Pfeiffer MVP 020-3 DC Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
MVP 020-3 DC
Pompe à membrane
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe à
membrane vous aidera pour votre application spécifique grâce à ses performances et à
sonbon fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide
performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité,
assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous
avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation
efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois.
Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à
l’adresse [email protected].
Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/46
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
7
7
7
7
7
7
7
8
8
8
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations incorrectes envisageables
2.7 Qualification personnelle
2.7.1 Garantir la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
10
10
10
13
14
14
14
15
15
15
16
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.2 Identification du produit
3.3 Étendue de la livraison
17
17
17
18
4
Transport et stockage
4.1 Transport de la pompe à vide
4.2 Stockage de la pompe à vide
19
19
19
5
Installation
5.1 Installation de la pompe à vide
5.2 Raccordement côté vide
5.3 Raccordement du côté d’échappement
5.4 Raccordements des signaux de commande
5.4.1 Raccordements au réglage de la vitesse de rotation
5.4.2 Raccordement du fonctionnement par intervalles
5.5 Raccordement de l’alimentation de tension
20
20
20
21
21
22
23
23
6
Utilisation
6.1 Mise en service de la pompe à vide
6.2 Mise en marche de la pompe à vide
6.3 Réglage de la vitesse de rotation
6.4 Fonctionnement par intervalles de la pompe à membrane
6.5 Pompage de vapeurs condensables
6.6 Mise hors tension de la pompe à vide
24
24
24
25
25
25
26
7
Maintenance
7.1 Consignes de maintenance
7.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien
7.3 Remplacement des membranes et des vannes
7.3.1 Démontage de la tête de pompe et des clapets
7.3.2 Dépose des diaphragmes
7.3.3 Installations de la membrane
7.3.4 Montage de la tête de pompe et des clapets
27
27
28
29
29
30
31
32
3/46
Table des matières
7.4
4/46
Contrôle de la pression finale
32
8
Démantèlement
34
9
Recyclage et mise au rebut
9.1 Informations générales sur la mise au rebut
9.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme
35
35
35
10
Anomalies
36
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
38
12
Lots de pièces de rechange
40
13
ACCESSOIRES
13.1 Informations sur les accessoires
13.2 Commande d’accessoires
41
41
41
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
14.2 Fiche technique
14.3 Matériaux en contact avec la substance
14.4 Dimensions
42
42
42
43
43
Déclaration de conformité
44
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Autocollants sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Limites d’utilisation du produit
Limites d’utilisation liées à la température d’entrée
Aperçu des raccordements sur le bloc de bornes de connexion ST1B
Durée de vie typique dans le cadre d'une utilisation normale
Intervalles de maintenance
Dépannage sur les pompes à membrane
Affichage à LED des codes d’erreur
Lots de pièces de rechange
Lot de pièces de rechange tuyère gaz de balayage
Accessoires
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique, MVP 020-3 DC
Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé
8
9
14
14
22
27
29
37
37
40
40
41
42
42
43
43
5/46
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
6/46
Position des autocollants sur le produit
Construction de la pompe à membrane
Distances minimales
Platine avec bornes de connexion
Raccordement du TC et du TPS
Tuyère de gaz de lavage
Tête de pompe et clapets
Remplacement des membranes
Positionnement correct des clapets dans le couvercle de chapeau
LED sur la platine
Pièces de rechange
Dimensions MVP 020-3 DC
8
17
20
22
23
26
30
31
32
37
40
43
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
1.1.2
Documents applicables
Désignation
Document
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Variantes
Ce manuel de l’utilisateur s’applique aux pompes à membrane avec les numéros de pièces suivants :
1.2
Référence
Désignation
PK T01 198
MVP 020-3 DC
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
7/46
A propos de ce manuel
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification.
Pfeiffer Vacuum
D - 35614 Asslar
Germany
MVP 020-3DC
PK T01 198
24 V –
max. 5.5 A
3
Pw: 64 W
m: 4.3 kg S(N2) 1.2 m /h
Ser.-Nr.:
xxxxxxxxxxxx
Plaque signalétique
La plaque signalétique se trouve sur le couvercle des circuits électroniques.
Avertissement de surface chaude
L’étiquette signale des surfaces chaudes pendant le fonctionnement
et immédiatement après l’arrêt de la pompe à vide.
Joint de fermeture
Les têtes de membrane sont scellées de façon étanche en usine.
L’endommagement ou la suppression du joint de fermeture entraîne
l’annulation de la garantie.
warranty seal
Tab. 1:
Autocollants sur le produit
1
2
Fig. 1:
Position des autocollants sur le produit
1 Plaque signalétique de la pompe à membrane
Avec signalétique d’avertissement surface chaude
1.3.4
8/46
2
Joint de fermeture
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
DC
Courant continu
DN
Diamètre nominal
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz)
LED
Diode électroluminescente
MVP
Pompe à vide à membrane
PE
Conducteur de protection (terre de protection)
PTFE
Polytétrafluoroéthylène
A propos de ce manuel
Abréviation
Signification dans ce document
PWM
Modulation à largeur d’impulsion
(Type de modulation pour lequel une variable technique (p. ex. la tension électrique)
varie entre 2 valeurs.)
T
Température (en °C), abréviation de propriété de la pompe à vide
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine)
TPS
Tension d’alimentation (alimentation électrique turbine)
Tab. 2:
Abréviations utilisées dans ce document
9/46
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans toute la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie
du produit ont été prises en compte.
Risques lors de l’installation
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz
sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement.
10/46
Sécurité
AVIS
Dégâts à la pompe à vide provoqués par une surpression
La permutation des raccordements peut causer une surpression. La pression différentielle entre entrée et sortie doit être de 1 bar max. pour pouvoir démarrer la pompe à vide, sans quoi le moteur
s’arrête et subit des dégâts.
► Vérifier que le distributeur est installé correctement sur les têtes de la membrane avant de raccorder la pompe à vide et l’appareil à vide.
► Avant la mise en service, vérifier impérativement que la pression côté échappement est inférieure à la limite admissible.
AVIS
Dommages matériels en cas de polarité incorrecte
Une tension secteur incorrecte ou excessive va détruire le moteur.
► Respectez toujours les informations de la plaque signalétique du moteur.
► Raccordez le câble d'alimentation en observant les marquages de couleur sur les câbles correspondants.
► Installez toujours un fusible secteur approprié.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque d’explosion de mélanges d’air/gaz réactif, explosif ou autre.
L’entrée incontrôlée de gaz par la tuyère du gaz de balayage peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, l’échauffement des surfaces ou la formation de mélanges
d’air/gaz explosif dans le circuit de vide formés par l’électricité statique.
► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
11/46
Sécurité
ATTENTION
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques
Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la tuyère de gaz de
balayage.
► Si nécessaire, utiliser une conduite d’évacuation.
ATTENTION
Risque de blessures dues aux pièces mobiles
Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation.
► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur.
► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 105 °C.
► Laisser refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus.
► Porter si nécessaire des équipements de protection individuelle.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Porter des équipements de protection adaptés.
Risques pendant la maintenance, la mise hors service et en cas de dysfonctionnement
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte
Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité.
► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance.
► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique.
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une installation incorrecte
Si les disques d’écartement d’origine sont mal installés, le volume mort peut varier, ce qui affecte le
vide final ou endommager les paliers.
► Lors du démontage, les disques d’écartement doivent être séparés selon le lieu de mise en place.
► Réinstallez le même nombre de disques d’écartement d’origine par tête de membrane.
AVIS
Dommages matériels dûs à une décharge électrostatique
Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées,
les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits
► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le
poste de travail.
► Observer la norme EN 61340 « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes
électrostatiques ».
12/46
Sécurité
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales
► Empêcher les gaz de procédé et leurs réactions et les sous-produits nocifs pour la santé et l’environnement de s’échapper dans l’atmosphère ou les éliminer conformément aux réglementations
en vigueur.
► Éviter tout contact avec les gaz de procédé présentant un risque pour la santé et porter des équipements de protection personnelle si nécessaire.
► Vérifier la compatibilité entre la substance à pomper et les pièces en contact avec elle.
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Ne remplissez jamais ou ne faites jamais fonctionner l'appareil avec des produits de nettoyage ou
leurs résidus.
► N'effectuez pas vous-même des conversions ou modifications d'unité.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
13/46
Sécurité
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70°C.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes.
► Avant de renvoyer une pompe à vide, consultez les remarques du chapitre Solutions de service.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Emplacement de l’installation
À l’intérieur, avec protection contre l’accumulation de poussière et
les effets liés au climat, dans un environnement non-explosif et sec
Degré de protection IEC 60529
IP 20
Degré de protection UL 50E
NEMA type 1
Altitude de l’installation
2 000 m max. au-dessus du niveau de la mer 1)
Température ambiante
+10 °C à +40 °C
Humidité relative de l’air
80 % à T ≤ 31 °C, jusqu’à 50 % à T ≤ 40 °C
Niveau de contamination
2
Tab. 3:
Conditions d’exploitation
Pression d’admission
Température admissible d’entrée de la substance à pomper
mode continu
> 100 hPa (charge de gaz élevée)
+10 °C à +40 °C
mode continu
< 100 hPa (charge de gaz faible)
0 °C à +60 °C
court terme (< 5 minutes)
< 100 hPa (charge de gaz faible)
-10 °C à +80 °C
Tab. 4:
2.5
Limites d’utilisation du produit
Limites d’utilisation liées à la température d’entrée
Utilisation conforme
► Utilisez la pompe à vide uniquement pour la production de vide.
► Respectez les instructions d’installation, de mise en place, de fonctionnement et de maintenance.
► Ne pas utiliser d’accessoires autres que ceux recommandés par Pfeiffer Vacuum.
2.6
Utilisations incorrectes envisageables
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme
non réglementaire, en particulier :
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
1)
14/46
Pompage de substances corrosives
Pompage de substances explosives
Pompage de substances radioactives ou volatiles
Pompage de gaz contenant des impuretés telles que particules, poussières ou condensats
Pompage de liquides
Pompage de substances désagrégeant le FPM
Pompage de vapeurs de liquides combustibles
Pompage de substances sous pression (> pression atmosphérique)
Pompage de substances susceptibles de se condenser ou de former des dépôts adhérents dans
la chambre d’aspiration
Fonctionnement de la pompe à vide en dehors du champ d’application spécifié
Fonctionnement de la pompe à vide en dessous du niveau du sol
Utilisation de la pompe à vide pour produire une pression
Utilisation dans les circuits où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur la pompe à vide
Utilisation de la pompe à vide dans des champs électromagnétiques forts
au-delà de 1 000 m au-dessus du niveau de la mer, risque de refroidissement insuffisant. Si nécessaire, prendre les mesures stipulées dans la Directive DIN EN 61010.
Sécurité
● Raccordement à des pompes à vide et des matériels non prévus à cette fin d’après leur manuel
de l’utilisateur
● Raccordement à des matériels comportant des pièces nues sous tension
● Raccordement à des prises sans borne de terre
● Utilisation des conduites pour lever la pompe à vide
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
● Utilisation de la pompe à vide comme marchepied
● Utilisation des conduites de raccordement entre les têtes de diaphragme comme poignée
● Utilisation de la pompe dans des conditions ambiantes en dehors des limites de degré de protection IP spécifiées
2.7
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.7.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.7.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
15/46
Sécurité
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.7.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
16/46
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
La pompe à membrane est une pompe à vide de type compression à sec avec 3 étages de pompage.
Cette pompe à vide est une pompe volumétrique dont la grandeur de la chambre d’aspiration varie périodiquement du fait du mouvement du diaphragme. La circulation de gaz provoque l’ouverture et la fermeture automatiques des clapets. Les éléments de pompe sont accouplés directement au moteur d’entraînement.
1
2
3
9
4
8
7
6
5
Fig. 2:
3.2
Construction de la pompe à membrane
1 Poignée
6
2 Raccord à vide, filetage 1/8"
7
3 Vis creuse
4 Raccordement entre les têtes
5 Vis d’arrêt
(en option : tuyère de gaz de balayage)
8
9
Connecteur (signaux de commande)
(pour connecteurs à baïonnette Binder, 2 broches,
Ø12 mm)
Connecteur (alimentation de tension)
(pour prise de ligne Hirschmann G20KW3F, 2 broches)
Échappement
Vis de fixation du couvercle
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
17/46
Description du produit
3.3
Étendue de la livraison
● Pompe à vide avec moteur
● Manuel de l’utilisateur
● Obturateur sur le raccord vide
18/46
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport de la pompe à vide
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Informations générales sur le transport en toute sécurité
1. Prenez connaissance du poids indiqué sur l'emballage.
2. Utilisez un équipement de transport si nécessaire (porte-palan, chariot élévateur).
3. Transportez le produit dans son emballage d'origine.
4. Le produit doit toujours être placé sur une surface plane aux dimensions adéquates.
Transport de la pompe à vide sans son emballage
1. Déballer la pompe à vide.
2. Pour protéger l’intérieur de la pompe, laisser les deux obturateurs de protection sur les raccordements pendant le transport.
3. Pour ce faire, utiliser la poignée réservée à cet effet, située sur le dessus de la pompe.
4. Sortir la pompe à vide de son emballage de transport.
5. Vérifier qu’aucune contrainte mécanique n’est appliquée sur la tuyauterie.
6. La pompe à vide doit toujours être placée sur une surface plane aux dimensions adéquates.
4.2
Stockage de la pompe à vide
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Procédure
1. Boucher le raccord à vide avec l’obturateur.
2. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées.
3. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez la pompe à vide et un produit
dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
19/46
Installation
5 Installation
5.1
Installation de la pompe à vide
Fig. 3:
Distances minimales
Procédure
1. Placer la pompe à vide sur une surface horizontale plane.
2. Dans le cas d’une installation fixe, visser si nécessaire la pompe à vide directement sur la base.
– Déposer les pieds en caoutchouc.
3. Dans le cas d’une installation dans une enveloppe fermée, veiller à une circulation d’air adéquate
autour de la pompe.
– La pompe à vide ne possède pas de ventilateur.
4. Veiller à bien respecter les distances minimales aux composants annexes, tels que les cloisons,
les carters, etc.
5. Placer la pompe de telle sorte que la plaque signalétique du moteur reste visible et accessible.
5.2
Raccordement côté vide
AVIS
Dégâts matériels occasionnés par des gaz contaminés
Pomper du gaz contaminé endommage la pompe à vide.
► Utilisez des filtres et des séparateurs adéquats, disponibles dans la gamme d’accessoires de
Pfeiffer Vacuum, pour protéger la pompe à vide.
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses pompes
à membrane.
● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent
en ligne.
● Les accessoires décrits ne sont pas compris dans la livraison.
Prévention des pertes d’étranglement
Pour éviter les pertes de pression, les conduites de raccordement côté vide doivent être
aussi courtes que possible et de grand diamètre nominal.
Séparateur des condensats
Pfeiffer Vacuum recommande l’installation d’un séparateur de condensats au cas où de la
vapeur se formerait pendant l'évacuation.
Procédure
1. Enlever le bouchon obturateur du raccord à vide.
2. Établir le raccordement le plus court possible entre la pompe à vide et l’enceinte à vide.
3. Choisir une conduite de vide de diamètre au moins égal au diamètre nominal du raccord à vide.
20/46
Installation
4. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à
bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum.
5. Raccorder la pompe à vide au circuit de vide par l’intermédiaire du raccord à vide.
5.3
Raccordement du côté d’échappement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l'absence de
conduite de refoulement
En fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l'air. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des
lésions ou la mort.
► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques.
► Évacuez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz
sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement.
Séparateur des condensats
Pfeiffer Vacuum recommande l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement
de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement.
Procédure
1. Choisir une conduite d’échappement de diamètre au moins égal au diamètre nominal de la bride
de raccordement.
2. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à
bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum.
3. Option : En présence de débits de gaz plus élevés, montez une conduite d’échappement.
4. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats.
5. Fixez ou accrochez la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la
pompe à vide.
5.4
Raccordements des signaux de commande
AVIS
Dommages matériels dûs à une décharge électrostatique
Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées,
les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits
► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le
poste de travail.
► Observer la norme EN 61340 « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes
électrostatiques ».
Outil nécessaire
● Tournevis à tête Phillips (cruciforme), taille 2
21/46
Installation
Démontage du couvercle
1. Dévissez la vis de fixation sur le couvercle.
2. Autant que nécessaire, enlevez le couvercle sans endommager le câble.
3. Enfin, faites glisser le couvercle pour le remettre complètement en place.
4. Fixez le couvercle avec la vis de fixation.
12
3
4
Fig. 4:
Platine avec bornes de connexion
1 Trimmer
2 LED pour l’affichage du code
d’erreur
3
4
Valeur définie de la vitesse de rotation
Bloc de bornes de connexion ST1B
V+
V-
PWM
A
B
Externe via signal PWM
-
noir
rouge
-
-
Externe via tension analogique
rouge
noir
-
-
-
Interne via Trimmer
-
-
-
-
-
Coupe transversale de câble = 0,25 mm
Tab. 5:
5.4.1
Bloc de bornes de connexion ST1B (signaux de commande)
Bloc de bornes de connexion ST1A (alimentation de tension)
2
Aperçu des raccordements sur le bloc de bornes de connexion ST1B
Raccordements au réglage de la vitesse de rotation
Priorité Trimmer
Le Trimmer est prioritaire sur les signaux de commande.
Outil nécessaire
● Tournevis à encoche
Raccordement du signal PWM externe
1. Tournez le Trimmer vers la butée gauche.
2. Raccordez les bornes de connexion correspondantes du bloc ST1B.
– Le câble de commande (rouge/noir) est fermement raccordé sur le connecteur sur la pompe à
membrane.
3. Pour un réglage par défaut personnalisé de la vitesse de rotation, utilisez le câble de commande
pour appliquer un signal PWM isolé électriquement sur le bloc ST1B.
– 5 V à 24 V (obligatoire), fréquence limite : > 100 Hz, < 1,5 kHz
22/46
Installation
Raccordement de la tension analogique
1. Tournez le Trimmer vers la butée gauche.
2. Raccordez les bornes de connexion correspondantes du bloc ST1B.
– Le câble de commande (rouge/noir) est fermement raccordé sur le connecteur sur la pompe à
membrane.
Raccordement du Trimmer
1. Vérifiez qu’aucun signal de commande n’est raccordé sur les bornes de connexion du bloc ST1B.
2. Raccordez la tension d’alimentation sur les bornes de connexion correspondantes du bloc ST1A.
5.4.2
Raccordement du fonctionnement par intervalles
Câbles requis (accessoires)
● Câble de commande, TC 110/120 – Pompe à membrane, 0,5 m
● Câble de raccordement TPS – MVP
24 V DC ext.
3
TC 110
+
1
4
nc
Fig. 5:
In +
2
MVP
1
+
2
-
In -
TPS
GND
Raccordement du TC et du TPS
Procédure
1. Établissez l’alimentation de tension.
2. Raccordez les signaux de commande.
5.5
Raccordement de l’alimentation de tension
AVIS
Dommages matériels en cas de polarité incorrecte
Une tension secteur incorrecte ou excessive va détruire le moteur.
► Respectez toujours les informations de la plaque signalétique du moteur.
► Raccordez le câble d'alimentation en observant les marquages de couleur sur les câbles correspondants.
► Installez toujours un fusible secteur approprié.
AVIS
Dommages matériels dûs à une décharge électrostatique
Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées,
les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits
► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le
poste de travail.
► Observer la norme EN 61340 « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes
électrostatiques ».
Câble requis (accessoire)
● Câble de raccordement TPS – MVP
Procédure
► Raccordez l’alimentation de tension +24 V DC (conformément à la plaque signalétique) au connecteur correspondant.
23/46
Utilisation
6 Utilisation
6.1
Mise en service de la pompe à vide
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
AVIS
Dégâts à la pompe à vide provoqués par une surpression
La permutation des raccordements peut causer une surpression. La pression différentielle entre entrée et sortie doit être de 1 bar max. pour pouvoir démarrer la pompe à vide, sans quoi le moteur
s’arrête et subit des dégâts.
► Vérifier que le distributeur est installé correctement sur les têtes de la membrane avant de raccorder la pompe à vide et l’appareil à vide.
► Avant la mise en service, vérifier impérativement que la pression côté échappement est inférieure à la limite admissible.
Procédure
1. Comparer les spécifications de fréquence sur la plaque signalétique à la tension d’alimentation
disponible.
2. Vérifiez que le raccord d'échappement n'est pas obturé (pression max. admissible : 1100 hPa absolus).
3. Actionnez les appareils de fermeture pour qu’ils s’ouvrent avant ou pendant le démarrage de la
pompe à vide.
6.2
Mise en marche de la pompe à vide
Lors du pompage de gaz secs, aucune précaution particulière n’est nécessaire.
Pfeiffer Vacuum fournit la pompe à membrane au départ d’usine pour un fonctionnement sans signal de
commande et avec le Trimmer tourné sur la butée droite. La pompe à membrane démarre directement
et tourne à la vitesse de rotation maximale.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Porter des équipements de protection adaptés.
Durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide
En fonction de la température ambiante, la durée nécessaire pour atteindre la température
de fonctionnement de la pompe à vide est d’au moins 30 minutes.
Condition préalable
● Les connexions par câbles requises sont établies
24/46
Utilisation
Mise en marche de la pompe à vide
1. Mettez en circuit l’alimentation de tension.
2. Au besoin, activez la pompe à vide dans chaque plage de pression.
3. Laissez la pompe à vide monter en température avant de démarrer le procédé, raccord à vide fermé.
La pompe à vide atteint les valeurs spécifiques de débit et de pression finale dès que la température de
fonctionnement a été atteinte.
6.3
Réglage de la vitesse de rotation
En fonctionnement, la pompe à vide peut être contrôlée de 3 façons différentes avec chaque fois une
démarrage sans à-coups pour atteindre la vitesse de rotation du moteur de la pompe à vide > 400 tr/
min. La vitesse de rotation du moteur de la pompe à vide augmente linéairement jusqu’à la vitesse de
rotation max.
Plus la vitesse de rotation du moteur est élevée, plus la vitesse d’aspiration de la pompe est élevée.
Une vitesse de rotation plus basse allonge la durée de vie des diaphragmes et des clapets. La pompe à
vide atteint le vide final optimal à une vitesse de rotation comprise entre 600 et 1000 tr/min.
Conditions préalables
● Trimmer tourné vers la butée gauche
● Câble de commande raccordé sur le bloc ST1B (sauf en cas de réglage via le Trimmer)
Réglage externe de la vitesse de rotation via le signal PWM
► Pour un réglage personnalisé de la vitesse de rotation, spécifiez le câble de commande pour appliquer un signal PWM isolé électriquement sur le bloc ST1B.
– 5 V – 24 V (obligatoire), fréquence limite : > 100 Hz, < 1,5 kHz
Réglage externe de la vitesse de rotation via la tension analogique
► Spécifiez une tension analogique dans la gamme 0,8 V à 10 V.
Réglage de la vitesse de rotation via le Trimmer
► Tournez le Trimmer dans le sens horaire pour augmenter la vitesse de rotation du moteur.
► Tournez le Trimmer dans le sens anti-horaire pour réduire la vitesse de rotation du moteur.
6.4
Fonctionnement par intervalles de la pompe à membrane
Le fonctionnement par intervalles augmente la durée de vie de la pompe à membrane avec de faibles
débits du gaz < 0.18 hPa l/s. L’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire met en
circuit et hors circuit la pompe à membrane en fonction de la puissance absorbée de la pompe turbomoléculaire. La puissance absorbée de la pompe turbomoléculaire dépend de la pression de vide primaire et du débit du gaz.
La vitesse de rotation ne peut pas être commandée
Dans ce mode de fonctionnement, la vitesse de rotation ne peut pas être commandée.
Procédure
1. Appliquez un signal PWM isolé galvaniquement sur l’entrée des signaux de commande.
– 0 V = pompe « arrêt », 24 V = pompe « marche » (vitesse de rotation max.)
2. Pour un bas débit du gaz, réduisez le cycle de travail relatif d’environ 1 à 60 % en comparant la
puissance absorbée avec les valeurs seuils haut et bas.
3. À partir d’environ 0,018 hPa l/s, vérifiez que le volume buffer dans la conduite de vide primaire est
de 0,5 litre pour éviter une mise en circuit trop fréquente.
6.5
Pompage de vapeurs condensables
Les vapeurs et l’humidité de la substance pompée nuisent au débit après condensation dans la pompe
à vide. La tuyère de gaz de balayage en option améliore le refoulement des condensats et la pompe
atteint plus vite le vide final spécifié.
25/46
Utilisation
AVERTISSEMENT
Risque d’explosion de mélanges d’air/gaz réactif, explosif ou autre.
L’entrée incontrôlée de gaz par la tuyère du gaz de balayage peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, l’échauffement des surfaces ou la formation de mélanges
d’air/gaz explosif dans le circuit de vide formés par l’électricité statique.
► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle.
ATTENTION
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques
Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la tuyère de gaz de
balayage.
► Si nécessaire, utiliser une conduite d’évacuation.
Pression d’entrée maximum
La pression d’entrée maximum admissible sur la tuyère de gaz de balayage est de
1200 hPa absolu.
Accessoires nécessaires
● Tuyère de gaz de balayage avec filtre (numéro de commande PK 050 304 -U)
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 5
● Clé à fourche, WAF 14
1
2
3
Fig. 6:
Tuyère de gaz de lavage
1 Filtre (filetage 1/8")
2 Adaptateur de tuyère pour raccordement de gaz inerte (filetage 1/8", tuyère
Ø 0,2 mm)
3
Joint annulaire
VS
Monter la tuyère de gaz de balayage
1. Dévissez et retirez le boulon de scellement de la pompe à vide.
2. Vissez la tuyère de gaz de balayage dans la pompe à vide.
3. Dévissez manuellement et retirez le filtre de l’adaptateur de la tuyère pour raccorder une conduite
de gaz inerte.
6.6
Mise hors tension de la pompe à vide
Procédure
1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que
tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide.
2. Au besoin, désactivez la pompe à vide dans chaque domaine de pression.
3. Débrancher le bloc d’alimentation.
26/46
Maintenance
7 Maintenance
7.1
Consignes de maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
ATTENTION
Risque de blessures dues aux pièces mobiles
Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation.
► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur.
► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage les pièces de la pompe.
► Utilisez uniquement des agents nettoyants autorisés pour nettoyer les pièces de la pompe.
► Utilisez uniquement un chiffon sec propre pour nettoyer les membranes et les vannes.
► Ne pas utiliser d’alcool ou d’autres produits de nettoyage pour nettoyer les membranes et les
vannes.
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte
Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité.
► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance.
► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique.
Le nettoyage et l’entretien de la pompe à vide sont résumés ci-dessous.
Les clapets et les membranes sont des pièces d’usure.
Composant
Heures de fonctionnement
Diaphragmes
15 000
Vannes
15 000
Paliers du moteur
40 000
Tab. 6:
Durée de vie typique dans le cadre d'une utilisation normale
Conditions préalables
● Pompe à vide à l’arrêt
● Pompe à vide mise à l’air à la pression atmosphérique
● Pompe à vide refroidie
27/46
Maintenance
Équipement nécessaire
● Chiffon (propre, non pelucheux)
● Eau ou solution à base de savon doux
Maintenance de la pompe à vide
1. Débranchez l’alimentation électrique de la pompe.
2. Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
3. Éliminez toute contamination externe sur la pompe à vide avec un chiffon légèrement humidifié
avec de l’eau ou une solution à base de savon doux.
4. Laissez bien sécher les pièces après le nettoyage.
5. Concernant le travail de maintenance, démontez uniquement ce qui est nécessaire sur la pompe
à vide.
6. Avec un chiffon sec, nettoyez la chambre d’aspiration, les diaphragmes et les vannes.
7. Contrôlez les fissures sur les membranes et les vannes au plus tard lorsque les valeurs de pression atteintes baissent.
7.2
Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien
Remarques relatives aux intervalles de maintenance
En fonction du processus, les intervalles de maintenance requis peuvent être plus courts
que les valeurs indicatives du tableau.
● En cas de charges extrêmes ou de processus spécifiques, consulter Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts.
Maintenance niveau 2
Nous recommandons que Pfeiffer Vacuum Service prenne en charge les opérations de
maintenance de niveau 2. Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de
maintenance est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de responsabilité ne sera
acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que
les pièces de rechange d’origine.
Action
Inspection
Maintenance niveau 1
Maintenance niveau 3
Intervalle
comme nécessaire ;
au moins
tous les
six mois
comme nécessaire ;
au moins
tous les
2 ans
comme nécessaire ;
au moins
tous les
4 ans
Contrôler le silencieux à la recherche d'une contamination éventuelle 2)
■
Tester la pompe à vide de façon optique et acoustique
■
Équipement nécessaire
Lire et analyser les données de la pompe
■
Nettoyer la pompe à vide
■
Remplacer les membranes et les vannes
■
Kit de révision
Remplacer le silencieux 3)
■
Silencieux
Exécutez un test de fonctionnement
■
Inspection entrante avec mesure des vibrations
■
Démonter complètement la pompe à vide
■
Nettoyer complètement la pompe à vide
■
28/46
2)
si présent
3)
si présent
Maintenance
Action
Inspection
Maintenance niveau 1
Maintenance niveau 3
Intervalle
comme nécessaire ;
au moins
tous les
six mois
comme nécessaire ;
au moins
tous les
2 ans
comme nécessaire ;
au moins
tous les
4 ans
Équipement nécessaire
Changer le filtre de lest d’air 4)
■
Filtre
Remplacer toutes les pièces d’usure
■
Membranes, vannes, soupapes,
joints annulaires,
silencieux
Tab. 7:
7.3
Intervalles de maintenance
Remplacement des membranes et des vannes
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une installation incorrecte
Si les disques d’écartement d’origine sont mal installés, le volume mort peut varier, ce qui affecte le
vide final ou endommager les paliers.
► Lors du démontage, les disques d’écartement doivent être séparés selon le lieu de mise en place.
► Réinstallez le même nombre de disques d’écartement d’origine par tête de membrane.
7.3.1
Démontage de la tête de pompe et des clapets
Éviter d’intervertir les pièces
Toujours monter et démonter une seule tête de pompe à la fois pour éviter d’intervertir les
pièces.
Les procédures sont identiques pour les deux têtes de pompe.
Conditions préalables
● Poignée démontée
● Support assuré pour la pompe à membrane
Outillage nécessaire
● Clé plate, WAF 15
● Clé plate, WAF 16
● Clé Allen, WAF 4
4)
si présent
29/46
Maintenance
1
2
3
4
5
6
7
8
Fig. 7:
1
2
3
4
Tête de pompe et clapets
Couvercle de carter 1
Vis à tête cylindrique (6×)
Disques de blocage (6×)
Clapets (4×)
5
6
7
8
Couvercles de chapeau (2×)
Joints annulaires (2×)
Vis creuses (2×)
Raccord de tuyau
Procédure
1. Desserrer les pièces d'assemblage à boulons.
2. Tourner le raccord angulaire au max. d’1/4 de tour dans le sens anti-horaire, jusqu’à ce que le
raccord de tuyau puisse être desserré.
3. Desserrer les pièces d'assemblage à boulons.
4. Démonter le raccord de tuyau.
5. Dévisser les vis à tête cylindrique sur le couvercle de carter.
6. Retirer le couvercle de carter.
7. Retirer les couvercles de chapeau, chacun avec ses deux clapets.
– Si les clapets adhèrent au couvercle de carter, les décoller avec précaution ; sinon, retirer les
clapets des couvercles de chapeau.
7.3.2
Dépose des diaphragmes
Condition préalable
● Tête de pompe et clapets démontés
Outil nécessaire
● Clé à diaphragme, WAF 46
Pièces détachées requises
● Kit de révision, clé à diaphragme incluse
Consommables nécessaires
● Chiffon sec propre
● Alcool ou solvant de nettoyage, si nécessaire
30/46
Maintenance
1
M
2
3
1/2/3
4
5
Fig. 8:
Remplacement des membranes
1 Disque de tension
2 Diaphragme
3 Anneau support
4
5
M
Disques d’écartement
Tête de pompe 2
Clé à diaphragme
Dépose des diaphragmes
1. Courbez avec précaution la membrane sur le côté et pendant ce temps, placez la clé à membrane
sur l’anneau support.
– N'utilisez pas d’outillage à bords coupants.
2. Dévissez l’anneau support, la membrane et le disque de tension.
3. Faites attention aux disques d’écartement sous la membrane.
– Réutilisez les disques d’écartement d’origine sur chaque lieu d’installation lors du remontage.
4. Retirez l’anneau support et la membrane sur le carré de la vis de raccordement du disque de tension.
– Si la membrane adhère à l’anneau support, décollez la au moyen d’alcool ou d’un solvant de
nettoyage.
7.3.3
Installations de la membrane
Outillage nécessaire
● Clé à membrane, WAF 46
Pièces détachées requises
● Nécessaire de remise en état, avec clé à membrane
Produits consommables requis
● Chiffon sec propre
● Alcool ou solvant de nettoyage, si nécessaire
Installation de la membrane
1. Nettoyez toutes les pièces avec un chiffon propre et sec.
2. Remplacez les pièces d’usure (clapets et diaphragmes) par celles du lot de pièces de rechange.
3. Placez la membrane (côté bleu vers le haut) et l’anneau support sur le carré de la vis de raccordement du disque de tension.
– Veillez à ce que la membrane soit bien positionnée dans le carré de la vis de raccordement.
4. Placez les disques d’écartement d’origine sur la bielle correspondante.
5. Serrez l’anneau support avec la clé à membrane sur la bielle.
31/46
Maintenance
7.3.4
Montage de la tête de pompe et des clapets
Éviter d’intervertir les pièces
Toujours monter et démonter une seule tête de pompe à la fois pour éviter d’intervertir les
pièces.
Les procédures sont identiques pour les deux têtes de pompe.
Condition préalable
● Membranes en place
Outillage nécessaire
●
●
●
●
Clé plate, WAF 15
Clé plate, WAF 16
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4
Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
2
1
3
Fig. 9:
Positionnement correct des clapets dans le couvercle de chapeau
1 Clapet (entrée)
2 Clapet (sortie)
3
Couvercle de chapeau
Procédure
1. Introduire les clapets dans le couvercle de chapeau.
– Veiller à ce que les clapets soient positionnés correctement.
2. Fixer le couvercle de carter.
3. Commencer par visser à la main et en croix les vis à tête cylindrique sur le couvercle de carter, en
alternant les vis.
4. Puis serrer ces vis à tête cylindrique en croix sur le couvercle de carter, en alternant les vis.
– Couple de serrage : max. 6,0 ±1 Nm
5. Monter le raccord de tuyau et les vis creuses.
7.4
Contrôle de la pression finale
Le taux de fuite sur la pompe à vide garantit l’obtention de la pression finale spécifiée tout en empêchant la formation de mélanges potentiellement explosifs à l’intérieur de la pompe à vide
Après remplacement du diaphragme ou de la vanne, la pompe à vide atteint la pression finale spécifiée
uniquement après une période de rodage de quelques heures.
Valeurs de test
Respectez l’instruction de test séparée.
● avec lest d’air : < 3 hPa
● sans lest d’air : < 2,0 hPa
Procédure
1. Mesurez la pression finale de la pompe à vide.
– après des travaux sur le système, p. ex. la maintenance
– avant de remettre en place la pompe à vide
2. Comparez la pression finale mesurée avec les valeurs de test et les spécifications sur la fiche
technique.
32/46
Maintenance
Conditions préalables
● Pompe à vide montée
● Circuit électrique de la pompe à vide correct
Accessoires requis
● Enceinte à vide (3 litres)
● Manomètre
● Tuyère de gaz de balayage (en option)
Mesure de la pression finale
1. Raccordez une enceinte à vide (volume d’env. 3 l) à un raccord à vide.
2. Raccordez également un manomètre (p. ex. une jauge Pirani) à l’enceinte à vide, côté vide.
3. Faire fonctionner la pompe à vide pendant au moins 2 heures avec la tuyère de gaz de balayage
ouverte (si disponible).
4. En présence de bruits inhabituels, coupez immédiatement la pompe à vide et contrôlez la position
des disques de tension.
5. Mesurez la pression finale.
Comparaison de la pression limite avec la valeur de test
1. Comparer la pression limite mesurée avec la valeur de test.
2. En cas de différence notable avec les valeurs spécifiées, après remplacement de la membrane et
des clapets, et en l’absence d’amélioration après la période de rodage, suivre la procédure suivante :
– Vérifier les raccords à vis des tuyaux de raccordement aux têtes de pompe.
– Vérifier les sièges de vanne et les chambres d’aspiration.
– Recommencer la mesure de la pression limite.
33/46
Démantèlement
8 Démantèlement
Avant d’arrêter la pompe à vide, respectez les instructions suivantes pour protéger de manière adéquate l’intérieur de la pompe à vide (chambre d’aspiration) contre la corrosion :
Procédure pour les arrêts temporaires de la pompe à vide
1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que
tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide.
2. Si une substance susceptible de détériorer des matériaux ou de former des dépôts a pénétré
dans la pompe à vide, nettoyer l’intérieur des têtes de pompe.
Procédure pour les arrêts prolongés de la pompe à vide
1. Débrancher la pompe à vide du circuit de vide.
2. Si nécessaire, retirez la pompe à vide du circuit de vide.
3. Bouchez le raccord à vide avec les bouchons d’obturation d’origine.
4. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées.
5. Si la pompe à vide doit être stockée dans un local à l’atmosphère humide ou corrosive, emballezla dans un sac en plastique, avec un produit dessiccateur.
34/46
Recyclage et mise au rebut
9 Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
Protection de l'environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
9.2
Mise au rebut des pompes à diaphragme
Les pompes à diaphragme Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
1. Déconnectez l’unité de commande électronique.
2. Démantelez le moteur.
3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
35/46
Anomalies
10
Anomalies
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 105 °C.
► Laisser refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus.
► Porter si nécessaire des équipements de protection individuelle.
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte
Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité.
► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance.
► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique.
En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici :
Problème
Causes possibles
Remède
La pompe à vide ne démarre pas
● Absence d’alimentation
électrique ou tension non
conforme aux spécifications du moteur
● Contrôlez la tension d’alimentation.
● Température trop basse
de la pompe
● Chauffez la pompe à vide à une température > 12 °C.
● Le dispositif de protection thermique du moteur
s’est déclenché
● Déterminez et éliminez la cause du
problème et laissez la pompe à vide
refroidir si nécessaire.
● Membranes ou clapets
sales
● Nettoyez la pompe à vide.
● Surpression dans la conduite d’échappement
● Vérifier la conduite d’échappement et
la nettoyer si nécessaire.
● Le dispositif de protection thermique du moteur
s’est déclenché
● Déterminez et éliminez la cause du
problème et laissez la pompe à vide
refroidir si nécessaire.
● Pression d’échappement
trop élevée
● Vérifiez que la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté refoulement ne sont
pas bouchés.
● Condensats dans la
pompe à vide
● Faites tourner la pompe à vide à la
pression atmosphérique pendant une
période plus longue.
● Tuyère de gaz de balayage ouverte
● Fermez la tuyère de gaz de balayage
● Clapets ou diaphragmes
contaminés
● Nettoyez les clapets et les diaphragmes ou remplacez-les si nécessaire.
● Fuite dans le système
● Localisez et éliminez la fuite.
● La conduite d’aspiration
n’est pas convenablement dimensionnée
● Vérifiez que les raccordements sont
aussi courts que possible et que les
sections droites des conduites sont
correctement dimensionnées.
● Pression d’échappement
trop élevée
● Vérifiez que la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté refoulement ne sont
pas bouchés.
La pompe à vide s’arrête
peu de temps après son
démarrage
La pompe à vide n’atteint pas la pression limite spécifiée
Débit de pompage de la
pompe à vide trop faible
36/46
Anomalies
Problème
Causes possibles
Remède
Bruits de fonctionnement
inhabituels
● Clapets ou membranes
défectueux
● Nettoyez les clapets et les diaphragmes ou remplacez-les si nécessaire.
● Chambre d’aspiration sale
● Nettoyez la chambre d’aspiration.
● Clapets sales ou défectueux
● Nettoyez les clapets et les diaphragmes ou remplacez-les si nécessaire.
● Bielle ou paliers du moteur défectueux
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Tab. 8:
Dépannage sur les pompes à membrane
LED
Fig. 10:
LED sur la platine
LED clignotante
Signification
1×
Tension d’alimentation < 16 V
2×
Tension d’alimentation > 36 V
3×
Température supérieure à la normale de l’électronique
4×
Pompe bloquée, rotation impossible
5×
Erreur de surveillance de la vitesse
6×
-
7×
Erreur de l’électronique
Tab. 9:
Affichage à LED des codes d’erreur
37/46
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
38/46
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
39/46
Lots de pièces de rechange
12
Lots de pièces de rechange
Commande de lots de pièces de rechange
► Notez la référence de commande de la pièce détachée de la pompe à vide, accompagnée d’autres informations de la plaque signalétique si nécessaire.
► Installez uniquement des pièces détachées d’origine.
► Pour commander le kit de révision, indiquez la référence de la pompe à membrane concernée.
1
M
2
3
4
Fig. 11:
Pièces de rechange
1 Vannes
2 Membranes
3 Joint annulaire
Vis creuse
Clé à membrane
Lot de pièces de rechange
Numéro de commande
Pièces incluses
Kit de révision, clé à membrane incluse
PU E22 034 -T
Repère 1 (8×)
Repère 2 (4×)
Repère M
Joint annulaire
P 3529 133 -P
Repère 3
Vis creuse
P 0995 943
Repère 4
Clé à membrane
P 0995 941
Repère M
Tab. 10:
Lots de pièces de rechange
Lot de pièces de rechange
Référence
Pièces incluses
Filtre
P 0105 405
Filtre de tuyère de gaz de lavage
Tab. 11:
40/46
4
M
Lot de pièces de rechange tuyère gaz de balayage
ACCESSOIRES
13
ACCESSOIRES
13.1
Informations sur les accessoires
Unités de courant
L’alimentation de tension est fournie par les unités de courant pour une fixation murale et sur rails standards ou pour un montage sur cadre.
Câbles et adaptateurs
Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres
longueurs disponibles sur demande
Raccords de tuyau
Raccords de tuyau avec adaptateurs pour le raccordement à une pompe turbomoléculaire
Bride mâle filetée
Bride mâle filetée, avec joint pour côté aspiration de la pompe à vide
Raccordement du gaz de balayage
Prévient la formation d’humidité dans la pompe à vide
13.2 Commande d’accessoires
Champ de sélection
Numéro de commande
TPS 180, unité de courant pour installation murale/sur rail standard
PM 061 341 -T
Fixation de rail mural pour TPS 110/180/310/400
PM 061 392 -T
Câble de raccordement TPS – MVP
PM 061 441 -T
Câble de commande, TC 110/120 – Pompe à membrane, 0,5 m
PM 061 433 -X
Tuyau DN 6 ; (ø 8/6 mm) polyéthylène
P 0991 939
Raccord de tuyau DN 6 x 400 mm avec raccord droit à filetage 1/8 po. et
filetage 1/4 po., joint inclus
P 0920 739 E
Raccord de tuyau DN 6 x 1000 mm avec raccord droit à filetage 1/8 po. et
filetage 1/4 po., joint inclus
P 0920 817 E
Raccord rapide filetage 1/8 po. joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) inclus
P 4131 029 G
Bride mâle filetée DN 16 ISO-KF/filetage 1/8 po, joint inclus
PK 050 108 -T
Tuyère de gaz de lavage avec filtre pour MVP 020-3/ MVP 030-3
PK 050 304 -U
Tab. 12:
Accessoires
41/46
Caractéristiques techniques et dimensions
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1
Généralités
Fondement des données techniques des pompes à membrane Pfeiffer Vacuum :
● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5
● ISO 21360:2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Description générale »
Les normes harmonisées suivantes sont respectées :
● CEI 61010-1
● UL 61010-1
● CSA 61010-1
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
0,75
mbar
1
1 · 10
100
1
0,1
bar
1,000
1
1 · 105
1,000
100
Pa
0,01
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
hPa
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
133,32
1,33
0,133
1
-3
-5
-3
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
Tab. 13:
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
mbar l/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m3/s
10
1
592
7,5
sccm
3
atm cm /s
Tab. 14:
9,87
1.69 · 10
1
1,27 · 10
1.67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
1.69 · 10
Torr l/s
-2
-3
-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
14.2 Fiche technique
Classification
MVP 020-3 DC
Numéro de commande
PK T01 198
Nombre d'étages de pompage
4
Bride de raccordement (entrée)
G 1/8"
Bride de raccordement (sortie)
Filetage 1/8 po.
Classe de débit
1.2 m3/h
Pression limite sans lest d'air
2 hPa
Pression limite avec lest d'air
3 hPa
Lest d'air
42/46
750
-3
Pression d'entrée
1100 hPa
Pression d'échappement, max.
1100 hPa
Taux de fuite intégral
1 · 10-2 Pa m³/s
Tension de service : CC
24 V
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
Consommation de courant nominale
3,5 A
Courant max.
5,5 A
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
MVP 020-3 DC
Numéro de commande
PK T01 198
Vitesse de rotation
300 – 1 500 rpm
Niveau de la pression acoustique
45 dB(A)
Type de moteur
Moteur CC
Type de refroidissement
Refroidi par convection
Altitude de fonctionnement, max.
2000 m
Type de protection
IP20, NEMA Type 1 (acc. to UL 50E)
Température ambiante
10 – 40 °C
Température : stockage
-10 – 60 °C
Degré de pollution
2
Poids
4,3 kg
Tab. 15:
14.3
Fiche technique, MVP 020-3 DC
Matériaux en contact avec la substance
Pièces de la pompe
Matériaux en contact avec la substance
Couvercle de carter I
Alliage d’aluminium (AlMgSi)
Couvercle de chapeau
Alliage d’aluminium (AlMgSi)
Rondelle de serrage de la membrane
Alliage d’aluminium (AlMgSi)
Diaphragme
FPM, recouverte de PTFE
Clapets
FPM
Admission
Alliage d’aluminium (AlMgSi)
Sortie
Aluminium / caoutchouc silicone
Raccords filetés de tuyau flexible
Aluminium anodisé
Tuyau flexible
Polyéthylène (PE), hautement entrecroisé
Tab. 16:
Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé
14.4 Dimensions
59
163
117
143
145
126
223
Fig. 12:
35
G 1/8''
22
10
149
217
G 1/8''
Dimensions MVP 020-3 DC
Dimensions en mm
43/46
Déclaration de conformité
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe à membrane
MVP 020-3 DC
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100:2011
DIN EN IEC 63000:2019
DIN EN 1012-2:2011
DIN EN 61010-1:2011
DIN EN 61326-1:2013
IEC 61010-1:2010 (Ed. 3)
Le représentant habilité à constituer la documentation technique est M. Wolfgang Bremer,
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Allemagne.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2019-08-27
45/46
*PU0079*
ed. C - Date 2011 - P/N:PU0079BFR
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