Pfeiffer APR
Manuals and User Guides for Pfeiffer APR. We found 1 manuals for free downloads Mode d'emploi
Vous trouverez ci-dessous de brèves informations pour APA 450. Ce système est spécialement conçu pour le contrôle des FOUP et MAC de plaques de silicium (wafer) 450 mm. Il fournit des informations sur le taux de contamination moléculaire à l'intérieur des FOUP et MAC. L'analyse des gaz de procédé donne des informations essentielles sur la sécurité.
Key Features
- Contrôle de la contamination moléculaire dans les FOUP/MAC
- Analyse de plaques de silicium (wafer) 450 mm
- Équipement de sécurité grâce à des modules dédiés
- Interface homme-machine intuitive
Frequently Answers and Questions
Quelles sont les conditions de stockage de l'équipement ?
Température de stockage : +1°C à 45°C, humidité : 30% à 80%, choc < 1g ; vibration < 0,2g @ 5 Hz, position horizontale.
Quels sont les analyseurs/générateurs disponibles avec l'APA 450 ?
HF_ID+ analyzer, VOC FID analyzer, SO2 analyzer, NH3 / acid analyzer, Amine analyzer, Air Zero generator, H2 generator 3080+, Gas generator, Hygrometer analyzer, etc. (précision à la commande).
Quels sont les risques liés aux gaz de procédé ?
Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Ces gaz étant dangereux, il appartient donc à l’utilisateur du procédé d’appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale.
Que faire en cas de fuite d'hydrogène ?
Le capteur d’hydrogène déclenche l'EMO en cas de fuite d’hydrogène dans la ligne reliant le générateur d’hydrogène à l’analyseur à alimenter ou en cas de panne du détecteur d’hydrogène.