Pfeiffer MVP 030-3 C DC Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
MVP 030-3 C DC
Pompe à membrane pour gaz corrosifs
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe à
membrane vous aidera pour votre application spécifique grâce à ses performances et à
sonbon fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide
performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité,
assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous
avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation
efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois.
Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à
l’adresse [email protected].
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téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
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d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/58
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
7
7
7
7
7
7
7
7
8
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations incorrectes envisageables
2.7 Qualification personnelle
2.7.1 Garantir la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
10
10
10
13
13
14
14
14
15
15
15
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.2 Identification du produit
3.3 Contenu de la livraison
16
16
16
16
4
Transport et stockage
4.1 Transport de la pompe à vide
4.2 Stockage de la pompe à vide
17
17
17
5
Installation
5.1 Installation de la pompe à vide
5.2 Raccordement côté vide
5.3 Raccordement du côté refoulement
18
18
18
19
6
Interfaces
6.1 Tension d’alimentation
6.2 Entrées
6.3 Sorties
6.4 Interface RS-485
6.5 Interconnexion via la connexion RS-485
6.6 Options de connexion via l’interface RS-485
6.7 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.7.1 Cadre télégramme
6.7.2 Description du télégramme
6.7.3 Télégramme exemple 1
6.7.4 Télégramme exemple 2
6.7.5 Types de données
20
22
22
23
23
24
25
25
25
26
26
26
26
7
Ensemble de paramètres
7.1 Généralités
7.2 Instructions de commande
7.3 Demandes d’état
7.4 Entrée des valeurs de référence
7.5 Paramètres additionnels pour le DCU
28
28
28
29
30
30
3/58
Table des matières
8
4/58
Utilisation
8.1 Mise en service de la pompe à vide
8.2 Mettre en marche la pompe à vide
8.3 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum
8.3.1 Configuration des sorties numériques
8.3.2 Sélection des interfaces
8.4 Modes de fonctionnement
8.4.1 Fonctionnement de l’actionneur (de vitesse)
8.4.2 Mode standby
8.4.3 Fonctionnement normal
8.5 Fonctionnement de la pompe à membrane avec le lest d'air
8.6 Pomper des vapeurs condensables
8.7 Surveillance des opérations
8.7.1 Affichage LED du mode de fonctionnement
8.7.2 Surveillance de la température
8.8 Mise hors tension de la pompe à vide
31
31
31
32
9
Maintenance
9.1 Consignes de maintenance
9.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien
9.3 Démontage / montage de la poignée
9.4 Remplacement des membranes et des vannes
9.4.1 Démontage de la tête de pompe et des clapets
9.4.2 Dépose des diaphragmes
9.4.3 Installations de la membrane
9.4.4 Montage de la tête de pompe et des clapets
9.5 Contrôle de la pression limite
37
37
38
39
39
40
41
42
42
43
10
Démantèlement
44
11
Recyclage et mise au rebut
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
11.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme
45
45
45
12
Dysfonctionnements
12.1 Généralités
12.2 Codes d’erreur
12.3 Messages d’avertissement et d’erreur lors du fonctionnement avec le
DCU
46
46
47
48
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
49
14
Kit de pièces de rechange
51
15
ACCESSOIRES
15.1 Informations sur les accessoires
15.2 Commande d'accessoires
52
52
52
16
Caractéristiques techniques et dimensions
16.1 Généralités
16.2 Fiche technique
16.3 Matériaux en contact avec la substance à pomper
16.4 Dimensions
53
53
53
54
54
Déclaration de conformité
56
32
32
33
33
34
34
34
35
36
36
36
36
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Autocollants sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Limites d’utilisation du produit
Limites d’utilisation liées à la température d’entrée
Affectation des broches de la prise d’interface D-Sub à 15 connecteurs de la
pompe
Caractéristiques de l’interface RS-485
Explication et signification des paramètres
Ensemble de paramètres | Instructions de commande
Ensemble de paramètres | Demandes d’état
Ensemble de paramètres | Entrée des valeurs de référence
Paramètre des fonctions DCU
Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes à membrane livrées
Configurer les paramètres [P:019] et [P:024]
Paramètres [P:060] et [P:061]
Comportement et signification du témoin LED de l’unité de commande électronique
Durée de vie typique dans le cadre d'une utilisation normale
Intervalles de maintenance
Dépannage sur les pompes à membrane
Messages d'erreur pour la pompe à vide
Messages d'avertissement pour la pompe à vide
Messages d’avertissement et d’erreur lors de l’utilisation d’un DCU
Kit de pièces de rechange
Accessoires
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique MVP 030-3 C DC
Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé
8
9
14
14
20
24
28
29
29
30
30
31
32
33
36
37
39
47
47
48
48
51
52
53
53
54
54
5/58
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
6/58
Position des autocollants sur le produit
Construction de la pompe à membrane
Distances minimales
Affectation des broches de la prise D-Sub à 15 connecteurs
Exemple de connexion : MVP 030-3 DC – DCU/TPS
Exemple de connexion : MVP 030-3 DC – HiPace/DCU/TPS
Mise en réseau par l’interface RS-485
Options de connexion via l’interface RS-485
Soupape à lest d’air
Poignée
Tête de pompe et clapets
Remplacement des membranes
Positionnement correct des clapets dans le couvercle de chapeau
Dimensions MVP 030-3 C DC
8
16
18
20
21
22
24
25
35
39
40
41
42
55
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
1.1.2
Documents applicables
Désignation
Document
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Variantes
Ces consignes s’appliquent aux pompes à membrane de la série DC :
● MVP 030-3 C DC en version pour gaz corrosifs
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
7/58
A propos de ce manuel
Remarque
Conseil
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification.
Plaque signalétique
Plaque signalétique de la pompe à membrane
Pfeiffer Vacuum
D - 35614 Asslar
Germany
Mod. MVP 030-3 C - DC S(N2 ) 1.8 m 3/h
n
max. 2400 1/min
P/N PK T01 600
Mass 4.3 kg
S/N xxxxxxxxxx
Pw
64 W
max. 7A
24 V
2020/01
Avertissement de surface chaude
L’autocollant signale des surfaces chaudes
pendant le fonctionnement et immédiatement après l’arrêt de la pompe à vide.
Signal d’avertissement général
L’autocollant donne un avertissement général sur les risques potentiels.
Joint de fermeture
Les têtes de membrane sont étanchéifiées
en usine. L’endommagement ou la suppression du joint de fermeture entraîne l’annulation de la garantie.
warranty seal
Tab. 1:
Autocollants sur le produit
1
2
Fig. 1:
Position des autocollants sur le produit
1 Plaque signalétique de la pompe à membrane
Avec les 2 signaux d’avertissement
8/58
2
Sceau de garantie (2×)
A propos de ce manuel
1.3.4
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
OI
Manuel de l’utilisateur
Version C
Version pour gaz corrosifs
CC
Courant continu (Direct Current)
DCU
Appareil de commande et d’affichage
DN
Diamètre nominal
ETFE
Copolymère d'éthylène tétrafluoroéthylène
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz)
FFKM
Perfluoroélastomère
FPM
Caoutchouc polymère fluoré
HPU
Unité de programmation portable facilitant la commande et le suivi des paramètres de
pompe
DEL
Diode électroluminescente
MVP
Pompe à vide à membrane
MSL
Niveau moyen de la mer
[P:xxx]
Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous
la forme d'un nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte
description.
Exemple : [P:312] version logicielle
PE
Conducteur de terre (terre de protection)
PTFE
Polytétrafluoroéthylène
PWM
Modulation à largeur d'impulsion
(Type de modulation pour lequel une variable technique (p. ex. tension électrique) varie entre deux valeurs.)
T
Température (en °C), abréviation de propriété de la pompe à vide
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine)
TPS
Tension d’alimentation (alimentation électrique turbine)
Tab. 2:
Abréviations utilisées dans ce document
9/58
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans toute la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie
du produit ont été prises en compte.
Risques lors du transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
10/58
Sécurité
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz
sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
AVERTISSEMENT
Risque d’explosion lié aux mélanges gaz/air réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux
L’entrée incontrôlée de gaz par la soupape de lest d'air peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, ou provoquer l’échauffement des surfaces ou encore la formation
de mélanges gaz/air potentiellement explosifs dans le circuit de vide formés par l’électricité statique.
► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle.
– Surpression max. = 200 hPa
► Utiliser le raccordement de gaz de balayage (numéro de commande : PK 050 299) fourni dans
les accessoires.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Porter des équipements de protection adaptés.
11/58
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques
Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la soupape de lest d’air
ouverte. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par les substances de processus toxiques.
► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte pour éviter une contamination potentielle.
– Surpression max. = 200 hPa
► Si nécessaire, utiliser une conduite d’évacuation.
► Utiliser le raccordement de gaz de balayage (numéro de commande : PK 050 299) fourni dans
les accessoires.
Risques pendant la maintenance, la mise hors service et en cas de dysfonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
ATTENTION
Risque de blessures dues aux pièces mobiles
Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation.
► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur.
► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 105 °C.
► Laisser refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus.
► Porter si nécessaire des équipements de protection individuelle.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
12/58
Sécurité
2.3
Mesures de sécurité
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales
► Empêcher les gaz de procédé et leurs réactions et les sous-produits nocifs pour la santé et l’environnement de s’échapper dans l’atmosphère ou les éliminer conformément aux réglementations
en vigueur.
► Éviter tout contact avec les gaz de procédé présentant un risque pour la santé et porter des équipements de protection personnelle si nécessaire.
► Vérifier la compatibilité entre la substance à pomper et les pièces en contact avec elle.
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Ne remplissez jamais ou ne faites jamais fonctionner l'appareil avec des produits de nettoyage ou
leurs résidus.
► N'effectuez pas vous-même des conversions ou modifications d'unité.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70°C.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes.
► Avant de renvoyer une pompe à vide, consultez les remarques du chapitre Solutions de service.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Emplacement de l’installation
À l’intérieur, avec protection contre l’accumulation de poussière et
les effets liés au climat, dans un environnement non-explosif et sec
Degré de protection IEC 60529
IP 20
Degré de protection UL 50E
NEMA type 1
Altitude de l’installation
2 000 m max. au-dessus du niveau de la mer 1)
Température ambiante
+10 °C à +40 °C
13/58
Sécurité
Humidité relative de l’air
80 % à T ≤ 31 °C, jusqu’à 50 % à T ≤ 40 °C
Niveau de contamination
2
Tab. 3:
Conditions d’exploitation
Pression d’admission
Température admissible d’entrée de la substance à pomper
mode continu
> 100 hPa (charge de gaz élevée)
+10 °C à +40 °C
mode continu
< 100 hPa (charge de gaz faible)
0 °C à +60 °C
court terme (< 5 minutes)
< 100 hPa (charge de gaz faible)
-10 °C à +80 °C
Tab. 4:
2.5
Limites d’utilisation du produit
Limites d’utilisation liées à la température d’entrée
Utilisation conforme
► Utilisez la pompe à vide uniquement pour la production de vide.
► Respectez les instructions d’installation, de mise en place, de fonctionnement et de maintenance.
► Ne pas utiliser d’accessoires autres que ceux recommandés par Pfeiffer Vacuum.
2.6
Utilisations incorrectes envisageables
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme
non réglementaire, en particulier :
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
2.7
Pompage de substances explosives
Pompage de substances radioactives ou volatiles
Pompage de gaz contenant des impuretés telles que particules, poussières ou condensats
Pompage de liquides
Pompage de substances désagrégeant le FPM
Pompage de vapeurs de liquides combustibles
Pompage de substances sous pression (> pression atmosphérique)
Pompage de substances susceptibles de se condenser ou de former des dépôts adhérents dans
la chambre d’aspiration
Fonctionnement de la pompe à vide en dehors du champ d’application spécifié
Fonctionnement de la pompe à vide en dessous du niveau du sol
Utilisation de la pompe à vide pour produire une pression
Utilisation dans les circuits où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur la pompe à vide
Utilisation de la pompe à vide dans des champs électromagnétiques forts
Raccordement à des pompes à vide et des matériels non prévus à cette fin d’après leur manuel
de l’utilisateur
Raccordement à des matériels comportant des pièces nues sous tension
Raccordement à des prises sans borne de terre
Utilisation des conduites pour lever la pompe à vide
Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
Utilisation de la pompe à vide comme marchepied
Utilisation des conduites de raccordement entre les têtes de diaphragme comme poignée
Utilisation de la pompe dans des conditions ambiantes en dehors des limites de degré de protection IP spécifiées
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
1)
14/58
au-delà de 1 000 m au-dessus du niveau de la mer, risque de refroidissement insuffisant. Si nécessaire, prendre les mesures stipulées dans la Directive DIN EN 61010.
Sécurité
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.7.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.7.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.7.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
15/58
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
La pompe à membrane de la série MVP 030-3 C DC est une pompe à vide de type compression à sec
à 3 étages de pompage. La pompe à vide est une pompe volumétrique, dont le volume de la chambre
d’aspiration change à un rythme périodique dû au mouvement de la membrane. La circulation de gaz
provoque l’ouverture et la fermeture automatiques des clapets. Les éléments de pompe sont accouplés
directement au moteur d’entraînement.
Soupape à lest d’air
La soupape de lest d'air est utilisée pour mélanger l’air ambiant ou le gaz inerte avec le gaz de processus dans le système de pompage. L’augmentation de la teneur en air comprime et expulse un mélange
gaz/vapeur dans les limites spécifiques, sans provoquer de condensation dans la chambre de compression.
1
2
3
4
6
7
5
14
13
12
8
10
9
11
Fig. 2:
1
2
3
4
5
6
7
3.2
Construction de la pompe à membrane
Poignée
Couvercle de carter tête de pompe 1
Vis creuse
Raccord à vide, tuyau DN 10 mm
Raccordement entre les têtes
Couvercle avec plaque signalétique
Capot moteur
8
9
10
11
12
13
14
Raccord d'échappement, tuyau DN 8 mm
Pied caoutchouc
Soupape à lest d’air
Couvercle de carter tête de pompe 2
Cache des composants électroniques
DEL
Prise de raccordement
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
3.3
Contenu de la livraison
● Pompe à vide avec moteur
● Manuel de l’utilisateur
● Obturateur sur le raccord vide
16/58
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport de la pompe à vide
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Informations générales sur le transport en toute sécurité
1. Prenez connaissance du poids indiqué sur l'emballage.
2. Utilisez un équipement de transport si nécessaire (porte-palan, chariot élévateur).
3. Transportez le produit dans son emballage d'origine.
4. Le produit doit toujours être placé sur une surface plane aux dimensions adéquates.
Transport de la pompe à vide sans son emballage
1. Déballer la pompe à vide.
2. Pour protéger l’intérieur de la pompe, laisser les deux obturateurs de protection sur les raccordements pendant le transport.
3. Pour ce faire, utiliser la poignée réservée à cet effet, située sur le dessus de la pompe.
4. Sortir la pompe à vide de son emballage de transport.
5. Vérifier qu’aucune contrainte mécanique n’est appliquée sur la tuyauterie.
6. La pompe à vide doit toujours être placée sur une surface plane aux dimensions adéquates.
4.2
Stockage de la pompe à vide
Stockage
Pfeiffer Vacuum recommande de stocker le produit dans son conditionnement de transport
d’origine.
Procédure
1. Boucher le raccord à vide avec l’obturateur.
2. Vérifier que la soupape à lest d’air est bien fermée.
3. Stocker la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées.
4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placer la pompe à vide et un produit
dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
17/58
Installation
5 Installation
5.1
Installation de la pompe à vide
Fig. 3:
Distances minimales
Procédure
1. Placer la pompe à vide sur une surface horizontale plane.
2. Dans le cas d’une installation fixe, visser si nécessaire la pompe à vide directement sur la base.
– Déposer les pieds en caoutchouc.
3. Dans le cas d’une installation dans une enveloppe fermée, veiller à une circulation d’air adéquate
autour de la pompe.
– La pompe à vide ne possède pas de ventilateur.
4. Veiller à bien respecter les distances minimales aux composants annexes, tels que les cloisons,
les carters, etc.
5. Placer la pompe de telle sorte que la plaque signalétique du moteur reste visible et accessible.
5.2
Raccordement côté vide
AVIS
Dégâts matériels occasionnés par des gaz contaminés
Pomper du gaz contaminé endommage la pompe à vide.
► Utilisez des filtres et des séparateurs adéquats, disponibles dans la gamme d’accessoires de
Pfeiffer Vacuum, pour protéger la pompe à vide.
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses pompes
à membrane.
● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent
en ligne.
● Les accessoires décrits ne sont pas compris dans la livraison.
Prévention des pertes d’étranglement
Pour éviter les pertes de pression, les conduites de raccordement côté vide doivent être
aussi courtes que possible et de grand diamètre nominal.
Séparateur des condensats
Pfeiffer Vacuum recommande l’installation d’un séparateur de condensats au cas où de la
vapeur se formerait pendant l'évacuation.
Procédure
1. Enlever le bouchon obturateur du raccord à vide.
2. Établir le raccordement le plus court possible entre la pompe à vide et l’enceinte à vide.
3. Choisir une conduite de vide de diamètre au moins égal au diamètre nominal du raccord à vide.
18/58
Installation
4. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à
bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum.
5. Raccorder la pompe à vide au circuit de vide par l’intermédiaire du raccord à vide.
5.3
Raccordement du côté refoulement
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz
sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement.
Procédure
1. Choisir un diamètre minimum égal au diamètre nominal du raccord d'échappement.
2. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à
bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum.
3. Installer la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats.
4. Fixer ou accrocher la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la
pompe à vide.
19/58
Interfaces
6 Interfaces
AVIS
Risque de dégâts aux circuits électroniques
Le débranchement des connecteurs mâle-femelle du système de bus alors que l’équipement est
sous tension peut provoquer la destruction de composants électroniques.
► Toujours couper l’alimentation électrique avant de retirer la fiche de connexion.
► Après avoir éteint le bloc d’alimentation, attendre la dispersion complète de la charge résiduelle
avant de débrancher le connecteur mâle-femelle.
20/58
1
→
15
→
8
9
Fig. 4:
Affectation des broches de la prise D-Sub à 15 connecteurs
Broche
Fonction
Description et réglage d’usine
1
Entrée +24 VCC
Tension d’alimentation de l’entraînement et de l’interface
2
Demande d’accès d’entrée
numérique
V+ : Commande par entrées numériques --> GND/ouverte :
Commande débloquée
3
Entrée numérique 1
V+ : Mode de réglage de la vitesse de rotation --> GND/
ouverte : pas de mode de réglage de la vitesse de rotation
4
n.c.
5
Entrée numérique du groupe de pompage
V+ : Pompe à vide en marche --> GND/ouverte : Pompe à
vide à l’arrêt
6
Entrée numérique mode
veille
V+ : Mode veille--> GND/ouverte : Pas de mode veille
7
V+
Sortie 24 V
8
Sortie numérique 1
GND : Erreur. V+ : Pas d’erreur
9
Sortie numérique 2
GND : Pompe à vide à l’arrêt. V+ : Pompe à vide en marche
10
n.c.
11
n.c.
12
n.c.
13
RS-485
D+
14
RS-485
D-
15
Terre (GND)
Raccordement à la terre de la tension d’alimentation ; terre
de référence pour toutes les entrées et sorties numériques
Tab. 5:
Affectation des broches de la prise d’interface D-Sub à 15 connecteurs de la pompe
Interfaces
1
3
4
Fig. 5:
2
Exemple de connexion : MVP 030-3 DC – DCU/TPS
1 TPS
2 DCU/HPU
3
4
MVP
Câble de raccordement, référence de commande : PM 061 350 -T
21/58
Interfaces
1
5
Fig. 6:
3
4
Exemple de connexion : MVP 030-3 DC – HiPace/DCU/TPS
1 TPS
2 DCU/HPU
3 MVP
6.1
2
4
5
Pompe turbomoléculaire HiPace
Câble de raccordement, référence de commande : PE 100 013 -T
Tension d’alimentation
Entrée 24 V CC : L’alimentation électrique est assurée par un câble de raccordement des accessoires
Pfeiffer Vacuum ou par un câble fourni par le client.
● Broche 1 : +24 V CC
● Broche 15 : Terre (GND)
Sortie 24 V CC / broche 7 : Les entrées 2 à 6 sont actives si elles sont raccordées à la broche 7 (actif
haut) sous +24 VCC. Elles sont également activables par un automate (PLC) externe. Les fonctions
sont désactivées par « niveau haut PLC » et « niveau bas PLC ».
●
●
●
●
6.2
Niveau haut PLC : +13 V à +33 V
Niveau Bas PLC : -33 V à +7 V
Ri : 7 kΩ
Imax < 200 mA
Entrées
Les entrées numériques commutent diverses fonctions de l’unité de commande électronique. Les entrées sont affectées avec des fonctions en départ d’usine. Vous pouvez les configurer via l’interface
RS-485 et l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum.
DI priorité à distance/broche 2
V+ :
Le raccordement « remote » a une commande prioritaire sur toutes les autres sources de
commande.
ouverte : Priorité à distance « inactive »
22/58
Interfaces
DI1 (mode de réglage de la vitesse de rotation)/broche 3
V+ :
Mode de réglage de la vitesse de rotation « actif »
ouverte : Mode de réglage de la vitesse de rotation « inactif »
DI groupe de pompage / broche 5
V+ :
Pompe à vide en marche.
Commande de tous les composants raccordés et quittance de défaillance.
ouverte : Pompe à vide à l’arrêt
DI standby / broche 6
V+ :
Standby activé
La vitesse de standby est réglable entre 30 et 100 % de la vitesse nominale.
Reliée à Standby désactivé
la masse
(GND)/
ouverte :
6.3
Sorties
Les sorties numériques présentent une limite de charge maximale de 24 V/50 mA par sortie. Toutes les
sorties recensées sont configurables avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum par l’intermédiaire de l’interface RS-485 (description portant sur les réglages d’usine).
DO1/broche 8
V+ :
Pas d’erreur
Lorsque la tension est appliquée, la sortie numérique DO1 est en permanence au potentiel V+, qui signifie l’absence d’erreur (no error).
Erreur
« Active low » (actif bas) signifie la présence d’une erreur (message courant).
GND
DO2/broche 9
V+ :
GND :
6.4
Pompe à vide en marche
« Actif haut » signifie « Pompe à vide en marche » et en rotation à la vitesse de rotation
réglée.
Exemple : Utilisation du signal pour le message de la pompe à vide « Prêt pour le fonctionnement ».
Pompe à vide à l’arrêt
Interface RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
L'interface avec la désignation « RS-485 » est prévue pour le branchement d’un panneau d’affichage et
de commande Pfeiffer Vaccum (DCU ou HPU) ou d’un ordinateur externe. Les connexions sont séparées galvaniquement et isolées de la tension d’alimentation maximale de l’unité d’entraînement électronique.
Désignation
Valeur
Interface série
RS-485
Vitesse de transmission
9 600 bauds
Longueur de mot
8 bits
Parité
aucune (pas de parité)
23/58
Interfaces
Désignation
Valeur
Bits de départ
1
Bits d’arrêt
1
Tab. 6:
Caractéristiques de l’interface RS-485
Raccordement des modules de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum ou du PC
► Utilisez le câble de raccordement fourni avec l'unité de commande ou issu du programme d’accessoires.
► Vous pouvez raccorder une unité de commande externe à l’interface RS-485.
► Vous pouvez raccorder une interface USB (PC) via le convertisseur USB RS-485.
Mise en réseau en tant que bus RS-485
L’adresse groupée de l’unité de commande électronique est 902.
1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485.
2. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente
[P:797].
3. Connectez tous les appareils au bus avec RS-485 D+ et RS-485 D-.
6.5
Interconnexion via la connexion RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
USB/RS-485 converter
M12
Y connector
M12
RS-485
MVP
MVP
M12
RS-485
MVP
Fig. 7:
24/58
Mise en réseau par l’interface RS-485
Interfaces
6.6
Options de connexion via l’interface RS-485
USB/RS485-converter
M12
HPU
RJ45
DCU 002
TPS
M12
M12 RS485
H iPa c e
DC in
MVP
DCU 110 - 310
M12 RS485
M12
H iPa c e
DC in
MVP
Fig. 8:
Options de connexion via l’interface RS-485
Connexion des panneaux d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC
Au niveau de l’interface RS-485, un panneau de commande externe peut être connecté dans chaque
cas.
1. Utiliser le câble de raccordement respectif fourni avec le panneau de commande ou compris dans
la gamme d’accessoires.
2. Utiliser l’option pour connecter un PC via le convertisseur USB/RS-485.
6.7
Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.7.1
Cadre télégramme
Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vaccum contient uniquement des caractères ASCII [32;
127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un maître
(par ex.
(par ex. unité de commande électronique ou jauun PC) envoie un télégramme, auquel un esclave
ge) va répondre.
a2
a1
a0
*
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
c2
c1
c0
CR
a2 – a0
Adresse de l’unité pour l’esclave
● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"]
● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse)
● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse)
*
Action selon la description du télégramme
n2 – n0
Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum
I1 – I0
Longueur de données dn à d0
dn – d0
Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Types de données », page 26).
c2 – c0
Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) module 256
CR
Retour à la ligne (ASCII 13)
25/58
Interfaces
6.7.2
Description du télégramme
Interrogation des données
-->
?
a2
n2
n1
a1
a0
0
0
Instruction de réglage
a2
a1
a0
1
-->
!
n2
n1
0
n0
0
2
l1
l0
dn
n0
Réponse des données / instruction de réglage comprise
a2
a1
a0
1
0
Message d’erreur
a2
a1
a0
1
0
n2
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
6.7.3
=
?
...
c2
c1
c0
cR
d0
c2
c1
c0
cR
c2
c1
c0
cR
c1
c0
cR
-->
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
0
6
N
O
_
D
E
F
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
-->
n1
n0
c2
Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus
Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée
Erreur d'accès logique
Télégramme exemple 1
Demande de données
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil esclave : « 123 »)
-->
?
ASCII
1
2
3
0
0
3
0
9
0
2
=
?
1
1
2
cR
49
50
51
48
48
51
48
57
48
50
61
63
49
49
50
13
Réponse des données : 633 Hz
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil esclave : « 123 »)
-->
1
2
3
1
0
3
0
9
0
6
0
0
0
6
3
3
0
3
7
cR
ASCII
49
50
51
49
48
51
48
57
48
54
48
48
48
54
51
51
48
51
55
13
6.7.4
Télégramme exemple 2
Commande de contrôle
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil esclave : « 042 »
-->
!
ASCII
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
Commande de contrôle comprise
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil esclave : « 042 »
-->
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
6.7.5
26/58
Types de données
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
0
boolean_old
Valeur logique (faux / vrai)
06
000000 est l'équivalent de faux
111111 est l'équivalent de vrai
1
u_integer
Nombre entier positif
06
000000 à 999999
Interfaces
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
2
u_real
Nombre à point fixe positif
06
001571 correspond à 15.71
3
u_expo
Nombre exponentiel positif
06
1,2E -2 est équivalent à
1,2 · 10-2
005E8 est équivalent à 5 · 108
4
string
Chaîne de 6 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
06
TC_110, TM_700
6
boolean_new
Valeur logique (faux / vrai)
01
0 est l'équivalent de faux
1 est l'équivalent de vrai
7
u_short_int
Nombre entier positif
03
000 à 999
10
u_expo_new
Nombre exponentiel positif. Les
deux derniers chiffres sont l'exposant avec une déduction de
20.
06
100023 est équivalent à
1,0 x 103
100000 est équivalent à
1,0 x 10-20
11
string16
Chaîne de 16 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127.
16
voici-un-exemple
12
string8
Chaîne de 8 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
08
Exemple
27/58
Ensemble de paramètres
7 Ensemble de paramètres
7.1
Généralités
Toutes les variables de la pompe à vide concernant son fonctionnement sont conservées sous forme
de paramètres dans l’unité de commande électronique. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois
chiffres et d’une description. Ces paramètres sont accessibles aux panneaux d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum et à l’interface RS-485 avec le protocole Pfeiffer Vacuum.
Conventions
Les paramètres sont inscrits en gras sous forme de nombres à trois chiffres entre crochets. Il est
également possible de spécifier leur désignation.
Exemple : [P:312] version logicielle
Paramètres d’usine
L’unité de commande électronique est préprogrammée en usine. La pompe à vide est ainsi utilisable
directement et en toute sécurité sans configuration supplémentaire.
Néanmoins, les paramètres suivants sont configurables en cas de procédé spécifique :
● [P:026] : mode de réglage de la vitesse de rotation actif/inactif.
● [P:707] : spécification du mode de réglage de la vitesse de rotation entre 25 et 134 % du régime
nominal.
● [P:002] : mode standby actif/inactif.
#
Nombre à trois chiffres du paramètre
Affichage
Affichage de la description des paramètres
Description
Brève description des paramètres
Fonctions
Description de la fonction des paramètres
Type de données
Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
Type d’accès
R (lecture) : Accès en lecture ; W (écriture) : Accès en écriture
Unité
Unité physique de la variable décrite
min. / max.
Valeurs limites autorisées pour la saisie d'une valeur
Par défaut
Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe)
Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l'unité de commande électronique
Tab. 7:
Explication et signification des paramètres
7.2
Instructions de commande
#
Écran
Désignations
Fonctions
Type
de
données
Type
d’accès
002
Standby
Standby
0 = arrêt
1 = marche
0
010
PumpgStatn
Pompe
0 = arrêt
1 = marche
019
Cfg DO2
Configuration
sortie DO2
1 = pas d’erreur
2 = erreur
5 = vitesse de rotation réglée atteinte
6 = pompe en marche
9=«0»
10 = « 1 »
11 = priorité à distance active
28/58
Unité
min.
max.
Par
défaut
Mémorisable
RW
0
1
0
x
0
RW
0
1
0
x
7
RW
0
20
6
x
Ensemble de paramètres
#
Écran
Désignations
Fonctions
Type
de
données
Type
d’accès
024
Cfg DO1
Configuration
sortie DO1
Paramètres, voir [P:019]
7
026
SpdSetMode
Fonctionnement de l’actionneur (de vitesse)
0 = arrêt
1 = marche
060
CtrlViaInt
Fonctionnement de l’interface
061
IntSelLckd
Sélection de
l’interface verrouillée
Tab. 8:
Unité
min.
max.
Par
défaut
Mémorisable
RW
0
20
1
x
7
RW
0
1
0
x
1 = à distance
2 = RS-485
4 = PV.can
32 = touches sur le panneau avant
255 = sélection d’interface
7
RW
1
255
1
x
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
x
min.
max.
0
9999,99
Ensemble de paramètres | Instructions de commande
7.3
Demandes d’état
#
Écran
Désignations
303
Code d’erreur
309
ActualSpd
310
311
Type
de données
Type
d’accès
Code d’erreur
4
R
Vitesse de rotation réelle
(Hz)
1
R
Hz
DrvCurrent
Courant d’alimentation
2
R
A
OpHrsPump
Heures de service pompe
1
R
h
312
Fw version
Version logicielle de la
carte d’interface
4
R
313
DrvVoltage
Tension d’alimentation
2
R
R
315
Nominal Spd
Vitesse de rotation nominale (Hz)
1
R
Hz
316
DrvPower
Puissance d’entrée
1
R
W
330
TempPump
Température pompe
1
R
°C
349
ElecName
Désignation de l’appareil
4
R
352
FWVERSDRV
Version de micrologiciel
4
R
354
HW Version
Version matérielle de la
carte d’interface
4
R
398
ActualSpd
Vitesse réelle (tr/min)
1
R
tr/min
399
NominalSpd
Vitesse de rotation nominale (tr/min)
1
R
tr/min
Tab. 9:
Fonctions
Tension
sous
forme
x.xx V
Sortie
sous
forme
xW
Unité
Par
défaut
Mémorisable
x
0
999999
Ensemble de paramètres | Demandes d’état
29/58
Ensemble de paramètres
7.4
Entrée des valeurs de référence
#
Écran
Désignations
Fonctions
Type
de
données
Type
d’accès
Unité
min.
max.
Par
défaut
Mémorisable
707
SpdSVal
Consigne dans le mode de contrôle de vitesse
Consigne de
vitesse de rotation en pourcentage du régime nominal
2
RW
%
25
170
75
x
717
StdbySVal
Valeur de consigne de
vitesse de rotation en
mode standby
2
RW
%
30
100
66,7
x
797
RS485Adr
Adresse interface
RS-485
1
RW
1
255
1
x
Tab. 10:
7.5
Ensemble de paramètres | Entrée des valeurs de référence
Paramètres additionnels pour le DCU
Paramètres additionnels dans le panneau de commande
L’ensemble de paramètres de base est défini, départ usine, dans l’unité d’entraînement
électronique. Pour la commande des composants externes connectés (par ex. instruments
de mesure du vide), des paramètres additionnels (ensemble de paramètres avancés) sont
disponibles sur les panneaux d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum correspondants.
● Se reporter aux consignes d’utilisation correspondantes des différents composants.
● Sélectionner l’ensemble de paramètres avancés avec le paramètre [P:794] = 1.
#
Affichage
Description
340
Pression
350
Type
de données
Type
d’accès
Unité
min.
max.
Valeur de pression actuelle (ActiveLine)
7
R
hPa
1·10 -10
1·10 3
Nom ctr
Panneau d’affichage et
de commande : type
4
R
351
Logiciel ctr
Panneau d’affichage et
de commande : version
du logiciel
4
R
738
Type de jauge
Type de manomètre
4
RW
794
Ensemble
param
Ensemble de paramètres
7
RW
0
1
795
Servicelin
Insérer ligne de service
7
RW
Tab. 11:
30/58
Fonctions
0 = ensemble
de paramètres de base
1 = ensemble
de paramètres avancés
Paramètre des fonctions DCU
Par
défaut
0
795
Utilisation
8 Utilisation
8.1
Mise en service de la pompe à vide
Les réglages et variables fonctionnelles essentielles sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par ces paramètres sont
assurés par les modules d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, ou en externe via l’interface
RS-485 avec le protocole Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
AVIS
Dégâts à la pompe à vide provoqués par une surpression
La permutation des raccordements peut causer une surpression. La pression différentielle entre entrée et sortie doit être de 1 bar max. pour pouvoir démarrer la pompe à vide, sans quoi le moteur
s’arrête et subit des dégâts.
► Vérifier que le distributeur est installé correctement sur les têtes de la membrane avant de raccorder la pompe à vide et l’appareil à vide.
► Avant la mise en service, vérifier impérativement que la pression côté échappement est inférieure à la limite admissible.
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage ou valeur
[P:707]
SpdSVal
Spécification de fonctionnement en mode de contrôle
de vitesse
75 %
Tab. 12:
Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes à membrane livrées
Procédure
1. Comparer les spécifications de fréquence sur la plaque signalétique à la tension d’alimentation
disponible.
2. Vérifiez que le raccord d'échappement n'est pas obturé (pression max. admissible : 1100 hPa absolus).
3. Actionnez les appareils de fermeture pour qu’ils s’ouvrent avant ou pendant le démarrage de la
pompe à vide.
8.2
Mettre en marche la pompe à vide
Lors du pompage de gaz secs, aucune précaution particulière n’est nécessaire.
31/58
Utilisation
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Porter des équipements de protection adaptés.
Durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide
En fonction de la température ambiante, la durée nécessaire pour atteindre la température
de fonctionnement de la pompe à vide est d’au moins 30 minutes.
Condition préalable
● les raccordements par câble nécessaires doivent être établis
Mettre en marche la pompe à vide
1. Au besoin, activer la pompe à vide dans chaque domaine de pression en utilisant l’une des 3 méthodes possibles :
– Par l’interrupteur du bloc d’alimentation, avec les liaisons de broches correctes en place sur
la prise D-Sub à 15 broches
– Par les périphériques DCU/HPU
– Par un contrôle d’automate (PLC) sur la prise D-Sub à 15 broches
2. Laissez la pompe à vide monter en température avant de démarrer le procédé, raccord à vide fermé.
La pompe à vide atteint les valeurs spécifiques de débit et de pression finale dès que la température de
fonctionnement a été atteinte.
8.3 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer
Vacuum
L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et
prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions
pour l’unité de commande électronique avec l’ensemble de paramètres.
8.3.1
Configuration des sorties numériques
Option
Description
1 = pas d’erreur
État actif, fonctionnement normal
2 = erreur
État actif si le message d’erreur est actif
5 = vitesse de rotation réglée
atteinte
État actif une fois la consigne de vitesse de rotation atteinte
6 = pompe en marche
État actif si la pompe et le moteur sont en marche et en l’absence
d’erreur
9 = toujours 0
GND pour la commande d’un appareil externe
10 = toujours 1
V+ pour la commande d’un appareil externe
11 = à distance
État actif si la priorité à distance est active
Tab. 13:
Configurer les paramètres [P:019] et [P:024]
Procédure
► Effectuer la configuration conformément au tableau.
8.3.2
32/58
Sélection des interfaces
Option [P:060]
Description
1 = à distance
Fonctionnement via connexion « à distance »
2 = RS-485
Fonctionnement via la connexion « RS-485 »
Utilisation
Option [P:060]
Description
4 = PV.can
À des fins de maintenance uniquement
32 = touches sur le panneau avant
Fonctionnement manuel
Option [P:061]
0 = arrêt
La sélection de l’interface peut être définie avec [P:060].
1 = marche
Sélection de l’interface verrouillée
Tab. 14:
Paramètres [P:060] et [P:061]
Procédure
► Sélectionner l'interface conformément au tableau.
8.4
Modes de fonctionnement
Les modes de fonctionnement suivants sont possibles :
● Fonctionnement sans unité de commande
● Fonctionnement régi par une unité de commande externe
● Fonctionnement par l’intermédiaire de l’interface RS-485 et du module d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC
Grâce à la connexion d'un panneau de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum, la pompe à vide peut
être contrôlée par l'intermédiaire des paramètres fixés dans l'unité de commande électronique.
Démarrage automatique
Après liaison des contacts des broches 2, 7, 5 sur la fiche de connexion ou à l’aide d’un
câble de raccordement comportant ces liaisons, la pompe à vide démarre immédiatement
en appliquant la tension d’alimentation.
Pfeiffer Vacuum recommande par conséquent d’allumer le bloc d’alimentation immédiatement avant la mise en marche.
Fonctionnement sans unité de commande
1. Brancher le câble de raccordement correspondant avec des ponts sur le connecteur de l’unité de
commande électronique.
2. Branchez l’alimentation en courant sur le bloc d’alimentation.
3. Allumer le bloc d’alimentation en actionnant l’interrupteur S1.
Après application de la tension de fonctionnement, la pompe à vide effectue un test automatique pour
contrôler la tension d’alimentation. En l’absence d’erreur au test automatique, la pompe à vide démarre.
Fonctionnement via la commande externe
► Brancher la commande à distance à la prise D-Sub à 15 broches.
Le contrôle est effectué au moyen du « PLC level » (niveau automate).
Fonctionnement avec les périphériques DCU ou HPU.
1. L'unité d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum doit être manipulée conformément aux manuels de l’utilisateur correspondants :
– Manuel de l'utilisateur « DCU » à télécharger à la rubrique Download Center.
– Manuel de l'utilisateur « HPU » à télécharger à la rubrique Download Center.
2. Brancher le périphérique à la prise D-Sub à 15 broches.
3. Allumer le bloc d’alimentation en actionnant l’interrupteur S1 ou sur le périphérique.
4. Effectuer les réglages nécessaires par l’interface RS-485 à l’aide du périphérique.
8.4.1
Fonctionnement de l’actionneur (de vitesse)
La consigne de vitesse de rotation est modifiable avec le paramètre [P:707], dans l’intervalle 30 à
134 % du régime nominal. Si la vitesse est supérieure au régime nominal (> 100 %), l’usure de la pompe risque d’être plus rapide.
Le mode de réglage de la vitesse de rotation est prioritaire sur le mode standby.
33/58
Utilisation
Plage de vitesses de rotation admissibles de la pompe à vide
Le paramétrage dans le mode de réglage de la vitesse de rotation dépend de la plage de
vitesses de rotation admissibles de la pompe à vide concernée. L’unité de commande électronique régule automatiquement la vitesse à la valeur valide la plus proche.
Régler le mode de réglage de la vitesse de rotation
1. Régler le paramètre [P:707] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 1 ».
3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]).
8.4.2
Mode standby
Pfeiffer Vacuum recommande de passer en mode standby pendant les arrêts de production et de procédé. Lorsque le mode standby est actif, l’unité de commande électronique réduit la vitesse de la pompe à vide dans une proportion de 30 à 100 % de la vitesse nominale. Le réglage d’usine est 66,7 % de
la vitesse nominale.
Réglage des paramètres associés
1. Régler le paramètre [P:717] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ».
3. Régler le paramètre [P:002] sur « 1 ».
4. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]).
8.4.3
Fonctionnement normal
La pompe à vide démarre à la vitesse maximale pendant 5 minutes max. La valeur de l’intensité est
suivie en parallèle. Si le courant baisse en-deçà d’un certain seuil, la vitesse est abaissée au régime
nominal. Si la puissance d’entrée augmente de nouveau, la vitesse n’augmente pas automatiquement.
La vitesse augmente de nouveau après l’arrêt/démarrage de la pompe à vide.
Réglage des paramètres associés
1. Régler le paramètre [P:002] sur « 0 ».
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ».
3. Contrôler la consigne de vitesse de rotation (paramètre [P:308]).
8.5
Fonctionnement de la pompe à membrane avec le lest d'air
AVERTISSEMENT
Risque d’explosion lié aux mélanges gaz/air réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux
L’entrée incontrôlée de gaz par la soupape de lest d'air peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, ou provoquer l’échauffement des surfaces ou encore la formation
de mélanges gaz/air potentiellement explosifs dans le circuit de vide formés par l’électricité statique.
► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle.
– Surpression max. = 200 hPa
► Utiliser le raccordement de gaz de balayage (numéro de commande : PK 050 299) fourni dans
les accessoires.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques
Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la soupape de lest d’air
ouverte. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par les substances de processus toxiques.
► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte pour éviter une contamination potentielle.
– Surpression max. = 200 hPa
► Si nécessaire, utiliser une conduite d’évacuation.
► Utiliser le raccordement de gaz de balayage (numéro de commande : PK 050 299) fourni dans
les accessoires.
34/58
Utilisation
AVIS
Risque de dégâts dus à la condensation dans la pompe à vide
Lors du fonctionnement sans lest d’air, de la condensation peut se former en cas de dépassement
des caractéristiques de compatibilité à l’état gazeux dans la pompe à vide.
► Pompez les gaz condensables uniquement lorsque la pompe à vide est à température de fonctionnement et la soupape à lest d’air ouverte.
► Laissez la pompe à vide tourner pendant 30 minutes de plus avec la soupape à lest d’air ouverte.
– Ceci protège la pompe à vide contre la corrosion.
1
0
Fig. 9:
Soupape à lest d’air
0 Soupape de lest d’air fermée
1
Soupape de lest d’air ouverte
Comportement avec les gaz de processus et des vapeurs condensables
► Utiliser la pompe à vide avec un lest d’air, p. ex. soupape de lest d’air ouverte.
Ouvrir la soupape de lest d’air
► Tourner le bouton sur la soupape de lest d’air vers la gauche, en position « 1 », pour l’ouvrir.
Fermeture de la soupape de lest d’air
► Tournez le bouton sur la soupape de lest d’air vers la droite, en position « 0 », pour la fermer.
8.6
Pomper des vapeurs condensables
Les vapeurs et l’humidité de la substance pompée nuisent au débit après condensation dans la pompe
à vide.
AVERTISSEMENT
Risque d’explosion de mélanges d’air/gaz réactif, explosif ou autre.
L’entrée incontrôlée de gaz par la tuyère du gaz de balayage peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, l’échauffement des surfaces ou la formation de mélanges
d’air/gaz explosif dans le circuit de vide formés par l’électricité statique.
► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle.
ATTENTION
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques
Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la tuyère de gaz de
balayage.
► Si nécessaire, utiliser une conduite d’évacuation.
35/58
Utilisation
Pression d’entrée maximum
La pression à l’aspiration maximum admissible sur le raccordement de gaz de balayage est
de 1 200 hPa absolu.
Accessoires nécessaires
● Raccordement de gaz de balayage PK 050 299
● Tuyau flexible DN 6 ou DN 10
Installer le raccordement de gaz de balayage
L’utilisation du raccordement de gaz de balayage optionnel améliore l’expulsion des condensats et la
pompe atteint plus vite à nouveau le vide final spécifique.
1. Retirez le bouchon de la soupape de lest d’air.
2. Poussez le raccordement de gaz de balayage sur la soupape de lest d’air.
3. Raccordez le tuyau flexible DN 6 ou DN 10 sur le raccordement de gaz de balayage.
4. Amenez la pompe à vide à sa température de fonctionnement avant de commencer le processus.
5. Laissez tourner la pompe à vide pendant environ 30 minutes après avoir terminé le processus
avant de l’éteindre.
8.7
Surveillance des opérations
8.7.1
Affichage LED du mode de fonctionnement
Le témoin LED sur l’unité de commande électronique indique l’état de fonctionnement général. Un affichage différencié des dysfonctionnements et des avertissements est uniquement possible lors d’un
fonctionnement avec DCU ou HPU.
Écran
Tab. 15:
8.7.2
Activité
Signification
Aucune
● Alimentation électrique inadaptée
10 % d’activité, 1 Hz
● Pas d’erreur
● Pompe à vide à l’arrêt
● Pompe à vide immobile
50 % d’activité, 1 Hz
● Pas d’erreur
● Pompe à vide à l’arrêt
● Pompe à vide toujours en rotation
90 % d’activité, 1 Hz
● Pas d’erreur
● Pompe à vide en marche
● Consigne de vitesse de rotation non atteinte
100 % d’activité
● Pas d’erreur
● Pompe à vide en marche
● Vitesse cible atteinte
50 % d’activité, 10 Hz
● Défaillance
Comportement et signification du témoin LED de l’unité de commande électronique
Surveillance de la température
Lorsque la température de la pompe est excessive (> 75 °C), l'unité de commande électronique réduit
le régime du moteur jusqu’au régime nominal pour prévenir toute surchauffe de la pompe à vide.
Après refroidissement (< 72 °C), la pompe à vide se remet à tourner à la vitesse de consigne.
8.8
Mise hors tension de la pompe à vide
Procédure
1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que
tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide.
2. Au besoin, désactivez la pompe à vide dans chaque domaine de pression.
3. Débrancher le bloc d’alimentation.
36/58
Maintenance
9 Maintenance
9.1
Consignes de maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
ATTENTION
Risque de blessures dues aux pièces mobiles
Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation.
► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur.
► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage les pièces de la pompe.
► Utilisez uniquement des agents nettoyants autorisés pour nettoyer les pièces de la pompe.
► Utilisez uniquement un chiffon sec propre pour nettoyer les membranes et les vannes.
► Ne pas utiliser d’alcool ou d’autres produits de nettoyage pour nettoyer les membranes et les
vannes.
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte
Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité.
► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance.
► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique.
Le nettoyage et l’entretien de la pompe à vide sont résumés ci-dessous.
Les clapets et les membranes sont des pièces d’usure.
Composant
Heures de fonctionnement
Diaphragmes
15 000
Vannes
15 000
Paliers du moteur
40 000
Tab. 16:
Durée de vie typique dans le cadre d'une utilisation normale
Conditions préalables
● Pompe à vide à l’arrêt
● Pompe à vide mise à l’air à la pression atmosphérique
● Pompe à vide refroidie
37/58
Maintenance
Équipement nécessaire
● Chiffon (propre, non pelucheux)
● Eau ou solution à base de savon doux
Maintenance de la pompe à vide
1. Débranchez l’alimentation électrique de la pompe.
2. Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
3. Éliminez toute contamination externe sur la pompe à vide avec un chiffon légèrement humidifié
avec de l’eau ou une solution à base de savon doux.
4. Laissez bien sécher les pièces après le nettoyage.
5. Concernant le travail de maintenance, démontez uniquement ce qui est nécessaire sur la pompe
à vide.
6. Avec un chiffon sec, nettoyez la chambre d’aspiration, les diaphragmes et les vannes.
7. Contrôlez les fissures sur les membranes et les vannes au plus tard lorsque les valeurs de pression atteintes baissent.
9.2
Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien
Remarques relatives aux intervalles de maintenance
En fonction du processus, les intervalles de maintenance requis peuvent être plus courts
que les valeurs indicatives du tableau.
● En cas de charges extrêmes ou de processus spécifiques, consulter Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts.
Maintenance niveau 2
Nous recommandons que Pfeiffer Vacuum Service prenne en charge les opérations de
maintenance de niveau 2. Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de
maintenance est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de responsabilité ne sera
acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que
les pièces de rechange d’origine.
Action
Inspection
Maintenance niveau 1
Maintenance niveau 3
Intervalle
comme nécessaire ;
au moins
tous les
six mois
comme nécessaire ;
au moins
tous les
2 ans
comme nécessaire ;
au moins
tous les
4 ans
Contrôler le silencieux à la recherche d'une contamination éventuelle 2)
■
Tester la pompe à vide de façon optique et acoustique
■
Équipement nécessaire
Lire et analyser les données de la pompe
■
Nettoyer la pompe à vide
■
Remplacer les membranes et les vannes
■
Kit de révision
Remplacer le silencieux 3)
■
Silencieux
Exécutez un test de fonctionnement
■
Inspection entrante avec mesure des vibrations
■
Démonter complètement la pompe à vide
■
Nettoyer complètement la pompe à vide
■
38/58
2)
si présent
3)
si présent
Maintenance
Action
Inspection
Maintenance niveau 1
Maintenance niveau 3
Intervalle
comme nécessaire ;
au moins
tous les
six mois
comme nécessaire ;
au moins
tous les
2 ans
comme nécessaire ;
au moins
tous les
4 ans
Équipement nécessaire
Changer le filtre de lest d’air 4)
■
Filtre
Remplacer toutes les pièces d’usure
■
Membranes, vannes, soupapes,
joints annulaires,
silencieux
Tab. 17:
9.3
Intervalles de maintenance
Démontage / montage de la poignée
Outillage nécessaire
● Tournevis à tête Phillips (cruciforme), taille 2
1
2
3
4
Fig. 10:
Poignée
1 Poignée
2 Couvercle de carter I
3
4
Vis (2×)
Rainure
Démontage de la poignée
1. Desserrer les vis sur la poignée.
2. Sortir la poignée de ses rainures du couvercle de carter.
Montage de la poignée
1. Emmancher la poignée dans les rainures du couvercle de carter.
2. Veiller à bien positionner la poignée au-dessus du centre de gravité de la pompe à vide.
3. Serrer les vis de la poignée sur les rainures du couvercle de carter.
9.4
Remplacement des membranes et des vannes
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une installation incorrecte
Si les disques d’écartement d’origine sont mal installés, le volume mort peut varier, ce qui affecte le
vide final ou endommager les paliers.
► Lors du démontage, les disques d’écartement doivent être séparés selon le lieu de mise en place.
► Réinstallez le même nombre de disques d’écartement d’origine par tête de membrane.
4)
si présent
39/58
Maintenance
9.4.1
Démontage de la tête de pompe et des clapets
Éviter d’intervertir les pièces
Toujours monter et démonter une seule tête de pompe à la fois pour éviter d’intervertir les
pièces.
Les procédures sont identiques pour les deux têtes de pompe.
Conditions préalables
● Poignée démontée
● Support assuré pour la pompe à membrane
Outillage nécessaire
● Clé plate, WAF 14
● Clé plate, WAF 17
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4
1
2
3
4
5
6
7
Fig. 11:
1
2
3
4
Tête de pompe et clapets
Vis à tête cylindrique (6×)
Couvercle de carter 1
Clapets (4×)
Couvercles de chapeau (2x)
5
6
7
Raccord angulaire (2×)
Raccord à vis
Raccord de tuyau
Procédure
1. Desserrer les pièces d'assemblage à boulons.
2. Tourner le raccord angulaire au max. d’1/4 de tour dans le sens anti-horaire, jusqu’à ce que le
raccord de tuyau puisse être desserré.
3. Desserrer les pièces d'assemblage à boulons.
4. Démonter le raccord de tuyau.
5. Dévisser les vis à tête cylindrique sur le couvercle de carter.
40/58
Maintenance
6. Retirer le couvercle de carter.
7. Retirer les couvercles de chapeau, chacun avec ses deux clapets.
– Si les clapets adhèrent au couvercle de carter, les décoller avec précaution ; sinon, retirer les
clapets des couvercles de chapeau.
9.4.2
Dépose des diaphragmes
Condition préalable
● Tête de pompe et clapets démontés
Outil nécessaire
● Clé à diaphragme, WAF 46
Pièces détachées requises
● Kit de révision, clé à diaphragme incluse
Consommables nécessaires
● Chiffon sec propre
● Alcool ou solvant de nettoyage, si nécessaire
1
M
2
3
1/2/3
4
5
Fig. 12:
Remplacement des membranes
1 Disque de tension
2 Diaphragme
3 Anneau support
4
5
M
Disques d’écartement
Tête de pompe 2
Clé à diaphragme
Dépose des diaphragmes
1. Courbez avec précaution la membrane sur le côté et pendant ce temps, placez la clé à membrane
sur l’anneau support.
– N'utilisez pas d’outillage à bords coupants.
2. Dévissez l’anneau support, la membrane et le disque de tension.
3. Faites attention aux disques d’écartement sous la membrane.
– Réutilisez les disques d’écartement d’origine sur chaque lieu d’installation lors du remontage.
4. Retirez l’anneau support et la membrane sur le carré de la vis de raccordement du disque de tension.
– Si la membrane adhère à l’anneau support, décollez la au moyen d’alcool ou d’un solvant de
nettoyage.
41/58
Maintenance
9.4.3
Installations de la membrane
Outillage nécessaire
● Clé à membrane, WAF 46
Pièces détachées requises
● Nécessaire de remise en état, avec clé à membrane
Produits consommables requis
● Chiffon sec propre
● Alcool ou solvant de nettoyage, si nécessaire
Installation de la membrane
1. Nettoyez toutes les pièces avec un chiffon propre et sec.
2. Remplacez les pièces d’usure (clapets et diaphragmes) par celles du lot de pièces de rechange.
3. Placez la membrane (côté bleu vers le haut) et l’anneau support sur le carré de la vis de raccordement du disque de tension.
– Veillez à ce que la membrane soit bien positionnée dans le carré de la vis de raccordement.
4. Placez les disques d’écartement d’origine sur la bielle correspondante.
5. Serrez l’anneau support avec la clé à membrane sur la bielle.
9.4.4
Montage de la tête de pompe et des clapets
Éviter d’intervertir les pièces
Toujours monter et démonter une seule tête de pompe à la fois pour éviter d’intervertir les
pièces.
Les procédures sont identiques pour les deux têtes de pompe.
Condition préalable
● Membranes en place
Outillage nécessaire
●
●
●
●
Clé plate, WAF 14
Clé plate, WAF 17
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4
Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
2
1
3
Fig. 13:
Positionnement correct des clapets dans le couvercle de chapeau
1 Clapet (entrée)
2 Clapet (sortie)
3
Couvercle de chapeau
Procédure
1. Introduire les clapets dans le couvercle de chapeau.
– Veiller à ce que les clapets soient positionnés correctement.
2. Fixer le couvercle de carter.
3. Commencer par visser à la main et en croix les vis à tête cylindrique sur le couvercle de carter, en
alternant les vis.
4. Puis serrer ces vis à tête cylindrique en croix sur le couvercle de carter, en alternant les vis.
– Couple de serrage : max. 6,0 ±1 Nm
5. Monter le raccord de tuyau en utilisant le raccord angulaire.
6. Serrer le raccord à vis.
42/58
Maintenance
9.5
Contrôle de la pression limite
Le taux de fuite sur la pompe à vide garantit l’obtention de la pression limite spécifiée tout en empêchant la formation de mélanges potentiellement explosifs à l’intérieur de la pompe à vide
Après remplacement de la membrane ou du clapet, la pompe à vide atteint la pression limite spécifiée
uniquement après une période de rodage de quelques heures.
Procédure
1. Mesurer la pression limite de la pompe à vide :
– après des travaux sur le système, par ex. des opérations de maintenance
– avant de remettre en place la pompe à vide
2. Comparer la pression limite mesurée avec les valeurs de test et les spécifications sur la fiche
technique.
Valeur de test
Respecter l’instruction de test séparée.
● avec lest d’air : < 4 hPa
● sans lest d’air : < 2 hPa
Conditions préalables
● Pompe à vide montée
● Circuit électrique de la pompe à vide correct
Accessoires requis
● Enceinte à vide (3 litres)
● Manomètre
● Tuyère de gaz de balayage
Mesure de la pression finale
1. Raccordez une enceinte à vide (volume d’env. 3 l) à un raccord à vide.
2. Raccordez également un manomètre (p. ex. une jauge Pirani) à l’enceinte à vide, côté vide.
3. Faire fonctionner la pompe à vide pendant au moins 2 heures avec la tuyère de gaz de balayage
ouverte (si disponible).
4. En présence de bruits inhabituels, coupez immédiatement la pompe à vide et contrôlez la position
des disques de tension.
5. Mesurez la pression finale.
Comparaison de la pression limite avec la valeur de test
1. Comparer la pression limite mesurée avec la valeur de test.
2. En cas de différence notable avec les valeurs spécifiées, après remplacement de la membrane et
des clapets, et en l’absence d’amélioration après la période de rodage, suivre la procédure suivante :
– Vérifier les raccords à vis des tuyaux de raccordement aux têtes de pompe.
– Vérifier les sièges de vanne et les chambres d’aspiration.
– Recommencer la mesure de la pression limite.
43/58
Démantèlement
10
Démantèlement
Avant d’arrêter la pompe à vide, respectez les instructions suivantes pour protéger de manière adéquate l’intérieur de la pompe à vide (chambre d’aspiration) contre la corrosion :
Procédure pour les arrêts temporaires de la pompe à vide
1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que
tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide.
2. Si une substance susceptible de détériorer des matériaux ou de former des dépôts a pénétré
dans la pompe à vide, nettoyer l’intérieur des têtes de pompe.
Procédure pour les arrêts prolongés de la pompe à vide
1. Débrancher la pompe à vide du circuit de vide.
2. Si nécessaire, retirez la pompe à vide du circuit de vide.
3. Bouchez le raccord à vide avec les bouchons d’obturation d’origine.
4. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées.
5. Si la pompe à vide doit être stockée dans un local à l’atmosphère humide ou corrosive, emballezla dans un sac en plastique, avec un produit dessiccateur.
44/58
Recyclage et mise au rebut
11
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
Protection de l'environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
11.2
Mise au rebut des pompes à diaphragme
Les pompes à diaphragme Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
1. Déconnectez l’unité de commande électronique.
2. Démantelez le moteur.
3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
45/58
Dysfonctionnements
12
Dysfonctionnements
12.1
Généralités
ATTENTION
Risque de blessures dues aux pièces mobiles
Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation.
► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur.
► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 105 °C.
► Laisser refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus.
► Porter si nécessaire des équipements de protection individuelle.
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte
Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité.
► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance.
► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique.
Tout dysfonctionnement de la pompe à vide et de l’unité d’entraînement électronique entraîne systématiquement un message d’avertissement ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est émis, ce
dernier peut être lu via les interfaces de l’unité d’entraînement électronique. En cas d'erreur, la pompe à
vide s'arrête.
En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici :
Problème
Causes possibles
Remède
La pompe à vide ne démarre pas
● Absence d’alimentation
électrique ou tension non
conforme aux spécifications du moteur
● Contrôler la tension d’alimentation.
● Température trop basse
de la pompe
● Réchauffer la pompe à vide à une
température > 5 °C.
● Le dispositif de protection
thermique du moteur
s’est déclenché
● Déterminer et éliminer la cause du
problème et laisser la pompe à vide
refroidir si nécessaire.
● Membranes ou clapets
sales
● Nettoyer la pompe à vide.
● Surpression dans la conduite d’échappement
● Vérifier la conduite d’échappement et
la nettoyer si nécessaire.
● Le dispositif de protection
thermique du moteur
s’est déclenché
● Déterminer et éliminer la cause du
problème et laisser la pompe à vide
refroidir si nécessaire.
● Pression de refoulement
trop élevée
● Vérifier que la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté refoulement ne sont
pas bouchés.
La pompe à vide s’arrête peu de temps après
son démarrage
46/58
Dysfonctionnements
Problème
Causes possibles
Remède
La pompe à vide n’atteint pas la pression limite spécifiée
● Condensats dans la pompe à vide
● Faire tourner la pompe à vide à la
pression atmosphérique pendant une
période plus longue.
● Tuyère de gaz de balayage / soupape de lest d’air
ouverte
● Fermer la tuyère de gaz de balayage / la soupape de lest d’air.
● Clapets ou membranes
sales
● Nettoyer les clapets et membranes
ou les remplacer si nécessaire.
● Fuite dans le système
● Localiser et éliminer la fuite.
● La conduite d’aspiration
n’est pas convenablement dimensionnée
● Vérifier que les raccordements sont
aussi courts que possible et que les
sections droites des conduites sont
correctement dimensionnées.
● Pression de refoulement
trop élevée
● Vérifier que la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté refoulement ne sont
pas bouchés.
● Clapets ou membranes
défectueux
● Nettoyer les clapets et membranes
ou les remplacer si nécessaire.
● Chambre d’aspiration sale
● Nettoyer la chambre d’aspiration.
● Silencieux mal fixé ou absent
● Vérifier le silencieux et le remplacer
si nécessaire.
● Clapets sales ou défectueux
● Nettoyer les clapets et membranes
ou les remplacer si nécessaire.
● Bielle ou roulement du
moteur défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
Débit de pompage de la
pompe à vide trop faible
Bruits de fonctionnement inhabituels
Tab. 18:
12.2
Dépannage sur les pompes à membrane
Codes d’erreur
Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours la mise hors circuit de la pompe à vide.
Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la mise hors circuit de la pompe à vide.
Traiter les messages d’anomalie
1. Lisez les codes d’erreur via les unités de commande et d’affichage ou un PC.
2. Éliminez la cause de l'anomalie.
3. Remettez à zéro le message d'anomalie avec le paramètre [P:009].
– Utilisez les touches rapides préconfigurées avec le symbole
ou affichez les touches sur
les unités de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum.
Code d’erreur
Problème
Causes possibles
Remède
Err098
Erreur interne de communication entre la
carte interface et l'entraînement
–
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
Err117
Température excessive de la pompe à vide (> 90 °C)
Err174
Pompe à vide bloquée
Tab. 19:
● Refroidissement insuffisant
–
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
Messages d'erreur pour la pompe à vide
47/58
Dysfonctionnements
Code d’erreur
Problème
Causes possibles
Remède
Wrn117
Température élevée de la
pompe à vide (> 75 °C)
● Refroidissement insuffisant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
Tab. 20:
Messages d'avertissement pour la pompe à vide
12.3 Messages d’avertissement et d’erreur lors du fonctionnement avec
le DCU
Outre les messages d’avertissement et d’erreur spécifiques à l’équipement sur l’unité d’entraînement
électronique, des messages additionnels sont affichés avec le panneau d’affichage et de commande
connecté.
Affichage dans
le DCU
Problème
Causes possibles
Remède
* Warning F110 *
Manomètre
● Manomètre défaillant
● Connexion au manomètre perdue
lors du fonctionnement
● Contrôler le branchement des câbles
● Effectuer un redémarrage avec le
manomètre connecté
● Remplacer complètement le manomètre
** Error E040 **
Défaut matériel
● RAM externe défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
** Error E042 **
Défaut matériel
● Somme de contrôle EPROM incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
** Error E043 **
Défaut matériel
● E2Erreur d’écriture PROM
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
** Error E090 **
Erreur appareil
interne
● RAM pas suffisamment grande
● DCU connecté à une unité d’entraînement électronique incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Connecter le DCU à la bonne unité
d’entraînement électronique
** Error E698 **
Erreur de communication
● L’unité d’entraînement électronique
ne répond pas
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
Tab. 21:
48/58
Messages d’avertissement et d’erreur lors de l’utilisation d’un DCU
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
49/58
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
50/58
Kit de pièces de rechange
14
Kit de pièces de rechange
Commande de lots de pièces de rechange
► Notez la référence de commande de la pièce détachée de la pompe à vide, accompagnée d’autres informations de la plaque signalétique si nécessaire.
► Installez uniquement des pièces détachées d’origine.
► Pour commander le kit de révision, indiquez la référence de la pompe à membrane concernée.
Ensemble de pièces de rechange
Numéro de commande
Nécessaire de remise en état, avec clé à membrane
PU E22 032 -T
Clé à membrane
P 0995 941
Tab. 22:
Kit de pièces de rechange
51/58
ACCESSOIRES
15
ACCESSOIRES
15.1
Informations sur les accessoires
Unités de commande et d’affichage
Les unités d'affichage et de fonctionnement sont utilisées pour la vérification et l'ajustement des paramètres de travail.
Unités de courant
Les unités de courant pour une fixation murale et sur rails standards ou pour un montage sur cadre assurent l’alimentation en tension.
Câbles et adaptateurs
Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres
longueurs disponibles sur demande
Raccords de tuyau
Raccords de tuyau avec adaptateurs pour le raccordement à une pompe turbomoléculaire
Bride mâle filetée
Bride mâle filetée, avec joint pour côté aspiration de la pompe à vide
Raccordement du gaz de balayage
Prévient la formation d'humidité dans la pompe à vide
15.2
Commande d'accessoires
Champ de sélection
Numéro de commande
DCU 180, module de commande et d’affichage avec unité de courant
19 po.
PM C01 821
DCU 002, appareil de commande et d'affichage
PM 061 348 AT
HPU 001, module de programmation portatif
PM 051 510 -T
TPS 180, unité de courant pour installation murale/sur rail standard
PM 061 341 -T
Câble de raccordement MVP-TC-TPS, 3 m
PE 100 013 -T
Câble de raccordement avec interface RS-485 pour MVP -> unité de courant
PM 061 350 -T
Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m
PM 061 283 -T
Raccord en Y M12 pour RS-485
P 4723 010
Convertisseur USB RS-485
PM 061 207 -T
Raccordement de gaz de balayage DN6/10 (pour MVP 040-2/
MVP 070-3 C)
PK 050 299
Tab. 23:
52/58
Accessoires
Caractéristiques techniques et dimensions
16
Caractéristiques techniques et dimensions
16.1
Généralités
Fondement des données techniques des pompes à membrane Pfeiffer Vacuum :
● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5
● ISO 21360:2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Description générale »
Les normes harmonisées suivantes sont respectées :
● CEI 61010-1
● UL 61010-1
● CSA 61010-1
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
0,75
mbar
1
1 · 10
100
1
0,1
bar
1,000
1
1 · 105
1,000
100
Pa
0,01
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
hPa
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
133,32
1,33
0,133
1
-3
-5
-3
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
Tab. 24:
750
-3
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
mbar l/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m3/s
10
1
592
7,5
sccm
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 25:
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,27 · 10
1.67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
-3
-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Données de performance
● La pompe à vide fournit sa vitesse d'aspiration maximale à la vitesse de rotation maximale.
● La pompe à vide atteint sa pression limite minimale dans un gamme spécifique au procédé au-dessous de la vitesse de rotation nominale.
16.2 Fiche technique
Classification
MVP 030-3 C DC
Numéro de commande
PK T01 600
Bride de raccordement (entrée)
Raccord de tuyau PTFE 10/8 mm
Bride de raccordement (sortie)
Raccord de tuyau PTFE 10/8 mm
Vitesse de pompage
1,8 m³/h
Pression limite sans lest d'air
2 hPa
Pression limite avec lest d'air
4 hPa
Pression d'entrée
1100 hPa
Pression d'échappement, max.
1100 hPa
Taux de fuite intégral
1 Pa m³/s
Tension de service : CC
24 V
53/58
Caractéristiques techniques et dimensions
Classification
MVP 030-3 C DC
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
Consommation de courant nominale
1,5 A
Courant max.
7,0 A
Vitesse de rotation
600 – 2 400 rpm
Interfaces E/S
RS-485
Méthode de refroidissement, standard
À refroidissement par convection
Altitude de fonctionnement, max.
2000 m
Type de protection
IP20, Type 1
Température ambiante
10 – 40 °C
Température : stockage
-10 – 60 °C
Niveau de la pression acoustique
45 dB(A)
Poids
4,3 kg
Tab. 26:
16.3
Fiche technique MVP 030-3 C DC
Matériaux en contact avec la substance à pomper
Pièces de la pompe
Matériaux en contact avec la substance à pomper
Couvercle de carter, intérieur
PTFE, fibre de carbone renforcée
Couvercle de chapeau
ETFE
Rondelle de serrage de la membrane
ETFE, fibre de carbone renforcée
Membrane
PTFE
Clapets
FFKM
Admission
ETFE
Sortie
ETFE
Raccords filetés de tuyau flexible
ETFE
Tuyau flexible
PTFE
Tab. 27:
Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé
16.4 Dimensions
Dimensions en mm
54/58
Caractéristiques techniques et dimensions
175
156
223
PTFE tube 10/8
PTFE tube 10/8
116
121
142
238
Fig. 14:
Dimensions MVP 030-3 C DC
55/58
Déclaration de conformité
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe à membrane
MVP 030-3 C DC
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100:2011
DIN EN IEC 63000:2019
DIN EN 1012-2:2011
DIN EN 61010-1:2011
DIN EN 61326-1:2013
IEC 61010-1:2010 (Ed. 3)
Le représentant habilité à constituer la documentation technique est M. Wolfgang Bremer,
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Allemagne.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2019-09-16
57/58
*PU0082*
ed. D - Date 2101 - P/N:PU0082BFR
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