MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original QMG 700 HIQUAD® Système de spectromètre de masse quadripole Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau système de spectromètre de masse est conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. Le nom Pfeiffer Vacuum représente une technique du vide de haute qualité, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/72 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque de commerce 8 8 8 8 8 9 9 9 9 9 10 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Utilisation conforme 2.5 Utilisations non conformes prévisibles 2.6 Responsabilité et garantie 2.7 Conditions propriétaire 2.8 Qualification personnelle 2.8.1 Garantir la qualification du personnel 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.9 Conditions opérateur 11 11 11 14 14 15 15 15 15 15 16 16 16 3 Description du produit 3.1 Réalisation du système 3.2 Appareil de commande QMS 700 3.2.1 Châssis système SC 700 3.2.2 Carte contrôleur quadripole QC 700 3.2.3 Alimentation source d’ions IS 716 3.2.4 Alimentation haute tension HT 701 3.2.5 Alimentation haute tension HT 702 3.2.6 Module entrée/sortie IO 700 3.2.7 Module entrée/sortie IO 720 3.3 Générateur HF QMH-40x 3.4 Analyseur QMA 4x0 3.5 Pré-amplificateur électromètre EP 422 3.6 Contre pré-amplificateur ions CP 400 3.7 Raccordements 3.7.1 Connexion I/O ANALOGIQUE, à 15 broches 3.7.2 Connexion I/O NUMÉRIQUE, à 25 broches 3.7.3 Raccordement pour la mesure TP 3.7.4 Connexions sur QC 700 3.7.5 Connexions sur IS 716 3.7.6 Connexions sur HT 701 3.7.7 Connexions sur HT 702 3.7.8 Connexions sur IO 700 3.7.9 Connexions sur IO 720 3.7.10Connexions sur EP 422 3.7.11Connexions sur CP 400 3.8 Câblage du système 3.8.1 Câblage de base pour le type de service Faraday 3.8.2 Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701 3.8.3 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701 17 17 18 19 19 19 20 20 20 20 21 21 21 22 23 23 24 25 26 28 31 31 32 34 34 34 34 35 36 37 3/72 Table des matières 4/72 3.8.4 Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702 3.8.5 Câblage pour type de service CD avec HT 702 3.8.6 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702 3.9 Identification du produit 3.10 Étendue de la livraison 38 39 40 40 40 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 41 41 41 5 Installation 5.1 Installation de tout le système QMG 700 5.2 Installation du châssis système 5.2.1 Installation du châssis système en tant que tiroir 19’’ 5.2.2 Installation du châssis système en tant qu’unité de bureau 5.3 Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis système 5.4 Connexions sur le QC 700 5.5 Installation du pré-amplificateur électromètre EP 422 sur l’analyseur 5.6 Montage du contre pré-amplificateur ions CP 400 5.7 Installation du générateur HF QMH 40x 5.8 Installation de l’analyseur QMA 4x0 5.9 Raccordement de l’IO 700 5.10 Raccordement de l’IO 720 42 43 43 44 44 45 6 Mise en service 48 7 Fonctionnement 49 8 Mise hors service 50 9 Maintenance 9.1 Nettoyage de l’appareil de commande et du châssis système 9.2 Nettoyage de l’élément filtrant 9.3 Changement de l’élément filtrant 9.4 Changement du fusible secteur 51 51 52 52 53 10 Anomalies 54 11 Expédition 55 12 Recyclage et mise au rebut 12.1 Informations générales sur la mise au rebut 12.2 Élimination du système du spectromètre de masse 56 56 56 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 57 14 Informations de commande 14.1 Commande de pièces 14.2 Pièces de rechange et accessoires 14.3 Câbles et prises court-circuit 14.4 Composants du système 59 59 59 60 60 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Appareil de commande QMS 700 15.1.1Châssis système SC 700 15.1.2Contrôleur quadripole QC 700 15.1.3Alimentation source d’ions IS 716 15.1.4Alimentation haute tension HT 701 15.1.5Alimentation haute tension HT 702 15.1.6Module entrée/sortie IO 700 15.1.7Module entrée/sortie IO 720 61 61 61 62 63 64 64 65 66 45 46 47 47 47 47 47 Table des matières 15.2 15.3 15.4 15.5 Générateur HF QMH-40x Analyseur QMA 4x0 Pré-amplificateur électromètre EP 422 Contre pré-amplificateur ions CP 400 66 67 67 68 Déclaration de conformité CE 69 Déclaration de Conformité UK 70 5/72 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Tab. 23: Tab. 24: Tab. 25: Tab. 26: Tab. 27: Tab. 28: Tab. 29: Tab. 30: Tab. 31: Tab. 32: Tab. 33: Tab. 34: Tab. 35: Tab. 36: Tab. 37: Tab. 38: Tab. 39: Tab. 40: Tab. 41: Tab. 42: Tab. 43: Tab. 44: Tab. 45: Tab. 46: 6/72 Documents applicables Abréviations utilisées Affectation des broches CTRL Code de gamme du détecteur Affectation des broches I/O AUX Électrodes Modes de fonctionnement du HT 702 Câblage de base pour le type de service Faraday Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701 Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702, type de service 0 Câblage pour type de service CD avec HT 702, type de service 1 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702, modes de fonctionnement 2 et 3 État de la connexion Ethernet Anomalies Pièces de rechange et accessoires pour QMS 700 Pièces de rechange pour QMA 4x0 Composants du système Limites d’utilisation du QMS 700 Fiche technique, SC 700 Fiche technique, QC 700 Modes de fonctionnement et paramètres QC 700 Modes de fonctionnement débit-masse QC 700 Résolution échelle de masse QC 700 Vitesses de mesure QC 700 Types de détecteur QC 700 Gammes et résolution de mesure QC 700 Filtre analogique QC 700 Filtre numérique QC 700 Fiche technique, IS 716 Alimentation filament IS 716 Émission IS 716 Fiche technique, HT 701 Partie haute tension, HT 701 Fiche technique, HT 702 Partie haute tension, HT 702 Fiche technique, IO 700 Alimentation du système externe, IO 700 Sorties numériques IO 700 Entrées numériques IO 700 Sorties analogiques IO 700 Entrées analogiques IO 700 Types QMH et QMA Fiche technique, EP 422 Données amplificateur EP 422 Décalage EP 422 8 10 27 27 28 30 32 35 36 37 38 39 40 46 54 59 59 60 61 61 62 62 62 62 62 63 63 63 63 64 64 64 64 64 65 65 65 65 66 66 66 66 67 67 67 68 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: Fig. 16: Fig. 17: Fig. 18: Fig. 19: Fig. 20: Fig. 21: Fig. 22: Fig. 23: Fig. 24: Fig. 25: Fig. 26: Fig. 27: Fig. 28: Fig. 29: Fig. 30: Fig. 31: Fig. 32: Fig. 33: Fig. 34: Fig. 35: Fig. 36: Fig. 37: Fig. 38: Fig. 39: Fig. 40: Fig. 41: Fig. 42: Fig. 43: Fig. 44: Fig. 45: Fig. 46: Fig. 47: Fig. 48: Fig. 49: Fig. 50: Fig. 51: Fig. 52: Fig. 53: Fig. 54: Exemple de configuration du QMG 700 Appareil de commande QMS 700 Châssis système SC 700 Faces avant et arrière du SC 700 Carte contrôleur quadripole QC 700 Alimentation source d’ions IS 716 Alimentation haute tension HT 701 Alimentation haute tension HT 702 Module entrée/sortie IO 700 Module entrée/sortie IO 720 Générateur HF QMH-40x Analyseur QMA 4x0 Pré-amplificateur électromètre EP 422 Contre pré-amplificateur ions CP 400 Schéma de raccordement I/O ANALOGIQUE Affectation des broches I/O ANALOG Schéma de raccordement des entrées numériques Schéma de raccordement des sorties numériques Affectation des broches I/O NUMÉRIQUE Affectation des broches pour la mesure TP Connexions sur QC 700 Affectation des broches CP Affectation des broches CTRL Affectation des broches LAN Connexions sur IS 716 Affectation des broches I/O AUX Affectation des broches QMA Potentiels ions sur IONREF pos. max. (+150 V), polarité positive Potentiels ions sur IONREF nég. max. (-150 V), polarité négative Connexions sur HT 701 Connexions sur HT 702 Connexions sur IO 700 Schéma de bloc du IO 700 Vue de l’IO 700 du dessus avec interrupteur de programmation pour l’adresse de nœud Connexions sur EP 422 Câblage de base pour le type de service Faraday Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701 Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702 Câblage pour type de service CD avec HT 702 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702 Insérer les pieds plastique dans les alésages Enfoncer les goupilles de serrage Positions standard des modules enfichables dans le châssis Connexion au PC avec câble de raccordement croisé (rouge) Connexion au réseau avec câble de raccordement non-croisé (gris) Connexion « Ethernet » (LAN) Manchon de câble EMC avec séquence de pièces individuelles convenant pour l’assemblage La symbole vert dans Quadera passe au rouge Changement de l’élément filtrant Vue du panneau arrière du SC 700 Dimensions SC 700 Constante de temps de filtrage QC 700 Dimensions EP 422 18 18 19 19 19 20 20 20 20 21 21 21 22 22 23 23 24 24 25 25 26 26 26 28 28 28 29 29 30 31 31 32 33 34 34 35 36 37 38 39 40 44 44 45 46 46 46 47 50 52 53 61 63 67 7/72 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Manuel de l’utilisateur « Contre pré-amplificateur ions » CP 400 BG 5812 Manuel de l’utilisateur « Module entrée/sortie » IO 720 BG 5402 Manuel de l’utilisateur « Analyseur » QMA 4x0 BG 5983 Manuel de l’utilisateur « Générateur haute fréquence » QMH 40x BG 5982 Instructions de communication « Spectromètre de masse quadripole » QMG 700 BG 5401 Documentation du logiciel QUADERA Partie du logiciel Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation PT Q11 xxx xxx QMG 700 HiQuad PT Q12 xxx xxx PT Q14 xxx xxx PT Q15 xxx xxx Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d’apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● 8/72 du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. A propos de ce manuel Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique Exemple d’appareil de commande QMS 700 : Les plaques signalétiques des composants du système HiQuad se trouvent sur les composants respectifs. SC 700 D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Input 1.3.4 QMS 700 PT M27 580 Made in United States 2022/07 xxxxxxxxx 100 ... 240 V AC 500 W Abréviations Abréviation Explication AI Entrée analogique AO Sortie analogique AUX Auxiliaire CD Dynode de transformation (type de service) CP Contre pré-amplificateur CTRL Contrôle 9/72 A propos de ce manuel Abréviation Explication DI Entrée numérique DIP Double paquet en ligne DO Sortie numérique ECL Logique couplée émetteur ELM Sortie filtre LPF ESD Décharge électrostatique EP Pré-amplificateur électromètre EXT Externe FA Axe de terrain FB Bus de terrain FIR Réponse à impulsion finie FS Échelle max. GND Masse HF Haute fréquence HT Haute tension IO, I/O Entrée/sortie IS Alimentation en ions MID Détection ions multiple MSL Niveau moyen de la mer PZ Pozidriv QC Contrôleur quadripole QMA Analyseur de spectromètre de masse quadripole QMH Générateur haute fréquence spectromètre de masse quadripole QMS Appareil de commande spectromètre de masse quadripole SC Châssis système SEM Multiplicateur d’électrons secondaire SEV Multiplicateur d’électrons secondaire HP Inclinaison horizontale TTL Logique transistor-transistor USB Bus universel en série Tab. 2: 1.4 Abréviations utilisées Justificatif de marque de commerce ● HiQuad® est une marque de commerce déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH. ● QUADERA® est une marque de commerce déposée de Inficon GmbH. ● WAGO® est une marque de commerce déposée de WAGO Kontakttechnik GmbH & Co. KG. 10/72 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. 11/72 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel. ► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge. ► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion correcte à la terre protectrice. ► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le système de vide est ouvert. ► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés. ► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système (par exemple, en utilisant un contact de porte). DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc électrique potentiellement mortel. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur. ► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique. ► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010 et CEI 60950. ► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre). ► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre. ► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres. Risques pendant le fonctionnement DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 12/72 Sécurité Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique un danger de mort. ► Toute intervention sur l’appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l’appareil et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Après l’arrêt de l’appareil, attendez environ 60 secondes puis débranchez tous les câbles (en terminant par le câble électrique). ► N’ouvrez jamais l’appareil lorsqu’il est branché à une source d’alimentation électrique. ► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un appareil défectueux. ► Protégez l’appareil contre l’humidité. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. 13/72 Sécurité Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Utilisation conforme Le système de spectromètre de masse quadripole QMG 700 HiQuad est utilisé pour l’analyse de gaz dans la gamme de vide élevé. ► L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. ► Se conformer aux limites d’utilisation. ► Observer la fiche technique. 14/72 Sécurité 2.5 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● ● ● ● ● ● 2.6 Utilisation en dehors des limites prescrites dans la fiche technique Utilisation pour des mesures déterminant la sécurité de personnes ou de grandes valeurs Utilisation avec des substances corrosives ou explosives Utilisation en extérieur Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 2.7 Conditions propriétaire Travailler en toute sécurité 1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique. 2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers qu'il implique. 3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies : – Utilisation conforme – Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents – Normes et directives applicables au niveau local, national et international – Directives et régulations supplémentaires relatives au produit 4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum. 5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit. 6. Garantir la qualification du personnel. 2.8 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.8.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécani- 15/72 Sécurité que, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 2.9 Conditions opérateur Analyse des documents et données concernés 1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements. 2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. 3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents. 4. Se conformer aux limites d’utilisation. 5. Observer la fiche technique. 6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum. 16/72 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Réalisation du système Le QMG 700 comprend les composants suivants : ● ● ● ● Appareil de commande QMS 700 avec 4 pieds plastique 1) Générateur HF QMH-40x Analyseur QMA 4x0 Pré-amplificateur électromètre EP 422 ou contre pré-amplificateur ions CP 400 (selon les configurations) Décompte des ions ► Pour le décompte des ions, utilisez le contre CP 400 au lieu du pré-amplificateur électromètre EP 422. Le schéma de bloc suivant montre la réalisation du système basique QMG 700 et les désignations des modules individuels. De nombreuses configurations sont possibles en fonction de l’application. 1) pour utilisation en tant qu’unité de bureau 17/72 Description du produit QMA 4x0 2 1 7 3 5 4 8 6 9 10 11 12 Ion Supply 13 15 14 QMS 700 16 19 DI AI DO AO 20 18 Fig. 1: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 3.2 17 Exemple de configuration du QMG 700 Analyseur QMA 4x0 Source d’ions Filtre quadripolaire Unité de déviation 90° Collecteur Faraday SEV Pré-amplificateur électromètre EP 422 (2) Pré-amplificateur électromètre EP 422 (1) Contre pré-amplificateur ions CP 400 Générateur HF QMH-40x 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 Appareil de commande QMS 700 Carte contrôleur quadripole QC 700 Alimentation source d’ions IS 716 Alimentation haute tension HT 70x Module entrée/sortie IO 700 ou IO 720 Unité de courant Alimentation (AC) Entrées et sorties numériques et analogiques Connexion au PC (Ethernet) PC Appareil de commande QMS 700 L’appareil de commande QMS 700 comprend le châssis système SC 700 et la carte contrôleur quadripole QC 700. Les modules enfichables sont montés dans le châssis système, selon la configuration. Le QMS 700 n’a pas d’éléments de contrôle manuel propres. Fig. 2: 18/72 Appareil de commande QMS 700 Description du produit 3.2.1 Châssis système SC 700 Le châssis système SC 700 contient l’unité de courant, le bus système interne et la ventilation de l’unité. Il fournit les bornes femelles des modules QC 700, IS 716, HT 701, HT 702, IO 700 et IO 720. Fig. 3: Châssis système SC 700 6 1 5 2 4 3 Fig. 4: Faces avant et arrière du SC 700 1 Capot de ventilateur 2 Connecteur de réseau unité 3 Porte-fusibles 3.2.2 4 5 6 Bornes femelles du module Interrupteur secteur « Puissance » DEL « DC » Carte contrôleur quadripole QC 700 La carte contrôleur quadripole QC 700 contient : ● ● ● ● Contrôleur système QMG 700 et les interfaces LAN/USB de raccordement au PC Contrôle de l’étage HF Traitement du signal de mesure Interface CP 400 Fig. 5: 3.2.3 Carte contrôleur quadripole QC 700 Alimentation source d’ions IS 716 L’alimentation source d’ions IS 716 fournit à la source d’ions la tension de fonctionnement requise et a les propriétés suivantes : ● ● ● ● Potentiels programmables, résistants aux courts-circuits Polarité réversible pour ions négatifs et positifs Fonctionnement normal/fonctionnement dégazage Appropriée pour tous les types de source d’ions de l’analyseur QMA 4x0 19/72 Description du produit Fig. 6: 3.2.4 Alimentation source d’ions IS 716 Alimentation haute tension HT 701 L’alimentation haute tension HT 701 alimente le SEM 217 de l’analyseur QMA 4x0 avec une haute tension requise pour la détection des ions positifs. Fig. 7: 3.2.5 Alimentation haute tension HT 701 Alimentation haute tension HT 702 L’alimentation haute tension HT 702 alimente ● SEM 217 de l’analyseur QMA 4x0 avec la haute tension requise pour la détection des ions négatifs et positifs (élevés). ● SEM 218 de l’analyseur QMA 4x0 avec la haute tension requise pour la détection des ions positifs. Fig. 8: 3.2.6 Alimentation haute tension HT 702 Module entrée/sortie IO 700 Le module I/O IO 700 fournit des entrées et des sorties numériques et analogiques programmables. Fig. 9: 3.2.7 Module entrée/sortie IO 700 Module entrée/sortie IO 720 Le module I/O IO 720 fournit des entrées et des sorties numériques et analogiques programmables et une option de raccordement pour un émetteur de pression totale ActiveLine. 20/72 Description du produit Fig. 10: 3.3 Module entrée/sortie IO 720 Générateur HF QMH-40x Le générateur HF QMH-40x génère une tension à haute fréquence requise pour la séparation des masses. Le QMH 40x se rapporte toujours à tous les types, sauf spécification contraire. Fig. 11: 3.4 Générateur HF QMH-40x Analyseur QMA 4x0 L’analyseur QMA 4x0 est constitué d’une source d’ions, d’un filtre quadripolaire, d’un collecteur d’ions et d’un boîtier. Le QMA 4x0 se rapporte toujours à tous les types, sauf spécification contraire. Les quatre types de collecteur d’ions sont les suivants : ● Collecteur Faraday ● SEM 217, SEM 218 (les deux avec un décalage axial à 90° avec collecteur Faraday intégré) Fig. 12: 3.5 Analyseur QMA 4x0 Pré-amplificateur électromètre EP 422 Le pré-amplificateur électromètre EP 422 amplifie le courant d’ions très faible ou les signaux de courant d’électrons de l’analyseur QMA 4x0 à des niveaux de tension appropriés pour un traitement ultérieur. Le pré-amplificateur électromètre EP 422 est monté directement sur l’analyseur QMA 4x0 pour minimiser les interférences liées à l’application. 21/72 Description du produit Commutation du fonctionnement Faraday au fonctionnement SEM Avec les analyseurs QMA 4x0 avec SEM à décalage axial de 90°, 2 pré-amplificateurs électromètres EP 422 peuvent être raccordés. Ceci permet une commutation aisée entre le fonctionnement Faraday et le fonctionnement SEM. Propriétés du pré-amplificateur électromètre EP 422 : ● ● ● ● Compact Sensibilité minimum aux vibrations, faible bruit, faible divergence Montage simple sur l’analyseur QMA 4x0 Réponse rapide et restauration en cas de surmodulation Fig. 13: 3.6 Pré-amplificateur électromètre EP 422 Contre pré-amplificateur ions CP 400 Le contre pré-amplificateur ions CP 400 contient un découplage d’impulsion, un amplificateur et un discriminateur de hauteur d’impulsion à seuil réglable. Il est monté directement sur l’analyseur QMA 4x0 avec un décalage axial de 90° du SEM. Fig. 14: 22/72 Contre pré-amplificateur ions CP 400 Description du produit 3.7 Raccordements 3.7.1 Connexion I/O ANALOGIQUE, à 15 broches IO 720 Channel 1 1 nF – 1 + 9 1 nF – Channel 2 2 + 10 – Channel 3 3 + 11 – Channel 4 4 + 12 – Channel 5 5 + 13 Analog Inputs Channel 1 22 Ω 22 Ω 6 10 nF Channel 2 7 Channel 3 14 Channel 4 15 Analog Outputs 10 Ω AGND 8 Screen ChGND Fig. 15: Fig. 16: 1 2 3 4 5 6 7 8 1 → 15 → 8 Schéma de raccordement I/O ANALOGIQUE 9 Affectation des broches I/O ANALOG Entrée analogique, canal 1 (-) Entrée analogique, canal 2 (-) Entrée analogique, canal 3 (-) Entrée analogique, canal 4 (-) Entrée analogique, canal 5 (-) Sortie analogique, canal 1 Sortie analogique, canal 2 Masse de référence des sorties analogiques 9 10 11 12 13 14 15 Entrée analogique, canal 1 (+) Entrée analogique, canal 2 (+) Entrée analogique, canal 3 (+) Entrée analogique, canal 4 (+) Entrée analogique, canal 5 (+) Sortie analogique, canal 3 Sortie analogique, canal 4 23/72 Description du produit 3.7.2 Connexion I/O NUMÉRIQUE, à 25 broches IO 720 1K2 24 +24 V Channel 1 1) 11 2) Channel 2 12 Channel 3 13 Channel 4 25 + 100 Ω – 23 Screen GND Fig. 17: ChGND Schéma de raccordement des entrées numériques 10 Optocoupler isolated Optocoupler isolated IO 720 Channel11 Channel 1 Channel22 Channel 2 Channel33 Channel 3 Channel44 Channel 4 Channel55 Channel 5 Channel Channel66 6 Channel77 Channel 7 Channel88 Channel 8 RL + - 3) 22 Channel99 Channel 14 Channel1010 Channel 15 Channel1111 Channel 16 Channel12 Channel 12 17 Channel1313 Channel 18 Channel Channel1414 19 Channel1515 Channel 20 Channel16 16 Channel 21 9 Screen Screen ChGND Fig. 18: 24/72 Schéma de raccordement des sorties numériques + DO_V – Description du produit 1 → 13 14 → 25 Fig. 19: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 3.7.3 Affectation des broches I/O NUMÉRIQUE Sortie numérique, canal 1 2) Sortie numérique, canal 2 Sortie numérique, canal 3 Sortie numérique, canal 4 Sortie numérique, canal 5 Sortie numérique, canal 6 Sortie numérique, canal 7 Sortie numérique, canal 8 Masse des sorties numériques 1 à 16 (DO_0V) 14 15 16 17 18 19 20 21 22 10 Alimentation électrique des sorties numériques 1 à 8 (DO_V+, externe) 11 Entrée numérique, canal 1 3)4) 12 Entrée numérique, canal 2 13 Entrée numérique, canal 3 23 24 25 Sortie numérique, canal 9 Sortie numérique, canal 10 Sortie numérique, canal 11 Sortie numérique, canal 12 Sortie numérique, canal 13 Sortie numérique, canal 14 Sortie numérique, canal 15 Sortie numérique, canal 16 Alimentation électrique des sorties numériques 9 à 16 (DO_V+, externe) Masse de référence des entrées numériques (0 V) +24 V pour sortie numérique Entrée numérique, canal 4 Raccordement pour la mesure TP Changement d’émetteur Quand il est activé, le module I/O IO 720 détecte automatiquement le type d’émetteur. ● Après le remplacement d’un émetteur, désactivez le connecteur de l’appareil de commande QMS 700 pendant 10 secondes, puis réactivez-le. ─ Le module I/O IO 720 détecte ainsi le nouveau type d’émetteur. 3 2 4 6 1 Fig. 20: 5 Affectation des broches pour la mesure TP 1 Identification 2 Masse (GND) 3 Entrée de signal (signal de mesure 0 – +10 V DC) 2) 4 5 6 Masse analogique (signal de mesure -) Blindage Alimentation électrique (+24 V DC) La charge RL peut être un relais, une électrovanne ou un témoin lumineux. 3) Commande de l’entrée avec contact sans potentiel 4) Commande de l’entrée avec tension externe (sortie PLC, par exemple) 25/72 Description du produit 3.7.4 Connexions sur QC 700 5 4 3 2 1 Fig. 21: Connexions sur QC 700 1 Prise USB, type B 2 Connexion CTRL (HD-D-Sub, 26 broches) 3 Connexion LAN (prise RJ-45, 8 broches) Fig. 22: 1 2 3 4 5 1 → 15 → 8 9 Connexion CP (D-Sub, 15 broches, douilles) Connexion QMH (D-Sub, 25 broches, douilles) Affectation des broches CP QMA GND (masse) Identification (6,8 kΩ sur GND) SORTIE - (sortie ECL) SORTIE + (sortie ECL) V+ (alimentation) 9 6 7 8 9–15 NIVEAU - (tension seuil) NIVEAU + (tension seuil) V- (alimentation) non attribué 1 18 10 26 26/72 4 5 19 Fig. 23: Affectation des broches CTRL Broche Mot de signalisation Type de signal Description 1 GND GND supérieur à 100 Ω sur GND 10 GND GND 26 GND GND 2 RUN IN Entrée TTL Entrée de démarrage de cycle de mesure externe, faible correction, pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V 14 SYNC IN Entrée TTL Réservé aux applications futures, faible correction, pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V 15 IN 0 Entrée TTL Pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V (utilisable seulement si le cavalier J2 est enfiché) 3 IN 1 Entrée TTL Pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V (utilisable seulement si le cavalier J4 est enfiché) 16 IN 2 Entrée TTL Pull-up interne 5,6 kΩ sur +5 V 23 OUT 0 Sortie TTL Description du produit Broche Mot de signalisation Type de signal Description 11 OUT 1 Sortie TTL 25 SYNC OUT+ Sortie TTL Le bord positif marque le démarrage de la mesure, déclencher pour l’oscilloscope 13 SYNC OUT- GND Signal de référence SYNC OUT+, supérieur à 200 Ω sur GND 4 EXT IN 1+ Entrée analogique Connexion du signal de mesure externe, différentiel, max. ±10 V, avec filtre LPF/amplificateur 17 EXT IN 1- Entrée analogique 5 EXT IN 2+ Entrée analogique 18 EXT IN 2- Entrée analogique 6 ELM OUT+ Sortie analogique Sortie filtre LPF/amplificateur, ±10 V, max 0.1 mA, supérieur à 200 Ω 19 ELM OUT- GND Signal de référence ELM OUT+, supérieur à 200 Ω sur GND 7 AO MON 0+ Sortie analogique Sortie librement applicable 5), ±10 V, 12 bit, max. 0,1mA, supérieur à 200 Ω 20 AO MON 0- GND Signal de référence AO MON 0+, supérieur à 200 Ω sur GND 8 AO MON 1+ Sortie analogique Sortie librement applicable 6), ±10 V, 12 bit, max. 0,1mA, supérieur à 200 Ω 21 AO MON 1- GND Signal de référence AO MON 1+ supérieur à 200 Ω sur GND 9 SCO+ Sortie analogique Sortie numéro de masse, 0 à +10 V, 16 bit, max. 0,1 mA, supérieur à 200 Ω 22 SCO- GND Signal de référence SCO+, supérieur à 200 Ω sur GND 12 EP OUT+ Sortie analogique Signal électromètre, max. 0,1 mA, supérieur à 200 Ω 24 EP OUT- GND Signal de référence EP OUT+, supérieur à 200 Ω sur GND Tab. 3: Affectation des broches CTRL Connexion du signal de mesure externe, différentiel, max. ±10 V, en option avec ou sans filtre LPF/amplificateur Gamme du détecteur (A) Tension de sortie (V) -5 8 -6 7 1 x 10 -7 6 1 x 10-8 5 1 x 10 -9 4 1 x 10-10 3 -11 2 -12 1 1 x 10 1 x 10 1 x 10 1 x 10 Dans le type de service avec compteur d’ions, la tension de sortie est de 0 V. Tab. 4: Code de gamme du détecteur Configurations possibles du signal d’intensité : ● Linéaire (±10 V / décade) ● Logarithmique (±10 V FS, 1–10 décades) 5) En mode écran de contrôle, réservée au code de gamme du détecteur 6) En mode écran de contrôle, réservée au signal d’intensité 27/72 Description du produit RJ-45 1 8 green yellow Fig. 24: Affectation des broches LAN 1 Données de transmission (TD+) 2 Données de transmission (TD-) 3 Données de réception (RD+) 3.7.5 4, 5, 7, 8 6 Non utilisé Données de réception (RD-) Connexions sur IS 716 2 1 Fig. 25: Connexions sur IS 716 1 Connexion I/O AUX pour protection filament 28/72 5 1 9 6 2 Connexion de l’analyseur QMA Fig. 26: Affectation des broches I/O AUX Broche Mot de signalisation Type de signal Description 1 EXT PROT Entrée numérique 24 V Entrée de protection filament Gardez la broche avec la protection externe activée à l’aide du contact sans potentiel sur GND, (résistante interne à déclenchement 5,6 kΩ sur +24 V), sinon l’émission sera désactivée. 2 GND GND 3 DI RES 1 Entrée TTL 4 DI RES 3 Entrée TTL 5 DO RES 1 Sortie TTL 6 DO RES 2 Sortie TTL 7 DO RES 3 Sortie TTL 8 DO RES 4 Sortie TTL 9 n.c. - Tab. 5: Affectation des broches I/O AUX Réservée à des applications futures. Description du produit 9 10 16 11 8 7 15 12 6 1 14 13 5 2 3 Fig. 27: 1 2 3 4 5 6 7 8 4 Affectation des broches QMA QMA GND SPEC SRC RET 7) V6, déviation interne V3, mise au point V9, Wehnelt V5, évacuation Filament + Filament - / cathode 9 10 11 12 13 14 15 16 Filament commun V4, axe de terrain V0, Ref GND Écran V8, réserve V1, Ion Ref SPEC SRC ON 8) V7, déviation externe Connexion QMA (potentiels) Activation du QMS 700 seulement avec le câble QMA Activez seulement le QMS 700 avec le câble QMA correctement connecté. Source de tension externe Vous devez limiter la source de tension externe pour V0 de façon fiable à ≤2 mA. Fig. 28: V6 V7 V8 -450V.........................................................0..................+300V -450V.........................................................0..................+300V -450V.........................................................0..................+300V V9 V5 -450V.........................................................0..................+300V QMA-GND V2 V4 -150V.............0...+60V V0 -60V.......0 -125V.........0 0.............+150 V1 V3 -150V.............0...+60V ● V1 se rapportant à V0 ● V2 à V8 se rapportant à V1 ● V9 se rapportant à V2 IONREF (V1) Potentiels ions sur IONREF pos. max. (+150 V), polarité positive 7) Signal de référence pour SPEC SRC ON 8) +24 V si activé, max. 200 mA 29/72 V7 V8 -300V....................0........................................................+450V -300V....................0........................................................+450V -60V....0............+150V V6 -300V....................0........................................................+450V V2 V5 -300V....................0........................................................+450V V4 -60V....0............+150V V1 V3 -60V.......0 QMA-GND -125V.........0 V0 -150..............0 Description du produit IONREF (V1) V9 Fig. 29: Désignation des électrodes Domaine, gamme V0 10) Courant nominal Résolution Décalage Erreur de gain Potentiel de dégazage 9) V1 IONREF -150 – +150 V ±2,5 mA 20 mV ±120 mV 1,6 % +550 V V2 CATH 0 – -125 V -10 mA 10 mV ±60 mV 1,6 % +7 V V3 MISE AU POINT ±3 mA 20 mV ±120 mV 1,6 % 0V V4 AXE F ±3 mA 20 mV ±120 mV 1,6 % 0V V5 EXTRACTION ±100 μA 58,82 mV ±240 mV 1,6 % 0V V6 DEF-I 11) ±100 μA 58,82 mV ±240 mV 1,6 % 0V V7 DEF-O 12) ±100 μA 58,82 mV ±240 mV 1,6 % 0V V8 RES ±100 μA 58,82 mV ±240 mV 1,6 % 0V V9 WEHNELT -500 μA 3,92 mV ±30 mV 1,6 % 0V Tab. 6: 30/72 Potentiels ions sur IONREF nég. max. (-150 V), polarité négative 0 – -60 V Électrodes 9) Se rapportant à V0 10) Normalement, V0 dans l’analyseur est raccordé à QMA GND (GND système). Pour des applications spéciales, vous pouvez régler V0 sur max ±200 V sur QMA GND. 11) Dans le type de service Faraday, V6 et V7 sont raccordés sur QMA GND. 12) Dans le type de service Faraday, V6 et V7 sont raccordés sur QMA GND. Description du produit 3.7.6 Connexions sur HT 701 1 Fig. 30: Connexions sur HT 701 1 Connexion haute tension HT- 3.7.7 Connexions sur HT 702 La fonction et la configuration du HT 702 dépendent du type de service. 3 2 1 Fig. 31: Connexions sur HT 702 1 Connexion de dynode de transformation CD 2 Connexion haute tension HT- 3 Connexion haute tension HT+ 31/72 Description du produit Type de service Description Connexion HT 702 0 SEM HT+ : Prise court-circuit enfichée (connexion HT+ raccordée électriquement à GND QMA) HT- : -> SEM CD : non utilisé 1 SEM + CD HT+ : Prise court-circuit enfichée (connexion HT+ raccordée électriquement à GND QMA) HT- : -> SEM CD : -> CD Schéma basique HV 702 HV+ + U SEM _ HV HV 702 _ QMA, HV_ HV+ + U SEM _ HV _ QMA, HV _ CD QMA, CD _ UCD + 2 SEM élevé positivement Détection des ions négatifs HT+ : -> SEM HT+ HT- : -> SEM HT- (tension haut niveau positive) CD : non utilisé HV 702 HV+ UBIAS 3 SEM élevé négativement Détection des ions positifs HT+ : -> SEM HT+ HT- : -> SEM HT- (tension haut niveau négative) CD : non utilisé _ HV+ USEM Modes de fonctionnement du HT 702 Connexions sur IO 700 IO 700 contient des modules entrées/sorties numériques et analogiques. 2 1 Fig. 32: Connexions sur IO 700 1 Manchons de câble 32/72 2 Module WAGO® CP, HV_ HV 702 UBIAS 3.7.8 _ HV + _ CP, HV+ + _ _ Tab. 7: CP, HV+ + USEM + _ HV CP, HV_ +24 V 0V X2 16a Internal QMS 700 BUS 16c green 0.25 mm2 TWISTED blue 0.5 mm2 red 0.5 mm 2 24 V 0V TWISTED CAN GND black 0.25 mm 2 CAN_L (SHIELD) 1c 1a X1 6a 5c 5a - - EXT +24V 10 nF ISOLATION 10 nF X3 EXT 0 V 8 10 nF CHASSIS EXT +24 V 10 nF CHASSIS X4 1 5 2 6 3 7 4 8 GND ISOLATION CONNECTION BOARD R_LOAD >5 K 1 2 5 6 3 4 7 8 I/O Module IO 700 CHASSIS 1 5 2 6 3 7 4 typ 2.8 mA ISOLATION max 0.5 A CHASSIS +24 V 0V EXT 0V EXTERNAL 24 V POWER SUPPLY +24 V 0 V max 10 A + + ISOLATION 750 SYSTEM BUS DO 1 DO 2 DO 3 DO 4 DO 5 DO 6 DO 7 DO 8 yellow 0.25 mm 2 AO 1 CAN_H AO 4 6c DI 1 DI 2 DI 3 DI 4 DI 5 DI 6 DI 7 DI 8 AO 2 AO 1 ANALOG OUT 4 CH 750-559 AO 2 CANopen COUPLER 750-337 GND ISOLATION AI 2 AI 1 ANALOG IN 4 CH 750-459 AI 4 + - V IN R_IN 100 K END MODULE 750-600 USER WIRING FACTORY WIRING 1 2 5 6 3 4 7 8 AI 1 CONNECTION BOARD AO 3 DI 4 DI 3 DI 2 DI 1 DIGITAL IN 8 BIT 750-430 AI 2 Fig. 33: AI 3 DO 4 DO 3 DO 2 DO 1 DIGITAL OUT 8 BIT 750-530 Description du produit Schéma de bloc du IO 700 Adressage d’un module I/O ► Définir une adresse de nœud du module sur un interrupteur DIP. 33/72 Description du produit IO 700 ON OFF 8 1 Fig. 34: Vue de l’IO 700 du dessus avec interrupteur de programmation pour l’adresse de nœud Adresses de nœuds ● Premier module IO 700 : ─ 14Hex, (20Dec), interrupteurs 3 et 5 réglés sur ON 3.7.9 Connexions sur IO 720 IO 700 contient des modules entrées/sorties numériques et analogiques. Vous trouverez des informations sur les connexions dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le IO 720. 3.7.10 Connexions sur EP 422 1 2 Fig. 35: Connexions sur EP 422 1 Connexion de l’analyseur QMA 3.7.11 2 Câble de raccordement au générateur HF QMH (monté en permanence) Connexions sur CP 400 Vous trouverez des informations sur les connexions dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le CP 400. 3.8 Câblage du système Le câblage du système dépend du type de service. Vous trouverez ci-dessous le câblage des trois types de service. Modes de fonctionnement 90°-SEM et CP Les modes de fonctionnement 90°-SEM et CP nécessitent chacun en plus le câblage basique décrit. 34/72 Description du produit 3.8.1 Câblage de base pour le type de service Faraday QC 700 IS 716 QMH QMA QMH 4xx 2 EP 1 FARAD EP 2 SEM 3 1 1) 1) RF+ RF FA 4 5 RF A RF B 6 EP FA IS QMA Fig. 36: Câblage de base pour le type de service Faraday Ce câblage s’applique aux applications avec HT 701 et HT 702. Position Câble Longueur (m) Référence de commande 1 Connexion IS 716 – QMA 4x0 3 10 BG548082 -T BG548083 -T 2 Connexion QC 700 – QMH 4xx Câble d’extension 3 7 - (monté sur QMH 4xx) BG448175 -T Connexion EP 422 (1) – QMH 4xx 0,85 - (monté sur EP 422) Connexion HF QMH 4xx – QMA 4x0 0,7 BG448295 -T Connexion FA QMH 4xx – QMA 4x0 0,7 BG541962 -T 3 4 1) 5 1) 6 1) Câbles croisés 4 et 5 si nécessaire conformément au rapport de test. Tab. 8: Câblage de base pour le type de service Faraday 35/72 Description du produit 3.8.2 Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701 HV 701 HV - QMH 4xx 12 EP 2 SEM RF A RF B 8 EP FA 7 IS QMA EP HV+ HV - SEM 217 36/72 11 Fig. 37: Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701 Position Câble/prise court-circuit Longueur (m) Référence de commande 7 Connexion EP 422 (2) – QMH 4xx 0,85 - (monté sur EP 422) 8 Connexion HT HT 701 – QMA 4x0 (HT–) 3 10 BG541978 -T BG541979 -T 11 Prise court-circuit HT (type SHV) - B4728891B9 12 Prise court-circuit EP (type TNC) - B4728138BC Tab. 9: Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 701 Description du produit 3.8.3 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701 HV 701 QC 700 CP HV - RF A RF B 8 EP 10 FA IS QMA CP 400 HV- HV+ QC SEM 217 11 Fig. 38: Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701 Position Câble/prise court-circuit Longueur (m) Référence de commande 8 Connexion HT HT 701 – CP 400 3 10 BG541978 -T BG541979 -T 10 Connexion QC 700 – CP 400 3 10 BG448134 -T BG448199 -T 11 Prise court-circuit HT (type SHV) - B4728891B9 Tab. 10: Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 701 37/72 Description du produit 3.8.4 Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702 HV 702 11 HV + HV CD QMH 4xx 12 EP 2 SEM RF A RF B 8 EP FA 7 IS QMA EP HV+ HV - SEM 217 11 Fig. 39: Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702 Ce câblage s’applique aux applications avec HT 702 et type de service 0. 38/72 Position Câble/prise court-circuit Longueur (m) Référence de commande 7 Connexion EP 422 (2) – QMH 4xx 0,85 - (monté sur EP 422) 8 Connexion HT HT 702 – QMA 4x0 (HT–) 3 10 BG541978 -T BG541979 -T 11 Prise court-circuit HT (type SHV) - B4728891B9 12 Prise court-circuit EP (type TNC) - B4728138BC Tab. 11: Câblage pour type de service 90°-SEM avec HT 702, type de service 0 Description du produit 3.8.5 Câblage pour type de service CD avec HT 702 HV 702 11 HV + HV CD QMH 4xx 12 EP 2 SEM RF A RF B 9 8 EP FA 7 IS QMA EP HVCD SEM 218 Fig. 40: Câblage pour type de service CD avec HT 702 Ce câblage s’applique aux applications avec HT 702 et type de service 1. Position Câble/prise court-circuit Longueur (m) Référence de commande 7 Connexion EP 422 (2) – QMH 4xx 0,85 - (monté sur EP 422) 8 Connexion HT HT 702 – QMA 4x0 (HT–) 9 Connexion HT HT 702 – QMA 4x0 (CD) 3 10 BG541978 -T BG541979 -T 11 Prise court-circuit HT (type SHV) - B4728891B9 12 Prise court-circuit EP (type TNC) - B4728138BC Tab. 12: Câblage pour type de service CD avec HT 702, type de service 1 39/72 Description du produit 3.8.6 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702 QC 700 HV 702 HV + CP HV CD RF A RF B 10 8 9 EP FA IS QMA CP 400 HV- HV+ QC SEM 217 Fig. 41: Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702 Ce câblage s’applique aux applications avec HT 702 et modes de fonctionnement 2 et 3. Position Câble Longueur (m) Référence de commande 8 Connexion HT HT 702 – CP 400 3 10 BG541978 -T BG541979 -T Connexion QC 700 – CP 400 3 10 BG448134 -T BG448199 -T 9 10 Tab. 13: 3.9 Câblage pour type de service CP, compteur d’ions, avec HT 702, modes de fonctionnement 2 et 3 Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.10 Étendue de la livraison ● QMG 700 HiQad (composants individuels, selon la configuration) ● Manuel de l’utilisateur Déballage et vérification du produit 1. Déballez le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Contrôlez qu’aucune pièce n’a été endommagée. 40/72 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 41/72 Installation 5 Installation DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique un danger de mort. ► Toute intervention sur l’appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l’appareil et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Après l’arrêt de l’appareil, attendez environ 60 secondes puis débranchez tous les câbles (en terminant par le câble électrique). ► N’ouvrez jamais l’appareil lorsqu’il est branché à une source d’alimentation électrique. ► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un appareil défectueux. ► Protégez l’appareil contre l’humidité. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc électrique potentiellement mortel. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur. ► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique. ► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010 et CEI 60950. ► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre). ► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre. ► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres. AVIS Défaillance liée à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 42/72 Installation 5.1 Installation de tout le système QMG 700 DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel. ► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge. ► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion correcte à la terre protectrice. ► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le système de vide est ouvert. ► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés. ► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système (par exemple, en utilisant un contact de porte). AVIS Endommagement de l'analyseur causé par des tensions et des champs magnétiques externes N’exposez jamais le système d'électrodes de l'analyseur à des tensions externes dangereuses en cas de contact, provenant de connexions galvaniques, d'un contact, d’un éclat, de faisceau d'électrons ou d'ions, etc. Si des sources dangereuses de ce type existent dans l’enceinte à vide, vous devez fournir des mesures protectrices qui éliminent en toute sécurité ces influences. Des tensions externes, même faibles, sur l'analyseur vont endommager l'électronique et entraîner des résultats de mesure inexacts. ► Prenez des mesures protectrices efficaces contre les tensions externes (par exemple, meilleure disposition, blindage, prise de terre, etc.). ► Ne montez pas l’analyseur à côté de champs magnétiques de > 0,2 mT. ► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés. ► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système (par exemple, en utilisant un contact de porte). ► Observez les standards applicables au système de vide. Condition préalable ● Interrupteur secteur du QMS 700 réglé sur OFF Installation de tout le système 1. Montez les groupes périphériques comme l’analyseur, l’étage HF, etc. conformément aux spécifications dans les manuels de l’utilisateur correspondants. 2. Mettez à la terre tous les équipements concernés à un seul point conformément à la réglementation. – La seule exception est le PC raccordé. 3. Il est recommandé d’utilise un distributeur secteur unique. 5.2 Installation du châssis système AVIS Dégâts causés par surchauffe La température ambiante ne doit pas excéder la température de service admissible de l'appareil. ► Veillez à assurer une bonne circulation de l'air lors de l'installation de l'appareil. ► Si nécessaire, contrôlez et nettoyez régulièrement le filtre à air installé. 43/72 Installation AVIS Annulation de la classe de protection de l'armoire de commande En tant qu'unité intégrée, l'appareil peut remettre en cause la classe de protection requise (contre les particules étrangères et l'eau) des armoires de commande conformément à la norme CEI 60204-1, par exemple. ► Prendre les mesures adéquates pour rétablir la classe de protection requise. 5.2.1 Installation du châssis système en tant que tiroir 19’’ Procédure 1. Insérez l’unité dans l’armoire de commande conformément à la spécification DIN 41 494. 2. Fixez l’unité à l’aide des vis correspondantes. 3. Serrez toujours toutes les vis et les dispositifs destinés à soulager la tension pour assurer un contact fiable et éviter une déconnexion imprévue des connecteurs. 5.2.2 Installation du châssis système en tant qu’unité de bureau Outils nécessaires ● Tournevis Équipement nécessaire ● 4 pieds plastique Fig. 42: Insérer les pieds plastique dans les alésages Fig. 43: Enfoncer les goupilles de serrage Procédure 1. Retournez l’unité. 2. Insérez les pieds plastique dans les alésages du socle. 3. Avec le manche d’un tournevis, poussez à fond les goupilles d’arrêt qui dépassent dans les pieds plastique. 4. Retournez à nouveau l’unité. 44/72 Installation 5.3 Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis système AVIS Détérioration de l’unité à cause d’une décharge électrostatique Une décharge électrostatique endommage les composants électroniques. Si cet avertissement n’est pas respecté, les défauts qui en résultent ne sont pas pris en charge par la garantie. ► Les opérations sur les stations de travail à protection CEM doivent être effectuées conformément aux méthodes appropriées. ► Lorsque l’unité est ouverte, prenez les mesures de précaution appropriées contre les charges électrostatiques. ► Stockez toujours les unités électroniques et les composants dans des emballages antistatiques. ► Observez la norme EN 61340, 5-1 et 5-2, « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes électrostatiques ». Outils nécessaires ● Tournevis de type « PZ », taille 1 2) Power Supply SC 700 2) IO 700/720 Blank Panel 4TE Blank Panel 8TE 1) Blank Panel 4TE HV 701 IS 716 FB 711 QC 700 Chassis (with HV 701): 3) 1) Fig. 44: Power Supply SC 700 IO 700/720 Blank Panel 8TE HV 702 IS 716 FB 711 QC 700 Chassis (with HV 702): 3) Positions standard des modules enfichables dans le châssis Procédure ► Rendez étanche les bornes femelles avec des plaques borgnes appropriées pour assurer la sécurité et la ventilation. ► Installez une plaque borgne 4HP si le module FB 711 n’est pas ajusté. ► Installez 3 plaques borgnes 8HP si le module IO 700 n’est pas ajusté. – En option : Installez une IO 720 à la place de l’IO 700. ► Installez une plaque borgne 4HP à droite du module IS 716. – Exception : Aucune plaque borgne n’est requise en cas d’utilisation du HT 702. ► Installez la FB 711 ou une plaque borgne 4HP à gauche de l’IS 716. ► Serrez fermement toutes les vis de fixation pour assurer un bon maintien et un bon contact. 5.4 Connexions sur le QC 700 La connexion PC (USB) est seulement requise pour la maintenance. Il est impossible d’utiliser le logiciel Quadera pour faire fonctionner le système QMG 700 via cette connexion USB. 45/72 Installation Fig. 45: Connexion au PC avec câble de raccordement croisé (rouge) Fig. 46: Connexion au réseau avec câble de raccordement non-croisé (gris) RJ-45 1 8 green yellow Fig. 47: Connexion « Ethernet » (LAN) 1 Données de transmission (TD+) 2 Données de transmission (TD-) 3 Données de réception (RD+) 6 4, 5, 7, 8 LED État Signification Verte (lien) allumée Connexion de l'équipement présente éteinte Connexion de l'équipement absente allumée (clignotement) Transmission de données en cours éteinte Aucune transmission de données/absence de connexion Jaune (activité) Tab. 14: Données de réception (RD-) Non utilisé État de la connexion Ethernet Connexion Ethernet ► Utilisez le QMS 700 via un PC ou un réseau. ► Pour établir la connexion entre le QMS 700 (QC 700) et le PC : – Utilisez le câble rouge fourni pour la connexion Ethernet LAN directe. – Utilisez le câble gris fourni pour une connexion via un commutateur ou un réseau. 5.5 Installation du pré-amplificateur électromètre EP 422 sur l’analyseur Stabilité du signal de l’EP 422 Pour une stabilité optimale du signal, protégez l’EP 422 contre les vibrations, les variations de température, les hautes températures, l’humidité et des champs magnétiques alternant considérablement. 46/72 Installation Procédure 1. Fixez l’EP 422 au connecteur correspondant sur le QMA. 2. Positionnez l’EP 422 pour qu’il ne touche pas les connecteurs environnants. 3. Serrez les écrous moletés. 4. Connectez le câble de contrôle au connecteur ep1 (Faraday) ou ep2 (SEV) sur le QMH 40x. 5. Verrouillez le connecteur. 5.6 Montage du contre pré-amplificateur ions CP 400 Vous trouverez des informations sur le montage du contre pré-amplificateur ions CP 400 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le CP 400. 5.7 Installation du générateur HF QMH 40x Vous trouverez des informations sur l’installation du générateur HF QMH 40x dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le QMH 40x. 5.8 Installation de l’analyseur QMA 4x0 Vous trouverez des informations sur l’installation et le montage de l’analyseur QMA 4x0 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le QMA 4x0. 5.9 Raccordement de l’IO 700 Pfeiffer Vacuum installe des options départ d’usine si vous les avez commandées avec le système global. Une installation subséquente est possible. 1 Fig. 48: Manchon de câble EMC avec séquence de pièces individuelles convenant pour l’assemblage 1 Tresse de blindage mise à nu Câblage de l’IO 700 ► Utilisez des câbles blindés (EMC). ► Quand vous fermez et serrez le manchon de câble EMC, découvrez le blindage du câble pour une connexion électrique correcte au potentiel du châssis du panneau arrière. ► Raccordez directement le câble aux bornes à ressort de charge des modules I/O. – Pour de plus amples informations, consultez le schéma des connexions de l’IO 700. ► Passez 3 câbles (Ø5 à 9 mm) et 3 câbles (Ø9 à 13 mm) par les manchons de câbles et dans l’unité. ► Sécurisez les câbles et les fils à l’intérieur de l’IO 700 pour éviter un arrachement des connexions lors de l’installation ou de la dépose de l’IO 700, par exemple avec des serre-câbles. 5.10 Raccordement de l’IO 720 Pfeiffer Vacuum installe des options départ d’usine si vous les avez commandées avec le système global. Une installation subséquente est possible. Vous trouverez des informations sur les options de raccordement et sur le câblage de l’IO 720 dans le manuel de l’utilisateur pour IO 720. 47/72 Mise en service 6 Mise en service DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique un danger de mort. ► Toute intervention sur l’appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l’appareil et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Après l’arrêt de l’appareil, attendez environ 60 secondes puis débranchez tous les câbles (en terminant par le câble électrique). ► N’ouvrez jamais l’appareil lorsqu’il est branché à une source d’alimentation électrique. ► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un appareil défectueux. ► Protégez l’appareil contre l’humidité. Activation du QMS 700 seulement avec le câble QMA Activez seulement le QMS 700 avec le câble QMA correctement connecté. Paramètres d’usine Pfeiffer Vacuum configure de façon optimale les systèmes complets à l’usine. Vous ne devez donc pas effectuer de changements sans une bonne raison. Transmission de données Si la DEL jaune de la connexion Ethernet reste éteinte, un problème est apparu pendant la transmission des données. Contrôlez le câble et les composants dans le chemin de connexion, ainsi que la configuration correcte du PC (logiciel, état du pare-feu, etc.). Conditions préalables ● ● ● ● ● ● ● ● ● Interrupteur secteur du QMS 700 réglé sur OFF Tous les composants du système ont été installés selon le manuel de l’utilisateur Les conditions de vide et du système ont été testées et remplies Les composants du système ont été raccordés avec des câbles selon le manuel de l’utilisateur La connexion LAN au PC a été établie (directement ou via un réseau) L’alimentation du QMS 700 a été établie Le PC est prêt pour l’utilisation et a été préparé selon la documentation du logiciel Les limites d’utilisation ont été observées Le manuel de l’utilisateur pertinent des autres composants du système a été observé Activation du système 1. Réglez l’interrupteur secteur sur la face avant du QMS 700 sur ON (I). – La DEL « DC » s’allume et le QMS 700 est prêt pour l’utilisation. 2. Activez le PC. 3. Démarrez le logiciel QUADERA. – La DEL jaune de la connexion Ethernet du QC 700 s’allume par intermittence pour indiquer que des données sont échangées. 4. Continuez la mise en marche dans QUADERA. 48/72 Fonctionnement 7 Fonctionnement Le QMG 700 fonctionne avec le logiciel Quadera. Vous trouverez des informations sur le logiciel Quadera dans la documentation jointe au logiciel. Utilisation du QMG 700 avec le logiciel Quadera ► Utilisez le logiciel Quadera pour – Régler des paramètres de l’unité – Optimiser les paramètres de l’unité – Effectuer des mesures – Sauvegarder et évaluer les données de mesure 49/72 Mise hors service 8 Mise hors service Perte de données en cas d’arrêt prématuré de la tension secteur Après la déconnexion, attendez au moins 1 minute avant d’arrêter la tension secteur, sinon les réglages enregistrés auparavant risquent d’être perdus. Fig. 49: La symbole vert dans Quadera passe au rouge Désactivation du système 1. Désactivez le SEM et, si nécessaire, le filament. 2. Quittez la connexion entre le QMG 700 HiQuad et le PC dans QUADERA. 3. Cochez « Connecter » dans le menu « Dispositif » ou cliquez sur le symbole vert dans l’affichage de l’état de l’unité. – Le symbole passe au rouge. 4. Réglez l’interrupteur secteur sur la face avant du QMS 700 sur OFF (0). La DEL « DC » s’éteint et le QMS 700 est désactivé. 50/72 Maintenance 9 Maintenance Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. 9.1 Nettoyage de l’appareil de commande et du châssis système DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d'humidité La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil. ► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité. ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum. 51/72 Maintenance AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Conditions préalables ● L’appareil est mis hors circuit ● Le connecteur de réseau est retiré Consommables requis ● Agent nettoyant ordinaire (détergent ménager doux, par exemple). ● Chiffon doux et propre Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez un chiffon doux humide pour nettoyer les surfaces. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. 9.2 Nettoyage de l’élément filtrant Intervalle de nettoyage Définissez l'intervalle de nettoyage par des inspection visuelles et en fonction du dégagement de poussière sur site. Accessoires requis ● Aspirateur Procédure 1. Nettoyez le filtre à poussières au niveau de l’entrée d’air dès qu’une couche est visible et avant que la circulation de l’air ne tombe au-dessous du niveau requis. 2. Utilisez un aspirateur pour éliminer la poussière de l’élément filtrant par les fentes de ventilation. 3. Remplacez l’élément filtrant en cas de contamination sévère. 9.3 Changement de l’élément filtrant Pièce de rechange requise ● Élément filtrant 1 45° 2 Fig. 50: Changement de l’élément filtrant 1 Élément filtrant 2 Couvercle du filtre Procédure 1. Changez l’élément filtrant en cas de contamination sévère. 2. Saisissez le couvercle de filtre au niveau du dégagement par rainure fourni à cet effet et pivotez le couvercle de filtre sur environ 45°. 3. Détachez le couvercle du filtre. 4. Retirez l’élément filtrant du couvercle du filtre. 5. Mettez au rebut l’élément filtrant. 52/72 Maintenance 6. Insérez le nouvel élément filtrant dans le couvercle du filtre. 7. Remontez le couvercle frontal sur la face avant. 9.4 Changement du fusible secteur DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique un danger de mort. ► Toute intervention sur l’appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l’appareil et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Après l’arrêt de l’appareil, attendez environ 60 secondes puis débranchez tous les câbles (en terminant par le câble électrique). ► N’ouvrez jamais l’appareil lorsqu’il est branché à une source d’alimentation électrique. ► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un appareil défectueux. ► Protégez l’appareil contre l’humidité. Problème avec l'appareil ou le système Un fusible défectueux indique généralement un problème dans l'appareil ou le système. Si après le remplacement, le fusible neuf grille également, contacter le centre Pfeiffer Vacuum Service le plus proche. Pièce de rechange requise ● Fusible secteur SC 700 1 Fig. 51: Vue du panneau arrière du SC 700 1 Support pour le fusible secteur Procédure 1. Arrêtez l’unité. 2. Déconnectez le câble de secteur. 3. Ouvrez le support du fusible secteur. 4. Remplacez le fusible secteur défectueux. 5. Raccordez le support pour le fusible secteur. 6. Branchez le câble de secteur. 53/72 Anomalies 10 Anomalies Erreur Cause possible Action corrective La DEL « DC » sur la face avant de l’unité reste éteinte quand la tension secteur est appliquée et que l’interrupteur secteur est activé. Fusible secteur défectueux ● Remplacez le fusible secteur. Tab. 15: 54/72 Anomalies Expédition 11 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 55/72 Recyclage et mise au rebut 12 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 12.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 12.2 Élimination du système du spectromètre de masse Les systèmes de spectromètre de masse Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démontez les éléments du boîtier. 2. Démontez tous les composants individuels. 3. Démontez les composants électroniques. 4. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 5. Séparez les composants en matériaux recyclables. 6. Recyclez les composants non contaminés. 7. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 56/72 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 57/72 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 58/72 Informations de commande 14 Informations de commande 14.1 Commande de pièces Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels ► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des accessoires ou des composants optionnels : ● Tous les détails de la plaque signalétique ● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces 14.2 Pièces de rechange et accessoires Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et les options de commande pour les accessoires Équipements d’analyse sont disponibles en ligne. Description Référence de commande QC 700 PT 450 000 IS 716 PT 450 001 HT 701 PT 450 004 HT 702 PT 450 005 IO 700 PT 450 006 IO 720 PT 450 011 Élément filtrant pour QMS 700 PT 451 067 Câble de correctif UTP, 3 m, croisé, rouge PT 163 512 Tab. 16: Pièces de rechange et accessoires pour QMS 700 Description Référence de commande Sources d’ions Source d’ions axiaux avec filament en tungstène BN845055 -T Source d’ions axiaux avec filament iridium, recouvert Y2O3 PT 160 040 -T Source d’ions croisés avec filament en tungstène BN846481 -T Source d’ions croisés avec filament iridium, recouvert Y2O3 PT 449 025 -T Source d’ions croisés, étanche au gaz, avec filament en tungstène BN846529 -T Source d’ions croisés, étanche au gaz, avec filament iridium, recouvert Y2O3 Sur demande Source d’ions à grille avec filament en tungstène BN845097 -T Filaments Filaments en tungstène, lot de 5 pièces, pour source d’ions axiaux BN845024 -T Filament iridium, recouvert Y2O3, pour source d’ions axiaux, 1 pièce BN845057 -T Unité filament avec 2 filaments en tungstène, pour source d’ions croisés, également étanche au gaz BN845088 -T Unité filament avec 2 filaments en tungstène, recouvert Y2O3, pour source d’ions croisés, également étanche au gaz BN845282 -T Unité filament avec 2 filaments en tungstène, pour source d’ions à grille BN845095 -T Tab. 17: Pièces de rechange pour QMA 4x0 59/72 Informations de commande 14.3 Câbles et prises court-circuit (voir chapitre « Câblage du système », page 34) 14.4 Composants du système Description Référence de commande EP 422 PT 444 570 -T CP 400 PT 442 210 -T QMH 400-1, 1 – 128 u (QMA 410) PT M23 067 QMH 400-5, 1 – 300/512 u (QMA 430/QMA 400) PT M23 066 QMS 700 avec SC 700 et QC 700 PT M27 580 Tab. 18: 60/72 Composants du système Caractéristiques techniques et dimensions 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Appareil de commande QMS 700 Modules QMS L’information s’applique à tous les modules QMS 700, sauf spécification contraire. Paramètre Valeur Température (stockage) -40 – +65 °C Température (fonctionnement) +5 – +40 °C Humidité relative ≤ 80 % – +31 °C, diminution linéaire à 50 % à +40 °C Usage À l’intérieur Altitude ≤ 2000 m au-dessus du niveau de la mer Degré de protection IP30 Catégorie de surtension II Degré de pollution 2 Tab. 19: 15.1.1 Limites d’utilisation du QMS 700 Châssis système SC 700 Paramètre Valeur Tension secteur 100 – 240 V AC, 50 – 60 Hz Puissance absorbée ≤500 W Alimentation Prise unité avec porte-fusible secteur intégré à l’arrière de l’unité Fusible secteur Fusible 6,3 AT HBC, 5 × 20 mm Câble secteur spécifique au pays d’utilisation Poids 7,5 kg (sans modules enfichables) Bornes femelles 18 (par 4 DUs) Tab. 20: Fiche technique, SC 700 Fig. 52: Dimensions SC 700 Dimensions en mm 61/72 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1.2 Contrôleur quadripole QC 700 Paramètre Valeur Convient à Châssis système SC 700 Bornes femelles requises 2 Quantité par système 1 Bornes femelles Bornes femelles nº 1 et 2 (tout à gauche dans le châssis système SC 700) Poids 0,4 kg Tab. 21: Fiche technique, QC 700 Paramètre Valeur Nombre de canaux de mesure 128 Modes de fonctionnement Canal MONO/MULTI Cycles de mesure 1 – 10 000 ou RÉPÉTITION Temps de changement de canal 100 – 200 μs (avec une PAUSE min. dans le cycle) Tab. 22: Modes de fonctionnement et paramètres QC 700 Mass MODE Méthode de mesure SCAN-N Balayage analogique, normal SCAN-F Balayage analogique avec filtre FIR pour la valeur mesurée STAIR Graphique à barres de balayage SAMPLE Masse unique et MID PEAK-L Recherche de crête avec critères de niveau PEAK-F Recherche de crête avec filtre FIR ADJUST-C Recherche grossière ADJUST-F Recherche fine Tab. 23: Modes de fonctionnement débit-masse QC 700 Scan SPEED Gamme FIX Gamme AUTO 125 μs/u 8/u --- 250 μs/u 16/u --- 0,5 – 1 ms/u 32/u --- 2 – 20 ms/u 64/u 32/u 50 ms/u – 60 s/u 64/u 64/u Tab. 24: Résolution échelle de masse QC 700 Mass MODE EP 422 ou entrées externes Compteur d’ions (CP 400) Gamme FIX Gamme AUTO Gamme AUTO SAMPLE 125 μs – 60 s 0,5 ms – 60 s 125 μs – 60 s STAIR 125 μs/u – 60 s/u 2 ms/u – 60 s/u 0,5 ms/u – 60 s/u SCAN 125 μs/u – 60 s/u 5 ms/u – 60 s/u 1,25 ms/u – 60 s/u PEAK 125 μs/u – 60 s/u 5 ms/u – 60 s/u 1,25 ms/u – 60 s/u Tab. 25: 62/72 PAS par masse Vitesses de mesure QC 700 Caractéristiques techniques et dimensions Detect TYPE Type de détecteur FARAD Collecteur Faraday, EP 422 SEM SEV (construction configurable), EP 422 ION-CNT Compteur d’ions, CP 400 EXTERN 1 Entrée analogique externe du QC 700 (EXT IN 1) EXTERN 2 Entrée analogique externe du QC 700 (EXT IN 2) A-INPUT (1–n) Signaux analogiques via IO 700/IO 720 (canaux analogiques 1 – n) Tab. 26: Types de détecteur QC 700 Type de détecteur Gammes de mesure Modes de fonctionnement Résolution FARAD, SEM 10-12 – 10-5 A fsd Gammes FIX et AUTO 16 bit 13) (par gamme) EXTERNE GAIN 1 : ±10,240 V GAIN 10 : ±1,024 V Gamme FIX 16 bit 14) ION-CNT 10-2 – 108 cps (utilisation pratique jusqu’à 106 to 107 cps) Gamme AUTO pour MODE masse : SAMPLE : 1 / DWELL STAIR : 2 / SPEED SCAN : u / SPEED Tab. 27: Gammes et résolution de mesure QC 700 Paramètre Valeur Type de filtre LPF, à deux étages, efficace pour entrées pré-amplificateur et externes Constantes de temps de filtrage peuvent être sélectionnées automatiquement ou par 9 étages : 5, 18, 85, 400 μs ; 1,7, 8, 40, 180, 800 ms Réponse par pas τ63 : Constante de temps de filtrage Temps d’établissement à ± 1 ‰ : ts ≈ 4 x τ63 Tab. 28: Filtre analogique QC 700 τ63 ts Fig. 53: Paramètre Valeur NORMAL (N) LPF (valeur moyenne) FIR (F) Réponse à impulsion finie Tab. 29: 15.1.3 Constante de temps de filtrage QC 700 Filtre numérique QC 700 Alimentation source d’ions IS 716 Paramètre Valeur Convient à Châssis système SC 700 Bornes femelles requises 4 13) à augmentation supplémentaire via détermination valeur moyenne 14) à augmentation supplémentaire via détermination valeur moyenne 63/72 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Quantité par système max. 2 Borne femelle (voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis système », page 45) Poids 1 kg Tab. 30: Paramètre Valeur Tension 0 – +10 V Courant max. 5 A Puissance max. 50 W Modes de fonctionnement Fil 1, Fil 2 Protection filament 0–5A Tab. 31: Valeur Normal 0 – 10 mA Dégazage 0 – 20 mA Paramètre Valeur Convient à Châssis système SC 700 Bornes femelles requises 1 Quantité par système max. 4 Borne femelle (voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis système », page 45) Poids 0,3 kg Fiche technique, HT 701 Paramètre Valeur Tension SEM HT- -30 – -3500 V (typ. ondulation 10 mV) Résolution 219 mV Charge ≥ 15 MΩ Limitation du courant ≤ 1 mA Résistance interne ≈0 Ω Temps de réglage 0,3 s (0,1 %, activation, RL = 15 MΩ) Séparation du potentiel (entre châssis et QMA GND) ≤ 0,5 V Tab. 34: 64/72 Émission IS 716 Alimentation haute tension HT 701 Tab. 33: 15.1.5 Alimentation filament IS 716 Paramètre Tab. 32: 15.1.4 Fiche technique, IS 716 Partie haute tension, HT 701 Alimentation haute tension HT 702 Paramètre Valeur Convient à Châssis système SC 700 Bornes femelles requises 3 Quantité par système max. 2 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Borne femelle (voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis système », page 45) Poids 0,54 kg Tab. 35: Paramètre Alimentation SEV (USEM) 15) Alimentation CD (UCD) 16) Tension de niveau élevé (UBIAS) 17) Tension -100 V – -3500 V -100 V – -7000 V +1500 – +3500 V -1500 – -3500 V Ondulation (typ.) 30 mV pp 20 mV pp 20 mV pp Résolution 219 mV 438 mV 438 mV Charge ≥ 15 MΩ ≥ 100 MΩ ≥ 100 MΩ Limitation du courant ≤ 0,6 mA ≤ 0,3 mA ≤ 0,3 mA Temps de réglage 0,3 s 18) 0,3 s 19) 0,3 s 20) Séparation de potentiel 21) < 0,5V < 0,5V - Tab. 36: 15.1.6 Fiche technique, HT 702 Partie haute tension, HT 702 Module entrée/sortie IO 700 Paramètre Valeur Convient à Châssis système SC 700 Bornes femelles requises 6 Quantité par système max. 3 Borne femelle (voir chapitre « Installation ou remplacement des modules enfichables dans le châssis système », page 45) Poids 1,4 kg Tab. 37: Fiche technique, IO 700 Paramètre Valeur Tension 24 VDC (-15 % – +20 %) Courant max. 10 A Seulement pour I/O numériques, les I/O analogiques ne nécessitent pas d’alimentation externe. Tab. 38: Alimentation du système externe, IO 700 Paramètre Valeur Module utilisé WAGO® 750-530 Nombre de sorties 32 Tension de sortie 0/+24 V (source) Charge max. 0,5 A (résistant aux courts-circuits) Courant total par module max. 10 A total 15) La configuration et le câblage dépendent du type de service 16) La configuration et le câblage dépendent du type de service 17) La configuration et le câblage dépendent du type de service 18) 1 %, activation, RL = 15 MΩ 19) 1 %, activation, RL = 100 MΩ 20) 1 %, activation, RL = 100 MΩ 21) entre châssis et QMA GND 65/72 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Charges admissibles ohmiques, inductives, lampes Taux de rafraichissement 10 ms Tab. 39: Paramètre Valeur Module utilisé WAGO® 750-430 Nombre d’entrées 32 Tension d’entrée 0/+24 V Courant d’entrée 2,8 mA Filtre d’entrée Constante de temps 3 ms Taux de rafraichissement 10 ms Tab. 40: Entrées numériques IO 700 Paramètre Valeur Module utilisé WAGO® 750-559 Nombre de canaux 8 Tension de sortie 0 – +10 V Résolution 12 bit Résistance de charge ≥5 kΩ Temps de transformation 10 ms Taux de rafraichissement 10 ms Point de référence Les mises à la terre des 4 canaux sont respectivement connectées en interne. Tab. 41: Sorties analogiques IO 700 Paramètre Valeur Module utilisé WAGO® 750-459 Nombre de canaux 8 Résolution 12 bit Résistance d’entrée 100 kΩ Temps de transformation 10 ms Taux de rafraichissement 10 ms Point de référence Les mises à la terre des 4 canaux sont respectivement connectées en interne. Tab. 42: 15.1.7 Sorties numériques IO 700 Entrées analogiques IO 700 Module entrée/sortie IO 720 Vous trouverez la fiche technique de l’IO 720 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour l’IO 720. 15.2 Générateur HF QMH-40x Vous trouverez la fiche technique du QMH 40x dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le QMH 40x. 66/72 Caractéristiques techniques et dimensions Type QMH Domaine de masse [u] Type QMA Diamètre de tige [mm] QMH 400-1 128 QMA 410 16 QMH 400-5 300 QMA 430 8 512 QMA 400 8 16 QMA 410 16 QMH 402 Tab. 43: Types QMH et QMA 15.3 Analyseur QMA 4x0 Vous trouverez la fiche technique du QMA 4x0 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le QMA 4x0. 15.4 Pré-amplificateur électromètre EP 422 Paramètre Valeur Lieu d’implantation vissé directement sur l’analyseur QMA Interfaces vers QMH, QMA Connexion (entrée) Type de prise coaxiale TNC Connexion (sortie) Prise D-Sub, 9 broches, à broches Tension d’entrée ±16 V (±0,2 V, ondulation ≤ 10 mV) (par QMS 700) Courant d’entrée ±10 mA (par QMS 700) Quantité par système max. 2 Température de stockage -40 – +70 °C Température de service 0 – +50 °C Poids 0,15 kg Fiche technique, EP 422 8 18 72 18.6 Tab. 44: 50 Fig. 54: 850 20 Dimensions EP 422 Dimensions en mm Paramètre Valeur Courant d’entrée ±10 mA Impédance d’entrée 100 kΩ Tension de sortie -10 – +10 V Courant de sortie ≤ 2 mA Déviation Décalage doublé par 10 °C d’augmentation de température Bruit typiquement 2 × 10-13 App non filtré Tab. 45: Données amplificateur EP 422 67/72 Caractéristiques techniques et dimensions Gamme de mesure Sensibilité Tolérance à 25 °C Temps de montée de 10 à 90 % Décalage à 25 °C ± 10-5 A 10-6 A/V ±1% 50 μs ± 0,5 mV -8 -7 10 A/V ±1% 90 μs ± 0,5 mV -9 -10 ± 10 A ± 10 A 10 A/V ±2% 1,9 ms ± 2 mV ± 10-11 A 10-12 A/V ±2% 2,6 ms -50 – +150 mV Tab. 46: Décalage EP 422 15.5 Contre pré-amplificateur ions CP 400 Vous trouverez la fiche technique du CP 400 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le CP 400. 68/72 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Système de spectromètre de masse quadripole QMG 700 HiQuad® Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Basse tension 2014/35/CE Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE (article 2, numéro 4, d, e et j) Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN 61010-1:2011 DIN EN 61326-1:2013 DIN EN 55011:2018 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-11-01 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Système de spectromètre de masse quadripole QMG 700 HiQuad® Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN 55011:2016 + A1:2017 + A11:2020 + A2:2021 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-11-01 71/72 *BG5400* ed. B - Date 2301 - P/N:BG5400BFR ">
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