Pfeiffer MVP 010-3-1 DC Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
MVP 010-3-1 DC
Pompe à membrane
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe à
membrane vous aidera pour votre application spécifique grâce à ses performances et à
sonbon fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide
performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité,
assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous
avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation
efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois.
Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à
l’adresse [email protected].
Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
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d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
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Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/54
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
7
7
7
7
7
7
7
7
8
8
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations incorrectes envisageables
2.7 Qualification personnelle
2.7.1 Garantir la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
10
10
10
13
13
14
14
14
15
15
15
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.1.1 Aspiration intermédiaire
3.1.2 Actionneur
3.1.3 Système de pompage
3.1.4 Refroidissement
3.2 Connexions
3.3 Identification du produit
3.4 Étendue de la livraison
16
16
16
17
17
17
17
17
17
4
Transport et stockage
4.1 Transport de la pompe à vide
4.2 Stockage de la pompe à vide
18
18
18
5
Installation
5.1 Installation de la pompe à vide
5.2 Raccordement côté vide
5.3 Raccordement du côté d’échappement
5.4 Raccordement électrique
5.4.1 Mise à la terre de la pompe à vide
5.4.2 Raccordement électrique
19
19
19
20
20
21
21
6
Interfaces
6.1 Interface « Remote »
6.1.1 Alimentation de tension
6.1.2 Entrées
6.1.3 Sorties
6.1.4 RS-485
6.2 Interface RS-485
6.3 Interconnexion via raccordement RS-485
6.4 Options de connexion via l’interface RS-485
6.5 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.5.1 Cadre télégramme
6.5.2 Description du télégramme
23
23
24
24
24
25
25
26
27
27
27
28
3/54
Table des matières
6.5.3 Télégramme exemple 1
6.5.4 Télégramme exemple 2
6.5.5 Data types
4/54
28
28
28
7
Ensemble de paramètres
7.1 Généralités
7.2 Instructions de réglage
7.3 Requêtes d’état
7.4 Entrées des valeurs de référence
30
30
30
31
32
8
Utilisation
8.1 Mise en service de la pompe à vide
8.2 Mettre en marche la pompe à vide
8.3 Configuration des connexions avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
8.3.1 Configuration des sorties numériques
8.3.2 Sélection des interfaces
8.4 Modes de fonctionnement
8.4.1 Fonctionnement normal
8.4.2 Mode standby
8.4.3 Fonctionnement de l’actionneur (de vitesse)
8.5 Surveillance des opérations
8.5.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
8.5.2 Surveillance de la température
8.6 Mise hors tension de la pompe à vide
33
33
34
34
34
35
35
35
36
36
36
36
37
37
9
Maintenance
9.1 Consignes de maintenance
9.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien
9.3 Remplacement des membranes et des vannes
9.3.1 Démontage du chapeau de diaphragme et des vannes
9.3.2 Nettoyage et remplacement des diaphragmes et des vannes
9.3.3 Montage du chapeau de diaphragme et des vannes
38
38
39
40
40
41
41
10
Démantèlement
43
11
Recyclage et mise au rebut
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
11.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme
44
44
44
12
Dysfonctionnements
12.1 Généralités
12.2 Codes d’erreur
45
45
46
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
48
14
Kit de pièces de rechange
50
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1 Généralités
15.2 Fiche technique
15.3 Matériaux en contact avec la substance à pomper
15.4 Dimensions
51
51
51
52
52
Déclaration de conformité CE
53
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Autocollants sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Conditions ambiantes autorisées
Description de la connexion de l’unité de commande électronique
Affectation des broches de la prise D-Sub à 15 connecteurs
Sortie DO1/broche 8
Sortie DO2/broche 9
Caractéristiques de l’interface RS-485
Explication et signification des paramètres
Jeu de paramètres | Instructions de réglage
Jeu de paramètres | Requêtes d’état
Jeu de paramètres | Entrées des valeurs indicatives
Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes à membrane livrées
Configurer les paramètres [P:019] et [P:024]
Paramètres [P:060] et [P:061]
Réaction et signification des DEL de l’unité de commande électronique
Durée de vie typique dans le cadre d’une utilisation normale
Intervalles de maintenance
Dépannage sur les pompes à membrane
Messages d'erreur pour la pompe à vide
Messages d'avertissement pour la pompe à vide
Pièces de rechange
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique, MVP 010-3-1 DC
Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé
8
9
14
17
24
24
25
25
30
31
32
32
33
34
35
36
38
40
46
46
47
50
51
51
52
52
5/54
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
6/54
Position des autocollants sur le produit
Design de la pompe à membrane
Membrane à vide
Raccorder le câble de mise à la terre
Raccordement à la pompe turbomoléculaire, à l’unité de courant et au contrôleur
Raccordement à l’appareil de commande avec unité de courant intégrée
Broches de la prise D-Sub, 15 broches
Interconnexion de via l’interface RS-485
Options de connexion via l’interface RS-485
Chapeau de diaphragme et vannes
Pièces de rechange des kits d’inspection
Dimensions MVP 010-3-1 DC
8
16
17
21
22
22
23
26
27
40
50
52
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
1.1.2
Documents applicables
Désignation
Document
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Variantes
Ces consignes s’appliquent aux pompes à membrane de la série DC :
● MVP 010-3-1 DC
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
7/54
A propos de ce manuel
Remarque
Conseil
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification.
Plaque signalétique
Plaque signalétique de la pompe à membrane
Avertissement, surface chaude
Cet autocollant avertit l'opérateur du risque de blessure lié aux
hautes températures en cas de contact sans protection pendant le fonctionnement.
Tab. 1:
Autocollants sur le produit
1
Fig. 2:
Position des autocollants sur le produit
1 Plaque signalétique
1.3.4
8/54
2
2
Signe d'avertissement surface chaude
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
DC
Courant continu
DI
Entrée numérique
DN
Diamètre nominal
DO
Sortie numérique
EPDM
Caoutchouc éthylène-propylène-diène monomère
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz)
FPM
Caoutchouc polymère fluoré
GND
Masse
LED
Diode électroluminescente
A propos de ce manuel
Abréviation
Signification dans ce document
MVP
Pompe à vide à membrane
n.c.
non raccordé
MSL
Niveau moyen de la mer
[P:xxx]
Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous
forme de nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description.
Exemple : [P:312] version logicielle
PA
Polyamide
PE
Terre de protection (conducteur de protection)
sccm
Centimètre cube standard par minute (comme unité d’une quantité définie de débit de
gaz par unité de temps)
WAF
Largeur sur pans
T
Température (en °C), abréviation de propriété de la pompe à vide
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur turbomoléculaire)
TPS
Alimentation de tension (alimentation électrique turbo)
USB
Bus universel en série
Tab. 2:
Abréviations utilisées dans ce document
9/54
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans toute la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie
du produit ont été prises en compte.
Risques lors du transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
10/54
Sécurité
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l'absence de
conduite de refoulement
En fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l'air. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des
lésions ou la mort.
► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques.
► Évacuez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz
sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement.
11/54
Sécurité
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Porter des équipements de protection adaptés.
Risques lors de la maintenance, de la mise hors service et en cas de dysfonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus.
► Portez si nécessaire des équipements de protection individuelle.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
12/54
Sécurité
2.3
Mesures de sécurité
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales
► Empêcher les gaz de procédé et leurs réactions et les sous-produits nocifs pour la santé et l’environnement de s’échapper dans l’atmosphère ou les éliminer conformément aux réglementations
en vigueur.
► Éviter tout contact avec les gaz de procédé présentant un risque pour la santé et porter des équipements de protection personnelle si nécessaire.
► Vérifier la compatibilité entre la substance à pomper et les pièces en contact avec elle.
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Ne remplissez jamais ou ne faites jamais fonctionner l'appareil avec des produits de nettoyage ou
leurs résidus.
► N'effectuez pas vous-même des conversions ou modifications d'unité.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70°C.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes.
► Avant de renvoyer une pompe à vide, consultez les remarques du chapitre Solutions de service.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Emplacement de l’installation
À l’intérieur, avec protection contre l’accumulation de poussière et
les effets liés au climat, dans un environnement non-explosif et sec
Altitude de l’installation
2 000 m max. au-dessus du niveau de la mer 1)
1)
Au-delà de 1 000 m d’altitude, risque de refroidissement insuffisant. Si nécessaire, prendre les mesures stipulées dans la Directive DIN EN 61010.
13/54
Sécurité
Humidité relative de l’air
80 % à T ≤ 31 °C, jusqu’à 50 % à T ≤ 50 °C
Degré de protection IEC 60529
IP 20
Degré de protection UL 50E
NEMA type 1
Degré de pollution
2
Température ambiante
+5 ℃ à +50 ℃
Tab. 3:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
► Utilisation de la pompe à vide dans le détecteur de fuites ASM 306 S uniquement.
► Utilisation externe de la pompe à vide à des fins de révision et de maintenance uniquement.
► Utilisez la pompe à vide uniquement pour la production de vide.
► Respectez les instructions d’installation, de mise en place, de fonctionnement et de maintenance.
► Ne pas utiliser d’accessoires autres que ceux recommandés par Pfeiffer Vacuum.
2.6
Utilisations incorrectes envisageables
Toute utilisation abusive du produit entraîne une annulation de la garantie et des droits de réclamations.
Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme abusive, en particulier :
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
2.7
Pompage de substances corrosives
Pompage de substances explosives
Pompage de substances radioactives ou volatiles
Pompage de gaz introduisant une source d’inflammation dans la chambre d’aspiration
Pompage de gaz contenant des impuretés telles que particules, poussières ou condensats
Pompage de liquides
Pompage de substances désagrégeant le FPM
Pompage de vapeurs de liquides combustibles
Pompage de substances sous pression (> pression atmosphérique)
Pompage de substances susceptibles de se condenser ou de former des dépôts adhérents dans
la chambre d’aspiration
Fonctionnement de la pompe à vide en dehors du champ d’application spécifié
Fonctionnement de la pompe à vide à l’extérieur du détecteur de fuites ASM 306 S, sauf à des
fins de test et de maintenance.
Fonctionnement de la pompe à vide en dessous du niveau du sol
Utilisation de la pompe à vide pour produire une pression
Utilisation dans les circuits où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur la pompe à vide
Utilisation de la pompe à vide dans des champs électromagnétiques forts
Raccordement à des pompes à vide et des matériels non prévus à cette fin d’après leur manuel
de l’utilisateur
Raccordement à des matériels comportant des pièces nues sous tension
Raccordement à des prises sans borne de terre
Utilisation de lubrifiants non spécifiés par Pfeiffer Vacuum
Utilisation des conduites pour lever la pompe à vide
Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
Utilisation de la pompe à vide comme marchepied
Utilisation des conduites de raccordement entre les têtes de membrane comme poignée
Utilisation de la pompe dans des conditions ambiantes en dehors des limites des classes de protection IP spécifiées
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
14/54
Sécurité
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.7.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.7.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.7.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
15/54
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
Les pompes à diaphragme sont des pompes volumétriques de type compression à sec. Le mouvement
des diaphragmes génère un changement périodique du volume de la chambre d’aspiration. La circulation de gaz provoque l’ouverture et la fermeture automatiques des clapets. L’unité de pompage est accouplée directement au moteur d’entraînement.
3
2
4
1
5
13
12
6
11
7
10
Fig. 3:
1
2
3
4
5
6
7
3.1.1
9
8
Design de la pompe à membrane
Prise D-Sub, interface remote
Affichage d’état à LED
Unité de commande électronique
Raccord de tuyau avec vis creuses
Tête diaphragme 2
Raccord de tuyau avec vis creuses
Prise de terre
8
9
10
11
12
13
Ancrage au sol
Tête diaphragme 1
raccord à vide, filetage 1/8"
Raccord d’échappement, filetage 1/8"
Aspiration intermédiaire, filetage 1/8"
Tête diaphragme 4
Aspiration intermédiaire
Quantités de gaz
Les quantités de gaz spécifiées de 30 sccm et 270 sccm se réfèrent à une utilisation dans
le détecteur de fuites ASM 306 S.
16/54
Description du produit
270 sccm
B
2
3
30 sccm
4
C
A
1
Fig. 4:
A
B
C
1
3.1.2
Membrane à vide
raccord à vide (aspiration)
Aspiration intermédiaire
Raccord de refoulement
Tête diaphragme 1
2
3
4
Tête diaphragme 2
Tête diaphragme 3
Tête diaphragme 4
Actionneur
La pompe à membrane forme une unité compacte avec l’unité de commande électronique. L’unité de
commande électronique intégrée permet de commander et de surveiller les fonctions de pompage via
l’interface « remote » en utilisant un appareil de commande Pfeiffer Vacuum.
3.1.3
Système de pompage
La pompe à membrane présente 4 têtes de membrane et 3 étages de pompage.
3.1.4
Refroidissement
La pompe à membrane est refroidie par convexion et ne dispose pas de son propre ventilateur.
3.2
Connexions
Connexion
Description
à distance
Prise D-sub à 15 broches pour le raccordement et la configuration d'une commande
à distance.
Tab. 4:
3.3
Description de la connexion de l’unité de commande électronique
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.tuev-sued.de.
3.4
Étendue de la livraison
●
●
●
●
Pompe à vide avec unité de commande électronique intégrée
Silencieux
Manuel de l’utilisateur
Connecteur plein sur le raccord à vide
17/54
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport de la pompe à vide
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transport en toute sécurité du produit
► Observez le poids spécifié sur l’emballage.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine.
► Le produit doit toujours être placé sur une surface plane aux dimensions adéquates.
Transport de la pompe à vide sans son emballage
1. Déballez la pompe à vide.
2. Pour protéger l’intérieur de la pompe, conservez les bouchons obturateurs sur le raccord à vide
pendant le transport.
3. Soulevez la pompe à vide au niveau des deux faces avant.
4. Sortez la pompe à vide de son emballage de transport.
5. Vérifier qu’aucune contrainte mécanique n’est appliquée sur la tuyauterie.
6. La pompe à vide doit toujours être placée sur une surface plane aux dimensions adéquates.
4.2
Stockage de la pompe à vide
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stockage sécurisé de la pompe à vide
► Boucher le raccord à vide avec l’obturateur.
► Stockez la pompe à vide seulement dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées.
► Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez la pompe à vide et un agent de
séchage dans un sac en plastique hermétique.
18/54
Installation
5 Installation
5.1
Installation de la pompe à vide
Installation dans le détecteur de fuites ASM 306 S
La pompe à membrane est uniquement destinée à une installation dans le détecteur de fuites ASM 306 S. Un fonctionnement externe est uniquement autorisé à des fins de révision
et de maintenance.
Procédure
► Dans le cas d’une installation dans un caisson fermé, veiller à une circulation d’air adéquate autour de la pompe.
► Placer la pompe de telle sorte que la plaque signalétique du moteur reste visible et accessible.
5.2
Raccordement côté vide
AVIS
Dégâts matériels occasionnés par des gaz contaminés
Pomper du gaz contaminé endommage la pompe à vide.
► Utilisez des filtres et des séparateurs adéquats, disponibles dans la gamme d’accessoires de
Pfeiffer Vacuum, pour protéger la pompe à vide.
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses pompes
à membrane.
● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent
en ligne.
● Les accessoires décrits ne sont pas compris dans la livraison.
Prévention des pertes d’étranglement
Pour éviter les pertes de pression, les conduites de raccordement côté vide doivent être
aussi courtes que possible et de grand diamètre nominal.
Séparateur des condensats
Pfeiffer Vacuum recommande l’installation d’un séparateur de condensats au cas où de la
vapeur se formerait pendant l'évacuation.
Procédure
1. Enlever le bouchon obturateur du raccord à vide.
2. Établir le raccordement le plus court possible entre la pompe à vide et l’enceinte à vide.
3. Choisir une conduite de vide de diamètre au moins égal au diamètre nominal du raccord à vide.
4. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à
bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum.
5. Raccorder la pompe à vide au circuit de vide par l’intermédiaire du raccord à vide.
19/54
Installation
5.3
Raccordement du côté d’échappement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l'absence de
conduite de refoulement
En fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l'air. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des
lésions ou la mort.
► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques.
► Évacuez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz
sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement.
ATTENTION
Risque pour la santé lié à l’accroissement des émissions de bruit
Le fonctionnement sans silencieux entraîne des émissions de bruit plus importantes. Évitez de vous
tenir longtemps à côté de la pompe à vide sous peine d’altération de l’ouïe.
► Installez une conduite d’échappement appropriée.
► Port obligatoire d’une protection acoustique adéquate.
Séparateur des condensats
Pfeiffer Vacuum recommande l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement
de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement.
Procédure
1. Vérifier le libre passage du silencieux installé.
2. Choisir une conduite d’échappement de diamètre au moins égal au diamètre nominal de la bride
de raccordement.
3. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à
bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum.
4. Option : En présence de débits de gaz plus élevés, montez une conduite d'échappement.
5. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats.
6. Fixez ou accrochez la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la
pompe à vide.
5.4
Raccordement électrique
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
20/54
Installation
5.4.1
Mise à la terre de la pompe à vide
Fig. 5:
Raccorder le câble de mise à la terre
Procédure
1. Utilisez un câble de mise à la terre approprié pour faire diverger les interférences applicatives.
2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur.
3. Sur la pompe à vide, utilisez la prise de terre désignée sur la plaque de fixation (filetage intérieur
M4).
5.4.2
Raccordement électrique
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
Des unités de courant d’origine (par exemple TPS 110) et des câbles de raccordement sont disponibles
pour l’alimentation électrique de l’unité de commande électronique.
21/54
Installation
5
4
6
1
3
7
2
PE
S1
AC in
DC out
Fig. 6:
Raccordement à la pompe turbomoléculaire, à l’unité de courant et au contrôleur
1 Raccordement « Remote » à l’unité de commande électronique MVP
5
2 Câble de raccordement de l’unité de courant avec interface RS-485
ou
Câble de raccordement de l’unité de courant et de la pompe turbomoléculaire
3 Unité de commande électronique (TC) de la pompe turbomoléculaire
4 Distributeur Y M12 pour interface RS-485
6
1
Unité de courant
4
2
Fig. 7:
7
Câble d’extension M12
Appareil de commande
3
Raccordement à l’appareil de commande avec unité de courant intégrée
1 Raccordement « Remote » à l’unité de commande électronique MVP
2 Câble de raccordement de l’appareil de commande avec interface RS-485
3
Câble d’extension M12
4
Appareil de commande avec unité de courant
Raccordement de l’unité de commande électronique MVP
► Assurez-vous que la tension d’alimentation est correcte.
► Vérifier que l’interrupteur secteur du pack d’alimentation électrique est coupé avant de procéder
au raccordement.
► Utilisez un câble de raccordement adapté de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum.
► Connectez le câble de raccordement à 15 broches dans la connexion « remote » sur l’unité de
commande électronique MVP et sécurisez-le.
► Insérez le câble de raccordement dans la connexion « DC out » sur l’unité de courant et fermez le
blocage à baïonnette.
► Si vous utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum : raccordez le raccord « RS-485 »
à l’appareil de commande en utilisant un câble d’extension qui convient.
22/54
Interfaces
6 Interfaces
Interface « Remote »
AVIS
Risque de dégâts aux circuits électroniques
Le débranchement des connecteurs mâle-femelle du système de bus alors que l’équipement est
sous tension peut provoquer la destruction de composants électroniques.
► Toujours couper l’alimentation électrique avant de retirer la fiche de connexion.
► Après avoir éteint le bloc d’alimentation, attendre la dispersion complète de la charge résiduelle
avant de débrancher le connecteur mâle-femelle.
AVIS
Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes
Les interférences externes générées par des ondes électromagnétiques sont la causes de dysfonctionnements.
► Un câble blindé doit être utilisé pour la comptabilité électromagnétique (CEM).
► Raccordez le blindage au boîtier de raccordement des deux côtés.
Le raccordement D-sub à 15 broches avec la désignation « remote » offre la possibilité de faire fonctionner l’unité de commande électronique via une commande à distance. Les spécifications suivantes
sont les réglages usine de l’unité de commande électronique.
Configuration de l’interface « Remote »
► Utilisez le connecteur et le câble blindés.
► Configurez les entrées et les sorties via l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum.
15
1
→
8
→
6.1
9
Fig. 8:
Broches de la prise D-Sub, 15 broches
Goupille
Fonction
Description et réglage d’usine
1
Entrée +24 VCC
Tension d’alimentation de l’entraînement et de l’interface
2
Demande d’accès
d’entrée numérique
V+ : Commande par entrées numériques --> GND/ouverte :
Commande débloquée
3
DI1
V+ : Mode de réglage de la vitesse de rotation --> GND/ouverte :
pas de mode de réglage de la vitesse de rotation
4
DI2
Ne concerne que les pompes à vide avec électrovanne ; dans ce
cas, les points suivants s’appliquent :
V+ : Vanne libérée, --> GND/ouverte : Vanne fermée
5
Entrée numérique du
groupe de pompage
V+ : Pompe à vide en marche --> GND/ouverte : Pompe à vide à
l’arrêt
6
Entrée numérique
mode veille
V+ : Mode veille--> GND/ouverte : Pas de mode veille
7
V+
Sortie 24 V
8
DO1
GND : Erreur. V+ : Pas d’erreur
9
DO2
GND : Pompe à vide à l’arrêt. V+ : Pompe à vide en marche
10
n.c.
11
n.c.
12
n.c.
13
RS-485
D+
23/54
Interfaces
6.1.1
Goupille
Fonction
Description et réglage d’usine
14
RS-485
D-
15
Masse (GND)
Raccordement à la terre de la tension d’alimentation ; terre de
référence pour toutes les entrées et sorties numériques
Tab. 5:
Affectation des broches de la prise D-Sub à 15 connecteurs
Alimentation de tension
Entrée/broche 1
La connexion électrique est assurée par un câble de raccordement de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum, ou par le client, au niveau des broches 1 et 15.
Sortie +24 V DC* / broche 7
Une connexion avec +24 V DC à la broche 7 (actif haut) active les entrées 2 à 6. Alternativement, elles
peuvent être activées par un PLC externe. « Niveau haut PLC » active et « Niveau bas PLC » désactive
les fonctions.
●
●
●
●
6.1.2
Niveau haut PLC : +13 V à +33 V
Niveau Bas PLC : -33 V à +7 V
Ri : 7 kΩ
Imax < 200 mA (avec RS-485, si disponible)
Entrées
Les entrées numériques commutent diverses fonctions de l’unité de commande électronique. Les entrées sont affectées avec des fonctions en départ d’usine. Vous pouvez les configurer via l’interface
RS-485 et l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum.
Entrée DI priorité à distance/broche 2
V+ :
Le raccordement « remote » a la priorité de commande sur toutes les autres sources de commande.
ouvert :Priorité à distance « inactive »
Entrée DI1 mode de réglage de la vitesse de rotation/broche 3
V+ :
ouvert :
Mode de réglage de la vitesse de rotation « actif »
Mode de réglage de la vitesse de rotation « inactif »
Entrée DI groupe de pompage/broche 5
V+ :
Pompe à vide en marche
Commande de tous les composants raccordés et acquittement d’anomalie.
ouvert :
Pompe à vide à l’arrêt
Entrée DI stand-by/broche 6
6.1.3
V+ :
Stand-by activé
La vitesse de standby est réglable entre 30 et 100 % de la vitesse nominale.
GND/open :
Standby désactivé
Sorties
Les sorties numériques présentent une limite de charge maximale de 24 V/50 mA par sortie.
V+ :
Pas d’erreur
Lorsque la tension est appliquée, la sortie numérique DO1 est en permanence au potentiel V
+, qui signifie l’absence d’erreur « no error ».
GND
Erreur
« Active low » signifie la présence d’une erreur (message d’erreur courant).
Tab. 6:
24/54
Sortie DO1/broche 8
Interfaces
V+ :
Pompe à vide en marche
« Actif haut » signifie « Pompe à vide en marche » et en rotation à la vitesse de rotation réglée.
Exemple : utilisez ce signal pour le message pompe à vide « prête à fonctionner »
GND
Pompe à vide à l’arrêt
Tab. 7:
6.1.4
Sortie DO2/broche 9
RS-485
Raccordement du RS-485 via D-Sub
► Raccordez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC externe via la broche 13 et la
broche 14 sur le raccord Sub D de l’unité de commande électronique.
6.2
Interface RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
L’interface avec la désignation « RS-485 » est destinée au raccordement d’un appareil de commande
Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la
tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique.
Désignation
Valeur
Interface série
RS-485
Vitesse de transmission en baud
9 600 Baud
Longueur de mot
8 bit
Parité
aucune (pas de parité)
Bits de départ
1
Bits d’arrêt
1
Tab. 8:
Caractéristiques de l’interface RS-485
Raccordement des appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC
► Utilisez le câble de raccordement fourni à la livraison avec l’appareil de commande ou disponible
en option dans le programme des accessoires Pfeiffer Vacuum.
► Raccordez un appareil de commande à l’interface RS-485.
► Raccordez un PC via le transformateur USB/RS-485.
Mise en réseau en tant que bus RS-485
L’adresse de groupe de l’unité de commande électronique est 961.
1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485.
2. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse d’appareil RS-485
différente [P:797].
3. Raccordez au bus tous les appareils avec RS-485 D+ et RS-485 D-.
25/54
Interfaces
6.3
Interconnexion via raccordement RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
1
2
3
4
PC
MVP
MVP
MVP
Fig. 9:
Interconnexion de via l’interface RS-485
1 Convertisseur USB RS-485
2 Câble d’extension M12 à M12
26/54
3
4
Connecteur en Y pour RS-485
Câble de raccordement avec RS-485
Interfaces
6.4
Options de connexion via l’interface RS-485
USB/RS 485 converter
M12
OmniControl
TP S
RS 485
M12
M12
RS485
H iP a c e
DC in
MVP
OmniControl
M12
RS 485
RS485
M12
H iP a c e
DC out
DC in
MVP
Fig. 10:
Options de connexion via l’interface RS-485
Raccordement des appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC
► Utilisez le câble de raccordement fourni à la livraison avec l’appareil de commande ou disponible
en option dans le programme des accessoires Pfeiffer Vacuum.
► Raccordez un appareil de commande à l’interface RS-485.
► Raccordez un PC via le transformateur USB/RS-485.
6.5
Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.5.1
Cadre télégramme
Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des caractères ASCII [32;
127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un hôte
(par ex. un
PC) envoie un télégramme, auquel un appareil
(par ex. unité de commande électronique ou jauge)
va répondre.
a2
a1
a0
*
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
…
d0
c2
c1
c0
CR
a2 – a0
Adresse d’appareil
● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"]
● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse)
● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse)
*
Action selon la description du télégramme
n2 – n0
Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum
I1 – I0
Longueur de données dn à d0
dn – d0
Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Data types », page 28).
c2 – c0
Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256
CR
Retour à la ligne (ASCII 13)
27/54
Interfaces
6.5.2
Description du télégramme
Interrogation des données
-->
?
a2
n2
n1
a1
a0
0
0
Instruction de réglage
a2
a1
a0
1
-->
!
n2
n1
0
n0
0
2
=
l1
l0
dn
…
n0
Réponse des données / instruction de réglage comprise
a2
a1
a0
1
0
Message d’erreur
a2
a1
a0
1
0
n2
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
6.5.3
?
c2
c1
c0
cR
d0
c2
c1
c0
cR
c2
c1
c0
cR
c1
c0
cR
-->
n2
n1
n0
l1
l0
dn
…
d0
0
6
N
O
_
D
E
F
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
-->
n1
n0
c2
Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus
Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée
Erreur d'accès logique
Télégramme exemple 1
Demande de données
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
?
ASCII
1
2
3
0
0
3
0
9
0
2
=
?
1
1
2
cR
49
50
51
48
48
51
48
57
48
50
61
63
49
49
50
13
Réponse des données : 633 Hz
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
1
2
3
1
0
3
0
9
0
6
0
0
0
6
3
3
0
3
7
cR
ASCII
49
50
51
49
48
51
48
57
48
54
48
48
48
54
51
51
48
51
55
13
6.5.4
Télégramme exemple 2
Commande de contrôle
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
-->
!
ASCII
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
Commande de contrôle comprise
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
-->
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
6.5.5
Data types
28/54
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
0
boolean_old
Valeur logique (faux / vrai)
06
000000 est équivalent à faux
111111 est équivalent à vrai
1
u_integer
Nombre entier positif
06
000000 à 999999
Interfaces
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
2
u_real
Nombre à virgule fixe (non signé)
06
001571 correspond à 15.71
4
string
Chaîne de 6 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
06
TC_110, TM_700
6
boolean_new
Valeur logique (faux / vrai)
01
0 est équivalent à faux
1 est équivalent à vrai
7
u_short_int
Nombre entier positif
03
000 à 999
10
u_expo_new
Nombre exponentiel positif. Les
deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de
20.
06
100023 est équivalent à
1,0 · 103
100000 est équivalent à
1,0 · 10-20
11
string16
Chaîne de 16 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
16
BrezelBier&Wurst
12
string8
Chaîne de 8 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
08
Exemple
29/54
Ensemble de paramètres
7 Ensemble de paramètres
7.1
Généralités
Des réglages et des caractéristiques propres aux fonctions importantes sont programmés en usine
sous forme de paramètres dans l’unité d’entraînement électronique. Chaque paramètre a un nombre à
trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. L’unité de commande
électronique est préprogrammée en usine. La pompe à vide est ainsi utilisable directement et en toute
sécurité sans configuration supplémentaire.
Les paramètres suivants peuvent être configurés pour les procédés spécifiques :
● [P:026] : mode de réglage de la vitesse de rotation actif/inactif.
● [P:707] : spécification du mode de réglage de la vitesse de rotation entre 30 et 170 % du régime
nominal.
● [P:002] : mode standby actif/inactif.
#
Nombre à trois chiffres du paramètre
Indicateur
Affichage de la description des paramètres
Description
Brève description des paramètres
Fonctions
Description de la fonction des paramètres
Type de donnée
Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
Type d’accès
R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture
Unité
Unité physique de la variable décrite
min./max.
Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur
par défaut
Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe)
Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l’unité de commande électronique
Tab. 9:
Explication et signification des paramètres
7.2
Instructions de réglage
#
Indicateur
Désignations
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
002
Stand-by
Stand-by
0 = arrêt
1 = marche
0
009
ErrorAckn
Acquittement
d’anomalie
010
PumpgStatn
Pompe
019
Cfg DO2
024
Cfg DO1
30/54
Unité
min.
max.
par
défaut
RW
0
1
0
0
W
1
1
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
Configuration sortie DO2
1 = Pas d’erreur
2 = Erreur
5 = Régime nominal atteint
6 = Pompe en marche
9=«0»
10 = « 1 »
11 = Priorité commande
à distance active
7
RW
0
21
5
Configuration sortie DO1
Réglages, voir [P:019]
7
RW
0
21
1
Ensemble de paramètres
#
Indicateur
Désignations
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
026
SpdSetMode
Mode de réglage
de la vitesse de rotation
0 = arrêt
1 = marche
7
030
Mode valve
Configuration du
gaz de balayage
(si présent)
0 = auto
1 = fermé
2 = ouvert
050
PurgeGas
Gaz de balayage
(si présent)
060
CtrlViaInt
061
IntSelLckd
min.
max.
par
défaut
RW
0
1
0
7
RW
0
2
0
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
1
Utiliser via l’interface
1 = à distance
2 = RS-485
4 = PV.can
255 = sélection de l’interface
7
RW
1
255
1
Sélection de l’interface verrouillée
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
min.
max.
0
9999,99
0
999999
Tab. 10:
Unité
Jeu de paramètres | Instructions de réglage
7.3
Requêtes d’état
#
Indicateur
Désignations
303
Code d’erreur
309
ActualSpd
310
DrvCurrent
Courant d’alimentation
311
OpHrsPump
312
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
Code d’erreur
4
R
Vitesse de rotation réelle
(Hz)
1
R
Hz
2
R
A
Heures de fonctionnement
de la pompe
1
R
h
Fw version
Version logicielle de la
platine d’interface
4
R
313
DrvVoltage
Tension d’alimentation
2
R
V
314
OpHrsElec
Heures de service électronique d’entraînement
1
R
h
315
Nominal Spd
Vitesse de rotation nominale (Hz)
1
R
Hz
316
DrvPower
Puissance d’entraînement
1
R
W
330
TempPump
Température pompe
1
R
°C
349
ElecName
Désignation du nom de
l’appareil
4
R
354
HW Version
Version matérielle de la
platine d’interface
4
R
Courant
d’alimentation en x.xx
A
Tension
sous forme
x.xx V
Puissance
en W en
tant que
produit de
la tension
[P:313] et
du courant
[P:310]
Unité
par
défaut
31/54
Ensemble de paramètres
#
Indicateur
Désignations
398
ActualSpd
399
NominalSpd
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
Vitesse de rotation réelle
(tr/min)
1
R
tr/min
Vitesse de rotation nominale (tr/min)
1
R
tr/min
Tab. 11:
Fonctions
min.
max.
par
défaut
Jeu de paramètres | Requêtes d’état
7.4
Entrées des valeurs de référence
#
Indicateur
Désignations
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
min.
max.
par
défaut
707
SpdSVal
Régler la valeur en mode de réglage de la vitesse de rotation
Consigne de vitesse de rotation en
pourcentage du
régime nominal
2
RW
%
30
170
75
717
StdbySVal
Valeur fixée de la vitesse de rotation en mode
stand-by
Consigne de vitesse de rotation en
pourcentage du
régime nominal
2
RW
%
30
100
66,7
721
SlgVlvTime
Spécification du gaz de
balayage active
1
RW
s
5
255
60
797
RS485Adr
Adresse interface
RS-485
1
RW
1
255
2
Tab. 12:
32/54
Jeu de paramètres | Entrées des valeurs indicatives
Utilisation
8 Utilisation
8.1
Mise en service de la pompe à vide
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Porter des équipements de protection adaptés.
AVIS
Dégâts à la pompe à vide provoqués par une surpression
La permutation des raccordements peut causer une surpression. La pression différentielle entre entrée et sortie doit être de 1 bar max. pour pouvoir démarrer la pompe à vide, sans quoi le moteur
s’arrête et subit des dégâts.
► Vérifier que le distributeur est installé correctement sur les têtes de la membrane avant de raccorder la pompe à vide et l’appareil à vide.
► Avant la mise en service, vérifier impérativement que la pression côté échappement est inférieure à la limite admissible.
Les réglages et variables fonctionnelles essentielles sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par ces paramètres sont
assurés par les modules d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, ou en externe via l’interface
RS-485 avec le protocole Pfeiffer Vacuum.
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage ou valeur
[P:707]
SpdSVal
Spécification de fonctionnement en mode de contrôle
de vitesse
100 %
Tab. 13:
Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes à membrane livrées
Procédure
1. Comparer les spécifications de fréquence sur la plaque signalétique à la tension d’alimentation
disponible.
2. Vérifiez que le raccord d'échappement n'est pas obturé (pression max. admissible : 1100 hPa absolus).
3. Actionnez les appareils de fermeture pour qu’ils s’ouvrent avant ou pendant le démarrage de la
pompe à vide.
33/54
Utilisation
8.2
Mettre en marche la pompe à vide
Lors du pompage de gaz secs, aucune précaution particulière n’est nécessaire.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Porter des équipements de protection adaptés.
Durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide
En fonction de la température ambiante, la durée nécessaire pour atteindre la température
de fonctionnement de la pompe à vide est d’au moins 30 minutes.
Condition préalable
● les raccordements par câble nécessaires doivent être établis
Activation de la pompe à vide
1. Au besoin, activer la pompe à vide dans chaque domaine de pression en utilisant l’une des 3 méthodes possibles :
– Par l’interrupteur du bloc d’alimentation, avec les liaisons de broches correctes en place sur
la prise D-Sub à 15 broches
– via un appareil de commande, par exemple OmniControl ou PC
– en utilisant l’appareil de commande API sur la prise D-Sub à 15 broches
2. Laissez la pompe à vide monter en température avant de démarrer le procédé, raccord à vide fermé.
La pompe à vide atteint les valeurs spécifiques de débit et de pression finale dès que la température de
fonctionnement a été atteinte.
8.3 Configuration des connexions avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et
prête à l’emploi. Pour des exigences individuelles, la plupart des connexions de l’unité de commande
électronique peut être configurée avec le jeu de paramètres.
8.3.1
Configuration des sorties numériques
Option
Description
1 = pas d’erreur
État actif, fonctionnement normal
2 = erreur
État actif si le message d’erreur est actif
5 = vitesse de rotation réglée
atteinte
État actif une fois la consigne de vitesse de rotation atteinte
6 = pompe en marche
État actif si la pompe et le moteur sont en marche et en l’absence
d’erreur
9 = toujours 0
GND pour la commande d’un appareil externe
10 = toujours 1
V+ pour la commande d’un appareil externe
11 = à distance
État actif si la priorité à distance est active
Tab. 14:
Configurer les paramètres [P:019] et [P:024]
Procédure
► Effectuer la configuration conformément au tableau.
34/54
Utilisation
8.3.2
Sélection des interfaces
Option [P:060]
Description
1 = à distance
Fonctionnement via connexion « à distance »
2 = RS-485
Fonctionnement via la connexion « RS-485 »
4 = PV.can
À des fins de maintenance uniquement
32 = touches sur le panneau avant
Fonctionnement manuel
Option [P:061]
0 = arrêt
La sélection de l’interface peut être définie avec [P:060].
1 = marche
Sélection de l’interface verrouillée
Tab. 15:
Paramètres [P:060] et [P:061]
Procédure
► Sélectionner l'interface conformément au tableau.
8.4
Modes de fonctionnement
● Utilisation sans appareil de commande
● Fonctionnement via un appareil de commande externe
● Fonctionnement via RS-485 et appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou PC
Grâce à la connexion d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum, la pompe à vide peut être contrôlée
par l’intermédiaire des paramètres fixés dans l’unité de commande électronique.
Démarrage automatique
Après liaison des contacts des broches 2, 7, 5 sur la fiche de connexion ou à l’aide d’un
câble de raccordement comportant ces liaisons, la pompe à vide démarre immédiatement
quand la tension d’alimentation est appliquée. Pfeiffer Vacuum recommande d’activer l’alimentation de tension immédiatement avant le fonctionnement.
Fonctionnement de la pompe à vide sans contrôleur
1. Raccordez le câble de raccordement correspondant avec des ponts sur ka connexion « Remote »
de l’unité de commande électronique.
2. Branchez l’alimentation en courant sur l’unité de courant.
3. Activez l’alimentation en courant sur l’unité de courant.
Après application de la tension de service, la pompe à vide effectue un auto-test pour vérifier la tension
d’alimentation. En l’absence d’erreur au test automatique, la pompe à vide démarre.
Fonctionnement de la pompe à vide avec le contrôleur externe
1. Raccordez une commande à distance via la prise Sub D « Remote » à 15 broches.
2. Contrôlez la pompe à vide à l’aide du niveau API « PLC level ».
Fonctionnement de la pompe à vide avec appareil de commande
1. Observez le mode d’emploi de l’appareil de commande.
2. Raccordez l’appareil de commande correspondant sur le raccordement « Remote ».
3. Activez l’alimentation en courant sur l’unité de courant ou l’appareil de commande.
4. Effectuez les réglages souhaités via RS-485 et en utilisant l’appareil de commande.
8.4.1
Fonctionnement normal
La pompe à vide démarre à la vitesse maximale pendant 5 minutes max. La valeur de l’intensité est
suivie en parallèle. Si le courant baisse en-deçà d’un certain seuil, la vitesse est abaissée au régime
nominal. Si la puissance d’entrée augmente de nouveau, la vitesse n’augmente pas automatiquement.
La vitesse augmente de nouveau après l’arrêt/démarrage de la pompe à vide.
Réglage des paramètres associés
1. Régler le paramètre [P:002] sur « 0 ».
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ».
3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:309] ou [P:398]).
35/54
Utilisation
8.4.2
Mode standby
Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe à vide lors des pauses de processus ou
de production.
● Le réglage d’usine est 66,7 % de la vitesse nominale.
● Le mode standby est prioritaire sur le mode de réglage de la vitesse de rotation.
● Lorsque le mode standby est actif, l’unité de commande électronique réduit la vitesse de la pompe à vide dans une proportion de 30 à 100 % de la vitesse nominale.
Activer la vitesse de rotation en mode standby
1. Régler le paramètre [P:717] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ».
3. Régler le paramètre [P:002] sur « 1 ».
4. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:309] ou [P:398]).
8.4.3
Fonctionnement de l’actionneur (de vitesse)
Plage de vitesses de rotation admissibles de la pompe à vide
Le paramétrage dans le mode de réglage de la vitesse de rotation dépend de la plage de
vitesses de rotation admissibles de la pompe à vide concernée. L’unité de commande électronique régule automatiquement la vitesse à la valeur valide la plus proche.
La consigne de vitesse de rotation est modifiable avec le paramètre [P:707], dans l’intervalle 30 à
170 % du régime nominal. Si la vitesse est supérieure au régime nominal (> 100 %), l’usure de la pompe risque d’être plus rapide.
Le mode de réglage de la vitesse de rotation est prioritaire sur le mode standby.
Réglage du mode de réglage de la vitesse de rotation
1. Réglez le paramètre [P:707] à la valeur requise en %.
2. Réglez le paramètre [P:026] sur « 1 ».
3. Recherchez la vitesse nominale via le paramètre [P:309] ou [P:398].
8.5
Surveillance des opérations
8.5.1
Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
Le témoin LED sur l’unité de commande électronique indique l’état de fonctionnement général. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil
de commande Pfeiffer Vacuum.
Indicateur
Tab. 16:
36/54
Activité
Signification
Aucune
● Alimentation électrique inadaptée
10 % d’activité, 1 Hz
● Pas d’erreur
● Pompe à vide à l’arrêt
● Pompe à vide immobile
50 % d’activité, 1 Hz
● Pas d’erreur
● Pompe à vide à l’arrêt
● Pompe à vide toujours en rotation
90 % d’activité, 1 Hz
● Pas d’erreur
● Pompe à vide en marche
● Consigne de vitesse de rotation non atteinte
100 % d’activité
● Pas d’erreur
● Pompe à vide en marche
● Régime nominal atteint
50 % d’activité, 10 Hz
● Erreur
Réaction et signification des DEL de l’unité de commande électronique
Utilisation
8.5.2
Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d’amener les pompes à vide dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température pour les
messages d’alerte et d’anomalie sont mémorisés systématiquement dans l’unité d’entraînement électronique. À titre d’information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de paramètres.
● Avec une température de pompe T > 75 °C, l’unité de commande électronique réduit le moteur à
la vitesse de rotation nominale afin d’éviter tout surchauffe de la pompe à vide.
─ « Alerte » est affiché.
─ Après refroidissement (< 72 °C), la pompe à vide se remet à tourner à la vitesse de consigne.
● Si la valeur seuil d’erreur de température supérieure à la normale, T > 85 °C est dépassée, la
pompe à vide s’arrête immédiatement.
─ Un « message d’anomalie » est affiché.
Accusé de réception d’une erreur
1. Éliminez la cause de l’anomalie.
2. Désactiver et réactiver la pompe à vide.
Accusé de réception d’une erreur alternativement via l’appareil de commande
► Réglez le paramètre [P:010] sur la valeur « 0/1 ».
► Remettez à zéro le message d’erreur avec le paramètre [P:009] ou l’appareil de commande.
► Désactivez la pompe à vide et réactivez-la via l’appareil de commande.
8.6
Mise hors tension de la pompe à vide
Procédure
1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que
tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide.
2. Au besoin, désactivez la pompe à vide dans chaque domaine de pression.
3. Débrancher le bloc d’alimentation.
37/54
Maintenance
9 Maintenance
9.1
Consignes de maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
ATTENTION
Risque de blessures dues aux pièces mobiles
Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation.
► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur.
► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage les pièces de la pompe.
► Utilisez uniquement des agents nettoyants autorisés pour nettoyer les pièces de la pompe.
► Utilisez uniquement un chiffon sec propre pour nettoyer les membranes et les vannes.
► Ne pas utiliser d’alcool ou d’autres produits de nettoyage pour nettoyer les membranes et les
vannes.
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte
Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité.
► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance.
► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique.
Les tâches relatives au nettoyage et à l’entretien de la pompe à vide sont résumées ci-dessous.
Les clapets et les membranes sont des pièces d’usure.
Composant
Heures de fonctionnement
Membranes
17 500
Vannes
17 500
Tab. 17:
Durée de vie typique dans le cadre d’une utilisation normale
Conditions préalables
● Pompe à vide mise hors service
● Pompe à vide mise à l’air à la pression atmosphérique
● Pompe à vide refroidie
38/54
Maintenance
Équipement nécessaire
● Chiffon (propre, non pelucheux)
● Eau ou solution à base de savon doux
Maintenance de la pompe à vide
1. Débranchez l’alimentation électrique de la pompe.
2. Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
3. Éliminez toute contamination externe sur la pompe à vide avec un chiffon légèrement humidifié
avec de l’eau ou une solution à base de savon doux.
4. Laissez bien sécher les pièces après le nettoyage.
5. Concernant le travail de maintenance, démontez uniquement ce qui est nécessaire sur la pompe
à vide.
6. Avec un chiffon sec, nettoyez la chambre d’aspiration, les diaphragmes et les vannes.
7. Contrôlez les fissures sur les membranes et les vannes au plus tard lorsque les valeurs de pression atteintes baissent.
9.2
Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien
Périodicité de maintenance et durées utiles
La périodicité de maintenance et les durées utiles dépendent du processus. Les valeurs indicatives recommandées sont réduites en cas de contamination ou de charges chimiques
et thermiques.
● Déterminer les durées utiles pendant le premier intervalle de fonctionnement.
● Consultez Pfeiffer Vacuum Service si vous souhaitez réduire la périodicité de maintenance.
Maintenance par Pfeiffer Vacuum Service
Nous recommandons que Pfeiffer Vacuum Service prenne en charge les opérations de
maintenance. Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de maintenance
est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de responsabilité ne sera acceptée de
la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de
rechange d’origine.
Action
Inspection
Maintenance
Intervalle
comme nécessaire ;
au moins
tous les six
mois
comme nécessaire ;
au moins tous
les 2 ans
Contrôler le silencieux à la recherche d’une contamination
éventuelle 2)
■
Tester la pompe à vide de façon optique et acoustique
■
Équipement nécessaire
Lire et analyser les données de la pompe 3)
■
Nettoyer la pompe à vide
■
Remplacer les diaphragmes et les vannes
■
Kit de révision
Remplacer le silencieux 4)
■
Silencieux
Réalisation du test de fonctionnement
■
Exécution de l’inspection à venir
■
Nettoyer complètement la pompe à vide
■
2)
si présent
3)
Pompes DC uniquement
4)
si présent
39/54
Maintenance
Action
Inspection
Maintenance
Intervalle
comme nécessaire ;
au moins
tous les six
mois
comme nécessaire ;
au moins tous
les 2 ans
Équipement nécessaire
Changer le filtre de lest d’air 5)
■
Filtre
Remplacer les pièces d’usure
■
Diaphragmes, vannes,
soupapes, joints annulaires, silencieux
Tab. 18:
9.3
Intervalles de maintenance
Remplacement des membranes et des vannes
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une installation incorrecte
Si les disques d’écartement d’origine sont mal installés, le volume mort peut varier, ce qui affecte le
vide final ou endommager les paliers.
► Lors du démontage, les disques d’écartement doivent être séparés selon le lieu de mise en place.
► Réinstallez le même nombre de disques d’écartement d’origine par tête de membrane.
9.3.1
Démontage du chapeau de diaphragme et des vannes
Outils requis
● Clé à fourche, WAF 14
● Tournevis Torx, T 10
1
2
3
4
5
8
6
9
7
Fig. 11:
1
2
3
4
5
5)
40/54
Chapeau de diaphragme et vannes
Vis Torx (4×)
Couvercle de chapeau de diaphragme
Joint annulaire côté aspiration
Plaque de vanne (2x)
Plaque d’écartement
si présent
6
7
8
9
Diaphragme
Disques d’écartement
Vis creuses
Raccord de tuyau
Maintenance
Procédure
1. Retirer les vis creuses et démonter le raccords de tuyau.
2. Tourner la pompe à membrane de manière à ce que la tête de membrane à démonter soit dirigée
vers le haut.
3. Dévisser les vis à tête cylindrique de la tête de membrane.
4. Retirer la tête de membrane.
– Observer le joint annulaire côté aspiration.
5. Retirer la plaque d'écartement.
6. Libérer les vannes et le joint annulaire de la plaque d'écartement.
7. Soulever légèrement la membrane sur le côté.
8. Dévisser et retirer à la main la membrane de la bielle.
– La membrane possède un filetage à droite.
– Faire attention aux disques d’écartement.
9.3.2
Nettoyage et remplacement des diaphragmes et des vannes
Condition préalable
● Le diaphragme et les vannes sont enlevés
Pièces de rechange requises
● Kit de remise en état
Produits consommables requis
● Chiffon sec propre
● Isopropanol
Procédure
1. Nettoyez les diaphragmes et les vannes avec un chiffon sec et propre.
– N’utilisez pas d’isopropanol ou un autre détergent pour nettoyer les diaphragmes et les vannes.
2. Nettoyez les sièges de vanne, la plaque intermédiaire et le couvercle de chapeau avec l’isopropanol.
3. Vérifiez les sièges de vanne, la plaque intermédiaire et le couvercle de chapeau à la recherche de
signes d'usure.
4. Remplacez toutes les pièces d’usure conformément aux ensembles de contrôle.
9.3.3
Montage du chapeau de diaphragme et des vannes
Disques d’écartement
Les disques d’écartement sont disponibles en 3 tailles :
● 8,0 × 4,0 × 0,1 mm
● 8,0 × 4,0 × 1,0 mm
● 8,0 × 4,2 × 0,3 mm
Le nombre et la taille des disques d’écartement varie entre les chapeaux de diaphragmes.
Installez le même nombre de disques d’écartement avec la même taille sur chaque chapeau de diaphragme.
Outils requis
● Clé à fourche, WAF 14
● Tournevis Torx, T 10
Procédure
1. Tournez la pompe à membrane de manière à ce que le chapeau de diaphragme à monter soit
dirigé vers le haut.
2. Vissez à la main le diaphragme sur la bielle.
– Le diaphragme possède un filetage à droite.
– Faites attention aux disques d’écartement.
3. Installer les vannes et le joint annulaire dans la plaque d’écartement.
4. Positionnez la plaque d’écartement.
5. Montez le couvercle de chapeau de diaphragme.
– Observez le joint annulaire côté aspiration.
41/54
Maintenance
6. Vissez les vis sur le couvercle de chapeau de diaphragme.
– Couple de serrage : 0,8 Nm +/- 0,1 Nm
7. Montez le raccord de tuyau à l’aide des vis creuses.
42/54
Démantèlement
10
Démantèlement
Avant d’arrêter la pompe à vide, respectez les instructions suivantes pour protéger de manière adéquate l’intérieur de la pompe à vide (chambre d’aspiration) contre la corrosion :
Procédure pour les arrêts temporaires de la pompe à vide
1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que
tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide.
2. Si une substance susceptible de détériorer des matériaux ou de former des dépôts a pénétré
dans la pompe à vide, nettoyer l’intérieur des têtes de pompe.
Procédure pour les arrêts prolongés de la pompe à vide
1. Débrancher la pompe à vide du circuit de vide.
2. Si nécessaire, retirez la pompe à vide du circuit de vide.
3. Bouchez le raccord à vide avec les bouchons d’obturation d’origine.
4. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées.
5. Si la pompe à vide doit être stockée dans un local à l’atmosphère humide ou corrosive, emballezla dans un sac en plastique, avec un produit dessiccateur.
43/54
Recyclage et mise au rebut
11
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
11.2
Mise au rebut des pompes à diaphragme
Les pompes à diaphragme Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
1. Déconnectez l’unité de commande électronique.
2. Démantelez le moteur.
3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
44/54
Dysfonctionnements
12
Dysfonctionnements
12.1
Généralités
ATTENTION
Risque de blessures dues aux pièces mobiles
Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation.
► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur.
► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus.
► Portez si nécessaire des équipements de protection individuelle.
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte
Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité.
► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance.
► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique.
Tout dysfonctionnement de la pompe à vide et de l’unité d’entraînement électronique entraîne systématiquement un message d’avertissement ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est émis, ce
dernier peut être lu via les interfaces de l’unité d’entraînement électronique. En cas d'erreur, la pompe à
vide s'arrête.
En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici :
Problème
Causes possibles
Remède
La pompe à vide ne démarre pas
● Absence d’alimentation
électrique ou tension non
conforme aux spécifications du moteur
● Contrôler la tension d’alimentation.
● Température trop basse
de la pompe
● Réchauffer la pompe à vide à une
température > 5 °C.
● Le dispositif de protection thermique du moteur
s’est déclenché
● Déterminer et éliminer la cause du
problème et laisser la pompe à vide
refroidir si nécessaire.
● Membranes ou clapets
sales
● Nettoyez la pompe à vide.
● Surpression dans la conduite d’échappement
● Vérifier la conduite d’échappement et
la nettoyer si nécessaire.
● Le dispositif de protection thermique du moteur
s’est déclenché
● Déterminer et éliminer la cause du
problème et laisser la pompe à vide
refroidir si nécessaire.
● Pression de refoulement
trop élevée
● Vérifiez que la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté refoulement ne sont
pas bouchés.
La pompe à vide s’arrête peu de temps après
son démarrage
45/54
Dysfonctionnements
Problème
Causes possibles
Remède
La pompe à vide n’atteint pas la pression limite spécifiée
● Condensats dans la
pompe à vide
● Faire tourner la pompe à vide à la
pression atmosphérique pendant une
période plus longue.
● Clapets ou membranes
sales
● Nettoyer les clapets et membranes
ou les remplacer si nécessaire.
● Fuite dans le système
● Localisez et éliminez la fuite.
● La conduite d’aspiration
n’est pas convenablement dimensionnée
● Vérifiez que les raccordements sont
aussi courts que possible et que les
sections droites des conduites sont
correctement dimensionnées.
● Pression de refoulement
trop élevée
● Vérifiez que la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté refoulement ne sont
pas bouchés.
● Clapets ou membranes
défectueux
● Nettoyer les clapets et membranes
ou les remplacer si nécessaire.
● Chambre d’aspiration sale
● Nettoyez la chambre d’aspiration.
● Silencieux mal fixé ou
absent
● Vérifier le silencieux et le remplacer
si nécessaire.
● Clapets sales ou défectueux
● Nettoyer les clapets et membranes
ou les remplacer si nécessaire.
● Bielle ou roulement du
moteur défectueux
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Débit de pompage de la
pompe à vide trop faible
Bruits de fonctionnement inhabituels
Tab. 19:
12.2
Dépannage sur les pompes à membrane
Codes d’erreur
Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours la mise hors circuit de la pompe à vide.
Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la mise hors circuit de la pompe à vide.
Traitement des messages d’anomalie
1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
2. Éliminez la cause de l’anomalie.
3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009].
– Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande
Pfeiffer Vacuum.
Code d’erreur
Problème
Causes possibles
Remède
Err042
Logiciel incompatible
Erreurs de somme de contrôle
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Err091
Équipement inconnu
-
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Err098
Erreur interne de communication entre la
carte interface et l'entraînement
–
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Err117
Température excessive de la pompe à vide
(> 85 °C)
Refroidissement
insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Contrôlez les conditions de fonctionnement
Err173
Dépassement de la capacité de la pompe
-
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Err174
Pompe à vide bloquée
–
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Tab. 20:
46/54
Messages d'erreur pour la pompe à vide
Dysfonctionnements
Code d’erreur
Problème
Causes possibles
Remède
Wrn117
Température élevée de la
pompe à vide (> 75 °C)
● Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Contrôlez les conditions de fonctionnement
Tab. 21:
Messages d'avertissement pour la pompe à vide
47/54
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
48/54
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
49/54
Kit de pièces de rechange
14
Kit de pièces de rechange
Commande de lots de pièces de rechange
► Si nécessaire, conservez à portée de main la référence de pièce de la pompe à vide ainsi que
tous les détails nécessaires de la plaque signalétique.
► Installez uniquement des pièces détachées d’origine.
► Pour commander le kit de révision, observez la référence de pièce correspondant de la pompe à
membrane.
1
2
3
Fig. 12:
Pièces de rechange des kits d’inspection
1 Plaque de vanne
2 Joint annulaire côté aspiration
Membrane
Pièces de rechange
Numéro de commande
Description
Kit de remise en état
PU E22 030 -T
Plaques de vanne, joints annulaires, membranes
Silencieux
P 0920 567 E
-
Tab. 22:
50/54
3
Pièces de rechange
Caractéristiques techniques et dimensions
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1
Généralités
Fondement des données techniques des pompes à membrane Pfeiffer Vacuum :
● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5
● ISO 21360:2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Description générale »
Les normes harmonisées suivantes sont respectées :
● CEI 61010-1
● UL 61010-1
● CSA 61010-1
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
0,75
mbar
1
1 · 10
100
1
0,1
bar
1,000
1
1 · 105
1,000
100
Pa
0,01
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
hPa
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
133,32
1,33
0,133
1
-3
-5
-3
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
Tab. 23:
750
-3
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
mbar l/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m3/s
10
1
592
7,5
sccm
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 24:
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,27 · 10
1.67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
-3
-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
15.2 Fiche technique
Désignation du type
MVP 010-3-1
Numéro de commande
127383
Bride de raccordement (entrée)
G 1/8"
Bride de raccordement (sortie)
Filetage 1/8 po. avec silencieux (ensemble
séparé)
Bride de raccordement (aspiration intermédiaire "H1")
G 1/8"
Vitesse de pompage
0,6 m³/h
Pression limite
1 hPa
Pression d'entrée
1100 hPa
Pression d'échappement, max.
1100 hPa
Taux de fuite intégral
5 · 10-4 Pa m³/s
Nombre d’étages de pompage
À trois étages
Vitesse de rotation
540 – 3 000 rpm
Vitesse de rotation nominale
1800 rpm
Type de moteur
Moteur à courant continu
Tensions d’entrée
24 V CC (±10 %)
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
51/54
Caractéristiques techniques et dimensions
Désignation du type
MVP 010-3-1
Consommation de courant nominale
1,3 A
Courant, max.
2,5 A
Courant de court-circuit de la source, max.
45 A
Interfaces I/O
RS-485
Altitude de fonctionnement, max.
2000 m
Type de protection
IP20
Type de refroidissement
Convection naturelle
Température ambiante
5 – 50 °C
Température : stockage
5 – 50 °C
Niveau de la pression acoustique
52 dB(A)
Poids
2 kg
Tab. 25:
15.3
Fiche technique, MVP 010-3-1 DC
Matériaux en contact avec la substance à pomper
Pièces de la pompe
Matériaux en contact avec la substance à
pomper
Membrane
Recouvrement EPDM/PTFE
Clapets
FPM
Couvercle de chapeau
Aluminium
Raccord de tuyau
PVC
Raccord à vis coudé
Nickelé CuZn
Raccord à vis droit sur le tuyau flexible d'aspiration
Nickelé CuZn
Échappement, silencieux
PA
Tab. 26:
Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé
15.4 Dimensions
Dimensions en mm
177
105
35
37
37
114
99
Interstage port
G 1/8
Outlet G 1/8
45
Fig. 13:
52/54
Dimensions MVP 010-3-1 DC
Inlet G 1/8
75
45
Déclaration de conformité CE
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe à membrane
MVP 010-3-1 DC
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
EN ISO 12100:2010
EN IEC 55014-2:2021
EN 1012-2:1996+A1:2009
EN IEC 61000-3-2:2019
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019; EN 61000-3-3:2013 + A1:2019 +
Correction 2
A2:2021 + A2:2021/AC:2022
EN IEC 55014-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant habilité à constituer la documentation technique est le Dr. Adrian Wirth,
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Allemagne.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Aßlar, 2019-09-25
*PU0085*
ed. B - Date 2404 - P/N:PU0085BFR
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