MANUEL DE L’UTILISATEUR FR Traduction du manuel de l‘utilisateur HIPACE 800 M PT 0357 BFR/C (1603) Pompe turbomoléculaire Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1 2 Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1.1 Documents applicables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.2 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.2.1 Consignes de sécurité. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.2.2 Pictogrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.2.3 Instruction dans le texte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.2.4 Abréviations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.2.5 Symboles utilisés . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 2.1 2.2 2.3 2.4 3 Manutention et stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 3.1 3.2 4 4.2 4.3 2 Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 4.1.1 Types de pompes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 4.1.2 Caractéristiques de la pompe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 4.1.3 Contenu de la livraison . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 4.2.1 Refroidissement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 4.2.2 Paliers de rotor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 4.2.3 Entraînement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 5.1 5.2 6 Manutention . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 4.1 5 Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 Equipement de protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 Non conformité d’utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 Travaux préparatoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 Mise en place . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 5.2.1 Protection antisismique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14 5.2.2 Utilisation d’un pare-éclats ou une grille de protection . . . . . . . . . 14 5.2.3 Amortisseur de vibrations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14 5.3 Positions de montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15 5.4 Installation de la bride de vide élevé. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 5.4.1 Installation d’une bride ISO-K avec une bride ISO-K . . . . . . . . . . 16 5.4.2 Installation d'une bride ISO-K avec une bride ISO-F . . . . . . . . . . 17 5.4.3 Installation d’une bride ISO-F avec une bride ISO-F . . . . . . . . . . 18 5.4.4 Installation de brides CF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 5.5 Raccorderdement du côté vide primaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 5.6 Raccordements à la pompe turbomoléculaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 5.6.1 Commande électronique d’entraînement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 5.6.2 Mise à la terre . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 5.6.3 Alimentation et distribution électrique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 5.7 Raccordement accessoires. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 5.7.1 Vanne de remise à l'air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 5.7.2 Refroidissement par air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 5.7.3 Raccordement de la purge de gaz neutre. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 5.7.4 Chemise chauffante . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 5.7.5 Refroidissement à eau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 Table des matières 6.1 7 Mise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 6.1.1 Calibrage des paliers magnétiques. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 6.2 Modes d’exploitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 6.3 Description fonctionelle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 6.3.1 Utilisation avec la connexion « remote ». . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 6.3.2 Utilisation avec DCU ou HPU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 6.3.3 Exploitation avec bus de terrain . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 6.4 Surveillance de l’état de fonctionnement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 6.4.1 Surveillance de la température . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 6.4.2 Affichage du mode d’utilisation par les diodes . . . . . . . . . . . . . . . 31 6.4.3 Sollicitation des paliers de secours . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 6.4.4 État d'équilibre. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 6.5 Arrêt et remise à l’air. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 6.5.1 Arrêt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 6.5.2 Frein électrique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32 6.5.3 Exploitation avec alimentaion de secours . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32 6.5.4 Remise à l’air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32 Entretien / Remplacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34 7.1 7.2 8 Intervalles de maintenance et compétences. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34 Remplacer la commande électronique d’entraînement . . . . . . . . . . . . . . 34 7.2.1 Calibrage des paliers magnétiques. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35 7.2.2 Valeurs prédéfinies de vitesse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35 Mise hors service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 8.1 8.2 8.3 9 Immobilisation prolongée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 Remise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 Mise au rebut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37 9.1 Dépannage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37 10 Service après-vente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38 11 Pièces de rechange HiPace 800 M . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 12 Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 13 Caractéristiques techniques et dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 13.1 Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 13.2 Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 13.3 Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44 Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45 3 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. Les manuels de l’utilisateur valides sont également disponibles sur Internet sur www.pfeiffer-vacuum.com. 1.1.1 Documents applicables HiPace 800 M, suivant le modèle Manuel de l’utilisateur Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TM 700 », standard Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TM 700 PB », Profibus Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TM 700 E74 », selon Semi E74 Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TM 700 DN », DeviceNet Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TM 700 EC », EtherCAT Déclaration de conformité *Disponible également sur www.pfeiffer-vacuum.com PT 0329 BN* 1.2 Conventions 1.2.1 Consignes de sécurité PT 0354 BN* PT 0355 BN* PT 0356 BN* PT 0503 BN* Joint à ce manuel de l’utilisateur Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les niveaux de danger et informations suivants : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves. AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves. ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères. AVIS Injonction ou indication Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect peut conduire à la détérioration du produit. 4 A propos de ce manuel 1.2.2 Pictogrammes Interdiction d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de cette interdiction peut générer des accidents graves Avertissement contre le danger représenté par le symbole. Obligation d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de cette obligation peut générer des accidents graves. Informations importantes concernant le produit ou le présent document 1.2.3 Instruction dans le texte Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit. 1.2.4 1.2.5 Abréviations DCU : Display Control Unit HPU : Handheld Programming Unit TM : Contrôleur électronique d'entraînement et de paliers magnétiques de la pompe turbomoléculaire TPS : Bloc d'alimentation Symboles utilisés Les symboles suivants sont utilisés de façon récurrente dans les illustrations : Bride de vide élevé Bride de vide primaire V Bride de vide de la pompe primaire Bride d'échappement de la pompe primaire Raccordement électrique Raccordement de la purge de gaz neutre Raccordement de remise à l’air Raccordement d'eau de refroidissement 5 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes de sécurité Obligation d'informer Toute personne chargée de l'installation, du fonctionnement ou de l'entretien de la pompe à vide doit avoir lu les consignes de sécurité de ce manuel de l’utilisateur et doit les respecter. Il incombe à l'exploitant de mettre en garde l'ensemble des opérateurs contre les dangers liés à la pompe à vide, aux substances pompées ou à l'installation de pompage dans sa globalité. Installation et utilisation des accessoires Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des accessoires raccordés sont décrites en détails dans leur manuel de l’utilisateur respectif. Informations sur les numéros de référence des accessoires : voir le chapitre « Accessoires ». Utiliser uniquement des accessoires d’origine. AVIS Vérification du système de sécurité contre les survitesses Afin d'assurer le fonctionnement du système de sécurité intégré contre les survitesses, la pompe doit être redémarrée au moins une fois par an. Arrêter la pompe et attendez l'arrêt complet (vitesse de rotation = 0 Hz). Démarrer la pompe en marche conformément au instructions de ce manuel. AVERTISSEMENT Risque lié à une installation électrique non conforme La sécurité du fonctionnement après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant. Ne procédez à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative. Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité. Pour toute demande spécifique, contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger en cas d'absence de dispositif de sectionnement La pompe et la commande électronique d'entraînement ne sont pas équipées d'un dispositif de sectionnement. L'installation d'un dispositif de sectionnement selon SEMI-S2 est à la charge de l'exploitant. Prévoir un disjoncteur ayant un pouvoir de coupure d'au moins 10 000 A. AVERTISSEMENT Risque d'électrocution En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension. Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour pouvoir défaire le branchement à tout moment. ● N'exposez aucune partie du corps au vide. ● Respectez toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des risques. ● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées. ● Alimentation électrique : L'alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire doit répondre aux exigences de double isolation entre la tension d'entrée du secteur et la tension de fonctionnement selon CEI 61010 et CEI 60950. Pfeiffer Vacuum re6 Sécurité commande à cet effet d'utiliser des blocs d’alimentation électrique et accessoires d'origine. Dans ce cas uniquement, Pfeiffer Vacuum peut garantir la confomité aux exigences des directives européennes et nord-américaines. ● Un raccord avec le conducteur de protection (PE) est recommandé (classe de protection III). ● Pendant le fonctionnement, ne pas desserrer ou retirer les connecteurs. ● Avant d'effectuer tous travaux sur la bride de vide élevé, attendez que le rotor se soit immobilisé. ● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces chaudes (> 70 °C). ● Ne remplissez et ne faites jamais fonctionner la pompe turbomoléculaire avec des détergents. ● N'utilisez jamais la pompe turbomoléculaire avec la bride de vide élevé ouverte. ● Ne pas procéder de sa propre initiative à une transformation ou à une modification de la pompe. ● Pour tout retour de la pompe turbomoléculaire, respectez les consignes d'expédition. 2.2 Equipement de protection Dans certaines situations, la manipulation de pompes à vide nécessite le port d'un équipement individuel de protection. Les exploitants ou les employeurs se doivent de mettre à disposition du personnel opérateur un équipement approprié. DANGER Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques lors des travaux de maintenance ou d'installation Les pompes à vide, les composants et les fluides d'exploitation peuvent être contaminés, en fonction du procédé, par des substances toxiques, réactives ou radioactives. Porter un équipement de protection approprié lors des travaux de maintenance, de réparation ou lors de la réinstallation des pompes. AVERTISSEMENT kg Risque de blessures dues à des chutes d'objets Lors du transport manuel des pompes à vide, il existe un risque de blessures dû aux chutes et glissements de charges. Transporter à deux mains des pompes à vide petites et moyennes. Transporter avec un engin de levage approprié les pompes à vide d'un poids > 20 kg. Porter des chaussures de sécurité avec protection des orteils conformément à la norme EN 347. ATTENTION Risque de brûlantes au contact de surfaces chaudes Les pompes à vide sont brûlantes en fonctionnement. Laisser refroidir la pompe avant d'effectuer des travaux de maintenance et de réparation. Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420. ATTENTION Risque de coupures dues à des arêtes vives Les arêtes des disques du rotor et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes. Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d’intervenir sur la pompe. Ne pas accéder à la bride de vide élevé. Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420. 7 Sécurité 2.3 Conformité d’utilisation AVIS Conformité CE La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires ! Après incorporation dans une installation et avant la mise en service, l'exploitant s’engage à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence. ● La pompe à vide ne pourra être utilisée que pour générer du vide. ● N'utilisez la pompe turbomoléculaire qu'associée à une pompe primaire appropriée. 2.4 Non conformité d’utilisation En cas d'usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté. Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui diffèrent de celles précitées, dont notamment : ● installation de la pompe avec un matériau de fixation non spécifié ● le pompage de fluides corrosifs ou explosifs ● le pompage de vapeurs condensables ● le pompage de liquides ● le pompage de poussières ● une utilisation avec débit de gaz élevé non admissible ● une utilisation sous une pression de vide primaire élevée non admissible ● une utilisation avec le mauvais mode Gaz ● une utilisation avec apport, par rayonnement, d'une puissance thermique excessive ● une utilisation dans des champs magnétiques non admissibles ● une remise à l'air avec des débits élevés non admissible ● l’utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression ● l’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants ● l’utilisation dans des zones à risque d'explosion ● une mise en œuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques ● l'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel warranty seal Sceau de fermeture Le corps de produit est scellé en usine. Tout dommage ou arrachement d’un sceau de fermeture conduit à la perte de la garantie. N'ouvrez pas le produit durant la période de garantie ! Si les applications nécessitent des intervalles d'entretien plus courts que la période de garantie, contacter le service après-vente Pfeiffer Vacuum. 8 Manutention et stockage 3 Manutention et stockage 3.1 Manutention Réutilisez le conteneur de transport de pompe à vide. – Transporter ou expédier les pompes à vide de préférence dans leur emballage d'origine. Il ne faut retirer les obturateurs de protection du côté vide élevé et du côté vide primaire qu'au moment du raccordement. Conservez les obturateurs de protection d’origine. Transportez toujours la pompe turbomoléculaire à la verticale. 3.2 Stockage Obturez les orifices des brides avec les obturateurs d'origine. Obturez les autres orifices avec les obturateurs correspondants. Stockez la pompe uniquement dans des locaux fermés, à une température comprise entre -25 et +55 °C. Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive: enfermez la pompe dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de produit de dessiccation. 9 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit 4.1.1 Types de pompes La désignation-produit renseigne sur la famille (1) à laquelle appartient la pompe, sur sa taille (2), laquelle informe sur la capacité d'aspiration de la pompe, et le cas échéant sur des caractéristiques additionelles (3). HiPace(1) 800(2)M(3) 1. Désignation de la famille 2. Désignation du modèle 3. Désignation de la spécificité 800 = Désignation du modèle néant = Version standard dans la classe afférente de U = Version inversée capacité d'aspiration C = Version gaz corrosifs HiPace P = Procédé M = Paliers magnétiques actifs T = Gestion de la température E = Haut rendement H = Haute compression I = Implantation ionique 4.1.2 Caractéristiques de la pompe Caractéristiques Bride pour vide élevé Matériaux de bride HiPace 800 M DN 200 ISO-K Aluminium DN 200 ISO-F Aluminium DN 200 CF-F Acier inoxydable Pour identifier correctement le produit lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque signalétique. D-35614 Asslar Mod.: HiPace 300 DN 100 ISO-K, 3P M.-No.: PM P03 900 Ser. -No.: --Oil: S(N2): 260 l/s 60000 1/min, 1000 Hz n,f: Weight: 6.7 kg Made in Germany Fig. 1: 4.1.3 Exemple de plaque signalétique Contenu de la livraison ● HiPace 800 M avec TM 700 et 48 V CC ± 5 % ● Vanne de remise à l'air PM Z01 291 ● Obturateurs pour les brides de vide élevé et de vide primaire ● Manuel de l’utilisateur 10 Description du produit 4.2 Fonction La pompe turbomoléculaire HiPace 800 M forme une unité avec le contrôleur électronique d'entraînement et des paliers magnétiques TM 700 (« Commande électronique d'entraînement » dans ce qui suit). Pour assurer l'alimentation électrique, il ne faut utiliser que des blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum (par ex. TPS, OPS ou DCU). 4 24 5 15.5 23 3 Fig. 2: 3 3e 4 4.2.1 510 81 3e HiPace 800 M avec TM 700 Partie inférieure de la 5 pompe 15.5 Raccordement à la terre Corps de pompe 23 Pièce intermédiaire Raccord d'eau de refroidissement Commande électronique d'entraînement TM 700 24 81 510 Vanne de remise à l'air Raccord de purge de gaz neutre Bride de vide primaire Refroidissement ● Refroidissement à eau ● Refroidissement par air (optionnel) En cas de surchauffe, la commande électronique d’entraînement réduit automatiquement la puissance absorbée. Suivant les applications et le type de HiPace, différentes variantes de refroidissement sont disponibles. 4.2.2 Paliers de rotor Pompe turbomoléculaire avec paliers magnétiques actifs ● Côté vide élevé : Paliers électromagnétiques radiaux ● Côté vide primaire : Paliers électromagnétiques radiaux et axiaux En principe, les paliers magnétiques actifs fonctionnent sans frottement et garantissant une application sous vide sans lubrifiant. Des paliers de secours type secs sont installés pour éviter des contacts entre le rotor et le stator. 4.2.3 Entraînement Commande électronique d’entraînement TM 700 11 Description du produit 4.3 Domaine d'application Les pompes HiPace 800 M doivent être installées et utilisées dans les conditions environnementales suivantes : Lieu de mise en place Type de protection admissible Classification des protections Température ambiante Humidité relative Pression de l’air Hauteur d'implantation : Degré d'encrassement Champ magnétique environnant admissible Catégorie de surtension Tension de raccordement de la commande électronique d’entraînement (en fonction de la variante) à l'abri des intempéries (dans des locaux) IP 54 III de +5 °C à +35 °C avec refroidissement à air de +5 °C à +40 °C avec refroidissement par eau 50% max. avec T 40 °C, à 80% max. avec T 31 °C 75 kPa - 106 kPa 2000 m maxi. 2 5.5 mT II 48 V CC ±5% Remarques relatives aux conditions ambiantes Les températures ambiantes autorisées indiquées sont applicables au fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à la pression de vide primaire maximale autorisée ou au débit de gaz maximal autorisé, en fonction du type de refroidissement. La pompe turbomoléculaire dispose d’une sécurité intrinsèque de sa température. ● Si la pression de vide primaire ou le débit de gaz est réduit, la pompe turbomoléculaire peut également être utilisée à des températures ambiantes superieures. ● En cas de dépassement de la température de fonctionnement maximale autorisée de la pompe turbomoléculaire, la commande électronique d’entraînement réduit d’abord la puissance et se met ensuite hors circuit si nécessaire. 12 Installation 5 Installation AVERTISSEMENT Risque d'arrachement de la pompe turbomoléculaire En cas de blocage inopiné du rotor, les couples peuvent atteindre 6500 Nm, ce qui peut entraîner la désolidarisation de la pompe turbomoléculaire si la fixation n'est pas correcte. L'énergie libérée peut projeter la pompe ou les fragments de ses parties internes dans le local. Ceci risque de provoquer des blessures très graves voire mortelles, ainsi que des dommages matériels considérables. Respecter scrupuleusement les instructions d'installation fournies dans le présent manuel de l’utilisateur. Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour l'installation. Installation et utilisation des accessoires Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des accessoires raccordés sont décrites en détails dans leur manuel de l’utilisateur respectif. Informations sur les numéros de référence des accessoires : voir le chapitre « Accessoires ». Utiliser uniquement des accessoires d’origine. 5.1 Travaux préparatoires Pour mettre la pompe en place, il faut impérativement réunir les conditions suivantes : ● les conditions ambiantes indiquées pour le domaine d’application ● En cas d'utilisation du chauffage du carter et du refroidissement à l'eau, la température au niveau de la bride de raccordement de l'enceinte à vide ne doit pas dépasser 120 °C. ● Il est interdite installer les dispositifs dans des installations qui soumettent la pompe à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques. Assurez-vous que le dispositif destiné à refroidir la pompe turbomoléculaire est suffisant. En présence de champs magnétiques > 5.5 mT, il faut prévoir un blindage antiparasite approprié. Vérifiez le lieu de mise en place et contacter le cas échéant Pfeiffer Vacuum ! La température maximale admissible du rotor équipant la pompe turbomoléculaire est de 120 °C. Si le procédé engendre des températures élevées, la puissance thermique irradiée ne doit pas dépasser 4.2 W. Installez le cas échéant des tôles de blindage appropriées (Sur demande, fourniture de spécification de conception). 5.2 Mise en place AVIS Risque de secousses externes Les secousses externes de la pompe peuvent provoquer une surcharge des paliers magnétiques et par conséquent, une sollicitation des paliers de secours. Éviter les mouvements latéraux et de bascule de la pompe. Compenser les excitations extérieures par une conception appropriée de l’installation (ex. en cas d’utilisation de vanne d’isolement). Sécurisez l'enceinte à vide côté client contre tout déplacement ou basculement. ● Lors du montage toutes les pièces soumises à un vide élevé, veillez à maintenir un niveau de propreté élevé. Les composants sales augmentent le temps de pompage. 13 Installation ● Au moment de leur installation, tous les composants de bridage doivent être secs, dépourvus de graisse et de poussière. 5.2.1 Protection antisismique Lors de tremblements de terre, les paliers de secours peuvent être sollicités. Toutes les forces produites à cette occasion sont absorbées de manière fiable par les assemblages à bride installés. Sécurisez l'enceinte de vide côté client contre tout déplacement ou basculement. VACUUM CHAMBER Fig. 3: 5.2.2 Exemple : sécurité contre le déplacement et le basculement dus à des chocs externes = raccordement de sécurité à réaliser dans chaque cas côté client. Utilisation d’un pare-éclats ou une grille de protection Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou grille de protection dans la bride de vide élevé protègent les pompes turbomoléculaires contre les corps étrangers provenant des enceintes. Cette protection réduit le débit de la pompe. Réduction de la capacité d'aspiration, en % 5.2.3 H2 He N2 Ar Pare-éclats DN 200 3 5 16 18 Grille de protection DN 200 1 1 4 5 Amortisseur de vibrations AVERTISSEMENT Risque dû à l'arrachement de la pompe turbomoléculaire avec amortisseur En cas de blocage soudain du rotor, l'amortisseur utilisé ne peut absorber aucune des forces résultantes. Il existe un risque d'arrachement de la pompe pouvant entraîner des blessures graves et des dommages matériels considérables. Prenez des mesures de sécurité appropriées pour compenser les couples pouvant apparaître. Veuillez impérativement consulter Pfeiffer Vacuum. Il est interdit de dépasser la température maximum admissible (100 °C) au niveau de l'amortisseur. 14 Installation 5.3 Positions de montage Avec l’utilisation de pompes primaires sèches les pompes HiPace de Pfeiffer Vacuum sont conçues pour le montage dans toutes les positions. Étayez ou suspendez les canalisations en amont de la pompe à vide. Les canalisations de pompage ne doivent transmettre aucune contrainte sur la pompe lorsqu’elle est ancrée. Si utilisez des pompes primaires à huile, la bride de vide primaire de la pompe turbomoléculaire doit toujours être orientée vers le bas à la verticale (± 25°), pour éviter la pollution via la conduite de vide primaire. VV Fig. 4: 25° max VV Orientation du raccord de vide primaire recommandée pour l'installation La charge axiale maximale supportable par la bride de vide élevé s'élève à 500 N (soit 50 kg). A ce titre, l'application d'une charge d'un seul côté de la bride de vide élevée n'est pas admise. 15 Installation 5.4 Installation de la bride de vide élevé En cas de blocage subit du rotor, il faut que l'installation et la bride de vide élevée absorbent les couples engendrés. Pour fixer les pompes turbomoléculaires à la bride de vide élevé, utiliser exclusivement les accessoires proposés ci-après. Les éléments d'installation des pompes turbomoléculaires sont des exécutions spéciales de Pfeiffer Vacuum. La résistance à la traction du matériau de la bride doit être d'au moins 170 N/mm2 dans tous les états de fonctionnement. Sécurisez l'enceinte de vide côté client contre tout déplacement ou basculement. DANGER Danger de mort - Fixation non autorisée Lors de la fixation des pompes sur une enceinte dotée de brides différentes de celles de la pompe, celles-ci peuvent se plier ou rompre lors du blocage brutal du rotor. Utiliser exclusivement l'ensemble de fixation Pfeiffer Vacuum valide. Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité pour l'ensemble des dommages découlant d’une fixation non autorisée. AVIS Respecter les tolérances de forme sur la contre-bride Des défauts de planéité sur la contre-bride de l’équipement client peuvent déformer le corps de pompe, ceci malgré une fixation conforme. En conséquence, l’étanchéité et les caractéristiques de la pompe seront dégradées. Ne pas dépasser des écarts de planéité de 0,05 mm max. sur toute la surface. Fixation de brides ISO Lors de la fixation des brides de vide élevé version ISO-KF ou ISO-K, en cas de blocage subit du rotor une rotation risque de se produire, même si l'installation a été correctement réalisée. ● Dans ce cas, l'étanchéité de la bride de vide élevé n'est pas compromise. 5.4.1 Installation d’une bride ISO-K avec une bride ISO-K Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés : ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation. 2) Utiliser les 10 boulons agrafes à tête bombée. 3) Serrez en croix, les boulons agrafes chacun en 3 étapes. 4) Couple de serrage : 5, 15, 25 ±2 Nm 16 Installation Installation d'une bride ISO-K avec une bride ISO-F Les assemblages possibles pour l'installation ISO-K avec bride ISO-F sont : « Boulon six pans et trou taraudé », « Goujon fileté et trou taraudé » et « Goujon fileté et perçage traversant ». Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés : ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats Boulon à six pans avec trou fileté 1.5xd Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Guider la bride à chapeau sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire. 2) Engager la bague de retenue dans la rainure sur la bride de vide élevé. 3) Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau et l'anneau de centrage sur la contre-bride comme illustré. 4) Utilisez les 12 vis à six pans à rondelle. 5) Visser le boulon à six pans de 1,5 x d dans le trou fileté. – La résistance à le matériel de bridage doit être d’au moins de 270 N/mm2 dans toutes les conditions de fonctionnement. 6) Serrez en croix, les boulons à six pans chacun en 3 étapes. 7) Couple de serrage DN 200: 5, 10, 16 ± 1 Nm Goujon fileté et trou fileté Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 2.5xd 5.4.2 1) Utilisez les 12 goujons filetés et écrous. 2) Visser les goujons filetés avec l'extrémité à visser la plus courte 2,5 x d dans les trous sur la contre-bride. 3) Guider la bride à chapeau sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire. 4) Engager la bague de retenue dans la rainure sur la bride de vide élevé. 5) Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau et l'anneau de centrage sur la contre-bride comme illustré. 6) Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes. 7) Couple de serrage DN 200: 5, 10, 16 ± 1 Nm Goujon fileté et perçage traversant Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Guider la bride à chapeau sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire. 2) Engager la bague de retenue dans la rainure sur la bride de vide élevé. 3) Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau et l'anneau de centrage sur la contre-bride comme illustré. 4) Utilisez les 12 goujons filetés et écrous. 5) Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes. 6) Couple de serrage DN 200: 5, 10, 16 ± 1 Nm 17 Installation 5.4.3 Installation d’une bride ISO-F avec une bride ISO-F Plusieurs montages sont possibles pour l’installation avec bride ISO-F : « boulon six pans et trou fileté », « goujon fileté et trou fileté » et « goujon fileté et perçage traversant ». Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés : ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats Boulon à six pans avec trou fileté 1.5xd Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation. 2) Utilisez les 12 vis à six pans à rondelle. 3) Visser le boulon à six pans de 1,5 x d dans le trou fileté. – La résistance à le matériel de bridage doit être d’au moins de 270 N/mm2 dans toutes les conditions de fonctionnement. 4) Serrez en croix, les boulons à six pans chacun en 3 étapes. 5) Couple de serrage DN 200: 10, 20, 38 ± 3 Nm Goujon fileté et trou fileté 2.5xd Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Utilisez les 12 goujons filetés et écrous. 2) Visser les goujons filetés avec l'extrémité à visser la plus courte 2,5 x d dans les trous sur la contre-bride. 3) Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation. 4) Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes. 5) Couple de serrage DN 200: 10, 20, 38 ± 3 Nm Goujon fileté et perçage traversant Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation. 2) Utilisez les 12 goujons filetés et écrous. 3) Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes. 4) Couple de serrage DN 200: 10, 20, 38 ± 3 Nm 18 Installation 5.4.4 Installation de brides CF AVIS Montage des brides CF Risque de perte d'étanchéité en cas de propreté insuffisante du joint et de la bride CF. Sécher le joint et le monter sans huile. Ne toucher les pièces qu'avec des gants. Ne pas endommager les surfaces et les arêtes. Plusieurs montages sont possibles pour l’installation avec bride CF : « boulon à six pans et perçage traversant », « goujon fileté et trou fileté » et « goujon fileté et perçage traversant ». ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● Un joint cuivre ● Une grille de protection ou un pare-éclats en option. Boulon six pans et perçage traversant 1) En cas d’utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection : insérer l’accessoire dans la bride à vide élevé de la pompe turbomoléculaire, talons de serrage orientés vers le bas. 2) Posez le joint exactement dans la gorge prévue à cet effet. 3) Relier les brides par les 24 vis six pans (M8) avec les rondelles et écrous. 4) Serrer les assemblages boulonnés selon un ordre de serrage circonférentiel. 5) Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 6) Enfin, contrôler le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en cas de fluage du matériau d'étanchéité. Goujon fileté et trou fileté 1) Visser les goujons filetés (24 pièces, M8) avec l'extrémité à visser la plus courte dans les trous sur la contre-bride. 2) En cas d’utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection : insérer l’accessoire dans la bride à vide élevé de la pompe turbomoléculaire, talons de serrage orientés vers le bas. 3) Posez le joint exactement dans la gorge prévue à cet effet. 4) Relier les brides avec les rondelles et écrous. 5) Serrer les assemblages boulonnés selon un ordre de serrage circonférentiel. 6) Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 7) Enfin, contrôler le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en cas de fluage du matériau d'étanchéité. Goujon fileté et perçage traversant 1) En cas d’utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection : insérer l’accessoire dans la bride à vide élevé de la pompe turbomoléculaire, talons de serrage orientés vers le bas. 2) Posez le joint exactement dans la gorge prévue à cet effet. 3) Relier les brides par les 24 vis six pans (M8) avec les rondelles et écrous. 4) Serrer les assemblages boulonnés selon un ordre de serrage circonférentiel. 5) Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 6) Enfin, contrôler le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en cas de fluage du matériau d'étanchéité. 19 Installation 5.5 Raccorderdement du côté vide primaire Recommandation : utiliser comme pompe primaire une pompe à vide appropriée de l’offre de Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risques sanitaires causés par des gaz toxiques Les gaz de procédé peuvent être dangereux pour la santé et/ou pour l'environnement. Vous devez canaliser l'échappement de gaz de la pompe primaire de façon fiable ! Respectez toutes les recommandations de sécurité publiées par le fabricant du gaz. 510 510.1 510.2 510.3 510a Fig. 5: Raccordement de la pompe primaire 510 Raccord de vide primaire 510a Pompe à vide primaire 510.1 Anneau de centrage 510.2 Anneau de serrage 510.3 Composants de vide AVIS Conception du raccordement du vide primaire en cas de torsion soudaine de la pompe Lors de la fixation de brides de vide élevé version ISO-KF ou ISO-K, une torsion risque de se produire - même si l'installation a été correctement réalisée - en cas de blocage subit du rotor. Réduire au minimum les masses installées directement au niveau de la pompe. Le cas échéant, raccorder directement les éléments de conduite flexibles au niveau de la pompe turbomoléculaire. En cas de jonctions rigides entre les canalisations : Installez un soufflet dans la ligne de pompage pour amortir les vibrations. Raccordez la conduite de vide primaire avec les composants de la petite bride ou avec les raccords de flexibles. Ne réduisez pas la section libre offerte par la bride de vide primaire ! Le raccordement électrique de la pompe primaire est réalise via une boîte à relais. Pour le raccordement et l'exploitation de la pompe à vide primaire, voir le manuel de l’utilisateur de cette dernière. 20 Installation Commande de la pompe à vide primaire Il est possible de commander la pompe primaire par l'intermédiaire de la commande électronique d'entraînement de la pompe turbomoléculaire avec le boîtier de relais ou le câble de raccordement dans l’offre accessoires. Voir à ce sujet le manuel de l’utilisateur de l'accessoire correspondant. 5.6 Raccordements à la pompe turbomoléculaire 5.6.1 Commande électronique d’entraînement Les pompes turbomoléculaire avec commande électronique d'entraînement sont conçues pour différents domaines d'application. Pour cela, divers panneaux de raccordement peuvent être sélectionnés. ● TM 700 en variante standard ● TM 700 PB pour raccordement à Profibus ● TM 700 E74 similaire à Semi E74 ● TM 700 DN pour raccordement à DeviceNet Des consignes détaillées concernant la fonction, la configuration et le fonctionnement avec le panneau de raccordement sont disponibles dans le manuel de l’utilisateur spécifique de la commande électronique d'entraînement concernée. 5.6.2 Mise à la terre Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d'un câble de mise à la terre approprié pour évacuer les effets parasites de l'application. M4 Fig. 6: 5.6.3 Établissement du raccordement à la terre Alimentation et distribution électrique Pour l'alimentation en tension de la commande électronique d’entraînement TM 700, seuls les blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum peuvent être utilisés (par ex. TPS 400 ou DCU 400). Des câbles de liaison sont disponibles dans l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risque d'électrocution En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension. Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour pouvoir défaire le branchement à tout moment. Veillez à ce que la tension d'alimentation de la pompe turbomoléculaire soit valide ! 21 Installation TPS / DCU Commande électronique S1 DC out PM 061 352 -T DC in Éteignez l'interrupteur S1 au niveau du bloc d'alimentation (position « 0 »). Raccorder le câble à l'aide de la prise dans le raccord « DC in » sur la commande électronique d’entraînement et fermez le verrouillage par baïonnette. Raccordez le câble à l'aide de la prise dans le raccord « DC out » et fermez le verrouillage par baïonnette. 5.7 Raccordement accessoires Il est possible de raccorder jusqu'à 4 accessoires au niveau de la commande électronique d'entraînement TM 700. Des prises M12 portant la désignation « accessory » sont disponibles à cet effet. Les raccords pour accessoires sont préconfigurés en usine. Si les accessoires ci-dessous sont raccordés à l'aide du raccord préconfiguré, ceux-ci sont immédiatement prêts à fonctionner conformément aux réglages usine. Le raccordement d'autres accessoires est possible et requiert des réglages au niveau de la commande électronique d'entraînement. 11 Y-Connector for Accessories 22 Pour raccorder deux appareils à un raccord pour accessoires, utilisez le répartiteur en Y (connecteur en Y) dans l’offre des accessoires Pfeiffer Vacuum. Raccorder de l'adaptateur au raccord coloré rouge au niveau de la TM 700. Des réglages sont possibles via les interfaces de la TM 700 (remote, RS-485, Profibus ou DeviceNet). Raccord périphérique Raccordement avec connecteur en Y Accessoire préréglé accessory A accessory A accessory B accessory B Tab. 1: 22 Acc. A sur Y-1 Acc. A sur Y-2 Acc. B sur Y-1 Acc. B sur Y-2 Refroidissement par air Pompe primaire Vanne de remise à l'air Chauffage Vue d'ensemble des accessoires préréglés en usine sur la TM 700 Installation 5.7.1 Vanne de remise à l'air La vanne de remise à l'air de Pfeiffer Vacuum sert à remettre automatiquement la pompe à l'air après une mise hors tension ou une coupure secteur. La pression d'entrée max. autorisée est de 1500 hPa absolus. 24 Fig. 7: Raccordement de la vanne de remise à l'air 24 Raccordez de l'accessoire dans le raccord correspondant au niveau de la commande électronique d’entraînement et vissez-le. La valeur prédéfinie pour la vanne de remise à l'air est « accessory B1 ». Le cas échéant, raccordez l'alimentation en gaz de ventilation (p. ex. gaz inerte) côté admission (G 1/8") de la vanne magnétique. 5.7.2 Refroidissement par air Les pompes turbomoléculaires peuvent être utilisées avec commande électronique d'entraînement TM 700 jusqu'à une température ambiante de +35 °C, lorsqu’elles sont équipées de l’option refroidissement par air. 3d 3b 3 3a 3c Fig. 8: 3 3a Raccordement du refroidissement par air Partie inférieure de la pompe Refroidissement par air 3b 3c Vis à tête BTR Vis à tête fraisée 3d Adaptateur fileté Utilisez le perçage prévu pour visser l'adaptateur fileté sur la partie inférieure de la pompe. Fixez le refroidissement par air Pfeiffer Vacuum au niveau des perçages prévus sur la pompe turbomoléculaire et de l'adaptateur fileté à l'aide de deux vis. Raccordez de l'accessoire dans le raccord correspondant au niveau de la commande électronique d’entraînement et vissez-le. La valeur prédéfinie pour le refroidissement par air est « accessory A1 ». 23 Installation 5.7.3 Raccordement de la purge de gaz neutre Pour protéger la pompe turbomoléculaire par exemple en présence de procédés comprenant de la poussière ou du débit de gaz élevé, il faut la faire marcher avec une purge de gaz neutre. L'alimentation s'effectue via une vanne de la purge de gaz neutre ou au choix avec un étranglement de la purge de gaz neutre sans commande. La commande de la vanne pour le raccord de la purge de neutre n'est pas préconfigurée dans la commande électronique d'entraînement et doit être paramétrée via les interfaces de cette dernière. La pression d'entrée max. autorisée est de 1500 hPa absolus. ● En cas d'utilisation de la pompe avec plus de 50 % du débit de gaz admissible, il faudra utiliser une purge de gaz neutre pour garantir le refroidissement du rotor. ● Le débit de purge de gaz neutre s'élève à 12-15 sccm pour la HiPace 800 M. Alimentation en purge de gaz neutre avec vanne de commande 24g 24g Fig. 9: 81 81a Raccordement de la vanne de purge de gaz neutre 24g Joint annulaire 81 Vis de fermeture 81a Vanne de purge de gaz neutre Dévissez la vis, avec son joint annulaire, hors du raccord de purge de gaz neutre. Dans le raccord de purge de gaz neutre, vissez la vanne de purge de gaz neutre avec le joint annulaire. Raccorder le câble de l'accessoire dans un raccord disponible au niveau de la TM 700 et vissez-le. Effectuez des réglages et le pilotage par les interfaces de la commande électronique d’entraînement. Installez la purge de gaz neutre (ex. gaz inerte) via un adaptateur de raccordement ou côté admission (G 1/8") de la vanne de commande. Alimentation en purge de gaz neutre sans vanne de commande Dévissez la vis, avec son joint annulaire, hors du raccord de purge de gaz neutre. Dans le raccord de purge de gaz neutre, vissez l’étranglement de purge de gaz neutre avec le joint annulaire. 5.7.4 Chemise chauffante Pour atteindre plus rapidement la pression limite, il est possible de chauffer la pompe turbomoléculaire et l’enceinte à vide. L'utilisation d'une chemise chauffante n'est possible que sur les pompes équipées avec une bride de vide élevé en acier inoxydable. La durée du chauffage dépend du niveau d'encrassement ainsi que de la pression limite à atteindre, et ne devra jamais être inférieure à 4 heures. 24 Installation AVIS Températures excessives dangereuses Des températures élevées, résultant de l’application, peuvent entraîner des températures excessives qui risquent d'endommager la pompe turbomoléculaire. En cas d'utilisation d'un chauffage du carter ou de fonctionnement avec enceintes à vide chauffées, il est impératif d'utiliser le refroidissement à l'eau. Ne pas apporter d'énergie supplémentaire dans la pompe (regardez à la p. 28, chap. 6.1) . ATTENTION Risque de brûlures Le dégazage de la pompe turbomoléculaire ou l’enceinte à vide engendre des températures élevées. Vous risquez de vous brûler au contact de pièces très chaudes, y compris après avoir éteint le chauffage du carter ! Lors de l'installation, toujours isoler, la chemise chauffante, le carter de pompe et l’enceinte à vide. Lors du dégazage, ne touchez pas la chemise chauffante, le carter de pompe et l’enceinte. ● En cas d'utilisation du chauffage du carter et du refroidissement à l'eau, la température au niveau de la bride de raccordement de l'enceinte à vide ne doit pas dépasser 120 °C. ● La température maximale admissible du rotor équipant la pompe turbomoléculaire est de 120 °C. Si le procédé engendre des températures élevées, la puissance thermique irradiée ne doit pas dépasser 4.2 W. Installez le cas échéant des tôles de blindage appropriées (Sur demande, fourniture de spécification de conception). 4d 2x H 23.1 4 4b 4a 4c Fig. 10: Raccorder la chemise chauffante 4 4a 4b Corps de pompe Chemise chauffante Vis de fixation 4c 4d Boîte à relais de chauffage Autocollant d'avertissement 23.1 Connecteur en Y M12 pour accessoires Dépliez avec précaution la chemise chauffante sur la bande de tension extérieure et glissez-la latéralement sur la partie cylindrique du corps de pompe. – Ne tordez pas les bandes chauffantes ! – La chemise chauffante doit reposer complètement sur le corps de pompe. Fixez la chemise chauffante sur le corps de pompe à l'aide de la vis de fixation. – Respectez le couple de serrage pour la vis de fixation ! Vis de fixation Couple de serrage à froid Couple de serrage pendant le chauffage Resserrez une fois après refroidissement M5 M6 6 Nm 11 Nm 7 Nm 12 Nm Tab. 2: 7 Nm 12 Nm Couples de serrage pour vis de fixation de chemises chauffantes Raccordez le câble de l'accessoire dans le raccord de la commande électronique d’entraînement correspondant et vissez-le. 25 Installation – En cas de branchement double (par ex. par une vanne de remise à l'air), utilisez un répartiteur en Y issu de l’offre accessoires. La valeur prédéfinie pour la chemise chauffante est « accessory B2 ». Assurez l'alimentation électrique de la boîte à relais conformément au manuel de l’utilisateur de l'accessoire. – Veuillez assurer une tension d'alimentation valide de la pompe primaire ! 26 Installation 5.7.5 Refroidissement à eau Les pompes turbomoléculaires HiPace 800 M avec TM 700 sont refroidies à l'eau en standard. ● En présence d'une pression primaire élevée (> 0,1 hPa) et/ou d’une utilisation avec débit de gaz important, il faudra utiliser au choix le refroidissement à l'air ou à l'eau. ● Si la température ambiante est supérieure à +35 °C, utilisez un refroidissement par eau. Exigences de l'eau de refroidissement Raccord d'eau de refroidissement Tuyaux d’alimentation d’eau Raccord fileté orientable avec système de fiches Diamètre extérieur de 8 mm Diamètre intérieur de 6 mm Qualité de l'eau de refroidissement filtrée, mécaniquement pure, visuellement claire, sans trouble, sans sédiment, chimiquement neutre 4 mg/kg 100 mg/kg 10 °dH 12,53 °e 17,8 °fH 178 ppm CaC03 10 mg/kg Teneur max. en oxygène Teneur max. en chlorure Dureté max. de l'eau Consommation max. de permanganate de potassium Teneur max. en dioxyde de carbone Teneur max. en ammoniaque Valeur pH: Surpression d'entrée max. Température de l'eau de refroidissement Consommation d'eau de refroidissement pour débit de gaz max. non détectable non détectable 7-9 6000 hPa voir « Caractéristiques techniques » voir « Caractéristiques techniques » Raccordement à un système d'eau de refroidissement 15.5c 15.5a 15.5b 15.5 Fig. 11: Raccordement de l'eau de refroidissement 15.5 Raccord de l’eau refroidissement 15.5a Arrivée d’eau 15.5b Sortie d’eau 15.5c Collecteur d'impuretés Raccordez les tuyaux souples pour l'entrée et la sortie d'eau de refroidissement en la butée respectivement dans raccord d'eau de refroidissement. Recommandation : installez un filtre à impuretés dans la ligne d’arrivée d’eau. Couple de serrage du raccord fileté orientable : 3 - 3.5 Nm. 27 Utilisation 6 Utilisation AVIS Peu d'entretien Les paliers de scours empêchent le contact entre le rotor et le stator en cas de surcharge des paliers magnétiques, les exposant ainsi à l'usure. Pour augmenter la durée de vie des paliers de secours : ne jamais provoquer de chocs sur une pompe en fonctionnement, ni des vibrations ou des changements de position, en particulier des mouvements de bascule. Évitez lors du fonctionnement les éventuelles variations de pression du côté du vide élevé ou du vide primaire. Tenez compte de la vitesse maximale de montée en pression. Ventilez la pompe uniquement par la vanne de remise à l'air fournie. N'arrêter pas la pompe en coupant l'alimentation secteur. 6.1 Mise en service En usine, les préréglages importants suivants ont été programmés fixes dans la commande électronique d’entraînement. ● Paramètre [P:027] Mode gaz : 0 = gaz lourds ● Paramètre [P:030] mode de remise à l'air : 2 = remise à l'air directe ● Paramètre [P:700] Valeur de consigne temps d'accélération : 8 min ● Paramètre [P:701] Point de commutation de la vitesse de rotation : 80 % de la vitesse nominale ● Paramètre [P:707] Valeur prédéfinie mode réglage de la vitesse : 65 % de la vitesse nominale ● Paramètre [P:708] Valeur prédéfinie puissance absorbée : 100 % ● Paramètre [P:721] Temps de remise à l’air : 3600 s En cas de refroidissement par eau : ouvrez l'arrivée de l'eau de refroidissement et contrôlez le débit. Pour l'alimentation en la purge de gaz neutre: ouvrez l'arrivée de la purge de gaz neutre et contrôlez le débit. Établissez l'alimentation électrique pour le bloc d'alimentation. AVIS Risque de destruction de la pompe par un apport d'énergie trop élevé La sollicitation simultanée par une puissance d'entraînement élevée (débit de gaz, pression de vide primaire), un rayonnement thermique élevé ou des champs magnétiques importants entraînera un échauffement incontrôlé du rotor voire la destruction de la pompe. En présence d'une conjugaison de ces sollicitations, appliquer des valeurs limites réduites. Le cas échéant, consulter Pfeiffer Vacuum. AVIS Risque de détruire la pompe En cas de mauvais mode Gaz sélectionné, le pompage des gaz avec masses moléculaires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe. Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé. Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80), contactez Pfeiffer Vacuum. 28 Utilisation 6.1.1 Calibrage des paliers magnétiques L'analyse sensorielle des paliers magnétiques déclenche, dans de rares cas, un recalibrage lors de l'activation de la commande électronique d'entraînement. L'apparition de quelques bruits de claquement métalliques réguliers n'est pas liée à l'usure des paliers de scours. 29 Utilisation 6.2 Modes d’exploitation Les modes d'exploitation suivants sont possibles : ● Utilisation avec la connexion « remote » ● Exploitation via une interface RS-485 et des appareils d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC ● Exploitation via bus de terrain 6.3 Description fonctionelle AVERTISSEMENT Danger engendré par une bride de vide élevé ouverte Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. Si la bride de vide élevée est ouverte, vous courez le risque de vous couper ; la chute d'objet entraîne un risque de destruction de la pompe. Ne mettez jamais la pompe en service avec la bride de vide élevé ouverte. 6.3.1 Utilisation avec la connexion « remote » Une commande à distance est possible via le raccord Sub-D 26 pôles portant la désignation « remote » sur la commande électronique d'entraînement. Les fonctions individuelles utilisables sont représentées par le « niveau API ». Tenez compte des documents suivants pour l'exploitation avec télécommande : ● manuel de l’utilisateur « commande électronique d'entraînement TM 700 » 6.3.2 Utilisation avec DCU ou HPU En cas d'exploitation avec un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, tenez compte des documents suivants : ● Manuel de l’utilisateur « DCU » ● Manuel de l’utilisateur « HPU » ● Manuel de l’utilisateur « commande électronique d'entraînement TM 700 » Enclenchez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé sur le bloc d'alimentation ou sur la DCU 400. Réglages sont possibles par l’interface RS-485 avec DCU, HPU ou PC. Lorsque la tension de service est appliquée, la TM 700 exécute un contrôle automatique pour vérifier la tension d'alimentation. Après que la TM 700 a exécuté un contrôle automatique avec succès, la pompe turbomoléculaire et la pompe primaire - si présente - entrent en service. 6.3.3 Exploitation avec bus de terrain Le raccordement et l'exploitation des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum dans un système de bus de terrain mis à disposition par le client est possible pour les commandes électroniques d'entraînement avec panneau de bus de terrain correspondant. Tenez compte des documents suivants pour l'exploitation avec bus de terrain : ● Manuel de l’utilisateur pour la commande électronique d'entraînement avec panneau de raccordement correspondant 30 Utilisation 6.4 Surveillance de l’état de fonctionnement 6.4.1 Surveillance de la température Une réduction de la puissance d'entraînement a lieu si la température du moteur ou du carter est excessive. Cela peut provoquer le franchissement par défaut du point de commutation de la vitesse de rotation et de ce fait, la coupure de la pompe turbomoléculaire. 6.4.2 Affichage du mode d’utilisation par les diodes Les diodes sur la platine frontale de la commande électronique d’entraînement indiquent des états de service de base de la pompe turbomoléculaire. Seules la DCU et la HPU permettent un affichage différencié entre les erreurs et les avertissements. DEL Symbole État de la DEL Verte éteinte allumée, clignotante allumée, clignotante inverse allumée, fixe Jaune Rouge Indication Signification allumée, clignotante éteinte allumée, fixe Hors tension « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation ≤ 60 min-1 « Groupe de pompage MARCHE », vitesse de rotation de consigne non atteinte « Groupe de pompage MARCHE », vitesse de rotation de consigne atteinte « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation > 60 min-1 Aucun avertissement Avertissement éteinte allumée, fixe Aucun défaut Défaut Fig. 12: Comportement et signification des DEL sur la commande électronique d'entraînement 6.4.3 Sollicitation des paliers de secours L'intensité de la sollicitation des paliers de secours agit en fonction de la gravité des frottements parasites sur le rotor en marche. La sollicitation des paliers de secours se résume en % de la sollicitation maximale possible grâce à la commande électronique d'entraînement et peut être observée par l'interface RS-485 grâce à un PC ou un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum. 6.4.4 État d'équilibre L'analyse sensorielle des paliers magnétiques contrôle en permanence l'état d'équilibre actuel du rotor. L'état d'équilibre calculé en % du balourd maximal possible du rotor est résumé par la commande électronique d'entraînement et peut être observé par l'interface RS-485 grâce à un PC ou un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum. 6.5 Arrêt et remise à l’air 6.5.1 Arrêt Après la mise hors circuit, il faut remettre la pompe à l'air pour éviter qu'elle ne soit salie par des particules refluant en provenance de la zone de vide primaire. Fermez le vide primaire : arrêtez la pompe primaire ou refermez la vanne de vide primaire. Arrêtez la pompe turbomoléculaire via l'appareil de commande ou par télécommande. Mise à l'air (possibilités voir chapitre suivant). En cas de refroidissement par eau : Fermez l'arrivée d'eau. 31 Utilisation 6.5.2 Frein électrique La pompe turbomoléculaire est équipée d'un frein électrique. Il permet un freinage rapide du rotor jusqu'à son arrêt complet. Réglages sont possibles par l’interface RS-485 avec DCU, HPU ou PC. 6.5.3 Exploitation avec alimentaion de secours AVIS Usure importante et dégâts dus à une mauvaise utilisation Les paliers magnétiques actifs nécessitent une alimentation électrique constante. En cas de coupure de courant, le moteur se transforme en générateur et alimente la commande électronique d'entraînement. En dessous d'une vitesse de rotation d'environ 6000 1 /min, l'énergie cinétique du rotor ne suffit plus pour alimenter les paliers magnétiques. La commande électronique d'entraînement s'arrête complètement. Le ralentissement progressif du rotor est perceptible au niveau des paliers de secours. N'arrêtez pas la pompe en coupant l'alimentation secteur. ● La DEL verte de la commande électronique d'entraînement indique l'état de fonctionnement actuel. ● La DEL jaune de la commande électronique d'entraînement s'allume (avertissement de « sous-tension »). 6.5.4 Remise à l’air Remise à l'air cadencée La commande électronique d'entraînement contrôle le débit de remise à l'air par les cadences de la vanne de remise à l'air. Ainsi, la pompe est toujours remise à l'air rapidement et en toute sécurité sans surcharge des paliers magnétiques. Remise à l'air avec vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum AVIS Risque d'usure ou de détérioration de la pompe Une remise à l'air incontrôlée peut engendrer une surcharge du palier magnétique et par conséquent, une sollicitation des paliers de secours. Ventilez la pompe uniquement par la vanne de remise à l'air fournie. Ne remplacez pas la vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum par d'autres dispositifs d'alimentation en air. Il est recommandé de ventiler via la vanne de remise à l’air Pfeiffer Vacuum jusqu’à une vitesse de rotation de 6000 1/min avant d’utiliser des dispositifs de remise à l'air complémentaire. Contrôlez le débit de remise à l'air maximal autorisé. Via le raccord de remise à l'air, remettez la pompe turbomoléculaire à l'air avec de l'air sec exempt d’huile ou un gaz inerte. Autorisez la remise à l'air avec la vanne de remise à l'air via les fonctions de la commande électronique d'entraînement. Réglages sont possibles par l’interface RS-485 avec DCU, HPU ou PC. Vitesse de remise à l'air Coupure du groupe de pompage Coupure secteur1) 50 % de la vitesse nominale La vanne de remise à l'air s'ouvre La vanne de remise à l'air s'ouvre pendant 3600 s (1 h, réglage-usine) pendant 3600 s (1 h, réglage-usine) 1) Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt. 32 Utilisation Consignes fondamentales pour la remise à l’air rapide Remise à l’air d'enceinte en deux étapes. Pour connaître les détails afférents aux solutions personnalisées, consultez Pfeiffer Vacuum. Remise à l'air avec une vitesse de montée en pression de max. 15 hPa/s pendant 20 secondes. – La vanne permet un débit de remise à l'air de 15 hPa/s, la choisir en fonction du volume de l'enceinte à vider. – En présence d’enceintes de petit volume, utilisez la vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum. Ensuite, remettez à l'air avec une vanne de remise supplémentaire d'une taille quelconque. 33 Entretien / Remplacement 7 Entretien / Remplacement AVERTISSEMENT Contamination des pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé. Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. AVIS Exclusion de responsabilité Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité des dégâts, perturbations de service, dommages corporels et dégâts matériels imputables à une maintenance réalisée de façon inexperte. Les recours en responsabilité et en garantie deviennent irrecevables. 7.1 Intervalles de maintenance et compétences ● Nettoyez les surfaces extérieures de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon non pelucheux, additionné d'un peu d'alcool industriel. ● Remplacez vous-même la commande électronique d'entraînement. ● Concernant tous les autres travaux d'entretien et de réparation, veuillez vous adresser à votre service après-vente Pfeiffer Vacuum compétent. 7.2 Remplacer la commande électronique d’entraînement AVIS Détériorations au niveau de la pompe et de l'entraînement Même après extinction de l'alimentation secteur, la pompe qui continue de tourner à vide fournit de l'énergie électrique. Il existe un risque de court-circuit à la masse en cas de séparation prématurée de la pompe et de la commande électronique d'entraînement. Ne débranchez jamais la commande électronique d'entraînement de la pompe tandis qu'elle se trouve reliée au secteur ou que le rotor tourne. Paramètres d'exploitation de la commande électronique d’entrainement Les pièces de rechange livrées fonctionnent avec le paramétrage d'exploitation réglé en usine. L’utilisation d’un HPU permet de stocker puis réutiliser un paramètrage existant. Réglez à nouveau les paramètres d'application modifiés. Pour cela, respectez le manuel de l’utilisateur « Commande électronique d’entrainement ». 23 52 Fig. 13: Montage / Démontage de la TM 700 34 Entretien / Remplacement 23 Commande électronique d’entraînement 52 Vis à six pans creux N'appliquez aucune contrainte mécanique á la commande électronique d'entraînement. Arrêter la pompe à vide, ramenez-la à la pression atmosphérique et laisser la refroidir. Ne débranchez la pompe de la commande électronique qu'après l'arrêt complet de la pompe et avoir coupé la tension d'alimentation. Le cas échéant, déconnectez la pompe à vide de l'installation. Dévissez de la commande électronique d'entraînement la ligne de commande de la vanne de remise à l'air. Dévissez les vis à six pans creux (3x) de la commande électronique d'entraînement. Extrayez la commande électrique d’entrainement de la pompe. Vissez une nouvelle commande électronique d'entraînement contre la pompe turbomoléculaire puis raccordez-la. – Couple de serrage: 2.5 Nm. 7.2.1 Calibrage des paliers magnétiques L'analyse sensorielle des paliers magnétiques déclenche, dans de rares cas, un recalibrage lors de l'activation de la commande électronique d'entraînement. L'apparition de quelques bruits de claquement métalliques réguliers n'est pas liée à l'usure des paliers de scours. 7.2.2 Valeurs prédéfinies de vitesse La vitesse nominale caractéristique d'une pompe turbomoléculaire est réglée en usine dans la commande électronique d'entraînement. Après un remplacement de la commande électronique d'entraînement, ou un changement pour un autre type de pompe, il faut valider la valeur de consigne prédéfinie de la vitesse nominale. Cette procédure fait partie intégrante du système de sécurité redondant permettant d’éviter les survitesses. HiPace Confirmation vitesse nominale [P:777] 300 400 / 700 / 800 1000 Hz 820 Hz Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe. 35 Mise hors service 8 Mise hors service 8.1 Immobilisation prolongée AVERTISSEMENT Contamination des pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé. Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. Si la pompe turbomoléculaire doit être immobilisée pour une durée supérieure à 1 an : Le cas échéant, déconnectez la pompe à vide de l'installation. Obturez la bride de vide élevé équipant la pompe turbomoléculaire. Faites le vide dans la pompe turbomoléculaire par le biais de la bride de vide primaire. Via le raccord de remise à l'air, remettez la pompe turbomoléculaire à l'air avec de l'air sec exempt d’huile ou un gaz inerte. Obturez les orifices des brides avec les obturateurs d'origine. Obturez les autres orifices avec les obturateurs correspondants. Posez la pompe verticale sur ses pieds en caoutchouc. Stockez la pompe uniquement dans des locaux fermés, à une température comprise entre -25 et +55 °C. Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive: enfermez la pompe dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de produit de dessiccation. 8.2 Remise en service Vérifiez si la pompe turbomoléculaire présente des salissures et si elle est humide. Nettoyez les surfaces extérieures de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon non pelucheux, additionné d'un peu d'alcool industriel. Le cas échéant, confiez le nettoyage complet de la pompe turbomoléculaire au SAV Pfeiffer Vacuum. Installer et mettre en service conformément au manuel de l’utilisateur. 8.3 Mise au rebut Les produits et leurs composants internes (composants mécaniques ou électriques, fluides d’exploitation, etc...) peuvent polluer l’environnement. Veuillez prendre les précautions nécessaires, en conformité avec la réglementation locale, pour éliminer les risques sanitaires et éviter toute pollution de l’environnement. 36 Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements Si des dysfonctionnements se produisent au niveau de la pompe, vous trouverez dans le tableau suivant des causes possibles et des instructions pour y remédier. 9.1 Dépannage Problème Causes possibles Dépannage La pompe ne démarre pas, aucune des LED de la TM 700 ne s'allume ● Alimentation électrique interrompue Vérifiez les contacts à fiches au niveau du bloc d'alimentation Vérifiez les fils d'arrivée du bloc d'alimentation Contrôlez la tension de sortie (48 V CC) au niveau du raccord « DC out » du bloc d'alimentation Contrôlez les contacts à fiches au niveau de la TM 700 Appliquez une tension de service correcte Tenez compte de la plaque signalétique Appliquez la tension de service Remplacez la TM 700 Contactez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum. Connectez les broches 1-3, 1-4 ou 1-14 au raccord distant Enfichez la contre-fiche comprise dans la livraison au niveau du raccord distant. Retirez le pont au niveau du raccord distant Retirez la contre-fiche du raccord distant. ● Tension de service incorrecte ● Aucune tension de service appliquée ● TM 700 défectueuse La pompe ne démarre pas ; la LED verte sur la TM 700 clignote ● En cas d'exploitation sans unité de commande: Broches 1-3, 1-4 ou 1-14 non connectées au raccord distant ● En cas de fonctionnement via une interface RS-485: Le pont au niveau de la broche 1-14 empêche les ordres de réglage ● En cas de fonctionnement via une inter- Mettez des paramètres [P: 010] et [P: 023] sur l’inface RS-485: paramètre de la commande terface RS-485 à "ON". électronique d’entraînement n’est pas ac- Voir pour cela le manuel de l’utilisateur de la comtivé mande électronique d’entraînement correspondant. ● Chute de tension dans le câble trop éle- Utilisez un câble approprié vée Vérifiez le fonctionnement et l'adéquation de la La pompe n'atteint pas la vitesse no- ● Pression de vide primaire trop élevée pompe primaire minale dans le temps de démarrage ● Fuite Recherchez la fuite imparti Vérifiez les joints et les fixations des brides Éliminez les défauts d'étanchéité ● Débit de gaz trop élevé Réduisez l'arrivée des gaz procédés ● Résistance mécanique du rotor, Vérifiez si les paliers de secours font du bruit Paliers de secours défectueux Vérifiez la sollicitation du paliers de secours via le raccord « RS 485 »1) Contactez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum. ● Temps de démarrage réglé trop court Réglez un temps de démarrage plus long via le raccord « RS 485 »1) Réduisez la charge thermique ● Surcharge thermique: – Garantissez une arrivée d'air suffisante – aération insuffisante – Garantissez l'arrivée d'eau de refroidissement – débit d'eau trop faible – Réduisez la pression de vide primaire – pression de vide primaire trop élevée – Adaptez les conditions ambiantes – température ambiante trop élevée La pompe n'atteint pas sa pression li- ● La pompe est encrassée Dégazer la pompe Nettoyage en cas de fort encrassement mite – Contactez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ● L’enceinte à vider, les conduites ou la Recherchez la fuite en partant de l’enceinte pompe ne sont pas étanches Éliminez les défauts d'étanchéité La diode rouge de la commande TM ● Défaut groupé Effectuez un Reset en coupant puis rallumant le secteur. 700 est allumée Reset via la broche 13 dans le raccord « remote » Affichage différencié des défauts possible via le raccord « RS 485 »1) Contactez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum. 1) Si vous ne disposez d’aucun appareil de commande Pfeiffer Vacuum, contactez le SAV Pfeiffer Vacuum. 37 Service après-vente 10 Service après-vente Pfeiffer Vacuum vous propose un service après-vente haut de gamme ! ● Maintenance / Réparation dans un ServiceCenter ou ServicePoint proche de chez vous ● Remplacement rapide par des produits d'échange standard pratiquement neufs ● Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide Informations détaillées, adresses et formulaires à l'adresse suivante : www.pfeiffer-vacuum.com (Service). Maintenance et réparation dans le centre de service Pfeiffer Vacuum Les étapes suivantes sont nécessaires pour garantir un service rapide et de qualité: Téléchargez les formulaires « Demande de service » et « Declaration de Contamination».1) Remplissez le formulaire « Demande de service » et renvoyez-le par fax ou mail à l'adresse de votre centre de service Pfeiffer Vacuum service compétent. A cet envoi, joignez la confirmation de prise en charge transmise par Pfeiffer Vacuum. Remplissez la déclaration de contamination et joignez-la obligatoirement à l'envoi. Démontez tous les accessoires. Laissez la commande électronique d'entraînement contre la pompe. Obturez les orifices des brides avec les obturateurs d'origine. Envoyez la pompe ou l'appareil dans son emballage d'origine si possible. Envoi de pompes ou appareils contaminés Les appareils contaminés (avec des substances microbiologiques, explosives ou radioactives) sont systématiquement refusés. Les « substances toxiques » sont les substances et composés chimiques cités dans la réglementation concernant les substances dangereuses. Sur les pompes contaminées et en l'absence de déclaration sur la contamination, Pfeiffer Vacuum réalise une décontamination aux frais du client. Neutralisez la pompe en réalisant un balayage avec de l'azote ou de l'air sec. Obturez toutes les ouvertures pour les rendre étanches à l'air. Conditionnez la pompe ou l'appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée. Renvoyez la pompe / l'appareil uniquement dans un conteneur de transport approprié et robuste, en respectant les conditions de transport applicables. Appareils de rechange Les appareils de rechange livrés se trouvent toujours sur le paramétrage d'exploitation standard réglé en usine. Si votre application fonctionne sur un paramétrage modifié, vous devrez régler à nouveau ces appareils sur ce paramétrage. Commandes de service après-vente Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos conditions de réparation applicables aux appareils et composants sous vide. 1) 38 Formulaires à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.com (en anglais) Pièces de rechange HiPace 800 M 11 Pièces de rechange HiPace 800 M Pos. Désignation 15.5 23 Raccord fileté orientable Commande électronique d'entraînement TM 700 Vanne de remise à l'air 24 23 Modèle Numéro de commande Remarques Pièces P 4131 007 E voir plaque signalétique PM Z01 291 Refroidissement à eau 2 dépendant du panneau de raccor- 1 dement joint annulaire inclus 1 Quantité commandée 24 15.5 Pour toute commande d'accessoires ou de pièces détachées, veuillez indiquer en plus le numéro de modèle situé sur la plaque signalétique. 39 Accessoires 12 Accessoires Désignation DN 200 ISO-K Kit de montage pour HiPace 800 M, DN 200 ISO-K, y compris le cen- PM 016 357 -T trage revêtu et les vis de serrage Kit de montage pour HiPace 800 M, DN 200 ISO-K, y compris le cen- PM 016 359 -T trage enduit, la grille de protection et de vis du support Kit de montage pour HiPace 800 M, DN 200 ISO-K, y compris le cen- PM 016 358 -T trage revêtu, protection splinter et les vis de serrage Kit de fixation pour DN 200 ISO-K sur ISO-F avec bride à chapeau, an- PM 016 960 -T neau de centrage avec revêtement, vis 6 pans Kit de fixation pour DN 200 ISO-K sur ISO-F avec bride à chapeau, an- PM 016 961 -T neau de centrage avec revêtement et pare-éclats, vis 6 pans Kit de fixation pour DN 200 ISO-K sur ISO-F avec bride à chapeau, an- PM 016 962 -T neau de centrage avec revêtement et grille de protection, vis 6 pans Kit de fixation pour DN 200 ISO-K sur ISO-F avec bride à chapeau, an- PM 016 965 -T neau de centrage avec revêtement, goujons filetés Kit de fixation pour DN 200 ISO-K sur ISO-F avec bride à chapeau, an- PM 016 966 -T neau de centrage avec revêtement et pare-éclats, goujons filetés Kit de fixation pour DN 200 ISO-K sur ISO-F avec bride à chapeau, an- PM 016 967 -T neau de centrage avec revêtement et grille de protection, goujons filetés Kit de vis hexagonales pour brides avec perçage traversant, DN 200 CF-F Kit de goujons filetés pour brides avec trou fileté, DN 200 CF-F Kit de goujons filetés pour brides avec perçage traversant, DN 200 CFF Kit de fixation pour DN 200 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert et boulons à six pans Kit de fixation pour DN 200 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, grille de protection et boulons à six pans Kit de fixation pour HiPace 1200 et HiPace 1800, DN 200 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, pare-éclats et boulons à six pans Kit de fixation pour DN 200 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert et goujons filetés Kit de fixation pour DN 200 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, grille de protection et goujons filetés Kit de fixation pour DN 200 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, pare-éclats et goujons filetés Anneau de centrage avec revêtement multifonctions, DN 200 ISO-K/-F PM 016 220 -U Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et grille de protec- PM 016 222 -U tion intégré, DN 200 ISO-K/-F Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et pare-éclats in- PM 016 221 -U tégré, DN 200 ISO-K/-F Amortisseur pour HiPace 800/1200/1800, DN 200 ISO-K/F PM 006 668 -X Grille de protection pour DN 200 CF-F Pare-éclats pour pompes turbo, DN 200 CF-F Amortisseur pour HiPace 800/1200, DN 200 CF-F Bloc d'alimentation TPS 400 pour montage mural/sur rails normalisés PM 061 343 -T Kit de fixation murale TPS 110/180/310/400 PM 061 392 -T Bloc d'alimentation TPS 401 tiroir 19" 3U PM 061 347 -T Kit de plaque frontale pour TPS 401 PM 061 396 -T Display Control Unit DCU 400 avec bloc d'alimentation PM C01 823 Display Control Unit, DCU 002 PM 061 348 -T HPU 001, Handheld Programming Unit PM 051 510 -T Ensemble d'accessoires pour HPU - Bloc d'alimentation, logiciel et PM 061 005 -T câble PC Câble de secteur et fiche UL, IEC prise de courant, 208 V CA, 3 m P 4564 309 ZF Câble de secteur et fiche UL, IEC prise de courant (droit), 115 V CA, P 4564 309 ZE 3m Câble de secteur et fiche à contact de protection, P 4564 309 ZA IEC prise de courant (droit), 230 V CA, 3 m Câble de raccordement pour HiPace avec TC 400/TM 700 pour bloc PM 061 352 -T d'alimentation TPS/DCU 310/311/400/401 40 DN 200 CF-F DN 200 ISO-F PM 016 687 -T PM 016 688 -T PM 016 736 -T PM 016 470 -T PM 016 472 -T PM 016 471 -T PM 016 475 -T PM 016 477 -T PM 016 476 -T PM 016 220 -U PM 016 222 -U PM 016 221 -U PM 006 668 -X PM 016 342 PM 016 321 PM 006 669 -X PM 061 343 -T PM 061 392 -T PM 061 347 -T PM 061 396 -T PM C01 823 PM 061 348 -T PM 051 510 -T PM 061 005 -T PM 061 343 -T PM 061 392 -T PM 061 347 -T PM 061 396 -T PM C01 823 PM 061 348 -T PM 051 510 -T PM 061 005 -T P 4564 309 ZF P 4564 309 ZE P 4564 309 ZF P 4564 309 ZE P 4564 309 ZA P 4564 309 ZA PM 061 352 -T PM 061 352 -T Accessoires Désignation DN 200 ISO-K DN 200 CF-F DN 200 ISO-F Câble adaptateur HiPace - ACP PM 071 142 -X Câble de commande pour groupes de pompage 0,7 m PM 061 675 AT Câble de rallonge pour accessoires M12 sur M12 PM 061 747 -T Connecteur en Y, blindée, M12 pour accessoires P 4723 013 Connecteur en Y, M12 pour RS-485 P 4723 010 Prise d'alimentation secteur pour TC 400/TM 700, coudée P 4723 101 Prise d'alimentation secteur TC 400/TM 700, droite P 4723 100 Adaptateur de commande à distance pour RS-485 PM 061 649 -X Raccord de bus pour RS-485 PT 348 105 -T Connecteur détachable pour RS-485 PT 348 132 -T Convertisseur USB sur RS-485 PM 061 207 -T Accouplement M12 pour RS-485 PM 061 270 -X TIC 001, convertisseur d'interfaces RS-232/RS-485 PM 051 054 -T Câble d'interface RJ 45 à M12 pour HiPace PM 051 726 -T Câble d'interface, M12 m droite/M12 m droite, 3 m PM 061 283 -T Câble d'interface, M12 m droite/ M12 m coudée, 0,7 m PM 061 791 -T Boîte à relais pour pompe primaire, 1 phase 20 A pour TC 400 et TCP PM 061 375 -T 350, connecteur M12 Boîte à relais, blindé, pour pompe primaire, 1 phase 7A pour TC 400/ PM 071 284 -X 1200, TM 700 et TCP 350, M12 TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 230 V CA PM Z01 205 TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 115 V CA PM Z01 206 Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 400/700/800 avec TC 400 PB/TM 700, 230 V CA, fiche à contact de protection Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 400/700/800 avec TC400 PB/TM 700, 208 V CA, fiche UL Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 400/700/800 avec TC 400 PB/TM 700, 115 V, fiche UL Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccord à TC PM Z01 291 400/1200 et TM 700 Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G1/8“ pour une connexion à PM Z01 292 TC 400, 1200 et TM 700 avec connecteur torsadée 270° Vanne de remise à l'air en cas de panne de courant, blindée, 24 V CC, PM Z01 331 G 1/8", pour raccordement à TC 400, TM 700 TTV 001, cartouche siccative pour la remise à l'air de pompes turbomo- PM Z00 121 léculaire Bride à vis, DN 10 ISO-KF, G 1/8" PM 033 737 -T Bride à vis, DN 16 ISO-KF, G 1/8" PM 016 780 -T Raccord instantané à vis pour tuyau 6 mm, G 1/8" PM 016 781 -T Raccord instantané à vis pour tuyau 8 mm, G 1/8" PM 016 782 -T Embout cannelé pour 9 mm tuyau, G 1/8" PM 016 783 -T Raccord d'orientation PM 016 787 -T Raccord d'orientation, petit PM 143 877 -T Refroidissement par air, blindé, pour HiPace 400/700/800 et 300/700/ PM Z01 363 800 M avec TC 400 PB/TM 700 Vanne de purge de gaz neutre, blindée, pour HiPace 300 avec TC 400 PM Z01 312 et TM 700, TCP 350 Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 300 PM Z01 317 TIC 010, adaptateur pour deux capteurs PT R70 000 IKT 010, capteur cathode froide numérique PT R72 100 IKT 011, capteur cathode froide numérique PT R73 100 RPT 010, Capteur piézo/Pirani PT R71 100 PM 071 142 -X PM 061 675 AT PM 061 747 -T P 4723 013 P 4723 010 P 4723 101 P 4723 100 PM 061 649 -X PT 348 105 -T PT 348 132 -T PM 061 207 -T PM 061 270 -X PM 051 054 -T PM 051 726 -T PM 061 283 -T PM 061 791 -T PM 061 375 -T PM 071 142 -X PM 061 675 AT PM 061 747 -T P 4723 013 P 4723 010 P 4723 101 P 4723 100 PM 061 649 -X PT 348 105 -T PT 348 132 -T PM 061 207 -T PM 061 270 -X PM 051 054 -T PM 051 726 -T PM 061 283 -T PM 061 791 -T PM 061 375 -T PM 071 284 -X PM 071 284 -X PM Z01 205 PM Z01 206 PM 071 269 -T PM Z01 205 PM Z01 206 PM 071 270 -T PM 071 271 -T PM Z01 291 PM Z01 291 PM Z01 292 PM Z01 292 PM Z01 331 PM Z01 331 PM Z00 121 PM Z00 121 PM 033 737 -T PM 016 780 -T PM 016 781 -T PM 016 782 -T PM 016 783 -T PM 016 787 -T PM 143 877 -T PM Z01 363 PM 033 737 -T PM 016 780 -T PM 016 781 -T PM 016 782 -T PM 016 783 -T PM 016 787 -T PM 143 877 -T PM Z01 363 PM Z01 312 PM Z01 312 PM Z01 317 PT R70 000 PT R72 100 PT R73 100 PT R71 100 PM Z01 317 PT R70 000 PT R72 100 PT R73 100 PT R71 100 41 Caractéristiques techniques et dimensions 13 Caractéristiques techniques et dimensions 13.1 Généralités Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum: Les valeurs maximales se réfèrent uniquement au cas où l'entrée constitue la sollicitation unique. ● Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5 ● ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puissance de pompes à vide - Description générale » ● ISO 5302; 2003 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesurage des caractéristiques fonctionnelles » ● Pression limite : avec dôme de test et après 48 h d'étuvage ● Débit de gaz : avec refroidissement à l'eau et pompe rotative à palettes (10 m3/h) ● Consommation d'eau froide : avec débit de gaz max., température de l'eau 25 °C ● Taux de fuite intégral : avec concentration de l'hélium à 100 %, durée de mesure de 10 s ● Niveau de pression acoustique : distance par rapport à la pompe 1 m Tableau de conversion : Unités de pression mbar bar Pa hPa kPa Torr mm Hg mbar bar Pa hPa kPa Torr mm Hg 1 1000 0,01 1 10 1,33 1 · 10-3 1 1 · 10-5 1 · 10-3 0,01 1,33 · 10-3 100 1 · 105 1 100 1000 133,32 1 1000 0,01 1 10 1,33 0,1 100 1 · 10-3 0,1 1 0,133 0,75 750 7,5 · 10-3 0,75 7,5 1 1 Pa = 1 N/m2 Tableau de conversion : Unités de débit de gaz mbar·l/s Pa·m3/s sccm Torr·l/s atm·cm3/s mbar·l/s Pa·m3/s sccm Torr·l/s atm·cm3/s 1 10 1,69 · 10-2 1,33 1,01 0,1 1 1,69 · 10-3 0,133 0,101 59,2 592 1 78,9 59,8 0,75 7,5 1,27 · 10-2 1 0,76 0,987 9,87 1,67 · 10-2 1,32 1 13.2 Caractéristiques techniques Paramètres HiPace® 800 M HiPace® 800 M HiPace® 800 M Bride de raccordement (entrée) Bride de raccordement (sortie) Débit pour Ar Débit pour H2 Débit pour He Débit pour N2 Taux de compression pour Ar Taux de compression pour H2 Taux de compression pour He Taux de compression pour N2 Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2 Vide primaire max. pour N2 DN 200 ISO-K DN 25 ISO-KF 775 l/s 500 l/s 625 l/s 790 l/s > 1 · 1011 2 · 105 > 1 · 107 > 1 · 1011 8 hPa l/s 13 hPa l/s 8 hPa DN 200 CF-F DN 25 ISO-KF 775 l/s 500 l/s 625 l/s 790 l/s > 1 · 1011 2 · 105 > 1 · 107 > 1 · 1011 8 hPa l/s 13 hPa l/s 8 hPa DN 200 ISO-F DN 25 ISO-KF 775 l/s 500 l/s 625 l/s 790 l/s > 1 · 1011 2 · 105 > 1 · 107 > 1 · 1011 8 hPa l/s 13 hPa l/s 8 hPa 42 Caractéristiques techniques et dimensions HiPace® 800 M HiPace® 800 M HiPace® 800 M 4 min < 1 · 10-7 hPa 49200 min-1 20-100 % 45 dB (A) 5-85, sans condensation % Type de protection IP 54 Pression d'entrée max. pour vanne de remise à l'air/ 1500 hPa gaz de balayage Tension de service 48 (± 5 %) V CC Tension de service bloc d'alimentation 90-265 V CA Temps de freinage avec/sans remise à l'air < 1 - 10 min Taux de fuite intégral < 1 · 10-8 Pa m3/s Puissance absorbée maximale 300 W Consommation de courant maximale 7,5 A Température de transport et stockage 0-+55 °C Orientation de montage en toute position Raccordement de remise à l'air G 1/8" Poids 17,2 kg Type de refroidissement, standard Eau Type de refroidissement, en option Air, convection Température de l'eau de refroidissement 15-35 °C Consommation d'eau froide 80 l/h Puissance thermique irradiée admissible max. 2,4 W Champ magnétique environnant admissible 5 mT Interfaces RS-485, Remote 4 min < 5 · 10-10 hPa 49200 min-1 20-100 % 45 dB (A) 5-85, sans condensation % IP 54 1500 hPa 4 min < 1 · 10-7 hPa 49200 min-1 20-100 % 45 dB (A) 5-85, sans condensation % IP 54 1500 hPa 48 (± 5 %) V CC 90-265 V CA < 1 - 10 min < 1 · 10-8 Pa m3/s 300 W 7,5 A 0-+55 °C en toute position G 1/8" 21,6 kg Eau Air, convection 15-35 °C 80 l/h 2,4 W 5 mT RS-485, Remote 48 (± 5 %) V CC 90-265 V CA < 1 - 10 min < 1 · 10-8 Pa m3/s 300 W 7,5 A 0-+55 °C en toute position G 1/8" 18 kg Eau Air, convection 15-35 °C 80 l/h 2,4 W 5 mT RS-485, Remote Paramètres Temps d'accélération Pression limite selon PNEUROP Vitesse ± 2 % Vitesse variable Niveau de pression acoustique Humidité relative de l'air 43 Caractéristiques techniques et dimensions 13.3 Dimensions VV 45° 36° HV Ø208 G1/8" DN 200 ISO-K Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) 90 ° 12.5° 236 176 222 131 180 154 113 77 DN 25 ISO-KF / G1/4" Ø150 ° ) 45 80° 1 (= ° 5 x4 145 4 Fig. 14: HiPace 800 M, DN 200 ISO-K VV Ø150 36° 45° HV G1/8" Ø208 DN 200 ISO-F 236 222 154 176 154 176 Ø8 / G1/4" (2x) 131 180 113 77 DN 25 ISO-KF / G1/4" M8 (6x) 90 ° 145 ) ° 0° 45 18 (= ° 5 x4 12.5° 4 Fig. 15: HiPace 800 M, DN 200 ISO-F VV 45° 36° HV Ø208 G1/8" DN 200 CF-F Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) 90 ° 12.5° 131 ° ) 45 80° 1 (= ° 5 x4 4 Fig. 16: HiPace 800 M, DN 200 CF-F 44 145 236 222 180 113 77 DN 25 ISO-KF / G1/4" Ø150 Déclaration de conformité Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes les dispositions applicables des directives CE suivantes : ● Machines 2006/42/CE (Annexe II, No. 1 A) Le responsable de la compilation des documents techniques est M. Helmut Bernhardt, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. HiPace 800 M Normes harmonisées et normes nationales appliquées : DIN EN ISO 12100 : 2011-03 DIN EN 1012-2 : 1996 DIN EN 61000-3-2 : 2010 DIN EN 61000-3-3 : 2009 DIN EN 61010-1 : 2010 DIN EN 61326-1 : 2013 DIN EN 62061 : 2013 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Dr. Ulrich von Hülsen) Directeur 2016-03-18 Notizen / Notes: Notizen / Notes: UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits. UN SAVOIR FAIRE THÉORIQUE ET PRATIQUE Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! 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