Pfeiffer GSD 350 OmniStar/ThermoStar - Gas Analysis System Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
GSD 350 OMNISTAR ∣ THERMOSTAR
Système d’analyse du gaz
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau système
d’analyse du gaz est conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de
par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum,
synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et
variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette
expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent
contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
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2/122
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Orientation gauche/droite
1.3.5 Abréviations
1.4 Justificatif de marque
10
10
10
11
12
12
12
12
13
14
14
15
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisation incorrecte envisageable
2.7 Qualification personnelle
2.7.1 Garantir la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
16
16
16
19
20
20
21
21
21
22
22
3
Description du produit
3.1 Description fonctionnelle
3.1.1 OmniStar
3.1.2 ThermoStar
3.1.3 Version pour gaz corrosifs
3.2 Commandes et indicateurs
3.2.1 Version avec écran
3.2.2 Version sans écran
3.3 Configuration de l’unité
3.3.1 Instrument fondamental
3.3.2 Zone de connexion
3.3.3 Système d’admission de gaz
3.3.4 Unité de calibration
3.3.5 Système côté vide élevé
3.3.6 Système de vide primaire
3.3.7 Système de purge de gaz neutre
3.3.8 Unité d’analyse de gaz
3.3.9 Chauffage et isolation
3.3.10Composants électroniques
3.4 Identification du produit
3.5 Volume de livraison
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24
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26
26
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28
29
29
30
30
31
33
34
34
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
36
36
37
5
Installation
5.1 Assurer la ventilation
5.2 Retrait de la protection pour le transport de la pompe à membrane
5.3 Établissement de la connexion Ethernet
5.4 Raccordement de la conduite d’échappement
38
38
38
39
39
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Table des matières
4/122
5.4.1 Sectionnement du tuyau de gaz d'échappement
5.4.2 Raccordement du tuyau de gaz d’échappement
5.5 Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
5.5.1 Sectionnement du tuyau de purge de gaz neutre
5.5.2 Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
5.6 Raccordement du capillaire
5.6.1 Raccordement du capillaire en acier inoxydable OmniStar
5.6.2 Raccordement du capillaire ThermoStar quartz
5.7 Adaptation de la position du tuyau flexible de capillaire
5.8 Établissement d’une connexion au réseau
5.8.1 Adresses IP
5.8.2 Sous-réseaux
5.8.3 Changement d’adresse IP de la GSD 350
5.8.4 Modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte
5.9 Raccordement de la terre fonctionnelle
5.10 Raccordement de l’alimentation électrique
5.11 Installation du logiciel PV MassSpec
39
40
40
40
41
41
42
42
43
43
44
45
45
46
47
48
48
6
Interfaces et connexions
6.1 Alimentation
6.2 Borne de connexion de terre
6.3 Connexion « User I/O »
6.4 Connexion « AUX IO »
6.5 Connexion Ethernet (LAN)
49
49
49
49
51
52
7
Mise en service
7.1 Activation de l’unité
7.2 Démarrage du système de pompage
53
53
53
8
Fonctionnement via l’affichage
8.1 Écran « Tableau de bord »
8.2 Structure du menu avec les fonctions
8.3 Menu « Info »
8.4 Menu « Réglages »
8.4.1 Création et édition des recettes de mesure
8.4.2 Ajustement des unités de chauffage
8.4.3 Ajustage des capteurs
8.4.4 Modification des réglages de l’utilisateur
8.4.5 Réglage des fonctions de démarrage automatique
8.4.6 Réglage des paramètres réseau
8.4.7 Réinitialisation de l'unité aux réglages initiaux
8.4.8 Sous-menu « Maintenance »
8.5 Menu « Messages »
8.6 Menu « Commande »
8.6.1 Pompage du système de vide
8.6.2 Ventilation du système à vide
8.6.3 Activation et désactivation des dispositifs de chauffage
8.6.4 Ouverture et fermeture de l’admission de gaz (Omnistar)
8.6.5 Étuvage de l’enceinte à vide
8.6.6 Activation et désactivation de l’émission
8.6.7 Activation et désactivation du multiplicateur d’électrons
8.6.8 Ouverture et fermeture de la vanne de calibration
8.7 Menu « Mesure »
55
55
56
58
58
59
61
62
63
63
64
64
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67
68
68
69
69
70
70
70
9
Mise hors service
72
10
Maintenance
10.1 Opérations de maintenance et intervalles de maintenance
10.2 Maintenance de l’instrument fondamental
10.2.1Retrait/fixation du couvercle de l’admission de gaz
73
73
75
76
Table des matières
10.2.2Retrait/fixation des couvercles sur le côté
10.2.3Retrait/fixation du couvercle de carter
10.2.4Nettoyage des pièces de carter
10.2.5Nettoyage des écrans de protection sur les ventilateurs
10.3 Maintenance du système de vide élevé
10.3.1Remplacement du réservoir de fluide d’exploitation sur la pompe
turbomoléculaire
10.3.2Remplacement de la vanne de ventilation
10.4 Maintenance du système de vide primaire
10.4.1Remplacement de la pompe à membrane
10.4.2Remplacement de la membrane de la pompe à membrane
10.5 Maintenance de l’unité d’analyse de gaz
10.5.1Maintenance de l’analyseur QMA 250 M
10.5.2Maintenance de la jauge de pression totale
10.6 Maintenance du système d’admission de gaz sur Omnistar
10.6.1Retrait de la bride de l’admission de gaz
10.6.2Remplacement de l’orifice
10.6.3Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice
10.6.4Installation de la bride d’aspiration de gaz
10.7 Maintenance du système d’admission de gaz sur ThermoStar
10.7.1Retrait de la bride de l’admission de gaz
10.7.2Remplacement de l’orifice
10.7.3Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice
10.7.4Installation de la bride d’aspiration de gaz
10.8 Entretien du capillaire
10.8.1Réduction de la longueur des capillarités en acier inoxydable
10.8.2Remplacement du capillaire en acier inoxydable
10.8.3Découpage à longueur des capillarités en quartz
10.8.4Remplacement du capillaire en quartz
10.9 Maintenance des unités de chauffage
10.9.1Remplacez le tube capillaire
10.9.2Maintenance du chauffage de l’admission de gaz
10.9.3Entretien du chauffage de l’enceinte à vide
10.10 Entretien des composants électroniques
10.10. Remplacement de l’affichage
1
10.10. Remplacement de l'injecteur PoE
2
10.10. Remplacement de la platine principale
3
10.10. Remplacement de l'unité de courant
4
10.10. Remplacement de l’unité électronique QME 250
5
10.10. Remplacement de l’unité de commande électronique TC 110 sur la
6
pompe turbomoléculaire
10.11 Maintenance de l’unité de calibration
10.11. Appoint en fluide de calibration
1
10.11. Remplacement de la vanne de calibration
2
10.12 Opérations de maintenance additionnelles pour la version pour gaz corrosif
10.12. Remplacement de la vanne de la purge de gaz
1
10.12. Remplacement du régulateur de pression manuel
2
10.12. Remplacement du manocontacteur numérique
3
76
77
78
79
80
80
81
81
81
83
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95
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100
100
100
100
100
101
101
101
101
102
102
102
103
103
103
103
103
5/122
Table des matières
6/122
11
Dépannage
104
12
Expédition
108
13
Recyclage et mise au rebut
13.1 Informations générales sur la mise au rebut
13.2 Élimination du système d’analyse du gaz
109
109
109
14
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
110
15
Pièces de rechange
112
16
Outil spécial
115
17
Accessoires
17.1 Informations sur les accessoires
17.2 Commande d’accessoires
116
116
116
18
Caractéristiques techniques et dimensions
18.1 Généralités
18.2 Fiche technique
18.3 Dimensions
117
117
117
119
Certification
120
Déclaration de conformité
121
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Documents applicables
Variantes
Caractéristiques des variantes
Abréviations employées
Conditions ambiantes autorisées
Symboles et couleurs des icônes d’état et de composant
LED d’état et leur signification
Dispositifs de chauffage sur l’unité
Exemples de sous-réseaux
État de la connexion Ethernet
Structure du menu avec les fonctions
Opérations de maintenance et intervalles de maintenance
Sensibilité déterminée du spectromètre de masse
Dépannage
Pièces de rechange et composants, maintenance niveau 1
Couleurs et dimensions du tuyau flexible
Composants des raccords pour tuyau flexible
Outil spécial
Accessoires
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique
11
11
12
14
20
25
26
31
45
52
57
75
85
107
113
113
114
115
116
117
117
119
7/122
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Fig. 22:
Fig. 23:
Fig. 24:
Fig. 25:
Fig. 26:
Fig. 27:
Fig. 28:
Fig. 29:
Fig. 30:
Fig. 31:
Fig. 32:
Fig. 33:
Fig. 34:
Fig. 35:
Fig. 36:
Fig. 37:
Fig. 38:
Fig. 39:
Fig. 40:
Fig. 41:
Fig. 42:
Fig. 43:
Fig. 44:
Fig. 45:
Fig. 46:
Fig. 47:
Fig. 48:
Fig. 49:
Fig. 50:
Fig. 51:
Fig. 52:
Fig. 53:
Fig. 54:
8/122
Position des autocollants sur le produit
Diagramme du vide de l’OmniStar
Diagramme du vide du ThermoStar
Alimentation supplémentaire en purge de gaz neutre dans la version pour
gaz corrosif
Écran d’affichage avec touches opérateur
Éléments du carter
Panneau de connexion avec interfaces et connexions
Systèmes d’admission de gaz
Unité de calibration en admission de gaz
Pompe à membrane
Système de purge de gaz neutre
Composants de l’unité d’analyse de gaz
Chauffage et isolation de l’enceinte à vide
Chauffage de l’admission de gaz
Chauffage du capillaire
Composants électroniques
Équipement de montage pour analyseur QMA 250
Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
Aide au montage du support de gaz de calibration
Protection pour le transport de la pompe à membrane
Distances latérales minimum de l’unité
Protection pour le transport de la pompe à membrane
Sectionnement du tuyau de gaz d'échappement
Raccordement du tuyau de gaz d’échappement
Sectionnement du tuyau de purge de gaz neutre
Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
Raccordement du capillaire
Position du tuyau flexible capillaire à la livraison
Changement de l’adresse IP de la GSD 350 via l’interface Web
Raccordement pour la terre fonctionnelle
Connexion d'alimentation électrique avec fiche CEI 320 C13
Branchement secteur avec interrupteur principal et fusible
Connexion « USER I/O »
Connexion « AUX IO »
Connexion Ethernet (LAN)
Écran « Tableau de bord » après démarrage du programme
Écran de « commande »
Écran « Tableau de bord »
Exemple de réglage de paramètre
Sous-menu « Recettes »
Recette de mesure pour le mode de mesure « Scan du spectre »
Recette de mesure pour le mode de mesure « Masses sélectionnées »
Recette de mesure pour le mode de mesure « Masses sélectionnées – Spécial »
Mode de trempage de l’enceinte à vide
Sous-menu « Réglages de l’utilisateur »
Sous-menu « Démarrage automatique »
Sous-menu « Réseau »
Sous-menu « Factory settings »
Exemple de message d’anomalie
Exemple de messages anciens
Menu « Commande »
Sélection de la recette
Retrait/fixation du couvercle de l’admission de gaz
Retrait/fixation des couvercles sur le côté
13
23
24
24
25
26
27
28
29
29
30
31
32
33
33
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35
35
35
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38
39
40
40
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60
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63
64
65
65
66
67
71
76
77
Liste des figures
Fig. 55:
Fig. 56:
Fig. 57:
Fig. 58:
Fig. 59:
Fig. 60:
Fig. 61:
Fig. 62:
Fig. 63:
Fig. 64:
Fig. 65:
Fig. 66:
Fig. 67:
Fig. 68:
Fig. 69:
Fig. 70:
Fig. 71:
Fig. 72:
Fig. 73:
Fig. 74:
Fig. 75:
Fig. 76:
Fig. 77:
Fig. 78:
Fig. 79:
Retrait/fixation du couvercle de carter
Face inférieure de l’unité
Remplacement de la pompe à membrane
Raccordement et retrait du tuyau de gaz d’échappement et d’admission
Spectromètre de masse quadripôle PrismaPro
Gorge sur l’analyseur
Jauge de pression totale sur l’unité d’analyse de gaz
Pièces du diffuseur de gaz interne sur l’Omnistar
Démontage du bloc de vannes
Diffuseur de gaz environ 1–2 mm derrière l’extrémité du manchon céramique
Pièces du diffuseur de gaz interne sur ThermoStar
Retrait de la bride de l’admission de gaz
Diffuseur de gaz environ 1–2 mm derrière l’extrémité du manchon céramique
Longueur du capillaire en acier inoxydable avec raccord à vis à collier de
serrage
Entaillage et cassage du capillaire en acier inoxydable
Raccord à collier de serrage pour capillaire en acier inoxydable
Entaillage et cassage du capillaire de quartz
Raccord à vis avant du capillaire en quartz
Remplacement de l’affichage
Unité de calibration
Clé à écrou pour couvercle de carter de pompe turbomoléculaire
Jauge de centrage pour QMA
Aide au montage du support de gaz de calibration
Adaptateur de tube capillaire
Dimensions
78
80
82
82
84
85
86
87
88
90
92
93
94
96
96
97
98
99
101
102
115
115
115
116
119
9/122
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l’utilisateur « GSD 350 OmniStar/ThermoStar »
Fonctionnement via l’interface Web et PV MassSpec
DA 0106
Manuel de l’utilisateur « Spectromètre de masse quadripole »
QMG 250 PrismaPro
BG 6001
Guide de démarrage rapide « Spectromètre de masse quadripole »
QMG 250 PrismaPro
BG 6003
Manuel de l’utilisateur « Pompe à membrane »
MVP 010-3 DC
PU 0071
Manuel de l’utilisateur « Pompe turbomoléculaire »
HiPace 80
PT 0208
Informations supplémentaires « Pompe turbomoléculaire »
SplitFlow 80
PT 0635
Manuel de l’utilisateur « Unité de commande électronique »
TC 110
PT 0204
Manuel de l’utilisateur « Manomètre de pression totale »
Jauge à cathode froide/Pirani DigiLine MPT 200 AR
PG 0025
Informations supplémentaires « Relais analogique »
Jauge DigiLine
PG 0029
Manuel de l’utilisateur « Mini vanne équerre » 1)
EVI 005 M
BP 5120
Manuel de l’utilisateur pour « Vanne de remise à l’air »
PT 0228
Manuel de l’utilisateur « Vanne de la purge de gaz » 2)
PT 0229
Documentation du logiciel
PV MassSpec
(partie du logiciel)
Fiche technique de sécurité 3)
Perfluorotributylamine (PFTBA)
-
1)
10/122
Uniquement pour la version avec unité de calibration
2)
uniquement pour la version pour gaz corrosifs
3)
Uniquement pour la version avec unité de calibration
A propos de ce manuel
Désignation
Document
Manuel de l’utilisateur « Manocontacteur numérique » 4)
OM_ZSE_ISE30A_OML0003
(SMC)
Déclaration de conformité
(composante de ces instructions)
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Variante
Version
Analyseur avec filament
chauffé
Admission de gaz
Domaine de
masse
Affichage
PT Q8 = OmniStar
0 = Standard
GSD 350 O
1 = Gaz corrosif
GSD 350 O C
1 = Ir-Y2O3 (unité de calibration)
2 = Ir-Y2O3
151 = Quartz / 1 m /
chauffage à 200 °C
1 = 100 u
2 = 200 u
3 = 300 u
0 = oui
1 = non
1 = 100 u
2 = 200 u
3 = 300 u
0 = oui
1 = non
5 = W (unité de calibration)
6=W
152 = Quartz / 2 m /
chauffage à 200 °C
153 = Quartz / 1 m /
chauffage à 350 °C
161 = Acier inoxydable/
sans tube capillaire
171 = Acier inoxydable /
1 m / chauffage 200 °C
172 = Acier inoxydable /
2 m / chauffage 200 °C
173 = Acier inoxydable /
1 m / chauffage 350 °C
PT Q9 = ThermoStar
0 = Standard
GSD 350 T
1 = Gaz corrosif
GSD 350 T C
1 = Ir-Y2O3 (unité de calibration)
2 = Ir-Y2O3
5 = W (unité de calibration)
6=W
101 = Quartz/sans tube
capillaire
111 = Quartz / 1 m /
chauffage à 200 °C
112 = Quartz / 2 m /
chauffage à 200 °C
113 = Quartz / 1 m /
chauffage à 350 °C
Tab. 2:
Variantes
Exemple de décomposition de la référence PT Q80 217 110
●
●
●
●
Version Omnistar
Version standard
Analyseur avec filament chauffé en Ir-Y2O3, sans unité de calibration
Admission de gaz avec chauffage jusqu’à 200 °C et capillaire en acier inoxydable d’une longueur
de 1 m
● Domaine de masse jusqu’à 100 u
● Version avec écran
Caractéristiques
OmniStar
Capillaire
Acier inoxydable (OD = 1/16", ID = 0,12 mm)
ou
Quartz (OD 0,23", ID = 0,14 mm)
Écran d’admission de gaz
Platine
4)
ThermoStar
uniquement pour la version pour gaz corrosifs
11/122
A propos de ce manuel
Caractéristiques
OmniStar
ThermoStar
Admission de gaz
Commande par 2 vannes
Ouvert en continu
Options
● Chauffage jusqu’à 200 °C ou 350 °C
● Version pour gaz corrosif avec raccord de la purge de gaz neutre
● Unité de calibration pour calibration de l’échelle de masse
(Fluide de calibration pour calibration de la masse : PFTBA)
Tab. 3:
Caractéristiques des variantes
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
12/122
A propos de ce manuel
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
Plaque signalétique (exemple)
Plaque signalétique de l’unité.
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Input
GSD 350
PT Q.. ...
...
...
Made in Germany 2022/02
Sceau de garantie
Le produit est scellé, départ d’usine. L’endommagement ou
le retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque.
warranty seal
Avertissement, surface chaude
Cet autocollant met en garde contre les risques de blessure
liés aux hautes températures à la suite d’un contact sans
protection pendant le fonctionnement.
Autocollant VSM
Cet autocollant contient des liens vers la gestion de service
virtuel Dreebit.
www.vsm-cloud.com
1
2
4
3
2
Fig. 1:
Position des autocollants sur le produit
1 Autocollant « Avertissement - surface chaude » 5)
2 Sceau de garantie
5)
3
4
Autocollant VSM
Plaque signalétique
Uniquement pour chauffage du capillaire jusqu’à 350 °C
13/122
A propos de ce manuel
1.3.4
Orientation gauche/droite
L’orientation gauche et droite est donnée à partir du point de vue de l’opérateur de l’affichage.
1.3.5
Abréviations
Abréviation
Explication
OD
Diamètre extérieur
AI
Entrée analogique
AO
Sortie analogique
ATEX
Zones présentant un risque d’atmosphère explosive (atmosphères explosives)
C/B
Croisement (type de source d’ions)
DCU
Appareil de commande et d’affichage
DHCP
Protocole de communication pour l’attribution de la configuration du réseau (Dynamic
Host Communication Protocol)
DI
Entrée numérique
DO
Sortie numérique
EM
Multiplicateur d’électrons
EPDM
Caoutchouc éthylène-propylène-diène monomère, groupe M
FIL
Filament chauffé
FKM
Caoutchouc fluoré
ID
Diamètre intérieur
IP
Protocole Internet
IQS
Norme pour les connecteurs mâle-femelle dans la technique du vide
Ir-Y2O3
Iridium recouvert d’oxyde d’yttrium (Y2O3) (Ir)
MVP
Pompe à vide à membrane
NBR
Caoutchouc butadiène-nitrile
MSL
Niveau moyen de la mer
PA
Polyamide
PE
Polyéthylène
PFTBA
Liquide incolore pour le calibration des masses (perfluorotributylamine)
PID
Régulateur proportionnel, intégral, dérivé
PoE
Alimentation électrique par câble Ethernet (Power over Ethernet)
PT100
Résistance de mesure platine avec résistance de dérivation de 100 Ohm
PTFE
Polymère de fluor et de carbone (polytétrafluoroéthylène)
Tuyau flexible en PUN
Tuyau flexible polyuréthane calibré externe
PV
Pfeiffer Vacuum
PVC
Chlorure de polyvinyle
PWM
Type de modulation (impulsion avec modulation) dans laquelle une variable technique, par ex. la tension électrique, varie entre 2 valeurs.
RJ-45
Connecteur mâle-femelle normalisé pour le câblage de télécommunication (jack normalisé)
sccm
Centimètres cube standard par minute comme unité d’une quantité définie de débit
de gaz par unité de temps sous des conditions standard
slpm
Litres standard par minute comme unité d’une quantité définie de débit de gaz par
unité de temps sous des conditions standard
VLAN
Réseau local virtuel
VSM
Logiciel basé sur le Cloud pour la gestion des composants et des systèmes de vide,
et pour la planification de procédés de service (gestion virtuelle de services)
W
Tungstène
Tab. 4:
14/122
Abréviations employées
A propos de ce manuel
1.4
Justificatif de marque
● Windows® et Internet Explorer® sont des marques déposées de Microsoft Corporation.
● OmniStar®, ThermoStar® et PrismaPro® sont des marques déposées de Pfeiffer Vacuum GmbH.
● Swagelok® est une marque de commerce déposée de la société Swagelok.
15/122
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques lors du transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
16/122
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lors du levage de charges lourdes
Le produit est lourd ; il peut peser jusqu’à 26 kg, selon la version. Une personne soulevant le produit
sans aide et de manière incorrecte risque de se blesser.
► Faites toujours appel à 2 personnes pour soulever le produit à deux mains.
► Prenez toujours les mesures de sécurité requises (portez par ex. des gants de protection).
► Respectez la réglementation locale.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
DANGER
Électrocution en raison de l’absence de conducteur de protection interne
Le conducteur de protection interne est fixé au logement. Une unité sans conducteur de protection
interne peut présenter un danger de mort en cas de dysfonctionnement.
► Ne tournez pas ou ne débloquez pas le conducteur de protection interne.
Risques pendant le fonctionnement
DANGER
Choc électrique dû à la pénétration d’humidité dans l’unité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
17/122
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
ATTENTION
Risques sanitaires et environnementaux dus aux de gaz de procédé utilisés
Les gaz utilisés (gaz de procédé) constituent un risque sanitaire et environnemental.
► Contrôler l'étanchéité des branchements avant de laisser le gaz de procédé pénétrer dans le
système.
► Veiller à ce que le système des gaz d'échappement soit compatible avec les gaz injectés.
► Tenir compte des interactions potentielles entre les matériaux et les gaz de procédé.
► Respecter les directives en vigueur lors de la manipulation de gaz utilisés.
► Respecter les mesures de protection.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort par électrocution
L'appareil présente des tensions élevées. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous
tension. La mise en service de l'appareil alors qu'il est visiblement endommagé implique un danger
de mort.
► Toute intervention sur l'appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d'exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l'appareil et déconnectez-le de l'alimentation électrique.
► N’ouvrez jamais l'appareil lorsqu'il est branché à une source d'alimentation électrique.
► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l'utilisation accidentelle d'un appareil défectueux.
► Protégez l'appareil contre l'humidité.
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
18/122
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
ATTENTION
Risque de blessure par éclatement du capillaire en quartz
Les capillaires au quartz éclatent en cas d’utilisation non conforme. Risque de grave blessure aux
yeux lié à la projection d'éclats.
► N’exercez pas de force en entaillant le capillaire en quartz.
► Portez des lunettes de protection.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
19/122
Sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Emplacement de l’installation
protégé des intempéries (espace intérieur)
Altitude de l’installation
2 000 m max.
Humidité rel. de l’air
max. 80 %, à T <31°C,
jusqu’à max. 50 % à T <40°C
Classe de protection
I
Catégorie de surtension
II
Degré de protection admissible
IP30
Degré de pollution
2
Température ambiante
10 °C à 40 °C
Tab. 5:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
Le système d’analyse du gaz est utilisé pour le contrôle manuel ou l’analyse automatique des gaz non
corrosifs et non inflammables. La version pour gaz corrosifs du système d’analyse du gaz est compatible avec les applications spécifiques pour gaz corrosifs.
► L'installation, l'utilisation et l'entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l'utilisateur.
► Conforme aux limites d'application.
► Observez la fiche technique.
► Contactez Pfeiffer Vacuum pour demander conseil sur les gaz corrosifs ou inflammables.
20/122
Sécurité
2.6
Utilisation incorrecte envisageable
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme
abusive, en particulier :
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’application
● Utilisation avec des substances corrosives ou inflammables, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● Fonctionnement dans les zones potentiellement explosives 6)
● Fonctionnement dans des environnements susceptibles de contenir des mélanges gazeux explosifs.
● Fonctionnement à l’extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
2.7
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.7.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
6)
Le système d’analyse du gaz n’est pas à l’épreuve des explosions, dans le sens de la norme ATEX.
21/122
Sécurité
2.7.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.7.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
22/122
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Description fonctionnelle
Le GSD 350 peut analyser différents composants de gaz simultanément. Le gaz à analyser passe à
travers un capillaire pour atteindre le spectromètre de masse qui fonctionne dans un vide. Le spectromètre de masse ionise une partie du gaz et sépare et détecte les différents composants du gaz à partir
de leur différent rapport masse/charge. Les différents systèmes d’entrée de gaz OmniStar et ThermoStar réduisent la pression du gaz à analyser de 1000 hPa à la pression de travail du spectromètre de
masse. L’unité d’analyse de gaz, le vide élevé et le système d’acheminement du gaz sont les mêmes
dans les versions OmniStar et ThermoStar.
3.1.1
OmniStar
14
15
1
2
4 5
3
6
7
10
13
8
12
11
Fig. 2:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
Diagramme du vide de l’OmniStar
Analyseur QMA 250 M
Chauffage de récipient
Source d’ions
Vanne de débitmètre (V1) vers la source d’ions
Chauffage de l’admission de gaz
Capillaire en acier inoxydable avec chauffage
Vanne Split-flow (V2)
Vanne d’isolement EVI 005 M sur l’unité de calibration
9
10
11
12
13
14
15
Unité de calibration (en option)
Pompe à membrane
Raccord de gaz d’échappement
Pompe turbomoléculaire
Vanne de ventilation
Unité électronique QME 250
Jauge de pression totale
23/122
Description du produit
3.1.2
ThermoStar
1 2 3
13
12
4
5
8
6
11
9
7
10
Fig. 3:
1
2
3
4
5
6
7
3.1.3
Diagramme du vide du ThermoStar
Analyseur QMA 250 M
Source d’ions
Chauffage de récipient
Chauffage de l’admission de gaz
Capillaire en quartz avec chauffage
Vanne d’isolement EVI 005 M sur l’unité de calibration
Unité de calibration (en option)
8
9
10
11
12
13
Pompe turbomoléculaire
Pompe à membrane
Raccord de gaz d’échappement
Vanne de ventilation
Unité électronique QME 250
Jauge de pression totale
Version pour gaz corrosifs
1
9
8
7
5
6
P
2
4
Fig. 4:
1
2
3
4
5
3
Alimentation supplémentaire en purge de gaz neutre dans la version pour gaz corrosif
Raccordement à l’enceinte à vide
Raccord de gaz d’échappement
Vanne d’étranglement
Vanne de retenue
Manocontacteur numérique avec jauge de pression
3.2
Commandes et indicateurs
3.2.1
Version avec écran
6
7
8
9
Vanne de la purge de gaz
Raccord de la purge de gaz neutre
Régulateur de pression manuel
Vanne de ventilation
L’écran tactile 7" est situé en face avant de l’unité et peut être retiré du carter via les 2 rainures de dégagements sur le côté. Le champ opérateur et les touches opérateur sont sensibles au contexte et
24/122
Description du produit
changent afin de refléter les fonctions de l’écran. Les fonctions indisponibles sont grisées. Sur l’écran
« Messages », les niveaux de message inactifs sont aussi affichés comme des boutons gris.
Messages d’avertissement ou de défaut
En cas de message d’anomalie ou d’avertissement, un triangle d’avertissement apparaît en
haut à droite de l’affichage. Le triangle d’avertissement est susceptible d’apparaître sur
l’ensemble des écrans de menu. Appuyez sur le triangle d’avertissement ou le bouton
« Messages » pour afficher l’aperçu du message.
8
1
2
7
6
6
5
Fig. 5:
3
Écran d’affichage avec touches opérateur
1 Barre de titre avec le nom du menu
2 Triangle d’avertissement en cas d’avertissement ou de message d’anomalie
3 Réglages de l’utilisateur
4 Champ opérateur inactif à l’écran (grisé)
5 Icône d’état
Symbole
6
7
Icône de composant
Commandes
8
9
Champ opérateur actif à l’écran
Lien vers le tableau de bord
Signification
Couleur
Vert clair
Activé, état de marche atteint
Vert foncé
Activé, état de marche pas encore atteint
Gris clair
Non activé
Gris foncé
En cours de désactivation, état de désactivation pas encore atteint
Coche sur l’icône d’état
état stable, état final d’activation ou de désactivation atteint
Arc tournant dans l’icône d’état
Fonction lancée ou stoppée, état final pas encore atteint
Tab. 6:
3.2.2
4
Symboles et couleurs des icônes d’état et de composant
Version sans écran
Diverses LED indiquent l’état des différents systèmes sur le modèle dépourvu d’écran. La commande
se fait uniquement via l’interface Web.
LED
Fonction
Description
0
Puissance
La LED indique l’état de l’alimentation électrique. Lorsqu’elle est allumée,
l’unité est sous tension.
1
Vide prêt
La LED clignote pendant la mise en route des pompes à vide ; elle reste allumée fixe dès que la pompe à vide est évacuée et le système est opérationnel
pour effectuer une mesure.
2
Erreur
Message d’erreur générale
3
Chauffage
La LED s’allume lorsque les unités de chauffage sont mises en marche.
25/122
Description du produit
LED
Fonction
Description
4
Filament
chauffé
La LED s’allume en présence d’un flux dans le filament.
5
Purge
La LED s’allume lorsque le raccordement à la purge de gaz neutre est établie ; elle clignote lorsque la surveillance de la purge de gaz neutre est shuntée (uniquement pour les travaux de maintenance).
Tab. 7:
LED d’état et leur signification
3.3
Configuration de l’unité
3.3.1
Instrument fondamental
L’instrument fondamental est constitué d’un châssis et de couvercle amovibles.
Pour la ventilation, le GSD 350 est équipé de :
● 2 ouvertures de ventilation, avec ventilateurs sur les côtés
● Ouvertures de ventilation en haut et en bas de l’affichage amovible
2
1
3
12
11
8
5
9
10
Fig. 6:
3.3.2
4
6
7
Éléments du carter
1
Couvercle de carter
2, 3 Panneau de connexion en option pour
le tube capillaire chauffé
4
Ouverture de ventilation (admission)
8
9
Ouverture de ventilation (sortie)
Capot latéral (de droite)
10
5
Capot latéral (de gauche)
11
6
7
Cadre, châssis
Zone de connexion
12
Panneau de connexion pour le tube capillaire
chauffé (position à la livraison)
Affichage de contact 7"
(Alternative : affichage à LED sans écran)
Couvercle de l’admission de gaz
Zone de connexion
Le panneau de connexion contient toutes les interfaces et connexions de l’unité.
26/122
warranty seal
warranty seal
Description du produit
www.vsm-cloud.com
D-35614 Asslar
Mod. GSD 350
P/N PT Q.. ...
S/N ...
Input ...
Made in Germany 2022/02
1
2
8
Fig. 7:
3.3.3
7
6
5
4
3
Panneau de connexion avec interfaces et connexions
1 Raccord de terre (terre fonctionnelle)
5
2 Alimentation avec interrupteur de mise sous tension
3 Raccord de gaz d’échappement
4 Raccord de la purge de gaz neutre 8)
6
7
8
Manocontacteur numérique pour purge
de gaz neutre 7)
Connexion Ethernet (RJ-45)
Connexion « USER IO »
Connexion « AUX IO »
Système d’admission de gaz
Le diffuseur de gaz vers la source d’ions est vissé sur les systèmes d’admission d’admission de gaz de
l’OmniStar et du ThermoStar. Le diffuseur de gaz retient l’orifice et dirige le flux de gaz réduit vers la
chambre de formation de la source d’ions. La douille en céramique agit comme isolant électrique. Un
ressort à pression comprime la douille en céramique contre la chambre de formation de la source
d’ions.
Système d’admission de gaz (OmniStar)
Lorsque l’admission de gaz est ouverte, un volume de 1 à 2 sccm du gaz à analyser reflue par le capillaire en acier inoxydable vers l’unité de vanne. Par l’intermédiaire de l’étage de réduction de pression,
constitué du capillaire et d’un orifice devant le diffuseur de gaz, le gaz à analyser atteint le spectromètre
de masse sans démixtion. Le capillaire en acier inoxydable est situé dans un tube capillaire, qui peut
être chauffé à 200 °C, voire à 350 °C en option. Quand le chauffage du capillaire est activé, le chauffage d’admission est aussi activé et l’admission de gaz est automatiquement chauffée. Les effets de la
condensation dans les gaz à analyser peuvent être évités par l’augmentation de la température. Les
vannes permettent l’interruption du flux de gaz d’échantillon. L’orifice encastré permet à une petite fraction du flux de gaz de pénétrer dans l’enceinte à vide. Le flux de gaz résiduel atteint l’aspiration intermédiaire de la pompe turbomoléculaire. Quand l’admission de gaz et les vannes Split-flow sont fermées, le
flux de gaz dans l’enceinte à vide est nul. Ceci permet de déterminer le bruit de fond de l’enceinte à
vide avec le spectromètre de masse et de la soustraire des mesures ultérieures, si nécessaire. La non
linéarité du spectromètre de masse peut nuire à la haute précision des mesures. La pénétration d’un
gaz très propre (gaz zéro) permet de déterminer avec précision le bruit de fond du spectromètre de
masse, même à la pression de travail (environ 1 × 10-5 hPa). Le gaz zéro doit être injecté dans les mêmes conditions de pression que pour le gaz à analyser.
Système d’admission de gaz (ThermoStar)
1 à 2 sccm du gaz à analyser passe par l’étage de réduction de pression, constitué du capillaire et d’un
orifice dans le diffuseur de gaz, pour atteindre le spectromètre de masse sans démixtion. Le capillaire
en quartz est situé dans un tube capillaire, qui peut être chauffé à 200 °C, voire à 350 °C en option.
Quand le chauffage du capillaire est activé, le chauffage d’admission est aussi activé et l’admission de
gaz est donc chauffée. Les effets de la condensation dans les gaz à analyser peuvent être évités par
l’augmentation de la température. Le capillaire en quartz se termine à 1 à 2mm avant l’orifice. Cela signifie qu’une partie du gaz sortant du capillaire en quartz atteint le spectromètre de masse sans impact
sur les parois dans l’étage de réduction de la pression. Ceci est important pour identifier de faibles concentrations de gaz réactifs, car ceux-ci ne doivent pas entrer en contact avec l’acier inoxydable. Le flux
de gaz ne peut pas être séparé de l’enceinte à vide avec le spectromètre de masse quand cette variante d’admission de gaz est utilisée. Ceci signifie que le bruit de fond de l’enceinte à vide et le spectromè-
7)
uniquement pour la version pour gaz corrosifs
8)
uniquement pour la version pour gaz corrosifs
27/122
Description du produit
tre de masse ne peut pas être déterminé et ajusté. Si c’est nécessaire, la pénétration d’un gaz très propre (gaz zéro) permet de déterminer avec précision le bruit de fond du spectromètre de masse, même à
la pression de travail (environ 1 × 10-5 hPa). Le gaz zéro doit être injecté dans les mêmes conditions de
pression que pour le gaz à analyser.
1
8
7
2
6
5
4
3
Fig. 8:
1
2
3
4
3.3.4
Systèmes d’admission de gaz
Admission de gaz Thermostat
Enceinte à vide
Pompe turbomoléculaire
Aspiration intermédiaire de la pompe turbomoléculaire
5
6
7
8
Bride de raccordement
Admission de gaz Omnistar
Vanne de débitmètre
Vanne Split-flow
Unité de calibration
L’unité de calibration optionnelle permet la calibration de ’échelle de masse et de la résolution du spectromètre de masse dans le domaine de masse haut (> 200 u). Un récipient collecteur en verre avec de
la perfluortributylamine (PFTBA) sert de fluide de calibration et est inséré dans l’enceinte à vide via un
orifice et une vanne d’isolement. L’enceinte à vide est raccordée sur le côté, via une bride DN 40 CF
sur la face avant. La vanne d’isolement sur l’unité de calibration peut être ouverte et fermée via la commande du GSD 350.
Perfluorotributylamine (PFTBA) dans le signal de fond
Le PFTBA présente l'inconvénient de laisser des traces dans le signal de fond de l'unité
longtemps après la fermeture de la vanne de calibration. Si cela interfère avec l'analyse
des gaz prévue, Pfeiffer Vacuum recommande l’étuvage de l’enceinte à vide après le calibration avec le PFTBA.
28/122
Description du produit
1
2
3
4
Fig. 9:
Unité de calibration en admission de gaz
1 Admission de gaz
2 Tube en acier inoxydable 1/8 po
3.3.5
3
4
Vanne d’isolement EVI 005 M
Récipient collecteur en verre pour le fluide de calibration
PFTBA
Système côté vide élevé
La pompe turbomoléculaire fonctionne selon le principe SplitFlow et maintient une pression de fonctionnement < 5 × 10-5 hPa dans l’enceinte à vide avec l’admission de gaz ouverte. La pompe turbomoléculaire prend en charge la majorité du gaz qui s'écoule via le capillaire par aspiration intermédiaire.
3.3.6
Système de vide primaire
La pompe à membrane établit le vide primaire requis pour faire tourner la pompe turbomoléculaire. Le
branchement au raccord de vide primaire (filetage 1/4") sur la pompe turbomoléculaire se fait par un
tuyau flexible de raccordement. Pour une élimination spécifique du gaz pompé, la pompe à membrane
est dotée d’une conduite d’échappement qui vous pouvez relier à une conduite locale d’évacuation du
gaz ou acheminer hors du laboratoire.
Bruit croissant de la pompe à membrane
La vitesse de rotation de la pompe à membrane est automatiquement adaptée aux différents états de marche de la GSD 350. Ceci peut entraîner différents bruits croissants.
Changement de la fréquence de la pompe avec émission active
Vous pouvez changer la fréquence de la pompe à membrane pour des mesures sensibles
avec les spectromètre de masse et l’émission active. Ceci vous permet de réduire au minimum l’influence sur le signal de mesure. Pour une description détaillée, se reporter au document DA0106 « Fonctionnement via interface Web et PV MassSpec ».
Fig. 10:
Pompe à membrane
29/122
Description du produit
3.3.7
Système de purge de gaz neutre
Sur la version pour gaz corrosif, la purge de gaz neutre protège les paliers de la pompe turbomoléculaire et assure que le gaz corrosif est évacué vers la pompe à membrane sous une forme diluée. Cela
améliore la durée de vie de la pompe à membrane et empêche la condensation des vapeurs dans la
pompe à membrane. La version de gaz corrosif est dotée d’un régulateur de pression interne réglé en
usine qui utilise un rhéomètre pour assurer un flux adéquat de purge de gaz neutre. Une faible fraction
de la purge de gaz neutre atteint la vanne de purge de gaz neutre et de ventilation de la pompe turbomoléculaire via un diviseur de débit. La fraction principale de la purge de gaz neutre, environ 300 sccm,
s’écoule directement vers le raccord de gaz d’échappement. Si un conduit d’échappement ou un épurateur est raccordé, il ne doit pas y avoir de surpression au niveau du raccordement des gaz d’échappement.
Objet du manocontacteur numérique :
● fournir un indicateur visuel de la pression de la purge de gaz neutre interne (2 à 16 kPa de surpression) en aval du régulateur de pression
● émettre un signal qui déclenche la procédure d’arrêt si la pression de la purge de gaz neutre dépasse ou tombe en dessous de la plage autorisée
Concentrations de gaz admissibles
Pour calculer la toxicité de la purge de gaz neutre, on part du principe que la purge de gaz
neutre dilue les concentrations des gaz d’admission par un facteur > 100.
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1 Tuyau flexible entre la pompe à membrane et la
pompe turbomoléculaire
2 Pompe à membrane
9
Raccord de la purge de gaz neutre
10
3 Tuyau flexible de gaz d’échappement de la pompe
à membrane
4 Vanne de retenue d’étranglement
5 Tuyau vers le raccord de gaz d’échappement
6 Vanne de retenue
7 Régulateur de pression manuel
8 Raccord de gaz d’échappement
11
Manocontacteur numérique avec jauge
de pression
Tuyau vers la vanne de la purge de gaz
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13
14
15
Tuyau flexible de la purge de gaz neutre
Tuyau vers la vanne de ventilation
Vanne de la purge de gaz
Vanne de ventilation
10
Fig. 11:
3.3.8
Système de purge de gaz neutre
Unité d’analyse de gaz
Principe fonctionnel du spectromètre de masse
Le principe fonctionnel du spectromètre de masse PrismaPro est décrit dans le manuel de
l’utilisateur correspondant.
30/122
Description du produit
Le spectromètre de masse analyse la petite fraction de gaz à analyser pénétrant dans l’enceinte à vide
via l’orifice. Quand l’émission est activée, l’unité d’analyse de gaz peut déterminer la pression dans l’enceinte à vide de façon autonome et l’afficher dans le logiciel PV MassSpec. L’unité d’analyse de gaz a
aussi une jauge de pression totale sur l’enceinte à vide qui permet une mesure du vide dans le domaine
de pression allant de 1000 à 5 × 10-9 hPa indépendamment du spectromètre de masse. La pression
totale mesurée peut être lue sur l’affichage, l’UI Web et dans le logiciel PV MassSpec.
1
4
10
2
9
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4
5
8
7
Fig. 12:
3.3.9
6
Composants de l’unité d’analyse de gaz
1 Jauge de pression totale
2 Unité électronique QME 250
3 Capteur de température
6
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4 Cartouche de chauffage dans l’enceinte à vide
5 Vanne de la purge de gaz sur la version pour
gaz corrosif
9
Vanne de ventilation
Pompe turbomoléculaire
Aspiration intermédiaire de la pompe turbomoléculaire
Source d’ions pour analyseur QMA 250 M
10
Enceinte à vide
Chauffage et isolation
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
Les dispositifs de chauffage de l’unité peuvent être totalement contrôlées via le contrôleur de l’unité.
Type
Température (max.)
Température (réglable)
Chauffage du capillaire (200 °C)
200 °C
80 à 200 °C
Chauffage du capillaire (350 °C)
350 °C
80 à 350 °C
Chauffage de l’admission de gaz
100 °C
Réglé automatiquement
Chauffage de récipient
130 °C
40 à 130 °C
Tab. 8:
Dispositifs de chauffage sur l’unité
31/122
Description du produit
Chauffage de récipient (étuvage)
L’étuvage réduit les gaz de condensation adhérant à la surface de l’enceinte à vide. Cela conduit à une
pression totale plus faible dans l’enceinte à vide, et à un signal de fond plus faible pendant les mesures.
La quantité d’eau est ainsi réduite dans le système de vide.
Caractéristiques de chauffage de récipient
● L’enceinte à vide dispose de 2 cartouches de chauffage.
● Vous pouvez enlever l’isolation de l’enceinte à vide et le raccord angulaire.
● Vous pouvez sélectionner la durée de l’étuvage de 1 à 24 h. La valeur standard pour l’étuvage est
de 4 heures.
● Vous pouvez annuler à tout moment le processus d’étuvage via la commande sur l’unité.
● Vous pouvez sélectionner une température entre 100 et 130 °C. La valeur standard de la température est de 120 °C.
5
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1
2
3
Fig. 13:
Chauffage et isolation de l’enceinte à vide
1,3 Cartouches de chauffage de récipient
2
Capteur de température
4
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Isolation (coudée)
Isolation de l’enceinte à vide
Chauffage de l’admission de gaz
Caractéristiques du chauffage de l’admission de gaz
● Les admissions de gaz OmniStar et ThermoStar ont une plaque de conducteur thermique avec un
coussin de chauffage et une douille isolante.
● La version Omnistar a aussi une cartouche de chauffage dans le bloc de vannes.
● Le chauffage de l’admission de gaz est toujours activé et désactivé parallèlement au chauffage du
capillaire.
● La GSD 350 ajuste automatiquement la température de l’admission de gaz. Vous ne pouvez pas
ajuster la température de chauffage de l’admission de gaz.
32/122
Description du produit
1
2
3
6
Fig. 14:
5
4
Chauffage de l’admission de gaz
1 Chauffage du capillaire dans le tube capillaire
4
2 Douille isolante du couvercle de l’admission de
gaz
3 Couvercle de l’admission de gaz
5
Coussin de chauffage (collé à la plaque de
conducteur thermique)
Plaque de conducteur thermique
6
Douille isolante de paroi arrière
Chauffage du capillaire
Le capillaire est situé dans un tube capillaire flexible avec un chauffage à résistance. Vous pouvez
chauffer le capillaire à 200 °C ou 350 °C. La valeur standard de la température du chauffage de capillaire est 120 °C. En fonction du réglage de la température et de la variante de tube capillaire, des températures > 70 °C sont possibles sur la surface du tube capillaire.
5
6
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1
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4
Fig. 15:
3.3.10
Chauffage du capillaire
1 Serpentin de chauffage
2 Élément d’isolement
4
5+6
3 Guide de capillaire
pour la variante à 200 °C : Tuyau flexible en PTFE
pour la variante à 350 °C : Tube en acier inoxydable
7
Capteur de température PT100
Raccordement électrique pour le
chauffage
Élément de fixation sur l’unité
Composants électroniques
Unité électronique QME 250
L’unité électronique QME 250 est montée sur l’analyseur QMA 250 M et contient les interfaces du spectromètre de masse. La QME 250 fournit toutes les tensions requises pour le fonctionnement de l’analyseur QMA 250 et prépare les courants d’ions mesurés au traitement ultérieur.
Unité de commande électronique TC 110
L’unité de commande électronique TC 110 est un composant permanent de la pompe turbomoléculaire.
Le rôle de l’unité de commande électronique est d’entraîner, de surveiller et de commander l’ensemble
de la pompe turbomoléculaire.
Unité de commande électronique de pompe à membrane
L’unité de commande électronique est un composant permanent de la pompe à membrane. L’unité de
commande électronique sert à surveiller et à contrôler toute la pompe à membrane.
Unité de courant
L’alimentation électrique étendue alimente en tension tous les composants du GSD 350.
Affichage
Commande le GSD 350 et interroge les fonctions via l’affichage.
33/122
Description du produit
Injecteur PoE
L’injecteur PoE alimente l’affichage en courant.
Platine principale
La platine principale est située sur la plaque de base du châssis et remplit les fonctions suivantes :
●
●
●
●
●
●
●
Serveur VLAN pour la communication entre le spectromètre de masse et l’affichage
Commande de la pompe turbomoléculaire et de la pompe à membrane
Commande des vannes d’admission de l’OmniStar
Commande de la vanne de gaz de calibration de la GSD 350 avec unité de calibration
Contrôle du chauffage en boucle ouverte et fermée
Commande du ventilateur pour la température du carter
Interfaces externes
2
1
7
6
3
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5
Fig. 16:
1
2
3
4
3.4
Composants électroniques
Unité de courant
Affichage
Injecteur PoE
Unité de commande électronique de pompe à membrane
5
6
7
Carte superviseur
Unité électronique QME 250
Unité de commande électronique TC 110
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
1. Relever les données sur la plaque signalétique produit.
2. Enregistrer ces données.
3. Toutes les caractéristiques de la plaque signalétique doivent toujours être disponibles.
3.5
Volume de livraison
Le volume de livraison inclut les pièces suivantes :
● GSD 350 OmniStar/ThermoStar
● Matériel d’installation et petites pièces
─ Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2, WAF 2,5 et WAF 3
─ Clé plate métrique, WAF 8, WAF 10 (2x) et WAF 14
─ Clé plate à unités impériales, WAF 5/16", WAF 3/8" et WAF 9/16"
34/122
Description du produit
─
─
─
─
─
─
●
●
●
●
Clé à douille à deux côtés pour la source d’ions
Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
Équipement de montage pour analyseur QMA 250
2 joints toriques en FKM, 9,25 × 1,78 mm et 18,77 × 1,78 mm
2 fusibles lents, 10 A
pour OmniStar avec capillaire en acier surfin seulement
○ Clé à fourche pour douille hexagonale, TX20
○ Jeu de colliers de serrage pour tube 1/16" (5 pièces)
─ pour ThermoStar ou GSD 350 avec capillaire au quartz seulement
○ Jeu de joints pour capillaire 250 µm (virole) (5 pièces)
─ Uniquement pour les versions avec unité de calibration
○ Aide au montage du support de gaz de calibration
Protection pour le transport, pour l’analyseur QMA 250 M
Câble Ethernet, 3 m de long, rouge
Câble de secteur
Manuel de l’utilisateur
─ GSD 350 OmniStar/ThermoStar
─ Composants (voir chapitre « Documents applicables », page 10)
Fig. 17:
Équipement de montage pour analyseur QMA 250
Fig. 18:
Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
Fig. 19:
Aide au montage du support de gaz de calibration
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
35/122
Transport et stockage
4 Transport et stockage
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lors du levage de charges lourdes
Le produit est lourd ; il peut peser jusqu’à 26 kg, selon la version. Une personne soulevant le produit
sans aide et de manière incorrecte risque de se blesser.
► Faites toujours appel à 2 personnes pour soulever le produit à deux mains.
► Prenez toujours les mesures de sécurité requises (portez par ex. des gants de protection).
► Respectez la réglementation locale.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
2
1
Fig. 20:
Protection pour le transport de la pompe à membrane
1 Protection pour le transport de la pompe à membrane
2
Patte
Informations générales sur le transport en toute sécurité
1. Prenez en compte le poids du produit.
2. Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine.
3. Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
36/122
Transport et stockage
4. Installez toujours l’ensemble de la protection pour le transport avant le transport.
5. Retirez le cache de protection existant seulement juste avant l’installation.
Installation de la protection pour le transport de la pompe à membrane
1. Soulevez légèrement le côté gauche de la GSD 350.
2. Vissez complètement dans la protection pour le transport.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
37/122
Installation
5 Installation
5.1
Assurer la ventilation
AVIS
Dégâts causés par surchauffe
La température ambiante ne doit pas excéder la température de service admissible de l'appareil.
► Veillez à assurer une bonne circulation de l'air lors de l'installation de l'appareil.
► Si nécessaire, contrôlez et nettoyez régulièrement le filtre à air installé.
Fig. 21:
Distances latérales minimum de l’unité
Procédure
1. Gardez toujours une zone > 25 mm propre autour de l’unité.
2. Si vous installez l’unité dans une armoire :
● Veillez à ce que l’armoire soit assez grande.
● Veillez à ce que l’armoire assure suffisamment d'aération par le ventilateur installé dans l’unité.
5.2
Retrait de la protection pour le transport de la pompe à membrane
2
1
Fig. 22:
Protection pour le transport de la pompe à membrane
1 Protection pour le transport de la pompe à membrane
38/122
2
Patte
Installation
Procédé
La protection pour le transport est située au-dessous de la GSD 350. Pfeiffer Vacuum a marqué la protection pour le transport avec une patte au départ usine.
1. Installez l’unité GSD 350 à l’emplacement d’utilisation.
2. Soulevez légèrement le côté gauche de la GSD 350 pour accéder sous l’unité.
3. Dévissez complètement la protection pour le transport.
4. Conservez la protection pour le transport dans un endroit sûr.
5.3
Établissement de la connexion Ethernet
Vous avez besoin d'une connexion Ethernet appropriée pour faire fonctionner le GSD 350 via l’interface
web ou le logiciel PV MassSpec en utilisant un PC (ordinateur hôte) ou un réseau.
Raccordement du câble Ethernet
► Reliez le câble Ethernet fourni au GSD 350 et au PC.
Les deux LED dans la prise RJ-45 indiquent le statut de l’interface (voir chapitre « Connexion Ethernet
(LAN) », page 52).
5.4
Raccordement de la conduite d’échappement
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
5.4.1
Sectionnement du tuyau de gaz d'échappement
Outil nécessaire
● Cutter à flexible
Équipement nécessaire
● Tuyau flexible PE (Ø extérieur = 6 mm)
Fig. 23:
Sectionnement du tuyau de gaz d'échappement
Procédure
1. Vous devez prendre beaucoup de précautions pour la coupe du tuyau flexible de gaz d'échappement.
– Le tuyau flexible de gaz d'échappement ne doit pas être déformé, éraflé ou fendillé.
2. Coupez proprement le tuyau flexible de gaz d'échappement :
● à la longueur requise
● aux bons angles
39/122
Installation
5.4.2
Raccordement du tuyau de gaz d’échappement
Condition préalable
● Conduite d'échappement non pressurisée
Équipement nécessaire
● Tuyau d’échappement PE (Ø extérieur = 6 mm)
● en option : connecteurs mâle-femelle IQS ou Schott supplémentaires
Connecteurs mâle-femelle IQS
Les connecteurs mâle-femelle IQS ont 2 points de pression : Griffe de maintien et joint.
Le tuyau flexible est correctement raccordé lorsque les deux points de pression sont passés.
2
1
Fig. 24:
Raccordement du tuyau de gaz d’échappement
1 Bague de déblocage
2
Tuyau flexible
Raccordement du tuyau de gaz d’échappement
1. Raccordez le tuyau de gaz d’échappement au raccord de gaz d’échappement sur l’unité.
2. Raccordez une conduite d’échappement à l’unité si vous utilisez cette dernière avec des substances corrosives.
3. Respectez la réglementation locale en vigueur concernant le traitement des gaz de processus.
5.5
Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
5.5.1
Sectionnement du tuyau de purge de gaz neutre
Outil nécessaire
● Cutter à flexible
Équipement nécessaire
● Tuyau flexible PE (Ø extérieur = 4 mm)
Fig. 25:
Sectionnement du tuyau de purge de gaz neutre
Procédure
1. Vous devez prendre beaucoup de précautions pour la coupe du tuyau flexible de purge de gaz
neutre.
– Le tuyau flexible de purge de gaz neutre ne doit pas être déformé, éraflé ou fendillé.
2. Coupez proprement le tuyau flexible de purge de gaz neutre :
● à la longueur requise
● aux bons angles
40/122
Installation
5.5.2
Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
Condition préalable
● Conduites de purge de gaz et d'échappement non pressurisées
Équipement nécessaire
● Tuyau de purge de gaz neutre PE (Ø extérieur = 4 mm)
● en option : connecteurs mâle-femelle IQS ou Schott supplémentaires
Connecteurs mâle-femelle IQS
Les connecteurs mâle-femelle IQS ont 2 points de pression : Griffe de maintien et joint.
Le tuyau flexible est correctement raccordé lorsque les deux points de pression sont passés.
2
1
Fig. 26:
Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
1 Bague de déblocage
2
Tuyau flexible
Raccordement du tuyau de purge de gaz neutre
1. Installez un système de réduction de pression si vous attendez un dépassement de la plage de
pression autorisée pour la purge de gaz neutre.
– L’unité ne dispose pas de sa propre vanne d’isolement de purge de gaz neutre.
2. Reliez le tuyau de purge de gaz neutre au raccord de la purge de gaz neutre sur l’unité.
3. Respectez la réglementation locale en vigueur concernant le traitement des gaz de processus.
5.6
Raccordement du capillaire
AVIS
Endommagement du système d’échantillonnage
Une manipulation incorrecte du capillaire peut endommager le système d’échantillonnage de l'unité.
► Tenez compte du rayon de courbure.
● Tuyau capillaire 200 °C : ≥ 50 mm
● Tuyau capillaire 350 °C : ≥ 200 mm
► N’isolez pas en plus le chauffage du capillaire.
► Ne couvrez pas en plus le chauffage du capillaire.
► N’exposez pas le capillaire à une chaleur supplémentaire, par ex. d'une bride chauffée.
41/122
Installation
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Adaptateur de tube capillaire comme accessoire
Un adaptateur de tube capillaire est disponible comme accessoire pour raccorder correctement le tube capillaire.
2
1
Fig. 27:
Raccordement du capillaire
1 Bande adhésive
5.6.1
2
Exemple de sécurisation d’un tuyau capillaire
Raccordement du capillaire en acier inoxydable OmniStar
Procédure
1. Retirez la bande adhésive du capillaire en acier inoxydable.
2. Attachez le capillaire en acier inoxydable sur le point de mesure.
3. Utilisez l’adaptateur de tube capillaire en acier inoxydable de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum.
4. Fixez le tube capillaire.
5. Serrez le tube capillaire dans la zone solide et fixe à l’avant uniquement.
5.6.2
Raccordement du capillaire ThermoStar quartz
Procédure
1. Retirez la bande adhésive du capillaire en quartz.
2. Si nécessaire, tirez le capillaire en quartz ou insérez-le pour atteindre le point de mesure.
– Pour cela, retirez le capot de l’admission de gaz (voir chapitre « Retrait/fixation du couvercle
de l’admission de gaz », page 76).
3. Attachez le capillaire en quartz sur le point de mesure.
4. Utilisez l’adaptateur de tube capillaire en acier inoxydable de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum.
5. Fixez le tube capillaire.
6. Serrez le tube capillaire dans la zone solide et fixe à l’avant uniquement.
42/122
Installation
5.7
Adaptation de la position du tuyau flexible de capillaire
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
Pour optimiser le positionnement du tube capillaire pour des applications spécifiques, 3 positions du
tuyau flexible capillaire sont possibles. Pfeiffer Vacuum fournit la GSD 350 avec le tuyau flexible de capillaire sur le côté droit. Des bouchons borgnes viennent obturer les deux positions non utilisées.
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Couvercle d’admission de gaz retiré
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
1
2
3
Fig. 28:
Position du tuyau flexible capillaire à la livraison
1 Bouchon borgne, à gauche
2 Bouchon borgne, en haut
3
Tuyau flexible capillaire avec bouchon borgne, à droite
Procédure
1. Dévissez les 3 vis à tête conique et le bouchon borgne au niveau de la nouvelle position du tube
capillaire.
2. Dévissez les 3 vis à tête conique et le capuchon avec le tube capillaire.
3. Retirez soigneusement le capuchon avec le tube capillaire de sorte à pouvoir guider le capillaire
et le câble à travers la fente du boîtier.
– Le capillaire peut rester à demeure sur l’entrée.
4. Serrez le capuchon avec le tube capillaire sur la nouvelle position du tube capillaire, à l’aide des 3
vis à tête conique.
5. Obturez la position précédente du tube capillaire avec le bouchon borgne et les 3 vis à tête conique.
5.8
Établissement d’une connexion au réseau
Une connexion réseau correspondante est nécessaire pour le fonctionnement de GSD 350 via l’interface web ou du logiciel PV MassSpec à l’aide d’un PC (ordinateur de pilotage) ou via un réseau.
43/122
Installation
● Adresses IP
Un réseau utilise des adresses IP comme moyen d’identification des unités individuelles. Les
adresses IP sont uniques au sein d’un réseau, mais ne sont pas universelles. Cela signifie qu’une
seule unité dans un réseau peut avoir une certaine adresse IP, mais 2 unités dans des réseaux
séparés peuvent avoir la même adresse IP.
Les paragraphes suivants donnent des informations sur certains réseaux généraux disponibles pouvant
avoir un effet sur la connexion GDS 350 (voir chapitre « Réglage des paramètres réseau », page 64).
Procédure
► Réglez l’adresse IP du GSD 350.
► Réglez l’adresse IP du PC (ordinateur hôte) que vous utilisez.
► Définissez un sous-réseau.
5.8.1
Adresses IP
AVIS
Les adresses IP entrent en conflit en cas de raccordement de plusieurs unités
Pfeiffer Vacuum fournit à chaque GSD 350 la même adresse IP par défaut. Si vous souhaitez connecter plusieurs unités GSD 350, gardez à l’esprit que leurs adresses IP ne sont pas uniques au départ La connexion simultanée de plusieurs GSD 350 avec une adresse IP standard identique entraîne des conflits d'adresse IP dans le réseau.
► Modifiez l'adresse IP des unités que vous voulez connecter dans le réseau.
► Dans la mesure du possible, utilisez des adresses IP statiques.
► Connectez ensuite les unités à un réseau.
Utilisation des adresses IP
Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser des adresses IP statiques pour le GSD 350.
Réservez un bloc d'adresses IP statiques et vérifiez que ces adresses IP réservées sont
interdites sur le serveur DHCP (hôte). Cela évitera tout conflit avec des doublons d'adresses IP.
Si vous connectez le GSD 350 à un réseau local existant, vous aurez besoin d’une adresse IP statique pour chaque GSD 350 installé. Consultez votre administrateur réseau pour
qu’il attribue les différentes adresses IP.
Les adresses IP statiques protègent contre la perte de données.
Le logiciel PV MassSpec et l’interface web utilisent l'adresse IP du GSD 350 pour identifier
chaque GSD 350 connecté. L’adresse IP du GSD 350 ne doit pas changer pendant le fonctionnement.
Avec DHCP, l’hôte peut générer une nouvelle adresse IP à chaque connexion et reconnexion du GSD 350. DHCP peut également modifier automatiquement l’adresse IP en cas de
conflit d’adresse IP sur le réseau. Si l’adresse IP du GSD 350 est modifiée par accident
pendant l’acquisition des données, l’interface web et le logiciel PV MassSpec ne sont pas
automatiquement reconnectés au GSD 350, dans la mesure où le logiciel PV MassSpec ne
reconnaît pas l’adresse IP nouvellement attribuée. Il en résulte une rupture de communication et de données.
Les adresses IP statiques changent seulement si l’adresse IP est modifiée manuellement,
ce qui contribue à protéger le GSD 350 contre les pertes de communication et de données.
Adresse IP standard pour le GSD 350
● Préfixe réseau : 192.168.1.xxx
● Adresse IP : 192.168.1.100
Le GSD 350 utilise des adresses IP IPv4. Les adresses IP IPv4 sont composées de 32 bit en notation
décimale pointée. Elles sont constituées de quatre numéros décimaux, séparés chacun de 0 à 255 par
des points, par exemple : 192.168.1.100. Chaque numéro représente un octet. En principe, les adresses IP contiennent un préfixe réseau et un protocole hôte.
44/122
Installation
Réglage des adresses IP
► Recommandation : utilisez des adresses IP statiques.
– Vous pouvez régler et modifier manuellement les adresses IP statiques.
► N’utilisez pas d’adresses IP dynamiques.
– Un hôte (DHCP) règle automatiquement ces adresses IP
► Une alternative à la modification de l’adresse IP du consiste à modifier l’adresse IP de l’ordinateur
hôte, afin de permettre la communication entre l’ordinateur hôte et l’unité .
5.8.2
Sous-réseaux
Masque de sous-réseau standard pour GSD 350
● Masque de sous-réseau : 255.255.255.0
Un sous-réseau est une sous-division logique visuelle d’un réseau IP. Le fait de diviser un réseau IP en
plusieurs sous-réseaux est désigné par sous-réseautage. Le sous-réseautage définit la partie de
l’adresse IP qui est utilisée comme préfixe de réseau pour toutes les adresses IP au sein d’un sousréseau. Cette opération est effectuée par le masque de sous-réseau.
Exemple 1
Exemple 2
Exemple 3
Adresse IP
192.168.1.104
192.168.1.105
192.168.1.150
Masque de sous-réseau
255.255.255.0
255.255.0.0
255.255.255.192
Préfixe réseau
192.168.1.0
192.168.0.0
192.168.1.128
Protocole hôte
0.0.0.104
0.0.1.105
0.0.0.22
Tab. 9:
Exemples de sous-réseaux
Le masque de sous-réseau définit quel octet doit être utilisé par l’adresse IP comme préfixe réseau.
Pour permettre à 2 unités réseau de communiquer, les unités réseau doivent être dans le même sousréseau. Cela implique que non seulement, ils doivent être connectés au même réseau internet, mais
également qu’ils doivent avoir le même préfixe réseau.
5.8.3
Changement d’adresse IP de la GSD 350
Manuel de l'utilisateur pour l’interface web et le logiciel PV MassSpec
Des informations sur l'utilisation du GSD 350 via l'interface web et PV MassSpec sont disponibles dans le manuel de l'utilisateur en annexe, sous le numéro de document DA 0106.
Adresses IP dans la gamme 192.168.2.xxx
Les adresses IP dans la gamme 192.168.2.xxx sont réservées aux services internes. Ces
adresses IP ne peuvent pas être utilisées.
45/122
Installation
Fig. 29:
Changement de l’adresse IP de la GSD 350 via l’interface Web
Procédé
► Utilisation de l’affichage pour modifier l’adresse IP de l’unité (voir chapitre « Réglage des paramètres réseau », page 64).
► Utilisation de l’interface Web pour modifier l’adresse IP de l’unité.
5.8.4
Modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte
Droits d’administrateur
Les étapes suivantes sont valables pour le système d’exploitation Windows 10. Toute modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte nécessite des droits d’administrateur. Contactez votre administrateur système le cas échéant.
Adresse IP par défaut 192.168.1.100
Par défaut, l'adresse IP de l’unité est 192.168.1.100. Vous ne pouvez pas l’utiliser ici.
Rétablissement de la valeur par défaut de l’adresse IP
Effectuez toutes les étapes depuis le début et remplacez à nouveau les propriétés IPv4 par
les valeurs standards pour régler l’adresse IP sur la valeur standard.
Procédure
1. Appuyez sur le bouton Démarrage dans la barre des tâche.
2. Appuyez sur Réglages.
– La fenêtre Réglages s'ouvre.
3. Cliquez sur Réseau & Internet.
4. Cliquez sur Sans fil.
5. Sélectionnez Gestion des réseaux connus.
6. Sélectionnez le réseau dont vous souhaitez modifier les réglages.
7. Sélectionnez Propriétés.
8. Sous Attribution IP, sélectionnez l'option Édition.
9. Sous Édition réglages IP, sélectionnez l'option Manuel.
10. Activez IPv4.
11. Saisissez l’adresse IP, la longueur du préfixe de sous-réseau et les réglages pour l’adresse
IP.
– Ne modifiez pas la passerelle.
– GSD 350 avec adresse IP par défaut : Utilisez 192.168.1.xxx comme adresse IP :, et
255.255.255.0 comme longueur de préfixe de sous-réseau.
– « xxx » ne doit pas correspondre à 100 dans l’adresse IP.
46/122
Installation
12. Sélectionnez Sauvegarder.
– L’adresse IP de votre ordinateur est alors réglée sur l’adresse IP manuelle sélectionnée.
13. Fermez toutes les fenêtres de réglages ouvertes.
Raccordement de la terre fonctionnelle
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
DANGER
Électrocution en raison de l’absence de conducteur de protection interne
Le conducteur de protection interne est fixé au logement. Une unité sans conducteur de protection
interne peut présenter un danger de mort en cas de dysfonctionnement.
► Ne tournez pas ou ne débloquez pas le conducteur de protection interne.
warranty seal
warranty seal
5.9
www.vsm-cloud.com
D-35614 Asslar
Mod. GSD 350
P/N PT Q.. ...
S/N ...
Input ...
Made in Germany 2022/02
1
Fig. 30:
Raccordement pour la terre fonctionnelle
1 Raccordement pour la terre fonctionnelle (vis M5)
Procédure
► Si nécessaire, utilisez la vis M5 pour raccorder l’unité à la terre de référence du système via un
conducteur de protection par exemple.
47/122
Installation
5.10 Raccordement de l’alimentation électrique
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
Fig. 31:
Connexion d'alimentation électrique avec fiche CEI 320 C13
Raccordement du câble d’alimentation électrique
1. Raccordez le câble d’alimentation à la prise de branchement du secteur.
2. Raccordez le connecteur du câble d’alimentation dans une prise adaptée.
5.11
Installation du logiciel PV MassSpec
Les opérations de mesure analytique exigeantes et les applications dans lesquelles les valeurs mesurées doivent être enregistrées nécessitent un fonctionnement direct de PrismaPro intégré dans le
GSD 350 à l’aide du logiciel PV MassSpec. Le logiciel PV MassSpec est utilisé pour paramétrer le PrismaPro et pour créer, ouvrir et démarrer des recettes de mesure. Tous les autres paramètres et toutes
les autres fonctions de l’unité GSD 350 peuvent encore être commandés via l’affichage ou l’interface
web.
Manuel de l'utilisateur pour l’interface web et le logiciel PV MassSpec
Des informations sur l'utilisation du GSD 350 via l'interface web et PV MassSpec sont disponibles dans le manuel de l'utilisateur en annexe, sous le numéro de document DA 0106.
48/122
Interfaces et connexions
6 Interfaces et connexions
Le GSD 350 dispose d’une interface Ethernet pour la communication et de 2 connexions entrée/sortie
(I/O), User I/O et AUX I/O, permettant au GSD 350 d’échanger des informations avec les appareils périphériques du client.
6.1
Alimentation
La prise de branchement secteur avec l’interrupteur principal et le fusible est située dans le panneau de
connexion de l’unité. Le câble de secteur nécessaire est compris dans la livraison.
4
1
2
3
Fig. 32:
Branchement secteur avec interrupteur principal et fusible
1 Interrupteur principal
2 Fusible
6.2
3
4
Prise de branchement secteur (IEC 320 C14)
Câble de secteur avec fiche de l’appareil froid C13
Borne de connexion de terre
DANGER
Électrocution en raison de l’absence de conducteur de protection interne
Le conducteur de protection interne est fixé au logement. Une unité sans conducteur de protection
interne peut présenter un danger de mort en cas de dysfonctionnement.
► Ne tournez pas ou ne débloquez pas le conducteur de protection interne.
L’unité dispose de 2 conducteurs de protection :
● Le conducteur de protection interne est situé sous l’unité de courant.
● Le raccord vers la terre fonctionnelle est situé dans e panneau de connexion de l’unité.
6.3
Connexion « User I/O »
AVIS
Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes
Les influences externes parasites liées aux émissions électromagnétiques entraînent des pannes de
l’unité et des dommages matériels.
Pfeiffer Vacuum recommande vivement le câblage des entrées analogiques (+) et (-) avec des paires
torsadées.
► Un câble blindé doit être utilisé pour la comptabilité électromagnétique (CEM).
► Évitez les influences externes de parasitage.
► Raccordez le blindage au boîtier de raccordement.
► Laissez l’autre extrémité ouverte ou reliez-la à la terre afin d’éliminer les courants de boucle de
terre.
La connexion « USER I/O » fournit une interface pour les entrées et les sorties numériques et analogiques.
Entrée numérique
L’entrée numérique est hautement active. Une résistance de rappel configure l’entrée sur haut en interne. Vous pouvez régler l’entrée sur bas via un contact ou un transistor vers la terre. En cas d’utilisation
49/122
Interfaces et connexions
avec le logiciel PV MassSpec, vous pouvez visualiser l’état de cette entrée ou l’utiliser pour la recette
ou la commande séquentielle.
● Nombre total de canaux : 1
● Connexion « consommateur I/O » : DI1
Sortie relais
Vous pouvez réglez la sortie relais (24 V CA/CC, 1 A) via la sortie numérique DO8. Le contact normalement ouvert se trouve sur la broche 3 et le contact de référence sur la broche 4.
● Nombre total de canaux : 1
● Connexion « consommateur I/O » : DO8
Entrées analogiques
Les entrées analogiques sont des entrées différentielles pour la gamme -10 à +10 V. Le logiciel
PV MassSpec enregistre les signaux d’entrée analogique ou contrôle les séquences de programme.
●
●
●
●
Nombre total de canaux : 2
Connexion « consommateur I/O » : AI1 – AI2
Impédance d’entrée : 50 kΩ
Taux d’échantillonnage : 14 bit
Sortie analogique
Les sorties analogiques permettent de sortir des tensions dans la gamme de 0 à 10 V.
●
●
●
●
Nombre total de canaux : 2
Connexion « consommateur I/O » : AO0 – AO1
Impédance de sortie : 100 Ω
Taux d’échantillonnage : 16 bit
Relais d’état du système
La connexion « USER I/O » inclut un relais indiquant l’état de la GSD 350. Quand le système est dans
l’état prêt pour la mesure (prêt pour le vide), le contact de travail est fermé. Cela indique que l’unité est
prête pour la mesure.
● Connexion « consommateur I/O » : broche 13 (relais contact inverseur, COM)
● Connexion « consommateur I/O » : broche 14 (relais contact normalement ouvert, NO)
● Connexion « consommateur I/O » : broche 15 (relais contact normalement fermé, NC)
Fig. 33:
1
→
15
→
8
9
Connexion « USER I/O »
1
2
3
4
Masse (GND)
Entrée numérique DI1
Relais contact inverseur DO8
Relais contact normalement ouvert DO8
5 Entrée analogique AI2 (-)
6 Entrée analogique AI2 (+)
9
10
11
12
Terre analogique (PrismaPro EXT I/O)
Masse (GND)
Sortie analogique AO1
Sortie analogique AO0
13
14
7 Entrée analogique AI1 (-)
15
Relais contact inverseur (système de pompage)
Relais contact normalement ouvert (système de
pompage)
Relais contact normalement fermé (système de
pompage)
8 Entrée analogique AI1 (+)
50/122
Interfaces et connexions
6.4
Connexion « AUX IO »
AVIS
Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes
Les influences externes parasites liées aux émissions électromagnétiques entraînent des pannes de
l’unité et des dommages matériels.
Pfeiffer Vacuum recommande vivement le câblage des entrées analogiques (+) et (-) avec des paires
torsadées.
► Un câble blindé doit être utilisé pour la comptabilité électromagnétique (CEM).
► Évitez les influences externes de parasitage.
► Raccordez le blindage au boîtier de raccordement.
► Laissez l’autre extrémité ouverte ou reliez-la à la terre afin d’éliminer les courants de boucle de
terre.
La connexion « AUX I/O » fournit une interface supplémentaire pour les entrées et les sorties numériques et analogiques.
Entrées numériques
Les entrées numériques sont hautement actives. Le logiciel PV MassSpec vous permet de régler les
actions activées par les entrées numériques sur bas actif. Une résistance de rappel configure ces entrées en interne sur +24 V. Les entrées peuvent être réglées sur bas via un contact ou sur la masse via
un transistor. En cas d’utilisation avec le logiciel PV MassSpec, l’état des entrées numériques peut être
visualisé ou utilisé pour la commande séquentielle.
● Nombre total de canaux : 3
● Connexion « AUX IO » : DI13 – DI15
Sorties numériques
Les sorties numériques sont des collecteurs ouverts et peuvent chacune supporter une charge max.
de 200 mA. En cas d’utilisation avec le logiciel PV MassSpec, vous pouvez régler les sorties numériques de façon permanente ou en fonction des courants, de l'état des unités et de l'état de la séquence.
Si vous activez la sortie, la sortie commute de la haute tension (> 20 V) sur 0 V.
● Nombre total de canaux : 6
● Connexion « AUX IO » : DO2 – DO7
Entrées analogiques
Les entrées analogiques sont des entrées différentielles pour la plage -10 à +10 V. En cas d’utilisation
avec le logiciel PV MassSpec, vous pouvez enregistrer simultanément les signaux d’entrée analogique
ou contrôler les séquences de programme.
●
●
●
●
Nombre total de canaux : 3
Connexion « AUX IO » : AI3 – AI5
Impédance d’entrée : 50 kΩ
Taux d’échantillonnage : 16 bit
Sortie analogique
Les sorties analogiques permettent la sortie de tensions dans la gamme de 0 à 10 V. En cas d’utilisation avec le logiciel PV MassSpec, les courants d'ions des masses individuelles peuvent être convertis
dans les tensions de sortie correspondantes à l’aide d’un configurateur, puis être sorties.
●
●
●
●
Nombre total de canaux : 2
Connexion « AUX IO » : AO2 – AO3
Impédance de sortie : 100 Ω
Taux d’échantillonnage : 16 bit
51/122
Interfaces et connexions
Fig. 34:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
6.5
1
→
25
→
13
14
Connexion « AUX IO »
Sortie analogique AO2
Terre analogique
Entrée analogique AI3 (-)
Entrée analogique AI4 (-)
Entrée analogique AI5 (-)
Terre analogique
Entrée numérique DI13
Entrée numérique DI15
24 V
Sortie numérique DO3
Sortie numérique DO5
Sortie numérique DO7
Terre ou masse numérique
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
Sortie analogique AO3
Terre ou masse numérique
Entrée analogique AI3 (+)
Entrée analogique AI4 (+)
Entrée analogique AI5 (+)
Terre ou masse numérique
Entrée numérique DI14
Terre ou masse numérique
Sortie numérique DO2
Sortie numérique DO4
Sortie numérique DO6
non attribué
Connexion Ethernet (LAN)
La connexion Ethernet permet une communication directe avec l'appareil par le biais d'un ordinateur.
RJ-45
1
8
green yellow
Fig. 35:
Connexion Ethernet (LAN)
1 Transmission de données (TD+)
2 Transmission de données (TD-)
3 Réception de données (RD+)
6
4, 5, 7, 8
LED
État
Signification
Verte (lien)
allumée
Connexion de l'équipement présente
éteinte
Connexion de l'équipement absente
allumée (clignotement)
Transmission de données en cours
éteinte
Aucune transmission de données/absence de connexion
Jaune (activité)
Tab. 10:
52/122
État de la connexion Ethernet
Réception de données (RD-)
Non utilisé
Mise en service
7 Mise en service
AVIS
Une forte vibration endommage la pompe turbomoléculaire
De fortes vibrations en cours de fonctionnement et après la mise à l’arrêt peuvent endommager la
pompe turbomoléculaire.
► Évitez les chocs et les vibrations en cours de fonctionnement, par exemple en roulant sur les câbles ou les seuils de porte.
► Évitez toute vibration dans les 5 minutes suivant la mise hors circuit du système.
7.1
Activation de l’unité
Fig. 36:
Écran « Tableau de bord » après démarrage du programme
Procédé
1. Activez l’interrupteur principal.
– L’unité démarre. Une fois que l’électronique et l'interrupteur VLAN interne ont démarré, le système est opérationnel et peut être piloté à l’aide de l’écran ou de l’interface Web.
2. Configurez la langue si nécessaire (voir chapitre « Modification des réglages de l’utilisateur », page 63).
3. Démarrez le système de pompage.
4. Avant la mesure, notez le temps de stabilisation de la jauge de pression totale de 5 à 10 minutes.
7.2
Démarrage du système de pompage
Exigences relatives à la disponibilité opérationnelle de mesure (vide prêt)
● Pression< 5 × 10-5 hPa
● Vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire > 1 200 Hz
● Courant à pleine charge de la pompe turbomoléculaire < 2 A
53/122
Mise en service
Fig. 37:
Écran de « commande »
Pompage du système de vide
1. Basculez sur l’écran « Control ».
2. Appuyez sur le bouton « Pump down » (voir chapitre « Pompage du système de vide », page 67).
L'unité peut exécuter la mesure.
54/122
Fonctionnement via l’affichage
8 Fonctionnement via l’affichage
Manuel de l'utilisateur pour l’interface web et le logiciel PV MassSpec
Des informations sur l'utilisation du GSD 350 via l'interface web et PV MassSpec sont disponibles dans le manuel de l'utilisateur en annexe, sous le numéro de document DA 0106.
Le GSD 350 peut fonctionner via l’affichage ou l’interface web. Sur les variantes sans affichage, seule
l’interface web est utilisée pour le fonctionnement.
Exécution de mesures sur spectromètre de masse
Trois types de mesures sur spectromètre de masse sont possibles.
► Effectuez les mesures sur spectromètre de masse selon l’une des 3 méthodes suivantes.
► Utilisez le logiciel PV MassSpec.
– Les données de mesure ne peuvent être sauvegardées que si vous utilisez le logiciel
PV MassSpec.
► Utilisez l’affichage.
– Vous ne pouvez pas sauvegarder les données de mesure via l'affichage.
► Utilisez l’interface web.
– Vous ne pouvez pas sauvegarder les données de mesure via l'interface web.
Exécution de mesures analytiques complexes
► Utilisez le logiciel PV MassSpec.
Navigation entre les écrans et les menus
Les fonctions de l’unité sont associées à différents écrans et menus.
► Actionnez les boutons correspondants sur l’affichage pour naviguer entre les écrans et les fonctions.
– Les touches indisponibles ou les réglages inactifs dans le menu Messages sont grisés.
► Appuyez sur le bouton « Suivant » pour passer à la page suivante du menu et visualiser plus de
fonctions.
► Actionnez le bouton « Retour » pour revenir au niveau précédent dans l’arborescence du menu.
8.1
Écran « Tableau de bord »
Le premier écran qui apparaît après le démarrage du programme est le « Tableau de bord ». Toutes les
fonctions et informations peuvent être affichées directement ou indirectement à partir d’ici. Pour plus
d’informations sur les commandes et les affichages, voir : (voir chapitre « Commandes et indicateurs », page 24)
55/122
Fonctionnement via l’affichage
2
1
6
3
5
4
Fig. 38:
Écran « Tableau de bord »
1 Valeur actuelle de la pression dans l’enceinte à vide
2 Triangle d’avertissement en cas d’avertissement ou de message
d’anomalie
3 Réglages de l’utilisateur
4 État du système
8.2
5
6
État du chauffage
État du système de vide
7
Lien vers le tableau de bord
Structure du menu avec les fonctions
Menu
Info
(voir page 58)
Sous-programmes, fonctions et informations
1er niveau
2e niveau
Pompes à vide
Pompe à membrane
Pompe turbomoléculaire
Capteurs
Jauges
Capteur de purge de gaz neutre
Vannes
Vanne de débitmètre (V1)
Vanne Split-flow (V2)
Vanne de calibration
Unités de chauffage
Capillaire
Admission de gaz
Enceinte à vide
DMD
Heures de fonctionnement, versions
de micrologiciel, etc.
Réseau
DHCP
Adresse IP
Passerelle
Masque de sous-réseau
Ventilateur
Ventilateur aspiration
Ventilateur sortie de pompe
56/122
Fonctionnement via l’affichage
Menu
Sous-programmes, fonctions et informations
Réglages
(voir page 58)
1er niveau
2e niveau
Recettes
Créer une nouvelle recette
Recettes par défaut pour l’air
Unités de chauffage
Capillaire
Admission de gaz
Enceinte à vide
Capteurs
Jauges
Capteur de purge de gaz neutre
Réglages de l’utilisateur
Nom de l’utilisateur
Rouleau
Langue
Unité de pression
Unité de température
Date
Démarrage automatique
Vide
Chauffage
Admission de gaz
Réseau
DHCP
Adresse IP
Passerelle
Masque de sous-réseau
Réglages usine
Reset à l’état de livraison
Service 9)
Pompes à vide
Capteurs
Vannes
Unités de chauffage
DMD
Ventilateur
Messages
(voir page 65)
Messages actifs : historique et confirmation
Contenu, historique, filtre des erreurs,
avertissements, infos (filtres inactifs
grisés)
Commande
(voir page 66)
Refoulement (vers)
-
Ventilation
-
Marche/arrêt du chauffage
-
Mesure
(voir page 70)
Tab. 11:
Vanne de débitmètre ouverte/fermée 10)
-
Marche/arrêt de l’étuvage
-
Marche/arrêt émission
-
Marche/arrêt du multiplicateur d’électrons
-
Ouvrir/fermer la vanne de calibration 11)
-
Sélection de la recette
-
Structure du menu avec les fonctions
9)
Disponible uniquement pour le personnel de maintenance après identification
10)
Uniquement pour OmniStar
11)
uniquement avec l’unité de calibration en option
57/122
Fonctionnement via l’affichage
8.3
Menu « Info »
Le menu « Info » affiche le statut actuel et les réglages des paramètres des composants du système.
Les réglages ne peuvent pas être modifiés dans le menu « Info ».
●
●
●
●
●
●
●
8.4
Pompes à vide
Capteurs
Clapets
Unités de chauffage
Système GSD
Réseau
Ventilateur
Menu « Réglages »
AVIS
Dommages matériels dus à des modifications non intentionnelles dans le menu Service
Des modifications incorrectes ans le menu Service rendent les fonctions de l’unité inutilisables et endommagent l’unité et ses composants.
Le menu Service est réservé au Pfeiffer Vacuum Service et n’est accessible qu’après s’être identifié.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Le menu « Réglages » contient les fonctions et les sous-menus suivants :
● Sous-menu « Recettes »
─ Création, édition et suppression des recettes de mesure
● Sous-menu « Chauffage »
─ Spécifiez les températures de point de consigne pour le chauffage et réglez le mode de
chauffage de récipient
● Sous-menu « Capteurs »
─ Ajustage des capteurs
● Sous-menu « Réglages de l’utilisateur »
─ Modification des réglages de l’utilisateur
● Sous-menu « Démarrage automatique »
─ Réglage des fonctions de démarrage automatique
● Sous-menu « Réseau »
─ Réglage du réseau
● Sous-menu « Réglages initiaux »
─ Réinitialisation des réglages initiaux
● Sous-menu « Maintenance »
─ Fonctions de maintenance 12)
1
2
Fig. 39:
Exemple de réglage de paramètre
1 Symbole de l’interrupteur (désactivé)
12)
58/122
2
Valeur numérique modifiable
Disponible uniquement pour le personnel de maintenance après identification
Fonctionnement via l’affichage
Utilisation d’un interrupteur pour modifier les paramètres
1. Naviguez vers le paramètre souhaité.
2. Appuyez sur le symbole de l’interrupteur pour basculer ce dernier.
3. Appuyez sur le bouton « Save » pour enregistrer les modifications.
ou
Appuyez sur le bouton « Back » pour annuler les modifications.
4. Effectuez les autres modifications, si nécessaire.
Saisie des valeurs des paramètres
1. Naviguez vers le paramètre souhaité.
2. Appuyez sur le champ des paramètres.
– Un champ de saisie numérique apparaît.
3. Saisissez la valeur souhaitée.
– Pour les valeurs en-dehors de la plage de valeurs autorisée, le GSD 350 adopte automatiquement la valeur la plus haute ou la plus basse autorisée.
4. Appuyez sur le bouton « Save » pour enregistrer les modifications.
ou
Appuyez sur le bouton « Back » pour annuler les modifications.
5. Effectuez les autres modifications, si nécessaire.
8.4.1
Création et édition des recettes de mesure
Fig. 40:
Sous-menu « Recettes »
Vous pouvez sélectionner, modifier ou effacer des recettes de mesure existantes dans le sous-menu
« Recettes ».
Les recettes de mesure suivantes sont prédéfinies :
● Recette de mesure pour un scan (par défaut SCAN AIR)
● Recette de mesure pour mesurer diverses masses sur une période donnée (par défaut Masses
sélectionnées Air)
59/122
Fonctionnement via l’affichage
Fig. 41:
Recette de mesure pour le mode de mesure « Scan du spectre »
Édition de la recette de mesure pour le mode de mesure « Scan du spectre »
1. Appuyez sur le bouton « New recipe ».
2. Saisissez un nom pour la recette de mesure.
3. Sélectionnez le mode de mesure « Spectrum Scan ».
4. Définissez le domaine de masse en saisissant la masse de départ et la masse finale (FromAMU
et ToAMU).
5. Définissez le nombre de points de mesure par masse (PointsPerAMU).
6. Définissez le temps de mesure pour un point de masse (dwell).
7. Appuyez sur « Save » pour sauvegarder la recette de mesure sous le nom saisi.
ou
Appuyez sur « Back » pour annuler l’entrée actuelle.
ou
Appuyez sur « Delete » pour supprimer la recette de mesure actuelle.
Fig. 42:
60/122
Recette de mesure pour le mode de mesure « Masses sélectionnées »
Fonctionnement via l’affichage
Fig. 43:
Recette de mesure pour le mode de mesure « Masses sélectionnées – Spécial »
Édition de la recette de mesure pour le mode de mesure « Masses sélectionnées »
1. Appuyez sur le bouton « Nouvelle recette ».
2. Saisissez un nom pour la recette de mesure.
3. Sélectionnez le mode de mesure « Masses sélectionnées ».
4. Sélectionnez l’affichage pour une masse ou valeur spéciale (p. ex. valeur de la pression).
5. Définissez le temps de mesure pour une masse (dwell).
6. Définissez les nombres de masse individuels (masse : nn) que vous voulez que le GSD 350 enregistre et affiche sur la durée.
7. Appuyez sur le bouton « Nouvelle ligne » pour ajouter des nombres de masse supplémentaires.
8. Appuyez sur le bouton « Supprimer » pour supprimer les nombres de masse individuels.
9. Appuyez sur « Enregistrer » pour sauvegarder la recette de mesure sous le nom saisi.
ou
Appuyez sur « Retour » pour annuler l’entrée actuelle.
ou
Appuyez sur « Supprimer » pour supprimer la recette de mesure actuelle.
8.4.2
Ajustement des unités de chauffage
Protection contre les surchauffes des unités de chauffage
Toutes les unités de chauffage sont protégées contre la surchauffe. En cas de déviation
par rapport à la température nominale, la GSD 350 émet un avertissement. Dans certaines
conditions, ceci peut aussi se produire quand la température ambiante est basse. L’avertissement disparaît dès que la température de chauffage est à nouveau dans la gamme prévue. Si la GSD 350 mesure une température inadmissible, le chauffage est désactivé. Il
peut être réactivé dès que la cause a été éliminée.
Les paramètres de réglage du chauffage (températures nominales) sont affichées dans le sous-menu
« Heating ».
Unités de chauffage
● Chauffage de l’admission de gaz
● Chauffage du capillaire
● Chauffage de l’enceinte à vide
61/122
Fonctionnement via l’affichage
Fig. 44:
Mode de trempage de l’enceinte à vide
En principe, le GSD 350 ne chauffe pas l’enceinte à vide pendant une opération de mesure. Pour certaines mesures analytiques, vous pouvez activer le « Tempering mode » dans le sous-menu « Vacuum
chamber ». Lorsque le mode de trempageest activé, le GSD 350 chauffe toujours l’enceinte à vide à la
température nominale réglée lorsque le GSD 350 met en marche le chauffage capillaire.
Activation du mode tempérage de l’enceinte à vide
1. Utilisation du mode tempérage pour certaines mesures analytiques.
2. Dans le menu « Heating », appuyez sur le bouton « Vacuum chamber ».
3. Ajustez la température nominale pour le « Tempering set temperature ».
4. Activez le mode tempérage.
8.4.3
Ajustage des capteurs
Les paramètres courants du capteur sont affichés dans le sous-menu « Capteurs ».
Capteurs
● Jauges
Le système ignore l’activation/désactivation du capteur et les erreurs de capteur
● Capteur de purge de gaz neutre (seulement sur la version pour gaz corrosifs)
Ignore les erreurs de capteur
Recommandations pour les manomètres de pression totale
► Dans la mesure du possible, laissez les manomètres de pression totale en marche tout le temps,
pour assurer une protection des filaments chauffés et des pompes à vide du GSD 350.
► Coupez temporairement le manomètre de pression totale avec la fonction « Marche/arrêt capteur », si cela est requis pour certaines tâches d’analyse spécifiques.
► Désactivez la fonction d’arrêt du GSD 350 pour le manomètre de pression totale, avec la fonction
« Ignorer l’erreur du capteur » afin de pouvoir poursuivre les mesures en cours si le manomètre
de pression totale est désactivé ou défectueux.
► N’utilisez pas la fonction de désactivation plus longtemps que nécessaire.
► Remplacez immédiatement le manomètre pour pression totale dès qu’il s’avère défectueux.
Recommandations pour le capteur de purge de gaz neutre
► Dans la mesure du possible, laissez le capteur de purge de gaz neutre en marche tout le temps,
pour assurer une protection des pompes à vide du GSD 350.
► Utilisez la fonction "Ignorer l’erreur du capteur" pour désactiver temporairement la surveillance de
la purge de gaz neutre afin de réduire la consommation de la purge de gaz neutre pour les tâches
de mesure où le GSD 350 n’est pas exposé à des gaz corrosifs ou à des mélanges de gaz condensables.
► N’utilisez pas la fonction de désactivation plus longtemps que nécessaire.
62/122
Fonctionnement via l’affichage
8.4.4
Modification des réglages de l’utilisateur
Fig. 45:
Sous-menu « Réglages de l’utilisateur »
Vous pouvez changer d’unité de variables physiques de pression et de température dans le menu Navigation dans le sous-menu « Réglages de l’utilisateur ». Vous pouvez également définir la langue, la date et l’heure.
État de livraison
● Pression : hPa
● Température : °C
Langues disponibles
● Anglais (par défaut)
● Allemand
Réglage de l’heure et de la date
1. Appuyez sur la date et l'heure à l'écran.
2. Régler la date.
3. Régler l’heure.
4. Sélectionnez « Save » pour confirmer les réglages.
8.4.5
Réglage des fonctions de démarrage automatique
Fig. 46:
Sous-menu « Démarrage automatique »
Dans le sous-menu « Démarrage automatique », vous pouvez définir les fonctions du GSD 350 devant
démarrer automatiquement après la mise en marche.
Fonctions de démarrage automatique
● Vide
Démarre la pompe à vide
● Chauffage
Monte le chauffage du capillaire jusqu’au point de consigne
● Admission
Ouvrir la vanne d’entrée (OmniStar seulement)
63/122
Fonctionnement via l’affichage
Vide requis dans l’enceinte à vide
Les fonctions de démarrage automatique « Chauffage » et « Admission de gaz » sont disponibles uniquement en combinaison avec la fonction de démarrage automatique « Vide »,
car le vide requis doit avoir été établi dans l’enceinte à vide pour ces fonctions de démarrage automatique.
8.4.6
Réglage des paramètres réseau
Fig. 47:
Sous-menu « Réseau »
Vous pouvez définir les paramètres réseau du GSD 350 dans le sous-menu « Réseau ». Le GSD 350
doit être redémarré pour l’activation des nouveaux paramètres réseau. Pour le fonctionnement avec un
ordinateur de mesure, la GSD 350 nécessite une adresse IP statique.
Paramètres réseau
●
●
●
●
DHCP
Adresse IP
Passerelle
Masque de sous-réseau
Ne pas désactiver dans l’état évacué
Ne désactivez pas la GSD 350 dans l’état évacué.
Réglage de l’adresse IP pour le GSD 350
1. Saisissez la nouvelle adresse IP statique.
– L’adresse IP 192.168.2.xxx est réservée pour les services internes et ne peut pas être sélectionnée.
2. Saisissez le nouveau masque de sous-réseau, si nécessaire.
3. Appuyez sur le bouton « Enregistrer ».
4. Attendez l’invite à la mise hors circuit du GSD 350.
5. Arrêtez l’unité.
6. Réactivez l’unité après > 20 secondes.
Vous trouverez le GSD 350 dans les nouveaux réglages.
8.4.7
Réinitialisation de l'unité aux réglages initiaux
Les réglages modifiés sont perdus
Cette fonction vous permet de faire un reset de tous les paramètres réglés/modifiés par
l’utilisateur et de charger toutes les valeurs par défaut (réglages-usine). Tous les réglages
modifiés sont perdus en cas de remise à zéro sur les réglages usine. Vous ne pouvez pas
annuler cette fonction. L’adresse IP affectée et les recettes de mesure sont conservées.
64/122
Fonctionnement via l’affichage
Fig. 48:
Sous-menu « Factory settings »
Vous pouvez rétablir tous les réglages du GSD 350 sur les réglages initiaux, dans le sous-menu « Factory settings ».
Procédure
1. Activez l'interrupteur « Reset to as-delivered condition ».
2. Confirmez l'invite de sécurité en actionnant le bouton « Save ».
ou
Actionnez le bouton « Back » pour conserver les paramètres actuels.
8.4.8
Sous-menu « Maintenance »
AVIS
Dommages matériels dus à des modifications non intentionnelles dans le menu Service
Des modifications incorrectes ans le menu Service rendent les fonctions de l’unité inutilisables et endommagent l’unité et ses composants.
Le menu Service est réservé au Pfeiffer Vacuum Service et n’est accessible qu’après s’être identifié.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
●
●
●
●
●
●
8.5
Pompes à vide
Capteurs
Vannes
Unités de chauffage
DMD
Ventilateur
Menu « Messages »
Le menu « Messages » affiche les messages d’avertissement et de dysfonctionnement actuels de l’unité.
Fig. 49:
Exemple de message d’anomalie
65/122
Fonctionnement via l’affichage
Fig. 50:
Exemple de messages anciens
Accès aux messages d’avertissement et de dysfonctionnement
► Basculez dans le menu « Messages » ou appuyez sur le triangle d’avertissement.
– Les messages d’avertissement et de dysfonctionnement apparaissent.
► Effleurez le bouton « Historique » pour accéder aux anciens messages.
► Effleurez le bouton « Historique » pour appliquer les filtres.
8.6
Menu « Commande »
Le menu « Commande » affiche le diagramme du vide du système et ses paramètres essentiels.
Le menu dispose des fonctions suivantes selon l’état de marche de l’unité et le type d’unité :
●
●
●
●
●
●
Pompage / ventilation du système de vide
Activation / désactivation du capillaire et du chauffage à l’entrée
Activation / désactivation du chauffage de récipient (étuvage)
Ouverture / fermeture de l’admission de gaz (OmniStar)
Activation / désactivation de l’émission (filament chauffé)
Activation / désactivation du multiplicateur d’électrons
Des explications sur le diagramme du vide sont disponibles ici : (voir chapitre « Description fonctionnelle », page 23)
66/122
Fonctionnement via l’affichage
1
3
2
Fig. 51:
Menu « Commande »
1 Pression dans l’enceinte à vide (manomètre de pression totale)
2 Vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire
8.6.1
3
État du filament chauffé du spectromètre de masse et du multiplicateur
d’électrons
Pompage du système de vide
Condition préalable
● GSD 350 prête pour l’utilisation
Procédé
1. Basculez dans le menu « Commande ».
2. Appuyez sur le bouton « Pompage ».
Séquence
●
●
●
●
Le GSD 350 passe de l’état « Ventilé » à l’état « Pompage ».
La vanne de ventilation se coupe.
La pompe à membrane démarre et évacue le système de vide.
Après avoir atteint la valeur seuil (10 hPa), la pompe turbomoléculaire accélère jusqu’à la vitesse
de rotation finale de 1500 Hz.
● Au bout de quelques minutes, le système de vide atteint une pression < 5×10-5 hPa.
● La GSD 350 est maintenant prête pour la mesure (vide prêt)
8.6.2
Ventilation du système à vide
Conditions préalables
● Mesures en cours terminées (voir chapitre « Menu « Mesure » », page 70)
● Le filament chauffé sur le multiplicateur d’électrons est coupé (voir chapitre « Menu « Commande » », page 66).
Procédé
1. Basculez dans le menu « Commande ».
2. Désactivez le multiplicateur d’électrons secondaire et l’émission.
3. Appuyez sur le bouton « Ventiler ».
Séquence
● Le GSD 350 passe de l’état « Vide » à l’état « Ventilé ».
● Un timer interne est activé si l’émission était encore activée 15 minutes maximum avant la ventilation. Le timer permet au filament chauffé de refroidir avant de ventiler l’enceinte à vide. Le timer
est réglé sur 15 minutes ; il s’agit du laps de temps réglé après coupure de l’émission. Si l’émis-
67/122
Fonctionnement via l’affichage
sion était encore activée au moment du démarrage de la « Ventilation », le timer démarre à 15 minutes. Le temps restant du timer est affiché en haut à droite de l’écran.
● Une fois le temps du timer écoulé, la pompe à membrane s’arrête ainsi que la pompe turbomoléculaire.
─ En dessous de la vitesse de rotation de la ventilation (750 Hz), la vanne de ventilation permet
de ventiler la pompe turbomoléculaire et l’enceinte à vide.
─ La vanne de ventilation et la vanne de la purge de gaz (pour la version de gaz corrosif) restent ouvertes.
8.6.3
Activation et désactivation des dispositifs de chauffage
Chauffage passif de l’enceinte à vide
Après l’activation, le chauffage de l’admission de gaz chauffe aussi passivement l’enceinte
à vide jusqu’à ce que la température de compensation soit atteinte, car l’admission de gaz
et l’enceinte à vide sont raccordées ensemble.
Condition préalable
● GSD 350 prête pour la mesure (vide prêt)
Activation du chauffage
1. Basculez dans le menu « Commande ».
2. Actionnez le bouton « Chauffage activé ».
Séquence d’activation
● Le GSD 350 active le chauffage du capillaire et le chauffage de l’admission de gaz.
● Une commande PID régule chaque circuit de chauffage avec les paramètres de commande correspondants pour atteindre la température de consigne requise(± 5 °C).
Coupure du chauffage
1. Basculez dans le menu « Commande ».
2. Actionnez le bouton « Chauffage désactivé ».
Séquence de désactivation
● Le GSD 350 désactive le chauffage du capillaire et le chauffage de l’admission de gaz.
● À partir d’une valeur seuil de ≤ 40 °C, l’état « Chauffage désactivé » est atteint.
8.6.4
Ouverture et fermeture de l’admission de gaz (Omnistar)
Condition préalable
● GSD 350 prête pour la mesure (vide prêt)
Ouverture de l’admission de gaz
1. Recommandation : Désactivez le filament chauffé lors de l’ouverture de la vanne.
2. Basculez dans le menu « Commande ».
3. Appuyez sur le bouton « Ouvrir la vanne d’admission ».
Séquence d’ouverture
● La pompe à membrane augmente sa vitesse de rotation.
● La vanne de Split-flow V2 s’ouvre et se ferme plusieurs fois brièvement dans un intervalle défini
afin d’éviter des montée de pression non admissibles.
● La vanne de Split-flow V2 reste ouverte une fois le dernier intervalle dépassé.
● La vanne de débitmètre V1 s’ouvre après un retard de 4 secondes.
● Une commande PWM maintient alors les deux vannes ouvertes, pour maintenir un faible débit
dans le serpentin, pour des raisons thermiques.
● La pompe à membrane réduit à nouveau sa vitesse de rotation sur 30 Hz.
Fermeture de l’admission de gaz
1. Basculez dans le menu « Commande ».
2. Appuyez sur le bouton « Fermer la vanne d’admission ».
Séquence de fermeture
● La vanne de débitmètre V1 se ferme.
● La vanne Split-flow V2 se ferme.
68/122
Fonctionnement via l’affichage
8.6.5
Étuvage de l’enceinte à vide
Une fois le timer écoulé, l’étuvage est automatiquement désactivé, ou alors l’utilisateur peut sélectionner la fonction « Étuvage désactivé ».
Condition préalable
● GSD 350 prête pour la mesure (vide prêt)
Étuvage de l’enceinte à vide
1. Recommandation : Pendant l’étuvage, désactivez le multiplicateur d’électrons et activez l’émission des filaments chauffés.
2. Recommandation : Fermez les vannes d’entrée avant l’étuvage (OmniStar).
3. Basculez dans le menu « Commande ».
4. Actionnez le bouton « Étuvage activé ».
Séquence d’étuvage
● La GSD 350 passe de l’état « Étuvage désactivé » à l’état « Étuvage activé ».
● La GSD 350 active les cartouches de chauffage de récipient.
─ Une commande PID régule le circuit de chauffage avec les paramètres de commande correspondants pour atteindre la température de consigne requise (par défaut = 120 °C, réglable
entre 100 °C et 130 °C)
─ La GSD 350 désactive le chauffage s’il y a un risque de température supérieure à la normale
dans l’unité.
L’affichage notifie cet état de fait.
● Le timer démarre (valeur standard : 4 h).
─ Une fois le timer écoulé (entre 1 et 24 heures), l’étuvage est automatiquement désactivé.
Fin de l'étuvage de l’enceinte à vide
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionnez le bouton « Bake out off ».
Séquence de fin de processus
● La GSD 350 passe de l’état « Étuvage activé » à l’état « Étuvage désactivé ».
● La GSD 350 désactive les cartouches de chauffage de récipient.
─ À partir d’une valeur seuil de ≤ 40 °C, l’état « Refroidi » est atteint.
8.6.6
Activation et désactivation de l’émission
Des dysfonctionnements ou des conditions non admissibles se traduisent par une désactivation automatique de l’émission.
Condition préalable
● GSD 350 prête pour la mesure (vide prêt)
Activation de l’émission
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionner le bouton « Emission on ».
Séquence d’activation
● La GSD 350 active l’émission du filament chauffé.
● La GSD 350 maintient un courant d’émission constant sur le filament chauffé, avec une surveillance permanente.
Lorsque la pression dans l’enceinte à vide est excessive, le courant du filament chauffé devient
trop élevé, ou les variations d’émissions sont trop accentuées ; l’émission est automatiquement
coupée.
Désactivation de l’émission
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionnez le bouton « Emission off ».
Séquence de désactivation
● La GSD 350 désactive l’émission du filament chauffé.
69/122
Fonctionnement via l’affichage
8.6.7
Activation et désactivation du multiplicateur d’électrons
Des dysfonctionnements ou des conditions non admissibles se traduisent par une désactivation automatique du multiplicateur d’électrons.
Si l’émission du filament est coupée manuellement ou automatiquement, le multiplicateur d’électrons
est également coupé automatiquement.
Conditions préalables
● GSD 350 prête pour la mesure (vide prêt)
● Émission activée
Activation du multiplicateur d'électrons
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionnez le bouton « EM on ».
Séquence d’activation
● La GSD 350 active le multiplicateur d’électrons.
Désactivation du multiplicateur d'électrons
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionnez le bouton « EM off ».
Séquence de désactivation
● La GSD 350 désactive le multiplicateur d’électrons.
8.6.8
Ouverture et fermeture de la vanne de calibration
La vanne de calibration est disponible uniquement sur les variantes du GSD 350 avec une unité de calibration.
Condition préalable
● GSD 350 prête pour la mesure (vide prêt)
Ouverture de la vanne de calibration
1. Recommandation : Pour éviter d’exposer le filament chauffé à une montée de pression inutile, ouvrez seulement la vanne de calibration quand l’émission est désactivée.
2. Attendez que la pression dans l’enceinte à vide soit inférieure à 1 × 10-5 hPa avant d’activer le
filament chauffé.
3. Basculez dans le menu « Commande ».
4. Appuyez sur le bouton « Ouvrir la vanne de calibration ».
5. Calibrez l’échelle de masse du spectromètre de masse.
Séquence d’ouverture
● La vanne de calibration ouvre pour lancer un cycle.
● Le fluide de calibration circule dans l’enceinte à vide avec le spectromètre de masse.
Fermeture de la vanne de calibration
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Appuyez sur le bouton « Shut calibration valve ».
Séquence de fermeture
● La vanne de calibration se ferme.
8.7
Menu « Mesure »
Le menu dispose des fonctions suivantes selon l’état de marche de l’unité :
● ouverture et démarrage des recettes de mesure existantes
● État à la livraison : scan de masse (par défaut SCAN AIR / scan du spectre) ou mesure des masses individuelles (par défaut masses d’air sélectionnées / masses sélectionnées)
70/122
Fonctionnement via l’affichage
Fig. 52:
Sélection de la recette
Lancement de la mesure
1. Dans le menu « Control », activez le filament chauffé et, si nécessaire, le multiplicateur d'électrons.
2. Dans le menu « Measure », actionnez le bouton « Start ».
3. Si nécessaire, permutez l’affichage entre linéaire et logarithmique.
Arrêt de la mesure
1. Dans le menu « Measure », actionnez le bouton « Stop ».
2. Dans le menu « Control », désactivez le filament chauffé et, si nécessaire, le multiplicateur d'électrons.
71/122
Mise hors service
9 Mise hors service
AVIS
Une forte vibration endommage la pompe turbomoléculaire
De fortes vibrations en cours de fonctionnement et après la mise à l’arrêt peuvent endommager la
pompe turbomoléculaire.
► Évitez les chocs et les vibrations en cours de fonctionnement, par exemple en roulant sur les câbles ou les seuils de porte.
► Évitez toute vibration dans les 5 minutes suivant la mise hors circuit du système.
AVIS
Dommages matériels résultants de l’interruption de l'alimentation électrique pendant le fonctionnement
Débrancher la prise d’alimentation ou couper l’interrupteur principal en secteur de fonctionnement
peut fortement solliciter le filament chauffé et réduire sa durée de vie si l’unité est sous vide et l’émission activée. Le filament chauffé risque d’être irrémédiablement détruit.
► Veillez à toujours mettre correctement l’unité hors service.
► Mettez l’unité hors service avant de débrancher la prise secteur.
Protection du filament chauffé
Afin de protéger le filament chauffé, la pompe turbomoléculaire se coupe 15 minutes après
la coupure du filament chauffé au plus tôt. L’opération de ventilation actuelle, celle du système, démarre lorsque la pompe turbomoléculaire atteint une vitesse de rotation
de 750 Hz.
Recommandations pour les gaz corrosifs et les mélanges de gaz condensables
1. Laissez passer de l'air sec ou un gaz inerte par le capillaire.
2. Laissez le GSD 350 fonctionner encore pendant environ 30 minutes pour évacuer hors du système les résidus de gaz corrosifs et de gaz condensables.
Désactivation de l’unité
1. Désactivez l’EM du spectromètre de masse (voir chapitre « Activation et désactivation du multiplicateur d’électrons », page 70).
2. Désactivez l’émission du spectromètre de masse (voir chapitre « Activation et désactivation de
l’émission », page 69).
3. Ventilez le système de vide pour le désactiver (voir chapitre « Ventilation du système à vide », page 67).
4. Patientez jusqu’à ce que le GSD 350 ventile le système et coupe les pompes à vide.
5. Arrêtez l’alimentation de purge de gaz neutre (version de gaz corrosif).
6. Coupez l’interrupteur principal sur l’unité.
7. Débranchez le câble d’alimentation de l’alimentation.
Débranchement du tuyau de gaz d’échappement
1. Appuyez fermement des deux côtés sur la bague de déverrouillage pour la descendre au niveau
de la pièce de raccordement du gaz d’échappement afin d’ouvrir uniformément les griffes de
maintien et d’éviter tout rayure sur le tuyau de gaz d’échappement.
2. Tirez le tuyau de gaz d’échappement à la verticale pour le sortir de la pièce de raccordement du
gaz d’échappement sur l’unité.
Déconnexion du tuyau flexible de purge de gaz neutre
1. Veillez à ce que la conduite de purge de gaz neutre ne soit pas sous pression.
2. Appuyez fermement des deux côtés sur la bague de déverrouillage pour la descendre au niveau
de la pièce de raccordement afin d’ouvrir uniformément les griffes de maintien et d’éviter tout rayure sur le tuyau de purge de gaz neutre.
3. Tirez le tuyau de purge de gaz neutre à la verticale pour le sortir de la pièce de raccordement sur
l’unité.
72/122
Maintenance
10
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Les sceaux de garantie sont fixés sur l’unité de manière à ce
que vous puissiez ouvrir les pièces suivantes de la GSD 350 sans enlever le sceau de garantie :
● Admission de gaz
● Réservoir du fluide d’exploitation de la pompe turbomoléculaire
● Ouverture de service du fluide de calibration (PFTBA)
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
10.1 Opérations de maintenance et intervalles de maintenance
Remarques relatives aux intervalles de maintenance
Les durées des intervalles de maintenance dépendent fortement des conditions de procédé ; elles concernent les opérations avec des gaz de nettoyage et des gaz inertes. L’utilisation de gaz de processus corrosifs peut réduire considérablement les intervalles de maintenance.
● En cas de charges extrêmes ou de procédés spécifiques, consultez Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts.
Vous pouvez procéder vous-même à des travaux de maintenance au niveau de maintenance 1.
Nous recommandons de faire appel à Pfeiffer Vacuum Service pour les travaux de maintenance du
niveau de maintenance 2 et du niveau de maintenance 3 (révision). Si les intervalles de maintenance recensés ci-dessous sont dépassés ou si l’intervention est mal exécutée, aucune réclamation de garantie ou de responsabilité ne sera acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Ces consignes s’appliquent
aussi s’il ne s’agit pas de pièces de rechange d’origine.
73/122
Maintenance
Groupe de composants, module
et action
Intervalle
Niveau de
maintenance
Pièces de
rechange/jeu de pièces de rechange
Remplacer les vis du carter
en cas de perte
1
Vis du carter
Nettoyer les pièces du carter
Si nécessaire
1
-
Remplacer le couvercle de l’admission de
gaz
Si nécessaire
1
Couvercle de l’admission de gaz
Remplacer le couvercle sur le côté
Si nécessaire
1
Couvercle sur le côté
Remplacer le couvercle de carter
Si nécessaire
1
Couvercle de carter
Remplacer l’aire de connexion du tuyau flexible de capillaire
Si nécessaire
1
Zone de connexion
Nettoyer la grille de protection sur le ventilateur
Si contaminé
1
-
Remplacer le joint cuivre sur le raccord à bride DN 40 CF
Toujours lorsque le raccord à bride CF est ouvert
1
Joint cuivre
Remplacer le réservoir du fluide d’exploitation sur la pompe turbomoléculaire
4 ans
1
Réservoir du fluide
d’exploitation
Remplacer les roulements de la pompe turbomoléculaire
4 ans
2
-
Remplacement de la pompe à membrane
Si nécessaire
1
Pompe à membrane
Remplacement de la membrane de la pompe à membrane
après 15 000 heures de fonctionnement
1
Kit de révision
Installez/démontez l’analyseur QMA 250 M
Si nécessaire
1
-
Remplacez le filament chauffé (en tungstène)
Si nécessaire
Après défaillance du premier des
2 filaments chauffés
1
Unité de filaments
chauffés
1
Unité de filaments
chauffés
Remplacer la source d’ions (filaments chauffés en tungstène)
Si contaminé
1
Source d’ions
Remplacer la source d’ions (filaments chauffés Ir-Y2O3)
Si contaminé
1
Source d’ions
Remplacer le capteur sur le manomètre de
pression totale
Si contaminé
1
Capteur
Remplacer le manomètre de pression totale
en cas de défaut
1
Jauge de pression totale
Installez/déposez l’admission de gaz (Omnistar)
Si nécessaire
2
-
Remplacez l’admission de gaz (Omnistar)
Si nécessaire
2
Admission de gaz
Installez/déposez l’admission de gaz (Thermostat)
Si nécessaire
2
-
Remplacez l’admission de gaz (Thermostat)
Si nécessaire
2
Admission de gaz
Remplacez l’orifice (Omnistar)
En cas de bouchon
2
Écran
Remplacez l’orifice (ThermoStar)
En cas de bouchon
2
Remplacez l’orifice et le diffuseur de gaz interne (Omnistar)
Si nécessaire
2
Remplacer l’orifice et le diffuseur de gaz interne (ThermoStar)
Si nécessaire
2
Réduction de la longueur des capillarités en
acier inoxydable
En cas de bouchon
1
-
Remplacement du capillaire en acier inoxydable
En cas de bouchon
1
Capillaire
Joints de capillaire
Instrument fondamental
Système côté vide élevé
Système de vide primaire
Unité d’analyse de gaz
Remplacer le filament chauffé (Ir-Y2O3)
Système d’admission de gaz
Jeu de pièces de rechange
Capillaire
74/122
Maintenance
Groupe de composants, module
et action
Intervalle
Niveau de
maintenance
Pièces de
rechange/jeu de pièces de rechange
Découpage à longueur des capillarités en
quartz
En cas de bouchon
1
-
Remplacement du capillaire en quartz
En cas de bouchon
1
Capillaire
Joints de capillaire
en cas de défaut
1
Affichage de contact 7"
Si nécessaire
2
Fluide de calibration
(PFTBA)
Composants électroniques
Remplacement de l’affichage
Unité de calibration (option)
Faire l’appoint de fluide de calibration
(PFTBA)
Tab. 12:
10.2
Opérations de maintenance et intervalles de maintenance
Maintenance de l’instrument fondamental
DANGER
Danger de mort par électrocution
L'appareil présente des tensions élevées. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous
tension. La mise en service de l'appareil alors qu'il est visiblement endommagé implique un danger
de mort.
► Toute intervention sur l'appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d'exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l'appareil et déconnectez-le de l'alimentation électrique.
► N’ouvrez jamais l'appareil lorsqu'il est branché à une source d'alimentation électrique.
► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l'utilisation accidentelle d'un appareil défectueux.
► Protégez l'appareil contre l'humidité.
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
75/122
Maintenance
10.2.1
Retrait/fixation du couvercle de l’admission de gaz
2
1
Fig. 53:
Retrait/fixation du couvercle de l’admission de gaz
1 Couvercle de l’admission de gaz
2
Vis à six pans creux intérieurs (M3)
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d’alimentation débranché
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
Retrait du couvercle de l’admission de gaz
1. Desserrez les vis à six pans creux intérieurs sur le couvercle de l’admission de gaz, sur le châssis.
2. Retirez avec précaution le couvercle de l’admission de gaz par l’avant.
3. Desserrez les éléments de fixation en Velcro du capot de séparation.
4. Retirez le capot de séparation de l’admission de gaz.
Fixation du couvercle d’admission de gaz
1. Placez le capot de séparation sur l’admission de gaz.
2. Fixez les éléments de fixation en Velcro du capot de séparation.
3. Posez le couvercle de l’admission de gaz sur le châssis.
4. Fixez le couvercle de l’admission de gaz sur le châssis à l’aide des vis à six pans creux intérieurs.
10.2.2
Retrait/fixation des couvercles sur le côté
Ne retirez pas le couvercle de l’admission de gaz
Il est inutile de retirer le couvercle de l’admission de gaz pour enlever les capots latéraux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Les sceaux de garantie sont fixés sur l’unité de manière à ce
que vous puissiez ouvrir les pièces suivantes de la GSD 350 sans enlever le sceau de garantie :
● Admission de gaz
● Réservoir du fluide d’exploitation de la pompe turbomoléculaire
● Ouverture de service du fluide de calibration (PFTBA)
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
76/122
Maintenance
2
1
3
3
Fig. 54:
Retrait/fixation des couvercles sur le côté
1 Capot latéral de droite
2 Capot latéral de gauche
3
Vis à six pans creux intérieurs (2×M3)
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d’alimentation débranché
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
Retrait des capots latéraux
1. Desserrez et retirez les vis à six pans creux intérieurs sur le capot latéral du châssis.
2. Retirez avec précaution le capot latéral par l’arrière.
– Faites attention aux sangles de montage sur le capot latéral.
3. Desserrez le connecteur mâle-femelle du câble de terre, sur le capot latéral.
Fixation des capots latéraux
1. Fixez le connecteur mâle-femelle du câble de terre sur le capot latéral.
2. Montez prudemment le capot latéral depuis l’arrière.
– Faites attention aux sangles de montage sur le capot latéral.
3. Serrez les vis à six pans creux intérieure du capot latéral sur le châssis.
10.2.3
Retrait/fixation du couvercle de carter
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Les sceaux de garantie sont fixés sur l’unité de manière à ce
que vous puissiez ouvrir les pièces suivantes de la GSD 350 sans enlever le sceau de garantie :
● Admission de gaz
● Réservoir du fluide d’exploitation de la pompe turbomoléculaire
● Ouverture de service du fluide de calibration (PFTBA)
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d’alimentation débranché
● Capots latéraux retirés
77/122
Maintenance
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
1
2
2
Fig. 55:
Retrait/fixation du couvercle de carter
1 Couvercle de carter
2
Vis à six pans creux intérieurs (2×M3)
Dépose du couvercle de carter
1. Desserrez les vis à six pans creux intérieurs sur le couvercle de carter, sur le châssis.
2. Retirez le couvercle de carter avec précaution, en tirant vers le haut.
3. Desserrez le connecteur mâle-femelle du câble de terre, sur le couvercle de carter.
Fixation du couvercle de carter
1. Fixez le connecteur mâle-femelle du câble de terre sur le couvercle de carter.
2. Montez prudemment le couvercle de carter depuis le haut.
3. Serrez les vis à six pans creux intérieurs du couvercle de carter sur le châssis.
10.2.4
Nettoyage des pièces de carter
DANGER
Choc électrique dû à la pénétration d’humidité dans l’unité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
78/122
Maintenance
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d'humidité
La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil.
► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité.
► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec.
► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau.
► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Conditions préalables
● GSD 350 mis hors circuit
● Câble d’alimentation débranché
Consommables nécessaires
● Détergent à nettoyer (détergent doux, par exemple)
● Chiffon (propre, doux, non pelucheux)
● Air comprimé
Exigences relatives à l’air comprimé
─
─
─
─
Exempt d’huile
Sec
Sans particules > 30 μm
< 2 bar de surpression
Nettoyage des pièces de carter
1. Utilisez un chiffon doux humide pour nettoyer l’extérieur de l’habillage.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
3. Éliminez les couches de poussière à l’intérieur en les soufflant prudemment à l’air comprimé.
10.2.5
Nettoyage des écrans de protection sur les ventilateurs
Intervalle de nettoyage
Définissez l'intervalle de nettoyage par des inspection visuelles et en fonction du dégagement de poussière sur site.
De manière générale, il suffit d’aspirer occasionnellement l’écran de protection à travers les ouvertures
de ventilation en utilisant un aspirateur.
Conditions préalables
● GSD 350 à l’arrêt
● Câble d’alimentation débranché
● Capots latéraux retirés
Équipement requis
● Aspirateur
Procédé
1. Nettoyez la grille de protection dès qu’une couche est visible et avant que la circulation de l’air
voir tombe au-dessous du niveau requis.
2. Tenez fermement le ventilateur pour éviter l’induction de courant sur le ventilateur.
3. Utilisez un aspirateur pour éliminer la poussière sur la grille de protection.
79/122
Maintenance
10.3 Maintenance du système de vide élevé
10.3.1
laire
Remplacement du réservoir de fluide d’exploitation sur la pompe turbomolécuAVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par les vapeurs toxiques
L’inflammation et le chauffage de fluide d’exploitation synthétique forment des vapeurs toxiques. Risque d’empoisonnement en cas d’inhalation.
► Respecter les consignes et précautions d’application.
► Tenir les produits à base de tabac à l’écart du fluide d’exploitation.
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Couvercles sur le côté installés
Outils nécessaires
● Tournevis, 4 mm
Outils spéciaux demandés
● Clé pour couvercle de carter (référence PV M40 813)
Équipement nécessaire
● Réservoir du fluide d’exploitation (référence PM 143 740 -T)
1
Fig. 56:
Face inférieure de l’unité
1
Couvercle de carter sur la pompe turbomoléculaire
Procédé
1. Installez la protection pour le transport de la pompe à membrane. (voir chapitre « Transport et
stockage », page 36)
2. Positionnez le GSD 350 avec précaution sur le côté.
3. Ouvrez le couvercle de carter de la pompe turbomoléculaire à l’aide d’une clé à fourche spéciale
pour le couvercle de carter.
4. Remplacez le réservoir du fluide d’exploitation et les tiges Poroplast en suivant les instructions du
manuel de l’utilisateur de la pompe turbomoléculaire.
5. Fermez le couvercle de carter de la pompe turbomoléculaire à l’aide d’une clé à fourche spéciale
pour le couvercle de carter.
6. Redressez le GSD 350 avec précaution.
7. Retirez la protection pour le transport de la pompe à membrane. (voir chapitre « Retrait de la protection pour le transport de la pompe à membrane », page 38)
80/122
Maintenance
10.3.2
Remplacement de la vanne de ventilation
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.4
Maintenance du système de vide primaire
10.4.1
Remplacement de la pompe à membrane
Conditions préalables
●
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Capots latéraux retirés
Couvercle de carter retiré
Outils nécessaires
● Clé à fourche, WAF 7
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3
● Tournevis cruciforme
Instrument nécessaire
● Appareil de commande DCU 110, DCU 180 ou DCU 310 avec câble de raccordement
Pièce de rechange requise
● Pompe à membrane MVP 010-3 DC (référence PK T05 072)
81/122
Maintenance
1
2
14
3
4
13
5
12
11
10
9
8
6
7
Fig. 57:
1
2
3
4
5
6
7
Remplacement de la pompe à membrane
Boulon six pans M4×10 (4×)
Disques de blocage (4×)
Borne du raccord de terre
Vis à tête hexagonale M4×12 (2×)
Disques de blocage (2×)
Patte de protection pour le transport
Protection pour le transport
8
9
10
11
12
13
14
Amortisseur de vibrations à ressorts (4×)
Ressort de compression (4×)
Plaque de fixation
Écrou (4×)
Support de pompe à membrane
Vis à épaulement
Pompe à membrane
2
1
Fig. 58:
Raccordement et retrait du tuyau de gaz d’échappement et d’admission
1 Bague de déblocage
2
Tuyau flexible
Retrait de la pompe à membrane
1. Fixez la protection pour le transport sur la pompe à membrane.
2. Détachez le tuyau flexible de gaz d’échappement de la pompe à membrane.
3. Détachez le tuyau flexible d’admission de la pompe à membrane.
4. Desserrez les vis de blocage sur le connecteur D-Sub de la pompe à membrane.
82/122
Maintenance
5. Débranchez le connecteur D-Sub sur la pompe à membrane.
6. Desserrez le raccord de terre sur la pompe à membrane.
7. Dévissez les vis à six pans creux avec les rondelles du support de pompe à membrane.
8. Retirez la pompe à membrane et son support de la plaque de fixation, en tournant doucement.
9. Desserrez les vis à six pans creux et les rondelles sur la pompe à membrane.
10. Séparez le support de pompe à membrane et la pompe à membrane.
11. Dévissez la vis à épaulement de la plaque de fixation.
12. Desserrez les écrous et retirez la plaque de fixation.
13. Détachez les ressorts de compression et amortisseurs de vibrations à ressorts du carter de la
GSD 350.
Réglage de l’adresse RS-485 de la nouvelle pompe à membrane
► Définissez l’adresse RS485 de la nouvelle pompe à membrane sur une valeur de « 10 » à l’aide
d’une DCU 110/180/310 et du câble de connexion approprié.
Installation de la pompe à membrane
1. Fixez les ressorts de compression et les amortisseurs de vibrations à ressorts sur le carter de la
GSD 350.
2. Fixez la plaque de fixation en position à l’aide des écrous.
3. Vissez la vis à épaulement dans la plaque de fixation.
4. Utilisez les boulons six pans et les rondelles pour fixer le support de la pompe à membrane sur la
pompe à membrane.
5. Positionnez la pompe à membrane avec le support de pompe à membrane sur la plaque de fixation.
6. Vissez les vis à six pans creux avec les rondelles sur le support de pompe à membrane.
7. Fixez le raccord de terre sur la pompe à membrane.
8. Connectez le connecteur Sub D.
9. Fixez les vis de verrouillage du connecteur Sub D sur la pompe à membrane.
10. Insérez le tuyau flexible d’entrée dans la pompe à membrane.
– Faites attention à la bonne position côté aspiration.
11. Insérez le tuyau flexible de gaz d’échappement dans la pompe à membrane.
– Faites attention à la bonne position sur le côté gaz d’échappement.
12. Si nécessaire, retirez la protection pour le transport de la pompe à membrane.
10.4.2
Remplacement de la membrane de la pompe à membrane
La durée de vie courante des membranes et des vannes est de 15 000 heures de fonctionnement, à
vitesse nominale, dans des conditions de fonctionnement propres et avec le GSD 350 analysant uniquement des gaz inertes.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Capots latéraux retirés
Couvercle de carter retiré
Pompe à membrane enlevée du GSD 350
Équipement nécessaire
● Ensemble de révision (référence PU E22 030 -T)
Procédure
1. Remplacez les membranes et les vannes au plus tard après 15 000 heures de fonctionnement.
2. Remplacez les membranes et les vannes en suivant les instructions du manuel de l’utilisateur de
la pompe à membrane.
83/122
Maintenance
10.5 Maintenance de l’unité d’analyse de gaz
10.5.1
Maintenance de l’analyseur QMA 250 M
AVIS
Défaillance liée à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à
toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Manuel de l’utilisateur du spectromètre de masse
Les informations relatives au démontage et au montage de l’unité électronique (QME) et de
l’analyseur (QMA) sont disponibles dans le manuel de l’utilisateur du spectromètre de masse PrismaPro.
Centrage de la source d’ions
Une source d’ions décentrée va affecter les performances de mesure du spectromètre de
masse et entraîner un vieillissement prématuré des filaments chauffés.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Capots latéraux retirés
Couvercle de carter retiré
Admission de gaz retirée (pour réinstallation du QMA)
Outils nécessaires
● 2 clés à fourche, WAF 10
Accessoires requis
● Équipement de montage pour analyseur QMA 250
● Jauge de centrage pour QMA (disponible comme outil spécial)
4
3
2
1
Fig. 59:
Spectromètre de masse quadripôle PrismaPro
1 Analyseur QMA 250 M
2 Bride
84/122
3
4
Collier de serrage
Unité électronique QME 250
Maintenance
1
Fig. 60:
Gorge sur l’analyseur
1 Gorge sur l’analyseur
Détermination de la sensibilité du spectromètre de masse
Si vous constatez une perte de sensibilité de la mesure, la cause peut être une diminution du gain du
multiplicateur d’électrons intégré (EM) ou la contamination de la source d’ions. Dans ce cas, Pfeiffer Vacuum recommande de déterminer la sensibilité du spectromètre de masse avec le multiplicateur d’électrons à l’arrêt, c.à.d. uniquement avec le détecteur Faraday.
1. Déterminez la sensibilité du spectromètre de masse avec le détecteur Faraday.
2. Laissez l’air circuler dans le système via l’entrée du capillaire.
3. Ajoutez les courants d’ions (pics maximums) des 8 à 10 pics les plus élevés.
4. Calculez le courant d’ions total par rapport à la pression totale (se reporter au tableau).
– Cela vous donne une bonne approximation de la sensibilité en A/hPa. La valeur doit être
> 4 × 10-5 A/hPa.
5. Compensez l’usure du multiplicateur d’électrons en réglant une tension plus élevée de l’amplificateur.
Valeur
-6
< 5 × 10 A/hPa
-6
> 5 × 10 A/hPa
Tab. 13:
Cause de perte de sensibilité
Action corrective
Contamination de la source d’ions
Remplacez la source d’ions.
Filament chauffé en fin de vie
Remplacez le filament chauffé.
Usure du multiplicateur d’électrons
Augmentez la tension de l’amplificateur.
Sensibilité déterminée du spectromètre de masse
Remplacement des filaments chauffés
Si l’un des filaments chauffés est défectueux, la mesure peut continuer temporairement avec le deuxième filament chauffé.
► Recommandation : Remplacez les deux filaments chauffés dès que possible en cas de défaillance d’un filament chauffé.
► Vérifiez également l’état de la source d’ions.
– En cas de forte contamination de la source d’ions, Pfeiffer Vacuum recommande le remplacement de l’ensemble de la source d’ions.
Effectuer la maintenance de l’analyseur
1. Débranchez tous les câbles de raccordement sur la platine frontale de l’unité électronique QME
250.
2. Retirez le collier de serrage noir sur l’unité électronique et dégagez l’unité électronique de l’analyseur.
3. Retirez le raccord à bride entre l’analyseur et l’enceinte à vide.
4. Sortez avec précaution l’analyseur de l’enceinte à vide.
5. Insérez l’analyseur dans l’équipement de montage avec la bride pointant vers le bas.
6. Exécutez les opérations de maintenance requises sur l’analyseur, en suivant le manuel de l’utilisateur du spectromètre de masse :
● Remplacer l’unité de filament chauffé, ou
● Remplacer la source d’ions
7. Positionnez l’analyseur avec un nouveau joint cuivre plaqué argent dans le vide.
– Prenez garde à ce que la gorge sur l’analyseur soit bien orientée (« position à 9h ») sur la
bride de passage.
85/122
Maintenance
8. Serrez l’analyseur de manière à ce que la source d’ions reste positionnée au centre dans la bride.
9. Positionnez l’unité électronique sur l’analyseur.
– La gorge dans l’analyseur doit s’engager dans la patte sur l’unité électronique.
10. Serrez le collier de serrage noir sur l’unité électronique.
11. Branchez tous les câbles de raccordement sur la platine frontale de l’unité électronique QME 250.
10.5.2
Maintenance de la jauge de pression totale
Durée d’allumage de la cathode froide à basses pressions
Si vous désactivez la jauge dans le mode « Ignorer erreurs capteur », un certain temps va
se passer avant que la GSD 350 affiche des valeurs de pression valides quand elle est réactivée.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Capots latéraux retirés
Couvercle de carter retiré
Outils nécessaires
● 2 clés plates, WAF 10 (non-magnétiques)
Pièces de rechange requises
● Joint cuivre, (DN 40 CF, plaqué argent) (référence 490DFL040-S-G-S5)
● Pour le remplacement de l’insert de capteur : Capteur (référence PT 120 212 -T)
● Pour le remplacement du manomètre de pression totale : Manomètre de pression totale (référence : PT R40 351)
1
2
3
4
5
6
7
8
10
9
Fig. 61:
1
2
3
4
5
Jauge de pression totale sur l’unité d’analyse de gaz
Raccord angulaire avec coussin d’isolation (non illustré)
Écrous six pans
Rondelles
Bride CF
Joint cuivre
6
7
8
9
10
Rondelles
Boulons six pans
Jauge de pression totale
Écrou six pans
Vis moletée
Procédure
1. Retirez le matelas isolant autour du raccord angulaire et de la bride de manomètre.
2. Desserrez les câbles de raccordement sur le manomètre.
3. Ouvrez le raccord à bride entre le manomètre et le raccord angulaire et retirez le manomètre.
4. Remplacez l’insert de capteur sur le manomètre en suivant le manuel de l’utilisateur du manomètre, ou utilisez un nouveau manomètre.
5. Si vous utilisez un nouveau manomètre : Sur le sélecteur d’adresse du manomètre, définissez
l’adresse sur une valeur de « 1 ».
86/122
Maintenance
6. Installez la jauge sur le raccord angulaire à l’aide d’un nouveau joint cuivre plaqué argent.
7. Mettez le matelas isolant en place autour du raccord angulaire et la bride de manomètre.
8. Connectez les câbles de raccordement au manomètre.
10.6 Maintenance du système d’admission de gaz sur Omnistar
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Découpage à longueur ou remplacement du capillaire en acier inoxydable
Découpez à la longueur le capillaire en acier inoxydable ou remplacez d’abord le capillaire
en acier inoxydable. Remplacez seulement l’orifice si le travail sur le capillaire en acier inoxydable n’a pas permis d’atteindre les résultats escomptés.
Si la pression dans la GSD 350 n’augmente pas ou augmente seulement très peu après l’ouverture de
la vanne de débitmètre (la pression reste < 1 × 10-6 hPa), alors le capillaire ou l’orifice d’admission de
gaz est probablement partiellement ou complètement bloqué. La probabilité d’un capillaire bloqué est
supérieure à celle d’un orifice bloqué.
6
4
5
3
2
1
Fig. 62:
Pièces du diffuseur de gaz interne sur l’Omnistar
1 Douille en céramique
2 Ressort de compression
3 Diffuseur de gaz
4
5
6
Joint torique, intérieur
Joint torique, extérieur
Écran
87/122
Maintenance
10.6.1
Retrait de la bride de l’admission de gaz
AVIS
Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet
Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz
intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomoléculaire.
► Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
► Veillez à ce que le ressort de compression et la douille en céramique soient bien en place sur le
diffuseur de gaz.
► Retirez les pièces manquantes de l’enceinte à vide avant de redémarrer le GSD 350.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Couvercle d’admission de gaz retiré
Douille de séparation retirée
Outils nécessaires
●
●
●
●
Clé hexagonale, WAF 2,5
Clé plate, WAF 5/16"
Clé plate, WAF 9/16"
Clé plate, WAF 14
1
2
12
3
4
10
5
6
9
11
8
Fig. 63:
1
2
3
4
5
6
7
7
Démontage du bloc de vannes
Vanne de débitmètre
Capteur de température
Disque de serrage
Vis à tête arrondie
Disques de blocage (2×)
Vis à six pans creux intérieurs (2×)
Vis à six pans creux intérieurs
8
9
10
11
12
13
Disque de serrage
Cartouche de chauffage
Raccord à vis du capillaire
Bloc de vannes
Vanne Split-flow
Bride de raccordement
Procédé
1. Desserrez les écrous sur les bobines des deux vannes.
2. Tirez sur la plaque de conducteur thermique pour la sortir du bloc de vannes et placez-la sur la
GSD 350.
3. Retirez les bobines des corps des deux vannes.
4. Ouvrez le raccord à vis du capillaire sur le bloc de valves à l’aide de la clé plate et tirez sur le
capillaire en acier inoxydable pour le sortir.
5. Desserrez la rondelle et la vis à tête arrondie du capteur de température.
6. Retirez le capteur de température.
7. Desserrez la rondelle de serrage et la vis à six pans creux de la cartouche de chauffage.
88/122
Maintenance
8. Tirez sur la cartouche de chauffage pour la sortir du bloc de vannes.
9. Desserrez les rondelles de serrage et les vis à six pans creux sur le bloc de vannes.
10. Tirez sur le bloc de vannes avec précaution vers l’avant pour le sortir de la bride de raccordement.
11. Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
Compléter le travail nécessaire suivant
► Complétez le travail supplémentaire nécessaire :
– Remplacer l’orifice
– Remplacer le diffuseur de gaz intérieur et l’orifice
– Remplacer l’admission de gaz complète
10.6.2
Remplacement de l’orifice
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Admission de gaz déposée
Outils nécessaires
● Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
● Clé plate pour diffuseur de gaz, WAF 8
Pièce de rechange requise
● Orifice, 50 μm (référence BK212576)
Procédé
1. Dévissez et retirez le diffuseur de gaz sur le bloc de vannes.
2. Tournez l’admission de gaz de sorte à pouvoir dégager l’orifice.
3. Percez manuellement l’orifice avec un outil spécial et sortez l’orifice du bloc de vanne si l’orifice
reste coincé.
4. Si l’orifice ne peut pas être desserré avec l’outil spécial, tapez doucement l’admission de gaz sur
une surface non dure pour le faire tomber.
5. Positionnez le nouvel orifice sur le diffuseur de gaz en l’orientant correctement de manière à ce
que le côté mat soit visible quand vous regardez dans le trou.
6. Avec une clé à écrou, serrez à la main le diffuseur de gaz dans le bloc de vannes.
10.6.3
Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Admission de gaz déposée
Outils nécessaires
● Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
● Clé plate pour diffuseur de gaz, WAF 8
Accessoires requis
● Papier propre
Pièces de rechange requises
● Lot de pièces de rechange (référence PT 167 014 -T)
89/122
Maintenance
1
2
3
Fig. 64:
Diffuseur de gaz environ 1–2 mm derrière l’extrémité du manchon céramique
1 Douille en céramique
2 Ressort de compression
3
Diffuseur de gaz
Procédé
1. Dévissez et retirez le diffuseur de gaz sur le bloc de vannes.
2. Tournez l’admission de gaz de sorte à dégager l’orifice.
3. Percez manuellement l’orifice avec un outil spécial et sortez l’orifice du bloc de vanne si l’orifice
reste coincé.
4. Si l’orifice ne peut pas être desserré avec l’outil spécial, tapez doucement l’admission de gaz sur
une surface non dure pour le faire tomber.
5. Remplacez le diffuseur de gaz, l’anneau de compression et la douille en céramique.
6. Poussez le ressort sur le manchon céramique.
7. Poussez le ressort et le manchon céramique sur le diffuseur de gaz.
8. Vérifiez que le diffuseur de gaz est situé à environ 1–2 mm derrière l’extrémité du manchon céramique.
9. Poussez le manchon céramique sur un morceau de papier propre et vérifiez que le ressort du diffuseur de gaz agit en compression et que le frottement est faible.
10. Positionnez le nouvel orifice sur le diffuseur de gaz en l’orientant correctement de manière à ce
que le côté mat soit visible quand vous regardez dans le trou.
11. Avec une clé à écrou, serrez à la main le diffuseur de gaz dans le bloc de vannes.
10.6.4
Installation de la bride d’aspiration de gaz
AVIS
Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet
Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz
intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomoléculaire.
► Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
► Veillez à ce que le ressort de compression et la douille en céramique soient bien en place sur le
diffuseur de gaz.
► Retirez les pièces manquantes de l’enceinte à vide avant de redémarrer le GSD 350.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
●
90/122
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Couvercle d’admission de gaz retiré
Douille de séparation retirée
Admission de gaz déposée
Capillarités en acier inoxydable éventuellement installées sur le bloc de vannes
Maintenance
Outils nécessaires
●
●
●
●
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2,5
Clé plate, WAF 5/16"
Clé plate, WAF 9/16"
Clé plate, WAF 14 pour vannes
Procédé
1. Contrôlez l’assise du ressort de compression et de la douille en céramique.
2. Centrez avec précaution et insérez le bloc de vannes dans la bride de raccordement sur l’enceinte à vide.
– Le dernier centimètre de guidage de gaz est directement dans le spectromètre de masse.
3. Fixez les rondelles de serrage et les vis à six pans creux sur le bloc de vannes.
4. Poussez la cartouche de chauffage dans le bloc de vannes.
5. Fixez la rondelle de serrage et la vis à six pans creux de la cartouche de chauffage.
6. Fixez le capteur de température avec la rondelle de serrage et la vis à tête arrondie.
7. Enfoncez à nouveau le capillaire en acier inoxydable dans le tube capillaire.
8. Placez les bobines sur les corps des deux vannes.
9. Boulonnez les bobines à un angle de 90°.
10. Veillez à ce que ce tout corresponde bien.
11. Poussez la plaque de conducteur thermique sous le bloc de vannes dans l’admission de gaz.
12. Montez le chapeau isolant sur le carter de l’admission de gaz.
10.7 Maintenance du système d’admission de gaz sur ThermoStar
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Réduisez d’abord la longueur ou remplacez le capillaire en quartz
Pfeiffer Vacuum recommande d’abord de réduire la longueur ou de remplacer le capillaire
quart, et de ne remplacer l’orifice que si les opérations sur le capillaire quartz ne donnent
pas les résultats escomptés.
Si la pression dans la GSD 350 est toujours < 1 × 10-6 hPa malgré la pression atmosphérique sur l’admission de gaz, alors le capillaire ou l’orifice d’admission est probablement partiellement ou complètement bloqué. La probabilité d’un capillaire bloqué est supérieure à celle d’un orifice bloqué.
91/122
Maintenance
5
4
6
3
2
1
Fig. 65:
Pièces du diffuseur de gaz interne sur ThermoStar
1 Douille en céramique
2 Ressort de compression
3 Diffuseur de gaz
10.7.1
4
5
6
Écran
Joint torique, intérieur
Joint torique, extérieur
Retrait de la bride de l’admission de gaz
AVIS
Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet
Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz
intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomoléculaire.
► Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
► Veillez à ce que le ressort de compression et la douille en céramique soient bien en place sur le
diffuseur de gaz.
► Retirez les pièces manquantes de l’enceinte à vide avant de redémarrer le GSD 350.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Couvercle d’admission de gaz retiré
Douille de séparation retirée
Outils nécessaires
●
●
●
●
92/122
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2,5
Clé à fourche, WAF 5,5
Clé plate, WAF 1/4"
Clé plate, WAF 3/8"
Maintenance
1
2
3
4
8
7
6
5
Fig. 66:
1
2
3
4
Retrait de la bride de l’admission de gaz
Disques de blocage (2×)
Vis à six pans creux intérieurs (2×)
Vis à tête arrondie
Capteur de température
5
6
7
8
Borne de connexion
Raccord à vis du capillaire
Bride d’aspiration de gaz
Bride de raccordement
Procédé
1. Retirez le chapeau isolant sur le carter de l’admission de gaz.
2. Tirez sur la plaque de conducteur thermique pour la sortir et placez-la sur la GSD 350.
3. Ouvrez le raccord à vis du capillaire sur la bride d’aspiration et sortez le capillaire en quartz.
4. Desserrez la vis à tête arrondie et le collier du capteur de température.
5. Retirez le capteur de température.
6. Fixez les deux vis à six pans creux et les rondelles sur la bride d’aspiration de gaz.
7. Tirez sur la bride d’aspiration de gaz avec précaution vers l’avant pour la sortir de la bride de raccordement.
8. Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
Compléter le travail nécessaire suivant
► Complétez le travail supplémentaire nécessaire :
– Remplacer l’orifice
– Remplacer le diffuseur de gaz intérieur et l’orifice
– Remplacer l’admission de gaz complète
10.7.2
Remplacement de l’orifice
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Admission de gaz déposée
Outils nécessaires
● Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
● Clé plate pour diffuseur de gaz, WAF 8
● Mandrin pour orifice, diamètre 1,5 mm, longueur 40 mm
Pièce de rechange requise
● Orifice, 50 μm (référence BK212576)
Procédé
1. Dévissez et retirez le diffuseur de gaz sur la bride d’aspiration de gaz.
2. Tournez l’admission de gaz de sorte à pouvoir dégager l’orifice.
3. Avec un mandrin fin, poussez sur l’orifice pour le sortir du côté capillaire.
4. Contrôlez si l’orifice peut être réutilisé.
5. Percez manuellement l’orifice avec un outil spécial et sortez l’orifice du bloc de vanne si l’orifice
reste coincé.
93/122
Maintenance
6. Si l’orifice ne peut pas être desserré avec l’outil spécial, tapez doucement l’admission de gaz sur
une surface non dure pour le faire tomber.
7. Positionnez le nouvel orifice sur le diffuseur de gaz en l’orientant correctement de manière à ce
que le côté mat soit visible quand vous regardez dans le trou.
8. Avec la clé plate, serrez à la main le diffuseur de gaz dans la bride d’aspiration de gaz.
10.7.3
Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Admission de gaz déposée
Outils nécessaires
● Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
● Clé plate pour diffuseur de gaz, WAF 8
Accessoires requis
● Papier propre
Pièces de rechange requises
● Lot de pièces de rechange (référence PT 167 014 -T)
1
2
3
Fig. 67:
Diffuseur de gaz environ 1–2 mm derrière l’extrémité du manchon céramique
1 Douille en céramique
2 Ressort de compression
3
Diffuseur de gaz
Procédé
1. Dévissez et retirez le diffuseur de gaz sur la bride d’aspiration de gaz.
2. Tournez l’admission de gaz de sorte à dégager l’orifice.
3. Percez manuellement l’orifice avec un outil spécial et sortez l’orifice du bloc de vanne si l’orifice
reste coincé.
4. Si l’orifice ne peut pas être desserré avec l’outil spécial, tapez doucement l’admission de gaz sur
une surface non dure pour le faire tomber.
5. Remplacez le diffuseur de gaz, l’anneau de compression et la douille en céramique.
6. Poussez le ressort sur le manchon céramique.
7. Poussez le ressort et le manchon céramique sur le diffuseur de gaz.
8. Vérifiez que le diffuseur de gaz est situé à environ 1–2 mm derrière l’extrémité du manchon céramique.
9. Poussez le manchon céramique sur un morceau de papier propre et vérifiez que le ressort du diffuseur de gaz agit en compression et que le frottement est faible.
10. Positionnez le nouvel orifice sur le diffuseur de gaz en l’orientant correctement de manière à ce
que le côté mat soit visible quand vous regardez dans le trou.
11. Avec la clé plate, serrez à la main le diffuseur de gaz dans la bride d’aspiration de gaz.
94/122
Maintenance
10.7.4
Installation de la bride d’aspiration de gaz
AVIS
Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet
Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz
intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomoléculaire.
► Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
► Veillez à ce que le ressort de compression et la douille en céramique soient bien en place sur le
diffuseur de gaz.
► Retirez les pièces manquantes de l’enceinte à vide avant de redémarrer le GSD 350.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Couvercle d’admission de gaz retiré
Douille de séparation retirée
Admission de gaz déposée
Capillaire quartz éventuellement assemblé sur la bride d’aspiration de gaz
Outils nécessaires
●
●
●
●
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2,5
Clé à fourche, WAF 5,5
Clé plate, WAF 1/4"
Clé plate, WAF 3/8"
Procédé
1. Contrôlez l’assise du ressort de compression et de la douille en céramique.
2. Insérez prudemment la bride d’aspiration de gaz dans la bride de raccordement sur l’enceinte à
vide.
3. Serrez les deux vis à six pans creux et les rondelles sur la bride d’aspiration de gaz.
4. Enfoncez à nouveau le capillaire en quartz dans le tube capillaire.
5. Poussez le collier sur le raccord à vis du milieu de l’admission de gaz.
6. Fixez le capteur de température sur le collier avec la vis à tête arrondie.
7. Poussez dans la plaque du conducteur thermique.
8. Montez le chapeau isolant sur le carter de l’admission de gaz.
10.8 Entretien du capillaire
Utilisez uniquement les capillarités d’origine parmi les accessoires
Le capillaire fait partie de l’étage de réduction et est nécessaire pour atteindre la pression
de travail du spectromètre de masse. Utilisez uniquement les capillarités d’origine parmi les
accessoires Pfeiffer Vacuum. Contactez Pfeiffer Vacuum Service si vous avez des questions.
Réduction ou remplacement du capillaire
Pfeiffer Vacuum recommande d’abord de réduire la longueur ou de remplacer le capillaire,
et de ne remplacer l’orifice que si les opérations sur le capillaire ne donnent pas les résultats escomptés.
Lorsque la pression totale escomptée n’est pas atteinte dans le GSD 350 et que la pression total reste
à < 1 × 10-6 hPa avec l’admission de gaz ouverte (OmniStar), on peut supposer que soit le capillaire,
soit l’orifice sur l’admission de gaz, est partiellement ou intégralement bloqué. La probabilité d’un capillaire bloqué est supérieure à celle d’un orifice bloqué.
95/122
Maintenance
10.8.1
Réduction de la longueur des capillarités en acier inoxydable
Longueur nécessaire des capillarités en acier inoxydable
Longueur du capillaire = longueur du tube capillaire + 15 cm + longueur requise au
point de mesure
Le capillaire fait partie du système de réduction de pression. Un capillaire dont la longueur
dépasse 2 m peut entraîner des pressions plus basses dans l’enceinte à vide.
Un blocage potentiel des capillarités en acier inoxydable survient souvent dans la zone avant côté atmosphère des capillarités en acier inoxydable. Découpez à longueur les capillarités en acier inoxydable
pour éliminer le blocage.
Conditions préalables
● Capillaire en acier inoxydable déconnecté du point de mesure
● Longueur du capillaire en acier inoxydable encore suffisante après réduction
Outils nécessaires
● Tube ou cutter de capillaire (1/16") lime coupante
3
2
1
Fig. 68:
Longueur du capillaire en acier inoxydable avec raccord à vis à collier de serrage
1 Capillaire en acier inoxydable
2 Raccord à vis à collier de serrage
≈1
Fig. 69:
0m
3
Joint capillaire (virole)
m
Entaillage et cassage du capillaire en acier inoxydable
Sectionnement du capillaire en acier inoxydable avec le tube ou les cutters de capillaire
1. Tirez le capillaire en acier inoxydable suffisamment pour le sortir du tube de capillaire.
2. Coupez le capillaire en acier inoxydable avec le tube ou les cutters de capillaire.
Sectionnement du capillaire en acier inoxydable avec une lime
1. Tirez le capillaire en acier inoxydable suffisamment pour le sortir du tube de capillaire.
2. Entaillez avec précaution le capillaire en acier inoxydable en deux endroits opposés.
– Entailles = profondeur max. 0,5 mm
3. Pliez avec précaution le capillaire en acier inoxydable jusqu’à ce qu’il se rompe au niveau des entailles.
Mise en service de l’unité
1. Démarrez le système de pompage.
2. Attendez pendant le temps d’accélération de la pompe turbomoléculaire (environ 5 minutes).
96/122
Maintenance
Contrôle de la pression dans l’enceinte à vide
1. Contrôlez la pression dans l’enceinte à vide.
– La pression affichée doit être de ≥ 1 × 10-6 hPa avec la vanne de débitmètre ouverte.
2. Si la pression affichée est < 1 × 10-6 hPa, les causes suivantes sont possibles :
– Capillaire en acier inoxydable bouché sur toute sa longueur (voir chapitre « Remplacement
du capillaire en acier inoxydable », page 97)
– Écran bloqué (voir chapitre « Remplacement de l’orifice », page 89) ou (voir chapitre « Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice », page 89)
– Capillaire en acier inoxydable trop long
– Diamètre du capillaire trop petit
10.8.2
Remplacement du capillaire en acier inoxydable
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Capillaire en acier inoxydable déconnecté du point de mesure
Couvercle d’admission de gaz retiré
Douille de séparation retirée
Outils nécessaires
● Clé plate, WAF 9/16"
● Clé plate, WAF 5/16"
● Tube ou cutter de capillaire (1/16") lime coupante
Pièces de rechange requises
● Capillaire en acier inoxydable (référence PT 167 060 -T)
● Joints de capillaire (référence PT 167 017 -T)
5
1
Fig. 70:
2
3
4
Raccord à collier de serrage pour capillaire en acier inoxydable
1 Adaptateur
2 Écrou
3 Collier de serrage avant
4
5
Collier de serrage arrière
Capillaire en acier inoxydable
97/122
Maintenance
Procédé
1. Découpez à la longueur les capillarités en acier inoxydable.
– Longueur du capillaire = longueur du tube capillaire + 15 cm + longueur requise au
point de mesure
2. Ouvrez le raccord à chapeau de serrage de refroidissement.
3. Retirez l’ancien capillaire en acier inoxydable.
4. Enfilez le raccords à chapeau de serrage et un nouveau joint capillaire sur le nouveau capillaire
en acier inoxydable sectionné.
5. Enfilez le capillaire en acier inoxydable, avec le joint capillaire et le raccord à chapeau de serrage,
dans le raccord fileté sur le bloc de vannes.
6. Vissez légèrement le raccord à chapeau de serrage, de sorte que les capillaires en acier inoxydable puissent continuer de bouger.
7. Poussez le capillaire en acier inoxydable jusqu’en butée.
8. Ramenez le capillaire en acier inoxydable d’1 ou 2 mm en arrière.
9. Serrez le raccords à chapeau de serrage avec les clés à fourche.
10. Enfilez avec précaution l’extrémité libre du capillaire en acier inoxydable dans le tube capillaire.
10.8.3
Découpage à longueur des capillarités en quartz
ATTENTION
Risque de blessure par éclatement du capillaire en quartz
Les capillaires au quartz éclatent en cas d’utilisation non conforme. Risque de grave blessure aux
yeux lié à la projection d'éclats.
► N’exercez pas de force en entaillant le capillaire en quartz.
► Portez des lunettes de protection.
Longueur nécessaire des capillarités en quartz
Longueur du capillaire = longueur du tube capillaire + 30 cm + longueur requise au point de
mesure
Un blocage potentiel des capillarités en quartz survient souvent dans la zone avant côté atmosphère
des capillarités en quartz. Découpez à longueur les capillarités en quartz pour éliminer le blocage.
Conditions préalables
● Capillaire en quartz déconnecté du point de mesure
● Longueur du capillaire en quartz encore suffisante après réduction
Outils nécessaires
● Outil de coupe du capillaire
≈1
Fig. 71:
0m
m
Entaillage et cassage du capillaire de quartz
Sectionnement du capillaire en quartz
1. Tirez le capillaire en quartz suffisamment pour le sortir du tube de capillaire.
2. Entaillez avec précaution le capillaire en quartz, sans forcer.
3. Rompez avec précaution le capillaire en quartz à l’endroit entaillé précédemment.
98/122
Maintenance
Mise en service de l’unité
1. Démarrez le système de pompage.
2. Attendez pendant le temps d’accélération de la pompe turbomoléculaire (environ 5 minutes).
Contrôle de la pression dans l’enceinte à vide
1. Contrôlez la pression dans l’enceinte à vide.
– La pression affichée doit être de ≥ 1 × 10-6 hPa.
2. Si la pression affichée est < 1 × 10-6 hPa, les causes suivantes sont possibles :
– Capillaire en quartz bouché sur toute sa longueur (voir chapitre « Remplacement du capillaire
en quartz », page 99)
– Écran bloqué (voir chapitre « Remplacement de l’orifice », page 93) ou (voir chapitre « Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice », page 94)
10.8.4
Remplacement du capillaire en quartz
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
GSD 350 désactivée
Câble d’alimentation débranché
Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Capillaire en quartz déconnecté du point de mesure
Couvercle d’admission de gaz retiré
Douille de séparation retirée
Outils nécessaires
● Clé plate, WAF 1/4"
● Clé plate, WAF 3/8"
● Outil de coupe du capillaire
Pièces de rechange requises
● Capillaire en quartz (référence B1975082EC)
● Joints de capillaire (référence PT 167 015 -T)
Ne desserrez pas le raccord à vis arrière
Vous ne devez pas ouvrir le raccord à vis arrière sur la bride d’aspiration de gaz. Pour remplacer le capillaire, ouvrez seulement le raccord à vis avant.
1
2
4
5 6
7
8
3
Fig. 72:
1
2
3
4
Raccord à vis avant du capillaire en quartz
Capteur de température
Vis à tête arrondie
Borne de connexion
Raccord à vis arrière
5
6
7
8
Vis de pression
Joint (virole)
Vis de pression
Capillaire en quartz
Procédé
1. Découpez à la longueur les capillarités en quartz.
– Longueur du capillaire = longueur du tube capillaire + 30 cm + longueur requise au
point de mesure
2. Desserrez la vie à tête arrondie.
3. Retirez le capteur de température et le collier.
4. Desserrez la vie de pression.
5. Retirez l’ancien capillaire en quartz.
99/122
Maintenance
6. Poussez la vis de pression et un nouveau joint capillaire sur le nouveau capillaire en quartz découpé à longueur.
– Distance entre l’extrémité du capillaire et la virole = env. 25 mm
7. Poussez le capillaire en quartz, avec le joint capillaire et la vis de pression sur le raccord à vis
arrière sur la bride d’aspiration de gaz.
8. Poussez le capillaire en quartz jusqu’en butée.
9. Ramenez le capillaire en quartz de 1 ou 2 mm en arrière.
10. Serrez la vis de pression avec les clés plates.
11. Enfilez avec précaution l’extrémité libre du capillaire en quartz dans le tube capillaire.
12. Fixez le capteur de température et le collier avec la vis à tête arrondie.
10.9
Maintenance des unités de chauffage
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
10.9.1
Remplacez le tube capillaire
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.9.2
Maintenance du chauffage de l’admission de gaz
Si le GSD 350 a un défaut dans le chauffage de l’admission de gaz, remplacez le chauffage et/ou le
capteur de température.
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.9.3
Entretien du chauffage de l’enceinte à vide
Lorsque la température dans l’enceinte à vide n’atteint pas la température définie lors de l’étuvage, même après un laps de temps prolongé, ou si le GSD 350 notifie une défaillance du chauffage de l’enceinte à vide, remplacez le chauffage et/ou le capteur de température concerné.
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.10 Entretien des composants électroniques
Tous les composants électroniques sur le GSD 350 sont sans entretien. Vous devez remplacer tous les
composants électroniques défectueux.
10.10.1
Remplacement de l’affichage
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d’alimentation débranché
● Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Outils nécessaires
● Tournevis cruciforme
100/122
Maintenance
Pièce de rechange requise
● Affichage de contact 7" (référence PT 167 025)
Afficher la tension d’alimentation
L'injecteur PoE du GSD 350 alimente l'écran en tension via le câble de raccordement. Ne
connectez pas d’autres composants Ethernet à ce câble de raccordement.
2
1
3
Fig. 73:
Remplacement de l’affichage
1 Vis à tête conique (2×)
2 Élément de fixation du câble
3
Affichage
Procédure
1. Retirez avec précaution l’affichage du GSD 350.
2. A l’arrière de l’affichage, desserrez les vis à tête conique sur les éléments de fixation.
3. Déconnectez le câble de raccordement sur l’affichage.
4. Branchez le câble de raccordement au nouvel affichage.
5. A l’arrière de l’affichage, serrez les vis à tête conique sur les éléments de fixation.
6. Placez l’affichage dans le GSD 350.
Pendant la phase d’accélération, le GSD 350 synchronise automatiquement l’affichage avec la configuration du GSD 350.
10.10.2
Remplacement de l'injecteur PoE
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.10.3
Remplacement de la platine principale
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.10.4
Remplacement de l'unité de courant
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.10.5
Remplacement de l’unité électronique QME 250
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
101/122
Maintenance
10.10.6 Remplacement de l’unité de commande électronique TC 110 sur la pompe turbomoléculaire
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.11
Maintenance de l’unité de calibration
10.11.1
Appoint en fluide de calibration
Conditions préalables
● GSD 350 désactivée
● Câble d’alimentation débranché
● Système de vide à l’arrêt et mis à l’air à la pression atmosphérique
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2,5
● Aide au montage du support de gaz de calibration
Consommables requis
● Fluide de calibration (PFTBA) (référence PT 167 031)
1
2
3
4
5
6
7
8
10
9
Fig. 74:
1
2
3
4
5
102/122
Unité de calibration
Vanne d’isolement EVI 005 M
Joint
Écran
Joint
Récipient collecteur
6
7
8
9
10
Raccord à vis
Crochet
Écrou six pans
Couvercle
Vis à tête conique (3×)
Maintenance
Personne supplémentaire pour l’assistance
Pour cette étape, vous devez tirer la GSD 350 à environ 17 cm du bord de la table pour
pouvoir ouvrir le couvercle de la base du carter de la GSD 350. Pfeiffer Vacuum recommande de vous faire assister par une autre personne pour éviter que la GSD 350 glisse
pendant cette étape.
Procédé
1. Tirez la GSD 350 vers l’avant de manière à ce qu’elle dépasse d’environ 17 cm du bord de la table.
2. Desserrez les vis à tête conique de la base du carter.
3. Retirez le couvercle.
4. Desserrez le raccord à vis au-dessus du récipient collecteur avec l’aide au montage.
5. Tirez le récipient collecteur vers le bas pour le détacher de la vanne d’isolement.
– Attention aux joints et à l’orifice.
6. Remplissez le récipient collecteur avec le fluide de calibration.
7. Installez le récipient collecteur sur la vanne d’isolement avec l’aide au montage.
– Attention aux joints et à l’orifice.
8. Fixez à la main le raccord à vis.
9. Fixez le couvercle sur la base du carter avec la vis à tête conique.
10.11.2
Remplacement de la vanne de calibration
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.12 Opérations de maintenance additionnelles pour la version pour gaz
corrosif
10.12.1
Remplacement de la vanne de la purge de gaz
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.12.2
Remplacement du régulateur de pression manuel
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement et l’ajustage.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.12.3
Remplacement du manocontacteur numérique
Réglage par défaut du manocontacteur
Ne modifiez pas ce réglage par défaut. Pfeiffer Vacuum a réglé par défaut le manocontacteur.
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
103/122
Dépannage
11
Dépannage
Notes sur la gestion des dysfonctionnement dans les menus d’aide
Pour de plus amples informations sur les messages d’anomalie et le dépannage lors de
l’utilisation de l’appareil via l’interface Web ou lors de l’utilisation du logiciel PV MassSpec,
se référer aux menus d’aide correspondants.
Problème
Cause possible
Action corrective
L’écran reste noir après sa mise en route.
Absence d’alimentation sur le module
Vérifiez l’alimentation et le câble
de secteur.
Fusibles secteur
(2×10 AT) défaillants
Remplacez les fusibles secteur.
Câble de l’écran mal
branché
Contrôlez le connecteur mâle-femelle sur l’affichage et sur le
PoE dans la GSD 350.
Câble d’alimentation
électrique entre le
PoE et la carte superviseur détaché
Contrôlez le connecteur mâle-femelle du câble d’alimentation
électrique entre le PoE et la carte superviseur.
Le temps d’accélération n’est pas écoulé
Patientez jusqu’à la fin du temps
d’accélération d’environ 60 secondes.
L’unité a été désactivée, puis réactivée
trop rapidement
1. Arrêtez l’unité.
2. Patientez 15 secondes.
3. Réactivez l’unité.
Câble Ethernet entre
le PoE et la carte superviseur détaché
Contrôlez le connecteur mâle-femelle du câble Ethernet entre le
PoE et la carte superviseur.
Connexion du câble
desserrée
Contrôlez le connecteur mâle-femelle sur la pompe à membrane
et sur la carte superviseur.
Pompe à membrane
défectueuse
Effectuez l’entretien de la pompe
à membrane ou remplacez la
pompe à membrane.
Pression de la purge
de gaz neutre insuffisante (pour la version pour gaz corrosif)
Contrôlez l’alimentation de la
purge de gaz neutre.
Après l’instruction de réglage « Pomper », la pompe à membrane ne parvient
pas à atteindre la vitesse de rotation nominale (l’icône reste en vert foncé).
Pompe à membrane
défectueuse
Effectuez l’entretien de la pompe
à membrane ou remplacez la
pompe à membrane.
Après l’instruction de réglage « Refouler », la pompe turbomoléculaire ne parvient pas à démarrer (l’icône reste en gris
clair).
Activation du vide
à 10 hPa pas encore
atteinte
Patientez jusqu’à la fin du pompage pour le vide primaire (cible
< 60 s).
Condensats dans la
pompe à membrane
1. Démontez et nettoyez la
pompe à membrane.
2. Séchez les éléments de la
pompe à membrane.
Pompe à membrane
défectueuse
Effectuez l’entretien de la pompe
à membrane ou remplacez la
pompe à membrane.
Connexion du câble
desserrée
Contrôlez le connecteur mâle-femelle sur l’unité de commande
électronique et sur la carte superviseur.
Pompe turbomoléculaire défaillante
Remplacez la pompe turbomoléculaire.
Après l’activation, l’écran de démarrage
"tableau de bord" n’apparaît pas.
Après l’instruction de réglage « Refouler », la pompe à membrane ne parvient
pas à démarrer (l’icône reste en gris
clair).
104/122
Dépannage
Problème
Cause possible
Action corrective
Après l’instruction de réglage « Refouler », la pompe turbomoléculaire ne parvient pas à atteindre la vitesse de rotation
nominale (l’icône reste en vert foncé).
Le temps d’accélération de la pompe turbomoléculaire n’est
pas écoulé
Patientez jusqu’à la fin du temps
d’accélération < 8 minutes.
Pression d’entrée
trop élevée (seulement pour Thermostat)
Réduisez la pression du côté entrée du capillaire à < 1 200 hPa.
Non étanchéité
Contrôlez le joint capillaire dans
la zone d’admission de gaz.
Pression de vide primaire trop haute
Contrôlez l’étanchéité du raccord
à vide de la pompe à membrane/
pompe turbomoléculaire.
Température excessive
1. Vérifiez les ventilateurs.
2. Effectuez la maintenance de
la pompe à membrane.
Connexion du câble
desserrée
Contrôlez le connecteur mâle-femelle sur la pompe à membrane
et sur la carte superviseur.
Pompe à membrane
défectueuse
Effectuez l’entretien de la pompe
à membrane ou remplacez la
pompe à membrane.
Température excessive
1. Vérifiez les ventilateurs.
2. Effectuez la maintenance de
la pompe turbomoléculaire.
Pression d’entrée
trop élevée
Réduisez la pression du côté entrée du capillaire à < 1 200 hPa.
Non étanchéité
Contrôlez le joint capillaire dans
la zone d’admission de gaz.
Pression de vide primaire trop haute
Contrôlez l’étanchéité du raccord
à vide de la pompe à membrane/
pompe turbomoléculaire.
Condensats dans la
pompe à membrane
1. Démontez et nettoyez la
pompe à membrane.
2. Séchez les éléments de la
pompe à membrane.
Pompe à membrane
défectueuse
Effectuez l’entretien de la pompe
à membrane ou remplacez la
pompe à membrane.
Température excessive
1. Vérifiez les ventilateurs.
2. Nettoyez les grilles de protection sur les ventilateurs.
3. Maintenez la température
ambiante admissible.
La pompe à membrane s’arrête.
La pompe turbomoléculaire se désactive.
Les deux pompes à vide sont mises hors
circuit et le système est automatiquement
coupé.
Pression de la purge
de gaz neutre insuffisante (pour la version pour gaz corrosif)
Contrôlez l’alimentation de la
purge de gaz neutre.
105/122
Dépannage
Problème
Cause possible
Action corrective
La pression dans l’enceinte à vide avec
la fermeture de la vanne de débitmètre
est > 1 × 10-7 hPa (seulement pour OmniStar).
Le système n’est pas
en route depuis longtemps
Continuez le pompage.
Humidité excessive
dans le système à vide
Étuvez l’enceinte à vide.
Vanne d’entrée non
étanche
Remplacez le bloc de vannes.
Pression de vide primaire trop haute
Contrôlez l’étanchéité du raccord
à vide de la pompe à membrane/
pompe turbomoléculaire.
Condensats dans la
pompe à membrane
1. Démontez et nettoyez la
pompe à membrane.
2. Séchez les éléments de la
pompe à membrane.
Pompe à membrane
défectueuse
Effectuez l’entretien de la pompe
à membrane ou remplacez la
pompe à membrane.
Pression d’entrée
trop élevée
Réduisez la pression du côté entrée du capillaire à < 1 200 hPa.
Non étanchéité
Contrôlez le joint capillaire dans
la zone d’admission de gaz.
Humidité excessive
dans le système à vide
Étuvez l’enceinte à vide.
Pression de vide primaire trop haute
Contrôlez l’étanchéité du raccord
à vide de la pompe à membrane/
pompe turbomoléculaire.
Condensats dans la
pompe à membrane
1. Démontez et nettoyez la
pompe à membrane.
2. Séchez les éléments de la
pompe à membrane.
Pompe à membrane
défectueuse
Effectuez l’entretien de la pompe
à membrane ou remplacez la
pompe à membrane.
Vanne Split-flow contaminée (OmniStar
uniquement)
Remplacez le bloc de vannes.
Vanne Split-flow défectueuse (OmniStar
uniquement)
Remplacez le bloc de vannes.
Jauge de pression
totale polluée
Nettoyez la jauge de pression totale.
Jauge pour pression
totale défectueuse
Remplacez la jauge de pression
totale.
Pression d’entrée insuffisante
Augmentez la pression du côté
entrée du capillaire.
Capillaire bloqué
Découpez à longueur le capillaire ou remplacez-le.
Orifice bloqué
Remplacez l’orifice.
Temporisation pour
le passage de la vanne pas encore écoulée
Patientez jusqu’à la fin de la
temporisation < 15 secondes.
La vanne de débitmètre n’est pas contrôlée.
Contrôlez le connecteur mâle-femelle sur la vanne de débitmètre
et sur la carte superviseur.
Vanne de débitmètre
contaminée
Remplacez le bloc de vannes.
Vanne de débitmètre
défectueuse
Remplacez le bloc de vannes.
La pression dans l’enceinte à vide est
trop haute (> 3 × 10-5 hPa) (pour ThermoStar et/ou OmniStar avec vanne de
débitmètre ouverte).
Pression excessive dans l’enceinte à vide
(> 1 × 10-3 hPa).
La pression dans l’enceinte à vide est
trop basse (< 1 × 10-6 hPa) (pour ThermoStar et/ou OmniStar avec vanne de
débitmètre ouverte).
La vanne de débitmètre ne s’ouvre pas
(OmniStar uniquement)
106/122
Dépannage
Problème
Cause possible
Action corrective
Pas de pic de masse visible dans la plage > 200 u lors de la calibration de
l’échelle de masse (version avec unité de
calibration)
Sensibilité trop basse
du spectromètre de
masse
Lire le manuel de l’utilisateur du
spectromètre de masse pour de
plus amples informations.
Stock de fluide de
calibration insuffisant
Faites l’appoint en fluide de calibration.
La vanne d’isolement
sur l’unité de calibration n’est pas contrôlée.
Contrôlez le connecteur mâle-femelle sur la vanne d’isolement et
sur la carte superviseur.
Vanne d’isolement
sur l’unité de calibration polluée
Remplacez la vanne d’isolement
sur l’unité de calibration.
La vanne d’isolement
sur l’unité de calibration est défectueuse
Remplacez la vanne d’isolement
sur l’unité de calibration.
Erreur pendant la mesure
Erreur du spectromètre de masse
Lire le manuel de l’utilisateur du
spectromètre de masse pour de
plus amples informations.
Sensibilité de mesure insuffisante
Réglages incorrects
du spectromètre de
masse
Lire le manuel de l’utilisateur du
spectromètre de masse pour de
plus amples informations.
Forme de pic médiocre
Réglages incorrects
du spectromètre de
masse
Lire le manuel de l’utilisateur du
spectromètre de masse pour de
plus amples informations.
Niveau de bruit élevé
Réglages incorrects
du spectromètre de
masse
Lire le manuel de l’utilisateur du
spectromètre de masse pour de
plus amples informations.
Après l’instruction de réglage « Ventiler », les pompes à vide continuent de
fonctionner et le système n’est pas ventilé.
Temporisation pour
la ventilation pas encore écoulée
Patientez jusqu’à la fin de la
temporisation < 15 minutes.
(Temps affiché en haut à droite
de l’écran.)
A l’issue de l’instruction de réglage
« Ventilation », la vanne de ventilation ne
parvient pas à s’ouvrir.
Vitesse de rotation
de la pompe turbomoléculaire encore
> 750 Hz
Attendez que la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire est < 750 Hz.
La vanne de ventilation n’est pas contrôlée.
Contrôlez le connecteur mâle-femelle sur la vanne de ventilation
et sur la carte superviseur.
Vanne de ventilation
polluée
Remplacez la vanne de ventilation.
Vanne de ventilation
défectueuse
Remplacez la vanne de ventilation.
Tab. 14:
Dépannage
107/122
Expédition
12
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
108/122
Recyclage et mise au rebut
13
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
Protection de l'environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
13.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
13.2
Élimination du système d’analyse du gaz
Les systèmes d’analyse du gaz Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
1. Démontez les éléments du boîtier.
2. Démontez tous les composants individuels.
3. Démontez les composants électroniques.
4. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
5. Séparez les composants en matériaux recyclables.
6. Recyclez les composants non contaminés.
7. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
109/122
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
14
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
110/122
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
111/122
Pièces de rechange
15
Pièces de rechange
Commande de pièces de rechange
► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la
plaque signalétique.
► Installez uniquement des pièces détachées d'origine.
Désignation
Référence
Description/contenu de la livraison
Couvercle de carter
PT 167 000
-
Couvercle de l’admission de gaz
PT 167 005
-
Couvercle sur le côté, OmniStar
PT 167 003
gauche
PT 167 004
droit
PT 167 001
gauche
PT 167 002
droit
Aire de connexion du tuyau flexible
de capillaire
PT 167 007
Couvercle avec alésage
PT 167 006
Couvercle sans alésage
Vis du carter
PT 167 065 -T
Ensemble (10 pcs)
490DFL040-S-G-S5
DN 40 CF (ensemble de 10 pcs)
PT 167 016 -T
OmniStar
Insert de bride avec vannes, orifice 50 µm, 2 joints toriques et
diffuseur de gaz interne, sans capillaire en acier inoxydable
PT 167 013 -T
ThermoStar
Insert de bride, orifice 50 µm, 2 joints toriques et diffuseur de
gaz interne, sans capillaire en quartz
Jeu de pièces de rechange
PT 167 014 -T
OmniStar et ThermoStar
2 joints toriques, orifice de 50 µm, diffuseur de gaz, ressort de
compression
Écran
BK212576
OmniStar et ThermoStar
50 μm
Capillaire
PT 167 060
Acier inoxydable, 1/16", 0,12 mm × 5 m
B1975082EC
Quartz, 0,23", 0,14 mm × 5 m
PT 167 017 -T
Joints de capillaire (viroles) pour capillaire en acier inoxydable
(ensemble de 10 pcs)
PT 167 015 -T
Joints de capillaire (viroles) pour capillaires en quartz (ensemble de 10 pcs)
PT 167 031
En flacon de 5 ml
Pompe à membrane
PK T05 072
Pompe à membrane MVP 010-3 DC
Kit de révision
PU E22 030 -T
Membranes et vannes
Jauge de pression totale
PT R40 351 -A
Jauge de remplacement MPT 200 AR
Capteur
PT 120 212 -T
Capteur MPT, DN 40 CF
Structure et éléments du carter
Couvercle sur le côté, ThermoStar
Raccords à bride
Joint cuivre
Admission de gaz et capillarités
Admission de gaz
Joints de capillaire
Unité de calibration
Fluide de calibration (PFTBA)
Pompe à membrane
Jauge de pression totale
Analyseur PrismaPro QMA 250 M avec source d’ions spéciale
112/122
Pièces de rechange
Désignation
Référence
Description/contenu de la livraison
Analyseur
PT M25 451
1 – 100 u, avec source d’ions croisés, unité filament chauffé
tungstène et EM
PT M25 452
1 – 100 u, avec source d’ions croisés, unité filament chauffé
Ir-Y2O3 et EM
PT M25 453
1 – 200 u, avec source d’ions croisés, unité filament chauffé
tungstène et EM
PT M25 454
1 – 200 u, avec source d’ions croisés, unité filament chauffé
Ir-Y2O3 et EM
PT M25 455
1 – 300 u, avec source d’ions croisés, unité filament chauffé
tungstène et EM
PT M25 456
1 – 300 u, avec source d’ions croisés, unité filament chauffé
Ir-Y2O3 et EM
PT 163 291
Source d’ions avec 2 filaments chauffés en tungstène
PT 163 292
Source d’ions avec 2 filaments chauffés Ir-Y2O3
PT 163 331
Unité de filaments chauffés en tungstène avec 2 filaments
chauffés
PT 163 332
Unité de filaments chauffés Ir-Y2O3avec 2 filaments chauffés
PT 160 010
-
PM 143 740 -T
Réservoir du fluide d’exploitation avec tiges capillaires
Vanne de la purge de gaz
PM Z01 310 A
-
Raccord de gaz d’échappement
PT 167 011
Raccord de gaz d’échappement, 6 mm, pour assemblage
dans paroi de carter
PT 167 025
Module d’affichage, sans câbles
Source d’ions
Unité de filaments chauffés
Protection pour le transport
Pompe turbomoléculaire
Réservoir du fluide d’exploitation
Système de purge de gaz neutre
Affichage
Affichage de contact 7"
Tab. 15:
Pièces de rechange et composants, maintenance niveau 1
Les tuyaux flexibles sur la GSD 350 sont constitués de tuyau flexible PUN à calibration externe.
Système
Couleur
Diamètre
Longueur
requise
Connexion
Vide
Bleu
8 × 5 mm
170 mm,
bobiné
Pompe à membrane et pompe turbomoléculaire
Gaz d’échappement
Noir
6 × 4 mm
120 mm
Régulateur de pression et dilution du
gaz de refoulement
500 mm
Air d’échappement de la pompe à
membrane (standard)
45 mm
Pièce intermédiaire (pièce Y) et raccord d’échappement
400 mm
Air d’échappement de la pompe à
membrane (version de gaz corrosif)
140 mm
Raccord de la purge de gaz neutre et
régulateur de pression
120 mm
Régulateur de pression et vanne de
retenue
570 mm
Raccord de la purge de gaz neutre et
pompe turbomoléculaire
740 mm
Raccord de mise à l’air et pompe turbomoléculaire
Transparent
Purge de gaz neutre/purge
Tab. 16:
Transparent
4 × 2,5 mm
Couleurs et dimensions du tuyau flexible
113/122
Pièces de rechange
Description
Nombre par
GSD 350
Référence (Tempel)
Raccord à connecteur angulaire, long, filetage 1/8", 8 mm
1
IQSLL 188 G
Raccord à bouchon angulaire, filetage 1/8", 4 mm
4
IQSL 184 GL
Raccord à connecteur angulaire, long, filetage 1/4", 8 mm
1
IQSLL 148 G
Raccord à connecteur angulaire, long, filetage 1/8", 6 mm
2
IQSLL 186 G
Connecteur à distributeur multiple, 4x, R 1/8", 4 mm
1
IQSLV4 184
Raccord à connecteur Schott, 4 mm
1
IQSS 40
Raccord à connecteur Schott, 6 mm
1
IQSS 60
Raccord à connecteur Y, 6 mm -6 mm
1
IQSY 60
Raccord à connecteur angulaire Y, filetage E/S 1/8", 6 mm
1
IQSYTF 186 G
Vanne de retenue, 6 mm
1
AK2000-F01
Silencieux, filetage 1/8"
1
U 18
Régulateur de pression ARX21-F01
1
OT-SMC005811
Contacteur :
Tempel Hydraulik & Reinigungstechnik
Schwarze Kiefern 12
09633 Halsbrücke OT Tuttendorf
Page Web d’accueil et boutique en ligne
Tab. 17:
114/122
Composants des raccords pour tuyau flexible
Outil spécial
16
Outil spécial
Désignation
Référence
Usage
Clé à écrou pour couvercle de carter de pompe turbomoléculaire
PV M40 813
(voir chapitre « Remplacement du réservoir de
fluide d’exploitation sur la pompe turbomoléculaire », page 80)
Jauge de centrage pour QMA
PT 167 082
(voir chapitre « Maintenance de l’analyseur
QMA 250 M », page 84)
Aide au montage du support de gaz
de calibration
PT 167 081
(voir chapitre « Appoint en fluide de calibration », page 102)
Tab. 18:
Outil spécial
Fig. 75:
Clé à écrou pour couvercle de carter de pompe turbomoléculaire
Fig. 76:
Jauge de centrage pour QMA
Fig. 77:
Aide au montage du support de gaz de calibration
115/122
Accessoires
17
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ThermoStar et OmniStar.
17.1 Informations sur les accessoires
Adaptateur de tube capillaire
L’adaptateur de tube capillaire est utilisé pour raccorder correctement le tube capillaire.
Fig. 78:
17.2
Commande d’accessoires
Description
Référence
Adaptateur de tube capillaire
PT 167 070 -T
Tab. 19:
116/122
Adaptateur de tube capillaire
Accessoires
Caractéristiques techniques et dimensions
18
Caractéristiques techniques et dimensions
18.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 20:
750
-3
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 21:
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
-3
-2
1,27 · 10
1.67 · 10-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
18.2 Fiche technique
Configuration (domaine de masse)
1 à 100 u
1 à 200 u
1 à 300 u
Type
PrismaPro QMG 250 M1
PrismaPro QMG 250 M2
PrismaPro QMG 250 M3
Détecteur
C-SEM
Source d’ions
Crossbeam (C/B)
Nombre de filaments chauffés
2
Spectromètre de masse quadripôle
Performance du capteur en fonction du domaine de masse13)
Limites de détection minimales (C-SEM)
< 100 ppb
< 1 ppm
< 10 ppm
Quantité de masse voisine(40/41)
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
Repos
Réglable de 1 ms/u à 16 s/u
Admission de gaz/gaz de procédé
Type
OmniStar : avec vanne d’entrée
ThermoStar : ouvert en permanence
Pression de gaz échantillon, max.
1 200 hPa
Débit de gaz
1 à 2 sccm
Contaminants
Grandeur des particules ≤ 1 μm
Commande de vanne (OmniStar)
Via affichage en couleur 7" ou interface Web
Capillaire
Matière
OmniStar : quartz ou acier inoxydable
ThermoStar : Quartz
Longueur
1 m (2 m également disponible)
13)
Les spécifications du domaine de masse s’appliquent seulement aux gaz/espèces sans interférence.
117/122
Caractéristiques techniques et dimensions
Configuration (domaine de masse)
1 à 100 u
1 à 200 u
Diamètre
OmniStar : OD = 1/16", ID = 0,12 mm
ThermoStar : OD = 0,23 mm, ID = 0,14 mm
Température de fonctionnement du capillaire
200 °C (350 °C également disponible)
1 à 300 u
Gaz d’échappement
Pression admissible
≤ pression atmosphérique
Connexion
Connecteurs mâle-femelle IQS, 6 mm
Tuyau flexible PE (Ø extérieur = 6 mm)
Purge de gaz neutre (version de gaz corrosif)
Gaz de pressurisation
Gaz inerte, azote ou argon recommandé
Pression
5 000 à 7 000 hPa
Débit de gaz
300 sccm env.
Impuretés
≤ 100 ppm oxygène
Connexion
Connecteurs mâle-femelle IQS, 4 mm
Tuyau flexible PE (Ø extérieur = 4 mm)
Unité de calibration (option)
Fluide pour calibration de la masse
PFTBA
Conditions ambiantes
Température de transport et stockage
-20 à 55 °C
Température de service
10 à 40 °C
Humidité relative de l’air
max. 80 % jusqu’à 31 °C, diminution linéaire jusqu’à 50 % à 40 °C
Lieu de mise en place
Intérieur, étanche à l’eau
Altitude de l’installation
≤ 2 000 m au-dessus du niveau de la mer
Classe de protection
I
Catégorie de surtension
II
Degré de protection
IP30
Degré de pollution
2
Matériaux côté vide
Capillaire
Acier inoxydable, verre en quartz (selon la version)
Admission de gaz
Acier inoxydable, FKM, PTFE (capillaire en quartz seulement)
Écran
Platine/Iridium
Enceinte à vide
Aluminium/acier inoxydable, PTFE, cuivre, argent
Analyseur
Acier inoxydable, cuivre, argent, or, verre de quart, céramique
Filament chauffé
Ir-Y2O3 ou W
Pompe turbomoléculaire
Aluminium, acier inoxydable, résine époxy, lubrifiant
Pompe à membrane
EPDM, aluminium, PVC, laiton, polyamide
Jauge de pression totale
Tungstène, acier inoxydable, nickel, molybdène, verre
Alimentation
Tension
100 à 240 V AC
Fréquence
50-60 Hz
Puissance absorbée
830 W
Fusible secteur
2× 10 A (lent)
Interfaces utilisateur
Fonctionnement
Via affichage de contact 7” ou interface Web
Logiciel
PV MassSpec
Transfert de données
Ethernet TCP/IP
Caractéristiques de la pompe
Disponibilité opérationnelle
Après 10 minutes
Temps de mise hors circuit
15 minutes
Commande utilisateur
118/122
Caractéristiques techniques et dimensions
Configuration (domaine de masse)
1 à 100 u
1 à 200 u
1 à 300 u
Entrées analogiques
5× ±10 V, résolution 14 et 16 bit
Entrées numériques
4× nominal +24 V
Sorties analogiques
4× 0 à 10 V, Imax = 10 mA, résolution 16 bit
Sorties numériques
6× collecteurs ouverts, nominal 24 V, Imax = 200 mA
Nombre de relais
2
Tension d’enclenchement des relais
24 V CA/CC
Courant de commutation des relais
1A
Relais pour le statut du système de pompage
Connexion « consommateur I/O » : Broches 13, 14 et 15
Connecteur multiple
USER I/O : 15 broches, D-Sub
AUX I/O : 25 broches, D-Sub
Niveau de bruit
< 50 dB en fonctionnement maximum
Poids
23 kg à 26 kg (en fonction de la version respective)
Tab. 22:
Fiche technique
18.3 Dimensions
274
358
50
216
Dimensions en mm.
60
615
Fig. 79:
Dimensions
119/122
The product GSD 350 OmniStar/ThermoStar
- conforms to the UL standards
UL 61010-1:2012 R4.16
Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use
Part 1: General requirements
TÜV Rheinland
C
US
UL 61010-2-010:2014
Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use
Part 2-010: Particular requirements for laboratory equipment for the heating of materials
- is certified to the CAN/CSA standards
CAN/CSA No. 61010-1:2012 + GI1 + GI2 (R2017)
Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use
Part 1: General requirements
CAN/CSA No. 61010-2-010:2014
Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use
Part 2-010: Particular requirements for laboratory equipment for the heating of materials
- conforms to the following rules and regulations
FCC, Title 47 CFR, Part 15, Subpart B
Telecommunication - Radio Frequency Devices - Unintentional Radiators
Déclaration de conformité
Déclaration pour produit(s) du type :
Système d’analyse de gaz
GSD 350 OmniStar
GSD 350 ThermoStar
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
IEC 61010-1:2010+A1
IEC 61010-2-010:2019
EN ISO 12100:2010
EN 61326-1:2013
EN 55011:2009 + A1:2011
EN 61000-3-2:2014
EN 61000-3-3:2013
IEC 60529:1989 + A1:1999 + A2:2013
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-03-09
*DA0105*
ed. B - Date 2208 - P/N:DA0105BFR
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