Pfeiffer HIPACE 10 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
HIPACE 10
Pompe turbomoléculaire
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe
turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait
fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est
synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de
produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence.
Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une
implémentation efficace et sécurisée de notre produit.
Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution
efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail [email protected].
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sur notre site internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
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d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/56
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Pictogrammes
1.3.2 Autocollants sur le produit
1.3.3 Abréviations
1.3.4 Instructions dans le texte
1.4 Preuve de marque déposée
7
7
7
7
7
7
7
7
8
9
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations incorrectes envisageables
2.7 Qualification personnelle
2.7.1 Garantir la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
10
10
10
13
14
15
15
15
15
16
16
3
Description du produit
3.1 Identification du produit
3.1.1 Types de produit
3.1.2 Fonctionnalités du produit
3.2 Propriétés fonctionnelles
3.2.1 Refroidissement
3.2.2 Paliers du rotor
3.2.3 Entraînement
3.3 Étendue de la livraison
17
17
17
17
17
18
18
18
18
4
Transport et stockage
4.1 Transport
4.2 Stockage
19
19
19
5
Installation
5.1 Travail préparatoire
5.2 Raccordement côté vide élevé
5.2.1 Dimensions exigées d’une contre-bride
5.2.2 Considérer la protection antisismique
5.2.3 Utiliser un écran à mailles
5.2.4 Orientations de montage
5.2.5 Attacher la bride ISO-KF sur la DN 25
5.3 Raccorder le côté vide primaire
5.4 Accessoires de raccordement
5.5 Raccordement de l’alimentation électrique
5.5.1 Mettre à la terre la pompe à vide
5.5.2 Raccordement électrique
20
20
21
21
21
22
22
23
24
25
26
26
26
6
Utilisation
6.1 Mettre en service
6.2 Modes de fonctionnement
6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement
6.2.2 Fonctionnement via la connexion multifonctions « X3 »
28
28
29
29
29
3/56
Table des matières
6.3
6.4
6.5
4/56
6.2.3 Fonctionnement via l'unité d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum
6.2.4 Fonctionnement via un bus de terrain
Mise en marche de la pompe turbo
Surveillance des opérations
6.4.1 Affichage LED du mode de fonctionnement
6.4.2 Surveillance de la température
Mise hors circuit et mise à l'air
6.5.1 Mise hors circuit
6.5.2 Remettre à l’air
29
30
30
30
30
31
31
31
32
7
Maintenance
7.1 Informations générales sur la maintenance
7.2 Intervalles de maintenance et responsabilités
7.3 Remplacer le réservoir de fluide d’exploitation
7.3.1 Remplacer le réservoir de fluide d’exploitation côté palier 1
7.3.2 Remplacer le réservoir de fluide d’exploitation côté palier 2
7.3.3 Serrer les vis du couvercle d’obturation
7.3.4 Réaliser le test de fonctionnement
7.4 Remplacement de l’unité de commande électronique
7.5 Confirmation de la spécification de vitesse
33
33
33
34
34
36
38
39
40
41
8
Mise hors service
8.1 Mise hors service pendant une période prolongée
8.2 Remettre en service
43
43
43
9
Recyclage et mise au rebut
9.1 Informations générales sur la mise au rebut
9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires
44
44
44
10
Dysfonctionnements
45
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
48
12
Pièces de rechange HiPace 10
50
13
Accessoires
51
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
14.2 Fiche technique
14.3 Dimensions
52
52
52
53
Déclaration de conformité
55
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Autocollants sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Conditions ambiantes autorisées
Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum
Caractéristiques de la pompe turbomoléculaire
Dimensions requises d’un raccord de vide élevé spécifique du client
Comportement de la vitesse de pompage en cas d’utilisation d’un écran à
mailles
Valeurs de réglage configurées par défaut à l’expédition
Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbo
Dépanner les pompes turbomoléculaires
Pièces de rechange disponibles
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
HiPace 10
8
9
14
17
17
21
22
29
31
41
47
50
52
52
53
5/56
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
6/56
Position des autocollants sur le produit
Construction HiPace 10
Exemple : Fixation contre le risque de déplacement et de basculement lié à
des vibrations externes
Alignement recommandé du raccord de vide primaire lors de l’utilisation de
pompes primaires à bain d’huile
Raccord à bride pour DN 25 sur DN 25 ISO-KF
Exemple d’un raccordement de vide primaire sur HiPace 10
Exemple de raccordement d'accessoires via adaptateur TCS 12
Exemple : raccorder le câble de terre
Raccordement de l'unité de commande électronique à une unité de courant
Retirer le réservoir de fluide d’exploitation
Assembler le réservoir de fluide d’exploitation
Retirer le réservoir de fluide d’exploitation
Assembler le réservoir de fluide d’exploitation
Séquence d’assemblage des vis du couvercle d’obturation
Contrôle du rotor
Installer et démonter l’unité de commande électronique TC 110
Pièces de rechange HiPace 10
HiPace 10 | TC 110 | DN 25 ISO-K
8
18
22
23
23
24
25
26
27
35
36
37
38
39
39
41
50
54
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
1.1.2
Documents applicables
Document
Numéro
Unité de commande électronique TC 110, standard
PT 0204 BN
Unité de commande électronique TC 110 PB, Profibus
PT 0245 BN
Unité de commande électronique TC 110 RS
PT 0351 BN
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Variantes
● HiPace 10, DN 25, TC 110
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.2
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
7/56
A propos de ce manuel
Plaque signalétique (exemple)
La plaque signalétique est située sous le raccord de vide élevé et à
gauche de l’adaptateur TC.
D-35614 Asslar
Mod. HiPace 10
P/N PM P03 960 A
S/N - - - - - - - PM 083 373 -T
Oil
n, f 90000 1/min, 1500 Hz
Mass 1.8 kg
Made in Germany 2018/06
TÜV Rheinland
C
US
Sceau de garantie
Le produit est scellé en départ d’usine. L’endommagement ou le retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque.
warranty seal
Remarque concernant le manuel de l’utilisateur
Cet autocollant indique que ce manuel de l’utilisateur doit être lu
avant d’exécuter une tâche.
Do not open!
before having read the
operating instructions
Nicht öffnen!
Erst Betriebsanweisung lesen
Prima d’aprire,
leggerele instruzioni d’uso
Pas ouvrir !
il faut lire d’abord
l’instruction de
service
Classe de protection
L’autocollant décrit la classe de protection III pour le produit. Son
emplacement indique la position de la mise à la terre.
Avertissement
Cet autocollant avertit l’utilisateur contre tout risque de blessure lié à
l’ouverture du raccord de vide élevé.
Tab. 1:
Autocollants sur le produit
1
2
3
4
5
6
Fig. 1:
1.3.3
8/56
Position des autocollants sur le produit
1 Bannière avec le logo Pfeiffer Vacuum
4
2 Sceau de garantie
3 Signe d’avertissement « risque de blessure lié à
l’ouverture du raccord de vide élevé »
5
6
Remarque concernant le manuel de l’utilisateur
Plaque signalétique
Informations sur la mise à la terre
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
d
Valeur diamètre (en mm)
DC
Courant continu
DCU
Display Control Unit (unité de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum).
DN
Diamètre nominal comme désignation de grandeur
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz)
HPU
Unité de programmation portative. Auxiliaire de commande et de surveillance des paramètres de la pompe
HV
Bride de vide élevé, côté vide élevé
Bride
ISO : raccord conforme aux normes ISO 1609 et 2861
LED
Diode électroluminescente
PE
Conducteur de protection (terre de protection)
A propos de ce manuel
Abréviation
Signification dans ce document
[P:xxx]
Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous
forme de nombres à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description.
Exemple : [P:312] version logicielle
S1
Interrupteur S1 sur l’unité de courant
T
Température (en °C)
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe
turbomoléculaire)
TCS
Adaptateur d’interface
RS-485
Interface de communication
TPS
Tension d’alimentation (alimentation électrique pompe turbomoléculaire)
VV
Bride de vide primaire, raccord de vide primaire
X3
Connecteur D-Sub 15 broches sur l’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire
Tab. 2:
1.3.4
Abréviations utilisées dans ce document
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.4
Preuve de marque déposée
● Torx® est une marque déposée de ACUMENT INTELLECTUAL PROPERTIES, LLC.
● Profibus® est une marque déposée de Profibus Nutzerorganisation e.V.
9/56
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
Risques lors du transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
10/56
Sécurité
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
11/56
Sécurité
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu
L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de
ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement
des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé.
► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant
d'avoir raccordé la bride de vide élevé.
► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser.
AVERTISSEMENT
Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression
L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un risque de grave blessure lié à l'éjection d'objets.
► Ne jamais dépasser la pression d'entrée autorisée de 1 500 hPa (absolue) sur le côté aspiration
ou la connexion de mise à l'air et de gaz de pressurisation.
► Vérifier que les surpressions liées au processus ne peuvent entrer directement dans la pompe à
vide.
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement
L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un
risque de brûlure.
► Si nécessaire, installer une protection isolante.
► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux.
► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité.
► Porter un équipements de protection, p. ex. gants.
Risques pendant la maintenance et la mise hors service
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien
L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe turbo est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants
sous tension.
► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur.
► Attendre que la pompe turbo soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0).
► Débrancher la prise secteur de l'appareil.
► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif.
12/56
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement lié au contact avec des substances toxiques
Le réservoir du fluide d’exploitation et les pièces de la pompe turbo peuvent contenir des substances
toxiques provenant du liquide pompé.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Prendre les mesures de sécurité appropriées pour prévenir les risques liés aux dangers toxiques
ou à la pollution de l’environnement.
► Respecter les informations de la fiche technique de sécurité du fluide d’exploitation.
► Se débarrasser du réservoir du fluide d’exploitation usagé conformément à la réglementation en
vigueur.
Risques liés aux anomalies de fonctionnement
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie
ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci
dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
2.3
Mesures de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
13/56
Sécurité
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respecter toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôler régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► N’exposer aucune partie du corps au vide.
► Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement
arrêté (vitesse de rotation f =0).
► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert.
► Tenir les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70°C).
► Ne jamais remplir ou faire fonctionner l’appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Consulter la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Emplacement de l’installation
protégé des intempéries
(espace intérieur)
Pression atmosphérique
770 hPa à 1060 hPa
Altitude de l’installation
max. 5000 m
Humidité rel. de l’air
max. 80%, à T <31°C,
jusqu’à max. 50% à
T <40°C
Classe de protection
III
Catégorie de surtension
II
Degré de protection autorisé
IP54
Niveau de contamination
2
Température ambiante
5 °C à 35 °C
Champ magnétique environnant admissible
3 mT
Rayonnement thermique maximum
0,6 W
Température maximum admissible du rotor de la pompe turbomoléculaire
90°C
Température de dégazage maximum admissible sur la bride de vide
élevé
120°C
Tab. 3:
Conditions ambiantes autorisées
Remarques sur les conditions ambiantes
Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la
pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à
la surveillance redondante de la température.
● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la
pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées.
● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse
d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire.
14/56
Sécurité
2.5
Utilisation conforme
► Utilisation de la pompe turbomoléculaire uniquement pour générer du vide.
► Utilisez la pompe turbomoléculaire uniquement en combinaison avec une pompe de secours appropriée pouvant générer la pression de vide préliminaire maximum requise.
► Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement à l'abri, dans un local fermé.
► Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement pour l'évacuation de gaz secs et inertes.
2.6
Utilisations incorrectes envisageables
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme
abusive, en particulier :
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
Raccordement de l'alimentation électrique sans installation correcte
Installation d'un équipement de fixation non spécifique
Pompage de substances explosives
Pompage de substances corrosives
Pompage de vapeurs de condensation
Pompage de liquides
Pompage de poussière
Fonctionnement avec un débit de gaz élevé inadmissible
Fonctionnement avec une pression de vide préliminaire inadmissible
Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé
Fonctionnement avec des champs magnétiques d'intensité élevée et inadmissible
Fonctionnement dans un mode gaz incorrect
Mise à l'air avec un débit de mise à l'air élevé et inadmissible
Utilisation pour la production de pression
Utilisation dans des zones à radiation ionisante
Fonctionnement dans des zones explosives
Utilisation dans des systèmes où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur l'appareil
● Création de conditions de fonctionnement dangereuses en raison d'un réglage par défaut sur
l'unité d’entraînement électronique qui est contraire au processus
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
2.7
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.7.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
15/56
Sécurité
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.7.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.7.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
16/56
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
3.1.1
Types de produit
La désignation de produit des séries de pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum HiPace est composée du nom de famille, de la taille (basée sur la vitesse de pompage de la pompe à vide) et, si nécessaire, de la description d'une caractéristique supplémentaire.
Famille
Taille/modèle
Propriétés, attributs, caractéristiques
HiPace
10 à 2800
aucun/aucune = version standard
mini = version compacte
U = version suspendue
C = version gaz corrosif
P = processus
M = palier magnétique actif
T = gestion de température
Plus = faible vibration, faible champ magnétique
E = haut rendement
H = compression élevée
I = implantation ion
Tab. 4:
3.1.2
Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum
Fonctionnalités du produit
Fonctionnalité
Version
Bride HV
DN 25
Matériau de bride
Aluminium
DN 40
Réservoir du fluide d’exploitation
Référence pompe ≤ index « B » :
Fluide d’exploitation TL 011
Référence pompe ≥ index « C » :
Fluide d’exploitation TL 022
Tab. 5:
3.2
Caractéristiques de la pompe turbomoléculaire
Propriétés fonctionnelles
La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l’unité de commande électronique TC 110.
Les unités de courant électrique Pfeiffer Vaccum servent d’alimentation en tension.
17/56
Description du produit
8
9
1
7
Fig. 2:
1
2
3
4
5
3.2.1
2
3
4
6
5
Construction HiPace 10
Unité de commande électronique TC 110
Couvercles d’obturation (côtés palier)
Corps de pompe
Trous de fixation
Couvercle protecteur (raccord de vide élevé)
6
7
8
9
Adaptateur de raccord de vide primaire
Couvercle protecteur (raccord de vide primaire)
Borne de connexion de masse
Connexion multifonctions « X3 »
Refroidissement
● Refroidissement par convection
L’unité de commande électronique régule automatiquement l’arrêt de la commande en cas de température excessive.
3.2.2
Paliers du rotor
Pompe turbomoléculaire montée sur roulement à billes
● Un roulement à billes est ajusté à chaque extrémité d’arbre dans la zone de vide primaire respectivement.
La lubrification permanente et la performance des roulements à billes sont assurées par deux réservoir
du fluide d’exploitation.
3.2.3
Entraînement
Différents tableaux de raccordement sont disponibles pour l’unité de commande électronique intégrée,
en fonction de l’application respective :
● TC 110 de type standard
● TC 110 PB pour Profibus
● TC 110 RS avec interface RS-485
3.3
Étendue de la livraison
●
●
●
●
18/56
Pompe turbomoléculaire avec unité de commande électronique
Couvercle protecteur du raccord de vide élevé
Couvercle protecteur du raccord de vide primaire
Manuel de l’utilisateur
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
Recommandation
Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Consignes pour un transport sécurisé
► Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans les limites admissibles de température.
► Observez le poids spécifié sur la plaque signalétique.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours la pompe turbomoléculaire dans
son emballage d'origine.
► Portez toujours la pompe turbomoléculaire avec les deux mains.
► Retirez le cache de protection seulement juste avant l'installation.
4.2
Stockage
Recommandation
Pfeiffer Vacuum recommande de stocker le produit dans son conditionnement de transport
d’origine.
Stockage de la pompe turbomoléculaire
1. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origine.
2. Fermez toutes les autres connexions (raccord de mise à l'air, etc.) avec les pièces d'origine correspondantes.
3. Rangez la pompe turbomoléculaire uniquement dans un local dans les limites admissibles de
température.
4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Scellez la pompe turbomoléculaire
avec un agent dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
19/56
Installation
5 Installation
L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe
turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact
avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la
pompe turbomoléculaire.
Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de
la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et l'éclatement (rupture
de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire.
5.1
Travail préparatoire
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
Remarques générales pour l’installation des composants de vide
► L’emplacement de l’installation doit être choisi de façon à permettre à tout moment d'accéder au
produit et aux conduites d'alimentation.
► Observez les conditions ambiantes indiquées pour les limites d’utilisation.
► L'assemblage doit être effectué en veillant à une propreté maximale.
► Pendant l’installation, les composants de brides doivent être parfaitement dégraissés, dépoussiérés et secs.
Sélection de l'emplacement de l’installation
1. Observer les instructions de transport jusqu'à l'emplacement de l’installation.
2. Vérifier que les options de refroidissement sont suffisantes pour la pompe turbo.
3. Installer des blindages appropriés si les champs magnétiques environnants excèdent les niveaux
admissibles.
4. Installer le blindage approprié de façon à ce que le rayonnement thermique ne dépasse pas les
valeurs admissibles lorsque des températures élevées sont générées en raison du procédé.
5. Respecter les températures admissibles pour le raccord de vide.
20/56
Installation
5.2
Raccordement côté vide élevé
5.2.1
Dimensions exigées d’une contre-bride
AVIS
Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride
Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de fortes
contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de provoquer une fuite ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement.
► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées.
► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface.
La responsabilité de l’assemblage des pièces verticales de la superstructure sur le raccord
de vide élevé incombe à la société d’exploitation. La capacité de charge de la bride de vide
élevé est spécifique à la pompe turbomoléculaire utilisée. Le poids total des pièces de la
superstructure ne doit pas excéder les valeurs maximum spécifiées.
En cas de blocage soudain du rotor, les couples générés par le système et la bride de vide élevé doivent être absorbés. Les éléments d’installation pour pompe turbomoléculaire ont été spécialement conçus par Pfeiffer Vacuum.
Couple
maximum
généré en
cas d’éclatement1)
Charge axiale
maximum autorisée sur la bride de
vide élevé2)
Planéité
Résistance minimum à la traction
du matériau de bride dans toutes les
conditions de service
Profondeur
d’engagement des
vis de fixation
Champ magnétique environnant
maximum admissible
Rayonnement thermique
maximum
admissible
80 Nm
200 N
(équivalent à 20 kg)
± 0,05 mm
170 N/mm2
2,5 x d
3,0 mT
0,6 W
270 N/mm2
1,5 x d
Tab. 6:
5.2.2
Dimensions requises d’un raccord de vide élevé spécifique du client
Considérer la protection antisismique
AVIS
Endommagement de la pompe à vide lié à des vibrations externes
En cas de tremblement de terre ou d’autres vibrations externes, le rotor risque d’entrer en contact
avec les paliers de sécurité. La paroi du corps peut aussi toucher la pompe turbo. Les charges mécaniques ainsi générées peuvent endommager voire détruire la pompe turbo.
► Il faut s'assurer que tous les raccords de bride et de sûreté absorbent les forces résultantes.
► La chambre de vide doit être fixée en toute sécurité pour prévenir tout risque de déplacement ou
de basculement.
1)
Le couple théorique calculé en cas d’éclatement (rupture de l’arbre du rotor) conformément à la norme
ISO 27892 n’a pas été atteint pendant les tests expérimentaux.
2)
Une charge qui s’exerce sur un seul côté n’est pas autorisée.
21/56
Installation
VACUUM CHAMBER
Fig. 3:
Exemple : Fixation contre le risque de déplacement et de basculement lié à des vibrations externes
Raccordement de sûreté, côté client
5.2.3
Utiliser un écran à mailles
Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec un écran à mailles dans la bride de vide élevé protègent la pompe turbomoléculaire contre les matières étrangères des enceintes. La vitesse de pompage
de la pompe turbomoléculaire est réduite en fonction des valeurs de référence de passage et de la
grandeur de la bride de vide élevé.
Taille de bride
Écran à mailles DN 25
Tab. 7:
Réduction de la vitesse de pompage en % pour le type de gaz
H2
He
N2
Ar
3
8
27
47
Comportement de la vitesse de pompage en cas d’utilisation d’un écran à mailles
► Utilisez les anneaux de centrage à écran à mailles intégré pour les brides ISO.
5.2.4
Orientations de montage
Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum de la série HiPace sont adaptées à une utilisation avec
les pompes à vide primaire de type compression à vide pour un montage dans toutes les positions.
► Lors de l’utilisation de pompes à vide primaire à bain d’huile, évitez le retour de la plage de vide
primaire.
22/56
Installation
HV
VV
VV
25 ° max
HV
VV
VV
Fig. 4:
Alignement recommandé du raccord de vide primaire lors de l’utilisation de pompes
primaires à bain d’huile
Détermination de l’orientation horizontale de montage de la pompe turbomoléculaire avec des
pompes primaires à bain d’huile
1. Alignez toujours le raccord de vide primaire verticalement et vers le bas.
– Déviation admissible ±25°
2. Les raccordements des tubes devant la pompe turbomoléculaire doivent être fixés sur des supports.
3. Les forces générées par le système de tuyauterie ne doivent pas s’exercer sur la pompe turbomoléculaire.
4. Ne chargez pas la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire sur un côté.
5.2.5
Attacher la bride ISO-KF sur la DN 25
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion
peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride.
Outils nécessaires
● Clé à écrou, 10 mm
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 5:
Raccord à bride pour DN 25 sur DN 25 ISO-KF
23/56
Installation
Établir le raccord de vide élevé
1. Utilisez seulement le kit de montage approuvé de Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Assurez-vous que les surfaces d’étanchéité sont propres et non endommagées.
3. Raccordez la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
– L’anneau de centrage avec écran de maille est optionnel.
4. Serrez les 4 vis en croix en trois étapes.
– Couple de serrage : 5 Nm ± 10 % maximum
5.3
Raccorder le côté vide primaire
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
Pompe primaire appropriée
Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement en combinaison avec une pompe primaire
appropriée générant le niveau de vide primaire requis. Utiliser pour générer le niveau de
vide primaire, une pompe à vide ou une station de pompage appropriée de la gamme Pfeiffer Vacuum.
Dans ce cas, la pompe primaire est commandée directement via les interfaces de l'unité
d’entraînement électronique de la pompe turbomoléculaire (p. ex. coffret de relais ou câble
de connexion).
1
2
6
5
Fig. 6:
4
3
Exemple d’un raccordement de vide primaire sur HiPace 10
1 Pompe turbomoléculaire
2 Pompe à vide primaire (MVP)
3 Bride de vide primaire de la pompe turbomoléculaire
4
5
6
Anneau de centrage
Circlip
TC 110
Procédure
1. Installez un raccord de vide primaire avec des composants à petite bride, p. ex. éléments de raccordement et composants de tube DN 16 ISO-KF de la gamme de composants Pfeiffer Vacuum.
2. Choisissez une coupe transversale minimum de conduite de vide primaire égale au diamètre nominal de la bride de vide primaire.
24/56
Installation
3. Avec des raccords tubulaires rigides, vous devez inclure des soufflets pour atténuer les vibrations
externes.
4. Appliquez des mesures contre le reflux des fluides d’exploitation ou des condensats de la zone de
vide primaire.
5. Observez les informations du mode d’emploi de la pompe à vide primaire ou du groupe de pompage lors du raccordement et du fonctionnement.
5.4
Accessoires de raccordement
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomoléculaires hybrides approuvés se trouvent en ligne.
Connexion des accessoires à TC 110
● L'utilisation d'accessoires Pfeiffer Vacuum via l'unité d'entraînement électronique TC
110 n'est possible qu'avec un câble de raccordement et/ou un adaptateur correspondant sur la connexion multifonctions X3.
● Configurer la sortie d'accessoire requise par RS-485, à l'aide des équipements d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d'un ordinateur.
1
3
4
DO1
7
Fig. 7:
1
2
3
4
5
DO2
B1 ACC A1
X3
2
6
Exemple de raccordement d'accessoires via adaptateur TCS 12
Connexion multifonctions X3
Adaptateur TCS
Connexion des accessoires B1
Connexion RS-485
5
6
7
Sortie numérique DO2
Sortie numérique DO1
Connexion des accessoires A1
Connexion d'accessoires configurés par défaut
► Respectez les instructions d'installation du manuel de l'utilisateur concernant l'accessoire correspondant.
► Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes.
► Raccordez uniquement les accessoires adaptés à l’unité d’entraînement électronique.
Utilisation d'accessoires supplémentaires
► Respectez les instructions d'installation du manuel de l'utilisateur concernant l'accessoire correspondant.
► Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes.
► Utilisez le module d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum DCU 002 ou un DCU avec pack
d’alimentation électrique intégré.
25/56
Installation
5.5
Raccordement de l’alimentation électrique
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
5.5.1
Mettre à la terre la pompe à vide
Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger
les interférences applicatives.
M4
Fig. 8:
Exemple : raccorder le câble de terre
1. Utilisez la connexion de masse de la pompe turbomoléculaire (filetage femelle M4).
2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur.
5.5.2
Raccordement électrique
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
26/56
Installation
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu
L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de
ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement
des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé.
► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant
d'avoir raccordé la bride de vide élevé.
► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser.
RS-485
(optional)
Accessory
(optional)
S1
DC out
TPS / D C U
Fig. 9:
TC
Raccordement de l'unité de commande électronique à une unité de courant
Les unités de courant d'origine (p. ex. TPS 110 ou DCU 110) et le câble de raccordement sont disponibles pour la tension d'alimentation de l'unité de commande électronique TC 110.
Type de câble de raccordement
Fonction
Câble de raccordement avec interface
RS-485 et pontages à partir de la TC 110
ou TC 120 vers l'unité de courant
● Alimentation électrique via unité d'approvisionnement
● Démarrage automatique via pontages sur les broches 2, 5, 7
● Connexion à l'unité de commande et d'affichage via
RS-485
Câble de raccordement avec interface
RS-485 et connexions des accessoires à
partir de la TC 110 ou TC 120 vers l'unité
de courant
● Alimentation électrique via unité d'approvisionnement
● Connexion des accessoires avec prise M8
● Connexion à l'unité de commande et d'affichage via
RS-485
Pontages de raccordement à partir de la
TC 110 ou TC 120 vers l'unité de courant
● Alimentation électrique via unité d'approvisionnement
● Démarrage automatique via pontages sur les broches 2, 5, 7
Câble de raccordement avec pontages et
connexions des accessoires à partir de la
TC 110 ou TC 120 vers l'unité de courant
● Alimentation électrique via unité d'approvisionnement
● Démarrage automatique via pontages sur les broches 2, 5, 7
● Connexion des accessoires avec prise M8
Raccordement de l’unité de commande électronique
1. Vérifiez que la tension d'alimentation est correcte.
2. Vérifiez que l’interrupteur secteur "S1" de l'unité de courant est coupé avant de procéder au raccordement.
3. Branchez le câble de raccordement à 15 broches dans la connexion X3 sur l'unité de commande
électronique et sécurisez-la.
4. Branchez la prise de raccordement à baïonnette dans la connexion DC out sur l'unité de courant
et verrouillez-la.
5. Utilisation d'une unité de commande et d'affichage : raccordez le connecteur RS-485 d'un câble de raccordement approprié à l'unité de commande et d'affichage.
27/56
Utilisation
6 Utilisation
6.1
Mettre en service
Les réglages et variables fonctionnelles essentielles sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par paramètres sont assurés par les unités de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum, ou en externe via RS-485 utilisant le
protocole Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu
L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de
ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement
des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé.
► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant
d'avoir raccordé la bride de vide élevé.
► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
AVIS
Destruction de la pompe à vide liée à une entrée excessive d'énergie pendant le fonctionnement
La charge simultanée par l'intermédiaire d'une puissance d’entrée élevée (débit de gaz, pression du
vide préliminaire), rayonnement calorifique élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un
échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide.
► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des
valeurs limites inférieures s'appliquent.
AVIS
Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées
Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo.
► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique.
► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (>
80).
28/56
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage ou valeur
[P:027]
GasMode
Mode du gaz
0 = gaz lourds
[P:700]
RUTimeSVal
Définir la valeur du temps d’accélération
8 min.
[P:701]
SpdSwPt1
Point de commutation 1 vitesse de rotation
80 %
[P:707]
SpdSVal
Spécification de fonctionnement en mode de contrôle de vitesse
65 %
[P:708]
PwrSVal
Valeur de consigne de la consommation électrique
100 %
Utilisation
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage ou valeur
[P:720]
VentSpd
Mise à l’air à la vitesse de rotation, mise à l’air retardée
50 %
[P:721]
VentTime
Temps de remise à l’air, ventilation temporisée
3600 sec.
Tab. 8:
Valeurs de réglage configurées par défaut à l’expédition
Mettre en route la pompe turbomoléculaire
► Branchez l’alimentation en courant sur l'unité de courant.
6.2
Modes de fonctionnement
Il existe plusieurs modes de fonctionnement pour la pompe turbomoléculaire.
● Fonctionnement sans unité de commande
● Fonctionnement via la connexion « X3 »
● Fonctionnement par l’intermédiaire de l’interface RS-485 et de l'unité d’affichage et de commande
Pfeiffer Vacuum ou d’un PC
● Fonctionnement via la connexion « E74 »
● Fonctionnement via un bus de terrain
6.2.1
Fonctionnement sans unité de fonctionnement
Démarrage automatique
La pompe turbomoléculaire démarre immédiatement en cas de pontage sur les broches 2,
5, 7 de la connexion X3 ou en utilisant un câble de raccordement avec des pontages et
une tension d'alimentation.
Fonctionnement sans unité de commande
1. Utilisez uniquement les câbles de raccordement agréés Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la
connexion X3 de l'unité de commande électronique.
2. L'alimentation secteur de la pompe turbo ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en
route.
Après application de la tension de fonctionnement, l'unité d’entraînement électronique effectue un test
automatique pour contrôler la tension d’alimentation. Si le test s'est terminé avec succès, la pompe turbomoléculaire démarre et active les équipements additionnels conformément à la configuration.
6.2.2
Fonctionnement via la connexion multifonctions « X3 »
La commande à distance est disponible via la connexion D-Sub à 15 broches avec la désignation
« X3 » sur l'unité de commande électronique. Les fonctions individuelles accessibles sont mappées
avec les « niveaux API ».
Instructions pour le fonctionnement avec commande à distance
► Voir le manuel de l'utilisateur de l’unité d’entraînement électronique.
6.2.3
Fonctionnement via l'unité d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum
Grâce à la connexion d'un écran et d'un panneau de commande Pfeiffer Vacuum, la pompe turbo peut
être contrôlée par l'intermédiaire des paramètres fixés dans l'unité d’entraînement électronique.
Instructions de fonctionnement avec unité d'affichage et de commande
1. L'unité d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum doit être manipulée conformément aux manuels de l’utilisateur correspondants :
– Manuel de l'utilisateur « DCU » à télécharger à la rubrique Download Center.
– Manuel de l'utilisateur « HPU » à télécharger à la rubrique Download Center.
2. Le manuel de l'utilisateur de l'unité d’entraînement électronique doit être respecté dans le cadre
de l'étendue de livraison de la pompe turbo.
3. Raccordez le connecteur RS-485 d'un câble de raccordement approprié au DCU.
4. Enclenchez l’alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire via l'unité de courant externe
ou le DCU avec unité de courant intégrée.
29/56
Utilisation
6.2.4
Fonctionnement via un bus de terrain
Les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de
terrain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspondant est utilisée.
Les éléments suivants sont disponibles :
● Profibus
Instructions pour le fonctionnement avec un bus de terrain
► Consultez les instructions d'utilisation de l'unité d’entraînement électronique avec le panneau de
connexion correspondant.
6.3
Mise en marche de la pompe turbo
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement
L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un
risque de brûlure.
► Si nécessaire, installer une protection isolante.
► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux.
► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité.
► Porter un équipements de protection, p. ex. gants.
AVERTISSEMENT
Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression
L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un risque de grave blessure lié à l'éjection d'objets.
► Ne jamais dépasser la pression d'entrée autorisée de 1 500 hPa (absolue) sur le côté aspiration
ou la connexion de mise à l'air et de gaz de pressurisation.
► Vérifier que les surpressions liées au processus ne peuvent entrer directement dans la pompe à
vide.
Mise en marche de la pompe turbo
► Brancher le bloc d’alimentation à l'alimentation électrique côté client.
► Allumez le bloc d’alimentation.
6.4
Surveillance des opérations
6.4.1
Affichage LED du mode de fonctionnement
Les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la
pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d'avertissement ne sont possibles que pour le
fonctionnement avec l'affichage et l'appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
30/56
Utilisation
LED
Symbole
Vert
Jaune
Rouge
Tab. 9:
6.4.2
État LED
Affichage
Signification
Désactivé
Sans courant
Activé, clignotant
« Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
Activé, clignotement inverse
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite non atteinte
Activé, éclairé en continu
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite atteinte
Activé, clignotant
« Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de > 60 tr/min
Désactivé
Pas d'avertissement
Activé, éclairé en continu
Avertissement
Désactivé
Pas d'erreur, pas d'avertissement
Activé, éclairé en continu
Erreur, dysfonctionnement
Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique
Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température
pour les messages d’avertissement et d’erreur sont mémorisés systématiquement dans l’unité de commande électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de
paramètres.
● Afin d’éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit
déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d’avertissement pour l’excès
de température.
─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe.
● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction
supplémentaire de la puissance d’entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbomoléculaire se coupe.
● Le dépassement du seuil de température pour les messages d’erreur entraîne la coupure immédiate de la pompe turbomoléculaire.
6.5
Mise hors circuit et mise à l'air
Recommandation
Purger la pompe turbo après son arrêt. Cette opération permet d'éviter le reflux des particules dans le système de vide depuis la zone de vide préliminaire.
6.5.1
Mise hors circuit
Remarques relatives à la mise hors circuit de la pompe turbo
1. Arrêter la pompe turbo avec l'unité de commande ou la télécommande.
2. Fermer la conduite de vide préliminaire.
3. Mettre hors circuit la pompe de secours, si nécessaire.
4. Mettre à l'air la pompe turbo (options, voir ci-dessous).
5. Fermer les conduites d'alimentation (eau de refroidissement, gaz de pressurisation).
31/56
Utilisation
6.5.2
Remettre à l’air
AVIS
Endommagement de la pompe turbomoléculaire lié à une augmentation inacceptable de la
pression pendant la mise à l’air
Un degré inacceptable de remontée de pression soumet le rotor et le palier de la pompe turbomoléculaire à de fortes charges. Ceci peut entraîner des dommages mécaniques sur la pompe turbomoléculaire, voire la destruction de celle-ci.
► Observez le taux de remontée de pression maximum prescrit de 200 hPa/s.
► Évitez la remise à l’air incontrôlée de très petits volumes.
Remise à l'air manuelle
Après la mise à l’arrêt de la pompe turbomoléculaire, elle doit être remise à l’air pour éviter toute contamination liée aux particules refluant de la zone de vide primaire.
1. Assurez-vous que le système de vide est à l’arrêt.
2. Remettez à l’air la pompe turbomoléculaire à la pression atmosphérique sur le côté de vide élevé.
3. Attendez l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide.
32/56
Maintenance
7 Maintenance
7.1
Informations générales sur la maintenance
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien
L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe turbo est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants
sous tension.
► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur.
► Attendre que la pompe turbo soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0).
► Débrancher la prise secteur de l'appareil.
► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux
pièces coupantes en mouvement
Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne
une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomoléculaire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Mettez correctement hors circuit la pompe turbomoléculaire.
► Sécurisez la pompe turbomoléculaire contre tout risque de redémarrage.
► Fermez immédiatement les connexions ouvertes après démontage en utilisant le cache d'origine.
7.2
Intervalles de maintenance et responsabilités
Recommandations pour l'exécution des opérations de maintenance
1. Nettoyer l'extérieur de la pompe turbo avec un chiffon sans fusel et un peu d'alcool isopropylique.
2. Remplacer l’unité de commande électronique en tant qu'unité indépendante.
3. Remplacer le réservoir du fluide d'exploitation en tant qu'unité indépendante.
4. Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation.
5. Le réservoir du fluide d'exploitation doit au moins être remplacé tous les 4 ans.
6. Demander à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier du rotor de la pompe turbo au moins
tous les 4 ans.
7. En cas de charges extrêmes ou de processus avec des fluides contaminés, consulter Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts.
8. Pour toutes les autres opérations de nettoyage, maintenance ou réparation, contacter le centre
Pfeiffer Vacuum Service adéquat.
33/56
Maintenance
7.3
Remplacer le réservoir de fluide d’exploitation
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement lié au contact avec des substances toxiques
Le réservoir du fluide d’exploitation et les pièces de la pompe turbo peuvent contenir des substances
toxiques provenant du liquide pompé.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Prendre les mesures de sécurité appropriées pour prévenir les risques liés aux dangers toxiques
ou à la pollution de l’environnement.
► Respecter les informations de la fiche technique de sécurité du fluide d’exploitation.
► Se débarrasser du réservoir du fluide d’exploitation usagé conformément à la réglementation en
vigueur.
Vous trouverez la fiche technique de sécurité sur le Pfeiffer Vacuum Download Center.
AVIS
Endommagement des surfaces d'étanchéité par des outils inappropriés
L’utilisation d'outils inappropriés pour retirer ou insérer des joints annulaires peut endommager les
surfaces d'étanchéité, entraînant une fuite de la pompe à vide.
► N'utilisez jamais d'outils métalliques tranchants (p. ex. pincettes).
► Retirez uniquement les joints annulaires avec un outil de montage pour joint torique.
La HiPace 10 a deux réservoirs de fluide d’exploitation pour la lubrification des roulements
à billes, avec ou sans tiges capillaires en fonction de la construction.
● Lors du remplacement des réservoirs de fluide d'exploitation, reportez-vous à la plaque
signalétique de la pompe pour déterminer le fluide d’exploitation correct :
─ Référence pompe ≤ index « B » : Fluide d’exploitation TL 011
─ Référence pompe ≥ index « C » : Fluide d’exploitation TL 022
● Remplacez toujours les deux côtés en même temps.
Opération préparatoire
1. N’exercez pas de charge mécanique sur l’unité de commande électronique.
2. Mettez la pompe turbomoléculaire hors circuit (voir chapitre « Mise hors circuit », page 31).
3. Mettez à l’air le système de vide à la pression atmosphérique (voir chapitre « Remettre à
l’air », page 32).
4. Coupez l’alimentation électrique.
5. Retirez tous les câbles de l’unité de commande électronique.
6. En cas de démontage de la pompe turbomoléculaire du système : fermer toutes les ouvertures en utilisant les bouchons filetés et les caches d’origine.
7.3.1
Remplacer le réservoir de fluide d’exploitation côté palier 1
Outils nécessaires
●
●
●
●
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3 mm
Pinces
Récolteur de joint torique
Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Consommables requis
● Chiffon propre, non pelucheux
● Gants de laboratoire
34/56
Maintenance
1
2
3
4
5
6
Fig. 10:
Retirer le réservoir de fluide d’exploitation
1 Vis à six pans creux intérieurs
2 Bouchon à vis
3 Joint torique
4
5
6
Réservoir du fluide d’exploitation
Tiges capillaires (6×), s’il y a lieu
Support de palier
Retirer le réservoir de fluide d’exploitation
1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau.
2. Retirez les impuretés externes de la pompe turbomoléculaire à l’aide d’un chiffon propre, non pelucheux.
3. Mettez la pompe turbomoléculaire à la verticale.
4. Dévissez les 4 vis à tête cylindrique du couvercle d’obturation sur ce côté du palier.
5. Retirez le couvercle d’obturation.
6. Retirez le joint torique de la rainure à l’aide d’un récolteur de joint torique.
– Ne rayez pas la surface.
7. Utilisez les pinces pour retirer le réservoir du fluide d’exploitation à partir du support de palier.
8. Utilisez les pinces pour retirer les anciennes tiges capillaires, s’il y a lieu, du support de palier.
9. Nettoyez le couvercle d’obturation avec un chiffon propre, non pelucheux.
– N’utilisez pas de détergent.
35/56
Maintenance
4
2
1
5
3
6
Fig. 11:
Assembler le réservoir de fluide d’exploitation
1 Support de palier
2 Réservoir du fluide d’exploitation
3 Tiges capillaires (6×), s’il y a lieu
4
5
6
Vis à six pans creux intérieurs
Bouchon à vis
Joint torique
Assurez-vous de l’orientation d’installation du réservoir du fluide d’exploitation.
Rondelles en feutre avec les deux cames alignées sur l’orientation d’installation.
Assembler le réservoir de fluide d’exploitation
1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau.
2. Utilisez les pinces pour insérer toutes les tiges capillaires, s'il y a lieu.
3. Utilisez les pinces pour insérez le nouveau réservoir du fluide d’exploitation dans le support de
palier.
4. Poussez le réservoir du fluide d’exploitation dans le support de palier jusqu’à la butée.
5. Insérez le nouveau joint torique dans le support de palier.
6. Fixez le couvercle d’obturation.
7. Vissez à la main les 4 vis à tête cylindrique.
7.3.2
Remplacer le réservoir de fluide d’exploitation côté palier 2
Outils nécessaires
●
●
●
●
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3 mm
Pinces
Récolteur de joint torique
Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Consommables requis
● Chiffon propre, non pelucheux
● Gants de laboratoire
36/56
Maintenance
1
2
3
4
5
6
Fig. 12:
Retirer le réservoir de fluide d’exploitation
1 Vis à six pans creux intérieurs
2 Bouchon à vis
3 Joint torique
4
5
6
Réservoir du fluide d’exploitation
Tiges capillaires (6×), s’il y a lieu
Support de palier
Retirer le réservoir de fluide d’exploitation
1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau.
2. Retirez les impuretés externes de la pompe turbomoléculaire à l’aide d’un chiffon propre, non pelucheux.
3. Mettez la pompe turbomoléculaire à la verticale.
4. Dévissez les 4 vis à tête cylindrique du couvercle d’obturation sur ce côté du palier.
5. Retirez le couvercle d’obturation.
6. Retirez le joint torique de la rainure à l’aide d’un récolteur de joint torique.
– Ne rayez pas la surface.
7. Utilisez les pinces pour retirer le réservoir du fluide d’exploitation à partir du support de palier.
8. Utilisez les pinces pour retirer les anciennes tiges capillaires, s’il y a lieu, du support de palier.
9. Nettoyez le couvercle d’obturation avec un chiffon propre, non pelucheux.
– N’utilisez pas de détergent.
37/56
Maintenance
4
2
5
1
3
Fig. 13:
6
Assembler le réservoir de fluide d’exploitation
1 Support de palier
2 Réservoir du fluide d’exploitation
3 Tiges capillaires (6×), s’il y a lieu
4
5
6
Vis à six pans creux intérieurs
Bouchon à vis
Joint torique
Assurez-vous de l’orientation d’installation du réservoir du fluide d’exploitation.
Rondelles en feutre avec les deux cames alignées sur l’orientation d’installation.
Assembler le réservoir de fluide d’exploitation
1. Utilisez les pinces pour insérer toutes les tiges capillaires, s'il y a lieu.
2. Utilisez les pinces pour insérez le nouveau réservoir du fluide d’exploitation dans le support de
palier.
3. Poussez le réservoir du fluide d’exploitation dans le support de palier jusqu’à la butée.
4. Insérez le nouveau joint torique dans le support de palier.
5. Fixez le couvercle d’obturation.
6. Vissez à la main les 4 vis à tête cylindrique.
7.3.3
Serrer les vis du couvercle d’obturation
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3 mm
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
38/56
Maintenance
180°
1
Fig. 14:
2
Séquence d’assemblage des vis du couvercle d’obturation
1 Côté d’entraînement du couvercle d’obturation
avec marquage
2
Côté opposé du couvercle d’obturation avec
marquage
Serrer les vis du couvercle d’obturation
1. Placez la pompe turbomoléculaire à plat sur la table.
2. Utilisez un marqueur pour numéroter toutes les vis à tête cylindrique sur les deux couvercles d’obturation comme indiqué sur la figure.
3. Serrez les vis en effectuant de multiples séquences 1-2-3-4-5-6-7-8.
4. Au cours de la dernière séquence, assurez-vous que le couple de serrage est de 2,0 Nm.
5. Avec un chiffon, effacez les marquages numériques sur les couvercles d’obturation.
7.3.4
Réaliser le test de fonctionnement
Condition préalable
● Bride de vide primaire montée
1
4
3
Fig. 15:
2
Contrôle du rotor
1 Contrôler le fonctionnement véritable
2 Contrôler le jeu axial
3
4
Côté moteur
Adaptateur
Réaliser le test de fonctionnement
1. Utilisez le doigt pour tourner légèrement le rotor, dans le sens radial vers l’adaptateur.
– L’action du rotor est exempt de heurt.
– Quand l’installation est correcte, un V est évident sous les ailettes du rotor en rotation.
2. Appuyez sur le rotor avec précaution en exerçant une légère pression avec votre doigt, dans le
sens axial vers le côté opposé au moteur.
– Le rotor retourne automatiquement vers sa position originale.
3. Desserrez les vis sur les couvercles d’obturation et répétez l’assemblage des couvercles d’obturation si l’action du rotor n’est pas exempt de heurt ou à action retardée – une torsion dans le carter
est possible.
39/56
Maintenance
7.4
Remplacement de l’unité de commande électronique
AVIS
Endommagement de la pompe turbomoléculaire et de l'unité d’entraînement électronique en
cas de déconnexion incorrecte des composants
Même après avoir mis hors circuit l'alimentation secteur, la pompe turbomoléculaire continue de fournir de l'énergie électrique tant qu'elle n'est pas complètement à l'arrêt. Si la pompe turbomoléculaire
et l'unité de commande électronique sont déconnectées prématurément, il y a un risque de court-circuit à la terre et par conséquent de destruction des composants électroniques.
► Ne déconnectez jamais la pompe turbomoléculaire et l'entraînement électronique encore sous
tension ou si le rotor est en rotation.
► Surveillez la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire via les paramètres disponibles
dans l’unité de commande électronique (p. ex. [P:398]).
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
AVIS
Dommages matériels dûs à une décharge électrostatique
Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées,
les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits
► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le
poste de travail.
► Observer la norme EN 61340 « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes
électrostatiques ».
Sauvegarde des réglages effectués par le client
Les paramètres d'usine sont toujours activés par défaut sur les unités de rechange. Tous
les réglages effectués par le client sur l'unité d’entraînement électronique d'origine sont
perdus lors de son remplacement. Pour conserver vos réglages personnalisés, vous pouvez :
1. Sauvegardez tous vos paramètres en tant que jeu de paramètres dans une HPU.
2. Chargez un jeu de paramètres de sauvegarde à l'aide d'une HPU dans la nouvelle unité d’entraînement électronique.
3. Programmez manuellement les paramètres individuels dans la nouvelle unité d’entraînement électronique.
4. Observez les instructions d’utilisation de l'unité d’entraînement électronique et de la
HPU.
L’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire ne peut pas être réparée. En cas de
défaut, remplacez toute l’unité de commande électronique par une unité de rechange.
Opération préparatoire
1. N’exercez pas de charge mécanique sur l’unité de commande électronique.
2. Mettez la pompe turbomoléculaire hors circuit (voir chapitre « Mise hors circuit », page 31).
3. Mettez à l’air le système de vide à la pression atmosphérique (voir chapitre « Remettre à
l’air », page 32).
4. Coupez l’alimentation électrique.
5. Retirez tous les câbles de l’unité de commande électronique.
6. En cas de démontage de la pompe turbomoléculaire du système : fermer toutes les ouvertures en utilisant les bouchons filetés et les caches d’origine.
40/56
Maintenance
1
2
3
Fig. 16:
Installer et démonter l’unité de commande électronique TC 110
1 Vis torx
2 Unité de commande électronique
3
Plaque d’adaptation
Outils nécessaires
● Tournevis torx TX 10
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Procédure
1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire.
2. Dévissez les 4 vis à tête hexagonale de l’unité de commande électronique.
3. Tirez sur l'ancienne unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire, en prenant
soin de la maintenir droite.
4. Installez une nouvelle unité de commande électronique bien droite sur le raccord de la plaque
d'adaptation de la pompe turbomoléculaire.
5. Vissez l’unité de commande électronique sur la pompe turbomoléculaire avec les 4 vis à tête hexagonale.
– Couple de serrage : 0,6 Nm
7.5
Confirmation de la spécification de vitesse
La vitesse de rotation nominale typique d’une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans
l’unité de commande électronique. Si l’unité de commande électronique est remplacée ou si un autre
type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée.
La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d’un système de sécurité redondant et sert de mesure de prévention contre les vitesses de rotation excessives.
La confirmation redondante de la vitesse de rotation nominale d’une pompe turbo est possible en réglant le paramètre [P:777] NomSpdConf dans l’unité d’entraînement électronique.
HiPace
Vitesse de rotation nominale
10 | 30 | 60 | 80
1 500 Hz
300
1 000 Hz
350 | 450
1 100 Hz
400 | 700 | 800
820 Hz
Tab. 10:
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbo
Accessoires requis
● Une unité d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum connectée.
● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de fonctionnement de l'unité d’entraînement électronique.
41/56
Maintenance
Réglage de la confirmation de la vitesse de rotation nominale
1. Suivre les instructions de fonctionnement de l’unité d'affichage et de commande.
2. Voir le manuel de l'utilisateur de l’unité d’entraînement électronique.
3. Définir le paramètre [P:794] sur « 1 » et activer le jeu de paramètres étendu.
4. Ouvrir et éditer le paramètre [P:777].
5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz.
Alternative d’ajustement de la confirmation de la vitesse de rotation nominale
Les unités de rechange incluent un Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator pour la définition
immédiate du paramètre [P:777].
42/56
Mise hors service
8 Mise hors service
8.1
Mise hors service pendant une période prolongée
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Procédure pour un arrêt prolongé de la pompe turbomoléculaire (> 1 an)
1. Si nécessaire, retirez la pompe turbomoléculaire du système de vide.
2. S’il y a lieu, remplacez le réservoir du fluide d’exploitation de la pompe turbomoléculaire.
3. Fermez le raccord de vide élevé de la pompe turbomoléculaire.
4. Évacuez la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire du raccord de vide primaire.
5. Ventilez la pompe turbomoléculaire avec de l’air sec, exempt d’huile ou un gaz inerte.
6. Fermez toutes les ouvertures de bride avec les obturateurs de protection d’origine.
7. Stockez la pompe turbomoléculaire avec la bride de vide élevé orientée vers le haut.
8. Stockez la pompe turbomoléculaire dans un local à la température spécifiée.
9. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Scellez hermétiquement la pompe turbomoléculaire avec un agent de sécharge dans un sac en plastique.
8.2
Remettre en service
AVIS
Risque d'endommagement de la pompe turbo lié au vieillissement du fluide d’exploitation
après la remise en service
La durée de conservation du fluide d’exploitation de la pompe turbo est limitée. Le vieillissement du
fluide d’exploitation peut entraîner la défaillance du roulement à billes et endommager la pompe turbo.
► Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation :
● après 2 ans au maximum sans fonctionnement,
● après 4 ans au maximum en combinant périodes de fonctionnement et d'arrêt.
► Respecter les instructions de maintenance et informer le service Pfeiffer Vacuum.
Procédures de remise en service de la pompe turbomoléculaire
1. Contrôlez la pompe turbomoléculaire à la recherche de signes de pollution et d’humidité.
2. Nettoyez l’extérieur de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon sans fusel et un peu d’alcool
isopropylique.
3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbomoléculaire.
4. Observez la durée de fonctionnement totale de la pompe turbomoléculaire. Si nécessaire, demandez à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier.
5. Remplacez le réservoir de fluide d’exploitation de la pompe turbomoléculaire.
6. Installez la pompe turbomoléculaire conformément à ces instructions (voir chapitre « Installation », page 20).
7. Remettez en service la pompe turbomoléculaire conformément à ces instructions 28.
43/56
Recyclage et mise au rebut
9 Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
Protection de l'environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
9.2
Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires
Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation.
2. Enlevez l’unité de commande électronique.
3. Décontaminez les composants qui sont entrés en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
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Dysfonctionnements
10
Dysfonctionnements
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie
ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci
dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici. Les instructions d’utilisation de l’unité de commande électronique associée contiennent une
description plus détaillée des erreurs.
Problème
Causes possibles
La pompe turbomoléculaire ne démarre pas ; aucune des LED sur l’unité
de commande électronique ne s’éclaire
● L’alimentation électrique a été coupée
Action corrective
1. Vérifiez les contacts des fiches sur le
pack d’alimentation électrique.
2. Vérifiez les lignes d’alimentation électrique.
3. Vérifiez la tension de sortie sur le raccordement de l’unité de courant « DC
out » :
─ 24 V DC !
● Tension de fonctionnement incorrecte
1. Respectez les données sur la plaque signalétique de l’unité de commande
électronique.
2. Alimentez avec la tension de fonctionnement correcte.
● Pas de tension de
fonctionnement
1. Alimentez avec la tension de fonctionnement correcte.
2. Activez l’unité de courant.
● Unité de commande
électronique défectueuse
1. Remplacez l’unité de commande électronique.
2. Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
45/56
Dysfonctionnements
La pompe turbomoléculaire ne démarre pas ; la
LED verte sur l’unité de
commande électronique
clignote
La pompe turbomoléculaire n’atteint pas la vitesse de rotation nominale
dans le temps d’accélération paramétré
La pompe turbomoléculaire n’atteint pas la pression ultime
46/56
● Fonctionnement
sans unité de commande : Les broches 2-7 et 5-7 ne
sont pas connectées
sur la connexion
« X3 »
1. Raccordez les connexions conformément au diagramme de raccordement
de l’unité de commande électronique.
2. Contrôlez les pontages sur le câble de
raccordement.
● Pour le fonctionnement via RS-485 :
le pontage entre les
broches 5 et 7 inhibe les instructions
de réglage
1. Retirez le pontage sur la connexion
« X3 ».
2. Vérifiez le câble de raccordement.
● Pour le fonctionnement via RS-485 :
les paramètres ne
sont pas réglés dans
l’unité de commande
électronique
1. Réglez les paramètres [P: 010] et [P:
023] via l’interface RS-485 sur 1 =
"ON".
● La chute de tension
dans le câble est
trop grande
1. Vérifiez le câble de raccordement.
2. Utilisez un câble de raccordement adéquat.
● pression de vide primaire trop haute
1. Vérifiez la compatibilité de la pompe de
secours (voir les caractéristiques techniques).
2. Vérifiez si la pompe de secours fonctionne.
● Fuite sur la pompe
turbomoléculaire
1. Repérez les fuites.
2. Vérifiez les joints et les raccords de bride.
3. Éliminez les fuites.
● Débit de gaz trop
élevé
1. Réduisez la charge de gaz de procédé.
● Le rotor tourne avec
des à-coups, le palier est défectueux
1. Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour
détecter tout bruit étrange
2. Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Point de consigne
de temps d’accélération réglé trop bas
1. Étendez le point de consigne de temps
d’accélération [P:700] via une unité
d’affichage et de contrôle.
Charge thermique due
à:
● défaut de ventilation
● débit d’eau insuffisant
● pression de vide primaire trop haute
● température ambiante trop élevée
1. Réduisez la charge thermique.
─ Assurez une circulation d’air suffisante.
─ Ajustez le débit d’eau de refroidissement.
─ Réduisez la pression du vide primaire.
─ Adaptez les conditions ambiantes.
● La pompe turbomoléculaire est polluée
1. Chauffez la pompe turbomoléculaire si
nécessaire.
2. Faites-la nettoyer.
3. Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Fuite au niveau de
l’enceinte à vide,
des tuyauteries ou
de la pompe turbomoléculaire
1. Repérez les fuites en commençant par
l’enceinte à vide.
2. Vérifiez les joints et les raccords de bride.
3. Éliminez les fuites dans le système de
vide.
Dysfonctionnements
Bruits de fonctionnement
inhabituels
La LED rouge s’éclaire sur
l’unité de commande électronique
Tab. 11:
● Le palier du rotor est
endommagé
1. Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Rotor endommagé
1. Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Pare-éclats ou écran
protecteur desserré
1. Vérifiez et corrigez le siège du pareéclats ou de l’écran protecteur dans la
bride de vide élevé.
2. Suivez les instructions d’installation.
● Erreur de groupe
1. Réinitialisez l’anomalie en mettant l’alimentation en courant hors circuit et en
circuit.
2. Réinitialisez le dysfonctionnement avec
V+ sur la broche 6 sur la connexion
« X3 ».
3. Réglez le paramètre [P: 009] via l’interface RS-485 sur 1 = Validation anomalie.
4. Réglez le paramètre [P: 010] via l’interface RS-485 sur 0 = Arrêt et ensuite sur
1 = Marche et validation anomalie.
5. Exécutez l’analyse de dysfonctionnement différenciée avec une unité d’affichage et de contrôle.
6. Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Dépanner les pompes turbomoléculaires
47/56
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
48/56
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
49/56
Pièces de rechange HiPace 10
12
Pièces de rechange HiPace 10
1
2
3
4
Fig. 17:
Pièces de rechange HiPace 10
1 Unité de commande électronique TC 110
2 Tiges capillaires
Réservoir du fluide d’exploitation
Joint torique
Position
Désignation
Numéro de commande
Remarque
1
Unité de commande
électronique TC 110
conformément à la
version
se référer à la plaque signalétique
2× respectivement
2, 3, 4
Réservoir du fluide
d'exploitation TL 022
PM 193 943 -T
Valide pour la référence de pompe
≥ index « C »,
se référer à la plaque signalétique
2× respectivement
3, 4
Réservoir du fluide
d'exploitation TL 011
PM 083 373 -T
Valide pour la référence de pompe
≤ index « B »
se référer à la plaque signalétique
Tab. 12:
50/56
3
4
Pièces de rechange disponibles
Accessoires
13
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires pour pompes turbomoléculaires hybrides à paliers.
51/56
Caractéristiques techniques et dimensions
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1
Généralités
Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum.
Caractéristiques techniques
Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple.
● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5
● ISO 27892 2010 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesure du couple d'arrêt
rapide »
● ISO 21360 2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Partie 1 : Description générale »
● ISO 21360 2018 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Partie 4 : Pompes à vide turbomoléculaires »
● Pression ultime avec dôme de test après 48 h
● Débit de gaz avec refroidissement à eau ; pompe de secours = pompe à palettes rotative
(10 m3/h)
● Consommation d’eau de refroidissement à débit maximum de gaz, température de l’eau de refroidissement 25 °C
● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d'hélium, durée de mesure 10 s
● Niveau de pression acoustique à une distance = 1 m de la pompe à vide
mbar
bar
Pa
100
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
1 · 10
1,000
100
750
Pa
0,01
1 · 10-5
1
0,01
1 · 10-3
7.5 · 10-3
hPa
1
1 · 10
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33
0,133
1
-3
5
-3
133,32
-3
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
Tab. 13:
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m /s
10
1
592
7,5
9,87
sccm
1.69 · 10-2
1.69 · 10-3
1
1,27 · 10-2
1.67 · 10-2
Torr l/s
1,33
0,133
78,9
1
1,32
atm cm3/s
1,01
0,101
59,8
0,76
1
mbar l/s
3
Tab. 14:
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
14.2 Fiche technique
52/56
Champ de sélection
HiPace® 10 avec TC 110, DN 25
Numéro de commande
PM P03 960
Bride de raccordement (entrée)
DN 25
Bride de raccordement (sortie)
DN 16 ISO-KF/G 1/8"
Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2
0,37 hPa l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar
0,37 hPa l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2
2,78 hPa l/s
Caractéristiques techniques et dimensions
Champ de sélection
HiPace® 10 avec TC 110, DN 25
Débit max. de gaz à vitesse finale pour He
0,48 hPa l/s
Temps d'accélération
0,9 min
Pression limite selon PNEUROP
< 5 · 10-5 hPa
Vide primaire max. pour Ar
25 hPa
Vide primaire max. pour H2
15 hPa
Vide primaire max. pour He
22 hPa
Vide primaire max. pour N2
25 hPa
Débit pour Ar
11,5 l/s
Débit pour H2
3,7 l/s
Débit pour He
6 l/s
Débit pour N2
10 l/s
Taux de compression pour Ar
2,5 · 107
Taux de compression pour H2
3 · 102
Taux de compression pour He
3 · 103
Taux de compression pour N2
3 · 106
Taux de fuite intégral
< 2 · 10-8 Pa m³/s
Vitesse de rotation ± 2 %
90000 rpm
Vitesse variable
50 – 100 %
Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère C
24/90000 W/min-1
Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère D
24/90000 W/min-1
Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère A
24/90000 W/min-1
Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère B
24/90000 W/min-1
Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point de repère E
24/90000 W/min-1
Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point de repère F
24/90000 W/min-1
Méthode de refroidissement, standard
Convection
Niveau de la pression acoustique
<50 dB(A)
Unité de commande électronique
avec TC 110
Interfaces E/S
RS-485, à distance
Tension de service : CC
24 V
Tension d'entrée : tolérance
±5 %
Puissance thermique irradiée admissible max.
0,6 W
Puissance absorbée maximale
28,8 W
Consommation de courant maximale
1,2 A
Catégorie de protection
IP54
Champ magnétique radial maximum autorisé
3 mT
Classe de débit
10 l/s
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
Température de transport et de stockage
-25 – 55 °C
Poids
1,8 kg
Tab. 15:
14.3
HiPace 10
Dimensions
Dimensions en mm
53/56
Caractéristiques techniques et dimensions
55
55
45
M5
8 mm tief/deep
M6
6 mm tief/deep
HV
DN 25 ISO-KF
VV
DN 16 ISO-KF
59
45°
45°
100
97.3
168.4
118
Fig. 18:
54/56
HiPace 10 | TC 110 | DN 25 ISO-K
25
40
55
37.5
Déclaration de conformité
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe turbomoléculaire
HiPace 10
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100 : 2011
ISO 21360-1 : 2016
DIN EN 1012-2 : 2011
ISO 21360-4 : 2018
DIN EN 61000-3-2 : 2015
DIN EN IEC 63000 : 2019
DIN EN 61000-3-3 : 2014
DIN EN 61010-1 : 2011
DIN EN 61326-1 : 2013
DIN EN 62061: 2013
Le représentant habilité à constituer la documentation technique est M. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar Allemagne.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Aßlar, 2020-11-05
*PT0207*
ed. M - Date 2103 - P/N:PT0207BFR
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