MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Original
IPF 25
Filtre à poussières
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/20
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Produits concernés
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Abréviations
5
5
5
5
5
5
5
6
6
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Usage conforme à la destination
2.3 Utilisation non conforme prévisible
7
7
7
7
3
Description du produit
3.1 Identification du produit
3.1.1 Contenu de la livraison
3.1.2 Fonction
3.2 Stockage
8
8
8
8
8
4
Installation
4.1 Sens de montage
4.2 Installation sur la pompe
9
9
10
5
Utilisation
12
6
Maintenance
6.1 Consigne de sécurité pour la maintenance
6.2 Démontage
6.3 Nettoyage
6.4 Mise au rebut
6.5 Remontage
13
13
14
14
15
16
7
Pièces de rechange
17
8
Caractéristiques techniques et dimensions
8.1 Caractéristiques techniques
8.2 Dimensions
18
18
18
Déclaration d'incorporation de quasi-machines
19
3/20
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
4/20
Orientation du filtre sur aspiration de la pompe
Installation de l'IPF 25 sur pompe ACP 15
Installation de l'IPF 25 sur pompe ACP 28
Installation de l'IPF 25 sur pompe HiScroll 6
Dimensions IPF 25
9
10
10
11
18
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
Documents applicables
Document
Référence
Déclaration d'incorporation de quasi-machines
fournie avec ce manuel
Pompe Roots multi-étagée, refroidie à l'air
Manuel de l'utilisateur - ACP 15
123884 - 128853
Manuel de l'utilisateur - ACP 28
112369 - 128852
Pompe à vide à spirale
1.1.2
Manuel de l'utilisateur - HiScroll 6
PU0080
Manuel de l'utilisateur - HiScroll 12 | 18
PU0081
Produits concernés
Ce document s'applique aux produits ayant les références suivantes :
1.2
Référence
Description
111649
IPF 25 Filtre à poussières
Groupe cible
Ce manuel de l‘utilisateur est destiné à toutes les personnes en charge du transport, de l'installation, de
la mise en service/hors service, de l'utilisation, de la maintenance ou du stockage du produit.
Les travaux décrits dans ce document doivent être effectués uniquement par des personnes ayant une
formation technique appropriée (personnel spécialisé) ou ayant reçues une formation de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
5/20
A propos de ce manuel
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Abréviations
Exh.
IN
IPF
NBR
FPM
6/20
Refoulement (Exhaust)
Aspiration (Inlet flange)
Filtre à poussières (Inlet Particle Filter)
Elastomère Nitrile
Elastomère Fluorocarbone
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Usage conforme à la destination
Le filtre à poussières est conçu pour le pompage sur des gaz peu corrosifs.
● Le filtre à poussières est utilisé uniquement avec les pompes Roots multi-étagées pour lesquelles
il est compatible (voir chapitre « Documents applicables »).
● Le filtre à poussières s'installe à l'aspiration des pompes Roots multi-étagées, modèles ACP 15 et
ACP 28.
● Le filtre à poussières s'installe à l'aspiration des pompes à vide à spirale, modèles HiScroll 6 et
HiScroll 12 | 18.
2.3
Utilisation non conforme prévisible
Toute utilisation non conforme du produit entraîne l'annulation de la garantie et des droits de réclamations. Toute utilisation, même involontaire, qui diffère de celles précitées est considérée comme non
conforme, en particulier :
●
●
●
●
●
●
le raccordement à des pompes et appareils pour lesquels il n’est pas prévu
le raccordement à des appareils qui ne sont pas isolés électriquement,
les accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel
les applications de pompage de produits inflammables tels que, oxygène, silane
les applications microélectroniques, LPCVD, LTO en raison de l'incompatibilité de l’élément filtrant
les applications de séchage, lyophilisation, pompage de condensables, imprégnation à l’aide de
résines polymérisables, débullage de monomères
7/20
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Identification du produit
Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer
aux informations figurant sur l'étiquette d'identification du produit.
3.1.1
Contenu de la livraison
●
●
●
●
3.1.2
1 anneau de centrage DN 25 ISO-KF
1 joint torique DN 25 ISO-KF NBR
1 collier de serrage DN 25 ISO-KF
1 manuel de l’utilisateur
Fonction
Le filtre à poussières est installé à l’aspiration d’une pompe primaire sèche travaillant sur des gaz chargés de poussières ou de particules.
Le filtre à poussières arrête les particules de diamètre supérieur à 25 microns en protégeant le circuit
de pompage, ceci sans occasionner de perte de charge notable.
3.2
Stockage
L'élément filtrant utilisé dans le filtre à poussières peut absorber l'humidité.
Si le produit neuf doit être stocké :
► Stocker le produit dans son emballage d'origine dans un environnement propre et sec et non pollué.
► Stocker le produit selon les températures de stockage (+5 – +65 °C).
► Veiller à ce que l'élément filtrant ne soit pas écrasé pendant le stockage.
Si le produit a été déballé, utilisé, ou stocké pendant une longue période (> 1 an) :
► Procéder à sa maintenance avant de l'installer.
8/20
Installation
4 Installation
Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art
1. Réaliser l’installation sur la pompe arrêtée et hors tension.
2. Utiliser les accessoires de raccordement fournis avec le filtre à poussières.
3. Utiliser dans la ligne de pompage, à l’aspiration comme au refoulement, des accessoires dont les
matériaux et l’étanchéité sont compatibles avec les gaz pompés. Consulter le catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffer-vacuum
4. Prévoir, lors du montage du circuit du vide, des accessoires pour isoler la pompe dans la ligne de
pompage et faciliter la maintenance (vannes d’isolement à l’aspiration et au refoulement, purge,
…).
5. Retirer les protections qui obturent les orifices d’aspiration et de refoulement.
Sens de montage
Les orifices du filtre à poussières sont équipés d’embout ISO-KF permettant l’adaptation de divers éléments de canalisations (voir catalogue des produits Pfeiffer Vacuum).
Le filtre à poussières peut travailler dans tous les axes de pompage.
► Veiller à ne pas créer dans la ligne de pompage en amont du filtre, un étranglement ou un point
bas susceptible de recueillir par gravité les particules : ceci réduit la vitesse de pompage sans
pour autant colmater l’élément filtrant.
PUMP
IN
IPF
PUMP
4.1
IPF
IN (PUMP)
Fig. 1:
Orientation du filtre sur aspiration de la pompe
Sens de montage du filtre sur aspiration de la pompe
Une étiquette indique le sens de montage du filtre sur la pompe.
► Installer le filtre à poussières à l’aspiration de la pompe en respectant le sens de montage.
– Le côté où le clapet est visible est raccordé sur la pompe.
– L'autre côté est raccordé à l'installation à pomper.
9/20
Installation
4.2
Installation sur la pompe
PUMP
PUMP
IN
Exh.
Fig. 2:
Installation de l'IPF 25 sur pompe ACP 15
Procédure d'installation de IPF sur pompe ACP 15
Une étiquette indique le sens de montage du filtre sur la pompe.
1. Mettre un anneau de centrage avec joint et collier de serrage
2. Installer le filtre à poussières à l’aspiration de la pompe en respectant le sens de montage.
– Le côté où le clapet est visible est raccordé sur la pompe.
– L'autre côté est raccordé à l'installation à pomper.
PUMP
IN
PUMP
Exh.
Fig. 3:
Installation de l'IPF 25 sur pompe ACP 28
Procédure d'installation de IPF sur pompe ACP 28
Une étiquette indique le sens de montage du filtre sur la pompe.
1. Mettre un anneau de centrage avec joint et collier de serrage
2. Installer le filtre à poussières à l’aspiration de la pompe en respectant le sens de montage.
– Le côté où le clapet est visible est raccordé sur la pompe.
– L'autre côté est raccordé à l'installation à pomper.
10/20
Installation
PUMP
PUMP
IN
Exh.
Fig. 4:
Installation de l'IPF 25 sur pompe HiScroll 6
Procédure d'installation de IPF sur pompe HiScroll 6
Une étiquette indique le sens de montage du filtre sur la pompe.
1. Mettre un anneau de centrage avec joint et collier de serrage
2. Installer le filtre à poussières à l’aspiration de la pompe en respectant le sens de montage.
– Le côté où le clapet est visible est raccordé sur la pompe.
– L'autre côté est raccordé à l'installation à pomper.
11/20
Utilisation
5 Utilisation
Ne pas réutiliser un filtre à poussières IPF qui a été stocké durant une longue période (> 1 an).
Procéder à sa maintenance et remplacer l'élément filtrant avant de l'utiliser.
Mise en service
► Mettre en service la pompe.
Mise hors service
1. Arrêter la pompe.
2. Ramener la pompe à la pression atmosphérique et la laisser refroidir.
3. S’assurer que la canalisation d’échappement n’est pas sous pression.
Surveillance du bon fonctionnement du filtre
Une diminution notable de la vitesse de pompage est un signe d’encrassement de l’élément filtrant.
L’élément filtrant étant colmaté, il crée une perte de charge qui peut varier en fonction du degré de pollution.
► Remplacer l’élément filtrant lorsqu'il est saturé.
12/20
Maintenance
6 Maintenance
6.1
Consigne de sécurité pour la maintenance
DANGER
Risque d'empoisonnement par contact avec des substances toxiques et sous-produits générés par le procédé
La pompe à vide, les composants de la ligne de pompage, les fluides d'exploitation sont contaminés par des substances toxiques, corrosives, réactives ou radioactives liées au procédé. Tout contact avec les pièces contaminées ou les sous-produits générés par le procédé présente un risque
d’empoisonnement pour la santé.
► Porter un équipement de protection approprié lors de la déconnexion pour maintenance de la
pompe, ainsi que pour le remplissage ou la vidange du fluide d’exploitation.
► Bien aérer le local ou effectuer la maintenance sous hotte ventilée.
► Ne pas jeter les sous-produits/résidus au réseau usuel : faire appel à un organisme compétent
pour leur destruction si nécessaire.
► Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air (obturateurs livrés avec
le produit et disponibles en accessoires).
DANGER
Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe
Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonnement ou la mort. Aussi, avant de déconnecter la pompe, il convient d’éliminer un maximum de traces
résiduelles de gaz de procédés.
► Effectuer obligatoirement un balayage de l’équipement (installation de pompage) avec un
flux d'azote pendant 30 minutes : la pression et le débit d'azote doivent être identiques aux
valeurs programmées pour le procédé.
13/20
Maintenance
6.2
Démontage
14
12
13
11
10
9
8
7
6
5
3
2
1
1
2
3
5
6
7
8
Vis CHc M5 x 16
Rondelle
Corps inférieur
Joint torique NBR
Elément filtrant
Support clapet
Clapet
9
10
11
12
13
14
Rondelle
Ressort
Support ressort
Rondelle
Vis CHc M8 x 3
Corps supérieur
Remplacement de l'élément filtrant
L'IPF est déconnecté de la pompe.
Procéder au démontage de l'IPF sur un établi.
1. Retirer les 4 vis CHc M5 x 16.
– L’élément filtrant reste solidaire du corps inférieur.
2. Retirer le joint torique NBR du corps inférieur.
3. Dégager l’ensemble support de clapet du corps supérieur ou de l’élément filtrant.
4. Retirer les 2 vis CHc M8 x 3 en pressant manuellement sur le support ressort de l’IPF ceci afin
d’éviter la brusque détente du ressort pour dégager la rondelle et le clapet.
6.3
Nettoyage
Ne jamais nettoyer un élément filtrant !
Remplacer systématiquement l'élément filtrant par un neuf.
► Remplacer systématiquement les joints toriques par des joints toriques neufs.
Pompes références V6SHxxxxxx
Pompes livrées en huile minérale
1. Nettoyer les pièces avec un solvant, à base minérale, conforme à la législation en vigueur par
exemple du type AXAREL 1), CARECLEAN 2), PREMACLEAN 3), NAPHTESOL 4).
2. Nettoyer à froid ou à chaud (maxi 45 °C) par immersion ou à l’aide de chiffons non pelucheux.
3. Sécher sous vide en étuve ventilée.
1)
14/20
Marque déposée DUPONT DE NEMOURS
Maintenance
Pompes références V5xxxxxxxx et V6xxxxxxxx
Pompes livrées en huile synthétique (perfluorée)
1. Nettoyer les pièces avec un solvant type GALDEN S 90 5)
2. Nettoyer à froid par immersion ou à l’aide d’un chiffon non pelucheux.
3. Sécher les pièces à l’air libre ou avec de l’air comprimé.
Pompes HiScroll
► Voir le manuel de l'utilisateur de la pompe.
6.4
Mise au rebut
Protection de l'environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés. Prendre des précautions particulières pour :
● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températures
● les composants en contact avec les produits résultant de procédés qui ont pu être contaminés
● l'élément filtrant usagé ne doit pas être jeté au réseau usuel : faire appel à un organisme compétent pour sa destruction
2)
Marque déposée CASTROL
3)
Marque déposée DOW
4)
Marque déposée NIPPON OIL CORPORATION
5)
Marque déposée MONTEDISON
15/20
Maintenance
6.5
Remontage
15
14
12
13
11
10
9
8
7
6
5
4
3
2
1
1
2
3
5
6
7
8
Vis CHc M5 x 16
Rondelle
Corps inférieur
Joint torique NBR
Elément filtrant
Support clapet
Clapet
9
10
11
12
13
14
Rondelle
Ressort
Support ressort
Rondelle
Vis CHc M8 x 3
Corps supérieur
Remontage du filtre à poussières
1. Installer la rondelle sur un clapet neuf.
2. Installer le clapet équipé de la rondelle face plane de celui-ci en appui sur le support de clapet.
3. Positionner le ressort sur la rondelle, puis assembler le support ressort au support de clapet à l’aide des vis CHc M8 x 3 et rondelles en appuyant manuellement sur le support ressort.
4. Monter un joint torique NBR neuf dans le corps inférieur.
5. Installer l’élément filtrant neuf sur le centreur du corps inférieur.
6. Centrer le support de clapet équipé sur l’élément filtrant.
7. Installer le corps supérieur et assembler au moyen des vis CHc M5 x 16 et rondelles.
8. Serrer en croix au couple de 4 N·m.
9. Raccorder l'IPF sur l’aspiration de la pompe à l’aide des accessoires fournis.
16/20
Pièces de rechange
7 Pièces de rechange
15
14
12
13
11
10
9
8
7
6
5
4
3
2
1
Repère
Désignation
Matériau
1
Vis CHc M5 x 16
Acier
Quantité
4
-
2
Rondelle
Acier
4
-
3
Corps inférieur
Aluminum
1
-
4
Bouchon 1/8 + joint torique
Aluminium + NBR
1
-
5
Joint torique
Elastomère NBR 1)
1
083539 2)
6
Elément filtrant
Microfibres de verre + résine époxy
1
111650 2)
7
Support clapet
Aluminium
1
-
8
Clapet
Elastomère FPM
1
054196 2)
9
Rondelle
Acier inoxydable
1
-
10
Ressort
Acier
1
-
11
Support Ressort
Acier
1
-
12
Rondelle
Acier
2
-
13
Vis CHc M8 x 3
Acier
2
-
14
Corps supérieur
Aluminum
1
-
15
Voyant de niveau + joint
Polyamide + élastomère NBR 1)
1
-
1)
1)
Référence
1) Suivant norme NFT40-002
2) Pièces à remplacer à chaque maintenance
17/20
Caractéristiques techniques et dimensions
8 Caractéristiques techniques et dimensions
8.1
Caractéristiques techniques
IPF 25
8.2
Poids
1,2 kg
Raccordement
DN 25 ISO-KF
Taux de fuite max
1 · 10-6 hPa l/s
Pression de travail maximale
1013 hPa
Flux maximal traversant l’IPF 25
7600 hPa l/s
Conductance
10 l/s si pression aspiration 10-1 hPa
12,5 l/s si pression aspiration à 1 hPa
Grade de filtration
Elément filtrant d’origine constructeur.
Caractéristiques de piégeage de l’élément filtrant : 99,99 % des
particules de diamètre > à 25 microns.
Dimensions
Dimensions en mm
2 0 1 ,3
DN 25 ISO-KF
86 x 86
50
Exh.
IN
DN 25 ISO-KF
Ø 86
95 x 95
Fig. 5:
18/20
Dimensions IPF 25
1 2 ,8
2 5 ,3
3 1 ,5
41
1 4 4 ,3
7,5
Déclaration d'incorporation de
quasi-machines
Déclaration pour produit(s) du type :
Filtre à poussières
IPF 25
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 B)
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Ce produit ne doit pas être mis en service avant que la machine finale dans laquelle il doit
être incorporé, ait été déclarée conforme à la Directive machines 2006/42/EC.
Les soussignés s'engagent également à transmettre les informations pertinentes concernant
la (les) quasi-machines(s), en réponse à toute demande motivée de façon adéquate formulée par une autorité nationale.
Le responsable de la constitution du dossier technique est M. Rouveyre Frédéric, Pfeiffer Vacuum SAS, 98, avenue de Brogny B.P. 2069, 74009 Annecy cedex.
Signature:
Pfeiffer Vacuum SAS
98, avenue de Brogny
74009 Annecy cedex
France
B.P. 2069
Bertrand Seigeot
Directeur Groupe Produit Pompes
Pfeiffer Vacuum SAS
Annecy, le 2021/03/01
*111662*
Ed06 - Date 2021/07 - P/N:111662OFR
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