Pfeiffer HiCube Eco Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
HICUBE ECO
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau groupe
de pompage turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait
fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est
synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de
produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence.
Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une
implémentation efficace et sécurisée de notre produit.
Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution
efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail [email protected].
Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de nos produits à l'adresse Download Center
sur notre site internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/66
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
7
7
7
7
7
7
7
8
8
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations incorrectes envisageables
10
10
10
14
14
15
15
3
Description du produit
3.1 Identification du produit
3.2 Contenu de la livraison
3.3 Fonction
3.3.1 Interface de commande
3.3.2 Entraînement
3.3.3 Refroidissement
16
16
17
17
18
18
18
4
Transport et stockage
4.1 Transport du groupe de pompage
4.2 Protection pour le transport
4.3 Stockage du groupe de pompage
19
19
20
20
5
Installation
5.1 Préparatifs pour l'installation
5.2 Configuration du groupe de pompage
5.3 Ancrage du groupe de pompage
5.4 Raccordement côté vide élevé
5.4.1 Conception de la contre-bride
5.4.2 Utilisation d'accessoires pour la connexion de vide secondaire
5.4.3 Raccordement externe de la pompe turbo
5.4.4 Installation d'une bride ISO-KF
5.4.5 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K
5.4.6 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-F
5.4.7 Fixation d'une bride CF sur CF-F
5.5 Raccordement côté refoulement
5.6 Modification du DCU pour une utilisation à distance
5.7 Accessoires de raccordement pour le groupe de pompage
5.8 Dépose du verrouillage de transport
5.9 Mise à la terre du groupe de pompage
5.10 Raccordement de l’alimentation électrique
21
21
21
22
23
23
24
25
25
25
26
28
29
30
32
32
33
33
6
Utilisation
6.1 Mise en service
6.2 Démarrage du groupe de pompage turbo
6.3 Fonctionnement normal
6.4 Fonctionnement avec lest d'air (ne concerne que MVP 015-2)
6.5 Surveillance des opérations
35
35
36
36
37
38
3/66
Table des matières
6.5.1 Affichage LED du mode de fonctionnement
6.5.2 Surveillance de la température
Mise hors circuit et mise à l'air
6.6.1 Arrêt du groupe de pompage turbo
6.6.2 Mise à l'air
38
39
39
39
39
7
Maintenance
7.1 Informations générales sur la maintenance
7.2 Intervalles de maintenance et responsabilités
7.3 Remplacement des fusibles secteur
7.4 Dépose de composants pour la maintenance
7.4.1 Suppression des raccordements électriques
7.4.2 Déposer la pompe turbo du groupe de pompage
41
41
41
41
42
43
43
8
Mise hors service
8.1 Mise hors service pendant une période prolongée
8.2 Remise en service
8.3 Mise au rebut de la pompe à vide
45
45
45
45
9
Dysfonctionnements
9.1 Généralités
9.2 Dépannage
9.3 Codes d’erreur
47
47
48
48
10
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
53
11
Accessoires
55
12
Caractéristiques techniques et dimensions
12.1 Généralités
12.2 Caractéristiques techniques
12.3 Schémas cotés
56
56
56
61
Déclaration de conformité
64
6.6
4/66
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Autocollants sur le produit......................................................................................... 8
Abréviations utilisées dans le document................................................................... 9
Limites d'utilisation des groupes de pompage turbo............................................... 15
Options de combinaison de composants de groupe de pompage.......................... 17
Conditions requise pour le raccordement de vide secondaire sur site....................23
Modification de la vitesse de pompage avec pare-éclats ou écran protecteur........24
Ajustage usine des paramètres clés à la livraison.................................................. 36
Description des fonctions des touches du DCU...................................................... 37
Affichage LED et signification sur le DCU............................................................... 38
Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo............... 40
Raccordements d'accessoires préréglés................................................................ 42
Dépannage..............................................................................................................48
Messages d’avertissement et d’erreur lors de l’utilisation du DCU......................... 49
Messages d’avertissement et d’erreur pour l’unité d'entraînement électronique de
pompe turbo............................................................................................................ 52
Messages d’avertissement et d’erreur pour l’unité d'entraînement électronique de
pompe à membrane MVP 015................................................................................ 52
Tableau de conversion : unités de pression............................................................56
Tableau de conversion : unités de débit de gaz......................................................56
Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 40 ISO-KF..................................57
Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 63 CF-F..................................... 57
Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 63 ISO-KF..................................58
Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 40 ISO-KF..................................58
Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 63 CF-F..................................... 59
Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 63 ISO-KF..................................59
Caractéristiques techniques HiCube 300 Eco, DN 100 CF-F................................. 60
Caractéristiques techniques HiCube 300 Eco, DN 100 ISO-KF..............................61
5/66
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Fig. 22:
Fig. 23:
Fig. 24:
Fig. 25:
Fig. 26:
Fig. 27:
Fig. 28:
Fig. 29:
6/66
Position des autocollants sur le produit...................................................................... 9
Vue d'ensemble : Combinaisons de pompe turbo et de pompe de secours............ 16
Exemple, combinaisons de produits, vue d'ensemble..............................................17
Panneau de commande DCU...................................................................................18
Transport manuel du groupe de pompage turbo...................................................... 19
Ancrage du HiCube 300 Eco avec des sangles....................................................... 22
Raccord à bride ISO-KF à ISO-KF........................................................................... 25
Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée............................ 26
Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants........................... 28
Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés.................................................... 28
Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants.................................................29
Exemple de raccord de refoulement de la pompe de secours................................. 30
Déposer le DCU du groupe de pompage................................................................. 31
Raccordement du DCU en tant que commande à distance..................................... 31
Verrouillage de transport pour pompe de secours................................................... 32
Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre..............................................33
Connecteur d'alimentation électrique et interrupteur principal du HiCube Eco........ 34
Exemple : Écran DCU pour un second ensemble de paramètres............................37
Remplacement des fusibles secteur.........................................................................42
Raccordements électriques...................................................................................... 43
Démontage de la pompe turbo................................................................................. 43
Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 40 ISO-KF....................................................... 61
Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 63 CF-F........................................................... 61
Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 63 ISO-K..........................................................62
Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 40 ISO-KF....................................................... 62
Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 63 CF-F........................................................... 62
Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 63 ISO-K..........................................................62
Dimensions du HiCube 300 Eco, DN 100 CF-F....................................................... 63
Dimensions du HiCube 300 Eco, DN 100 ISO-K......................................................63
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation
sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes
les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas
apporté de modifications au produit.
1.1.1
1.1.2
Documents applicables
HiCube Eco
Manuel de l’utilisateur
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Manuel de l'utilisateur de chaque composant
voir la description du produit
Variantes
Ce manuel concerne les groupes de pompage turbo en ligne HiCube Eco :
● HiCube 30 Eco
● HiCube 80 Eco
● HiCube 300 Eco
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
● du transport,
● de l'installation,
● de la commande et de l'utilisation,
● de la mise hors service,
● de la maintenance et du nettoyage,
● du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les
actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre
chronologique.
1. Étape 1
7/66
A propos de ce manuel
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification.
Plaque signalétique
La plaque signalétique se trouve à l'arrière du logement
du groupe de pompage.
D-35614 Asslar
Mod. HiCube 80 Eco
P/N PM S74 100 00
S/N - - - - - - - Fuse T 2 A H 250 VAC
Input 100-240 V +/-10 % 2.00 A 50/60 Hz
Mass 12.5 kg
Made in Germany 2018/06
TÜV Rheinland
C
VOR INBETRIEBNAHME
TRANSPORTSICHERUNG LÖSEN
BEFORE USE UNFASTEN THE
TRANSPORT PROTECTION
warranty seal
US
Protection pour le transport
Cet autocollant indique que le verrouillage de transport
de la pompe de secours doit être débloqué avant la mise
en service.
Joint de fermeture
Le produit est scellé en départ d’usine. L’endommagement ou la suppression du joint de fermeture entraîne
l’annulation de la garantie.
Classe de protection
Cet autocollant décrit la classe de protection 1 du produit. Le positionnement indique la position de la connexion de terre.
Avertissement tension électrique
Cet autocollant avertit du risque d'électrocution lors d'interventions avec le boîtier ouvert.
Le débranchement de la prise secteur est obligatoire
Cet autocollant indique que la prise secteur doit être débranchée de l'appareil avant toute opération d'installation et de maintenance.
Tab. 1:
8/66
Autocollants sur le produit
A propos de ce manuel
1
2,3
4
5
6
7
Fig. 1:
1.3.4
Position des autocollants sur le produit
1
Autocollant verrouillage de transport
5
Autocollant verrouillage de transport
2
Joint de fermeture (pompe à vide)
6
Plaque signalétique
3
Autocollant de mise à la terre (pompe à vide)
7
Plaque indiquant que le débranchement de la prise secteur est obligatoire
4
Plaque d'avertissement de tension électrique (ensemble d'alimentation électrique)
Abréviations
Abréviation
Signification dans le document
Bride
CF : Raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669
d
Mesure du diamètre (en mm)
DCU
Display Control Unit (unité de commande et d’affichage de Pfeiffer Vacuum).
DN
Diamètre nominal (en tant que désignation de grandeur)
f
Mesure de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min
ou Hz)
HV
Bride de vide secondaire, côté vide secondaire
Bride
ISO : Raccord conforme aux normes ISO 1609 et 2861
Écran
LC : affichage à cristaux liquides (LCD)
LED
Diode électroluminescente
MVP
Pompe à vide à membrane
PE
Conducteur de terre (terre de protection)
[P:xxx]
Paramètres de commande de l’unité d’entraînement électronique. Inscrits en
gras sous la forme d'un nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte dénomination.
Exemple : [P:312] Version logicielle
T
Température (en °C)
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur
de turbine)
TPS
Alimentation (alimentation électrique turbine)
X3
Connecteur D-Sub à 15 broches sur l'unité d'entraînement électronique de la
pompe turbo
Tab. 2:
Abréviations utilisées dans le document
9/66
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, quatre niveaux de risques et un niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de
blessure physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes
concernant le produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats
de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative
aux machines et à la norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les
phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
Risques lors du transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures
osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
10/66
Sécurité
Risques lors de l’installation
AVERTISSEMENT
Danger de mort par choc électrique en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils connectés au secteur peuvent être sous tension. Il existe un risque de mort par électrocution par contact avec des composants sous
tension.
► Gardez toujours la connexion secteur librement accessible afin de pouvoir se déconnecter à tout moment.
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique dû à une installation mal effectuée
L'appareil utilise une tension d'alimentation électrique qui est dangereuse en cas de contact. Une situation potentiellement fatale peut survenir en cas de contact avec l'appareil si
l'installation a été mal effectuée ou exécutée de façon non sécurisée.
► Vérifier que le système a été intégré en toute sécurité dans un circuit de sécurité de
secours.
► Il est interdit de modifier l'appareil sans autorisation.
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives.
Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque
de coupure et de sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux
et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de
vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas
raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex.
chambre de vide ouverte).
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à
la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement
la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée
pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace
environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de
très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
11/66
Sécurité
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Une conduite de refoulement défectueuse ou insuffisante peut entraîner une situation dangereuse, comme une hausse de la pression de refoulement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou
l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut
supporter.
► Contrôler régulièrement le fonctionnement correct de la conduite de refoulement.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par intoxication à la sortie de gaz de traitement toxique sans conduite d'échappement
Le groupe de pompage turbo permet aux gaz d'échappement et aux vapeurs de s'échapper sans encombre dans l'atmosphère dans des conditions normales d'utilisation. Risque
de blessure et danger de mort par intoxication lors des processus employant des fluides
toxiques.
► Respectez les instructions correspondantes lors de la manipulation de substances toxiques.
► Évacuez les gaz de traitement toxiques en toute sécurité par le biais d'une conduite
d'échappement.
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Une conduite de refoulement défectueuse ou insuffisante peut entraîner une situation dangereuse, comme une hausse de la pression de refoulement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou
l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut
supporter.
► Contrôler régulièrement le fonctionnement correct de la conduite de refoulement.
Risques pendant la maintenance
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien
L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée
et que la pompe turbo est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact
avec des composants sous tension.
► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur.
► Attendre que la pompe turbo soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0).
► Débrancher la prise secteur de l'appareil.
► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif.
12/66
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant
les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant
les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Risques en cas de dysfonctionnement
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbo en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à
la norme ISO 27892. Si la pompe turbo n'est pas correctement fixée, elle peut être arrachée. L'énergie ainsi libérée pourrait propulser la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient
être libérés. Il y a un risque de grave blessure, voire de mort, et de dommages considérables de l'équipement.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbo doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utiliser uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par
Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à
la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement
la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée
pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace
environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de
très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
13/66
Sécurité
2.3
Mesures de sécurité
Obligation d'information sur les dangers possibles
Le détenteur ou l'utilisateur du produit est dans l'obligation d'informer chaque personne des dangers encourus avec ce produit.
Chaque personne en charge de l'installation, du fonctionnement ou de la
réparation du produit, doit lire, comprendre et respecter les parties de ce
document dédiées à la sécurité.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur
modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et
de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système
dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respecter toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôler régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► N’exposer aucune partie du corps au vide.
► Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté (vitesse de rotation f =0).
► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert.
► Tenir les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70°C).
► Ne jamais remplir ou faire fonctionner l’appareil avec des produits de nettoyage ou leurs
résidus.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Consulter la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement
dans d’autres environnements.
2.4
14/66
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Valeur limite
Emplacement de l’installation
protégé des intempéries (espace intérieur)
Pression atmosphérique
750 hPa à 1060 hPa
Altitude de l’installation
max. 2000 m
Humidité rel. de l’air
max. 80 %, à T < 31 °C
jusqu’à max. 50 % à T < 40 °C
Classe de protection
I
Catégorie de surtension
II
Classe de protection autorisée
IP20
Niveau de contamination
2
Température ambiante
5 à 35 °C avec refroidissement par air
5 à 40 °C avec refroidissement à eau
Champ magnétique environnant admissible
en fonction de la pompe turbo utilisée
Sécurité
Paramètre
Valeur limite
Rayonnement thermique maximum
en fonction de la pompe turbo utilisée
Température maximum admissible du rotor de
la pompe turbo
90 °C
Tab. 3:
Limites d'utilisation des groupes de pompage turbo
Remarques sur les conditions ambiantes
Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à la surveillance redondante de la température.
● La réduction de la pression de secours ou du débit de gaz permet d'utiliser la pompe turbo à des températures plus élevées.
● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe
turbo est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire.
2.5
Utilisation conforme
● Le groupe de pompage turbo n'est utilisé que pour la création de vide.
● Le groupe de pompage turbo n'est utilisé que pour l'extraction de gaz secs et inertes.
● Le groupe de pompage turbo n'est destiné qu'à un usage dans des espaces intérieurs
clos.
● Le groupe de pompage turbo est conçu pour une utilisation sur table.
2.6
Utilisations incorrectes envisageables
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est
considérée comme abusive, en particulier :
● Raccordement de l'alimentation électrique sans installation correcte
● Installation d'un équipement de fixation non spécifique
● Pompage de substances explosives
● Pompage de substances corrosives
● Pompage de vapeurs de condensation
● Pompage de liquides
● Pompage de poussière
● Fonctionnement avec un débit de gaz élevé inadmissible
● Fonctionnement avec une pression de vide préliminaire inadmissible
● Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé
● Fonctionnement avec des champs magnétiques d'intensité élevée et inadmissible
● Fonctionnement dans un mode gaz incorrect
● Mise à l'air avec un débit de mise à l'air élevé et inadmissible
● Utilisation pour la production de pression
● Utilisation dans des zones à radiation ionisante
● Fonctionnement dans des zones explosives
● Utilisation dans des systèmes où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur l'appareil
● Création de conditions de fonctionnement dangereuses en raison d'un réglage par défaut sur l'unité d’entraînement électronique qui est contraire au processus
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
15/66
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum,
toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur
le produit ou consulter www.tuvdotcom.com avec l'ID de société 000021320.
HiPace 300
HiPace 80
MVP 015-2
Fig. 2:
HiPace 30
MVP 015-4
MVP 030-3
Vue d'ensemble : Combinaisons de pompe turbo et de pompe de secours
Caractéristique
HiCube Eco
Taille de bride
HV
DN 40/DN 63
DN 100
HiPace 30
16/66
PT 0510 BN
HiPace 80
pompe turbo
Manuel de
l’utilisateur
PT 0208 BN
HiPace 300
PT 0202 BN
HiPace 300 H
PT 0509 BN
Unité d’entraînement électronique
TC 110
TC 110
TC 110
PT 0204 BN
Pompe à membrane
MVP 015‑2
MVP 015‑4
MVP 030‑3
MVP 015‑2
MVP 015‑4
MVP 030‑3
(MVP 015‑2)
MVP 015‑4
MVP 030‑3
PU 0070 BN
PU 0070 BN
PU 0065 BN
Alimentation
électrique
TPS embarqué, 24 V CC
TPS embarqué,
24 V CC
TPS embarqué,
24 V CC
Module de commande
DCU 002
DCU 002
DCU 002
PT 0250 BN
Refroidissement
par air
oui
oui
oui
PT 0500 BN
Description du produit
Caractéristique
HiCube Eco
Taille de bride
HV
optionnel
optionnel
optionnel
PT 0228 BN
Chauffage du
boîtier 1)
non disponible
Optionnel, avec
bride CF uniquement
Optionnel, avec
bride CF uniquement
PT 0233 BN
Options de combinaison de composants de groupe de pompage
Contenu de la livraison
●
●
●
●
●
3.3
DN 100
Vanne de mise
à l'air
Tab. 4:
3.2
DN 40/DN 63
Manuel de
l’utilisateur
Groupe de pompage turbo HiCube Eco
Cache de protection de la bride de vide secondaire
Câble de rallonge pour accessoires M12 sur M12, 3 m
Câble d'alimentation électrique, spécifique au pays
Manuel de l'utilisateur pour le groupe de pompage turbo et chacun des composants
Fonction
Les groupes de pompage turbo sont des pompes entièrement automatiques prêtes au raccordement. Une station de pompage turbo consiste en une pompe à vide portable ou mobile,
avec une pompe turbo et une pompe de secours spécialement adaptée.
15
1
2
3
14
4
13
5
12
6
11
10
Fig. 3:
9
8
7
Exemple, combinaisons de produits, vue d'ensemble
1
Corps de pompe
9
DCU 002, module d'affichage et de commande
2
Pompe turbo HiPace 80, DN 63 ISO-K
10
Crochets de fixation (HiCube 300 Eco uniquement)
3
Unité d’entraînement électronique TC 110
11
Protection pour le transport
4
Câble de raccordement
12
Pompe de secours MVP 030-3, pompe à membrane
5
Prise de terre
13
Poignée encastrée
6
Pompe de secours MVP 015-2, pompe à
membrane
14
Pompe turbo HiPace 300, DN 100 CF-F
1)
Refroidissement par eau requis
17/66
Description du produit
3.3.1
7
Interrupteur principal
15
8
Fiche de connexion électrique
Refroidissement par air
Interface de commande
Le module d'affichage et de commande intégré DCU 002 sert au contrôle et à la surveillance
du groupe de pompage turbo. En option, le DCU peut être utilisé comme commande à distance, en retirant son boîtier et en utilisant un câble de rallonge.
DCU
1
2
3
4
Fig. 4:
3.3.2
Panneau de commande DCU
1
Écran LC, éclairé
3
Affichage à LED
2
Icônes d'état
4
Touches de commande
Entraînement
● Unité d'entraînement électronique sur la pompe turbo
● Unité d'entraînement électronique sur la pompe de secours
3.3.3
Refroidissement
● Refroidissement par air
● Refroidissement par eau (option)
À des températures excessivement élevées, l'unité d'entraînement électronique réduit automatiquement la puissance d'entraînement.
18/66
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du groupe de pompage
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures
osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Consignes pour un transport sécurisé
► Prendre connaissance du poids indiqué sur l'emballage.
– Utiliser un équipement de transport si nécessaire (chariot élévateur).
► Transporter le produit dans son emballage d'origine.
► Le produit doit toujours être déplacé en position verticale et sur la surface la plus plane
possible.
► Le produit doit toujours être placé sur une surface plane aux dimensions adéquates.
1
2
3
Fig. 5:
Transport manuel du groupe de pompage turbo
1
Cache de protection
2
Poignée encastrée
3
Empreinte
Consignes pour un transport sécurisé sans emballage
Pour un transport sans emballage, les groupes de pompage turbo HiCube Eco sont munis de
poignées encastrées sur les côtés du cadre du logement.
1. Observer le poids spécifié sur la plaque signalétique.
2. Lever le groupe de pompage turbo en saisissant les deux poignées encastrées avec les
mains.
3. Le groupe de pompage turbo doit toujours être transporté en position verticale, avec sa
surface d'appui orientée vers le bas.
4. Le groupe de pompage turbo doit toujours être placé, de façon sécurisée, sur une surface plane aux dimensions adéquates.
19/66
Transport et stockage
4.2
Protection pour le transport
Les pompes de secours des groupes de pompage turbo en ligne HiCube sont protégées
contre les dommages pouvant survenir pendant le transport.
Manipulation du verrouillage de transport
1. Ne libérer le verrouillage de transport de la pompe de secours qu'immédiatement avant
la mise en service sur le lieu d'installation.
2. Suivre les instructions d'installation (voir chapitre « Dépose du verrouillage de transport », page 32).
4.3
Stockage du groupe de pompage
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
1. Fermer toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origine.
2. Fermer tous les autres raccords (refoulement, par exemple) à l'aide des capuchons de
protection correspondants.
3. Le groupe de pompage turbo doit être stocké dans les conditions de limite indiquées.
4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placer le groupe de pompage turbo et un produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
20/66
Installation
5 Installation
L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la
pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor
entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée
agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et
l'éclatement (rupture de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire.
5.1
Préparatifs pour l'installation
AVERTISSEMENT
Danger de mort par choc électrique en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils connectés au secteur peuvent être sous tension. Il existe un risque de mort par électrocution par contact avec des composants sous
tension.
► Gardez toujours la connexion secteur librement accessible afin de pouvoir se déconnecter à tout moment.
Remarques générales pour l’installation des composants de vide
► L’emplacement de l’installation doit être choisi de façon à permettre à tout moment d'accéder au produit et aux conduites d'alimentation.
► Les conditions ambiantes de la zone d'utilisation doivent être observées.
► L'assemblage doit être effectué en veillant à une propreté maximale.
► Pendant l’installation, les composants de brides doivent être parfaitement dégraissés,
dépoussiérés et secs.
5.2
Configuration du groupe de pompage
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives.
Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque
de coupure et de sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux
et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de
vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas
raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex.
chambre de vide ouverte).
Procédure
1. Respecter une distance minimum de 50 cm avec les limites latérales et appareils adjacents.
2. Respecter une distance minimum de 10 cm avec les bords de table exposés.
3. Vérifier que les options de refroidissement sont suffisantes pour le groupe de pompage.
21/66
Installation
4. Installer des blindages appropriés si les champs magnétiques environnants excèdent
les niveaux admissibles.
5. Si un chauffage de boîtier ou un refroidissement par eau est utilisé, s'assurer que la
température au niveau de la bride de raccordement à la chambre de vide n'excède pas
120 °C.
6. Installer le blindage approprié de façon à ce que le rayonnement thermique ne dépasse
pas les valeurs admissibles lorsque des températures élevées sont générées en raison
du procédé.
5.3
Ancrage du groupe de pompage
(ne s'applique qu'au HiCube 300 Eco)
En cas de blocage soudain du rotor de la pompe turbo, le couple qui résulte doit être absorbé
via le cadre du groupe de pompage par la fixation fournie par le client. Afin de sécuriser le
groupe de pompage HiCube 300 Eco et les systèmes associés, il est essentiel d'ancrer le
groupe de pompage.
1
2
Fig. 6:
1
Sangles
Ancrage du HiCube 300 Eco avec des sangles
2
Crochets de montage
Accessoires requis
● 2 x sangles de longueur et de capacité de charge adéquates ; environ 3 cm de largeur
● Points de fixation sur place pour les sangles
Fixation du HiCube 300 Eco pour éviter la torsion
1. Toujours fixer le groupe de pompage HiCube 300 Eco aux deux crochets de montage
avec les sangles.
2. Positionner les sangles perpendiculairement à l'ouverture des crochets de montage, c.à-d. à l'inverse du sens de rotation de la pompe turbo.
3. S'assurer que les sangles sont correctement montées et tendues. S'assurer que la boucle de sangle est dans l'ouverture du crochet de montage.
4. Fixer les sangles sur le lieu désigné par le client de manière à ce qu'elles puissent supporter des charges pouvant atteindre 2 000 N par point de fixation.
22/66
Installation
5.4
Raccordement côté vide élevé
5.4.1
Conception de la contre-bride
AVIS
Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride
Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de
fortes contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de
provoquer une fuite ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement.
► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées.
► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface.
Pièces de superstructure
La responsabilité de l'installation des pièces verticales de la superstructure
sur le raccord de vide secondaire incombe à la société d'exploitation. La
capacité de charge de la bride de vide secondaire est spécifique à la pompe turbo utilisée. Le poids total des pièces de la superstructure ne doit pas
excéder les valeurs maximum spécifiées.
En cas de blocage soudain du rotor, les couples générés par le système et la bride de vide
secondaire doivent être absorbés. Les éléments d'installation pour pompe turbo ont été spécialement conçus par Pfeiffer Vacuum.
Groupe de
pompage turbo
Couple appliqué2)
Pièces de
superstructure3)
Planéité
Résistance
à la traction4)
Profondeur de
vissage 5)
Champ
magnétique6)
Apport
de chaleur7)
HiCube 30
Eco
500 Nm
50 kg
± 0,05 mm 170 N/mm2
2,5 x d
3,0 mT
1,2 W
HiCube 80
Eco
620 Nm
3,3 mT
0,9 W
HiCube 300
Eco
2000 Nm
5,5 mT
2,4 W
270 N/mm2
Tab. 5:
1,5 x d
Conditions requise pour le raccordement de vide secondaire sur site
► Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de
vide secondaire de la pompe turbo.
2) Couple maximum produit en cas d'éclatement : Le couple théorique calculé en cas d'éclatement (rupture de l'arbre du rotor) conformément à la norme ISO 27892 n'a pas été atteint pendant les tests expérimentaux.
3)
Poids total admissible des pièces de superstructure sur le groupe de pompage
4) Résistance à la traction du matériau de contre-bride dans toutes les conditions de fonctionnement, conformément à la profondeur de vissage
5)
Profondeur de vissage des vis de fixation dans la contre-bride
6)
Champ magnétique admissible maximal autour du groupe de pompage
7)
Absorption de chaleur admissible maximale dans le groupe de pompage
23/66
Installation
5.4.2
Utilisation d'accessoires pour la connexion de vide secondaire
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles
avec ses produits.
● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent en ligne.
● Les accessoires suivants ne sont pas inclus dans la livraison.
Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur
Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur
dans la bride de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les corps étrangers provenant de la chambre de vide. Le débit volumétrique de la pompe est réduit conformément aux
valeurs de conductance de débit et à la taille de la bride de vide secondaire.
Réduction de la vitesse de pompage en % pour le type
de gaz
Taille de bride
H2
He
N2
Ar
Bouclier pare-éclats DN 40
6
9
17
18
Bouclier pare-éclats DN 63
3
6
15
16
Écran protecteur DN 63
1
1
4
4
Bouclier pareéclats DN 100
5
7
24
24
Écran protecteur DN 100
2
2
10
8
Tab. 6:
Modification de la vitesse de pompage avec pare-éclats ou écran protecteur
► Pour les brides ISO, utiliser des anneaux de centrage avec un écran protecteur ou un
pare-éclats.
► Pour les brides CF, il convient de toujours insérer un écran protecteur ou un pare-éclats
dans la bride de vide secondaire avec les pattes de serrage orientées vers le rotor.
Utilisation d'amortisseurs de vibrations
Les amortisseurs de vibrations Pfeiffer Vacuum sont destinés aux installations sensibles aux
vibrations.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à
la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement
la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée
pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace
environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de
très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
1. Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
2. Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
1. Seul un amortisseur de vibrations à passage vertical peut être installé.
2. Toujours prendre en compte la résistance de débit.
3. Fixer la pompe turbo à la bride de vide secondaire.
4. Respecter la fixation des brides ISO-K (voir chapitre « Installation d'une bride ISO-K sur
ISO-K », page 25) et (voir chapitre « Installation d'une bride ISO-K sur ISO-F », page 26).
24/66
Installation
5.4.3
Raccordement externe de la pompe turbo
En fonction de la configuration, la pompe turbo peut être utilisée indépendamment du groupe
de pompage.
Démontage de la pompe turbo
Veuillez consulter les descriptions concernant la dépose d'une pompe turbo du groupe de pompage (voir chapitre « Dépose de composants pour la
maintenance », page 42).
Procédure
1. Suivre les instructions d'installation de la pompe turbo indiquées dans le manuel de l'utilisateur concerné pour chaque composant.
2. Utiliser un kit câble PM 071 477 -T (3 m) de la gamme d'accessoires de Pfeiffer Vacuum.
– D'autres longueurs sont disponibles sur demande.
3. Prolonger la conduite de vide préliminaire et le câble de commande.
5.4.4
Installation d'une bride ISO-KF
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K,
une torsion peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même
avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du
raccord à bride.
Outillage nécessaire
● Clé Allen
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 7:
Raccord à bride ISO-KF à ISO-KF
Utilisation d'un collier de serrage
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Fixer le raccord de vide secondaire sur la pompe turbo et le collier de serrage sur la
contre-bride.
3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
4. Serrer les vis du collier de serrage de manière uniforme.
– Couple de serrage : 3,7 Nm.
5.4.5
Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K,
une torsion peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même
avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du
raccord à bride.
25/66
Installation
Outillage nécessaire
● Clé, WAF 15
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 8:
Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée
Raccordement avec boulon-agrafe à tête bombée
1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréé
Pfeiffer Vacuum.
2. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
4. Serrer les boulons-agrafes à tête bombée en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm
5.4.6
Installation d'une bride ISO-K sur ISO-F
Les types de raccordement pour l'installation de la bride ISO-K avec une bride ISO-F sont :
● « Griffes et trous taraudés »
● « Vis à tête hexagonale et trous taraudés »
● « Goujons et trous taraudés »
● « Goujons filetés et trous traversants »
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K,
une torsion peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même
avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du
raccord à bride.
Raccordement des griffes et des trous taraudés
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Raccorder la bride conformément au schéma, à l'aide des composants du kit de montage.
3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
4. Serrer les griffes en 3 étapes, par paires opposées.
– Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm
26/66
Installation
1.5 × d
Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés
2.5 × d
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
3. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
4. Fixer la pompe turbo sur la contre-bride conformément au schéma, à l'aide de la bride à
chapeau, du circlip et de l'anneau de centrage.
5. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
6. Visser les vis à tête hexagonale dans les trous taraudés.
– Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur
de vissage.
7. Serrer les vis à tête hexagonale 3 étapes, par paires opposées.
– Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm
Raccordement des goujons et des trous taraudés
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la
contre-bride.
– Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur
de vissage.
3. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
4. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
5. Fixer la pompe turbo sur la contre-bride conformément au schéma, à l'aide de la bride à
chapeau, du circlip et de l'anneau de centrage.
6. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
7. Serrer les écrous en 3 étapes, par paires opposées.
– Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
27/66
Installation
3. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
4. Fixer la pompe turbo sur la contre-bride conformément au schéma, à l'aide de la bride à
chapeau, du circlip et de l'anneau de centrage.
5. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
6. Serrer les écrous en 3 étapes, par paires opposées.
7. Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm
5.4.7
Fixation d'une bride CF sur CF-F
Les types de raccordement pour l'installation de la bride CF avec une bride CF sont :
● « Vis à tête hexagonale et trous traversants »
● « Goujons avec trous taraudés »
● « Goujons avec trous traversants »
AVIS
Des fuites peuvent se produire en raison d'une installation incorrecte des brides CF
Le manque de propreté lors de la manipulation des brides CF et des joints de cuivre entraîne des fuites et peut entraîner une dégradation de fonctionnement.
► Toujours porter des gants adéquats avant de toucher ou d'installer tout composant.
► Ne monter que des joints secs et dépourvus de graisse.
► Corriger les surfaces endommagées et les bords coupés.
► Remplacer les composants endommagés.
Outillage nécessaire
● Clé hexagonale (13 WAF)
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 9:
Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants
Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants
1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréés
Pfeiffer Vacuum.
2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le
bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
5. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer
les vis, il convient de vérifier le couple.
Fig. 10:
28/66
Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés
Installation
Raccordement des goujons et des trous taraudés
1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréés
Pfeiffer Vacuum.
2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la
contre-bride.
3. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le
bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
4. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
5. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
6. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
7. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer
les vis, il convient de vérifier le couple.
Fig. 11:
Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréés
Pfeiffer Vacuum.
2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le
bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
5. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
Étant
donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer
6.
les vis, il convient de vérifier le couple.
5.5
Raccordement côté refoulement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par intoxication à la sortie de gaz de traitement toxique sans conduite d'échappement
Le groupe de pompage turbo permet aux gaz d'échappement et aux vapeurs de s'échapper sans encombre dans l'atmosphère dans des conditions normales d'utilisation. Risque
de blessure et danger de mort par intoxication lors des processus employant des fluides
toxiques.
► Respectez les instructions correspondantes lors de la manipulation de substances toxiques.
► Évacuez les gaz de traitement toxiques en toute sécurité par le biais d'une conduite
d'échappement.
29/66
Installation
ATTENTION
Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive
Une conduite de refoulement défectueuse ou insuffisante peut entraîner une situation dangereuse, comme une hausse de la pression de refoulement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou
l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels.
► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture.
► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut
supporter.
► Contrôler régulièrement le fonctionnement correct de la conduite de refoulement.
1
2 (G1/8”)
Fig. 12:
1
Exemple de raccord de refoulement de la pompe de secours
Pompe à membrane
2
Silencieux de refoulement (fourni à la livraison)
Procédure
1. Choisir une conduite de refoulement de section droite au moins égale à la taille du raccord de refoulement.
2. Dévisser le silencieux de refoulement de la pompe de secours.
3. Installer la canalisation de refoulement à un niveau inférieur à celui de la pompe pour
éviter le retour des condensats dans la pompe.
Séparateur des condensats
Nous recommandons l'installation d'un séparateur de condensat avec
écoulement de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement.
5.6
Modification du DCU pour une utilisation à distance
Au besoin, le module d'affichage et de commande peut servir de commande à distance,
après modification.
Avant toute intervention, toujours débrancher l'appareil de l'alimentation secteur
1. Arrêter l'appareil.
2. Attendre que tous les composants soient complètement immobilisés.
3. Mettre hors circuit l'interrupteur principal.
4. Débrancher le câble d'alimentation de l'appareil.
30/66
Installation
2
1
3
Fig. 13:
Déposer le DCU du groupe de pompage
1
Vis à collet avec manchon de fixation
3
2
DCU 002, module d'affichage et de commande
Câble de commande avec prise de raccordement M12
Dépose du DCU
1. Desserrer les 4 vis à collet des coins de l'écran DCU.
2. Stocker le manchon de fixation en un lieu sûr.
3. Déposer le DCU du logement du groupe de pompage.
– Noter la longueur du câble de commande.
4. Dévisser la fiche de connexion du câble de commande M12 du DCU.
Câble fourni à la livraison
D'autres longueurs de câble sont disponibles sur demande, parmi les accessoires Pfeiffer Vacuum.
PM 061 270 -X
RS-485
2
1
Fig. 14:
1
Raccordement du DCU en tant que commande à distance
Câble de rallonge
2
Câble de commande avec prise de raccordement M12
Raccordement du DCU en tant que commande à distance
1. Visser le câble d'interface fourni à la livraison dans le raccord RS-485 du DCU.
2. Utiliser un accouplement PM 061 270 -X.
3. Brancher le câble d'interface à l'accouplement puis au câble de commande du groupe
de pompage.
31/66
Installation
5.7
Accessoires de raccordement pour le groupe de pompage
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles
avec ses produits.
● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent en ligne.
● Les accessoires suivants ne sont pas inclus dans la livraison.
Raccordement d'accessoires pour l'unité d'entraînement électronique
TC 110
● L'utilisation d'accessoires Pfeiffer Vacuum via l'unité d'entraînement
électronique TC 110 n'est possible qu'avec un câble de raccordement
et/ou un adaptateur correspondant sur la connexion multifonctions X3.
● Configuration de la sortie d'accessoire requise par RS-485, à l'aide des
équipements d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d'un ordinateur.
● Des instructions détaillées sont également disponibles dans le manuel
de l'utilisateur de l'« Unité d'entraînement électronique TC | 110 ».
Paramètres d’usine
Tous les raccords d'accessoires de pompe turbo sont préconfigurés en usine. Toute confusion entraînera des dysfonctionnements ou une défaillance
fonctionnelle.
1. Prière de noter la configuration initiale du produit.
2. Noter les connexions de câble et les paramètres avant d'effectuer toute
modification.
Utilisation d'accessoires supplémentaires
1. Observer la configuration des connexions et des câbles de commande présents.
2. Utiliser le module d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum DCU 002.
5.8
Dépose du verrouillage de transport
Tous les groupes de pompage turbo en ligne HiCube Eco sont équipés d'un verrouillage de
transport pour les pompes à vide primaire. La pompe à vide primaire est fixée en diagonale
sur la plaque de base du groupe de pompage, avec des écrous et des vis à tête cylindrique,
sur 2 rails à ressort.
1
Fig. 15:
1
Verrouillage de transport pour pompe de secours
Écrou à six pans de verrouillage de transport
Outillage nécessaire
● Clé hexagonale (13 WAF)
32/66
Installation
Procédure
1. Faire tourner l'écrou à six pans de verrouillage de transport vers le haut, jusqu'en butée.
2. Libérer également le verrouillage de transport de l'autre côté.
5.9
Mise à la terre du groupe de pompage
Fig. 16:
Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre
Accessoires requis
● Vis M4 × 8
● Rondelle anti-vibration M4, si nécessaire
● Câble de mise à la terre approprié fiche M4
Procédure
1. Utiliser un câble de mise à la terre approprié pour faire diverger les interférences applicatives.
2. Acheminer le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur.
3. Utiliser la prise de terre de la pompe turbo (filet femelle M4).
5.10
Raccordement de l’alimentation électrique
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique dû à une installation mal effectuée
L'appareil utilise une tension d'alimentation électrique qui est dangereuse en cas de contact. Une situation potentiellement fatale peut survenir en cas de contact avec l'appareil si
l'installation a été mal effectuée ou exécutée de façon non sécurisée.
► Vérifier que le système a été intégré en toute sécurité dans un circuit de sécurité de
secours.
► Il est interdit de modifier l'appareil sans autorisation.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par choc électrique en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils connectés au secteur peuvent être sous tension. Il existe un risque de mort par électrocution par contact avec des composants sous
tension.
► Gardez toujours la connexion secteur librement accessible afin de pouvoir se déconnecter à tout moment.
33/66
Installation
Fig. 17:
1
Connecteur d'alimentation électrique et interrupteur principal du HiCube Eco
Prise secteur
2
Câble d'alimentation électrique spécifique à chaque pays (fourni à la livraison)
Mise sous tension du HiCube Eco
1. Veiller à ce que l'interrupteur principal soit désactivé avant d'effectuer le raccordement.
2. Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
3. Brancher le câble d'alimentation fourni à la livraison à la fiche de connexion située sur le
côté du logement du groupe de pompage.
4. Brancher le câble à l'alimentation électrique côté client.
34/66
Utilisation
6 Utilisation
6.1
Mise en service
Les réglages et variables fonctionnelles essentielles sont programmés en usine sous forme
de paramètres dans les unités d'entraînement électroniques des pompes à vide. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Ces paramètres sont accessibles grâce aux panneaux d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum et, en externe,
via l’interface RS-485, en utilisant le protocole Pfeiffer Vacuum.
Pour les deux ensembles de paramètres, le DCU sert d'interface utilisateur. Le HiCube Eco
contrôle deux ensembles indépendants de paramètres, un pour la pompe turbo et un pour la
pompe à vide primaire. Les paramètres de la pompe à vide primaire sont présentés par ordre
hiérarchique sur l'écran et marqués d'un symbole.
Paramètre
Nom
Désignation
Option
[P:001]
Chauffage
Chauffage
sans chauffage
avec chauffage
Groupe de pompage HiCube
30 Eco
80 Eco
300 Eco
0
0
non disponible
1
1
[P:012]
EnableVent
Activer les
évents
1
1
1
[P:019]
Cfg DO2
Configuration
sortie DO2
22 = veille
pompe de secours
22 = veille
pompe de secours
22 = veille
pompe de secours
[P:023]
MotorPump
Moteur de pompe
1
1
1
[P:024]
Cfg DO1
Configuration
sortie DO1
15 = état
pompe
15 = état
pompe
15 = état pompe
[P:025]
OpMode
Mode de fonctionnement de la
pompe de secours
1 = mode par
intermittence
1 = mode par
intermittence
1 = mode par
intermittence
[P:035]
Cfg Acc
A1
Raccordement
A1, configuration
accessoires
Refroidissement par air
4 = ventilateur
(thermorégulé)
4 = ventilateur (thermorégulé)
4 = ventilateur
(thermorégulé)
Refroidissement à eau
2 = chauffage
2 = chauffage
2 = chauffage
1 = vanne de
mise à l'air,
normalement
fermée
1 = vanne de
mise à l'air,
normalement
fermée
1 = vanne de
mise à l'air,
normalement
fermée
pour
MVP 015-2
90 %
90 %
90 %
pour
MVP 015-4
100 %
100 %
100 %
pour
MVP 030
100 %
100 %
100 %
25 W
25 W
45 W |
MVP 015
52 W |
MVP 030
[P:036]
Cfg Acc
B1
Raccordement
B1, configuration
accessoires
[P:708]
PwrSVal
Erreur, consommation électrique
[P:710]
Swoff BKP
Pompe de secours inférieure
au seuil en mode
par intermittence
35/66
Utilisation
Paramètre
Nom
Désignation
[P:711]
SwOn
BKP
[P:794]
[P:795]
[P : 030]
[P : 717]
Option
Groupe de pompage HiCube
30 Eco
80 Eco
300 Eco
Pompe de secours, supérieure
au seuil en mode
par intermittence
40 W
40 W
55 W |
MVP 015
62 W |
MVP 030
Ensemble
param
Ensemble de paramètres
1 = avancé
1 = avancé
1 = avancé
Servicelin
Vue ligne service
309 = vitesse
réelle
309 = vitesse
réelle
309 = vitesse
réelle
Mode valve
Configuration
lest d’air
pour
MVP 015
0 = auto
0 = auto
0 = auto
StdbySVal
Vitesse de rotation par défaut
en veille
pour
MVP 015
66 %
66 %
66 %
Tab. 7:
Ajustage usine des paramètres clés à la livraison
AVIS
Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées
Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la
pompe turbo.
► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique.
► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus
élevée (> 80).
Mise en service du groupe de pompage turbo
1. S'assurer que le blocage de transport a été libéré.
2. Le cas échéant, respecter l'alimentation et le débit d'eau de refroidissement.
3. Le cas échéant, respecter l'alimentation et le débit de gaz de protection.
4. Alimenter le produit en électricité.
6.2
Démarrage du groupe de pompage turbo
Établissement de l'alimentation électrique
► Utiliser l'interrupteur secteur pour établir l'alimentation électrique.
Après sa mise en marche, le DCU exécute un auto-test ainsi qu'un contrôle des instruments
connectés. La durée de l'auto-test, représentée par une barre de progression sur l'affichage,
est d'environ 20 secondes.
Mise en service du groupe de pompage
►
Démarrer le groupe de pompage turbo.
6.3
Fonctionnement normal
Utilisation du DCU
► Lors de l'utilisation du module d'affichage et de commande DCU 002 Pfeiffer Vacuum,
prière de se référer au manuel de l'utilisation fourni à la livraison.
36/66
Utilisation
Touche
Paramètre | usage
Description
correspond à Groupe de pompage ON/OFF (MARCHE/ARRÊT) :
[010] = 0 ou 1 Tous les composants sont mis en/hors service en
fonction de leur configuration
Validation d'erreur (Initialisation) : Initialise les
messages d'erreur actifs, si leur cause a été corrigée.
[308] --> [309] Navigation en avant dans l'ensemble de paramètres
[309] --> [308] Navigation en arrière dans l'ensemble de paramètres
Pression simultanée Mode d'édition : Permet le réglage des options de
paramètre
La flèche - - - > indique l'option sélectionnée sur l'affichage
Nouvelle pression si- Mode de sélection : Permet de valider la sélection
multanée effectuée (« modification confirmée » apparaît)
Tab. 8:
6.4
Description des fonctions des touches du DCU
Fonctionnement avec lest d'air (ne concerne que MVP 015-2)
La vapeur ou l'humidité provenant de la condensation des substances pompées dans la pompe de secours a un impact sur le débit. L'injection d'un lest d'air améliore (réduit) le volume
de condensation. Le groupe de pompage atteint le vide final spécifié plus rapidement.
● Les pompes de secours MVP 015-4 et MVP 030-3 ont une tolérance suffisamment élevée à la vapeur d'eau et n'ont donc pas de soupape à lest d'air.
● La pompe de secours MVP 015-2 est équipée d'une soupape à lest d'air électronique.
● Les paramètres de fonctionnement de la soupape à lest d'air automatique sont réglés
en usine pour une utilisation normale.
Lest d’air
Le groupe de pompage turbo HiCube Eco, avec pompe à membrane MVP
015-2 servant de pompe de secours, est équipé d'une fonction de lest d'air
automatique. Si toutefois un retard dans le temps d'accélération se produit
encore, en raison de la condensation dans la zone de vide préliminaire,
l'ouverture manuelle de la soupape à lest d'air est recommandée.
Dans ce cas, l'actionnement manuel de la soupape à lest d'air signifie qu'elle est commandée
avec les touches de fonction du DCU.
Fig. 18:
Exemple : Écran DCU pour un second ensemble de paramètres
Ouverture manuelle de la soupape à lest d'air
1. Ouvrir l'ensemble de paramètres avancés, si nécessaire (voir chapitre « Fonctionnement normal », page 36).
37/66
Utilisation
2.
Arrêter le groupe de pompage turbo.
3.
Naviguer parmi l'intégralité du premier ensemble de paramètres puis directement
dans le second ensemble de paramètres, jusqu'au paramètre
[030] : Mode valve.
4.
Appuyer simultanément sur les deux touches pour ouvrir le mode Édition.
5.
Sélectionner l'option "2" = ouvrir.
6.
Appuyer simultanément sur les deux touches pour confirmer la sélection et
quitter le mode Édition.
Injection de lest d’air
1.
Démarrer le groupe de pompage turbo.
2. Faire fonctionner le groupe de pompage turbo avec la soupape à lest d'air ouverte.
– Durée de fonctionnement : environ 15 à 30 minutes.
Réglage de la fonction de lest d'air sur automatique
1.
Arrêter le groupe de pompage turbo.
2.
Naviguer parmi l'intégralité du premier ensemble de paramètres puis directement
dans le second ensemble de paramètres, jusqu'au paramètre
[030] : Mode valve.
3.
Appuyer simultanément sur les deux touches pour ouvrir le mode Édition.
4.
Sélectionner l'option "0" = auto.
5.
Appuyer simultanément sur les deux touches pour confirmer la sélection et
quitter le mode Édition.
6.
Démarrer le groupe de pompage turbo.
6.5
Surveillance des opérations
6.5.1
Affichage LED du mode de fonctionnement
Les LED sur le panneau avant du DCU indiquent l'état de fonctionnement de base.
LED
Vert
Rouge
Symbole État LED
Signification
Désactivé
sans courant
Activé, clignotant
« Station de pompage DÉSACTIVÉE », vitesse
de rotation ≤ 60 tr/min
Activé, clignotement inverse
« Station de pompage ACTIVÉE », vitesse de
rotation prescrite non atteinte
Activé, éclairé en continu
« Station de pompage ACTIVÉE », vitesse de
rotation prescrite atteinte
Activé, clignotant
« Station de pompage DÉSACTIVÉE », vitesse
de rotation > 60 tr/min
Désactivé
pas d'erreur, pas d'avertissement
Activé, clignotant
Avertissement
Activé, éclairé en continu
Défaillance
Tab. 9:
38/66
Écran
Affichage LED et signification sur le DCU
Utilisation
6.5.2
Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener les pompes à vide dans un état sécurisé. Selon le type de pompe, les
seuils de température pour les messages d’avertissement et de dysfonctionnement sont mémorisés inchangés dans l’unité d’entraînement électronique. À titre d'information, différentes
demandes d’état sont préparées dans l’ensemble de paramètres.
● Dans les cas où la température du moteur n'est pas admissible ou si la température du
boîtier est anormalement élevée, la puissance d'entraînement de la pompe turbo est réduite. La vitesse de rotation du moteur pourrait alors chuter sous la valeur de consigne
de point de commutation, entraînant l'arrêt de la pompe turbo.
● Si la température de la pompe de secours atteint une valeur non admissible (> 75 °C), la
vitesse de rotation du moteur est réduite à sa valeur nominale afin d'éviter une surchauffe. Après refroidissement (< 72 °C), la pompe de secours se remet à tourner à la vitesse
de consigne.
6.6
Mise hors circuit et mise à l'air
Recommandation
Purger la pompe turbo après son arrêt. Cette opération permet d'éviter le
reflux des particules dans le système de vide depuis la zone de vide préliminaire.
6.6.1
Arrêt du groupe de pompage turbo
Procédure
►
Arrêter le groupe de pompage turbo.
– Les composants s'arrêtent en fonction de leur configuration. Le groupe de pompage reste prêt à l'emploi.
► Couper l'alimentation électrique à l'aide de l'interrupteur principal.
6.6.2
Mise à l'air
AVIS
Endommagement de la pompe turbo lié à une augmentation rapide et inadmissible
de la pression pendant la mise à l'air
L'augmentation rapide d'une pression élevée est inadmissible et soumet le rotor et le palier
magnétique de la pompe turbo à une contrainte significative. Lors de la mise à l'air de très
petits volumes dans la chambre de vide ou la pompe turbo, il existe un risque d'augmentation incontrôlable de la pression. La pompe turbo peut être endommagée mécaniquement
ou détruite.
► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée.
► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter.
► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire.
Mise à l'air manuelle
La mise à l'air manuelle décrit la procédure standard de mise à l'air de la station pompe turbo.
1. Vérifier que le système de vide est à l'arrêt.
2. Dévisser d'un tour au maximum la vis noire de mise à l'air sur la pompe turbo.
3. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système
de vide.
4. Revisser la vis de mise à l'air.
39/66
Utilisation
Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum
La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe
turbo.
La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de
l'unité d’entraînement électronique de la pompe turbo et la configuration des paramètres [P:
012] et [P:030]. En cas de panne de courant, la pompe turbo génère suffisamment d'énergie
pendant sa phase d'arrêt progressif pour initier une mise à l'air correcte. Lorsque le courant
revient, la mise à l'air est interrompue.
► Mettre la pompe turbo hors circuit.
– Le processus de mise à l'air démarre automatiquement.
Vitesse de mise à l'air [P:720] Durée de mise à l'air
[P:721]
Durée de mise à l'air en cas
de panne de courant
50 % de la vitesse nominale
3 600 s
Tab. 10:
3 600 s
Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo
Informations générales sur la mise à l'air rapide
Pfeiffer Vacuum recommande la mise à l'air de grands volumes en 2 étapes.
1. Utiliser une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbo. Alternativement,
la section transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux
maximal de mise à l'air.
2. Mettre à l'air le système de vide avec une augmentation de pression maximale de
15 hPa/s pendant 20 secondes.
3. Mettre ensuite à l'air avec une deuxième vanne de mise à l'air de taille quelconque, par
exemple directement sur la chambre de vide.
4. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système
de vide.
40/66
Maintenance
7 Maintenance
7.1
Informations générales sur la maintenance
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien
L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée
et que la pompe turbo est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact
avec des composants sous tension.
► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur.
► Attendre que la pompe turbo soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0).
► Débrancher la prise secteur de l'appareil.
► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant
les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
7.2
Intervalles de maintenance et responsabilités
Instructions pour l'exécution de la maintenance
1. Effectuer la maintenance requise sur les composants du groupe de pompage, conformément aux instructions fournies dans chaque manuel de l'utilisateur.
2. Nettoyer l'extérieur du groupe de pompage turbo avec un chiffon non pelucheux et un
peu d'alcool isopropylique.
3. En cas de charges extrêmes ou de processus avec des fluides contaminés, consulter
Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts.
4. Pour toutes les autres opérations de nettoyage, maintenance ou réparation, contacter le
centre Pfeiffer Vacuum Service adéquat.
7.3
Remplacement des fusibles secteur
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien
L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée
et que la pompe turbo est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact
avec des composants sous tension.
► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur.
► Attendre que la pompe turbo soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0).
► Débrancher la prise secteur de l'appareil.
► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif.
Problème avec l'appareil ou le système
Un fusible défectueux indique généralement un problème dans l'appareil
ou le système. Si après le remplacement, le fusible neuf grille également,
contacter le centre Pfeiffer Vacuum Service le plus proche.
41/66
Maintenance
1
2
3
4
Fig. 19:
Remplacement des fusibles secteur
1
Interrupteur principal
3
Fusibles
2
Porte-fusibles
4
Prise secteur
Remplacement des fusibles défectueux
Pièces détachées requises
● 2 x fusibles, 5 x 20 (T 2 A H 250 V CA)
1. Arrêter le groupe de pompage.
2. Débrancher le câble d'alimentation de la prise secteur.
3. Ouvrir le porte-fusibles situé au-dessus de la prise secteur.
4. Remplacer les fusibles défectueux.
5. Fermer le porte-fusibles.
6. Remettre en service le groupe de pompage.
7.4
Dépose de composants pour la maintenance
La maintenance assurée par le client sur les composants du groupe de pompage peut nécessiter la dépose du cadre du groupe de pompage.
AVIS
Dysfonctionnement dû à une modification de la configuration de raccordement
Les raccordements du groupe de pompage sont préconfigurés en usine. Une interversion
des raccordements des lignes de commande du connecteur peut entraîner un dysfonctionnement ou une défaillance du groupe de pompage.
► Lors de la dépose des composants, il convient de noter leur emplacement/disposition
en prévision du remontage.
► Noter les valeurs de consigne importantes et la configuration des accessoires du DCU
avant de démonter le groupe de pompage ou des composants.
Raccordement à X3
Accessoire préréglé
Acc. A1
Refroidissement par air
Acc. B1
Vanne de mise à l'air
DO1
Pompe à vide primaire (MVP 30-3 uniquement)
Tab. 11:
42/66
Raccordements d'accessoires préréglés
Maintenance
7.4.1
Suppression des raccordements électriques
Avant toute intervention, toujours débrancher l'appareil de l'alimentation secteur
1. Arrêter l'appareil.
2. Attendre que tous les composants soient complètement immobilisés.
3. Mettre hors circuit l'interrupteur principal.
4. Débrancher le câble d'alimentation de l'appareil.
1
2
5
3
4
Fig. 20:
Raccordements électriques
1
Connexion multifonctions « X3 »
4
Câble d'alimentation électrique
2
Fiche de câble de connexion
5
Interrupteur principal
3
Câble de commande accessoire
Procédure
1. Débrancher la fiche de la connexion multifonctions sur l'unité d'entraînement électronique de pompe turbo.
2. Débrancher et retirer les lignes de commande accessoire de la fiche de connexion.
7.4.2
Déposer la pompe turbo du groupe de pompage
2
1
3
5
4
Fig. 21:
Démontage de la pompe turbo
1
Pompe turbo, complète
4
Conduite de vide préliminaire
2
Vis de fixation avec rondelle
5
Plaque de montage
3
Raccord de vide préliminaire
43/66
Maintenance
Outillage nécessaire
● Clé Allen
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Procédure
1. Desserrer et déposer la conduite de vide préliminaire de la pompe turbo.
2. Veiller à ne pas tordre ou endommager le flexible de vide préliminaire.
3. Dévisser les 4 vis de fixation et les rondelles de la plaque de montage.
– Couple de serrage des vis de fixation pour le remontage : 10 Nm.
4. Déposer la pompe turbo et la plaque de montage du cadre.
Entretien pompe turbo
L'ouverture dans la plaque de montage facilite l'accès pour les opérations
de maintenance sur la pompe turbo (remplacement du réservoir de lubrifiant, par exemple).
44/66
Mise hors service
8 Mise hors service
8.1
Mise hors service pendant une période prolongée
Procédure
1. Si nécessaire, retirer le groupe de pompage du système de vide.
2. Au besoin, remplacer le réservoir de fluide d'exploitation de la pompe turbo.
3. Fermer toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origine.
4. Le groupe de pompage doit être stocké en intérieur, à une température comprise entre
-10 °c et +40 °C.
5. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placer le groupe de pompage et un produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
8.2
Remise en service
AVIS
Risque d'endommagement de la pompe turbo lié au vieillissement du fluide d’exploitation après la remise en service
La durée de conservation du fluide d’exploitation de la pompe turbo est limitée. Le vieillissement du fluide d’exploitation peut entraîner la défaillance du roulement à billes et endommager la pompe turbo.
► Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation :
● après 2 ans au maximum sans fonctionnement,
● après 4 ans au maximum en combinant périodes de fonctionnement et d'arrêt.
► Respecter les instructions de maintenance et informer le service Pfeiffer Vacuum.
Procédure de remise en service du groupe de pompage
1. Contrôler le groupe de pompage à la recherche de tout signe de contamination et de
moisissure.
2. Nettoyer l'extérieur du groupe de pompage turbo avec un chiffon non pelucheux et un
peu d'alcool isopropylique.
3. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer entièrement le groupe
de pompage.
4. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer entièrement les composants du groupe de pompage.
5. Installer le groupe de pompage conformément à ces instructions (voir chapitre « Installation », page 21).
6. Remettre en service le groupe de pompage conformément à ces instructions (voir chapitre « Mise en service », page 35).
8.3
Mise au rebut de la pompe à vide
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant
les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
45/66
Mise hors service
Procédure
► Toutes les substances doivent être mises au rebut conformément aux réglementations
locales.
46/66
Dysfonctionnements
9 Dysfonctionnements
9.1
Généralités
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbo en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à
la norme ISO 27892. Si la pompe turbo n'est pas correctement fixée, elle peut être arrachée. L'énergie ainsi libérée pourrait propulser la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient
être libérés. Il y a un risque de grave blessure, voire de mort, et de dommages considérables de l'équipement.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbo doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utiliser uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par
Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à
la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement
la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée
pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace
environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de
très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
Les dysfonctionnements du groupe de pompage sont généralement causés par des pannes
sur les composants individuels. Les LED sur la pompe turbo et sur la pompe à vide primaire
indiquent l'état de fonctionnement de chaque appareil.
● Le module d'affichage et de commande DCU indique l'état de fonctionnement de base
du groupe de pompage (voir chapitre « Affichage LED du mode de fonctionnement », page 38).
● Le DCU indique les dysfonctionnements du système par l'émission d'un code d'erreur
sur l'écran.
47/66
Dysfonctionnements
9.2
Dépannage
Problème
Causes possibles
Remède
Le groupe de pompage ne démarre
pas. Aucune LED
sur le DCU n'est allumée.
● L'alimentation électrique a été
coupée
1. Vérifier les conduites d'alimentation du groupe de pompage.
2. Vérifier la tension de sortie 24 V CC au niveau de la connexion « DC out » du pack
d'alimentation électrique intégré.
3. Vérifier les contacts des fiches sur le pack
d'alimentation électrique.
4. Vérifier le câble de connexion entre le pack
d'alimentation électrique, la pompe de secours et la pompe turbo.
● Tension de
service incorrecte
1. Noter les spécifications de la plaque signalétique.
2. Alimenter avec la tension de service correcte.
● Pas de tension de service
1. Connecter la tension de service
● Unité d’entraînement
électronique
défectueuse
1. Remplacer l'unité d'entraînement électronique conformément au manuel de l'utilisateur
de la pompe turbo.
2. Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Condensats
dans la pompe de secours
1. MVP 015-2 uniquement : ouvrir la soupape
à lest d'air de la pompe de secours
(voir chapitre « Fonctionnement avec lest
d'air (ne concerne que MVP 015-2) », page 37).
● Soupape de
lest d’air ouverte
1. MVP 015-2 uniquement : fermer la soupape à lest d'air de la pompe de secours
(voir chapitre « Fonctionnement avec lest
d'air (ne concerne que MVP 015-2) », page 37).
Le groupe de pompage n'atteint pas
sa pression finale.
Tab. 12:
9.3
Dépannage
Codes d’erreur
Une erreur (** Error E––– **) entraîne toujours l'arrêt des appareils périphériques connectés.
Les avertissements (* Warning F––– *) sont uniquement indiqués et n'entraînent pas l'arrêt
de composants.
Gestion des messages d'erreur sur le HiCube Eco
1. Commencer par supprimer la cause de l'erreur.
2.
Valider le message d'erreur en appuyant sur la touche
.
48/66
Dysfonctionnements
Affichage dans
le DCU
Problème
Causes possibles
Remède
* Warning F110
*
Manomètre
● Manomètre défaillant
● Connexion au manomètre perdue lors du fonctionnement
● Contrôler le branchement des
câbles
● Effectuer un redémarrage avec
le manomètre connecté
● Remplacer complètement le manomètre
** Error E040 **
Défaut matériel
● RAM externe défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
** Error E042 **
Défaut matériel
● Somme de contrôle EPROM incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
** Error E043 **
Défaut matériel
●
Erreur d’écriture EPROM
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
** Error E090 **
Erreur appareil interne
● RAM pas suffisamment grande
● DCU connecté à une unité
d’entraînement électronique incorrecte
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Connecter le DCU à la bonne
unité d’entraînement électronique
** Error E698 **
Erreur de
communication
● L’unité d’entraînement électronique ne répond pas
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
Tab. 13:
2
Messages d’avertissement et d’erreur lors de l’utilisation du DCU
Écran Problème
Causes possibles
Remède
E001
vitesse excessive
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
E002
Surtension
● Ensemble d’alimentation électrique inapproprié utilisé
● Contrôler le type d’ensemble d’alimentation électrique
● Contrôler la tension de secteur
E006
Erreur de démarrage
● Seuil de temps de démarrage réglé trop
bas
● Débit de gaz dans le
récipient suite à des
fuites ou vannes ouvertes
● Toujours en-dessous
du point de commutation de contrôle de vitesse, le temps de démarrage s’écoule
● Ajuster le temps de démarrage aux conditions du processus
● Contrôler les fuites ou les vannes fermées dans la chambre de vide
● Ajuster le point de commutation de vitesse de rotation
E007
Fluide d’exploitation bas
● Fluide d’exploitation
bas
● Vérifier le fluide d’exploitation
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
E008
Connexion, unité d’entraînement électronique pompe défaillante
● Connexion à la pompe défaillante
● Contrôler les raccordements
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
E010
Erreur appareil interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
49/66
Dysfonctionnements
Écran Problème
Causes possibles
Remède
E021
L'unité d’entraînement
électronique ne détecte
pas la pompe
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
E043
Erreur de configuration interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E044
Température excessive,
électronique
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
E045
Température excessive,
moteur
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
E046
Erreur d’initialisation interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E091
Erreur appareil interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E092
Panneau de connexion inconnu
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E093
Évaluation de la température du moteur défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E094
Évaluation de la température de l’électronique défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E098
Erreur de communication
interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E107
Erreur groupée étage final
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
E108
Mesure de la vitesse de
rotation défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
E109
Logiciel non publié
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E110
Évaluation du fluide d'exploitation défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
E111
Erreur de communication,
pompe à liquide de refroidissement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
E112
Erreur de groupe, pompe
à liquide de refroidissement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
E114
Évaluation de la température de l’étage final défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E117
Température excessive,
partie inférieure de la
pompe
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
E118
Température excessive,
étage final
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
E119
Température excessive,
palier
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
50/66
Dysfonctionnements
Écran Problème
Causes possibles
Remède
E143
Température excessive,
pompe à liquide d'exploitation
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
E777
Vitesse de rotation nominale non confirmée
● Vitesse de rotation
nominale non confirmée après le remplacement de l’unité
d’entraînement électronique
● Confirmer la vitesse de rotation nominale avec [P:777]
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0
F001
Temps de montée en température TMS expiré
● Minuterie interne de
surveillance de montée en température
dépassée
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F003
Sonde de température de
circuit de chauffage TMS
● La température TMS
n'est pas dans la plage admissible, entre
+5 °C et 85 °C
● Contrôler les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
F007
Sous-tension/panne de
courant
● Panne de secteur
● Contrôler l’alimentation de secteur
F018
Conflit de primauté de
fonctionnement
● Groupe de pompage
mis en marche avec
[P:010] alors que l’entrée E74 « start/stop »
est à l’arrêt (ouverte)
● Mettre le poste de pompage en marche
via E74
● Mettre le poste de pompage à l’arrêt via
[P:010].
F021
Signal de verrouillage invalide
● Le signal de la surveillance du signal de
verrouillage se trouve
en-dehors de la plage
valide
● Contrôler les connexions de la surveillance du gaz de pressurisation
● Contrôler les options de paramètre des
sorties accessoires
F034
Débit de gaz de pressurisation bas
● Signal de la surveillance du gaz de pressurisation valide mais
en-dessous du seuil
réglé [P:791]
● Contrôler et corriger l’alimentation en
gaz de pressurisation
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F045
Température élevée du
moteur
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F076
Température élevée de
l’électronique
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F097
Informations de pompe invalides
● Données de pompe
défaillantes
● La validation rétablit les paramètres usine
F098
Informations de pompe incomplètes
● Connexion à la pompe défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
F100
Vitesse de rotation augmentée à la valeur minimale
● Spécifications autorisées pour la vitesse
de rotation ou le mode standby incorrectes
● Contrôler [P:707] ou [P:717]
● Consulter la plage de vitesse de rotation
valide dans la fiche technique de la turbopompe
F115
Évaluation de la température de la partie inférieure
de la pompe défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
51/66
Dysfonctionnements
Écran Problème
Causes possibles
Remède
F116
Évaluation de la température du palier défaillante
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
F117
Température élevée de la
partie inférieure de la
pompe
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F118
Température élevée de
l’étage final
● Refroidissement défaillant
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F119
Température élevée du
palier
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F143
Température de pompe à
liquide d'exploitation élevée
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
F168
Temporisation importante
● Vitesse d’augmentation de pression trop
importante, vitesse de
ventilation trop élevé
● Contrôler et ajuster la vitesse de ventilation spécifique à la pompe
Tab. 14:
Messages d’avertissement et d’erreur pour l’unité d'entraînement électronique de
pompe turbo
Écran Problème
Causes possibles
Remède
E042
Logiciel incompatible
Erreurs de somme
de contrôle
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E091
Équipement inconnu
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E098
Erreur interne de communication entre la carte interface et l'entraînement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E117
Température excessive pompe
E173
Dépassement de la capacité de la
pompe
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
E174
Pompe bloquée
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
● Refroidissement défaillant
● Améliorer le refroidissement
● Contrôler les conditions de fonctionnement
Tab. 15:
Messages d’avertissement et d’erreur pour l’unité d'entraînement électronique de
pompe à membrane MVP 015
52/66
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
10
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous proposons un service de premier choix
Une longue durée de vie des composants de vide et dans le même temps des temps d'arrêt
réduits : telles sont vos attentes claires. Nous répondons à vos exigences avec des produits
performants et un excellent service.
Nous nous efforçons constamment de perfectionner notre coeur de métier, le service pour les
composants du vide. Et notre service est loin d'être terminé une fois que vous avez acheté un
produit de Pfeiffer Vacuum. Bien souvent, il ne fait que commencer avec la qualité éprouvée
Pfeiffer Vacuum, bien sûr !
Dans le monde entier, nos commerciaux et nos spécialistes du SAV sont là pour vous aider
avec professionnalisme. Pfeiffer Vacuum propose une formule complète, depuis la pièce de
rechange d'origine jusqu'au contrat de service.
Adressez-vous à Pfeiffer Vacuum Service
Qu'il s'agisse d'interventions préventives sur place par nos techniciens SAV, de l'échange rapide par des produits de remplacement ou de la réparation dans un Centre de service près
de chez vous – différentes possibilités s'offrent à vous pour assurer une disponibilité optimale
de vos appareils. Vous trouverez des renseignements détaillés ainsi que nos coordonnées
sur notre page d'accueil à la rubrique Pfeiffer Vacuum Service.
Vous pourrez obtenir des conseils pour la solution optimale auprès de votre Interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour le bon déroulement et la rapidité du processus de service après-vente, nous vous
recommandons de procéder comme suit :
1.
Téléchargez les modèles de formulaires actuels.
─
─
─
ANFORDERUNG SERVICE
Déclarations concernant les demandes de service
Demande de service
Déclaration de contamination
a.
Démontez et gardez tous les accessoires (composants externes à l'appareil, vanne,
filtre pare-éclats, etc. ).
b.
Vidangez les fluides d'exploitation et lubrifiants, le cas échéant.
c.
Vidangez le liquide de refroidissement, le cas échéant.
2.
Remplissez la demande de service et la déclaration de contamination.
3.
Envoyez les formulaires par e-mail, par fax ou par courrier au Centre de service de
votre région.
4.
Vous recevez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
Envoi de produits contaminés
Les produits contaminés (contamination microbiologique, substances explosives ou radioactives) sont systématiquement refusés. Sur les produits contaminés ou en l'absence de déclaration concernant la contamination, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant d'engager la
maintenance. De plus, selon le produit et le niveau de contamination, des frais supplémentaires de décontamination pourront être demandés.
53/66
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
5.
Préparez le produit pour le transport conformément aux dispositions de la
déclaration concernant la contamination.
a)
Neutralisez la pompe avec de l'azote ou de l'air sec.
b)
Obturez toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l'air.
c)
Scellez le produit dans un film de protection adéquat.
d)
Emballez le produit uniquement dans un contenant de transport solide et
adéquat.
e)
Respectez les conditions de transport applicables.
6.
Apposez la déclaration de contamination à l'extérieur de l'emballage.
7.
Expédiez ensuite votre produit vers le Centre de service de votre région.
8.
Vous recevez une réponse/un devis de Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les commandes de SAV, nos conditions générales de vente et de livraison ainsi
que nos conditions de réparation et de maintenance concernant les appareils et composants
de vide s'appliquent.
54/66
Accessoires
11
Accessoires
Recommandation
Veuillez vous référer à la liste d'accessoires pour chaque composant dans
leur manuel de l'utilisateur respectif ou en ligne sur pfeiffer-vacuum.de.
55/66
Caractéristiques techniques et dimensions
12
Caractéristiques techniques et dimensions
12.1
Généralités
Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum.
Caractéristiques techniques
Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que
charge simple.
● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5
● ISO 27892 2010 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesure du couple
d'arrêt rapide »
● ISO 21360 2007 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide - Description générale »
● ISO 5302 2003 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes de vide »
● Pression ultime avec dôme de test après 48 h
● Débit de gaz avec refroidissement à eau ; pompe de secours = pompe à palettes rotative (10 m3/h)
● Consommation d’eau de refroidissement à débit maximum de gaz, température de l’eau
de refroidissement 25 °C
● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d'hélium, durée de mesure 10 s
● Niveau de pression acoustique à une distance = 1 m de la pompe à vide
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
1 · 105
1,000
100
750
Pa
0,01
1 · 10-5
1
0,01
1 · 10-3
7.5 · 10-3
hPa
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
133,32
1,33
0,133
1
-3
1,33 · 10
-3
1 Pa = 1 N/m2
Tab. 16:
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1.69 · 10
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 17:
mbar l/s
1
-2
1.69 · 10
-3
1
1,27 · 10
9,87
-2
1.67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
12.2 Caractéristiques techniques
Classification de type
HiCube 30 Eco
HiCube 30 Eco
HiCube 30 Eco
Bride de raccordement (entrée)
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
Bride de raccordement (sortie)
G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux
56/66
Caractéristiques techniques et dimensions
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 30
HiPace 30
HiPace 30
Pompe à vide primaire
MVP 015-2
MVP 015-4
MVP 030-3
Pression limite
< 1 · 10 hPa
< 1 · 10 hPa
< 1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
22 l/s
22 l/s
22 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
1 m³/h
0,75 m³/h
1,8 m³/h
Temps de pompage enceinte d'un volume de
1l
56 s
84 s
15 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
10 l
560 s
836 s
145 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
100 l
5595 s
8358 s
1451 s
Raccordement secteur: tension
100 – 240 V
100 – 240 V
100 – 240 V
Raccordement secteur: fréquence (plage)
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
Type de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Poids
11,7 kg
13,4 kg
13,3 kg
-7
Tab. 18:
-7
Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 40 ISO-KF
Classification de type
HiCube 30 Eco
HiCube 30 Eco
HiCube 30 Eco
Bride de raccordement (entrée)
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
Bride de raccordement (sortie)
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 30
HiPace 30
HiPace 30
Pompe à vide primaire
MVP 015-2
MVP 015-4
MVP 030-3
Pression limite
< 1 · 10-8 hPa
< 1 · 10-8 hPa
< 1 · 10-8 hPa
Débit pour N2
32 l/s
32 l/s
32 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
1 m³/h
0,75 m³/h
1,8 m³/h
Temps de pompage enceinte d'un volume de
1l
56 s
84 s
15 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
10 l
560 s
836 s
145 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
100 l
5595 s
8358 s
1451 s
Raccordement secteur: tension
100 – 240 V
100 – 240 V
100 – 240 V
Raccordement secteur: fréquence (plage)
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
Type de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Poids
12,9 kg
14,6 kg
14,5 kg
Tab. 19:
Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 63 CF-F
Classification de type
HiCube 30 Eco
HiCube 30 Eco
HiCube 30 Eco
Bride de raccordement (entrée)
DN 63 ISO-K
DN 63 ISO-K
DN 63 ISO-K
Bride de raccordement (sortie)
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 30
HiPace 30
HiPace 30
57/66
Caractéristiques techniques et dimensions
Pompe à vide primaire
MVP 015-2
MVP 015-4
MVP 030-3
Pression limite
< 1 · 10 hPa
< 1 · 10 hPa
< 1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
32 l/s
32 l/s
32 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
1 m³/h
0,75 m³/h
1,8 m³/h
Temps de pompage enceinte d'un volume de
1l
56 s
84 s
15 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
10 l
560 s
836 s
145 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
100 l
5595 s
8358 s
1451 s
Raccordement secteur: tension
100 – 240 V
100 – 240 V
100 – 240 V
Raccordement secteur: fréquence (plage)
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
Type de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Poids
11,7 kg
13,4 kg
13,3 kg
-7
Tab. 20:
-7
Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 63 ISO-KF
Classification de type
HiCube 80 Eco
HiCube 80 Eco
HiCube 80 Eco
Bride de raccordement (entrée)
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
Bride de raccordement (sortie)
G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
Pompe à vide primaire
MVP 015-2
MVP 015-4
MVP 030-3
Pression limite
< 1 · 10 hPa
< 1 · 10 hPa
< 1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
35 l/s
35 l/s
35 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
1 m³/h
0,75 m³/h
1,8 m³/h
Temps de pompage enceinte d'un volume de
1l
56 s
83 s
14 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
10 l
557 s
834 s
143 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
100 l
5572 s
8335 s
1428 s
Raccordement secteur: tension
100 – 240 V
100 – 240 V
100 – 240 V
Raccordement secteur: fréquence (plage)
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
Type de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Poids
12,1 kg
13,8 kg
13,7 kg
-7
Tab. 21:
-7
Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 40 ISO-KF
Classification de type
HiCube 80 Eco
HiCube 80 Eco
HiCube 80 Eco
Bride de raccordement (entrée)
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
Bride de raccordement (sortie)
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
Pompe à vide primaire
MVP 015-2
MVP 015-4
MVP 030-3
Pression limite
< 1 · 10-8 hPa
< 1 · 10-8 hPa
< 1 · 10-8 hPa
58/66
Caractéristiques techniques et dimensions
Débit pour N2
67 l/s
67 l/s
67 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
1 m³/h
0,75 m³/h
1,8 m³/h
Temps de pompage enceinte d'un volume de
1l
56 s
83 s
14 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
10 l
557 s
834 s
143 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
100 l
5572 s
8335 s
1428 s
Raccordement secteur: tension
100 – 240 V
100 – 240 V
100 – 240 V
Raccordement secteur: fréquence (plage)
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
Type de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Poids
13,5 kg
15,2 kg
15,1 kg
Tab. 22:
Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 63 CF-F
Classification de type
HiCube 80 Eco
HiCube 80 Eco
HiCube 80 Eco
Bride de raccordement (entrée)
DN 63 ISO-K
DN 63 ISO-K
DN 63 ISO-K
Bride de raccordement (sortie)
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 80
HiPace 80
HiPace 80
Pompe à vide primaire
MVP 015-2
MVP 015-4
MVP 030-3
Pression limite
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
< 1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
67 l/s
67 l/s
67 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
1 m³/h
0,75 m³/h
1,8 m³/h
Temps de pompage enceinte d'un volume de
1l
56 s
83 s
14 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
10 l
557 s
834 s
143 s
Temps de pompage enceinte d'un volume de
100 l
5572 s
8335 s
1428 s
Raccordement secteur: tension
100 – 240 V
100 – 240 V
100 – 240 V
Raccordement secteur: fréquence (plage)
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
Type de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Humidité relative de l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Poids
12,1 kg
13,8 kg
13,7 kg
Tab. 23:
Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 63 ISO-KF
Classification de type
HiCube 300
Eco
HiCube 300
Eco
HiCube 300
Eco
HiCube 300
Eco
HiCube 300
Eco
HiCube 300
Eco
Bride de raccordement
(entrée)
DN 100
CF-F
DN 100 CFF
DN 100
CF-F
DN 100 CFF
DN 100 CFF
DN 100 CFF
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
H
HiPace 300
H
HiPace 300
H
Pompe à vide primaire
MVP 015-2
MVP 015-4
MVP 030-3
MVP 015-2
MVP 015-4
MVP 030-3
59/66
Caractéristiques techniques et dimensions
Pression limite
< 1 · 10-8
hPa
< 1 · 10-8
hPa
< 1 · 10-8
hPa
< 1 · 10-10
hPa
< 1 · 10-10
hPa
< 1 · 10-10
hPa
Débit pour N2
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
1 m³/h
0,75 m³/h
1,8 m³/h
1 m³/h
0,75 m³/h
1,8 m³/h
Temps de pompage
enceinte d'un volume
de 1 l
55 s
83 s
14 s
55 s
83 s
14 s
Temps de pompage
enceinte d'un volume
de 10 l
553 s
830 s
138 s
553 s
830 s
138 s
Temps de pompage
enceinte d'un volume
de 100 l
5532 s
8295 s
1382 s
5532 s
8295 s
1382 s
Raccordement secteur: tension
100 –
240 V
100 – 240 V
100 –
240 V
100 –
240 V
100 – 240 V
100 –
240 V
Raccordement secteur: fréquence (plage)
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
Type de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Poids
17,9 kg
19,6 kg
19,5 kg
17,9 kg
19,6 kg
19,5 kg
Tab. 24:
Caractéristiques techniques HiCube 300 Eco, DN 100 CF-F
Classification de type
HiCube 300
Eco
HiCube 300
Eco
HiCube 300
Eco
HiCube 300
Eco
HiCube 300
Eco
HiCube 300
Eco
Bride de raccordement
(entrée)
DN 100
ISO-K
DN 100
ISO-K
DN 100
ISO-K
DN 100
ISO-K
DN 100 ISOK
DN 100
ISO-K
Bride de raccordement
(sortie)
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux
G 1/8" + silencieux
Pompe Turbomoléculaire
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
HiPace 300
H
HiPace 300
H
HiPace 300
H
Pompe à vide primaire
MVP 015-2
MVP 015-4
MVP 030-3
MVP 015-2
MVP 015-4
MVP 030-3
Pression limite
< 1 · 10
hPa
Débit pour N2
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
260 l/s
Débit de la pompe primaire à 50 Hz
1 m³/h
0,75 m³/h
1,8 m³/h
1 m³/h
0,75 m³/h
1,8 m³/h
Temps de pompage
enceinte d'un volume
de 1 l
55 s
83 s
14 s
55 s
83 s
14 s
Temps de pompage
enceinte d'un volume
de 10 l
553 s
830 s
138 s
553 s
830 s
138 s
Temps de pompage
enceinte d'un volume
de 100 l
5532 s
8295 s
1382 s
5532 s
8295 s
1382 s
Raccordement secteur: tension
100 –
240 V
100 – 240 V
100 –
240 V
100 –
240 V
100 – 240 V
100 –
240 V
60/66
-7
< 1 · 10
hPa
-7
< 1 · 10
hPa
-7
< 1 · 10
hPa
-10
< 1 · 10
hPa
-10
< 1 · 10-10
hPa
Caractéristiques techniques et dimensions
Raccordement secteur: fréquence (plage)
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
Type de refroidissement, standard
Air
Air
Air
Air
Air
Air
Humidité relative de
l'air
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
5 – 85 %,
Poids
15,9 kg
17,6 kg
17,5 kg
15,9 kg
17,6 kg
17,5 kg
Tab. 25:
12.3
Caractéristiques techniques HiCube 300 Eco, DN 100 ISO-KF
Schémas cotés
Toutes les cotes sont indiquées en millimètres
Fig. 22:
Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 40 ISO-KF
Fig. 23:
Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 63 CF-F
61/66
Caractéristiques techniques et dimensions
62/66
Fig. 24:
Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 63 ISO-K
Fig. 25:
Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 40 ISO-KF
Fig. 26:
Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 63 CF-F
Fig. 27:
Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 63 ISO-K
Caractéristiques techniques et dimensions
Fig. 28:
Dimensions du HiCube 300 Eco, DN 100 CF-F
Fig. 29:
Dimensions du HiCube 300 Eco, DN 100 ISO-K
63/66
Déclaration de conformité
Par la présente, nous déclarons que le produit cité ci-dessous est conforme à toutes les dispositions des directives UE suivantes :
● Machines 006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
● Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses
2011/65/UE
La personne en charge de la compilation des documents techniques est M. Helmut Bernhardt, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar.
Groupe de pompage turbo
HiCube Eco
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales qui ont été appliquées :
DIN EN ISO 12100:2011
DIN EN 1012-2:2011
DIN EN 61000-3-2:2014
DIN EN 61000-3-3:2014
DIN EN 61010-1:2010
DIN EN 61326-1:2013
DIN EN 62061:2013
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Dr Ulrich von Hülsen)
Directeur
Asslar, 2016-09-10
65/66
*PT0553*
ed. D - Date 1901 - P/N:PT0553BFR
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