Pfeiffer HiCube Classic Mode d'emploi

Traduction du manuel de l‘utilisateur
PT 0264 BFR/D (1312)
HiCube Classic
Groupe de pompage turbo
Manuel de l‘utilisateur
FR
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1
1.2
2
Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1
2.2
2.3
2.4
3
Manutention . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Description du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.1
4.2
4.3
5
Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Equipement de protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Conformité d’utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Non conformité d’utilisation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Manutention et stockage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3.1
3.2
4
Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Fonction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Domaine d'application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.1 Mise en place . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.2 Travaux préparatoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.3 Mise à la terre . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.4 Ancrage du groupe de pompage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.5 Raccordement du côté vide élevé. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.6 Raccordement du côté échappement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.7 Raccordement externe de la pompe turbo . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.8 Sécurité de transport. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.9 Remplissage avec le fluide d'exploitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.10 Raccordement des accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.11 Branchement au secteur. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6
Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.1
6.2
6.3
6.4
6.5
6.6
6.7
7
Entretien / Remplacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
7.1
7.2
7.3
8
Intervalles de maintenance et compétences. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Démontage des composants en vue de leur maintenance . . . . . . . . . . . . 26
Changer le fluide d'exploitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Mise hors service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
8.1
8.2
8.3
Immobilisation prolongée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Remise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Mise au rebut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
9
Dysfonctionnements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
10
Service après-vente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
11
Pièces de rechange . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
9.1
2
Mise en service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Modes d’exploitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Description fonctionelle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Économies d'énergie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Exploitation avec vanne à lest d'air. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Fonctionnement avec soupape primaire à vide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Arrêt et remise à l’air. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Dépannage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Table des matières
12
Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
13
Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
13.1 Généralités . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
13.2 HiCube 80 Classic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
13.3 HiCube 300 Classic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
13.4 HiCube 400 Classic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
13.5 HiCube 700 Classic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
14
Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
3
A propos de ce manuel
1
A propos de ce manuel
1.1
Validité
Ce manuel de l’utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le
fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les
informations fournies dans ce manuel de l’utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a
pas apporté de modifications au produit.
Les manuels de l’utilisateur actuels sont également disponibles sur Internet sur
www.pfeiffer-vacuum.com.
Documents applicables
1.2
HiCube Classic
Manuel de l’utilisateur
Déclaration du conformité
Manuel de l’utilisateur des composants
*également disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com
fournies avec cette manuel
regardez déscription du produit
Conventions
Consignes de sécurité
Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum sont le résultat
d'évaluations et d'analyses de risques et sont inspirées des normes de certification UL,
CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO 3864 et DIN 4844. Le présent document détaille les
niveaux de danger et informations suivants :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant la mort ou des blessures graves.
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner la mort ou des blessures graves.
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent pouvant entraîner des blessures légères.
AVIS
Injonction ou indication
Invitation à procéder à une action ou information au sujet de points dont le non-respect
peut conduire à la détérioration du produit.
4
A propos de ce manuel
Pictogrammes
Interdiction d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de
cette interdiction peut générer des accidents graves
Avertissement contre le danger représenté par le symbole.
Obligation d'action pour éviter tout risque d'accident. Le non respect de
cette obligation peut générer des accidents graves.
Informations importantes concernant le produit ou le présent document
Instruction dans le
texte
 Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cet endroit.
Abréviations utilisées
DCU :
Display Control Unit
HPU :
Handheld Programming Unit
TC :
Commande électronique d'entraînement de la pompe turbo
TPS :
Bloc d'alimentation
Symboles utilisés
Les symboles suivants sont utilisés de façon récurrente dans toutes les illustrations :
Bride de vide élevé
Raccord de vide primaire
Raccordement électrique
Refroidissement par air
Raccordement de remise à l'air
Raccord de gaz de balayage
Raccord d’échappement
5
Sécurité
2
Sécurité
2.1
Consignes de sécurité
Obligation d'information
Toute personne intervenant dans l'installation, l'exploitation ou l'entretien du groupe de
pompage doit lire et respecter les passages relatifs à la sécurité de ce manuel de l’utilisateur et des instructions concernant les composants individuels.
 L'exploitant est tenu d'attirer l'attention de tout opérateur sur les risques inhérents à
la pompe à vide, au fluide pompé ou à l'installation dans son ensemble.
AVIS
Vérification du système de sécurité contre les survitesses
Afin d'assurer le fonctionnement du système de sécurité intégré contre les survitesses,
la pompe doit être totalement redémarrée au moins une fois par an.
 Désactivez la pompe et attendez l'arrêt complet (vitesse de rotation = 0 Hz).
 Mettez la pompe en marche conformément au manuel de l’utilisateur.
AVERTISSEMENT
Risque d’installation électrique dangereuse
Le fonctionnement correct après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant.
 Ne procédez à aucune transformation ou modification de l'appareil de votre propre
initiative.
 Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité.
 Consultez Pfeiffer Vacuum si vous avez des exigences spéciales.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution
En cas de défaut, les pièces reliées au secteur peuvent se trouver sous tension.
 Veillez à ce que le raccordement au secteur soit toujours librement accessible pour
pouvoir défaire le branchement à tout moment.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution
Le groupe de pompage n'est libre de tension que lorsque le connecteur de réseau est
débranché.
 Avant tous travaux, désactivez l'interrupteur principal et débranchez le connecteur de
réseau.
 Sécurisez contre le réenclenchement non intentionnel.
● N'exposez aucune partie du corps au vide.
● Respectez toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des accidents.
● Vérifiez régulièrement que toutes les mesures de précaution sont respectées.
● Une jonction sûre avec le fil de terre (PE) doit toujours être assurée (classe de
protection I).
● Pendant le service, ne défaites pas les jonctions par connecteurs.
● Avant d'effectuer tous travaux sur la bride de vide poussé, attendez que le rotor se
soit immobilisé.
● Les conduites et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces
chaudes (> 70 °C).
● Ne remplissez et ne faites jamais marcher la pompe turbo avec des détergents.
● N'utilisez jamais la pompe turbo avec la bride de vide élevé ouverte.
● Ne soumettez la pompe à aucune conversion ou modification arbitraire.
6
Sécurité
● L'appareil présente le type de protection IP 20. En cas d'incorporation dans des environnements exigeant d'autres types de protection, il faudra prendre des mesures correspondantes.
7
Sécurité
2.2
Equipement de protection
Dans certaines situations, la manipulation de pompes à vide nécessite le port d'un équipement de protection individuel. Les exploitants ou les employeurs se doivent de mettre
à disposition du personnel opérateur un équipement approprié.
DANGER
Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques lors des travaux de maintenance ou d'installation
Les pompes à vide, les composants et les fluides d'exploitation peuvent être contaminés, en fonction du processus, par des substances toxiques, réactives ou radioactives.
 Porter un équipement de protection approprié lors des travaux de maintenance et de
réparation ou lors de la réinstallation des pompes.
AVERTISSEMENT
kg
Risque de blessures dues à des chutes d'objets
Lors du transport manuel des pompes à vide, il existe un risque de blessures dû aux
chutes et glissements de poids.
 Transporter à deux mains des pompes à vide petites et moyennes.
 Transporter avec un engin de levage approprié les pompes à vide d'un poids > 20 kg.
 Porter des chaussures de sécurité avec protection des orteils conformément à la norme EN 347.
ATTENTION
Risque de blessures au contact de surfaces brûlantes
Les pompes à vide sont brûlantes en fonctionnement.
 Laisser refroidir la pompe avant d'effectuer des travaux de maintenance et de réparation.
 Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420.
ATTENTION
Risque de blessures dues à des arêtes vives
Les arêtes des disques du rotor et du stator des pompes turbo sont très tranchantes.
 Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'effectuer tous les travaux.
 Ne pas accéder à la bride de vide élevé.
 Le cas échéant, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420.
2.3
Conformité d’utilisation
AVIS
Conformité CE
La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d'origine a été modifié par
l'exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires !
 Après incorporation dans une installation, l'exploitant s'oblige, avant la mise en service, à vérifier la conformité de l'ensemble du système dans l'esprit des directives UE
en vigueur, et de la réévaluer en conséquence.
● N'utilisez le groupe de pompage que pour la génération de vide.
● N'utilisez le groupe de pompage qu'en tant qu'entité.
● N'utilisez le groupe de pompage que pour l'aspiration de gaz secs et inertes ; les
autres applications ne sont autorisées qu'avec l'accord de Pfeiffer Vacuum.
8
Sécurité
2.4
Non conformité d’utilisation
En cas d'usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté.
Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui différent de celles précitées,
dont notamment :
● le pompage de fluides corrosifs ou explosifs
● le pompage de vapeurs condensables
● le pompage de liquides
● le pompage de poussières
● une utilisation avec débit de gaz élevé non admissible
● une utilisation sous une pression de vide primaire élevée non admissible
● une utilisation avec apport, par rayonnement, d'une puissance thermique excessive
● une utilisation dans des champs magnétiques non admissibles
● une utilisation avec le mauvais mode Gaz
● une remise à l'air avec des débits élevés non admissible
● l’exploitation de la pompe à vide pour générer de la pression
● une utilisation d'appareils dans des domaines concernés par les rayonnements ionisants
● l’exploitation dans des zones à risque d'explosion
● une mise en œuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à
des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques
● l'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui n'ont pas été désignés dans ce
manuel
warranty seal
Sceau de fermeture
Le corps de produit est scellé en usine. Tout endommagement ou desceller d’un sceau
de fermeture conduit à la perte de la garantie.
 N'ouvrez pas le produit durant le temps de garantie !
 Si le procédé engendre des intervalles d'entretien plus courts, informez le service après-vente Pfeiffer Vacuum.
9
Manutention et stockage
3
Manutention et stockage
3.1
Manutention
AVERTISSEMENT
Danger lié à la chute de charges et aux charges en suspension !
Il existe un risque de chute de certains éléments lors du levage du groupe de pompage.
 Fixer un dispositif de levage pour le transport seulement aux vis à œillets fournies sur
la bride à vide poussé de la turbopompe.
 Empêcher toute personne de se tenir sous des charges en cours de levage.
 Soulever le groupe de pompage seulement à la main au niveau des poignées de
transport.
ATTENTION
Risque de blessure dû à un basculement ou un roulement du groupe de pompage.
Des structures du client peuvent décaler le centre de gravité du groupe de pompage et
il existe donc un risque de basculement. Sur des pans inclinés, il existe un risque basculement et de blessure par écrasement sur des groupes de pompage qui peuvent rouler.
 Ne pas transporter ou déplacer le groupe de pompage avec de telles structures.
 Ne pas transporter ou poser le groupe de pompage sur des pans inclinés (par exemple des rampes avec une pente > 5° (environ 8,7%)
60° max
 Transportez toujours le groupe de pompage à la verticale et plain autant que possible.
 Conservez les couvercles de protection original.
Sécurité de transport
La pompe primaire dans le groupe de pompage HiCube Classic est protégée contre les
dommages pendant le transport (regardez à la p. 18, chap. 5.8) .
 Respectez les consignes d'installation sur le lieu d'implantation !
 Avant la mise en service, desserrez la sécurité de transport de la pompe primaire sur
le lieu d'implantation.
3.2
Stockage
 Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine.
 Obturez les autres orifices avec les couvercles de protection correspondants.
 Ne stockez le groupe de pompage que dans des locaux fermés, à une température
comprise entre -10 et +40 °C.
10
Manutention et stockage
 Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive : enfermez le groupe de pompage
dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de
produit de dessiccation.
11
Description du produit
4
Description du produit
HiPace 400
HiPace 700
MVP 070
HiPace 300
DCU
DUO 3
HiPace 80
TPS
DUO 5 M
MVP 040
Désignation
Bride pour vide élevé
Pompe turbo
HiCube Classic
DN 40 / DN 63
HiPace 80
DN 100
Manuel de l’utilisateur
DN 160
HiPace 300
HiPace 400
HiPace 700
Commande électronique d'entraînement
TC 110
TC 400
TC 400
TC 400
Oui
Oui
Oui
Oui
MVP 040
MVP 040
MVP 040
MVP 040
MVP 070
MVP 070
MVP 070
MVP 070
Pompe primaire : pompe rotative
DUO 3
DUO 3
DUO 3
DUO 3
à palettes
DUO 5 M
DUO 5 M
DUO 5 M
DUO 5 M
Chauffage du carter
En option, unique- En option, unique- En option, unique- En option, unique(refroidissement par eau néces- ment avec bride CF ment avec bride CF ment avec bride CF ment avec bride CF
saire)
Appareil d'affichage et de comDCU 002
DCU 002
DCU 002
DCU 002
mande
Alimentation électrique pour DCU
TPS 110
TPS 310
TPS 400
TPS 400
002
Vanne de remise à l'air
Pompe primaire : Pompe à membrane
Fig. 1:
12
Sélection de pompes turbo et pompes primaires pour HiCube Classic
PT 0208 BN
PT 0200 BN
PT 0209 BN
PT 0210 BN
PT 0204 BN
PT 0203 BN
PT 0228 BN
PU 0050 BN
PU 0050 BN
PD 0060 BN
PK 0197 BN
PT 0233 BN
PT 0250 BN
PT 0199 BN
Description du produit
4.1
Identification du produit
Caractéristiques du
produit
Pour identifier le produit de manière sûre lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la plaque
signalétique.
D-35614 Asslar
Mod.:
HiCube Classic
Mod.-No.:
PM S28 250 00
Ser. No.:
115 - 230 V, 50/60 Hz
Wiring diagram PM 061
T4 AH
Mass: 28 kg
Made in Germany 2008/09
Fig. 2:
Contenu de la livraison
4.2
Exemple de plaque signalétique
● HiCube Classic
● Uniquement avec une pompe primaire de type pompe rotative à palettes : fluide d'exploitation et tuyau de remplissage
● Câble secteur
● Câble de terre, 3 m (incl. éléments de fixation)
● Couvercles de protection pour les brides de vide élevé
● Manuels de l’utilisateur pour le groupe de pompage et les composants individuels
● Anneaux à vis
Fonction
Les groupes de pompage turbo sont des unités de pompe entièrement automatiques livrées prêtes à monter. Une groupe de pompage se compose d'une unité de pompe à
vide portable ou mobile accompagnée d'une pompe turbo et d'une pompe primaire spécialement adaptée.
L'appareil d'affichage et de commande DCU permet de commander et de surveiller le
groupe de pompage.
15
84
127
106
159
Fig. 3:
Vue HiCube Classic
15
Pompe turbo HiPace
84
Poignée de transport
106 Crochet de sécurité
127 Appareil d'affichage et de commande DCU 002
159 Rouleaux de transport (en option)
Commande
Commande électronique d'entraînement de la pompe turbo
Refroidissement
● Refroidissement par air
● Refroidissement à eau (optionnel)
13
Description du produit
En cas de surchauffe, la commande électronique réduit automatiquement la puissance
absorbée.
4.3
Domaine d'application
Le groupe de pompage HiCube Classic doit être installée et utilisée dans les conditions
ambiantes suivantes.
Lieu de mise en place
Type de protection admissible
Classification des protections
Température
Humidité relative
Pression de l’air :
Hauteur d'implantation :
Degré d'encrassement
Catégorie de surtension
Tension de raccordement de la TC
Valeurs limites pour
à l'abri des intempéries (dans des locaux)
IP 20
I
de +5 °C à +40 °C (à +35 °C avec refroidissement à l’air)
80% max. avec T ≤ 31 °C, à 50% max. avec T ≤ 40 °C
750 hPa - 1060 hPa
2000 m maxi.
2
II
24 ou 48 V CC ±5%
HiPace 80
Champ magnétique maxi. admis- 3,3 mT
sible
Puissance calorifique rayon3W
nante admissible
HiPace 300
HiPace 400
HiPace 700
5,5 mT
6 mT
6 mT
8W
14 W
14 W
Remarques relatives aux conditions ambiantes
Les températures ambiantes autorisées indiquées sont applicables au fonctionnement
de la pompe turbo à la pression de vide primaire maximale autorisée ou au débit de gaz
maximal autorisé, en fonction du type de refroidissement. La pompe turbo est à sécurité
intrinsèque grâce à une surveillance redondante de la température.
● Si la pression de vide primaire ou le débit de gaz est réduit, la pompe turbo peut également être utilisée à des températures ambiantes superieures.
● En cas de dépassement de la température de fonctionnement maximale autorisée de
la pompe turbo, cette dernière réduit d’abord la puissance d’entraînement et se met
ensuite hors circuit si nécessaire.
14
Installation
5
Installation
H
125.1
125.2
127.3
3.1
M
167.1
25.6
3.1
175.1
F
Raccordement de remise à l’air externe (en option)
25.6 Raccord d'échappement
125.1 Interrupteur principal
125.2 Branchement secteur
127.3 Exécution câble de mesure
166 Raccord pour eau de refroidissement
167.1 Raccord pour tube sécheur
175.1 Raccord pour gaz de balayage (en
option)
167.1
G
166
Fig. 4:
5.1
HiCube Classic, raccordements
Mise en place
Il faudra choisir le lieu d'implantation de telle sorte que les composants visés par la maintenance soient accessibles en permanence. La mise en place ne demande pas de fondations particulières. L'utilisation de l'installation en plein air n'est pas permise. Conditions préalables :
● les conditions ambiantes indiquées pour le domaine d’application
● Surface plane, sans vibrations.
● Distance par rapport aux limitations sur les côtés ou aux appareils environnants : min.
50 cm.
● Distance par rapport aux bords de la table (éventuellement) : min. 10 cm.
● En cas d'utilisation du chauffage du carter et du refroidissement à l'eau, la température au niveau de la bride de raccordement de l'enceinte à vide ne doit pas dépasser
120 °C.
● Il est interdite installer les dispositifs dans des installations qui soumettent la pompe
à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques.
Démonter les tôles du
carter
5.2
Pour certaines opérations d’installation, il faut au préalable démonter les tôles latérales.
 Pour cela respecter les instructions du chapitre « Entretien » (regardez à la p. 26,
chap. 7.2) .
Travaux préparatoires
 Assurez-vous que le dispositif destiné à refroidir le groupe de pompage est suffisant.
 En présence de champs magnétiques environnants supérieurs au maximum admis,
utilisez un blindage approprié. Vérifiez le lieu de mise en place et concertez-vous le
cas échéant avec Pfeiffer Vacuum !
 La température maximale admissible du rotor de la pompe turbo est de 90 °C. Si le
procédé engendre des températures élevées, la puissance calorifique rayonnée ne
doit pas dépasser les valeurs admissibles. Le cas échéant, installer des tôles de protection appropriées (renseignements sur demande).
15
Installation
5.3
Mise à la terre
AVIS
Risque de manque de mise à la terre de l'enceinte
Pour pouvoir respecter la hauteur de courant de fuite exigée dans la norme DIN EN
61010-1:2010, mettre en œuvre les mesures suivantes :
 Avant raccordement sur secteur, reliez le câble de terre (contenu de la livraison) du
groupe de pompage à un point de mise à la terre (PE) du site.
M4
5.4
Ancrage du groupe de pompage
En cas de blocage soudain du rotor de la pompe turbo, les couples engendrés doivent
être repris à travers le châssis du groupe de pompage par la fixation à la charge du client.
Un ancrage du groupe de pompage est absolument nécessaire pour sécuriser le groupe
ainsi que le système de vide. À cet effet, 4 crochets de fixation sont prévus aux angles
inférieurs du châssis du groupe de pompage.
4x !
106
159
Fig. 5:
Ancrage du groupe de pompage
106 Crochet de fixation
159 Roulette de transport
 Bloquer toutes les roulettes avec frein du groupe de pompage.
 Attachez le groupe de pompage en plaçant des sangles de serrage sur tous les 4 crochets de fixation.
– Veillez à mettre en place et à tendre correctement la sangle ; la boucle de la sangle
doit se trouver dans le creux du crochet de fixation.
– Arrimez solidement les sangles de serrage (à la charge du client) de manière à
pouvoir reprendre des charges allant jusqu'à 2000 N par point de fixation.
16
Installation
5.5
Raccordement du côté vide élevé
Le montage d'extensions sur le groupe de pompage turbo HiCube Classic relève du domaine de responsabilité de l'exploitant. La capacité de charge de la bride de vide élevé
est spécifique à la pompe turbo utilisée. Le poids total des extensions montées sur le
groupe de pompage turbo HiCube Classic ne doit pas 100 kg.
 Attention au déplacement du centre de gravité dû à des extensions élevées ou à déchargement latérale (par ex. : enceinte à vide). Risque de renversement !
 Installez la bride de vide élevé conformément aux instructions fournies dans le manuel de l’utilisateur de la pompe turbo.
 Lors du montage toutes les pièces soumises à un vide élevé, travaillez au plus haut
niveau de propreté possible. Les composants sales augmentent le temps de pompage.
 Tenez compte de la résistance minimale de 170 N/mm2 du matériel de bridage.
5.6
Raccordement du côté échappement
ATTENTION
Pression élevée dans la conduite d'échappement !
Risque d'endommager les joints et risque que la pompe n'éclate.
 Côté échappement, posez la conduite sans lui incorporer d'organes de fermeture.
 N'exploitez pas la pompe avec une surpression à l'admission : tenez comptes des
pressions et différences de pression maximales admissibles.
 Préparez la conduite d'échappement (à la charge du client) sortant de l'enceinte du
groupe de pompage.
 Choisissez une conduite d'échappement dont la section équivale au moins au calibre
nominal de branchement de la bride d'échappement.
 Toutes les tuyauteries en amont de la pompe doivent être étayées ou suspendues.
– Si la pompe à vide a été ancrée, aucune force issue du réseau de tuyauterie ne doit
s'exercer sur la pompe.
 Posez les conduites en pente au départ de la pompe, afin qu'aucun condensat ne
puisse revenir dans la pompe ; le cas échéant, incorporez un séparateur de condensat.
– Si un siphon se forme dans les conduites, prévoir un dispositif de vidange du
condensat à l'endroit le plus profond.
5.7
Raccordement externe de la pompe turbo
Selon la configuration, il est possible d'exploiter la pompe turbo séparément du groupe
de pompage. Pour ce faire, respectez les instructions d'installation suivantes !
 Installez la pompe turbo conformément aux instructions fournies dans le manuel de
l’utilisateur.
 Le cas échéant, ouvrez l'enceinte du groupe de pompage.
 Prolongez les lignes de commande nécessaires pour la commande électronique d'entraînement de la pompe turbo à l'aide d'accessoires Pfeiffer Vacuum.
 Raccordez les lignes de commande à la commande électronique d'entraînement.
 Monter le refroidissement à air pour la pompe turbo externe (accessoire) et le brancher à la commande électronique d'entraînement.
– En option, il est possible d'utiliser un refroidissement par eau.
Exploitation de la pompe turbo avec commande électronique d'entraînement séparée
Il n'est possible d'exploiter la pompe turbo avec commande électronique d'entraînement
séparée qu'avec les accessoires correspondants de Pfeiffer Vacuum.
17
Installation
Installer la bride de
vide élevé
AVERTISSEMENT
Risque d'arrachage de la pompe turbo
En cas de blocage inopiné du rotor, les couples peuvent atteindre 4200 Nm, ce qui peut
entraîner la désolidarisation de la pompe turbo lorsque la fixation n'est pas correcte.
L'énergie libérée peut projeter la pompe ou des composants qu'elle contient dans le local ce qui risque de provoquer des blessures très graves, voire la mort, ainsi que des
dommages matériels considérables.
 Respectez scrupuleusement les instructions d'installation fournies dans le présent
manuel de l’utilisateur.
 Utilisez exclusivement les pièces d'origine de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour l'installation.
 Installez la bride de vide élevé conformément aux instructions fournies dans le manuel de l’utilisateur de la pompe turbo.
 Lors du montage toutes les pièces soumises à un vide élevé, travaillez au plus haut
niveau de propreté possible. Les composants sales augmentent le temps de pompage.
 Tenez compte de la résistance minimale de 170 N/mm2 du matériel de bridage.
Raccorder le côté de
vide primaire
5.8
 Prolongez la conduite de vide primaire entre la pompe turbo et la pompe primaire.
 Raccordez la conduite de vide primaire avec les composants de la petite bride ou
avec les raccords de flexibles. Ne réduisez pas la section libre offerte par la bride de
vide primaire !
 En cas de jonctions rigides entre les conduites : Installez un soufflet dans la conduite
de raccordement pour amortir les vibrations.
Sécurité de transport
Les groupes de pompage turbo de la gamme HiCube Classic sont équipés d'une sécurité de transport pour les pompes primaires (voir autocollant). La sécurité de transport se
compose de deux vis moletées opposées montées sur ressort qui fixent la tôle de fond
de la pompe primaire.
1
84
2
3
4
78
93
Fig. 6:
78
Sécurité de transport sur HiCube Classic
Tôle latérale
84
Poignée de transport
 Tirer la poignée de transport vers le haut.
18
93
Protection de transport
Installation
 Desserrer les deux vis rapides sur chaque tôle latérale.
 Retirer la tôle latérale.
– Soulever la tôle latérale d'environ 2-3 cm hors du dispositif de blocage et l’incliner
vers l'extérieur.
– Débrancher le câble de mise à la terre de la cosse du câble.
– Retirer la tôle latérale du groupe de pompage.
 Desserrez la vis moletée de la sécurité de transport.
 Insérer la tôle latérale.
– Faire attention au câble de mise à la terre !
 Desserrez la sécurité de transport de la même manière du côté opposé.
5.9
Remplissage avec le fluide d'exploitation
Valable uniquement pour HiCube avec pompe primaire de type pompe rotative à
palettes !
● Sur la pompe turbo déjà le réservoir du fluide d’exploitation est monté et rempli.
● Le fluide d'exploitation pour pompes rotatives à palettes est livré sous paquet séparé.
 Tirer la poignée de transport vers le haut.
 Desserrer les deux vis rapides sur chaque tôle latérale.
 Retirer la tôle latérale.
– Soulever la tôle latérale d'environ 2-3 cm hors du dispositif de blocage et l’incliner
vers l'extérieur.
– Débrancher le câble de mise à la terre de la cosse du câble.
– Retirer la tôle latérale du groupe de pompage.
25
25.4
Pompe primaire : pompe rotative à
palettes
25.1 Entrée de remplissage / vis de remplissage
25.4 Bouteille de fluide d'exploitation
25.5 Tuyau de remplissage
25.5
25.1
25
Fig. 7:
Remplissage de la pompe primaire en fluide d'exploitation
 Dévisser la vis de remplissage du fluide d'exploitation 25.1.
 Dévissez le bouchon de la bouteille de fluide d'exploitation et vissez le tuyau de remplissage (bouteille et tuyau sont contenus dans le paquet séparé).
 Branchez le tuyau de remplissage sur l'entrée de remplissage de la pompe rotative à
palettes.
 Remplissez la pompe rotative à palettes de fluide d'exploitation conformément au manuel de l’utilisateur.
 Revisser la vis de remplissage du fluide d'exploitation 25.1.
 Vérifier le niveau de remplissage: niveau de remplissage correct entre les marques
indiquées sur le hublot.
19
Installation
– Si le niveau de remplissage passe au-dessous de la marque « Min », remplir à nouveau en fluide d'exploitation.
 Insérer la tôle latérale.
– Faire attention au câble de mise à la terre !
5.10 Raccordement des accessoires
Installation et utilisation des accessoires
Il est possible d'équiper les pompes Pfeiffer Vacuum avec toute une série d'accessoires
adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des appareils raccordés sont décrites en détails dans les manuels de l’utilisateur accompagnant les différents composants.
 Informations sur les numéros de référence des composants individuels : voir le chapitre « Accessoires ».
 Uniquement utiliser des accessoires originales.
AVIS
Températures excessives dangereuses
Des températures élevées, conditionnées par le processus, peuvent entraîner des
surchauffes inadmissibles et risquent donc d'endommager la pompe turbo.
 En cas d'utilisation d'un chauffage du carter ou de fonctionnement avec enceintes à
vide chauffées, il est impératif d'utiliser le refroidissement à l'eau.
 Ne pas apporter d'énergie supplémentaire dans la pompe (regardez à la p. 22, chap.
6.1) .
● Le groupe de pompage est muni d'un carter avec refroidissement à air intégré, qui
peut être utilisé jusqu'à une température ambiante de +35 °C.
● Une vanne de remise à l'air est montée sur la pompe turbo et raccordée.
 Si la température ambiante est supérieure à +35 °C, utilisez un refroidissement par
eau.
 Raccordez les autres accessoires conformément au manuel de l’utilisateur de la
pompe turbo.
Raccordement du
dispositif de mesure
Il est possible de raccorder une jauge (par exemple ActiveLine de Pfeiffer Vacuum) à
l'appareil d'affichage et de commande DCU.
 Tirer la poignée de transport vers le haut.
 Desserrer les deux vis rapides sur chaque tôle latérale.
 Retirer la tôle latérale.
– Soulever la tôle latérale d'environ 2-3 cm hors du dispositif de blocage et l’incliner
vers l'extérieur.
– Débrancher le câble de mise à la terre de la cosse du câble.
– Retirer la tôle latérale du groupe de pompage.
20
Installation
127.4
127
127.1
59 (6x)
78
M
29
Fig. 8:
29
59
HiCube Classic, acheminement du câble de mesure
Tôle perforée
Vis six pans creux
78
Tôle latérale
127.1 Tube de mesure
127 Appareil d'affichage et de commande 127.4 Câble de mesure
 Dévisser la tôle perforée arrière du châssis du groupe de pompage (6x vis six pans
creux 59).
 Poser le câble de mesure à travers le raccord de mesure à l'intérieur du groupe de
pompage.
 Connectez le câble de mesure à la borne X3 du DCU.
 Il est possible d'effectuer des réglages avec le jeu de paramètres élargi sur le DCU.
5.11 Branchement au secteur
AVERTISSEMENT
Risque d’installation électrique dangereuse
Le fonctionnement correct après l'installation est de la responsabilité de l'exploitant.
 Ne procédez à aucune transformation ou modification de l'appareil de votre propre
initiative.
 Assurez une intégration correcte dans le circuit d'arrêt d'urgence de sécurité.
 Consultez Pfeiffer Vacuum si vous avez des exigences spéciales.
 Respecter les indications sur la plaque signalétique.
 Branchez le câble de raccordement sur secteur dans le raccord secteur à l'arrière du
groupe de pompage et fixez-le avec l'étrier.
 Branchez le câble de raccordement sur le secteur.
21
Utilisation
6
Utilisation
6.1
Mise en service
En usine, les préréglages importants suivants ont été programmés fixes dans la commande électronique d’entraînement.
● Paramètre [P:027] Mode gaz : 0 = gazes lourdes
● Paramètre [P:700] Valeur de consigne temps d'accélération : 8 min
● Paramètre [P:701] Point de commutation de la vitesse de rotation : 80% de la vitesse
nominale
● Paramètre [P:707] Valeur prédéfinie mode réglage de la vitesse : 65 % de la vitesse
nominale
● Paramètre [P:708] Valeur prédéfinie puissance absorbée 60 % (on peut réduire seulement)
● Paramètre [P:720] Vitesse de remise à l'air remise à l'air retardée : 50% de la vitesse
nominale
● Paramètre [P:721] Temps de remise à l’air : 3600 s
 Desserrez la sécurité de transport avant la mise en service.
 En cas de refroidissement par eau : ouvrez l'arrivée de l'eau de refroidissement et
contrôlez le débit.
 Pour l'alimentation en gaz de balayage : ouvrez l'arrivée du gaz de balayage et contrôlez le débit.
Respecter le temps d’accélération
Condensat ou humidité restant dans la zone de vide primaire peuvent affecter la puissance d’aspiration. Cela peut entraîner un dépassement du temps d’accélération maximal.
 Recommandation : Au mise en circuit ouvrez la soupape à lest d’air pendant environ 5 min. (regardez à la p. 23, chap. 6.5) .
AVIS
Risque de détruire la pompe
En cas le mauvais mode Gaz sélectionné, le pomper des gaz avec masses moléculaires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe.
 Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé.
 Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80), prévenez Pfeiffer Vacuum.
6.2
Modes d’exploitation
Les modes d'exploitation suivants sont possibles :
● Exploitation via une interface RS-485 et des appareils d'affichage et de commande
Pfeiffer Vacuum ou un PC
6.3
Description fonctionelle
AVERTISSEMENT
Danger engendré par une bride de vide élevé ouverte
Le rotor de la pompe turbo tourne à grande vitesse. Si la bride de vide élevée est ouverte, vous courez le risque de vous couper ; la chute d'objet entraîne un risque de destruction de la pompe.
 Ne mettez jamais la pompe en service avec la bride de vide élevé ouverte.
22
Utilisation
Utilisation avec DCU
 En cas d'exploitation avec un appareil d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum,
tenez compte des documents suivants :
● Manuel de l’utilisateur du « DCU »
● Manuel de l’utilisateur « commande électronique d'entraînement »
 Activez l'alimentation en courant avec l'interrupteur principal.
 Activez le groupe de pompage en appuyant sur la touche « marche/arrêt » du DCU
002.
 Il est possible d'effectuer des réglages avec le jeu de paramètres élargi sur le DCU.
 Réglages possibles via la connexion RS-485 avec DCU, HPU ou PC.
Utilisation du DCU en tant que commande à distance
Il est possible de démonter l'appareil d'affichage et de commande du groupe de pompage et de l'utiliser en tant que commande à distance.
 Désactivez le groupe de pompage avec l'interrupteur principal.
 Débranchez le connecteur de réseau.
 Retirez les 4 vis de fixation avec la rondelle du cache de l'appareil d'affichage et de
commande.
 Retirez l'appareil d'affichage et de commande du boîtier.
– Attention au joint du boîtier !
 Remplacez le câble de raccordement portant la désignation « RS 485 » entre l'appareil d'affichage et de commande et la commande électronique d'entraînement par un
câble d'interface M12 plus long (accessoire).
6.4
Économies d'énergie
En fonction de la puissance absorbée par la pompe turbo, la commande électronique
d'entraînement gère le fonctionnement de la pompe primaire : en conséquence, la pression de vide primaire dépend de la puissance absorbée par la pompe turbo. Le mode
Stand-by de la pompe primaire permet de réduire la puissance totale absorbée par le
système de pompage et la température de fonctionnement de la pompe primaire.
● Fonctionnement intermittent seulement pour les pompes à membranes
● Pas de régulation pour DuoLine
En fonction de la puissance absorbée, la pompe à membranes est enclenchée ou
éteinte. Les seuils de la pompe primaire sont réglables par la DCU. Des fluctuations de
la puissance absorbée des pompes primaires à vide et différentes pressions de vide primaire des pompes primaires requièrent le réglage individuel du mode intermittent.
 Paramètre [P:794] = 1 (affichage du jeu de paramètres élargi dans le DCU)
 Paramètre [P:025] = 1 (fonctionnement intermittent)
 Configurer les seuils de commutation [P:710] et [P:711] conformément au manuel de
l’utilisateur « Commande électronique d'entraînement ».
6.5
Exploitation avec vanne à lest d'air
De la vapeur ou de l'humidité résultant des fluides pompés peut produire de la condensation dans la pompe à vide et ainsi altérer la puissance d'aspiration.
L'admission d'un lest d'air améliore l'éjection du condensat et la pompe atteint plus vite
le vide final spécifié. Si nécessaire, il est possible de remplacer la vanne à lest d'air par
un raccord à gaz de lavage.
 Respectez le manuel de l’utilisateur de la pompe primaire pour l'exploitation avec
vanne à lest d'air.
23
Utilisation
Élimination de grandes quantités de condensat
Si la soupape à lest d’air ne suffit pas à elle seule à réduire la condensation, le système
de pompage peut être purgé à l'aide du raccordement de remise à l’air lorsque la pompe
turbo est arrêtée.
● Cela implique qu'un appareil d'affichage et de commande existe.
● Laisser entrer un gaz inerte le plus sec possible par le raccordement de remise à l’air.
 Mettre la pompe primaire en mode permanent à l'aide du paramètre correspondant
(entrée accessoire ou entrée numérique).
– pour TC 110 : [P:024] = 10
– pour TC 400 : [P:035] = 7
 Arrêter le groupe de pompage (interrupteur S1).
– La pompe primaire continue de tourner.
 Lorsque la pompe turbo est arrêtée, ouvrir la vis de remise à l’air ou bien effectuer le
processus de maintien à l'aide de la vanne de remise à l’air raccordée.
 Purger le système de pompage du condensat pendant environ 5 minutes.
 Répéter le processus le cas échéant.
 Rétablir la configuration de départ de la pompe primaire.
– pour TC 110 : [P:024] = 13
– pour TC 400 : [P:035] = 3
 Remettre le groupe de pompage en marche.
6.6
Fonctionnement avec soupape primaire à vide
La soupape de sécurité de vide grossier (accessoire optionnel) se trouve dans la
conduite à vide grossier entre la turbopompe et la pompe primaire. Elle protège le vide
du process et la turbopompe d'un engorgement involontaire dans le cas de l'immobilisation du groupe de pompage (pompe primaire) ou d'une panne de courant. Cette soupape
est fermée lorsqu'aucun courant ne lui est appliqué.
● Groupe de pompage « Marche » = soupape de sécurité de vide primaire ouverte
● Groupe de pompage « Arrêt » = soupape de sécurité de vide primaire fermée
6.7
Arrêt et remise à l’air
Arrêt
Après la mise hors circuit, il faut remettre la pompe à l'air pour éviter qu'elle ne soit salie
par des particules refluant en provenance de la zone de vide primaire.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution
Le groupe de pompage n'est libre de tension que lorsque le connecteur de réseau est
débranché.
 Avant tous travaux, désactivez l'interrupteur principal et débranchez le connecteur de
réseau.
 Sécurisez contre le réenclenchement non intentionnel.
 Désactivez le groupe de pompage en appuyant sur la touche « marche/arrêt » du
DCU.
 Mise à l'air (du possibilités, voir ci-après).
 Désactivez le groupe de pompage avec l'interrupteur principal.
 En cas de refroidissement par eau : Fermez l'arrivée d'eau.
Remise à l’air
Remise à l'air avec vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum
 Autorisez la remise à l'air avec la vanne de remise à l'air via les fonctions de la commande électronique d'entraînement.
24
Utilisation
 Réglages possibles via la connexion RS-485 avec DCU, HPU ou PC.
Vitesse de remise à l'air Coupure du groupe de pompage Panne de secteur1)
50% de la vitesse nominale La vanne de remise à l'air s'ouvre
La vanne de remise à l'air s'ouvre
pendant 3600 s (1 h, réglage-usine) pendant 3600 s (1 h, réglage-usine)
1)
Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
Consignes fondamentales pour la remise à l’air rapide
Remise à l’air du récipient en deux étapes. Pour connaître les détails afférents aux solutions personnalisées, consultez Pfeiffer Vacuum.
 Remise à l'air avec une vitesse de montée en pression de max. 15 hPa/s pendant
20 secondes.
– La section de passage de la vanne, permettant un débit de remise à l'air de 15 hPa/
s, doit être harmonisée avec la taille du récipient.
– En présence de petits récipients, utilisez la vanne de remise à l'air Pfeiffer Vacuum.
 Ensuite, remettez à l'air avec une vanne de remise supplémentaire d'une taille quelconque.
25
Entretien / Remplacement
7
Entretien / Remplacement
AVERTISSEMENT
Contamination de pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés
Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé.
 Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses.
 Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance.
AVIS
Exclusion de responsabilité
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité des dégâts, perturbations de service, dommages corporels et dégâts matériels imputables à une maintenance réalisée de façon
inexperte. Les recours en responsabilité et en garantie deviennent irrecevables.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution
Le groupe de pompage n'est libre de tension que lorsque le connecteur de réseau est
débranché.
 Avant tous travaux, désactivez l'interrupteur principal et débranchez le connecteur de
réseau.
 Sécurisez contre le réenclenchement non intentionnel.
7.1
Intervalles de maintenance et compétences
● Nettoyez les surfaces extérieures du groupe de pompage avec un chiffon ne peluchant pas, additionné d'un peu d'alcool industriel.
● La maintenance des composants du groupe de pompage doit être conforme aux
consignes figurant dans les différents manuels de l’utilisateur.
● S'il faut raccourcir les intervalles de maintenance en présence de contraintes extrêmes ou de procédés non purs, déterminez-les avec Pfeiffer Vacuum.
● Concernant tous les autres travaux d'entretien et de réparation, veuillez vous adresser à votre service après-vente Pfeiffer Vacuum compétent.
7.2
Démontage des composants en vue de leur maintenance
Afin que le client puisse réaliser les travaux de maintenance sur les composants du
groupe de pompage, ces derniers doivent, le cas échéant, être démontés du bâti de
groupe de pompage (le montage se fera dans l'ordre inverse du démontage).
Démontage des raccordements
26
 Désactivez le groupe de pompage avec l'interrupteur principal.
 Débranchez le connecteur de réseau.
 Retirez la fiche de raccordement de la commande électronique d'entraînement.
Entretien / Remplacement
AVIS
Respectez les réglages usine !
Les raccords pour accessoires pour la pompe turbo sont préconfigurés en usine. Une
permutation des lignes de commande au niveau de la fiche de raccordement peut entraîner des dysfonctionnements ou des pannes du groupe de pompage.
 Ne permutez pas les lignes de commande.
 Les raccords pour accessoires peuvent être configurés en cas d'exploitation avec un
appareil DCU.
– Consultez à ce sujet le manuel de l’utilisateur de la commande électronique d'entraînement de la pompe turbo.
Démonter les tôles du
carter
Les tôles du carter sont fixées avec des vis rapides.
11
78
79
Fig. 9:
11
HiCube Classic, démonter les tôles du carter
Couvercle du carter
78
Tôle latérale 1
79
Tôle latérale 2
 Desserrer quatre vis rapides de la tôle du couvercle.
 Retirer le couvercle du carter.
– Débrancher le câble de mise à la terre de la cosse de la tôle du couvercle.
 Tirer la poignée de transport vers le haut.
 Desserrer les deux vis rapides sur chaque tôle latérale.
 Retirer la tôle latérale.
– Soulever la tôle latérale d'environ 2-3 cm hors du dispositif de blocage et l’incliner
vers l'extérieur.
– Débrancher le câble de mise à la terre de la cosse du câble.
– Retirer la tôle latérale du groupe de pompage.
27
Entretien / Remplacement
Démontage de la
pompe turbo
9
15
75
90
9
Plaque de montage
Pompe turbo
Châssis
Vis six pans creux
90 (6x)
15
75
Fig. 10: Démontage de la pompe turbo
 Débranchez et retirez la conduite de vide primaire de la pompe turbo.
– N'écrasez et n'endommagez pas la conduite de vide primaire !
 Dévissez toutes les vis de fixation 90 (6x) à rondelles de la plaque de montage.
– Couple de serrage des vis de fixation lors du montage : 33 Nm
 Retirez la pompe turbo avec la plaque de montage du bâti.
Le client peut aisément procéder à des travaux de maintenance sur la pompe turbo (par
ex. : changement du réservoir du fluide d'exploitation) par l'ouverture dans la plaque de
montage.
28
Entretien / Remplacement
7.3
Changer le fluide d'exploitation
Valable uniquement pour HiCube avec pompe primaire de type pompe rotative à
palettes !
AVERTISSEMENT
Le fluide d’exploitation peut contenir des substances toxiques issues des matières pompées !
Danger d'intoxication du fait du dégagement de substances nocives à partir du fluide
d'exploitation.
 Porter des vêtements de protection et un masque de protection respiratoire adaptés.
 Eliminer les fluides d'exploitation conformément à la réglementation locale en
vigueur.
25.1
25.3
25.2
45
104
5 (2x)
81
90
106
Fig. 11: Changement du fluide d'exploitation pour HiCube Classic avec pompe rotative à palettes
5
Vis six pans creux
25.1 Vis de remplissage
25.2 Vis de purge
25.3 Hublot
45
Goulotte de fluide d'exploitation
81
Tôle perforée
90
Vis six pans creux
104 Vis à tête cylindrique bombée
106 Crochet de sécurité
 Desserrer la sangle de serrage au niveau du crochet de fixation avant droit.
 Dévisser le crochet de fixation du châssis (2x vis six pans creux 90).
 Desserrer les vis de fixation (2x vis six pans creux 5) du support du transformateur
d'alimentation.
 Soulever le transformateur d'alimentation et le décaler sur le côté.
– Ne pas déconnecter les branchements électriques !
 Dévisser deux vis 104 du cadre.
 Retirer la tôle perforée latéralement du cadre.
 Pivotez la goulotte de fluide d'exploitation vers l'extérieur du cadre du groupe de pompage.
 Placez un récipient adapté sous la goulotte de fluide d'exploitation.
 Procédez au remplacement du fluide d'exploitation conformément aux instructions
fournies dans le manuel de l’utilisateur de la pompe rotative à palettes.
 Assemblage du groupe de pompage en sens inverse.
 Sécuriser à nouveau le groupe de pompage avec toutes les sangles de serrage.
29
Mise hors service
8
Mise hors service
8.1
Immobilisation prolongée
AVERTISSEMENT
Contamination de pièces et de moyens d'exploitation par les fluides pompés
Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé.
 Si une contamination s'est produite, prenez des précautions de sécurité correspondantes pour éviter les risques créés par des substances dangereuses.
 Décontaminez les pièces affectées avant d'effectuer des travaux de maintenance.
Si le groupe de pompage doit être immobilisée pour une durée supérieure à 1 an :
 Le cas échéant, déposez le groupe de pompage de l'installation.
 Changez le réservoir de fluide d’exploitation de la pompe turbo.
 Ne stockez le groupe de pompage que dans des locaux fermés, à une température
comprise entre -10 et +40 °C.
 Dans les locaux à atmosphère humide ou agressive : enfermez le groupe de pompage
dans un sac en plastique scellé et étanche à l'air, dans lequel sera placé un sachet de
produit de dessiccation.
8.2
Remise en service
AVIS
Remise en service
Sur un matériel ne servant pas, le fluide d’exploitation de la pompe turbo est utilisable
4 ans maximum. Avant la remise en service consécutive à un remisage de 4 ans ou
plus, effectuez les travaux suivants :
 Remplacez le réservoir de fluide d’exploitation
 Faites changer les roulements
 Tenez compte des consignes de maintenance puis prévenez Pfeiffer Vacuum
 Vérifiez si le groupe de pompage présente des salissures et si elle est humide.
 Nettoyez les surfaces extérieures du groupe de pompage avec un chiffon ne peluchant pas, additionné d'un peu d'alcool industriel.
 Le cas échéant, confiez le nettoyage complet du groupe de pompage au SAV Pfeiffer
Vacuum.
 Installation et mise en service conformément au manuel de l’utilisateur.
8.3
Mise au rebut
Les produits et leurs composants internes (composants mécaniques ou électriques,
fluides d’exploitation, etc...) peuvent polluer l’environnement.
 Veuillez prendre les précautions nécessaires, en conformité avec la réglementation
locale, pour éliminer les risques sanitaires et éviter toute pollution de l’environnement.
30
Dysfonctionnements
9
Dysfonctionnements
Les dysfonctionnements du groupe de pompage sont souvent liés à des dysfonctionnements des différents composants. Les dysfonctionnements sont signalés par les LED
placées sur la commande électronique d'entraînement de la pompe turbo ou par l'affichage d'un code d'erreur sur l'appareil d'affichage et de commande DCU.
9.1
Dépannage
Problème
Causes possibles
Dépannage
Le groupe de pompage ne démarre pas, ● Alimentation en courant interrompue
aucune des LED de la commande électronique d'entraînement ne s'allume.
Le groupe de pompage n'atteint pas sa
pression limite
 Vérifiez les contacts à fiches au niveau de la
boîte à relais et de l'unité de courant.
 Vérifiez les conduites d'alimentation du groupe
de pompage
 Contrôlez la tension de sortie (24 V CC) au niveau du raccord « DC out » de l'unité de courant
 Vérifiez les contacts à fiches au niveau de l'unité
de courant
● Tension de service incorrecte
 Appliquez une tension de service correcte
 Tenez compte de la plaque signalétique
● Aucune tension de service n'est appliquée  Appliquez la tension de service
● Commande électronique d'entraînement
 Remplacez la commande électronique d'entraîdéfectueuse
nement
 Informez le service après-vente de Pfeiffer Vacuum
● Présence de condensat dans la pompe pri-  Ouvrir la soupape à lest d'air au niveau de la
maire
pompe primaire
● Soupape à lest d'air ouverte
 Fermer la soupape à lest d'air au niveau de la
pompe primaire
● L'élimination des dysfonctionnements des composants du groupe de pompage est régie par les consignes du manuel de l’utilisateur correspondant.
● Pour toute autre question, consultez le SAV de Pfeiffer Vacuum.
31
Service après-vente
10 Service après-vente
Pfeiffer Vacuum vous propose un service après-vente haut de gamme !
● Changement de fluide d’exploitation et de paliers sur place, grâce à notre SAV de terrain (FieldService)
● Maintenance / Réparation dans un ServiceCenter ou ServicePoint proche de chez
vous
● Remplacement rapide par des produits d'échange standard pratiquement neufs
● Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide
Informations détaillées, adresses et formulaires à l'adresse suivante : www.pfeiffer-vacuum.com (Service).
Maintenance et réparation au ServiceCenter Pfeiffer Vacuum
Pour que le traitement soit rapide et sans accrocs, il faut suivre la procédure suivante :
 Téléchargez les formulaires « Service Request » et « Declaration on Contamination».1)
 Remplissez le formulaire « Service Request » et renvoyez-nous le par fax ou mail à
l'adresse de votre Pfeiffer Vacuum service après-vente compétent.
 A cet envoi, joignez la confirmation « Service » donnée par Pfeiffer Vacuum.
 Remplissez la déclaration sur la contamination et joignez-la obligatoirement à l'envoi.
 Démontez tous les accessoires.
 Vidangez le fluide d’exploitation (vaut pour les pompes turbo d'une puissance d'aspiration > 700 l/s)
 Laissez la commande électronique d'entraînement contre la pompe.
 Obturez les orifices des brides avec les couvercles de protection d'origine.
 Envoyer la pompe ou l'appareil dans son emballage d'origine si possible.
Envoi de pompes ou appareils contaminés
Les appareils contaminés (microbiologiquement, substances explosives ou radioactives) sont systématiquement refusés. Les « substances toxiques » sont les substances
et composés chimiques visés dans la version actuellement applicable de l'Ordonnance
sur les matières dangereuses. Sur les pompes contaminées et en l'absence de déclaration sur la contamination, Pfeiffer Vacuum réalise une décontamination aux frais du
client.
 Neutralisez la pompe en la rinçant avec de l'azote ou de l'air sec.
 Obturez toutes les ouvertures pour les rendre étanches à l'air.
 Conditionnez la pompe ou l'appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée.
 Ne renvoyez la pompe / l'appareil qu'uniquement dans un conteneur de transport approprié et robuste, en respectant les conditions de transport applicables.
Appareils de rechange
Les appareils de rechange livrés se trouvent toujours sur le paramétrage d'exploitation
standard réglé en usine. Si votre application fonctionne sur un paramétrage modifié,
vous devrez régler à nouveau ces appareils sur ce paramétrage.
Commandes de service après-vente
Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos
conditions de réparation applicables aux appareils et composants sous vide.
1)
32
Formulaires à l'adresse www.pfeiffer-vacuum.com (en anglais)
Pièces de rechange
11 Pièces de rechange
Pour toute commande d'accessoires ou de pièces détachées, veuillez indiquer en plus
le numéro de modèle de la plaque signalétique.
Respectez les manuels de l’utilisateur des composants individuels.
12 Accessoires
Pour toute commande d'accessoires ou de pièces détachées, veuillez indiquer en plus
le numéro de modèle de la plaque signalétique.
Respectez les manuels de l’utilisateur des composants individuels.
33
Caractéristiques techniques
13 Caractéristiques techniques
13.1 Généralités
Tableau de conversion : Unités de pression
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm Hg
1
1000
0,01
1
10
1,33
1 · 10-3
1
1 · 10-5
1 · 10-3
0,01
1,33 · 10-3
100
1 · 105
1
100
1000
133,32
1
1000
0,01
1
10
1,33
0,1
100
1 · 10-3
0,1
1
0,133
0,75
750
7,5 · 10-3
0,75
7,5
1
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm Hg
1 Pa = 1 N/m2
Tableau de conversion : Unités de débit de gaz
mbar·l/s
Pa·m3/s
sccm
Torr·l/s
atm·cm3/s
mbar·l/s
Pa·m3/s
sccm
Torr·l/s
atm·cm3/s
1
10
1,69 · 10-2
1,33
1,01
0,1
1
1,69 · 10-3
0,133
0,101
59,2
592
1
78,9
59,8
0,75
7,5
1,27 · 10-2
1
0,76
0,987
9,87
1,67 · 10-2
1,32
1
13.2 HiCube 80 Classic
Paramètres
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Pompe à vide primaire
Débit de la pompe turbo
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
Pression limite
Humidité relative de l'air
DN 40 ISO-KF
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 040
35 l/s
2,3 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
290 W
36,4 kg
DN 40 ISO-KF
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 070
35 l/s
3,8 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
360 W
41,4 kg
DN 40 ISO-KF
G 1/2"
DUO 3
35 l/s
2,5 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
270 W
35,5 kg
DN 40 ISO-KF
G 1/2"
DUO 5 M
35 l/s
5 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
360 W
44 kg
Type de refroidissement, standard
Puissance absorbée maximale
Poids
Paramètres
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Pompe à vide primaire
Débit de la pompe turbo
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
Pression limite
Humidité relative de l'air
DN 63 ISO-K
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 040
67 l/s
2,3 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
290 W
36,4 kg
DN 63 ISO-K
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 070
67 l/s
3,8 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
360 W
41,4 kg
DN 63 ISO-K
G 1/2"
DUO 3
67 l/s
2,5 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
270 W
35,5 kg
DN 63 ISO-K
G 1/2"
DUO 5 M
67 l/s
5 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
360 W
44 kg
Type de refroidissement, standard
Puissance absorbée maximale
Poids
Paramètres
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Pompe à vide primaire
Débit de la pompe turbo
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
Pression limite
DN 63 CF-F
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 040
67 l/s
2,3 m3/h
< 1 · 10-8 hPa
DN 63 CF-F
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 070
67 l/s
3,8 m3/h
< 1 · 10-8 hPa
DN 63 CF-F
G 1/2"
DUO 3
67 l/s
2,5 m3/h
< 5 · 10-10 hPa
DN 63 CF-F
G 1/2"
DUO 5 M
67 l/s
5 m3/h
< 5 · 10-10 hPa
34
Caractéristiques techniques
Paramètres
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
Humidité relative de l'air
5-85, sans
condensation %
Air
290 W
37,8 kg
5-85, sans
condensation %
Air
360 W
42,8 kg
5-85, sans
condensation %
Air
270 W
36,9 kg
5-85, sans
condensation %
Air
360 W
45,4 kg
Type de refroidissement, standard
Puissance absorbée maximale
Poids
13.3 HiCube 300 Classic
Paramètres
HiCube 300 Classic
HiCube 300 Classic
HiCube 300 Classic
HiCube 300 Classic
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Pompe à vide primaire
Débit de la pompe turbo
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
Pression limite
Humidité relative de l'air
DN 100 ISO-K
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 040
260 l/s
2,3 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
480 W
41,2 kg
DN 100 ISO-K
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 070
260 l/s
3,8 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
550 W
46,2 kg
DN 100 ISO-K
G 1/2"
DUO 3
260 l/s
2,5 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
460 W
40,3 kg
DN 100 ISO-K
G 1/2"
DUO 5 M
260 l/s
5 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
550 W
48,8 kg
Paramètres
HiCube 300 Classic
HiCube 300 Classic
HiCube 300 Classic
HiCube 300 Classic
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Pompe à vide primaire
Débit de la pompe turbo
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
Pression limite
Humidité relative de l'air
DN 100 CF-F
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 040
260 l/s
2,3 m3/h
< 1 · 10-8 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
480 W
43,2 kg
DN 100 CF-F
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 070
260 l/s
3,8 m3/h
< 1 · 10-8 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
550 W
48,2 kg
DN 100 CF-F
G 1/2"
DUO 3
260 l/s
5 m3/h
< 5 · 10-10 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
460 W
40,3 kg
DN 100 CF-F
G 1/2"
DUO 5 M
260 l/s
5 m3/h
< 5 · 10-10 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
550 W
48,8 kg
Type de refroidissement, standard
Puissance absorbée maximale
Poids
Type de refroidissement, standard
Puissance absorbée maximale
Poids
13.4 HiCube 400 Classic
Paramètres
HiCube 400 Classic
HiCube 400 Classic
HiCube 400 Classic
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Pompe à vide primaire
Débit de la pompe turbo
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
Pression limite
Humidité relative de l'air
DN 100 ISO-K
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 070
355 l/s
3,8 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
670 W
51,6 kg
DN 100 ISO-K
G 1/2"
DUO 3
355 l/s
2,5 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
580 W
45,7 kg
DN 100 ISO-K
G 1/2"
DUO 5 M
355 l/s
5 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
670 W
54,2 kg
Paramètres
HiCube 400 Classic
HiCube 400 Classic
HiCube 400 Classic
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Pompe à vide primaire
Débit de la pompe turbo
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
Pression limite
Humidité relative de l'air
DN 100 CF-F
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 070
355 l/s
3,8 m3/h
< 1 · 10-8 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
670 W
DN 100 CF-F
G 1/2"
DUO 3
355 l/s
2,5 m3/h
< 5 · 10-10 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
580 W
DN 100 CF-F
G 1/2"
DUO 5 M
355 l/s
5 m3/h
< 5 · 10-10 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
670 W
Type de refroidissement, standard
Puissance absorbée maximale
Poids
Type de refroidissement, standard
Puissance absorbée maximale
35
Caractéristiques techniques
Paramètres
HiCube 400 Classic
HiCube 400 Classic
HiCube 400 Classic
Poids
57,5 kg
45,7 kg
54,2 kg
36
Caractéristiques techniques
13.5 HiCube 700 Classic
Paramètres
HiCube 700 Classic
HiCube 700 Classic
HiCube 700 Classic
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Pompe à vide primaire
Débit de la pompe turbo
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
Pression limite
Humidité relative de l'air
DN 160 ISO-K
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 070
685 l/s
3,8 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
670 W
52 kg
DN 160 ISO-K
G 1/2"
DUO 3
685 l/s
2,5 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
580 W
46,2 kg
DN 160 ISO-K
G 1/2"
DUO 5 M
685 l/s
5 m3/h
< 1 · 10-7 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
670 W
54,7 kg
Type de refroidissement, standard
Puissance absorbée maximale
Poids
Paramètres
HiCube 700 Classic
HiCube 700 Classic
HiCube 700 Classic
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Pompe à vide primaire
Débit de la pompe turbo
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
Pression limite
Humidité relative de l'air
DN 160 CF-F
G 1/2" ; G 1/4"
MVP 070
685 l/s
3,8 m3/h
< 1 · 10-8 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
670 W
57,9 kg
DN 160 CF-F
G 1/2"
DUO 3
685 l/s
2,5 m3/h
< 5 · 10-10 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
580 W
46,2 kg
DN 160 CF-F
G 1/2"
DUO 5 M
685 l/s
5 m3/h
< 5 · 10-10 hPa
5-85, sans
condensation %
Air
670 W
54,7 kg
Type de refroidissement, standard
Puissance absorbée maximale
Poids
37
Dimensions
14 Dimensions
H
A
492
472.5
M
2
F
G
350
392
66.5
400
28
B
96
15
275
H
102
38
Dimensions
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
HiCube 80 Classic
Bride de raccordement (entrée)
A
B
DN 40 ISO-KF
DN 63 ISO-K
DN 63 CF-F
Dimensions
HiCube 300 Classic
HiCube 300 Classic
Bride de raccordement (entrée)
A
B
DN 100 ISO-K
DN 100 CF-F
Dimensions
HiCube 400 Classic HiCube 400 Classic
Bride de raccordement (entrée)
A
B
DN 100 ISO-K
Dimensions
HiCube 700 Classic
HiCube 700 Classic
Bride de raccordement (entrée)
A
B
DN 160 ISO-K
DN 160 CF-F
590 mm
581 mm
102 mm seulement pour DUO 5
580 mm
592 mm
102 mm seulement pour DUO 5
DN 100 CF-F
624 mm
624 mm
102 mm seulement pour DUO 5
597 mm
609 mm
102 mm seulement pour DUO 5
587 mm
Déclaration de conformité
Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes
les dispositions applicables des directives CE suivantes :
● Machines 2006/42/CE (Annexe II, No. 1 A)
● Compatibilité électromagnétique 2004/108/CEE
Le responsable de la compilation des documents techniques est M. Helmut Bernhardt,
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar.
HiCube
HiCube Classic
Normes harmonisées et normes nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100 : 2011-03
DIN EN 61326-1 : 2006
DIN EN 1012-2 : 1996
DIN EN 62061 : 2005
DIN EN 61010-1 : 2010
Semi F47-0200
DIN EN 61000-3-2 : 2008
DIN EN 61000-3-3 : 2006
Signatures :
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(M.Bender)
Directeur
(Dr. M. Wiemer)
Directeur
CE/2013
Un seul fournisseur de
solutions de vide
Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour
ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche
technologique, ses conseils et la fiabilité de son service.
Une large gamme de
produits
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fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète
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et pratique
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le monde entier.
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Contactez-nous :
Pfeiffer Vacuum GmbH
Headquarters
T +49 6441 802-0
[email protected]
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France
T +33 (0) 4 50 65 77 77
[email protected]
www.pfeiffer-vacuum.com
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