Pfeiffer GSD 320 OmniStar/ThermoStar Mode d'emploi

MANUEL DE L’UTILISATEUR
FR
Traduction du manuel de l‘utilisateur
OMNISTAR™
THERMOSTAR™
BG 5953 BFR / D (1608)
GSD 320 Système d’analyse des gaz
Marques de commerce
Les marques de commerce des produits mentionnés dans ce manuel sont détenues par les sociétés qui
les produisent.
Windows® et Microsoft® sont des marques déposées de Microsoft Corporation.
OmniStar™ et ThermoStar™ sont des marques de commerce de Pfeiffer Vacuum.
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Avertissement
Les informations contenues dans ce manuel sont estimées être exactes et fiables. Pfeiffer Vacuum n’assume cependant
aucune responsabilité pour leur utilisation et ne pourrait être tenu responsable de tout dommage spécial, directement ou
indirectement lié à l’utilisation de ce produit.
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à modifications sans préavis.
Copyright
©2016 Tous droits réservés.
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2
Table des matières
Table des matières
Marques de commerce . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Avertissement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Copyright . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Table des matières. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.1
Identification du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2
Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.3
Usage prévu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2
Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.1
Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.2
Définitions des pictogrammes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3
Qualifications du personnel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.4
Consignes générales de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.5
Gaz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.6
Responsabilité et garantie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.7
Formation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3
Présentation de l’instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3.1
Vue de face. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3.2
Raccordements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3.3
Contrôles et indicateurs du panneau avant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11
4
Données techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.1
Type de détecteur. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.2
Source d’ions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.3
Plage de masse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.4
Composé d’étalonnage (option) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.5
Vitesse de balayage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.6
Capillaire gazeuse du Capillaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.7
Gaz du procédé (gaz de mesure) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.8
Service corrosif (option) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.9
Gaz d’échappement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.10
Matériaux côté vide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.11
Caractéristique de pompage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.12
Conditions ambiantes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.13
Niveau sonore . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.14
Branchement de l’alimentation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.15
Interfaces utilisateur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.16
Contrôle par l’utilisateur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.17
Poids. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.18
Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.1
Port et transport de l’appareil . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.2
Dépose des pièces de blocage pour le transport . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.3
Ventilation requise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.4
Branchement du tuyau de gaz d’échappement . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.5
Branchement du gaz de purge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.6
Raccordement du capillaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.7
Raccordement de l’interface utilisateur (USER) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
5.8
Raccordement de l’alimentation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
5.9
Installation de QUADERA. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3
Table des matières
6
Premier démarrage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.1
Conditions préalables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.2
Procédure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
7
Fonctionnement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
7.1
Fonctionnement du panneau avant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
7.2
Fonctionnement à partir de QUADERA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
8
Vari OmniStar. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
8.1
Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
8.2
Usage prévu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
8.3
Conception . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
8.4
Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
8.5
Premier démarrage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
8.6
Entretien du Vari OmniStar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
8.7
Vue d’ensemble des pièces du système d’admission . . . . . . . . . . . . . 61
8.8
Remplacement de l’EVR 116 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
9
Entretien du GSD 320 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
9.1
Formation à la maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
9.2
Nettoyage de l’appareil . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
10
Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
10.1
Réduction du capillaire (OmniStar) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
10.2
Réduction du capillaire (Thermostar) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
10.3
Instructions pour le remplacement du capillaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
10.4
Instructions pour l’orientation du capillaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
10.5
Dépose du PrismaPlus du GSD 320 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77
10.6
Remplacement du filament . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
10.7
Toile filtrante . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
10.8
Remplacement du diaphragme de l’OmniStar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
10.9
Remplacement du diaphragme de la ThermoStar . . . . . . . . . . . . . . . . 86
10.10 Entretien de la pompe à membrane . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
10.11 Entretien de la turbopompe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
10.12 Calendrier de service et d’entretien . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
11
Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
12
Pièces de rechange . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
12.1
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
12.2
Pièces pour les deux systèmes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
12.3
OmniStar. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
12.4
ThermoStar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
13
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
14
Mise au rebut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
14.1
Tri des composants . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
Annexe ARVC 300 Settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
A.1
Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
A.2
Paramètres du capteur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
A.3
Série . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
A.4
Général . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
A.5
Paramètres . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97
4
Introduction
1
Introduction
1.1
Identification du produit
Dans toutes les communications avec Pfeiffer Vacuum, veuillez spécifier les
informations figurant sur la plaque signalétique du produit. Pour une référence pratique,
copiez ces informations entre les parenthèses ci-dessous.
Figure 1-1 Plaque signalétique du produit
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar
Modèle : (Numéro de modèle) (AAAA/MM)
Référence : (Référence)
N° de série (Numéro de série)
100..230V~, 50..60Hz, 550 VA
1.2
Validité
Ce document s’applique aux produits dont les références correspondent au code suivant:
La référence (PN) figure sur la plaque signalétique.
Nous nous réservons le droit d’apporter des modifications techniques sans préavis.
Figure 1-2 Code de validité du manuel
8 OmniStar
9 ThermoStar
0 Gaz non corrosifs et ininflammables
1 Gaz corrosifs ou inflammables
PTM 8 0 W XXX Y Z
1 Code numérique pour les configurations
spéciales
1 Plage de masse 1-100
2 Plage de masse 1-200
3 Plage de masse 1-300
3 Code numérique de configuration du module
d’entrée
1 code pour l’appareil d’étalonnage et la configuration
du capteur
5
Introduction
1.3
Usage prévu
GSD 320
La version standard du GSD 320 OmniStar™/ThermoStar™de Pfeiffer Vacuum est
conçue pour être commandée manuellement ainsi que pour une analyse automatique
des gaz non corrosifs ininflammables. La version standard ne convient pas pour les gaz
corrosifs ou inflammables.
GSD 320 C
La version gaz corrosifs de l’OmniStar/ThermoStar de Pfeiffer Vacuum, c’est-à-dire le
GSD 320 C, peut convenir à certaines applications de gaz corrosifs ou inflammables. Le
système n’est toutefois pas prévu pour une utilisation dans un environnement où des
mélanges de gaz explosifs peuvent se produire. De plus, le système n’est pas
antidéflagrant selon ATEX. Contactez votre représentant Pfeiffer Vacuum local pour une
consultation au sujet des gaz corrosifs ou inflammables.
REMARQUE
N’hésitez pas à contacter votre représentant Pfeiffer Vacuum local pour toute question
que vous pourriez avoir.
6
Sécurité
2
Sécurité
2.1
Consignes de sécurité
Les consignes de sécurité des manuels d’utilisation de Pfeiffer Vacuum sont le résultat
d’évaluations du risque et d’analyses des dangers et elles sont basées sur les normes
de certifications internationales telles que spécifiées par UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI
S1, ISO3864 et DIN4844. Les niveaux de danger et informations suivants sont pris en
compte dans ce document:
DANGER
Danger immédiat
Des blessures très graves, voire mortelles, peuvent se produire.
AVERTISSEMENT
Danger possible
Des blessures ou des dégâts matériels graves peuvent se produire.
ATTENTION
Danger possible
Des blessures ou des dégâts matériels peuvent se produire.
REMARQUE
Ordre ou remarque
Ordre d’effectuer une action ou informations sur les propriétés, dont le non-respect peut
provoquer des dégâts aux produits.
2.2
Définitions des pictogrammes
Mise en garde contre des actions pouvant entraîner un dysfonctionnement
ou une perte de données.
Avertissement sur la présence de tensions potentiellement mortelles.
2.3
Qualifications du personnel
Tous les travaux décrits dans ce document ne peuvent être exécutés que par des
personnes ayant suivi une formation technique appropriée et disposant de l’expérience
nécessaire ou ayant été instruites par l’utilisateur final du produit.
7
Sécurité
2.4
Consignes générales de sécurité
Ce produit ne doit pas être utilisé d'une manière autre que celle spécifiée par
le fabricant. Toute utilisation du produit de façon non spécifiée par le fabricant
peut dégrader le niveau de protection assuré par l'équipement.
Des tensions potentiellement mortelles sont présentes lorsque le
cordon d’alimentation est branché.
Seul le personnel formé peut effectuer des réparations sur le produit.
Confiez toute la maintenance à un personnel qualifié.
Ne placez pas le produit à un emplacement qui rendrait inaccessible le
dispositif de coupure.
Pointe de la technologie
Le GSD 320 est construit selon les principes d’ingénierie les plus avancés et son
utilisation est sûre.
Élargissement du domaine d’application
Toute utilisation de cet équipement à des fins autres que celles prévues à l’origine (y
compris l’échantillonnage de gaz corrosifs ou inflammables ou l’échantillonnage de
liquides) requiert l’approbation préalable écrite de la société mère Pfeiffer Vacuum.
Toute utilisation du GSD 320 ne correspondant pas au domaine (élargi) d’utilisation est
considérée comme non conforme et le fabricant décline toute responsabilité résultant
d’une telle utilisation.
Accès à des personnes non autorisées
L’utilisateur final doit s’assurer que seules des personnes formées travaillent sur le
GSD 320.
Procédures inappropriées de travail
L’équipement ne doit pas être utilisé d’une manière pouvant compromettre la sécurité
des utilisateurs et du GSD 320.
Obligation de signaler les modifications du système
L’utilisateur doit notifier immédiatement l’utilisateur final de toute modification s’étant
produite et pouvant compromettre la sécurité du GSD 320.
Obligation d’effectuer la maintenance
L’utilisateur final doit toujours maintenir le GSD 320 en état de marche correct.
Arrêt et déconnexion de l’alimentation
Le GSD 320 doit être mis hors tension et débranché de la source d’alimentation avant la
réalisation de tout travail de maintenance. Les procédures d’arrêt figurant dans ces
instructions d’utilisation doivent être rigoureusement suivies.
Dépose de dispositifs de protection
Les dispositifs de protection ne peuvent être déposés qu’une fois le GSD 320
complètement arrêté et débranché de la source d’alimentation.
8
Sécurité
Inspection après la maintenance ou une réparation
Après un travail de maintenance ou de réparation, assurez-vous que tous les dispositifs
de protection ont été installés et qu’ils fonctionnent correctement. Le GSD 320 ne peut
être remis en service que si tel est le cas.
Réglementations de prévention des accidents spécifiques à l’industrie
Dans tous les cas, les réglementations de prévention des accidents locales et
spécifiques à l’industrie sont applicables au GSD 320.
Mise au rebut des produits d’exploitation
Les produits d’exploitation doivent être traités et mis au rebut conformément aux
réglementations locales.
Instructions
Sur la base de ces Instructions d’utilisation, le propriétaire doit préparer un ensemble
d’instructions décrivant les activités et les spécifications requises pour une exploitation
en sécurité.
Ces instructions doivent être affichées dans un emplacement adapté sur le lieu de travail
et être respectées par toutes les personnes travaillant avec l’équipement.
2.5
Gaz
Respectez les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires pour les
produits de procédés utilisés.
Prenez en compte les réactions possibles entre les matériaux et les produits de
procédés.
En cas d’échantillonnage de gaz toxiques ou combustibles avec le GSD 320 C, les gaz
d’échappement doivent être traités et éliminés conformément aux réglementations en
vigueur.
2.6
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum n’assume aucune responsabilité et la garantie est annulée et
inopposable si l’utilisateur final ou des parties tierces:

ignorent les informations figurant dans ce document

utilisent le produit d’une manière non conforme

effectuent toute sorte d’intervention (modifications, altérations etc.) sur le produit

utilisent le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation
correspondante du produit
L’utilisateur final assume la responsabilité quant aux produits de procédés utilisés.
2.7
Formation
Pfeiffer Vacuum propose des cours sur l’application, l’utilisation et la maintenance afin
de permettre l’utilisation optimale de ce produit. Veuillez contacter votre représentant
Pfeiffer Vacuum local.
9
Présentation de l’instrument
3
Présentation de l’instrument
3.1
Vue de face
Figure 3-1 Vue de face du GSD 320
Capillaire/élément
chauffant
configurables
(gauche/droite/haut)
Contrôles et indicateurs
du panneau avant
Touches
de flèches
Panneau avant
amovible pour
accéder à l’entrée.
3.2
Raccordements
Figure 3-2 Raccordement au GSD 320
Manocontact du gaz
de purge (corrosif
uniquement)
Connecteur de
commande
utilisateur
E/S auxiliaire
raccordement
Entrée du gaz de
purge (corrosif
uniquement)
Interrupteur
secteur
Alimentation
Branchement du
tuyau de gaz
d’échappement
Ethernet TCP/IP
AVERTISSEMENT
Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (EMI) un câble blindé est
obligatoire (interface externe). L'écran (Le blindage ?) du câble doit être relié au boîtier
du connecteur. Le côté opposé doit être laissé ouvert ou mis à la terre pour éliminer les
courants dans les boucles de terre. Il est fortement recommandé d'utiliser des paires
torsadées pour le câblage des entrées analogiques (+) et (-).
10
Présentation de l’instrument
3.3
Contrôles et indicateurs du panneau avant
Figure 3-3 Contrôles et indicateurs du panneau avant OmniStar
Touches
de flèches
Les boutons-poussoirs sur le panneau avant peuvent être utilisés pour faire fonctionner
le GSD 320 localement. Les touches de flèche permettent de mettre en surbrillance une
option spécifique sur l’écran à cristaux liquides. Quand l’option souhaitée est en
surbrillance, appuyez sur OK SEL pour confirmer.
LED d’alimentation
Power (Alimentation) : alimentation secteur et état corrects.
LED
des pompes
Accelerate (Accélérer) : la LED orange s’allume quand le pompage est activé sans être
dans un état normal.
Normal : le système est normal et un vide correct a été atteint. La turbopompe a atteint
le point de consigne de vitesse rotationnelle (90 % de la vitesse nominale).
Error (Erreur) : défaillance du système de pompage.
Vannes d’admission :
LED (OmniStar)
Vannes d’admission : Toute vanne d’entrée de gaz ouverte
LED d’étalonnage
(ThermoStar)
Calibration valves (Vannes d’étalonnage) : Vanne du dispositif d’étalonnage ouverte
LED de purge
Purge : la pression d’admission du gaz de purge se trouve dans la plage acceptable
LED de l’élément
chauffant
Capillary (Capillaire) : l’élément chauffant du capillaire est activé
(Vanne d’entrée d’échantillonnage ou dispositif d’étalonnage)
Inlet (Entrée) : l’élément chauffant de l’entrée est activé
Bake Out (Étuvage) : chambre de vide en cours de chauffage
11
Présentation de l’instrument
Éléments chauffants
Table 3-1
Informations relatives à l’élément chauffant
Type d’élément
chauffant
Température Température
maximum
par défaut
Élément chauffant
à capillaire 200 °C
200 °C
200 °C
Élément chauffant
à capillaire 350 °C
350 °C
350 °C
Élément chauffant
de l’entrée
150 °C
120 °C
Élément chauffant
d’étuvage
(collecteur)
170 °C à
45 °C
ambiante
150 °C à
25 °C
ambiante
Élément chauffant
de l’entrée Vari
120 °C
70 °C
Informations
supplémentaires
Une alerte prévenant
d’une possible
dégradation de la
longévité de
l’électrovanne
s’affiche au-dessus
de 120 °C.
Une alerte prévenant
d’une possible
dégradation de la
longévité de
l’électrovanne
s’affiche au-dessus
de 70 °C.
REMARQUE
Informations importantes à propos du contrôle de la température:
12

Si la température du capillaire ou de l’admission dépasse la consigne de
température paramétrée de plus de 5 °C, la LED de l’indicateur clignote et une
alerte de régulation est émise. Les éléments chauffants ne s’arrêtent pas
automatiquement.

Si la température du capillaire ou de l’admission dépasse la température maximum
de plus de 15 °C, les éléments chauffants s’arrêtent et une erreur est émise.

Si la température interne du GSD 320 dépasse 70 °C au cours de l’étuvage, le
GSD 320 désactive l’élément chauffant d’étuvage (collecteur). Lorsque la
température du GSD 320 repasse au-dessous de 70 °C, l’élément chauffant
d’étuvage (collecteur) ne redémarre pas aussitôt ; l’utilisateur doit redémarrer
l’élément chauffant.
Données techniques
4
Données techniques
4.1
Type de détecteur
C-SEM/Faraday
4.2
Source d’ions
Étanche au gaz, 2 filaments
4.3
Plage de masse
Les plages de masse ne sont applicables que pour les gaz/espèces sans interférence.
Reportez-vous au Table 4-1.
Table 4-1
4.4
Performance du détecteur par plages de masse
1 - 100 amu
1 - 200 amu
1 - 300 amu
Contribution à la masse
environnante : (40/41)
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
Minimum de limite de
détection : C-SEM
< 1 ppm
< 1 ppm
< 1 ppm
Minimum de limite de
détection : Faraday
< 20 ppm
< 40 ppm
< 100 ppm
Composé d’étalonnage (option)
Perfluorotributylamine (PFTBA)
4.5
Vitesse de balayage
MID : 2 ms/amu - 60 s/amu
Balayage à pas fixe de diagramme à barres : 2 ms/amu - 60 s/amu
Balayage analogique : 20 ms/amu - 60 s/amu
Balayage de diagramme à barres : 20 ms/amu - 60 s/amu
4.6
Capillaire gazeuse du Capillaire
Matériau : acier inoxydable (OmniStar) ou quartz (ThermoStar)
Pression d’échantillonnage : 1 000 mbar (version standard)
Débit de gaz : 1-2 sccm
Longueur : 1 m (2m disponible)
Contrôle des vannes d’entrée : panneaux avant et/ou logiciel (QUADERA®)
Température de fonctionnement du capillaire : 200 °C (350 °C disponible)
13
Données techniques
4.7
Gaz du procédé (gaz de mesure)
Pression : 500 … 1 500 mbar
Débit de gaz : 1 … 2 sccm
Capillaire de l’OmniStar : ø extérieur 1/16 po, ø intérieur 0,125 mm
Capillaire du ThermoStar : ø extérieur 0,22 mm, ø intérieur 0,15 mm
Impuretés : taille des particules 1 m
4.8
Service corrosif (option)
Gaz de purge : gaz inerte, de préférence l’azote ou l’argon
Pression : 5 … 7 bar
Débit de gaz : 500 sccm
Impuretés :  100 ppm oxygène
Raccordement : raccord Swagelok, 1/8"
4.9
Gaz d’échappement
Pression admissible :  pression ambiante
Débit de gaz : 500 sccm (applicable uniquement pour un fonctionnement
purgé/corrosif)
Raccordement : tube PTFE, ø extérieur 6 mm, ø intérieur 4 mm
4.10 Matériaux côté vide
Entrée de gaz : acier inoxydable, FPM
Diaphragme : platine
Cavité de vide : acier inoxydable
Analyseur : acier inoxydable, cuivre, argent, or, verre de quartz, céramique
Turbopompe : aluminium, acier inoxydable, époxy, lubrifiant
Tubulure : PTFE, acier inoxydable, FPM
Pompe à membrane : aluminium, aluminium anodisé, FPM, NBR à revêtement en
PTFE, PA
4.11 Caractéristique de pompage
Prête pour le fonctionnement :au bout de 10 minutes
Intervalle entre l’arrêt et le redémarrage : > 10 secondes
Durée de l’arrêt : 15 minutes
14
Données techniques
4.12 Conditions ambiantes
Stockage/transport : 5 … 45 °C
Fonctionnement : 12 … 35 °C
Humidité relative : maximum de 80 % jusqu’à 31 °C, diminution linéaire jusqu’à 50 % à
40 °C
Application : intérieur uniquement
Altitude : jusqu’à 2 000 m
Catégorie de protection : IP30
Degré de pollution : 2
4.13 Niveau sonore
< 50 dB en plein fonctionnement
4.14 Branchement de l’alimentation
Tension : 100, 120, 230 V ca
Fréquence : 50 … 60 Hz
Consommation électrique : 550 VA
Fusibles du filtre en ligne : 4 A temporisés
4.15 Interfaces utilisateur
Logiciel : QUADERA® (version 4.00 ou ultérieure)
Communication : Ethernet TCP/IP
4.16 Contrôle par l’utilisateur
5 Entrée analogiques : 5 x ± 10 V / 12 bits
4 Sortie analogiques : 4 x 0…10 V / 12 bits
4 Entrée numériques : 4 x protection externe
7 Sortie numériques : 7 x puits, isolation optique, 24 V
État de la pompe : Canal de sortie numérique 1, 1 relais, commutateur, NF, NO, COM
Connecteurs : 15 broches Dsub (E/S Utilisateur) et 25 broches Dsub (E/S Auxiliaire)
Pour tout renseignement complémentaire concernant les contrôles utilisateur, reportezvous à la “Raccordement E/S auxiliaire”, page 27 et à la “Détail des E/S utilisateur et
auxiliaire”, page 28.
4.17 Poids
35 kg
15
Données techniques
4.18 Dimensions
L x l x H : 545 x 305 x 395 mm
Figure 4-1 Dimensions (mm)
395 mm
305 mm
16
545 mm
Installation
5
Installation
5.1
Port et transport de l’appareil
Le produit pèse > 25 kg. Transportez toujours le GSD 320 avec deux personnes plaçant
leurs mains sous les parties avant et arrière du châssis.
AVERTISSEMENT
Une blessure physique peut être provoquée si le produit est soulevé et porté par une
seule personne. Respectez les règlements locaux en vigueur et prenez les précautions
nécessaires lors du levage et du transport du produit.
ATTENTION
Déplacez toujours l’instrument avec la tige de blocage de transport du panneau avant
en place.
5.2
Dépose des pièces de blocage pour le transport
Pendant qu’une personne fait pencher le GSD 320, une deuxième personne enlève la
tige de blocage de transport du panneau avant et les deux vis de blocage.
Figure 5-1 Dépose des pièces de blocage pour le transport
Déposez la tige de blocage de
transport du panneau avant
Déposez
les vis
de blocage
ATTENTION
Déposez les deux vis de blocage (pièces de fixation pour le transport) sur le fond du
GSD 320 avant de commencer l’exploitation de l’appareil.
ATTENTION
Déposez la tige de blocage de transport du panneau avant sur le fond du GSD 320 avant
de commencer l’exploitation de l’appareil.
17
Installation
REMARQUE
Rangez les vis de blocage et la tige de blocage de transport du panneau avant et
remontez-les si le GSD 320 doit être transporté à nouveau.
5.3
Ventilation requise
Pour une ventilation adéquate, maintenez un espace minimum de 25 mm autour du
GSD 320. Si le GSD 320 se trouve dans une enceinte, celle-ci doit être suffisamment
grande ou ventilée pour fournir un refroidissement adéquat par ventilateur sur le
GSD 320.
Figure 5-2 Circulation de l’air de refroidissement
Grille de
Ventilation
ATTENTION
Ne pas obstruer les grilles de ventilation au risque de provoquer une surchauffe de
l'appareil et d'endommager le GSD 320.
18
Installation
5.4
Branchement du tuyau de gaz d’échappement
Prolongez le tube d’échappement avec un raccord et un tube adaptés et connectez-le à
la conduite d’évacuation des gaz.
REMARQUE
Pour les applications corrosives ou inflammables, un échappement sur le GSD 320 C
est obligatoire. Pour les applications non corrosives et non inflammables,
l’échappement peut être effectué conformément aux exigences du site.
Figure 5-3 Branchement du tuyau de gaz d’échappement
Branchement du
tuyau de gaz
d’échappement
ATTENTION
En cas d’échantillonnage de gaz corrosifs ou inflammables avec le GSD 320 C, les gaz
d’échappement doivent être traités et éliminés conformément à la réglementation en
vigueur.
AVERTISSEMENT
Si les branchements d’échappement corrects ne sont pas installés, l’échantillonnage de
gaz corrosifs, inflammables ou dangereux peut provoquer l’échappement du système
de quantités mortelles de gaz.
19
Installation
5.5
Branchement du gaz de purge
Figure 5-4 Branchement du gaz de purge
Manocontact numérique
du gaz de purge
(corrosif uniquement)
Entrée du gaz de purge
(corrosif uniquement)
Sur les systèmes de pompage de gaz corrosifs, le gaz de purge fournit un débit continu
de gaz sec sur les roulements de la turbopompe moléculaire. Le GSD 320 C comporte
un détendeur interne préréglé en usine et qui utilise un débitmètre pour produire le débit
correct de purge à l’azote.
Raison du manocontact numérique:

Fournir un affichage visuel de la pression d’entrée de purge à l’azote.

Fournir un signal qui lance la procédure d’arrêt quand le gaz de purge sort de la
plage spécifiée de 5 … 7 bar.
ATTENTION
Le GSD 320 C n’est pas équipé d’un robinet de gaz de purge. S’il est probable que la
pression du gaz de purge dépassera les spécifications, installez un système adapté de
réduction de la pression.
ATTENTION
À l’intérieur du GSD 320 C se trouve un câble volant de surpassement pour un
fonctionnement sans gaz de purge. Ce mode de fonctionnement est réservé à
l’entretien et aux tests et ne peut être utilisé que par le personnel technique formé.
20
Installation
5.6
Raccordement du capillaire
OmniStar
1 Retirez le capuchon. Reportez-vous à la Figure 5-5.
Figure 5-5
Dépose du capuchon
2 Raccordez le capillaire sur le point de mesure. Reportez-vous à la Figure 5-6.
Figure 5-6
Raccordement du capillaire sur le point de mesure.
ATTENTION
Connectez fermement l’extrémité avant du tube de chauffage du capillaire sur
l’équipement de mesure. Ne serrez que l’extrémité du tube, comme illustré à la
Figure 5-6.
ATTENTION
La manipulation du capillaire de manière contraire aux paramètres suivants peut
endommager le système d’échantillonnage du GSD 320:
Rayon minimum de cintrage de 150 mm.
N’ajoutez pas d’isolation supplémentaire et ne couvrez pas l’élément chauffant du
capillaire.
N’exposez pas le capillaire à une chaleur supplémentaire (par exemple, une bride
chauffée).
21
Installation
ThermoStar
DANGER
DANGER : Gaz dangereux.
Les gaz du procédé peuvent provoquer des dégâts sanitaires et environnementaux.
Avant de mettre le gaz du procédé, assurez-vous que le raccordement du gaz est
hermétique.
DANGER
DANGER : Gaz inflammables.
En cas de manipulation incorrecte, les gaz inflammables peuvent provoquer des dégâts
sanitaires, environnementaux et matériels.
Respectez les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires lors de la
manipulation des gaz inflammables.
REMARQUE
Pour un raccordement fiable de l’élément chauffant du capillaire, un adaptateur est
disponible comme accessoire.
1 Retirez le ruban adhésif. Reportez-vous à la Figure 5-7.
Figure 5-7
Retirez le ruban adhésif
2 Vérifiez que le GSD 320 est arrêté de manière appropriée.
3 Retirez d’alimentation secteur du GSD 320.
ATTENTION
Vérifiez que la tige de blocage de transport du panneau avant
a été déposée. Reportez-vous à la section 5.2 on page 17.
4 Retirez le panneau avant du cadre du GSD 320 de la manière décrite dans la Dépose
du panneau avant on page 23. Retirez ensuite le capot du boîtier de l’élément
chauffant du four d’entrée, comme indiqué dans la Dépose du boîtier de l’élément
chauffant de l’entrée on page 24.
22
Installation
Dépose du panneau
avant
1 Saisissez le capot avant au niveau des coins supérieurs et tirez doucement le capot
à l’écart du cadre jusqu’à ce que les goupilles à ressorts supérieures et du milieu se
dégagent du cadre. Reportez-vous à la Figure 5-8.
Figure 5-8
Saisissez le capot avant à partir des coins supérieurs
2 Saisissez ensuite le capot entre les goupilles à ressorts du milieu et du bas et tirez le
capot jusqu’à ce que les goupilles à ressorts se dégagent du cadre. Reportez-vous à
la Figure 5-9.
Figure 5-9
Saisissez le capot entre les goupilles à ressorts du milieu et
du bas
23
Installation
3 Déconnectez le câble ruban de la carte de circuits imprimés du panneau avant.
Reportez-vous à la Figure 5-10.
Figure 5-10 Déconnectez le câble ruban
Goupille 1
Bande rouge
orientée comme
indiqué
4 À l’aide d’une clé à six pans de 3 mm (incluse dans le kit de livraison), retirez les vis
CHC (2) de la chambre d’introduction.
Dépose du boîtier de
l’élément chauffant
de l’entrée
24
1 Retirez le couvercle du boîtier de l’élément chauffant d’entrée du four d’entrée.
Reportez-vous à la Figure 5-11.
Figure 5-11 Retirez le couvercle du boîtier de l’élément chauffant d’entrée
Installation
Dépose de l’isolant et
réglage du capillaire
1 Enlevez l’isolant en mousse du four d’entrée. S’il le faut, insérez la partie courte de
la clé à six pans dans l’isolant et tirez doucement la mousse. Il est recommandé de
commencer par le haut et de progresser vers le bas lors de l’extraction de l’isolant en
mousse du four. Reportez-vous à la Figure 5-12.
Figure 5-12 Dépose de l’isolant en mousse
2 Poussez le capillaire vers l’avant pour qu’il atteigne le point de mesure. Reportezvous à la Figure 5-13.
REMARQUE
Pour éviter d’endommager le capillaire, prenez soin de n’utiliser que des férules
métalliques.
Figure 5-13 Poussez le capillaire vers le point de mesure
3 Effectuez le raccordement au point de mesure conformément à la configuration du
système.
REMARQUE
La méthode employée pour le raccordement du capillaire au point de prélèvement doit
permettre d’éviter la pressurisation du spectromètre de masse. En général, une simple
disposition en « T » permettant la ventilation du surplus de gaz dans l’atmosphère suffit.
25
Installation
5.7
Raccordement de l’interface utilisateur (USER)
Le GSD 320 comporte une interface Ethernet TCP/IP réservée à la communication et
deux connecteurs d’entrée/sortie (E/S), E/S utilisateur et E/S auxiliaire, permettant
l’interaction du GSD 320 avec les périphériques fournis par le client.
Figure 5-14 Interface de contrôle par l’utilisateur et Ethernet
E/S utilisateur
raccordement
E/S auxiliaire
raccordement
Ethernet TCP/IP
Raccordement E/S
utilisateur
Le connecteur de raccordement E/S utilisateur propose une interface pour les entrées et
sorties électroniques du GSD 320.
Numéro de
broche
Description
26
1
GND (TERRE) (0 V) pour les entrées numériques
2
Entrée numérique, canal 1
3
NO relais (sortie numérique, canal 1 actif = contact avec la
broche 4 fermé)
4
COM relais
5
Entrée analogique, canal 2 (-)
6
Entrée analogique, canal 2 (+)
7
Entrée analogique, canal 1 (-)
8
Entrée analogique, canal 1 (+)
9
GND (TERRE) de référence de la sortie analogique
10
GND (TERRE) de référence de la sortie analogique
11
Sortie analogique, canal 2 (+)
12
Sortie analogique, canal 1 (+)
13
COM relais « classique » du système de pompage
14
NO relais « classique » du système de pompage
15
NF relais « classique » du système de pompage
Installation
Raccordement E/S
auxiliaire
Le connecteur E/S auxiliaire s’ajoute au connecteur E/S utilisateur pour proposer une
interface pour les entrées et sorties électroniques du GSD 320.
Numéro de
broche
Description
1
Sortie analogique, canal 3 (+)
2
GND (TERRE) de référence des sorties analogiques
3
Entrée analogique, canal 3 (-)
4
Entrée analogique, canal 4 (-)
5
Entrée analogique, canal 5 (-)
6
GND (TERRE) de référence des sorties analogiques
7
Entrée numérique, canal 2
8
Entrée numérique, canal 4
9
+24V, 10mA pour les entrées numériques
10
Sortie numérique, canal 3
11
Sortie numérique, canal 5
12
Sortie numérique, canal 7
13
GND (TERRE) (0 V) pour les entrées numériques
14
Sortie analogique, canal 4 (+)
15
GND (TERRE) (0 V) pour les entrées numériques
16
Entrée analogique, canal 3 (+)
17
Entrée analogique, canal 4 (+)
18
Entrée analogique, canal 5 (+)
19
GND (TERRE) (0 V) pour les entrées numériques
20
Entrée numérique, canal 3
21
GND (TERRE) (0 V) pour les entrées numériques
22
Sortie numérique, canal 2
23
Sortie numérique, canal 4
24
Sortie numérique, canal 6
25
Réservé
27
Installation
Détail des E/S
utilisateur et auxiliaire
Entrées numériques
Les entrées numériques sont de type ACTIF BAS. Ces entrées sont tirées haut à
l’intérieur du module de contrôle GSD 320, ce qui permet leur activation par entrée TTL
ou leur fermeture par simple contact. Une fermeture par contact est préférable pour
maintenir l’isolation à la masse.
Nombre total de canaux : 4
Connecteur E/S utilisateur : Canal 1
Connecteur E/S auxiliaire : Canaux 2-4
Impédance en entrée : 10k Ohm
Sorties numériques
Les sorties numériques sont de type COLLECTEUR OUVERT et chacune d’entre elles
peut puiser et fournir environ 150mA ; en outre, elles sont capables de piloter
directement les LED et autres charges réduites.
Le canal de sortie numérique 1 dispose d’un raccordement interne à un relais (24VCA/
CC, 1A) dont les contacts NO (Normalement Ouvert) et COM (Commun) sont reliés
respectivement aux broches 3 et 4 du connecteur E/S utilisateur.
Nombre total de canaux : 7
Connecteur E/S utilisateur : Canal 1 (broche 3 = NO relais, broche 4 = COM relais)
Connecteur E/S AUX : Canaux 2-7
Entrées analogiques
Les entrées analogiques sont différentielles ; elles peuvent gérer des entrées de -10 à
+10 volts et des tensions courantes de 100 volts.
Nombre total de canaux : 5
Connecteur E/S utilisateur : Canaux 1 et 2
Connecteur E/S AUX : Canaux 3-5
Impédance en entrée : 2k Ohm
Résolution : 12 bits
Sorties analogiques
Les sorties analogiques permettent des raccordements externes capables de supporter
des tensions qui varient en fonction de l’abondance des ions spécifiés. Le logiciel permet
à l’utilisateur d’affecter une masse à chacun des quatre canaux ainsi qu’un facteur
d’échelle et un décalage. Les sorties analogiques supportent entre 0 et 10v.
Nombre total de canaux : 4
Connecteur E/S utilisateur : Canaux 1 et 2
Connecteur E/S AUX : Canaux 3 et 4
Relais d’état du système
de pompage
L’interface E/S Utilisateur intègre un relais (24VCA/CC, 1A) indiquant la vitesse de la
turbopompe. Si la vitesse de la turbopompe est >90 % (>1 350 Hz) de sa vitesse de
rotation nominale (1 500 Hz), le contact NO est fermé.
Connecteur E/S utilisateur :
COM du relais (broche 13)
NO du relais (broche 14)
NF du relais (broche 15)
28
Installation
5.8
Raccordement de l’alimentation
Figure 5-15 Branchement de l’alimentation
Interrupteur
secteur
Alimentation
Tension : 100, 120, 230 V ca
Fréquence : 50 … 60 Hz
Consommation électrique : 550 VA
1 Mettez l’interrupteur d’alimentation secteur en position Arrêt.
2 Branchez le cordon d’alimentation sur la source d’alimentation. Reportez-vous à la
Figure 5-15.
5.9
Installation de QUADERA
Vous trouverez des conseils d’installation des logiciels dans la section 7.2 on page 44
de ce manuel.
29
Premier démarrage
6
Premier démarrage
6.1
Conditions préalables
Installation effectuée selon la description du 5.
6.2
Procédure
1 Mettez l’interrupteur du secteur sur marche.
2 Mettez le système de pompage en marche (selon la description de la section 7.1 on
page 31 pour une utilisation avec le panneau avant ou de la section 7.2 on page 44
pour QUADERA).
LED
ALIMENTATION
SECTEUR
VIDANGE EN
COURS
RÉGIME
NOMINAL DU
POMPAGE
ATTEINT
ERREUR DU
SYSTÈME DE
POMPAGE
ALIMENTATION
VERT
VERT
VERT
VERT
ACCÉLÉRER
ORANGE
NORMAL
VERT
ERREUR
ROUGE
ATTENTION
Un choc ou une vibration excessif pendant le fonctionnement et après la mise hors
tension peuvent endommager la turbopompe. Évitez les chocs et les vibrations (par
exemple, les déplacements au-dessus de câbles ou de seuils de portes) pendant le
fonctionnement et jusqu’à 5 minutes après la mise hors tension du GSD 320.
30
Fonctionnement
7
Fonctionnement
7.1
Fonctionnement du panneau avant
La section suivante décrit brièvement le fonctionnement du
GSD 320 avec l’utilisation de l’interface du panneau avant.
Figure 7-1 LED, clavier et affichage à cristaux liquides du GSD 320

Les LED indiquent l’état des sous-systèmes.

Un clavier permet de naviguer parmi le menu (HAUT, BAS, GAUCHE ou DROITE),
de sélectionner des tâches et de modifier des paramètres de données.
Figure 7-2

Clavier
Un affichage à cristaux liquides affiche la structure du menu pour la consultation
et la configuration de l’instrument. Le menue racine est accessible à tout moment en
maintenant la touche OK / SEL appuyée jusqu’à ce qu’un bip se fasse entendre.
REMARQUE
Cette opération peut être considérée comme une touche ÉCHappe. Le déplacement du
curseur vers la GAUCHE (<) ÉCHappera d’une arborescence de menu de la même
manière.
Écran de
fonctionnement
normal
L’écran de fonctionnement NORMAL lors du pompage est montré dans la Figure 7-3.
Il convient de noter que l’écran du panneau avant peut afficher une pression d’analyseur
différente de celle qui s’affiche dans le logiciel QUADERA. Le logiciel QUADERA affiche
le tableau le plus exact.
Figure 7-3 Écran de fonctionnement normal
Pression de l’analyseur (les
unités sont sélectionnables
à partir du menu)
7.5E-09 mbar
Capillaire 23 C
Inlet
23 C
System OK
État de l’élément chauffant
du capillaire
État de l’élément chauffant
d’entrée
Ligne d’état
Appuyez sur une touche à partir de l’écran de fonctionnement normal pour afficher
l’écran Setup (Configuration).
31
Fonctionnement
Menu FUNCTIONS
(Fonctions)
Sélectionnez Setup  FUNCTIONS (Configuration  FONCTIONS)
Figure 7-4 Setup  FUNCTIONS (Configuration  FONCTIONS)
FUNCTIONS
La flèche pointant
vers la droite indique la sélection
en cours
PARAMETERS
SYSTEM
STATUS
Les choix de menu montrés dans la Figure 7-5 et dans la Figure 7-6 sont disponibles.
Figure 7-5 Choix du menu FUNCTIONS (Fonctions)
PUMP DOWN
SHUT DOWN
TURN HEATERS ON
TURN HEATERS OFF

La flèche vers le bas indique la
continuation du menu.
Figure 7-6 Choix du menu FUNCTIONS (Fonctions) (2)
OPEN INLET VALVE
CLOSE INLET VALVE
CALIBRATE ON
CALIBRATE OFF

La flèche vers le haut indique
la continuation du menu.

Figure 7-7 Choix du menu FUNCTIONS (Fonctions) (3)
BAKEOUT MANUAL
BAKEOUT TIMED
BAKEOUT OFF
RESET FILTER

REMARQUE
Tous les choix du menu FUNCTIONS (Fonctions) s’exécutent
immédiatement, à l’exception de Shut Down (Arrêt).
32
Fonctionnement
POMPAGE
Sélectionnez FUNCTIONS  PUMP DOWN (FONCTIONS  POMPAGE) pour pomper
le système.
Figure 7-8 FUNCTIONS  PUMP DOWN (FONCTIONS  POMPAGE)
PUMP DOWN
SHUT DOWN
TURN HEATERS ON
TURN HEATERS OFF

La ligne d’état indique System Pumping (Pompage du système) jusqu’à l’activation de la
turbopompe.
Figure 7-9 System Pumping
6.8E+02 mbar
Capillaire 23 C
Inlet
23 C
System Pumping
La vitesse en Hz et le régime en RPM (tr/mn) de la turbo sont indiqués avec le courant
d’entraînement.
Figure 7-10 Vitesse et régime du turbo
1.3E+01 mbar
Turbo
81 Hz
(4860 RPM)
Current 1.85 AMPS
33
Fonctionnement
SHUT DOWN
Sélectionnez FUNCTIONS  SHUT DOWN (FONCTIONS  ARRÊT) pour arrêter le
système.
Figure 7-11 FUNCTIONS  SHUT DOWN (FONCTIONS  ARRÊT)
PUMP DOWN
SHUT DOWN
TURN HEATERS ON
TURN HEATERS OFF

L’écran d’avertissement suivant s’affiche.
Figure 7-12 Écrans d’avertissement de l’arrêt
**** WARNING ****
Turning off Vacuum
with Sensor ON
may harm Filament

**** WARNING ****
Press OK to
Shut Down.
Any other key to abort

La pompe turbo s’arrête dès que la touche OK/SEL est sélectionnée.
Figure 7-13 Écran d’arrêt de la turbopompe
5.1E+01 mbar
Turbo
147 Hz
(8820 RPM)
Shutting Down
34
Fonctionnement
Choix du menu
PARAMETERS
(Paramètres)
Figure 7-14 Écran Setup  PARAMETERS (Configuration  PARAMÈTRES)
FUNCTIONS
PARAMETERS
SYSTEM
STATUS
Les écrans du menu PARAMETERS (Paramètres) s’affichent. Reportez-vous à la
Figure 7-15 et à la Figure 7-16.
Figure 7-15 Écran du menu PARAMETERS (Paramètres) 1
INLET HTR SETPT
CAP HTR SETPT
BAKEOUT START
BAKEOUT DURATION

Figure 7-16 Écran du menu PARAMETERS (Paramètres) 2
VENT DELAY
BUZZER VOLUME
GSD320 IP ADDRESS
PRESSURE UNITS

35
Fonctionnement
Exemple : changement du
point
de consigne de l’élément
chauffant de l’entrée
1 Sélectionnez PARAMETERS  INLET HTR SETPT
(PARAMÈTRES  PT DE CONSIGNE ÉLÉMENT CHAUFFANT ENTRÉE).
Figure 7-17 PARAMETERS  INLET HTR SETPT (PARAMÈTRES  PT DE
CONSIGNE ÉLÉMENT CHAUFFANT ENTRÉE)
INLET HTR SETPT
CAP HTR SETPT
BAKEOUT START
BAKEOUT DURATION

2 Appuyez sur OK SEL.
. Le INLET HTR SETPT (PT DE CONSIGNE ÉLÉMENT
CHAUFFANT ENTRÉE) s’affiche.
Figure 7-18 Affichage de INLET HTR SETPT (PT DE CONSIGNE ÉLÉMENT
CHAUFFANT ENTRÉE)

150 C
3 Changez le PT DE CONSIGNE ÉLÉMENT CHAUFFANT ENTRÉE en :
36

déplaçant le curseur avec les touches de flèches vers la gauche et vers la
droite.

modifiant les données avec les touches de flèche vers le haut et vers le bas.

acceptant le changement avec la touche OK SEL.
Fonctionnement
Choix du menu
SYSTEM
Figure 7-19 Setup  SYSTEM (Configuration  SYSTÈME)
FUNCTIONS
PARAMETERS
SYSTEM
STATUS
La sélection de Setup  SYSTEM ( Configuration  SYSTÈME) affichera le
message suivant au sujet de l’accès à la fonctionnalité avancée.
Figure 7-20 Écran du menu SYSTEM
**** NOTICE ****
Service Access
Not Authorized
Press OK
REMARQUE
Pour une assistance sur la fonctionnalité avancée du système, veuillez contacter votre
représentant Pfeiffer Vacuum local.
Choix du menu
STATUS (État).
Figure 7-21 Setup  STATUS (Configuration  ÉTAT)
FUNCTIONS
PARAMETERS
SYSTEM
STATUS
La sélection de STATUS (État) dans l’écran Setup (Configuration) fournit les choix de
menu indiqués ci-dessous.
Figure 7-22 Choix du menu STATUS (État)
SYSTEM
TURBO
GSD320 Info
37
Fonctionnement
Choix du menu STATUSSYSTEM (État-Système)
Figure 7-23 STATUS  SYSTEM (ÉTAT  SYSTÈME)
SYSTEM
TURBO
GSD320 Info

Figure 7-24 Choix du menu STATUS-SYSTEM (État-Système) 1
TURBO
MVP
INLET
BYPASS
ON
ON
OFF
OFF

Figure 7-25 Choix du menu STATUS-SYSTEM (État-Système) 2
CAL VLVE
OFF
INLET HTR
OFF
CAP HTR SETPT OFF
MAN HTR
OFF
Choix du
menu TURBO

Figure 7-26 STATUS  TURBO (ÉTAT  TURBO)
SYSTEM
TURBO
GSD320 Info
Figure 7-27 Écran du menu TURBO 1
TURBO
1500 Hz
(90010 RPM)
Current 0.88 Amps

Figure 7-28 Écran du menu TURBO 2
Pump Hrs 1850 Hr
Drive Hrs 2239 Hr


38
Fonctionnement
Figure 7-29 Écran du menu 3
BottomPlate
Bearing
Controller
Motor
34 C
34 C
45 C
42 C


Figure 7-30 Écran du menu 4
Turbo Errors
Errors NONE
Press any key to
exit
Choix du menu
d’informations sur le GSD
320

Figure 7-31 STATUS  GSD320 Info (ÉTAT  Infos sur le GSD320)
SYSTEM
TURBO
GSD320 Info
Figure 7-32 Écran du menu GSD320 Info 1
Version 0.9B
Compile 02-12-2009
Warning Code 0x00
0x00
Error Code
Version logicielle

Date de compilation
Voir les Codes
d’avertissements du système
Voir les Codes d’erreurs
du système
Figure 7-33 Écran du menu GSD320 Info 2
QMG220 IP
010.211.070.104
GSD320 IP
010.211.070.109

Adresses IP pour
PrismaPlus (QMG220)
et GSD320
REMARQUE
Le GSD320 est livré avec des adresses par défaut dans la plage de 192.168.x.x. Ne
modifiez pas ces adresses avant qu’il ne le soit demandé dans la Configuration du
système on page 45.
39
Fonctionnement
Erreur de turbo
En cas d’erreur de turbopompe, un message d’erreur s’affiche.
Le numéro de l’erreur peut être référencé dans le manuel de l’utilisateur de la
turbopompe.
Figure 7-34 Écran d’erreur de la turbopompe
9.2E+00 mbar
Turbo
898 Hz
(52200 RPM)
Turbo Err006
Sélectionnez STATUS  TURBO (ÉTAT  TURBO)
Figure 7-35 STATUS  TURBO (ÉTAT  TURBO)
SYSTEM
TURBO
GSD320 Info
La page TURBO ERROR (Erreur de turbo) s’affiche.
Figure 7-36 Écran d’erreur de la turbopompe
Turbo Errors
Err006 Press OK
to clear, any
other key to exit
Appuyez sur OK SEL.

pour effacer l’erreur,
Figure 7-37 Écran d’erreur de la turbopompe effacé
Turbo Errors
Errors NONE
Press any key to
exit

Appuyez sur une touche pour revenir au menu d’état.
40
Fonctionnement
Rappel pour le
nettoyage des filtres
du GSD 320
Les filtres se trouvant sur le côté du GSD 320 doivent être nettoyés ou remplacés tous
les trois mois. Au bout de trois mois, le rappel suivant de nettoyage ou de remplacement
des filtres s’affiche.
Figure 7-38 Écran de rappel des filtres
*** Attention ***
GSD320 Filter
should be cleaned
See User Manual

L’écran suivant s’affiche et persiste jusqu’à ce que OK SEL soit appuyé.
Figure 7-39 Écran de rappel des filtres 2
*** Attention ***
Press OK to
continue

Si le filtre n’est pas nettoyé, le message d’attention réapparaît et nécessite une
confirmation par un utilisateur pour que le menu du GSD 320 soit utilisable à nouveau.
Après le nettoyage ou le remplacement des filtres, un nouvel intervalle des filtres doit
être actualisé en recherchant le menu Reset Filter Time (Réinitialiser intervalle des
filtres) dans FUNCTIONS  RESET FILTER TIME (FONCTIONS  RÉINITIALISER
INTERVALLE DES FILTRES). Appuyez sur OK SEL pour actualiser l’intervalle des
filtres.
Figure 7-40 Écran du menu FUNCTIONS (Fonctions) 2
TURN HEATERS OFF
TURN BAKEOUT ON
TURN BAKEOUT OFF
RESET FILTER TIME

41
Fonctionnement
Changement de
l’adresse IP
REMARQUE
Le GSD 320 est livré avec des adresses par défaut dans la plage de 192.168.x.x. Ne
modifiez pas ces adresses avant qu’il ne le soit demandé dans la section, page 45.
1 Sélectionnez PARAMETERS  GSD320 IP Address (PARAMÈTRES  Adresse
IP du GSD320), appuyez sur OK SEL.
Figure 7-41 PARAMETERS  GSD320 IP Address
(PARAMÈTRES  Adresse IP du GSD320)
BAKEOUT START
BAKEOUT DURATION
VENT DELAY
 GSD320 IP Address


2 Ajustez l’adresse IP à l’aide du curseur. Les touches de flèches VERS LE HAUT/
VERS LE BAS augmentent/diminuent le nombre. Les touches de flèches VERS LA
GAUCHE/VERS LA DROITE déplacent le curseur. OK SEL démarre la modification
de l’adresse IP.
Figure 7-42 Écran de réglage de l’adresse IP
010.211.070.109
3 Une fois que OK SEL a été sélectionné, l’écran suivant indique que la modification
de l’adresse IP est en cours.
Figure 7-43 La modification de l’adresse IP est en cours
*** WAIT ***
Configuring IP
Please wait

4 Si la configuration de l’adresse IP est réussie, un écran Success s’affiche.
Figure 7-44 Réussite de la configuration de l’adresse IP
*** Success ***
IP Configuration
of GSD320 success
010.211.070.109
42
Fonctionnement
5 En cas d’échec de la configuration de l’adresse IP, un écran Failure (Échec) s’affiche.
L’adresse IP est réinitialisée à son réglage précédent.
Figure 7-45 Échec de la configuration de l’adresse IP
*** FAILURE***
IP Configuration
of GSD320 failed
010.211.070.109
Étuvage impossible
si le système n’est
pas sous vide
Si le système n’est pas sous vide, l’élément chauffant du capillaire ne peut pas être
activé. Si la sélection d’étuvage est effectuée, un message d’attention s’affiche et
l’étuvage n’est pas permis.
Figure 7-46 Le système n’est pas sous vide
1.3E+02 mbar
Capillaire 23 C
Inlet
23 C
System OFF
Figure 7-47 PARAMETERS  TURN BAKEOUT ON
(PARAMÈTRES  ACTIVER ÉTUVAGE)
SHUT DOWN
TURN HEATERS ON
TURN HEATERS OFF
TURN BAKEOUT ON


Figure 7-48 Message d’étuvage impossible
*** ATTENTION ***
Can Not Bakeout
if the system is
not under vacuum
43
Fonctionnement
7.2
Fonctionnement à partir de QUADERA
Ce chapitre fournit les instructions pour la configuration du système GSD 320 et du
QMG 220, qui est interne au système, et pour l’exploitation du GSD 320 à l’aide de
l’add-in QUADERA.
Ces instructions présument que QUADERA 4.00 ou ultérieur est installé, que QUADERA
dispose d’une licence pour utiliser l’add-in GSD 320 et que l’ordinateur et le GSD 320
sont connectés par l’intermédiaire d’un réseau ou d’un câble croisé Ethernet.
Informations
générales
Adresses IP
DHCP

Le système GSD 320 utilise deux adresses IP : une pour le contrôleur GSD 320 et
une pour le QMG 220, qui est interne au système. Les deux adresses IP doivent être
définies sur le même réseau, en utilisant la même identification réseau et la même
identification partielle d’hôte. Par exemple, lors de la définition de l’adresse du GSD
320 et QMG 220, chacune est définie en usine avec un numéro 192.168.x.x.

Si le GSD 320 est connecté à un réseau, alors les adresses IP du GSD 320 et de
QMG 220 doivent être définies avec des adresses basées sur le réseau et
disponibles sur ce dernier. L’ordinateur procédera probablement à l’acquisition
automatique de son adresse IP, il n’est donc pas nécessaire de définir une adresse
sur l’ordinateur. Toutefois, vous aurez besoin de définir temporairement l’adresse IP
de l’ordinateur dans les étapes 2 à 12 de la Configuration du système on page 45.

Si le GSD 320 est connecté directement à l’ordinateur, alors les adresses IP du GSD
320 et de QMG 220 doivent être définies dans la même plage que l’adresse IP de
l’ordinateur. L’ordinateur doit être réglé avec une adresse IP fixe en cas d’utilisation
d’une connexion directe.
Pour le système GSD 320, il est fortement recommandé de régler DHCP sur off sur le
QMG 220. Si DHCP reste activé, chaque nouvelle attribution d’une adresse IP (à partir
du réseau) nécessitera la répétition des étapes 16-28 de la Configuration du système on
page 45 par l’utilisateur.
Reportez-vous au fichier « Readme » de QUADERA pour obtenir des informations
pratiques sur les « adresses IP » et les « connexions de point à point ».
Installation
des logiciels
Pour installer QUADERA, insérez le CD d’installation de QUADERA dans le lecteur de
CD-ROM. La procédure d’installation doit démarrer automatiquement après quelques
secondes.
Si l’installation ne démarre pas au bout de 30 secondes, la fonction de démarrage
automatique du lecteur est peut être désactivée. Dans ce cas, accédez au lecteur de CDROM à l’aide de Windows Explorer® et exécutez le fichier index.html. Une alternative
consiste à exécuter le fichier Setup.exe depuis le dossier logiciel du CD QUADERA CD
; dans ce cas, vous devez également lire le fichier Readme.html contenu dans ce même
dossier.
Reportez-vous au manuel de QUADERA (QUADERA.pdf), situé dans le dossier
\Manuals du CD, pour davantage d’informations sur l’installation de QUADERA.
44
Fonctionnement
Configuration du
système
Afin d’utiliser le GSD 320 avec QUADERA, le QMG 220 et le contrôleur GSD 320 doivent
être configurés. Les deux dispositifs sont basés sur Ethernet et requièrent donc chacun
une adresse IP unique sur le même réseau. Les adresses IP d’usine par défaut sont :
QMG 220 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 192.168.1.101
GSD 320 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 192.168.1.102
Suivez les étapes suivantes pour configurer le système pour une connexion à un réseau.
REMARQUE
Ces instructions présument que l’adresse IP du GSD 320 n’a pas été modifiée par
l’intermédiaire du panneau avant.
1 Raccordez le câble droit fourni entre le GSD 320 et l’ordinateurs.
2 Sur le PC, indiquez 192.168.1.103 pour l’adresse IP fixe
(et 255.255.0.0 pour le masque de sous réseau requis).
REMARQUE
Reportez-vous à l’aide de Windows® relative au paramétrage de TCP/IP pour une
assistance sur la définition d’une adresse IP.
3 Exécutez QUADERA.
REMARQUE
N’exécutez pas l’add-in GSD 320.
4 Ouvrez la boîte de dialogue Device Setup (Configuration de l’appareil) à l’aide de la
sélection de menu Device >> Device Setup (Appareil >> Configuration de
l’appareil). Appuyez sur le bouton Search (Rechercher) pour ouvrir la boîte de
dialogue Device Search (Recherche d’appareil) et recherchez le QMG 220. Si aucun
appareil n’est affiché, appuyez plusieurs fois sur le bouton Search (Rechercher)
jusqu’à ce que l’appareil apparaisse.
5 Sélectionnez le QMG 220 trouvé et ajoutez-le au système à l’aide du bouton Add
(Ajouter). La boîte de dialogue Device Search (Recherche d’appareil) se ferme.
6 Mettez le QMG 220 en surbrillance dans la liste Device Setup (Configuration
d’appareil) et appuyez sur Configure.
REMARQUE
N’appuyez pas sur OK.
7 Pour le QMG 220, indiquez une adresse IP appropriée et disponible pour votre
réseau et appuyez sur le bouton Change (Modifier) pour appliquer les modifications.
REMARQUE
Pour les systèmes à connexion directe : Si le GSD 320 ne sera pas utilisé sur un
réseau et qui ne sera utilisée qu’avec une connexion directe avec l’ordinateur, la
modification de cette adresse IP n’est pas nécessaire. Dans ce cas, le GSD 320,
QMG 220 et l’ordinateur peuvent tous utiliser les adresses de la plage 192.168.x.x et
les étapes 9 à 13 peuvent être ignorées. Passez directement à l’étape 14.
45
Fonctionnement
REMARQUE
Si l’adresse IP est modifiée à l’aide de l’étape 7 ci-dessus, vous devez attendre un
minimum de 6 minutes avant de continuer.
8 Fermez la boîte de dialogue Configure.
9 Appuyez sur OK dans la boîte de dialogue Device Setup (Configuration d’appareil).
Ignorez tout message d’erreur qui s’affiche et appuyez sur OK. L’adresse IP a été
modifiée.
10 Quittez QUADERA.
11 Changez l’adresse IP du GSD 320 provenant du panneau avant pour une adresse
appropriée et disponible sur le réseau. Reportez-vous à la section, page 42 pour des
instructions détaillées sur le changement de l’adresse IP du panneau avant.
12 Changez l’adresse IP sur l’ordinateur pour une adresse appropriée et disponible sur le
réseau ou définissez-la sur « Obtain an IP address automatically » (Obtenir
automatiquement une adresse IP).
REMARQUE
Reportez-vous à l’aide de Windows® relative au paramétrage de TCP/IP pour une
assistance sur la définition d’une adresse IP.
13 Démarrez QUADERA.
14 Exécutez l’add-in GSD 320. Chargez l’add-in GSD 320 à partir de la sélection du
menu Tools >> Programming >> Add-in Manager (Outils >> Programmation >>
Gestionnaire des add-ins) (reportez-vous à la Figure 7-49).
Figure 7-49 Sélection du menu du gestionnaire des add-ins
46
Fonctionnement
15 Cochez la case GSD 320 et appuyez sur le bouton OK pour charger l’add-in
(reportez-vous à la Figure 7-50). Le formulaire principal de l’add-in GSD 320 se
charge. Reportez-vous au Figure 7-51.
Figure 7-50 Sélection de l’Add-in GSD 320 à démarrer
Figure 7-51 Formulaire principal de l’add-in GSD 320
47
Fonctionnement
16 Sélectionnez le GSD 320 dans la liste déroulante des appareils (Device) illustrée
dans la Figure 7-51. Si aucun appareil n’est affiché, appuyez plusieurs fois sur le
bouton Refresh (Actualiser) jusqu’à ce que l’appareil figure dans la liste déroulante.
Si le GSD 320 s’affiche dans la liste des appareils, passez à l’étape 22, page 50. Si
le GSD 320 n’apparaît pas dans la liste des appareils, passez à l’étape 17.
17 Appuyez sur la touche Config, comme indiqué dans la Figure 7-51 pour ouvrir la
boîte de dialogue Configuration (Configurer) représentée ci-dessous dans la
Figure 7-52.
Figure 7-52 La boîte de dialogue Configure du GSD 320
REMARQUE
La boîte de dialogue Configuration permet la modification de l’adresse IP de GSD 320,
du nom et de sa reconnaissance du QMG 220 dans le GSD 320. QUADERA
communiquant essentiellement avec le QMG 220, cette information est importante. Si le
système a été préconfiguré, les adresses IP du GSD 320 et du QMG 220 seront définies
sur le même réseau (par exemple : 192.168.x.x).
48
Fonctionnement
18 Appuyez sur le bouton Find by IP (Rechercher par IP) représenté dans la Figure 7-52.
19 Entrez manuellement l’adresse IP du GSD 320 appropriée pour votre ordinateur ou
pour votre application réseau.
20 Cliquez sur le bouton Retrieve (Récupérer) comme indiqué dans la Figure 7-53
ci dessous.
Figure 7-53 Boîte de dialogue de configuration montrant le bouton Retrieve
21 Dès que vous cliquez sur le bouton Retrieve (Récupérer), le dialogue représenté
dans la Figure 7-54 doit apparaître et indiquer les valeurs propres à votre système.
REMARQUE
S’il vous a été demandé de suivre les étapes 17 à 21, ignorez l’étape 22 et passez à
l’étape 23.
49
Fonctionnement
22 Appuyez sur la touche Config, comme indiqué dans la Figure 7-51 pour ouvrir la
boîte de dialogue Configuration (Configurer) représentée ci-dessous dans la
Figure 7-52.
23 Appuyez sur le bouton Edit (Modifier) représenté dans la Figure 7-54.
Figure 7-54 Boîte de dialogue de configuration montrant le bouton Edit
24 Changez l’adresse IP du QMG 220 sur la même adresse IP définie dans l’étape 7,
page 45. Cette étape ne modifie en fait pas l’adresse IP du QMG 220 ; elle change
les informations utilisées par le GSD 320 pour comprendre quel QMG 220 est
présent dans le système. Il est très important de saisir correctement cette
information. Si cette adresse IP correspond déjà à celle utilisée dans l’étape 7, alors
aucune modification n’est requise.
25 Appuyez sur le bouton Update (Mettre à jour) si une modification a été apportée dans
l’étape 24.
26 Fermez puis ouvrez l’Add-In Manager pour activer la nouvelle adresse du QMG220.
REMARQUE
Pour rouvrir le formulaire principal de l’add-in, sélectionnez Tools (Outils) >>
Programming (Programmation) >> Macros pour ouvrir la fenêtre de macros. Cliquez
ensuite sur Show_GSD320_Dialog et sélectionnez Run (Exécuter). Le formulaire
principal de l’add-in s’ouvre.
Vous pouvez aussi sélectionner Tools (Outils) >> Programming (Programmation) >>
Add-In Manager (Gestionnaire des add-ins) pour ouvrir la fenêtre du gestionnaire des
add-ins. Décochez ensuite la case GSD 320 et sélectionnez OK. Rouvrez la fenêtre du
gestionnaire des add-ins, cochez la case GSD 320, puis appuyez sur OK. Le formulaire
principal de l’add-in s’ouvre.
27 Appuyez ensuite sur le bouton Config (Configurer).
50
Fonctionnement
28 Appuyez sur le bouton Verify (Vérifier). QUADERA se connecte à l’appareil et vérifie
le GSD320 et le QMG 220.
REMARQUE
Cette étape est essentielle, car elle établit la relation système entre le GSD 320 et le
QMG 220.
29 Fermez la boîte de dialogue Configuration.
Le système doit maintenant être prêt à fonctionner.
Fonctionnalité du
GSD 320 à partir de
l’add-in
La liste suivante des fonctions est disponible à partir de l’add-in GSD 320 (reportez-vous
à la Figure 7-51).
Device (Appareil) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Cette liste déroulante permet la sélection
d’un GSD 320 connecté au système.
Refresh (Actualiser) . . . . . . . . . . . . . . . . . . Ce bouton permet de rechercher les
appareils GSD 320 et d’actualiser la liste
d’appareils.
Config. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Permet d’accéder à la boîte de dialogue de
configuration (reportez-vous à la Figure 7-52).
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Une boîte de dialogue d’informations
concernant la turbopompe et le contrôleur
dans GSD 320.
Recipe (mesure). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Permet la navigation et la sélection d’une
mesure.
REMARQUE
Une mesure en balayage analogique peut être exécutée sur le GSD 320, mais les
données ne seront pas mises en graphiques dans les panneaux de diagrammes à
barres. Les mesures en balayage analogiques ne contiennent pas de masses
individuelles et ne peuvent donc pas faire l’objet de graphiques à barres avec des
masses individuelles. Utilisez la zone de travail principale de QUADERA (c’est-à-dire
de graphique de données) pour afficher les données d’une mesure en balayage
analogique.
Save Measurement Project File
(Enregistrer le fichier du projet
de mesures) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Pour trouver cette case à cocher, cliquez sur
le bouton Data File Setup (Paramétrage du
fichier de données). Cette option doit être
sélectionnée pour permettre l’enregistrement
des données.
Mass. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Les masses de la mesure sont répertoriées
et peuvent être sélectionnées pour un
affichage dans les panneaux de diagrammes
à barres sur la droite de l’add-in.
Min Range (Plage minimum) . . . . . . . . . . . Définit la valeur minimum de l’axe Y dans les
panneaux de diagrammes à barres sur la
droite de l’add-in.
Max Range (Plage maximum) . . . . . . . . . . Définit la valeur maximum de l’axe Y dans
les panneaux de diagrammes à barres sur la
droite de l’add-in.
51
Fonctionnement
Connect . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Connecte QUADERA au GSD 320 pour les
communications et le contrôle. Quand la
connexion est établie, ce bouton s’affiche
et fonctionne comme « Déconnexion ».
Pump Down (Pompage). . . . . . . . . . . . . . . Démarre la séquence pompage du GSD 320
pour son fonctionnement.
Run (Exécuter) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Démarre la mesure.
Setup Input Trigger (Paramétrer le
déclenchement des entrées) . . . . . . . . . . . Lorsque cette option est activée, QUADERA
s’exécute conformément au statut des
entrées numériques. Les éventuelles
spécifications de l’utilisateur seront
enregistrées jusqu’à ce qu’il choisisse de les
modifier ou qu’il désactive le mode d’exécution
déclenchée.
REMARQUE
Lorsque la case à cocher Close Measure Project on Stop (Fermer le fichier de mesures
lors de l’arrêt) est sélectionnée, QUADERA génère un nom de fichier de données
différent pour chaque cycle déclenché.
Lorsque la case à cocher Start Immediately (Démarrage immédiat) est sélectionnée,
QUADERA s’exécute automatiquement dès que le déclenchement du démarrage est
activé.
Stop (Arrêter) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Arrête la mesure.
Shut Down (Arrêt) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Démarre la séquence d’arrêt du système de
pompage du GSD 320.
Bake Out (Étuvage) . . . . . . . . . . . . . . . . . . Démarre le processus d’étuvage utilisant les
paramètres de la boîte
de dialogue Config.
Configure Bake Out
(Configurer l’étuvage) . . . . . . . . . . . . . . . . Permet l’accès à la boîte
de dialogue Bake Out Configuration
(Configuration de l’étuvage) (reportez-vous
à la Figure 7-55).
Total Pressure (Pression totale) . . . . . . . . . Affiche la pression totale de l’analyseur.
Open Inlet
(Ouverture de l’admission) . . . . . . . . . . . . . Ouvre l’admission.
Errors and Warnings
(Erreurs et avertissements) . . . . . . . . . . . . Affiche les avertissements correspondant
aux erreurs qui se produisent dans
le système.
Status (État) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Affiche l’état du système.
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Filament Désactivé
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Filament Activé
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Multiplicateur d’électrons Désactivé
52
Fonctionnement
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Multiplicateur d’électrons Activé
Figure 7-55 Bake Out Configuration (Configuration de l’étuvage)
Les paramètres suivants servent à la configuration de l’étuvage : ces paramètres sont
interdépendants, c’est-à-dire que la modification d’un peut affecter les autres :
Start Date (Date de démarrage). . . . . . . . . La date prévue du prochain démarrage de
l’étuvage.
Start Time (Heure de démarrage) . . . . . . . L’heure prévue du prochain démarrage de
l’étuvage.
End Date (Date de fin) . . . . . . . . . . . . . . . . La date prévue de la fin du prochain étuvage.
End Time (Heure de fin) . . . . . . . . . . . . . . . L’heure prévue de la fin du prochain étuvage.
Duration of Bake Out
(Durée de l’étuvage). . . . . . . . . . . . . . . . . . La durée en heures et minutes de l’exécution
de l’étuvage.
REMARQUE
Le réglage de la date et de l’heure de démarrage ne démarre en fait pas la minuterie
pour l’exécution de l’étuvage suivant. Une fois que ces réglages ont été programmés,
le bouton Bake Out (Étuvage) du panneau de commande principal du GSD 320 doit être
appuyé pour démarrer la minuterie.
53
Fonctionnement
Les paramètres suivants s’affichent pour montrer la configuration actuelle de l’étuvage.
La configuration actuelle de l’étuvage est contenue dans le GSD 320 et reste en vigueur
jusqu’à sa modification avec le bouton Set New Values (Définir nouvelles valeurs) :
Begin in (Commencer dans) . . . . . . . . . . . Un décompte en heures et minutes jusqu’au
démarrage de l’étuvage.
Duration (Durée) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . La durée en heures et minutes de l’exécution
de l’étuvage.
Bake Out Status (État de l’étuvage) . . . . . . . . . L’état actuel de l’étuvage.
Des fonctions suivantes sont disponibles dans la boîte de dialogue de configuration de
l’étuvage :
Manual Bake (Étuvage manuel). . . . . . . . . Démarre l’étuvage immédiatement, quels
que soient les paramètres associés de date
et d’heure.
Set New Values
(Définir nouvelles valeurs) . . . . . . . . . . . . . Traduit les paramètres de
« Configure Bake Out » (Configuration de
l’étuvage) et les transfert dans le
GSD 320 afin de produire les nouveaux «
Current Bake Out Settings » (Paramètres
actuels de l’étuvage).
Cancel (Annuler) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Annule les modifications apportées à la boîte
de dialogue.
REMARQUE
Le GSD 320 doit sous vide afin de pouvoir effectuer l’étuvage. L’étuvage n’est pas
permis si le système n’est pas sous vide.
54
Vari OmniStar
8
Vari OmniStar
8.1
Sécurité
Les instructions de sécurité du Vari OmniStar sont conformes aux informations du 2,
Sécurité.
8.2
Usage prévu
Le GSD 320 Vari OmniStar avec régulateur EVR 116 le contrôleur RVC 300 est conçu
pour le contrôle manuel ainsi que pour l’analyse automatique des gaz non corrosifs et
ininflammables (dans la limite de la compatibilité du matériel, des TLV et des dispositifs
de verrouillage).
Validité
Ce manuel concerne le produit :
Figure 8-1 Code de validité du manuel
8 OmniStar
0 Gaz non corrosifs et ininflammables
PTM 8 0 W
55X Y Z
1 Code numérique pour les configurations
spéciales
1 Plage de masse 1-100
2 Plage de masse 1-200
3 Plage de masse 1-300
3 Code numérique de configuration du module
d’entrée
1 Code numérique de configuration du système/
capteur de pompage

Unité de commande de système de dosage du gaz RVC 300, PFI00792

Vanne de régulation EVR 116, PFI39933
55
Vari OmniStar
8.3
Conception
Les composants principaux du Vari OmniStar sont illustrés dans la Figure 8-2.
Figure 8-2 Composants principaux du Vari OmniStar
OmniStar avec
distributeur intégré
EVR 116
Bride de
raccordement
DN 16 KF
RVC300
Figure 8-3 Schéma fonctionnel du Vari OmniStar
contrôleur RVC 300
PKR
MINI vanne
réchauffeur
M
QMA 200
IS
EVR 116 vanne de régulation
DN 16 ISO-KF
v
PrismaPlus
v
Orifice
Purgeur
pompe turbo
avec le port
de pompage
interétatique
Vanne électromagnétique spécial
Pompe à membrane
Le Vari OmniStar équipé d’un distributeur EVR 116 et d’un contrôleur de vanne RVC 300
permet l’échantillonnage de gaz dans une plage de pressions comprise entre 5E-3 mbar
et 1 000 mbar. Le système est raccordé à la chambre de traitement à échantillonner par
une bride de type DN 16 KF. Le débit du gaz allant de la chambre de traitement vers la
chambre d’analyse du Vari OmniStar est contrôlé par un distributeur EVR 116 équipé
d’un contrôleur RVC et de deux vannes d’arrêt à fonctionnement électromagnétique. La
pression d’analyseur à réguler est mesurée par un manomètre PKR 251 monté sur la
chambre d’analyse. Si la pression de service est inférieure à 5E-3 mbar, le système ne
parvient pas à réguler et continue le prélèvement d’échantillons avec la vanne vari
ouverte, la vanne à haute conductance ouverte et la vanne de dérivation fermée. Si la
pression de l’analyseur est mesurée supérieure à 1E-4 mbar, les vannes se ferment
automatiquement.
L’état du distributeur EVR 116 ainsi que celui des deux vannes d’arrêt à fonctionnement
électromagnétique s’affichent sur le panneau avant du GSD 320. En fonction de la
pression de service, le distributeur ainsi que les vannes d’arrêt sont réglés pour permettre
une réduction optimale de la pression avec un fractionnement minimum des gaz dans la
chambre d’analyse. Le Vari OmniStar est conçu pour le dépistage des variations
graduelles de pression ; il peut ne pas être capable de prendre en charge les
changements extrêmes de pression ou les poussées.
56
Vari OmniStar
Lorsque la pression de service est élevée, elle est, en premier lieu, réduite par le
distributeur EVR 116 par pompage par le port inter-étage de la pompe turbomoléculaire
HiPace 80 à travers la vanne électromagnétique spéciale, également appelée vanne de
dérivation. Une seconde réduction de pression est accomplie par un diaphragme en
platine dans la source d’ions du spectromètre de masse.
Lorsque la pression de service est basse, sa réduction à la pression constatée dans le
spectromètre de masse est accomplie par le seul distributeur. Dans ce cas, la vanne
électromagnétique spéciale reliée à la turbopompe se ferme et la mini-vanne EVI 005 MI
(également appelée vanne haute conductance) s’ouvre.
8.4
Installation
Raccordement du
Vari OmniStar sur le
point de mesure
Le raccordement du Vari OmniStar au point de mesure se fait par une bride DN 16 KF
fixée sur le tube. La ligne de raccordement doit être aussi courte que possible afin de
réduire le volume mort additionnel et d’obtenir un temps de réponse minimum.
Raccordement de
l’OmniStar au
contrôleur RVC 300
Le raccordement du Vari OmniStar au contrôleur RVC 300 se fait par quatre câbles.
Un câble relie directement le contrôleur RVC 300 au distributeur EVR 116. Ce câble est
déjà installé sur le Vari OmniStar. Raccordez le connecteur à la prise X9 VALVE
correspondante, située à l’arrière du RVC 300.
Un deuxième câble raccorde le manomètre PKR 251, situé sur la chambre d’analyse du
Vari OmniStar, au contrôleur RVC 300. Ce câble est déjà installé sur le Vari OmniStar.
Raccordez le connecteur à la prise X2 sensor correspondante, située à l’arrière du
RVC 300.
Les troisième et quatrième câbles servent d’interface entre le Vari OmniStar et le
RVC 300 ; ils transfèrent les signaux analogiques et numériques dans les deux sens.
Ces câbles sont déjà installés sur l’OmniStar. Raccordez le connecteur aux prises X6
analog in/out et X7 digital in/out correspondantes, situées à l’arrière du contrôleur
RVC 300.
Raccordement de
l’alimentation
Raccordez le Vari OmniStar à la source d’alimentation conformément à la procédure
indiquée dans la section 5.8 on page 29 de ce manuel d’utilisation. Reportez-vous au
mode d’emploi du contrôleur de pression RVC 300 pour son raccordement à la source
d’alimentation.
ATTENTION
Le potentiel de mise à la masse doit être équivalent pour le Vari OmniStar et le
contrôleur RVC 300.
57
Vari OmniStar
8.5
Premier démarrage
Démarrez le Vari OmniStar comme indiqué dans la section 6.1 on page 30 et la section
6.2 on page 30 de ce manuel. Reportez-vous au mode d’emploi du contrôleur de pression
RVC 300 pour connaître sa procédure de démarrage.
Contrôle des
paramètres du
RVC 300
Le contrôleur RVC 300 a été configuré pour fonctionner correctement conjointement
avec le Vari OmniStar. Les réglages doivent être vérifiés avant la mise en marche initiale.
Tous les paramètres sont indiqués dans l’Annexe A.
Si une valeur diffère du paramétrage indiqué dans l’Annexe A, appliquez-lui la valeur
indiquée dans l’Annexe A.
Pour modifier un réglage, reportez-vous au mode d’emploi du contrôleur RVC 300.
Contrôle de la
température
L’admission du Vari OmniStar doit être chauffée à une température atteignant 70 °C pour
éviter la condensation des gaz. Activez l’élément chauffant de l’entrée avec le panneau
avant du Vari OmniStar.
ATTENTION
L’élément chauffant ne doit être activé que si son isolant et les panneaux du four sont
en place. Dans le cas contraire, la température prédéfinie peut ne pas être atteinte.
Activation du
système d’admission
Le système d’admission passe en mode veille après la vidange du Vari OmniStar. Les
réglages automatiques des deux vannes à fonctionnement électromagnétique et du
distributeur sont appliqués par l’activation du panneau avant du Vari OmniStar, comme
indiqué dans cette section.
Le panneau avant affiche des graphiques correspondant à l’état du Vari OmniStar. Ces
états sont : Closed (Fermé), In Regulation (Régulation en cours), Out of Regulation
(Régulation arrêtée) et Maximum Pressure (Pression maximum). Les états In Regulation
(Régulation en cours) et Out of Regulation (Régulation arrêtée) indiquent que la vanne
est dans une position intermédiaire entre l’ouverture complète et la fermeture, et que la
pression est soit régulée, soit non régulée. Le pourcentage d’ouverture de la vanne
s’affiche également sur le panneau avant ; ce sujet est abordé dans la Écran de
régulation de la pression on page 59.
La pression de l’analyseur affichée sur le panneau avant correspond à la pression totale
de la chambre d’analyse PKR 251.
Écran de fonctionnement
normal
L’écran de fonctionnement NORMAL consécutif à la vidange est représenté dans la
Figure 8-4.
Figure 8-4 Écran de fonctionnement normal, Fermé
7.5E-09 mbar
Vari Valve Closed
70 C
Inlet
’’ to Start VariV
Pression de l’analyseur (les
unités sont sélectionnables à
partir du menu)
État de la vanne Vari
État de l’élément chauffant
d’entrée
Ligne d’état
Dans l’écran de fonctionnement normal, appuyez sur ’’ pour démarrer la régulation de
la pression par le RVC 300, ou sur une autre touche pour afficher l’écran Setup
(Configuration).
58
Vari OmniStar
Écran de régulation de la
pression
L’écran de fonctionnement en mode REGULATION lors du pompage est montré dans la
Figure 8-5.
Les symboles >+25+< s’affichent sur le panneau avant afin d’indiquer si la vanne est
fermée ou ouverte et si la pression de l’analyseur est ou non en cours de régulation. Les
signes plus (+) et les flèches orientées vers l’intérieur indiquent que la pression est en
cours de régulation. Le nombre vingt-cinq signifie que la vanne est ouverte à 25 pour
cent. Le panneau avant représenté dans la Figure 8-5 décrit un système dont la pression
est régulée et une vanne ouverte à 25 pour cent. Le panneau avant représenté dans la
Figure 8-6 décrit un système dont la pression n’est pas régulée et une vanne ouverte à
25 pour cent.
Figure 8-5 Écran de fonctionnement en mode régulation (valeur de consigne
RVC = 2,00E-06 mbar)
2.00E-06 mbar
Vari Valve >+25+<
Inlet
70 C
System OK
Pression de l’analyseur (les
unités sont sélectionnables à
partir du menu)
État de la vanne Vari
État de l’élément chauffant
d’entrée
Ligne d’état
Figure 8-6 Écran de fonctionnement sans régulation (valeur de consigne
RVC = 2,00E-06 mbar)
2.51E-06 mbar
Vari Valve <-25->
Inlet
70 C
System OK
Vanne Vari et cycle haute
conductance
Pression (les unités sont
sélectionnables à partir
du menu)
État de la vanne Vari
État de l’élément chauffant
d’entrée
Ligne d’état
Il peut être nécessaire d’ouvrir (activer) la haute conductance pour que le système
atteigne une pression comprise dans la plage de régulation. Le système débute un cycle
visant à atteindre la plage de pression acceptable par l’ouverture de la vanne vari. À ce
point, le panneau avant n’affiche plus l’état fermé, mais quelque chose de similaire à la
Figure 8-6. Comme la vanne vari s’ouvre progressivement, le pourcentage d’ouverture
de la vanne augmente sur l’afficheur du panneau avant. Si une pression de régulation
est atteinte à un moment quelconque au cours de l’ouverture de la vanne vari, les
symboles moins entourant la valeur du pourcentage d’ouverture de la vanne se
transforment en symboles plus et la vanne reste dans cette position. Il arrive parfois que
le système ne puisse pas atteindre la pression de régulation bien que la vanne soit
restée ouverte en permanence. Dans ce cas, la vanne vari s’arrête et la vanne haute
conductance s’ouvre. La vanne vari commence alors le processus graduel d’ouverture
jusqu’à ce que le système atteigne une pression de régulation.
59
Vari OmniStar
Désactivation de
l’admission Vari OmniStar
L’écran de fonctionnement PRESSURE CONTROL (Contrôle de la pression) représenté
dans la Figure 8-7 est employé pour arrêter la vanne vari ou afficher l’état des vannes.
Figure 8-7 Configuration  Contrôle de la pression
SYSTEM
STATUS
CONFIGURE
PRESSURE CONTROL
Figure 8-8 Désactivation de l’écran de contrôle de la pression
 Vari Valve
OFF
OFF
ON
High Conduct
BYPASS
Protection de la Vari
OmniStar contre
l’augmentation rapide
de pression sur le point de
mesure
Fermer la vanne EVR 116
État de la vanne HC
État de la vanne
de dérivation
Conjointement avec le contrôleur RVC 300, le distributeur EVR 116 maintient la pression
au sein de la chambre d’analyse du Vari OmniStar à une valeur constante. Néanmoins,
il convient de prendre des précautions si la pression constatée au point de mesure du
Vari OmniStar augmente trop rapidement.
ATTENTION
Le distributeur dispose d’un temps de réaction limité pour compenser les changements
de pression sur le point de mesure du Vari OmniStar. Si la pression augmente trop
rapidement, le distributeur peut ne pas être assez rapide pour réduire la conductance.
Ceci peut entraîner une condition de surpression dans la chambre d’analyse du Vari
OmniStar. Par exemple, si la pression de service monte de 5E-3 mbar à 1 000 mbar en
moins de 60 secondes, vous devez tout d’abord fermer manuellement le distributeur en
désactivant l’entrée Vari avant que la pression commence à augmenter. Référez-vous à
la section , Désactivation de l’admission Vari OmniStar, page 60 pour désactiver
l’admission du Vari.
8.6
Entretien du Vari OmniStar
Contactez votre centre de services de Pfeiffer Vacuum local si:

l’EVR 116 n’opère pas un contrôle correct

le diaphragme est bloqué

l’une des vannes ne s’ouvre ou ne se ferme pas correctement
AVERTISSEMENT
Le contact avec les pièces sous tension est dangereux. Débranchez toujours le produit
du secteur avant d’effectuer la maintenance.
60
Vari OmniStar
8.7
Vue d’ensemble des pièces du système d’admission
La Figure 8-9 montre un système d’admission totalement démonté.
Figure 8-9 Composants principaux du système d’admission
Distributeur
EVR 116
Vanne
électromagnétique
spéciale (dérivation)
8.8
Interface avec
serrage spécial
Mini-vanne
EVI 005 MI
(haute-cond.)
Remplacement de l’EVR 116
Procédure
de remplacement
de l’EVR 116
AVERTISSEMENT
L’entretien ne doit être accompli que par un personnel formé.
AVERTISSEMENT
Respectez toutes les mises en garde de sécurité de ce manuel.
AVERTISSEMENT
Débranchez l’appareil avant tout entretien.
AVERTISSEMENT
Contrôlez le refroidissement de l’unité avant l’entretien des éléments chauffants et de
leurs composants.
61
Vari OmniStar
1 Retirez le panneau frontal et les capots du GSD 320. Voir Figure 8-10.
Figure 8-10 Dépose des capots
Panneaux supérieur
et de droite
Protections
Panneau avant
et isolant
2 Retirez les protections d’accès de gauche, de droite et supérieure.
3 Déposez le panneau avant.
4 Retirez l’isolant de l’intérieur du panneau avant.
5 Retirez les panneaux supérieur et de droite du boîtier du four.
6 Débranchez les fils de l’électrovanne de la partie supérieure (vanne de dérivation)
Reportez-vous à la Figure 8-11.
Figure 8-11 Vanne supérieure (dérivation) et écrou de serrage avant
Vanne
supérieure
Écrou de
serrage
avant
7 Déposez l’électrovanne du panneau avant (mini-vanne haute conductance) après
avoir retiré son écrou de serrage. Reportez-vous à la Figure 8-11.
8 Retirez l’ensemble RTD. Reportez-vous à la Figure 8-12.
9 Déposez le bloc de refroidissement Reportez-vous à la Figure 8-12.
10 Déposez le panneau de gauche et la plaque de protection thermique. Posez
soigneusement les fils du RTD et du bloc de refroidissement sur le bâti.
62
Vari OmniStar
Figure 8-12 Panneau de gauche
Ensemble
RTD
Bloc de
refroidissement
Plaque de
thermique
protection
11 Déposez l’électrovanne supérieure après avoir retiré l’écrou et les deux rondelles.
Reportez-vous à la Figure 8-13.
Figure 8-13 Retrait de l’électrovanne supérieure.
Électrovanne
supérieure
Ensemble
EVR 116
12 Retirez l’isolant en mousse de l’intérieur et de l’extérieur de la partie inférieure du
four. La mousse externe glisse hors des supports du boîtier.
13 Desserrez le bloc vanne de la bride d’admission en retirant les trois vis qui le fixent.
Retirez ensuite tout l’ensemble de la vanne de régulation de la pression du système.
Reportez-vous à la Figure 8-14.
Figure 8-14 Retrait de l’ensemble de vanne et de la vanne
3 vis du bloc de vanne
Déposez et
remplacez
l’EVR 116
en J
63
Vari OmniStar
14 Déposez et remplacez l’EVR 116 en suivant la procédure ci-dessous. Prenez soin de
garder les éléments retirés pour le remplacement de l’EVR 116.
15 Retirez le tube de la vanne EVR 116 à pression régulée.
16 Démontez la vanne de régulation de la pression de l’admission du gaz en retirant les
trois vis.
17 Installez un nouveau bloc vanne EVR 116.
18 Remontez le GSD 320.
64
Entretien du GSD 320
9
Entretien du GSD 320
9.1
Formation à la maintenance
Pfeiffer Vacuum propose des cours de maintenance pour ce produit. Les exemples et la
documentation plus détaillée de ces cours permettent à l’utilisateur de maintenir les
équipements dans un état de marche correct. Pour plus d’informations, veuillez
contacter votre centre de service Pfeiffer Vacuum local.
9.2
Nettoyage de l’appareil
AVERTISSEMENT
Le contact avec les pièces sous tension est dangereux. Débranchez toujours le produit
du secteur avant d’effectuer la maintenance.
Un chiffon légèrement mouillé suffit normalement pour nettoyage de l’extérieur de
l’appareil. N’utilisez pas de produits de nettoyage agressifs corrosifs.
ATTENTION
Assurez-vous qu’aucun liquide ne pénètre dans le produit. Laissez le produit sécher
complètement avant de le remettre en service.
65
Maintenance
10
Maintenance
10.1 Réduction du capillaire (OmniStar)
Conditions
préalables

Système arrêté

Capillaire détaché du point de mesure

La longueur du capillaire reste adéquate après le raccourcissement
Outils nécessaires

Coupe-tube, outil de coupe pour capillaire ou couteau.
Procédure
1 Réalisez deux petites incisions opposées. Reportez-vous à la Figure 10-1.
Figure 10-1 Réalisation des incisions
mm
 10
ATTENTION
La profondeur maximum des incisions ne doit pas dépasser 0,5 mm.
2 Cintrez le capillaire jusqu’à ce qu’il casse. Reportez-vous à la Figure 10-2.
Figure 10-2 Cintrage du capillaire
3 Démarrez le système. Patientez 10 minutes (temps d’accélération de la
turbopompe).
66
Maintenance
4 Contrôlez la pression de la chambre d’analyse.
4a
La pression totale de la chambre d’analyse s’affiche sur le panneau avant du
GSD 320 ; la pression totale peut également être déterminée à l’aide du logiciel.

La pression affichée doit être ≥ 1 x 10-6 mbar

La pression affichée ne doit pas être < 1 x 10-6 mbar
Plusieurs causes potentielles sont répertoriées ci-dessous :
- Extrémité du capillaire obstruée
Solution : Réduisez de nouveau le capillaire de 10 mm
- Diaphragme obturé
Solution : Remplacez le diaphragme
- Capillaire obstrué sur toute la longueur
Solution : Remplacez le capillaire
5 Raccordez le capillaire sur le point de mesure.
10.2 Réduction du capillaire (Thermostar)
Conditions
préalables

Système arrêté

Capillaire détaché du point de mesure

La longueur du capillaire reste adéquate après le raccourcissement
Outils nécessaires

Graveur à diamant (utilisé pour la silice fondue)
Procédure
1 Entaillez prudemment le capillaire. Reportez-vous à la Figure 10-3.
Figure 10-3 Entaille du capillaire
 10
mm
ATTENTION
Veillez à n’exercer aucune pression !
Les capillaires à quartz étant susceptibles d’éclater, il est recommandé de porter des
lunettes de protection.
67
Maintenance
2 Cassez le capillaire au point préalablement entaillé. Reportez-vous à la Figure 10-4.
Figure 10-4 Rupture du capillaire
3 Démarrez le système. Patientez 10 minutes (temps d’accélération de la
turbopompe).
4 Contrôlez la pression de la chambre d’analyse.
4a
La pression totale de la chambre d’analyse s’affiche sur le panneau avant du
GSD 320 ; la pression totale peut également être déterminée à l’aide du logiciel.

La pression affichée doit être ≥ 1 x 10-6 mbar

Si la pression affichée est < 1 x 10-6 mbar
Plusieurs causes potentielles sont répertoriées ci-dessous :
-
Extrémité du capillaire obstruée
Solution : Réduisez de nouveau le capillaire de 10 mm
-
Diaphragme obturé
Solution : Remplacez le diaphragme
-
Capillaire obstrué sur toute la longueur
Solution : Remplacez le capillaire
5 Raccordez le capillaire sur le point de mesure.
10.3 Instructions pour le remplacement du capillaire
Pendant le fonctionnement normal, le capillaire peut s’encrasser et s’obstruer à cause
des conditions du procédé. Effectuez la procédure suivante pour remplacer le capillaire.
ATTENTION
La non réalisation de cette procédure peut endommager l’instrument.
1 Vérifiez que le GSD 320 est arrêté de manière appropriée.
2 Détachez le capillaire du point de mesure.
3 Retirez d’alimentation secteur du GSD 320.
ATTENTION
Vérifiez que la tige de blocage de transport du panneau avant a été déposée. Reportezvous à la section 5.2, page 17.
68
Maintenance
4 Retirez le panneau avant du GSD 320 selon la procédure décrite dans la Dépose du
panneau avant. Déposez ensuite le capot du boîtier de l’élément chauffant du four
d’entrée, comme indiqué dans la Dépose du boîtier de l’élément chauffant de
l’entrée.
5 Retirez l’isolant comme indiqué dans la Dépose de l’isolant et réglage du capillaire.
Vous êtes maintenant prêt à changer le capillaire.
6 Pour le changement d’un capillaire en quartz (ThermoStar) uniquement:
6a
Utilisez la clé à capillaire (960-9001-P01) et le tourne-écrou (930-065-P1)
fournis dans le kit de livraison pour déposer le capillaire en quartz. Positionnez
la clé à capillaire sur le corps du raccord hexagonal aussi loin que possible pour
éviter de tordre le tube capillaire dans l’ensemble. Placez le tourne-écrou sur
l’écrou hexagonal et desserrez celui-ci. Reportez-vous à la Figure 10-5 et à la
Figure 10-6.
Figure 10-5 Clé à capillaire sur raccord hexagonal
Figure 10-6 Tourne-écrou sur l’écrou hexagonal du capillaire en quartz
Raccord
hexagonal
Capillaire
à capillaire
6b
Retirez l’écrou hexagonal, la férule et le capillaire de l’appareil.
6c
Faites glissez l’écrou hexagonal et une férule (B4119610DH) neuve sur
l’extrémité A du capillaire neuf. Faites dépasser le capillaire 30 à 40 mm au-delà
de l’extrémité de la férule.
69
Maintenance
6d
Insérez avec précaution le capillaire dans le raccord hexagonal et poussez le
capillaire jusqu’à ce qu’il s’arrête. Engagez l’écrou hexagonal dans le raccord.
Tirez légèrement le capillaire (environ 1 à 2 mm) afin qu’il ne soit pas contre la
face du tube interne. Serrez l’écrou hexagonal dans le raccord jusqu’à un
couple de serrage manuel.
6e
Placez la clé à capillaire sur le corps du raccord hexagonal et serrez l’écrou
hexagonal de trois quarts de tour (après le serrage manuel) à l’aide du tourneécrou. Vérifiez que le capillaire est serré en tirant doucement sur ce dernier.
6f
Acheminez avec précaution le capillaire dans l’ouverture du four et son élément
chauffant jusqu’à ce que 50 mm du capillaire à quartz dépassent de l’extrémité
de l’élément chauffant.
6g
Enroulez l’excès de capillaire dans le four.
7 Changement d’un capillaire en acier inoxydable (OmniStar) uniquement:
7a
S’i le faut, découpez le raccord utilisé pour fixer le capillaire sur le point des
mesure.
7b
Utilisez le tourne-écrou (930-065-P1) fourni dans le kit de livraison pour retirer
l’écrou hexagonal qui fixe le tube en J sur l’entrée. Reportez-vous à la Figure
10-7.
Figure 10-7 Retirez l’écrou hexagonal en acier inoxydable avec le tourneécrou
70
Maintenance
7c
Le tube en J et le raccord hexagonal étant toujours fixés sur le capillaire,
extrayez le capillaire de l’élément chauffant par le four avant. Reportez-vous à
la Figure 10-8.
Figure 10-8 Déposez l’ensemble de capillaire en acier inoxydable
Tube
en J
Raccord
hexagonal
7d
Déconnectez le raccord hexagonal de l’ancien capillaire.
REMARQUE
Assurez-vous que la forme du capillaire en J n’est pas modifiée.
7e
Installez un écrou et une férule (B0141949) sur une extrémité du capillaire neuf
et placez-les dans l’extrémité ouverte du raccord hexagonal.
7f
Serrez l’écrou hexagonal à l’aide de clés de 1/4".
7g
Insérez l’extrémité libre du capillaire dans l’ouverture du four et dans l’ouverture
de l’élément chauffant du capillaire. Poussez la totalité de la longueur du
capillaire dans l’élément chauffant. Reportez-vous à la Figure 10-9.
7h
Raccordez le tuyau en J à l’entrée et serrez l’écrou à l’aide du tourne-écrou.
Figure 10-9 Fixez l’ensemble de capillaire en acier inoxydable
71
Maintenance
8 Installez l’isolant en mousse dans le four. Insérez le bord inférieur de la mousse en
premier afin que celle-ci soit maintenue en place entre la paroi du four et la plaque.
Insérez ensuite la moitié supérieure de la mousse dans le four. Assurez-vous que le
capillaire à quartz n’est pas pincé ou tordu pendant l’installation de l’isolant.
Reportez-vous à la Figure 10-10.
Figure 10-10 Réinstallez l’isolant en mousse
9 Installez le couvercle du boîtier de l’élément chauffant d’entrée et fixez en place avec
les vis CHC. Reportez-vous à la Figure 10-11.
Figure 10-11 Réinstallez le couvercle du boîtier de l’élément chauffant d’entrée
72
Maintenance
10 Connectez le câble ruban sur le panneau avant. Reportez-vous à la Figure 10-12.
Figure 10-12 Réinstallez le câble ruban du panneau avant
Goupille 1
Bande rouge
orientée comme
indiqué
11 Réinstallez le panneau avant de la manière suivante:
11a Insérez les goupilles à ressorts supérieures dans le cadre afin qu’elles
s’engagent légèrement dans les trous qui leur correspondent.
11b Engagez les goupilles à ressorts du milieu et du bas.
11c Tapez doucement autour du bord du panneau pour mettre les goupilles à
ressorts en place dans le cadre.
12 Si vous le souhaitez, réinstallez la tige de blocage de transport du panneau avant.
10.4 Instructions pour l’orientation du capillaire
Afin d’optimiser l’orientation de l’entrée du gaz pour une application donnée, le capillaire
peut être orienté vers le haut, vers la gauche ou vers la droite. Effectuez ce qui suit pour
réorienter l’entrée du gaz.
ATTENTION
La non réalisation de cette procédure peut endommager l’instrument.
1 Vérifiez que le GSD 320 est arrêté de manière appropriée.
2 Détachez le capillaire du point de mesure.
3 Retirez d’alimentation secteur du GSD 320.
ATTENTION
Vérifiez que la tige de blocage de transport du panneau avant
a été déposée. Reportez-vous à la section 5.2, page 17.
73
Maintenance
4 Retirez le panneau avant du bâti du GSD 320 comme indiqué dans la Dépose du
panneau avant, page 23.
5 Retirez le capot du châssis du GSD 320 en le faisant coulisser. Reportez-vous à la
Figure 10-13.
Figure 10-13 Retirez le capot du châssis en le faisant coulisser
Capot
du châssis
6 Déposez le panneau avant et déconnectez le capillaire en respectant la procédure
de l’6 on page 69 pour le ThermoStar ou de l’7 on page 70 pour l’OmniStar.
7 Procédez comme suit pour changer l’orientation de l’entrée de l’élément chauffant du
côté vers le haut. Reportez-vous à la Figure 10-14 et à la Figure 10-15.
Figure 10-14 Configuration du côté de l’entrée
Protection
de l’entrée
sans accès
Panneau d’élément
chauffant du four
Panneau d’élément
chauffant du four
Protection de l’entrée
avec accès
74
7a
Déposez la protection de l’entrée avec accès du tube de l’élément chauffant et
déposez la protection de l’entrée sans accès du haut du GSD 320. Utilisez une
clé hexagonale de 3 mm pour retirer les vis CHC.
7b
Retirez les (4) vis CHC du panneau du four auquel est fixé le tube de l’élément
chauffant.
Maintenance
7c
Déposez le panneau vide du four du haut de ce dernier en retirant les (4) vis
CHC.
7d
Déplacez le panneau du four avec l’élément chauffant vers le haut du GSD 320
et fixez-le avec (4) vis CHC.
REMARQUE
Les cordons d’alimentation de l’élément chauffant comportent du mou pour le
déplacement du panneau, il peut cependant être nécessaire de tirer une longueur
supplémentaire de l’intérieur du GSD 320.
Figure 10-15 Configuration du haut de l’entrée du capillaire
7e
Posez le panneau vide du four dans le côté de ce dernier et fixez-le en place
avec (4) vis CHC.
7f
Installez la protection de l’entrée avec accès sur le tube de l’élément chauffant
et la protection de l’entrée sans accès sur le panneau vide. Fixez les protections
en place avec (4) vis CHC.
7g
Réinstallez le tuyau du capillaire, l’isolant en mousse et le capot du four selon
la description de la section 10.3, page 68.
7h
Placez le capot du châssis sur le GSD 320 et fixez-le sur le cadre avec (9) vis.
7i
Installez le panneau avant selon la description de la section 10.3, page 68.
8 Pour changer l’orientation de l’entrée de l’élément chauffant du côté vers l’autre
côté.
8a
Déposez la protection de l’entrée avec accès du tube de l’élément chauffant et
déposez la protection de l’entrée sans accès des panneaux vides du GSD 320.
Utilisez une clé hexagonale de 3 mm pour retirer les vis CHC.
8b
Retirez les (4) vis CHC du panneau auquel est fixé le tube de l’élément
chauffant.
8c
Déposez les panneaux vides du haut et du côté du four en retirant les (4) vis
CHC de chaque panneau.
8d
Pour les appareils OmniStar, l’électrovanne de l’entrée doit être tournée de 180°
afin que les bornes électriques soient à l’opposé du tuyau de l’élément
chauffant. Utilisez une clé de 13 mm pour déposez l’écrou hexagonal sur
l’électrovanne. Reportez-vous à la Figure 10-16.
75
Maintenance
8e
Déplacez le panneau avec l’élément chauffant vers le côté du GSD 320 et fixezle avec quatre vis CHC.
REMARQUE
Les cordons d’alimentation de l’élément chauffant comportent du mou pour le
déplacement du panneau, il peut cependant être nécessaire de tirer une longueur
supplémentaire de l’intérieur du GSD 320.
Figure 10-16
76
Configuration du côté opposé de l’entrée du capillaire
8f
Posez les panneaux vides dans le haut et le côté du four et fixez chaque
panneau en place avec (4) vis CHC.
8g
Installez la protection de l’entrée avec accès sur le tube de l’élément chauffant
et les protections de l’entrée sans accès sur les panneaux vides. Fixez les
protections en place avec (4) vis CHC.
8h
Réinstallez le tube du capillaire, l’isolant en mousse et le capot du four selon la
description de la section 10.3, page 68.
8i
Placez le capot du châssis sur le GSD 320 et fixez-le sur le cadre avec (9) vis.
8j
Installez le panneau avant selon la description de la section 10.3, page 68.
Maintenance
10.5 Dépose du PrismaPlus du GSD 320
Le PrismaPlus doit être enlevé du GSD 320 pour permettre le remplacement du filament.
Outils nécessaires
Procédure

Clé hexagonale M2

Clé hexagonale M4

Clé hexagonale M5
1 Exécutez la commande <Shutdown> (Arrêt) du GSD.
2 Débranchez le GSD 320 du secteur.
3 Avec la clé hexagonale M2, retirez les (6) vis retenant le panneau d’accès arrière. Le
panneau d’accès arrière est représenté dans la Figure 10-17.
Figure 10-17 Dépose du panneau arrière et vis du châssis
Capot du châssis
Accès arrière
Panneau
Vis du capot du
châssis
Accès arrière
Vis du panneau
4 Avec la clé hexagonale M4, retirez les (9) vis retenant le capot du châssis. Le capot
du châssis et représenté dans la Figure 10-17.
77
Maintenance
5 Retirez le capot en le glissant vers l’arrière du GSD 320, comme le montre la
Figure 10-18.
Figure 10-18 Retrait du capot par glissement vers l’arrière du GSD 320
6 Desserrez maintenant les (2) vis CHC avec la clé hexagonale M5. Les vis sont
représentées dans la Figure 10-19.
Figure 10-19 Les vis CHC
Vis
CHC
78
Maintenance
7 Glissez maintenant le capteur hors du GSD 320, comme indiqué dans la
Figure 10-20.
Figure 10-20 Dépose du capteur PrismaPlus
8 Pour terminer, débranchez les câbles ethernet, des entrées analogiques et
numériques et d’alimentation, comme l’indique la Figure 10-21.
Figure 10-21 Retrait des câbles
Alimentation
Câble
Entrée
analogique
Câble
Ethernet
Câble
Entrée numérique
Câble
79
Maintenance
10.6 Remplacement du filament
REMARQUE
Les instructions relatives au remplacement d’une source d’ions HS fermée figurent
dans le mode d’emploi du PrismaPlus, référence BG 5214.
10.7 Toile filtrante
Nettoyage
de la toile filtrante
La toile filtrante de l’arrivée d’air doit être nettoyée en cas d’accumulation substantielle
de poussière. Utilisez un aspirateur pour nettoyer la toile filtrante. En cas d’obturation
sérieuse de la toile filtrante, il est recommandé de la remplacer.
Remplacement de la
toile
Tournevis Torx T10
Outils nécessaires

Procédure
1 Arrêtez l’émission et le C-SEM du GSD 320 avec le logiciel QUADERA, ou avec le
panneau avant.
2 Patientez 10 minutes (temps de refroidissement de la source d’ions).
3 Arrêtez les pompes avec la commande <Shutdown> (Arrêt).
4 Patientez pendant la ventilation du système (environ 10 minutes).
5 Mettez le commutateur d’alimentation de l’appareil en position d’arrêt et débranchez
le connecteur de raccordement au secteur.
6 Déposez le capot (Référez-vous à la Dépose du panneau avant, page 23).
7 Avec votre main, retirez la toile filtrante ainsi que son support du ventilateur.
Reportez-vous à la Figure 10-22.
8 Procédez au nettoyage/remplacement de la toile filtrante et placez-la avec son
support sur le ventilateur.
9 Réinstallez le capot.
10 Réinsérez le connecteur de raccordement au secteur.
11 Remettez le GSD 320 en service.
12 Mettez la toile filtrante usagée au rebut en vous conformant aux réglementations
locales en vigueur.
80
Maintenance
Figure 10-22 Nettoyage et remplacement des toiles filtrantes.
Toile filtrante
Support
Toile filtrante
Vis inférieures
81
Maintenance
10.8 Remplacement du diaphragme de l’OmniStar
AVERTISSEMENT
Lorsque vous travaillez dans une zone sous vide, utilisez toujours des outils propres et
portez des gants non pelucheux.
Outils nécessaires
REMARQUE
Le kit d’admission du gaz OmniStar est nécessaire pour le remplacement du
diaphragme du GSD 320 OmniStar. Numéro de commande : PT 162 001

Outils spéciaux pour le GSD 320

Clé plate de taille 13 et 1/4 po

Clés à douille hexagonales de tailles 2,5 et 3
AVERTISSEMENT
Lorsque vous travaillez avec un système corrosif, les éléments en contact avec le gaz
du procédé peuvent être contaminés.
Procédure
1 Arrêtez l’émission et le C-SEM du GSD 320 avec le logiciel QUADERA ou avec le
panneau avant.
2 Patientez dix minutes (temps de refroidissement de la source d’ions).
3 Arrêtez les pompes avec la commande <Shutdown> (Arrêt).
4 Patientez pendant la ventilation du système (environ 10 minutes).
5 Retirez le connecteur de raccordement au secteur du GSD 320.
6 Déposez le panneau avant du GSD, le boîtier de l’élément chauffant de l’entrée, et
l’isolant, conformément aux sections Dépose du panneau avant, page 23, Dépose
du boîtier de l’élément chauffant de l’entrée, page 24 et Dépose de l’isolant et réglage
du capillaire, page 25 de ce manuel.
ATTENTION
Si le capillaire est encore chaud, laissez-le refroidir.
82
Maintenance
7 Détachez le capillaire de la vanne d’admission du gaz avec une clé ouverte de 1/4 po.
8 Utilisez la clé hexagonale M2,5 pour retirer les (2) vis de fixation de la bride
d’admission du gaz. Les deux vis de fixation sont représentées dans la Figure 10-23.
9 Soulevez la conduite d’admission du gaz hors du GSD 320.
Figure 10-23 Retrait des deux vis de fixation
Vis de fixation
REMARQUE
La procédure allant de l’Step 15 à l’Step 23 s’applique aux deux vannes.
10 Desserrez l’écrou avec la clé plate 13, puis retirez les rondelles expansibles.
11 Retirez l’aimant du tube de guidage.
12 Avec une clé à douille hexagonale de taille 2,5, retirez les (2) vis de la plaque de
fixation 2.
83
Maintenance
13 Remplacez le piston avec son ressort, le joint et le joint torique 12,42 X 1,78
(reportez-vous à la Figure 10-24). Contrôlez les surfaces d’étanchéité et nettoyez-les
si nécessaire.
Figure 10-24 Dépose du piston
1
2
3
6
5
4
1 . . . . . . . . Joint torique
2 . . . . . . . . Piston
3 . . . . . . . . Tube de guidage
4 . . . . . . . . Écrou
5 . . . . . . . . Vis de pression VICI
6 . . . . . . . . Rondelles expansibles
14 Contrôlez les surfaces d’étanchéité de l’admission du gaz et de la bride d’admission
du gaz et nettoyez-les si nécessaire.
15 Remplacez les joints toriques 9,25 x 1,78 et 18,77 x 1,78. (Voir Figure 10-25.)
16 Si nécessaire, remplacez la vis de pression et le diaphragme de la bride d’admission
du gaz. (Voir Figure 10-25.)
17 Procédez dans l’ordre inverse pour le remontage de la vanne.
84
Maintenance
Figure 10-25 Ensemble de vanne
6
7
5
8
1
2
3
4
1 . . . . . . . . Joint torique 9,25 x 1,78
2 . . . . . . . . Vis de fixation
3 . . . . . . . . Diaphragme
4 . . . . . . . . Joint torique 12,42 X 1,78
5 . . . . . . . . Vis M3 X 6
6 . . . . . . . . Piston avec ressort et joints
7 . . . . . . . . Plaque
8 . . . . . . . . Joint torique 18,77 X 1,78
18 Remontez l’admission de gaz dans le GSD 320 et connectez le capillaire.
19 Effectuez les raccordements électriques des deux vannes.
ATTENTION
Prenez soin de ne pas mélanger les câbles des vannes.
20 Replacez l’isolant dans le boîtier de l’élément chauffant, puis remontez le capot ainsi
que le panneau avant du GSD 320.
21 Branchez le connecteur de l’alimentation secteur.
22 Remettez le GSD 320 en service à l’aide du logiciel QUADERA ou du panneau avant.
23 Mettez les pièces remplacées au rebut en respectant les réglementations locales en
vigueur.
85
Maintenance
10.9 Remplacement du diaphragme de la ThermoStar
AVERTISSEMENT
Lorsque vous travaillez dans une zone sous vide, utilisez toujours des outils propres et
portez des gants non pelucheux.
Outils nécessaires
REMARQUE
Un kit d’admission du gaz ThermoStar est nécessaire pour le remplacement du
diaphragme du GSD 320 ThermoStar. Numéro de commande : PT 162 002

Outils spéciaux pour le GSD 320

Clé plate de taille 13 et 1/4 po

Clé à douille hexagonale de taille 2,5
AVERTISSEMENT
Lorsque vous travaillez avec un système corrosif, les éléments en contact avec le gaz
du procédé peuvent être contaminés.
Procédure
1 Arrêtez l’émission et le C-SEM du GSD 320 avec le logiciel QUADERA ou avec le
panneau avant.
2 Patientez dix minutes (temps de refroidissement de la source d’ions).
3 Arrêtez les pompes avec la commande <Shutdown> (Arrêt).
4 Patientez pendant la ventilation du système (environ 10 minutes).
5 Retirez le connecteur de raccordement au secteur du GSD 320.
6 Déposez le panneau avant du GSD 320, le boîtier de l’élément chauffant de l’entrée,
et l’isolant, conformément aux sections Dépose du panneau avant, Dépose du
boîtier de l’élément chauffant de l’entrée et Dépose de l’isolant et réglage du
capillaire de ce manuel.
ATTENTION
Si le capillaire est encore chaud, laissez-le refroidir.
7 Détachez le capillaire à quartz de la bride d’admission du gaz avec une clé ouverte
de 1/4 po.
DANGER
Les capillaires à quartz cassent facilement. Portez des lunettes de protection.
8 Desserrez les 6 vis M3. (Voir Figure 10-26.)
9 Soulevez complètement la conduite d’admission du gaz hors du GSD 320.
10 Remplacez la vis de pression et le diaphragme. (Voir Figure 10-26.)
86
Maintenance
11 Remplacez les joints toriques 9,25 x 1,78 et 18,77 x 1,78. (Voir Figure 10-26).
Contrôlez les surfaces d’étanchéité de la bride d’admission du gaz et nettoyez-les si
nécessaire.
Figure 10-26 Admission du gaz (ThermoStar)
5
1
2
3
4
1 . . . . . . . . Diaphragme
2 . . . . . . . . Vis de pression
3 . . . . . . . . Joint torique 9,25 x 1,78
4 . . . . . . . . Joint torique 18,77 x 1,78
5 . . . . . . . . Via M3 x 6
12 Procédez dans l’ordre inverse pour monter l’admission de gaz dans le GSD 320.
13 Rebranchez le capillaire à quartz à la bride d’admission du gaz.
14 Replacez l’isolant dans le boîtier de l’élément chauffant, puis remontez le capot ainsi
que le panneau avant du GSD 320.
15 Branchez le connecteur de raccordement au secteur.
16 Remettez le GSD 320 en service.
17 Mettez les pièces remplacées au rebut en respectant les réglementations locales en
vigueur.
87
Maintenance
10.10 Entretien de la pompe à membrane
REMARQUE
Pour toute question relative à la pompe à membrane, veuillez consulter le mode
d’emploi fourni avec celle-ci : PK 0217 BN.

Tous les paliers sont enrobés et remplis de lubrifiant longue durée.

Dans des conditions normales, la pompe à membrane ne demande aucun entretien.

Les vannes et les diaphragmes sont des pièces sensibles à l’usure.

Il est nécessaire d’accomplir les procédures appropriées s’il n’est pas possible
d’atteindre les performances nominales d’aspiration:

Nettoyez l’intérieur de la pompe, les membranes et les vannes.

Contrôlez la présence éventuelle de fissures et de dégâts sur les membranes
et les vannes.

Pour remplacer la membrane, respectez attentivement la procédure
correspondante.

Dans certains cas, il est plus efficace de contrôler et nettoyer régulièrement les têtes
de la pompe.

Pour les cas d’usure normale, la longévité de la membrane et des vannes est de
> 10 000 heures de fonctionnement.
10.11 Entretien de la turbopompe
REMARQUE
Pour toute question relative à la turbopompe, veuillez consulter le mode d’emploi
fourni avec celle-ci : PT 0208 BN.
88

Nettoyez les parties externes de la turbopompe avec un tissu non pelucheux et une
petite quantité d’alcool industriel.

Changez le réservoir du fluide de fonctionnement au moins tous les quatre ans.
Respectez attentivement la procédure correspondante.

Changez le palier de la turbopompe au moins tous les quatre ans. Contactez votre
centre de services de Pfeiffer Vacuum local.

Définissez les cas dans lesquels la fréquence des remplacements doit être réduite
(ex. : charges extrêmes ou processus impurs) avec votre centre de services de
Pfeiffer Vacuum local.

Pour tous les autres travaux de nettoyage, entretien ou réparation, contactez votre
centre de services de Pfeiffer Vacuum local.
Quantité Fonction
par
unité
51-0004
1
Remplacement de la
toile filtrante
Nettoyage de la
toile filtrante
X(3)
1
160
Remplacement du filament
Nettoyage, alignement
Échange de pompe
1
De l’OmniStar
Dispositif d’étalonnage
1
X(3)
X
Remplacement de l’admission
de gaz
X(3)
Remplacement du capillaire
II
II
II
Réassort
Remplacement du tube
en verre
Remplacement du piston et
des joints
II
I
II
X(3)
Remplacement du piston et
des joints
Remplacement du diaphragme
I
II
II
II
II
II
II
II
I
I
ss
ss
ss
ss
ss
ss
ss
ss
ss
ss
ss
at
ss
ss
ss
ss
ss
MVP 020 de rechange
Kit de remise en état
En cas de
dysfonctionnement
En cas de
dysfonctionnement
Si nécessaire
En cas de
dysfonctionnement
Ou en cas de
dysfonctionnement
Ou en cas de
dysfonctionnement
En cas de
dysfonctionnement
ou en cas de
dysfonctionnement
En cas de
dysfonctionnement
Kit d’étanchéité
Avec le kit de pièces
de rechange
PFTBA 5 ml
Admission de gaz de
remplacement
Kit de pièces de rechange
Kit de pièces de rechange
Admission de gaz de
remplacement
Kit de pièces de rechange
Filament yttrié à l’iridium
En même temps que la Kit d’entretien
révision
HiPace 80 de
remplacement
Au moins tous les 4 ans Échange de pompe
ou après 3 ans d’inactivité
En cas de
dysfonctionnement
Référence
BN 841310 -T
BN 841310 -T
B 2705 421
PT 162004
PT 162001
PT 162001
PT 162003
PT 162 002
BN 846 395-T
BN 846 395-T
BN 846239 -T
PM P02 812 C#A
PM P02 812C#A
PM 073 073 -T
PM 143 740-TT
PU E22 003-T
Jeu de toiles filtrantes (10 p) BN 846136 -T
(V)
Matériel
(désignation)
Outil spécial, au moins Réservoir de lubrifiant
tous les 4 ans
En cas de
dysfonctionnement
Longévité normale de
> 10 000 heures de
fonctionnement
En même temps
que la révision
Selon la gravité
de la contamination
Rép. Emplace- Installation
ment
de
de test
niveau
(commentaires)
II
BG 5214
BG 805 119 BN
PT 0208 BN
PK 0217 BN
Manuel
d’utilisation
Remplacement de l’admission
de gaz
Remplacement du diaphragme
et du capillaire
X(3)
X(3)
Remplacement du palier
< 208
X(3)
GSD 320 - Accessoires
1
Du ThermoStar
X(1)
104
Changement du fluide de
fonctionnement
Remplacement de la pompe
Remplacement de la
membrane
GSD 320 - Admission du gaz
1
1
PKR 251
Analyseur
1
HiPace 80
PT R26 002
1
MVP 020/3
X
52
8600 17200 < 25800
Durée de
fonctionnement en
heures/semaines
GSD 320 - Unité de base, système d’aspiration
Ventilateur
GSD 320 - Unité de base, carter
Référence
Organe
10.12 Calendrier de service et d’entretien
Maintenance
89
90
= Travaux d’entretien
SS : sur site/sur le système du client
AT : en atelier
Remplacement : Le module est remplacé par un nouveau
Échange (#A) : Le module peut être remplacé par un module révisé, si disponible
Contrôle fonctionnel, nettoyage si nécessaire, remplissage de lubrifiant, réparation, réglage, ajustage, recherche des fuites
Entretien nécessaire
En fonction du procédé
En fonction du fluide et de l’installation
En fonction de l’environnement et/ou de l’application
Inclus dans le kit d’entretien d’un an
Inclus dans le kit d’entretien de deux ans
Matériel consommable
*
X
1
2
3
(4)
(5)
(V)
Client
Client formé par l’assistance technique ou technicien d’entretien de Pfeiffer Vacuum
Client formé par les services de Pfeiffer Vacuum ou technicien d’entretien de Pfeiffer Vacuum
Réparation de niveau I
Réparation de niveau II
Réparation de niveau II
Légende :
Maintenance
Accessoires
11
Accessoires
Description
Référence
Disponible à partir de
Coupe-tube TT-6
082780
SGE International Pty Ltd,
Outil de coupe de capillaires
CTT
(ou produits compatibles
d’autres fabricants)
0625010
Scientific Glass Engineering
7 Argent Place,
Ringwood Vic 3134, Australie
ou un de ses distributeurs nationaux
Adaptateur d’élément
chauffant de capillaire
BG 442 778 -T
Pfeiffer Vacuum
Figure 11-1 Adaptateur d’élément chauffant de capillaire
Adaptateur d’élément
chauffant de capillaire
Tube d’élément chauffant de capillaire
Capillaire
Raccord
91
Pièces de rechange
12
Pièces de rechange
12.1 Introduction
Lors de la commande de pièces de rechange, indiquez toujours :

toutes les informations figurant sur la plaque signalétique
du produit

la description et le numéro de commande
12.2 Pièces pour les deux systèmes
Description
Numéro de commande
Filament en tungstène (standard)
BN 846281 -T
Yttrié à l’iridium
BN 846 395 -T
12.3 OmniStar
Description
Numéro de
commande
Jeu de consommables pour entrée de gaz, consistant en :
PT 162001
Capillaire en
acier inoxydable
0,12 mm
5m
Férule
4
Joint torique
Joint torique
Joint torique
12,42 mm 1,78 mm
18,77 mm 1,78 mm
9,25 mm 1,78 mm
3
2
2
Diaphragme
0,025 mm
2
Vis de pression
1
Piston FPM
3
Écrou
1
12.4 ThermoStar
Description
Numéro de
commande
Jeu de consommables pour entrée de gaz, consistant en :
PT 162 002
Capillaire en quartz
0,23 mm / 0,15 mm
5m
Férule
0,3 mm
10
Couplage
Joint torique FPM¼+3
Joint torique FPM
18,77 mm 1,78 mm
9,25 mm 1,78 mm
1
1
Diaphragme
0,025 mm
1
Vis de pression
92
1
1
Service
13
Service
Pfeiffer Vacuum propose un service de première classe!

Changement sur site des fluides de fonctionnement et des paliers par le service
itinérant de Pfeiffer Vacuum
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Maintenance / réparation dans le centre de service proche
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Remplacement rapide avec un échange de produits en
état exceptionnel
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Conseils sur la solution la plus économique et la plus rapide
Informations détaillées, adresses et formulaires à : www.pfeiffer-vacuum.com
(Service).
Maintenance et réparations au centre de services de
Pfeiffer Vacuum
Les étapes suivantes sont nécessaires pour garantir un processus de service rapide et
impeccable:
 Téléchargez les formulaires « Service Request » (Demande de service) et «
Declaration on Contamination » (Déclaration de contamination).1)
 Remplissez le formulaire « Service Request » (Demande de service) et envoyez-le
par télécopie ou par e-mail à votre adresse de service.
 Incluez la confirmation de la demande de services provenant
de Pfeiffer Vacuum avec votre expédition.
 Remplissez la déclaration de contamination et joignez-la à l’expédition
(obligatoire !).
 Détachez tous les accessoires.
 Laissez l’électronique de l’entraînement sur la pompe.
 Dans la mesure du possible, expédiez l’appareil dans l’emballage d’origine.
Envoi de pompes ou appareils contaminés
Aucun appareil ne sera accepté s’il est contaminé par des substances microbiologiques,
explosives ou radioactives. Les « substances dangereuses » sont des substances et
composés correspondant à la directive sur les biens dangereux (version actuelles). Si
des appareils sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum effectuera la décontamination aux frais de l’expéditeur.
 Neutralisez l’appareil en le rinçant avec de l’azote ou de l’air sec.
 Fermez hermétiquement toutes les ouvertures.
 Scellez l’appareil dans un film protecteur adapté.
 Retournez la pompe/l’appareil uniquement dans un conteneur de transport adapté
et robuste et envoyez-le selon les conditions de transport en vigueur.
Appareil de remplacement
Les paramètres de fonctionnement d’usine sont toujours prédéfinis sur les appareils de
remplacement. Si vous utilisez des paramètres modifiés pour votre application, vous
devrez les définir à nouveau.
Commandes de service
Toutes les commandes de service sont exécutées exclusivement selon nos conditions de
réparation pour les appareils et composants de vide.
1)
Formulaires sous www.pfeiffer-vacuum.com
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Mise au rebut
14
Mise au rebut
DANGER
Danger : Pièces contaminées.
Les pièces contaminées peuvent être nocives pour la santé et l’environnement.
Avant de commencer le travail, déterminez si des pièces sont contaminées. Respectez
les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires lors de la manipulation
des pièces contaminées.
AVERTISSEMENT
Avertissement : Substances nocives pour l’environnement.
Les composants électroniques peuvent être nocifs pour l’environnement et font l’objet
de réglementations spécifiques
de mise au rebut.
Mettez ces substances au rebut conformément aux règlements locaux en vigueur.
AVERTISSEMENT
Avertissement : Substances nocives pour l’environnement.
Les produits, fluides de fonctionnement etc. peuvent être nocifs pour l’environnement
et peuvent faire l’objet de réglementations spécifiques de mise au rebut.
Mettez ces substances au rebut conformément aux règlements locaux en vigueur.
14.1 Tri des composants
Après le démontage du produit, triez ses composants conformément aux critères
suivants.
Composants
contaminés
Les composants contaminés (radioactifs, toxiques, caustiques ou risque biologique etc.)
doivent être décontaminés conformément aux règlements nationaux en vigueur, triés
selon leurs matériaux
et mis au rebut.
Autres composants
De tels composants peuvent être triés selon leurs matériaux et recyclés.
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RVC 300 Settings
Annexe A RVC 300 Settings
Paramètres du contrôleur de vanne RVC 300, micrologiciel Version 2.11.
A.1
Configuration
Mode . . . . . . . . . . . . Pression
Vanne . . . . . . . . . . . . EVR 116 STD
Capteur . . . . . . . . . . PKR 251
Nom. I. . . . . . . . . . . . 2,0E-6
A.2
Paramètres du capteur
Marque . . . . . . . . . . . Pfeiffer
Type . . . . . . . . . . . . . PKR 251
Port. . . . . . . . . . . . . . X2 - DIN 6
MIN. . . . . . . . . . . . . . 5,0E-9
MAX . . . . . . . . . . . . . 2,0E-6
I/O
DI
DI 1 . . . . . . . . . . Réduction du débit
DI 2 . . . . . . . . . . Augmentation du débit
DI 3 . . . . . . . . . . Fermeture externe
DI 4 . . . . . . . . . . Ouverture externe
DI 5 . . . . . . . . . . Mode de débit
DI 6 . . . . . . . . . . Mode de pression
DI 7 . . . . . . . . . . Émission ACTIF
DI 8 . . . . . . . . . . Dégazage ACTIF
DO
DO 1 . . . . . . . . . Fermeture vanne
DO 2 . . . . . . . . . Ouverture vanne
DO 3 . . . . . . . . . En position. .
Signal ACTIF. . . . . . . .0,1 % FS
Signal INACTIF. . . . . . 0,1 % FS
Délai ACTIF. . . . . . . . .1 s
DO 4 . . . . . . . . . Erreur vanne
DO 5 . . . . . . . . . Erreur capteur
DO 6 . . . . . . . . . Prêt
DO 7 . . . . . . . . . Émission ACTIF
DO 8 . . . . . . . . . État du capteur
AI
AI 1 . . . . . . . . . . Valeur nominale de pression
AI 2 . . . . . . . . . . Valeur nominale de débit
AI 3
AI 4
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RVC 300 Settings
AO
AO 1 . . . . . . . . . Capteur de signal
AO 2 . . . . . . . . . Signal de vanne
AO 3 . . . . . . . . . Position de la vanne
AO 4 . . . . . . . . . +10V REF
A.3
Série
Interface
Type . . . . . . . . . . . . ---------------Paramètres
A.4
Général
Contraste LCD . . . . . . . . . 30
Mesure . . . . . . . . . . . . . . . mbar
Langue . . . . . . . . . . . . . . . Anglais
Démarrage automatique . ACTIF
Réinitialisation automatique ACTIF
A.5
Paramètres
Paramètres
Pression Paramètres
Réelle . . . . . X,XE-X mbar
Nominale . . 2,0E-6 mbar
Mini. . . . . . . 5,0E-9 mbar
Maxi. . . . . . . 2,0E-6 mbar
Source
Pression nominale de la source
Source . . . . Interne
Contrôle
Type de contrôleur
Type . . . . . . Auto 50
Kp . . . . . . . . ----------Tn . . . . . . . . ----------Tv . . . . . . . . -----------
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Déclaration de conformité
Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond à toutes les
dispositions applicables des directives CE suivantes :
● Directive Basse tension 2014/35/UE
● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
● Limitation de l'utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE
● Machines 2006/42/CE (Annexe II, No. 1 A)
OmniStar™ GSD 320
ThermoStar™ GSD 320
Système d’analyse des gaz
Normes harmonisées et normes nationales appliquées :
Sécurité :
EN 61010-1:2010
EN ISO 12100:2011-03 Sécurité des machines
Émissions:
EN 61326-1:2013
EN 55011:2009 + A1:2010/CISPR 11:2009 + A1:2010
Émissions électromagnétiques par rayonnement et par conduction
Exigences en matière d'émissions de classe A de la FCC Titre 47
Partie 18
Exigences en matière d'émissions d'ICES-001 Publication 4 ISM
Immunité :
EN 61326-1:2013 (CEM générale)
Classe A
CEM - Équipements de mesures, de contrôle et de laboratoire
RoHS :
Entièrement conforme
Signatures :
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Dr. Ulrich von Hülsen)
Directeur
2016-08-17
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