Pfeiffer ATH 2800 / 3200 M_MT Mode d'emploi
Vous trouverez ci-dessous de brèves informations pour ATH 2800 M, ATH 2800 MT, ATH 3200 M, ATH 3200 MT. Ces pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques actifs (PMA) sont conçues pour les procédés de dépôt et gravure plasma, de dépôts sur verre et d’autres applications de recherche. Elles se distinguent par leur résistance à la corrosion, leur robustesse et leur capacité de pompage de grand débit de gaz en hautes pressions.
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MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Original ATH 2800 M/MT - ATH 3200 M/MT Pompe Turbomoléculaire à paliers magnétiques Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/58 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Produits concernés 1.2 Conventions 1.2.1 Pictogrammes 1.2.2 Groupe cible 1.2.3 Instructions dans le texte 1.2.4 Etiquettes 1.2.5 Abréviations 7 7 7 7 7 7 7 7 8 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables 2.4 Précautions 2.5 Usage conforme à la destination 2.6 Utilisation non conforme 10 10 10 13 14 14 14 3 Transport et stockage 3.1 Réception du produit 3.2 Manutention de la pompe 3.3 Stockage 16 16 16 17 4 Description du produit 4.1 Identification du produit 4.1.1 Contenu de la livraison 4.1.2 Les applications des produits 4.2 Interface homme/machine 18 18 18 18 19 5 Installation 5.1 Conditions d'installation à l'équipement 5.1.1 Spécifications d'installation 5.1.2 Sécurisation de l'équipement et du châssis 5.2 Mise en place de la pompe 5.3 Raccordement à la ligne de pompage 5.3.1 Raccordement côté aspiration 5.3.2 Raccordement côté refoulement 5.4 Raccordement du circuit d'eau 5.4.1 Procédure de montage des raccords 5.4.2 Raccordement de la pompe au circuit d'eau 5.5 Raccordement du circuit d'azote 5.6 Raccordement de l'électrovanne d'entrée d'air 5.7 Test d'étanchéité de l'installation 5.8 Raccordement électrique 5.8.1 Protection de l'installation électrique du client 20 20 21 22 23 25 26 27 27 28 28 29 31 31 32 33 6 Utilisation 6.1 Précautions préalables à l'utilisation 6.2 Démarrage de la pompe 6.2.1 Mise sous tension 6.2.2 Démarrage du pompage 6.2.3 Redémarrage après un arrêt d'urgence de l'équipement 6.3 Arrêt de la pompe 6.3.1 Arrêt du pompage 6.3.2 Mise hors tension 6.3.3 Arrêt prolongé 34 34 35 35 35 35 36 36 37 37 3/58 Table des matières 6.4 4/58 Surveillance du fonctionnement 37 7 Maintenance 7.1 Consignes de sécurité pour la maintenance 7.2 Intervalles de maintenance 7.3 Entretien sur site 7.4 Procédure d'échange par un produit de remplacement 7.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation 7.4.2 Vidange du circuit d'eau 7.4.3 Conditionnement de la pompe pour expédition 38 38 39 40 40 41 41 41 8 Mise hors service 8.1 Immobilisation prolongée 8.2 Remise en service 8.3 Mise au rebut 43 43 43 43 9 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 45 10 Accessoires 47 11 Pièces de rechange 48 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités 12.2 Caractéristiques techniques 12.3 Caractéristiques environnementales 12.4 Caractéristiques de l'eau de refroidissement 12.5 Caractéristiques de l'azote 12.6 Caractéristiques électriques 12.7 Dimensions et poids 49 49 49 51 51 52 52 52 Déclaration de Conformité UK 56 Déclaration de conformité CE 57 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Charges transmises à l'équipement Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration) Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Caractéristiques environnementales Caractéristiques de l'eau de refroidissement Caractéristiques de l'azote Caractéristiques électriques de la pompe Caractéristiques électriques du réseau client 22 23 49 49 51 51 52 52 52 5/58 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: 6/58 Description d'une pompe ATH 2800 MT Description d'une pompe ATH 3200 M Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 2800 M-MT / 3200 MMT Installation de la pompe à l'horizontale Installation, aspiration vers le haut Raccordement du circuit de refroidissement Graphe Débit de purge Dimensions ATH 2800 M Dimensions ATH 2800 MT Dimensions ATH 3200 M Dimensions ATH 3200 MT Dimensions Electrovanne de purge Dimensions Electrovanne d'entrée air Dimensions vanne d'eau 19 19 21 22 24 25 29 30 52 53 53 54 54 55 55 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 1.1.2 Documents applicables Document Référence Manuel de l'utilisateur Magpower 129056 Déclaration de conformité fournie avec ce manuel Produits concernés Ce document s'applique aux produits ayant les références suivantes : Référence Description U264xxxx U266xxxx Pompes ATH 2800 M pour applications propres U664xxxx U666xxxx Pompes ATH 2800 MT pour applications complexes U2DAxxxx U2C6xxxx Pompes ATH 3200 M pour applications propres U6C6xxxx Pompes ATH 3200 MT pour applications complexes 1.2 Conventions 1.2.1 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.2.2 Groupe cible Ce manuel de l‘utilisateur est destiné à toutes les personnes en charge du transport, de l'installation, de la mise en service/hors service, de l'utilisation, de la maintenance ou du stockage du produit. Les travaux décrits dans ce document doivent être effectués uniquement par des personnes ayant une formation technique appropriée (personnel spécialisé) ou ayant reçu une formation de Pfeiffer Vacuum. 1.2.3 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. 7/58 A propos de ce manuel Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.2.4 Etiquettes PURGE Dispositif de purge PUMP EXHAUST Refoulement de la pompe WATER MAX Pr 7 bar/101 psi Pression maximum du circuit d'eau WATER Raccordement du circuit d'eau Raccordement de la terre fonctionnelle Verrouillage du connecteur avant utilisation de la pompe. Ne pas débrancher avant arrêt de la pompe LOCK Sens de rotation du rotor de la pompe Plaque signalétique du produit (exemple) 85kg 25000rpm; M:35Vrms 834Hz 17,5A U2662100 AHY1847 2018 ATH2800M Cette étiquette indique que certains des composants internes sont sous tension et peuvent entraîner un choc électrique en cas de contact : débrancher la pompe avant toute intervention ou verrouiller/déverrouiller correctement le disjoncteur de l’équipement avant intervention sur la pompe. Cette étiquette indique que le produit ne doit pas être manipulé à la main du fait de son poids : toujours utiliser des appareils de manutention appropriés. Don’t remove the pump connector when the pump is running DO NOT TOUCH WHEN THE PUMP IS RUNNING SEE MANUAL BEFORE USE Cette étiquette signifie que l'utilisateur doit verrouiller le connecteur avant d'utiliser la pompe. Ne pas débrancher avant l'arrêt de celle-ci. Cette étiquette informe l’utilisateur des risques d’écrasement ou de coupure liés aux pièces en mouvement : éviter de s’approcher et/ou de mettre les mains à proximité des pièces en mouvement. Toute personne en charge de l’installation ou de l’utilisation doit se référer au manuel de l’utilisateur avant d’intervenir sur le produit. Une planche d’étiquettes comprenant d’autres versions linguistiques est fournie avec le produit. Il est de la responsabilité de l’installateur de positionner ces étiquettes sur le produit, à l’endroit le plus approprié et visible afin de prévenir l’opérateur des risques potentiels. 8/58 A propos de ce manuel Cette étiquette met en garde l'utilisateur contre le risque de blessure en cas de contact de la main avec une surface chaude : s'équiper de gants de protection avant toute intervention. Exposure may result in severe injury or death. Preventive maintenance must be done by trained personnel only. 1.2.5 Cette étiquette met en garde l’utilisateur contre les gaz pompés qui peuvent être dangereux, toxiques et peuvent entraîner des blessures graves ou la mort. Elle précise que toute opération de maintenance préventive doit être exécutée par un personnel compétent. Abréviations CEM Compatibilité électromagnétique Exh. Refoulement (Exhaust) EMS Arrêt d'urgence de la machine (Emergency Machine Stop) HHR Boîtier de commande déportable (Hand Held Remote) IN Aspiration (Inlet flange) LIE Limite inférieure d’explosion M Version de pompe sans système de régulation de température MT Version de pompe avec système de régulation de température Magpower Unité de commande électronique (coffret) OBC Unité de commande électronique installée sur pompe à paliers magnétiques actifs PMA Paliers magnétiques actifs TMS Système de régulation de la température (Temperature Management System) 9/58 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. AVERTISSEMENT Risque d’écrasement lors de l’élingage du produit Compte tenu du poids du produit, il existe un risque d’écrasement lors de la manutention du produit avec des appareils de levage. Le constructeur dégage toute responsabilité en cas de non-respect des consignes suivantes : ► Seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut manutentionner le produit. ► Utiliser obligatoirement les dispositifs de levage fournis et respecter les procédures décrites dans ce document. 10/58 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs. ► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique. ► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit. ► Vérifier que le produit est correctement relié au circuit d'arrêt d'urgence de l'équipement (ou installation de pompage). AVERTISSEMENT Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement. ► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O. ► Débrancher le câble secteur du réseau électrique. ► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). AVERTISSEMENT Risque de blessures graves provoquées par le détachement de la pompe lors d’un blocage du rotor En cas de fixation incorrecte de la pompe, lors d’un blocage inopiné du rotor, la pompe turbomoléculaire se désolidarise de l’équipement : l'énergie libérée projette la pompe ou des fragments de pompe dans le local, provoquant des blessures très graves voire mortelles, ainsi que des dommages matériels considérables. ► Respecter scrupuleusement les recommandations d'installation décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installation. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère. ► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant. ► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe turbomoléculaire à une pompe primaire compatible avec les gaz de procédés : le refoulement de la pompe primaire est raccordé au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation. ► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement. 11/58 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l’azote sous pression Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller l’alimentation en azote. ► Respecter la pression d’alimentation recommandée. ► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’azote avant d’intervenir sur le produit. ► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit d’azote sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). ► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation. AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l'eau sous pression Le produit utilise de l’eau sous pression comme fluide de refroidissement. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller l’alimentation en eau. ► Respecter la pression et différence de pressions recommandées. ► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’eau avant d’intervenir sur le produit. ► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit d’eau sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). ► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation. AVERTISSEMENT Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la bride de vide élevé L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages lors de la prochaine utilisation. ► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé. ► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé. ► Porter des gants de protection pendant l'installation. ► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées. ► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique. ► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de vide ouverte). AVERTISSEMENT Risques de brûlure par contact avec des surfaces chaudes Les produits sont conçus de façon à ne procurer aucun risque thermique pour la sécurité de l’opérateur. Selon les applications, les conditions d’utilisations génèrent des températures élevées nécessitant une attention particulière de la part de l’opérateur (surfaces > 65 °C). ► Respecter le signalement des surfaces chaudes repérées par l’étiquette sécurité. ► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit. ► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420. 12/58 Sécurité 2.3 Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de la sécurité de l’installation de la pompe, de l’équipement mais aussi du système de traitement des gaz. L’utilisateur et/ou l’intégrateur est responsable de l’application qui utilise le produit. Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques. L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit doit respecter les consignes de sécurité ci-dessous et conduire une analyse de risque. DANGER Danger de mort par explosion ou inflammabilité liée aux gaz pyrophoriques/inflammables Les procédés du semi-conducteur, du photovoltaïque, des écrans plats et procédés industriels peuvent utiliser des gaz pyrophoriques ou inflammables. Mélangés à des produits oxydants, ces gaz peuvent s’enflammer spontanément (gaz pyrophoriques) ou suite à un amorçage lors d’une réaction chimique non désirée (gaz inflammables). Dans le pire des cas, cela provoque un incendie, ou une explosion causant la projection de pièces métalliques et pouvant blesser gravement les personnes à proximité. ► Mener une analyse de risques afin d’évaluer les risques avant d’installer la pompe. ► Installer des systèmes de sécurité conformes aux exigences de la norme EN 50495. L’analyse de risques doit prendre en compte les gaz utilisés, les sous-produits du procédé ainsi que les composants constituant l’ensemble de l’installation. Il faut absolument éviter les situations suivantes qui présentent des risques : ● La concentration de gaz pyrophorique ou inflammable dans la plage d’inflammabilité. ● La concentration de gaz pyrophorique ou inflammable au-delà de la plage d’inflammabilité (la concentration pourrait baisser en cas de fuite et atteindre la plage d’inflammabilité). ● Le manque de dilution. ● L’accumulation de matières solides réactives au refoulement. ● L’exposition d’espèces réduites chimiquement ou d’agents réducteurs, à des oxydants. Appliquer les recommandations générales de sécurité suivantes : ● Assurer l’étanchéité sur l’installation complète. ● Éviter le mélange de gaz oxydant (air, autre…) avec les gaz pyrophoriques/inflammables. 1) ● Garantir que la concentration d’oxydant n’excède pas 60 % de la concentration maximum admissible du gaz oxydant (MOC) 2), principalement lorsque la dilution n’est pas suffisante pour atteindre les 25 % de la LIE. ● Réaliser une purge d’azote avant toute maintenance sur la ligne de pompage (ligne d’aspiration, pompe et ligne de refoulement). ● Nettoyer régulièrement la ligne de refoulement des sous-produits de réaction telles que les poussières de silicium pour éviter le colmatage et/ou l’explosion. Pour davantage d’informations concernant la sécurité liée aux gaz pyrophoriques ou inflammables, contacter notre centre de service. Pour toutes ces applications, installer sur la pompe des étiquettes pour identifier les risques (inflammabilité, explosion, toxicité, corrosion,.... etc.) et satisfaire aux exigences de SEMI S1. Ces informations doivent être ajoutées dans le manuel de l'équipement pour l'utilisateur final. 1) Référence NFPA 69-2019, § 8.3.1 chap.8 Prévention de la déflagration par réduction de la concentration de produit inflammable. 2) Référence NFPA 69-2019, § 7.7.2.5 chap.7 Prévention de la déflagration par réduction de la concentration en oxydant. 13/58 Sécurité 2.4 Précautions Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique) peut procéder à l’installation et à la maintenance décrites dans ce manuel. Nos centres de service peuvent dispenser les formations nécessaires. ► Fixer la pompe en respectant impérativement les spécifications d'installation. ► Ne pas exposer une partie du corps humain au vide. ► Respecter les prescriptions en matière de sécurité et de prévention des accidents. ► Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées. ► Ne pas retirer les obturateurs des orifices d’aspiration et de refoulement tant que le produit n’est pas raccordé à la ligne de pompage. ► Ne pas mettre sous tension un produit dont l’aspiration et le refoulement ne sont pas raccordés à la ligne de pompage. ► Avant d'intervenir sur la bride d'aspiration, attendre que le rotor soit immobilisé. ► Les canalisations et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces chaudes (> 70 °C). 2.5 Usage conforme à la destination ● ● ● ● La pompe à vide est utilisée uniquement pour générer du vide en pompant des gaz. La pompe turbomoléculaire doit être associée à une pompe primaire appropriée. La pompe est destinée à être intégrée dans un équipement industriel. La pompe doit fonctionner avec une unité de commande électronique de type Magpower Pfeiffer Vacuum. ● La pompe Version MT peut être utilisée pour le pompage de fluides à risque de condensables sous réserve que les gaz ne se condensent pas dans la pompe. Lorsque la pompe est intégrée dans un équipement industriel, elle devient un composant de l’équipement : l’intégrateur de ce composant de pompage doit prendre toutes les protections de sécurité vis à vis de l’opérateur, notamment concernant le risque avec les surfaces chaudes. 2.6 Utilisation non conforme Toute utilisation non conforme du produit entraîne l'annulation de la garantie et des droits de réclamations. Toute utilisation, même involontaire, qui diffère de celles précitées est considérée comme non conforme, en particulier : ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 14/58 Le pompage de fluides réactifs Le pompage de fluides corrosifs ou explosifs Le pompage de liquides Le pompage de solides Le pompage de poussières Le pompage de fluides à risque de condensable (Version M) Une utilisation avec débit de gaz élevé non admissible Une utilisation sous une pression de vide primaire élevée non admissible Une utilisation avec apport, par rayonnement, d'une puissance thermique excessive Une remise à l'air avec des débits élevés non admissibles Sécurité ● ● ● ● ● ● L'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel L’utilisation dans des zones à risque d'explosion L’utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression L’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants Une utilisation dans des champs magnétiques non admissibles Une mise en oeuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques. 15/58 Transport et stockage 3 Transport et stockage 3.1 Réception du produit Etat de la livraison ● S'assurer que le produit n'a subi aucun dommage pendant le transport. ● Si le produit est endommagé, aviser le transporteur et informer le constructeur. ► Maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté que nous lui avons apportée : le déballer uniquement sur son lieu d’utilisation finale. ► Conserver les obturateurs présents sur les orifices d’aspiration, de refoulement et de purge jusqu'à ce que le produit soit raccordé à la ligne de pompage. Conserver l’emballage (matériau recyclable) dans le cas où le produit doit être transporté ou stocké. 3.2 Manutention de la pompe AVERTISSEMENT Risque d’écrasement lors de l’élingage du produit Compte tenu du poids du produit, il existe un risque d’écrasement lors de la manutention du produit avec des appareils de levage. Le constructeur dégage toute responsabilité en cas de non-respect des consignes suivantes : ► Seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut manutentionner le produit. ► Utiliser obligatoirement les dispositifs de levage fournis et respecter les procédures décrites dans ce document. AVERTISSEMENT Risque d'écrasement lié au basculement du produit Bien que la conformité aux règles de sécurité de l'UE soit assurée, il convient de prendre toutes les précautions nécessaires lors des opérations de manutention, d’installation tant que la pompe n'est pas intégrée dans l'équipement. ► Ne pas positionner la pompe sur un plan incliné. ► Ne pas la pousser latéralement. ► Toujours sécuriser la pompe tant qu’elle n’est pas intégrée dans l’équipement (trous de fixation au niveau de la bride d'aspiration). 16/58 Transport et stockage 1 2 1. Sangle 2. Anneau de levage Manutention avec un palan Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la masse du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Dimensions »). 1. Utiliser les anneaux de levage installés sur le produit ou sur l'unité de commande électronique (si présente). 2. Utiliser une sangle à plusieurs brins de longueur minimum 500 mm. 3. Fixer la pompe par ses anneaux de levage et la hisser. 4. Transporter toujours la pompe turbomoléculaire à la verticale. Manutention de la pompe aspiration vers le haut Pour manutentionner la pompe « aspiration vers le haut » il est nécessaire de choisir un appareil de manutention adapté ainsi que des accessoires de fixation. 1. Raccorder la pompe au dispositif de manutention en utilisant les 2 trous M10 à l'arrière de la pompe et la hisser. 2. Transporter toujours la pompe turbomoléculaire à la verticale. 3.3 Stockage Stockage d'une pompe neuve ► Laisser en place l'enveloppe de protection. ► Laisser obligatoirement en place les obturateurs à l'aspiration, au refoulement et sur la bride de purge. ► Stocker la pompe selon les températures de stockage autorisées (voir chapitre « Caractéristiques environnementales »). ► Stocker la pompe dans un environnement propre, sec et non pollué, pour une durée maximale de 1 an. Stockage après utilisation ► Pour stocker une pompe qui a été utilisée, (voir chapitre « Immobilisation prolongée »). 17/58 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »). 4.1.1 Contenu de la livraison ● ● ● ● ● 1 pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques 1 filtre pare-éclats (installé dans la bride d'aspiration de la pompe) 2 anneaux de levage installés sur la pompe. 1 planche d'étiquettes 1 manuel de l'utilisateur et selon la configuration de commande, les composants suivants sont présents : ● ● ● ● ● 1 joint cuivre 1 électrovanne de purge 1 réducteur de flux de purge 1 lot de visserie 1 électrovanne d'entrée d'air Le boîtier de commande déportable (HHR) ne fait pas partie de la livraison. Pour commander, voir chapitre « Accessoires ». 4.1.2 Les applications des produits Le constructeur a développé une gamme de pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques actifs (PMA), avec étages de compression, de haute performance et fiables, particulièrement adaptées aux procédés de dépôt et gravure plasma, aux procédés de dépôts sur verre et d’autres applications de recherche. Ces pompes disposent d’une électronique déportée. Ces pompes sont caractérisées par leur résistance à la corrosion, leur robustesse, leur capacité de pompage de grand débit de gaz en hautes pressions, et par leur absence de maintenance. Pour obtenir des informations plus détaillées en fonction des applications, nous contacter. Vitesse de rotation La vitesse de rotation de la pompe à paliers magnétiques peut être sélectionnée et réglée entre une vitesse minimale et la vitesse nominale. Ceci rend possible l’optimisation des caractéristiques de pompage en fonction de chaque application (par exemple, pompage haute pression). Une distinction est faite entre les vitesses suivantes : ● Vitesse de rotation sélectionnée (= vitesse de Stand-by) entre la vitesse minimale et la vitesse nominale. ● Vitesse nominale définie en usine. Pompe Version M La version standard de la pompe correspond à la plupart des applications propres. Cette version de pompe ne dispose pas de système de régulation de température. Pompe Version MT Cette version de pompe est recommandée pour toute application nécessitant une température élevée de la pompe et des gaz pour éviter des condensations dans la pompe. Cette version est équipée d’un système de régulation de la température (TMS). La régulation de température est réalisée par l’électronique déportée. 18/58 Description du produit 4.2 Interface homme/machine 1 2 6 5 4 Fig. 1: 3 Description d'une pompe ATH 2800 MT 1 Filtre pare-éclats 2 Bride d'aspiration (vide élevé) 3 Purge de gaz neutre (Purge) 4 5 6 Raccordement d'eau (IN) Bride de refoulement (Pump exhaust) Connecteur de la ceinture chauffante 1 2 6 5 4 Fig. 2: 3 Description d'une pompe ATH 3200 M 1 Filtre pare-éclats 2 Bride d'aspiration (vide élevé) 3 Purge de gaz neutre (Purge) 4 5 6 Raccordement d'eau (IN) Raccordement d'eau (OUT) Bride de refoulement (Pump exhaust) 19/58 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire. Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et l'éclatement (rupture de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire. 5.1 Conditions d'installation à l'équipement AVERTISSEMENT Risque de blessures graves provoquées par le détachement de la pompe lors d’un blocage du rotor En cas de fixation incorrecte de la pompe, lors d’un blocage inopiné du rotor, la pompe turbomoléculaire se désolidarise de l’équipement : l'énergie libérée projette la pompe ou des fragments de pompe dans le local, provoquant des blessures très graves voire mortelles, ainsi que des dommages matériels considérables. ► Respecter scrupuleusement les recommandations d'installation décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installation. ► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le raccordement dans l'équipement. Le raccordement de la pompe à l’équipement doit être suffisamment rigide pour absorber l’énergie cinétique libérée par le rotor si la pompe se bloque brutalement. Pour cela, tenir compte : ● Des charges maximum pour dimensionner les dispositifs de fixation. ● De la dimension de la bride d’aspiration. ● De la qualité et du nombre de vis. ● Du type de raccordement entre la bride d’aspiration de la pompe et l’enceinte à pomper. Lorsque la pompe est raccordée selon les recommandations du constructeur, en cas d’incident générant une surpression, l’enveloppe de la pompe est capable de supporter une pression statique de 11 · 103 hPa maximum pendant 1 minute. 20/58 Installation 5.1.1 Spécifications d'installation 1 2 Turbo 3 Fig. 3: Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement 1 Chambre à vide 2 Equipement 3 Châssis Point d'ancrage sécurisé Description d’un scénario de blocage brutal L’énergie cinétique du rotor doit être absorbée par l’installation si la pompe se bloque brutalement. Les charges résultantes maximum ont été mesurées sur un banc de test en simulant la cassure du rotor en 2 morceaux, lorsque le pompe tourne à vitesse nominale. L’impact des morceaux de rotor génère les charges transitoires décrites ci-dessous. Force axiale (A) Les morceaux du rotor peuvent être éjectés par l’aspiration de la pompe et endommager la plaque de fixation de la vanne ou de toute autre partie de l’installation. Dans la mesure où l’impact est proche de la pompe, et la surface impactée est rigide, il y a création d’une importante force axiale sur l’installation. En présence d’une vanne pendulaire, ou d’un espace supérieur à 100 mm, on ne constate pas cette force axiale. Moment de flexion (B) L’impact des morceaux de rotor sur le carter de la pompe crée une force radiale sur le carter. Celle-ci engendre un moment de flexion sur l’installation dépendant de la distance du point d’impact par rapport au point d’ancrage sur l’installation. Couple (C) La décélération des morceaux de rotor engendre un couple sur le carter de pompe qui se transmet à l’installation. La valeur maximum de la force axiale et du moment de flexion apparaissent en même temps. Un délai de plusieurs millisecondes s’écoule avant l’apparition du couple maximum. 21/58 Installation 800 60 C A 700 B A 2 600 B 40 500 30 400 300 20 200 10 C 100 0 0 0 Fig. 4: Force axiale - kN 1 Couple – Flexion kN·m 50 2 4 Temps ms 6 8 Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 2800 M-MT / 3200 M-MT 1 Pompe Turbo 2 Vanne avec plaque pendulaire Caractéristiques Unité Vitesse nominale -1 Énergie Couple (C) Moment de flexion (B) Force axiale (A) 1) ATH 2800 M/MT ATH 3200 M/MT min 25000 25000 kJ 166 166 Max. kN·m 58 58 Durée ms 3 3 Délai ms 3 3 Max. kN·m 40 40 Durée ms 2 2 Délai ms 0 0 Max. kN 0 700 Durée ms 0 1 Délai ms 0 0 1) La force axiale est maximale lorsque l’aspiration de la pompe est obstruée par des pièces rigides. Il n’y a pas de charge sur l’installation en cas de faible rigidité, par exemple avec une vanne. Tab. 1: 5.1.2 Charges transmises à l'équipement Sécurisation de l'équipement et du châssis Fixation de la pompe à l’équipement Les charges maximum résultant d’un blocage brutal doivent être absorbées par les éléments de fixation de la pompe. ► Concevoir et sécuriser le châssis de la pompe de sorte qu’il supporte les charges maximum. ► Serrer impérativement les vis à la clé dynamométrique selon les couples de serrage du tableau suivant : – si le couple est faible : risque de desserrage des vis. – si le couple est fort : risque de détérioration des vis. Type de bride d'aspiration Type de vis 1) Nombre de vis 1) ATH 2800 M ATH 3200 M DN250 ISO-F DN320 ISO-F M 10 M 12 12 12 1) Type, nombre, grade et couple de serrage des vis sont imposés et obligatoires. 22/58 Installation ATH 2800 M ATH 3200 M DN250 ISO-F DN320 ISO-F 12-9 12-9 30 N·m 50 N·m Force de serrage totale 161500 N 232500 N Longueur des vis ≥ 35 mm ≥ 35 mm Type de bride d'aspiration Qualité des vis 1) Couple de serrage par vis 1) 1) Type, nombre, grade et couple de serrage des vis sont imposés et obligatoires. Tab. 2: Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration) Le constructeur recommande d’utiliser les lots de visserie prévus à cet effet (accessoires). Contacter notre centre de service. Fixation au châssis Si le châssis n’est pas conçu pour absorber les charges maximum en cas de blocage brutal, contacter notre centre de service pour le dimensionnement de votre installation. 5.2 Mise en place de la pompe AVIS Endommagement de la pompe causé par des vibrations externes Les vibrations depuis l’extérieur ou les impacts sur la pompe peuvent surcharger les paliers magnétiques, d’où un stress sur les roulements de secours. ► Évitez les mouvements latéraux et d’inclinaison de la pompe. ► Les turbulences externes doivent être compensées par une conception appropriée du système. ► Sécurisez l’enceinte à vide fournie par le client contre tout mouvement et basculement. ATTENTION Risque de chute due aux câbles ou canalisations mal fixés L’espace autour de la pompe doit être dégagé afin de ne pas encombrer le passage au risque de provoquer des chutes. ► Fixer les câbles électriques et les canalisations de pompage : les acheminer dans des goulottes. Le constructeur garantit le bon fonctionnement de la pompe lorsqu’elle est utilisée dans un champ magnétique uniforme n’excédant pas 0,5 mT. Pour des valeurs comprises entre 0,5 et 5 mT, le bon fonctionnement dépendra du refroidissement et de la charge des gaz. Au-delà de 5 mT de champ magnétique, cela peut provoquer un échauffement du rotor. Prévoir dans ce cas les blindages nécessaires. La pompe seule peut résister à un niveau de radiation inférieur à 103 Gy. La pompe turbomoléculaire ne peut pas refouler à la pression atmosphérique, il faut la connecter à une pompe primaire. Transitoirement, elle peut démarrer sa rotation à la pression atmosphérique. La pompe turbomoléculaire peut fonctionner dans toutes les positions. IN IN IN IN 23/58 Installation Mise en place de la pompe 1. Manutentionner la pompe, (voir chapitre « Manutention de la pompe »). 2. Raccorder et sécuriser la fixation de la pompe turbomoléculaire pour garantir la sécurité du personnel et la fiabilité du fonctionnement (voir chapitre « Spécifications d'installation »). 3. Coller les étiquettes de sécurité dans la langue de l'opérateur à l'endroit le plus approprié et le plus visible sur la pompe pour avertir l'opérateur des dangers potentiels. 1 2 IN Fig. 5: Installation de la pompe à l'horizontale 1 Crochet 2 Sangle (Qté2) Mise en place à l'horizontale Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la masse du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Caractéristiques techniques » et « Dimensions »). 1. Utiliser 2 sangles homologuées EN 1492-1 à plusieurs brins pouvant supporter le poids de la pompe. 2. Utiliser des accessoires homologués pour accrocher la pompe à l'appareil de levage (par exemple, crochet avec verrou de sécurité). 3. Placer les sangles solidement autour de la pompe. 4. Positionner le crochet de l'appareil de levage à la verticale du centre de gravité. 5. Hisser la pompe et la déplacer jusqu'à son emplacement sur le châssis. 6. Maintenir la pompe suspendue tout le temps de l'installation jusqu'à la fixation de la bride de vide élevé. 24/58 Installation IN 1 Fig. 6: Installation, aspiration vers le haut 1 Table de levage (exemple) Mise en place de la pompe avec aspiration vers le haut Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la masse du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Caractéristiques techniques » et « Dimensions »). 1. Raccorder la pompe au dispositif de manutention en utilisant les trous prévus à cet effet pour éviter tout basculement de la pompe. 2. Maintenir la pompe fixée au dispositif de manutention jusqu'à la fixation de la bride de vide élevé. 5.3 Raccordement à la ligne de pompage Lorsque des matières pyrophoriques, inflammables ou toxiques sont présentes dans la pompe, cela peut engendrer des risques supplémentaires que l’exploitant doit évaluer et gérer au niveau de l’ensemble de l’installation de pompage. L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de l’installation et doit appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. DANGER Danger de mort par inflammation lors du pompage de gaz inflammables Il y a risque d'incendie provoqué par une réaction chimique non désirée (amorçage) entre des matières inflammables pompées. ► Prévoir un dispositif de détection électromécanique de la LIE dans le système d’extraction (détection possible à 25 % de la LIE) qui arrête l’alimentation de la pompe en produits chimiques lors de la détection de gaz à 25 % de la LIE pour la matière inflammable concernée. AVERTISSEMENT Risque d'écrasement et/ou de coupure au contact de pièces en mouvement La bride d’aspiration est suffisamment grande pour permettre l’introduction d'une partie du corps (un doigt, une main) : il y a risque d’écrasement par contact avec les pièces en mouvement. Les orifices d'aspiration et de refoulement sont toujours fermés à l’aide d’obturateurs. ► Attendre le raccordement à la ligne de pompage pour retirer les obturateurs. ► Attendre que la pompe soit raccordée pour mettre sous tension. 25/58 Installation Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art Les raccordements à l'aspiration et au refoulement de la pompe ne doivent pas engendrer de contraintes pouvant provoquer des fuites sur la ligne de pompage. 1. Utiliser des gants pour raccorder ou retirer la pompe de l'équipement. 2. Effectuer toujours l'installation mécanique avant le raccordement électrique. 3. Eviter d'utiliser une bride de réduction à l'aspiration. Si nécessaire nous consulter. 4. Vérifier la présence du filtre pare-éclats installé dans la bride d'aspiration. 5. Utiliser dans la ligne de pompage, à l’aspiration comme au refoulement, des accessoires dont les matériaux et l’étanchéité sont compatibles avec les gaz pompés. Consulter le catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffer-vacuum 6. Prévoir, lors du montage du circuit du vide, des accessoires pour isoler la pompe dans la ligne de pompage et faciliter la maintenance (vannes d’isolement à l’aspiration et au refoulement, purge, …). 7. Les joints toriques situés sous les obturateurs ne sont pas compatibles avec l'ensemble des applications. L'utilisateur ou l'intégrateur du produit a la responsabilité d'installer des joints compatibles avec l'application. 8. Retirer les protections qui obturent les orifices d’aspiration et de refoulement. 9. Garder les obturateurs, vis, rondelles pour les réutiliser lors du transport de la pompe. 10. Veiller à ne pas faire tomber de vis, rondelles ou autres objets dans l’aspiration de la pompe. 11. Réaliser un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage après installation de la pompe. 5.3.1 Raccordement côté aspiration AVERTISSEMENT Risques de coupures par contact avec des arêtes vives par la bride de vide élevé L’accès aux pièces ‘coupantes’ est possible par la bride d’aspiration. Les arêtes des ailettes du rotor et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes. ► Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'intervenir sur le produit. ► Toujours maintenir le filtre pare-éclats dans le carter d’aspiration, il atténue le risque de blessures. ► Toujours porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420. AVIS Risque de pollution du procédé en cas de non-respect des conditions de propreté Lorsque les pièces en contact avec le vide élevé sont sales, le temps de pompage est augmenté et le procédé est pollué. ► Utiliser des pièces et canalisations propres, sèches et dépourvues de graisse, de poussière. ► Porter des gants pour réaliser les raccordements, principalement côté vide élevé. Veiller à ce que les pièces ou enceintes raccordées à l’aspiration de nos produits supportent une dépression de 1·10-3 hPa absolue. 26/58 Installation 5.3.2 Raccordement côté refoulement AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère. ► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant. ► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe turbomoléculaire à une pompe primaire compatible avec les gaz de procédés : le refoulement de la pompe primaire est raccordé au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation. ► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement. ► Raccorder la pompe primaire recommandée (voir chapitre « Caractéristiques techniques »). ► Installer une vanne d’isolement (NF) entre la pompe turbomoléculaire et la pompe primaire. 5.4 Raccordement du circuit d'eau Pour limiter la corrosion et l’encrassement du circuit d’eau, il est recommandé de disposer d’une alimentation en eau douce traitée ou en eau industrielle non agressive ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'eau »). Si les caractéristiques de pollution solides ne sont pas respectées, installer un filtre sur l’arrivée d’eau. AVIS Dégradation du circuit de refroidissement en cas d’utilisation d’un réseau urbain non réglementaire L'utilisation d'un réseau d'eau urbain non réglementaire peut provoquer le colmatage du circuit de refroidissement par des dépôts calcaires. En conséquence le circuit de refroidissement devra être démonté pour nettoyage et maintenance. D'autre part, la présence de micro-organismes (algues), ou substances biologiques (bactéries) dans le réseau d'eau peut générer des problèmes dans le circuit de refroidissement. ► Raccorder le circuit de refroidissement à un réseau d’eau réglementaire. ► Appliquer les traitements nécessaires pour éviter la croissance de micro-organismes. Continuité du refroidissement pour le procédé Si l’arrêt du circuit d’eau génère un risque important pour le procédé, il est conseillé de commander le refroidissement de la pompe par un système externe capable de prendre le relais en cas de défaillance du circuit d’eau. AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l'eau sous pression Le produit utilise de l’eau sous pression comme fluide de refroidissement. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller l’alimentation en eau. ► Respecter la pression et différence de pressions recommandées. ► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’eau avant d’intervenir sur le produit. ► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit d’eau sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). ► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation. 27/58 Installation 5.4.1 Procédure de montage des raccords Procédure de collage et serrage des raccords filetés 1. Utiliser des raccords 1/4 NPT mâle (fourniture à la charge du client). 2. Coller les raccords avec de la colle oléo-étanche ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le filetage. 3. Serrer le raccord tout en maintenant l’embase côté pompe. Procédure de montage des raccords à simple bague Raccord utilisé pour relier les tuyaux souples entre pompe et électronique (par exemple). 1. Insérer le tuyau en butée au fond du raccord. 2. Approcher manuellement l’écrou. 3. Visser l’écrou à l’aide d’une clé plate, de 1/2 tour, tout en maintenant le corps du raccord immobile. Procédure de montage des raccords à double bagues Raccords utilisés pour relier les tuyaux rigides (acier inox., cuivre nickelé, ...). 1. Insérer le tuyau avec les bagues en butée au fond du raccord. 2. Orienter le raccord en position. 3. Approcher manuellement l’écrou. 4. Visser l’écrou à l’aide d’une clé plate, de 3/4 tour, tout en maintenant le corps du raccord immobile. 5.4.2 Raccordement de la pompe au circuit d'eau Respecter la procédure d'installation des raccords pour éviter tout risque de fuites. 28/58 Installation 1 2 Fig. 7: Raccordement du circuit de refroidissement 1 Water out 2 Water in 1. Prévoir une canalisation d'arrivée d'eau et un robinet pour ajuster le débit. 2. Connecter sur le circuit d'entrée d'eau au WATER IN et la sortie d'eau au WATER OUT du circuit d'évacuation de la pompe. 3. Vérifier qu'il n'y a aucune fuite au niveau des canalisations et connexions du circuit d'eau. 5.5 Raccordement du circuit d'azote Selon les applications, la purge de gaz neutre peut consister : ● A injecter de l'air ambiant, ou ● A injecter un gaz neutre dans la pompe. Dans ce manuel, on désignera le gaz neutre par ’azote’ qui correspond au gaz le plus utilisé. Pour davantage d’informations concernant le type de gaz de purge, contacter notre centre de service. DANGER Danger de mort par explosion lors du pompage de gaz chargés de matières pyrophoriques/ inflammables Si des quantités de matières pyrophoriques / inflammables supérieures à la LIE sont envoyées vers la pompe, il y a un risque d'explosion. ► Prévoir un débit d'azote suffisant pour abaisser la concentration en dessous de la LIE. ► Prévoir un verrouillage de l’écoulement des gaz vers la pompe en cas d’arrêt de l’alimentation en azote. AVERTISSEMENT Risque de blessure au contact de l’azote sous pression Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur. ► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller l’alimentation en azote. ► Respecter la pression d’alimentation recommandée. ► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’azote avant d’intervenir sur le produit. ► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit d’azote sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). ► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation. Pour garantir les meilleures performances, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote sec et filtré, ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote »). Purge de gaz neutre AVIS Rôle de la purge de gaz neutre Lorsque la purge de gaz neutre s’arrête, les gaz de procédé peuvent rétrodiffuser et endommager les paliers internes de la pompe. ► Maintenir la purge de gaz neutre tant que le rotor tourne pour prolonger le balayage. ► Faire débiter la purge sans excéder la valeur maximum de 1 · 103 à 1,5 · 103 hPa absolus. 29/58 Installation Débit (SCCM) 70 e5 urg 60 CC 0S M P 50 40 30 20 Pression absolue à l’aspiration (hPa) 1000 Fig. 8: 1100 1200 1300 1400 1500 Graphe Débit de purge 1 1 Réducteur de flux 50 sccm Dispositif de purge 50 sccm Le fonctionnement de cette purge est continu. Le réducteur de flux garantit un débit de 50 sccm pour une pression de 1,1 · 103 hPa. Lorsque la canalisation de gaz neutre est équipée d'un débitmètre massique, ne pas utiliser le réducteur de flux. 1. Raccorder directement l'alimentation de gaz neutre sur l'orifice PURGE équipé du réducteur de flux (voir chapitre « Accessoires »). 2. Régler la pression de gaz neutre afin d'obtenir le débit recommandé (voir le graphe Débit de purge). Electrovanne équipée d'une purge 50 sccm 1 1 Filtre à poussières 2 2 Electrovanne de purge Electrovanne équipée d'une purge 50 sccm Il s’agit d’une option disponible selon la configuration de la pompe. L'électrovanne installée sur la pompe est alimentée et pilotée par une unité de commande électronique (fournie par le client). ► Connecter l'électrovanne sur l'orifice PURGE (fixation par 4 vis fournies). Electrovanne de purge raccordée à une alimentation de gaz neutre Cette électrovanne peut être raccordée à une alimentation de gaz neutre. Le flux de purge doit être présent lorsque la pompe est en fonctionnement. Lorsque la pompe est à l'arrêt, l'électrovanne peut être fermée pour faire un test d'étanchéité de l'équipement. 1. Retirer le filtre à poussières de l'électrovanne. 2. Raccorder en lieu et place la canalisation de gaz neutre. 30/58 Installation 3. Coller le raccord avec de la colle oléo-étanche, ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le filetage. 4. Serrer le raccord en appliquant un couple de 10 N·m maximum. 5. Régler la pression de gaz neutre afin d'obtenir le débit recommandé (voir le graphe Débit de purge). 5.6 Raccordement de l'électrovanne d'entrée d'air Il s’agit d’une option disponible selon la configuration de la pompe. L’électrovanne d’entrée d’air est calibrée (débit 11 · 103 sccm) pour remettre à la pression atmosphérique le volume interne de la pompe. Son efficacité à ralentir la pompe est améliorée lorsque des vannes d’isolement sont installées à l’aspiration et au refoulement de la pompe. Cette électrovanne est alimentée et pilotée par l'unité de commande électronique. 1 2 1 Electrovanne d'entrée d'air 2 Filtre à poussières 1. Raccorder l'électrovanne sur le refoulement PUMP EXHAUST de la pompe au moyen d'accessoires de raccordement disponibles au catalogue des produits. 2. Raccorder l'électrovanne sur le connecteur de l'unité de commande électronique (voir manuel de l'unité de commande électronique). 3. Envoyer l'ordre de pilotage via l'interface de commande (liaison série, Remote ou bus de terrain). Raccordement de l'électrovanne d'entrée d'air à une alimentation de gaz neutre Pour raccorder l’électrovanne à une alimentation en gaz neutre, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote sec et filtré, ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote »). 1. Retirer le filtre à poussières de l’électrovanne. 2. Raccorder en lieu et place la canalisation de gaz neutre. 3. Coller le raccord avec de la colle oléo-étanche ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le filetage. 4. Serrer le raccord en appliquant un couple de 10 N·m maximum. 5.7 Test d'étanchéité de l'installation L'étanchéité du produit est assurée en sortie d'usine pour les conditions normales d'utilisation. L'exploitant doit préserver ce niveau d'étanchéité particulièrement lors du pompage de gaz dangereux. Pour davantage d'information concernant les tests d'étanchéité, contacter notre centre de service. 1. Réaliser un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage après installation de la pompe. 2. Vérifier régulièrement l'absence de traces de gaz pompés dans l'environnement ainsi que toute trace d'entrée d'air dans la ligne de pompage pendant le fonctionnement. 31/58 Installation 5.8 Raccordement électrique AVERTISSEMENT Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs. ► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique. ► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit. ► Vérifier que le produit est correctement relié au circuit d'arrêt d'urgence de l'équipement (ou installation de pompage). AVERTISSEMENT Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement. ► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O. ► Débrancher le câble secteur du réseau électrique. ► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). AVERTISSEMENT Risque de choc électrique au contact du connecteur secteur à la mise hors tension Certains composants comportent des condensateurs chargés à plus de 60 VDC qui restent chargés électriquement à la mise hors tension : des tensions résiduelles dues aux capacités des filtres provoquent des chocs électriques, y compris au niveau de la prise secteur. ► Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur le produit. AVIS Risque de perturbation électromagnétique Tensions et courants induisent une multitude de champs électromagnétiques et des signaux parasites. Une installation non conforme aux règles CEM perturbe les autres équipements ou plus généralement l’environnement. ► Utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces dans les environnements perturbateurs. La pompe est un produit de classe A. Dans un environnement domestique, ce produit peut provoquer des interférences radio. Dans ce cas, l'utilisateur doit prendre les mesures adéquates. Sécurité électrique Le moteur de la pompe est protégé contre les surcharges par la limitation de courant du variateur de vitesse dans l'électronique (en cas de surcharge la vitesse diminue automatiquement). Lorsqu'il existe un danger lié à un contact accidentel de liquide, de gaz ou d'éléments solides, il est nécessaire d'installer un circuit de verrouillage type arrêt d'urgence pour stopper l'alimentation de l'électronique. ► Ne pas neutraliser ces sécurités pendant l'installation, l'utilisation et la maintenance de la pompe. Lors d’un arrêt de la pompe sur défaut, l’alimentation électrique du variateur est coupée et la pompe est en sécurité. Pour remettre la pompe en service, il faut : ► Attendre l'arrêt complet de la rotation de la pompe avant de couper l’alimentation électrique. – Interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur O. ► Attendre environ 15 secondes. 32/58 Installation ► Supprimer l'origine du défaut. ► Rétablir l’alimentation électrique. – Interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur I. 5.8.1 Protection de l'installation électrique du client Protection par disjoncteur Le réseau de puissance alimentant l’équipement doit être équipé d’un disjoncteur, courbe D suivant IEC 60947-2, conforme à la législation locale et avoir un pouvoir de coupure en court-circuit d’une valeur minimum de 10 kA. Ce dispositif de protection sera placé de façon visible à une distance maximum de 7 m du produit et identifié comme dispositif de coupure du produit. Ce disjoncteur est de fourniture client : voir chapitre « Caractéristiques électriques » pour le calibre du disjoncteur réseau. Disjoncteur différentiel Pour assurer la protection des personnes en cas de défaut d’isolation, il est indispensable d’installer un disjoncteur différentiel (voir chapitre « Caractéristiques électriques »). La pompe est un appareil de classe 1 : par conséquent, elle doit impérativement être raccordée à la terre. L’installateur doit s'assurer que l’installation comporte un fil de terre correctement relié à la terre. Mise à la terre Lorsque nécessaire, l'installateur doit prévoir une double protection distincte de la protection en place. Elle est constituée soit d'une tresse non isolée, soit d’un fil vert/jaune isolé de section minimum 3 mm2 (9AWG). L'impédance entre le corps de la pompe et le point de mise à la terre de l'installation doit être < 0,1 Ohm à 25 A). ► Raccorder ce fil au moyen d’une vis M4 x 8 et une rondelle éventail sur le trou prévu à cet effet sur la pompe repéré , puis au point de mise à la terre de l’installation. Absence d'arrêt d'urgence La pompe n'est pas équipée d'un dispositif d'arrêt d'urgence EMS ni de verrouillage électrique. La pompe est conçue pour être intégrée dans un équipement possédant un dispositif d'arrêt d'urgence. ● Ce dispositif d'arrêt d'urgence doit mettre la pompe hors tension lorsqu'il est activé. Signalisation du fonctionnement en mode local Aucune signalisation du fonctionnement en mode local n'est disponible sur la pompe. ● Prévoir un dispositif pour signaler le fonctionnement en mode local lorsque la pompe n'est pas intégrée ni pilotée par l'équipement. 33/58 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Précautions préalables à l'utilisation AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère. ► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant. ► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe turbomoléculaire à une pompe primaire compatible avec les gaz de procédés : le refoulement de la pompe primaire est raccordé au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation. ► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement. AVERTISSEMENT Risque de choc électrique en cas de déconnexion électrique pendant la rotation de la pompe La pompe turbomoléculaire et son unité de commande électronique ne peuvent pas être débranchées du réseau électrique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor : l'ensemble pompe et électronique doivent être isolés du réseau électrique pour éviter tout choc électrique ! 1. Stopper la rotation de la pompe en envoyant un ordre 'Stop' sur l'interface de commande. 2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor (plusieurs minutes). 3. Couper l'alimentation électrique du réseau au niveau de l'équipement. 4. Débrancher le câble secteur. AVERTISSEMENT Risques de coupures par contact avec des arêtes vives par la bride de vide élevé L’accès aux pièces ‘coupantes’ est possible par la bride d’aspiration. Les arêtes des ailettes du rotor et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes. ► Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'intervenir sur le produit. ► Toujours maintenir le filtre pare-éclats dans le carter d’aspiration, il atténue le risque de blessures. ► Toujours porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420. Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques. L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit doit respecter les consignes de sécurité (voir chapitre « Consigne pour les matériaux pyrophoriques/inflammable »). Avant chaque mise en service : 1. Vérifier que la fixation de la pompe a bien été réalisée dans le respect des consignes de sécurité (voir chapitre « Conditions d'installation à l'équipement »). 2. Vérifier que l’aspiration de la pompe est bien raccordée à la ligne de pompage. 3. Mettre en service le circuit d’azote et le circuit d’eau. 4. Vérifier que les canalisations de refoulement ne sont pas bloquées et que toutes les vannes du système d’extraction sont ouvertes. 5. Vérifier que les vannes sont bien raccordées et alimentées, y compris la vanne de purge (si présente). La pompe turbomoléculaire fonctionne avec une unité de commande électronique type OBC ou Magpower. Se référer au manuel utilisateur de l'électronique associée. 34/58 Utilisation 6.2 Démarrage de la pompe 6.2.1 Mise sous tension ► Positionner l'interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur I : l'électronique s'initialise. 6.2.2 Démarrage du pompage Les étapes suivantes décrivent l’utilisation de la pompe quelle que soit l’interface de commande : ● ● ● ● Utilisation via HHR. Utilisation via télécommande REMOTE. Utilisation via Liaison série RS-232/RS-485. Utilisation via BUS DE TERRAIN. Schéma de montage d'une installation de pompage IN V2 V4 V1 V3 N2 Exh. V1 1) V2 1) V3 2) V4 2) Turbo P Vanne d'isolement vide primaire N2 Entrée purge de gaz neutre Vanne d'isolement vide élevé Turbo Pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques Electrovanne de purge (option) P 1) Pompe primaire Electrovanne d'entrée d'air (accessoire) 1) La fourniture, l’alimentation et le pilotage de ces composants sont de la responsabilité du client. 2) Ces électrovannes sont pilotées via l'unité de commande électronique. Procédure de démarrage du pompage Conditions initiales : Les vannes V1, V2, V3, V4 sont raccordées et pilotées par l’équipement ou l'unité de commande électronique. L’enceinte ainsi que les canalisations sont à la pression atmosphérique, la pompe primaire est arrêtée, les vannes sont fermées. 1. Mettre en service le circuit de refroidissement. 2. Envoyer un ordre ’Start’ à la pompe via l’interface de commande – La pompe primaire démarre et les vannes V1 et V2 s’ouvrent. – La pompe turbomoléculaire démarre pour atteindre la vitesse sélectionnée. 3. Selon l’application, ouvrir l’électrovanne de purge V3 (si installée et câblée). Le pompage s'effectue jusqu'à atteindre la pression d'utilisation pour l'application du client. 6.2.3 Redémarrage après un arrêt d'urgence de l'équipement L’arrêt d’urgence est géré par l’équipement dans lequel la pompe est intégrée. Après un arrêt d’urgence, pour redémarrer la pompe, il est nécessaire de : 1. S'assurer que la pompe est arrêtée (toutes les LED sont éteintes). 2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor. 3. Corriger le problème. 4. Déverrouiller le bouton d’arrêt d’urgence de l’équipement. 5. Démarrer la pompe en envoyant un ordre ‘Start’ à la pompe via l’interface de commande : la pompe redémarre à la vitesse sélectionnée. 35/58 Utilisation 6.3 Arrêt de la pompe 6.3.1 Arrêt du pompage AVIS Risque d'endommager la pompe en générant un arc électrique La pompe et son unité de commande électronique ne doivent pas être débranchées du réseau électrique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor et tant que l'ensemble n'est pas isolé du réseau électrique : un arc électrique est créé lors de l'interruption du circuit qui détériore les composants internes. 1. Stopper la rotation de la pompe en envoyant un ordre ‘Stop’ sur l'interface de commande. 2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor (plusieurs minutes). 3. Couper l'alimentation électrique du réseau au niveau de l'équipement. 4. Débrancher le câble secteur. Procédure d'arrêt Conditions initiales : les vannes V1, V2, V3, V4 sont raccordées et pilotées par l’équipement ou l'unité de commande électronique, l’enceinte ainsi que les canalisations sont sous vide, la pompe primaire fonctionne, la vanne de purge V3 est ouverte. 1. Fermer la vanne V2 pour isoler la pompe de l’enceinte à pomper. 2. Envoyer un ordre ‘Stop’ à la pompe via l’interface de commande. – La pompe ralentit. 3. Activer l’électrovanne d’entrée d’air V4 (accessoire). – L'électrovanne d'entrée d'air s'ouvre lorsque la vitesse est inférieure à 10000 min-1 4. Fermer la vanne V1 et la pompe primaire s’arrête. 5. Arrêter le circuit de refroidissement lorsque la pompe est à l'arrêt (plus de rotation du rotor). 6. Stopper la purge de gaz neutre. AVIS Rôle de la purge de gaz neutre Lorsque la purge de gaz neutre s’arrête, les gaz de procédé peuvent rétrodiffuser et endommager les paliers internes de la pompe. ► Maintenir la purge de gaz neutre tant que le rotor tourne pour prolonger le balayage. ► Faire débiter la purge sans excéder la valeur maximum de 1 · 103 à 1,5 · 103 hPa absolus. AVIS Rôle de l'électrovanne d'entrée d'air L’électrovanne d’entrée d’air est calibrée pour remettre à la pression atmosphérique le volume interne de la pompe. Son efficacité à ralentir la pompe est améliorée lorsque des vannes d’isolement sont installées à l’aspiration et au refoulement de la pompe. ► Si la pompe a été arrêtée par une entrée d’air brutale, limiter le nombre de redémarrage à 2 par heure. ► Si la pompe a été arrêtée sans entrée d’air, le nombre de redémarrage n’est pas limité. ► Nous consulter pour choisir l'électrovanne d'entrée d'air. Arrêt sur coupure secteur L'arrêt de la pompe par coupure secteur n'est pas un arrêt normal pour la pompe : ● Toujours envoyer un ordre 'Stop' via l'interface de commande et attendre la fin de la rotation de la pompe avant d'intervenir. Lorsqu’une coupure d’alimentation intervient, la suspension du rotor est assurée par l’énergie que délivre la force contre-électromotrice du moteur, ceci jusqu’à ce que la vitesse de rotation du rotor soit suffisamment basse pour qu’il se pose sur les roulements de secours sans dommage. 36/58 Utilisation Si l’alimentation revient avant que la vitesse minimum soit atteinte, la pompe reprend alors sa vitesse sans aucune perturbation. Le compteur des roulements de secours ne se décrémente pas. Dans le cas où la vitesse minimum est atteinte avant que l’alimentation secteur ne soit revenue : ● la pompe atterrit sur ses roulements de secours, ● l’unité de commande électronique s’éteint, aucun voyant n’est éclairé, ● le compteur des roulements de secours se décrémente. Reprendre ensuite la procédure de démarrage normal après le retour du courant d’alimentation secteur. 6.3.2 Mise hors tension 1. Mettre la pompe hors tension en positionnant l'interrupteur secteur de l'unité de commande sur O : – Toutes les LED de l'unité de commande électronique sont éteintes. – Attendre l'arrêt complet du rotor. 2. Débrancher le câble d'alimentation secteur de l'unité de commande électronique. 6.3.3 Arrêt prolongé Dans le cas d’un arrêt prolongé de la pompe, appliquer la procédure de mise hors service (voir chapitre « Immobilisation prolongée »). 6.4 Surveillance du fonctionnement Les messages défauts sont listés dans le manuel utilisateur de l'unité de commande électronique associée au chapitre « Dysfonctionnements ». 37/58 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Consignes de sécurité pour la maintenance DANGER Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonnement ou la mort. Aussi, avant de déconnecter la pompe, il convient d’éliminer un maximum de traces résiduelles de gaz de procédés. ► Effectuer obligatoirement un balayage de l’équipement (installation de pompage) avec un flux d'azote pendant 30 minutes : la pression et le débit d'azote doivent être identiques aux valeurs programmées pour le procédé. DANGER Risque d'empoisonnement par contact avec des substances toxiques et sous-produits générés par le procédé La pompe à vide, les composants de la ligne de pompage, les fluides d'exploitation sont contaminés par des substances toxiques, corrosives, réactives ou radioactives liées au procédé. Tout contact avec les pièces contaminées ou les sous-produits générés par le procédé présente un risque d’empoisonnement pour la santé. ► Porter les équipements de protection appropriés lors de la déconnexion pour maintenance de la pompe, ainsi que pour le remplissage ou la vidange du fluide d’exploitation. ► Bien aérer le local ou effectuer la maintenance sous hotte ventilée. ► Ne pas jeter les sous-produits/résidus au réseau usuel : faire appel à un organisme compétent pour leur destruction si nécessaire. ► Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air (obturateurs livrés avec le produit et disponibles en accessoires). AVERTISSEMENT Risques de coupures par contact avec des arêtes vives par la bride de vide élevé L’accès aux pièces ‘coupantes’ est possible par la bride d’aspiration. Les arêtes des ailettes du rotor et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes. ► Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'intervenir sur le produit. ► Toujours maintenir le filtre pare-éclats dans le carter d’aspiration, il atténue le risque de blessures. ► Toujours porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420. AVERTISSEMENT Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement. ► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O. ► Débrancher le câble secteur du réseau électrique. ► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation). AVERTISSEMENT Risque de brûlure par contact avec des surfaces chaudes La température des pièces reste élevée même après l’arrêt de la pompe. Il y a risque de brûlure par contact avec les surfaces chaudes, en particulier au niveau du refoulement de la pompe. ► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit. ► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420. 38/58 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d'intoxication en cas de fuites de gaz de procédés Lors de la déconnexion/connexion de composants dans la ligne de pompage (pompe, canalisations, vannes....) pour maintenance, l'étanchéité de l'installation est rompue : il y a un risque potentiel de fuites de gaz de procédés. ► Pendant le démontage, toujours protéger les surfaces des brides d'aspiration et de refoulement. ► Après remontage, effectuer un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage. AVIS Risque d'endommager la pompe en générant un arc électrique La pompe et son unité de commande électronique ne doivent pas être débranchées du réseau électrique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor et tant que l'ensemble n'est pas isolé du réseau électrique : un arc électrique est créé lors de l'interruption du circuit qui détériore les composants internes. 1. Stopper la rotation de la pompe en envoyant un ordre ‘Stop’ sur l'interface de commande. 2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor (plusieurs minutes). 3. Couper l'alimentation électrique du réseau au niveau de l'équipement. 4. Débrancher le câble secteur. Recommandations générales pour la maintenance ● S’assurer que le technicien de maintenance est formé aux règles de sécurité qui concernent les gaz pompés. ● Débrancher le câble secteur du produit de toute source d’énergie avant d’intervenir sur le produit. ● Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur les composants électriques. ● Attendre le refroidissement complet avant d'intervenir sur le produit. ● Les circuits pressurisés - azote et eau - sont des risques énergétiques potentiels : toujours verrouiller ces circuits (LO/TO procédure de consignation/déconsignation) avant d'intervenir sur le produit. ● Fixer les câbles électriques, les canalisations de pompage : les acheminer dans des goulottes pour éviter les chutes. ● Collecter les résidus de procédés et faire appel à un organisme compétent pour leur destruction. ● Toujours protéger les surfaces des brides d’aspiration et de refoulement. 7.2 Intervalles de maintenance Par conception, la pompe ne comporte pas de pièces d’usure et ne nécessite pas de maintenance préventive. Cependant, les roulements de secours utilisés pour protéger la pompe lors d’entrées d’air brutales, de chocs ou de coupures secteur accidentelles doivent être changés lorsque l’électronique le signale : le pourcentage du temps d’atterrissage déduit dépend du nombre et du type d’incidents. Le seuil d’alerte pour signaler la maintenance des roulements à l’opérateur est paramétrable via l’interface de commande qui pilote la pompe (HHR, liaison série, ou bus de terrain). Un compteur permet d’afficher le niveau d’usure des roulements afin de prévoir la maintenance des roulements de secours. Roulements de secours Les roulements de secours sont conçus pour résister à des atterrissages anormaux à pleine vitesse. L’usure des roulements est gérée par l’électronique qui prend en compte la vitesse de rotation et la durée de l’atterrissage. Le pourcentage initial est de 100 %. Lorsque cette valeur atteint le seuil d’alerte réglé, une alerte se déclenche : les roulements de secours doivent impérativement être remplacés. Si d’autres atterrissages se produisent, le compteur continue de décroître jusqu’à 0 %. Ces roulements doivent être remplacés par un centre de service Pfeiffer Vacuum. Rotor de la pompe La durée de vie du rotor de la pompe varie suivant les conditions de fonctionnement et les applications. Pour garantir les meilleures performances, au-delà de 5 ans de fonctionnement, contrôler l’état du rotor. Nous consulter. 39/58 Maintenance Comment nous contacter ? La révision du produit doit être réalisée par du personnel formé par le constructeur. Contacter notre centre de service le plus proche à l'adresse suivante : [email protected]. 7.3 Entretien sur site La pompe ne nécessite aucune maintenance sur le site client excepté l’entretien courant décrit dans ce manuel. Toute autre maintenance doit être réalisée par notre centre de service. ► Nettoyer les faces externes du produit à l’aide d’un chiffon propre non pelucheux et d’un produit ne détériorant pas les surfaces sérigraphiées et les étiquettes autocollantes. ► Vérifier que la canalisation de refoulement n'est pas obstruée. ► Vérifier l’état du filtre pare-éclats, le nettoyer ou le remplacer. ► Remplacer le filtre à poussières sur l’électrovanne de purge s’il est obstrué (si vanne présente). ► Procéder au remplacement des bobines d'électrovannes si celles-ci sont défectueuses. Maintenance du filtre pare-éclats La pompe est livrée avec un filtre pare-éclats installé dans la bride du carter d'aspiration de la pompe. Ce filtre protège la pompe contre l’introduction les corps étrangers provenant des enceintes. Lorsqu’il est pollué ou endommagé, il doit être remplacé. Pompes avec filtre pare-éclats clipsé IN 1 2 3 1 2 Clips Filtre pare-éclats 3 Carter d'aspiration Pour le remontage respecter les instructions suivantes : 1. Positionner le filtre pare-éclats dans la gorge du carter d’aspiration, côté bombé orienté vers l’enceinte à pomper. 2. Positionner le clips et le presser manuellement au fond de sa gorge sur toute la circonférence. 7.4 Procédure d'échange par un produit de remplacement Pour procéder à un échange standard, il est nécessaire de respecter la chronologie des étapes suivantes : 1. Déconnexion de la pompe de l’installation. 2. Vidange du circuit d’eau. 3. Conditionnement de la pompe pour expédition. 4. Déclaration de contamination. 5. Manutention de la nouvelle pompe (voir chapitre « Manutention de la pompe »). 6. Mise en place d’une nouvelle pompe (voir chapitre « Installation»). Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 45). 40/58 Maintenance 7.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation Rappel des risques et mesures de sécurité ● Observer les consignes de sécurité pour la maintenance. ● Appliquer les consignes de sécurité spécifiques conformément à la législation locale : ces informations sont disponibles auprès du service de sécurité du client. Procédure de déconnexion 1. Arrêter la pompe en envoyant un ordre 'Stop' (voir chapitre « Arrêt du pompage »). 2. Mettre la pompe hors tension en positionnant l'interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur O. 3. Déclencher le disjoncteur réseau de l’installation client. 4. Déconnecter le câble secteur au niveau du connecteur électrique. 5. Déconnecter tous les connecteurs au niveau de l'interface de commande. 6. Déconnecter l’alimentation d’azote. 7. Déconnecter le raccord WATER IN puis le raccord WATER OUT. 8. Désolidariser la pompe au niveau de la bride de vide élevé et obturer l’orifice d’aspiration avec les accessoires de raccordement étanches à l'air (accessoires). 9. Désolidariser le refoulement de la pompe et obturer l’orifice de refoulement avec les accessoires de raccordement étanches à l'air (accessoires). 10. Mettre en place les dispositifs de manutention (voir chapitre« Manutention de la pompe »). 11. Déconnecter la pompe de l'installation. 7.4.2 Vidange du circuit d'eau L'eau doit être évacuée de la pompe pour éviter le gel dans les canalisations pendant le transport. Pour cela le client doit prévoir des tuyaux flexibles et des raccords ainsi qu'un circuit d'air comprimé (pression de 2 à 5 ·103 hPa). AIR PRESSURE 1 2 3 1 Tuyau d'arrivée air comprimé 2 Tuyau de vidange 3 Récipient (capacité > 1 litre) Procédure de vidange du circuit d'eau 1. Placer un récipient en dessous des raccords. 2. Déconnecter le circuit de refroidissement au niveau des raccords WATER IN et WATER OUT. 3. Raccorder un tuyau de vidange sur l'un des raccords. 4. Raccorder le circuit d’air comprimé sur l'autre raccord. 5. Injecter de l’air comprimé jusqu’à ce que toute l’eau soit évacuée. 7.4.3 Conditionnement de la pompe pour expédition Les pompes qui doivent être expédiées seront grossièrement décontaminées puis pressurisées à l’azote. Pour décontaminer et pressuriser la pompe, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote »). De même, il est recommandé de disposer des accessoires de raccordement qui permettent de fermer la pompe de manière étanche (accessoires). 41/58 Maintenance Balayage général 1. Installer l'obturateur équipé de l'injecteur sur le raccord Purge. 2. Raccorder l'azote sur le raccord gaz prévu à cet effet. 3. Réaliser un balayage à l’azote en injectant une pression relative de 120 à 150 hPa pendant 30 minutes. 4. Stopper le flux d’azote. N2 30’ N2 Balayage purge/aspiration 1. Installer l'obturateur sur l'embout de refoulement Pump exhaust et fermer de manière étanche. 2. Réaliser un balayage à l’azote en injectant une pression relative de 120 à 150 hPa pendant 10 minutes. 3. Stopper le flux d’azote. N2 10’ N2 Pressurisation de la pompe 1. Obturer l’aspiration avec les accessoires et fermer de manière étanche. 2. Pressuriser la pompe en azote à une pression relative de 120 hPa. 3. Stopper le flux d’azote. N2 Etiquetage de la pompe 1. Coller cette étiquette sur le produit pour informer que la pompe a fonctionné sur des produits dangereux. 2. Remplir la déclaration de contamination et la joindre au produit (voir chapitre « Solutions de service »). 42/58 Exposure may result in severe injury or death. Preventive maintenance must be done by trained personnel only. Mise hors service 8 Mise hors service 8.1 Immobilisation prolongée AVIS Accumulation de gaz de procédés sur un équipement à l'arrêt Toutes les pompes de procédé sont conçues pour fonctionner en continu sur des applications de pompage de gaz de procédés et ne doivent pas être arrêtées. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie et responsabilité lorsqu’une pompe de procédé est arrêtée pour une durée prolongée pouvant provoquer la condensation des sous-produits, le dépôt de poudres et la corrosion à l’intérieur de la pompe. ► Réaliser une révision du produit avant de le remettre en service. Contacter Pfeiffer Vacuum. Après utilisation sur applications propres 1. Effectuer un balayage de l’installation avec un flux d'azote durant 30 minutes. La pression et le débit d'azote doivent être identiques aux valeurs programmées pour le procédé. 2. Vidanger le circuit d’eau. 3. Déconnecter la pompe de l’installation. 4. Obturer l’aspiration, le refoulement et l’orifice de purge avec les accessoires fournis. 5. Stocker la pompe dans un environnement propre, sec et non pollué, pour une durée maximale de 6 mois en respectant les températures de stockage. Après utilisation sur applications agressives ► Ne jamais stocker une pompe qui a été utilisée sur des applications agressives !!. Procéder à un échange standard (voir chapitre « Procédure d'échange par un produit de remplacement ») et retourner le produit auprès du centre de service (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 45). 8.2 Remise en service Pour remettre en service la pompe après un arrêt prolongé, procéder à l’installation complète de la pompe (voir chapitre « Installation », page 20). 8.3 Mise au rebut Conformément à la Directive concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques (DEEE), et à la Directive relative à la restriction des matières dangereuses (RoHS), les produits en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, utilisant des pièces détachées d’origine Pfeiffer Vacuum SAS, vendues par Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 45). Protection de l'environnement La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et prévenir de la pollution. Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés : acier, acier inoxydable, laiton, aluminium, nickel, cuivre, élastomères fluorés, PFPE, FEP, des cartes électroniques. Prendre des précautions particulières pour : 43/58 Mise hors service ● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températures, ● les composants en contact avec les produits résultant de procédés qui ont pu être contaminés. 44/58 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 9 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 45/58 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 46/58 Accessoires 10 Accessoires Accessoire Fonction Description Dimension Vanne d'isolement Cette vanne s’utilise pour maintenir le vide dans la pompe et l’isoler de la ligne de pompage. Vanne manuelle voir catalogue constructeur Réf. Filtre pareéclats Ce filtre protège la pompe contre l’aspiration de particules solides. Il s’intègre dans le carter d’aspiration. Filtre bombé en inox + clip percé (maille 8 mm) DN 250 ISO-F 121472 Filtre bombé en inox + clip percé (maille 8 mm) DN 320 ISO-F 112131 Lot visserie pour fixation pompe Ce lot comprend les accessoires de fixation de la pompe sur l'équipement par la bride d’aspiration de la pompe. Lot 12 vis CHc M10 x 35 DN 250 ISO-F 110676S Lot 24 vis CHc M12 x 45 DN 320 ISO-F 113189 Lot pressurisation de la pompe Ce lot comprend : ● le lot de pressurisation purge ● le lot de fermeture pour aspiration pompe ● les accessoires de fermeture pour le refoulement de la pompe DN 250 ISO-F 108498 Lot pressurisation purge Pour orifice de purge, obturateur équipé d'un raccord gaz 1/8" BSPT et d'un injecteur 4x6 mm. DN 16-ISO-KF A458805 Injecteur 4x6 mm DN 16-ISO-KF 106859 Obturateur DN 16-ISO-KF 1/8 BSPT A458808 Raccord droit MF 1/8" BSPT 082981 Lot de fermeture pour aspiration pompe Ce lot comprend ● un obturateur de transport, un joint torique, la visserie pour fixation sur la bride d'aspiration ● 2 anneaux de levage DN 250 ISO-F 108497 DN 320 ISO-F 114503 Accessoires de fermeture Pour le refoulement de la pompe. Anneau de centrage avec joint torique DN 40 ISO-KF 122ZRG040 Collier de serrage DN 40 ISO-KF 120BSR040 Obturateur DN 40 ISO-KF 120FBL040 Anneau de centrage avec joint torique DN 16 ISO-KF 122ZRG016 Collier de serrage DN 16 ISO-KF 120BSR016 Pour la purge Raccord 1/4 VCR 1/8 NPT 108500 Réducteur de flux Cet accessoire permet de réduire le flux de gaz de purge à 50 sccm pour certaines applications. Réducteur DN16 ISO-KF 066752S Electrovanne d'entrée d'air L'électrovanne d'entrée d'air s'utilise pour ralentir la pompe. Elle ne s'ouvre que pour une vitesse de rotation < à 10000 min-1. 24 V DC (NF) 11 slm 114280 Electrovanne de purge L'électrovanne de purge s'utilise pour protéger la pivoterie de la rétrodiffusion des gaz de process du client. 24 V DC (NF) 50 sccm 111921S Vanne d'eau Cette vanne raccorde le circuit d'arrivée d'eau au circuit de refroidissement. 24 V DC (NF) 1/8 NPT 108668 Câble Câble de l'électrovanne vanne d’entrée d’air et de purge pour pompe raccordée à l'unité de commande électronique (type Magpower). 1m A462403-010 3,5 m A462403-035 5m A462403-050 10 m A462403-100 20 m A462403-200 Obturateurs, griffes de serrage, colliers de serrage, voir catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffervacuum.com. Choisir les matériaux adaptés à l'application. 47/58 Pièces de rechange 11 48/58 Pièces de rechange Désignation Réf. Remarques Bobine 24 VDC 038066 sur électrovannes de purge et d’entrée d’air Bobine 24 VDC 108667 sur vanne d'eau Filtre à poussières 106229 sur électrovannes de purge et d’entrée d’air Caractéristiques techniques et dimensions 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum : ► Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5. ► ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puissance de pompes à vide - Description générale ». ► Pression limite : avec dôme de test et après 48 h d'étuvage. ► Débit de gaz : avec refroidissement à l'eau. ► Consommation d'eau froide : avec débit de gaz max., température de l'eau à 20 °C. ► Niveau de pression acoustique : distance par rapport à la pompe : 1 m. ► Caractéristiques mesurées sans filtre pare-éclats à l’aspiration de la pompe. mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 100 Pa 0,01 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 hPa 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 133,32 1,33 0,133 1 -3 5 -5 -3 1,33 · 10 750 -3 1 Pa = 1 N/m2 Tab. 3: Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s mbar l/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m3/s 10 1 592 7,5 sccm Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 4: 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,27 · 10 1.67 · 10-2 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 -3 -2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 12.2 Caractéristiques techniques Caractéristique ATH 2800 M ATH 2800 MT ATH 3200 M ATH 3200 MT Bride (aspiration) DN 250 ISO-F Bride (refoulement) 1) DN 40 ISO-KF / DN 50 ISO-KF (option) Embout de purge 1) DN 16 ISO-KF Vitesse de pompage N2 2150 l/s 2050 l/s 2700 l/s 2600 l/s Ar 2100 l/s 2000 l/s 2500 l/s 2400 l/s He 2200 l/s 2150 l/s 2400 l/s 2350 l/s H2 1750 l/s 1700 l/s 1800 l/s 1750 l/s 5 · 10 > 1 · 10 8 > 1 · 108 1,7 · 108 > 1 · 108 > 1 · 108 Taux de compression N2 5 · 10 Ar 1,7 · 108 7 DN 320 ISO-F 7 He 4 · 10 3 4 · 10 3 > 3 · 10 4 > 3 · 104 H2 5 · 102 5 · 102 > 1 · 103 > 1 · 103 49/58 Caractéristiques techniques et dimensions Caractéristique Flux maximum avec débit d'eau 60 l/h 2) ATH 2800 M ATH 2800 MT ATH 3200 M ATH 3200 MT N2 5000 sccm 1000 sccm 5000 sccm 1000 sccm Ar 2200 sccm 700 sccm 2200 sccm 700 sccm He > 5000 sccm > 1000 sccm > 5000 sccm > 1000 sccm H2 > 5000 sccm > 1000 sccm > 5000 sccm > 1000 sccm Pression maximale à l'aspiration 2) N2 2,1 hPa 2,1 hPa 2,1 hPa 2,1 hPa Ar 2,8 hPa 2,8 hPa 2,8 hPa 2,8 hPa Pression maximum au refoulement 3) N2 2,1 hPa 2,1 hPa 2,1 hPa 2,1 hPa Ar 2,8 hPa 2,8 hPa 2,8 hPa 2,8 hPa He 1,3 hPa 1,3 hPa 1,3 hPa 1,3 hPa H2 0,4 hPa 0,4 hPa 0,4 hPa 0,4 hPa < 6 · 10-9 hPa - < 6 · 10-9 hPa Pression limite 4) - Vitesse de rotation nominale 25000 min 417 Hz Vitesse de stand-by 15000–25000 min-1 250–417 Hz 15000–25000 min-1 250–417 Hz 15000–25000 min-1 250–417 Hz 15000–25000 min-1 250–417 Hz Température maximum d'étuvage - 75 °C - 75 °C Taux de fuites < 5 · 10-8 hPa·l/s < 5 · 10-8 hPa·l/s < 5 · 10-8 hPa·l/s < 5 · 10-8 hPa·l/s 50 sccm 50 sccm 50 sccm 50 sccm Courant de fuites maximum < 12 mA < 12 mA < 12 mA < 12 mA Puissance apparente au démarrage 7) < 1800 VA < 2100 VA < 1800 VA < 2100 VA Temps de démarrage 7) < 10 mm < 10 mm < 10 mm < 10 mm Puissance au démarrage < 1100 W < 1500 W < 1100 W < 1500 W Puissance consommée à pression limite < 130 W < 520 W < 130 W < 520 W Puissance à vitesse standby minimum < 100 W < 500 W < 100 W < 500 W Niveau de vibration (à vitesse nominale) < 0,01 µm < 0,01 µm < 0,01 µm < 0,01 µm Niveau sonore < 45 dB (A) < 45 dB (A) < 45 dB (A) < 45 dB (A) Débit de purge Tension d'alimentation -1 25000 min 417 Hz Unité de commande électronique 25000 min 417 Hz -1 25000 min-1 417 Hz 200-240 V AC 50/60 Hz 5) 6) -1 Magpower 1) Les produits qui présentent des spécificités client peuvent avoir des caractéristiques différentes. 2) Avec une pression de refoulement < 0,4 hPa, dépend des conditions externes (température, débit d’eau, température ambiante). Pour d’autres conditions, nous consulter. 3) Débit maximum réduit, pression limite au refoulement sans perte de vitesse du débit. Dépend des conditions environnementales. 4) Avec bride ISO-F (meilleure avec bride CF-F). Nous consulter. 5) Conformément aux réglementations CE, les pompes peuvent supporter une variation de tension de ± 10 %. 6) Valeur pour la pompe et l’électronique déportée de la pompe. Tout le courant de fuite ne passe pas nécessairement par le fil de terre, cela dépend de la façon dont la pompe est raccordée à la terre via l’équipement dans lequel elle est intégrée. 7) Accélération jusqu'à 90 % de la vitesse de rotation nominale, avec pression au refoulement < 0,1 hPa. La valeur dépend de l'unité de commande électronique. Valeur donnée avec le contrôleur Magpower. 50/58 Caractéristiques techniques et dimensions 12.3 Caractéristiques environnementales Caractéristiques ATH 2800 M Utilisation intérieur Altitude jusqu’à 2000 m Indice de protection de la pompe IP 42 Température ambiante de fonctionnement 1) 15 – 40 °C Température de stockage -5 – +50 °C Humidité relative maximale 80 % max. avec T ≤ 31 °C, à 50 % max. avec T ≤ 40 °C Degré de pollution niveau 2 Protection contre les surtensions transitoires 3) Catégorie II 2) ATH 2800 MT ATH 3200 M ATH 3200 MT 15 – 25 °C 15 – 40 °C 15 – 25 °C 1) Pas applicable pour la version de refroidissement d’air. Humidité relative max. de 80 % pour des températures allant jusqu’à 31 °C avec une décroissance linéaire jusqu’à 50 % d’humidité relative à 40 °C. 3) Surtensions transitoires jusqu’aux niveaux de la catégorie de surtension II. Surtensions temporaires survenant sur le réseau d’alimentation. 2) Tab. 5: Caractéristiques environnementales 12.4 Caractéristiques de l'eau de refroidissement Les caractéristiques ci-dessous concernent uniquement la pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques. Celle-ci est associée à une pompe primaire. Pour le bon fonctionnement de l’application : ► Veiller à respecter les caractéristiques les plus restrictives pour l’installation. ► Veiller à ce que l’eau en provenance de l’équipement ne gèle pas. pH 5,5 à 9 Chlorure 1) 100 à 20 ppm selon le pH Dureté < 35 °fH (degré français) < 7 milli-équivalent/L < 350 mg/L de CaCO3 (carbonate de calcium) Résidus à sec < 100 mg/L Indice de Langelier LSI = pH - pHs < 0 à 20 °C Taille des particules < 0,2 mm Chlorure (ppm) 100 50 40 20 Résistivité pH 0 5 6 7 8 9 Température d’entrée R > 1 500 Ω·cm 2) 10 15-35 °C (version M) 15-25 °C (version MT) Pression d’entrée relative < 6·103 hPa Différence de pression entrée/sortie selon débit Débit > 60 l/h 1) L’activité oxydante du chlore dépend du pH (agressivité de l’eau). La teneur en chlorures doit être située dans la zone colorisée du graphique. 2) Selon les conditions d’utilisation, nous contacter. Tab. 6: Caractéristiques de l'eau de refroidissement 51/58 Caractéristiques techniques et dimensions 12.5 Caractéristiques de l'azote Concentration H2O < 10 ppm v Concentration O2 < 5 ppm v Poussière < 1 µm Huile < 0,1 ppm v Pression absolue 1 · 103 à 1,5 · 103 hPa Tab. 7: 12.6 Caractéristiques de l'azote Caractéristiques électriques Caractéristiques du moteur triphasé ATH 2800 M/MT ATH 3200 M/MT Tension entre phases Fréquence d'alimentation Courant par phase 35 Vrms 834 Hz 17,5 A 35 Vrms 834 Hz 17,5 A Tab. 8: Caractéristiques électriques de la pompe Pouvoir de coupure en court-circuit du sectionneur 10 kA Calibre disjoncteur réseau client 16 A (pour tension 200-240 V 50/60 Hz) Disjoncteur différentiel GFI (ou RCD) type B compatible réseau électrique type T.T) 1) 30 mA 1) pour un réseau de type T.N ou I.T, appliquer une protection adéquate Tab. 9: Caractéristiques électriques du réseau client 12.7 Dimensions et poids J2 K 60 J1 Ø2 1/4 NPT 182 IN ØD 24° NW16 ISO - KF Fig. 9: 52/58 Dimensions ATH 2800 M Exh. Caractéristiques techniques et dimensions L A° 30 ° M I 45° ° ° 73 o Exh. DN40 ISO - KF E ° 203,5 24 ° 40 H 55 48,2° IN 6 Ø367 14 ØD 8 32° 56° 16 30 ° CG N g 129,5 ° 30 Fig. 10: N Dimensions ATH 2800 MT Centre de gravité Trous Ø d2 équidistants Ø d1 g o Trous taraudés M16 Ø 215mm Connecteur de la ceinture chauffante Dimensions ATH 2800 M/MT (mm) Bride aspiration E H I J1 J2 K L M D d1 d2 N A* CG DN 250 ISO-F 16 292,9 376,3 351 398 389,2 408,6 389,9 335 310 11 12 15 206,3 * en degré ATH 2800 M Poids (kg) ATH 2800 MT Poids (kg) 85 85 Ø2 60 J2 K J1 NW16 ISO - KF 24° 1/4 NPT 182 Exh. 129,5 ØD IN Fig. 11: Dimensions ATH 3200 M 53/58 Caractéristiques techniques et dimensions A° H 4 5° 55° 48,2° E 4 0° L M I o Exh. DN40 ISO - KF IN Ø367 6 CG 30 ° 56° 14 ØD 8 32° 16 13 1 203,5 73 ° g 30 N Fig. 12: N ° Dimensions ATH 3200 MT Centre de gravité Trous Ø d2 équidistants Ø d1 g o Trous taraudés M16 Ø 215mm Connecteur de la ceinture chauffante Dimensions ATH 3200 M/MT (mm) Bride aspiration E H I J1 J2 o L M D d1 d2 N A* CG DN 320 ISO-F 20 235,7 319,1 293,8 340,4 325,7 351,4 332,7 425 395 13,5 12 15 152,9 * en degré ATH 3200 M Poids (kg) ATH 3200 MT Poids (kg) 82 82 22 32 65.5 2 83.8 30 1/8 NPT 1 Fig. 13: Dimensions Electrovanne de purge 1 Raccordement sur pompe 54/58 2 Rotation possible Caractéristiques techniques et dimensions DN 40 ISO-KF 18.5 DN 40 ISO-KF 62 82 65.5 1 65 Fig. 14: Dimensions Electrovanne d'entrée air 1 Raccord femelle 1/8" NPT 15 22 18 54,7 34,2 1 15 38,7 1/8 NPT OUT 7 29,7 65,6 50,3 IN 47,7 Fig. 15: Dimensions vanne d'eau 1 Câble vanne d’eau 55/58 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques avec électronique déportée ATH 2800 M 1) ATH 2800 MT 1) ATH 3200 M 1) ATH 3200 MT1) 1) Pompe raccordée à une unité de commande électronique de type Magpower Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications appliquées : EN 1012-2/A1 : 2009 EN 61010-1/A1 : 2019 EN IEC 61000-6-2 : 2019 EN IEC 61000-3-2 : 2019 EN 61000-3-3/A1 : 2019 EN IEC 61000-6-4 : 2019 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum SAS 98, avenue de Brogny 74009 Annecy cedex France B.P. 2069 (Guillaume Kreziak) Directeur Général Annecy, le 05/06/2023 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques avec électronique déportée ATH 2800 M1) ATH 2800 MT1) ATH 3200 M1) ATH 3200 MT1) 1) Pompe raccordée à une unité de commande électronique de type Magpower Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Les objectifs de la Directive Basse Tension 2014/35/UE sont respectés conformément à l'annexe I, n°1.5.1 de la Directive Machines 2006/42/CE. Normes harmonisées et normes nationales appliquées : EN 1012-2/A1 : 2009 EN 61010-1/A1 : 2019 EN IEC 61000-6-2 : 2019 EN IEC 61000-3-2 : 2019 EN 61000-3-3/A1 : 2019 EN IEC 61000-6-4 : 2019 Le responsable de la constitution du dossier technique est M. Varennes Nicolas, Pfeiffer Vacuum SAS, 98, avenue de Brogny B.P. 2069, 74009 Annecy cedex. Signature: Pfeiffer Vacuum SAS 98, avenue de Brogny 74009 Annecy cedex France B.P. 2069 (Guillaume Kreziak) Directeur Général Annecy, le 05/06/2023 *113190* Ed 05 - Date 2023/10 - P/N:113190OFR ">
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Caractéristiques clés
- Résistance à la corrosion
- Robustesse élevée
- Capacité de pompage de grand débit de gaz en hautes pressions
- Absence de maintenance
- Versions M et MT disponibles pour différentes applications
Questions fréquemment posées
Ces pompes sont particulièrement adaptées aux procédés de dépôt et gravure plasma, aux procédés de dépôts sur verre et d’autres applications de recherche.
La version MT est équipée d’un système de régulation de la température (TMS) permettant d'éviter la condensation des gaz dans la pompe. Elle est recommandée pour les applications nécessitant une température élevée de la pompe.
En cas de fixation incorrecte, lors d’un blocage inopiné du rotor, la pompe turbomoléculaire se désolidarise de l’équipement et peut provoquer des blessures graves voire mortelles, ainsi que des dommages matériels considérables.
