Pfeiffer HiPace 700 M Mode d'emploi

MANUEL DE L’UTILISATEUR
FR
Traduction du manuel de l‘utilisateur
HIPACE 700 M
PT 0331 BFR/E (1711)
Pompe turbomoléculaire
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1
2
Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1.1 Documents applicables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.1 Consignes de sécurité. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.2 Pictogrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.3 Instruction dans le texte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.4 Abréviations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.5 Symboles utilisés . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1
2.2
2.3
2.4
3
Manutention et stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.1
3.2
4
4.2
4.3
2
Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.1 Types de pompes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.2 Caractéristiques de la pompe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.3 Contenu de la livraison . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.1 Refroidissement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.2 Paliers de rotor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.3 Entraînement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.1
5.2
6
Manutention . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1
5
Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Equipement de protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Non conformité d’utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Travaux préparatoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Mise en place . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.2.1 Protection antisismique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2.2 Utilisation d’un pare-éclats ou une grille de protection . . . . . . . . . 14
5.2.3 Amortisseur de vibrations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.3 Positions de montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.4 Installation de la bride de vide élevé. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.4.1 Installation d’une bride ISO-K avec une bride ISO-K . . . . . . . . . . 16
5.4.2 Installation d'une bride ISO-K avec une bride ISO-F . . . . . . . . . . 17
5.4.3 Installation d’une bride ISO-F avec une bride ISO-F . . . . . . . . . . 18
5.4.4 Installation de brides CF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.5 Raccorderdement du côté vide primaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.6 Raccordements à la pompe turbomoléculaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.6.1 Commande électronique d’entraînement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.6.2 Mise à la terre . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.6.3 Alimentation et distribution électrique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.7 Raccordement accessoires. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.7.1 Vanne de remise à l'air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.7.2 Refroidissement par air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.7.3 Raccordement de la purge de gaz neutre. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.7.4 Chemise chauffante . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.7.5 Refroidissement à eau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Table des matières
6.1
7
Mise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
6.1.1 Calibrage des paliers magnétiques. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
6.2 Modes d’exploitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.3 Description fonctionelle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.3.1 Utilisation avec la connexion « remote ». . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.3.2 Utilisation avec DCU ou HPU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.3.3 Exploitation avec bus de terrain . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.4 Surveillance de l’état de fonctionnement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.4.1 Surveillance de la température . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.4.2 Affichage du mode d’utilisation par les diodes . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.4.3 Sollicitation des paliers de secours . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.4.4 État d'équilibre. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.5 Arrêt et remise à l’air. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.5.1 Arrêt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.5.2 Frein électrique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
6.5.3 Exploitation avec alimentaion de secours . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
6.5.4 Remise à l’air . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Entretien / Remplacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
7.1
7.2
8
Intervalles de maintenance et compétences. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
Remplacer la commande électronique d’entraînement . . . . . . . . . . . . . . 34
7.2.1 Calibrage des paliers magnétiques. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
7.2.2 Valeurs prédéfinies de vitesse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Mise hors service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
8.1
8.2
8.3
9
Immobilisation prolongée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Remise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Mise au rebut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
9.1
Dépannage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
10
Service après-vente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
11
Pièces de rechange HiPace 700 M . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
12
Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
13
Caractéristiques techniques et dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
13.1 Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
13.2 Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
13.3 Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
3
A propos de ce manuel
1
A propos de ce manuel
1.1
Validité
Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le
fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les
informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a
pas apporté de modifications au produit.
Les manuels de l’utilisateur valides sont également disponibles sur Internet sur
www.pfeiffer-vacuum.com.
1.1.1
Documents applicables
HiPace 700 M, suivant le modèle
Manuel de l’utilisateur
Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TM
700 », standard
Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TM
700 PB », Profibus
Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TM
700 E74 », selon Semi E74
Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TM
700 DN », DeviceNet
Manuel de l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement TM
700 EC », EtherCAT
Déclaration de conformité
*Disponible également sur www.pfeiffer-vacuum.com
PT 0329 BN*
1.2
Conventions
1.2.1
Consignes de sécurité
PT 0354 BN*
PT 0355 BN*
PT 0356 BN*
PT 0503 BN*
Joint à ce manuel de l’utilisateur
Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat
d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL,
CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les
niveaux de danger et informations suivants :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves.
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves.
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères.
AVIS
Injonction ou indication
Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect
peut conduire à la détérioration du produit.
4
A propos de ce manuel
1.2.2
Pictogrammes
Interdiction d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de
cette interdiction peut générer des accidents graves
Avertissement contre le danger représenté par le symbole.
Obligation d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de
cette obligation peut générer des accidents graves.
Informations importantes concernant le produit ou le présent document
1.2.3
Instruction dans le texte
 Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit.
1.2.4
1.2.5
Abréviations
DCU :
Display Control Unit
HPU :
Handheld Programming Unit
TM :
Contrôleur électronique d'entraînement et de paliers magnétiques de la
pompe turbomoléculaire
TPS :
Bloc d'alimentation
Symboles utilisés
Les symboles suivants sont utilisés de façon récurrente dans les illustrations :
Bride de vide élevé
Bride de vide primaire
V Bride de vide de la pompe primaire
Bride d'échappement de la pompe primaire
Raccordement électrique
Raccordement de la purge de gaz neutre
Raccordement de remise à l’air
Raccordement d'eau de refroidissement
5
Sécurité
2
Sécurité
2.1
Consignes de sécurité
Obligation d'informer
Toute personne chargée de l'installation, du fonctionnement ou de l'entretien de la
pompe à vide doit avoir lu les consignes de sécurité de ce manuel de l’utilisateur et doit
les respecter.
 Il incombe à l'exploitant de mettre en garde l'ensemble des opérateurs contre les
dangers liés à la pompe à vide, aux substances pompées ou à l'installation de pompage dans sa globalité.
Installation et utilisation des accessoires
Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires
adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des accessoires raccordés sont
décrites en détails dans leur manuel de l’utilisateur respectif.
 Informations sur les numéros de référence des accessoires : voir le chapitre « Accessoires ».
 Utiliser uniquement des accessoires d’origine.
AVIS
Vérification du système de sécurité contre les survitesses
Afin d'assurer le fonctionnement du système de sécurité intégré contre les survitesses,
la pompe doit être redémarrée au moins une fois par an.
 Arrêter la pompe et attendez l'arrêt complet (vitesse de rotation = 0 Hz).
 Démarrer la pompe en marche conformément au instructions de ce manuel.
AVERTISSEMENT
Risque lié à une installation électrique non conforme
La sécurité du fonctionnement après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant.
 Ne procédez à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative.
 Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité.
 Pour toute demande spécifique, contacter Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Danger en cas d'absence de dispositif de sectionnement
La pompe et la commande électronique d'entraînement ne sont pas équipées d'un dispositif de sectionnement. L'installation d'un dispositif de sectionnement selon SEMI-S2
est à la charge de l'exploitant.
 Prévoir un disjoncteur ayant un pouvoir de coupure d'au moins 10 000 A.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution
En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension.
 Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour
pouvoir défaire le branchement à tout moment.
● N'exposez aucune partie du corps au vide.
● Respectez toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des risques.
● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées.
● Alimentation électrique : L'alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire
doit répondre aux exigences de double isolation entre la tension d'entrée du secteur
et la tension de fonctionnement selon CEI 61010 et CEI 60950. Pfeiffer Vacuum re6
Sécurité
commande à cet effet d'utiliser des blocs d’alimentation électrique et accessoires
d'origine. Dans ce cas uniquement, Pfeiffer Vacuum peut garantir la confomité aux
exigences des directives européennes et nord-américaines.
● Un raccord avec le conducteur de protection (PE) est recommandé (classe de
protection III).
● Pendant le fonctionnement, ne pas desserrer ou retirer les connecteurs.
● Avant d'effectuer tous travaux sur la bride de vide élevé, attendez que le rotor se soit
immobilisé.
● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces
chaudes (> 70 °C).
● Ne remplissez et ne faites jamais fonctionner la pompe turbomoléculaire avec des détergents.
● N'utilisez jamais la pompe turbomoléculaire avec la bride de vide élevé ouverte.
● Ne pas procéder de sa propre initiative à une transformation ou à une modification de
la pompe.
● Pour tout retour de la pompe turbomoléculaire, respectez les consignes d'expédition.
2.2
Equipement de protection
Dans certaines situations, la manipulation de pompes à vide nécessite le port d'un équipement individuel de protection. Les exploitants ou les employeurs se doivent de mettre
à disposition du personnel opérateur un équipement approprié.
DANGER
Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques lors des travaux de maintenance ou d'installation
Les pompes à vide, les composants et les fluides d'exploitation peuvent être contaminés, en fonction du procédé, par des substances toxiques, réactives ou radioactives.
 Porter un équipement de protection approprié lors des travaux de maintenance, de
réparation ou lors de la réinstallation des pompes.
AVERTISSEMENT
kg
Risque de blessures dues à des chutes d'objets
Lors du transport manuel des pompes à vide, il existe un risque de blessures dû aux
chutes et glissements de charges.
 Transporter à deux mains des pompes à vide petites et moyennes.
 Transporter avec un engin de levage approprié les pompes à vide d'un poids > 20 kg.
 Porter des chaussures de sécurité avec protection des orteils conformément à la
norme EN 347.
ATTENTION
Risque de brûlantes au contact de surfaces chaudes
Les pompes à vide sont brûlantes en fonctionnement.
 Laisser refroidir la pompe avant d'effectuer des travaux de maintenance et de réparation.
 Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420.
ATTENTION
Risque de coupures dues à des arêtes vives
Les arêtes des disques du rotor et du stator des pompes turbomoléculaires sont très
tranchantes.
 Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d’intervenir sur la pompe.
 Ne pas accéder à la bride de vide élevé.
 Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420.
7
Sécurité
2.3
Conformité d’utilisation
AVIS
Conformité CE
La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par
l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires !
 Après incorporation dans une installation et avant la mise en service, l'exploitant
s’engage à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence.
● La pompe à vide ne pourra être utilisée que pour générer du vide.
● N'utilisez la pompe turbomoléculaire qu'associée à une pompe primaire appropriée.
2.4
Non conformité d’utilisation
En cas d'usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté.
Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui diffèrent de celles précitées,
dont notamment :
● installation de la pompe avec un matériau de fixation non spécifié
● le pompage de fluides corrosifs ou explosifs
● le pompage de vapeurs condensables
● le pompage de liquides
● le pompage de poussières
● une utilisation avec débit de gaz élevé non admissible
● une utilisation sous une pression de vide primaire élevée non admissible
● une utilisation avec le mauvais mode Gaz
● une utilisation avec apport, par rayonnement, d'une puissance thermique excessive
● une utilisation dans des champs magnétiques non admissibles
● une remise à l'air avec des débits élevés non admissible
● l’utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression
● l’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants
● l’utilisation dans des zones à risque d'explosion
● une mise en œuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à
des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques
● l'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce
manuel
warranty seal
Sceau de fermeture
Le corps de produit est scellé en usine. Tout dommage ou arrachement d’un sceau de
fermeture conduit à la perte de la garantie.
 N'ouvrez pas le produit durant la période de garantie !
 Si les applications nécessitent des intervalles d'entretien plus courts que la période
de garantie, contacter le service après-vente Pfeiffer Vacuum.
8
Manutention et stockage
3
Manutention et stockage
3.1
Manutention
 Réutilisez le conteneur de transport de pompe à vide.
– Transporter ou expédier les pompes à vide de préférence dans leur emballage
d'origine.
 Il ne faut retirer les obturateurs de protection du côté vide élevé et du côté vide primaire qu'au moment du raccordement.
 Conservez les obturateurs de protection d’origine.
 Transportez toujours la pompe turbomoléculaire à la verticale.
3.2
Stockage
 Obturez les orifices des brides avec les obturateurs d'origine.
 Obturez les autres orifices avec les obturateurs correspondants.
 Stockez la pompe uniquement dans des locaux fermés, à une température comprise
entre -25 et +55 °C.
 Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive: enfermez la pompe dans un sac
en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de produit de
dessiccation.
9
Description du produit
4
Description du produit
4.1
Identification du produit
4.1.1
Types de pompes
La désignation-produit renseigne sur la famille (1) à laquelle appartient la pompe, sur sa
taille (2), laquelle informe sur la capacité d'aspiration de la pompe, et le cas échéant sur
des caractéristiques additionelles (3).
HiPace(1) 700(2)M(3)
1. Désignation de la famille 2. Désignation du modèle 3. Désignation de la spécificité
700 = Désignation du modèle néant = Version standard
dans la classe afférente de U = Version inversée
capacité d'aspiration
C = Version gaz corrosifs
HiPace
P = Procédé
M = Paliers magnétiques actifs
T = Gestion de la température
E = Haut rendement
H = Haute compression
I = Implantation ionique
4.1.2
Caractéristiques de la pompe
Caractéristiques
Bride pour vide élevé
Matériaux de bride
HiPace 700 M
DN 160 ISO-K
Aluminium
DN 160 ISO-F
Aluminium
DN 160 CF-F
Acier inoxydable
Pour identifier correctement le produit lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque
signalétique.
D-35614 Asslar
Mod.:
HiPace 300
DN 100 ISO-K, 3P
M.-No.: PM P03 900
Ser. -No.:
--Oil:
S(N2): 260 l/s
60000 1/min, 1000 Hz
n,f:
Weight: 6.7 kg
Made in Germany
Fig. 1:
4.1.3
Exemple de plaque signalétique
Contenu de la livraison
● HiPace 700 M avec TM 700 et 48 V CC
● Vanne de remise à l'air PM Z01 291
● Obturateurs pour les brides de vide élevé et de vide primaire
● Manuel de l’utilisateur
10
Description du produit
4.2
Fonction
La pompe turbomoléculaire HiPace 700 M forme une unité avec le contrôleur électronique d'entraînement et des paliers magnétiques TM 700 (« Commande électronique
d'entraînement » dans ce qui suit). Pour assurer l'alimentation électrique, il ne faut utiliser que des blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum (par ex. TPS, OPS ou DCU).
4
24
5
15.5
23
3
Fig. 2:
3
3e
4
4.2.1
510
3e
81
HiPace 700 M avec TM 700
Partie inférieure de la
5
pompe
15.5
Raccordement à la terre
Corps de pompe
23
Pièce intermédiaire
Raccord d'eau de refroidissement
Commande électronique d'entraînement TM 700
24
81
510
Vanne de remise à l'air
Raccord de purge de gaz
neutre
Bride de vide primaire
Refroidissement
● Refroidissement à eau
● Refroidissement à convection
● Refroidissement par air (optionnel)
En cas de surchauffe, la commande électronique d’entraînement réduit automatiquement la puissance absorbée. Suivant les applications et le type de HiPace, différentes
variantes de refroidissement sont disponibles.
4.2.2
Paliers de rotor
Pompe turbomoléculaire avec paliers magnétiques actifs
● Côté vide élevé : Paliers électromagnétiques radiaux
● Côté vide primaire : Paliers électromagnétiques radiaux et axiaux
En principe, les paliers magnétiques actifs fonctionnent sans frottement et garantissant
une application sous vide sans lubrifiant. Des paliers de secours type secs sont installés
pour éviter des contacts entre le rotor et le stator.
4.2.3
Entraînement
Commande électronique d’entraînement TM 700
11
Description du produit
4.3
Domaine d'application
Les pompes HiPace 700 M doivent être installées et utilisées dans les conditions environnementales suivantes :
Lieu de mise en place
Type de protection admissible
Classification des protections
Température
à l'abri des intempéries (en intérieur)
IP 54
III
de +5 °C à +30 °C avec refroidissement de convection
sans débit de gaz
de +5 °C à +35 °C avec refroidissement à air
de +5 °C à +40 °C avec refroidissement par eau
Humidité relative
80% max. avec T  31 °C, à 50 % max. avec T  40 °C
Pression atmosphérique
750 hPa - 1060 hPa
Altitude de fonctionnement :
5000 m maxi.
Degré de pollution
2
Champ magnétique environnant admissible 5 mT
Catégorie de surtension
II
Tension de raccordement de la TM 700
48 V CC
Remarques relatives aux conditions ambiantes
Les températures ambiantes autorisées indiquées sont applicables au fonctionnement
de la pompe turbomoléculaire à la pression de vide primaire maximale autorisée ou au
débit de gaz maximal autorisé, en fonction du type de refroidissement. La pompe turbomoléculaire dispose d’une sécurité intrinsèque de sa température.
● Si la pression de vide primaire ou le débit de gaz est réduit, la pompe turbomoléculaire peut également être utilisée à des températures ambiantes superieures.
● En cas de dépassement de la température de fonctionnement maximale autorisée de
la pompe turbomoléculaire, la commande électronique d’entraînement réduit d’abord
la puissance et se met ensuite hors circuit si nécessaire.
12
Installation
5
Installation
AVERTISSEMENT
Danger de mort par arrachement de la pompe turbomoléculaire en cas de défaillance
Le blocage inopiné du rotor peut d'après la norme ISO 27892 produire couples destructeurs en cas de rupture allant jusqu'à 6500 Nm. Ces couples peuvent entraîner en cas
de fixation non conforme l'arrachement de la pompe turbomoléculaire. L'énergie libérée
peut projeter la pompe ou des fragments de ses parties internes dans le local. Il existe
un danger d'accidents corporels graves voire mortels et de dégâts matériels importants.
 Respecter scrupuleusement les instructions d'installation fournies dans le présent
manuel de l'utilisateur.
 Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour l'installation.
Installation et utilisation des accessoires
Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires
adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des accessoires raccordés sont
décrites en détails dans leur manuel de l’utilisateur respectif.
 Informations sur les numéros de référence des accessoires : voir le chapitre « Accessoires ».
 Utiliser uniquement des accessoires d’origine.
5.1
Travaux préparatoires
Pour mettre la pompe en place, il faut impérativement réunir les conditions suivantes :
● les conditions ambiantes indiquées pour le domaine d’application
● En cas d'utilisation du chauffage du carter et du refroidissement à l'eau, la température au niveau de la bride de raccordement de l'enceinte à vide ne doit pas dépasser
120 °C.
● Il est interdite installer les dispositifs dans des installations qui soumettent la pompe
à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques.
 Assurez-vous que le dispositif destiné à refroidir la pompe turbomoléculaire est suffisant.
 En présence de champs magnétiques > 5 mT, il faut prévoir un blindage antiparasite
approprié. Vérifiez le lieu de mise en place et contacter le cas échéant Pfeiffer Vacuum !
 La température maximale admissible du rotor équipant la pompe turbomoléculaire est
de 120 °C. Si le procédé engendre des températures élevées, la puissance thermique
irradiée ne doit pas dépasser 2.4 W. Installez le cas échéant des tôles de blindage appropriées (Sur demande, fourniture de spécification de conception).
5.2
Mise en place
AVIS
Risque de secousses externes
Les secousses externes de la pompe peuvent provoquer une surcharge des paliers magnétiques et par conséquent, une sollicitation des paliers de secours.
 Éviter les mouvements latéraux et de bascule de la pompe.
 Compenser les excitations extérieures par une conception appropriée de l’installation
(ex. en cas d’utilisation de vanne d’isolement).
 Sécurisez l'enceinte à vide côté client contre tout déplacement ou basculement.
● Lors du montage toutes les pièces soumises à un vide élevé, veillez à maintenir un
niveau de propreté élevé. Les composants sales augmentent le temps de pompage.
13
Installation
● Au moment de leur installation, tous les composants de bridage doivent être secs, dépourvus de graisse et de poussière.
5.2.1
Protection antisismique
Lors de tremblements de terre, les paliers de secours peuvent être sollicités. Toutes les
forces produites à cette occasion sont absorbées de manière fiable par les assemblages
à bride installés.
 Sécurisez l'enceinte de vide côté client contre tout déplacement ou basculement.
VACUUM CHAMBER
Fig. 3:
5.2.2
Exemple : sécurité contre le déplacement et le basculement dus à des chocs externes
= raccordement de sécurité à réaliser dans chaque cas côté client.
Utilisation d’un pare-éclats ou une grille de protection
Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou grille de protection dans
la bride de vide élevé protègent les pompes turbomoléculaires contre les corps étrangers
provenant des enceintes. Cette protection réduit le débit de la pompe.
Réduction de la capacité d'aspiration, en %
5.2.3
H2
He
N2
Ar
Pare-éclats DN 160
5
7
21
23
Grille de protection DN 160
1
2
6
7
Amortisseur de vibrations
AVERTISSEMENT
Risque dû à l'arrachement de la pompe turbomoléculaire avec amortisseur
En cas de blocage soudain du rotor, l'amortisseur utilisé ne peut absorber aucune des
forces résultantes. Il existe un risque d'arrachement de la pompe pouvant entraîner des
blessures graves et des dommages matériels considérables. Prenez des mesures de
sécurité appropriées pour compenser les couples pouvant apparaître.
 Veuillez impérativement consulter Pfeiffer Vacuum.
 Il est interdit de dépasser la température maximum admissible (100 °C) au niveau de
l'amortisseur.
14
Installation
5.3
Positions de montage
Avec l’utilisation de pompes primaires sèches les pompes HiPace de Pfeiffer Vacuum
sont conçues pour le montage dans toutes les positions.
 Étayez ou suspendez les canalisations en amont de la pompe à vide. Les canalisations de pompage ne doivent transmettre aucune contrainte sur la pompe lorsqu’elle
est ancrée.
 Si utilisez des pompes primaires à huile, la bride de vide primaire de la pompe turbomoléculaire doit toujours être orientée vers le bas à la verticale (± 25°), pour éviter la
pollution via la conduite de vide primaire.
VV
Fig. 4:
25° max
VV
Orientation du raccord de vide primaire recommandée pour l'installation
La charge axiale maximale supportable par la bride de vide élevé s'élève à 500 N (soit
50 kg). A ce titre, l'application d'une charge d'un seul côté de la bride de vide élevée n'est
pas admise.
15
Installation
5.4
Installation de la bride de vide élevé
En cas de blocage subit du rotor, il faut que l'installation et la bride de vide élevée absorbent les couples engendrés. Pour fixer les pompes turbomoléculaires à la bride de vide
élevé, utiliser exclusivement les accessoires proposés ci-après. Les éléments d'installation des pompes turbomoléculaires sont des exécutions spéciales de Pfeiffer Vacuum.
La résistance à la traction du matériau de la bride doit être d'au moins 170 N/mm2 dans
tous les états de fonctionnement.
 Sécurisez l'enceinte de vide côté client contre tout déplacement ou basculement.
DANGER
Danger de mort - Fixation non autorisée
Lors de la fixation des pompes sur une enceinte dotée de brides différentes de celles
de la pompe, celles-ci peuvent se plier ou rompre lors du blocage brutal du rotor.
 Utiliser exclusivement l'ensemble de fixation Pfeiffer Vacuum valide.
 Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité pour l'ensemble des dommages découlant d’une fixation non autorisée.
AVIS
Respecter les tolérances de forme sur la contre-bride
Des défauts de planéité sur la contre-bride de l’équipement client peuvent déformer le
corps de pompe, ceci malgré une fixation conforme. En conséquence, l’étanchéité et les
caractéristiques de la pompe seront dégradées.
 Ne pas dépasser des écarts de planéité de 0,05 mm max. sur toute la surface.
Fixation de brides ISO
Lors de la fixation des brides de vide élevé version ISO-KF ou ISO-K, en cas de blocage
subit du rotor une rotation risque de se produire, même si l'installation a été correctement réalisée.
● Dans ce cas, l'étanchéité de la bride de vide élevé n'est pas compromise.
5.4.1
Installation d’une bride ISO-K avec une bride ISO-K
Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés :
● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum
● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats
 Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées.
 Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation.
 Utiliser les 14 boulons agrafes à tête bombée.
 Serrez en croix, les boulons agrafes chacun en 3 étapes.
 Couple de serrage : 5, 15, 25 ±2 Nm
16
Installation
Installation d'une bride ISO-K avec une bride ISO-F
Les assemblages possibles pour l'installation ISO-K avec bride ISO-F sont : « Boulon six
pans et trou taraudé », « Goujon fileté et trou taraudé » et « Goujon fileté et perçage
traversant ».
Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés :
● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum
● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats
Boulon à six pans avec trou fileté
1.5xd
 Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées.
 Guider la bride à chapeau sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire.
 Engager la bague de retenue dans la rainure sur la bride de vide élevé.
 Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau et l'anneau de centrage sur
la contre-bride comme illustré.
 Utilisez les 8 vis à six pans à rondelle.
 Visser le boulon à six pans de 1,5 x d dans le trou fileté.
– La résistance à le matériel de bridage doit être d’au moins de 270 N/mm2 dans
toutes les conditions de fonctionnement.
 Serrez en croix, les boulons à six pans chacun en 3 étapes.
 Couple de serrage DN 160: 5, 10, 16 ± 1 Nm
Goujon fileté et trou fileté
 Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées.
2.5xd
5.4.2
 Utilisez les 8 goujons filetés et écrous.
 Visser les goujons filetés avec l'extrémité à visser la plus courte 2,5 x d dans les trous
sur la contre-bride.
 Guider la bride à chapeau sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire.
 Engager la bague de retenue dans la rainure sur la bride de vide élevé.
 Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau et l'anneau de centrage sur
la contre-bride comme illustré.
 Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes.
 Couple de serrage DN 160: 5, 10, 16 ± 1 Nm
Goujon fileté et perçage traversant
 Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées.
 Guider la bride à chapeau sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire.
 Engager la bague de retenue dans la rainure sur la bride de vide élevé.
 Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau et l'anneau de centrage sur
la contre-bride comme illustré.
 Utilisez les 8 goujons filetés et écrous.
 Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes.
 Couple de serrage DN 160: 5, 10, 16 ± 1 Nm
17
Installation
5.4.3
Installation d’une bride ISO-F avec une bride ISO-F
Plusieurs montages sont possibles pour l’installation avec bride ISO-F : « boulon six
pans et trou fileté », « goujon fileté et trou fileté » et « goujon fileté et perçage traversant
».
Pour installer uniquement les composants suivants sont autorisés :
● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum
● matériel de fixation disponible en option avec grille de protection ou pare-éclats
Boulon à six pans avec trou fileté
1.5xd
 Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées.
 Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation.
 Utilisez les 8 vis à six pans à rondelle.
 Visser le boulon à six pans de 1,5 x d dans le trou fileté.
– La résistance à le matériel de bridage doit être d’au moins de 270 N/mm2 dans
toutes les conditions de fonctionnement.
 Serrez en croix, les boulons à six pans chacun en 3 étapes.
 Couple de serrage DN 160: 10, 20, 38 ± 3 Nm
Goujon fileté et trou fileté
2.5xd
 Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées.
 Utilisez les 8 goujons filetés et écrous.
 Visser les goujons filetés avec l'extrémité à visser la plus courte 2,5 x d dans les trous
sur la contre-bride.
 Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation.
 Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes.
 Couple de serrage DN 160: 10, 20, 38 ± 3 Nm
Goujon fileté et perçage traversant
 Veillez à ce que les surfaces d'étanchéité ne soient pas endommagées.
 Montez les brides selon schéma et avec les composants du kit de fixation.
 Utilisez les 8 goujons filetés et écrous.
 Serrez en croix, les écrous chacun en 3 étapes.
 Couple de serrage DN 160: 10, 20, 38 ± 3 Nm
18
Installation
5.4.4
Installation de brides CF
AVIS
Montage des brides CF
Risque de perte d'étanchéité en cas de propreté insuffisante du joint et de la bride CF.
 Sécher le joint et le monter sans huile.
 Ne toucher les pièces qu'avec des gants.
 Ne pas endommager les surfaces et les arêtes.
Plusieurs montages sont possibles pour l’installation avec bride CF : « boulon à six pans
et perçage traversant », « goujon fileté et trou fileté » et « goujon fileté et perçage traversant ».
● le kit de fixation valide issu de l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum
● Un joint cuivre
● Une grille de protection ou un pare-éclats en option.
Boulon six pans et perçage traversant
 En cas d’utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection : insérer l’accessoire
dans la bride à vide élevé de la pompe turbomoléculaire, talons de serrage orientés
vers le bas.
 Posez le joint exactement dans la gorge prévue à cet effet.
 Relier les brides par les 20 vis six pans (M8) avec les rondelles et écrous.
 Serrer les assemblages boulonnés selon un ordre de serrage circonférentiel.
 Couple de serrage : 38 ± 3 Nm
 Enfin, contrôler le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en cas de
fluage du matériau d'étanchéité.
Goujon fileté et trou fileté
 Visser les goujons filetés (20 pièces, M8) avec l'extrémité à visser la plus courte dans
les trous sur la contre-bride.
 En cas d’utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection : insérer l’accessoire
dans la bride à vide élevé de la pompe turbomoléculaire, talons de serrage orientés
vers le bas.
 Posez le joint exactement dans la gorge prévue à cet effet.
 Relier les brides avec les rondelles et écrous.
 Serrer les assemblages boulonnés selon un ordre de serrage circonférentiel.
 Couple de serrage : 38 ± 3 Nm
 Enfin, contrôler le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en cas de
fluage du matériau d'étanchéité.
Goujon fileté et perçage traversant
 En cas d’utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection : insérer l’accessoire
dans la bride à vide élevé de la pompe turbomoléculaire, talons de serrage orientés
vers le bas.
 Posez le joint exactement dans la gorge prévue à cet effet.
 Relier les brides par les 20 vis six pans (M8) avec les rondelles et écrous.
 Serrer les assemblages boulonnés selon un ordre de serrage circonférentiel.
 Couple de serrage : 38 ± 3 Nm
 Enfin, contrôler le couple car un resserrage des vis pourrait être nécessaire en cas de
fluage du matériau d'étanchéité.
19
Installation
5.5
Raccorderdement du côté vide primaire
Recommandation : utiliser comme pompe primaire une pompe à vide appropriée de
l’offre de Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Risques sanitaires causés par des gaz toxiques
Les gaz de procédé peuvent être dangereux pour la santé et/ou pour l'environnement.
 Vous devez canaliser l'échappement de gaz de la pompe primaire de façon fiable !
 Respectez toutes les recommandations de sécurité publiées par le fabricant du gaz.
510
510.1
510.2
510.3
510a
Fig. 5:
Raccordement de la pompe primaire
510 Raccord de vide primaire
510a Pompe à vide primaire
510.1 Anneau de centrage
510.2 Anneau de serrage
510.3 Composants de vide
AVIS
Conception du raccordement du vide primaire en cas de torsion soudaine de la
pompe
Lors de la fixation de brides de vide élevé version ISO-KF ou ISO-K, une torsion risque
de se produire - même si l'installation a été correctement réalisée - en cas de blocage
subit du rotor.
 Réduire au minimum les masses installées directement au niveau de la pompe.
 Le cas échéant, raccorder directement les éléments de conduite flexibles au niveau
de la pompe turbomoléculaire.
 En cas de jonctions rigides entre les canalisations : Installez un soufflet dans la ligne
de pompage pour amortir les vibrations.
 Raccordez la conduite de vide primaire avec les composants de la petite bride ou
avec les raccords de flexibles. Ne réduisez pas la section libre offerte par la bride de
vide primaire !
 Le raccordement électrique de la pompe primaire est réalise via une boîte à relais.
 Pour le raccordement et l'exploitation de la pompe à vide primaire, voir le manuel de
l’utilisateur de cette dernière.
20
Installation
Commande de la pompe à vide primaire
Il est possible de commander la pompe primaire par l'intermédiaire de la commande
électronique d'entraînement de la pompe turbomoléculaire avec le boîtier de relais ou
le câble de raccordement dans l’offre accessoires.
 Voir à ce sujet le manuel de l’utilisateur de l'accessoire correspondant.
5.6
Raccordements à la pompe turbomoléculaire
5.6.1
Commande électronique d’entraînement
Les pompes turbomoléculaire avec commande électronique d'entraînement sont
conçues pour différents domaines d'application. Pour cela, divers panneaux de raccordement peuvent être sélectionnés.
● TM 700 en variante standard
● TM 700 PB pour raccordement à Profibus
● TM 700 E74 similaire à Semi E74
● TM 700 DN pour raccordement à DeviceNet
Des consignes détaillées concernant la fonction, la configuration et le fonctionnement
avec le panneau de raccordement sont disponibles dans le manuel de l’utilisateur spécifique de la commande électronique d'entraînement concernée.
5.6.2
Mise à la terre
Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d'un câble de mise à la terre approprié
pour évacuer les effets parasites de l'application.
M4
Fig. 6:
5.6.3
Établissement du raccordement à la terre
Alimentation et distribution électrique
Pour l'alimentation en tension de la commande électronique d’entraînement TM 700,
seuls les blocs d'alimentation Pfeiffer Vacuum peuvent être utilisés (par ex. TPS 400 ou
DCU 400). Des câbles de liaison sont disponibles dans l’offre accessoires de Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution
En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension.
 Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour
pouvoir défaire le branchement à tout moment.
 Veillez à ce que la tension d'alimentation de la pompe turbomoléculaire soit valide !
21
Installation
TPS / DCU
Commande
électronique
S1
DC out
Fig. 7:
PM 061 352 -T
DC in
Raccordement TM 700 au bloc d’alimentation avec câble de liaison de Pfeiffer Vacuum
 Éteignez l'interrupteur S1 au niveau du bloc d'alimentation (position « 0 »).
 Raccorder le câble à l'aide de la prise dans le raccord « DC in » sur la commande
électronique d’entraînement et fermez le verrouillage par baïonnette.
 Raccordez le câble à l'aide de la prise dans le raccord « DC out » et fermez le verrouillage par baïonnette.
5.7
Raccordement accessoires
Il est possible de raccorder jusqu'à 4 accessoires au niveau de la commande électronique d'entraînement TM 700. Des prises M12 portant la désignation « accessory » sont
disponibles à cet effet. Les raccords pour accessoires sont préconfigurés en usine. Si
les accessoires ci-dessous sont raccordés à l'aide du raccord préconfiguré, ceux-ci sont
immédiatement prêts à fonctionner conformément aux réglages usine. Le raccordement
d'autres accessoires est possible et requiert des réglages au niveau de la commande
électronique d'entraînement.
11
Y-Connector
for Accessories
22
 Pour raccorder deux appareils à un raccord pour accessoires, utilisez le répartiteur en
Y (connecteur en Y) dans l’offre des accessoires Pfeiffer Vacuum.
 Raccorder de l'adaptateur au raccord coloré rouge au niveau de la TM 700.
 Des réglages sont possibles via les interfaces de la TM 700.
Raccord périphérique Raccordement avec connecteur en Y Accessoire préréglé
accessory A
accessory A
accessory B
accessory B
Tab. 1:
22
Acc. A sur Y-1
Acc. A sur Y-2
Acc. B sur Y-1
Acc. B sur Y-2
Refroidissement par air
Pompe primaire
Vanne de remise à l'air
Chauffage
Vue d'ensemble des accessoires préréglés en usine sur la TM 700
Installation
5.7.1
Vanne de remise à l'air
La vanne de remise à l'air de Pfeiffer Vacuum sert à remettre automatiquement la pompe
à l'air après une mise hors tension ou une coupure secteur.
La pression d'entrée max. autorisée est de 1500 hPa absolus.
24
Fig. 8:
Raccordement de la vanne de remise à l'air
24Vanne de remise à l’air (montée et raccordée en usine)
 Raccordez de l'accessoire dans le raccord correspondant au niveau de la commande
électronique d’entraînement et vissez-le.
 La valeur prédéfinie pour la vanne de remise à l'air est « accessory B1 ».
 Le cas échéant, raccordez l'alimentation en gaz de ventilation (p. ex. gaz inerte) côté
admission (G 1/8") de la vanne magnétique.
5.7.2
Refroidissement par air
Les pompes turbomoléculaires peuvent être utilisées avec commande électronique d'entraînement TM 700 jusqu'à une température ambiante de +35 °C, lorsqu’elles sont équipées de l’option refroidissement par air.
3d
3b
3
3a
3c
Fig. 9:
3
3a
Raccordement du refroidissement par air
Partie inférieure de la pompe
Refroidissement par air
3b
3c
Vis à tête BTR
Vis à tête fraisée
3d
Adaptateur fileté
 Utilisez le perçage prévu pour visser l'adaptateur fileté sur la partie inférieure de la
pompe.
 Fixez le refroidissement par air Pfeiffer Vacuum au niveau des perçages prévus sur la
pompe turbomoléculaire et de l'adaptateur fileté à l'aide de deux vis.
 Raccordez de l'accessoire dans le raccord correspondant au niveau de la commande
électronique d’entraînement et vissez-le.
 La valeur prédéfinie pour le refroidissement par air est « accessory A1 ».
23
Installation
5.7.3
Raccordement de la purge de gaz neutre
Pour protéger la pompe turbomoléculaire par exemple en présence de procédés comprenant de la poussière ou du débit de gaz élevé, il faut la faire marcher avec une purge
de gaz neutre. L'alimentation s'effectue via une vanne de la purge de gaz neutre ou au
choix avec un étranglement de la purge de gaz neutre sans commande. La commande
de la vanne pour le raccord de la purge de neutre n'est pas préconfigurée dans la commande électronique d'entraînement et doit être paramétrée via les interfaces de cette
dernière.
La pression d'entrée max. autorisée est de 1500 hPa absolus.
● En cas d'utilisation de la pompe avec plus de 50 % du débit de gaz admissible, il faudra utiliser une purge de gaz neutre pour garantir le refroidissement du rotor.
● Le débit de purge de gaz neutre s'élève à 12-15 sccm pour la HiPace 700 M.
Alimentation en purge de gaz neutre avec vanne de commande
24g
24g
81
81a
Fig. 10: Raccordement de la vanne de purge de gaz neutre
24g Joint annulaire
81
Vis de fermeture
81a Vanne de purge de gaz neutre
 Dévissez la vis, avec son joint annulaire, hors du raccord de purge de gaz neutre.
 Dans le raccord de purge de gaz neutre, vissez la vanne de purge de gaz neutre avec
le joint annulaire.
 Raccorder le câble de l'accessoire dans un raccord disponible au niveau de la TM 700
et vissez-le.
 Effectuez des réglages et le pilotage par les interfaces de la commande électronique
d’entraînement.
 Installez la purge de gaz neutre (ex. gaz inerte) via un adaptateur de raccordement
ou côté admission (G 1/8") de la vanne de commande.
Alimentation en purge de gaz neutre sans vanne de commande
 Dévissez la vis, avec son joint annulaire, hors du raccord de purge de gaz neutre.
 Dans le raccord de purge de gaz neutre, vissez l’étranglement de purge de gaz neutre
avec le joint annulaire.
5.7.4
Chemise chauffante
Pour atteindre plus rapidement la pression limite, il est possible de chauffer la pompe turbomoléculaire et l’enceinte à vide. L'utilisation d'une chemise chauffante n'est possible
que sur les pompes équipées avec une bride de vide élevé en acier inoxydable. La durée
du chauffage dépend du niveau d'encrassement ainsi que de la pression limite à atteindre, et ne devra jamais être inférieure à 4 heures.
24
Installation
AVIS
Températures excessives dangereuses
Des températures élevées, résultant de l’application, peuvent entraîner des températures excessives qui risquent d'endommager la pompe turbomoléculaire.
 En cas d'utilisation d'un chauffage du carter ou de fonctionnement avec enceintes à
vide chauffées, il est impératif d'utiliser le refroidissement à l'eau.
 Ne pas apporter d'énergie supplémentaire dans la pompe.
ATTENTION
Risque de brûlures
Le dégazage de la pompe turbomoléculaire ou l’enceinte à vide engendre des températures élevées. Vous risquez de vous brûler au contact de pièces très chaudes, y compris après avoir éteint le chauffage du carter !
 Lors de l'installation, toujours isoler, la chemise chauffante, le carter de pompe et
l’enceinte à vide.
 Lors du dégazage, ne touchez pas la chemise chauffante, le carter de pompe et l’enceinte.
● En cas d'utilisation du chauffage du carter et du refroidissement à l'eau, la température au niveau de la bride de raccordement de l'enceinte à vide ne doit pas dépasser
120 °C.
● La température maximale admissible du rotor équipant la pompe turbomoléculaire est
de 120 °C. Si le procédé engendre des températures élevées, la puissance thermique
irradiée ne doit pas dépasser 2.4 W. Installez le cas échéant des tôles de blindage appropriées (Sur demande, fourniture de spécification de conception).
4d
2x
H
4
4b
23.1
4a
4c
Fig. 11: Raccorder la chemise chauffante
4
4a
4b
Corps de pompe
Chemise chauffante
Vis de fixation
4c
4d
Boîte à relais de chauffage
Autocollant d'avertissement
23.1 Connecteur en Y M12
pour accessoires
 Dépliez avec précaution la chemise chauffante sur la bande de tension extérieure et
glissez-la latéralement sur la partie cylindrique du corps de pompe.
– Ne tordez pas les bandes chauffantes !
– La chemise chauffante doit reposer complètement sur le corps de pompe.
 Fixez la chemise chauffante sur le corps de pompe à l'aide de la vis de fixation.
– Respectez le couple de serrage pour la vis de fixation !
Vis de fixation
Couple de serrage à froid Couple de serrage pendant le chauffage
Resserrez une fois après
refroidissement
M5
M6
6 Nm
11 Nm
7 Nm
12 Nm
Tab. 2:
7 Nm
12 Nm
Couples de serrage pour vis de fixation de chemises chauffantes
 Raccordez le câble de l'accessoire dans le raccord de la commande électronique
d’entraînement correspondant et vissez-le.
25
Installation
– En cas de branchement double (par ex. par une vanne de remise à l'air), utilisez un
répartiteur en Y issu de l’offre accessoires.
 La valeur prédéfinie pour la chemise chauffante est « accessory B2 ».
 Assurez l'alimentation électrique de la boîte à relais conformément au manuel de l’utilisateur de l'accessoire.
– Veuillez assurer une tension d'alimentation valide de la pompe primaire !
26
Installation
5.7.5
Refroidissement à eau
Les pompes turbomoléculaires HiPace 700 M avec TM 700 sont refroidies à l'eau en
standard.
● En présence d'une pression primaire élevée (> 0,1 hPa) et/ou d’une utilisation avec
débit de gaz important, il faudra utiliser au choix le refroidissement à l'air ou à l'eau.
● Si la température ambiante est supérieure à +35 °C, utilisez un refroidissement par
eau.
Exigences de l'eau de refroidissement
Raccord d'eau de refroidissement
Tuyaux d’alimentation d’eau
Raccord fileté orientable avec système de fiches
Diamètre extérieur de 8 mm
Diamètre intérieur de 6 mm
Paramètres
Eau de refroidissement
Aspect
filtrée, mécaniquement transparente, optiquement
transparente, sans trouble, sans sédiment, sans
graisses ni huiles
7à9
10 °dH
12,53 °e
17,8 °fH
178 ppm CaC03
100 mg/l
240 mg/l
non détectable
non détectable
500 µS/cm
150 µm
voir « Caractéristiques techniques »
voir « Caractéristiques techniques »
6000 hPa
pH
Dureté carbonatée maxi.
Teneur en chlorures maxi.
Teneur en sulfates maxi.
Teneur en dioxyde de carbone maxi.
Teneur en ammoniac maxi.
Conductivité électrique maxi.
Taille de particules maxi.
Température de l'eau de refroidissement
Consommation d'eau de refroidissement
Surpression de départ maxi.
Raccordement à un système d'eau de refroidissement
15.5c
15.5a
15.5b
15.5
Fig. 12: Raccordement de l'eau de refroidissement
15.5 Raccord de l’eau refroidissement
15.5a Arrivée d’eau
15.5b Sortie d’eau
15.5c Collecteur d'impuretés
 Raccordez les tuyaux souples pour l'entrée et la sortie d'eau de refroidissement en la
butée respectivement dans raccord d'eau de refroidissement.
 Recommandation : installez un filtre à impuretés dans la ligne d’arrivée d’eau.
 Couple de serrage du raccord fileté orientable : 3 - 3.5 Nm.
27
Utilisation
6
Utilisation
AVIS
Peu d'entretien
Les paliers de scours empêchent le contact entre le rotor et le stator en cas de surcharge des paliers magnétiques, les exposant ainsi à l'usure. Pour augmenter la durée
de vie des paliers de secours :
 ne jamais provoquer de chocs sur une pompe en fonctionnement, ni des vibrations
ou des changements de position, en particulier des mouvements de bascule.
 Évitez lors du fonctionnement les éventuelles variations de pression du côté du vide
élevé ou du vide primaire.
 Tenez compte de la vitesse maximale de montée en pression.
 Ventilez la pompe uniquement par la vanne de remise à l'air fournie.
 N'arrêter pas la pompe en coupant l'alimentation secteur.
6.1
Mise en service
En usine, les préréglages importants suivants ont été programmés fixes dans la commande électronique d’entraînement.
● Paramètre [P:027] Mode gaz : 0 = gaz lourds
● Paramètre [P:030] mode de remise à l'air : 2 = remise à l'air directe
● Paramètre [P:700] Valeur de consigne temps d'accélération : 8 min
● Paramètre [P:701] Point de commutation de la vitesse de rotation : 80 % de la vitesse
nominale
● Paramètre [P:707] Valeur prédéfinie mode réglage de la vitesse : 65 % % de la vitesse nominale
● Paramètre [P:708] Valeur prédéfinie puissance absorbée : 100 %
● Paramètre [P:721] Temps de remise à l’air : 3600 s
 En cas de refroidissement par eau : ouvrez l'arrivée de l'eau de refroidissement et
contrôlez le débit.
 Pour l'alimentation en la purge de gaz neutre: ouvrez l'arrivée de la purge de gaz
neutre et contrôlez le débit.
 Établissez l'alimentation électrique pour le bloc d'alimentation.
AVIS
Risque de destruction de la pompe par un apport d'énergie trop élevé
La sollicitation simultanée par une puissance d'entraînement élevée (débit de gaz, pression de vide primaire), un rayonnement thermique élevé ou des champs magnétiques
importants entraînera un échauffement incontrôlé du rotor voire la destruction de la
pompe.
 En présence d'une conjugaison de ces sollicitations, appliquer des valeurs limites réduites.
 Le cas échéant, consulter Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Risque de détruire la pompe
En cas de mauvais mode Gaz sélectionné, le pompage des gaz avec masses moléculaires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe.
 Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé.
 Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80),
contactez Pfeiffer Vacuum.
28
Utilisation
6.1.1
Calibrage des paliers magnétiques
L'analyse sensorielle des paliers magnétiques déclenche, dans de rares cas, un recalibrage lors de l'activation de la commande électronique d'entraînement. L'apparition de
quelques bruits de claquement métalliques réguliers n'est pas liée à l'usure des paliers
de scours.
29
Utilisation
6.2
Modes d’exploitation
Les modes d'exploitation suivants sont possibles :
● Utilisation avec la connexion « remote »
● Exploitation via une interface RS-485 et des appareils d'affichage et de commande
Pfeiffer Vacuum ou un PC
● Exploitation via bus de terrain
6.3
Description fonctionelle
AVERTISSEMENT
Danger engendré par une bride de vide élevé ouverte
Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. Si la bride de vide élevée est ouverte, vous courez le risque de vous couper ; la chute d'objet entraîne un
risque de destruction de la pompe.
 Ne mettez jamais la pompe en service avec la bride de vide élevé ouverte.
6.3.1
Utilisation avec la connexion « remote »
Une commande à distance est possible via le raccord Sub-D 26 pôles portant la désignation « remote » sur la commande électronique d'entraînement. Les fonctions individuelles utilisables sont représentées par le « niveau API ».
 Tenez compte des documents suivants pour l'exploitation avec télécommande :
● manuel de l’utilisateur « commande électronique d'entraînement TM 700 »
6.3.2
Utilisation avec DCU ou HPU
 En cas d'exploitation avec un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum,
tenez compte des documents suivants :
● Manuel de l’utilisateur « DCU »
● Manuel de l’utilisateur « HPU »
● Manuel de l’utilisateur « commande électronique d'entraînement TM 700 »
 Enclenchez l'alimentation électrique par l'interrupteur S1 situé sur le bloc d'alimentation ou sur la DCU 400.
 Réglages sont possibles par l’interface RS-485 avec DCU, HPU ou PC.
Lorsque la tension de service est appliquée, la TM 700 exécute un contrôle automatique
pour vérifier la tension d'alimentation. Après que la TM 700 a exécuté un contrôle automatique avec succès, la pompe turbomoléculaire et la pompe primaire - si présente - entrent en service.
6.3.3
Exploitation avec bus de terrain
Le raccordement et l'exploitation des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum dans
un système de bus de terrain mis à disposition par le client est possible pour les commandes électroniques d'entraînement avec panneau de bus de terrain correspondant.
 Tenez compte des documents suivants pour l'exploitation avec bus de terrain :
● Manuel de l’utilisateur pour la commande électronique d'entraînement avec panneau de raccordement correspondant
30
Utilisation
6.4
Surveillance de l’état de fonctionnement
6.4.1
Surveillance de la température
Une réduction de la puissance d'entraînement a lieu si la température du moteur ou du
carter est excessive. Cela peut provoquer le franchissement par défaut du point de commutation de la vitesse de rotation et de ce fait, la coupure de la pompe turbomoléculaire.
6.4.2
Affichage du mode d’utilisation par les diodes
Les diodes sur la platine frontale de la commande électronique d’entraînement indiquent
des états de service de base de la pompe turbomoléculaire. Seules la DCU et la HPU
permettent un affichage différencié entre les erreurs et les avertissements.
DEL
Symbole État de la DEL
Verte
éteinte
allumée, clignotante
allumée, clignotante inverse
allumée, fixe
Jaune
Rouge
Indication
Signification
allumée, clignotante
éteinte
allumée, fixe
Hors tension
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse
de rotation ≤ 60 min-1
« Groupe de pompage MARCHE », vitesse
de rotation de consigne non atteinte
« Groupe de pompage MARCHE », vitesse
de rotation de consigne atteinte
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse
de rotation > 60 min-1
Aucun avertissement
Avertissement
éteinte
allumée, fixe
Aucun défaut
Défaut
Fig. 13: Comportement et signification des DEL sur la commande électronique d'entraînement
6.4.3
Sollicitation des paliers de secours
L'intensité de la sollicitation des paliers de secours agit en fonction de la gravité des frottements parasites sur le rotor en marche. La sollicitation des paliers de secours se résume en % de la sollicitation maximale possible grâce à la commande électronique d'entraînement et peut être observée par l'interface RS-485 grâce à un PC ou un appareil
d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum.
6.4.4
État d'équilibre
L'analyse sensorielle des paliers magnétiques contrôle en permanence l'état d'équilibre
actuel du rotor. L'état d'équilibre calculé en % du balourd maximal possible du rotor est
résumé par la commande électronique d'entraînement et peut être observé par l'interface RS-485 grâce à un PC ou un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum.
6.5
Arrêt et remise à l’air
6.5.1
Arrêt
Après la mise hors circuit, il faut remettre la pompe à l'air pour éviter qu'elle ne soit salie
par des particules refluant en provenance de la zone de vide primaire.
 Fermez le vide primaire : arrêtez la pompe primaire ou refermez la vanne de vide primaire.
 Arrêtez la pompe turbomoléculaire via l'appareil de commande ou par télécommande.
 Mise à l'air (possibilités voir chapitre suivant).
 En cas de refroidissement par eau : Fermez l'arrivée d'eau.
31
Utilisation
6.5.2
Frein électrique
La pompe turbomoléculaire est équipée d'un frein électrique. Il permet un freinage rapide
du rotor jusqu'à son arrêt complet.
 Réglages sont possibles par l’interface RS-485 avec DCU, HPU ou PC.
6.5.3
Exploitation avec alimentaion de secours
AVIS
Usure importante et dégâts dus à une mauvaise utilisation
Les paliers magnétiques actifs nécessitent une alimentation électrique constante. En
cas de coupure de courant, le moteur se transforme en générateur et alimente la commande électronique d'entraînement. En dessous d'une vitesse de rotation d'environ
6000 1 /min, l'énergie cinétique du rotor ne suffit plus pour alimenter les paliers magnétiques. La commande électronique d'entraînement s'arrête complètement. Le ralentissement progressif du rotor est perceptible au niveau des paliers de secours.
 N'arrêtez pas la pompe en coupant l'alimentation secteur.
● La DEL verte de la commande électronique d'entraînement indique l'état de fonctionnement actuel.
● La DEL jaune de la commande électronique d'entraînement s'allume (avertissement
de « sous-tension »).
6.5.4
Remise à l’air
Remise à l'air cadencée
La commande électronique d'entraînement contrôle le débit de remise à l'air par les cadences de la vanne de remise à l'air. Ainsi, la pompe est toujours remise à l'air rapidement et en toute sécurité sans surcharge des paliers magnétiques.
Remise à l'air avec vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum
AVIS
Risque d'usure ou de détérioration de la pompe
Une remise à l'air incontrôlée peut engendrer une surcharge du palier magnétique et par
conséquent, une sollicitation des paliers de secours.
 Ventilez la pompe uniquement par la vanne de remise à l'air fournie.
 Ne remplacez pas la vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum par d'autres dispositifs
d'alimentation en air.
 Il est recommandé de ventiler via la vanne de remise à l’air Pfeiffer Vacuum jusqu’à
une vitesse de rotation de 6000 1/min avant d’utiliser des dispositifs de remise à l'air
complémentaire.
 Contrôlez le débit de remise à l'air maximal autorisé.
 Via le raccord de remise à l'air, remettez la pompe turbomoléculaire à l'air avec de l'air
sec exempt d’huile ou un gaz inerte.
 Autorisez la remise à l'air avec la vanne de remise à l'air via les fonctions de la commande électronique d'entraînement.
 Réglages sont possibles par l’interface RS-485 avec DCU, HPU ou PC.
Vitesse de remise à l'air Coupure du groupe de pompage Coupure secteur1)
50 % de la vitesse nominale La vanne de remise à l'air s'ouvre
La vanne de remise à l'air s'ouvre
pendant 3600 s (1 h, réglage-usine) pendant 3600 s (1 h, réglage-usine)
1)
Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
32
Utilisation
Consignes fondamentales pour la remise à l’air rapide
Remise à l’air d'enceinte en deux étapes. Pour connaître les détails afférents aux solutions personnalisées, consultez Pfeiffer Vacuum.
 Remise à l'air avec une vitesse de montée en pression de max. 15 hPa/s pendant
20 secondes.
– La vanne permet un débit de remise à l'air de 15 hPa/s, la choisir en fonction du
volume de l'enceinte à vider.
– En présence d’enceintes de petit volume, utilisez la vanne de remise à l'air Pfeiffer
Vacuum.
 Ensuite, remettez à l'air avec une vanne de remise supplémentaire d'une taille quelconque.
33
Entretien / Remplacement
7
Entretien / Remplacement
AVERTISSEMENT
Contamination des pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés
Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé.
 Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses.
 Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance.
AVIS
Exclusion de responsabilité
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité des dégâts, perturbations de service, dommages corporels et dégâts matériels imputables à une maintenance réalisée de façon
inexperte. Les recours en responsabilité et en garantie deviennent irrecevables.
7.1
Intervalles de maintenance et compétences
● Nettoyez les surfaces extérieures de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon non
pelucheux, additionné d'un peu d'alcool industriel.
● Remplacez vous-même la commande électronique d'entraînement.
● Concernant tous les autres travaux d'entretien et de réparation, veuillez vous adresser à votre service après-vente Pfeiffer Vacuum compétent.
7.2
Remplacer la commande électronique d’entraînement
AVIS
Détériorations au niveau de la pompe et de l'entraînement
Même après extinction de l'alimentation secteur, la pompe qui continue de tourner à
vide fournit de l'énergie électrique. Il existe un risque de court-circuit à la masse en cas
de séparation prématurée de la pompe et de la commande électronique d'entraînement.
 Ne débranchez jamais la commande électronique d'entraînement de la pompe tandis
qu'elle se trouve reliée au secteur ou que le rotor tourne.
Paramètres d'exploitation de la commande électronique d’entrainement
Les pièces de rechange livrées fonctionnent avec le paramétrage d'exploitation réglé en
usine.
 L’utilisation d’un HPU permet de stocker puis réutiliser un paramètrage existant.
 Réglez à nouveau les paramètres d'application modifiés.
 Pour cela, respectez le manuel de l’utilisateur « Commande électronique d’entrainement ».
23
52
34
Entretien / Remplacement
Fig. 14: Montage / Démontage de la TM 700
23
Commande électronique d’entraînement
52
Vis à six pans creux
 N'appliquez aucune contrainte mécanique á la commande électronique d'entraînement.
 Arrêter la pompe à vide, ramenez-la à la pression atmosphérique et laisser la refroidir.
 Ne débranchez la pompe de la commande électronique qu'après l'arrêt complet de la
pompe et avoir coupé la tension d'alimentation.
 Le cas échéant, déconnectez la pompe à vide de l'installation.
 Dévissez de la commande électronique d'entraînement la ligne de commande de la
vanne de remise à l'air.
 Dévissez les vis à six pans creux (3x) de la commande électronique d'entraînement.
 Extrayez la commande électrique d’entrainement de la pompe.
 Ne touchez pas les composants électrostatiques sensibles.
 Vissez une nouvelle commande électronique d'entraînement contre la pompe turbomoléculaire puis raccordez-la.
– Couple de serrage: 2.5 Nm.
7.2.1
Calibrage des paliers magnétiques
L'analyse sensorielle des paliers magnétiques déclenche, dans de rares cas, un recalibrage lors de l'activation de la commande électronique d'entraînement. L'apparition de
quelques bruits de claquement métalliques réguliers n'est pas liée à l'usure des paliers
de scours.
7.2.2
Valeurs prédéfinies de vitesse
La vitesse nominale caractéristique d'une pompe turbomoléculaire est réglée en usine
dans la commande électronique d'entraînement. Après un remplacement de la commande électronique d'entraînement, ou un changement pour un autre type de pompe, il
faut valider la valeur de consigne prédéfinie de la vitesse nominale. Cette procédure fait
partie intégrante du système de sécurité redondant permettant d’éviter les survitesses.
HiPace
Confirmation vitesse nominale [P:777]
300
400 / 700 / 800
1000 Hz
820 Hz
 Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe.
 Alternative : Si aucun appareil d'affichage et de commande n'est disponible, utiliser
le « Speed Configurator » compris dans la livraison de pièces de rechange.
35
Mise hors service
8
Mise hors service
8.1
Immobilisation prolongée
AVERTISSEMENT
Contamination des pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés
Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé.
 Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses.
 Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance.
Si la pompe turbomoléculaire doit être immobilisée pour une durée supérieure à 1 an :
 Le cas échéant, déconnectez la pompe à vide de l'installation.
 Obturez la bride de vide élevé équipant la pompe turbomoléculaire.
 Faites le vide dans la pompe turbomoléculaire par le biais de la bride de vide primaire.
 Via le raccord de remise à l'air, remettez la pompe turbomoléculaire à l'air avec de l'air
sec exempt d’huile ou un gaz inerte.
 Obturez les orifices des brides avec les obturateurs d'origine.
 Obturez les autres orifices avec les obturateurs correspondants.
 Posez la pompe verticale sur ses pieds en caoutchouc.
 Stockez la pompe uniquement dans des locaux fermés, à une température comprise
entre -25 et +55 °C.
 Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive: enfermez la pompe dans un sac
en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de produit de
dessiccation.
8.2
Remise en service
 Vérifiez si la pompe turbomoléculaire présente des salissures et si elle est humide.
 Nettoyez les surfaces extérieures de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon non
pelucheux, additionné d'un peu d'alcool industriel.
 Le cas échéant, confiez le nettoyage complet de la pompe turbomoléculaire au SAV
Pfeiffer Vacuum.
 Installer et mettre en service conformément au manuel de l’utilisateur.
8.3
Mise au rebut
Les produits et leurs composants internes (composants mécaniques ou électriques,
fluides d’exploitation, etc...) peuvent polluer l’environnement.
 Veuillez prendre les précautions nécessaires, en conformité avec la réglementation
locale, pour éliminer les risques sanitaires et éviter toute pollution de l’environnement.
36
Dysfonctionnements
9
Dysfonctionnements
Si des dysfonctionnements se produisent au niveau de la pompe, vous trouverez dans
le tableau suivant des causes possibles et des instructions pour y remédier.
9.1
Dépannage
Problème
Causes possibles
Dépannage
La pompe ne démarre pas, aucune
des LED de la TM 700 ne s'allume
● Alimentation électrique interrompue
 Vérifiez les contacts à fiches au niveau du bloc d'alimentation
 Vérifiez les fils d'arrivée du bloc d'alimentation
 Contrôlez la tension de sortie (48 V CC) au niveau du
raccord « DC out » du bloc d'alimentation
 Contrôlez les contacts à fiches au niveau de la TM
700
 Appliquez une tension de service correcte
 Tenez compte de la plaque signalétique
 Appliquez la tension de service
 Remplacez la TM 700
 Contactez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
 Connectez les broches 1-3, 1-4 ou 1-14 au raccord
distant
 Enfichez la contre-fiche comprise dans la livraison au
niveau du raccord distant.
 Retirez le pont au niveau du raccord distant
 Retirez la contre-fiche du raccord distant.
● Tension de service incorrecte
● Aucune tension de service appliquée
● TM 700 défectueuse
La pompe ne démarre pas ; la LED
verte sur la TM 700 clignote
● En cas d'exploitation sans unité de commande: Broches 1-3, 1-4 ou 1-14 non
connectées au raccord distant
● En cas de fonctionnement via une interface RS-485: Le pont au niveau de la
broche 1-14 empêche les ordres de réglage
● En cas de fonctionnement via une inter-  Mettez des paramètres [P: 010] et [P: 023] sur l’inface RS-485: paramètre de la commande
terface RS-485 à "ON".
électronique d’entraînement n’est pas ac-  Voir pour cela le manuel de l’utilisateur de la comtivé
mande électronique d’entraînement correspondant.
● Chute de tension dans le câble trop éle-  Utilisez un câble approprié
vée
 Vérifiez le fonctionnement et l'adéquation de la
La pompe n'atteint pas la vitesse no- ● Pression de vide primaire trop élevée
pompe primaire
minale dans le temps de démarrage
● Fuite
 Recherchez la fuite
imparti
 Vérifiez les joints et les fixations des brides
 Éliminez les défauts d'étanchéité
● Débit de gaz trop élevé
 Réduisez l'arrivée des gaz procédés
● Résistance mécanique du rotor,
 Vérifiez si les paliers de secours font du bruit
Paliers de secours défectueux
 Vérifiez la sollicitation du paliers de secours via le raccord « RS 485 »1)
 Contactez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
● Temps de démarrage réglé trop court
 Réglez un temps de démarrage plus long via le raccord « RS 485 »1)
 Réduisez la charge thermique
● Surcharge thermique:
– Garantissez une arrivée d'air suffisante
– aération insuffisante
– Garantissez l'arrivée d'eau de refroidissement
– débit d'eau trop faible
– Réduisez la pression de vide primaire
– pression de vide primaire trop élevée
– Adaptez les conditions ambiantes
– température ambiante trop élevée
La pompe n'atteint pas sa pression li- ● La pompe est encrassée
 Dégazer la pompe
 Nettoyage en cas de fort encrassement
mite
– Contactez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum
● L’enceinte à vider, les conduites ou la
 Recherchez la fuite en partant de l’enceinte
pompe ne sont pas étanches
 Éliminez les défauts d'étanchéité
La diode rouge de la commande TM ● Défaut groupé
 Effectuez un Reset en coupant puis rallumant le secteur.
700 est allumée
 Reset via la broche 13 dans le raccord « remote »
 Affichage différencié des défauts possible via le raccord « RS 485 »1)
 Contactez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
1)
Si vous ne disposez d’aucun appareil de commande Pfeiffer Vacuum, contactez le SAV Pfeiffer Vacuum.
37
Service après-vente
10 Service après-vente
Pfeiffer Vacuum vous propose un service après-vente haut de gamme !
● Maintenance / Réparation dans un ServiceCenter ou ServicePoint proche de chez
vous
● Remplacement rapide par des produits d'échange standard pratiquement neufs
● Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide
Informations détaillées, adresses et formulaires à l'adresse suivante : www.pfeiffer-vacuum.com (Service).
Maintenance et réparation dans le centre de service Pfeiffer Vacuum
Les étapes suivantes sont nécessaires pour garantir un service rapide et de qualité:
 Téléchargez les formulaires « Demande de service » et « Declaration de Contamination».1)
 Remplissez le formulaire « Demande de service » et renvoyez-le par fax ou mail à
l'adresse de votre centre de service Pfeiffer Vacuum service compétent.
 A cet envoi, joignez la confirmation de prise en charge transmise par Pfeiffer Vacuum.
 Remplissez la déclaration de contamination et joignez-la obligatoirement à l'envoi.
 Démontez tous les accessoires.
 Laissez la commande électronique d'entraînement contre la pompe.
 Obturez les orifices des brides avec les obturateurs d'origine.
 Envoyez la pompe ou l'appareil dans son emballage d'origine si possible.
Envoi de pompes ou appareils contaminés
Les appareils contaminés (avec des substances microbiologiques, explosives ou radioactives) sont systématiquement refusés. Les « substances toxiques » sont les substances et composés chimiques cités dans la réglementation concernant les substances
dangereuses. Sur les pompes contaminées et en l'absence de déclaration sur la contamination, Pfeiffer Vacuum réalise une décontamination aux frais du client.
 Neutralisez la pompe en réalisant un balayage avec de l'azote ou de l'air sec.
 Obturez toutes les ouvertures pour les rendre étanches à l'air.
 Conditionnez la pompe ou l'appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée.
 Renvoyez la pompe / l'appareil uniquement dans un conteneur de transport approprié
et robuste, en respectant les conditions de transport applicables.
Appareils de rechange
Les appareils de rechange livrés se trouvent toujours sur le paramétrage d'exploitation
standard réglé en usine. Si votre application fonctionne sur un paramétrage modifié,
vous devrez régler à nouveau ces appareils sur ce paramétrage.
Commandes de service après-vente
Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos
conditions de réparation applicables aux appareils et composants sous vide.
1)
38
Formulaires à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.com (en anglais)
Pièces de rechange HiPace 700 M
11 Pièces de rechange HiPace 700 M
Pos.
Désignation
15.5
23
Raccord fileté orientable
Commande électronique d'entraînement TM 700
Vanne de remise à l'air
24
23
Modèle
Numéro de commande
Remarques
Pièces
P 4131 007 E
voir plaque signalétique
PM Z01 291
Refroidissement à eau
2
dépendant du panneau de raccor- 1
dement
joint annulaire inclus
1
Quantité commandée
24
15.5
Pour toute commande d'accessoires ou de pièces détachées, veuillez indiquer en plus
le numéro de modèle situé sur la plaque signalétique.
39
Accessoires
12 Accessoires
Désignation
DN 160 ISO-K
Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-K, avec anneau de centrage PM 016 385 -T
recouvert
Kit de fixation pour HiPace 700, DN 160 ISO-K, avec anneau de centrage PM 016 387 -T
recouvert et grille de protection
Kit de fixation pour HiPace 700 M, DN 160 ISO-K, avec anneau de cen- PM 016 386 -T
trage recouvert et pare-éclats
Kit de vis hexagonales pour brides avec perçage traversant, DN 160 CFF
Kit de goujons filetés pour brides avec trou fileté, DN 160 CF-F
Kit de goujons filetés pour brides avec perçage traversant, DN 160 CF-F
Kit de fixation pour DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert et
boulons à six pans
Kit de fixation pour DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert,
grille de protection et boulons à six pans
Kit de fixation pour DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert,
pare-éclats et boulons à six pans
Kit de fixation pour DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert et
goujons filetés
Kit de fixation pour DN 160 ISO-F, avec anneau de centrage recouvert,
grille de protection et goujons filetés
Anneau de centrage avec revêtement multifonctions, DN 160 ISO-K/-F PM 016 216 -U
Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et grille de protec- PM 016 218 -U
tion intégré, DN 160 ISO-K, DN 160 ISO-F
Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et pare-éclats inté- PM 016 217 -U
gré, DN 160 ISO-K/-F
Amortisseur pour HiPace DN 160 ISO-K/F
PM 006 492 -X
Grille de protection pour DN 160 CF-F
Pare-éclats pour pompes turbo, DN 160 CF-F
Amortisseur pour HiPace DN 160 CF-F
Bloc d'alimentation TPS 400 pour montage mural/sur rails normalisés
PM 061 343 -T
Kit de fixation murale TPS 110/180/310/400
PM 061 392 -T
Bloc d'alimentation TPS 401 tiroir 19" 3U
PM 061 347 -T
Kit de plaque frontale pour TPS 401
PM 061 396 -T
Display Control Unit DCU 400 avec bloc d'alimentation
PM C01 823
Display Control Unit, DCU 002
PM 061 348 -T
HPU 001, Handheld Programming Unit
PM 051 510 -T
Ensemble d'accessoires pour HPU - Bloc d'alimentation, logiciel et câble PM 061 005 -T
PC
Câble de secteur et fiche UL, IEC prise de courant, 208 V CA, 3 m
P 4564 309 ZF
Câble de secteur et fiche UL, IEC prise de courant (droit), 115 V CA,
P 4564 309 ZE
3m
Câble de secteur et fiche à contact de protection,
P 4564 309 ZA
IEC prise de courant (droit), 230 V CA, 3 m
Câble de raccordement pour HiPace avec TC 400/TM 700 pour bloc
PM 061 352 -T
d'alimentation TPS/DCU 310/311/400/401
Câble adaptateur HiPace - ACP
PM 071 142 -X
Câble de commande pour groupes de pompage 0,7 m
PM 061 675 AT
Câble de rallonge pour accessoires M12 sur M12
PM 061 747 -T
Connecteur en Y, blindée, M12 pour accessoires
P 4723 013
Connecteur en Y, M12 pour RS-485
P 4723 010
Prise d'alimentation secteur pour TC 400/TM 700, coudée
P 4723 101
Prise d'alimentation secteur TC 400/TM 700, droite
P 4723 100
Adaptateur de commande à distance pour RS-485
PM 061 649 -X
Raccord de bus pour RS-485
PT 348 105 -T
Connecteur détachable pour RS-485
PT 348 132 -T
Convertisseur USB sur RS-485
PM 061 207 -T
Accouplement M12 pour RS-485
PM 061 270 -X
TIC 001, convertisseur d'interfaces RS-232/RS-485
PM 051 054 -T
Câble d'interface RJ 45 à M12 pour HiPace
PM 051 726 -T
40
DN 160 CF-F
DN 160 ISO-F
PM 016 691 -T
PM 016 693 -T
PM 016 735 -T
PM 016 460 -T
PM 016 462 -T
PM 016 461 -T
PM 016 465 -T
PM 016 467 -T
PM 016 216 -U
PM 016 218 -U
PM 016 217 -U
PM 006 492 -X
PM 016 339
PM 016 318
PM 006 493 -X
PM 061 343 -T
PM 061 392 -T
PM 061 347 -T
PM 061 396 -T
PM C01 823
PM 061 348 -T
PM 051 510 -T
PM 061 005 -T
PM 061 343 -T
PM 061 392 -T
PM 061 347 -T
PM 061 396 -T
PM C01 823
PM 061 348 -T
PM 051 510 -T
PM 061 005 -T
P 4564 309 ZF
P 4564 309 ZE
P 4564 309 ZF
P 4564 309 ZE
P 4564 309 ZA
P 4564 309 ZA
PM 061 352 -T
PM 061 352 -T
PM 071 142 -X
PM 061 675 AT
PM 061 747 -T
P 4723 013
P 4723 010
P 4723 101
P 4723 100
PM 061 649 -X
PT 348 105 -T
PT 348 132 -T
PM 061 207 -T
PM 061 270 -X
PM 051 054 -T
PM 051 726 -T
PM 071 142 -X
PM 061 675 AT
PM 061 747 -T
P 4723 013
P 4723 010
P 4723 101
P 4723 100
PM 061 649 -X
PT 348 105 -T
PT 348 132 -T
PM 061 207 -T
PM 061 270 -X
PM 051 054 -T
PM 051 726 -T
Accessoires
Désignation
DN 160 ISO-K
DN 160 CF-F
DN 160 ISO-F
Câble d'interface, M12 m droite/M12 m droite, 3 m
PM 061 283 -T
Câble d'interface, M12 m droite/ M12 m coudée, 0,7 m
PM 061 791 -T
Boîte à relais pour pompe primaire, 1 phase 20 A pour TC 400 et TCP PM 061 375 -T
350, connecteur M12
Boîte à relais, blindé, pour pompe primaire, 1 phase 7A pour TC 400/
PM 071 284 -X
1200, TM 700 et TCP 350, M12
TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 230 V CA
PM Z01 205
TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 115 V CA
PM Z01 206
Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 400/700/800 avec TC 400
PB/TM 700, 230 V CA, fiche à contact de protection
Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 400/700/800 avec TC400 PB/
TM 700, 208 V CA, fiche UL
Chemise chauffante, blindée, pour HiPace 400/700/800 avec TC 400
PB/TM 700, 115 V, fiche UL
Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccord à TC PM Z01 291
400/1200 et TM 700
Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G1/8“ pour une connexion à PM Z01 292
TC 400, 1200 et TM 700 avec connecteur torsadée 270°
Vanne de remise à l'air en cas de panne de courant, blindée, 24 V CC, G PM Z01 331
1/8", pour raccordement à TC 400, TM 700
TTV 001, cartouche siccative pour la remise à l'air de pompes turbomo- PM Z00 121
léculaire
Bride à vis, DN 10 ISO-KF, G 1/8"
PM 033 737 -T
Bride à vis, DN 16 ISO-KF, G 1/8"
PM 016 780 -T
Raccord instantané à vis pour tuyau 6 mm, G 1/8"
PM 016 781 -T
Raccord instantané à vis pour tuyau 8 mm, G 1/8"
PM 016 782 -T
Embout cannelé pour 9 mm tuyau, G 1/8"
PM 016 783 -T
Raccord d'orientation
PM 016 787 -T
Raccord d'orientation, petit
PM 143 877 -T
Refroidissement par air, blindé, pour HiPace 400/700/800 et 300/700/
PM Z01 363
800 M avec TC 400 PB/TM 700
Vanne de purge de gaz neutre, blindée, pour HiPace 300 avec TC 400 PM Z01 312
et TM 700, TCP 350
Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 300
PM Z01 317
TIC 010, adaptateur pour deux capteurs
PT R70 000
IKT 010, capteur cathode froide numérique
PT R72 100
IKT 011, capteur cathode froide numérique
PT R73 100
RPT 010, Capteur piézo/Pirani
PT R71 100
PM 061 283 -T
PM 061 791 -T
PM 061 375 -T
PM 061 283 -T
PM 061 791 -T
PM 061 375 -T
PM 071 284 -X
PM 071 284 -X
PM Z01 205
PM Z01 206
PM 071 269 -T
PM Z01 205
PM Z01 206
PM 071 270 -T
PM 071 271 -T
PM Z01 291
PM Z01 291
PM Z01 292
PM Z01 292
PM Z01 331
PM Z01 331
PM Z00 121
PM Z00 121
PM 033 737 -T
PM 016 780 -T
PM 016 781 -T
PM 016 782 -T
PM 016 783 -T
PM 016 787 -T
PM 143 877 -T
PM Z01 363
PM 033 737 -T
PM 016 780 -T
PM 016 781 -T
PM 016 782 -T
PM 016 783 -T
PM 016 787 -T
PM 143 877 -T
PM Z01 363
PM Z01 312
PM Z01 312
PM Z01 317
PT R70 000
PT R72 100
PT R73 100
PT R71 100
PM Z01 317
PT R70 000
PT R72 100
PT R73 100
PT R71 100
41
Caractéristiques techniques et dimensions
13 Caractéristiques techniques et dimensions
13.1 Généralités
Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum:
Les valeurs maximales se réfèrent uniquement au cas où l'entrée constitue la sollicitation unique.
● Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5
● ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puissance de pompes à vide - Description générale »
● ISO 5302; 2003 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesurage des
caractéristiques fonctionnelles »
● Pression limite : avec dôme de test et après 48 h d'étuvage
● Débit de gaz : avec refroidissement par eau, température de l'eau de refroidissement
25 °C ; pompe primaire = pompe à palettes rotatives (20 m3/h)
● Consommation d'eau froide : avec débit de gaz max., température de l'eau 25 °C
● Taux de fuite intégral : avec concentration de l'hélium à 100 %, durée de mesure de
10 s
● Niveau de pression acoustique : distance par rapport à la pompe 1 m
Tableau de conversion : Unités de pression
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm Hg
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm Hg
1
1000
0,01
1
10
1,33
1 · 10-3
1
1 · 10-5
1 · 10-3
0,01
1,33 · 10-3
100
1 · 105
1
100
1000
133,32
1
1000
0,01
1
10
1,33
0,1
100
1 · 10-3
0,1
1
0,133
0,75
750
7,5 · 10-3
0,75
7,5
1
1 Pa = 1 N/m2
Tableau de conversion : Unités de débit de gaz
mbar·l/s
Pa·m3/s
sccm
Torr·l/s
atm·cm3/s
42
mbar·l/s
Pa·m3/s
sccm
Torr·l/s
atm·cm3/s
1
10
1,69 · 10-2
1,33
1,01
0,1
1
1,69 · 10-3
0,133
0,101
59,2
592
1
78,9
59,8
0,75
7,5
1,27 · 10-2
1
0,76
0,987
9,87
1,67 · 10-2
1,32
1
Caractéristiques techniques et dimensions
13.2 Caractéristiques techniques
HiPace® 700 M
HiPace® 700 M
HiPace® 700 M
DN 160 ISO-K
DN 25 ISO-KF
660 l/s
480 l/s
600 l/s
685 l/s
> 1 · 1011
2 · 105
> 1 · 107
> 1 · 1011
8 hPa l/s
13 hPa l/s
8 hPa
4 min
< 1 · 10-7 hPa
49200 min-1
20-100 %
 45 dB (A)
5-85, sans
condensation %
Type de protection
IP 54
Pression d'entrée max. pour vanne de remise à l'air/gaz de 1500 hPa
balayage
Tension de service
48 V CC
Tension de service bloc d'alimentation
90-265 V CA
Temps de freinage avec/sans remise à l'air
< 1 - 10 min
Taux de fuite intégral
< 1 · 10-8 Pa m3/s
Puissance absorbée maximale
300 W
Consommation de courant maximale
7,5 A
Température de transport et stockage
-25-+55 °C
Orientation de montage
en toute position
Raccordement de remise à l'air
G 1/8"
Poids
15,7 kg
Type de refroidissement, standard
Eau
Type de refroidissement, en option
Air, convection
Température de l'eau de refroidissement
15-35 °C
Consommation d'eau froide
80 l/h
Puissance thermique irradiée admissible max.
2,4 W
Champ magnétique environnant admissible
5 mT
Interfaces
RS-485, Remote
DN 160 CF-F
DN 25 ISO-KF
660 l/s
480 l/s
600 l/s
685 l/s
> 1 · 1011
2 · 105
> 1 · 107
> 1 · 1011
8 hPa l/s
13 hPa l/s
8 hPa
4 min
< 5 · 10-10 hPa
49200 min-1
20-100 %
 45 dB (A)
5-85, sans
condensation %
IP 54
1500 hPa
DN 160 ISO-F
DN 25 ISO-KF
660 l/s
480 l/s
600 l/s
685 l/s
> 1 · 1011
2 · 105
> 1 · 107
> 1 · 1011
8 hPa l/s
13 hPa l/s
8 hPa
4 min
< 1 · 10-7 hPa
49200 min-1
20-100 %
 45 dB (A)
5-85, sans
condensation %
IP 54
1500 hPa
48 V CC
90-265 V CA
< 1 - 10 min
< 1 · 10-8 Pa m3/s
300 W
7,5 A
-25-+55 °C
en toute position
G 1/8"
20,8 kg
Eau
Air, convection
15-35 °C
80 l/h
2,4 W
5 mT
RS-485, Remote
48 V CC
90-265 V CA
< 1 - 10 min
< 1 · 10-8 Pa m3/s
300 W
7,5 A
-25-+55 °C
en toute position
G 1/8"
16,4 kg
Eau
Air, convection
15-35 °C
80 l/h
2,4 W
5 mT
RS-485, Remote
Paramètres
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Débit pour Ar
Débit pour H2
Débit pour He
Débit pour N2
Taux de compression pour Ar
Taux de compression pour H2
Taux de compression pour He
Taux de compression pour N2
Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar
Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2
Vide primaire max. pour N2
Temps d'accélération
Pression limite selon PNEUROP
Vitesse ± 2 %
Vitesse variable
Niveau de pression acoustique
Humidité relative de l'air
43
Caractéristiques techniques et dimensions
13.3 Dimensions
VV
HV
DN 25 ISO-KF / G1/4"
45°
DN 160 ISO-K
G1/8"
248
261
248
261
179
Ø8 / G1/4" (2x)
131
180
113
202
103
Ø150
36°
Ø208
M8 (6x)
90
°
°
)
45 80°
1
(=
°
5
x4
12.5°
145
4
Fig. 15: HiPace 700 M, DN 160 ISO-K
VV
HV
DN 25 ISO-KF / G1/4"
45°
DN 160 ISO-F
G1/8"
179
113
Ø8 / G1/4" (2x)
131
180
202
103
Ø150
36°
Ø208
M8 (6x)
90
°
°
)
45 80°
1
(=
°
5
x4
12.5°
145
4
Fig. 16: HiPace 700 M, DN 160 ISO-F
VV
HV
DN 25 ISO-KF / G1/4"
DN 160 ISO-K
45°
G1/8"
131
M8 (6x)
90
°
°
)
45 80°
1
(=
°
5
x4
12.5°
4
Fig. 17: HiPace 700 M, DN 160 CF-F
44
145
263
276
194
113
180
Ø8 / G1/4" (2x)
217
118
Ø150
36°
Ø208
Déclaration de conformité
Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes les
dispositions applicables des directives CE suivantes :
● Machines 2006/42/CE (Annexe II, No. 1 A)
● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
● Limitation de l'utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE
Le responsable de la compilation des documents techniques est M. Helmut Bernhardt,
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar.
HiPace 700 M
Normes harmonisées et normes nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100 : 2011
DIN EN 1012-2 : 2011
DIN EN 50581 : 2013
DIN EN 61000-3-2 : 2014
DIN EN 61000-3-3 : 2013
DIN EN 61010-1 : 2010
DIN EN 61326-1 : 2013
DIN EN 62061 : 2013
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Dr. Ulrich von Hülsen)
Directeur
Asslar, 2017-11-10
Notizen / Notes:
Notizen / Notes:
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T +49 6441 802-0
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T +33 (0) 4 50 65 77 77
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
">