MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original IKR 251 Jauge à cathode froide Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/48 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque du produit 7 7 7 7 7 8 8 8 8 9 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 10 10 10 12 13 13 14 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.2 Affichage de l’état 3.3 Identification du produit 3.4 Contenu de la livraison 15 15 15 15 15 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 17 17 17 5 Installation 5.1 Raccord à vide 5.2 Dépose/installation de l’unité magnétique 5.3 Raccordement électrique 18 18 20 21 6 Fonctionnement 6.1 Conversion du signal de mesure et de la pression 6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction 6.3 Respect de la temporisation d’amorçage 6.4 Pollution 23 23 24 26 26 7 Démontage 27 8 Maintenance 8.1 Entretien de la jauge 8.2 Démontage de la jauge 8.3 Nettoyage des composants 8.4 Assemblage de la jauge 29 29 30 31 32 9 Anomalies 34 10 Expédition 35 11 Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Mise au rebut des jauges 36 36 36 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 37 3/48 Table des matières 4/48 13 Pièces de rechange 39 14 Accessoires 14.1 Informations sur les accessoires 14.2 Commande d'accessoires 40 40 40 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités 15.2 Fiche technique 15.3 Dimensions 41 41 41 43 Certification ETL 44 Déclaration de conformité CE 45 Déclaration de Conformité UK 46 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Documents applicables Variantes Abréviations utilisées Conditions ambiantes autorisées État de fonctionnement Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Tableau de conversion Facteur de correction pour un domaine de pression < hPa Anomalies Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Valeurs de mesure et de pression Données électriques Volume interne et poids Conditions ambiantes Températures Substances en contact avec le fluide 7 7 9 13 15 23 24 25 34 41 41 41 42 42 42 43 43 5/48 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: 6/48 Diode électroluminescente Raccord à vide Dépose/installation de l’unité magnétique Schéma de raccordement Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Relation entre le signal de mesure et la pression Pression affichée Retrait de la jauge Pièces individuelles Outil de montage pour l’aide d'amorçage Pièces de rechange Dimensions 15 19 20 21 22 23 25 28 30 33 39 43 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Guide rapide « Jauge à cathode froide » IKR 251 BG 5110 Manuel de l’utilisateur de « Appareil de commande » OmniControl PT 0670 Manuel de l’utilisateur « Appareil de commande et de mesure de la pression totale » TPG 366 BG 5501 Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation PT R25 500 IKR 251, DN 25 ISO-KF PT R25 501 IKR 251, DN 40 ISO-KF PT R25 502 IKR 251, DN 40 CF-F Tab. 2: Variantes Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les graphiques sans légende reflètent le produit équipé d’un raccord à vide DN 25 ISO-KF. Ils s'appliquent cependant aussi aux autres raccords à vide. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. 7/48 A propos de ce manuel Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Input IKR xxx PT Rxx xxx 3103457 Made in Liechtenstein 2023/06 xxxxxxxxx 15...30 V DC 2 W 10 cm 4” 8/48 Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve sur la partie supérieure de l' unité. Avertissement concernant les champs magnétiques L'avertissement sur l'autocollant indique que le champ magnétique de la jauge peut affecter le fonctionnement des stimulateurs cardiaques et spécifie la distance minimale à respecter par rapport à la jauge par les personnes porteuses d'un stimulateur cardiaque. A propos de ce manuel 1.3.4 Abréviations Abréviation Explication c Constante de conversion du signal de mesure et de la pression C Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air d Constante de conversion du signal de mesure et de la pression FKM Caoutchouc fluoré MSL Niveau moyen de la mer p Pression WAF Largeur sur pans U Signal de mesure [V] (tension de sortie) Tab. 3: 1.4 Abréviations utilisées Justificatif de marque du produit ● Hirschmann® est une marque de produit Hirschmann Electronics GmbH. ● Scotch-Brite® est une marque de produit 3M Company. 9/48 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. 10/48 Sécurité DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risques liés aux champs magnétiques Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques). ► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques. – Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit. ► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre les champs magnétiques. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement. 11/48 Sécurité DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger 12/48 Sécurité de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Limites d’utilisation du produit Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +31 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 4: 2.5 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme La jauge fournit une mesure du vide de gaz dans la gamme 2 × 10-9à 1 × 10-2 hPa. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client. ► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur. ► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique. ► Observer la fiche technique. 13/48 Sécurité 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 14/48 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction AVERTISSEMENT Risques liés aux champs magnétiques Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques). ► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques. – Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit. ► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre les champs magnétiques. Le point de mesure a un système de mesure à cathode froide fonctionnant selon le principe de magnétron inversé. La relation entre le signal de mesure et la pression sur toute la gamme de mesure est de type logarithmique. 3.2 Affichage de l’état La DEL sur le dessus de la jauge indique l'état de fonctionnement de la jauge. 1 Fig. 1: Diode électroluminescente 1 DEL verte DEL État de fonctionnement allumée Tension d’alimentation disponible Éteinte Pas de tension d’alimentation disponible Tab. 5: 3.3 État de fonctionnement Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.4 Contenu de la livraison Pièces incluses dans la livraison : 15/48 Description du produit ● Jauge ● Brèves instructions Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 16/48 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 17/48 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. 18/48 Installation AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. AVIS Éclats électriques liés à l’hélium L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les détruire. ► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité. ► Démontez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Température de fonctionnement dans la plage permissible ● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles) 1 4 Fig. 2: 2 3 Raccord à vide 1 Unité magnétique 2 Pièce de serrage 3 4 Petits composants de bride Obturateur de protection Recommandations ► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le fonctionnement. Ces vibrations entraînent généralement des déviations dans les valeurs mesurées. ► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le bas). – Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure. ► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour protéger les applications et le système de mesure contre tout risque de contamination. ► Retirez temporairement l’unité magnétique de la jauge lorsque l'installation est seulement possible après le démontage de l’unité magnétique. – Ceci facilitera l’assemblage du raccord à bride CF. Procédure 1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum. 19/48 Installation 5.2 Dépose/installation de l’unité magnétique AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. La dépose de l’unité magnétique va faciliter l’installation du jauge. Outils nécessaires ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 1,5 ● Clé à fourche, WAF 7 4 3 2 1 5 Fig. 3: Dépose/installation de l’unité magnétique 1 Chambre de mesure 2 Boulon six pans 3 Unité magnétique 4 5 Unité électronique Vis moletée Dépose de l’unité magnétique 1. Desserrez la vis moletée du côté de l'unité électronique. 2. Retirez l’unité électronique sans exercer de mouvement rotatif. 3. Dévissez la vis à tête hexagonale sur l'unité magnétique. 4. Retirez l'unité magnétique. – La séparation de l'unité magnétique et de la chambre de mesure est compliquée par l'effet de la force magnétique. En outre, ces pièces ont tendance à basculer facilement. Installation de l’unité magnétique 1. Montez l'unité magnétique. – Le montage de l'unité magnétique est compliqué par l'effet de la force magnétique et parce que l'unité a tendance à basculer facilement. 2. Fixez la boulon six pans sur l’unité magnétique. 3. Montez avec précaution l’unité électronique. 4. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée. 5. Fixez la vis moletée du côté de l’unité électronique. 20/48 Installation 5.3 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. AVIS Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va endommager la jauge. ► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation. ► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation. Outils nécessaires ● Tournevis cruciforme ● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm) Équipement nécessaire ● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de la pression totale Pfeiffer Vacuum disponible dans les accessoires ActiveLine ● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client ● Boîtier de contacteurs Raccordement électrique 1. Raccordez le câble de mesure à la jauge. 2. Resserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann. – Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm 3. Raccordez la jauge à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou à un appareil d'évaluation fournie par le client. 10Ω 10Ω 5.1kΩ 10kΩ Fig. 4: 2 3 1 4 5 6 + V– + – Schéma de raccordement 1 Identification 2 Signal de mesure 3 Signal masse 4 5 6 Alimentation Masse de l’alimentation (GND) Blindage 21/48 Installation 3 2 1 6 4 Fig. 5: 5 Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Fabrication du câble de mesure Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique. 1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure. 2. Utilisez un câble avec un blindage tressé. 3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation. 4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation. 5. Vérifiez que la différence de potentiel pour la protection anti-surtension entre la prise de terre d'alimentation et le boîtier est ≤ 6 V. 6. Assemblez la prise de câble Hirschmann. Assemblage de la prise de câble Hirschmann 1. Préparez la prise de câble Hirschmann conformément au diagramme « Câble de mesure et prise de câble Hirschmann ». 2. Soudez le câble de raccordement comme indiqué sur le schéma de raccordement. 3. Assemblez la prise de câble Hirschmann. 22/48 Fonctionnement 6 Fonctionnement Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur le raccordement électrique entre les broches 2 et 3. Contrôle du point de mesure IKR avec un point de mesure Pirani Sur les appareils de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum avec au moins 2 raccordements de points de mesure, le point de mesure IKR peut être commandé par un point de mesure Pirani, par exemple. Recommandations ► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression. ► La jauge ne doit être mise en circuit qu’à des pressions < 10-2 hPa pour éviter une contamination excessive. Conversion du signal de mesure et de la pression p 1E+00 Pa 1E–01 hPa 1E–02 torr 1E–03 1E–06 overrange 1E–05 underrange 1E–04 sensor error 6.1 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5 U [V] Fig. 6: Relation entre le signal de mesure et la pression p Pression U Signal de mesure [V] (tension de sortie) Signal de mesure (U) Pression (p) Constante (c) 1) [V] [hPa] 10,5 [mbar] Tab. 6: 1) [Torr] 10,625 [micron] 7,625 [Pa] 8,5 Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression En fonction de l’unité de pression 23/48 Fonctionnement Signal de mesure (U) Pression (p) [V] [hPa] < 0,5 Erreur de capteur 0,5 – 1,8 Plage dépassée vers le bas 1,8 2,0 × 10-9 1,5 × 10-9 2,0 × 10-7 2,5 1,0 × 10-8 7,5 × 10-9 1,0 × 10-6 3,5 1,0 × 10 -7 7,5 × 10 -8 1,0 × 10-5 4,5 1,0 × 10-6 7,5 × 10-7 1,0 × 10-4 5,5 1,0 × 10 -5 7,5 × 10 -6 1,0 × 10-3 6,5 1,0 × 10-4 7,5 × 10-5 1,0 × 10-2 7,5 1,0 × 10-3 7,5 × 10-4 0,1 8,5 1,0 × 10 -2 -3 1,0 8,5 – 10,5 Plage dépassée vers le haut Tab. 7: [Torr] [Pa] 7,5 × 10 Tableau de conversion Conversion du signal de mesure et de la pression Gamme de validité ● 2 × 10-9 hPa < p < 1 × 10-2 hPa ● 1,5 × 10-9 torr < p < 7,5 × 10-3 torr ● 2 × 10-7 Pa < p < 1 Pa ► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression. ► Conversion du signal de mesure en pression : p = 10(U-c) ► Conversion de la pression en signal de mesure : U = c + log10 p 6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO). 24/48 Fonctionnement p [hPa] 4 2 10 Xe Kr Ar Air O2 CO N2 H2 Ne He –3 8 6 4 2 10–4 8 6 4 2 10–5 8 6 4 2 10–6 8 6 4 2 10–7 10–7 2 4 6 10–6 2 4 6 10–5 2 4 6 10–4 2 4 6 10–3 2 4 6 10–2 peff [hPa] Fig. 7: Pression affichée Dans le domaine de pression < 10-5 hPa, l’affichage est linéaire. Mélanges de gaz et de vapeurs Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole. Type de gaz Facteur de correction (C) Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2) 1,0 Hydrogène (H2) 2,4 Hélium (He) 5,9 Néon (Ne) 4,1 Argon (Ar) 0,8 Krypton (Kr) 0,5 Xénon (Xe) 0,4 Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes. Tab. 8: Facteur de correction pour un domaine de pression < 10 -5 hPa Saisie du facteur de correction dans l’appareil de commande et de mesure de pression totale ► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée. 25/48 Fonctionnement Calcul de la pression de gaz autres que l’air ► Calculez la pression efficace avec la formule suivante : Peff = C × p ● Peff = Pression efficace ● C = Facteur de correction ● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air) 6.3 Respect de la temporisation d’amorçage Les systèmes de mesure à cathode froide ont une temporisation d'amorçage quand ils sont activés. Cette temporisation d'amorçage augmente à basse pression et est typiquement dans les unités dégazées propres : ● 10-7 hPa environ 6 secondes ● 10-8 hPa environ 1 minute ● 2 × 10-9 hPa environ 5 minutes L'amorçage est un processus statique pour lequel des dépôts même minimes peuvent avoir une grande influence sur les surfaces intérieures. 6.4 Pollution Garantie Toute anomalie de l’unité résultant directement d’une contamination et de l’usure (comme l’aide d'amorçage) n’est pas couverte par la garantie. La contamination du jauge dépend ● de la pression dans les enceintes à vide ● du type de fluide de process ● de la contamination existante ou nouvellement accumulée ou sa pression partielle (p. ex. vapeurs, particules de process, etc.) ● de la durée de service Le fonctionnement continu dans la plage comprise entre 10-4 hPa et 10-2 hPa peut causer une contamination grave et réduire la durée de vie et les intervalles d’entretien. Avec des basses pression constantes (p < 1 × 10-6 hPa), une durée de vie de > 1 an peut être atteinte avant qu’un nettoyage ne soit nécessaire. La contamination de la jauge entraîne généralement des déviations dans les valeurs mesurées : ● Dans la gamme de basses pressions (< 1 × 10-3 hPa), la pression affichée est généralement trop basse (contamination du système à cathode froide). Une contamination excessive va causer des instabilités (séparation des couches dans la chambre de mesure). Ceci peut entraîner des courts-circuits. Un étanchement complet de la décharge de gaz est aussi possible en cas de contamination résultant de couches isolées. Effet sur le degré de pollution Dans une certaine mesure, le niveau de contamination peut être influencé. Des précautions particulières doivent être prises dans le cas de vapeurs formant des dépôts dans le plasma (p. ex. du système de mesure à cathode froide). ► Implémentez des mesures préventives géométriques (tôles de protection, angles) pour les particules se propageant en ligne droite. ► Choisissez une position de bride avec une pression partielle de contamination minimale. ► Désactivez la jauge en présence de vapeurs de dépôt. ► Protégez le capteur pendant la séparation de vapeurs à l’aide de dispositifs de sectionnement (p. ex. vanne). 26/48 Démontage 7 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique ● Tension d’alimentation désactivée Outil nécessaire ● Tournevis cruciforme 27/48 Démontage 1 2 3 Fig. 8: Retrait de la jauge 1 Câble de mesure 2 Pièce de serrage 3 Obturateur de protection Retrait de la jauge 1. Desserrez la vis d’arrêt sur la prise de câble Hirschmann de la jauge. 2. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 3. Recommandation : retirez temporairement l’unité magnétique du jauge si le démontage de la bride est seulement possible avec l'unité magnétique retirée. – Ceci facilitera le démontage du raccord à bride CF. 4. Retirez la jauge du système de vide. 5. Placez l’obturateur de protection sur la bride de raccordement. 28/48 Maintenance 8 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risques liés aux champs magnétiques Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques). ► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques. – Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit. ► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre les champs magnétiques. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. 8.1 Entretien de la jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge à l’usine sur les valeurs standards. La jauge est sans entretien. Remplacement d’une jauge défectueuse ► Si la jauge est défectueuse, vous devez la remplacer entièrement. 29/48 Maintenance 8.2 Démontage de la jauge AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Outils nécessaires ● ● ● ● ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 1,5 Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3 Clé à fourche, WAF 7 Pinces pour circlip Pinces 1 14 13 12 2 5 11 4 10 3 6 7 8 9 Fig. 9: 1 2 3 4 5 6 7 30/48 Pièces individuelles Unité électronique Vis moletée Aide d'amorçage Disques de blocage (4×) Vis à six pans creux (4×) Pièce de compression Anode 8 9 10 11 12 13 14 Anneau intérieur Joint FKM (douille anode) Circlip Embout de polarité Chambre de mesure Boulon six pans Unité magnétique Maintenance Démontage de la jauge 1. Retirez la jauge du système de vide. 2. Desserrez la vis moletée du côté de l'unité électronique. 3. Retirez l’unité électronique sans exercer de mouvement rotatif. – Le capot de l'unité électronique ne peut pas être enlevé. 4. Desserrez le boulon six pans sur l’unité magnétique. 5. Retirez l'unité magnétique. – La séparation de l'unité magnétique et de la chambre de mesure est compliquée par l'effet de la force magnétique. En outre, ces pièces ont tendance à basculer facilement. 6. Retirez le circlip et l'embout de polarité de la chambre de mesure. 7. Retirez les vis à six pans creux et les disques de verrouillage à l’arrière de la chambre de mesure. 8. Retirez successivement en prenant des précautions ● Pièce de compression ● Anode complète ● Joint FKM, bague intérieure comprise 8.3 Nettoyage des composants DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d’humidité La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité. ► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau. ► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Outil nécessaire ● Pinces 31/48 Maintenance Consommables nécessaires ● Chiffon de lustrage (degré 400 ou Scotch Brite) ● Alcool industriel ● Chiffon (propre, doux, non pelucheux) Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. Nettoyage de la chambre de mesure et de l’insert de polarité 1. Démontez la jauge autant que nécessaire. 2. Vérifiez que tous les travaux sur les surfaces d'étanchéité sont exécutés de façon concentrique. 3. Frottez les parois internes de la chambre de mesure et l’insert de polarité avec le chiffon doux jusqu’à ce qu’ils brillent. 4. Rincez la chambre de mesure et l’insert de polarité avec de l’alcool industriel. 5. Laissez bien sécher les pièces. 6. Remontez la jauge. Nettoyage de l’anode 1. Démontez la jauge autant que nécessaire. 2. Retirez l'ancienne aide d’amorçage avec des pinces. 3. Frottez la broche de l’anode avec un chiffon doux jusqu’à ce qu’elle brille en prenant soin de ne pas plier l'anode. – Ne soumettez pas la céramique à un traitement mécanique. 4. Rincez l’anode avec de l’alcool industriel. 5. Laissez bien sécher l’anode. 6. Remplacez l’aide d'amorçage. 8.4 Assemblage de la jauge DANGER Danger de mort par électrocution En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques. ► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée. ► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. AVIS Éclats électriques liés à l’hélium L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les détruire. ► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité. ► Démontez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité. 32/48 Maintenance Outils nécessaires ● ● ● ● ● ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 1,5 Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3,0 Clé à fourche, WAF 7 Pinces pour circlip Outil de montage pour l’aide d'amorçage Pinces Pièces de rechange requises ● Jeu de réparation BN 846 252 -T Consommables requis ● Azote sec pour le soufflage 1 2 3 Fig. 10: Outil de montage pour l’aide d'amorçage 1 Anode 2 Aide d'amorçage 3 Outil de montage Remplacement de l’aide d'amorçage 1. Insérez la nouvelle aide d'amorçage dans l'outil de montage. 2. Poussez avec précaution l’anode (neuve ou nettoyée) dans l'aide d'amorçage en la centrant et parallèlement à l'axe de l’outil. 3. Insérez l’anode d’env. 15 mm. Vous pouvez trouver les différentes pièces ici : (voir chapitre « Démontage de la jauge », page 30) Assemblage de la jauge 1. Vérifiez que les surfaces d'étanchéité, les joints et l'anode céramique sont propres. 2. Insérez le joint FKM (douille anode) avec l'anneau intérieur au centre de la chambre de mesure. 3. Insérez avec précaution l'anode avec l'aide d'amorçage dans la chambre de mesure. 4. Montez soigneusement la pièce de compression sur la chambre de mesure et serrez les vis à têtes hexagonales et les disques de verrouillage de façon uniforme jusqu'en butée. 5. Poussez doucement la chambre de mesure avec l’anode dans l’outil de montage jusqu’en butée en la centrant parallèlement à l’axe de l’outil. – Ce faisant, vous positionnez l'aide d'amorçage. 6. Tenez la chambre de mesure avec la bride orientée vers le bas et soufflez les particules dans la chambre de mesure avec l'azote sec. 7. Poussez l'embout de polarité à l’intérieur de la chambre de mesure jusqu'à la butée mécanique. 8. Insérez le circlip correctement sur l'insert de polarité. 9. Inspectez visuellement que la broche de l'anode est au centre de l'alésage central de l'embout de polarité. – Excentricité max. admissible = 0,5 mm 10. Si possible, effectuez un test d'étanchéité. – Taux de fuite < 10-9 hPa l/s 11. Montez l'unité magnétique. – Le montage de l'unité magnétique est compliqué par l'effet de la force magnétique et parce que l'unité a tendance à basculer facilement. 12. Fixez la boulon six pans sur l’unité magnétique. 13. Montez avec précaution l’unité électronique. 14. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée. 15. Fixez la vis moletée du côté de l’unité électronique. 33/48 Anomalies 9 Anomalies Garantie Toute anomalie de l’unité résultant directement d’une contamination et de l’usure (comme l’aide d'amorçage) n’est pas couverte par la garantie. Anomalie Cause possible Action corrective Signal de mesure continu < 0,5 V et DEL verte éteinte Pas d’alimentation Mettez en circuit l’alimentation. Signal mesure continu < 0,5 V et DEL verte allumée Tension d'alimentation insuffisante Augmentez la tension d’alimentation. Unité électronique défectueuse Remplacez l’unité électronique. Signal de mesure continu dans la gamme 0,5 à 1,8 V (gamme dépassée vers le bas) Pression dans l’enceinte à vide < 2 × 10-9 hPa - La décharge de gaz n’a pas été amorcée. Attendez l’amorçage de la décharge d’un gaz (≈ 5 minutes à une pression de 10-9 hPa). Signal de mesure instable Jauge contaminé Nettoyez la jauge. Tab. 9: 34/48 Anomalies Expédition 10 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 35/48 Recyclage et mise au rebut 11 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 11.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Mise au rebut des jauges Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 3. Séparez les composants en matériaux recyclables. 4. Recyclez les composants non contaminés. 5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 36/48 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 37/48 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 38/48 Pièces de rechange 13 Pièces de rechange 1 5 2 3 4 Fig. 11: Pièces de rechange 1 Unité électronique 2 Anode, complète 3 Anneau intérieur 4 5 Joint torique (FKM75, 10,82×1,78 mm) Aide d'amorçage Description Référence de commande Kit de maintenance Article 3 (1×), article 4 (1×), article 5 (3×) Non utilisé pour ce jauge : 1× Joint torique (FKM75, 3,69×1,78 mm) BN 846 239 -T Kit de réparation Article 2 (1×), article 3 (1×), article 4 (1×), article 5 (3×) BN 846 252 -T Kit d'aide d'amorçage Article 5 (10×) BN 845 995 -T Outil de montage pour l’aide d'amorçage BG 510 600 Unité électronique IKR 251 Article 1 (1×) PT 120 160 -T Système de mesure, complet (DN 25 ISO-KF) BN 846 462 -T Système de mesure, complet (DN 40 ISO-KF) BN 846 463 -T Système de mesure, complet (DN 40 CF-F) BN 846 464 -T Jauge de rechange (DN 25 ISO-KF) 2) PT R25 500 -A Jauge de rechange (DN 40 ISO-KF) 3) PT R25 501 -A Jauge de rechange (DN 40 CF- F) 4) PT R25 502 -A 2) Retournez la jauge défectueuse à Pfeiffer Vacuum. 3) Retournez la jauge défectueuse à Pfeiffer Vacuum. 4) Retournez la jauge défectueuse à Pfeiffer Vacuum. 39/48 Accessoires 14 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ActiveLine. 14.1 Informations sur les accessoires Câble de mesure Câble de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum Connecteur-bouchon Douille de câble pour la fabrication d’un câble de raccordement spécifique pour l’application Blindage magnétique Pour le blindage de l'aimant permanent, pour la protection des personnes contre le rayonnement magnétique, par exemple 14.2 40/48 Commande d'accessoires Description Numéro de commande Câble de mesure, 3 m PT 448 250 -T Câble de mesure, 6 m PT 448 251 -T Câble de mesure, 10 m PT 448 252 -T Connecteur-bouchon, 6 pôles B4707283MA Blindage magnétique PT 443 155 -X Caractéristiques techniques et dimensions 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 10: 750 -3 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 11: 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 -3 -2 1,27 · 10 1.67 · 10-2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 15.2 Fiche technique Paramètre Valeur Gamme de mesure (air, N2) 2 × 10–9 – 1 × 10-2 hPa Pression maximum (absolue) 10 000 hPa, limitée aux gaz inertes et aux températures < 55 °C Principe de mesure Cathode froide Précision env. ±30 % dans la gamme 1 × 10-8– 1 × 10-3 hPa Répétabilité env. ±5 % dans la gamme 1 × 10-8– 1 × 10-3 hPa Tab. 12: Valeurs de mesure et de pression Paramètre Signal de sortie (signal de mesure) Valeur Gamme de tension environ 0 V – environ +10,5 V Signal d'erreur < 0,5 V (pas d'alimentation) Rapport tension-pression logarithmique, élévation 1 V/ décade Impédance de sortie 2 × 10 Ω Impédance de charge (charge minimum) 10 kΩ, résistant aux courts-circuits Temps de réponse en fonction de la pression p > 10-6 hPa -8 p = 10 hPa Identification de la jauge < 10 ms environ 1 s Résistance 5,1 kΩ contre la terre d'alimentation 41/48 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Tension d’alimentation Valeur Sur la jauge 15,0 – 30,0 V DC sur l’unité d’alimentation à la longueur de câble max. 5) 16,0 – 30,0 V DC Ondulation 1 Vpp max. Tension de fonctionnement (dans la chambre de mesure) ≤ 3,3 kV Courant de service (dans la chambre de mesure) ≤ 500 μA Puissance absorbée ≤2W Fusible (à raccorder en série)6) ≤ 1 AT Raccordement (électrique) Hirschmann GO 6 (6 broches) Câble de mesure 5 broches, blindage inclus Longueur de câble 100 m max. (0,25 mm2/conducteur) 150 m max. (0,34 mm2/conducteur) 500 m max. (1,0 mm2/conducteur) Concept de mise à la terre Tab. 13: (voir chapitre « Raccordement électrique », page 21) Raccord vide et masse signal Raccordement 10 kΩ (tension différentielle max. tenant compte de ± 50 V de sécurité et d'une précision de ± 10 V) Terre d'alimentation et masse signal Raccordés séparément, mesure différentielle recommandée pour les longueurs de câble supérieures (≥ 10 m) Données électriques Paramètre Valeur Volume interne 20 cm3 environ Poids 700 g, ISO-KF 950 g, CF-F Tab. 14: Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +31 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 15: 42/48 Volume interne et poids Conditions ambiantes 5) La tension minimum de l’unité d’alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur de câble. 6) Les unités de commande et de mesure Pfeiffer Vacuum sont conformes à cette exigence. Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Fonctionnement 5 – 55 °C Stockage -40 – +65 °C Étuvage ≤ 150 °C 7) Tab. 16: Températures Paramètre Valeur Bride pour DN 25 : Acier surfin (1.4104) pour DN 40 : Acier surfin (1.4306) Chambre de mesure Acier surfin (1.4104) Douille d'isolation Céramique (Al2O3), verre Joints internes FKM75 Anode Molybdène (Mo) Aide d'amorçage Acier surfin (1.4310) Tab. 17: Dimensions 101.5 28 55 20 ø 63.5 VACUUM Compact Full RangeTM Gauge VACUUM 18.5 28 55 20 VACUUM ø 63.5 18 DN 40 CF-F DN 40 ISO-KF 101 DN 25 ISO-KF 15.3 Substances en contact avec le fluide Compact Full RangeTM Gauge VACUUM 24 107 Fig. 12: Dimensions Dimensions en mm 7) Sans unité électronique et blindage magnétique 43/48 ETL LISTED The product IKR 251 - conforms to the UL standard UL 61010-1. 3103457 - is certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1. Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge à cathode froide IKR 251 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61000-6-2:2019 DIN EN IEC 61000-6-3:2022 DIN EN 61010-1:2020 DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-01-17 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge à cathode froide IKR 251 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN IEC 61000-6-2:2019 EN IEC 61000-6-3:2021 EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-01-17 47/48 *BG5151* ed. E - Date 2307 - P/N:BG5151BFR ">
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