Pfeiffer HiPace 400 M Mode d'emploi

Traduction du manuel de l‘utilisateur
PT 0419 BFR/A (1208)
HiPace 400 M
Pompe turbomoléculaire
Manuel de l‘utilisateur
FR
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce mode d’emploi . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1 Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
2
Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.1 Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.2 Equipement de protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.3 Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.4 Non conformité d’utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
3
Transport et stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.1 Transport. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.2 Stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
4
Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4.1 Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4.2 Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.3 Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11
5
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.1 Mise en place . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.2 Travaux préparatoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.3 Montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.4 Raccordements à la pompe turbo. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
6
Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.1 Mise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.2 Modes d’exploitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
6.3 Description fonctionelle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
6.4 Surveillance de l’état de fonctionnement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.5 Arrêt et remise à l’air. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
7
Entretien / Remplacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
7.1 Intervalles de maintenance et compétences. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
7.2 Remplacer la commande électronique d’entraînement . . . . . . . . . . . . . . 29
8
Mise hors service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
8.1 Immobilisation prolongée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
8.2 Remise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
8.3 Mise au rebut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
9
Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
9.1 Dépannage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
10
Service après-vente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
11
Pièces de rechange HiPace 400 M . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
12
Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
13
Caractéristiques techniques et des dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
13.1 Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
13.2 Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
13.3 Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
2
A propos de ce mode d’emploi
1
A propos de ce mode d’emploi
1.1 Validité
Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le
fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les
informations fournies dans ce mode d'emploi correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas
apporté de modifications au produit.
Les manuels de l’utilisateur actuels sont également disponibles sur Internet sur
www.pfeiffer-vacuum.com.
Documents
applicables
HiPace 400 M
Mode d’emploi
Mode d’emploi "Commande électronique d’entraînement TM 700"
Déclaration de conformité
*également disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com
PT 0329 BN*
fournies avec cette manuel
1.2 Conventions
Consignes de sécurité
Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat
d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL,
CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les
niveaux de danger et informations suivants :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves.
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves.
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères.
AVIS
Injonction ou indication
Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect
peut conduire à la détérioration du produit.
3
A propos de ce mode d’emploi
Définitions des
pictogrammes
Interdiction de procéder à une action pour des raisons de sécurité. Le
non-respect de cette interdiction peut conduire à de graves accidents
Avertissement contre le danger représenté par le symbole
Interdiction de procéder à une action pour des raisons de sécurité. Le
non-respect de cette interdiction peut conduire à de graves accidents
Informations importantes concernant le produit ou le présent document
Instruction dans le
texte
 Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit.
Abréviations utilisées
DCU :
Appareil d'affichage et de commande
HPU :
Appareil d'affichage et de commande
TM :
Contrôleur électronique d'entraînement et de paliers magnétiques de la
pompe turbo
TPS :
Bloc d'alimentation
Symboles utilisés
Les symboles suivants sont utilisés de façon récurrente dans toutes les illustrations :
Bride de vide élevé
Bride de vide primaire
Raccordement électrique
Raccordement d'eau de refroidissement
Raccordement de remise à l'air
Raccord de gaz de balayage
4
Sécurité
2
Sécurité
2.1 Consignes de sécurité
Obligation d'informer
Toute personne chargée de l'installation, du fonctionnement ou de l'entretien de la pompe à vide doit avoir lu les consignes de sécurité de ce mode d'emploi et doit les respecter.
 Il incombe à l'exploitant de mettre en garde l'ensemble des opérateurs contre les
dangers liés à la pompe à vide, aux substances pompées ou à l'installation dans sa
totalité.
Installation et utilisation des accessoires
Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires
adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des appareils raccordés sont décrites en détails dans les manuels de l’utilisateur accompagnant les différents composants.
 Informations sur les numéros de référence des composants individuels : voir le chapitre "Accessoires"
 Uniquement utiliser des accessoires originales.
AVIS
Vérification du système de sécurité contre les survitesses
Afin d'assurer le fonctionnement du système de sécurité intégré contre les survitesses,
la pompe doit être totalement redémarrée au moins une fois par an.
 Désactivez la pompe et attendez l'arrêt complet (vitesse de rotation = 0 Hz).
 Mettez la pompe en marche conformément au mode d'emploi.
AVERTISSEMENT
Risque par d’installation électrique dangereuse
Le fonctionnement sûr après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant.
 Ne procédez à aucune transformation ou modification de l'appareil de votre propre
initiative.
 Assurez une intégration sûre dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité.
 Consultez Pfeiffer Vacuum si vous avez des exigences spéciales.
AVERTISSEMENT
Danger en cas d'absence de dispositif de sectionnement au sens de la norme
SEMI-S2
La pompe et la commande électronique d'entraînement ne sont pas équipées d'un dispositif de sectionnement. L'installation d'un dispositif de sectionnement selon SEMI-S2
est à la charge de l'exploitant.
 Prévoir un disjoncteur ayant un pouvoir de coupure d'au moins 10,000 A.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution
En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension.
 Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour
pouvoir défaire le branchement à tout moment.
● N'exposez aucune partie du corps au vide.
● Respectez toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des accidents.
● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées.
5
Sécurité
● Alimentation électrique : L'alimentation électrique de la pompe turbo doit répondre
aux exigences d'isolation double entre la tension d'entrée du secteur et la tension de
fonctionnement selon CEI 61010 et CEI 60950. Pfeiffer Vacuum recommande à cet
effet d'utiliser des unités de courant et accessoires d'origine. Dans ce cas uniquement, Pfeiffer Vacuum peut garantir le respect des exigences émises par les directives européennes et nord-américaines.
● Un raccord avec le conducteur de protection (PE) est recommandé (classe de
protection III).
● Pendant le service, ne défaites pas les jonctions par connecteurs.
● Avant d'effectuer tous travaux sur la bride de vide poussé, attendez que le rotor se
soit immobilisé.
● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces
chaudes (> 70°C).
● Ne remplissez et ne faites jamais marcher la pompe turbo avec des détergents.
● N'utilisez jamais la pompe turbo avec la bride de vide élevé ouverte.
● Ne pas procéder de sa propre initiative à une transformation ou à une modification de
la pompe.
● En cas d'envoi de la pompe turbo, respectez les consignes d'expédition.
2.2 Equipement de protection
Dans certaines situations, la manipulation de pompes à vide nécessite le port d'un équipement de protection individuel. Les exploitants ou les employeurs se doivent de mettre
à disposition du personnel opérateur un équipement approprié.
DANGER
Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques lors des travaux de maintenance ou d'installation
Les pompes à vide, les composants et les fluides d'exploitation peuvent être contaminés, en fonction du processus, par des substances toxiques, réactives ou radioactives.
 Porter un équipement de protection approprié lors des travaux de maintenance et de
réparation ou lors de la réinstallation des pompes.
AVERTISSEMENT
kg
Risque de blessures dues à des chutes d'objets
Lors du transport manuel des pompes à vide, il existe un risque de blessures dû aux
chutes et glissements de poids.
 Transporter à deux mains des pompes à vide petites et moyennes.
 Transporter avec un engin de levage approprié les pompes à vide d'un poids > 20 kg.
 Porter des chaussures de sécurité avec protection des orteils conformément à la norme EN 347.
ATTENTION
Risque de blessures au contact de surfaces brûlantes
Les pompes à vide sont brûlantes en fonctionnement.
 Laisser refroidir la pompe avant d'effectuer des travaux de maintenance et de réparation.
 Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420.
6
Sécurité
ATTENTION
Risque de blessures dues à des arêtes vives
Les arêtes des disques du rotor et du stator des pompes turbo sont très tranchantes.
 Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'effectuer tous les travaux.
 Ne pas accéder à la bride de vide élevé.
 Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420.
2.3 Conformité d’utilisation
AVIS
Conformité CE
La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par
l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires !
 Après incorporation dans une installation, l'exploitant s'oblige, avant la mise en service, à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE
en vigueur, et de la réévaluer en conséquence.
● La pompe à vide ne pourra être utilisée que pour générer du vide.
● N'utilisez la pompe turbo qu'associée à une pompe primaire appropriée.
2.4 Non conformité d’utilisation
En cas d'usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté.
Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui différent de celles précitées,
dont notamment :
● le pompage de fluides corrosifs ou explosifs
● le pompage de vapeurs condensables
● le pompage de liquides
● le pompage de poussières
● une utilisation avec débit de gaz élevé non admissible
● une utilisation sous une pression de vide primaire élevée non admissible
● une utilisation avec le mauvais mode Gaz
● une utilisation avec apport, par rayonnement, d'une puissance thermique excessive
● une remise à l'air avec des débits élevés non admissible
● l’exploitation de la pompe à vide pour générer de la pression
● une utilisation d'appareils dans des domaines concernés par les rayonnements ionisants
● l’exploitation dans des zones à risque d'explosion
● une mise en œuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à
des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques
● l'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui n'ont pas été désignés dans ce
manuel
warranty seal
Sceau de fermeture
Le corps de produit est scellé en usine. Tout endommagement ou desceller d’un sceau
de fermeture conduit à la perte de la garantie.
 N'ouvrez pas le produit durant le temps de garantie !
 Si le procédé engendre des intervalles d'entretien plus courts, informez le service après-vente Pfeiffer Vacuum.
7
Transport et stockage
3
Transport et stockage
3.1 Transport
 Réutilisez le conteneur de transport des pompes à vide. Il faut transporter ou expédier
les pompes à vide dans leur emballage d'origine.
 Il ne faut retirer les couvercles de protection du côté vide élevé et du côté vide primaire
qu'au moment du raccordement.
 Conservez les couvercles de protection original.
 Transportez toujours la pompe turbo à la verticale.
3.2 Stockage
 Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine.
 Obturez les autres orifices avec les couvercles de protection correspondants.
 Ne stockez la pompe que dans des locaux fermés, à une température comprise entre
-25 et +55°C.
 Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive: enfermez la pompe dans un sac
en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de produit de
dessiccation.
8
Description du produit
4
Description du produit
4.1 Identification du produit
Types de pompes
La désignation-produit renseigne sur la famille (1) à laquelle appartient la pompe, sur sa
taille (2), laquelle s'oriente sur la capacité d'aspiration de la pompe, et le cas échéant sur
des caractéristiques additionelles (3) de cette dernière.
HiPace(1) 400(2)M(3)
1. Désignation de la famille 2. Désignation du modèle
HiPace
3. Désignation des propriétés
400 = Désignation du modèle
aucune = variante standard
dans la classe afférente de débit U = Position montée inverse
C = Pour gaz / fluide corrosif
P = Processus
M = Paliers magnétiques actives
T = Système de management de la
température
Caractéristiques de la
pompe
Ce produit a été testé conformément aux exigences de la directive CAN/CSA-C22.2 No.
61010-1, deuxième edition, y compris l’amendement 1 ou une version ultérieure de la
norme même avec le même degré d’exigences d’essai.
Le cas échéant regardez les informations sur des certifications supplémentaires sur le
cachet du produit ou:
● www.tuvdotcom.com
● TUVdotCOM-ID 0000021320
Caractéristiques
Bride pour vide élevé
Matériaux de bride
HiPace 400 M
DN 100 ISO-K
Aluminium
DN 100 ISO-F
Aluminium
DN 100 CF-F
Acier inoxydable
Pour identifier le produit de manière sûre lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque
signalétique.
D-35614 Asslar
HiPace 300
DN 100 ISO-K, 3P
M.-No.: PM P03 900
Mod.:
Ser. -No.:
--Oil:
S(N2): 260 l/s
60000 1/min, 1000 Hz
n,f:
Weight: 6.7 kg
Made in Germany
Fig. 1:
Contenu de la
livraison
Exemple de plaque signalétique
● HiPace 400 M avec TM 700 et 48 V CC ± 5 %
● Vanne de remise à l'air PM Z01 291
● Couvercles de protection pour les brides de vide élevé et de vide primaire
● Manuel de l’utilisateur
9
Description du produit
4.2 Fonction
La pompe turbo HiPace 400 M forme une unité avec le contrôleur électronique d'entraînement et de paliers magnétiques TM 700 (« Commande électronique d'entraînement »
dans ce qui suit). Pour assurer l'alimentation électrique, il ne faut utiliser que des blocs
d'alimentation Pfeiffer Vacuum (par ex. TPS ou DCU).
4
24
5
510
23
15.5
81
3
Fig. 2:
3
4
5
Refroidissement
Vue HiPace 400 M avec TM 700
Partie inférieure de la
pompe
Corps de pompe
Pièce intermédiaire
15.5 Raccord d'eau de refroidissement
23
Commande électronique d'entraînement TM 700
24
Vanne de remise à l'air
81
Raccord de gaz de balayage
510 Bride de vide primaire
● Refroidissement à eau
● Refroidissement par air (optionnel)
En cas de surchauffe, la commande électronique réduit automatiquement la puissance
absorbée. Suivant le domaine de mise en œuvre et le type de HiPace, différentes variantes de refroidissement sont disponibles.
Paliers de rotor
Pompe turbomoléculaire avec paliers magnétiques actifs
● Côté vide élevé : Paliers électromagnétiques radiaux
● Côté vide primaire : Paliers électromagnétiques radiaux et axiaux
En principe, les paliers magnétiques actifs fonctionnent sans usure et permettent des
processus sous vide n'utilisant pas de lubrifiant. Des paliers de sécurité avec marche à
sec ont été installés pour éviter des contacts entre le rotor et le stator.
Entraînement
10
Commande électronique d’entraînement TM 700
Description du produit
4.3 Domaine d'application
Les pompes HiPace 400 M doivent être installées et utilisées sous les conditions ambiantes suivantes:
Lieu de mise en place
Type de protection admissible
Classification des protections
Température ambiante
Humidité relative
Pression de l’air
Hauteur d'implantation :
Degré d'encrassement
Champ magnétique environnant admissible
Catégorie de surtension
Tension de raccordement de la commande électronique d’entraînement (en fonction de la variante)
à l'abri des intempéries (dans des locaux)
IP 54
III
de +5 °C à +35 °C avec refroidissement à air
de +5 °C à +40 °C avec refroidissement par eau
50% max. avec T ≤ 40 °C, à
80% max. avec T ≤ 31 °C
75 kPa - 106 kPa
2000 m maxi.
2
≤ 5 mT
II
48 V CC ±5%
Remarques relatives aux conditions ambiantes
Les températures ambiantes autorisées indiquées sont applicables au fonctionnement
de la pompe turbo à la pression de vide primaire maximale autorisée ou au débit de gaz
maximal autorisé, en fonction du type de refroidissement. La pompe turbo est à sécurité
intrinsèque grâce à une surveillance redondante de la température.
● Si la pression de vide primaire ou le débit de gaz est réduit, la pompe turbo peut également être utilisée à des températures ambiantes superieures.
● En cas de dépassement de la température de fonctionnement maximale autorisée de
la pompe turbo, cette dernière réduit d’abord la puissance d’entraînement et se met
ensuite hors circuit si nécessaire.
11
Installation
5
Installation
AVERTISSEMENT
Risque d'arrachage de la pompe turbo
En cas de blocage inopiné du rotor, les couples peuvent atteindre 6500 Nm, ce qui peut
entraîner la désolidarisation de la pompe turbo lorsque la fixation n'est pas correcte.
L'énergie libérée peut projeter la pompe ou des composants qu'elle contient dans le local ce qui risque de provoquer des blessures très graves, voire la mort, ainsi que des
dommages matériels considérables.
 Respectez scrupuleusement les instructions d'installation fournies dans le présent
mode d'emploi.
 Utilisez exclusivement les pièces d'origine de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour l'installation.
Installation et utilisation des accessoires
Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires
adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des appareils raccordés sont décrites en détails dans les manuels de l’utilisateur accompagnant les différents composants.
 Informations sur les numéros de référence des composants individuels : voir le chapitre "Accessoires"
 Uniquement utiliser des accessoires originales.
5.1 Mise en place
Pour mettre la pompe en place, il faut impérativement réunir les conditions suivantes :
● les conditions ambiantes indiquées pour le domaine d’application
● En cas d'utilisation du chauffage du carter et du refroidissement à l'eau, la température au niveau de la bride de raccordement de l'enceinte à vide ne doit pas dépasser
120 °C.
● Il est interdite installer les dispositifs dans des installations qui soumettent la pompe
à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques.
5.2 Travaux préparatoires
 Assurez-vous que le dispositif destiné à refroidir la pompe turbo est suffisant.
 En présence de champs magnétiques >5 mT, il faut prévoir un blindage antiparasite
approprié. Vérifiez le lieu de mise en place et concertez-vous le cas échéant avec
Pfeiffer Vacuum !
 La température maximale admissible du rotor équipant la pompe turbo est de 120 °C.
Si le procédé engendre des températures élevées, la puissance thermique irradiée ne
doit pas dépasser 4.2 W. Installez le cas échéant des tôles de blindage appropriées
(fourniture, sur demande, de consignes de conception).
5.3 Montage
AVIS
Risque de secousses externes
Les secousses externes de la pompe peuvent provoquer une surcharge des paliers magnétiques et, par conséquent, une sollicitation des paliers de sécurité.
 Éviter les mouvements latéraux et de bascule de la pompe.
 Compenser les excitations extérieures par une conception appropriée du système,
notamment grâce à des vannes à vide élevé.
 Sécurisez l'enceinte de vide côté client contre tout déplacement ou basculement.
12
Installation
● Lors du montage toutes les pièces soumises à un vide élevé, travaillez au plus haut
niveau de propreté possible. Les composants sales augmentent le temps de pompage.
● Au moment de leur installation, tous les composants de bridage doivent être secs et
dépourvus de graisse et de poussière.
Protection antisismique
Lors de tremblements de terre, les paliers de sécurité peuvent se toucher. Toutes les
forces produites à cette occasion sont absorbées de manière fiable par les assemblages
à bride installés.
 Sécurisez l'enceinte de vide côté client contre tout déplacement ou basculement.
SC
SC
Vacuum chamber
SC
SC
Fig. 3:
Utilisez un pareéclats ou une grille de
protection
SC = Safety Connection
SC
Exemple : sécurité contre le déplacement et le basculement dus à des chocs externes
L'installation d'un anneau de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou grille de protection dans la bride de vide élevé protège la pompe turbo contre les corps étrangers
provenant des récipients. Cette protection réduit le débit de la pompe.
Réduction de la capacité d'aspiration, en %
H2
He
N2
Ar
Pare-éclats DN 100
9
13
25
27
Grille de protection DN 100
2
4
7
8
Amortisseur de vibrations
AVERTISSEMENT
Risque dû à l'arrachage de la pompe turbo avec amortisseur
En cas de blocage soudain du rotor, l'amortisseur utilisé ne peut compenser aucune des
forces résultantes. Il existe un risque d'arrachage de la pompe pouvant entraîner des
blessures graves et des dommages matériels considérables. Prenez des mesures de
sécurité appropriées pour compenser les couples pouvant apparaître.
 Veuillez impérativement consulter Pfeiffer Vacuum.
 Il est interdit de dépasser la température maximum admissible (100 °C) au niveau de
l'amortisseur.
Positions montées
Sous l’utilisation de pompes primaires sec les pompes HiPace de Pfeiffer Vacuum sont
conçues pour le montage dans toutes les orientations.
 Étayez ou suspendez les conduites en amont de la pompe à vide. Le réseau de
conduites ne doit communiquer aucune force à la pompe ancrée.
13
Installation
 Si utiliser des pompes primaires à huile, la bride de vide primaire de la pompe turbo
doit toujours pointer vers le bas à la verticale (± 25°), pour éviter l'encrassement via
la conduite de vide primaire.
VV
Fig. 4:
VV
25° max
Orientation du raccord de vide primaire recommandée pour l'installation
La charge axiale maximale supportable par la bride de vide élevé s'élève à 500 N (soit
50 kg). A ce titre, l'application d'une charge d'un seul côté de la bride de vide élevée n'est
pas admise.
Installer la bride de
vide élevé
En cas de blocage subit du rotor, il faut que l'installation et la bride de vide élevée absorbent les couples engendrés. Pour fixer les pompes turbo à la bride de vide élevé, vous
devrez utiliser exclusivement les composants énoncés. Les composants destinés à l'installation des pompes turbo sont des versions spéciales propres à Pfeiffer Vacuum. Rappelez-vous que le matériau de bride doit présenter une solidité minimum de 170 N/mm2 .
DANGER
Danger de mort - Fixation non autorisée
Lors de la fixation des pompes sur une enceinte dotée de brides différentes de celles
de la pompe, celles-ci peuvent se plier ou rompre lors du blocage abrupte du rotor.
 La combination de différents types de brides est strictement interdit.
 Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité pour l'ensemble des dommages découlant par un fixation non autorisée.
AVIS
Respecter les tolérances de forme sur la contre-bride !
Des inégalités sur la contre-bride côté exploitant peuvent entraîner des gauchissements
dans le boîtier de la pompe, et ce même lors d'une fixation réglementaire. Des défauts
d'étanchéité ou des modifications négatives des propriétés de fonctionnement peuvent
en être la conséquence.
 Ne pas dépasser des écarts de planéité de 0,05 mm max. sur toute la surface.
Fixation de brides ISO
Lors de la fixation de brides de vide élevé en version ISO-KF ou ISO-K, une torsion
risque de se produire - même si l'installation a été correctement réalisée - en cas de blocage subit du rotor.
● L'étanchéité de la bride de vide élevé n'en est pas compromise.
14
Installation
Installation d’une
bride ISO-K avec une
bride ISO-K
Pour installer la jonction par brides précédemment, les composants suivants sont disponibles :
● le kit de fixation valide issu du programme des accessoires de Pfeiffer Vacuum
● Une grille de protection ou un pare-éclats sont optionels.
 Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées.
 Montez les brides au schéma et aux composants du kit de fixation.
 Utiliser le nombre nécessaire du 16 boulons agrafes à tête bombée.
 Serrez les boulons agrafes chacun en 3 étapes, selon un ordre de serrage croisé.
 Couple de serrage : 5, 15, 25 ±2 Nm
Installation d’une
bride ISO-F avec une
bride ISO-F
Les assemblages possibles pour l'installation ISO-F avec bride ISO-F sont : "Boulon à
six pans et trou borgne", "Goujon fileté et trou borgne" et "Goujon fileté et perçage traversant". Les éléments suivants sont nécessaires :
● le kit de fixation valide issu du programme des accessoires de Pfeiffer Vacuum
● Une grille de protection ou un pare-éclats sont optionels.
1.5d
Boulon à six pans avec trou borgne
 Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées.
 Montez les brides au schéma et aux composants du kit de fixation.
 Utilisez le nombre requis de 8 vis à six pans à rondelle intercalaire.
 Pour un matériel de bridage avec une résistance >270 N/mm2, visser la vis à six pans
à raison de 1,5 d dans le trou borgne.
 Serrez les boulons à six pans chacun en 3 étapes, selon un ordre de serrage croisé.
 Couple de serrage DN 100 : 5, 12, 22 ± 2 Nm
2.5d
Goujon fileté et trou borgne
 Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées.
 Montez les brides au schéma et aux composants du kit de fixation.
 Utilisez le nombre requis de 8 goujons filetés et écrous.
 Pour un matériel de bridage avec une résistance de 170 - 270 N/mm2, visser la vis à
six pans à raison de 2,5 d dans le trou borgne.
 Serrez les écrous chacun en 3 étapes, selon un ordre de serrage croisé.
 Couple de serrage DN 100 : 5, 12, 22 ± 2 Nm
Goujon fileté et perçage traversant
 Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées.
 Montez les brides au schéma et aux composants du kit de fixation.
 Utilisez le nombre requis de 8 goujons filetés et écrous.
 Serrez les écrous chacun en 3 étapes, selon un ordre de serrage croisé.
 Couple de serrage DN 100 : 5, 12, 22 ± 2 Nm
15
Installation
Installation de brides
CF
AVIS
Maintien de la capacité d'étanchéification
Tenez compte des consignes suivantes pour conserver la capacité d'étanchéification :
 Ne saisissez le joint qu'avec des gants.
 Vérifiez que les lèvres d'étanchéité sont intactes.
Les assemblages possibles pour l'installation CF- avec bride CF sont : "Goujon fileté et
trou borgne" et "Boulon à six pans et perçage traversant". Les éléments suivants sont
nécessaires :
● le kit de fixation valide issu du programme des accessoires de Pfeiffer Vacuum
● Un joint cuivre
● Une grille de protection ou un pare-éclats sont optionels.
Goujon fileté et trou borgne
 Si vous les utilisez : introduisez le pare-éclats ou la grille de protection dans la bride
de vide élevé de la pompe turbo avec les talons de serrage vers le bas.
 Posez le joint exactement dans l'orifice tourné.
 Reliez les brides au moyen de 16 boulons filetés (M8) avec rondelles intercalaires et
écrous, et serrez à un couple de 22 ± 2 Nm selon un ordre de serrage circonférentiel.
Pour finir, contrôlez le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en
cas de fluage du matériel d'étanchéité.
Boulon à six pans et perçage traversant
 Si vous les utilisez : introduisez le pare-éclats ou la grille de protection dans la bride
de vide élevé de la pompe turbo avec les talons de serrage vers le bas.
 Posez le joint exactement dans l'orifice tourné.
 Reliez les brides au moyen de 16 boulons hexagonaux filetés (M8) avec rondelles intercalaires et écrous, et serrez à un couple de 22 ± 2 Nm selon un ordre de serrage
circonférentiel. Pour finir, contrôlez le couple car un resserrage des vis pourrait être
nécessaire en cas de fluage du matériel d'étanchéité.
5.4 Raccordements à la pompe turbo
Commande électronique d’entraînement
Les pompes turbo avec commande électronique d'entraînement sont conçues pour différents domaines d'application. Pour cela, divers panneaux de raccordement peuvent
être sélectionnés.
● TM 700 en variante standard
● TM 700 PB pour raccordement à Profibus
● TM 700 E74 similaire à Semi E74
● TM 700 DN pour raccordement à DeviceNet
Des consignes détaillées concernant fonction, configuration et fonctionnement avec le
panneau de raccordement sont disponibles dans le mode d'emploi spécifique de la commande électronique d'entraînement concernée.
Raccorder le bloc
d’alimentation
16
Pour l'alimentation en tension de la commande électronique d’entraînement TM 700,
seuls les blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum peuvent être utilisés (par ex. TPS 400 ou
DCU 400). Des câbles de liaison sont disponibles du programme des accessoires de
Pfeiffer Vacuum.
Installation
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution
En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension.
 Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour
pouvoir défaire le branchement à tout moment.
 Veillez à ce que la tension d'alimentation de la pompe turbo soit valide !
TPS / DCU
Commande
électronique
S1
DC out
Fig. 5:
PM 061 352 -T
DC in
Raccordement TM 700 au bloc d’alimentation avec câble de liaison de Pfeiffer Vacuum
 Éteignez l'interrupteur S1 au niveau du bloc d'alimentation (position « 0 »).
 Enfichez le câble de raccordement à l'aide de la prise de câble dans le raccord « DC
in » au niveau de la commande électronique d’entraînement et fermez le verrouillage
par baïonnette.
 Enfichez le câble de raccordement à l'aide de la prise dans le raccord « DC out » et
fermez le verrouillage par baïonnette.
Raccord accessoires
11
Y-Connector
for Accessories
22
Il est possible de raccorder jusqu'à 4 appareils accessoires au niveau de la commande
électronique d'entraînement TM 700. Des prises pour appareils M12 portant la désignation « accessory » sont disponibles à cet effet. Les raccords pour accessoires sont préconfigurés en usine. Si les appareils énumérés ci-dessous sont raccordés à l'aide du raccord préconfiguré pour vous, ceux-ci sont immédiatement prêts à fonctionner
conformément aux réglages effectués en usine. Le raccordement d'autres accessoires
est possible et requiert des réglages au niveau de la commande électronique d'entraînement.
 Pour raccorder deux appareils à un raccord pour accessoires, utilisez le répartiteur en
Y (connecteur en Y) concerné du programme d'accessoires Pfeiffer Vacuum.
 Raccordement de l'adaptateur au raccord coloré rouge au niveau de la TM 700.
 Des réglages sont possibles via les interfaces de la TM 700 (remote, RS-485, Profibus ou DeviceNet).
Raccord périphérique Raccordement avec connecteur en Y appareil accessoire préréglé
accessory A1
accessory A2
accessory B1
accessory B2
Acc. A sur Y-1
Acc. A sur Y-2
Acc. B sur Y-1
Acc. B sur Y-2
Refroidissement par air
Pompe primaire
Vanne de remise à l'air
Chauffage
Vue d'ensemble des raccords d'accessoires préréglés en usine sur la TM 700
17
Installation
Vanne de remise à
l'air
La vanne de remise à l'air de Pfeiffer Vacuum sert à remettre automatiquement la pompe
à l'air après une mise hors tension ou une panne de courant.
La pression d'entrée max. autorisée est de 150 kPa absolus.
24
Fig. 6:
Raccordement de la vanne de remise à l'air 24
 Enfichez la ligne de commande de l'accessoire dans le raccord pour accessoires correspondant au niveau de la TM 700 et vissez-la.
 La valeur prédéfinie pour la vanne de remise à l'air est « accessory B1 ».
 Le cas échéant, installez l'alimentation en gaz de ventilation (p. ex. gaz inerte) côté
admission (G 1/8") de la vanne magnétique.
Raccorder le coté de
vide primaire
Recommandation : Comme pompe primaire, utilisez une pompe sèche ou une pompe
rotative à palettes puisées dans la gamme Pfeiffer Vacuum. La pompe primaire doit générer une dépression de ≤ 8 hPa.
AVERTISSEMENT
Risques sanitaires engendrés par des gaz toxiques
Les gaz processuels peuvent être dangereux pour la santé et/ou pour l'environnement.
 Vous devez dériver l'échappement de gaz de la pompe primaire de façon fiable !
 Respectez toutes les recommandations de sécurité publiées par le fabricant du gaz.
510a
510
510.1
510 .2
510b
Fig. 7:
Raccordement de la pompe primaire
510 Raccord de vide primaire
510a Pompe primaire
18
510b Boîte à relais
510.1 Anneau de centrage
510.2 Anneau de serrage
Installation
AVIS
Conception du raccordement du vide primaire en cas de torsion soudaine de la
pompe
Lors de la fixation de brides de vide élevé en version ISO-KF ou ISO-K, une torsion
risque de se produire - même si l'installation a été correctement réalisée - en cas de blocage subit du rotor.
 Minimiser les masses à installer directement au niveau de la pompe.
 Le cas échéant, raccorder d'abord des éléments de conduite flexibles au niveau de
la pompe turbo.
 En cas de jonctions rigides entre les conduites : Installez un soufflet dans la conduite
de raccordement pour amortir les vibrations.
 Raccordez la conduite de vide primaire avec les composants de la petite bride ou
avec les raccords de flexibles. Ne réduisez pas la section libre offerte par la bride de
vide primaire !
 Le raccordement électrique de la pompe primaire a lieu via une boîte à relais.
 Enfichez la ligne de commande de l'accessoire dans le raccord pour accessoires correspondant au niveau de la TM 700 et vissez-la.
 La valeur prédéfinie pour la pompe primaire est « accessory A2 ».
 Mettez en œuvre l'alimentation électrique pour la boîte à relais conformément au
mode d'emploi de l'accessoire.
– Veuillez assurer une tension d'alimentation valide de la pompe primaire !
Refroidissement par
air
Les pompes turbo peuvent être exploitées au choix avec la commande électronique
d'entraînement TM 700 jusqu'à une température ambiante de +35 °C avec refroidissement par air.
3d
3b
3
3a
3c
Fig. 8:
3
3a
Raccordement du refroidissement par air
Partie inférieure de la pompe
Refroidissement par air
3b
3c
Vis à tête BTR
Vis à tête fraisée
3d
Adaptateur fileté
 Utilisez le perçage prévu pour visser l'adaptateur fileté sur la partie inférieure de la
pompe.
 Fixez le refroidissement par air Pfeiffer Vacuum au niveau des perçages prévus sur la
pompe turbo et de l'adaptateur fileté à l'aide de deux vis.
 Enfichez la ligne de commande de l'accessoire dans le raccord pour accessoires correspondant au niveau de la TM 700 et vissez-la.
 La valeur prédéfinie pour le refroidissement par air est « accessory A1 ».
19
Installation
Chemise chauffante
Pour atteindre plus rapidement la pression finale, il est possible de chauffer la pompe
turbo et le récipient. L'utilisation d'une chemise chauffante n'est possible que sur les
pompes équipées avec un bride de vide élevé mise en acier inoxydable. La durée du
chauffage dépend du degré d'encrassement ainsi que de la pression finale à atteindre,
et ne devra jamais être inférieure à 4 heures.
AVIS
Températures excessives dangereuses
Des températures élevées, conditionnées par le processus, peuvent entraîner des
surchauffes inadmissibles et risquent donc d'endommager la pompe turbo.
 En cas d'utilisation du chauffage du carter ou de fonctionnement avec enceintes à
vide chauffées, il est impératif d'utiliser le refroidissement à l'eau.
ATTENTION
Risque de brûlures
Le dégazage de la pompe turbo ou du récipient engendre des températures élevées.
Vous courez ainsi le risque de vous brûler au contact de pièces très chaudes, y compris
après avoir éteint le chauffage du carter !
 Lors de l'installation, isolez toujours, si possible, la chemise chauffante, le carter de
pompe et le récipient.
 Lors du dégazage, ne touchez pas la chemise chauffante, le carter de pompe et le
récipient.
● En cas d'utilisation du chauffage du carter et du refroidissement à l'eau, la température au niveau de la bride de raccordement de l'enceinte à vide ne doit pas dépasser
120 °C.
● La température maximale admissible du rotor équipant la pompe turbo est de 120 °C.
Si le procédé engendre des températures élevées, la puissance thermique irradiée ne
doit pas dépasser 4.2 W. Installez le cas échéant des tôles de blindage appropriées
(fourniture, sur demande, de consignes de conception).
4d
2x
4
4b
23.1
4a
4c
Fig. 9:
4
4a
4b
Raccorder la chemise chauffante
Corps de pompe
Chemise chauffante
Vis de fixation
4c
4d
Boîte à relais de chauffage
Autocollant d'avertissement
23.1 Connecteur en Y M12
pour accessoires
 Dépliez avec précaution la chemise chauffante sur la bande de tension extérieure et
glissez-la latéralement sur la partie cylindrique du corps de pompe.
– Ne tordez pas les bandes chauffantes !
– La chemise chauffante doit reposer complètement sur le corps de pompe.
 Fixez la chemise chauffante sur le corps de pompe à l'aide de la vis de fixation.
– Respectez le couple de serrage pour la vis de fixation !
20
Installation
Vis de fixation
Couple de serrage à froid Couple de serrage pendant le chauffage
Resserrez une fois après
refroidissement
M5
M6
6 Nm
11 Nm
7 Nm
12 Nm
7 Nm
12 Nm
Couples de serrage pour vis de fixation de chemises chauffantes
 Enfichez la ligne de commande de l'accessoire dans le raccord pour accessoires correspondant au niveau de TM 700 et vissez-la.
– En cas de branchement double (par ex. par une vanne de remise à l'air), utilisez un
répartiteur en Y issu du programme des accessoires.
 La valeur prédéfinie pour la chemise chauffante est « accessory B2 ».
 Mettez en œuvre l'alimentation électrique pour la boîte à relais conformément au
mode d'emploi de l'accessoire.
– Veuillez assurer une tension d'alimentation valide de la pompe primaire !
Raccordement de gaz
de balayage
Pour protéger la pompe turbo par exemple en présence de procédés comprenant de la
poussière ou du débit de gaz élevé, il faut la faire marcher avec un gaz de balayage.
L'alimentation s'effectue via une vanne de gaz de balayage ou au choix avec un étranglement de gaz de balayage sans commande. La commande de la vanne de gaz de balayage pour le raccord du gaz de balayage n'est pas préconfigurée dans la commande
électronique d'entraînement et doit être paramétrée via les interfaces de cette dernière.
La pression d'entrée max. autorisée est de 150 kPa absolus.
● En cas d'utilisation de la pompe avec plus de 50% du débit de gaz admissible, il faudra
utiliser du gaz de balayage pour garantir le refroidissement du rotor.
● Le débit de gaz de balayage s'élève à 12-15 sccm pour la HiPace 400 M.
Alimentation en gaz de balayage sans vanne de commande
24g
81
24g
81b
Fig. 10: Raccordement du étranglement de gaz de balayage
24g Joint annulaire
81
Vis de fermeture
81b Ètranglement de gaz de balayage
 Dévissez la vis, avec son joint annulaire, hors du raccord de gaz de balayage.
 Dans le raccord de gaz de balayage, vissez l’étranglement de gaz de balayage avec
le joint annulaire.
21
Installation
Alimentation en gaz de balayage avec vanne de commande
24g
24g
81
81a
Fig. 11: Raccordement de la vanne de gaz de balayage
24g Joint annulaire
81
Vis de fermeture
81a Vanne de gaz de balayage
 Dévissez la vis, avec son joint annulaire, hors du raccord de gaz de balayage.
 Dans le raccord de gaz de balayage, vissez la vanne de gaz de balayage avec le joint
annulaire.
 Enfichez la ligne de commande de l'accessoire dans un raccord pour accessoires disponible au niveau de la TM 700 et vissez-la.
 Effectuez des réglages et du pilotages par les interfaces de la commande électronique d’entraînement.
 Installez l'alimentation en gaz de balayage (p. ex. gaz inerte) via un adaptateur de raccordement ou côté admission (G 1/8") de la vanne de commande.
Refroidissement à
eau
Les pompes turbo HiPace 400 M avec TM 700 sont refroidies à l'eau en série.
● En présence d'une pression primaire accrue (> 0,1 hPa) et/ou d'exploitation avec débit de gaz, il faudra utiliser au choix le refroidissement à l'air ou à l'eau.
● Si la température ambiante est supérieure à +35 °C, utilisez un refroidissement par
eau.
Exigences de l'eau de refroidissement
Raccord d'eau de refroidissement
Conduites en tuyau
Raccord fileté orientable avec système de fiches
Diamètre extérieur de 8 mm
Diamètre intérieur de 6 mm
Qualité de l'eau de refroidissement
filtrée, mécaniquement pure, visuellement claire, sans
trouble, sans sédiment, chimiquement neutre
4 mg/kg
100 mg/kg
10 °dH
12,53 °e
17,8 °fH
178 ppm CaC03
10 mg/kg
Teneur max. en oxygène
Teneur max. en chlorure
Dureté max. de l'eau
Consommation max. de permanganate de
potassium
Teneur max. en dioxyde de carbone
Teneur max. en ammoniaque
Valeur pH:
Surpression d'entrée max.
Température de l'eau de refroidissement
Consommation d'eau de refroidissement
pour débit de gaz max.
22
non détectable
non détectable
7-9
600 kPa
voir "Caractéristiques techniques"
voir "Caractéristiques techniques"
Installation
Raccordement à un système d'eau de refroidissement
15.5c
15.5a
15.5b
15.5
Fig. 12: Raccordement de l'eau de refroidissement
15.5 Raccord de l’eau refroidissement
15.5a Conduite montante
15.5b Conduite descendante
15.5c Collecteur d'impuretés
 Enfichez les tuyaux flexibles pour l'entrée et le retour d'eau de refroidissement jusqu'à
la butée respectivement dans l'un des raccordements d'eau de refroidissement.
 Recommandation: montez un collecteur d'impuretés dans la conduite montante.
 Couple de serrage du raccord fileté orientable: 3 - 3.5 Nm.
23
Utilisation
6
Utilisation
AVERTISSEMENT
Danger engendré par une bride de vide élevé ouverte
Le rotor de la pompe turbo tourne à grande vitesse. Si la bride de vide élevée est ouverte, vous courez le risque de vous couper ; la chute d'objet entraîne un risque de destruction de la pompe.
 Ne mettez jamais la pompe en service avec la bride de vide élevé ouverte.
AVIS
Peu d'entretien
Les paliers de sécurité empêchent le contact entre le rotor et le stator en cas de surcharge des paliers magnétiques, les exposant ainsi à l'usure. Pour augmenter la durée de
vie des paliers de sécurité :
 ne soumettez pas la pompe en marche à des chocs, des vibrations ou des changements de position, en particulier des mouvements de bascule.
 Évitez lors du fonctionnement les éventuelles variations de pression du côté du vide
élevé ou du vide primaire.
 Tenez compte de la vitesse maximale de montée en pression.
 Ventilez la pompe uniquement par la vanne de remise à l'air fournie.
 N'éteignez pas la pompe en coupant l'alimentation secteur.
6.1 Mise en service
En usine, les préréglages importants suivants ont été programmés fixes dans la commande électronique d’entraînement.
● Paramètre [P:027] Mode gaz: 0 = gazes lourdes
● Paramètre [P:700] Valeur de consigne temps d'accélération: 8 min
● Paramètre [P:701] Point de commutation de la vitesse de rotation : 80% de la vitesse
nominale
● Paramètre [P:707] Valeur prédéfinie mode réglage de la vitesse : 65 % de la vitesse
nominale
● Paramètre [P:708] Valeur prédéfinie puissance absorbée : 100 %
● Paramètre [P:720] Vitesse de remise à l'air remise à l'air retardée: 50% de la vitesse
nominale
● Paramètre [P:721] Temps de remise à l’air: 3600 s
 En cas de refroidissement par eau : Ouvrez l'arrivée de l'eau de refroidissement et
contrôlez le débit.
 Pour l'alimentation en gaz de balayage: ouvrez l'arrivée du gaz de balayage et contrôlez le débit.
 Établissez l'alimentation électrique pour le bloc d'alimentation.
AVIS
Risque de détruire la pompe
En cas le mauvais mode Gaz sélectionné, le pomper des gaz avec masses moléculaires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe.
 Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé.
 Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80), prévenez Pfeiffer Vacuum.
24
Utilisation
Calibrage des paliers
magnétiques
L'analyse sensorielle des paliers magnétiques déclenche, dans de rares cas, un recalibrage lors de l'activation de la commande électronique d'entraînement. L'apparition de
quelques bruits de claquement métalliques réguliers n'est pas liée à l'usure des paliers
de sécurité.
6.2 Modes d’exploitation
Les modes d'exploitation suivants sont possibles :
● Utilisation avec la connexion "remote"
● Exploitation via une interface RS-485 et des appareils d'affichage et de commande
Pfeiffer Vacuum ou un PC
● Exploitation via bus de terrain
6.3 Description fonctionelle
Utilisation avec la
connexion "remote"
Une télécommande est possible, via le raccord D-Sub 26 pôles comportant la désignation "remote" sur la commande électronique.
 Tenez compte des documents suivants pour l'exploitation avec télécommande:
● mode d'emploi « commande électronique d'entraînement TM 700 »
Utilisation avec
DCU ou HPU
 En cas d'exploitation avec un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum,
tenez compte des documents suivants :
● Mode d'emploi du « DCU »
● Mode d'emploi du « HPU »
● Mode d'emploi « commande électronique d'entraînement TM 700 »
 Enclenchez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé contre le bloc d'alimentation ou contre la DCU 400 .
 Réglages possibles via la connexion RS-485 avec DCU, HPU ou PC.
Après avoir appliqué la tension de service, la TM 700 exécute un contrôle automatique
pour vérifier la tension d'alimentation. Après que la TM 700 a exécuté un contrôle automatique avec succès, la pompe turbo et la pompe primaire - si présente - entrent en service.
Exploitation avec bus
de terrain
Le raccordement et l'exploitation de pompes turbo Pfeiffer Vacuum dans un système de
bus de terrain mis à disposition par le client est possible pour les commandes électroniques d'entraînement avec panneau de bus de terrain correspondant.
 Tenez compte des documents suivants pour l'exploitation avec bus de terrain:
● Mode d'emploi pour la commande électronique d'entraînement avec panneau de
raccordement correspondant
25
Utilisation
6.4 Surveillance de l’état de fonctionnement
Affichage du mode
d’utilisation par les
diodes
Diodes sur la platine frontale de la commande électronique d’entraînement indiquent des
états de service fondamentaux de la pompe turbo. Seules la DCU et la HPU permettent
un affichage différencié entre les erreurs et les avertissements.
LED
Symbole
Vert
Jaune
Rouge
Allumage
Clignote
Clignotement
continu Off
(1/12 s actif)
(1/2 s actif)
alimentation en ten- Groupe de pomsion insuffisante
page "ARRÊT"
Vitesse ≤ 1Hz
aucun avertissement
aucun défaut
Groupe de pompage "ARRÊT"
Vitesse > 1 Hz
Allumage continu
On
Groupe de pompage "MARCHE"
Avertissement
Erreur
Surveillance de la
température
Une réduction de la puissance d'entraînement a lieu si la température de cette dernière
ou du carter est excessive. Cela peut provoquer le franchissement par défaut du point
de commutation de la vitesse de rotation et, de ce fait, la coupure de la pompe turbomoléculaire.
Sollicitation des paliers de sécurité
L'intensité de la sollicitation des paliers de sécurité agit en fonction de la gravité des frottements parasites sur le rotor en marche. La sollicitation des paliers de sécurité se résume en % de la sollicitation maximale possible grâce à la commande électronique d'entraînement et peut être observée par l'interface RS-485 grâce à un PC ou un appareil
d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum.
État d'équilibre
L'analyse sensorielle des paliers magnétiques contrôle en permanence l'état d'équilibre
actuel du rotor. L'état d'équilibre calculé en % du balourd maximal possible du rotor est
résumé par la commande électronique d'entraînement et peut être observé par l'interface RS-485 grâce à un PC ou un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum.
6.5 Arrêt et remise à l’air
Arrêt
Après la mise hors circuit, il faut remettre la pompe à l'air pour éviter qu'elle ne soit salie
par des particules refluant en provenance de la zone de vide primaire.
 Fermez le vide primaire : Éteignez la pompe primaire ou refermez la vanne de vide
primaire.
 Éteignez la pompe turbo contre l'appareil de commande ou par télécommande.
 Mise à l'air (du possibilités, voir ci-après)
 En cas de refroidissement par eau : Fermez l'arrivée d'eau.
Frein électrique
La pompe turbo est équipée d'un frein électrique. Il permet un freinage rapide du rotor
jusqu'à son arrêt.
 Réglages possibles via la connexion RS-485 avec DCU, HPU ou PC.
26
Utilisation
Exploitation sous alimentaion de secours
AVIS
Usure importante et dégâts dus à une mauvaise utilisation
Les paliers magnétiques actifs nécessitent une alimentation électrique constante. En
cas de coupure de courant, le moteur se transforme en générateur et alimente la commande électronique d'entraînement. En dessous d'une vitesse de rotation d'environ
6000 1 /min, l'énergie cinétique du rotor ne suffit plus pour alimenter les paliers magnétiques. La commande électronique d'entraînement s'arrête complètement. Le ralentissement progressif du rotor est perceptible au niveau des paliers de sécurité.
 N'éteignez pas la pompe en coupant l'alimentation secteur.
● La diode verte de la commande électronique d'entraînement clignote.
Arrêt d'urgence
Arrêt d'urgence
Mettez la pompe turbo dans un état sûr en cas d'urgence.
 Arrêtez la pompe turbo avec l'option de frein et la remise à l'air activée.
 Débranchez du secteur le bloc d'alimentation après arrêt de la pompe turbo.
– Le cas échéant, débranchez du secteur le bloc d'alimentation malgré la vitesse de
rotation de la pompe.
 Verrouillez le disjoncteur principal ou le commutateur du bloc d'alimentation supérieur et protéger contre toute remise en marche inopinée tant que la cause de la panne
n'est pas résolue.
Remise à l’air
Remise à l'air cadencée
La commande électronique d'entraînement contrôle le débit de remise à l'air par les cadences de la vanne de remise à l'air. Ainsi, la pompe est toujours remise à l'air rapidement et en toute sécurité sans surcharge des paliers magnétiques.
Remise à l'air avec vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum
AVIS
Risque d'usure ou de détérioration de la pompe
Une remise à l'air incontrôlée peut mener à une surcharge du palier magnétique et par
conséquent à une sollicitation des paliers de sécurité.
 Ventilez la pompe uniquement par la vanne de remise à l'air fournie.
 Ne remplacez pas la vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum par d'autres dispositifs
d'alimentation en air.
 En cas d'utilisation de dispositifs d'alimentation en air supplémentaires, il est recommandé de d'abord ventiler à une vitesse de rotation max. de 6000 1/min via la vanne
de remise à l'air Pfeiffer Vacuum.
 Faites attention au débit de remise à l'air maximal autorisé.
 Via le raccord de remise à l'air, remettez la pompe turbo à l'air avec de l'air exempt
d’huile et sec ou un gaz inerte.
 Autorisez la remise à l'air avec la vanne de remise à l'air via les fonctions de la commande électronique d'entraînement.
 Réglages possibles via la connexion RS-485 avec DCU, HPU ou PC.
Vitesse de remise à l'air Coupure du groupe de pompage Panne de secteur1)
50% de la vitesse nominale La vanne de remise à l'air s'ouvre
La vanne de remise à l'air s'ouvre
pendant 3600 s (1 h, réglage-usine) pendant 3600 s (1 h, réglage-usine)
1)
Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
27
Utilisation
Consignes fondamentales pour la remise à l’air rapide
Remise à l’air du récipient en deux étapes. Pour connaître les détails afférents aux solutions personnalisées, consultez Pfeiffer Vacuum.
 Remise à l'air avec une vitesse de montée en pression de max. 15 hPa/s pendant
20 secondes.
– La section de passage de la vanne, permettant un débit de remise à l'air de 15 hPa/
s, doit être harmonisée avec la taille du récipient.
– En présence de petits récipients, utilisez la vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum.
 Ensuite, remettez à l'air avec une vanne de remise supplémentaire d'une taille quelconque.
28
Entretien / Remplacement
7
Entretien / Remplacement
AVERTISSEMENT
Contamination de pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés
Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé.
 Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses.
 Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance.
AVIS
Exclusion de responsabilité
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité des dégâts, perturbations de service, dommages corporels et dégâts matériels imputables à une maintenance réalisée de façon
inexperte. Les recours en responsabilité et en garantie deviennent irrecevables.
7.1 Intervalles de maintenance et compétences
● Nettoyez les surfaces extérieures de la pompe turbo avec un chiffon ne peluchant
pas, additionné d'un peu d'alcool industriel.
● Remplacez vous-même la commande électronique d'entraînement.
● Concernant tous les autres travaux d'entretien et de réparation, veuillez vous adresser à votre service après-vente Pfeiffer Vacuum compétent.
7.2 Remplacer la commande électronique d’entraînement
AVIS
Détériorations au niveau de la pompe et de l'entraînement
Même après extinction de l'alimentation secteur, la pompe qui continue de tourner à
vide fournit de l'énergie électrique. Il existe un risque de court-circuit à la masse en cas
de séparation prématurée de la pompe et de la commande électronique d'entraînement.
 Ne débranchez jamais la commande électronique d'entraînement de la pompe tandis
qu'elle se trouve reliée au secteur ou que le rotor tourne.
Paramètres d'exploitation de la commande électronique d’entrainement
Les pièces de rechange livrées se trouvent toujours sur le paramétrage d'exploitation
réglé en usine.
 L’utilisation d’un HPU offre la possibilité d’assurer et de réemployer une série de paramètre existante.
 Réglez à nouveau les paramètres d'application modifiés.
 Pour cela, respectez le mode d'emploi "Commande électronique d’entrainement".
29
Entretien / Remplacement
23
52
Fig. 13: Montage / Démontage de la TM 700
23
Commande électronique d’entraînement
52
Vis à six pans creux
 N'appliquez aucune contrainte mécanique á la commande électronique d'entraînement.
 Éteignez la pompe à vide, ramenez-la à la pression atmosphérique et laissez-lui le
temps de refroidir.
 Ne débranchez la pompe de la commande électronique qu'après l'arrêt complet de la
pompe et avoir coupé la tension d'alimentation.
 Le cas échéant, déposez la pompe à vide de l'installation.
 Dévissez de la commande électronique d'entraînement la ligne de commande de la
vanne de remise à l'air.
 Dévissez les vis à six pans creux (3x) de la commande électronique d'entraînement.
 Extrayez la commande électrique d’entrainement de la pompe.
 Ne touchez pas les composants électrostatiques sensibles.
 Vissez une nouvelle commande électronique d'entraînement contre la pompe turbo
puis raccordez-la.
– Couple de serrage: 2.5 Nm.
Calibrage des paliers
magnétiques
L'analyse sensorielle des paliers magnétiques déclenche, dans de rares cas, un recalibrage lors de l'activation de la commande électronique d'entraînement. L'apparition de
quelques bruits de claquement métalliques réguliers n'est pas liée à l'usure des paliers
de sécurité.
Valeurs prédéfinies
de vitesse
La vitesse nominale caractéristique d'une pompe turbo est réglée en usine dans la commande électronique d'entraînement. Après un remplacement de la commande électronique d'entraînement, ou un changement pour un autre type de pompe, il faut valider la
valeur de consigne prédéfinie de la vitesse nominale. Cette procédure fait partie intégrante du système de sécurité redondant permettant d’éviter les survitesses.
HiPace
Confirmation vitesse nominale [P:777]
300
400 / 700 / 800
1000 Hz
820 Hz
 Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe.
 Alternative : Si aucun appareil d'affichage et de commande n'est disponible, utiliser
le " Speed Configurator " compris dans la livraison de pièces de rechange.
30
Mise hors service
8
Mise hors service
8.1 Immobilisation prolongée
AVERTISSEMENT
Contamination de pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés
Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé.
 Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses.
 Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance.
Si la pompe turbo doit être immobilisée pour une durée supérieure à 1 an :
 Le cas échéant, déposez la pompe à vide de l'installation.
 Obturez la bride de vide élevé équipant la pompe turbo.
 Faites le vide dans la pompe turbo par le biais de la bride de vide primaire.
 Via le raccord de remise à l'air, remettez la pompe turbo à l'air avec de l'air exempt
d’huile et sec ou un gaz inerte.
 Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine.
 Obturez les autres orifices avec les couvercles de protection correspondants.
 Posez la pompe verticale sur ses pieds en caoutchouc.
 Ne stockez la pompe que dans des locaux fermés, à une température comprise entre
-25 et +55°C.
 Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive: enfermez la pompe dans un sac
en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de produit de
dessiccation.
8.2 Remise en service
 Vérifiez si la pompe turbo présente des salissures et si elle est humide.
 Nettoyez les surfaces extérieures de la pompe turbo avec un chiffon ne peluchant
pas, additionné d'un peu d'alcool industriel.
 Le cas échéant, confiez le nettoyage complet de la pompe turbo au SAV Pfeiffer Vacuum.
 Installation et mise en service conformément au mode d’emploi.
8.3 Mise au rebut
Les produits et leurs composants internes (composants mécaniques ou électriques,
fluides d’exploitation, etc...) peuvent polluer l’environnement.
 Veuillez prendre les précautions nécessaires, en conformité avec la réglementation
locale, pour éliminer les risques sanitaires et éviter toute pollution de l’environnement.
31
Dysfonctionnements
9
Dysfonctionnements
Si des dysfonctionnements se produisent au niveau de la pompe, vous trouverez dans
le tableau des causes possibles et des instructions pour y remédier.
9.1 Dépannage
Problème
Causes possibles
Dépannage
La pompe ne démarre pas, aucune
des LED de la TM 700 ne s'allume
● Alimentation électrique interrompue
 Vérifiez les contacts à fiches au niveau du bloc d'alimentation
 Vérifiez les fils d'arrivée du bloc d'alimentation
 Contrôlez la tension de sortie (48 V DC) au niveau du
raccord « DC out » du bloc d'alimentation
 Contrôlez les contacts à fiches au niveau de la TM
700
 Appliquez une tension de service correcte
 Tenez compte de la plaque signalétique
 Appliquez la tension de service
 Remplacez la TM 700
 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
 Connectez les broches 1-3, 1-4 ou 1-14 au raccord
distant
 Enfichez la contre-fiche comprise dans la livraison au
niveau du raccord distant.
 Retirez le pont au niveau du raccord distant
 Retirez la contre-fiche du raccord distant.
● Tension de service incorrecte
● Aucune tension de service appliquée
● TM 700 défectueuse
La pompe ne démarre pas ; la LED
verte sur la TM 700 clignote
● En cas d'exploitation sans unité de commande: Broches 1-3, 1-4 ou 1-14 non
connectées au raccord distant
● En cas de fonctionnement via une interface RS485: Le pont au niveau de la
broche 1-14 empêche les ordres de réglage
● En cas de fonctionnement via une inter-  Mettez des paramètres [P: 010] et [P: 023] sur l’inface RS485: paramètre de la commande
terface RS485 à "ON".
électronique d’entraînement n’est pas ac-  Voir pour cela le mode d’emploi de la commande électivé
tronique d’entraînement respectif.
● Chute de tension dans le câble trop éle-  Utilisez un câble approprié
vée
 Vérifiez le fonctionnement et l'adéquation de la
La pompe n'atteint pas la vitesse no- ● Pression de vide primaire trop élevée
pompe primaire
minale dans le temps de démarrage
● Fuite
 Recherchez la fuite
imparti
 Vérifiez les joints et les fixations des brides
 Éliminez les défauts d'étanchéité
● Débit de gaz trop élevé
 Réduisez l'arrivée de gaz processuel
● Résistance mécanique du rotor,
 Vérifiez si les paliers de sécurité font du bruit
Paliers de sécurité défectueux
 Vérifiez la sollicitation du paliers de sécurité via le raccord « RS 485 »1)
 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
● Temps de démarrage réglé trop court
 Réglez un temps de démarrage plus long via le raccord « RS 485 »1)
 Réduisez la charge thermique
● Surcharge thermique:
– Garantissez une arrivée d'air suffisante
– aération insuffisante
– Garantissez l'arrivée d'eau de refroidissement
– débit d'eau trop faible
– Réduisez la pression de vide primaire
– pression de vide primaire trop élevée
– Adaptez les conditions ambiantes
– température ambiante trop élevée
La pompe n'atteint pas sa pression fi- ● La pompe est encrassée
 Dégazer la pompe
 Nettoyage en cas de fort encrassement
nale
– Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum
● Le récipient, les conduites ou la pompe ne  Recherchez la fuite en partant du récipient
sont pas étanches
 Éliminez les défauts d'étanchéité
La diode rouge de la commande TM ● Défaut groupé
 Effectuez un Reset en coupant puis rallumant le secteur.
700 est allumée
 Reset via la broche 13 dans le raccord « REMOTE »
 Affichage différencié des défauts possible via le raccord « RS 485 »1)
 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
1)
32
Si aucun appareil de commande Pfeiffer Vacuum n'est disponible, informez le SAV Pfeiffer Vacuum.
Service après-vente
10 Service après-vente
Pfeiffer Vacuum vous propose un service après-vente haut de gamme !
● Maintenance / Réparation dans un ServiceCenter ou ServicePoint proche de chez
vous
● Remplacement rapide par des produits d'échange standard pratiquement neufs
● Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide
Informations détaillées, adresses et formulaires à l'adresse suivante : www.pfeiffer-vacuum.com (Service).
Maintenance and repair in the Pfeiffer Vacuum ServiceCenter
The following steps are necessary to ensure a fast, smooth servicing process:
 Téléchargez les formulaires "Service Request" et "Declaration on Contamination".1)
 Remplissez le formulaire "Service Request" et renvoyez-nous le par fax ou mail à
l'adresse de votre Pfeiffer Vacuum service après-vente compétent.
 A cet envoi, joignez la confirmation "Service" donnée par Pfeiffer Vacuum.
 Remplissez la déclaration sur la contamination et joignez-la obligatoirement à l'envoi.
 Démontez tous les accessoires.
 Laissez la commande électronique d'entraînement contre la pompe.
 Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine.
 Envoyer la pompe ou l'appareil dans son emballage d'origine si possible.
Envoi de pompes ou appareils contaminés
Les appareils contaminés (microbiologiquement, substances explosives ou radioactives) sont systématiquement refusés. Les "substances toxiques” sont les substances et
composés chimiques visés dans la version actuellement applicable de l'Ordonnance sur
les matières dangereuses. Sur les pompes contaminées et en l'absence de déclaration
sur la contamination, Pfeiffer Vacuum réalise une décontamination aux frais du client.
 Neutralisez la pompe en la rinçant avec de l'azote ou de l'air sec.
 Obturez toutes les ouvertures pour les rendre étanches à l'air.
 Conditionnez la pompe ou l'appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée.
 Ne renvoyez la pompe / l'appareil qu'uniquement dans un conteneur de transport approprié et robuste, en respectant les conditions de transport applicables.
Appareils de rechange
Les appareils de rechange livrés se trouvent toujours sur le paramétrage d'exploitation
standard réglé en usine. Si votre application fonctionne sur un paramétrage modifié,
vous devrez régler à nouveau ces appareils sur ce paramétrage.
Commandes de service après-vente
Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos
conditions de réparation applicables aux appareils et composants sous vide.
1)
Formulaires à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.com (en anglais)
33
Pièces de rechange HiPace 400 M
11 Pièces de rechange HiPace 400 M
Pos.
Désignation
15.5
23
Raccord fileté orientable
Commande électronique d'entraînement TM 700
Vanne de remise à l'air
24
23
Modèle
Numéro de commande
Remarques
Pièces
P 4131 007 E
voir plaque signalétique
PM Z01 291
Refroidissement à eau
2
dépendant du panneau de raccor- 1
dement
joint annulaire incl.
1
Quantité commandée
24
15.5
Pour toute commande d'accessoires ou de pièces détachées, veuillez indiquer en plus
le numéro de modèle de la plaque signalétique.
34
Accessoires
12 Accessoires
Désignation
DN 100 ISO-K
DN 100 CF-F
DN 100 ISO-F
Bloc d'alimentation TPS 400 pour montage mural/sur rails normalisés PM 061 343 -T
Kit de fixation murale TPS 110/180/310/400
PM 061 392 -T
Bloc d'alimentation TPS 401 Tiroir 19" 3U
PM 061 347 -T
Kit de plaque frontale pour TPS 401
PM 061 396 -T
Display Control Unit DCU 400 avec bloc d'alimentation
PM C01 823
Display Control Unit, DCU 002
PM 061 348 -T
HPU 001, Handheld Programming Unit
PM 051 510 -T
Ensemble d'accessoires pour HPU - Bloc d'alimentation, logiciel et
PM 061 005 -T
câble PC
Câble de secteur et fiche à contact de protection, IEC prise de courant P 4564 309 ZA
(droit), 230 V CA, 3 m
Câble de secteur et fiche UL, IEC prise de courant (droit), 115 V CA, 3 m P 4564 309 ZE
Câble de secteur et fiche UL, IEC prise de courant, 208 V CA, 3 m
P 4564 309 ZF
Câble de raccordement pour HiPace avec TC 400 pour bloc d'alimenta- PM 061 352 -T
tion TPS/DCU 310/311/400/401
Vanne de remise à l'air blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccord à TC PM Z01 291
400/1200 et TM 700
TTV 001, cartouche siccative pour la remise à l'air de pompes turbo
PM Z00 121
Bride de remise à l'air DN 10 KF-G1/8"
PM 033 737 -T
Raccord d'orientation G 1/8"
PM 143 877 -T
Refroidissement par air, blindée, pour HiPace 400 et HiPace 700 avec PM Z01 363
TC 400
TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 230 V CA
PM Z01 205
TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 115 V CA
PM Z01 206
Vanne de gaz de balayage, blindée, pour HiPace 300, 400 et 700 avec PM Z01 312
TC 400
Étranglement de gaz de balayage pour HiPace 300, 400 et 700
PM Z01 317
Vanne de remise à l'air en cas de panne de courant, blindée, 24 V CC, PM Z01 331
G 1/8", pour raccordement à TC 400, TM 700
Anneau de centrage avec revêtement multifonctions, DN 100 ISO-K/-F PM 016 210 -U
Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et grille de protec- PM 016 212 -U
tion intégré, DN 100 ISO-K/-F
Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et pare-éclats inté- PM 016 211 AU
gré, DN 100 ISO-K/-F
Grille de protection pour pompes turbo, DN 100 CF-F
Pare-éclats pour pompes turbo, DN 100 CF-F
Amortisseur pour HiPace 300/400, DN 100 ISO-K
PM 006 459 -X
Amortisseur pour HiPace 300/400, DN 100 CF-F
Convertisseur USB sur RS-485
PM 061 207 -T
Câble d'interface, M12m/M12, 3 m
PM 061 283 -T
Câble d'interface, 3 m, M12, droite, 90°
PM 061 791 -T
Connecteur en Y, M12 pour RS-485
P 4723 010
Connecteur en Y M12 pour accessoires
P 4723 012
Contre-fiche distante , à 26 broches, HD, sans ponts
PM 061 986 –X
Prise d'alimentation TC 400, sortie droite
P 4723 100
Prise d'alimentation TC 400, sortie latéral
P 4723 101
Boîtes pour connecteurs, protégé contre les éclaboussures, à 15
P 0998 016
broches, D-sub
Contre-fiche Remote, protégé contre les éclaboussures, à 26 broches, PM 061 880 -T
HD
Adaptateur de commande à distance pour RS-485
PM 061 649 -T
Câble d'interface RJ 45 à M12 pour HiPace, 3 m
PM 051 726 -T
Connecteur TPS 110/180/310/400 DC out
P 4723 102
Câble de rallonge pour accessoires M12 sur M12
PM 061 747 -T
Connecteur rond, M12
P 4722 605
Câble adaptateur HiPace-ACP
PM 071 142 -X
Boîte à relais pour pompe primaire, blindée, 1 phase 5A pour TC 400/ PM 071 284 -X
1200, TM 700 et TM 3000
Boîte à relais pour pompe primaire, blindée, 1 phase 20 A pour TC 400/ PM 071 285 -X
1200, TM 700 et TM 3000, M12
PM 061 343 -T
PM 061 392 -T
PM 061 347 -T
PM 061 396 -T
PM C01 823
PM 061 348 -T
PM 051 510 -T
PM 061 005 -T
PM 061 343 -T
PM 061 392 -T
PM 061 347 -T
PM 061 396 -T
PM C01 823
PM 061 348 -T
PM 051 510 -T
PM 061 005 -T
P 4564 309 ZA
P 4564 309 ZA
P 4564 309 ZE
P 4564 309 ZF
PM 061 352 -T
P 4564 309 ZE
P 4564 309 ZF
PM 061 352 -T
PM Z01 291
PM Z01 291
PM Z00 121
PM 033 737 -T
PM 143 877 -T
PM Z01 363
PM Z00 121
PM 033 737 -T
PM 143 877 -T
PM Z01 363
PM Z01 205
PM Z01 206
PM Z01 312
PM Z01 205
PM Z01 206
PM Z01 312
PM Z01 317
PM Z01 331
PM Z01 317
PM Z01 331
PM 016 210 -U
PM 016 212 -U
PM 016 211 AU
PM 016 336
PM 016 315
PM 006 488 -X
PM 061 207 -T
PM 061 283 -T
PM 061 791 -T
P 4723 010
P 4723 012
PM 061 986 –X
P 4723 100
P 4723 101
P 0998 016
PM 061 207 -T
PM 061 283 -T
PM 061 791 -T
P 4723 010
P 4723 012
PM 061 986 –X
P 4723 100
P 4723 101
P 0998 016
PM 061 880 -T
PM 061 880 -T
PM 061 649 -T
PM 051 726 -T
P 4723 102
PM 061 747 -T
P 4722 605
PM 071 142 -X
PM 071 284 -X
PM 061 649 -T
PM 051 726 -T
P 4723 102
PM 061 747 -T
P 4722 605
PM 071 142 -X
PM 071 284 -X
PM 071 285 -X
PM 071 285 -X
35
Accessoires
Désignation
DN 100 ISO-K
DN 100 CF-F
Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 400 / 700 avec TC 400 / TCP
350, 230 V, fiche à contact de protection
Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 400 / 700 avec TC 400 / TCP
350, 208 V, fiche UL
Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 400 / 700 avec TC 400 / TCP
350, 115 V, fiche UL
Kit de fixation pour HiPace 400, DN 100 ISO-K, avec anneau de cen- PM 016 380 -T
trage recouvert et boulons-agrafes à tête bombée
Kit de fixation pour HiPace 400, DN 100 ISO-K, avec anneau de cen- PM 016 382 -T
trage recouvert, grille de protection et boulons-agrafes à tête bombée
Kit de fixation pour HiPace 400, DN 100 ISO-K, avec anneau de cen- PM 016 381-T
trage recouvert, pare-éclats et boulons-agrafes à tête bombée
Kit de vis hexagonales pour brides avec perçage traversant, DN 100
CF-F
Kit de goujons filetés pour brides avec trou fileté, DN 100 CF-F
Kit de goujons filetés pour brides avec perçage traversant, DN 100 CF-F
Kit de fixation pour HiPace 300 et HiPace 400, DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert et boulons à six pans
Kit de fixation pour HiPace 300 et HiPace 400, DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, grille de protection et boulons à six pans
Kit de fixation pour HiPace 300 et HiPace 400, DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, pare-éclats et boulons à six pans
Kit de fixation pour HiPace 300 et 400, DN 100 ISO-F, avec anneau de
centrage recouvert et goujons filetés
Kit de fixation pour HiPace 300 et HiPace 400, DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, grille de protection et goujons filetés
Kit de fixation pour HiPace 300 et HiPace 400, DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, pare-éclats et goujons filetés
PM 071 269 -T
36
DN 100 ISO-F
PM 071 270 -T
PM 071 271 -T
PM 016 690 -T
PM 016 692 -T
PM 016 734 -T
PM 016 450 -T
PM 016 452 -T
PM 016 451 -T
PM 016 455 -T
PM 016 457 -T
PM 016 456 -T
Caractéristiques techniques et des dimensions
13 Caractéristiques techniques et des dimensions
13.1 Généralités
Bases des caractéristiques techniques des pompes turbo de Pfeiffer Vacuum:
● Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5
● ISO 21360; 2007: « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puissance de pompes à vide - Description générale »
● ISO 5302; 2003: « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesurage des caractéristiques fonctionnelles »
● Pression finale : avec dôme de prise de vapeur teste après 48 h d'étuvage
● Débit de gaz: avec refroidissement à l'eau et pompe rotatives à palettes (10 m3/h)
● Consommation d'eau froide: avec débit de gaz max., température de l'eau 25 °C
● Taux de fuite intégral: avec concentration de l'hélium à 100 %, durée de mesure de
10 s
● Niveau de pression acoustique: distance par rapport à la pompe 1 m
13.2 Caractéristiques techniques
Paramètres
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Débit pour Ar
Débit pour H2
Débit pour He
Débit pour N2
Taux de compression pour Ar
Taux de compression pour H2
Taux de compression pour He
Taux de compression pour N2
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour Ar
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour H2
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour He
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de pression HV pour N2
Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar
Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2
Vide primaire max. pour N2
Temps d'accélération
Pression limite avec OnTool DryPumpTM
Vitesse â± 2 %
Vitesse variable
Niveau de pression acoustique
Humidité relative de l'air
HiPaceTM 400 M
DN 100 ISO-K
DN 25 ISO-KF
315 l/s
390 l/s
440 l/s
350 l/s
> 1 · 1011
2 · 105
> 1 · 107
> 1 · 1011
12 hPa l/s
8 hPa l/s
12 hPa l/s
12 hPa l/s
8 hPa l/s
13 hPa l/s
8 hPa
4 min
< 1 · 10-7 hPa
49200 min-1
20-100 %
≤ 45 dB (A)
5-85, sans
condensation %
Type de protection
IP 54
Pression d'entrée max. pour vanne de remise à l'air/gaz de 150 kPa
balayage
Tension de service
48 (± 5 %) V CC
Tension de service bloc d'alimentation
90-265 V CA
Temps de freinage avec/sans remise à l'air
1-10 min
Taux de fuite intégral
< 1 · 10-7 hPa l/s
Puissance absorbée maximale
300 W
Consommation de courant maximale
7,5 A
Température de transport et stockage
0-+55 °C
Raccordement de remise à l'air
G 1/8"
Poids
15,8 kg
Type de refroidissement, standard
Eau
Type de refroidissement, en option
Air, Convection
HiPaceTM 400 M
HiPaceTM 400 M
DN 100 CF-F
DN 25 ISO-KF
315 l/s
390 l/s
440 l/s
350 l/s
> 1 · 1011
2 · 105
> 1 · 107
> 1 · 1011
12 hPa l/s
8 hPa l/s
12 hPa l/s
12 hPa l/s
8 hPa l/s
13 hPa l/s
8 hPa
4 min
< 5 · 10-10 hPa
49200 min-1
20-100 %
≤ 45 dB (A)
5-85, sans
condensation %
IP 54
150 kPa
DN 100 ISO-F
DN 25 ISO-KF
315 l/s
390 l/s
440 l/s
350 l/s
> 1 · 1011
2 · 105
> 1 · 107
> 1 · 1011
12 hPa l/s
8 hPa l/s
12 hPa l/s
12 hPa l/s
8 hPa l/s
13 hPa l/s
8 hPa
4 min
< 1 · 10-7 hPa
49200 min-1
20-100 %
≤ 45 dB (A)
5-85, sans
condensation %
IP 54
150 kPa
48 (± 5 %) V CC
90-265 V CA
1-10 min
< 1 · 10-7 hPa l/s
300 W
7,5 A
0-+55 °C
G 1/8"
20,9 kg
Eau
Air, Convection
48 (± 5 %) V CC
90-265 V CA
1-10 min
< 1 · 10-7 hPa l/s
300 W
7,5 A
0-+55 °C
G 1/8"
16,3 kg
Eau
Air, Convection
37
Caractéristiques techniques et des dimensions
Paramètres
HiPaceTM 400 M
HiPaceTM 400 M
HiPaceTM 400 M
Température de l'eau de refroidissement
Consommation d'eau froide
Champ magnétique environnant admissible
Interfaces
15-35 °C
80 l/h
5 mT
RS-485, Remote
15-35 °C
80 l/h
5 mT
RS-485, Remote
15-35 °C
80 l/h
5 mT
RS-485, Remote
38
Caractéristiques techniques et des dimensions
13.3 Dimensions
Ø208
DN 100 ISO-K
Ø8 / G1/4" (2x)
M8 (6x)
90
°
12.5°
232
278
291
131
180
209
113
133
Ø150
DN 25 ISO-KF / G1/4"
45°
36°
G1/8"
°
45 °
45
4x
145
Fig. 14: HiPace 400 M, DN 100 ISO-K
Ø208
180
209
232
278
291
113
133
Ø150
DN 100 ISO-F
DN 25 ISO-KF / G1/4"
45°
36°
G1/8"
90
°
12.5°
°
45
131
Ø8 / G1/4" (2x)
M8 (6x)
°
45
4x
145
Fig. 15: HiPace 400 M, DN 100 ISO-F
Ø208
DN 100 CF-F
278
291
180
209
232
113
133
Ø150
DN 25 ISO-KF / G1/4"
45°
36°
G1/8"
131
Ø8 / G1/4" (2x)
M8 (6x)
90
°
12.5°
°
45 °
45
4x
145
Fig. 16: HiPace 400 M, DN 100 CF-F
39
Déclaration de conformité
à la directive CE:
● Machines 2006/42/CE (Annexe II, No. 1 A)
Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes
les dispositions applicables de la directive européenne sur les machines 2006/42/CE.
En outre, ce produit répond à toutes les dispositions applicables de la directive européenne sur la « Compatibilité électromagnétique » 2004/108/CE.
Le responsable de la compilation des documents techniques est M. Jörg Stanzel, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar.
HiPace 400 M
Directives appliquées, normes harmonisées et normes nationales appliquées:
DIN EN ISO 12100 : 2011-03
DIN EN 1012-2 : 1996
DIN EN 61010-1 : 2002
Signatures:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(M.Bender)
Directeur
(Dr. M. Wiemer)
Directeur
CE/2012
Notizen / Notes:
Notizen / Notes:
Vacuum solutions
from a single source
Pfeiffer Vacuum stands for innovative and custom
vacuum solutions worldwide, technological perfection,
competent advice and reliable service.
Complete range
of products
From a single component to complex systems:
We are the only supplier of vacuum technology
that provides a complete product portfolio.
Competence in
theory and practice
Are you looking for a
perfect vacuum solution?
Please contact us
Benefit from our know-how and our portfolio of training
opportunities! We can support you with your plant layout
and provide first-class on-site-service worldwide.
Pfeiffer Vacuum GmbH
Headquarters • Germany
T +49 6441 802-0
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
">