MANUEL DE L’UTILISATEUR FR Traduction du manuel de l‘utilisateur HIPACE 1500 PT 0241 BFR/G (1603) Pompe turbomoléculaire Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1 2 Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1.1 Documents applicables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.2 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.2.1 Consignes de sécurité. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.2.2 Pictogrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.2.3 Instruction dans le texte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.2.4 Abréviations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.2.5 Symboles utilisés . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 2.1 2.2 2.3 2.4 3 Manutention et stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 3.1 3.2 4 4.2 4.3 Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 4.1.1 Types de pompes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 4.1.2 Caractéristiques de la pompe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 4.1.3 Variantes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 4.1.4 Contenu de la livraison . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 4.2.1 Refroidissement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 4.2.2 Paliers de rotor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 4.2.3 Entraînement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14 5.1 5.2 5.3 5.4 5.5 5.6 5.7 5.8 2 Manutention . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 4.1 5 Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 Equipement de protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 Non conformité d’utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 Travaux préparatoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14 Mise en place . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15 5.2.1 Protection antisismique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15 5.2.2 Utilisation d’un pare-éclats ou une grille de protection . . . . . . . . . 15 5.2.3 Amortisseur de vibrations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15 Positions de montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 5.3.1 Position montée horizontale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 Raccordement du côté vide élevé. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17 5.4.1 Installation d’une bride ISO-K avec une bride ISO-K . . . . . . . . . . 17 5.4.2 Installation d'une bride ISO-K avec une bride ISO-F . . . . . . . . . . 18 5.4.3 Installation d’une bride ISO-F avec une bride ISO-F . . . . . . . . . . 19 5.4.4 Installation de brides CF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 Remplissage du fluide d'exploitation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 Raccorderdement du côté vide primaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 Raccordements à la pompe turbomoléculaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 5.7.1 Commande électronique d’entraînement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 5.7.2 Mise à la terre . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 5.7.3 Alimentation et distribution électrique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 5.7.4 Connecteur «remote» . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 Raccordement accessoires. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 5.8.1 Raccordement de la purge de gaz neutre. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 5.8.2 Vanne de remise à l'air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 5.8.3 Chemise chauffante . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 Table des matières 6 5.8.4 Refroidissement à eau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 6.1 7 Mise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 6.1.1 Branchement au secteur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 6.2 Modes d’exploitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 6.3 Description fonctionelle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 6.3.1 Utilisation sans unité de commande . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 6.3.2 Utilisation avec la connexion « remote ». . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32 6.3.3 Utilisation avec DCU ou HPU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32 6.3.4 Exploitation avec bus de terrain . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32 6.4 Surveillance de l’état de fonctionnement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 6.4.1 Affichage du mode d’utilisation par les diodes . . . . . . . . . . . . . . . 33 6.4.2 Surveillance de la température . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 6.5 Arrêt et remise à l’air. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 6.5.1 Arrêt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 6.5.2 Remise à l’air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 Entretien / Remplacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34 7.1 7.2 7.3 8 Intervalles de maintenance et compétences. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34 Changer le fluide d'exploitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 Remplacer la commande électronique d’entraînement . . . . . . . . . . . . . . 37 7.3.1 Valeurs prédéfinies de vitesse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39 Mise hors service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 8.1 8.2 8.3 9 Immobilisation prolongée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 Remise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 Mise au rebut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41 9.1 Dépannage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41 10 Service après-vente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 11 Pièces de rechange HiPace 1500 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43 12 Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44 13 Caractéristiques techniques et dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46 13.1 Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46 13.2 HiPace 1500 / HiPace 1500 U . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47 13.3 HiPace 1500 C / HiPace 1500 U C . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48 13.4 Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49 Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51 3 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. Les manuels de l’utilisateur valides sont également disponibles sur Internet sur www.pfeiffer-vacuum.com. 1.1.1 Documents applicables HiPace 1500, suivant le modèle Manuel de l’utilisateur Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TC 1200 », standard Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TC 1200 PB », Profibus Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TC 1200 E74 », selon Semi E74 Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TC 1200 DN », DeviceNet Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TC 1200 EC », EtherCAT Déclaration de conformité *Disponible également sur www.pfeiffer-vacuum.com PT 0239 BN* 1.2 Conventions 1.2.1 Consignes de sécurité PT 0269 BN* PT 0303 BN* PT 0353 BN* PT 0455 BN* Joint à ce manuel de l’utilisateur Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les niveaux de danger et informations suivants : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves. AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves. ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères. AVIS Injonction ou indication Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect peut conduire à la détérioration du produit. 4 A propos de ce manuel 1.2.2 Pictogrammes Interdiction d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de cette interdiction peut générer des accidents graves Avertissement contre le danger représenté par le symbole. Obligation d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de cette obligation peut générer des accidents graves. Informations importantes concernant le produit ou le présent document 1.2.3 Instruction dans le texte Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit. 1.2.4 1.2.5 Abréviations DCU : Display Control Unit HPU : Handheld Programming Unit TC : Commande électronique d'entraînement de la pompe turbomoléculaire PB: la version Profibus DN: la version DeviceNet Symboles utilisés Les symboles suivants sont utilisés de façon récurrente dans les illustrations : Bride de vide élevé Bride de vide primaire V Bride de vide de la pompe primaire Bride d'échappement de la pompe primaire Raccordement électrique Raccordement de la purge de gaz neutre Raccordement de remise à l’air Raccordement d'eau de refroidissement 5 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes de sécurité Obligation d'informer Toute personne chargée de l'installation, du fonctionnement ou de l'entretien de la pompe à vide doit avoir lu les consignes de sécurité de ce manuel de l’utilisateur et doit les respecter. Il incombe à l'exploitant de mettre en garde l'ensemble des opérateurs contre les dangers liés à la pompe à vide, aux substances pompées ou à l'installation de pompage dans sa globalité. Installation et utilisation des accessoires Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des accessoires raccordés sont décrites en détails dans leur manuel de l’utilisateur respectif. Informations sur les numéros de référence des accessoires : voir le chapitre « Accessoires ». Utiliser uniquement des accessoires d’origine. AVIS Vérification du système de sécurité contre les survitesses Afin d'assurer le fonctionnement du système de sécurité intégré contre les survitesses, la pompe doit être redémarrée au moins une fois par an. Arrêter la pompe et attendez l'arrêt complet (vitesse de rotation = 0 Hz). Démarrer la pompe en marche conformément au instructions de ce manuel. AVERTISSEMENT Risque lié à une installation électrique non conforme La sécurité du fonctionnement après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant. Ne procédez à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative. Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité. Pour toute demande spécifique, contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger en cas d'absence de dispositif de sectionnement La pompe et la commande électronique d'entraînement ne sont pas équipées d'un dispositif de sectionnement. L'installation d'un dispositif de sectionnement selon SEMI-S2 est à la charge de l'exploitant. Prévoir un disjoncteur ayant un pouvoir de coupure d'au moins 10 000 A. AVERTISSEMENT Risque d'électrocution En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension. Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour pouvoir défaire le branchement à tout moment. ● N'exposez aucune partie du corps au vide. ● Respectez toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des risques. ● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées. ● Une jonction sûre avec le fil de terre (PE) doit toujours être assurée (classe de protection I). 6 Sécurité ● Pendant le fonctionnement, ne pas desserrer ou retirer les connecteurs. ● Avant d'effectuer tous travaux sur la bride de vide élevé, attendez que le rotor se soit immobilisé. ● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces chaudes (> 70 °C). ● Ne remplissez et ne faites jamais fonctionner la pompe turbomoléculaire avec des détergents. ● N'utilisez jamais la pompe turbomoléculaire avec la bride de vide élevé ouverte. ● Ne pas procéder de sa propre initiative à une transformation ou à une modification de la pompe. ● Pour tout retour de la pompe turbomoléculaire, respectez les consignes d'expédition. 2.2 Equipement de protection Dans certaines situations, la manipulation de pompes à vide nécessite le port d'un équipement individuel de protection. Les exploitants ou les employeurs se doivent de mettre à disposition du personnel opérateur un équipement approprié. DANGER Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques lors des travaux de maintenance ou d'installation Les pompes à vide, les composants et les fluides d'exploitation peuvent être contaminés, en fonction du procédé, par des substances toxiques, réactives ou radioactives. Porter un équipement de protection approprié lors des travaux de maintenance, de réparation ou lors de la réinstallation des pompes. AVERTISSEMENT kg Risque de blessures dues à des chutes d'objets Lors du transport manuel des pompes à vide, il existe un risque de blessures dû aux chutes et glissements de charges. Transporter à deux mains des pompes à vide petites et moyennes. Transporter avec un engin de levage approprié les pompes à vide d'un poids > 20 kg. Porter des chaussures de sécurité avec protection des orteils conformément à la norme EN 347. ATTENTION Risque de brûlantes au contact de surfaces chaudes Les pompes à vide sont brûlantes en fonctionnement. Laisser refroidir la pompe avant d'effectuer des travaux de maintenance et de réparation. Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420. ATTENTION Risque de coupures dues à des arêtes vives Les arêtes des disques du rotor et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes. Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d’intervenir sur la pompe. Ne pas accéder à la bride de vide élevé. Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420. 7 Sécurité 2.3 Conformité d’utilisation AVIS Conformité CE La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires ! Après incorporation dans une installation et avant la mise en service, l'exploitant s’engage à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence. ● La pompe à vide ne pourra être utilisée que pour générer du vide. ● N'utilisez la pompe turbomoléculaire qu'associée à une pompe primaire appropriée. 2.4 Non conformité d’utilisation En cas d'usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté. Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui diffèrent de celles précitées, dont notamment : ● le transport, l’installation ou le fonctionnement de la pompe en position invalide. ● installation de la pompe avec un matériau de fixation non spécifié ● le pompage de gaz corrosifs (à l'exception des versions pour gaz corrosifs). ● le pompage de gaz corrosifs sans purge de gaz neutre (uniquement pompes en version C). ● le pompage de substances explosives. ● le pompage de vapeurs condensables ● une utilisation avec débit de gaz élevé non admissible ● une utilisation sous une pression de vide primaire élevée non admissible ● une utilisation avec apport, par rayonnement, d'une puissance thermique excessive ● une utilisation dans des champs magnétiques non admissibles ● une utilisation avec le mauvais mode Gaz ● une remise à l'air avec des débits élevés non admissible ● l’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants ● l’utilisation dans des zones à risque d'explosion ● une mise en œuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques ● l'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel ● la fixation de la pompe à sa partie inférieure warranty seal Sceau de fermeture Le corps de produit est scellé en usine. Tout dommage ou arrachement d’un sceau de fermeture conduit à la perte de la garantie. N'ouvrez pas le produit durant la période de garantie ! Si les applications nécessitent des intervalles d'entretien plus courts que la période de garantie, contacter le service après-vente Pfeiffer Vacuum. 8 Manutention et stockage 3 Manutention et stockage 3.1 Manutention À la livraison, deux anneaux à vis sont vissés sur la pompe. AVIS Tenez compte des positions de montage propres à chaque type ! Des positions de montage inadmissibles provoquent un encrassement du vide processuel ou des dégâts sur la pompe. Sur la plaque signalétique, tenez compte du sigle indicateur de caractéristique ; il se trouve après la désignation du modèle. Tenez compte des pictogrammes figurant sur le corps de la pompe ! Ne transportez et ne basculez pas la pompe contenant une dose de fluide d'exploitation ! 60° max Fig. 1: Transport de HiPace 1500 60° max Fig. 2: Transport de HiPace 1500 U AVERTISSEMENT Risque de chutes de charges et charges en suspension ! Des éléments sont susceptibles de chuter lors du levage de la pompe. Empêcher toute personne de se tenir sous des charges en cours de levage. Interdire et surveiller l'accès à la zone située sous la pompe. Transportez la pompe uniquement dans l'orientation appropriée et avec l'axe du rotor en position verticale. Fixez un engin de levage approprié aux deux anneaux à vis. – Veillez à assurer une fixation conforme (par ex. angle d'ouverture maximal par rapport à l'axe longitudinal de la pompe). – Ne soulevez aucun poids supplémentaire (par ex. enceinte à vide). Soulevez la pompe à la verticale pour la sortir de l'emballage. Réutilisez le conteneur de transport de pompe à vide. – Transporter ou expédier les pompes à vide de préférence dans leur emballage d'origine. Il ne faut retirer les obturateurs de protection du côté vide élevé et du côté vide primaire qu'au moment du raccordement. Conservez les obturateurs de protection d’origine. Les anneaux à vis peuvent être démontés après le transport. 3.2 Stockage Obturez les orifices des brides avec les obturateurs d'origine. Obturez les autres orifices avec les obturateurs correspondants. 9 Manutention et stockage Stockez la pompe uniquement dans des locaux fermés, à une température comprise entre -25 et +55 °C. Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive: enfermez la pompe dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de produit de dessiccation. 10 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit 4.1.1 Types de pompes La désignation-produit renseigne sur la famille (1) à laquelle appartient la pompe, sur sa taille (2), laquelle informe sur la capacité d'aspiration de la pompe, et le cas échéant sur des caractéristiques additionelles (3). HiPace(1) 1500(2)U C(3) 1. Désignation de la famille 2. Désignation du modèle 3. Désignation de la spécificité 1500 = Désignation du mo- néant = Version standard dèle dans la classe afférente U = Version inversée de capacité d'aspiration C = Version gaz corrosifs P = Procédé M = Paliers magnétiques actifs T = Gestion de la température E = Haut rendement H = Haute compression I = Implantation ionique HiPace 4.1.2 Caractéristiques de la pompe Ce produit a été testé conformément aux exigences de la directive CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1, deuxième edition, y compris l’amendement 1 ou une version ultérieure de la norme même avec le même degré d’exigences d’essai. Le cas échéant regardez les informations sur des certifications supplémentaires sur le cachet du produit ou : ● www.tuvdotcom.com ● TUVdotCOM-ID 0000021320 Caractéristiques Bride pour vide élevé Matériaux de bride HiPace 1500 DN 250 ISO-K Aluminium DN 250 ISO-F Aluminium DN 250 CF-F Acier inoxydable Pour identifier correctement le produit lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque signalétique. D-35614 Asslar Mod.: HiPace 300 DN 100 ISO-K, 3P M.-No.: PM P03 900 Ser. -No.: --Oil: S(N2): 260 l/s 60000 1/min, 1000 Hz n,f: Weight: 6.7 kg Made in Germany Fig. 3: 4.1.3 Exemple de plaque signalétique Variantes ● HiPace 1500 ● HiPace 1500 C, pour le pompage de fluides corrosifs ● HiPace 1500 U, pour position de montage inversée ● HiPace 1500 U C, pour position de montage inversée et pompage de fluides corrosifs 4.1.4 Contenu de la livraison ● Pompe turbo avec commande électronique d'entraînement et unité de courant intégrée ● Obturateurs pour les brides de vide élevé et de vide primaire 11 Description du produit ● Connecteur pour la connexion «remote » à la TC 1200 (dépendant du modèle) ● Connecteur pour la connexion «E74» à la TC 1200 (dépendant du modèle) ● Douille d’alimentation HAN3A ● Vanne de purge de gaz neutre ● Fluide d’exploitation (50 ml) avec seringue d'injection ● Douilles à vis (2x) avec joint annulaire pour le raccord de l'eau de refroidissement ● Anneaux à vis ● Manuel de l’utilisateur 4.2 Fonction Les pompes HiPace 1500 forment une unité avec la commande électronique. L'alimentation en tension électrique est assurée par le bloc d'alimentation intégré. 2 H 410 43 F 415 4a 421 SG F 8 13 H 13h Fig. 4: 2 4a 8 4.2.1 HiPace 1500 avec TC 1200 13 Bride de vide élevé Raccord de gaz de ba13h layage Pompe du fluide d'exploi- 43 tation Commande électronique d'en- 410 Raccord d'eau de refroidissement traînement TC 1200 415 Bride de vide primaire Alimentation « AC in » 421 Raccordement à la terre Vis de ventilation Refroidissement ● Refroidissement à eau En cas de surchauffe, la commande électronique réduit automatiquement la puissance absorbée. 4.2.2 Paliers de rotor Pompe turbomoléculaire avec palier hybride ● Côté vide élevé : Palier sans usure, à aimant permanent ● Côté vide primaire : Roulement à billes en céramiques 4.2.3 Entraînement Commande électronique d’entraînement TC 1200 12 Description du produit 4.3 Domaine d'application Les pompes HiPace 1500 doivent être installées et utilisées dans les conditions environnementales suivantes : Lieu de mise en place Type de protection admissible Température Humidité relative Pression de l’air : Hauteur d'implantation Degré d'encrassement Champ magnétique environnant admissible Catégorie de surtension Tension de raccordement à l'abri des intempéries (dans des locaux) IP54 de +5 °C à +40 °C 80% max. avec T 31 °C, 50 % max. avec T 40 °C 750 hPa - 1060 hPa 2000 m maxi. 2 6 mT II 100-120/200-240 (± 10%) V AC Remarques relatives aux conditions ambiantes Les températures ambiantes autorisées indiquées sont applicables au fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à la pression de vide primaire maximale autorisée ou au débit de gaz maximal autorisé, en fonction du type de refroidissement. La pompe turbomoléculaire dispose d’une sécurité intrinsèque de sa température. ● Si la pression de vide primaire ou le débit de gaz est réduit, la pompe turbomoléculaire peut également être utilisée à des températures ambiantes superieures. ● En cas de dépassement de la température de fonctionnement maximale autorisée de la pompe turbomoléculaire, la commande électronique d’entraînement réduit d’abord la puissance et se met ensuite hors circuit si nécessaire. 13 Installation 5 Installation AVERTISSEMENT Risque d'arrachement de la pompe turbomoléculaire En cas de blocage inopiné du rotor, les couples peuvent atteindre 9800 Nm, ce qui peut entraîner la désolidarisation de la pompe turbomoléculaire si la fixation n'est pas correcte. L'énergie libérée peut projeter la pompe ou les fragments de ses parties internes dans le local. Ceci risque de provoquer des blessures très graves voire mortelles, ainsi que des dommages matériels considérables. Respecter scrupuleusement les instructions d'installation fournies dans le présent manuel de l’utilisateur. Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour l'installation. AVIS Risque de destruction de la pompe en cas de charge de gaz excessive Une remontée de pression excessivement élevée dans la pompe en fonctionnement peut entraîner la destruction du rotor et de l'ensemble de la pompe. Sécuriser le côté vide élevé et le côté vide primaire contre l'entrée brusque d'une quantité excessive de gaz. Protéger les conduites de vide primaire contre les actions mécaniques externes. Sécuriser les dispositifs d'arrêt côté vide élevé contre une ouverture non désirée. Respecter les débits admissibles (maxi. 15 hPa/s). Installation et utilisation des accessoires Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des accessoires raccordés sont décrites en détails dans leur manuel de l’utilisateur respectif. Informations sur les numéros de référence des accessoires : voir le chapitre « Accessoires ». Utiliser uniquement des accessoires d’origine. Remplissage du fluide d'exploitation À la livraison, la pompe n'est pas remplie de fluide d'exploitation. Le fluide d'exploitation est contenu dans le volume de livraison. Remplissez la pompe du fluide d'exploitation uniquement après son montage sur le lieu d'installation ! 5.1 Travaux préparatoires Pour mettre la pompe en place, il faut impérativement réunir les conditions suivantes : ● les conditions ambiantes indiquées pour le domaine d’application ● La fixation de la pompe à sa partie inférieure n'est pas autorisée. ● Il est interdite installer les dispositifs dans des installations qui soumettent la pompe à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques. Assurez-vous que le dispositif destiné à refroidir la pompe turbomoléculaire est suffisant. En présence de champs magnétiques > 6 mT, il faut prévoir un blindage antiparasite approprié. Vérifiez le lieu de mise en place et contacter le cas échéant Pfeiffer Vacuum ! La température maximale admissible du rotor équipant la pompe turbomoléculaire est de 120 °C. Si le procédé engendre des températures élevées, la puissance thermique irradiée ne doit pas dépasser 22.5 W. Installez le cas échéant des tôles de blindage appropriées (Sur demande, fourniture de spécification de conception). 14 Installation 5.2 Mise en place ● Lors du montage toutes les pièces soumises à un vide élevé, veillez à maintenir un niveau de propreté élevé. Les composants sales augmentent le temps de pompage. ● Au moment de leur installation, tous les composants de bridage doivent être secs, dépourvus de graisse et de poussière. 5.2.1 Protection antisismique Lors de tremblements de terre, les paliers de secours peuvent être sollicités. Toutes les forces produites à cette occasion sont absorbées de manière fiable par les assemblages à bride installés. Sécurisez l'enceinte de vide côté client contre tout déplacement ou basculement. VACUUM CHAMBER Fig. 5: 5.2.2 Exemple : sécurité contre le déplacement et le basculement dus à des chocs externes = raccordement de sécurité à réaliser dans chaque cas côté client. Utilisation d’un pare-éclats ou une grille de protection Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou grille de protection dans la bride de vide élevé protègent les pompes turbomoléculaires contre les corps étrangers provenant des enceintes. Cette protection réduit le débit de la pompe. Réduction de la capacité d'aspiration, en % 5.2.3 H2 He N2 Ar Pare-éclats DN 250 5 7 18 21 Grille de protection DN 250 1 2 5 6 Amortisseur de vibrations AVERTISSEMENT Risque dû à l'arrachement de la pompe turbomoléculaire avec amortisseur En cas de blocage soudain du rotor, l'amortisseur utilisé ne peut absorber aucune des forces résultantes. Il existe un risque d'arrachement de la pompe pouvant entraîner des blessures graves et des dommages matériels considérables. Prenez des mesures de sécurité appropriées pour compenser les couples pouvant apparaître. Veuillez impérativement consulter Pfeiffer Vacuum. Il est interdit de dépasser la température maximum admissible (100 °C) au niveau de l'amortisseur. 15 Installation 5.3 Positions de montage AVIS Tenez compte des positions de montage propres à chaque type ! Des positions de montage inadmissibles provoquent un encrassement du vide processuel ou des dégâts sur la pompe. Sur la plaque signalétique, tenez compte du sigle indicateur de caractéristique ; il se trouve après la désignation du modèle. Tenez compte des pictogrammes figurant sur le corps de la pompe ! Ne transportez et ne basculez pas la pompe contenant une dose de fluide d'exploitation ! VV 90° H H H VV VV H 90° VV Fig. 6: 8.06 8.06 5.3.1 Versions standard et C Fig. 7: Versions U et U C Identification aisée des lieux d'installation autorisés L'orientation de la pompe du fluide d'exploitation permet de déduire si un lieu d'installation est autorisé pour le pompe turbo : ● Axe longitudinal horizontal de la pompe du fluide d'exploitation ● Axe longitudinal vertical avec le hublot 8.06 pointant vers le bas Position montée horizontale H VV VV 25° max VV Si le montage a lieu à l'horizontale, il faut que la bride de vide primaire regarde à la verticale (± 25°) vers le bas, si non la pompe turbo risque d'être salie par des impuretés. Étayez ou suspendez les canalisations en amont de la pompe à vide. Les canalisations de pompage ne doivent transmettre aucune contrainte sur la pompe lorsqu’elle est ancrée. La charge axiale maximale supportable par la bride de vide élevé s'élève à 2000 N (soit 200 kg). A ce titre, l'application d'une charge d'un seul côté de la bride de vide élevée n'est pas admise. 16 Installation 5.4 Raccordement du côté vide élevé En cas de blocage subit du rotor, il faut que l'installation et la bride de vide élevée absorbent les couples engendrés. Pour fixer les pompes turbomoléculaires à la bride de vide élevé, utiliser exclusivement les accessoires proposés ci-après. Les éléments d'installation des pompes turbomoléculaires sont des exécutions spéciales de Pfeiffer Vacuum. La résistance à la traction du matériau de la bride doit être d'au moins 170 N/mm2 dans tous les états de fonctionnement. Sécurisez l'enceinte de vide côté client contre tout déplacement ou basculement. DANGER Danger de mort - Fixation non autorisée Lors de la fixation des pompes sur une enceinte dotée de brides différentes de celles de la pompe, celles-ci peuvent se plier ou rompre lors du blocage brutal du rotor. Utiliser exclusivement l'ensemble de fixation Pfeiffer Vacuum valide. Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité pour l'ensemble des dommages découlant d’une fixation non autorisée. DANGER Danger de mort - Fixation non autorisée L'utilisation de griffes pour fixer les pompes peut entraîner des situations potentiellement mortelles en cas de blocage inopiné du rotor. Ne jamais utiliser de griffes pour la fixation des pompes ! Utiliser exclusivement l'ensemble de fixation Pfeiffer Vacuum valide. AVIS Respecter les tolérances de forme sur la contre-bride Des défauts de planéité sur la contre-bride de l’équipement client peuvent déformer le corps de pompe, ceci malgré une fixation conforme. En conséquence, l’étanchéité et les caractéristiques de la pompe seront dégradées. Ne pas dépasser des écarts de planéité de 0,05 mm max. sur toute la surface. Fixation de brides ISO Lors de la fixation des brides de vide élevé version ISO-KF ou ISO-K, en cas de blocage subit du rotor une rotation risque de se produire, même si l'installation a été correctement réalisée. ● Dans ce cas, l'étanchéité de la bride de vide élevé n'est pas compromise. 5.4.1 Installation d’une bride ISO-K avec une bride ISO-K Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés : ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation. 2) Utiliser les 14 boulons agrafes à tête bombée. 3) Serrez en croix, les boulons agrafes chacun en 3 étapes. 4) Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm 17 Installation 5.4.2 Installation d'une bride ISO-K avec une bride ISO-F Les assemblages possibles pour l'installation ISO-K avec bride ISO-F sont : « Boulon six pans et trou taraudé », « Goujon fileté et trou taraudé » et « Goujon fileté et perçage traversant ». Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés : ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats Boulon à six pans avec trou fileté 1.5xd Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Guider la bride à chapeau sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire. 2) Engager la bague de retenue dans la rainure sur la bride de vide élevé. 3) Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau et l'anneau de centrage sur la contre-bride comme illustré. 4) Utilisez les 12 vis à six pans à rondelle. 5) Visser le boulon à six pans de 1,5 x d dans le trou fileté. – La résistance à le matériel de bridage doit être d’au moins de 270 N/mm2 dans toutes les conditions de fonctionnement. 6) Serrez en croix, les boulons à six pans chacun en 3 étapes. 7) Couple de serrage DN 250: 5, 15, 25 ± 2 Nm Goujon fileté et trou fileté 2.5xd Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Utilisez les 12 goujons filetés et écrous. 2) Visser les goujons filetés avec l'extrémité à visser la plus courte 2,5 x d dans les trous sur la contre-bride. 3) Guider la bride à chapeau sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire. 4) Engager la bague de retenue dans la rainure sur la bride de vide élevé. 5) Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau et l'anneau de centrage sur la contre-bride comme illustré. 6) Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes. 7) Couple de serrage DN 250: 5, 15, 25 ± 2 Nm Goujon fileté et perçage traversant Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Guider la bride à chapeau sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire. 2) Engager la bague de retenue dans la rainure sur la bride de vide élevé. 3) Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau et l'anneau de centrage sur la contre-bride comme illustré. 4) Utilisez les 12 goujons filetés et écrous. 5) Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes. 6) Couple de serrage DN 250: 5, 15, 25 ± 2 Nm 18 Installation Installation d’une bride ISO-F avec une bride ISO-F Plusieurs montages sont possibles pour l’installation avec bride ISO-F : « boulon six pans et trou fileté », « goujon fileté et trou fileté » et « goujon fileté et perçage traversant ». Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés : ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats Boulon à six pans avec trou fileté 1.5xd Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation. 2) Utilisez les 12 vis à six pans à rondelle. 3) Visser le boulon à six pans de 1,5 x d dans le trou fileté. – La résistance à le matériel de bridage doit être d’au moins de 270 N/mm2 dans toutes les conditions de fonctionnement. 4) Serrez en croix, les boulons à six pans chacun en 3 étapes. 5) Couple de serrage DN 250: 10, 20, 38 ± 3 Nm Goujon fileté et trou fileté Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 2.5xd 5.4.3 1) Utilisez les 12 goujons filetés et écrous. 2) Visser les goujons filetés avec l'extrémité à visser la plus courte 2,5 x d dans les trous sur la contre-bride. 3) Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation. 4) Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes. 5) Couple de serrage DN 250: 10, 20, 38 ± 3 Nm Goujon fileté et perçage traversant Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées. 1) Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation. 2) Utilisez les 12 goujons filetés et écrous. 3) Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes. 4) Couple de serrage DN 250: 10, 20, 38 ± 3 Nm 19 Installation 5.4.4 Installation de brides CF AVIS Montage des brides CF Risque de perte d'étanchéité en cas de propreté insuffisante du joint et de la bride CF. Sécher le joint et le monter sans huile. Ne toucher les pièces qu'avec des gants. Ne pas endommager les surfaces et les arêtes. Plusieurs montages sont possibles pour l’installation avec bride CF : « boulon à six pans et perçage traversant », « goujon fileté et trou fileté » et « goujon fileté et perçage traversant ». ● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum ● Un joint cuivre ● Une grille de protection ou un pare-éclats en option. Boulon six pans et perçage traversant 1) En cas d’utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection : insérer l’accessoire dans la bride à vide élevé de la pompe turbomoléculaire, talons de serrage orientés vers le bas. 2) Posez le joint exactement dans la gorge prévue à cet effet. 3) Relier les brides par les 32 vis six pans (M8) avec les rondelles et écrous. 4) Serrer les assemblages boulonnés selon un ordre de serrage circonférentiel. 5) Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 6) Enfin, contrôler le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en cas de fluage du matériau d'étanchéité. Goujon fileté et trou fileté 1) Visser les goujons filetés (32 pièces, M8) avec l'extrémité à visser la plus courte dans les trous sur la contre-bride. 2) En cas d’utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection : insérer l’accessoire dans la bride à vide élevé de la pompe turbomoléculaire, talons de serrage orientés vers le bas. 3) Posez le joint exactement dans la gorge prévue à cet effet. 4) Relier les brides avec les rondelles et écrous. 5) Serrer les assemblages boulonnés selon un ordre de serrage circonférentiel. 6) Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 7) Enfin, contrôler le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en cas de fluage du matériau d'étanchéité. Goujon fileté et perçage traversant 1) En cas d’utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection : insérer l’accessoire dans la bride à vide élevé de la pompe turbomoléculaire, talons de serrage orientés vers le bas. 2) Posez le joint exactement dans la gorge prévue à cet effet. 3) Relier les brides par les 32 vis six pans (M8) avec les rondelles et écrous. 4) Serrer les assemblages boulonnés selon un ordre de serrage circonférentiel. 5) Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 6) Enfin, contrôler le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en cas de fluage du matériau d'étanchéité. 20 Installation 5.5 Remplissage du fluide d'exploitation AVERTISSEMENT Vapeurs toxiques ! Un risque d'intoxication existe si un fluide d'exploitation synthétique (F3 par exemple) est allumé ou chauffé à plus de 300 °C. Observer les instructions d'utilisation. Ne pas mettre le fluide d'exploitation en contact avec du tabac et respecter les mesures de précaution relatives à la manipulation de produits chimiques. AVIS Risque de détruire la pompe Une alimentation en fluide d'exploitation incorrecte ou insuffisante peut entraîner la destruction de la pompe. Remplir la pompe de fluide d'exploitation en quantité suffisante avant la première mise en service et après chaque transport. Ne pas confondre les vis de remplissage et de vidange! Type et quantité de fluide d'exploitation, voir plaque signalétique. AVIS Risque de détruire la pompe La quantité de remplissage de fluide d'exploitation dépend de la position de la pompe à vide montée. Versez le fluide d'exploitation uniquement lorsque pompe à vide est montée. La quantité de fluide d'exploitation pour un montage de la pompe à la verticale est de 40 ml. La quantité de fluide d'exploitation pour un montage de la pompe à l'horizontale doit être de 50 ml ! 8 109 8 109 110 Fig. 8: 8 Démontez les capuchons de protection de la pompe du fluide d'exploitation sur les versions U et standard Pompe du fluide d'exploita- 109 Capuchon de protection tion 110 Vis à six pans creux Arrêter la pompe à vide, ramenez-la à la pression atmosphérique et laisser la refroidir. Dévissez les vis à six pans creux (2x) de la pompe du fluide d'exploitation et retirez le capuchon de protection. Structure de la pompe du fluide d'exploitation La pompe du fluide d'exploitation possède une structure entièrement symétrique. Les bouchons pour le remplissage du fluide d'exploitation sont placées sur les côtés de la pompe du fluide d'exploitation, alors que les bouchons pour la vidange du fluide d'exploitation sont placées sur la face avant de la pompe. Toujours utiliser le bouchon le plus haut pour le remplissage. Toujours utiliser le bouchon le plus bas pour la vidange. Ne jamais remplir via les bouchons de vidange. 21 Installation 40 ml 8.23a / 8.35 50 ml 8.23a / 8.35 Fig. 9: 8.23b 8.23b Versez le fluide d'exploitation en position verticale et horizontale 8.23a Bouchon de remplissage 8.23b Bouchon de vidange (ne pas utiliser pour le remplissage !) 8.35 Joint torique Dévissez toujours le boulon de remplissage 8.23a le plus haut de la pompe du fluide d'exploitation. Versez le fluide d'exploitation (50 ml max.) dans la pompe du fluide d'exploitation à l'aide de la seringue d'injection. Fermez à nouveau le bouchon de remplissage 8.23a. – Attention au joint torique 8.35! 22 Installation 5.6 Raccorderdement du côté vide primaire Recommandation : utiliser comme pompe primaire une pompe à vide appropriée de l’offre de Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risques sanitaires causés par des gaz toxiques Les gaz de procédé peuvent être dangereux pour la santé et/ou pour l'environnement. Vous devez canaliser l'échappement de gaz de la pompe primaire de façon fiable ! Respectez toutes les recommandations de sécurité publiées par le fabricant du gaz. 415 415.1 415.2 415.3 415a Fig. 10: Raccordement de la pompe primaire 415 Raccord de vide primaire 415a Pompe à vide primaire 415.1 Anneau de centrage 415.2 Anneau de serrage 415.3 Composants de vide AVIS Conception du raccordement du vide primaire en cas de torsion soudaine de la pompe Lors de la fixation de brides de vide élevé version ISO-KF ou ISO-K, une torsion risque de se produire - même si l'installation a été correctement réalisée - en cas de blocage subit du rotor. Réduire au minimum les masses installées directement au niveau de la pompe. Le cas échéant, raccorder directement les éléments de conduite flexibles au niveau de la pompe turbomoléculaire. En cas de jonctions rigides entre les canalisations : Installez un soufflet dans la ligne de pompage pour amortir les vibrations. Raccordez la conduite de vide primaire avec les composants de la petite bride ou avec les raccords de flexibles. Ne réduisez pas la section libre offerte par la bride de vide primaire ! Pour le raccordement et l'exploitation de la pompe à vide primaire, voir le manuel de l’utilisateur de cette dernière. 23 Installation 5.7 Raccordements à la pompe turbomoléculaire 5.7.1 Commande électronique d’entraînement Les pompes turbomoléculaire avec commande électronique d'entraînement sont conçues pour différents domaines d'application. Pour cela, divers panneaux de raccordement peuvent être sélectionnés. ● TC 1200 en variante standard ● TC 1200 PB pour raccordement à Profibus ● TC 1200 E74 similaire à Semi E74 ● TC 1200 DN pour raccordement à DeviceNet ● TC 1200 EC pour liaison EtherCAT Des consignes détaillées concernant la fonction, la configuration et le fonctionnement avec le panneau de raccordement sont disponibles dans le manuel de l’utilisateur spécifique de la commande électronique d'entraînement concernée. 5.7.2 Mise à la terre Raccorder un câble de mise à la terre approprié conformément aux dispositions locales afin d'évacuer les effets parasites de l'application. M4 Fig. 11: Établissement du raccordement à la terre 5.7.3 Alimentation et distribution électrique AVERTISSEMENT Risque lié à une installation électrique non conforme La sécurité du fonctionnement après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant. Ne procédez à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative. Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité. Pour toute demande spécifique, contacter Pfeiffer Vacuum. 1 2 PE 3 1 2 3 PE Phase L fil neutre pas connexe fil de protection Fig. 12: Affectation de la fiche de secteur Commandez le câble de raccordement séparément (voir « Accessoires »). Si nécessaire, s’assemblez le câble de raccordement avec la douille d’alimentation (livraison). 24 Installation 5.7.4 Connecteur «remote» Une contre-fiche est contenue dans la livraison pour le raccord à 26 broches. Elle porte la désignation «remote» au niveau de la TC 1200. Dans la contre-fiche, les raccords suivants sont pontés avec la tension d'alimentation (broche 1) et permettent ainsi le fonctionnement de la pompe turbo sans unité de commande ou télécommande supplémentaire : ● broche 2, autorisation de remise à l'air «oui» ● broche 3, pompe à moteur «on» ● broche 4, groupe de pompage «on» ● broche 14, priorité à la commande à distance Enfichez la contre-fiche dans le raccord «remote» au niveau de la TC 1200 et fixez-la. ATTENTION Démarrage automatique Après pontage de la broches des contacts 1, 3, 4, 14 avec le raccord « remote » ou l'utilisation de la contre-fiche fournie et application de la tension d'alimentation, la pompe turbo s'active immédiatement. Allumez l'alimentation secteur de la pompe turbo juste avant le fonctionnement. 5.8 Raccordement accessoires Il est possible de raccorder jusqu'à 4 accessoires au niveau de la commande électronique d'entraînement TC 1200. Des prises M12 portant la désignation « accessory » sont disponibles à cet effet. Les raccords pour accessoires sont préconfigurés en usine. Si les accessoires ci-dessous sont raccordés à l'aide du raccord préconfiguré, ceux-ci sont immédiatement prêts à fonctionner conformément aux réglages usine. Le raccordement d'autres accessoires est possible et requiert des réglages au niveau de la commande électronique d'entraînement. 11 Y-Connector for Accessories 22 Pour raccorder deux appareils à un raccord pour accessoires, utilisez le répartiteur en Y (connecteur en Y) dans l’offre des accessoires Pfeiffer Vacuum. Raccorder de l'adaptateur au raccord coloré rouge au niveau de la TC 1200. Des réglages sont possibles via les interfaces de la TC 1200 (remote, RS-485, Profibus ou DeviceNet). Raccord périphérique Raccordement avec connecteur en Y Accessoire préconfiguré accessory A1 accessory A2 accessory B1 accessory B2 Acc. A sur Y-1 Acc. A sur Y-2 Acc. B sur Y-1 Acc. B sur Y-2 Vanne de gaz de balayage Pompe primaire Vanne de remise à l'air Chauffage Tab. 1: 5.8.1 Vue d'ensemble des raccords d'accessoires préréglés en usine sur la TC 1200 Raccordement de la purge de gaz neutre Pour protéger la pompe turbomoléculaire par exemple en présence de procédés comprenant de la poussière ou du débit de gaz élevé, il faut la faire marcher avec purge de gaz neutre. L'alimentation s'effectue via une vanne de purge de gaz neutre ou au choix avec un limiteur de purge de gaz neutre sans commande. La commande de la vanne de purge de gaz neutre pour le raccord de la purge de gaz neutre est préconfigurée dans la commande électronique d'entraînement. La vanne de purge de gaz neutre est fournie à la livraison. La pression d'entrée max. autorisée est de 1500 hPa absolus. ● En cas d'utilisation de la pompe avec plus de 50 % du débit de gaz admissible, il faudra utiliser une purge de gaz neutre pour garantir le refroidissement du rotor. ● Le débit de purge de gaz neutre s'élève à 17.5-20 sccm pour la HiPace 1500. 25 Installation Alimentation en purge de gaz neutre avec vanne de commande 18 17 145 Fig. 13: Raccordement de la vanne de purge de gaz neutre 17 Joint annulaire 18 Vis de fermeture 145 Vanne de purge de gaz neutre Dévissez la vis, avec son joint annulaire, hors du raccord de purge de gaz neutre. Dans le raccord de purge de gaz neutre, vissez la vanne de purge de gaz neutre avec le joint annulaire. Raccordez de l'accessoire dans le raccord correspondant au niveau de la commande électronique d’entraînement et vissez-le. La valeur prédéfinie pour la vanne de gaz de balayage est "accessory A1". Installez la purge de gaz neutre (ex. gaz inerte) via un adaptateur de raccordement ou côté admission (G 1/8") de la vanne de commande. Alimentation en purge de gaz neutre sans vanne de commande Dévissez la vis, avec son joint annulaire, hors du raccord de purge de gaz neutre. Dans le raccord de purge de gaz neutre, vissez l’étranglement de purge de gaz neutre avec le joint annulaire. 5.8.2 Vanne de remise à l'air La vanne de remise à l'air de Pfeiffer Vacuum sert à remettre automatiquement la pompe à l'air après une mise hors tension ou une coupure secteur. La pression d'entrée max. autorisée est de 1500 hPa absolus. Dévissez la vis de remise à l’air, avec son joint annulaire, hors du raccord de remise à l'air. Vissez la vanne de remise à l'air avec la bague d'étanchéité. Raccordez de l'accessoire dans le raccord correspondant au niveau de la commande électronique d’entraînement et vissez-le. La valeur prédéfinie pour la vanne de remise à l'air est « accessory B1 ». Le cas échéant, raccordez l'alimentation en gaz de ventilation (p. ex. gaz inerte) côté admission (G 1/8") de la vanne magnétique. 5.8.3 Chemise chauffante Pour atteindre plus rapidement la pression limite, il est possible de chauffer la pompe turbomoléculaire et l’enceinte à vide. L'utilisation d'une chemise chauffante n'est possible que sur les pompes équipées avec une bride de vide élevé en acier inoxydable. La durée du chauffage dépend du niveau d'encrassement ainsi que de la pression limite à atteindre, et ne devra jamais être inférieure à 4 heures. 26 Installation AVIS Températures excessives dangereuses Des températures élevées, résultant de l’application, peuvent entraîner des températures excessives qui risquent d'endommager la pompe turbomoléculaire. En cas d'utilisation d'un chauffage du carter ou de fonctionnement avec enceintes à vide chauffées, il est impératif d'utiliser le refroidissement à l'eau. Ne pas apporter d'énergie supplémentaire dans la pompe (regardez à la p. 30, chap. 6.1) . ATTENTION Risque de brûlures Le dégazage de la pompe turbomoléculaire ou l’enceinte à vide engendre des températures élevées. Vous risquez de vous brûler au contact de pièces très chaudes, y compris après avoir éteint le chauffage du carter ! Lors de l'installation, toujours isoler, la chemise chauffante, le carter de pompe et l’enceinte à vide. Lors du dégazage, ne touchez pas la chemise chauffante, le carter de pompe et l’enceinte. ● En cas d'utilisation du chauffage du carter et du refroidissement à l'eau, la température au niveau de la bride de raccordement de l'enceinte à vide ne doit pas dépasser 120 °C. ● La température maximale admissible du rotor équipant la pompe turbomoléculaire est de 120 °C. Si le procédé engendre des températures élevées, la puissance thermique irradiée ne doit pas dépasser 22.5 W. Installez le cas échéant des tôles de blindage appropriées (Sur demande, fourniture de spécification de conception). 2 H 2b 2d (2x) 2a 2c Fig. 14: Raccorder la chemise chauffante 2 2a Corps de pompe Chemise chauffante 2b 2c Vis de fixation Boîte à relais de chauffage 2d Autocollant d'avertissement Dépliez avec précaution la chemise chauffante sur la bande de tension extérieure et glissez-la latéralement sur la partie cylindrique du corps de pompe. – Ne tordez pas les bandes chauffantes ! – La chemise chauffante doit reposer complètement sur le corps de pompe. Fixez la chemise chauffante sur le corps de pompe à l'aide de la vis de fixation. – Respectez le couple de serrage pour la vis de fixation ! Vis de fixation Couple de serrage à froid Couple de serrage pendant le chauffage Resserrez une fois après refroidissement M5 M6 6 Nm 11 Nm 7 Nm 12 Nm Tab. 2: 7 Nm 12 Nm Couples de serrage pour vis de fixation de chemises chauffantes Raccordez de l'accessoire dans le raccord correspondant au niveau de la commande électronique d’entraînement et vissez-le. La valeur prédéfinie pour la chemise chauffante est « accessory B2 ». 27 Installation Mettez en œuvre l'alimentation électrique pour la boîte à relais conformément au manuel de l’utilisateur de l'accessoire. 28 Installation 5.8.4 Refroidissement à eau Les pompes turbomoléculaires HiPace 1500 avec TC 1200 sont refroidies à l'eau en standard. Exigences de l'eau de refroidissement Raccord d'eau de refroidissement Conduites en tuyau Douilles de tuyau G 1/4" Diamètre intérieur de 7-8 mm avec collier de serrage Qualité de l'eau de refroidissement filtrée, mécaniquement pure, visuellement claire, sans trouble, sans sédiment, chimiquement neutre 4 mg/kg 100 mg/kg 10 °dH 12,53 °e 17,8 °fH 178 ppm CaC03 10 mg/kg Teneur max. en oxygène Teneur max. en chlorure Dureté max. de l'eau Consommation max. de permanganate de potassium Teneur max. en dioxyde de carbone Teneur max. en ammoniaque Valeur pH: Surpression d'entrée max. Température de l'eau de refroidissement Consommation d'eau de refroidissement pour débit de gaz max. non détectable non détectable 7-9 6000 hPa voir « Caractéristiques techniques » voir « Caractéristiques techniques » Raccordement à un système d'eau de refroidissement 155 150 403a 403b 403, G1/4” Fig. 15: Raccordement de l'eau de refroidissement 150 Douille à vis 155 Joint annulaire 403 Raccord d'eau de refroidis- 403a Conduite montante sement 403b Conduite descendante Procédez au raccord d'eau de refroidissement au choix : – raccord direct à la pompe avec filetage intérieur G1/4" – Utilisation de 2x douilles à vis avec joint annulaire fournies à la livraison pour un flexible de 7 - 8 mm de diamètre intérieur. – Couple de serrage : 15 Nm max. Recommandation : installez un filtre à impuretés dans la ligne d’arrivée d’eau. Raccordez la conduite montante de l'eau de refroidissement à l'adaptateur de raccordement désigné. Raccordez la conduite descendante de l'eau de refroidissement à l'adaptateur de raccordement désigné. 29 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Mise en service En usine, les préréglages importants suivants ont été programmés fixes dans la commande électronique d’entraînement. ● Paramètre [P:027] Mode gaz : 0 = gaz lourds ● Paramètre [P:700] Valeur de consigne temps d'accélération : 8 min ● Paramètre [P:701] Point de commutation de la vitesse de rotation : 80 % de la vitesse nominale ● Paramètre [P:707] Valeur prédéfinie mode réglage de la vitesse : 65 % de la vitesse nominale ● Paramètre [P:708] Valeur prédéfinie puissance absorbée : 100 % ● Paramètre [P:720] Vitesse de remise à l'air remise à l'air retardée : 50 % de la vitesse nominale ● Paramètre [P:721] Temps de remise à l’air : 3600 s En cas de refroidissement par eau : ouvrez l'arrivée de l'eau de refroidissement et contrôlez le débit. Pour l'alimentation en la purge de gaz neutre: ouvrez l'arrivée de la purge de gaz neutre et contrôlez le débit. Mettez la pompe en marche en raccordant le câble d'alimentation à l'alimentation électrique. AVIS Risque de destruction de la pompe par un apport d'énergie trop élevé La sollicitation simultanée par une puissance d'entraînement élevée (débit de gaz, pression de vide primaire), un rayonnement thermique élevé ou des champs magnétiques importants entraînera un échauffement incontrôlé du rotor voire la destruction de la pompe. En présence d'une conjugaison de ces sollicitations, appliquer des valeurs limites réduites. Le cas échéant, consulter Pfeiffer Vacuum. AVIS Risque de détruire la pompe En cas de mauvais mode Gaz sélectionné, le pompage des gaz avec masses moléculaires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe. Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé. Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80), contactez Pfeiffer Vacuum. 6.1.1 Branchement au secteur ATTENTION Démarrage automatique Après pontage de la broches des contacts 1, 3, 4, 14 avec le raccord « remote » ou l'utilisation de la contre-fiche fournie et application de la tension d'alimentation, la pompe turbo s'active immédiatement. Allumez l'alimentation secteur de la pompe turbo juste avant le fonctionnement. 30 Utilisation AVERTISSEMENT Risque d'électrocution En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension. Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour pouvoir défaire le branchement à tout moment. Branchez le câble de raccordement dans le branchement sur le secteur AC in. Fixez le câble de raccordement à l'aide de l'étrier de maintien. Branchez le câble de raccordement sur le secteur. Une jonction sûre avec le fil de terre (PE) doit toujours être assurée (classe de protection I). Après avoir appliqué la tension secteur, la commande électronique d’entraînement exécute un contrôle automatique pour vérifier la tension d'alimentation. La turbopompe est mise en marche. Réduction de la puissance absorbée dépendant de la tension de raccordement au secteur Tension de raccordement au secteur Puissance absorbée 100 - 120 V CA 200 - 240 V CA 700 - 930 W 1200 W La puissance absorbée de la commande électronique d’entraînement est dépendant de la tension de raccordement au secteur. 6.2 Modes d’exploitation Les modes d'exploitation suivants sont possibles : ● Exploitation sans unité de commande ● Utilisation avec la connexion « remote » ● Exploitation via une interface RS-485 et des appareils d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC ● Exploitation via bus de terrain 6.3 Description fonctionelle AVERTISSEMENT Danger engendré par une bride de vide élevé ouverte Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. Si la bride de vide élevée est ouverte, vous courez le risque de vous couper ; la chute d'objet entraîne un risque de destruction de la pompe. Ne mettez jamais la pompe en service avec la bride de vide élevé ouverte. 6.3.1 Utilisation sans unité de commande Pour l'utilisation sans unité de commande, il faut que le connecteur D-Sub 26 pôles se trouve dans le raccordement «remote» de la TC 1200. Lorsque la tension de service est appliquée, la TC 1200 exécute un contrôle automatique pour vérifier la tension d'alimentation. Après que la TC 1200 a exécuté un contrôle automatique avec succès, la pompe turbomoléculaire et la pompe primaire - si présente - entrent en service. 31 Utilisation 6.3.2 Utilisation avec la connexion « remote » Une commande à distance est possible via le raccord Sub-D 26 pôles portant la désignation « remote » sur la commande électronique d'entraînement. Les fonctions individuelles utilisables sont représentées par le « niveau API ». Tenez compte des documents suivants pour l'exploitation avec télécommande : ● manuel de l’utilisateur « commande électronique d'entraînement TC 1200 » 6.3.3 Utilisation avec DCU ou HPU En cas d'exploitation avec un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum, tenez compte des documents suivants : ● Manuel de l’utilisateur « DCU » ● Manuel de l’utilisateur « HPU » ● Manuel de l’utilisateur « commande électronique d'entraînement TC 1200 » Mettez la pompe en marche en raccordant le câble d'alimentation à l'alimentation électrique. Réglages sont possibles par l’interface RS-485 avec DCU, HPU ou PC. 6.3.4 Exploitation avec bus de terrain Le raccordement et l'exploitation des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum dans un système de bus de terrain mis à disposition par le client est possible pour les commandes électroniques d'entraînement avec panneau de bus de terrain correspondant. Tenez compte des documents suivants pour l'exploitation avec bus de terrain : ● Manuel de l’utilisateur pour la commande électronique d'entraînement avec panneau de raccordement correspondant 32 Utilisation 6.4 Surveillance de l’état de fonctionnement 6.4.1 Affichage du mode d’utilisation par les diodes Les diodes sur la platine frontale de la commande électronique d’entraînement indiquent des états de service de base de la pompe turbomoléculaire. Seules la DCU et la HPU permettent un affichage différencié entre les erreurs et les avertissements. DEL Symbole État de la DEL Verte éteinte allumée, clignotante allumée, clignotante inverse allumée, fixe Jaune Rouge Indication Signification allumée, clignotante éteinte allumée, fixe Hors tension « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation ≤ 60 min-1 « Groupe de pompage MARCHE », vitesse de rotation de consigne non atteinte « Groupe de pompage MARCHE », vitesse de rotation de consigne atteinte « Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation > 60 min-1 Aucun avertissement Avertissement éteinte allumée, fixe Aucun défaut Défaut Fig. 16: Comportement et signification des DEL sur la commande électronique d'entraînement 6.4.2 Surveillance de la température Une réduction de la puissance d'entraînement a lieu si la température du moteur ou du carter est excessive. Cela peut provoquer le franchissement par défaut du point de commutation de la vitesse de rotation et de ce fait, la coupure de la pompe turbomoléculaire. 6.5 Arrêt et remise à l’air 6.5.1 Arrêt Après la mise hors circuit, il faut remettre la pompe à l'air pour éviter qu'elle ne soit salie par des particules refluant en provenance de la zone de vide primaire. Fermez le vide primaire : arrêtez la pompe primaire ou refermez la vanne de vide primaire. Arrêtez la pompe turbomoléculaire via l'appareil de commande ou par télécommande. Mise à l'air (possibilités voir chapitre suivant). Laissez l'alimentation en eau de refroidissement ouverte jusqu'à l'arrêt du rotor (vitesse de rotation < 1 Hz). 6.5.2 Remise à l’air Remise à l'air manuelle Dans le raccord de remise à l'air équipant la pompe turbomoléculaire, imprimez environ un tour à la vis de remise à l'air (comprise dans les fournitures). Remise à l'air avec vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum Autorisez la remise à l'air avec la vanne de remise à l'air via les fonctions de la commande électronique d'entraînement. Réglages sont possibles par l’interface RS-485 avec DCU, HPU ou PC. 33 Entretien / Remplacement Vitesse de remise à l'air Coupure du groupe de pompage Coupure secteur1) 50 % de la vitesse nominale La vanne de remise à l'air s'ouvre La vanne de remise à l'air s'ouvre pendant 3600 s (1 h, réglage-usine) pendant 3600 s (1 h, réglage-usine) 1)Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt. Consignes fondamentales pour la remise à l’air rapide Remise à l’air d'enceinte en deux étapes. Pour connaître les détails afférents aux solutions personnalisées, consultez Pfeiffer Vacuum. Remise à l'air avec une vitesse de montée en pression de max. 15 hPa/s pendant 20 secondes. – La vanne permet un débit de remise à l'air de 15 hPa/s, la choisir en fonction du volume de l'enceinte à vider. – En présence d’enceintes de petit volume, utilisez la vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum. Ensuite, remettez à l'air avec une vanne de remise supplémentaire d'une taille quelconque. 7 Entretien / Remplacement AVERTISSEMENT Contamination des pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé. Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. AVERTISSEMENT Vapeurs toxiques ! Un risque d'intoxication existe si un fluide d'exploitation synthétique (F3 par exemple) est allumé ou chauffé à plus de 300 °C. Observer les instructions d'utilisation. Ne pas mettre le fluide d'exploitation en contact avec du tabac et respecter les mesures de précaution relatives à la manipulation de produits chimiques. AVIS Exclusion de responsabilité Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité des dégâts, perturbations de service, dommages corporels et dégâts matériels imputables à une maintenance réalisée de façon inexperte. Les recours en responsabilité et en garantie deviennent irrecevables. 7.1 Intervalles de maintenance et compétences ● Nettoyez les surfaces extérieures de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon non pelucheux, additionné d'un peu d'alcool industriel. ● Changez vous-même le fluide d'exploitation. ● Changez la fluide d’exploitation au moins tous les 4 ans. ● Changez les paliers de la pompe turbomoléculaire au moins tous les 4 ans. – Informer le service après-vente de Pfeiffer Vacuum. ● S'il faut raccourcir les intervalles de maintenance en présence de contraintes extrêmes ou de procédés non purs, déterminez-les avec Pfeiffer Vacuum. 34 Entretien / Remplacement ● Concernant tous les autres travaux d'entretien et de réparation, veuillez vous adresser à votre service après-vente Pfeiffer Vacuum compétent. 35 Entretien / Remplacement 7.2 Changer le fluide d'exploitation AVERTISSEMENT Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé. Le lubrifiant et certaines parties de la pompe peuvent contenir des substances toxiques provenant des fluides pompés. Éliminez le lubrifiant en respectant la législation en vigueur. Fiche de données de sécurité sur demande ou à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.com Prenez des précautions de sécurité correspondantes pour empêcher de créer des risques sanitaires ou de polluer l'environnement en cas de contamination. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. 8 109 8 109 110 Fig. 17: Démontez les capuchons de protection de la pompe du fluide d'exploitation sur les versions U et standard 8 Pompe du fluide d'exploita- 109 Capuchon de protection tion 110 Vis à six pans creux Arrêter la pompe à vide, ramenez-la à la pression atmosphérique et laisser la refroidir. Dévissez les vis à six pans creux (2x) de la pompe du fluide d'exploitation et retirez le capuchon de protection. Structure de la pompe du fluide d'exploitation La pompe du fluide d'exploitation possède une structure entièrement symétrique. Les bouchons pour le remplissage du fluide d'exploitation sont placées sur les côtés de la pompe du fluide d'exploitation, alors que les bouchons pour la vidange du fluide d'exploitation sont placées sur la face avant de la pompe. Toujours utiliser le bouchon le plus haut pour le remplissage. Toujours utiliser le bouchon le plus bas pour la vidange. Ne jamais remplir via les bouchons de vidange. 8.23b / 8.35 Fig. 18: Vidangez le fluide d'exploitation en position verticale et horizontale 8.23b Boulon de vidange 8.35 Joint torique Dévissez toujours le boulon de remplissage 8.23b le plus bas de la pompe du fluide d'exploitation. – Attention 8.35 au joint torique ! Laissez le fluide d'exploitation s'écouler dans un récipient approprié. Fermez à nouveau le bouchon de vidange 8.23b. 36 Entretien / Remplacement – Attention 8.35 au joint torique ! 40 ml 8.23a / 8.35 50 ml 8.23a / 8.35 8.23b 8.23b Fig. 19: Versez le fluide d'exploitation en position verticale et horizontale 8.23a Bouchon de remplissage 8.23b Bouchon de vidange (ne pas utiliser pour le remplissage !) 8.35 Joint torique Dévissez toujours le boulon de remplissage 8.23a le plus haut de la pompe du fluide d'exploitation. Versez le fluide d'exploitation (50 ml max.) dans la pompe du fluide d'exploitation à l'aide de la seringue d'injection. Fermez à nouveau le bouchon de remplissage 8.23a. – Attention au joint torique 8.35! 7.3 Remplacer la commande électronique d’entraînement AVIS Respecter les positions de montage au moment de remplacer la commande électronique d'entraînement ! Le remplacement de la commande électronique d'entraînement peut être effectué sur la pompe intégrée. Lors du démontage de la pompe hors de l'installation, tenir compte des éléments suivants : Faire couler le fluide d'exploitation de la pompe avant le démontage hors de l'installation. Sur la plaque signalétique, tenez compte du sigle indicateur de caractéristique ; il se trouve après la désignation du modèle. Tenez compte des pictogrammes figurant sur le corps de la pompe ! Remplacer la commande électronique d'entraînement sur la pompe orientée horizontalement avec le raccord de vide primaire vers le bas (± 25°). AVIS Détériorations au niveau de la pompe et de l'entraînement Même après extinction de l'alimentation secteur, la pompe qui continue de tourner à vide fournit de l'énergie électrique. Il existe un risque de court-circuit à la masse en cas de séparation prématurée de la pompe et de la commande électronique d'entraînement. Ne débranchez jamais la commande électronique d'entraînement de la pompe tandis qu'elle se trouve reliée au secteur ou que le rotor tourne. Paramètres d'exploitation de la commande électronique d’entrainement Les pièces de rechange livrées fonctionnent avec le paramétrage d'exploitation réglé en usine. L’utilisation d’un HPU permet de stocker puis réutiliser un paramètrage existant. Réglez à nouveau les paramètres d'application modifiés. Pour cela, respectez le manuel de l’utilisateur « Commande électronique d’entrainement ». N'appliquez aucune contrainte mécanique á la commande électronique d'entraînement. Arrêter la pompe à vide, ramenez-la à la pression atmosphérique et laisser la refroidir. 37 Entretien / Remplacement Ne débranchez la pompe de la commande électronique qu'après l'arrêt complet de la pompe et avoir coupé la tension d'alimentation. Le cas échéant, déconnectez la pompe à vide de l'installation. 13 94 87 4 96 Fig. 20: Démontage de la TC 1200 4 13 87 Partie inférieure de la pompe Commande électronique d’entraînement Joint torique 94 96 Vis à six pans creux Vis à six pans creux Dévissez les vis à six pans creux (3x) de la commande électronique d'entraînement. Extrayez la commande électrique d’entraînement plane de la pompe. – Attention au connecteur! – Attention au joint torique 87! Ne touchez pas les composants électrostatiques sensibles. 87 Le cas échéant, fixer le joint torique 87 dans la rainure de la partie inférieure de la pompe. Veillez à une fixation correcte! Mettre la nouvelle commande électronique d'entraînement 13 avec l'arête droite à hauteur de la pompe du fluide d'exploitation et la rabattre prudemment contre la partie inférieure de la pompe. – Attention au connecteur! 94 96 Visser la commande électronique d'entraînement 13 avec des vis à six pans creux 94 (5x) et 96 (2x). – Couple de serrage 2.5 Nm. 38 Entretien / Remplacement AVIS Contrôle visuel - évitez les disfonctionnements ! Un montage incorrect de la commande électronique d'entraînement peut provoquer des disfonctionnements ! La plaque de base de la commande électronique d'entraînement doit recouvrir parfaitement la surface de la plaque de refroidissement de la pompe. Le cas échéant, détachez la commande électronique d'entraînement et remontez-la. Attention au joint torique ! 7.3.1 Valeurs prédéfinies de vitesse La vitesse nominale caractéristique d'une pompe turbomoléculaire est réglée en usine dans la commande électronique d'entraînement. Après un remplacement de la commande électronique d'entraînement, ou un changement pour un autre type de pompe, il faut valider la valeur de consigne prédéfinie de la vitesse nominale. Cette procédure fait partie intégrante du système de sécurité redondant permettant d’éviter les survitesses. HiPace Confirmation vitesse nominale [P:777] 1200 / 1500 1800 / 2300 630 Hz 525 Hz Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe. Alternative : Si aucun appareil d'affichage et de commande n'est disponible, utiliser le « Speed Configurator » compris dans la livraison de pièces de rechange. 39 Mise hors service 8 Mise hors service 8.1 Immobilisation prolongée AVERTISSEMENT Contamination des pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé. Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses. Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance. Si la pompe turbomoléculaire doit être immobilisée pour une durée supérieure à 1 an : Le cas échéant, déconnectez la pompe à vide de l'installation. Vidangez le fluide d'exploitation. Obturez la bride de vide élevé équipant la pompe turbomoléculaire. Faites le vide dans la pompe turbomoléculaire par le biais de la bride de vide primaire. Via le raccord de remise à l'air, remettez la pompe turbomoléculaire à l'air avec de l'air sec exempt d’huile ou un gaz inerte. Obturez les orifices des brides avec les obturateurs d'origine. Obturez les autres orifices avec les obturateurs correspondants. Stockez la pompe uniquement dans des locaux fermés, à une température comprise entre -25 et +55 °C. Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive: enfermez la pompe dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de produit de dessiccation. 8.2 Remise en service AVIS Risque de dommages au niveau de la pompe après la remise en service L'aptitude à la conservation du fluide d'exploitation de la pompe turbomoléculaire est limitée. La durée d'usage est de : ● 2 ans maximum sur un matériel hors service ou ● 4 ans maximum en fonction de la somme des temps de fonctionnement de d'arrêt. Tenir compte des consignes de maintenance et informer le SAV de Pfeiffer Vacuum. Vérifiez si la pompe turbomoléculaire présente des salissures et si elle est humide. Nettoyez les surfaces extérieures de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon non pelucheux, additionné d'un peu d'alcool industriel. Le cas échéant, confiez le nettoyage complet de la pompe turbomoléculaire au SAV Pfeiffer Vacuum. Le cas échéant, faites changer les paliers. Tenez compte faisant du temps de marche total. Installer et mettre en service conformément au manuel de l’utilisateur. 8.3 Mise au rebut Les produits et leurs composants internes (composants mécaniques ou électriques, fluides d’exploitation, etc...) peuvent polluer l’environnement. Veuillez prendre les précautions nécessaires, en conformité avec la réglementation locale, pour éliminer les risques sanitaires et éviter toute pollution de l’environnement. 40 Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements Si des dysfonctionnements se produisent au niveau de la pompe, vous trouverez dans le tableau suivant des causes possibles et des instructions pour y remédier. 9.1 Dépannage Problème Causes possibles La pompe ne démarre pas, aucune des LED de la TC 1200 ne s'allume ● Alimentation en courant interrompue Dépannage Vérifiez les contacts à fiches au niveau de l'unité de courant Vérifiez les fils d'arrivée de l'unité de courant ● Tension de service incorrecte Appliquez une tension de service correcte Tenez compte de la plaque signalétique ● Aucune tension de service n'est appliquée Appliquez la tension de service ● TC 1200 défectueuse Faites remplacer la TC 1200 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum La pompe ne démarre pas ; la LED verte ● En cas d'exploitation sans unité de Connectez les broches 1-3, 1-4 ou 1-14 au raccommande : Broches 1-3, 1-4 ou 1-14 non cord distant sur la TC 1200 clignote connectées au raccord distant Enfichez la contre-fiche comprise dans la livraison au niveau du raccord distant. ● En cas de fonctionnement via une inter- Retirez le pont au niveau du raccord distant face RS-485 : Le pont au niveau de la Retirez la contre-fiche du raccord distant. broche 1-14 empêche les ordres de réglage ● En cas de fonctionnement via une inter- Mettez des paramètres [P: 010] et [P: 023] sur face RS-485: paramètre de la commande l’interface RS-485 à "ON". électronique d’entraînement n’est pas ac- Voir pour cela le mode d’emploi de la comtivé mande électronique d’entraînement respectif. La pompe n'atteint pas la vitesse nominale ● Pression de vide primaire trop élevée Vérifiez le fonctionnement et l'adéquation de la pompe primaire dans le temps de démarrage imparti ● Fuite Recherchez la fuite Vérifiez les joints et les fixations des brides Éliminez les défauts d'étanchéité ● Charge de gaz trop élevée Réduisez l'arrivée de gaz processuel ● Résistance mécanique du rotor, paliers Vérifiez si les paliers font du bruit défectueux Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ● Surveillance du temps de démarrage ré- Réglez une surveillance du temps de démarglée trop bas rage plus longue via DCU, HPU ou le PC Réduisez la charge thermique ● Surcharge thermique: – aération insuffisante – Garantissez une arrivée d'air suffisante – débit d'eau trop faible – Garantissez l'arrivée d'eau de refroidissement – pression de vide primaire trop élevée – Réduisez la pression de vide primaire – température ambiante trop élevée – Adaptez les conditions ambiantes La pompe n'atteint pas la pression finale ● La pompe est encrassée Dégazer la pompe Nettoyage en cas de fort encrassement – Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ● Le récipient, les conduites ou la pompe ne Recherchez la fuite en partant du récipient sont pas étanches Éliminez les défauts d'étanchéité Bruits de fonctionnement inhabituels ● Les roulements sont endommagés Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ● Rotor endommagé Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum ● Pare-éclats ou une grille de protection mal Corrigez l'assise du pare-éclats ou de la grille fixé(e) de protection Respectez les consignes d'installation La diode rouge de la commande TC 1200 ● Défaut groupé Effectuez un Reset en coupant puis en rallumant le secteur. est allumée Reset via la broche 13 dans le raccordement « REMOTE » Affichage différencié des défauts possible via le raccord « RS-485 »1) Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum 1)Si aucun appareil de commande Pfeiffer Vacuum n'est disponible, informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum. 41 Service après-vente 10 Service après-vente Pfeiffer Vacuum vous propose un service après-vente haut de gamme ! ● Changement de fluide d’exploitation et de paliers sur place, grâce à notre SAV de terrain (FieldService) ● Maintenance / Réparation dans un ServiceCenter ou ServicePoint proche de chez vous ● Remplacement rapide par des produits d'échange standard pratiquement neufs ● Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide Informations détaillées, adresses et formulaires à l'adresse suivante : www.pfeiffer-vacuum.com (Service). Maintenance et réparation au ServiceCenter Pfeiffer Vacuum Pour que le traitement soit rapide et sans accrocs, il faut suivre la procédure suivante : Téléchargez les formulaires « Demande de service » et « Declaration de Contamination».1) Remplissez le formulaire « Demande de service » et renvoyez-le par fax ou mail à l'adresse de votre centre de service Pfeiffer Vacuum service compétent. A cet envoi, joignez la confirmation de prise en charge transmise par Pfeiffer Vacuum. Remplissez la déclaration de contamination et joignez-la obligatoirement à l'envoi. Démontez tous les accessoires. Vidangez le fluide d’exploitation (vaut pour les pompes turbo d'une puissance d'aspiration > 700 l/s) Laissez la commande électronique d'entraînement contre la pompe. Obturez les orifices des brides avec les obturateurs d'origine. Envoyez la pompe ou l'appareil dans son emballage d'origine si possible. Envoi de pompes ou appareils contaminés Les appareils contaminés (avec des substances microbiologiques, explosives ou radioactives) sont systématiquement refusés. Les « substances toxiques » sont les substances et composés chimiques cités dans la réglementation concernant les substances dangereuses. Sur les pompes contaminées et en l'absence de déclaration sur la contamination, Pfeiffer Vacuum réalise une décontamination aux frais du client. Neutralisez la pompe en réalisant un balayage avec de l'azote ou de l'air sec. Obturez toutes les ouvertures pour les rendre étanches à l'air. Conditionnez la pompe ou l'appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée. Renvoyez la pompe / l'appareil uniquement dans un conteneur de transport approprié et robuste, en respectant les conditions de transport applicables. Appareils de rechange Les appareils de rechange livrés se trouvent toujours sur le paramétrage d'exploitation standard réglé en usine. Si votre application fonctionne sur un paramétrage modifié, vous devrez régler à nouveau ces appareils sur ce paramétrage. Commandes de service après-vente Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos conditions de réparation applicables aux appareils et composants sous vide. 1) 42 Formulaires à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.com (en anglais) Pièces de rechange HiPace 1500 11 Pièces de rechange HiPace 1500 Pos. Désignation 13 Modèle Numéro de commande 150 Commande électronique d'envoir plaque signalétraînement TC 1200 tique Seringue d'injection 50 ml PM 006 915 -U Fluide d'exploitation F3 50 ml PM 006 336 -T Contre-fiche « Remote » PM 061 378 -X Vanne de purge de gaz neutre 17,5 - 20 sccm PM Z01 313 PM 061 200 -T Prise de raccordement au sec- HAN 3 teur Douille d’alimentation G 1/4'' P 0998 067 155 Joint annulaire 142 143 145 146 P 3529 145 -A Remarques Pièces Quantité commandée selon le panneau de raccordement 1 autres quantités sur demande avec ponts 1 1 1 1 1 pour flexible de diamètre intérieur de 2 7-8 mm pour douille à vis 2 144 13 146 150 155 143 145 142 Pour toute commande d'accessoires ou de pièces détachées, veuillez indiquer en plus le numéro de modèle situé sur la plaque signalétique. 43 Accessoires 12 Accessoires Désignation HiPace® 1500, DN 250 ISO-K Kit de fixation pour HiPace 1500, DN 250 ISO-K, avec anneau PM 016 395 -T de centrage recouvert et boulons-agrafes à tête bombée Kit de fixation pour HiPace 1500, DN 250 ISO-K, avec anneau PM 016 397 -T de centrage recouvert, grille de protection et boulons-agrafes à tête bombée Kit de fixation pour HiPace 1500, DN 250 ISO-K, avec anneau PM 016 396 -T de centrage recouvert, pare-éclats et boulons-agrafes à tête bombée Kit de fixation pour DN 250 ISO-K sur ISO-F avec bride à cha- PM 016 970 -T peau, anneau de centrage avec revêtement, vis 6 pans Kit de fixation pour DN 250 ISO-K sur ISO-F avec bride à cha- PM 016 971 -T peau, anneau de centrage avec revêtement et pare-éclats, vis 6 pans Kit de fixation pour DN 250 ISO-K sur ISO-F avec bride à cha- PM 016 972 -T peau, anneau de centrage avec revêtement et grille de protection, vis 6 pans Kit de fixation pour DN 250 ISO-K sur ISO-F avec bride à cha- PM 016 975 -T peau, anneau de centrage avec revêtement, goujons filetés Kit de fixation pour DN 250 ISO-K sur ISO-F avec bride à cha- PM 016 976 -T peau, anneau de centrage avec revêtement et pare-éclats, goujons filetés Kit de fixation pour DN 250 ISO-K sur ISO-F avec bride à cha- PM 016 977 -T peau, anneau de centrage avec revêtement et grille de protection, goujons filetés Kit de fixation pour DN 250 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert et boulons à six pans Kit de fixation pour DN 250 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, grille de protection et boulons à six pans Kit de fixation pour DN 250 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, pare-éclats et boulons à six pans Kit de fixation pour DN 250 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert et goujons filetés Kit de fixation pour DN 250 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, grille de protection et goujons filetés Kit de fixation pour DN 250 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert, pare-éclats et goujons filetés Kit de goujons filetés pour brides avec trou fileté, DN 250 CF-F Kit de goujons filetés pour brides avec perçage traversant, DN 250 CF-F Kit de vis hexagonales pour brides avec perçage traversant, DN 250 CF-F Anneau de centrage avec revêtement multifonctions, DN 250 PM 016 225 -U ISO-K/-F Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et grille de PM 016 227 -U protection intégré, DN 250 ISO-K/-F Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et pare- PM 016 226 -U éclats intégré, DN 250 ISO-K/-F Amortisseur pour HiPace 1500/2300, DN 250 ISO-K/F PM 006 670 -X Grille de protection pour DN 250 CF-F Pare-éclats pour pompes turbo, DN 250 CF-F Amortisseur pour HiPace 1500/2300, DN 250 CF-F Câble de secteur avec fiche à contact de protection, VII-HAN P 4564 309 HA 3A, 230 V CA, 3 m Câble de secteur 208 V CA avec fiche UL, NEMA-HAN 3A, 3 m P 4564 309 HB Câble de secteur avec connecteur UL, 115 V CA, 3 m PM 061 187 -X Display Control Unit, DCU 002 PM 061 348 -T HPU 001, Handheld Programming Unit PM 051 510 -T Ensemble d'accessoires pour HPU - Bloc d'alimentation, logi- PM 061 005 -T ciel et câble PC Boîte à relais, blindé, pour pompe primaire, 1 phase 7A pour TC PM 071 284 -X 400/1200, TM 700 et TCP 350, M12 44 HiPace® 1500, DN 250 ISO-F HiPace® 1500, DN 250 CF-F PM 016 480 -T PM 016 482 -T PM 016 481 -T PM 016 485 -T PM 016 487 -T PM 016 486 -T PM 016 695 -T PM 016 737 -T PM 016 694 -T PM 016 225 -U PM 016 227 -U PM 016 226 -U PM 006 670 -X P 4564 309 HA PM 016 345 PM 016 324 PM 006 671 -X P 4564 309 HA P 4564 309 HB PM 061 187 -X PM 061 348 -T PM 051 510 -T PM 061 005 -T P 4564 309 HB PM 061 187 -X PM 061 348 -T PM 051 510 -T PM 061 005 -T PM 071 284 -X PM 071 284 -X Accessoires HiPace® 1500, DN 250 ISO-K HiPace® 1500, DN 250 ISO-F HiPace® 1500, DN 250 CF-F Boîte à relais, blindé, pour pompe primaire, 1 phase 20 A pour PM 071 285 -X TC 400/1200, TM 700 et TCP 350, M12 TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 230 V CA PM Z01 205 TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 115 V CA PM Z01 206 Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 1200/1500 avec TC 1200, 208 V CA, fiche UL Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 1200/1500 avec TC 1200, 115 V CA, fiche UL Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 1200/1500 avec TC 1200, 230 V CA, fiche à contact de protection Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccord PM Z01 291 à TC 400/1200 et TM 700 TTV 001, cartouche siccative pour la remise à l'air de pompes PM Z00 121 turbomoléculaire Vanne de purge de gaz neutre, blindée, pour HiPace 400/700/ PM Z01 313 800 P avec TC 400 aussi bien que HiPace1200 - 2300 avec TC 1200 Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 400/700/800 PM Z01 318 P aussi bien que HiPace 1200 - 2300 Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 1200 - 2300 PM Z01 319 Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 1200 – PM Z01 325 2300, 52,5 ± 7,5 sccm Câble d'interface, M12 m droite/M12 m droite, 3 m PM 061 283 -T Câble adaptateur HiPace - ACP PM 071 142 -X Câble de commande pour groupes de pompage 0,7 m PM 061 675 AT Convertisseur USB sur RS-485 PM 061 207 -T Connecteur en Y, M12 pour RS-485 P 4723 010 Accouplement M12 pour RS-485 PM 061 270 -X Raccord de bus pour RS-485 PT 348 105 -T Connecteur détachable pour RS-485 PT 348 132 -T Connecteur en Y, blindée, M12 pour accessoires P 4723 013 RPT 010, Capteur piézo/Pirani PT R71 100 IKT 010, capteur cathode froide numérique PT R72 100 IKT 011, capteur cathode froide numérique PT R73 100 TIC 010, adaptateur pour deux capteurs PT R70 000 PM 071 285 -X PM 071 285 -X PM Z01 205 PM Z01 206 PM Z01 205 PM Z01 206 PM 071 273 -T Désignation PM 071 274 -T PM 071 272 -T PM Z01 291 PM Z01 291 PM Z00 121 PM Z00 121 PM Z01 313 PM Z01 313 PM Z01 318 PM Z01 318 PM Z01 319 PM Z01 325 PM Z01 319 PM Z01 325 PM 061 283 -T PM 071 142 -X PM 061 675 AT PM 061 207 -T P 4723 010 PM 061 270 -X PT 348 105 -T PT 348 132 -T P 4723 013 PT R71 100 PT R72 100 PT R73 100 PT R70 000 PM 061 283 -T PM 071 142 -X PM 061 675 AT PM 061 207 -T P 4723 010 PM 061 270 -X PT 348 105 -T PT 348 132 -T P 4723 013 PT R71 100 PT R72 100 PT R73 100 PT R70 000 45 Caractéristiques techniques et dimensions 13 Caractéristiques techniques et dimensions 13.1 Généralités Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum: Les valeurs maximales se réfèrent uniquement au cas où l'entrée constitue la sollicitation unique. ● Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5 ● ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puissance de pompes à vide - Description générale » ● ISO 5302; 2003 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesurage des caractéristiques fonctionnelles » ● Pression limite : avec dôme de test et après 48 h d'étuvage ● Débit de gaz : avec refroidissement à l'eau et pompe rotative à palettes (60 m3/h) ● Consommation d'eau froide : avec débit de gaz max., température de l'eau 25 °C ● Taux de fuite intégral : avec concentration de l'hélium à 100 %, durée de mesure de 10 s ● Niveau de pression acoustique : distance par rapport à la pompe 1 m Tableau de conversion : Unités de pression mbar bar Pa hPa kPa Torr mm Hg mbar bar Pa hPa kPa Torr mm Hg 1 1000 0,01 1 10 1,33 1 · 10-3 1 1 · 10-5 1 · 10-3 0,01 1,33 · 10-3 100 1 · 105 1 100 1000 133,32 1 1000 0,01 1 10 1,33 0,1 100 1 · 10-3 0,1 1 0,133 0,75 750 7,5 · 10-3 0,75 7,5 1 1 Pa = 1 N/m2 Tableau de conversion : Unités de débit de gaz mbar·l/s Pa·m3/s sccm Torr·l/s atm·cm3/s 46 mbar·l/s Pa·m3/s sccm Torr·l/s atm·cm3/s 1 10 1,69 · 10-2 1,33 1,01 0,1 1 1,69 · 10-3 0,133 0,101 59,2 592 1 78,9 59,8 0,75 7,5 1,27 · 10-2 1 0,76 0,987 9,87 1,67 · 10-2 1,32 1 Caractéristiques techniques et dimensions 13.2 HiPace 1500 / HiPace 1500 U Paramètres HiPace® 1500 HiPace® 1500 HiPace® 1500 Bride de raccordement (entrée) Bride de raccordement (sortie) Débit pour Ar Débit pour H2 Débit pour He Débit pour N2 Taux de compression pour Ar Taux de compression pour H2 Taux de compression pour He Taux de compression pour N2 Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar Débit max. de gaz à vitesse finale pour He Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2 Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2 Vide primaire max. pour Ar Vide primaire max. pour H2 Vide primaire max. pour He Vide primaire max. pour N2 Temps d'accélération Pression limite selon PNEUROP Vitesse ± 2 % Vitesse variable Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère A Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère B Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère C Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère D Niveau de pression acoustique Humidité relative de l'air DN 250 ISO-K DN 40 ISO-KF 1350 l/s 1150 l/s 1350 l/s 1400 l/s > 1 · 108 6 · 103 2 · 105 > 1 · 108 11 hPa l/s > 30 hPa l/s > 30 hPa l/s 20 hPa l/s 2,5 hPa 0,25 hPa 0,9 hPa 2 hPa 2,5 min < 1 · 10-7 hPa 37800 min-1 50-100 % 710/37800 W/min-1 DN 250 CF-F DN 40 ISO-KF 1350 l/s 1150 l/s 1350 l/s 1400 l/s > 1 · 108 6 · 103 2 · 105 > 1 · 108 6 hPa l/s 16 hPa l/s > 30 hPa l/s 16 hPa l/s 2,5 hPa 0,25 hPa 0,9 hPa 2 hPa 2,5 min < 5 · 10-10 hPa 37800 min-1 50-100 % 540/37800 W/min-1 DN 250 ISO-F DN 40 ISO-KF 1350 l/s 1150 l/s 1350 l/s 1400 l/s > 1 · 108 6 · 103 2 · 105 > 1 · 108 11 hPa l/s > 30 hPa l/s > 30 hPa l/s 20 hPa l/s 2,5 hPa 0,25 hPa 0,9 hPa 2 hPa 2,5 min < 1 · 10-7 hPa 37800 min-1 50-100 % 710/37800 W/min-1 750/35400 W/min-1 756/14400 W/min-1 750/35400 W/min-1 578/37800 W/min-1 406/37800 W/min-1 578/37800 W/min-1 717/29400 W/min-1 616/11280 W/min-1 717/29400 W/min-1 50 dB (A) 5-85, sans condensation % IP54 1500 hPa 50 dB (A) 5-85, sans condensation % IP54 1500 hPa < 1 · 10-8 Pa m3/s 1350 VA 50/60 Hz 100-120/200-240 V CA 10 A Standard (0°-90°) G 1/8" 41 kg Eau 15-35 °C 100 l/h 22,5 W 6 mT RS-485, Remote < 1 · 10-8 Pa m3/s 1350 VA 50/60 Hz 100-120/200-240 V CA 10 A Standard (0°-90°) G 1/8" 30 kg Eau 15-35 °C 100 l/h 22,5 W 6 mT RS-485, Remote 50 dB (A) 5-85, sans condensation % Type de protection IP54 Pression d'entrée max. pour vanne de remise à l'air/gaz de 1500 hPa balayage Taux de fuite intégral < 1 · 10-8 Pa m3/s Puissance absorbée maximale 1350 VA Raccordement secteur: fréquence (plage) 50/60 Hz Raccordement secteur: tension (plage) 100-120/200-240 V CA Consommation de courant maximale 10 A Orientation de montage Standard (0°-90°) Raccordement de remise à l'air G 1/8" Poids 29 kg Type de refroidissement, standard Eau Température de l'eau de refroidissement 15-35 °C Consommation d'eau froide 100 l/h Puissance thermique irradiée admissible max. 22,5 W Champ magnétique environnant admissible 6 mT Interfaces RS-485, Remote 47 Caractéristiques techniques et dimensions 13.3 HiPace 1500 C / HiPace 1500 U C Paramètres HiPace® 1500 C HiPace® 1500 C HiPace® 1500 C Bride de raccordement (entrée) Bride de raccordement (sortie) Débit pour Ar Débit pour CF4 Débit pour H2 Débit pour He Débit pour N2 Taux de compression pour Ar Taux de compression pour CF4 Taux de compression pour H2 Taux de compression pour He Taux de compression pour N2 Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar Débit max. de gaz à vitesse finale pour CF4 Débit max. de gaz à vitesse finale pour He Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2 Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2 Vide primaire max. pour Ar Vide primaire max. pour H2 Vide primaire max. pour He Vide primaire max. pour N2 Temps d'accélération Pression limite selon PNEUROP Vitesse ± 2 % Vitesse variable Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère A Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère B Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère C Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère D Niveau de pression acoustique Humidité relative de l'air DN 250 ISO-K DN 40 ISO-KF 1350 l/s 1100 l/s 1150 l/s 1350 l/s 1400 l/s > 1 · 108 > 1 · 108 6 · 103 2 · 105 > 1 · 108 11 hPa l/s 12 hPa l/s > 30 hPa l/s > 30 hPa l/s 20 hPa l/s 2,5 hPa 0,25 hPa 0,9 hPa 2 hPa 2,5 min < 1 · 10-7 hPa 37800 min-1 50-100 % 710/37800 W/min-1 DN 250 CF-F DN 40 ISO-KF 1350 l/s 1100 l/s 1150 l/s 1350 l/s 1400 l/s > 1 · 108 > 1 · 108 6 · 103 2 · 105 > 1 · 108 6 hPa l/s 6 hPa l/s 16 hPa l/s > 30 hPa l/s 16 hPa l/s 2,5 hPa 0,25 hPa 0,9 hPa 2 hPa 2,5 min < 1 · 10-8 hPa 37800 min-1 50-100 % 540/37800 W/min-1 DN 250 ISO-F DN 40 ISO-KF 1350 l/s 1100 l/s 1150 l/s 1350 l/s 1400 l/s > 1 · 108 > 1 · 108 6 · 103 2 · 105 > 1 · 108 11 hPa l/s 12 hPa l/s > 30 hPa l/s > 30 hPa l/s 20 hPa l/s 2,5 hPa 0,25 hPa 0,9 hPa 2 hPa 2,5 min < 1 · 10-7 hPa 37800 min-1 50-100 % 710/37800 W/min-1 750/35400 W/min-1 756/14400 W/min-1 750/35400 W/min-1 578/37800 W/min-1 406/37800 W/min-1 578/37800 W/min-1 717/29400 W/min-1 616/11280 W/min-1 717/29400 W/min-1 50 dB (A) 5-85, sans condensation % IP54 1500 hPa 50 dB (A) 5-85, sans condensation % IP54 1500 hPa < 1 · 10-8 Pa m3/s 1350 VA 50/60 Hz 100-120/200-240 V CA 10 A Standard (0°-90°) G 1/8" 41 kg Eau 15-35 °C 100 l/h 22,5 W 6 mT RS-485, Remote < 1 · 10-8 Pa m3/s 1350 VA 50/60 Hz 100-120/200-240 V CA 10 A Standard (0°-90°) G 1/8" 30 kg Eau 15-35 °C 100 l/h 22,5 W 6 mT RS-485, Remote 50 dB (A) 5-85, sans condensation % Type de protection IP54 Pression d'entrée max. pour vanne de remise à l'air/gaz de 1500 hPa balayage Taux de fuite intégral < 1 · 10-8 Pa m3/s Puissance absorbée maximale 1350 VA Raccordement secteur: fréquence (plage) 50/60 Hz Raccordement secteur: tension (plage) 100-120/200-240 V CA Consommation de courant maximale 10 A Orientation de montage Standard (0°-90°) Raccordement de remise à l'air G 1/8" Poids 29 kg Type de refroidissement, standard Eau Température de l'eau de refroidissement 15-35 °C Consommation d'eau froide 100 l/h Puissance thermique irradiée admissible max. 22,5 W Champ magnétique environnant admissible 6 mT Interfaces RS-485, Remote 48 Caractéristiques techniques et dimensions 13.4 Dimensions Ø 290 HV DN 250 ISO-K 16 1. 5 218.8 286.3 G 1/8“ 359.8 40° 191.6 45° 178 15° 111.5 G 1/4“ Ø 264 10° 40° G 1/8“ 70 ° 141,9 VV DN 40 ISO-KF Fig. 21: HiPace 1500 / C, DN 250 ISO-K Ø 335 16 1. DN 250 ISO-F 5 218.8 G 1/8“ 359.8 286.3 40° 191.6 45° 178 15° Ø 264 111.5 G 1/4“ HV 10° 40° G 1/8“ 70 ° VV 141,9 DN 40 ISO-KF Fig. 22: HiPace 1500 / C, DN 250 ISO-F HV Ø 264 DN 250 CF-F G 1/4“ 16 1. 5 G 1/8“ 362.3 288.8 221.3 180.5 40° 45° 194.1 114 15° 10° 40° G 1/8“ 70 141.9 ° VV DN 40 ISO-KF Fig. 23: HiPace 1500 / C, DN 250 CF-F 49 Caractéristiques techniques et dimensions VV G 1/4“ 15° 16 DN 40 ISO-KF 70 ° 1. 5 286.3 359.8 40° 45° G 1/8“ 218.8 111.5 191.6 10° 40° 178 G 1/8“ Ø 264 141,9 HV Ø 290 DN 250 ISO-K Fig. 24: HiPace 1500 U / U C, DN 250 ISO-K VV 16 G 1/4“ DN 40 ISO-KF 1. 15° 5 70 ° 359.8 40° 45° G 1/8“ 218.8 111.5 178 10° 40° 191.6 286.3 G 1/8“ Ø 264 141,9 HV Ø 335 DN 250 ISO-F Fig. 25: HiPace 1500 U / U C, DN 250 ISO-F VV G 1/4“ 15° DN 40 ISO-KF 16 70 ° 1. 5 288.8 114 194.1 10° 40° 221.3 G 1/8“ 180.5 362.3 40° 45° G 1/8“ 141.9 HV DN 250 CF-F Fig. 26: HiPace 1500 U / U C, DN 250 CF-F 50 Ø 264 Déclaration de conformité Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes les dispositions applicables des directives CE suivantes : ● Machines 2006/42/CE (Annexe II, No. 1 A) ● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Le responsable de la compilation des documents techniques est M. Helmut Bernhardt, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. HiPace 1500 Normes harmonisées et normes nationales appliquées : DIN EN ISO 12100 : 2011-03 DIN EN 1012-2 : 1996 DIN EN 61000-3-2 : 2010 DIN EN 61000-3-3 : 2009 DIN EN 61010-1 : 2010 DIN EN 61326-1 : 2013 DIN EN 62061 : 2013 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Dr. Ulrich von Hülsen) Directeur 2016-03-31 UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits. UN SAVOIR FAIRE THÉORIQUE ET PRATIQUE Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité de première qualité dans le monde entier. Êtes-vous à la recherche d'une solution de vide dédiée à vos besoins ? Contactez-nous : Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters T +49 6441 802-0 [email protected] Pfeiffer Vacuum SAS, France T +33 (0) 4 50 65 77 77 [email protected] www.pfeiffer-vacuum.com ">
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