Pfeiffer ATH 500 M
のためのマニュアルとユーザーガイド Pfeiffer ATH 500 M. 見つかりました 2 無料ダウンロード用マニュアル Mode d'emploi
Vous trouverez ci-dessous de brèves informations pour ATH 500 M, ATH 500 MT. Ces pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques actifs sont conçues pour les procédés de dépôt et de gravure plasma, les dépôts sur verre et d'autres applications de recherche. Elles se distinguent par leur résistance à la corrosion, leur robustesse et leur grande capacité de pompage de gaz à haute pression.
主な特徴
Paliers magnétiques actifs (PMA)
Résistance à la corrosion (modèles nickelés)
Adaptée aux procédés de dépôt et de gravure plasma
Version MT avec régulation de la température pour éviter la condensation
他のマニュアルと文書
よくある質問と回答
Quelle est l'utilisation conforme de la pompe ?
La pompe à vide est utilisée uniquement pour générer du vide en pompant des gaz. La pompe turbomoléculaire doit être associée à une pompe primaire appropriée.
La pompe version MT peut-elle pomper des fluides à risque de condensables ?
Oui, la pompe Version MT peut être utilisée pour le pompage de fluides à risque de condensables sous réserve que les gaz ne se condensent pas dans la pompe.
Quels sont les risques liés à une fixation incorrecte de la pompe ?
En cas de fixation incorrecte de la pompe, lors d’un blocage inopiné du rotor, la pompe turbomoléculaire se désolidarise de l’équipement : l'énergie libérée projette la pompe ou des fragments de pompe dans le local, provoquant des blessures très graves voire mortelles.
Quelles sont les consignes de sécurité concernant les gaz pyrophoriques/inflammables ?
Il faut absolument éviter le mélange de gaz oxydant (air, autre…) avec les gaz pyrophoriques/inflammables. Assurer l’étanchéité sur l’installation complète.