fig. 7:
2.5
3.5
4.5
5.5
6.5
7.5
U [V]
8.5
8.6
9.5
10.5
Relation entre le signal de mesure et la pression
p Pression
U
Mesure des signaux [V] (tension de sortie)
Signal de mesure (U)
Pression (p)
Constante (c) 1)
Constante (d) 2)
[V]
[hPa]
6,8
11,33
[Torr]
6,875
11,46
[micron]
5,075
8,458
[Pa]
5,6
9,333
[mbar]
Tab. 11:
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Conversion du signal de mesure et de la pression
Gamme de validité
● 1 × 10-9 hPa < p < 1 000 hPa
● 7,5 × 10-10 Torr < p < 750 Torr
● 1 × 10-7 Pa < p < 1 × 105 Pa
► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression.
► Conversion du signal de mesure en pression :
p = 10(1,667 × U - d)
► Conversion de la pression en signal de mesure :
U = c + 0,6 × log10 p
1)
En fonction de l’unité de pression
2)
En fonction de l’unité de pression
27/62
Fonctionnement
6.3
Conversion du signal de mesure et de la pression IKR
p
1E+00
Pa
1E–01
hPa
1E–03
torr
1E–05
1E–06
overrange
1E–04
underrange
sensor error
1E–02
1E–07
1E–08
1E–09
1E–10
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0
U [V]
Fig. 8:
Relation entre le signal de mesure et la pression
p Pression
U
Signal de mesure [V]
Signal de mesure (U)
Pression (p)
Constante (c) 3)
[V]
[hPa]
10,5
[mbar]
Tab. 12:
[Torr]
10,625
[micron]
7,625
[Pa]
8,5
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Conversion du signal de mesure et de la pression
Gamme de validité
● 1 × 10-9 hPa < p < 1 × 10-2 hPa
● 7,5 × 10-10 Torr < p < 7,5 × 10-3 Torr
● 1 × 10-7 Pa < p < 1 Pa
► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression.
► Conversion du signal de mesure en pression :
p = 10(U-c)
► Conversion de la pression en signal de mesure :
U = c + log10 p
6.4
Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO).
3)
28/62
En fonction de l’unité de pression
Fonctionnement
p [hPa]
102
H2 He
8
Ne
6
4
Air
N2
O2
CO
2
CO2
Ar
101
8
6
4
Freon 12
Kr
2
Xe
100
8
6
4
2
10–1
8
6
4
2
Water vapor
10–2
10–3 2
4 6 810–2 2
4 6 810–1 2
4 6 8 100
2
4 6 8 101
4 6 8 102
2
peff [hPa]
Fig. 9:
Domaine de pression > 10-2 hPa exclusivement avec fonctionnement Pirani PKR
p [hPa]
10–1
8
6
4
2
10–2
8
6
4
2
Ar
10–3
8
6
4
2
10–4
Air
N2
O2
CO
8
6
4
2
He
10–5
8
6
4
2
10–6
10–6 2
4 6 810–5 2
4 6 810–4 2
4 6 810–3 2
4 6 810–2 2
4 6 810–1
peff [hPa]
Fig. 10:
Domaine de pression de 10-6 à 0,1 hPa PKR
29/62
Fonctionnement
p [hPa]
4
2
10
Xe Kr
Ar
Air
O2
CO
N2 H2 Ne He
–3
8
6
4
2
10–4
8
6
4
2
10–5
8
6
4
2
10–6
8
6
4
2
10–7
10–7 2
4 6 10–6 2
4 6
10–5 2
4 6
10–4 2
4
6
10–3 2
4 6
10–2
peff [hPa]
Fig. 11:
Pression affichée IKR
Facteurs de correction
Dans le domaine de pression < 10-5 hPa, l’affichage est linéaire.
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2)
1,0
Hydrogène (H2)
2,4
Hélium (He)
5,9
Néon (Ne)
4,1
Argon (Ar)
0,8
Krypton (Kr)
0,5
Xénon (Xe)
0,4
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 13:
Facteurs de correction pour la plage de pression < 10-5 hPa PKR et IKR
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2)
1,0
Hydrogène (H2)
0,5
Dioxyde de carbone (CO2)
0,9
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
30/62
Fonctionnement
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Vapeur d’eau
0,5
Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12)
0,7
Hélium (He)
0,8
Néon (Ne)
1,4
Argon (Ar)
1,7
Krypton (Kr)
2,4
Xénon (Xe)
3,0
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 14:
Facteurs de correction de calibrage pour la plage de pression
0,02 hPa < prms < 1 hPa, en fonctionnement Pirani, uniquement PKR
Saisie du facteur de correction dans l’appareil de commande et de mesure de pression totale
► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée.
Calcul de la pression de gaz autres que l’air
► Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
Peff = C × p
● Peff = Pression efficace
● C = Facteur de correction
● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air)
6.5
Temporisation d'amorçage
Les systèmes de mesure à cathode froide ont une temporisation d'amorçage à l'activation. Cette temporisation d'amorçage est plus longue pour les basses pressions et est typiquement dans les unités dégazées propres :
●
●
●
●
1 × 10-5 jusqu’à 1 x 10-2 hPa < 1 seconde
1 × 10-7 jusqu’à 1 x 10-5 hPa < 20 secondes
5 × 10-9 jusqu’à 1 x 10-7 hPa < 2 minutes
< 5 × 10-9 hPa < 20 minutes
L'amorçage est un processus statique pour lequel des dépôts même minimes peuvent avoir une grande
influence sur les surfaces intérieures.
Point de mesure PKR
Activation à une pression p < 3 × 10-9 hPa
Si vous activez la jauge à une pression p < 3 × 10-9 hPa, la jauge ne sera pas capable de
détecter l'amorçage du système de mesure à cathode froide. La jauge affiche « Pirani underrange ».
Entretien du fonctionnement du jauge
Si la jauge monté sur bride fonctionne en continu quel que soit le domaine de pression, la
temporisation d'amorçage du système de mesure à cathode froide est toujours négligeable
(< 1 s), avec un effet minimal de stabilisation thermique.
Tant que le circuit de mesure à cathode froide ne s’est pas allumé, seules les valeurs mesurées Pirani
sont émises (affichage « Pirani underrange » gamme Pirani dépassée vers le bas pour des pressions p
< 5 x 10-4 hPa). La sortie d’identification signale seulement le fonctionnement Pirani.
6.6
Contamination
Garantie
Une anomalie de l’équipement résultant de l’usure ou de pièces d’usure (comme la chambre d’ionisation) n’est pas couverte par la garantie.
31/62
Fonctionnement
La contamination du jauge dépend
● Pression dans l’enceinte à vide
● du type de fluide de process
● Contamination existante ou nouvellement accumulée ou sa pression partielle (p. ex. vapeurs, particules de process, etc.)
● Durée de service
Le fonctionnement continu dans la plage comprise entre 10-4 hPa et 10-2 hPa peut causer une contamination grave et réduire la durée de vie et les intervalles d’entretien.
La contamination du jauge entraîne généralement des déviations des valeurs mesurées :
● PKR seulement : Dans la plage des hautes pressions (1 × 10-3 hPa à 0.1 hPa), la pression affichée est trop élevée (contamination de l’élément Pirani). Le système de mesure Pirani doit être
recalibré.
● PKR et IKR : Dans la plage de basses pressions (< 1 × 10-3 hPa), la pression affichée est généralement trop basse (contamination du système à cathode froide). Une contamination excessive
va causer des instabilités (séparation des couches dans la chambre de mesure). Ceci peut entraîner des courts-circuits. Un étanchement complet de la décharge de gaz est aussi possible en cas
de contamination résultant de couches isolées (affichage : « underrange » ou gamme dépassée
vers le bas).
Effet sur le degré de pollution
Dans une certaine mesure, le niveau de contamination peut être influencé. Des précautions particulières doivent être prises dans le cas de vapeurs formant des dépôts dans le plasma (p. ex. du système
de mesure à cathode froide).
► Implémentez des mesures préventives géométriques (tôles de protection, angles) pour les particules se propageant en ligne droite.
► Choisissez une position de bride avec une pression partielle de contamination minimale.
► Désactivez la jauge en présence de vapeurs de dépôt.
► Protégez le capteur pendant la séparation de vapeurs à l’aide de dispositifs de sectionnement
(p. ex. vanne).
32/62
Démontage
7 Démontage
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique
● Tension d’alimentation mise hors circuit
Outils nécessaires
● Tournevis cruciforme
33/62
Démontage
1
2
3
Fig. 12:
Démontage de la jauge
1 Joint avec anneau de centrage
2 Capuchon de protection
3
Pièce de tensionnement
Retrait de la jauge
1. Desserrez la vis d’arrêt sur la prise de câble Hirschmann de la jauge.
2. Déconnectez le câble de mesure de la jauge.
3. Recommandation : Enlevez temporairement l’unité électronique du point de mesure si le démontage est seulement possible avec l'unité électronique démontée.
– Ceci facilitera le démontage du raccord à bride CF.
4. Retirez la jauge du système de vide.
5. Placez l’obturateur de protection sur la bride de raccordement.
34/62
Maintenance
8 Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
D'autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du
point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage
ou un nettoyage.
8.1
Calibrage de la jauge PKR
Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge à l’usine sur les valeurs standards.
Le circuit de mesure dominant à cathode froide pour le domaine basse pression (< 1 × 10-3 hPa) a été
soumis à un calibrage fixe par Pfeiffer Vacuum au départ d’usine. Le calibrage HV du circuit de mesure
Pirani est automatiquement effectué pendant le fonctionnement à des pressions de 1 × 10-5 hPa. La
jauge enregistre la nouvelle valeur de point zéro toutes les 15 minutes dans la mémoire du dispositif de
sécurité. Le domaine de pression entre environ 10-2 hPa et 102 hPa n’est quasiment pas affecté pendant le calibrage. Le calibrage HV manuel est nécessaire lorsque la jauge ne fournit plus de pressions
< 10-2 hPa.
Outils nécessaires
● Stylet (max. Ø 1,1 mm)
Préparation du calibrage
1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation
normale.
2. Vérifiez l'absence de toute contamination du filtre.
35/62
Maintenance
3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé.
4. Mettez la jauge en fonctionnement.
ATM
HV
Fig. 13:
Calibrage de la jauge PKR
Calibrage HV
1. Réalisez la mise en service de la jauge.
2. Évacuez le système de vide jusqu’à p < 10-5 hPa.
3. Attendez au moins 2 minutes.
4. Appuyez brièvement sur le bouton « ADJ » avec un stylet.
– Le capteur Pirani est calibré sur 1 × 10-5 hPa (standard). Le calibrage dure environ 5 secondes.
5. Répétez ce calibrage si la pression de 1 x 10-5 hPa n’est pas affichée par la jauge à la sortie de
signal de mesure.
– Le calibrage a échoué cette fois-ci.
Calibrage ATM
1. Réalisez la mise en service de la jauge.
2. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes.
3. Appuyez brièvement sur le bouton « ADJ » avec un stylet.
– La jauge Pirani est calibrée sur 1 000 hPa (standard). Le calibrage dure environ 5 secondes.
4. Répétez ce calibrage si la pression de 1 000 hPa n’est pas affichée par le point de mesure à la
sortie de signal de mesure.
– Le calibrage a échoué cette fois-ci.
8.2
Maintenance du point de mesure IKR
Pfeiffer Vacuum a calibré le point de mesure à l’usine sur les valeurs standards. Le point de mesure est
sans entretien.
Remplacement des composants défectueux
► Remplacez la chambre d’ionisation et l’aide d'amorçage ou toute la chambre de mesure (sonde
de remplacement) seulement si l’unité est défectueuse.
► Remplacez toute la chambre de mesure si celle-ci est défectueuse ou fortement contaminée.
36/62
Maintenance
8.3
Démontage de la jauge
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
● Pinces pour circlip
● Pinces
5
3
4
2
1
Fig. 14:
Démontage de la jauge
1 Circlip
2 Chambre d'ionisation
3 Chambre de mesure
4
5
Vis sans tête
Unité électronique
Démontage de la jauge
1. Retirez la jauge du système de vide.
2. Dévissez la vis sans tête sur le côté de l’unité électronique.
3. Retirez la chambre de mesure complète et retirez-la de l’unité électronique.
4. Retirez le circlip.
5. Retirez la chambre d'ionisation de la chambre de mesure.
37/62
Maintenance
8.4
Remplacement de l’aide d'amorçage
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Outils nécessaires
● Outil de montage pour l’aide d'amorçage
● Pinces
Pièce détachée requise
● Aide d'amorçage
1
2
Fig. 15:
Retrait de l’aide à l’amorçage
1 Aide d'amorçage
2
Retrait de l’aide à l’amorçage
► Retirez l’aide à l’amorçage.
38/62
Outil de montage
Maintenance
1
3
2
Fig. 16:
Insertion de l'aide d'amorçage dans l'outil de montage
1 Aide d'amorçage
2 Extrémité dentelée de l’aide d'amorçage
3
Outil de montage
Insertion de l'aide d'amorçage dans l'outil de montage
1. Insérez la nouvelle aide d'amorçage dans l'outil de montage.
2. Vérifiez que la position de l’aide d'amorçage est correcte (extrémité dentelée en bas).
1
2
3
Fig. 17:
Insertion de l’aide à l’amorçage
1 Chambre de mesure (avec anode)
2 Aide d'amorçage
3
Outil de montage
Insertion de l’aide à l’amorçage
► Poussez doucement la chambre de mesure avec l’anode (neuve ou nettoyée) dans l’outil de montage jusqu’à la butée. La chambre doit être au centre et parallèle à l'axe de l’outil.
8.5
Nettoyage des composants
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
39/62
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d’humidité
La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité.
► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau.
► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Produits consommables requis
● Chiffon de lustrage (degré 400 ou Scotch Brite)
● Alcool industriel
● Chiffon (doux, non pelucheux)
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
Contrôle des composants quant à une contamination éventuelle
1. Contrôlez la chambre d’ionisation quant à une contamination éventuelle.
2. Contrôlez la chambre de mesure quant à une contamination éventuelle.
3. Contrôlez l’aide d'amorçage quant à une contamination éventuelle.
4. Remplacez la chambre d’ionisation si celle-ci est le seul élément contaminé.
5. Remplacez toute la chambre de mesure si celle-ci est très contaminée.
6. Remplacez l’aide d'amorçage si l’amorçage est contaminé.
Nettoyage des composants
1. Démontez la jauge autant que nécessaire.
– Ne pliez pas l'anode.
2. Enlevez l'aide à l’amorçage usée.
3. Effectuez seulement le travail concentriquement sur les surfaces d'étanchéité.
4. Avec le chiffon, lustrez et faites briller les parois internes de la chambre de mesure jusqu’à la gorge du circlip.
5. Insérez l’aide à l’amorçage neuve.
6. Remontez la jauge.
40/62
Maintenance
8.6
Assemblage de la jauge
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
AVIS
Éclats électriques liés à l’hélium
L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les
détruire.
► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité.
► Démontez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité.
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
● Pinces pour circlip
● Pinces
1
8
Fig. 18:
E 0 2
4
C
A 8 6
Interrupteur pour valeur de calibrage CAL
1 Valeur de calibrage du capteur de remplacement (chambre de mesure complète)
Réglage de la valeur de calibrage de la jauge de remplacement
► Réglez la valeur de calibrage de la jauge de remplacement sur l’interrupteur de la valeur de calibrage (CAL) de l'unité électronique.
► En cas de remplacement de la chambre de mesure complète, pensez à redéfinir le facteur de calibrage après l'opération.
41/62
Maintenance
1
6
5
2
3
4
Fig. 19:
Assemblage de la jauge
1 Chambre de mesure
2 Unité électronique
3 Vis moletée
4
5
6
Chambre de mesure (complète)
Circlip
Chambre d'ionisation
Raccordement de la jauge PKR
1. Remplacez l’aide d'amorçage comme requis (voir chapitre « Remplacement de l’aide d'amorçage », page 38).
2. Respectez l'arrangement de la chambre d’ionisation.
3. Poussez la chambre d’ionisation dans la chambre de mesure jusqu’à la butée mécanique.
4. Montez le circlip.
5. Si possible, effectuez un test d'étanchéité.
– Taux de fuite < 10-9 hPa l/s
6. Poussez la chambre de mesure complète dans l’unité électronique jusqu’à la butée mécanique.
7. Vérifiez que les broches restent droites.
8. Fixez la vis moletée du côté de l'unité électronique.
9. Effectuez un calibrage HV et ATM manuel.
Raccordement de la jauge IKR
1. Remplacez l’aide d'amorçage comme requis (voir chapitre « Remplacement de l’aide d'amorçage », page 38).
2. Respectez l'arrangement de la chambre d’ionisation.
3. Poussez la chambre d’ionisation dans la chambre de mesure jusqu’à la butée mécanique.
4. Montez le circlip.
5. Si possible, effectuez un test d'étanchéité.
– Taux de fuite < 10-9 hPa l/s
6. Poussez la chambre de mesure complète dans l’unité électronique jusqu’à la butée mécanique.
7. Vérifiez que les broches restent droites.
8. Fixez la vis moletée du côté de l'unité électronique.
42/62
Anomalies
9 Anomalies
Garantie
Une anomalie de l’équipement résultant de l’usure ou de pièces d’usure (comme la chambre d’ionisation) n’est pas couverte par la garantie.
Rectification des dysfonctionnements (Reset)
En cas de dysfonctionnement, Pfeiffer Vacuum recommande de débrancher la tension
d'alimentation et de la rebrancher après 5 secondes.
9.1
Dépannage
Anomalie
LED
Cause possible
Action corrective
« ST »
« HVST »
Pas de tension sur la sortie
de signal
Désactivée
Désactivée
Pas d’alimentation
Mettez en circuit l’alimentation.
Signal de mesure instable
Allumée en
vert
Allumée
en vert
Jauge contaminé
Remplacez la chambre
d'ionisation ou la chambre de mesure complète.
Tension sur la sortie de signal < 4,82 V
(< 5 × 10-4 hPa) impossible.
Allumée en
jaune
Clignote
en vert
La décharge
d'un gaz n’a
pas été amorcée
Attendez l'amorçage de
la décharge de gaz (environ 5 minutes à une
pression de 10-9 hPa).
Tension sur la sortie de signal constamment > 5,6 V
(> 0.01 hPa)
Allumée en
vert
Désactivée
Décalage du
zéro Pirani
Effectuez un calibrage
manuel HV.
Tension sur la sortie de signal constamment > 9,5 V
(erreur de jauge)
Allumée en
rouge
Désactivée
Pirani défectueux
Remplacez la chambre
de mesure complète.
Clignote en
rouge
Désactivée
Erreur EEPROM
Désactivez la jauge, attendez 5 secondes puis
réactivez-la (reset).
Signal constant avec environ
4,82 V (5 × 10-4 hPa).
Allumée en
vert
Allumée
en vert
Chambre de
mesure fortement contaminée
Remplacez la jauge.
Tab. 15:
Remplacez la chambre
de mesure complète.
Dysfonctionnements PKR
Anomalie
LED
Cause possible
Action corrective
« ST »
« HVST »
Pas de tension sur la
sortie de signal
Désactivée
Désactivée
Pas d’alimentation
Mettez en circuit l’alimentation.
Signal de mesure instable
Allumée
en vert
Allumée
en vert
Jauge contaminé
Remplacez la chambre d'ionisation ou la chambre de mesure
complète.
Tension sur la sortie de
signal 0,15 V (erreur de
jauge)
Allumée
en jaune
Désactivée
Surpression
dans la
chambre de
mesure
1. Évacuez à p < 1 × 10-2 hPa.
2. Mettez la jauge hors circuit,
puis à nouveau en circuit (reset).
Tension sur la sortie de
signal 1,2 V (dépassement vers le bas de la
gamme)
Allumée
en jaune
Clignote
en vert
La décharge
d'un gaz n’a
pas été
amorcée
Attendez l'amorçage de la décharge de gaz (environ 5 minutes
à une pression de 10-9 hPa).
43/62
Anomalies
Anomalie
LED
Tension sur la sortie de
signal constamment
< 0,3 V
« ST »
« HVST »
Clignote
en rouge
Désactivée
Cause possible
Action corrective
Erreur EEPROM
Désactivez la jauge, attendez 5
secondes puis réactivez-la (reset).
Remplacez la jauge.
Signal constant avec
environ 7,2 V
(5 × 10-4 hPa).
Tab. 16:
9.2
Allumée
en vert
Allumée
en vert
Chambre de
mesure fortement contaminée
Remplacez la chambre de mesure complète.
Dysfonctionnements IKR
Identification des erreurs sur la chambre de mesure
Si vous êtes presque certain de la cause de l'anomalie de la chambre de mesure, utilisez un ohmmètre
pour un diagnostic approximatif. Il est inutile de remettre à l'air le système de vide.
Condition préalable
● Unité électronique retirée
Équipement requis
● Ohmmètre
3
4
2
1
5
6
Fig. 20:
Broches de contact de la chambre de mesure
1–5
Broche de contact
6
Chambre de mesure
Mesure entre
Gamme de point de
consigne
Raisons pour lesquelles les valeurs sont en dehors
de la gamme de point de consigne
1à4
39,5 – 40,5 Ω (à 20 °C)
Filament Pirani défectueux
1à2
1000 – 1100 Ω (à 20
°C)
Jauge de température Pirani défectueuse
5à6
∞
Valeur <<∞ : contamination, court-circuit de la cathode
froide
Tab. 17:
Mesure PKR
Mesure entre
Gamme de point
de consigne
Raisons pour lesquelles les valeurs sont en dehors de la
gamme de point de consigne
5à6
∞
Valeur <<∞ : contamination, court-circuit de la cathode froide
Tab. 18:
Mesure IKR
Test de résistance
1. Mesurez sur les broches de contact de la chambre de mesure avec un ohmmètre.
2. Remplacez toute la chambre de mesure si la valeur mesurée est en dehors de la gamme du point
de consigne.
44/62
Expédition
10
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
45/62
Recyclage et mise au rebut
11
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
11.2
Mise au rebut des jauges
Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Démantelez l’unité électronique.
2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
3. Séparez les composants en matériaux recyclables.
4. Recyclez les composants non contaminés.
5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
46/62
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
47/62
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
48/62
Pièces de rechange
13
Pièces de rechange
La chambre de mesure complète (jauge de remplacement) est préassemblée.
Commande de pièces de rechange
► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la
plaque signalétique.
► Installez uniquement des pièces détachées d'origine.
3
2
1
Fig. 21:
Chambre de mesure complète (jauge de remplacement)
1 Circlip
2 Chambre d'ionisation
3
Chambre de mesure
Description
Numéro de commande
Kits d'aide d'amorçage (10 x)
BN 845 995 -T
Outil de montage pour l’aide d'amorçage
PT 120 316 -T
Chambre d'ionisation (acier surfin)
PT 120 312 -T
Chambre de mesure complète
PKR 36x
PKR 36x C
IKR 36x
IKR 36x C
Tab. 19:
DN 25 ISO-KF
PT 120 302 -T
DN 40 ISO-KF
PT 120 306 -T
DN 40 CF-F
PT 120 310 -T
DN 25 ISO-KF
PT 120 303 -T
DN 40 ISO-KF
PT 120 307 -T
DN 40 CF-F
PT 120 311 -T
DN 25 ISO-KF
PT 120 300 -T
DN 40 ISO-KF
PT 120 304 -T
DN 40 CF-F
PT 120 308 -T
DN 25 ISO-KF
PT 120 301 -T
DN 40 ISO-KF
PT 120 305 -T
DN 40 CF-F
PT 120 309 -T
Pièces de rechange
49/62
Accessoires
14
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ActiveLine.
14.1 Informations sur les accessoires
Câble de mesure
Câble de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à une unité de mesure et de contrôle
de la pression totale Pfeiffer Vacuum
Connecteur-bouchon
Douille de câble pour la fabrication d’un câble de raccordement spécifique pour l’application
Joints avec anneau de centrage et filtre
Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre
toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination
14.2 Commande d'accessoires
Description
Numéro de commande
Câble de mesure, 3 m
PT 448 250 -T
Câble de mesure, 6 m
PT 448 251 -T
Câble de mesure, 10 m 4)
PT 448 252 -T
Connecteur-bouchon, 6 pôles
B4707283MA
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores
0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 25 ISO-KF
PF 117 225 -T
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores
0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 40 ISO-KF
PF 117 240 -T
4)
50/62
Autres longueurs de câbles disponibles jusqu’à 100 m.
Caractéristiques techniques et dimensions
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 20:
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
3
atm cm /s
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
Torr l/s
Tab. 21:
750
-3
-3
-2
1,27 · 10
1.67 · 10-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
15.2 Fiche technique
Paramètre
Valeur
Gamme de mesure (air, N2)
1 × 10-9 – 1000 hPa
Pression maximum (absolue)
10 000 hPa, limitée aux gaz inertes et aux températures < 55 °C
Pression de rupture (absolue)
> 13 000 hPa
Principe de mesure
Pirani/cathode froide
Précision (N2)
env. ±30 % dans la plage 1 × 10-8 – 100 hPa
Répétabilité (N2)
env. ±5 % dans la plage 1 × 10-8 – 100 hPa
env. ± 50 % dans la plage 100 – 1 000 hPa
Tab. 22:
Valeurs de mesure et de pression PKR
Paramètre
Valeur
Gamme de mesure (air, N2)
1 × 10-9 – 1 × 10-2 hPa
Pression maximum (absolue)
10 000 hPa, limitée aux gaz inertes et aux températures < 55 °C
Pression de rupture (absolue)
> 13 000 hPa
Principe de mesure
Cathode froide
Précision (N2)
env. ±30 % dans la plage 1 × 10-8– 1 × 10-2 hPa
Répétabilité (N2)
env. ±5 % dans la plage 1 × 10-8– 1 × 10-2 hPa
Tab. 23:
Valeurs de mesure et de pression IKR
51/62
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Signal de sortie (signal de
mesure)
Valeur
Gamme de tension
env. 0 V – +10,5 V DC
Gamme de mesure
1,397 – 8,6 V DC
Signal d'erreur
9,5 – 10,5 V DC
Rapport tension-pression
logarithmique, élévation 0,6 V
DC/décade
Impédance de sortie
2 × 4,7 Ω, résistant aux courtscircuits
Impédance de charge (charge minimum)
≥ 10 kΩ, résistant aux courts-circuits
Temps de réponse
en fonction de la pression
< 100 ms
-6
p > 10 hPa
p = 10 – 10 hPa
environ 1 s
Fonctionnement Pirani seulement
Résistance 11,1 kΩ contre la terre d'alimentation
Fonctionnement combiné Pirani/
cathodes froides
Résistance 9,1 kΩ contre la terre
d'alimentation
-6
Identification de la jauge
-8
Conditions préalables :
● La polarité de la broche 1 doit toujours être positive par rapport à la
terre d'alimentation.
● Mesures avec courant continu : Courant de mesure dans la gamme
0,2 – 0,3 mA
● Mesures avec tension continue : Tension de mesure dans la plage
2 – 3 V DC
Tension d’alimentation
Classe 2/LPS
Sur la jauge 5)
14,5 – 30,0 V DC
Ondulation
1 Vpp max.
Tension d'amorçage (dans la chambre de mesure)
≤ 4,5 kV
Tension de fonctionnement (dans la chambre de mesure)
≤ 3,3 kV
Courant de service (dans la chambre de mesure)
PKR 360 : Courant de faible intensité
PKR 361 : Courant fort
Puissance absorbée
≤2 W
Fusible (à raccorder en série)6)
≤ 1 AT
Raccordement (électrique)
Hirschmann GO 6 (6 broches)
Câble de mesure
5 broches, blindage inclus
Longueur de câble
75 m max. (0,14 mm2/conducteur)
100 m max. (0,34 mm2/conducteur)
300 m max. (1,0 mm2/conducteur)
Concept de mise à la terre
Tab. 24:
52/62
(voir chapitre « Raccordement électrique », page 23)
Raccord vide et masse signal
raccordé à 10 kΩ (différence de
potentiel ≤ 16 V DC)
Terre d'alimentation et masse signal
arrangés séparément, mesure
différentielle recommandée
Données électriques PKR
5)
Augmentez la tension minimum de l’unité d'alimentation en fonction de la longueur de câble.
6)
Les unités de commande et de mesure Pfeiffer Vacuum sont conformes à cette exigence.
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Signal de sortie (signal de
mesure)
Valeur
Gamme de tension
env. 0 V – +10,5 V DC
Gamme de mesure
1,5 – 8,5 V DC
Signal d'erreur
< 0,5 V DC (pas d’alimentation)
Rapport tension-pression
logarithmique, élévation 1 V DC/
décade
Impédance de sortie
2 × 4,7 Ω, résistant aux courts-circuits
Impédance de charge (charge minimum)
≥ 10 kΩ, résistant aux courts-circuits
Temps de réponse
en fonction de la pression
< 100 ms
-6
p > 10 hPa
-6
-8
p = 10 – 10 hPa
Identification de la jauge
environ 1 s
Résistance 5,1 kΩ contre la terre
d'alimentation
Conditions préalables :
● La polarité de la broche 1 doit
toujours être positive par rapport à la terre d'alimentation.
● Mesures avec courant continu :
Courant de mesure dans la
gamme 0,2 – 0,3 mA
● Mesures avec tension continue : Tension de mesure dans
la plage 2 – 3 V DC
Tension d’alimentation
Classe 2/LPS
Sur la jauge 7)
14,5 – 30,0 V DC
Ondulation
1 Vpp max.
Tension d'amorçage (dans la chambre de mesure)
≤ 4,5 kV
Tension de fonctionnement (dans la chambre de mesure)
≤ 3,3 kV
Courant de service (dans la chambre de mesure)
IKR 360 : Courant de faible intensité
IKR 361 : Courant fort
Puissance absorbée
≤2 W
Fusible (à raccorder en série)8)
≤ 1 AT
Raccordement (électrique)
Hirschmann GO 6 (6 broches)
Câble de mesure
5 broches, blindage inclus
Longueur de câble
75 m max. (0,14 mm2/conducteur)
100 m max. (0,34 mm2/conducteur)
300 m max. (1,0 mm2/conducteur)
Concept de mise à la terre
Tab. 25:
(voir chapitre « Raccordement électrique », page 23)
Raccord vide et masse signal
raccordé à 10 kΩ (différence de potentiel ≤ 16 V DC)
Terre d'alimentation et masse
signal
arrangés séparément, mesure différentielle recommandée
Données électriques IKR
Paramètre
Valeur
Volume interne
environ 19,9 cm3, DN 25 ISO-KF
environ 20,9 cm3, DN 40 ISO-KF
environ 25,2 cm 3, DN 40 CF-F
7)
La tension minimum de l’unité d’alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur de câble.
8)
Les unités de commande et de mesure Pfeiffer Vacuum sont conformes à cette exigence.
53/62
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Poids
<280 g, DN 25 ISO-KF
<320 g, DN 40 ISO-KF
<570 g, DN 40 CF-F
Tab. 26:
Volume interne et poids
Paramètre
Humidité relative de l’air
(pour 30 jours par an)
-2
≤ 70 % (sans condensation)
-7
-2
≤ 95 % (sans condensation)
1 × 10 – 1 × 10 hPa
1 × 10 – 1 × 10 hPa
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
6000 m au-dessus du niveau de la mer
Degré de pollution
2
Degré de protection
IP40
Tab. 27:
Conditions ambiantes
Paramètre
Valeur
Fonctionnement
5 – 55 °C
Filament chauffé Pirani (PKR seulement)
120 °C
Stockage
-40 – +70 °C
Étuvage
≤150 °C 9)
Tab. 28:
Températures
Paramètre
Valeur
Bride
Acier surfin (1.4435)
Chambre de mesure
Acier surfin (1.4435)
Filament chauffé Pirani (PKR seulement)
Tungstène (W)
Passage (isolation)
Céramique (Al2O3), verre
Passage (anneau)
Acier surfin (1.4435)
Passage (anode)
Molybdène (Mo)
Passage (broche)
Alliage nickel (Ni)
Passage (PKR 36x C, IKR 36x C)
Revêtement céramique
Chambre d'ionisation
Acier surfin (1.4301, 1.4016)
Aide d'amorçage
Acier surfin (1.4310)
Tab. 29:
9)
54/62
Valeur
-8
Substances en contact avec le fluide
Sans unité électronique
Caractéristiques techniques et dimensions
79
44
15.3 Dimensions
15
44
23
17
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
Fig. 22:
Dimensions
Dimensions en mm.
55/62
ETL LISTED
The products PKR 360, PKR 360 C, PKR 361 and PKR 361C
- conform to the UL standard
UL 61010-1.
3103457
- are certified to the CAN/CSA standard
CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12.
ETL LISTED
The products IKR 360, IKR 360 C, IKR 361 and IKR 361C
- conform to the UL standard
UL 61010-1.
3103457
- are certified to the CAN/CSA standard
CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12.
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge à cathode froide/Pirani
PKR 360
PKR 360 C
PKR 361
PKR 361 C
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN IEC 61000-6-2:2019
DIN EN IEC 61000-6-3:2022
DIN EN 61010-1:2020
DIN EN IEC 61326-1:2022
DIN EN IEC 63000:2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-01-24
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge à cathode froide
IKR 360
IKR 360 C
IKR 361
IKR 361 C
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN IEC 61000-6-2:2019
DIN EN IEC 61000-6-3:2022
DIN EN 61010-1:2020
DIN EN IEC 61326-1:2022
DIN EN IEC 63000:2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-02-22
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge à cathode froide/Pirani
PKR 360
PKR 360 C
PKR 361
PKR 361 C
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
EN IEC 61000-6-2:2019
EN IEC 61000-6-3:2021
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-02-22
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge à cathode froide
IKR 360
IKR 360 C
IKR 361
IKR 361 C
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
EN IEC 61000-6-2:2019
EN IEC 61000-6-3:2021
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-02-22
*BG5164*
ed. D - Date 2307 - P/N:BG5164BFR
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