Pfeiffer HiCube Pro Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
HICUBE PRO
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau groupe
de pompage turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait
fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est
synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de
produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence.
Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une
implémentation efficace et sécurisée de notre produit.
Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution
efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail [email protected].
Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de nos produits à l'adresse Download Center
sur notre site internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/82
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
7
7
7
7
7
7
7
8
8
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations incorrectes envisageables
10
10
10
15
15
16
16
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.1.1 Interface de fonctionnement
3.1.2 Entraînement
3.1.3 Refroidissement
3.2 Identification du produit
3.3 Fonctionnalités du produit
3.4 Contenu de la livraison
17
17
17
18
18
18
19
20
4
Transport et stockage
4.1 Transporter le groupe de pompage
4.2 Blocage de transport
4.3 Stocker le groupe de pompage
21
21
22
22
5
Installation
5.1 Préparatifs pour l'installation
5.2 Régler le groupe de pompage
5.3 Ancrer le groupe de pompage
5.4 Raccordement côté vide élevé
5.4.1 Réaliser la contre-bride
5.4.2 Utiliser un pare-éclats ou un écran protecteur
5.4.3 Utilisation du compensateur de vibrations
5.4.4 Effectuer le raccordement externe de la pompe turbomoléculaire
5.4.5 Installation d'une bride ISO-KF
5.4.6 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K
5.4.7 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-F
5.4.8 Fixation d’une bride CF sur CF-F
5.5 Raccorder le côté d’échappement
5.6 Enlever le blocage de transport
5.7 Remplir avec du fluide d’exploitation
5.8 Raccorder les accessoires
5.9 Connecter les tubes de mesure
5.10 Raccorder le groupe de pompage à la prise de terre
5.11 Raccorder au réseau d'alimentation
23
23
23
24
25
25
25
26
26
27
27
28
29
31
32
32
33
35
35
36
6
Utilisation
6.1 Mettre en service
6.2 Mettre en route le groupe de pompage turbomoléculaire
37
37
38
3/82
Table des matières
6.3
6.4
6.5
6.6
6.7
6.8
6.9
4/82
Fonctionnement normal
Mode stand-by
Fonctionnement avec lest d’air
Éliminer la charge de condensat
Surveillance des opérations
6.7.1 Affichage LED du mode de fonctionnement
6.7.2 Surveillance de la température
Fonctionnement avec la vanne à vide primaire
Mise hors circuit et mise à l'air
6.9.1 Arrêt du groupe de pompage turbo
6.9.2 Mise à l'air
39
39
40
41
41
41
41
42
42
42
42
7
Maintenance
7.1 Informations générales sur la maintenance
7.2 Intervalles de maintenance et responsabilités
7.3 Enlever des composants pour la maintenance
7.3.1 Effectuer les travaux préparatoires
7.3.2 Enlever la pompe turbomoléculaire
7.3.3 Installer la pompe turbomoléculaire
7.4 Changer le fluide d’exploitation
44
44
44
45
45
45
47
48
8
Mise hors service
8.1 Mettre hors service pour de longues périodes
8.2 Remettre en service
50
50
50
9
Recyclage et mise au rebut
9.1 Informations générales sur la mise au rebut
9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires
9.3 Élimination de la pompe rotative à palettes
9.4 Mettre au rebut des pompes roots à plusieurs étages
9.5 Mise au rebut de la pompe Scroll
51
51
51
51
52
52
10
Dysfonctionnements
10.1 Généralités
10.2 Dépanner
10.3 Codes d’erreur
53
53
53
54
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
57
12
Accessoires
59
13
Caractéristiques techniques et dimensions
13.1 Généralités
13.2 Fiche technique
13.2.1Fiche technique for HiCube 80 Pro
13.2.2Fiche technique HiCube 300 Pro
13.2.3Fiche technique HiCube 300 H Pro
13.2.4Fiche technique HiCube 400 Pro
13.2.5Fiche technique HiCube 700 Pro
13.2.6Fiche technique HiCube 700 H Pro
13.3 Schémas cotés
60
60
61
61
65
67
70
73
76
79
Déclaration de conformité
81
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Tab. 28:
Tab. 29:
Tab. 30:
Tab. 31:
Tab. 32:
Tab. 33:
Tab. 34:
Tab. 35:
Tab. 36:
Tab. 37:
Tab. 38:
Tab. 39:
Tab. 40:
Tab. 41:
Tab. 42:
Tab. 43:
Tab. 44:
Tab. 45:
Tab. 46:
Tab. 47:
Tab. 48:
Tab. 49:
Tab. 50:
Autocollants sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Limites d’utilisation des groupes de pompage turbomoléculaire
Options de combinaison de composants de groupe de pompage
Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par le client
Réduction de la vitesse de pompage lors de l’utilisation d’un bouclier pareéclats ou d’un écran protecteur
Raccordements d'accessoires préconfigurés sur l’unité de commande électronique TC 400
Transmetteurs Pfeiffer Vacuum disponibles pour branchement à un DCU
Réglage-usine des paramètres clés à la livraison
Description des fonctions des touches du DCU
Seuils de commutation réglés par défaut pour le mode stand-by avec les
pompes à vide primaire ACP et HiScroll
Affichage DEL et signification sur le DCU
Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo
Raccordements d’accessoires préréglés
Couple de serrage pour la fixation des pompes turbomoléculaires
Dépanner
Messages d’avertissement et d’erreur lors de l’utilisation du DCU
Messages d’avertissement et d’erreur pour l’unité d'entraînement électronique de pompe turbo
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 40 ISO-KF
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 40 ISO-KF
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 63 ISO-K
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 63 ISO-K
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 63 CF-F
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 63 CF-F
Fiche technique HiCube 300 Pro, DN 100 ISO-K
Fiche technique HiCube 300 Pro, DN 100 ISO-K
Fiche technique HiCube 300 Pro, DN 100 CF-F
Fiche technique HiCube 300 Pro, DN 100 CF-F
Fiche technique HiCube 300 H Pro, DN 100 ISO-K
Fiche technique HiCube 300 H Pro, DN 100 ISO-K
Fiche technique HiCube 300 H Pro, DN 100 CF-F
Fiche technique HiCube 300 H Pro, DN 100 CF-F
Fiche technique HiCube 400 Pro, DN 100 ISO-K
Fiche technique HiCube 400 Pro, DN 100 ISO-K
Fiche technique HiCube 400 Pro, DN 100 CF-F
Fiche technique HiCube 400 Pro, DN 100 CF-F
Fiche technique HiCube 700 Pro, DN 160 ISO-K
Fiche technique HiCube 700 Pro, DN 160 ISO-K
Fiche technique HiCube 700 Pro, DN 160 CF-F
Fiche technique HiCube 700 Pro, DN 160 CF-F
Fiche technique HiCube 700 H Pro, DN 160 ISO-K
Fiche technique HiCube 700 H Pro, DN 160 ISO-K
Fiche technique HiCube 700 H Pro, DN 160 CF-F
Fiche technique HiCube 700 H Pro, DN 160 CF-F
Dimensions HiCube 80 Pro
Dimensions HiCube 300 Pro
Dimensions HiCube 400 Pro
Dimensions HiCube 700 Pro
8
9
16
20
25
26
34
35
38
39
39
41
43
45
48
54
54
56
60
60
61
62
63
63
64
64
65
66
67
67
68
69
69
70
71
72
72
73
74
74
75
76
77
77
78
78
79
79
79
80
5/82
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Fig. 22:
Fig. 23:
6/82
Position des autocollants sur le produit
Vue d’ensemble du produit avec des exemples de combinaisons
Tableau de commande de la DCU
DCU avec unité de courant intégrée, vue de derrière
Vue d’ensemble : Combinaisons de pompe turbomoléculaire et de pompe à
vide primaire
Transporter le groupe de pompage turbomoléculaire
Fixer le groupe de pompage avec les sangles
Raccord à bride ISO-KF à ISO-KF
Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée
Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants
Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés
Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants
Exemple de raccord d'échappement de la pompe à vide primaire
Blocage de transport pour pompe à vide primaire
Remplir avec du fluide d’exploitation
Exemple de raccordement d'accessoires via adaptateur TCS 12
Câble de terre
Connecteur d'alimentation électrique et interrupteur principal sur HiCube Pro
Raccordements électriques
Raccordements de la pompe turbomoléculaire
Démonter la pompe turbomoléculaire
Changement du fluide d'exploitation avec pompe rotative à palettes comme
pompe à vide primaire
Dimensions HiCube Pro
9
17
17
18
19
21
24
27
27
29
30
30
31
32
33
34
35
36
45
46
47
49
79
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
Documents applicables
HiCube Pro
Manuel de l’utilisateur
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Manuel de l’utilisateur de chaque composant
voir la description du produit
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ces instructions s'appliquent aux groupes de pompage turbomoléculaires HiCube Eco :
●
●
●
●
●
●
1.2
HiCube 80 Pro
HiCube 300 Pro
HiCube 300 H Pro
HiCube 400 Pro
HiCube 700 Pro
HiCube 700 H Pro
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
7/82
A propos de ce manuel
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
Plaque signalétique
La plaque signalétique est située à l’arrière de
l’enveloppe de l’électronique.
D-35614 Asslar
Mod. HiCube 80 Pro
P/N PM S41 620 00
S/N - - - - - - - Fuse T 2 A H 230 VAC
Input 200-230 V +/-10 % 2.00 A 50/60 Hz
Mass 62.0 kg
Made in Germany 2020/06
TÜV Rheinland
C
US
Le débranchement de la prise secteur est obligatoire
Cet autocollant indique que la prise secteur doit être débranchée de l’appareil avant toute opération d’installation et de
maintenance.
Avertissement tension électrique
Cet autocollant avertit du risque d’électrocution lors d’interventions avec le boîtier ouvert.
VOR INBETRIEBNAHME
TRANSPORTSICHERUNG LÖSEN
BEFORE USE UNFASTEN THE
TRANSPORT PROTECTION
Autres autocollants
Tab. 1:
8/82
Blocage de transport
Cet autocollant indique que le verrouillage de transport de la
pompe à vide primaire doit être débloqué avant la mise en service.
Enlevez les autocollants sur les composants conformément au
manuel de l'utilisateur respectif.
Autocollants sur le produit
A propos de ce manuel
3
2
1
4
Fig. 1:
1.3.4
Position des autocollants sur le produit
1 Plaque signalétique
3
2 Plaque indiquant que le débranchement de
la prise secteur est obligatoire
4
Plaque d’avertissement de tension électrique
(ensemble d’alimentation électrique)
Autocollant verrouillage de transport
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
Bride
CF : Raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669
d
Valeur diamètre (en mm)
DCU
Display Control Unit (unité de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum).
DN
Diamètre nominal comme désignation de grandeur
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz)
HV
Bride de vide secondaire, côté vide secondaire
Bride
ISO : raccord conforme aux normes ISO 1609 et 2861
LC
Affichage : affichage à cristaux liquides (LCD)
DEL
Diode électroluminescente
MVP
Pompe à vide à membrane
PE
Terre de protection (conducteur de protection)
[P:xxx]
Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous
la forme d’un nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte
description.
Exemple : [P:312] version logicielle
T
Température (en °C)
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine)
TPS
Tension d’alimentation (alimentation électrique turbine)
X3
Connecteur D-Sub 15 broches sur l'unité de commande électronique TC 110 de la
pompe turbomoléculaire
remote
Connecteur D-Sub 26 broches sur l'unité de commande électronique TC 400 de la
pompe turbomoléculaire
Tab. 2:
Abréviations utilisées dans ce document
9/82
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
Risques lors du transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
10/82
Sécurité
ATTENTION
Risque de blessures en cas de basculement ou de dérive du groupe de pompage
Les pièces de la superstructure modifient le centre de gravité. Il existe un danger d’écrasement en
cas de basculement ou de dérive.
► Placez le groupe de pompage sur une surface d’installation plane.
► Ancrez le groupe de pompage sur l’emplacement de l’installation.
► Portez des équipements de protection individuelle.
Risques lors de l’installation
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte
L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou
inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
11/82
Sécurité
AVERTISSEMENT
Danger de mort par intoxication à la sortie de gaz de traitement toxique sans conduite
d'échappement
Le groupe de pompage turbo permet aux gaz d'échappement et aux vapeurs de s'échapper sans encombre dans l'atmosphère dans des conditions normales d'utilisation. Risque de blessure et danger
de mort par intoxication lors des processus employant des fluides toxiques.
► Respectez les instructions correspondantes lors de la manipulation de substances toxiques.
► Évacuez les gaz de traitement toxiques en toute sécurité par le biais d'une conduite d'échappement.
ATTENTION
Risque de blessures en cas de basculement ou de dérive du groupe de pompage
Les pièces de la superstructure modifient le centre de gravité. Il existe un danger d’écrasement en
cas de basculement ou de dérive.
► Placez le groupe de pompage sur une surface d’installation plane.
► Ancrez le groupe de pompage sur l’emplacement de l’installation.
► Portez des équipements de protection individuelle.
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz
sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par intoxication à la sortie de gaz de traitement toxique sans conduite
d'échappement
Le groupe de pompage turbo permet aux gaz d'échappement et aux vapeurs de s'échapper sans encombre dans l'atmosphère dans des conditions normales d'utilisation. Risque de blessure et danger
de mort par intoxication lors des processus employant des fluides toxiques.
► Respectez les instructions correspondantes lors de la manipulation de substances toxiques.
► Évacuez les gaz de traitement toxiques en toute sécurité par le biais d'une conduite d'échappement.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement en cas d'utilisation incorrecte du système de lest d'air
Le système de lest d'air de la pompe Scroll est étanche au vide seulement lorsqu’il est utilisé dans
les positions valides « 0 », « 1 » et « 2 ». Lors du fonctionnement des soupapes dans des étages
intermédiaires, il existe un risque de fuite incontrôlée de la substance de procédé dans l’atmosphère
ambiante. En cas d’utilisation du substance de procédé toxique, il existe un risque d’empoisonnement.
► Modifiez les positions de la soupape seulement pour le réglage des étages de lest d’air.
► La soupape de lest d'air ne doit être mise en fonction que dans les positions om l’interrupteur
s’enclenche.
12/82
Sécurité
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz
sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement.
ATTENTION
Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air
Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct
de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome.
► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air.
► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de
mise à l'air.
Risques pendant la maintenance, la mise hors service et la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien
L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe turbo est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants
sous tension.
► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur.
► Attendre que la pompe turbo soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0).
► Débrancher la prise secteur de l'appareil.
► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque pour la santé et l’environnement dû à la contamination du fluide d’exploitation par des
substances toxiques
Les substances toxiques et procédés peuvent contaminer le fluide d’exploitation. Lors du remplacement du fluide d’exploitation, tout contact avec des substances toxiques présente un risque pour la
santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Portez des équipements de protection individuelle adaptés pour manipuler ces substances.
► Mettez au rebut le fluide d’exploitation conformément à la réglementation locale en vigueur.
13/82
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
ATTENTION
Risque de brûlures dues au fluide d’exploitation chaud
Risque de brûlures lors de la vidange du fluide d’exploitation, si celui-ci vient en contact avec la peau.
► Portez des équipements de protection individuelle.
► Utilisez un récipient de vidange adéquat.
Risques liés aux anomalies de fonctionnement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie
ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci
dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
14/82
Sécurité
2.3
Mesures de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respecter toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôler régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► N’exposer aucune partie du corps au vide.
► Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement
arrêté (vitesse de rotation f =0).
► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert.
► Tenir les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70°C).
► Ne jamais remplir ou faire fonctionner l’appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Consulter la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Remarques sur les conditions ambiantes
Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la
pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à
la surveillance redondante de la température.
● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la
pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées.
● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse
d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire.
Paramètre
Valeur limite
Emplacement de l’installation
protégé des intempéries (espace intérieur)
Pression atmosphérique
750 hPa à 1 060 hPa
Altitude de l’installation
2 000 m max.
Humidité rel. de l’air
max. 80 %, à T < 31 °C
jusqu’à max. 50 % à T < 40 °C
Planéité du plan d’appui
≤ 5 degrés
Classe de protection
I
Catégorie de surtension
II
Degré de protection admissible
IP20
15/82
Sécurité
Paramètre
Valeur limite
Degré de pollution
2
Température ambiante
5 °C à 35 °C avec refroidissement par air
5 à 40 °C avec refroidissement à
eau
Champ magnétique ambiant admissible
max.
●
●
●
●
HiPace 80
HiPace 300
HiPace 400
HiPace 700
●
●
●
●
3,3 mT
5,5 mT
6 mT
6 mT
Entrée thermique irradiée maximum
●
●
●
●
HiPace 80
HiPace 300
HiPace 400
HiPace 700
●
●
●
●
3W
8W
14 W
14 W
Température maximum admissible du rotor de la pompe turbomoléculaire
Tab. 3:
2.5
90 °C
Limites d’utilisation des groupes de pompage turbomoléculaire
Utilisation conforme
● Le groupe de pompage turbomoléculaire est conçu exclusivement pour générer un vide.
● Le groupe de pompage turbomoléculaire est conçu exclusivement pour l’évacuation de gaz secs
et inertes.
● Le groupe de pompage turbomoléculaire est conçu seulement pour une utilisation en intérieur
dans un lieu clos.
2.6
Utilisations incorrectes envisageables
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme
abusive, en particulier :
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
Raccordement de l'alimentation électrique sans installation correcte
Installation d'un équipement de fixation non spécifique
Pompage de substances explosives
Pompage de substances corrosives
Pompage de vapeurs de condensation
Pompage de liquides
Pompage de poussière
Fonctionnement avec un débit de gaz élevé inadmissible
Fonctionnement avec une pression de vide préliminaire inadmissible
Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé
Fonctionnement avec des champs magnétiques d'intensité élevée et inadmissible
Fonctionnement dans un mode gaz incorrect
Mise à l'air avec un débit de mise à l'air élevé et inadmissible
Utilisation pour la production de pression
Utilisation dans des zones à radiation ionisante
Fonctionnement dans des zones explosives
Utilisation dans des systèmes où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur l'appareil
● Création de conditions de fonctionnement dangereuses en raison d'un réglage par défaut sur
l'unité d’entraînement électronique qui est contraire au processus
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
16/82
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
Les groupes de pompage turbomoléculaires sont des pompes entièrement automatiques prêtes au raccordement. Une groupe de pompage turbomoléculaireo consiste en une pompe à vide portable ou mobile, avec une pompe turbomoléculaire et une pompe à vide primaire spécialement adaptée.
2
1
4
3
5
16
6
15
7
14
8
13
Fig. 2:
1
2
3
4
5
6
7
8
3.1.1
11
12
10
9
Vue d’ensemble du produit avec des exemples de combinaisons
Boîtier de relais
Pompe turbomoléculaire
Refroidissement par air
Enveloppe de l'électronique
Poignée de manutention
Raccord d’échappement
Alimentation
Roulettes pivotantes
9
10
11
12
13
14
15
16
Blocage de transport
Canal de vidange du fluide d’exploitation
Roulettes pivotantes avec frein de roue
Crochet de fixation ou de sécurité
Cadre
Revêtement, enveloppe, gaine
Unité de commande électronique TC
Unité de commande et d’affichage
Interface de fonctionnement
L’unité de commande et d’affichage (DCU) intégrée est utilisée pour la commande et la surveillance de
tout le groupe de pompage turbomoléculaire. La DCU est utilisée en option comme une commande à
distance si elle est enlevée de l’enveloppe et utilisée avec un câble d’extension.
DCU
1
2
3
4
Fig. 3:
Tableau de commande de la DCU
1 Écran LC, éclairé
2 Symboles d’état
3
4
Affichage du mode de travail à diodes électroluminescentes
Commandes
17/82
Description du produit
1
2
10
3
9
PE
S1
X3
8
AC in
7
4
RS485
6
DC out
5
Fig. 4:
1
2
3
4
5
3.1.2
DCU avec unité de courant intégrée, vue de derrière
Plaque frontale, à l’arrière
Trou de fixation
Prise de raccordement X3
Prise de raccordement RS-485
Réglage du contraste
6
7
8
9
10
Prise de raccordement DC out
Prise de raccordement ACin, entrée secteur
Interrupteur secteur S1
Conducteur de terre, M4
Support de fixation pour le branchement au secteur
Entraînement
● Unité d'entraînement électronique sur la pompe turbo
● Unité d'entraînement électronique sur la pompe de secours
3.1.3
Refroidissement
● Refroidissement par air
● Refroidissement par eau (option)
À des températures excessivement élevées, l'unité d'entraînement électronique réduit automatiquement
la puissance d'entraînement.
3.2
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
18/82
Description du produit
3.3
Fonctionnalités du produit
HiPace 80
HiPace 400
HiPace 300
HiPace 700
Pascal 2021
Duo 20
ACP 28
Pascal 2010
ACP 15
Scroll 18
Duo 11
Scroll 12
Scroll 6
Fig. 5:
Vue d’ensemble : Combinaisons de pompe turbomoléculaire et de pompe à vide primaire
Caractéristique
HiCube Pro
Taille de bride HV
DN 40
DN 63
Pompe turbomoléculaire
HiPace 80
Manuel de l’utilisateur
DN 100
DN 160
PT 0208 BN
HiPace 300
PT 0200 BN
HiPace 300 H
PT 0509 BN
HiPace 400
PT 0210 BN
HiPace 700
PT 0209 BN
HiPace 700 H
PT 0621 BN
TC 110
TC 400
TC 110
TC 400
TC 400
PT 0203 BN
PT 0204 BN
Refroidissement par air
oui
oui
oui
oui
PT 0500 BN
Pompe à vide primaire :
pompe roots à plusieurs étages
ACP 15
ACP 18
ACP 15
ACP 18
ACP 15
ACP 18
ACP 15
ACP 18
123884 O
112369 O
Pompe à vide primaire :
Pompe rotative à palettes
Duo 11 M
Duo 20 M
Duo 11 M
Duo 20 M
Duo 11 M
Duo 20 M
Duo 11 M
Duo 20 M
PD 0070 BN
PK 0203 BN
Pascal 2010
Pascal 2021
Pascal 2010
Pascal 2021
Pascal 2010
Pascal 2021
Pascal 2010
Pascal 2021
103275 O
103275 O
Unité de commande électronique
19/82
Description du produit
Caractéristique
HiCube Pro
Manuel de l’utilisateur
Pompe à vide primaire :
Pompes Scroll
HiScroll 6
HiScroll 6
HiScroll 6
HiScroll 6
PU 0080 BN
HiScroll 12
HiScroll 18
HiScroll 12
HiScroll 18
HiScroll 12
HiScroll 18
HiScroll 12
HiScroll 18
PU 0081 BN
Alimentation en courant avec
unité de commande et d’affichage
DCU 110
DCU 310
DCU 400
DCU 400
PT 0250 BN
Vanne de ventilation
optionnel
optionnel
optionnel
optionnel
PT 0228 BN
Chauffage du boîtier (refroidissement par eau requis)
optionnel
(seulement
pour CF-F)
optionnel
(seulement
pour CF-F)
optionnel
(seulement
pour CF-F)
optionnel
(seulement
pour CF-F)
PT 0233 BN
Adaptateur de commande pour
accessoires
oui
oui
oui
oui
PT 0521 BN
Accessoires
Tab. 4:
3.4
Options de combinaison de composants de groupe de pompage
Contenu de la livraison
●
●
●
●
●
Groupe de pompage turbomoléculaire HiCube Pro
Couvercle protecteur de la bride de vide poussé
Câble d’alimentation électrique, spécifique au pays
Câble de terre, 3 m (matériel de fixation incl.)
Fluide d’exploitation et tuyau flexible de remplissage (seulement avec une pompe rotative à palettes comme pompe à vide primaire)
● Manuel de l’utilisateur pour le groupe de pompage turbomoléculaire et chacun des composants
20/82
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transporter le groupe de pompage
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
ATTENTION
Risque de blessures en cas de basculement ou de dérive du groupe de pompage
Les pièces de la superstructure modifient le centre de gravité. Il existe un danger d’écrasement en
cas de basculement ou de dérive.
► Placez le groupe de pompage sur une surface d’installation plane.
► Ancrez le groupe de pompage sur l’emplacement de l’installation.
► Portez des équipements de protection individuelle.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Informations générales sur le transport en toute sécurité
1. Observez le poids spécifié sur l’emballage.
2. Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez le groupe de pompage dans son emballage
d’origine.
3. Le produit doit toujours être déplacé en position verticale et sur la surface la plus plane possible.
4. Retirez le couvercle protecteur seulement juste avant l’installation.
Informations sur le transport de la pompe à vide dans son emballage
1. Utilisez un transpalette pour transporter la pompe à vide dans son emballage.
2. Notez le centre de gravité de la charge.
3. Manipulez en toute sécurité les engins de transport à commande manuelle.
4. Les mouvements doivent être harmonieux et la vitesse modérée.
5. Veillez à ce que le support soit plat.
6. Portez des équipements de protection, p. ex. chaussures de sécurité.
Fig. 6:
Transporter le groupe de pompage turbomoléculaire
1 Obturateur de protection
2
Points de fixation
21/82
Transport et stockage
Informations pour le transport de la pompe à vide sans emballage
Pour un transport sans emballage, les groupes de pompage turbomoléculaire HiCube Pro sont équipés
de dégagements par rainures sur le côté du cadre.
1. Enlevez les obturateurs de protection des dégagements par rainures.
2. Fixez les dispositifs de levage appropriés sur au moins 3 points de fixation.
3. Attention à l’utilisation correcte et au serrage conforme de l’équipement de levage.
4. Soulevez la groupe de pompage verticalement (p. ex. pour le sortir de son emballage).
5. Placez le groupe de pompage turbomoléculaire en sécurité sur une surface de niveau, de taille
appropriée.
6. Insérez les obturateurs de protection dans les dégagements par rainures des points de fixation.
7. Débloquez le blocage de transport avant la mise en service sur le lieu de mise en place.
4.2
Blocage de transport
Les pompes à vide primaire des groupes de pompage turbomoléculaire HiCube sont protégées contre
les dommages pendant le transport.
Manipulation du verrouillage de transport
1. Débloquez le blocage de transport de la pompe à vide primaire seulement juste avant la mise en
service sur le lieu de mise en place.
2. Observez les instructions d'installation .
4.3
Stocker le groupe de pompage
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
1. Obturez hermétiquement l’ouverture de la bride avec le couvercle protecteur d’origine.
2. Fermez tous les autres raccords (p. ex. échappement) à l'aide des couvercles protecteurs correspondants.
3. Stockez la pompe à vide seulement dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées.
4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez le groupe de pompage turbomoléculaire et un produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
22/82
Installation
5 Installation
L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe
turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact
avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la
pompe turbomoléculaire.
Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de
la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et l'éclatement (rupture
de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire.
5.1
Préparatifs pour l'installation
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
Remarques générales pour l’installation des composants de vide
► L’emplacement de l’installation doit être choisi de façon à permettre à tout moment d'accéder au
produit et aux conduites d'alimentation.
► Observez les conditions ambiantes indiquées pour les limites d’utilisation.
► L'assemblage doit être effectué en veillant à une propreté maximale.
► Pendant l’installation, les composants de brides doivent être parfaitement dégraissés, dépoussiérés et secs.
5.2
Régler le groupe de pompage
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
Procédure
1. Respectez une distance minimum de 50 cm avec les limites latérales et appareils adjacents.
2. Vérifiez que les options de refroidissement sont suffisantes pour le groupe de pompage.
3. Installez des blindages appropriés si les champs magnétiques environnants excèdent les niveaux
admissibles.
23/82
Installation
4. Si un chauffage de boîtier ou un refroidissement par eau est utilisé, s’assurer que la température
au niveau de la bride de raccordement à la chambre de vide n’excède pas 120 °C.
5. Installez le blindage approprié de façon à ce que le rayonnement thermique ne dépasse pas les
valeurs admissibles lorsque des températures élevées sont générées en raison du procédé.
5.3
Ancrer le groupe de pompage
ATTENTION
Risque de blessures en cas de basculement ou de dérive du groupe de pompage
Les pièces de la superstructure modifient le centre de gravité. Il existe un danger d’écrasement en
cas de basculement ou de dérive.
► Placez le groupe de pompage sur une surface d’installation plane.
► Ancrez le groupe de pompage sur l’emplacement de l’installation.
► Portez des équipements de protection individuelle.
Ancrer le groupe de pompage
L'opérateur est responsable de l’ancrage.
● Vérifiez que la fixation du bâti de pompage installé par l’opérateur absorbe le couple
généré en cas de blocage soudain du rotor de la pompe turbomoléculaire.
Accessoires requis
● 3x sangles de longueur et de capacité de charge adéquates ; environ 3 cm de largeur
● Points de fixation sur place pour les sangles
1
3x
2
Fig. 7:
Fixer le groupe de pompage avec les sangles
1 Crochets de montage (3×)
2
Sangle
Sécuriser le groupe de pompage contre tout risque de déformation
1. Fixez toujours le groupe de pompage avec les sangles sur les trois crochets de montage.
– Observez la charge max. de 2 000 N par point de montage.
2. Positionnez les sangles perpendiculairement à l’ouverture des crochets de montage, autrement
dit à l’inverse du sens de rotation de la pompe turbomoléculaire.
3. Vérifiez que les sangles sont correctement montées et tendues. Vérifiez que la boucle de courroie
est dans l’ouverture du crochet de montage.
24/82
Installation
5.4
Raccordement côté vide élevé
5.4.1
Réaliser la contre-bride
AVIS
Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride
Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de fortes
contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de provoquer une fuite ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement.
► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées.
► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface.
Pièces de superstructure et robinetterie sur le raccord de vide élevé
La responsabilité de l'installation des pièces de superstructure et de la robinetterie sur le
raccord de vide élevé incombe à la société d'exploitation. La capacité de charge de la bride
de vide secondaire est spécifique à la pompe turbomoléculaire utilisée.
● Le poids total des pièces de superstructure ne doit pas excéder les valeurs axiales
maximum spécifiées.
● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque soudainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé.
● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de
vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
Paramètre
HiCube 80 Pro
HiCube 300 Pro
HiCube 400 Pro
HiCube 700 Pro
Couple maximum généré en cas d’éclatement1)
620 Nm
2 000 Nm
4 200 Nm
4 200 Nm
Charge axiale maximum autorisée sur la
bride de vide secondaire2)
1 000 N
(équivalent à
100 kg)
1 000 N
(équivalent à
100 kg)
1 000 N
(équivalent à
100 kg)
1 000 N
(équivalent à
100 kg)
Planéité
± 0,05 mm
± 0,05 mm
± 0,05 mm
± 0,05 mm
2
2
2
Résistance à la traction minimum du matériau de bride dans tous les états de
fonctionnement par rapport à la profondeur d’engagement des vis de fixation
170 N/mm
@ 2,5 x d
270 N/mm2
@ 1,5 x d
170 N/mm
@ 2,5 x d
270 N/mm2
@ 1,5 x d
170 N/mm
@ 2,5 x d
270 N/mm2
@ 1,5 x d
170 N/mm2
@ 2,5 x d
270 N/mm2
@ 1,5 x d
Champ magnétique environnant maximum admissible
3,3 mT
5,5 mT
6,0 mT
6,0 mT
Rayonnement thermique maximum admissible
3,0 W
8,0 W
14,0 W
14,0 W
Température maximum admissible du rotor
90 °C
90 °C
90 °C
90 °C
Tab. 5:
5.4.2
Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par le client
Utiliser un pare-éclats ou un écran protecteur
Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide
élevé protègent la pompe turbomoléculaire contre les corps étrangers provenant de la chambre de vide.
La vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire est réduite en fonction des valeurs de référence
de passage et de la grandeur de la bride de vide élevé.
1)
Le couple théorique calculé en cas d’éclatement (rupture de l’arbre du rotor) conformément à la norme
ISO 27892 n’a pas été atteint pendant les tests expérimentaux.
2)
Une charge qui s’exerce sur un seul côté n’est pas autorisée.
25/82
Installation
Taille de bride
Réduction de la vitesse de pompage en % pour le type de gaz
H2
He
N2
Ar
Bouclier pare-éclats DN 40
6
9
17
18
Bouclier pare-éclats DN 63
3
6
15
16
Écran protecteur DN 63
1
1
4
4
Bouclier pare-éclats DN 100
5
7
24
24
Écran protecteur DN 100
2
2
10
8
Bouclier pare-éclats DN 160
6
9
20
23
Écran protecteur DN 160
1
2
6
7
Tab. 6:
Réduction de la vitesse de pompage lors de l’utilisation d’un bouclier pare-éclats ou
d’un écran protecteur
Procédure
► Pour les brides ISO, utilisez des anneaux de centrage avec un écran protecteur ou un pareéclats.
► Pour des brides CF, insérez toujours la grille de protection ou le pare-éclats en tournant les talons
de serrage vers le rotor dans la bride de vide élevé.
5.4.3
Utilisation du compensateur de vibrations
Les compensateurs de vibrations Pfeiffer Vacuum sont destinés aux systèmes sensibles aux vibrations.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
Installation du compensateur de vibrations
1. Seul un compensateur de vibrations à passage vertical peut être installé.
2. Tenir compte de la résistance à l’écoulement.
3. Fixer la pompe turbo également à la bride de vide secondaire.
4. Respecter la fixation des brides ISO.
5.4.4
Effectuer le raccordement externe de la pompe turbomoléculaire
En fonction de la configuration, la pompe turbomoléculaire peut être utilisée indépendamment du groupe de pompage.
Démonter la pompe turbomoléculaire
Veuillez consulter les descriptions concernant la dépose d’une pompe turbomoléculaire du
groupe de pompage (voir chapitre « Enlever des composants pour la maintenance », page 45).
Procédure
1. Suivez les instructions d’installation de la pompe turbomoléculaire indiquées dans le manuel de
l’utilisateur concerné pour chaque composant.
2. Utilisez le lot de câble approprié fourni à la livraison.
– D’autres longueurs sont disponibles sur demande.
3. Étendez la conduite de vide primaire ou utilisez une conduite de la longueur requise.
26/82
Installation
5.4.5
Installation d'une bride ISO-KF
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion
peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride.
Outillage nécessaire
● Clé Allen
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 8:
Raccord à bride ISO-KF à ISO-KF
Utilisation d'un collier de serrage
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Fixer le raccord de vide secondaire sur la pompe turbo et le collier de serrage sur la contre-bride.
3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
4. Serrer les vis du collier de serrage de manière uniforme.
– Couple de serrage : 3,7 Nm.
5.4.6
Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion
peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride.
Outillage nécessaire
● Clé, WAF 15
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 9:
Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée
Raccordement avec boulon-agrafe à tête bombée
1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréé Pfeiffer Vacuum.
2. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
4. Serrer les boulons-agrafes à tête bombée en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm
27/82
Installation
5.4.7
Installation d'une bride ISO-K sur ISO-F
Les types de raccordement pour l'installation de la bride ISO-K avec une bride ISO-F sont :
●
●
●
●
« Griffes et trous taraudés »
« Vis à tête hexagonale et trous taraudés »
« Goujons et trous taraudés »
« Goujons filetés et trous traversants »
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion
peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride.
Raccordement des griffes et des trous taraudés
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Raccorder la bride conformément au schéma, à l'aide des composants du kit de montage.
3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
4. Serrer les griffes en 3 étapes, par paires opposées.
– Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm
1.5 × d
Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
3. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
4. Fixer la pompe turbo sur la contre-bride conformément au schéma, à l'aide de la bride à chapeau,
du circlip et de l'anneau de centrage.
5. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
6. Visser les vis à tête hexagonale dans les trous taraudés.
– Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur de vissage.
7. Serrer les vis à tête hexagonale 3 étapes, par paires opposées.
– Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm
2.5 × d
Raccordement des goujons et des trous taraudés
28/82
Installation
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bride.
– Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur de vissage.
3. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
4. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
5. Fixer la pompe turbo sur la contre-bride conformément au schéma, à l'aide de la bride à chapeau,
du circlip et de l'anneau de centrage.
6. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
7. Serrer les écrous en 3 étapes, par paires opposées.
– Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
3. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
4. Fixer la pompe turbo sur la contre-bride conformément au schéma, à l'aide de la bride à chapeau,
du circlip et de l'anneau de centrage.
5. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
6. Serrer les écrous en 3 étapes, par paires opposées.
7. Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm
5.4.8
Fixation d’une bride CF sur CF-F
Les types de raccordement pour l'installation de la bride CF avec une bride CF sont :
● « Vis à tête hexagonale et trous traversants »
● « Goujons avec trous taraudés »
● « Goujons avec trous traversants »
AVIS
Des fuites peuvent se produire en raison d'une installation incorrecte des brides CF
Le manque de propreté lors de la manipulation des brides CF et des joints de cuivre entraîne des
fuites et peut entraîner une dégradation de fonctionnement.
► Toujours porter des gants adéquats avant de toucher ou d'installer tout composant.
► Ne monter que des joints secs et dépourvus de graisse.
► Corriger les surfaces endommagées et les bords coupés.
► Remplacer les composants endommagés.
Outillage nécessaire
● Clé hexagonale (13 WAF)
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 10:
Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants
29/82
Installation
Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
agréés Pfeiffer Vacuum.
2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
5. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
convient de vérifier le couple.
Fig. 11:
Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés
Raccordement des goujons et des trous taraudés
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
agréés Pfeiffer Vacuum.
2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bride.
3. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
4. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
5. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
6. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
7. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
convient de vérifier le couple.
Fig. 12:
Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
agréés Pfeiffer Vacuum.
2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
5. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
convient de vérifier le couple.
30/82
Installation
5.5
Raccorder le côté d’échappement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par intoxication à la sortie de gaz de traitement toxique sans conduite
d'échappement
Le groupe de pompage turbo permet aux gaz d'échappement et aux vapeurs de s'échapper sans encombre dans l'atmosphère dans des conditions normales d'utilisation. Risque de blessure et danger
de mort par intoxication lors des processus employant des fluides toxiques.
► Respectez les instructions correspondantes lors de la manipulation de substances toxiques.
► Évacuez les gaz de traitement toxiques en toute sécurité par le biais d'une conduite d'échappement.
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz
sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement.
Séparateur des condensats
Pfeiffer Vacuum recommande l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement
de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement.
1
Fig. 13:
2
Exemple de raccord d'échappement de la pompe à vide primaire
1 Raccord d'échappement, filet de vis intérieure 1/2"
2
Couvercle protecteur
Procédure
1. Retirez le couvercle protecteur du raccord d’échappement.
2. Choisissez une coupe transversale minimum de conduite d'échappement égale à la grandeur nominale du raccordement.
31/82
Installation
3. Installez un raccord à vide avec des composants petite bride, comme la bride à visser DN 16 ISOKF de la boutique de composants Pfeiffer Vacuum.
4. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats.
5. Fixez ou accrochez la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la
pompe à vide.
5.6
Enlever le blocage de transport
Le blocage de transport fixe le panneau de plancher monté sur ressort diagonalement avec 2 vis moletées.
1
(2×)
Fig. 14:
1
Blocage de transport pour pompe à vide primaire
Vis moletée sur le blocage de transport
Procédure
1. Tournez la vis moletée sur le blocage de transport vers le haut jusqu’à la butée.
2. Débloquez le blocage de transport sur le côté opposé.
5.7
Remplir avec du fluide d’exploitation
AVIS
Risque de dégâts en cas d’utilisation d’un fluide d’exploitation non approuvé
Les données de performance du produit ne sont pas respectées. Les réclamations de responsabilité
et de garantie auprès de Pfeiffer Vacuum sont exclues.
► Utiliser uniquement des fluides d’exploitation approuvés.
► Consulter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser tout autre fluide d’exploitation spécifique à une application.
Utiliser les fluides d’exploitation
S'applique seulement à la HiCube Pro avec une pompe rotative à palettes comme pompe à
vide primaire.
● Le fluide d'exploitation pour les pompes rotatives à palettes est inclus dans l’étendue de la livraison.
● Le réservoir du fluide d'exploitation sur la pompe turbomoléculaire est déjà rempli et installé.
● La pompe à vide primaire ACP à joint sec est remplie de lubrifiant au départ d’usine.
● La pompe scroll à joint sec ne contient pas de lubrifiant.
Fluide d’exploitation admissible
● P3 (fluide d’exploitation standard)
Indication du type de fluide d’exploitation sur la plaque signalétique
► Consultez la plaque signalétique de la pompe à vide pour connaître le type et la quantité de fluide
d’exploitation prévu.
32/82
Installation
1
2
3
4
Fig. 15:
Remplir avec du fluide d’exploitation
1 Vis de remplissage
2 Tube de remplissage
3
4
Bouteille de fluide d’exploitation
Pompe à vide primaire : Pompe rotative à palettes
Consommables requis
● Fluide d’exploitation de la pompe à vide
● Tube de remplissage
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 5
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 2,5)
Procédure
1. Dévissez et enlevez la vis d'arrêt sur la bouteille de fluide d’exploitation.
2. Vissez le tuyau de remplissage sur la bouteille de fluide d’exploitation.
3. Dévissez et enlevez la vis de remplissage sur la pompe rotative à palettes.
4. Remplissez avec du fluide d’exploitation conformément au manuel de l'utilisateur de la pompe rotative à palettes.
5. Revissez le boulon de remplissage.
– Faites attention au joint torique.
5.8
Raccorder les accessoires
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomoléculaires hybrides approuvés se trouvent en ligne.
33/82
Installation
Raccordement d’accessoires sur l’unité de commande électronique TC 400
Raccordement auxiliaire à unité de commande électronique TC 400 et TM 700
L'unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire offre un espace suffisant
pour raccorder jusqu'à 4 accessoires. Des prises M12 avec la désignation « Accessoires »
sont disponibles à cet effet.
● Les connexions des accessoires ont été préconfigurées en usine.
● Après la connexion des accessoires préconfigurés, ces derniers sont immédiatement
prêts à l’emploi conformément aux paramètres d’usine.
● L’utilisation d’autres accessoires pour les pompes turbo est possible et nécessite des
réglages dans la configuration de l’unité de commande électronique.
● La sortie d'accessoire requise est configurée par RS-485, à l'aide des unités d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d'un ordinateur.
● Pour des informations détaillées, voir le manuel de l'utilisateur « Unité de commande
électronique TC 400 » ou « Unité de commande électronique TC 700 ».
11
Y-Connector
for Accessories
Tab. 7:
22
Raccordement de
l’unité de commande
électronique
Raccordement des accessoires
Connecteur Y
Configuration prédéfinie
Acc. A
A1
Y-1
Ventilateur (thermorégulé)
A2
Y-2
Pompe à vide primaire
B1
Y-1
Vanne de ventilation
B2
Y-2
Chauffage
Selon B
Raccordements d'accessoires préconfigurés sur l’unité de commande électronique
TC 400
Raccordement d’accessoires sur l’unité de commande électronique TC 110
Connexion des accessoires à TC 110
● L'utilisation d'accessoires Pfeiffer Vacuum via l'unité d'entraînement électronique TC
110 n'est possible qu'avec un câble de raccordement et/ou un adaptateur correspondant sur la connexion multifonctions X3.
● Configurer la sortie d'accessoire requise par RS-485, à l'aide des équipements d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d'un ordinateur.
1
3
Fig. 16:
1
2
3
4
34/82
5
DO1
7
4
DO2
B1 ACC A1
X3
2
6
Exemple de raccordement d'accessoires via adaptateur TCS 12
Connexion multifonctions X3
Adaptateur TCS
Connexion des accessoires B1
Connexion RS-485
5
6
7
Sortie numérique DO2
Sortie numérique DO1
Connexion des accessoires A1
Installation
Raccordement d’accessoires configurés par défaut
► Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire correspondant.
► Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes.
► Raccordez uniquement les accessoires adaptés à l’unité de commande électronique.
► Utilisez le connecteur en Y de la gamme des accessoires si vous voulez raccorder 3 ou 4 appareils à la TC 400.
5.9
Connecter les tubes de mesure
La prise de connexion de désignation "X3" est utilisée pour connecter un transmetteur Pfeiffer Vacuum.
Tubes de mesure
Affichage sur le DCU [P:738]
APR 250/260
CMRx61
CMR 261/361
CMRx61, suivant sélection manuelle
CMR 262/362
CMRx62, suivant sélection manuelle
CMR 263/363
CMRx63, suivant sélection manuelle
CMR 264/364
CMRx64, suivant sélection manuelle
CMR 365
CMRx65, suivant sélection manuelle
MPT 200 AR
PKR2xx
PCR 280
TP/PCR
PKR 251/261/360/361
PKR2xx
PPT 200 AR
TP/PCR
RPT 200 AR
TP/PCR
TPR 270/280/281
TP/PCR
Tab. 8:
Transmetteurs Pfeiffer Vacuum disponibles pour branchement à un DCU
Procédure
1. Connecter un tube de mesure de la pression au raccord "X3" du DCU, comme requis.
2. Le câble de raccordement correspondant est disponible auprès de Pfeiffer Vacuum.
3. Changer le nom du transmetteur, comme demandé, via le paramètre [P:738].
5.10
Raccorder le groupe de pompage à la prise de terre
Fig. 17:
Câble de terre
35/82
Installation
Accessoires requis
● Vis M4 × 8
● Disque anti-vibration M4, si nécessaire
Procédure
1. Utilisez le câble de terre sur l’intérieur du bâti de l’électronique pour décharger les interférences
liées aux applications.
2. Raccordez l’anneau du câble de terre M4 à un connecteur approprié.
3. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur.
5.11
Raccorder au réseau d'alimentation
AVERTISSEMENT
Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte
L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou
inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
1
2
Fig. 18:
Connecteur d'alimentation électrique et interrupteur principal sur HiCube Pro
1 Câble d'alimentation
2
Interrupteur principal
Établir le réseau d'alimentation pour HiCube Pro
1. Veillez à ce que l’interrupteur principal soit désactivé avant d’effectuer le raccordement.
2. Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
3. Connectez le câble d'alimentation fourni à la livraison au connecteur sur le côté du bâti du groupe
de pompage.
4. Bloquez le câble d’alimentation électrique avec un étrier de retenue.
5. Raccordez le câble d'alimentation au réseau d'alimentation du site.
36/82
Utilisation
6 Utilisation
6.1
Mettre en service
Les réglages et variables fonctionnelles essentielles sont programmés en usine sous forme de paramètres dans les unités de commande électroniques des pompes à vide. Chaque paramètre dispose d’un
nombre à trois chiffres et d’une description. Les paramètres sont utilisables via les unités de commande
et d’affichage Pfeiffer Vacuum ou de façon externe via RS-485, à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum.
Paramètre
Nom
Désignation
Option
HiCube 80 Pro
HiCube 300
Pro
HiCube 400
Pro
HiCube 700
Pro
[P:001]
Chauffage
Chauffage
sans chauffage
0
0
0
avec chauffage
1
1
1
[P:012]
EnableVent
Activer les ventilations
1
1
1
[P:019]
Cfg DO2
Configuration sortie DO2
13 (= pompe à
vide primaire)
–
–
[P:023]
MotorPump
Moteur de pompe
–
1
1
[P:024]
Cfg DO1
Configuration sortie DO1
–
21 = Vanne à
vide, retardée
21 = Vanne à
vide, retardée
[P:025]
OpMode
Mode de fonctionnement de
la pompe à vide primaire
Duo/Pascal
0 = fonctionnement continu
0 = fonctionnement continu
0 = fonctionnement continu
ACP
1 = fonctionnement intermittent
1 = fonctionnement intermittent
1 = fonctionnement intermittent
Scroll
1 = fonctionnement intermittent
1 = fonctionnement intermittent
1 = fonctionnement intermittent
Refroidissement par air
4
4
4
Refroidissement à eau
2
2
2
Configuration de la connexion des accessoires B1
1 = vanne de
ventilation, fermée sans courant
1 = vanne de
ventilation, fermée sans courant
1 = vanne de
ventilation, fermée sans courant
[P:046]
Relais de configuration 2
–
15 = groupe de
pompage
15 = groupe de
pompage
[P:047]
Relais de configuration 3
–
13 = pompe à
vide primaire
13 = pompe à
vide primaire
[P:055]
Configuration sortie DO1
8 = commande
de vide primaire
–
13 = pompe à
vide primaire
[P:035]
[P:036]
[P:710]
[P:711]
Cfg Acc
A1
Cfg Acc
B1
Swoff
BKP
SwOn
BKP
Configuration de la connexion des accessoires A1
Seuil d’arrêt de la pompe à
vide primaire pour le fonctionnement par intermittence
Duo/Pascal
0W
0W
0W
ACP 15/28
10 W
50 W
65 W
Scroll
10 W
50 W
65 W
Seuil d’activation de la pompe à vide primaire pour le
fonctionnement par intermittence
Duo/Pascal
0W
0W
0W
ACP 15/28
10 W
50 W
65 W
Scroll
20 W
70 W
110 W
37/82
Utilisation
Paramètre
Nom
Désignation
[P:794]
Ensemble
param
[P:795]
Servicelin
HiCube 80 Pro
HiCube 300
Pro
HiCube 400
Pro
HiCube 700
Pro
Ensemble de paramètres
1 = avancé
1 = avancé
1 = avancé
Vue ligne service
309 = vitesse
réelle
309 = vitesse
réelle
309 = vitesse
réelle
Tab. 9:
Option
Réglage-usine des paramètres clés à la livraison
AVIS
Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées
Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo.
► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique.
► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (>
80).
Observer le temps d'accélération
Le condensat ou l’humidité de la zone de vide primaire a un effet négatif sur le débit du
groupe de pompage et peut allonger le temps d'accélération.
● Après la mise en route, faites fonctionner le groupe de pompage pendant environ 5 minutes avec la soupape de lest d'air ouverte.
Mettre en service le groupe de pompage turbomoléculaire
1. Vérifiez que le blocage de transport a été libéré.
2. S'il y a lieu, assurez l’alimentation et le débit d’eau de refroidissement.
3. S'il y a lieu, assurez l’alimentation et le débit de la purge de gaz neutre.
4. Alimentez le produit en électricité.
6.2
Mettre en route le groupe de pompage turbomoléculaire
AVERTISSEMENT
Danger de mort par intoxication à la sortie de gaz de traitement toxique sans conduite
d'échappement
Le groupe de pompage turbo permet aux gaz d'échappement et aux vapeurs de s'échapper sans encombre dans l'atmosphère dans des conditions normales d'utilisation. Risque de blessure et danger
de mort par intoxication lors des processus employant des fluides toxiques.
► Respectez les instructions correspondantes lors de la manipulation de substances toxiques.
► Évacuez les gaz de traitement toxiques en toute sécurité par le biais d'une conduite d'échappement.
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz
sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement.
38/82
Utilisation
Mettre en circuit l’alimentation électrique
► Mettez en circuit l’interrupteur principal.
Une fois l’alimentation en courant établie, la DCU effectue un test automatique avec un contrôle des
unités raccordées. La durée du test automatique est d’environ 20 secondes et est visualisée sur l’écran
d'affichage avec une barre de progression.
Mettre en service le groupe de pompage
►
6.3
Démarrez le groupe de pompage turbomoléculaire.
Fonctionnement normal
Utilisation du DCU
► Lors de l'utilisation du module d'affichage et de commande DCU 002 Pfeiffer Vacuum, prière de
se référer au manuel de l'utilisation fourni à la livraison.
Touche
Paramètre | usage
correspond à
[010] = 0 ou 1
Description
Groupe de pompage ON/OFF (MARCHE/ARRÊT) : Tous
les composants sont mis en/hors service en fonction de leur
configuration
Validation d'erreur (Initialisation) : Initialise les messages
d'erreur actifs, si leur cause a été corrigée.
Tab. 10:
6.4
[308] --> [309]
Navigation en avant dans l'ensemble de paramètres
[309] --> [308]
Navigation en arrière dans l'ensemble de paramètres
Pression simultanée
Mode d'édition : Permet le réglage des options de paramètre
La flèche - - - > indique l'option sélectionnée sur l'affichage
Nouvelle pression simultanée
Mode de sélection : Permet de valider la sélection effectuée (« modification confirmée » apparaît)
Description des fonctions des touches du DCU
Mode stand-by
En fonction de la consommation de courant de la pompe turbomoléculaire, l’unité de commande électronique contrôle le fonctionnement de la pompe à vide primaire. Quand la pompe à vide primaire est
en mode stand-by, la consommation de courant totale du groupe de pompage et la température de
fonctionnement de la pompe à vide primaire sont réduites.
● Mode stand-by pour pompes à vide primaire ACP --> réglé par défaut
● Mode stand-by pour pompes à vide HiScroll --> réglé par défaut
● Mode stand-by pour pompes rotatives à palettes --> configurable
Pompe turbomoléculaire
Seuil de mise à l’arrêt [P:710]
Seuil de mise en marche [P:711]
HiPace 80/TC 110
10 W
20 W
HiPace 300/TC 400
50 W
70 W
HiPace 400/TC 400
65 W
110 W
HiPace 700/TC 400
65 W
110 W
Tab. 11:
Seuils de commutation réglés par défaut pour le mode stand-by avec les pompes à
vide primaire ACP et HiScroll
Alternative : Mettre en marche le mode stand-by pour les pompes rotatives à palettes
Les fluctuations de la consommation de courant dépendent de la consommation de courant de la pompe turbomoléculaire pendant le mode marche lente à vide et de la variation des pressions de vide primaire.
39/82
Utilisation
Les seuils de commutation pour le mode stand-by des pompes rotatives à palettes comme pompes à
vide primaire sont configurables via la DCU.
1. Déterminez le seuil de commutation optimal pour la pompe rotative à palettes respective pour votre application.
2. Réglez le paramètre [P:794] sur « 1 » (affiche le jeu de paramètres avancés).
3. Configurez les seuils de commutation pour les paramètres [P:710] et [P:711] selon le manuel de
l'utilisateur de l’unité de commande électronique respective.
6.5
Fonctionnement avec lest d’air
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement en cas d'utilisation incorrecte du système de lest d'air
Le système de lest d'air de la pompe Scroll est étanche au vide seulement lorsqu’il est utilisé dans
les positions valides « 0 », « 1 » et « 2 ». Lors du fonctionnement des soupapes dans des étages
intermédiaires, il existe un risque de fuite incontrôlée de la substance de procédé dans l’atmosphère
ambiante. En cas d’utilisation du substance de procédé toxique, il existe un risque d’empoisonnement.
► Modifiez les positions de la soupape seulement pour le réglage des étages de lest d’air.
► La soupape de lest d'air ne doit être mise en fonction que dans les positions om l’interrupteur
s’enclenche.
AVIS
Risque de dommages dus à la condensation dans la pompe à vide
Lorsque la pression de vapeur saturante de la substance de procédé dépasse la valeur maximale
admissible pendant la phase de compression, la condensation se forme dans la chambre d’aspiration. Il en résulte une augmentation de la pression ultime pouvant être atteinte et une détérioration
générale des données de performance de la pompe à vide. Corrosion et contamination ont un effet
négatif sur la durée de vie.
► Utilisez le lest d’air.
► Alimentez avec de l’air sec ambiant ou du gaz inerte pour augmenter la capacité fournie de vapeur de la substance de procédé.
► Pompez les gaz condensables uniquement lorsque la pompe à vide est à température de fonctionnement et la soupape à lest d’air ouverte.
► Faites fonctionner la pompe à vide avec le lest d’air pendant 30 minutes supplémentaires après
la fin du procédé pour dissiper l’humidité résiduelle.
Raccord de lest d’air pour pompe à vide primaire
Toutes les pompes à vide primaire ont une soupape de lest d'air.
● Pour des instructions détaillées sur le fonctionnement avec un lest d'air, voir le manuel
de l'utilisateur de la pompe à vide primaire respective.
Débit de gaz
Le débit de gaz augmente en fonction de la pression d’admission.
Conditions préalables
● La pompe à vide primaire est chauffée à la température de fonctionnement.
● Si nécessaire, fermez l’alimentation en gaz externe.
Procédure
1. Si nécessaire, raccordez l’appareil de fermeture existant sur le côté vide.
2. Respectez la pression d’entrée admissible.
3. Tournez le commutateur de la soupape de lest d’air sur la position désirée.
– Laissez le commutateur s’enclencher complètement en position.
4. En cas d’utilisation d’une alimentation de gaz externe, ouvrez l’alimentation.
40/82
Utilisation
6.6
Éliminer la charge de condensat
Si le fait d'ouvrir la soupape de lest d’air sur la pompe à vide primaire ne suffit pas à réduire la charge
de condensat, utilisez le raccord de ventilation sur la pompe turbomoléculaire.
Condition préalable
● Pompe turbomoléculaire arrêtée
Accessoires requis
● Gaz inerte sec, si possible
● Vanne de ventilation avec alimentation de gaz raccordée
Procédure
1.
Mettez hors service le groupe de pompage turbomoléculaire.
2. Réglez le paramètre [P:023] sur « 0 » (moteur pompe turbomoléculaire arrêté).
3. Réglez le paramètre [P:025] sur « 0 » (type de service : pompe à vide primaire en fonctionnement continu).
4. Réglez le paramètre [P:036] sur « 7 » (vanne de ventilation en fonctionnement continu).
5.
Démarrez le groupe de pompage turbomoléculaire.
6. Ouvrez la vis de ventilation.
7. Laissez la ventilation se faire via la vanne de ventilation raccordée.
8. Utilisez la pompe à vide primaire pendant environ 5 min pour éliminer le condensat.
– Si nécessaire, répétez l’opération.
9.
Mettez hors service le groupe de pompage turbomoléculaire.
10. Restaurez la configuration initiale (voir chapitre « Mettre en service », page 37).
6.7
Surveillance des opérations
6.7.1
Affichage LED du mode de fonctionnement
Les LED sur le panneau avant du DCU indiquent l'état de fonctionnement de base.
DEL
Verte
Rouge
Tab. 12:
6.7.2
Symbole
État DEL
Affichage
Signification
Éteinte
sans courant
Allumée, clignotante
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
Allumée, clignotement inverse
« Groupe de pompage MARCHE »,
régime nominal non atteint
Allumée, en continu
« Groupe de pompage MARCHE »,
régime nominal atteint
Allumée, clignotante
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation > 60 tr/min
Éteinte
pas d’erreur, pas d’avertissement
Allumée, clignotante
Avertissement
Allumée, en continu
Erreur
Affichage DEL et signification sur le DCU
Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d’amener les pompes à vide dans un état sécurisé. Selon le type de pompe, les seuils de température
pour les messages d’avertissement et de dysfonctionnement sont mémorisés inchangés dans l’unité
d’entraînement électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont préparées dans
l’ensemble de paramètres.
● Dans les cas où la température du moteur n'est pas admissible ou si la température du boîtier est
anormalement élevée, la puissance d'entraînement de la pompe turbo est réduite. La vitesse de
41/82
Utilisation
rotation du moteur pourrait alors chuter sous la valeur de consigne de point de commutation, entraînant l'arrêt de la pompe turbo.
● Si la température de la pompe de secours atteint une valeur non admissible (> 75 °C), la vitesse
de rotation du moteur est réduite à sa valeur nominale afin d'éviter une surchauffe. Après refroidissement (< 72 °C), la pompe de secours se remet à tourner à la vitesse de consigne.
6.8
Fonctionnement avec la vanne à vide primaire
La vanne de sécurité de vide primaire est située dans la conduite de vide primaire entre la pompe turbomoléculaire et la pompe à vide primaire. Elle protège le vide de procédé et la pompe turbomoléculaire contre toute ventilation imprévue après l'arrêt de la pompe à vide primaire ou en cas de panne de
courant. La vanne à vide primaire commute sur les autres composants de groupe de pompage après
une temporisation pour éviter les retours lors de la mise en route. La vanne est fermée sans courant.
● [P:010] groupe de pompage « Marche » = la vanne de sécurité de vide primaire s'ouvre après
8 secondes.
● [P:010] groupe de pompage « Arrêt » = la vanne de sécurité de vide primaire est fermée.
6.9
Mise hors circuit et mise à l'air
Recommandation
Purger la pompe turbo après son arrêt. Cette opération permet d'éviter le reflux des particules dans le système de vide depuis la zone de vide préliminaire.
6.9.1
Arrêt du groupe de pompage turbo
Procédure
►
Arrêter le groupe de pompage turbo.
Les composants s'arrêtent en fonction de leur configuration. Le groupe de pompage reste
prêt à l'emploi.
► Couper l'alimentation électrique à l'aide de l'interrupteur principal.
–
6.9.2
Mise à l'air
ATTENTION
Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air
Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct
de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome.
► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air.
► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de
mise à l'air.
AVIS
Endommagement de la pompe turbo lié à une augmentation rapide et inadmissible de la pression pendant la mise à l'air
L'augmentation rapide d'une pression élevée est inadmissible et soumet le rotor et le palier magnétique de la pompe turbo à une contrainte significative. Lors de la mise à l'air de très petits volumes
dans la chambre de vide ou la pompe turbo, il existe un risque d'augmentation incontrôlable de la
pression. La pompe turbo peut être endommagée mécaniquement ou détruite.
► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée.
► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter.
► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire.
42/82
Utilisation
Mise à l'air manuelle
La mise à l'air manuelle décrit la procédure standard de mise à l'air du groupe de pompage.
1. Vérifier que le système de vide est à l'arrêt.
2. Dévisser d'un tour au maximum la vis noire de mise à l'air sur la pompe turbo.
3. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide.
4. Revisser la vis de mise à l'air.
Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum
La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo.
La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité
d’entraînement électronique de la pompe turbo et la configuration des paramètres [P:012] et [P:030].
En cas de panne de courant, la pompe turbo génère suffisamment d'énergie pendant sa phase d'arrêt
progressif pour initier une mise à l'air correcte. Lorsque le courant revient, la mise à l'air est interrompue.
► Mettre la pompe turbo hors circuit.
– Le processus de mise à l'air démarre automatiquement.
Vitesse de mise à l'air [P:720]
Durée de mise à l'air
[P:721]
Durée de mise à l'air en cas de panne de courant
50 % de la vitesse nominale
3 600 s
3 600 s
Tab. 13:
Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo
Informations générales sur la mise à l'air rapide
Pfeiffer Vacuum recommande la mise à l'air rapide de grands volumes en 4 étapes.
1. Utiliser une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbo. Alternativement, la section
transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maximal de mise à
l'air.
2. Mettre à l'air le système de vide avec une augmentation de pression maximale de 15 hPa/s pendant 20 secondes.
3. Mettre ensuite à l'air avec une deuxième vanne de mise à l'air de taille quelconque, par exemple
directement sur la chambre de vide.
4. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide.
43/82
Maintenance
7 Maintenance
7.1
Informations générales sur la maintenance
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien
L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe turbo est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants
sous tension.
► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur.
► Attendre que la pompe turbo soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0).
► Débrancher la prise secteur de l'appareil.
► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux
pièces coupantes en mouvement
Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne
une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomoléculaire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Mettez correctement hors circuit la pompe turbomoléculaire.
► Sécurisez la pompe turbomoléculaire contre tout risque de redémarrage.
► Fermez immédiatement les connexions ouvertes après démontage en utilisant le cache d'origine.
7.2
Intervalles de maintenance et responsabilités
Instructions pour l'exécution de la maintenance
1. Effectuer la maintenance requise sur les composants du groupe de pompage, conformément aux
instructions fournies dans chaque manuel de l'utilisateur.
2. Nettoyer l'extérieur du groupe de pompage turbo avec un chiffon non pelucheux et un peu d'alcool
isopropylique.
3. En cas de charges extrêmes ou de processus avec des fluides contaminés, consulter Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts.
4. Pour toutes les autres opérations de nettoyage, maintenance ou réparation, contacter le centre
Pfeiffer Vacuum Service adéquat.
44/82
Maintenance
7.3
Enlever des composants pour la maintenance
AVIS
Dysfonctionnement dû à une modification de la configuration de raccordement
Les raccordements du groupe de pompage sont préconfigurés en usine. Une interversion des raccordements des lignes de commande du connecteur peut entraîner un dysfonctionnement ou une défaillance du groupe de pompage.
► Lors de la dépose des composants, il convient de noter leur emplacement/disposition en prévision du remontage.
► Noter les valeurs de consigne importantes et la configuration des accessoires du DCU avant de
démonter le groupe de pompage ou des composants.
La maintenance assurée par le client sur les composants du groupe de pompage peut nécessiter l'enlèvementdu cadre du groupe de pompage.
Connecteurs sur le TC
Accessoire préréglé
Acc. A1
Refroidissement par air
Acc. B1
Vanne de ventilation
DO2
Pompe à vide primaire (HiCube 80 Pro seulement)
Tab. 14:
7.3.1
Raccordements d’accessoires préréglés
Effectuer les travaux préparatoires
1
2
Fig. 19:
Raccordements électriques
1 Câble de secteur
2
Interrupteur principal
Procédure
1. Mettez hors service le groupe de pompage à l’aide de l’interrupteur principal.
2. Attendre que tous les composants soient complètement immobilisés.
3. Débranchez le connecteur de réseau.
4. Pour le refroidissement à l’eau : arrêtez l'alimentation en eau de refroidissement.
7.3.2
Enlever la pompe turbomoléculaire
Paramètres d’usine
Tous les raccords d'accessoires de pompe turbo sont préconfigurés en usine. Toute confusion entraînera des dysfonctionnements ou une défaillance fonctionnelle.
1. Prière de noter la configuration initiale du produit.
2. Noter les connexions de câble et les paramètres avant d'effectuer toute modification.
45/82
Maintenance
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
2
1
6
5
Fig. 20:
3
4
Raccordements de la pompe turbomoléculaire
1 Câble de commande de refroidissement par air
(« Accessoire »)
2 Câble de commande de vanne de ventilation (« Accessoire »)
3 Raccord de vide primaire, anneau de serrage
4
Câble d’interface RS-485
5
Raccordement « CC in »
6
ACP ou câble de commande de pompe
à vide primaire HiScroll (« Remote »)
Procédure
1. Enlevez tous les connecteurs de l’unité de commande électronique.
2. Enlevez le raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire.
3. Évitez d’endommager le tuyau flexible de vide primaire.
46/82
Maintenance
1
2
6
5
4
3
Fig. 21:
Démonter la pompe turbomoléculaire
1 Pompe turbomoléculaire, complète
2 Câble de commande de refroidissement par air
3 Vis de fixation avec rondelle
4
5
6
Cadre, châssis
Disque de freinage
Plaque de montage
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux
Procédure
1. Dévissez toutes les vis de fixation et les rondelles de la plaque de montage.
2. Soulevez la pompe turbomoléculaire de la plaque de montage.
3. Faites attention au câble de commande.
4. Effectuez la maintenance conformément aux instructions spécifiques dans le manuel de l'utilisateur.
Effectuer l'entretien de la pompe turbomoléculaire
L'ouverture dans la plaque de montage facilite l'accès pour les opérations de maintenance
sur la pompe turbomoléculaire (remplacement du réservoir de fluide d’exploitation, par
exemple).
7.3.3
Installer la pompe turbomoléculaire
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Procédure
1. Placez la pompe turbomoléculaire sur la plaque de montage.
2. Vissez les vis à tête cylindrique avec les disques sur la partie inférieure de la pompe.
3. Observez les couples de serrage indiqués.
47/82
Maintenance
Pompe turbomoléculaire
Vis de fixation
Quantité
Couple de serrage
HiPace 80
Douille hexagonale M5 × 12
6 pièces
10 Nm
HiPace 300
Douille hexagonale M8 × 20
5 pièces
30 Nm
HiPace 400
Douille hexagonale M8 × 20
6 pièces
30 Nm
HiPace 700
Douille hexagonale M8 × 20
6 pièces
30 Nm
Tab. 15:
7.4
Couple de serrage pour la fixation des pompes turbomoléculaires
Changer le fluide d’exploitation
AVERTISSEMENT
Risque pour la santé et l’environnement dû à la contamination du fluide d’exploitation par des
substances toxiques
Les substances toxiques et procédés peuvent contaminer le fluide d’exploitation. Lors du remplacement du fluide d’exploitation, tout contact avec des substances toxiques présente un risque pour la
santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Portez des équipements de protection individuelle adaptés pour manipuler ces substances.
► Mettez au rebut le fluide d’exploitation conformément à la réglementation locale en vigueur.
ATTENTION
Risque de brûlures dues au fluide d’exploitation chaud
Risque de brûlures lors de la vidange du fluide d’exploitation, si celui-ci vient en contact avec la peau.
► Portez des équipements de protection individuelle.
► Utilisez un récipient de vidange adéquat.
Utiliser les fluides d’exploitation
S'applique seulement à la HiCube Pro avec une pompe rotative à palettes comme pompe à
vide primaire.
Conditions préalables
●
●
●
●
Pompe à vide mise hors service
Pompe à vide ventilée à la pression atmosphérique
La pompe à vide est à température ambiante et peut donc être touchée
Le fluide d’exploitation est encore chaud
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
48/82
Maintenance
4
3
2
1
5
Fig. 22:
Changement du fluide d'exploitation avec pompe rotative à palettes comme pompe à
vide primaire
1 Bouchon de vidange
2 Voyant de niveau
3 Pompe à vide primaire
4
5
Vis de remplissage
Canal de vidange
Vidange du fluide d’exploitation
1. Dévissez les boulons de remplissage.
– Faites attention au joint torique.
2. Placez un récipient sous l’orifice de vidange.
3. Dévissez le boulon de vidange.
– Faites attention au joint torique.
4. Permettre l’écoulement du fluide d’exploitation dans un récipient collecteur.
Agiter le fluide d’exploitation résiduel
1. Vissez le boulon de remplissage.
– Faites attention au joint torique.
2. Vissez le boulon de vidange.
– Faites attention au joint torique.
3. Allumer la pompe à vide avec la bride de vide ouverte pendant 5 secondes au maximum.
Vidangez le fluide d’exploitation résiduel
1. Dévissez le boulon de vidange.
– Faites attention au joint torique.
2. Inclinez doucement la pompe à vide.
3. Vidangez le fluide d’exploitation résiduel.
4. Vissez le boulon de vidange.
– Remplacez le joint torique.
– Couple de serrage : 6 Nm
5. Se débarrasser du fluide d’exploitation usagé conformément à la réglementation en vigueur.
Remplir avec du fluide d’exploitation neuf
1. Vissez à fond le bouchon de vidange.
– Faites attention au joint torique.
2. Observez le couple de serrage admissible conformément au manuel de l'utilisateur des composants individuels.
3. Remplissez avec du fluide d’exploitation neuf.
4. Contrôlez le niveau.
5. Revissez les boulons de vidange à fond.
– Faites attention au joint torique.
6. Observez le couple de serrage admissible conformément au manuel de l'utilisateur des composants individuels.
49/82
Mise hors service
8 Mise hors service
8.1
Mettre hors service pour de longues périodes
Procédure
1. Si nécessaire, retirez le groupe de pompage du système de vide.
2. Si nécessaire, remplacez le réservoir de fluide d’exploitation de la pompe turbomoléculaire.
3. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d’origine.
4. Le groupe de pompage doit être stocké en intérieur, à une température comprise entre -10 °c et
+40 °C.
5. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez le groupe de pompage et un
produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
8.2
Remettre en service
AVIS
Risque d'endommagement de la pompe turbo lié au vieillissement du fluide d’exploitation
après la remise en service
La durée de conservation du fluide d’exploitation de la pompe turbo est limitée. Le vieillissement du
fluide d’exploitation peut entraîner la défaillance du roulement à billes et endommager la pompe turbo.
► Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation :
● après 2 ans au maximum sans fonctionnement,
● après 4 ans au maximum en combinant périodes de fonctionnement et d'arrêt.
► Respecter les instructions de maintenance et informer le service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Risque de dégâts à la pompe à vide par vieillissement excessif du fluide d’exploitation
Le fluide d’exploitation perd ses propriétés après un certain temps (2 ans max.). Avant la remise en
service après un arrêt de 2 ans ou plus, effectuer les opérations suivantes.
► Remplacer le fluide d’exploitation.
► Remplacer la bague radiale à lèvres à ressort et les autres pièces en élastomère si nécessaire.
► Respecter les consignes de maintenance. Si besoin, demander conseil auprès de Pfeiffer Vacuum.
Procédure de remise en service du groupe de pompage
1. Contrôlez le groupe de pompage à la recherche de tout signe de contamination et de moisissure.
2. Nettoyez l’extérieur du groupe de pompage turbomoléculaire avec un chiffon non pelucheux et un
peu d’alcool isopropylique.
3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer entièrement le groupe de pompage.
4. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer entièrement les composants du
groupe de pompage.
5. Installez le groupe de pompage conformément à ces instructions (voir chapitre « Installation », page 23).
6. Remettez en service le groupe de pompage conformément à ces instructions .
50/82
Recyclage et mise au rebut
9 Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
Protection de l'environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
9.2
Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires
Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation.
2. Enlevez l’unité de commande électronique.
3. Décontaminez les composants qui sont entrés en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
9.3
Élimination de la pompe rotative à palettes
Les pompes rotatives à palettes Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
1. Videz complètement le lubrifiant.
2. Démantelez le moteur.
3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
51/82
Recyclage et mise au rebut
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
9.4
Mettre au rebut des pompes roots à plusieurs étages
Les pompes roots Pfeiffer Vacuum ACP contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Videz complètement le lubrifiant.
2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
3. Séparez les composants en matériaux recyclables.
4. Recyclez les composants non contaminés.
5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
9.5
Mise au rebut de la pompe Scroll
Les pompes Scroll Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux à recycler.
1. Déconnectez l’unité de commande électronique.
2. Démantelez le moteur.
3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
52/82
Dysfonctionnements
10
Dysfonctionnements
10.1
Généralités
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie
ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci
dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
Les dysfonctionnements du groupe de pompage sont généralement causés par des pannes sur les
composants individuels. Les LED sur la pompe turbo et sur la pompe à vide primaire indiquent l'état de
fonctionnement de chaque appareil.
● Le module d'affichage et de commande DCU indique l'état de fonctionnement de base du groupe
de pompage (voir chapitre « Affichage LED du mode de fonctionnement », page 41).
● Le DCU indique les dysfonctionnements du système par l'émission d'un code d'erreur sur l'écran.
10.2 Dépanner
Problème
Causes possibles
Action corrective
Le groupe de pompage
ne démarre pas. Aucune
DEL sur la DCU n’est allumée.
● L’alimentation
électrique a été
coupée
● Vérifiez les conduites d’alimentation du groupe de pompage.
● Vérifiez la tension de sortie 24 V CC au niveau de la connexion « DC out » du pack
d’alimentation électrique intégré.
● Vérifiez les contacts des fiches sur le pack
d’alimentation électrique.
● Vérifiez le câble de connexion entre le pack
d’alimentation électrique, la pompe à vide primaire et la pompe turbomoléculaire.
● Tension de service incorrecte
● Notez les spécifications de la plaque signalétique.
● Alimentez avec la tension de service correcte.
● Pas de tension
de service
● Raccordez la tension de fonctionnement.
● Unité de commande électronique défectueuse
● Remplacez l’unité de commande électronique
conformément au manuel de l’utilisateur de la
pompe turbomoléculaire.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
53/82
Dysfonctionnements
Problème
Causes possibles
Action corrective
Le groupe de pompage
n’atteint pas sa pression
finale.
● Condensats
dans la pompe
à vide primaire
● Ouvrez la soupape de lest d'air de la pompe
à vide primaire.
● Soupape de lest
d’air ouverte
● Fermez la soupape de lest d'air de la pompe
à vide primaire.
Tab. 16:
10.3
Dépanner
Codes d’erreur
Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés.
Les avertissements (* Warning F –––– *) sont uniquement affichés et n’entraînent pas de mise hors tension des composants.
Gérer les messages d'erreur sur le HiCube Eco
1. Commencer par supprimer la cause de la défaillance.
2. Réinitialisez le message d'erreur en appuyant à nouveau sur le bouton
.
Affichage dans
le DCU
Problème
Causes possibles
Remède
* Warning F110 *
Manomètre
● Manomètre défaillant
● Connexion au manomètre perdue
lors du fonctionnement
● Contrôler le branchement des câbles
● Effectuer un redémarrage avec le
manomètre connecté
● Remplacer complètement le manomètre
** Error E040 **
Défaut matériel
● RAM externe défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
** Error E042 **
Défaut matériel
● Somme de contrôle EPROM incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
** Error E043 **
Défaut matériel
●
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
** Error E090 **
Erreur appareil
interne
● RAM pas suffisamment grande
● DCU connecté à une unité d’entraînement électronique incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Connecter le DCU à la bonne unité
d’entraînement électronique
** Error E698 **
Erreur de communication
● L’unité d’entraînement électronique
ne répond pas
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
Tab. 17:
2
Erreur d’écriture EPROM
Messages d’avertissement et d’erreur lors de l’utilisation du DCU
Écran
Problème
E001
vitesse excessive
E002
Surtension
● Ensemble d’alimentation
électrique inapproprié
utilisé
● Contrôler le type d’ensemble d’alimentation
électrique
● Contrôler la tension de secteur
E006
Erreur de démarrage
● Seuil de temps de démarrage réglé trop bas
● Débit de gaz dans le récipient suite à des fuites
ou vannes ouvertes
● Toujours en-dessous du
point de commutation
de contrôle de vitesse,
le temps de démarrage
s’écoule
● Ajuster le temps de démarrage aux conditions du processus
● Contrôler les fuites ou les vannes fermées
dans la chambre de vide
● Ajuster le point de commutation de vitesse de
rotation
E007
Fluide d’exploitation bas
● Fluide d’exploitation bas
● Vérifier le fluide d’exploitation
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
E008
Connexion, unité d’entraînement électronique - pompe
défaillante
● Connexion à la pompe
défaillante
● Contrôler les raccordements
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
54/82
Causes possibles
Remède
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
Dysfonctionnements
Écran
Problème
Causes possibles
Remède
E010
Erreur appareil interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
E021
L'unité d’entraînement électronique ne détecte pas la
pompe
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
E043
Erreur de configuration interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E044
Température excessive, électronique
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
E045
Température excessive, moteur
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
E046
Erreur d’initialisation interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E091
Erreur appareil interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E092
Panneau de connexion inconnu
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E093
Évaluation de la température
du moteur défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E094
Évaluation de la température
de l’électronique défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E098
Erreur de communication interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E107
Erreur groupée étage final
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
E108
Mesure de la vitesse de rotation défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
E109
Logiciel non publié
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E110
Évaluation du fluide d'exploitation défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
E111
Erreur de communication,
pompe à liquide de refroidissement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
E112
Erreur de groupe, pompe à liquide de refroidissement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
E114
Évaluation de la température
de l’étage final défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E117
Température excessive, partie inférieure de la pompe
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
E118
Température excessive, étage final
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
E119
Température excessive, palier
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
E143
Température excessive, pompe à liquide d'exploitation
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
E777
Vitesse de rotation nominale
non confirmée
● Vitesse de rotation nominale non confirmée
après le remplacement
de l’unité d’entraînement électronique
● Confirmer la vitesse de rotation nominale
avec [P:777]
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
F001
Temps de montée en température TMS expiré
● Minuterie interne de surveillance de montée en
température dépassée
● Contrôler les conditions de fonctionnement
55/82
Dysfonctionnements
Écran
Problème
Causes possibles
Remède
F003
Sonde de température de circuit de chauffage TMS
● La température TMS
n'est pas dans la plage
admissible, entre +5 °C
et 85 °C
● Contrôler les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
F007
Sous-tension/panne de courant
● Panne de secteur
● Contrôler l’alimentation de secteur
F018
Conflit de primauté de fonctionnement
● Groupe de pompage
mis en marche avec
[P:010] alors que l’entrée E74 « start/stop »
est à l’arrêt (ouverte)
● Mettre le poste de pompage en marche via
E74
● Mettre le poste de pompage à l’arrêt via
[P:010].
F021
Signal de verrouillage invalide
● Le signal de la surveillance du signal de verrouillage se trouve endehors de la plage valide
● Contrôler les connexions de la surveillance
du gaz de pressurisation
● Contrôler les options de paramètre des sorties accessoires
F034
Débit de gaz de pressurisation bas
● Signal de la surveillance
du gaz de pressurisation
valide mais en-dessous
du seuil réglé [P:791]
● Contrôler et corriger l’alimentation en gaz de
pressurisation
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F045
Température élevée du moteur
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F076
Température élevée de l’électronique
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F097
Informations de pompe invalides
● Données de pompe défaillantes
● La validation rétablit les paramètres usine
F098
Informations de pompe incomplètes
● Connexion à la pompe
défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
F100
Vitesse de rotation augmentée à la valeur minimale
● Spécifications autorisées pour la vitesse de
rotation ou le mode
standby incorrectes
● Contrôler [P:707] ou [P:717]
● Consulter la plage de vitesse de rotation valide dans la fiche technique de la turbopompe
F115
Évaluation de la température
de la partie inférieure de la
pompe défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
F116
Évaluation de la température
du palier défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
F117
Température élevée de la
partie inférieure de la pompe
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F118
Température élevée de l’étage final
● Refroidissement défaillant
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F119
Température élevée du palier
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F143
Température de pompe à liquide d'exploitation élevée
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F168
Temporisation importante
● Vitesse d’augmentation
de pression trop importante, vitesse de ventilation trop élevé
● Contrôler et ajuster la vitesse de ventilation
spécifique à la pompe
Tab. 18:
56/82
Messages d’avertissement et d’erreur pour l’unité d'entraînement électronique de
pompe turbo
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
57/82
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
58/82
Accessoires
12
Accessoires
Recommandation
Veuillez vous référer à la liste d'accessoires pour chaque composant dans leur manuel de
l'utilisateur respectif ou en ligne sur catalogue des accessoires pour pompes turbomoléculaires à paliers hybrides.
59/82
Caractéristiques techniques et dimensions
13
Caractéristiques techniques et dimensions
13.1
Généralités
Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum.
Caractéristiques techniques
Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple.
● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5
● ISO 27892 2010 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesure du couple d'arrêt
rapide »
● ISO 21360 2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Partie 1 : Description générale »
● ISO 21360 2018 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Partie 4 : Pompes à vide turbomoléculaires »
● Pression ultime avec dôme de test après 48 h
● Débit de gaz avec refroidissement à eau ; pompe de secours = pompe à palettes rotative
(10 m3/h)
● Consommation d’eau de refroidissement à débit maximum de gaz, température de l’eau de refroidissement 25 °C
● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d'hélium, durée de mesure 10 s
● Niveau de pression acoustique à une distance = 1 m de la pompe à vide
mbar
bar
Pa
100
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1
1 · 10
bar
1,000
1
1 · 10
1,000
100
750
Pa
0,01
1 · 10-5
1
0,01
1 · 10-3
7.5 · 10-3
hPa
1
1 · 10
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33
0,133
1
5
-3
133,32
-3
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
Tab. 19:
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m /s
10
1
592
7,5
9,87
sccm
1.69 · 10-2
1.69 · 10-3
1
1,27 · 10-2
1.67 · 10-2
Torr l/s
1,33
0,133
78,9
1
1,32
atm cm3/s
1,01
0,101
59,8
0,76
1
mbar l/s
3
Tab. 20:
60/82
hPa
mbar
-3
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Caractéristiques techniques et dimensions
13.2 Fiche technique
13.2.1
Fiche technique for HiCube 80 Pro
Classification
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
Pompe à vide
primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite
sans lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
35 l/s
35 l/s
35 l/s
35 l/s
35 l/s
Débit de la
pompe primaire
à 50 Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la
région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée maximale
590 W
840 W
620 W
1100 W
1580 W
Niveau de la
pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement,
standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température
de transport et
de stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
64 kg
87 kg
67,7 kg
72,7 kg
71,7 kg
Tab. 21:
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 40 ISO-KF
Classification
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
35 l/s
35 l/s
35 l/s
35 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
61/82
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
430 W
1030 W
680 W
680 W
Niveau de la pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
62 kg
87 kg
69 kg
71 kg
Méthode de refroidissement, standard
Tab. 22:
62/82
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 40 ISO-KF
Classification
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 63 ISO-K
DN 63 ISO-K
DN 63 ISO-K
DN 63 ISO-K
DN 63 ISO-K
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
Pompe à vide
primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite
sans lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
67 l/s
67 l/s
67 l/s
67 l/s
67 l/s
Débit de la
pompe primaire
à 50 Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la
région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée maximale
590 W
840 W
620 W
1100 W
1580 W
Niveau de la
pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement,
standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
Température
de transport et
de stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
64 kg
87 kg
67,7 kg
72,7 kg
71,7 kg
Tab. 23:
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 63 ISO-K
Classification
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 63 ISO-K
DN 63 ISO-K
DN 63 ISO-K
DN 63 ISO-K
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2021
Pascal 2010
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
67 l/s
67 l/s
67 l/s
67 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
18 m³/h
9 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
430 W
1030 W
680 W
680 W
Niveau de la pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
62 kg
87 kg
71 kg
69 kg
Tab. 24:
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 63 ISO-K
Classification
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
Bride de raccordement (sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
Pompe à vide
primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite
sans lest d'air
< 5 · 10-10
hPa
< 5 · 10-10
hPa
5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
67 l/s
67 l/s
67 l/s
67 l/s
67 l/s
Débit de la pompe primaire à 50
Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
63/82
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
HiCube 80
Pro
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la
région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée maximale
590 W
840 W
620 W
1100 W
1580 W
Niveau de la
pression acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement,
standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative
de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de
transport et de
stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
66 kg
89 kg
69,1 kg
74,1 kg
73,1 kg
Tab. 25:
Classification
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
-10
-10
Pression limite sans lest
d'air
< 5 · 10
Débit pour N2
67 l/s
67 l/s
67 l/s
67 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
430 W
1030 W
680 W
680 W
Niveau de la pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
64 kg
89 kg
71 kg
73 kg
Tab. 26:
64/82
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 63 CF-F
hPa
< 5 · 10
hPa
Fiche technique HiCube 80 Pro, DN 63 CF-F
-10
< 5 · 10
hPa
< 5 · 10-10 hPa
Caractéristiques techniques et dimensions
13.2.2
Fiche technique HiCube 300 Pro
Classification
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
Pompe à vide primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
Débit pour
N2
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
Débit de la
pompe primaire à 50
Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions
d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension
d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour
la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance
absorbée
maximale
800 W
1050 W
830 W
1310 W
1790 W
Niveau de la
pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de
refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température
de transport
et de stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
67 kg
90 kg
72 kg
77 kg
76 kg
Tab. 27:
Fiche technique HiCube 300 Pro, DN 100 ISO-K
Classification
HiCube 300 Pro
HiCube 300 Pro
HiCube 300 Pro
HiCube 300 Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
Bride de raccordement (sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
65/82
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 300 Pro
HiCube 300 Pro
HiCube 300 Pro
HiCube 300 Pro
Débit pour N2
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
Débit de la pompe
primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée :
tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
640 W
1240 W
890 W
890 W
Niveau de la pression acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de
transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
65 kg
90 kg
72 kg
74 kg
Tab. 28:
66/82
Fiche technique HiCube 300 Pro, DN 100 ISO-K
Classification
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
Pompe à vide
primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite
sans lest d'air
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
Débit de la
pompe primaire à 50 Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la
région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée maximale
800 W
1050 W
830 W
1310 W
1790 W
Niveau de la
pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de
refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
HiCube 300
Pro
Température
de transport et
de stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
69 kg
92 kg
74 kg
79 kg
78 kg
Tab. 29:
Classification
HiCube 300 Pro
HiCube 300 Pro
HiCube 300 Pro
HiCube 300 Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
Bride de raccordement (sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
Pression limite sans
lest d'air
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
640 W
1240 W
890 W
890 W
Niveau de la pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de
transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
67 kg
92 kg
74 kg
76 kg
Tab. 30:
13.2.3
Fiche technique HiCube 300 Pro, DN 100 CF-F
Fiche technique HiCube 300 Pro, DN 100 CF-F
Fiche technique HiCube 300 H Pro
Classification
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 300 H
HiPace 300 H
HiPace 300 H
HiPace 300 H
HiPace 300 H
Pompe à vide primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
67/82
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
Débit pour
N2
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
Débit de la
pompe primaire à 50
Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions
d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension
d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour
la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance
absorbée
maximale
800 W
1050 W
830 W
1310 W
1790 W
Niveau de la
pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de
refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température
de transport
et de stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
77,4 kg
84,4 kg
71,5 kg
76,5 kg
75,5 kg
Tab. 31:
68/82
Fiche technique HiCube 300 H Pro, DN 100 ISO-K
Classification
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
Bride de raccordement (sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 300 H
HiPace 300 H
HiPace 300 H
HiPace 300 H
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
Débit de la pompe
primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée :
tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
640 W
1240 W
890 W
890 W
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
Niveau de la pression acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de
transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
71,5 kg
96,5 kg
78,5 kg
80,5 kg
Tab. 32:
Fiche technique HiCube 300 H Pro, DN 100 ISO-K
Classification
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 300 H
HiPace 300 H
HiPace 300 H
HiPace 300 H
HiPace 300 H
Pompe à vide
primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite
sans lest d'air
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
Débit de la
pompe primaire à 50 Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la
région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée maximale
800 W
1050 W
830 W
1310 W
1790 W
Niveau de la
pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de
refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température
de transport et
de stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
79,4 kg
86,4 kg
73,5 kg
78,5 kg
77,5 kg
Tab. 33:
Fiche technique HiCube 300 H Pro, DN 100 CF-F
69/82
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
HiCube 300 H
Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
Bride de raccordement (sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 300 H
HiPace 300 H
HiPace 300 H
HiPace 300 H
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
Pression limite sans
lest d'air
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
Débit de la pompe
primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
640 W
1240 W
890 W
890 W
Niveau de la pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de
transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
73,5 kg
98,5 kg
80,5 kg
82,5 kg
Tab. 34:
13.2.4
70/82
Fiche technique HiCube 300 H Pro, DN 100 CF-F
Fiche technique HiCube 400 Pro
Classification
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 400
HiPace 400
HiPace 400
HiPace 400
HiPace 400
Pompe à vide primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
Débit pour
N2
355 l/s
355 l/s
355 l/s
355 l/s
355 l/s
Débit de la
pompe primaire à 50
Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
Tensions
d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension
d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour
la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance
absorbée
maximale
910 W
1160 W
940 W
1420 W
1900 W
Niveau de la
pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de
refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température
de transport
et de stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
73 kg
96 kg
76,9 kg
81,9 kg
80,9 kg
Tab. 35:
Fiche technique HiCube 400 Pro, DN 100 ISO-K
Classification
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-K
Bride de raccordement (sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 400
HiPace 400
HiPace 400
HiPace 400
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
355 l/s
355 l/s
355 l/s
355 l/s
Débit de la pompe
primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée :
tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
750 W
1350 W
1000 W
1000 W
Niveau de la pression acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
71/82
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
Température de
transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
71 kg
96 kg
78 kg
80 kg
Tab. 36:
Classification
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
HiCube 400
Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 400
HiPace 400
HiPace 400
HiPace 400
HiPace 400
Pompe à vide
primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite
sans lest d'air
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
355 l/s
355 l/s
355 l/s
355 l/s
355 l/s
Débit de la
pompe primaire à 50 Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la
région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée maximale
910 W
1160 W
940 W
1420 W
1900 W
Niveau de la
pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de
refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température
de transport et
de stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
79 kg
102 kg
82,8 kg
87,8 kg
86,8 kg
Tab. 37:
72/82
Fiche technique HiCube 400 Pro, DN 100 ISO-K
Fiche technique HiCube 400 Pro, DN 100 CF-F
Classification
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
DN 100 CF-F
Bride de raccordement (sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 400
HiPace 400
HiPace 400
HiPace 400
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
Pression limite sans
lest d'air
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
355 l/s
355 l/s
355 l/s
355 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
750 W
1350 W
1000 W
1000 W
Niveau de la pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de
transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
77 kg
102 kg
84 kg
86 kg
Tab. 38:
13.2.5
Fiche technique HiCube 400 Pro, DN 100 CF-F
Fiche technique HiCube 700 Pro
Classification
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 700
HiPace 700
HiPace 700
HiPace 700
HiPace 700
Pompe à vide primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
Débit pour
N2
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
Débit de la
pompe primaire à 50
Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions
d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension
d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour
la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance
absorbée
maximale
910 W
1160 W
940 W
1420 W
1900 W
73/82
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
Niveau de la
pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de
refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température
de transport
et de stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
73 kg
96 kg
76,8 kg
81,8 kg
80,8 kg
Tab. 39:
Classification
HiCube 700 Pro
HiCube 700 Pro
HiCube 700 Pro
HiCube 700 Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
Bride de raccordement (sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 700
HiPace 700
HiPace 700
HiPace 700
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
Débit de la pompe
primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée :
tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
750 W
1350 W
1000 W
1000 W
Niveau de la pression acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de
transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
71 kg
96 kg
78 kg
80 kg
Tab. 40:
74/82
Fiche technique HiCube 700 Pro, DN 160 ISO-K
Fiche technique HiCube 700 Pro, DN 160 ISO-K
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
HiCube 700
Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 160 CF-F
DN 160 CF-F
DN 160 CF-F
DN 160 CF-F
DN 160 CF-F
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 700
HiPace 700
HiPace 700
HiPace 700
HiPace 700
Pompe à vide
primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite
sans lest d'air
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
Débit de la
pompe primaire à 50 Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la
région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée maximale
910 W
1160 W
940 W
1420 W
1900 W
Niveau de la
pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de
refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température
de transport et
de stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
79 kg
102 kg
82,7 kg
87,7 kg
86,7 kg
Tab. 41:
Fiche technique HiCube 700 Pro, DN 160 CF-F
Classification
HiCube 700 Pro
HiCube 700 Pro
HiCube 700 Pro
HiCube 700 Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 160 CF-F
DN 160 CF-F
DN 160 CF-F
DN 160 CF-F
Bride de raccordement (sortie)
G 1/2
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 700
HiPace 700
HiPace 700
HiPace 700
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
Pression limite sans
lest d'air
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
< 5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
75/82
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 700 Pro
HiCube 700 Pro
HiCube 700 Pro
HiCube 700 Pro
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
750 W
1350 W
1000 W
1000 W
Niveau de la pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de
transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
77 kg
102 kg
84 kg
86 kg
Tab. 42:
13.2.6
76/82
Fiche technique HiCube 700 Pro, DN 160 CF-F
Fiche technique HiCube 700 H Pro
Classification
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
Bride de raccordement
(entrée)
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2"
G 1/2"
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 700 H
HiPace 700 H
HiPace 700 H
HiPace 700 H
HiPace 700 H
Pompe à vide primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
1 · 10-7 hPa
Débit pour
N2
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
Débit de la
pompe primaire à 50
Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions
d’entrée
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension
d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour
la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance
absorbée
maximale
910 W
1160 W
940 W
1420 W
1900 W
Niveau de la
pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de
refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
Température
de transport
et de stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
83 kg
90 kg
77,1 kg
82,1 kg
81,1 kg
Tab. 43:
Fiche technique HiCube 700 H Pro, DN 160 ISO-K
Classification
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
Bride de raccordement (entrée)
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
DN 160 ISO-K
Bride de raccordement (sortie)
G 1/2"
G 1/2"
G 1/2"
G 1/2"
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 700 H
HiPace 700 H
HiPace 700 H
HiPace 700 H
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
Pression limite sans
lest d'air
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
Débit de la pompe
primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
200 – 230 V CA,
50/60 Hz
Tension d'entrée :
tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
750 W
1350 W
1000 W
1000 W
Niveau de la pression acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Méthode de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de
transport et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
77,1 kg
102,1 kg
84,1 kg
86,1 kg
Tab. 44:
Fiche technique HiCube 700 H Pro, DN 160 ISO-K
Classification
HiCube 700
H Pro
HiCube 700
H Pro
Bride de raccordement (entrée)
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
DN 160 CF-F
DN 160 CF-F
DN 160 CF-F
Bride de raccordement (sortie)
G 1/2"
G 1/2"
G 1/2
G 1/2
G 1/2
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 700
H
HiPace 700
H
HiPace 700 H
HiPace 700 H
HiPace 700 H
Pompe à vide
primaire
ACP 15
ACP 28
HiScroll 6
HiScroll 12
HiScroll 18
Pression limite
sans lest d'air
< 1 · 10-10
hPa
< 1 · 10-10
hPa
1 · 10-10 hPa
1 · 10-10 hPa
1 · 10-10 hPa
Débit pour N2
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
77/82
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
HiCube 700
H Pro
HiCube 700
H Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
Débit de la
pompe primaire
à 50 Hz
14 m³/h
27 m³/h
6,1 m³/h
12,1 m³/h
18,1 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 230 V
CA,
50/60 Hz
200 – 230 V
CA,
50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la
région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée maximale
910 W
1160 W
940 W
1420 W
1900 W
Niveau de la
pression acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Air
Air
Air
Méthode de refroidissement,
standard
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de
transport et de
stockage
-10 – 55 °C
-10 – 55 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
-10 – 50 °C
Poids
88,9 kg
95,9 kg
83 kg
88 kg
87 kg
Tab. 45:
Fiche technique HiCube 700 H Pro, DN 160 CF-F
Classification
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
HiCube 700 H
Pro
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/2"
G 1/2"
G 1/2"
G 1/2"
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 700 H
HiPace 700 H
HiPace 700 H
HiPace 700 H
Pompe à vide primaire
Duo 11 M
Duo 20 M
Pascal 2010
Pascal 2021
-10
-10
Bride de raccordement
(entrée)
Pression limite sans lest
d'air
< 1 · 10
Débit pour N2
685 l/s
685 l/s
685 l/s
685 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
9 m³/h
20 m³/h
9 m³/h
18 m³/h
Tensions d’entrée
200 – 240 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
200 – 230 V
CA, 50/60 Hz
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
±10 %
Moteur pour la région
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Asie, Europe
Puissance absorbée
maximale
750 W
1350 W
1000 W
1000 W
Niveau de la pression
acoustique
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
≤50 dB(A)
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Température de transport
et de stockage
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
-20 – 55 °C
Poids
83 kg
108 kg
90 kg
92 kg
hPa
< 1 · 10
hPa
-10
< 1 · 10
hPa
< 1 · 10-10 hPa
Méthode de refroidissement, standard
Tab. 46:
78/82
Fiche technique HiCube 700 H Pro, DN 160 CF-F
Caractéristiques techniques et dimensions
13.3 Schémas cotés
Toutes les cotes sont en millimètres
200
154
B
169
67
455
A
784
51
325
660
Fig. 23:
400
Dimensions HiCube Pro
Dimensions
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
HiCube 80 Pro
Bride
DN 40 ISO-KF
DN 63 ISO-K
DN 63 CF-F
A
680 mm
671 mm
676 mm
B
158 mm
149 mm
155 mm
Tab. 47:
Dimensions HiCube 80 Pro
Dimensions
HiCube 300 Pro
HiCube 300 Pro
Bride
DN 100 ISO-K
DN 100 CF-F
A
716 mm
728 mm
B
195 mm
207 mm
Tab. 48:
Dimensions HiCube 300 Pro
Dimensions
HiCube 400 Pro
HiCube 400 Pro
Bride
DN 100 ISO-K
DN 100 CF-F
A
760 mm
760 mm
B
239 mm
239 mm
Tab. 49:
Dimensions HiCube 400 Pro
79/82
Caractéristiques techniques et dimensions
Dimensions
HiCube 700 Pro
HiCube 700 Pro
Bride
DN 160 ISO-K
DN 160 CF-F
A
733 mm
745 mm
B
212 mm
224 mm
Tab. 50:
80/82
Dimensions HiCube 700 Pro
Déclaration de conformité
Déclaration pour produit(s) du type :
Groupe de pompage turbomoléculaire
HiCube Pro
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100 : 2011
DIN EN 62061 : 2013
DIN EN 1012-2 : 2011
DIN EN 61326-1 : 2013
DIN EN ISO 13857 : 2008
DIN EN 1127-1 : 2019
DIN EN ISO 2151 : 2009
DIN EN 50581 : 2013
DIN EN 61000-3-2 : 2015
ISO 21360-1 : 2016
DIN EN 61000-3-3 : 2014
ISO 21360-2 : 2012
DIN EN 61000-6-2 : 2006
ISO 21360-4 : 2018
DIN EN 61000-6-4 : 2011
DIN EN IEC 63000 : 2019
DIN EN 61010-1 : 2011
Le représentant habilité à constituer la documentation technique est M. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar Allemagne.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2020-16-09
Notizen / Notes:
*PT0265*
ed. F - Date 2010 - P/N:PT0265BFR
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