MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original IV 16 M Soupape de sécurité côté vide Cher Client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvel accessoire Pfeiffer Vacuum vous donnera entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. En capitalisant sur notre expertise, nous avons développé une multitude de compétences qui contribuent à la sécurité et à l’efficacité de mise en œuvre de nos produits. Nous sommes convaincus que notre produit sera à la hauteur de vos attentes : une solution efficace et fonctionnelle pour votre application, sans perturber votre activité. Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Pour toute question ou suggestion, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse [email protected]. Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/26 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.2 Documents applicables 1.3 Variantes 1.4 Public visé 1.5 Conventions 1.5.1 Instructions dans le texte 1.5.2 Autocollants sur le produit 1.5.3 Abréviations 1.6 Justificatif de marque du produit 6 6 6 6 6 6 6 7 7 7 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Mesures de sécurité 2.3 Limites d’utilisation du produit 2.4 Utilisation conforme 2.5 Utilisations non conformes prévisibles 2.6 Qualification personnelle 8 8 8 9 9 9 9 3 Description du produit 3.1 Description fonctionnelle 3.2 Identification du produit 3.3 Étendue de la livraison 11 11 11 11 4 Installation 4.1 Montage de la soupape de sécurité côté vide dans la conduite de vide primaire 4.2 Montage de la vanne en tant que soupape de sécurité côté vide 4.3 Raccordement électrique à la pompe turbomoléculaire 4.4 Raccordement électrique à HiScroll 4.5 Raccordement électrique au raccord de vanne 13 13 Fonctionnement 5.1 Fonctionnement de la soupape de sécurité côté vide sur la pompe turbomoléculaire 5.2 Fonctionnement de la soupape de sécurité côté vide sur HiScroll 19 19 6 Accessoires 21 7 Caractéristiques techniques et dimensions 7.1 Généralités 7.2 Fiche technique 7.3 Substances en contact avec le fluide 7.4 Dimensions 22 22 22 22 23 Déclaration de conformité CE 24 Déclaration de Conformité UK 25 5 14 15 16 17 20 3/26 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Documents applicables Variantes Autocollants sur le produit Abréviations utilisées dans ce document Conditions de fonctionnement et ambiantes admissibles Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire Tab. 7: Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe Scroll Tab. 8: Accessoires en option Tab. 9: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 10: Fiche technique de la soupape de sécurité côté vide Tab. 11: Matériaux entrant en contact avec le fluide de procédé 4/26 6 6 7 7 9 19 19 21 22 22 22 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Position de l’autocollant sur le produit Structure de la soupape de sécurité côté vide Exemple : Montage de la soupape de sécurité côté vide avec les vis de fixation Exemple : Montage de la soupape de sécurité côté vide avec l’anneau de serrage Montage de la vanne sur la pompe à vide en tant que soupape de sécurité côté vide Raccordement électrique à HiPace 80 Neo Raccordement électrique à HiScroll Prise de câble de raccordement Diagramme illustrant la commande de la vanne Dimensions IV 16 M 7 11 13 14 15 16 17 18 20 23 5/26 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.2 Documents applicables Désignation Document Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.3 Variantes Référence Raccordement Caractéristique Pression différentielle PD Z10 050 Pièce de réduction DN 25 / DN 16 sans réduction de tension enclenchement sûr à partir de ∆p < 50 mbar PM Z01 382 DN 16 ISO-KF / 3/8" avec réduction de tension enclenchement sûr à partir de ∆p < 50 mbar PM Z01 383 DN 16 ISO-KF / 3/8" avec réduction de tension enclenchement sûr à la pression atmosphérique Tab. 2: 1.4 Variantes Public visé Ce manuel de l’utilisateur est destiné aux personnes qui ● installent, ● utilisent. Les actions présentées dans ce document s’adressent uniquement aux personnes ayant suivi une formation technique convenable (niveau expert) ou une formation équivalente de Pfeiffer Vacuum. 1.5 Conventions 1.5.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. 6/26 A propos de ce manuel Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.5.2 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. D-35614 Asslar Plaque signalétique de bobine de vanne (exemple) La plaque signalétique se trouve sur la bobine de vanne Plaque signalétique du corps de vanne La plaque signalétique du corps de vanne se trouve sur le côté Berliner Str. 43 Mod. IV 16 M P/N PM Z01 382 S/N xxxxxxxxx DN 16 ISO-KF / G 3/8” 24 V 14 W - 100%ED Mass 0.47 kg Made in Germany 22xx/xx Tab. 3: Autocollants sur le produit 1 3 2 Fig. 1: Position de l’autocollant sur le produit 1 Plaque signalétique de la bobine de vanne 2 Plaque signalétique du corps de vanne 1.5.3 Flèche de direction de flux gravée au laser Abréviations Abréviation Signification dans ce document DC Courant continu DuC Cycle de travail IV Vanne d’isolement [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous forme de nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description. Exemple : [P:312] version logicielle WAF Largeur sur pans USB Bus universel en série Tab. 4: 1.6 3 Abréviations utilisées dans ce document Justificatif de marque du produit ● Hirschmann® est une marque de produit Hirschmann GmbH. 7/26 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). 8/26 Sécurité ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité. 2.3 Limites d’utilisation du produit Paramètre Tension d’alimentation 24 V/CC ±10 % Température ambiante admissible avec une puissance de commutation de 11 W max. +35 °C Température ambiante admissible avec une puissance de commutation de 14 W max. +40 °C Température ambiante admissible avec une puissance de commutation de 44 W max. +33 °C Domaine de pression autorisé 0 – 1000 hPa (absolu) Degré de protection IP54 Humidité relative de l’air ≤ 85 %, sans condensation Tab. 5: Conditions de fonctionnement et ambiantes admissibles Remarques concernant les conditions ambiantes Les températures ambiantes admissibles spécifiées dépendent de la puissance de commutation dans chaque cas. En cas de températures ambiantes supérieures, la soupape de sécurité côté vide (PM Z01 383) chauffe à une température > 60 °C dans la zone de l’écrou moleté. ● Dans ce cas, installez une protection contre tout contact. 2.4 Utilisation conforme ► Utilisez une soupape de sécurité côté vide au niveau du raccord de vide primaire comme protection contre toute mise à l'air inopinée d’une pompe turbomoléculaire après la mise hors tension de la pompe primaire. ► Utilisez une soupape de sécurité côté vide comme protection contre toute mise à l'air inopinée après la mise hors tension de la pompe à vide. 2.5 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Utilisation de fluides corrosifs pour les matériaux entrant en contact avec les fluides ● Raccordement sur des pompes à vide et des unités non conçues dans ce but selon leur manuel de l’utilisateur ● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non répertoriés dans ces instructions ● Utilisation d’une tension d'alimentation différente de celle indiquée sur la fiche technique ● Raccordement sur des unités avec des pièces nues sous tension 2.6 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 9/26 Sécurité 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 10/26 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Description fonctionnelle La soupape de sécurité côté vide est une électrovanne 2/2 voies à action directe. En l'absence de courant, elle est fermée. ● Avec les pompes à vide qui évacuent directement dans l'atmosphère, la soupape de sécurité côté vide bloque la conduite d'alimentation de la chambre à vide et protège contre les remontées de pression imprévues. ● Avec les pompes turbomoléculaires, la soupape de sécurité côté vide de la conduite à vide primaire protège le vide de procédé et la pompe turbomoléculaire contre toute mise à l'air et tout retour de fluide inopinés après la mise hors tension de la pompe primaire ou en cas de panne de courant. 3 2 1 7 6 5 Fig. 2: 1 2 3 4 3.2 4 Structure de la soupape de sécurité côté vide Vis moletée Flèche de direction de flux Bobine de vanne Côté sortie, G 3/8"/DN 16 5 6 7 Côté entrée, G 3/8"/DN 16 Trou de fixation, M6 Raccordement électrique Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320. 3.3 Étendue de la livraison Le volume de livraison inclut les pièces suivantes : PM Z01 382 : ● Corps de vanne ● Bobine de vanne ● Manuel de l’utilisateur PM Z01 383 : ● Corps de vanne ● Bobine de vanne ● Manuel de l’utilisateur 11/26 Description du produit PD Z10 050 : ● ● ● ● 12/26 Corps de vanne avec bobine de vanne Pack de fixation avec composants d’installation 1 x câble préconfiguré avec AccessLink et prise de câble Manuel de l’utilisateur Installation 4 Installation 4.1 Montage de la soupape de sécurité côté vide dans la conduite de vide primaire AVIS Perte d’étanchéité due à une installation incorrecte des raccordements de gaz Une propreté inadéquate lors de la manutention des raccords tubulaires va entraîner des fuites et des dommages potentiels sur le procédé. ► Portez toujours des gants qui conviennent avant de toucher ou d’installer des composants. ► Installez tous les joints à sec et sans graisse. ► Contrôlez les surfaces endommagées et les surfaces d’étanchéité. ► Remplacez tous les composants endommagés. Conditions préalables ● Pompe turbomoléculaire mise hors circuit et à l'air Outils nécessaires ● Clé hexagonale, WAF 5 ● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6) Accessoires requis ● Anneau de centrage avec joint torique ● 2 vis à tête cylindrique 2 1 3 4 6 Fig. 3: 5 Exemple : Montage de la soupape de sécurité côté vide avec les vis de fixation 1 Anneau de centrage avec joint torique 2 Bobine de vanne 3 Vis moletée avec rondelle 4 5 6 Vis à tête cylindrique Corps de vanne Raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire Montage du corps de vanne 1. Tenez compte de la direction du flux lors du choix de l’orientation de montage. 2. Desserrez la vis moletée de la bobine de vanne et tournez-la à la position de raccordement voulue. 3. Resserrez la vis moletée. 13/26 Installation 4. Montez le corps de vanne avec l’anneau de centrage et les vis à six pans creux sur le raccord de vide primaire. 5. Serrez les deux vis à six pans creux de manière uniforme. – Couple de serrage : 2,0 Nm 1 2 4 3 5 6 12 7 11 Fig. 4: 1 2 3 4 5 6 10 9 8 Exemple : Montage de la soupape de sécurité côté vide avec l’anneau de serrage Anneau de centrage avec joint torique Composant à petite bride ISO-KF Bobine de vanne Vis moletée Piston de vanne Presse en C 7 8 9 10 11 12 Composant à petite bride DN 16 Anneau de centrage Corps de vanne Presse en C Anneau de serrage Raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire Montage du corps de vanne 1. Tenez compte de la direction du flux lors du choix de l’orientation de montage. 2. Montez le corps de vanne avec l'anneau de centrage, les composants à petite bride et l’anneau de serrage sur le raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire. 3. Placez la bobine de vanne sur le piston de vanne et tournez-la à la position de raccordement voulue. 4. Resserrez la vis moletée. 5. Montez les composants à petite bride correspondant au type d’installation, sur le côté raccordement de la pompe primaire. 4.2 Montage de la vanne en tant que soupape de sécurité côté vide AVIS Perte d’étanchéité due à une installation incorrecte des raccordements de gaz Une propreté inadéquate lors de la manutention des raccords tubulaires va entraîner des fuites et des dommages potentiels sur le procédé. ► Portez toujours des gants qui conviennent avant de toucher ou d’installer des composants. ► Installez tous les joints à sec et sans graisse. ► Contrôlez les surfaces endommagées et les surfaces d’étanchéité. ► Remplacez tous les composants endommagés. Conditions préalables ● Pompe à vide mise hors circuit et à l’air 14/26 Installation Outils nécessaires ● Clé hexagonale, WAF 5 ● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6) Accessoires requis ● Anneau de serrage 2 3 4 1 5 6 7 Fig. 5: 1 2 3 4 Montage de la vanne sur la pompe à vide en tant que soupape de sécurité côté vide Pompe à vide, par ex. HiScroll Presse en C Anneau de centrage Pièce de réduction DN 25/16 5 6 7 Anneau de serrage Bobine de vanne Raccord de vide de la pompe primaire Procédure 1. Veillez à ce que la position d’installation de la vanne soit correcte. 2. Montez la pièce de réduction avec l'anneau de centrage et la presse en C sur le corps de vanne des deux côtés. 3. Montez le corps de vanne avec la pièce de réduction et l’anneau de serrage au dos du raccord de vide de la pompe primaire. – Faites attention à l’anneau de centrage. 4.3 Raccordement électrique à la pompe turbomoléculaire AVIS Dommages matériels dus aux dispositifs électroniques d’autres constructeurs Les raccordements des accessoires sur la pompe à vide ne sont pas conformes aux exigences standards USB. L’affectation des raccordements n’est pas conforme aux standards. En fonction de leur configuration, la tension d’alimentation 24 V DC peut endommager ou détruire les dispositifs électroniques d’autres constructeurs, par exemple un ordinateur-tablette. ► Ne raccordez pas de dispositifs électroniques d’autres constructeurs sur les raccordements des accessoires. ► Utilisez seulement les connecteurs pour les accessoires spécifiques à la pompe. Outils nécessaires ● Tournevis cruciforme ● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm) Équipement nécessaire ● Câble préconfiguré avec AccessLink 15/26 Installation 1 2 3 4 6 Fig. 6: 5 Raccordement électrique à HiPace 80 Neo 1 Pompe turbomoléculaire 2 Bobine de vanne 3 Prise de câble 4 5 6 Corps de vanne Raccord d’accessoire « C1 » Raccord d’accessoire « D1 » Raccordement du câble 1. Faites attention au profilé d'étanchéité. 2. Placez la prise de câble sur le raccord de vanne. 3. Vissez la prise de câble de raccordement sur la bobine de vanne. – Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm 4. Posez le câble et fixez-le avec les clips, si nécessaire. 5. Branchez le câble de raccordement sur un raccord d’accessoire libre « C » ou « D » de l’unité de commande électronique. – Le logiciel de l’unité de commande électronique détecte automatiquement les accessoires raccordés. 4.4 Raccordement électrique à HiScroll Outils nécessaires ● Tournevis cruciforme ● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm) Équipement nécessaire ● Câble préconfiguré avec AccessLink et prise de câble Hirschmann 16/26 Installation 1 6 2 3 4 5 Fig. 7: Raccordement électrique à HiScroll 1 Vanne magnétique 2 Capot de ventilateur 3 Clip de câble 4 5 6 Raccord d’accessoire « C » pour capteur de pression (option) Raccord d’accessoire « D » pour soupape de sécurité côté vide Prise de câble Raccordement du câble 1. Contrôlez le raccordement de capteur de pression (option). – Utilisez toujours le raccord d’accessoire « C » pour le capteur de pression, si présent. 2. Vissez la prise de câble de raccordement sur la bobine de vanne. – Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm 3. Enfichez les 2 clips de câble sur le bord du capot de ventilateur. 4. Posez le câble et fixez-le avec les clips. 5. Branchez le câble de raccordement sur le raccord d’accessoire « C » ou « D » libre sur l’unité de commande électronique de la pompe à vide. – Le logiciel de l’unité de commande électronique détecte automatiquement les accessoires qui sont raccordés aux raccords d'accessoires. 4.5 Raccordement électrique au raccord de vanne Outils nécessaires ● Tournevis cruciforme Équipement nécessaire ● Câble préconfiguré avec AccessLink ● Prise de câble 17/26 Installation 1 2 3 5 Fig. 8: 4 Prise de câble de raccordement 1 Bobine de vanne 2 Alimentation en tension 0 V CC 3 Prise de câble 4 5 Terre (blindage) Alimentation en tension +24 V CC Raccordement du câble 1. Raccordez les fils du câble de raccordement aux bornes du bobinage de câble. 2. Sinon, utilisez une prise de câble adéquate pour l’insertion. 3. Utilisez un câble blindé. 18/26 Fonctionnement 5 Fonctionnement Les réglages et variables fonctionnelles importants sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. La commande et la régulation par paramètres sont assurées par les appareils de commande du vide Pfeiffer ou en externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. Para­ mètre Nom Désignation Réglage [P:068] CfgAccC1 Raccordement des accessoires C1 6 = vanne fermée 7 = vanne ouverte 18 = commutation de la vanne pilotée par la pression du vide primaire en association avec la jauge ● - ouvert à < 10 mbar ● - s’ouvre automatiquement après 10 secondes (sans jauge) [P:069] CfgAccD1 Raccordement des accessoires D1 conformément à [P:068] Tab. 6: Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe turbo­ moléculaire Paramètre Nom Désignation Réglage [P:068] CfgAccC1 Raccordement des accessoires C1 16 = soupape de sécurité côté vide, type IV 16 M [P:069] CfgAccD1 Raccordement des accessoires D1 conformément à [P:068] Tab. 7: Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe Scroll 5.1 Fonctionnement de la soupape de sécurité côté vide sur la pompe turbomoléculaire AVIS Endommagement de la pompe turbomoléculaire en raison d'une remontée de pression inad­ missible Une remontée de pression inadmissible soumet le rotor et le palier magnétique de la pompe turbomoléculaire à une contrainte élevée. Lorsque la vanne à vide primaire est ouverte, il y a un risque de dommage mécanique pouvant entraîner une défaillance de la pompe turbomoléculaire. ► Ne purgez qu’à l'aide du raccord de vide primaire. ► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire. Comportement à la mise sous tension pour la version avec réduction de tension Pour diminuer la consommation d’énergie de la soupape, la commande diminue la tension après la mise sous tension. Si une pression différentielle élevée se développe, la soupape reste fermée pour prévenir toute entrée d'air accidentelle. ● Contrôlez la pression différentielle. ● Répétez l’opération de mise sous tension avec une pression différentielle plus faible. 19/26 Fonctionnement 5.2 Fonctionnement de la soupape de sécurité côté vide sur HiScroll RS-485 [P010] pump on/off RS-485 [P740] actual pressure value control system vacuum safety valve IV 16 M 0 [off] normally closed p 1 [on] opens ≤ 3 mbar p [invalid] open closed 10 Sec. pump start Fig. 9: Diagramme illustrant la commande de la vanne En fonction du capteur de pression (option), deux séquences de fonctionnement de la soupape de sécurité côté vide sont possibles lorsque la pompe Scroll est utilisée : Séquence avec capteur de pression ● La soupape s’ouvre dès que la pression atteint ≤ 3 mbar. ● Si la pompe à vide s’arrête ou en cas de panne de courant, la soupape se ferme immédiatement. Séquence sans capteur de pression ● La soupape s’ouvre automatiquement 10 secondes après le démarrage de la pompe. ● Si la pompe à vide s’arrête ou en cas de panne de courant, la soupape se ferme immédiatement. 20/26 Accessoires 6 Accessoires Description Référence de commande Pièces de réduction droites, acier inoxydable 1.4301/304, DN 25-16 ISO- KF 120RRG025-016-40 Presse en C, DN 16 ISO-KF, complète PM 203 500 -T Anneau de serrage ISO-KF pour joint élastomère 110BSR016 Anneau de centrage, aluminium EN AW-6061, DN 16 ISO-KF 111ZRG016 Câble de raccordement HiScroll, prise de câble AccessLink PE 100 271 -X Câble de raccordement HiPace Neo, prise de câble AccessLink PE 100 347 -X Prise de câble avec diode, sans câble P 0105 681 Tab. 8: Accessoires en option 21/26 Caractéristiques techniques et dimensions 7 Caractéristiques techniques et dimensions 7.1 Généralités mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s mbar l/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m3/s 10 1 592 7,5 sccm Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 9: 7.2 1 1,27 · 10 1.67 · 10-2 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz Désignation du type IV 16 M IV 16 M IV 16 M Numéro de commande PD Z10 050 PM Z01 382 PM Z01 383 Version La vanne est normalement fermée La vanne est normalement fermée La vanne est normalement fermée Bride de raccordement (entrée) DN 25 ISO-KF G 3/8", DN 16 ISOKF G 3/8", DN 16 ISO-KF Bride de raccordement (sortie) DN 25 ISO-KF G 3/8", DN 16 ISOKF G 3/8", DN 16 ISO-KF Tension de commande 24 V DC 24 V DC 24 V DC Tension : Gamme ±10 % ±10 % ±10 % Puissance absorbée 11 W 14 W (90 ms) 1,2 W 44 W (90 ms), 3,8 W Taux de fuite intégral 1 · 10 Pa m³/s 1 · 10 Pa m³/s 1 · 10-8 Pa m³/s Raccordement électrique Industrie B (micro) Raccord de vanne DIN 43650 A Raccord de vanne DIN 43650 A Température ambiante 5 – 40 °C 5 – 40 °C 5 – 33 °C Poids 470 g 470 g 470 g -7 -8 Fiche technique de la soupape de sécurité côté vide Substances en contact avec le fluide Pièces de la pompe Substances en contact avec le fluide Ressort de compression 1,4310 Tube 1,4301 Induit, cœur 1,4105 Vis à tête plate, anneau-support, bride 1,4305 Corps de vanne Support de joint EN AW-6026, alternative AlSi1MgMn Feuille PTFE Douille POM Tab. 11: 22/26 1.69 · 10 -3 Fiche technique Tab. 10: 7.3 9,87 1.69 · 10 -2 Matériaux entrant en contact avec le fluide de procédé Caractéristiques techniques et dimensions Dimensions 52 16 M6 - 9/11 tief 30 50 41 34 32 Fig. 10: 38 43 17.5 28.5 23° M6 - 12/14 tief Flow Inlet G 3/8” 2 5° 45 6.5 45 25° 91 38 7.4 M6 - 12/14 tief Dimensions IV 16 M Dimensions en mm 23/26 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Soupape de sécurité côté vide IV 16 M Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen­ nes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN 61000-3-2 : 2019 DIN EN 61000-3-3 : 2020 DIN EN 61326-1 : 2018 DIN VDE 0580 : 2011 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-04-14 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Soupape de sécurité côté vide IV 16 M Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dange­ reuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications appliquées: EN IEC 61000-3-2: 2019 EN IEC 61000-3-3: 2013 EN IEC 61326-1: 2021 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-04-14 Notizen / Notes: *PT0741* A - Date 2305 - P/N:PT0741BFR ">
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