Pfeiffer ATH 500 M Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Original
ATH 500 M - ATH 500 MT
Pompe Turbomoléculaire à paliers magnétiques
Exclusion de responsabilité
Ce manuel de l’utilisateur décrit l’ensemble des modèles et variantes de votre produit.
Veuillez noter qu’il est possible que votre produit ne dispose pas de toutes les
caractéristiques d’équipement décrites dans ce document. Pfeiffer Vacuum adapte en
permanence et sans avis préalable ses produits afin qu’ils soient à la fine pointe de la
technologie. Veuillez prendre en compte qu’il y avoir des divergences entre le manuel de
l’utilisateur en ligne et la manuel de l’utilisateur imprimé fourni avec votre produit.
En outre, Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité ou obligation pour tout dommage
résultant de l’utilisation du produit en contradiction avec son utilisation conforme à l’usage
prévu ou en cas d’utilisation explicitement définie comme étant une mauvaise utilisation
prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/84
Table des matières
Table des matières
1
Au sujet de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Produits concernés
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Etiquettes
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque
8
8
8
8
8
8
8
9
9
10
10
2
Sécurité
2.1 Information générale sur la sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables
2.4 Précautions
2.5 Usage conforme à la destination
2.6 Utilisation non conforme
11
11
11
14
15
15
15
3
Transport et stockage
3.1 Réception du produit
3.2 Manutention de la pompe
3.3 Stockage
17
17
17
18
4
Description du produit
4.1 Identification du produit
4.1.1 Contenu de la livraison
4.1.2 Les différentes versions du produit
4.2 Interface homme/machine
4.3 Unité de commande électronique
19
19
19
19
20
21
5
Installation
5.1 Conditions d'installation à l'équipement
5.1.1 Spécifications d'installation
5.1.2 Sécurisation de l'équipement et du châssis
5.2 Mise en place de la pompe
5.3 Raccordement à la ligne de pompage
5.3.1 Raccordement côté aspiration
5.3.2 Raccordement côté refoulement
5.4 Raccordement du circuit d'eau
5.4.1 Procédure de montage des raccords
5.4.2 Raccordement de la pompe au circuit d'eau
5.5 Installation de l'accessoire refroidissement air
5.6 Raccordement du circuit d'azote
5.6.1 Purge de gaz neutre
5.6.2 Installation de l'accessoire de purge
5.7 Raccordement de l'électrovanne d'entrée d'air
5.8 Test d'étanchéité de l'installation
5.9 Raccordement électrique
5.9.1 Protection de l'installation électrique du client
5.9.2 Raccordement à l'alimentation électrique externe
23
23
24
25
26
28
29
30
30
31
31
32
33
34
35
36
36
37
38
38
6
Fonctionnement
6.1 Précautions préalables à l'utilisation
6.2 Démarrage de la pompe
6.2.1 Mise sous tension
41
41
42
42
3/84
Table des matières
6.3
6.4
4/84
6.2.2 Démarrage du pompage
6.2.3 Redémarrage après un arrêt d'urgence de l'équipement
Arrêt de la pompe
6.3.1 Arrêt du pompage
6.3.2 Mise hors tension
6.3.3 Arrêt prolongé
Surveillance du fonctionnement
42
43
43
43
44
44
44
7
Réglages avancés
7.1 Régulation de la température de la pompe
7.2 Le freinage de la pompe
46
46
46
8
Interfaces de commande
8.1 Différents modes de commande
8.2 Commande via le boîtier HHR
8.2.1 Mise sous tension
8.2.2 Menu DISPLAY
8.2.3 Menu SETUP
8.2.4 Menu SER NUM
8.3 Commande via le connecteur REMOTE
8.3.1 Câblage des entrées logiques
8.3.2 Câblage des sorties logiques
8.4 Commande via la liaison série RS-232/RS-485
8.4.1 Connexions
8.4.2 Protocole de communication
8.4.3 Liste des commandes
8.5 Exploitation avec bus de terrain
47
47
47
48
49
50
50
51
51
52
53
53
54
55
59
9
Maintenance
9.1 Consignes de sécurité pour la maintenance
9.2 Intervalles de maintenance
9.3 Entretien sur site
9.4 Procédure d'échange par un produit de remplacement
9.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation
9.4.2 Vidange du circuit d'eau
9.4.3 Conditionnement de la pompe pour expédition
60
60
61
62
63
63
63
64
10
Mise hors service
10.1 Immobilisation prolongée
10.2 Remise en service
10.3 Mise au rebut
65
65
65
65
11
Dysfonctionnements
11.1 Signalement des mauvais fonctionnements et défauts
11.2 Mauvais fonctionnement
67
67
67
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
70
13
Accessoires
72
14
Pièces de rechange
74
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1 Généralités
15.2 Caractéristiques techniques
15.2.1Caractéristiques environnementales
15.2.2Caractéristiques de l'eau de refroidissement
15.2.3Caractéristiques de l'azote
15.2.4Caractéristiques électriques
15.3 Dimensions
75
75
75
77
77
78
78
79
Table des matières
Déclaration de conformité CE
81
Déclaration de Conformité UK
82
5/84
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
6/84
Charges transmises à l'équipement
Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration)
Signification des LED sur l'interface EtherCAT
Signification des LED sur l'interface Remote/RS232-RS485/Profibus
Description des touches du boîtier HHR
Pièces de rechange - ATH500
Tableau de conversion : Unités de pression
Tableau de conversion : Unités de débit du gaz
Caractéristiques techniques
Caractéristiques environnementales
Caractéristiques de l'eau de refroidissement
Caractéristiques de l'azote
Caractéristiques électriques de la pompe
Caractéristiques électriques du réseau client
Caractéristiques de l'alimentation externe 48 VDC
25
26
45
45
48
74
75
75
77
77
78
78
78
78
79
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Description d'une pompe ATH 500 version M
Description d'une pompe ATH 500 version MT
Exemple d'interface de commande de l'électronique intégrée
Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement
Graphe des charges transmises à l'équipement
Positions de fonctionnement
Installation de la pompe à l'horizontale
Installation, aspiration vers le haut
Montage de l'accessoire refroidissement air
Graphe Débit de purge
Lot de purge (accessoire)
Connecteur mâle alimentation électrique 48 VDC
Câblage du ventilateur sur alimentation externe 48 VDC (accessoire)
Schéma de câblage électrique typique
Schéma de montage d'une installation de pompage
Connecteur Remote : commande par tension continue
Connecteur Remote : commande par contacts secs
Connecteur Remote : sorties logiques
Dimensions ATH 500 M
Dimensions ATH 500 M refroidie à l'air
Dimensions ATH 500 MT
20
20
21
24
25
27
27
28
33
34
35
39
39
40
42
51
52
52
79
79
80
7/84
Au sujet de ce manuel
1 Au sujet de ce manuel
IMPORTANT
À lire attentivement avant utilisation.
Gardez le manuel pour pouvoir le consulter ultérieurement.
1.1
Validité
Ce manuel de l’utilisateur est un document Pfeiffer Vacuum destiné au client. Le manuel de l’utilisateur
décrit les fonctions du produit mentionné et fournit les informations les plus importantes pour une utilisation en toute sécurité du dispositif. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur.
Les informations dans ce manuel de l’utilisateur se réfèrent à l’état de développement actuel du produit.
Le document reste valide tant que le client n’apporte aucun changement au produit.
1.1.1
1.1.2
Documents applicables
Document
Référence
Manuel de l'utilisateur bus de terrain Profibus
004432
Manuel de l'utilisateur bus de terrain EtherCAT
131580
Manuel de l'utilisateur Alimentation 48 VDC
127118
Déclaration de conformité
fournie avec ce manuel
Produits concernés
Ce document s'applique aux produits ayant les références suivantes :
Référence
Description
Vxxxxx00
ATH 500 M : pompes pour applications propres
Vxxxxx05
ATH 500 M modèle nickelé : pompes pour applications agressives
Vxxxxx03
ATH 500 MT : pompes pour applications agressives
Vxxxxx01
ATH 500 MT modèle nickelé : pompes pour applications agressives
Option
Vanne d'eau en cuivre1)
Vanne d'eau en inox1)
x
x
MT
V
x
x
x
x
2
x
0
3
MT modèle nickelé
2
0
1
MT
3
0
3
MT modèle nickelé
3
0
1
1) voir chapitre « Pièces de rechange »
La matrice permet de déchiffrer les références des produits : toutes les combinaisons d'options ne sont
pas disponibles en tant que produit.
1.2
Groupe cible
Ce manuel de l‘utilisateur est destiné à toutes les personnes en charge du transport, de l'installation, de
la mise en service/hors service, de l'utilisation, de la maintenance ou du stockage du produit.
Les travaux décrits dans ce document doivent être effectués uniquement par des personnes ayant une
formation technique appropriée (personnel spécialisé) ou ayant reçu une formation de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
8/84
Au sujet de ce manuel
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Etiquettes
PURGE
Dispositif de purge
PUMP EXHAUST
Refoulement de la pompe
WATER MAX Pr 7 bar/101 psi
Pression maximum du circuit d'eau
WATER IN
Raccordement du circuit d'eau : entrée
WATER OUT
Raccordement du circuit d'eau : sortie
Raccordement de la terre fonctionnelle
48 V
Alimentation électrique
12 A
Verrouillage du connecteur avant utilisation de la pompe. Ne pas
débrancher avant arrêt de la pompe
LOCK
Sens de rotation du rotor de la pompe
Plaque signalétique du produit (exemple)
23kg 50000rpm;
M:29Vrms 1666HZ 9,5A
V2312100
HD3635
2018
ATH500
Cette étiquette indique que certains des composants internes
sont sous tension et peuvent entraîner un choc électrique en
cas de contact : débrancher la pompe avant toute intervention
ou verrouiller/déverrouiller correctement le disjoncteur de
l’équipement avant intervention sur la pompe.
Cette étiquette indique que le produit ne doit pas être manipulé à la main du fait de son poids : toujours utiliser des appareils de manutention appropriés.
Don’t remove the pump
connector when the pump is
running
Cette étiquette signifie que l'utilisateur doit verrouiller le connecteur avant d'utiliser la pompe. Ne pas débrancher avant
l'arrêt de celle-ci.
9/84
Au sujet de ce manuel
DO NOT TOUCH WHEN
THE PUMP IS RUNNING
Cette étiquette informe l’utilisateur des risques d’écrasement
ou de coupure liés aux pièces en mouvement : éviter de s’approcher et/ou de mettre les mains à proximité des pièces en
mouvement.
Toute personne en charge de l’installation ou de l’utilisation
doit se référer au manuel de l’utilisateur avant d’intervenir sur
le produit.
SEE MANUAL BEFORE USE
Une planche d’étiquettes comprenant d’autres versions
linguistiques est fournie avec le produit. Il est de la responsabilité de l’installateur de positionner ces étiquettes
sur le produit, à l’endroit le plus approprié et visible afin
de prévenir l’opérateur des risques potentiels.
Cette étiquette met en garde l'utilisateur contre le risque de
blessure en cas de contact de la main avec une surface
chaude : s'équiper de gants de protection avant toute intervention.
Exposure may result in severe injury or death.
Preventive maintenance must be done by trained
personnel only.
1.3.4
Abréviations
DC
Exh.
HHR
IN
LIE
M
MT
PMA
TMS
[XXXX]
1.4
Cette étiquette met en garde l’utilisateur contre les gaz pompés qui peuvent être dangereux, toxiques et peuvent entraîner des blessures graves ou la mort. Elle précise que toute
opération de maintenance préventive doit être exécutée par
un personnel compétent.
Courant continu (Direct Current)
Refoulement (Exhaust)
Boîtier de commande déportable (Hand Held Remote)
Aspiration (Inlet flange)
Limite inférieure d’explosion
Version de pompe sans système de régulation de température
Version de pompe équipée d'un système de régulation de température (TMS Temperature Management System)
Paliers Magnétiques Actifs
Système de régulation de la température (Temperature Management System)
Menus et paramètres du boîtier de commande HHR indiqués en gras, entre crochets.
Exemple : [DEFINITION][LANGUE] pour choisir la langue d'affichage des messages.
Justificatif de marque
● Profibus® est une marque déposée de la société PI (PROFIBUS & PROFINET International).
● EtherCAT® est une marque déposée et une technologie brevetée sous licence par Beckhoff Automation GmbH, Allemagne.
10/84
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Information générale sur la sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger immédiat
Indique un danger imminent causant la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVERTISSEMENT
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
ATTENTION
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer des blessures bénignes s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVIS
Risque de dommages matériels
Est utilisé pour signaler des actions qui ne sont pas associées à des blessures.
► Instructions pour éviter les dommages matériels
Les notes, les conseils ou les exemples correspondent à des remarques importantes sur le
produit ou sur ce document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
AVERTISSEMENT
Risque d’écrasement lors de l’élingage du produit
Compte tenu du poids du produit, il existe un risque d’écrasement lors de la manutention du produit
avec des appareils de levage. Le constructeur dégage toute responsabilité en cas de non-respect
des consignes suivantes :
► Seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut manutentionner le produit.
► Utiliser obligatoirement les dispositifs de levage fournis et respecter les procédures décrites
dans ce document.
11/84
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme
Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non
conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs.
► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique.
► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit.
► Vérifier que le produit est correctement relié au circuit d'arrêt d'urgence de l'équipement (ou installation de pompage).
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance
Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement.
► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O.
► Débrancher le câble secteur du réseau électrique.
► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation).
AVERTISSEMENT
Risque de blessures graves provoquées par le détachement de la pompe lors d’un blocage du
rotor
En cas de fixation incorrecte de la pompe, lors d’un blocage inopiné du rotor, la pompe turbomoléculaire se désolidarise de l’équipement : l'énergie libérée projette la pompe ou des fragments de
pompe dans le local, provoquant des blessures très graves voire mortelles, ainsi que des dommages
matériels considérables.
► Respecter scrupuleusement les recommandations d'installation décrites dans ce manuel. Pfeiffer
Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installation.
► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le
raccordement dans l'équipement.
AVERTISSEMENT
Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère
Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de
procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant.
► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe turbomoléculaire à une pompe primaire compatible avec les gaz de procédés : le refoulement de la pompe primaire est raccordé au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation.
► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement.
12/84
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque de blessure au contact de l’azote sous pression
Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou
réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur.
► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller
l’alimentation en azote.
► Respecter la pression d’alimentation recommandée.
► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’azote avant d’intervenir sur le produit.
► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit
d’azote sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de
consignation/déconsignation).
► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure au contact de l'eau sous pression
Le produit utilise de l’eau sous pression comme fluide de refroidissement. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur.
► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller
l’alimentation en eau.
► Respecter la pression et différence de pressions recommandées.
► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’eau avant d’intervenir sur le produit.
► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit
d’eau sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de
consignation/déconsignation).
► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation.
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
AVERTISSEMENT
Risques de brûlure par contact avec des surfaces chaudes
Les produits sont conçus de façon à ne procurer aucun risque thermique pour la sécurité de l’opérateur. Selon les applications, les conditions d’utilisations génèrent des températures élevées nécessitant une attention particulière de la part de l’opérateur (surfaces > 65 °C).
► Respecter le signalement des surfaces chaudes repérées par l’étiquette sécurité.
► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit.
► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
13/84
Sécurité
2.3
Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables
L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de la sécurité de l’installation de la
pompe, de l’équipement mais aussi du système de traitement des gaz. L’utilisateur et/ou l’intégrateur
est responsable de l’application qui utilise le produit.
Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques. L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit doit respecter les consignes de sécurité ci-dessous et conduire une analyse de risque.
DANGER
Danger de mort par explosion ou inflammabilité liée aux gaz pyrophoriques/inflammables
Les procédés du semi-conducteur, du photovoltaïque, des écrans plats et procédés industriels peuvent utiliser des gaz pyrophoriques ou inflammables. Mélangés à des produits oxydants, ces gaz
peuvent s’enflammer spontanément (gaz pyrophoriques) ou suite à un amorçage lors d’une réaction
chimique non désirée (gaz inflammables). Dans le pire des cas, cela provoque un incendie, ou une
explosion causant la projection de pièces métalliques et pouvant blesser gravement les personnes à
proximité.
► Mener une analyse de risques afin d’évaluer les risques avant d’installer la pompe.
► Installer des systèmes de sécurité conformes aux exigences de la norme EN 50495.
L’analyse de risques doit prendre en compte les gaz utilisés, les sous-produits du procédé ainsi que les
composants constituant l’ensemble de l’installation. Il faut absolument éviter les situations suivantes qui
présentent des risques :
● La concentration de gaz pyrophorique ou inflammable dans la plage d’inflammabilité.
● La concentration de gaz pyrophorique ou inflammable au-delà de la plage d’inflammabilité (la concentration pourrait baisser en cas de fuite et atteindre la plage d’inflammabilité).
● Le manque de dilution.
● L’accumulation de matières solides réactives au refoulement.
● L’exposition d’espèces réduites chimiquement ou d’agents réducteurs, à des oxydants.
Appliquer les recommandations générales de sécurité suivantes :
● Assurer l’étanchéité sur l’installation complète.
● Éviter le mélange de gaz oxydant (air, autre…) avec les gaz pyrophoriques/inflammables. 1)
● Garantir que la concentration d’oxydant n’excède pas 60 % de la concentration maximum admissible du gaz oxydant (MOC) 2), principalement lorsque la dilution n’est pas suffisante pour atteindre les 25 % de la LIE.
● Réaliser une purge d’azote avant toute maintenance sur la ligne de pompage (ligne d’aspiration,
pompe et ligne de refoulement).
● Nettoyer régulièrement la ligne de refoulement des sous-produits de réaction telles que les poussières de silicium pour éviter le colmatage et/ou l’explosion.
Pour davantage d’informations concernant la sécurité liée aux gaz pyrophoriques ou inflammables, contacter notre centre de service.
Pour toutes ces applications, installer sur la pompe des étiquettes pour identifier les risques (inflammabilité, explosion, toxicité, corrosion,.... etc.) et satisfaire aux exigences de SEMI S1. Ces informations
doivent être ajoutées dans le manuel de l'équipement pour l'utilisateur final.
14/84
1)
Référence NFPA 69-2019, § 8.3.1 chap.8 Prévention de la déflagration par réduction de la concentration de
produit inflammable.
2)
Référence NFPA 69-2019, § 7.7.2.5 chap.7 Prévention de la déflagration par réduction de la concentration en
oxydant.
Sécurité
2.4
Précautions
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique)
peut procéder à l’installation et à la maintenance décrites dans ce manuel. Nos centres de service peuvent dispenser les formations nécessaires.
► Fixer la pompe en respectant impérativement les spécifications d'installation.
► Ne pas exposer une partie du corps humain au vide.
► Respecter les prescriptions en matière de sécurité et de prévention des accidents.
► Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées.
► Ne pas retirer les obturateurs des orifices d’aspiration et de refoulement tant que le produit n’est
pas raccordé à la ligne de pompage.
► Ne pas mettre sous tension un produit dont l’aspiration et le refoulement ne sont pas raccordés à
la ligne de pompage.
► Avant d'intervenir sur la bride d'aspiration, attendre que le rotor soit immobilisé.
► Les canalisations et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces chaudes
(> 70 °C).
2.5
Usage conforme à la destination
● La pompe à vide est utilisée uniquement pour générer du vide en pompant des gaz.
● La pompe turbomoléculaire doit être associée à une pompe primaire appropriée.
● La pompe Version MT peut être utilisée pour le pompage de fluides à risque de condensables
sous réserve que les gaz ne se condensent pas dans la pompe.
● La pompe est destinée à être intégrée dans un équipement industriel.
Lorsque la pompe est intégrée dans un équipement industriel, elle devient un composant de
l’équipement : l'utilisateur et/ou l’intégrateur de ce composant de pompage doit prendre toutes
les protections de sécurité vis à vis de l’opérateur, notamment concernant le risque avec les
surfaces chaudes.
2.6
Utilisation non conforme
Toute utilisation non conforme du produit entraîne l'annulation de la garantie et des droits de réclamations. Toute utilisation, même involontaire, qui diffère de celles précitées est considérée comme non
conforme, en particulier :
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
Le pompage de fluides réactifs
Le pompage de fluides corrosifs ou explosifs
Le pompage de liquides
Le pompage de solides
Le pompage de poussières
Le pompage de fluides à risque de condensable (Version M)
Une utilisation avec débit de gaz élevé non admissible
Une utilisation sous une pression de vide primaire élevée non admissible
Une utilisation avec apport, par rayonnement, d'une puissance thermique excessive
Une remise à l'air avec des débits élevés non admissibles
L'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel
15/84
Sécurité
●
●
●
●
●
16/84
L’utilisation dans des zones à risque d'explosion
L’utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression
L’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants
Une utilisation dans des champs magnétiques non admissibles
Une mise en oeuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques.
Transport et stockage
3 Transport et stockage
3.1
Réception du produit
Etat de la livraison
● S'assurer que le produit n'a subi aucun dommage pendant le transport.
● Si le produit est endommagé, aviser le transporteur et informer le constructeur.
► Maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté que nous lui avons
apportée : le déballer uniquement sur son lieu d’utilisation finale.
► Conserver les obturateurs présents sur les orifices d’aspiration, de refoulement et de purge jusqu'à ce que le produit soit raccordé à la ligne de pompage.
Conserver l’emballage (matériau recyclable) dans le cas où le produit doit être transporté
ou stocké.
3.2
Manutention de la pompe
AVERTISSEMENT
Risque d'écrasement lors de l'élingage du produit
Compte tenu du poids du produit, il existe un risque d’écrasement lors de la manutention du produit.
Le constructeur dégage toute responsabilité en cas de non-respect des consignes suivantes :
► Seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut manutentionner le produit.
– Soulever la pompe manuellement : charge < 20 kg.
– Utiliser des anneaux de levage appropriés vissés dans les trous prévus à cet effet.
► Porter des chaussures de sécurité avec protection des orteils conformément à la norme EN 347.
AVERTISSEMENT
Risque d'écrasement lié au basculement du produit
Bien que la conformité aux règles de sécurité de l'UE soit assurée, il convient de prendre toutes les
précautions nécessaires lors des opérations de manutention, d’installation tant que la pompe n'est
pas intégrée dans l'équipement.
► Ne pas positionner la pompe sur un plan incliné.
► Ne pas la pousser latéralement.
► Toujours sécuriser la pompe tant qu’elle n’est pas intégrée dans l’équipement (trous de fixation
au niveau de la bride d'aspiration).
17/84
Transport et stockage
1
2
1 Sangle
2
Anneau de levage M8
Manutention avec un dispositif de levage
Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la masse du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Dimensions »). Prévoir 2 anneaux de levage M8 homologués (fourniture du client).
1. Visser les anneaux de levage dans 2 des 3 trous M8 du carter d'aspiration.
2. Utiliser une sangle à plusieurs brins de longueur minimum 230 mm.
3. Fixer la pompe par ses anneaux de levage et la hisser.
4. Transporter toujours la pompe turbomoléculaire à la verticale.
3.3
Stockage
Stockage d'une pompe neuve
► Laisser en place l'enveloppe de protection.
► Laisser obligatoirement en place les obturateurs à l'aspiration, au refoulement et sur la bride de
purge.
► Laisser obligatoirement les bouchons en plastique en place sur les connecteurs électriques.
► Stocker la pompe selon les températures de stockage autorisées (voir chapitre « Caractéristiques
environnementales »).
► Stocker la pompe dans un environnement propre, sec et non pollué, pour une durée maximale
de 1 an.
Stockage après utilisation
► Pour stocker une pompe qui a été utilisée, voir chapitre « Immobilisation prolongée ».
18/84
Description du produit
4 Description du produit
4.1
Identification du produit
Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer
aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »).
4.1.1
Contenu de la livraison
●
●
●
●
1 pompe à paliers magnétiques avec unité de commande électronique
1 filtre pare-éclats (installé dans la bride d'aspiration de la pompe)
1 électrovanne d'eau (Version MT)
1 manuel de l'utilisateur et une planche d'étiquettes de sécurité
et selon la configuration de commande, les composants suivants sont présents :
● 1 joint cuivre
● 1 lot de visserie
● 1 électrovanne de purge
Le boîtier de commande déportable (HHR) et l'alimentation électrique 48 VDC ne font pas
partie de la livraison, sauf s'ils ont fait l'objet d'une commande. Pour commander, voir chapitre Accessoires.
4.1.2
Les différentes versions du produit
Le constructeur a développé une gamme de pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques actifs
(PMA), avec étages de compression, de haute performance et fiables, particulièrement adaptées aux
procédés de dépôt et gravure plasma, aux procédés de dépôts sur verre et d’autres applications de recherche. Ces pompes disposent d’une électronique intégrée.
Ces pompes sont caractérisées par leur résistance à la corrosion, leur robustesse, leur capacité de
pompage de grand débit de gaz en hautes pressions, et par leur absence de maintenance.
Pour obtenir des informations plus détaillées en fonction des applications, nous contacter.
Vitesse de rotation
La vitesse de rotation de la pompe à paliers magnétiques peut être sélectionnée et réglée entre une
vitesse minimale et la vitesse nominale. Ceci rend possible l’optimisation des caractéristiques de pompage en fonction de chaque application (par exemple, pompage haute pression). Une distinction est faite entre les vitesses suivantes :
● vitesse de rotation sélectionnée (= vitesse de Stand-by) entre la vitesse minimale et la vitesse nominale,
● vitesse nominale définie en usine.
Pompe version M
La version standard de la pompe correspond à la plupart des applications propres. Cette version de
pompe ne dispose pas de système de régulation de température.
Cette version est disponible avec refroidissement air ou eau.
Pompe version MT
Cette version de pompe est recommandée pour toute application nécessitant une température élevée
de la pompe et des gaz pour éviter des condensations dans la pompe. Cette version est équipée d’un
système de régulation de la température (TMS). La régulation de température est réalisée par l’électronique intégrée.
19/84
Description du produit
4.2
Interface homme/machine
2
1
3
4
5
7
6
Fig. 1:
Description d'une pompe ATH 500 version M
1 Bride d'aspiration (vide élevé)
2 Filtre pare-éclats
5
6
3 Raccords d'eau (WATER IN/WATER OUT)
(1/8 NPT femelle)
4 Unité de commande électronique
7
Interface de commande
Purge de gaz neutre (50 sccm) (1/8 BSPP femelle équipée d'un filtre)
Bride de refoulement (PUMP EXHAUST)
2
1
3a
3
8
3b
7
4
5
6
Fig. 2:
1
2
3
3a
3b
20/84
Description d'une pompe ATH 500 version MT
Bride d'aspiration (vide élevé)
Filtre pare-éclats
Electrovanne d'eau
Raccord d'eau (WATER IN - 1/4 double bague)
Raccord d'eau (Water OUT - 1/4 double bague)
4
5
6
7
8
Unité de commande électronique
Interface de commande
Purge de gaz neutre (50 sccm) (1/4 VCR)
Bride de refoulement (PUMP EXHAUST)
Ceinture chauffante
Description du produit
4.3
Unité de commande électronique
La pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques avec unité de commande électronique est destinée à
être installée dans un équipement et pilotée par l’équipement.
En standard, l'unité de commande électronique comporte une interface de commande type liaison série
RS-232/RS-485 et REMOTE. Elle peut également être pilotée avec le boîtier de commande déportable
HHR disponible en accessoire (voir chapitre « Accessoires »).
Selon la configuration de commande, l'unité de commande électronique intégrée est équipée de l’interface qui permet le pilotage par des réseaux de commande type EtherCAT, Profibus.
Dans ce document, seuls les fonctionnements avec les interfaces REMOTE, RS-232/RS-485 et HHR
sont décrits.
Pour les autres interfaces, se référer au manuel de l'utilisateur de l'interface de commande installée sur la pompe (voir chapitre « Documents applicables »).
L'unité de commande électronique n'assure pas l'alimentation électrique de la pompe. L'alimentation
électrique est réalisée par un coffret externe 48 VDC.
Quelle que soit la configuration du produit, l’interface de commande de l’électronique permet la connexion avec le réseau de commande et l’affichage de l’état de fonctionnement de la pompe.
Cette électronique intégrée permet :
● d'alimenter la pompe turbomoléculaire lorsqu'elle est raccordée à l'alimentation électrique externe
● d'alimenter et de piloter l'électrovanne d'eau et le chauffage (Pompe version MT)
2
1
3
4
A
7
6
1
5
2
3
4
B
8
5
4
3
1
C
8
Fig. 3:
5
2
Exemple d'interface de commande de l'électronique intégrée
A Interface type Remote / RS-232/RS-485
B Interface Profibus
C
Interface EtherCAT
1
Service
Connecteur du boîtier de commande déporté (HHR)
2
Liaison série RS-232/
RS-485
La liaison série RS-232/RS-485 est utilisée pour piloter et
contrôler la pompe depuis un ordinateur. La liaison série
RS-485 permet l’installation et le contrôle de plusieurs pompes en réseau.
21/84
Description du produit
22/84
3
Connecteur REMOTE
Le connecteur REMOTE est utilisé pour piloter les fonctions
START/STOP/STANDBY, pour permettre la copie du statut
de la pompe au travers de contacts secs.
4
Voyants indicateurs
Affichage de l'état de fonctionnement de la pompe
5
Connecteur d'alimentation
électrique
Utilisé pour connecter une alimentation de 48 VDC.
6
Connecteur électrique de la
ceinture chauffante
Alimentation de la ceinture chauffante
7
Connecteur électrique de
l'électrovanne d'eau
Alimentation de l'électrovanne d'eau
8
Connexions pour liaison bus
de terrain
Voir chapitre « Documents applicables »
Installation
5 Installation
L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe
turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact
avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la
pompe turbomoléculaire.
Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de
la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et l'éclatement (rupture
de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire.
5.1 Conditions d'installation à l'équipement
AVERTISSEMENT
Risque de blessures graves provoquées par le détachement de la pompe lors d’un blocage du
rotor
En cas de fixation incorrecte de la pompe, lors d’un blocage inopiné du rotor, la pompe turbomoléculaire se désolidarise de l’équipement : l'énergie libérée projette la pompe ou des fragments de
pompe dans le local, provoquant des blessures très graves voire mortelles, ainsi que des dommages
matériels considérables.
► Respecter scrupuleusement les recommandations d'installation décrites dans ce manuel. Pfeiffer
Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installation.
► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le
raccordement dans l'équipement.
Le raccordement de la pompe à l’équipement doit être suffisamment rigide pour absorber l’énergie cinétique libérée par le rotor si la pompe se bloque brutalement. Pour cela, tenir compte :
● Des charges maximum pour dimensionner les dispositifs de fixation.
● De la dimension de la bride d’aspiration.
● De la qualité et du nombre de vis.
● Du type de raccordement entre la bride d’aspiration de la pompe et l’enceinte à pomper.
Lorsque la pompe est raccordée selon les recommandations du constructeur, en cas d’incident générant une surpression, l’enveloppe de la pompe est capable de supporter une pression statique de
11 · 103 hPa maximum pendant 1 minute.
23/84
Installation
5.1.1
Spécifications d'installation
1
2
Turbo
3
Fig. 4:
Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement
1 Chambre à vide
2 Equipement
3
Châssis
Point d'ancrage sécurisé
Description d’un scénario de blocage brutal
L’énergie cinétique du rotor doit être absorbée par l’installation si la pompe se bloque brutalement. Les
charges résultantes maximum ont été mesurées sur un banc de test en simulant la cassure du rotor en
2 morceaux, lorsque le pompe tourne à vitesse nominale. L’impact des morceaux de rotor génère les
charges transitoires décrites ci-dessous.
Force axiale (A)
Les morceaux du rotor peuvent être éjectés par l’aspiration de la pompe et endommager la plaque de
fixation de la vanne ou de toute autre partie de l’installation. Dans la mesure où l’impact est proche de
la pompe, et la surface impactée est rigide, il y a création d’une importante force axiale sur l’installation.
En présence d’une vanne pendulaire, ou d’un espace supérieur à 100 mm, on ne constate pas cette
force axiale.
Moment de flexion (B)
L’impact des morceaux de rotor sur le carter de la pompe crée une force radiale sur le carter. Celle-ci
engendre un moment de flexion sur l’installation dépendant de la distance du point d’impact par rapport
au point d’ancrage sur l’installation.
Couple (C)
La décélération des morceaux de rotor engendre un couple sur le carter de pompe qui se transmet à
l’installation. La valeur maximum de la force axiale et du moment de flexion apparaissent en même
temps. Un délai de plusieurs millisecondes s’écoule avant l’apparition du couple maximum.
24/84
Installation
120
10
A
C
9
1
100
8
A
2
7
80
B
6
60
5
4
40
3
Force axiale - kN
Couple – Flexion kN·m
B
2
C
20
1
0
0
0
0.5
1
1.5
2
2.5
Temps ms
Fig. 5:
Graphe des charges transmises à l'équipement
1 Pompe Turbo
2
Vanne avec plaque pendulaire
Caractéristiques
Unité
Valeur
Vitesse nominale
min
-1
50000
Énergie
kJ
24
Couple (C)
Max. kN·m
9
Durée ms
1
Délai ms
1
Max. kN·m
6
Durée ms
0,5
Délai ms
0
Max. kN
0 à 110
Durée ms
0,3
Délai ms
0
Moment de flexion (B)
Force axiale (A)
1)
1) La force axiale est maximale lorsque l’aspiration de la pompe est obstruée par des pièces rigides.
Il n’y a pas de charge sur l’installation en cas de faible rigidité, par exemple avec une vanne.
Tab. 1:
5.1.2
Charges transmises à l'équipement
Sécurisation de l'équipement et du châssis
Fixation de la pompe à l’équipement
Les charges maximum résultant d’un blocage brutal doivent être absorbées par les éléments de fixation
de la pompe.
► Concevoir et sécuriser le châssis de la pompe de sorte qu’il supporte les charges maximum.
► Serrer impérativement les vis à la clé dynamométrique selon les couples de serrage du tableau
suivant :
– si le couple est faible : risque de desserrage des vis.
– si le couple est fort : risque de détérioration des vis.
Type de bride d'aspiration
DN160 ISO-F
ou ISO-K
DN100 ISO-F
ou ISO-K
DN160 CFF
DN100 CFF
Type de vis 1)
M 10
M8
M8
M8
Nombre de vis 1)
8
8
20
16
12-9
12-9
12-9
12-9
Qualité des vis
1)
1) Type, nombre, grade et couple de serrage des vis sont imposés et obligatoires.
25/84
Installation
Type de bride d'aspiration
DN160 ISO-F
ou ISO-K
DN100 ISO-F
ou ISO-K
DN160 CFF
DN100 CFF
Couple de serrage par vis 1)
N·m
30
20
20
20
Force de serrage totale
N
108000
88500
222000
177000
Longueur des vis
mm
≥ 35
-
≥ 40
≥ 35
1) Type, nombre, grade et couple de serrage des vis sont imposés et obligatoires.
Tab. 2:
Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration)
Le constructeur recommande d’utiliser les lots de visserie prévus à cet effet (accessoires). Contacter
notre centre de service.
Utilisation particulière des brides ISO-K
Les brides ISO-K n’empêchent pas la rotation accidentelle de la pompe par rapport à la bride de l’équipement en cas de rupture d’un élément tournant. Cette rotation peut endommager les lignes de prévidage et de purge et présenter un risque vis à vis de l'utilisateur.
● Utiliser exclusivement des brides tournantes.
● En cas d'utilisation de griffes de serrage, installer le même nombre de griffes de
serrage (en acier inoxydable) que le nombre de vis recommandé pour la fixation
de bride ISO-F (accessoires).
Fixation au châssis
Si le châssis n’est pas conçu pour absorber les charges maximum en cas de blocage brutal, contacter
notre centre de service pour le dimensionnement de votre installation.
5.2
Mise en place de la pompe
AVIS
Endommagement de la pompe causé par des vibrations externes
Les vibrations depuis l’extérieur ou les impacts sur la pompe peuvent surcharger les paliers magnétiques, d’où un stress sur les roulements de secours.
► Évitez les mouvements latéraux et d’inclinaison de la pompe.
► Les turbulences externes doivent être compensées par une conception appropriée du système.
► Sécurisez l’enceinte à vide fournie par le client contre tout mouvement et basculement.
ATTENTION
Risque de chute due aux câbles ou canalisations mal fixés
L’espace autour de la pompe doit être dégagé afin de ne pas encombrer le passage au risque de
provoquer des chutes.
► Fixer les câbles électriques et les canalisations de pompage : les acheminer dans des goulottes.
Le constructeur garantit le bon fonctionnement de la pompe lorsqu’elle est utilisée dans un champ magnétique uniforme n’excédant pas 0,5 mT. Pour des valeurs comprises entre 0,5 et 5 mT, le bon fonctionnement dépendra du refroidissement et de la charge des gaz. Au-delà de 5 mT de champ magnétique, cela peut provoquer un échauffement du rotor. Prévoir dans ce cas les blindages nécessaires.
La pompe seule peut résister à un niveau de radiation inférieur à 103 Gy.
La pompe turbomoléculaire ne peut pas refouler à la pression atmosphérique, il faut la connecter à une pompe primaire. Transitoirement, elle peut démarrer sa rotation à la pression atmosphérique.
La pompe turbomoléculaire peut fonctionner dans toutes les positions.
26/84
Installation
IN
IN
IN
Fig. 6:
IN
Positions de fonctionnement
Mise en place de la pompe
1. Manutentionner la pompe, (voir chapitre « Manutention de la pompe »).
2. Raccorder et sécuriser la fixation de la pompe turbomoléculaire pour garantir la sécurité du personnel et la fiabilité du fonctionnement (voir chapitre « Spécifications d'installation »).
3. Collez les étiquettes de sécurité dans la langue de l'opérateur à l'endroit le plus approprié et le
plus visible sur la pompe pour avertir l'opérateur des dangers potentiels.
1
2
IN
Fig. 7:
Installation de la pompe à l'horizontale
1 Sangle (Qté2)
2
Crochet
Mise en place à l'horizontale
Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la masse du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Caractéristiques techniques » et « Dimensions »).
1. Utiliser 2 sangles homologuées EN 1492-1 à plusieurs brins pouvant supporter le poids de la
pompe.
2. Utiliser des accessoires homologués pour accrocher la pompe à l'appareil de levage (par exemple, crochet avec verrou de sécurité).
3. Placer les sangles solidement autour de la pompe.
4. Positionner le crochet de l'appareil de levage à la verticale du centre de gravité.
5. Hisser la pompe et la déplacer jusqu'à son emplacement sur le châssis.
6. Maintenir la pompe suspendue tout le temps de l'installation jusqu'à la fixation de la bride de vide
élevé.
27/84
Installation
IN
1
Fig. 8:
Installation, aspiration vers le haut
1 Table de levage (exemple)
Mise en place de la pompe avec aspiration vers le haut
Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la masse du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Caractéristiques techniques » et « Dimensions »).
1. Raccorder la pompe au dispositif de manutention en utilisant les trous prévus à cet effet pour éviter tout basculement de la pompe.
2. Maintenir la pompe fixée au dispositif de manutention jusqu'à la fixation de la bride de vide élevé.
5.3
Raccordement à la ligne de pompage
Lorsque des matières pyrophoriques, inflammables ou toxiques sont présentes dans la pompe, cela
peut engendrer des risques supplémentaires que l’exploitant doit évaluer et gérer au niveau de l’ensemble de l’installation de pompage.
L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de l’installation et doit appliquer les
consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale.
DANGER
Danger de mort par inflammation lors du pompage de gaz inflammables
Il y a risque d'incendie provoqué par une réaction chimique non désirée (amorçage) entre des matières inflammables pompées.
► Prévoir un dispositif de détection électromécanique de la LIE dans le système d’extraction (détection possible à 25 % de la LIE) qui arrête l’alimentation de la pompe en produits chimiques
lors de la détection de gaz à 25 % de la LIE pour la matière inflammable concernée.
AVERTISSEMENT
Risque d'écrasement et/ou de coupure au contact de pièces en mouvement
La bride d’aspiration est suffisamment grande pour permettre l’introduction d'une partie du corps (un
doigt, une main) : il y a risque d’écrasement par contact avec les pièces en mouvement. Les orifices
d'aspiration et de refoulement sont toujours fermés à l’aide d’obturateurs.
► Attendre le raccordement à la ligne de pompage pour retirer les obturateurs.
► Attendre que la pompe soit raccordée pour mettre sous tension.
28/84
Installation
Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art
Les raccordements à l'aspiration et au refoulement de la pompe ne doivent pas engendrer de contraintes pouvant provoquer des fuites sur la ligne de pompage.
1. Utiliser des gants pour raccorder ou retirer la pompe de l'équipement.
2. Effectuer toujours l'installation mécanique avant le raccordement électrique.
3. Eviter d'utiliser une bride de réduction à l'aspiration. Si nécessaire nous consulter.
4. Vérifier la présence du filtre pare-éclats installé dans la bride d'aspiration.
5. Utiliser dans la ligne de pompage, à l’aspiration comme au refoulement, des accessoires dont les
matériaux et l’étanchéité sont compatibles avec les gaz pompés. Consulter le catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffer-vacuum
6. Prévoir, lors du montage du circuit du vide, des accessoires pour isoler la pompe dans la ligne de
pompage et faciliter la maintenance (vannes d’isolement à l’aspiration et au refoulement, purge,
…).
7. Les joints toriques situés sous les obturateurs ne sont pas compatibles avec l'ensemble des applications. L'utilisateur ou l'intégrateur du produit a la responsabilité d'installer des joints
compatibles avec l'application.
8. Retirer les protections qui obturent les orifices d’aspiration et de refoulement.
9. Garder les obturateurs, vis, rondelles pour les réutiliser lors du transport de la pompe.
10. Veiller à ne pas faire tomber de vis, rondelles ou autres objets dans l’aspiration de la pompe.
11. Réaliser un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage après installation de la pompe.
5.3.1
Raccordement côté aspiration
AVERTISSEMENT
Risques de coupures par contact avec des arêtes vives par la bride de vide élevé
L’accès aux pièces ‘coupantes’ est possible par la bride d’aspiration. Les arêtes des ailettes du rotor
et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes.
► Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'intervenir sur le produit.
► Toujours maintenir le filtre pare-éclats dans le carter d’aspiration, il atténue le risque de blessures.
► Toujours porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
AVIS
Risque de pollution du procédé en cas de non-respect des conditions de propreté
Lorsque les pièces en contact avec le vide élevé sont sales, le temps de pompage est augmenté et
le procédé est pollué.
► Utiliser des pièces et canalisations propres, sèches et dépourvues de graisse, de poussière.
► Porter des gants pour réaliser les raccordements, principalement côté vide élevé.
Veiller à ce que les pièces ou enceintes raccordées à l’aspiration de nos produits supportent une dépression de 1·10-3 hPa absolue.
29/84
Installation
5.3.2
Raccordement côté refoulement
AVERTISSEMENT
Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère
Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de
procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant.
► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe turbomoléculaire à une pompe primaire compatible avec les gaz de procédés : le refoulement de la pompe primaire est raccordé au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation.
► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement.
► Raccorder la pompe primaire recommandée (voir chapitre « Caractéristiques techniques »).
► Installer une vanne d’isolement (NF) entre la pompe turbomoléculaire et la pompe primaire.
5.4
Raccordement du circuit d'eau
Pour limiter la corrosion et l’encrassement du circuit d’eau, il est recommandé de disposer d’une
alimentation en eau douce traitée ou en eau industrielle non agressive ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'eau »). Si les caractéristiques de pollution solides ne sont pas
respectées, installer un filtre sur l’arrivée d’eau.
AVIS
Dégradation du circuit de refroidissement en cas d’utilisation d’un réseau urbain non réglementaire
L'utilisation d'un réseau d'eau urbain non réglementaire peut provoquer le colmatage du circuit
de refroidissement par des dépôts calcaires. En conséquence le circuit de refroidissement devra être
démonté pour nettoyage et maintenance.
D'autre part, la présence de micro-organismes (algues), ou substances biologiques (bactéries)
dans le réseau d'eau peut générer des problèmes dans le circuit de refroidissement.
► Raccorder le circuit de refroidissement à un réseau d’eau réglementaire.
► Appliquer les traitements nécessaires pour éviter la croissance de micro-organismes.
Continuité du refroidissement pour le procédé
Si l’arrêt du circuit d’eau génère un risque important pour le procédé, il est conseillé de
commander le refroidissement de la pompe par un système externe capable de prendre le
relais en cas de défaillance du circuit d’eau.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure au contact de l'eau sous pression
Le produit utilise de l’eau sous pression comme fluide de refroidissement. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur.
► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller
l’alimentation en eau.
► Respecter la pression et différence de pressions recommandées.
► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’eau avant d’intervenir sur le produit.
► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit
d’eau sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de
consignation/déconsignation).
► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation.
30/84
Installation
5.4.1
Procédure de montage des raccords
Raccord fileté
Procédure de collage et serrage des raccords filetés
1. Utiliser des raccords 1/8 NPT (fourniture à la charge du client).
2. Coller les raccords avec de la colle oléo-étanche, ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le
filetage.
3. Serrer le raccord tout en maintenant l’embase côté pompe.
Raccord à simple bague
Procédure de montage des raccords à simple bague
Raccord utilisé pour relier les tuyaux souples entre pompe et électronique (par exemple).
1. Insérer le tuyau en butée au fond du raccord.
2. Approcher manuellement l’écrou.
3. Visser l’écrou à l’aide d’une clé plate, de 1/2 tour, tout en maintenant le corps du raccord immobile.
Raccord à double bagues
Procédure de montage des raccords à double bagues
Raccords utilisés pour relier les tuyaux rigides (acier inox., cuivre nickelé, ...).
1. Insérer le tuyau avec les bagues en butée au fond du raccord.
2. Orienter le raccord en position.
3. Approcher manuellement l’écrou.
4. Visser l’écrou à l’aide d’une clé plate, de 3/4 tour, tout en maintenant le corps du raccord immobile.
5.4.2
Raccordement de la pompe au circuit d'eau
Serrage des raccords et sens de circulation de l'eau
Respecter la procédure de montage/serrage des raccords pour éviter tout risque de fuites.
Pompe version MT : Respecter le sens de circulation de l'eau pour ne pas perturber le
fonctionnement de l'électrovanne.
31/84
Installation
Raccordement d'un modèle ATH 500 M
1
1
WATER IN / WATER OUT (sens indifférent)
Procédure de raccordement d'une pompe ATH 500 M
1. Prévoir une canalisation d'arrivée d'eau et une vanne d'eau pour ajuster le débit.
2. Connecter l'arrivée d'eau sur l'un des raccords et l'autre au circuit d'évacuation.
3. Vérifier qu'il n'y ait aucune fuite au niveau des canalisations et connexions du circuit d'eau.
Raccordement d'un modèle ATH 500 MT
1
2
3
1 WATER IN
2 WATER OUT
3
Alimentation électrique de l'électrovanne d'eau
Procédure de raccordement d'un modèle ATH 500 MT
1. Prévoir une canalisation d'arrivée d'eau.
2. Connecter le circuit de refroidissement sur les raccords prévus en respectant le sens de circulation :
– WATER IN = entrée d'eau sur l'électrovanne
– WATER OUT = circuit d'évacuation.
3. Vérifier qu'il n'y ait aucune fuite au niveau des canalisations et connexions du circuit d'eau.
5.5
Installation de l'accessoire refroidissement air
Un accessoire « refroidissement air » peut être commandé séparément (voir chapitre « Accessoires »).
L’installation est à la charge du client.
Selon la configuration de commande (version refroidie à l'air), la pompe est équipée d'un ventilateur au
départ usine. Dans ce cas, seul le câblage électrique est à la charge du client.
Avec un refroidissement air, le flux maximum de gaz admissible dans la pompe diminue !
L’utilisateur doit contrôler la pression maximale à l’aspiration pour éviter toute surchauffe
de la pompe et abaisser la température ambiante.
En utilisation continue, la consommation de courant doit être inférieure à 3,8 A : ce paramètre peut être surveillé via interface de commande.
32/84
Installation
5
4
1
2
3
Fig. 9:
Montage de l'accessoire refroidissement air
1 Câble d’alimentation du ventilateur (longueur 5 m) - [ 1 ou
bleu (-), 2 ou brun (+) ]
2 Rondelle ondulée Diam. 5
3 Vis CHC M5x10
4
5
Connecteur ventilateur [ 1 (-), 2
(+), 3 (non connecté) ]
Support
Procédure de montage
Le lot refroidissement air contient la visserie pour le raccordement mécanique sur la pompe et le câble
secteur pour le raccordement électrique.
L’alimentation électrique du ventilateur nécessite une alimentation externe de 48 VDC.
L'alimentation électrique 48 VDC proposée en accessoire par le constructeur permet d’alimenter la
pompe et le ventilateur.
► Serrer les 2 vis sur le support du ventilateur.
► Câbler le ventilateur en respectant le repérage des bornes et fils (voir chapitre « Raccordement à
l'alimentation électrique externe »).
5.6
Raccordement du circuit d'azote
Selon les applications, la purge de gaz neutre peut consister :
● A injecter de l'air ambiant, ou
● A injecter un gaz neutre dans la pompe.
Dans ce manuel, on désignera le gaz neutre par ’azote’ qui correspond au gaz le plus utilisé. Pour davantage d’informations concernant le type de gaz de purge, contacter notre centre de service.
DANGER
Danger de mort par explosion lors du pompage de gaz chargés de matières pyrophoriques/
inflammables
Si des quantités de matières pyrophoriques / inflammables supérieures à la LIE sont envoyées vers
la pompe, il y a un risque d'explosion.
► Prévoir un débit d'azote suffisant pour abaisser la concentration en dessous de la LIE.
► Prévoir un verrouillage de l’écoulement des gaz vers la pompe en cas d’arrêt de l’alimentation en
azote.
33/84
Installation
AVERTISSEMENT
Risque de blessure au contact de l’azote sous pression
Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou
réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur.
► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller
l’alimentation en azote.
► Respecter la pression d’alimentation recommandée.
► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’azote avant d’intervenir sur le produit.
► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit
d’azote sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de
consignation/déconsignation).
► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation.
Pour garantir les meilleures performances, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en
azote sec et filtré, ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote »).
5.6.1
Purge de gaz neutre
AVIS
Rôle de la purge de gaz neutre
Lorsque la purge de gaz neutre s’arrête, les gaz de procédé peuvent rétrodiffuser et endommager les
paliers internes de la pompe.
► Maintenir la purge de gaz neutre tant que le rotor tourne pour prolonger le balayage.
► Faire débiter la purge sans excéder la valeur maximum de 1 · 103 à 1,5 · 103 hPa absolus.
Débit (SCCM)
70
e5
urg
60
CC
0S
M
P
50
40
30
20
Pression absolue à l’aspiration (hPa)
1000
Fig. 10:
1100
1200
1300
1400
1500
Graphe Débit de purge
Dispositif de purge 50 sccm
Le fonctionnement de cette purge est continu. Le réducteur de flux intégré garantit un débit de 50 sccm
pour une pression de 1,1 · 103 hPa.
1. Raccorder directement l'alimentation de gaz neutre sur l'orifice PURGE en lieu et place du filtre ou
du bouchon (raccord 1/8 BSPP-ISO228), ou sur le raccord VCR*.
2. Régler la pression de gaz neutre afin d'obtenir le débit recommandé (voir le graphe Débit de purge).
* D'autres raccords sont possibles selon la configuration de commande (voir chapitre « Produits concernés ».
Electrovanne équipée d'une purge 50 sccm (seulement pour ATH 500 M)
Il s’agit d’une option disponible selon la configuration de la pompe.
Cette électrovanne de purge doit être alimentée en 24 VDC : l'alimentation et le pilotage de cette
électrovanne sont de la responsabilité du client.
1. Retirer le bouchon ou le filtre à poussières présents sur l'orifice PURGE;
2. Connecter l'électrovanne sur l'orifice repéré PURGE (raccord 1/8 BSPP).
34/84
Installation
L'installation et le raccordement d'un accessoire 'lot de purge' sont décrits au chapitre « Installation de
l'accessoire de purge ».
5.6.2
Installation de l'accessoire de purge
1
2
A
N2
3
4
7
8
6
5
B
Fig. 11:
A
B
1
2
Lot de purge (accessoire)
Raccord 1/8'' BSPP (ISO 228)
Unité de commande électronique
Câble électrovanne
Bobine électrovanne
3
4-6
5
7-8
Ecrou H M 4 (Qté 2)
Rondelle (Qté 4)
Vis CHC M4x30 (Qté 2)
Raccord union 1/8'' BSPP
Installation de l'accessoire de purge
Il s'agit d'un accessoire disponible sur commande.
1. Remplacer les vis M4x16 de l’électronique par les vis CHC M4x30 et les rondelles.
2. Retirer le filtre à poussières ou le bouchon de la purge.
3. Visser le raccord UNION 1/8'' BSPP sur l'orifice de la purge.
4. Placer l’ensemble sur l’électronique en utilisant les vis CHC M4x30 comme guidage dans les trous
de la plaque.
5. Aligner les raccords unions 1/8'' BSPP avant de serrer l'écrou.
6. Serrer les écrous avec les rondelles.
7. Tester l'étanchéité du vide.
Raccordement de l'accessoire de purge à une alimentation de gaz neutre
Cette électrovanne peut être raccordée à une alimentation de gaz neutre. Le flux de purge doit être présent lorsque la pompe est en fonctionnement.
Lorsque la pompe est à l'arrêt, l'électrovanne peut être fermée pour faire un test d'étanchéité de l'équipement.
Pour raccorder l’électrovanne à une alimentation en gaz neutre, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote sec et filtré, ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de
l'azote »).
1. Retirer le bouchon sur le raccord de l’électrovanne.
2. Raccorder en lieu et place la canalisation de gaz neutre : raccordement 1/8 BSPP femelle.
3. Coller le raccord avec de la colle oléo-étanche, ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le filetage.
4. Serrer le raccord en appliquant un couple de 10 N·m maximum.
5. Régler la pression de gaz neutre afin d'obtenir le débit recommandé (voir le graphe Débit de purge).
35/84
Installation
5.7
Raccordement de l'électrovanne d'entrée d'air
Il s'agit d'un accessoire disponible sur commande (voir chapitre « Accessoires »).
L’électrovanne d’entrée d’air est calibrée (débit 11 · 103 sccm) pour remettre à la pression atmosphérique le volume interne de la pompe. Son efficacité à ralentir la pompe est améliorée lorsque des vannes
d’isolement sont installées à l’aspiration et au refoulement de la pompe.
L'alimentation électrique 24 VDC et le pilotage de la vanne d'entrée d'air sont de la responsabilité du
client.
1
2
1 Electrovanne d'entrée d'air
2
Filtre à poussières
Pilotage de l'électrovanne d'entrée d'air
La remise à la pression atmosphérique de la pompe a lieu sur l'arrêt de la pompe ou arrêt sur défaut.
La vanne d'entrée d'air doit être alimentée lorsque la vitesse de rotation de la pompe est inférieure
< 10000 min-1 et qu'un ordre d'ouverture est envoyé à l'électrovanne.
La vanne d'entrée d'air type NO (normalement ouvert) doit être fermée pour redémarrer la pompe.
1. Raccorder l'électrovanne sur le refoulement PUMP EXHAUST de la pompe au moyen d'accessoires de raccordement disponibles au catalogue des produits.
2. Alimenter électriquement l’électrovanne.
3. Câbler le pilotage de l'électrovanne.
Raccordement de l'électrovanne d'entrée d'air à une alimentation de gaz neutre
Cette électrovanne peut être raccordée à une alimentation de gaz neutre.
Pour raccorder l’électrovanne à une alimentation en gaz neutre, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote sec et filtré, ayant les caractéristiques définies (voir chapitre « Caractéristiques de
l'azote »).
1. Retirer le filtre à poussières de l’électrovanne.
2. Raccorder en lieu et place la canalisation de gaz neutre : raccordement 1/8’’ NPT femelle.
3. Coller le raccord avec de la colle oléo-étanche ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le filetage.
4. Serrer le raccord en appliquant un couple de 10 N·m maximum.
5.8
Test d'étanchéité de l'installation
L'étanchéité du produit est assurée en sortie d'usine pour les conditions normales d'utilisation. L'exploitant doit préserver ce niveau d'étanchéité particulièrement lors du pompage de gaz dangereux. Pour
davantage d'information concernant les tests d'étanchéité, contacter notre centre de service.
1. Réaliser un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage après installation de la pompe.
2. Vérifier régulièrement l'absence de traces de gaz pompés dans l'environnement ainsi que toute
trace d'entrée d'air dans la ligne de pompage pendant le fonctionnement.
36/84
Installation
5.9
Raccordement électrique
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme
Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non
conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs.
► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique.
► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit.
► Vérifier que le produit est correctement relié au circuit d'arrêt d'urgence de l'équipement (ou installation de pompage).
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance
Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement.
► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O.
► Débrancher le câble secteur du réseau électrique.
► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation).
AVERTISSEMENT
Risque de choc électrique au contact du connecteur secteur à la mise hors tension
Certains composants comportent des condensateurs chargés à plus de 60 VDC qui restent chargés
électriquement à la mise hors tension : des tensions résiduelles dues aux capacités des filtres provoquent des chocs électriques, y compris au niveau de la prise secteur.
► Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur le produit.
AVIS
Risque de perturbation électromagnétique
Tensions et courants induisent une multitude de champs électromagnétiques et des signaux parasites. Une installation non conforme aux règles CEM perturbe les autres équipements ou plus généralement l’environnement.
► Utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces dans les environnements perturbateurs.
La pompe est un produit de classe A. Dans un environnement domestique, ce produit peut
provoquer des interférences radio. Dans ce cas, l'utilisateur doit prendre les mesures adéquates.
Sécurité électrique
Le moteur de la pompe est protégé contre les surcharges par la limitation de courant du variateur de
vitesse dans l'électronique (en cas de surcharge la vitesse diminue automatiquement).
Lorsqu'il existe un danger lié à un contact accidentel de liquide, de gaz ou d'éléments solides, il est nécessaire d'installer un circuit de verrouillage type arrêt d'urgence pour stopper l'alimentation de l'électronique.
► Ne pas neutraliser ces sécurités pendant l'installation, l'utilisation et la maintenance de la
pompe.
Lors d’un arrêt de la pompe sur défaut, l’alimentation électrique du variateur est coupée et la pompe est
en sécurité. Pour remettre la pompe en service, il faut :
► Attendre l'arrêt complet de la rotation de la pompe avant de couper l’alimentation électrique.
– Interrupteur de l'alimentation électrique externe 48 VDC sur O.
► Attendre environ 15 secondes.
37/84
Installation
► Supprimer l'origine du défaut.
► Rétablir l’alimentation électrique.
– Interrupteur de l'alimentation électrique externe 48 VDC sur I.
5.9.1
Protection de l'installation électrique du client
Disjoncteur différentiel à l’entrée de l’alimentation AC/DC
Pour assurer la protection des personnes en cas de défaut d’isolation, il est indispensable d’installer un
disjoncteur différentiel (voir chapitre « Caractéristiques électriques »).
Le réseau de puissance alimentant l’équipement doit être équipé d’un disjoncteur, courbe D suivant
IEC 60947-2, conforme à la législation locale et avoir un pouvoir de coupure en court-circuit d’une valeur minimum de 10 kA. Ce dispositif de protection sera placé de façon visible à une distance maximum
de 7 m du produit et identifié comme dispositif de coupure du produit.
Ce disjoncteur est de fourniture client : voir chapitre « Caractéristiques électriques » pour le calibre du
disjoncteur réseau.
Cette alimentation AC/DC de classe 1 doit impérativement être raccordée à la terre. L’installateur doit
s'assurer que l’installation comporte un fil de terre correctement relié à la terre.
Alimentation via un réseau 48 VDC
Pour alimenter la pompe via un réseau 48 VDC, voir chapitre « Caractéristiques électriques ».
Mise à la terre
Lorsque nécessaire, l'installateur doit prévoir une double protection distincte de la protection en place.
Elle est constituée soit d'une tresse non isolée, soit d’un fil vert/jaune isolé de section minimum 3 mm2
(9AWG). L'impédance entre le corps de la pompe et le point de mise à la terre de l'installation doit être
< 0,1 Ohm à 25 A).
► Raccorder ce fil au moyen d’une vis M4 x 8 et une rondelle éventail sur le trou prévu à cet effet
sur la pompe repéré
, puis au point de mise à la terre de l’installation.
Absence d'arrêt d'urgence
La pompe n'est pas équipée d'un dispositif d'arrêt d'urgence EMS ni de verrouillage électrique. La pompe est conçue pour être intégrée dans un équipement possédant un dispositif
d'arrêt d'urgence.
● Ce dispositif d'arrêt d'urgence doit mettre la pompe hors tension lorsqu'il est activé.
Signalisation du fonctionnement en mode local
Aucune signalisation du fonctionnement en mode local n'est disponible sur la pompe.
● Prévoir un dispositif pour signaler le fonctionnement en mode local lorsque la pompe
n'est pas intégrée ni pilotée par l'équipement.
5.9.2
Raccordement à l'alimentation électrique externe
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
La pompe fonctionne avec une alimentation électrique externe 48 VDC. L'alimentation et son câble sont
disponibles en accessoires (voir chapitre « Accessoires »).
Elle peut également fonctionner avec une alimentation externe et un câble de fourniture client ayant les
caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques électriques », page 78).
Si la pompe est connectée sur un réseau principal 48 VDC (réseau au sens de la norme EN 61000-6),
ajouter un filtre et un système d’écrêtage de surtension sur la ligne d’alimentation à l'entrée de la pompe : contacter notre centre de service. En interne, le pôle «-» du 48 VDC est raccordé à la terre.
38/84
Installation
1
2
5
3
6
7
4
Fig. 12:
Connecteur mâle alimentation électrique 48 VDC
1 Index
2 Polarité + 48 VDC
5
6
3 Polarité - 48 VDC
4 Potentiel terre
7
Pas connecté
Prise de câble alimentation pompe (Réf : UTS6JC104S fournisseur Souriau
France)
Câble d'alimentation
Alimentation électrique de la pompe
1. Repérer l'index principal sur le connecteur électrique mâle de la pompe.
2. Repérer l'index principal sur le connecteur femelle du câble d'alimentation correspondant.
3. Insérer le connecteur femelle en respectant les index puis tourner jusqu'à la position de verrouillage.
Version refroidie à l'air
► Si la pompe est équipée d'un ventilateur, le raccorder via le connecteur en face avant de l'alimentation externe.
1
2
3
0V
48V
4
5
Fig. 13:
Câblage du ventilateur sur alimentation externe 48 VDC (accessoire)
1 Connecteur pour alimentation ventilateur
(version refroidie à l'air)
2 Connecteur pour alimentation pompe
3 Connecteur secteur
4
Câbles alimentation pompe : +++ (48 V), --- (0 V)
5
Câbles alimentation ventilateur [ 1 ou bleu (-) (0 V),
2 ou brun (+) (48 VDC) ]
Version ATH 500 M (seulement)
► Alimenter l'électrovanne de purge en 24 VDC (alimentation de fourniture client).
Version ATH 500 MT (seulement)
► Alimenter la ceinture chauffante et l’électrovanne d’eau.
– les connecteurs HEATER et VALVE en face avant de l'unité de commande électronique sont
raccordés.
39/84
Installation
V2
V4
Turbo
1
F
V1
HEATER
V3
2
W
VALVE
3
4
Water
24 V DC
P
N2
48 VDC
Fig. 14:
Schéma de câblage électrique typique
1
Alimentation ceinture chauffante (Pompe version MT)
2
Electronique intégrée
3
Alimentation électrique externe
4
Alimentation électrique de l'électrovanne eau (Pompe version MT)
P
Pompe primaire
Turbo
Pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques
F
Ventilateur (version refroidie à l'air)
N2
Entrée gaz neutre
V1
Vanne d’isolement vide primaire
V2
Vanne d'isolement vide élevé
V3
Electrovanne de purge (option)
V4
Electrovanne d'entrée d'air (accessoire)
W
Electrovanne du circuit de refroidissement (Pompe version MT)
Raccordement de la terre fonctionnelle 1)
Raccordement de la terre de protection
1) Recommandé pour connecter la pompe à la prise de terre dans un environnement perturbé en ondes électromagnétiques.
40/84
Fonctionnement
6 Fonctionnement
6.1
Précautions préalables à l'utilisation
AVERTISSEMENT
Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère
Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de
procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant.
► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe turbomoléculaire à une pompe primaire compatible avec les gaz de procédés : le refoulement de la pompe primaire est raccordé au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation.
► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement.
AVERTISSEMENT
Risque de choc électrique en cas de déconnexion électrique pendant la rotation de la pompe
La pompe turbomoléculaire et son unité de commande électronique ne peuvent pas être débranchées du réseau électrique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor : l'ensemble pompe et électronique doivent être isolés du réseau électrique pour éviter tout choc électrique !
1. Stopper la rotation de la pompe en envoyant un ordre 'Stop' sur l'interface de commande.
2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor (plusieurs minutes).
3. Couper l'alimentation électrique du réseau au niveau de l'équipement.
4. Débrancher le câble secteur.
AVERTISSEMENT
Risques de coupures par contact avec des arêtes vives par la bride de vide élevé
L’accès aux pièces ‘coupantes’ est possible par la bride d’aspiration. Les arêtes des ailettes du rotor
et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes.
► Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'intervenir sur le produit.
► Toujours maintenir le filtre pare-éclats dans le carter d’aspiration, il atténue le risque de blessures.
► Toujours porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques. L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit doit respecter les consignes de sécurité (voir chapitre « Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables »). Avant chaque mise en service :
1. Vérifier que la fixation de la pompe a bien été réalisée dans le respect des consignes de sécurité
(voir chapitre « Conditions d'installation à l'équipement »).
2. Vérifier que l’aspiration de la pompe est bien raccordée à la ligne de pompage.
3. Mettre en service le circuit d’azote et le circuit d’eau.
4. Vérifier que les canalisations de refoulement ne sont pas bloquées et que toutes les vannes du
système d’extraction sont ouvertes.
5. Vérifier que les vannes de fourniture client sont bien raccordées et alimentées, y compris la vanne
de purge (si présente).
6. Vérifier que la ceinture chauffante et l'électrovanne d'eau sont bien raccordées à l'électronique
(Pompe version MT).
7. Vérifier que le ventilateur est bien alimenté (si présent).
41/84
Fonctionnement
6.2
Démarrage de la pompe
6.2.1
Mise sous tension
► Positionner l'interrupteur de l'alimentation 48 VDC en position I : l'électronique s'initialise.
– En fin d'initialisation, la LED jaune s'éteint et la LED verte s'allume.
6.2.2
Démarrage du pompage
Les étapes suivantes décrivent l’utilisation de la pompe quelle que soit l’interface de commande. Se référer au chapitre « Interfaces de commande » pour le câblage et le paramétrage des différentes interfaces, ainsi qu'aux chapitres suivants :
● Utilisation via HHR (voir chapitre « Commande via le boîtier HHR »)
● Utilisation via télécommande Remote (voir chapitre « Commande via le connecteur Remote »)
● Utilisation via Liaison série RS-232/RS-485 (voir chapitre « Commande via la liaison série
RS-232/RS-485 »)
● Utilisation via Bus de terrain (voir chapitre « Exploitation avec bus de terrain »)
IN
V2
V4
V1
V3
N2
Exh.
Turbo
Fig. 15:
P
Schéma de montage d'une installation de pompage
Les composants dans l'installation de pompage
V1 1)
Vanne d'isolement vide primaire
N2
Entrée purge de gaz neutre
V2 1)
Vanne d'isolement vide élevé
Turbo
Pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques
V3 1)
Electrovanne de purge (option)
P 1)
Pompe primaire
V4
1)
Electrovanne d'entrée d'air (accessoire)
1) La fourniture, l’alimentation et le pilotage de ces composants sont de la responsabilité du client.
Procédure de démarrage du pompage
Conditions initiales :
Les vannes V1, V2, V3, V4 sont raccordées et pilotées par l’équipement (installation client).
L’enceinte ainsi que les canalisations sont à la pression atmosphérique, la pompe primaire est arrêtée,
les vannes sont fermées.
1. Mettre en service le circuit de refroidissement.
2. Envoyer un ordre ’Start’ pompe via l’interface de commande via l’interface de commande HHR,
Remote, liaison série ou bus de terrain.
– La pompe primaire démarre et les vannes V1 et V2 s’ouvrent.
– La pompe turbomoléculaire démarre pour atteindre la vitesse sélectionnée.
3. Selon l’application, ouvrir l’électrovanne de purge V3 (si installée et câblée).
Le pompage s'effectue jusqu'à atteindre la pression d'utilisation pour l'application du client.
Vitesse Stand-by
La vitesse de Stand-by est sélectionnée pompe arrêtée ou en rotation.
► Envoyer un ordre ’Stand-by’ via l’interface de commande Remote, liaison série ou bus de terrain
ou presser la touche STD-BY de l’interface HHR.
Régulation de la température (Pompe version MT)
► Sélectionner la température de régulation souhaitée via l’interface de commande HHR, liaison série ou bus de terrain.
Pour davantage d’information, voir chapitre « Régulation de la température de la pompe ».
42/84
Fonctionnement
6.2.3
Redémarrage après un arrêt d'urgence de l'équipement
L’arrêt d’urgence est géré par l’équipement dans lequel la pompe est intégrée. Après un arrêt d’urgence, pour redémarrer la pompe, il est nécessaire de :
1. S'assurer que la pompe est arrêtée (toutes les LED sont éteintes).
2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor.
3. Corriger le problème.
4. Déverrouiller le bouton d’arrêt d’urgence de l’équipement.
5. Démarrer la pompe en envoyant un ordre ‘Start’ à la pompe via l’interface de commande : la
pompe redémarre à la vitesse sélectionnée.
6.3
Arrêt de la pompe
6.3.1
Arrêt du pompage
AVIS
Risque d'endommager la pompe en générant un arc électrique
La pompe et son unité de commande électronique ne doivent pas être débranchées du réseau électrique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor et tant que l'ensemble n'est pas isolé du réseau
électrique : un arc électrique est créé lors de l'interruption du circuit qui détériore les composants internes.
1. Stopper la rotation de la pompe en envoyant un ordre ‘Stop’ sur l'interface de commande.
2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor (plusieurs minutes).
3. Couper l'alimentation électrique du réseau au niveau de l'équipement.
4. Débrancher le câble secteur.
Procédure d'arrêt
Les vannes V1, V2, V3, V4 sont raccordées et pilotées par l’équipement (installation client). L’enceinte
ainsi que les canalisations sont sous vide, la pompe primaire fonctionne, la vanne de purge V3 est ouverte.
1. Fermer la vanne V2 pour isoler la pompe de l’enceinte à pomper.
2. Envoyer un ordre ’Stop’ pompe via l’interface de commande HHR, Remote, liaison série, ou bus
de terrain :
– La pompe ralentit.
3. Activer l’électrovanne d’entrée d’air V4 (accessoire).
4. Fermer la vanne V1 et la pompe primaire s’arrête.
5. Arrêter le circuit de refroidissement lorsque la pompe est à l'arrêt (plus de rotation du rotor).
6. Stopper la purge de gaz neutre.
AVIS
Rôle de la purge de gaz neutre
Lorsque la purge de gaz neutre s’arrête, les gaz de procédé peuvent rétrodiffuser et endommager les
paliers internes de la pompe.
► Maintenir la purge de gaz neutre tant que le rotor tourne pour prolonger le balayage.
► Faire débiter la purge sans excéder la valeur maximum de 1 · 103 à 1,5 · 103 hPa absolus.
AVIS
Rôle de l'électrovanne d'entrée d'air
L’électrovanne d’entrée d’air est calibrée pour remettre à la pression atmosphérique le volume interne de la pompe. Son efficacité à ralentir la pompe est améliorée lorsque des vannes d’isolement sont
installées à l’aspiration et au refoulement de la pompe.
► Si la pompe a été arrêtée par une entrée d’air brutale, limiter le nombre de redémarrage à
2 par heure.
► Si la pompe a été arrêtée sans entrée d’air, le nombre de redémarrage n’est pas limité.
► Nous consulter pour choisir l'électrovanne d'entrée d'air.
43/84
Fonctionnement
Arrêt sur coupure secteur
L'arrêt de la pompe par coupure secteur n'est pas un arrêt normal pour la pompe :
● Toujours envoyer un ordre 'Stop' via l'interface de commande et attendre la fin de la
rotation de la pompe avant d'intervenir.
Lorsqu’une coupure d’alimentation intervient, la suspension du rotor est assurée par l’énergie que délivre la force contre-électromotrice du moteur, ceci jusqu’à ce que la vitesse de rotation du rotor soit suffisamment basse pour qu’il se pose sur les roulements de secours sans dommage.
Si l’alimentation revient avant que la vitesse minimum soit atteinte, la pompe reprend alors sa vitesse
sans aucune perturbation. Le compteur des roulements de secours ne se décrémente pas.
Dans le cas où la vitesse minimum est atteinte avant que l’alimentation secteur ne soit revenue :
● La pompe atterrit sur ses roulements de secours.
● L’unité de commande électronique s’éteint, aucun voyant n’est éclairé.
● Le compteur des roulements de secours se décrémente (voir chapitre « Intervalle de maintenance »).
Reprendre ensuite la procédure de démarrage normal après le retour du courant d’alimentation secteur.
6.3.2
Mise hors tension
1. Mettre la pompe hors tension en positionnant l'interrupteur de l'alimentation générale 48 VDC sur
O:
– Toutes les LED de l'unité de commande électrique sont éteintes.
– Attendre l'arrêt complet du rotor.
2. Débrancher le câble d'alimentation de la pompe sur l'unité de commande électronique.
6.3.3
Arrêt prolongé
Dans le cas d’un arrêt prolongé de la pompe, appliquer la procédure de mise hors service (voir chapitre
« Immobilisation prolongée »).
6.4
Surveillance du fonctionnement
Lorsqu'un problème intervient, l'utilisateur est averti par :
●
●
●
●
●
●
●
L’éclairage de la LED relative au défaut/alerte
L’avertisseur sonore du boîtier HHR (si la fonction est validée)
L’activation des contacts défauts sur la prise télécommande REMOTE
L’arrêt du pompage alors que l'ordre 'Stop' n’a pas été activé
L'affichage d'un message défaut sur le boîtier HHR
Un message via la liaison série RS-232 ou RS-485
Un message via la liaison bus de terrain
Les messages défauts sont listés au chapitre « Dysfonctionnements ».
LED
Verte
Jaune
44/84
Symbole
Etat de la LED
Indication
Signification
éteinte
Hors tension.
allumée, clignotante
10 %
Pompe sous tension. Pompe arrêtée ou vitesse de rotation < 60 min-1.
allumée, clignotante
90 %
La pompe n’a pas atteint la vitesse sélectionnée.
allumée, fixe
La pompe a atteint la vitesse sélectionnée.
allumée, clignotante
50 %
La pompe ralentit, la vitesse est > 60 min-1.
éteinte
Aucun avertissement.
allumée, fixe
L'électronique s'initialise ou présence d'une
alerte.
Fonctionnement
Symbole
Rouge
Tab. 3:
Etat de la LED
Signification
éteinte
Aucun défaut.
allumée, fixe
La pompe est en défaut.
Signification des LED sur l'interface EtherCAT
REMOTE
PWR
Etat de la LED
Tab. 4:
Indication
STBY
LED
Signification
Bleu allumé
La pompe est sous tension.
Jaune allumé
La pompe n’a pas atteint la vitesse sélectionnée.
Jaune clignotant
La pompe ralentit, la vitesse est > 60 min-1.
Jaune STBY allumé
Mode Standby sélectionné.
Vert allumé
La pompe a atteint la vitesse sélectionnée.
Vert clignotant
La vitesse de rotation est supérieure à la vitesse sélectionnée.
Rouge allumé
La pompe est en défaut.
Rouge clignotant
Une alerte est signalée.
Signification des LED sur l'interface Remote/RS232-RS485/Profibus
45/84
Réglages avancés
7 Réglages avancés
Ce chapitre décrit les fonctions disponibles et leurs fonctionnements respectifs. Ce chapitre
aide l'utilisateur et/ou l'intégrateur à paramétrer le produit selon les spécificités d'utilisation
en procédé.
7.1
Régulation de la température de la pompe
Le système de régulation de température (TMS) qui équipe les pompes version MT est constitué d’une
ceinture chauffante et d’une électrovanne d’eau.
La ceinture chauffante intégrée permet de chauffer la pompe jusqu’à une température réglable (appelée
température de régulation) afin d’éviter les effets de condensation. La température de régulation dépend de l’application pour laquelle la pompe est utilisée. Contacter le service application de Pfeiffer Vacuum pour vous aider à choisir cette température de régulation.
La ceinture chauffante et la vanne d’eau permettent de réguler la température de la pompe jusqu’à la
température de régulation. L'unité de commande électronique commande la régulation de température.
La température de régulation est choisie via l’interface de commande HHR, via la liaison série ou bus
de terrain (voir chapitre « Différents modes de commande »).
En fonction de la température de régulation choisie pour le chauffage de la pompe et de la température
de refroidissement du circuit d’eau, la pompe peut mettre un certain temps pour atteindre sa température de régulation.
7.2
Le freinage de la pompe
Freinage avec électrovanne d'entrée d'air
Le freinage avec une électrovanne d'entrée d'air permet de diminuer le temps d'arrêt de la pompe dans
le cas où le freinage électrique n'est pas suffisant.
L’électrovanne d’entrée d’air s'installe sur le refoulement de la pompe. L’électrovanne d’entrée d’air est
calibrée (débit 11 · 103 sccm) pour remettre à la pression atmosphérique le volume interne de la pompe. Son efficacité à ralentir la pompe est améliorée lorsque des vannes d’isolement sont installées à
l’aspiration et au refoulement de la pompe.
L'alimentation électrique 24 VDC et le pilotage de la vanne d'entrée d'air sont de la responsabilité du
client (voir chapitre « Raccordement de l'électrovanne d'entrée d'air »).
Freinage électrique
Le freinage électrique est disponible sur les modèles ATH 500 MT.
Le freinage électrique permet de freiner la pompe sur envoi d'un ordre 'Stop' pompe, ou lors d'un arrêt
sur défaut après un délai de 15 minutes durant lequel la pompe peut être maintenue sous vide.
46/84
Interfaces de commande
8 Interfaces de commande
8.1
Différents modes de commande
Ce chapitre décrit pour chaque mode de commande, les raccordements et protocoles associés. On distingue 4 modes de commande :
● HHR
La pompe est pilotée en local à partir d’un boîtier de commande déportable HHR, connecté sur le
connecteur SERVICE.
● REMOTE
La pompe est commandée à distance par l'ouverture ou la fermeture des différents contacts
secs, ou par l'application d'une tension sur le connecteur REMOTE.
● LIAISON SERIE
La pompe est pilotée à distance à partir des ordres de commande transmis par la liaison série
RS-232/RS-485.
● LIAISON BUS TERRAIN
La pompe est pilotée à distance par un système de pilotage (automatisme, régulation, supervision) qui communique avec la pompe selon le protocole de communication du bus terrain.
Différentes interfaces de commande pour communication avec bus terrain (Profibus, EtherCAT, ... ) sont disponibles selon le configurateur de commande.
Choix du mode de commande
C'est le mode sélectionné qui pilote la pompe. Le choix du mode de commande peut être réalisé :
● Soit par le boîtier HHR.
● Soit par la liaison série RS-232/RS-485.
8.2
Commande via le boîtier HHR
Description du boîtier HHR
Le boîtier de commande HHR connecté à l'unité de commande électronique permet l'affichage et la
configuration des paramètres.
1
2
3
1 Afficheur
2 LED
4
3
4
Touches de sélection/configuration des paramètres
Touches de pilotage manuel
47/84
Interfaces de commande
Touche
STATUS
PREV.
Fonctions
Touche
● Accéder à l’affichage des paramètres.
● Sortir des menus et revenir à l’affichage
des paramètres.
● Valider le choix d’un menu, d’un paramètre ou
d’une valeur.
● Accéder au mode paramétrage.
● Sortir des différents menus sans valider les
fonctions.
● Faire fonctionner la pompe en vitesse réduite
via HHR lorsque le menu [SET UP][REMOTE
CONTROL] est réglé sur [KEYBOARD] (voir
chapitre « Menu SETUP »).
La LED est allumée quand la pompe fonctionne à vitesse de Stand-by.
● Confirmer une réponse à une question posée.
STD-BY
● Accéder au menu suivant ou précédent, au
paramètre suivant ou précédent du menu
affiché.
START
● Choisir ou ajuster la valeur du paramètre.
PURGE
Fonctions
● Faire fonctionner la purge via HHR lorsque
le menu [SET UP] [REMOTE CONTROL]
est réglé sur [KEYBOARD] (voir chapitre
« Menu SETUP »).
La LED est allumée quand la purge est activée.
Tab. 5:
STOP
● Démarrer la pompe en mode local, via HHR
lorsque le menu [SET UP][REMOTE CONTROL] est [KEYBOARD] (voir chapitre « Menu
SETUP »).
● Arrêter la pompe en mode local, via HHR lorsque le menu [SET UP][REMOTE CONTROL]
est [KEYBOARD] (voir chapitre « Menu SETUP »).
Description des touches du boîtier HHR
AVIS
Risque de détérioration du clavier
Un film isolant protège les touches. L'utilisation d'objets durs et pointus tels que stylos, tournevis peut
endommager les touches du clavier.
► Activer le clavier manuellement.
Description de l'afficheur
L'afficheur indique l'état du pompage et des paramètres surveillés. L'appui sur les touches +/- permet le
défilement des paramètres surveillés.
1
3
4
2
KEYB
xxxx H
Pump 24°C
0.00 A
0 rpm
Ctrl 27°C
........ Ready to start ..........
1 Interface de commande
2 Heures de fonctionnement
8.2.1
3
4
Paramètres surveillés/défauts
Messages état fonctionnement pompe
Mise sous tension
► Vérifier avant la mise en service du boîtier HHR que les connexions électriques sont bien réalisées.
► Raccorder le boîtier de commande déportable au connecteur SERVICE.
► Positionner l’interrupteur secteur en position I : le boîtier HHR s'initialise.
Le boîtier HHR peut être raccordé alors que la pompe est sous tension et/ou en rotation.
Les réglages initiaux
A la première mise en service, la pompe fonctionne selon les réglages initiaux réalisés en
usine, ces réglages dépendent de la configuration de commande du produit. Les réglages
initiaux sont protégés par un code d'accès (valeur usine '0') qui peut être personnalisé.
● L'utilisateur ou l'intégrateur du produit est responsable de la modification des paramètres de la pompe en fonction de l'application.
48/84
Interfaces de commande
Le mode de commande HHR est actif lorsque le mode de pilotage ’Keyboard’ est configuré par le boîtier HHR ou par la liaison série RS-232/RS-485.
Initialisation de l'affichage
1.
L'unité de commande électronique effectue un autotest et identifie la pompe à laquelle
elle est raccordée.
Le temps d’initialisation est d’environ 15 secondes.
■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
2.
3.
L’équipement est identifié, la version du programme est affichée, la communication
avec la pompe est testée.
HHR V0X.0Y.00
Checking procedure
Dans le même temps les voyants sont testés, ils s’allument successivement.
HHR V0Z.0X.00
Collecting data
■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
4.
A la fin du test, l'écran de travail affiche le modèle de pompe connectée ainsi que le
message 'Ready to start....'.
KEYB
0H
CTRL VXX.0Y.0V
ATHxxxx
........ Ready to start ..........
Accès aux menus
1.
Accéder au mode paramétrage par appui sur PREV.
Entrer dans le menu [DISPLAY] par appui sur la touche ENTER.
2.
Régler les paramètres d'affichage.
Passer d'un menu à l'autre avec les touches +/-.
Ressortir du menu par appui sur la touche PREV.
3.
Accéder au menu [SETUP] avec les touches +/-.
Entrer dans le menu par appui sur ENTER.
3.
Entrer le code d’accès pour modifier les paramètres et valider par appui sur la touche
ENTER.
Ressortir du menu par appui sur la touche PREV.
8.2.2
KEYB
xxxx H
DISPLAY
SETUP
SER NUM
........ Ready to start ..........
KEYB
xxxx H
STATUS
VER
FAULT
BEARING
WARNING
........ Ready to start ..........
KEYB
xxxx H
DISPLAY
SETUP
SER NUM
........ Ready to start ..........
KEYB
xxxx H
ACCESS CODE
0
........ Ready to start ..........
Menu DISPLAY
Sélection
Description
STATUS
Affichage de l’état de la pompe et de l'unité de commande électronique :
● Température pompe
● Courant moteur
● Température de l’électronique
● Vitesse de rotation de la pompe
VERSION
Affichage de la version de l'unité de commande électronique (dépend du modèle de pompe connectée) :
● Version du boîtier de commande
● Version de la face avant de l’électronique
● Version du variateur intégré
● Version de la pivoterie de la pompe turbomoléculaire
FAULT
Affichage successif des 10 derniers défauts avec leur intitulé.
49/84
Interfaces de commande
Sélection
Description
WARNING
Affichage successif des 10 dernières alertes avec leur intitulé.
BEARING
Affichage de la durée de vie des roulements de secours en pourcentage et du seuil d’alerte en pourcentage.
8.2.3
Menu SETUP
Sélection
Choix
Description
ACCESS CODE
0 à 65535
REMOTE CONTROL
Keyboard
Remote hard
Serial link
Profibus
EtherCAT
Choisir le mode de commande.
Selon la configuration
de commande
STAND-BY SPEED
de 15000 min-1 à la vitesse nominale de la pompe
Choisir la vitesse de Stand-by (vitesse
sélectionnée) de la pompe, réglable
entre une valeur minimum et la vitesse
nominale (= vitesse réglée en usine).
15000
BUZZER
ON
OFF
Activer l’avertisseur sonore pour signaler un défaut. Pour stopper l’avertisseur, appuyer sur OFF.
OFF
THERMOSTAT
ON = 30 à 65 °C
OFF
Activer la température de régulation
de la pompe.
OFF (version M)
ON = 65 °C (version MT)
RELAY AT SPEED
-3 à 50 % de la vitesse nominale
Modifier le seuil du contact de vitesse.
-3%
FIELDBUS PROFILE 2)
0
1
Réservé pour le service
0
RS-232 SPEED
9K6
19K2
38K4
57K6
Choisir la vitesse de transmission sur
la liaison série RS-232.
9K6
RS-232 ECHO
ON
OFF
Autoriser ou ne pas autoriser le retour
en écho des caractères reçus sur la
liaison série RS-232.
OFF
RS SEPARATOR
0 à 255
Entrer le caractère séparateur en ASCII : exemple “044” correspond à “,”.
44
RS ADDRESS
0 à 255
Affecter une adresse à la pompe.
0
BEARING LIVE
Warning limit
0 à 99 %
Modifier le seuil d’alerte des roulements de secours.
20
NEW CODING
0 à 65535
Modifier le code d’accès aux paramètres.
0
Réglage initial 1)
0
FIELDBUS ADDRESS 2)
1) Pour des produits spécifiques, les réglages initiaux peuvent être différents (voir chapitre « Produits concernés »).
2) Voir le manuel de l’utilisateur du protocole de communication du bus de terrain qui pilote la pompe.
8.2.4
Menu SER NUM
Sélection
Affichage
Réglage initiaux
HHR
Affichage du numéro de série du boîtier de commande déportable.
XXXXXXXXXX
CONTROLLER
Affichage du numéro de série de l'interface de commande de l'unité de commande électronique.
YYYYYYYYYY
CARTRIDGE 1)
Affichage du numéro de série de la pivoterie.
ZZZZZZZZZZ
MMCC06 1)
Affichage du numéro de série de la carte électronique.
AAAAAAAA
1) Uniquement si HRR connectée à une pompe ATH 500.
50/84
Interfaces de commande
8.3
Commande via le connecteur REMOTE
AVIS
Sécurité des circuits très basse tension
Les circuits de télécommande sont équipés de sorties à contact sec (24 V - 1 A max.). Toute surtension ou surintensité peut entraîner des dommages électriques internes. L'utilisateur doit respecter les
conditions de câblages suivantes :
► Relier ces sorties conformément aux règles et protection des réseaux très basse tension de sécurité (TBTS).
► Alimenter ces contacts avec une tension inférieure à 24 VDC et un courant inférieur à 1 A.
Description
Le raccordement réalisé via le connecteur REMOTE (HD, Sub-D femelle 15 broches) permet :
● la commande à distance des fonctions démarrage, arrêt
● la recopie de l’état de la pompe sous forme de contacts secs
Le mode télécommande est actif lorsque le mode de pilotage ’Remote hard’ est configuré sur la liaison
série RS-232/RS-485 ou par le boîtier HHR.
Lorsque le mode de pilotage ’Remote hard’ est configuré, le réglage de la vitesse de Stand-by et de la
température de régulation sont possibles via la liaison série RS-232/RS-485 ou le boîtier HHR.
► Effectuer le câblage au moyen d’un câble blindé et relier les 2 côtés à la terre.
8.3.1
Câblage des entrées logiques
Commande par une tension continue
Les entrées sont actives lorsqu'une tension continue comprise entre 10 et 24 VDC est appliquée entre
leurs broches (câblage de fourniture client).
A B
+15 V
5
5
13, 14 (+) (+)
5
4
3
10
9
15
S
1
2
8
7
6
11
(-)
(-)
15
15
10
10
10-24 VDC
GND
-
Fig. 16:
+
+
Connecteur Remote : commande par tension continue
A Câblage interne
B
Câblage côté client
Tension
10-24 VDC
Fonction
S3 (13-15)
Stand-by 1)
Contact fermé : la vitesse de Stand-by est sélectionnée.
Contact ouvert : la vitesse de rotation correspond à la vitesse
nominale de la pompe.
S4 (14-15)
Start/Stop pompe 1)
Contact fermé : la pompe démarre.
Contact ouvert : la pompe s’arrête.
1) Cette fonction est opérationnelle si le mode de pilotage est paramétré sur ’Remote hard’ par la
liaison série RS-232/RS-485 (voir chapitre « Liste des commandes ») ou via HHR (voir chapitre
« Menu SETUP »).
Commande par contacts secs
Pour contrôler ces entrées par des contacts externes de l'équipement, relier les broches 10 et 15 et
câbler les contacts utilisés (câblage de fourniture client). Les broches 13, 14 sont connectées au + 15 V
(broche 5) pour être actives.
51/84
Interfaces de commande
A B
5
+15 V
5
4
10
3
9
2
8
7
15
(+) (+)
13, 14
1
5
S
6
11
S4
Fig. 17:
S3
(-)
(-)
15
15
10
10
GND
Connecteur Remote : commande par contacts secs
A Câblage interne
B
Câblage côté client
Contact
Fonction
S3 (13-5)
Stand-by 1)
Contact fermé : la vitesse de Stand-by est sélectionnée.
Contact ouvert : la vitesse de rotation correspond à la vitesse
nominale de la pompe.
S4 (14-5)
Start/Stop pompe 1)
Contact fermé : la pompe démarre.
Contact ouvert : la pompe s’arrête.
1) Cette fonction est opérationnelle si le mode de pilotage est paramétré sur ’Remote hard’ par la
liaison série RS-232/RS-485 (voir chapitre « Liste des commandes ») ou via HHR (voir chapitre
« Menu SETUP »).
8.3.2
Câblage des sorties logiques
A B
4, 3, 2, 1
5
4
3
2
1
9, 8, 7, 6
10
9
8
15
Fig. 18:
7
6
11
Connecteur Remote : sorties logiques
A Câblage interne
B
Câblage côté client
Contact
Fonction
1-6
Relay At
speed
Contact fermé : OK for Process (At speed)
● Version M : vitesse ≥ vitesse nominale (définie par valeur de l’option Relay At speed (Vitesse atteinte) (voir chapitre « Menu SETUP ») ou (voir chapitre « Liste des commandes »).
● Version MT : vitesse ≥ vitesse nominale (définie par valeur de
l’option Relay At speed (Vitesse atteinte) (voir chapitre « Menu
SETUP ») ou (voir chapitre « Liste des commandes »), et si la
température est ≥ à la température de régulation - 3 °C.
2-7
Rotation
1er cas : Rotating mode OPT33 = 0
● Le contact se ferme quand la vitesse est > 120 min-1.
● Le contact s’ouvre quand la vitesse est < 100 min-1.
ème
2
cas : Accelerating mode OPT33 = 1
● Le contact se ferme quand le moteur est en phase d’accélération.
Il reste fermé jusqu’à atteindre la vitesse nominale.
● Le contact s’ouvre quand une commande STOP ou INHIBIT est
prise en compte ou si la vitesse nominale est atteinte.
Pour éviter toute mauvaise lecture de l’état des contacts, nous conseillons un filtrage d’une seconde
sur la lecture des contacts At Speed, Rotation, Fault et Stand-by.
52/84
Interfaces de commande
Contact
Fonction
3-8
Fault
● Le contact 'Fault' se ferme à l’apparition d’un défaut (externe,
température, châssis moteur, etc…).
● Le contact est ouvert en l’absence de défaut.
4-9
Stand-by
● Le contact 'Stand-by' est fermé lorsque le mode stand-by est activé.
Pour éviter toute mauvaise lecture de l’état des contacts, nous conseillons un filtrage d’une seconde
sur la lecture des contacts At Speed, Rotation, Fault et Stand-by.
8.4
Commande via la liaison série RS-232/RS-485
AVIS
Risque de perturbation électromagnétique
Tensions et courants induisent une multitude de champs électromagnétiques et des signaux parasites. Une installation non conforme aux règles CEM perturbe les autres équipements ou plus généralement l’environnement.
► Utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces dans les environnements perturbateurs.
AVERTISSEMENT
Risque de choc électrique par contact avec un produit non isolé électriquement
A la mise hors tension _interrupteur secteur sur O_, certains composants situés entre le connecteur
électrique et le disjoncteur restent sous tension. Il y a un risque de choc électrique par contact.
► Veiller à ce que le raccordement au secteur soit toujours visible et accessible pour pouvoir débrancher à tout moment.
► Débrancher le câble secteur du réseau électrique avant d'intervenir sur le produit.
8.4.1
Connexions
Le connecteur Sub-D, mâle 9 broches repéré RS-232/RS-485 permet de piloter et de surveiller la pompe connectée à un ordinateur externe. Ce connecteur permet également la mise en réseau de plusieurs
pompes. L'ordinateur connecté permet de modifier les paramètres initiaux de la liaison série (voir chapitre « Liste des commandes »).
Configuration initiale liaison série
Désignation
Valeur
Interface série
RS-232
Vitesse de transmission
9600 bauds
Longueur d'un mot de données
8 bits
Parité
aucune (no parity)
Bits de stop
1
Echo
non
Connecteur RS-232/RS-485
Broche
Affectation
2
Réception données (RS-232)
3
Transmission données (RS-232)
53/84
Interfaces de commande
Broche
Affectation
5
GND
8
RS-485 : V-
9
RS-485 : V+
L'utilisateur doit assurer les blindages extérieurs permettant de satisfaire aux normes C.E.M. et sécurité
électrique.
Connexion RS-232
Un ordinateur gère une seule pompe (P1) par la liaison RS-232 via le connecteur RS-232/RS-485.
P1
Connexion RS-485
Un ordinateur gère plusieurs pompes (P1, P2, Pn,..) par liaison série RS-485 via le connecteur RS-232/
RS-485. Ce type de câblage parallèle permet de maintenir la communication entre les pompes même si
une pompe est déconnectée.
Le câblage du produit en bout de ligne Pn* ainsi que le câblage d’un seul produit sur le réseau est spécifique.
1,5 kΩ / 1/4 W
120 Ω / 1/4 W
RS-485
communication
box
P1
Pn*
P2
Paramétrage
Le mode de commande liaison série est actif lorsque le câblage est réalisé et que le mode de pilotage ’Serial link’ est configuré par le boîtier HHR (voir chapitre « Menu SETUP ») ou sur la liaison série
RS-232/RS-485 (voir chapitre « Liste des commandes »).
► Positionner l’interrupteur de l'alimentation 48 VDC en position I.
► Envoyer une commande sur la liaison série.
8.4.2
Protocole de communication
Les commandes
Caractère d'en-tête
Le réglage usine est le code décimal 035 du caractère #
Adresse
Numéro affecté à la pompe sur 3 caractères
Ordre
Commande envoyée sur la liaison série, sur 3 caractères
Paramètre
Format et nombre de caractère dépendent de la commande
Caractère de fin
Caractère de fin de message. Le réglage est le code ASCII 13 <CR> Le caractère <LF> n'est pas pris en compte.
Exemple :
54/84
Caractère d'en-tête
Adresse de la pompe
Commande
Paramètre
Caractère de fin
#
ADR
ODR
XXXX
<CR>
Interfaces de commande
Les réponses
Caractère d'en-tête
Adresse de la pompe
Réponse
Caractère de fin
#
ADR
yyyxxxabc
<CR>
OK
Si tout est OK, ou réponse spécifique à l'ordre transmis
ERR0
Erreur de réglage
ERR1
Erreur d'ordre
ERR2
Erreur de paramètre
ERR3
Erreur de contexte
ERR4
Erreur checksum
Exemple de dialogue
8.4.3
Commande
#005ECHON<CR>
Réponse
#005OK<CR>
Liste des commandes
Ordre
Paramètre
Description
Fonctions
Mini
Maxi
Réglage
initial
ADR
xxx
Attribution
d'une adresse à une
pompe dans
le réseau.
Exemple : #adrADR,xxx<CR>
(RS 232 uniquement)
● adr = adresse de la pompe avant la commande
● xxx = nouvelle adresse
000
255
0
DEF
aucun
Affichage
historique
alertes/
défauts
Liste les 10 derniers alertes/défauts horodatés au temps de
fonctionnement de l’électronique, suivi du nom du défaut.
La flèche->indique l’alerte/le défaut en cours
Exemple :
* 00000:02:20 / Default list
->00000:01:37 / Default in current Yh
->00000:01:37 / PM Default
* 00000:02:20 / Warning list
->00000:02:37 / Holweck Temp. sensor
00000:01:30 / Speed controller Hall sensor
00000:00:50 / Holweck Temp. sensor
DLI
xxx
Intervalle de
lecture du
Data loger
Paramétrage de l’intervalle de lecture automatique de l’état
de la pompe (STA), en seconde
0
255s
1s
DLR
aucun
Lecture automatique en
Data loger
Autorisation de lecture automatique de l’état de la pompe
(STA) au rythme défini par la commande DLI (RS 232 uniquement)
OFF
ECH
ON
ou
OFF
Renvoi caractère reçu
sur la liaison
série
Activé si ECHON (RS 232 uniquement)
Désactivé si ECHOFF (RS 232 uniquement)
OFF
IDN
aucun
Identification
du produit
qui communique avec
l’ordinateur
Retourne le type de pompe en communication avec l’ordinateur. La version de logiciel (x, yy), l’édition (zz)
Exemple : #adr,Pump_name Vx.y.zz,<CR>
55/84
Interfaces de commande
Ordre
Paramètre
Description
Fonctions
Mini
Maxi
Réglage
initial
LEV10
aucun
Etat des paramètres de
fonctionnement définis
avec la commande SET
Exemple :
#adr,nnnnn,sssss,00000,0,ccccc,eeeee,00000,0000,0000,jj,
kk,ll,mmm<CR>
nnnnn = vitesse nominale (min-1)
sssss = vitesse de standby (min-1)
00000 = non utilisé
0 = non utilisé
ccccc = temps de fonctionnement pompe (heures)
eeeee = temps de fonctionnement électronique
00000 = non utilisé
0000 = non utilisé
jj = consigne du relais ’At speed’ (vitesse atteinte) (3 à
50 %)
kk = température régulée (30 à 65° C)
ll = seuil alerte roulements de secours (0 à 99 %)
mmm = compteur roulements de secours (0 à 100 %)
NSP
aucun
Autorise le
passage de
la vitesse
Stand-by à
la vitesse
nominale
La pompe fonctionne à la vitesse nominale définie en usine
OPT
XX
Choix des
options/
commandes
par l’utilisateur
Exemple : #adrOPTXX,n<CR>
● XX = 25 Commande du freinage
n = 1 aucun freinage moteur
n = 0 freinage moteur
0
1
0
● XX = 29 Régulation de température ON/OFF (Pompe
version MT)
n = 0 régulation de température inactif
n = 1 régulation de température actif
0
1
0
● XX = 33 mode contact
n = 0 Rotating (contact fermé si la vitesse > 120 min-1
n = 1 accelerating (contact fermé en phase d'accélération)
0
1
0
15000
50000
15000
● XX = 14 Mode de pilotage
n = 0 pilotage via la HHR (clavier)
n = 1 pilotage via la Remote (hard)*
n = 2 pilotage via liaison RS-232/RS-485
n = 5 pilotage via Profibus
n = 8 pilotage via EtherCAT
* pas accessible avec EtherCAT
RDI
aucun
Numéro de
série de
l’électronique
Correspond au numéro de série, codé sur 10 digits et stocké dans EEPROM des numéros de série de la pompe, de la
pivoterie, de l'interface de commande.
RPM
aucun
Paramétrage
de la vitesse
de Stand-by
Exemple : #adr,nnnnn<CR>
nnnnn = vitesse de Stand-by
SBY
aucun
Autorise le
passage de
la vitesse de
consigne à
la vitesse de
Stand-by
La pompe fonctionne à la dernière vitesse de Stand-by mémorisée. Celle-ci peut être modifiée avec la commande
RPM.
56/84
Interfaces de commande
Ordre
Paramètre
Description
Fonctions
Mini
Maxi
Réglage
initial
SEL10
aucun
Etat des options/
commandes
définies avec
la commande OPT
Exemple : #adr,0,0,1,0,r<CR>
000
255
044
XX = 30 seuil de relais ’At Speed -Vitesse atteinte’ (%)
-3
- 50
-3
XX = 31 température de régulation (°C) (Pompe version
MT)
30
65
30
XX = 32 seuil d’alerte des roulements (%)
0
99
20
0 = non utilisé
1 = non utilisé
r = retourne le choix du mode
de pilotage
r = 0 Hand Held Remote
(keyboard)
r = 1 Remote control
r = 2 Serial link
r = 5 Profibus
r = 8 EtherCAT
valeur par défaut en fonction de la référence de la
pompe
SEL20
aucun
Paramètres
définis avec
la commande OPTXX
Retourne l'état des paramètres S25, S29, S33 définis avec la
commande OPTXX.
Exemple : #000,S25,S29,S33<CR>
SEP
aucun
Caractère
séparateur
Valable pour les paramètres retournés par les commandes
DLR, STA et LEV.
Valeur décimale du code ASCII du caractère
code 044 correspond à virgule “,”
SET
XX
Réglage des
paramètres
de fonctionnement de la
pompe
Exemple : # adrSETXX,ccccc<CR>
XX = 10 temps d'utilisation de la pompe (en heures)
ccccc = valeur
TMP
ON
ou
OFF
Démarrer/
arrêter la
pompe
La pompe fonctionne avec TMPON.
La pompe s’arrête si TMPOFF.
VER
aucun
Affichage
des versions
de logiciel
#adr,INTERFACE Vx.yy.zz,CARTRIDGE Vx.yy,TYPE
zzzz,FIRMWARE Vx.yy.zz<CR>
INTERFACE vx.yy.zz = version du logiciel carte interface
CARTRIDGE vx.y = version logiciel du variateur
Type zzzz = type de pompe raccordée
FIRMWARE Vx.yy.zz = version logiciel
Ordre
Paramètre
Description
Fonctions
STA
aucun
Etat de la
pompe
Exemple : #adr,s1s2s3, rrrrr,vvv, www, xxx, yyy, zzz, aa, bbbbb, ccc, ddd,
gggggggggggggggggggggggg<CR>
rrrrr = vitesse de la pompe (min-1)
aa = tension moteur (V)
bbbbb = courant moteur (mA)
ccc = Température pompe (° C)
ddd = Température électronique (° C)
s1s2s3 = nécessite de convertir de ASCII
à binaire
vvv = Radial Xh
www = Radial Yh
xxx = Radial Xb
yyy = Radial Yb
zzz = Axial Z
g0 à g24 = bit d’alertes et défauts
57/84
Interfaces de commande
Ordre
Paramètre
STA
STA
STA
58/84
aucun
aucun
Description
Fonctions
s1: état de
l’ordre
Bit
s2: état de la
pompe
s3: état des
électrovannes
7
6
5
4
3
2
1
0
INH
Local
Fault
Serial
Fieldbus
REM
STBY
START
0
-
0
OFF
OK
0
OFF
OFF
OFF
1
1
ON
ON
si HHR a
le contrôle
Fault
si statut
Fault actif
ON
si mode
pilotage
bus terrain actif
ON
si mode
pilotage
Remote
hard
ON
si mode
Stand-by
actif
ON
en démarrage, en
vitesse ou
survitesse
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Fault
Warning
Temp.
Braking
(Free)
Accelerating
Rotating
Power
(init).
0
-
OFF
OFF
OFF
0
OFF
OFF
-
1
1
si défaut
actif
ON
si dépassement
temp.
pompe
ON
-
ON
si mode
démarrage
ON
en démarrage,
en vitesse ou
survitesse
ON
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Vitesse
(Free)
(Free)
Vanne
d’eau
Régulation
temp.
(Free)
(Free)
0
-
OFF
-
-
OFF
OFF
0
0
1
1
ON
si statut ’Vitesse atteinte’
-
-
ON
si vanne
d’eau
alimentée (MT)
ON
si TMS
actif
(MT)
-
-
Interfaces de commande
Ordre
Paramètre
Description
Fonctions
STA
aucun
g0 à g24 : bits
d’alerte et défaut
g
0
0 = ok
1 = alerte
2 = défaut
Seized pump
Not accelerating
1
Fault (any)
2
3
4
5
Drive fault
6
7
8
Mag. suspens.
Power voltage
9
10
Upper radial bearing Yh
11
Upper radial bearing Xh
12
Lower radial bearing Yb
13
Lower radial bearing Xb
14
Axial bearing Z
15
Bearing
Bearing change
16
Electronic temperature
Electronic temperature
17
Pump temperature, pump sensor
Pump temperature
18
19
20
Self check
21
22
23
24
8.5
Internal communication
Exploitation avec bus de terrain
Le raccordement et l'exploitation de pompes turbomoléculaire Pfeiffer Vacuum par un système bus de
terrain est possible lorsque l’interface de commande correspondante est installée sur la pompe (dépend
de la configuration de commande).
► Vous référer au manuel de l’utilisateur de l’interface de commande correspondante (voir chapitre
« Documents applicables »).
59/84
Maintenance
9 Maintenance
9.1
Consignes de sécurité pour la maintenance
DANGER
Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe
Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonnement ou la mort. Aussi, avant de déconnecter la pompe, il convient d’éliminer un maximum de traces
résiduelles de gaz de procédés.
► Effectuer obligatoirement un balayage de l’équipement (installation de pompage) avec un
flux d'azote pendant 30 minutes : la pression et le débit d'azote doivent être identiques aux
valeurs programmées pour le procédé.
DANGER
Risque d'empoisonnement par contact avec des substances toxiques et sous-produits générés par le procédé
La pompe à vide, les composants de la ligne de pompage, les fluides d'exploitation sont contaminés par des substances toxiques, corrosives, réactives ou radioactives liées au procédé. Tout contact avec les pièces contaminées ou les sous-produits générés par le procédé présente un risque
d’empoisonnement pour la santé.
► Porter les équipements de protection appropriés lors de la déconnexion pour maintenance de la
pompe, ainsi que pour le remplissage ou la vidange du fluide d’exploitation.
► Bien aérer le local ou effectuer la maintenance sous hotte ventilée.
► Ne pas jeter les sous-produits/résidus au réseau usuel : faire appel à un organisme compétent
pour leur destruction si nécessaire.
► Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air (obturateurs livrés avec
le produit et disponibles en accessoires).
AVERTISSEMENT
Risques de coupures par contact avec des arêtes vives par la bride de vide élevé
L’accès aux pièces ‘coupantes’ est possible par la bride d’aspiration. Les arêtes des ailettes du rotor
et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes.
► Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'intervenir sur le produit.
► Toujours maintenir le filtre pare-éclats dans le carter d’aspiration, il atténue le risque de blessures.
► Toujours porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance
Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement.
► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O.
► Débrancher le câble secteur du réseau électrique.
► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation).
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure par contact avec des surfaces chaudes
La température des pièces reste élevée même après l’arrêt de la pompe. Il y a risque de brûlure par
contact avec les surfaces chaudes, en particulier au niveau du refoulement de la pompe.
► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit.
► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
60/84
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d'intoxication en cas de fuites de gaz de procédés
Lors de la déconnexion/connexion de composants dans la ligne de pompage (pompe, canalisations,
vannes....) pour maintenance, l'étanchéité de l'installation est rompue : il y a un risque potentiel de
fuites de gaz de procédés.
► Pendant le démontage, toujours protéger les surfaces des brides d'aspiration et de refoulement.
► Après remontage, effectuer un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage.
AVIS
Risque d'endommager la pompe en générant un arc électrique
La pompe et son unité de commande électronique ne doivent pas être débranchées du réseau électrique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor et tant que l'ensemble n'est pas isolé du réseau
électrique : un arc électrique est créé lors de l'interruption du circuit qui détériore les composants internes.
1. Stopper la rotation de la pompe en envoyant un ordre ‘Stop’ sur l'interface de commande.
2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor (plusieurs minutes).
3. Couper l'alimentation électrique du réseau au niveau de l'équipement.
4. Débrancher le câble secteur.
Recommandations générales pour la maintenance
● S’assurer que le technicien de maintenance est formé aux règles de sécurité qui concernent les
gaz pompés.
● Débrancher le câble secteur du produit de toute source d’énergie avant d’intervenir sur le produit.
● Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur les composants électriques.
● Attendre le refroidissement complet avant d'intervenir sur le produit.
● Les circuits pressurisés - azote et eau - sont des risques énergétiques potentiels : toujours verrouiller ces circuits (LO/TO procédure de consignation/déconsignation) avant d'intervenir sur le
produit.
● Fixer les câbles électriques, les canalisations de pompage : les acheminer dans des goulottes
pour éviter les chutes.
● Collecter les résidus de procédés et faire appel à un organisme compétent pour leur destruction.
● Toujours protéger les surfaces des brides d’aspiration et de refoulement.
9.2
Intervalles de maintenance
Les pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques ATH nécessitent une maintenance périodique
pour éviter toute panne. L'intervalle de maintenance dépend du procédé du client. Des informations détaillées sur le processus sont nécessaires pour déterminer l'intervalle de maintenance, veuillez consulter Pfeiffer Vacuum.
Les recommandations dépendantes du procédé sont les suivantes :
Procédé
Intervalle de maintenance 1)
Exemple de procédé / Remarque
Procédé de gravure des métaux et conducteurs avec corrosions et/ou condensables
12 mois
L'intervalle de maintenance est à déterminer en fonction
du procédé. Veuillez consulter Pfeiffer Vacuum avec les
détails du procédé.
Procédé de dépôts avec condensables
Procédé léger de gravure
Utilisation de gaz condensables et/ou production de
poudre.
24 mois
Gravure d'oxyde, gravure de silicium, avec processus à
faible dépôt.
60 mois
Génération de vide sans gaz réactif.
Procédé de dépôts sans condensables
Applications propres
1) Veuillez consulter Pfeiffer Vacuum pour plus de détails.
Maintenance des roulements de secours
Par conception, la pompe ne comporte pas de pièces d’usure et ne nécessite pas de maintenance préventive. Cependant, les roulements de secours utilisés pour protéger la pompe lors d’entrées d’air
61/84
Maintenance
brutales, de chocs ou d'une déconnexion accidentelle de l'unité de commande électronique, doivent
être changés lorsque l’électronique le signale : le pourcentage du temps d’atterrissage du compteur
roulement déduit dépend du nombre et du type d’incidents.
Le seuil d’alerte pour signaler à l’opérateur la maintenance des roulements est paramétrable via l’interface de commande qui pilote la pompe (HHR, liaison série, ou bus de terrain). Un compteur permet
d’afficher le niveau d’usure des roulements afin de prévoir la maintenance des roulements de secours.
Les roulements de secours sont conçus pour résister à des atterrissages provoqués par un usage non
conforme. L’usure des roulements est gérée par l’électronique qui prend en compte la vitesse de rotation et la durée de l’atterrissage. Le pourcentage initial est de 100 %. Lorsque cette valeur atteint le
seuil d’alerte réglé, une alerte se déclenche : les roulements de secours doivent impérativement être
remplacés. Si d’autres atterrissages se produisent, le compteur continue de décroître jusqu’à 0 %. Ces
roulements doivent être remplacés par un centre de service Pfeiffer Vacuum.
Maintenance du rotor de la pompe
La durée de vie du rotor de la pompe varie suivant les conditions de fonctionnement et les applications.
Pour garantir les meilleures performances, au-delà de 5 ans de fonctionnement, faire contrôler
l’état du rotor par un centre de service Pfeiffer Vacuum.
Comment nous contacter ?
La révision du produit doit être réalisée par du personnel formé par le constructeur. Contacter notre centre de service le plus proche à l'adresse suivante : [email protected].
9.3
Entretien sur site
La pompe ne nécessite aucune maintenance sur le site client excepté l’entretien courant décrit dans ce
manuel. Toute autre maintenance doit être réalisée par notre centre de service.
► Nettoyer les faces externes du produit à l’aide d’un chiffon propre non pelucheux et d’un produit
ne détériorant pas les surfaces sérigraphiées et les étiquettes autocollantes.
► Vérifier que la canalisation de refoulement ne soit pas obstruée.
► Vérifier l’état du filtre pare-éclats, le nettoyer ou le remplacer.
► Remplacer le filtre à poussières sur l’électrovanne de purge s’il est obstrué (si vanne présente).
► Procéder au remplacement des bobines d'électrovannes si celles-ci sont défectueuses.
► Procéder au remplacement de l’électrovanne d’eau si elle est défectueuse (si vanne présente).
Maintenance du filtre pare-éclats
La pompe est livrée avec un filtre pare-éclats installé dans la bride du carter d'aspiration de la pompe.
Ce filtre protège la pompe contre l’introduction les corps étrangers provenant des enceintes. Lorsqu’il
est pollué ou endommagé, il doit être remplacé.
IN
1
2
3
1 Clips
2 Filtre pare-éclats
3
Carter d'aspiration
Pour le remontage respecter les instructions suivantes :
1. Positionner le filtre dans la gorge du carter d’aspiration, côté bombé orienté vers l’enceinte à
pomper.
2. Positionner le clips et le presser manuellement au fond de sa gorge sur toute la circonférence.
62/84
Maintenance
9.4
Procédure d'échange par un produit de remplacement
Pour procéder à un échange standard, il est nécessaire de respecter la chronologie des étapes suivantes :
1. Déconnexion de la pompe de l’installation.
2. Vidange du circuit d’eau.
3. Conditionnement de la pompe pour expédition.
4. Déclaration de contamination.
5. Manutention de la nouvelle pompe (voir chapitre « Manutention de la pompe »).
6. Mise en place d’une nouvelle pompe (voir chapitre « Installation»).
Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de
Pfeiffer Vacuum », page 70).
9.4.1
Déconnexion de la pompe de l'installation
Rappel des risques et mesures de sécurité
● Observer les consignes de sécurité pour la maintenance.
● Appliquer les consignes de sécurité spécifiques conformément à la législation locale :
ces informations sont disponibles auprès du service de sécurité du client.
Procédure de déconnexion
1. Arrêter la pompe en envoyant un ordre 'Stop'.
2. Mettre la pompe hors tension en positionnant l'interrupteur de l'alimentation électrique sur O.
3. Déclencher le disjoncteur réseau de l’installation client.
4. Déconnecter le câble secteur au niveau du connecteur électrique.
5. Déconnecter tous les connecteurs au niveau de l'interface de commande.
6. Déconnecter l’alimentation d’azote.
7. Déconnecter le raccord WATER IN puis le raccord WATER OUT.
8. Désolidariser la pompe au niveau de la bride de vide élevé et obturer l’orifice d’aspiration avec les
accessoires de raccordement étanches à l'air.
9. Désolidariser le refoulement de la pompe et obturer l’orifice de refoulement avec les accessoires
de raccordement étanches à l'air.
10. Mettre en place les dispositifs de manutention (voir chapitre « Manutention de la pompe »).
11. Déconnecter la pompe de l'installation.
9.4.2
Vidange du circuit d'eau
L'eau doit être évacuée de la pompe pour éviter le gel dans les canalisations pendant le transport. Pour
cela le client doit prévoir des tuyaux flexibles et des raccords ainsi qu'un circuit d'air comprimé (pression
de 2 à 5 ·103 hPa).
AIR PRESSURE
1
2
3
1 Tuyau d'arrivée air comprimé
2 Tuyau de vidange
3
Récipient (capacité > 1 litre)
63/84
Maintenance
Procédure de vidange du circuit d'eau
1. Placer un récipient en dessous des raccords.
2. Déconnecter le circuit de refroidissement au niveau des raccords WATER IN et WATER OUT.
3. Raccorder un tuyau de vidange sur l'un des raccords.
4. Raccorder le circuit d’air comprimé sur l'autre raccord.
5. Injecter de l’air comprimé jusqu’à ce que toute l’eau soit évacuée.
9.4.3
Conditionnement de la pompe pour expédition
Les pompes qui doivent être expédiées seront grossièrement décontaminées puis pressurisées à l’azote.
Pour décontaminer et pressuriser la pompe, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote
ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote »). De même, il est recommandé de disposer des accessoires de raccordement qui permettent de fermer la pompe de manière étanche (accessoires).
Balayage refoulement/aspiration
1. Fermer le raccord de purge à l'aide d'un bouchon.
2. Mettre en place l’obturateur muni de l'injecteur sur la bride de refoulement.
3. Raccorder l'azote sur le raccord gaz prévu à cet effet.
4. Réaliser un balayage à l’azote en injectant une pression
relative de 120 à 150 hPa pendant 30 minutes.
5. Stopper le flux d’azote.
30’
N2
Pressurisation de la pompe
1. Obturer l’aspiration avec les accessoires et fermer de
manière étanche.
2. Pressuriser la pompe en azote à une pression relative
de 120 hPa.
3. Stopper le flux d’azote.
N2
Etiquetage de la pompe
1. Coller cette étiquette sur le produit
pour informer que la pompe a fonctionné sur des produits dangereux.
2. Remplir la déclaration de contamination et la joindre au produit (voir
chapitre « Solutions de service »).
64/84
Exposure may result in severe injury or death.
Preventive maintenance must be done by trained
personnel only.
Mise hors service
10
Mise hors service
10.1
Immobilisation prolongée
AVIS
Accumulation de gaz de procédés sur un équipement à l'arrêt
Toutes les pompes de procédé sont conçues pour fonctionner en continu sur des applications de
pompage de gaz de procédés et ne doivent pas être arrêtées. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie
et responsabilité lorsqu’une pompe de procédé est arrêtée pour une durée prolongée pouvant provoquer la condensation des sous-produits, le dépôt de poudres et la corrosion à l’intérieur de la pompe.
► Réaliser une révision du produit avant de le remettre en service. Contacter Pfeiffer Vacuum.
Après utilisation sur applications propres
1. Effectuer un balayage de l’installation avec un flux d'azote durant 30 minutes. La pression et le
débit d'azote doivent être identiques aux valeurs programmées pour le procédé.
2. Vidanger le circuit d’eau.
3. Déconnecter la pompe de l’installation.
4. Obturer l’aspiration, le refoulement et l’orifice de purge avec les accessoires fournis.
5. Stocker la pompe dans un environnement propre, sec et non pollué, pour une durée maximale de
6 mois en respectant les températures de stockage.
6. Protéger les connecteurs électriques avec les bouchons de plastique présents sur le produit à la
livraison.
Après utilisation sur applications agressives
► Ne jamais stocker une pompe qui a été utilisée sur des applications agressives !!.
Procéder à un échange standard (voir chapitre « Procédure d'échange par un produit de remplacement ») et retourner le produit auprès du centre de service (voir chapitre « Solutions de service
de Pfeiffer Vacuum », page 70).
10.2
Remise en service
Pour remettre en service la pompe après un arrêt prolongé, procéder à l’installation complète de la
pompe (voir chapitre « Installation », page 23).
10.3
Mise au rebut
Conformément à la Directive concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques (DEEE), et à la Directive relative à la restriction des matières dangereuses (RoHS), les produits en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation.
Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, utilisant des pièces détachées d’origine Pfeiffer Vacuum SAS, vendues par Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles.
Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la
prestation de service qui sera facturée au client.
Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de
Pfeiffer Vacuum », page 70).
Protection de l'environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
65/84
Mise hors service
Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés : acier, acier inoxydable, laiton,
aluminium, nickel, cuivre, élastomères fluorés, PFPE, FEP, des cartes électroniques. Prendre des précautions particulières pour :
● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températures,
● les composants en contact avec les produits résultant de procédés qui ont pu être contaminés.
66/84
Dysfonctionnements
11
Dysfonctionnements
11.1
Signalement des mauvais fonctionnements et défauts
Prendre connaissance des consignes de sécurité relatives à la maintenance (voir chapitre « Consignes
de sécurité pour la maintenance »).
Lorsqu'un problème intervient, l'utilisateur est averti par :
●
●
●
●
●
●
●
L'activation de la LED relative au défaut/alerte
L'avertisseur sonore du boîtier HHR (si la fonction est validée)
L’activation des contacts défauts sur la prise télécommande REMOTE
L’arrêt du pompage alors que l'ordre 'Stop' n’a pas été activé
L'affichage d'un message défaut sur le boîtier HHR
Un message via la liaison série RS-232 ou RS-485
Un message via la liaison bus de terrain
Signification des LED
● LED jaune allumée/LED rouge clignotante = présence d’une alerte
● LED rouge allumée = présence d’un défaut, arrêt de la pompe
Pour la surveillance du fonctionnement (voir chapitre « Surveillance du fonctionnement », page 44).
Remise en service après arrêt sur défaut
Lors d’un arrêt de la pompe sur défaut, l’alimentation électrique du variateur est coupée et la pompe est
en sécurité. Pour remettre la pompe en service, il faut :
1. Couper l'alimentation électrique et attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor.
– Interrupteur de l'alimentation électrique externe 48 VDC sur O.
2. Attendre environ 15 secondes.
3. Supprimer l'origine du défaut.
4. Rétablir l’alimentation électrique.
– Interrupteur de l'alimentation électrique externe 48 VDC sur I.
11.2 Mauvais fonctionnement
Problème de démarrage et fonctionnement incorrect
Symptôme
Cause
Remède
A la mise sous tension, rien ne se
passe et aucun voyant allumé.
Absence d'alimentation
électrique
● Vérifier que l'alimentation électrique externe
48 VDC est bien raccordée au secteur.
● Vérifier que la pompe est alimentée en 48 VDC.
● Vérifier le chenillard à la mise sous tension.
● Si le problème persiste, contacter notre centre de
service.
La pompe vibre pendant la montée
en vitesse.
Problème mécanique
● Vérifier que la pompe est fixée de façon rigide au
châssis (voir chapitre « Spécifications d'installation »).
● Vérifier que l’installation n’engendre pas de vibration.
● Vérifier que l’installation est correctement fixée
au sol (ce problème peut provenir d’une dalle flottante, par exemple).
● Si le problème persiste, contacter notre centre de
service.
Le voyant rouge de l'électronique
est allumé.
La pompe est en défaut.
● Connecter la liaison série.
● Prendre connaissance de la liste des défauts via
la liaison RS-232/RS-485 (commande #DEF).
67/84
Dysfonctionnements
La pompe fonctionne et signale un défaut
Message
Symptôme
Cause
Remède
Unbalance fault
L’électronique arrête le moteur. L’électrovanne d’entrée
d’air est ouverte. La pompe
ne peut pas redémarrer.
L’électronique n’arrive pas à
centrer le rotor.
● Vérifier que la pompe est correctement fixée au châssis (voir chapitre
« Spécifications d'installation »).
● Couper l’alimentation de l'unité de
commande pendant 15 s puis remettre sous tension.
● Si le message disparaît, redémarrer
la pompe.
● Si le problème persiste, contacter
notre centre de service.
Not Ecc Correcte
Le test auto-contrôle Ecc
n’est pas terminé.
Le contrôleur arrête le moteur. Le contact «START»
s’ouvre. La pompe ne peut
pas redémarrer.
● Vérifier qu’il n’y a pas de vibrations
sur le châssis.
● Vérifier que la pompe est bien fixée.
● Couper l’alimentation de l'unité de
commande pendant 15 s puis remettre sous tension.
● Si le message disparaît, essayer de
démarrer la pompe.
● Si le problème persiste, contacter
notre centre de service.
Sur des procédés générant des poussières ou des vapeurs condensables, le rotor peut être bloqué par des sous-produits du procédé.
Safety shutdown
Problème mécanique ou
électrique
L'unité de commande électronique arrête le moteur. Le
contact “START” s’ouvre. La
pompe ne peut pas redémarrer.
● Contacter notre centre de service.
Drive fault
Surintensité du moteur ou
défaut sur les capteurs à effet Hall
L'unité de commande électronique arrête le moteur.
● Réduire le flux.
● Couper l’alimentation de l'unité de
commande pendant 15 s puis remettre sous tension.
● Si le message disparaît, redémarrer
la pompe.
● Si le problème persiste, contacter
notre centre de service.
Hardware fault
Le contact de sécurité apparaît quand un défaut sur
l'ensemble pompe/électronique intégrée est détecté.
Pas de sustentation magnétique. La pompe ne peut pas
redémarrer.
● Contacter notre centre de service.
Selfcheck failed
Problème mécanique ou
électrique
Pas de sustentation magnétique. La pompe ne peut pas
redémarrer.
● Couper l’alimentation de l'unité de
commande pendant 15 s puis remettre sous tension.
● Si le problème persiste, contacter
notre centre de service.
Electr.Temperature
La température de l'électronique dépasse la limite autorisée > 75 - 80 °C
La pompe ne peut pas démarrer.
● Vérifier le circuit de refroidissement
(voir chapitre « Raccordement de la
pompe au circuit d'eau »).
Rotate while
Powerup
La pompe est alimentée, le
rotor est toujours en rotation.
La pompe ne peut pas démarrer.
● Attendre l’arrêt complet de la rotation
du rotor, puis couper l'alimentation
électrique.
● Débrancher et rebrancher le câble
d'alimentation électrique.
● Si le problème persiste, contacter
notre centre de service.
Bearing overload
Displacement
fault
Lower Radial
Bearing
Upper Radial
Bearing
Axial position
Lower Radial
current
Upper Radial
current
Axial current
No recovery
68/84
Dysfonctionnements
La pompe fonctionne et signale un défaut
Message
Symptôme
Cause
Remède
Magnetic bearing
L’unité de commande électronique arrête le moteur.
L’électrovanne d’entrée d’air
est ouverte.
Défaut de sustentation du
rotor
● Attendre l’arrêt complet de la rotation
du rotor.
● Couper l’alimentation de l'unité de
commande pendant 15 s puis remettre sous tension.
● Si le message disparaît, redémarrer
la pompe.
● Si le problème persiste, contacter
notre centre de service.
Pump Temperature
La température de la pompe
dépasse la limite autorisée :
> 105 °C (pompe version
MT)
> 110 °C (pompe version M)
L'unité de commande électronique arrête le moteur
jusqu’à ce que la température redescende à 105 ou
110 °C. Alors le moteur redémarre.
● Vérifier le circuit de refroidissement
(voir chapitre « Raccordement de la
pompe au circuit d'eau »).
Bearing
Les roulements de secours
doivent être maintenus : le
seuil d'alerte est atteint.
La limite autorisée du nombre d’atterrissage sur les
roulements de secours est
atteinte.
● Contacter notre centre de service.
Seized Pump
L’unité de commande électronique cesse d’alimenter le
moteur.
Blocage du rotor
● Couper l’alimentation de l'unité de
commande pendant 15 s et remettre
sous tension
● Si le message disparaît, redémarrer
la pompe.
● Si le problème persiste, contacter
notre centre de service.
Not Accelerating
L’unité de commande électronique cesse d’alimenter le
moteur.
La pompe n’arrive pas à accélérer.
● Vérifier le bon fonctionnement du
prévidage (niveau de vide primaire).
Internal communication
La pompe ne démarre pas.
Défaut de communication
● Couper l’alimentation de l'unité de
commande pendant 15 s puis remettre sous tension.
● Si le message disparaît, redémarrer
la pompe.
● Si le problème persiste, contacter
notre centre de service.
69/84
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
70/84
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
71/84
Accessoires
13
Accessoires
Accessoire
Fonction
Type
Dimension
Vanne d’isolement
Cette vanne s’utilise pour
maintenir le vide dans la
pompe et l’isoler de la ligne
de pompage.
Vanne manuelle
voir catalogue constructeur
Réf.
Boîtier de commande déportable
Ce boîtier permet l’interface
homme/machine pour pilotage de la pompe en mode
local.
Boîtier avec cordon
114461
Anneau de centrage pour bride
ISO-F
100 ISO-F
115940
160 ISO-F
115797
Joint cuivre pour
bride CF-F
100 CF-F
303291 (Qt 1)
160 CF-F
303292 (Qt 1)
DN 100 ISO-F
118001
DN 160 ISO-F
118002
Filtre pare-éclats
Lot de visserie
pour fixation pompe
Ce filtre protège la pompe
contre l’aspiration de particules solides. Il s’intègre
dans le carter d’aspiration.
Filtre bombé + clips percé
Ce lot comprend les accessoires de fixation de la
pompe sur l'équipement par
la bride d’aspiration de la
pompe.
Lot de 12 vis CHc M10x35
DN 160 ISO-F
110676S
Lot de 12 goujons
CHc M8x35
DN 100/160 CF-F
118690
Acier inoxydable
ISO-K
PF 300 110 -T
(Qt 1)
Griffe de serrage
pour bride tournante
Bouchon de purge
Un bouchon peut être installé en lieu et place du filtre à poussières.
Bouchon + joint et rondelle
Alimentation électrique (externe)
Entrée : 230V (±15 %) 50-60Hz
Sortie : 48 VDC 600 W
Câble secteur
Ce câble permet le raccordement de l'alimentation externe au secteur (longueur 2 m).
Câble d'alimentation
Le câble permet le raccordement de la pompe à l'alimentation électrique 48 VDC.
Electrovanne
d'entrée d'air
L'électrovanne d'entrée
d'air est calibrée pour remettre à la pression atmosphérique le volume interne
de la pompe.
Lot électrovanne
de purge (sans
câble)
24 VDC
L'électrovanne de purge permet de piloter l'injection de
gaz neutre pendant le fonctionnement de la pompe.
(uniquement pour pompe version M)
Câble de l'électrovanne de purge
Lot de fermeture
pour pompe polluée
Ce lot de fermeture comprend l’obturateur, joint d'étanchéité et la visserie pour fermer la pompe.
115298S
114866
Norme Europe :
200-240V AC
48 VDC
103566
Norme US :
200-240V AC
48 VDC
103898
3,5 m
A331328-035
5m
A331328-050
10 m
A331328-100
DN 25 ISO-KF
(version M)
DN 40 ISO-KF
(version MT)
200043
24 VDC - 5W
115303S
1m
A462403-010
3,5 m
A462403-035
5m
A462403-050
10 m
A462403-100
20 m
A462403-200
DN 160 ISO-F
114501
DN 160 ISO-K
114502
voir constructeur
Obturateurs, griffes de serrage, colliers de serrage, voir catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffervacuum.com. Choisir des matériaux compatibles avec l’application.
72/84
Accessoires
Accessoire
Fonction
Type
Dimension
Réf.
Accessoires de
raccordement
Pour le refoulement (pressurisation)
Obturateur
avec piquage pour injecteur
DN 25 ISO-KF
(version M)
114419
DN 40 ISO-KF
(version MT)
065053
Injecteur
106859
Obturateurs, griffes de serrage, colliers de serrage, voir catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffervacuum.com. Choisir des matériaux compatibles avec l’application.
73/84
Pièces de rechange
14
Pièces de rechange
Remplacement des pièces défectueuses
Les conditions initiales de sécurité du produit sont remises en cause si des pièces non
d’origine constructeur sont utilisées :
● Utiliser uniquement les pièces de rechange disponibles sur commande auprès de
Pfeiffer Vacuum Service.
● Pour identifier le produit et communiquer avec Pfeiffer Vacuum, se référer à la plaque
signalétique du produit.
Désignation
Version de pompe
Référence
Remarques
Bobine 24 VDC
Vxxxxx00 (M)
Vxxxxx03 (MT)
038066
sur électrovanne
de purge et électrovanne d’entrée
d’air
Filtre à poussières
Vxxxxx00 (M)
Vxxxxx03 (MT)
106229
sur électrovanne
d'entrée d'air
Câble ventilateur 48 VDC
Vxxxxx00 (M)
Vxxxxx05 (M)
A464597
Electrovanne d'eau en cuivre 48 VDC (NO)
● Corps de vanne
● Bobine 48 VDC
● Raccord droit 1/8 BSPP
● Raccord droit 1/8 NPT
● Raccord coudé 1/8 NPT
Vxxx2xxx (MT)
119110S
● 115062
● 119079
● 115304
● 105559
● 119077
Electrovanne d'eau en inox 48 VDC (NO)
● Corps de vanne
● Bobine 48 VDC
● Raccord droit 1/8 BSPP
● Raccord droit 1/8 NPT
● Raccord coudé 1/8 NPT
Vxxx3xxx (MT)
126753S
● 123192
● 119079
● 115304
● 105559
● 119077
Tab. 6:
74/84
Pièces de rechange - ATH500
Caractéristiques techniques et dimensions
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1
Généralités
Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum :
► Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5.
► ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puissance de pompes à vide - Description générale ».
► Pression limite : avec dôme de test et après 48 h d'étuvage.
► Débit de gaz : avec refroidissement à l'eau.
► Consommation d'eau froide : avec débit de gaz max., température de l'eau à 20 °C.
► Niveau de pression acoustique : distance par rapport à la pompe : 1 m.
► Caractéristiques mesurées sans filtre pare-éclats à l’aspiration de la pompe.
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1 · 10
1000
100
mbar
1
1 · 10
bar
1000
1
100
Pa
0,01
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7,5 · 10-3
hPa
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
133,32
1,33
0,133
1
-3
5
-5
-3
1,33 · 10
750
-3
1 Pa = 1 N/m2
Tab. 7:
Tableau de conversion : Unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
mbar l/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m3/s
10
1
592
7,5
sccm
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 8:
15.2
9,87
1,69 · 10
1,69 · 10
1
1,27 · 10
1,67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
-3
-2
Tableau de conversion : Unités de débit du gaz
Caractéristiques techniques
Caractéristiques
ATH 500 M
ATH 500 M
ATH 500 MT
Bride de vide élevé
ISO-F
DN 100
DN 160
DN 160
Bride de vide primaire
ISO-KF
DN 25
DN 25
DN 40
1/8 BSPP (ISO228)
1/8 BSPP (ISO228)
1/4 VCR
Bride de purge 1)
Unités
1) Les produits qui présentent des spécificités client peuvent avoir des caractéristiques différentes.
2) Condition standard de référence : T0 = 273,15 K - P0 = 1013,25 hPa.
3) A vitesse nominale et température eau refroidissement 25 °C.
4) Avec une pression de refoulement < 0,4 hPa, dépend des conditions externes (température, débit d’eau, température
ambiante). Pour d’autres conditions, nous consulter.
5) Débit maximum réduit, pression limite au refoulement sans perte de vitesse du débit. Dépend des conditions environnementales.
6) Avec bride ISO-F (meilleure avec bride CF-F). Nous consulter.
7) Cette température maximum influe sur le flux maximum admissible, nous consulter.
8) Accélération jusqu'à 90 % de la vitesse de rotation nominale, avec pression refoulement < 0,1 hPa.
75/84
Caractéristiques techniques et dimensions
Caractéristiques
Unités
Vitesse de pompage
N2
Taux de compression
Flux maximum 2) 3) 4)
Pression maximum à
l’aspiration 4)
Pression maximum au
refoulement 5)
ATH 500 M
ATH 500 M
ATH 500 MT
l/s
350
550
550
Ar
l/s
320
530
530
He
l/s
310
390
390
H2
l/s
170
190
190
N2
> 2 · 10
7
7
> 2 · 10
> 2 · 107
Ar
> 8 · 106
> 8 · 106
> 8 · 106
He
> 1 · 10
4
4
> 1 · 10
> 1 · 104
H2
> 2 · 102
> 2 · 102
> 2 · 102
N2
hPa l/s
67,6
67,6
8,5
Ar
hPa l/s
42,2
42,2
5
He
hPa l/s
> 169
> 169
> 16,9
H2
hPa l/s
> 169
> 169
> 16,9
N2
hPa
1
1
0,04
Ar
hPa
1
1
0,02
He
hPa
10
10
> 0,1
H2
hPa
10
10
> 0,1
N2
hPa
2,6
2,6
2,6
Ar
hPa
3,3
3,3
3,3
He
hPa
1
1
1
H2
hPa
0,25
0,25
0,25
hPa
< 1 · 10
< 1 · 10
< 1 · 10-8
Vitesse de rotation nominale
min-1 (Hz)
50 000 (833)
50 000 (833)
50 000 (833)
Vitesse de stand-by
min-1 (Hz)
15 000 (250) à
50 000 (833)
15 000 (250) à
50 000 (833)
15 000 (250) à
50 000 (833)
Température max.
d'étuvage
°C
120
120
-
Température de régulation maxi. 7)
°C
-
-
65
Taux de fuites
hPa l/s
< 5 · 10-8
< 5 · 10-8
< 5 · 10-8
Débit de purge recommandé 2)
sccm
50
50
50
Tension d’alimentation
VDC
48
48
48
Temps de démarrage 8)
mn
<2
<2
<2
Puissance au démarrage
Watt
< 560
< 560
< 560
Puissance consommée
à pression limite
Watt
< 100
< 100
< 100
Puissance à vitesse
stand-by minimum
Watt
< 50
< 50
< 50
Niveau de vibration (à
vitesse nominale)
µm
< 0,01
< 0,01
< 0,01
Niveau sonore
dB(A)
< 42
< 42
< 42
Pression limite
6)
-8
-8
1) Les produits qui présentent des spécificités client peuvent avoir des caractéristiques différentes.
2) Condition standard de référence : T0 = 273,15 K - P0 = 1013,25 hPa.
3) A vitesse nominale et température eau refroidissement 25 °C.
4) Avec une pression de refoulement < 0,4 hPa, dépend des conditions externes (température, débit d’eau, température
ambiante). Pour d’autres conditions, nous consulter.
5) Débit maximum réduit, pression limite au refoulement sans perte de vitesse du débit. Dépend des conditions environnementales.
6) Avec bride ISO-F (meilleure avec bride CF-F). Nous consulter.
7) Cette température maximum influe sur le flux maximum admissible, nous consulter.
8) Accélération jusqu'à 90 % de la vitesse de rotation nominale, avec pression refoulement < 0,1 hPa.
76/84
Caractéristiques techniques et dimensions
Caractéristiques
Unités
Débit d'eau de refroidissement
l/mn
Refroidissement (accessoire)
ATH 500 M
ATH 500 M
ATH 500 MT
1
1
1
eau/(air)
eau/(air)
eau
Poids (Version air)
Poids (Version eau)
kg
19
15
19
15
15
Prévidage recommandé
m3/h
15 mini.
15 mini.
15 mini.
1) Les produits qui présentent des spécificités client peuvent avoir des caractéristiques différentes.
2) Condition standard de référence : T0 = 273,15 K - P0 = 1013,25 hPa.
3) A vitesse nominale et température eau refroidissement 25 °C.
4) Avec une pression de refoulement < 0,4 hPa, dépend des conditions externes (température, débit d’eau, température
ambiante). Pour d’autres conditions, nous consulter.
5) Débit maximum réduit, pression limite au refoulement sans perte de vitesse du débit. Dépend des conditions environnementales.
6) Avec bride ISO-F (meilleure avec bride CF-F). Nous consulter.
7) Cette température maximum influe sur le flux maximum admissible, nous consulter.
8) Accélération jusqu'à 90 % de la vitesse de rotation nominale, avec pression refoulement < 0,1 hPa.
Tab. 9:
15.2.1
Caractéristiques techniques
Caractéristiques environnementales
Utilisation
intérieur
Altitude
jusqu’à 2000 m
Indice de protection (avec refroidissement air)
Indice de protection (avec refroidissement eau)
IP 20
IP 40
Température ambiante de fonctionnement avec refroidissement eau
Modèle M : 5 – 45 °C
Modèle MT : 5 – 25 °C
Température ambiante de fonctionnement avec refroidissement air
Modèle M : 5 – 30 °C
Température de stockage
-5 – +50 °C
Humidité relative maximale
80 % max. avec T ≤ 31 C, à 50 % max. avec T ≤ 40 °C
Degré de pollution
niveau 2
Protection contre les surtensions transitoires 1)
Catégorie II
1) Surtensions transitoires jusqu’aux niveaux de la catégorie de surtension II. Surtensions temporaires survenant sur le réseau d’alimentation.
Tab. 10:
15.2.2
Caractéristiques environnementales
Caractéristiques de l'eau de refroidissement
Les caractéristiques ci-dessous concernent uniquement la pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques. Celle-ci est associée à une pompe primaire. Pour le bon fonctionnement de l’application :
► Veiller à respecter les caractéristiques les plus restrictives pour l’installation.
► Veiller à ce que l’eau en provenance de l’équipement ne gèle pas.
77/84
Caractéristiques techniques et dimensions
pH
Chlorure
5,5 à 9
100 à 20 ppm selon le pH
1)
Dureté
< 35 °fH (degré français)
< 7 milli-équivalent/L
< 350 mg/L de CaCO3 (carbonate de calcium)
Résidus à sec
< 100 mg/L
Indice de Langelier LSI = pH - pHs
< 0 à 20 °C
Taille des particules
< 0,2 mm
Chlorure (ppm)
100
50
40
20
Résistivité
Température d’entrée
pH
0
5
6
7
8
9
R > 1 500 Ω·cm
15-35 °C (version M)
15-25 °C (version MT)
2)
10
Pression d’entrée relative
< 6·103 hPa
Différence de pression entrée/sortie
selon débit
Débit
> 60 l/h
1) L’activité oxydante du chlore dépend du pH (agressivité de l’eau). La teneur en chlorures doit être située dans la zone
colorisée du graphique.
2) Selon les conditions d’utilisation, nous contacter.
Tab. 11:
15.2.3
Caractéristiques de l'azote
Concentration H2O
< 10 ppm v
Concentration O2
< 5 ppm v
Poussière
< 1 µm
Huile
< 0,1 ppm v
Pression absolue
1 · 103 à 1,5 · 103 hPa
Tab. 12:
15.2.4
Caractéristiques de l'eau de refroidissement
Caractéristiques de l'azote
Caractéristiques électriques
Caractéristiques du moteur
Tension entre phases
Fréquence d'alimentation
Courant par phase
29 Vrms
1666 Hz
9,5 A
Fusible interne de protection
Fusible soudé sur PCBoard
Time-Lag T, L
Tab. 13:
16 A
Caractéristiques électriques de la pompe
Pouvoir de coupure en court-circuit du disjoncteur
10 kA
Calibre disjoncteur réseau client
6 A (pour tension 200-240 V 50/60 Hz)
Disjoncteur différentiel GFI (ou RCD) type B compatible réseau
électrique type T.T) 1)
30 mA
1) pour un réseau de type T.N ou I.T, appliquer une protection adéquate
Tab. 14:
78/84
Caractéristiques électriques du réseau client
Caractéristiques techniques et dimensions
Tension nominale
48 VDC ± 5 %
Puissance nominale minimum
550 W
Limitation de courant
15 A max.
Surtension transitoire réseau
Catégorie II mini
1)
Pouvoir de coupure
125 A 2)
300 ms
En fonction de la puissance de crête délivrable par l’alimentation 48 V ; ajouter un système de protection supplémentaire sur la ligne d’alimentation de la pompe en 48 VDC.
1) doit accepter les surtensions temporaires survenant sur le réseau d'alimentation.
2) si valeur courant supérieure, ajouter un système de protection.
Tab. 15:
Caractéristiques de l'alimentation externe 48 VDC
Le câble d'alimentation utilisé avec cette alimentation doit être compatible avec les tensions et courants
d'alimentation de la pompe (48 VDC, 12 A).
15.3 Dimensions
Dimensions (mm)
L
N x d2 on
3
E
d1
227
151
10
62 max.
K
H
CG
4 2°
25°
90
Exh.
1
IN
75
.8
90
°
d1
.8
35
55 °
°
152
180
D
CG1
75
3 x M8
J
Fig. 19:
Dimensions ATH 500 M
1 Trous M4 pour connexion pompe à la terre
Centre de gravité
141
IN
40
135
Exh.
93
155
Fig. 20:
Dimensions ATH 500 M refroidie à l'air
79/84
Caractéristiques techniques et dimensions
IN
Exh.
84
162.6
72.5
62 max.
L
CG1
H
J
CG
J’
E
D
182
151
227
42°
25 °
)
,27
( +0
( 0)
d1
1
13
90
2
°
2o
n
135 max.
90
152
Ra1.6
d
Nx
30°
Fig. 21:
Dimensions ATH 500 MT
1 Trous M4 pour connexion pompe à la terre
Bride aspiration
Centre de gravité
E
H
J
K
L
D
d1
d2
N
CG
CG1
DN 160 ISO-F
mm
16
159.3
182.5
182.2
254.9
225
200
11
8
112.6
9.7
DN 160 ISO-K
mm
12
159.3
182.5
182.2
254.9
180
-
-
-
128.6
11.3
DN 160 CF-F
mm
20
180.3
203.5
203.2
275.9
198
181.1
8.6
20
114.1
10.1
DN 100 ISO-K
mm
12
199.3
222.5
222.2
294.5
130
-
-
-
116.1
10.2
DN 100 CF-F
mm
16
209.3
232.5
232.2
304.9
148.5
130.2
8.6
16
109.5
9.8
80/84
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques avec électronique intégrée
ATH 500 M
ATH 500 MT
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, nº 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Les objectifs de la Directive Basse Tension 2014/35/UE sont respectés conformément à
l'annexe I, n°1.5.1 de la Directive Machines 2006/42/CE.
Normes harmonisées et normes nationales appliquées :
EN 1012-2/A1 : 2009
EN 61010-1/A1 : 2019
EN IEC 61000-6-2 : 2019
EN IEC 61000-3-2 : 2019
EN 61000-3-3/A1 : 2019
EN IEC 61000-6-4 : 2019
Le responsable de la constitution du dossier technique est M. Varennes Nicolas, Pfeiffer Vacuum SAS, 98, avenue de Brogny B.P. 2069, 74009 Annecy cedex.
Signature:
Pfeiffer Vacuum SAS
98, avenue de Brogny
74009 Annecy cedex
France
B.P. 2069
(Guillaume Kreziak)
Directeur Général
Annecy le 2023/01/31
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques avec électronique intégrée
ATH 500 M
ATH 500 MT
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées :
EN 1012-2/A1 : 2009
EN 61010-1/A1 : 2019
EN IEC 61000-6-2 : 2019
EN IEC 61000-3-2 : 2019
EN 61000-3-3/A1 : 2019
EN IEC 61000-6-4 : 2019
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum SAS
98, avenue de Brogny
74009 Annecy cedex
France
B.P. 2069
(Guillaume Kreziak)
Directeur Général
Annecy, 2023/01/31
83/84
*114436*
Ed. 10 - Date 2024/11 - P/N:114436OFR
">