Pfeiffer RPT 010 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
RPT 010
Capteur de mesure de la pression intégrée
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau capteur a
été conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception
rigoureuse et son parfait fonctionnement. Le nom Pfeiffer Vacuum représente une technique
du vide de haute qualité, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de
grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique
étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une
implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse [email protected].
Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/34
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque déposée
5
5
5
5
5
6
6
6
6
6
7
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
2.7 Qualification personnelle
8
8
8
9
10
10
10
11
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.2 Affichage de l’état
3.3 Identification du produit
3.4 Fournitures
12
12
12
12
12
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
13
13
13
5
Installation
5.1 Raccordement du vide
5.1.1 Raccordement du capteur à HiPace
5.1.2 Raccordement du capteur à HiScroll
5.2 Raccordement électrique
5.2.1 Raccordement du capteur avec AccessLink
5.2.2 Raccordement du capteur avec TIC 010 au HiPace
5.2.3 Raccordement du capteur au HiScroll avec un adaptateur D-Sub
14
14
14
15
16
16
16
17
6
Fonctionnement
6.1 Évaluation des signaux de mesure
6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
18
18
18
7
Maintenance
7.1 Dépose des composants
7.2 Nettoyage des composants
7.3 Calibrage du capteur de pression
20
20
21
21
8
Expédition
23
9
Recyclage et mise au rebut
9.1 Informations générales sur la mise au rebut
9.2 Mise au rebut des capteurs
24
24
24
10
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
25
11
Pièces de rechange
27
3/34
Table des matières
12
4/34
Caractéristiques techniques et dimensions
12.1 Généralités
12.2 Fiche technique
12.3 Dimensions
28
28
28
29
Certification
30
Déclaration de conformité UE
31
Déclaration de Conformité UK
32
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l'utilisateur « Unité d’entraînement électronique » TC
(selon l’appareil utilisé)
Manuel de l’utilisateur de la « pompe turbomoléculaire » HiPace
(selon l’appareil utilisé)
Manuel de l'utilisateur de la « pompe Scroll » HiScroll
(selon l’appareil utilisé)
Déclaration de conformité
(composante de ces instructions)
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
Raccordement
PT R71 550
RPT 010, G1/8", câble de 0,5 m
AccessLink
PD 100 100 AT 1)
Tab. 2:
1.2
Variantes
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1)
Comprend un PT R71 550, deux pinces en plastique et deux vis à six pans creux
5/34
A propos de ce manuel
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
D-35614 Asslar
Mod. RPT 010
P/N
PT R71 xxx
S/N
xxxxxxxx
Input 5 V DC 0.25 W
Made in Liechtenstein 2023/06
1.3.4
6/34
Plaque signalétique
La plaque signalétique est située sur le
côté du capteur.
Abréviations
Abréviation
Explication
ATM
Atmosphère
c
Constante de conversion du signal de mesure et de la pression
C
Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air
HV
Vide élevé
LPS
Source de puissance limitée
MSL
Niveau moyen de la mer
OR
Plage dépassée vers le haut
A propos de ce manuel
Abréviation
Explication
[P:000]
Paramètre de l’unité de commande électronique avec numéro
p
Pression
PLC
Contrôleur logique programmable
WAF
Largeur sur pans
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe
turbomoléculaire)
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
UR
Plage dépassée vers le bas
Tab. 3:
1.4
Abréviations utilisées
Justificatif de marque déposée
● HiPace® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH.
● Molex® est une marque déposée de Molex Incorporated, Lisle, Illinois, USA.
7/34
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
8/34
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
9/34
Sécurité
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Valeur
Humidité relative de l’air
5 % – 85 %, sans condensation
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
Pression d’air
790 – 1 060 hPa
Altitude maximum de l’installation
2000 m
Degré de pollution
2
Degré de protection
IP40
Tab. 4:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
Le capteur est utilisé pour la mesure de la pression intégrée dans le HiPace Pfeiffer Vacuum ou le HiScroll dans la plage de pression totale admissible.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
1. Installez, utilisez et entretenez le capteur seulement dans les conditions prescrites dans ce manuel de l'utilisateur.
2. Utilisez le capteur seulement pour la mesure de pression d’air, de gaz inertes et de mélanges de
gaz en dehors de leurs limites d'explosion.
3. Raccordez le capteur au raccord correspondant.
4. Se conformer aux limites d’application.
5. Observer la fiche technique.
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
10/34
Sécurité
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation
● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● Utilisation en extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
2.7
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
11/34
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
Le capteur comporte deux systèmes de mesure :
● Système de mesure Pirani
● Système de mesure piézorésistif
Le capteur répond aux demandes de valeurs mesurées, demandes de types et commandes de réglage.
Les signaux sont évalués par l’intermédiaire de l’unité de commande électronique en utilisant un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou des unités externes (par ex. PLC ou PC).
3.2
Affichage de l’état
Les informations sur l’état de marche du capteur sont fournies via un appareil de commande Pfeiffer Vacuum.
Pour de plus amples informations, se reporter au manuel de l'utilisateur de l'appareil de commande
Pfeiffer Vacuum.
3.3
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.4
Fournitures
Pièces incluses dans la livraison :
● Capteur avec câble et connecteur
● Manuel de l’utilisateur
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
12/34
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transporter le produit en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
13/34
Installation
5 Installation
5.1
Raccordement du vide
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
AVIS
Endommagement du corps ou du raccordement des câbles
Toute application de forces incorrectes endommagera le capteur.
► N’appliquer aucune force sur le corps ou le raccordement des câbles.
Manuel de l'utilisateur de la pompe à Vide
Respectez les informations sur le raccordement dans le manuel de l’utilisateur de la pompe
à vide.
5.1.1
Raccordement du capteur à HiPace
Outils nécessaires
● Clé à fourche, WAF 19, ≤ 4 mm plate
● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 2,5)
Conditions préalables
● Pompe à vide mise hors circuit et à l’air
● Raccord de purge de gaz neutre ou raccord de vide primaire avec la pièce intermédiaire pour le
capteur sélectionné
● Conditions ambiantes appropriées
● Espace suffisant pour raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure admissible des câbles)
1
3
2
4
5
Fig. 1:
Exemple : Raccord du capteur à HiPace
1 Unité de commande électronique
2 Raccord de 1/8 pouce (ici : raccord de la purge de gaz neutre)
3 Capteur
14/34
4
5
Câble de capteur
Partie inférieure de la pompe
Installation
Procédure
1. Retirez le capuchon de protection du capteur et rangez-le dans un endroit sûr.
2. Retirez la vis d'arrêt du raccord désiré de la pompe turbomoléculaire.
3. Installez le capteur du côté vide sur le raccord G 1/8" de pouce de la pompe turbomoléculaire.
– Couple de serrage : 3 Nm max.
5.1.2
Raccordement du capteur à HiScroll
Outils nécessaires
●
●
●
●
Clé à fourche, WAF 19, ≤ 4 mm plate
Clé hexagonale, WAF 3
Clé hexagonale, WAF 4
Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 2,5)
Conditions préalables
●
●
●
●
Pompe à vide mise hors circuit et à l’air
Conditions ambiantes appropriées
Espace suffisant pour raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure admissible des câbles)
Capot de ventilateur du HiScroll retiré selon le manuel de l'utilisateur
1
2
3
4
5
7
Fig. 2:
1
2
3
4
6
Exemple : Raccordement du capteur à HiScroll
Corps spiralé
Raccordement de capteur de pression
Capteur
Câble de capteur
5
6
7
Étriers en plastique et vis à six pans creux intérieures
Raccords d'accessoires AccessLink
Raccordement « Remote »
Procédure
1. Retirez le capuchon de protection du capteur et rangez-le dans un endroit sûr.
2. Retirez la vis d'arrêt du raccord du capteur de pression du HiScroll.
3. Installez le capteur du côté vide du raccord du capteur de pression du HiScroll.
4. Serrez le capteur sur la douille hexagonale (WAF 19) sur le HiScroll.
– Couple de serrage : 2,5 Nm max.
5. Faites passer le câble du capteur sur le corps spiralé.
6. Fixez le câble du capteur sur le corps spiralé au moyen de deux étriers de fixation en plastique et
des vis à six pans creux intérieures.
– Couple de serrage : 1,25 Nm max.
15/34
Installation
5.2
Raccordement électrique
AVIS
Dommages matériels sur l'électronique ou le capteur
Le débranchement du connecteur mâle-femelle lorsque la tension d’alimentation est appliquée, peut
entraîner la destruction des composants électroniques.
► Mettez toujours hors tension avant de brancher ou de débrancher le câble de raccordement du
capteur.
5.2.1
Raccordement du capteur avec AccessLink
Manuel de l'utilisateur de la pompe à Vide
Respectez les informations sur le raccordement dans le manuel de l’utilisateur de la pompe
à vide.
Condition préalable
● Tous les raccords sont hors tension électrique
5
3
4
Fig. 3:
1
2
Raccord AccessLink (micro USB, type B)
1 + 5 V (bleu)
2 Capteur RxD / TxD hôte (blanc)
3 Capteur TxD / RxD hôte (vert)
4
5
Non raccordé (rouge)
GND (noir)
Procédure
1. Raccordez le câble à un AccessLink libre de la pompe à vide.
2. Effectuez les réglages et la commande par les interfaces de l’unité de commande électronique.
5.2.2
Raccordement du capteur avec TIC 010 au HiPace
Manuel de l'utilisateur de l’unité de commande électronique
Respectez les informations sur le raccordement dans le manuel de l’utilisateur de l’unité
d’entraînement électronique.
Instructions d'assemblage pour le TIC 010
Respectez les informations sur l'assemblage dans les instructions d'assemblage pour le
TIC 010.
Les contacts enfichables de l’adaptateur TIC 010 sont numérotés sur sa platine et correspondent aux
paramètres et valeurs de sortie par la suite. Vous pouvez sélectionner la borne femelle comme désiré.
16/34
Unité de commande électronique
Version du micrologiciel (ou postérieure)
TC 110
012500
TC 120
010300
TC 400
012400
TC 1200
012400
TM 700
010600
Tab. 5:
Unités de commande électronique et versions de micrologiciel requises
Installation
Conditions préalables
● Les versions de micrologiciels requises pour l'unité de commande électronique sont disponibles
● Tous les raccords sont hors tension électrique
Accessoires nécessaires
● TIC 010, adaptateur pour deux capteurs
Procédure
1. Connectez le câble au TIC 010 au raccord « Pv.can » de l’unité de commande électronique.
2. Effectuez les réglages et la commande par les interfaces de l’unité de commande électronique.
5.2.3
Raccordement du capteur au HiScroll avec un adaptateur D-Sub
1
2
DI
n.c.
DI2
DI
DI
24 V DC* (V+)
2
3
4
5
6
7
2
3
4
5
6
7
2
3
4
5
6
7
n.c. 10
n.c. 11
DO1 8
DO2 9
RPT DaO 12
10
11
8
9
12
10
11
8
9
RS 485 D+ 13
RS 485 D- 14
13
14
13
14
15
15
15
1
1
RPT DaI
FE
Fig. 4:
Schéma de raccordement de l’adaptateur D-Sub
1 Pompe à vide
2
Adaptateur D-Sub
L'adaptateur D-Sub du capteur guide les contacts 2 à 11 et 13 à 15 de l'interface à distance vers la
prise D-Sub à l'arrière, fournissant l'alimentation en tension de 5 V DC pour le capteur RPT et les contacts de guidage RPT DaO et RPT Dal pour la communication vers le capteur.
Condition préalable
● Tous les raccords sont hors tension électrique
Procédure
1. Raccordez le câble au raccord « remote » de l’unité de commande électronique.
2. Effectuez les réglages et la commande par les interfaces de l’unité de commande électronique.
17/34
Fonctionnement
6 Fonctionnement
L'unité de capteurs connectés est prête à fonctionner dès la mise sous tension de l'unité de commande
électronique.
La pression mesurée dans la plage Pirani dépend du type de gaz.
Recommandations
► Observez une période de stabilisation de 5 à 10 minutes.
► Notez la relation entre le signal de mesure et la pression.
6.1
Évaluation des signaux de mesure
Évaluation des signaux par l’intermédiaire des interfaces de sorties
Les interfaces de sortie de l’unité de commande électronique avec le protocole Pfeiffer Vacuum applicable et le paramètre Pfeiffer Vacuum réglé sont utilisés pour faire fonctionner
les dispositifs d’accessoires connectés sur une pompe à vide Pfeiffer Vacuum.
Voir les manuels de l'utilisateur pour les unités de commande électronique utilisées.
6.2
Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
Le signal de mesure du capteur de pression dépend du type de gaz dans la gamme Pirani. Le facteur
de correction pré-réglé = 1 s’applique à l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone
(CO).
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2)
1,0
Hydrogène (H2)
0,5
Dioxyde de carbone (CO2)
0,9
Vapeur d’eau
0,5
Hélium (He)
0,8
Néon (Ne)
1,4
Argon (Ar)
1,7
Krypton (Kr)
2,4
Xénon (Xe)
3,0
Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12)
0,7
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 6:
18/34
Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa
Fonctionnement
p [hPa]
102
H2
8
6
He
Ne
Air
O2
CO
N2
4
2
CO2
101
Ar
8
6
Freon 12
Kr
4
2
Xe
100
8
6
4
2
10–1
8
6
4
2
Water vapor
10–2
8
6
4
2
10–3
10–3 2
4
6
10–2 2
4
6
10–1 2
4
6
100
2
4
6
101
2
4
6
102
peff [hPa]
Fig. 5:
Pression affichée
Dans le domaine de pression < 1 hPa, l’affichage est linéaire.
Réglage du facteur de correction sur l’unité de commande électronique
► Utilisez [P:742] pour entrer le facteur de correction et la valeur mesurée affichée correcte.
Alternativement : Calcul de la pression de gaz autres que l’air
1. Réglez le facteur de correction dans l’unité de commande électronique sur 1
2. Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
Peff = C × p
● Peff = Pression efficace
● C = facteur de correction du gaz à mesurer
● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air)
19/34
Maintenance
7 Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
D'autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du
point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage
ou un nettoyage.
7.1
Dépose des composants
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
20/34
Maintenance
Conditions préalables
● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique
● Tension d’alimentation désactivée
Retrait du capteur
1. Débranchez le câble du capteur de l’unité de commande électronique connectée.
2. Retirez le capteur de la pompe à vide.
3. Placez l’obturateur de protection sur la bride connexion.
7.2
Nettoyage des composants
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d’humidité
La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité.
► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau.
► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Produits consommables requis
● Alcool industriel
● Chiffon (doux, non pelucheux)
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
7.3
Calibrage du capteur de pression
Pfeiffer Vacuum a calibré le capteur de pression à l’usine.
21/34
Maintenance
Accessoires requis
● Manomètre à vide pour la mesure de référence sur le système de vide
● Unité de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum ou PC
Calibrer le HV
1. Utilisez le système de vide à la pression limite.
2. Observez une période de stabilisation de 10 minutes minimum.
3. Lisez la valeur de pression réelle de la mesure de référence.
4. Utilisez [P:740] pour régler la valeur de pression réelle sur la valeur indicative.
5. Entrez « 000000 » pour p ≤ 1 × 10-4 hPa.
Calibrer le ATM
1. Mettez à l'air le système de vide à la pression atmosphérique.
2. Observez une période de stabilisation de 10 minutes minimum.
3. Utilisez [P:740] pour régler précisément la valeur de pression réelle sur la valeur quotidienne.
22/34
Expédition
8 Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
23/34
Recyclage et mise au rebut
9 Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
9.2
Mise au rebut des capteurs
Les capteurs Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux qui doivent être recyclés.
1. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
2. Séparez les composants en matériaux recyclables.
3. Recyclez les composants non contaminés.
4. Éliminez le produit ou les composants sûrement en conformité avec toutes les directives applicables.
24/34
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
10
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
25/34
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
26/34
Pièces de rechange
11
Pièces de rechange
Commande de pièces de rechange
► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la
plaque signalétique.
► Installez uniquement des pièces détachées d'origine.
Description
Numéro de commande
Joint annulaire U 10,4/16 x 2
P 3529 133 -P
Tab. 7:
Pièces de rechange
27/34
Caractéristiques techniques et dimensions
12
Caractéristiques techniques et dimensions
12.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 8:
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
3
atm cm /s
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
Torr l/s
Tab. 9:
750
-3
-3
-2
1,27 · 10
1.67 · 10-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
12.2 Fiche technique
Numéro de commande
PT R71 100
PT R71 550
PD 100 100 -T
PD 100 100 AT
Champ de sélection
RPT 010, sonde
numérique Piezo/
Pirani
RPT 010, sonde
numérique Piezo/Pirani
RPT 010, sonde
numérique Piezo/
Pirani
RPT 010, sonde
numérique Piezo/
Pirani
interface : raccordement, côté appareil
Câble avec connecteur Molex
pour TIC 010
Câble avec (connecteur micro
USB)
Câble avec connecteur de l'adaptateur D-Sub, 15
broches, mêle/
femelle
Câble avec (connecteur micro
USB)
Bride de raccordement (entrée)
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
Méthode de mesure
Piezo, Pirani
Piezo, Pirani
Piezo, Pirani
Piezo, Pirani
Gamme de mesure
5E-4 –
1,2E3 hPa
5E-4 –
1,2E3 hPa
5E-4 – 1,2E3 hPa
5E-4 –
1,2E3 hPa
Pression max.
2000 hPa
2000 hPa
2000 hPa
2000 hPa
± 1,25 %
± 1,25 %
± 1,25 %
± 1,25 %
Cycle de mesure
100 ms
100 ms
100 ms
100 ms
Tensions d’entrée
5 V CC
5 V CC
5 V CC
5 V CC (±5 %)
Tension d'entrée :
tolérance
±5 %
±5 %
±5 %
±5 %
Messgenauigkeit im
Bereich 1
Genauigkeit (Full
Scale): 100 – 1200
hPa
Wiederholbarkeit im
Bereich 1
Wiederholbarkeit im
Bereich 2
28/34
Caractéristiques techniques et dimensions
Numéro de commande
PT R71 100
PT R71 550
PD 100 100 -T
PD 100 100 AT
Puissance absorbée maximale
0,25 W
0,25 W
0,25 W
0,25 W
Messkabellänge
1m
0,5 m
0,5 m
0,5 m
Température ambiante
5 – 60 °C
5 – 60 °C
5 – 60 °C
5 – 60 °C
Température : stockage
-40 – 70 °C
-40 – 70 °C
-40 – 70 °C
-40 – 70 °C
Matériaux en contact avec le fluide
Céramique, Acier
inoxydable,
Tungstène, Nickel, Oxyde de silicium, Verre,
Araldite, Soudage
Céramique, Acier
inoxydable,
Tungstène, Nickel, Oxyde de silicium, Verre,
Araldite, Soudage
Céramique, Acier
inoxydable,
Tungstène, Nickel, Oxyde de silicium, Verre, Araldite, Soudage
Céramique, Acier
inoxydable,
Tungstène, Nickel, Oxyde de silicium, Verre,
Araldite, Soudage
Volume
0,4 cm³
0,4 cm³
0,4 cm³
0,4 cm³
Poids
92 g
92 g
0,13 kg
90 g
Humidité relative de
l'air
5 % – 85 %, sans
condensation
5 % – 85 %,
sans condensation
5 % – 85 %, sans
condensation
5 % – 85 %, sans
condensation
Orientation de montage
Arbitraire
Arbitraire
Arbitraire
Arbitraire
Umgebungsdruck
790 – 1 060 hPa
790 – 1 060 hPa
790 – 1 060 hPa
790 – 1 060 hPa
Altitude de mise en
place
2000 m
2000 m
2000 m
2000 m
Degré de pollution
2
2
2
2
Type de protection
IP40
IP40
IP20
IP40
Usage
Tab. 10:
Dimensions
28
5
9
Ø 30.7
13
SW 19
G 1/8”
41
5.2
12.3
Fiche technique, RPT 010
513
Fig. 6:
Dimensions avec connecteur AccessLink
Dimensions en mm
29/34
The product RPT 010 with AccessLink connector
- conforms to the UL standard
UL 61010-1:2012.
- is certified to the CAN/CSA standard
CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12.
Déclaration de conformité UE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Capteur Piezo/Pirani
RPT 010
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN 61326-1:2013, groupe 1, classe B
DIN EN IEC 63000 : 2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-04-12
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Capteur Piezo/Pirani
RPT 010
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-04-12
33/34
*PT0490*
ed. D - Date 2405 - P/N:PT0490BFR
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